KR20240068429A - 리크감지 장치 - Google Patents

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KR20240068429A
KR20240068429A KR1020220149870A KR20220149870A KR20240068429A KR 20240068429 A KR20240068429 A KR 20240068429A KR 1020220149870 A KR1020220149870 A KR 1020220149870A KR 20220149870 A KR20220149870 A KR 20220149870A KR 20240068429 A KR20240068429 A KR 20240068429A
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Abstract

본 발명과 관련된 리크감지 장치는, 인렛포트와 아웃렛포트를 포함하고, 상기 아웃렛포트는 검출대상 실린더의 작동포트에 연결되는, 장치본체; 상기 인렛포트를 통하여 들어온 공급에어를 설정시간까지는 제1유로를 경유하고 상기 아웃렛포트를 통하여 상기 작동포트로 공급되도록 하고, 상기 설정시간 이후로는 상기 제1유로보다 작은 유량이 흐를 수 있게 형성된 제2유로를 경유하고 상기 아웃렛포트를 통하여 상기 작동포트로 공급되도록 구성된, 유로변환유닛; 상기 제2유로 상에 설치되며, 상기 공급에어의 흐름이 있는 경우 회전될 수 있게 구성된, 회전날개부; 및 상기 회전날개부의 회전을 감지할 수 있게 형성된 센서부를 포함한다.

Description

리크감지 장치{LEAK DETECTION DEVICE}
본 발명은 공압 실린더의 리크감지 장치에 관한 것이다.
공압실린더는 압축공기가 갖는 압력을 기계적 운동으로 변환하는 장치이다. 빠른 속도를 가지면서도 유압실린더에 비해 청결을 유지할 수 있고 유지보수가 용이한 장점으로 인해 공압실린더는 자동화 기기나 로봇 등의 생산 설비를 포함하여 다양한 산업분야에서 이용되고 있다. 이외에도 반도체, 디스플레이 소자, 태양전지, 박막 등의 제조를 위하여 활용되는 진공 시스템에서 진공을 단속하는 게이트밸브 등에도 사용되고 있다.
공압실린더는 근본적으로는 공기의 압력을 사용하고, 이의 밀폐를 위한 오링 등 기계적 부품들을 갖춘다. 그런데, 이러한 부품도 여러 원인에 의하여 손상되거나 제품의 질적인 변화를 수반하게 되어 결과적으로 리크를 초래할 수 있다. 리크의 발생은, 예를 들어 반도체의 진공챔버의 단속을 위한 게이트 밸브에서의 게이트의 작동 압력을 일정하게 유지시키는 것이 실패할 수 있다는 점을 의미하고, 결과적으로 생산 제품의 불량을 야기할 수 있다.
리크의 검출을 위한 기술로, 공기의 배기 압력이 공기의 주입압력과 동일한지를 비교하는 기술이 제시되었으나, 리크를 판별하는 기준이 불분명하다는 단점이 있다. 또한, 한국 공개특허 제10-2007-0008139호 등은 실린더에 공급되는 각각의 에어공급라인으로 플로우되는 에어량을 감지하는 에어량감지센서를 통하여 미리 설정된 에어량과 비교하여 리크를 판단하는 기술을 소개하고 있으나, 에어량의 감지를 위한 구체적인 수단이 제시되지 않았다.
* 선행문헌
한국 공개특허 제10-2006-0009138호(2006.01.31)
한국 공개특허 제10-2007-0008139호(2007.01.17)
본 발명의 목적은 실린더의 작동포트에 공급되는 에어의 누출에 따른 흐름을 회전날개의 회전으로 변환하고 이를 감지하도록 구성함으로써 신뢰성이 높고 안정적인 리크감지 장치를 제시하는데 있다.
본 발명의 과제들은 위에서 언급한 것에 국한되지 않으며, 이와 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명과 관련된 리크감지 장치는, 인렛포트와 아웃렛포트를 포함하고, 상기 아웃렛포트는 검출대상 실린더의 작동포트에 연결되는, 장치본체; 상기 인렛포트를 통하여 들어온 공급에어를 설정시간까지는 제1유로를 경유하고 상기 아웃렛포트를 통하여 상기 작동포트로 공급되도록 하고, 상기 설정시간 이후로는 상기 제1유로보다 작은 유량이 흐를 수 있게 형성된 제2유로를 경유하고 상기 아웃렛포트를 통하여 상기 작동포트로 공급되도록 구성된, 유로변환유닛; 상기 제2유로 상에 설치되며, 상기 공급에어의 흐름이 있는 경우 회전될 수 있게 구성된, 회전날개부; 및 상기 회전날개부의 회전을 감지할 수 있게 형성된 센서부를 포함한다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 유로변환유닛은, 상기 제1유로와 상기 제2유로가 형성된 밸브바디; 및 상기 밸브바디에 공압의 제어에 의해 이동되도록 형성되고, 제1이동상태에서 상기 제1유로가 개방되고, 제2이동상태에서 상기 제1유로가 차단되도록 구성된, 이동밸브체를 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 리크감지 장치는, 상기 설정시간이 이후에 작동되어 상기 이동밸브체를 상기 제1이동상태에서 상기 제2이동상태로 이동시킬 수 있게 형성된 솔레노이드 밸브를 더 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 리크감지 장치는, 상기 인렛포트를 통해 유입된 에어가 상기 제1유로와 상기 솔레노이드 밸브로 분기되어 흐를 수 있게 형성된 분기부를 더 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 리크감지 장치는, 상기 인렛포트와 상기 분기부 사이에 설치되며, 상기 인렛포트로 에어가 공급되었는지를 감지하여 신호를 생성할 수 있게 형성된 리미트 스위치를 더 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 밸브바디에 상기 회전날개부가 설치되기 위한 장착홈이 형성되고, 상기 제2유로는 상기 장착홈과 연통된 미세홀 형태로 형성될 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 제2유로는 상기 밸브바디에서 상기 이동밸브체의 상기 제1이동상태 및 상기 제2이동상태와 관계없이 개방되어 있도록 형성될 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 장착홈의 상부에 상기 회전날개부가 보일 수 있게 투광성 커버가 부착될 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 리크감지 장치는, 상기 센서부를 통하여 감지된 신호에 의하여 상기 회전날개부가 기준 회전수 이상으로 회전되었을 때 알람신호를 생성할 수 있게 형성된 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 알람신호는 시각적 수단 또는 청각적 수단으로 출력될 수 있도록 구성되거나, 네트워크에 의하여 서버로 전송될 수 있는 형태로 형성될 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 센서부는 광센서 또는 광케이블을 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 작동포트는 다운포트와 업포트를 포함하고, 상기 장치본체는, 상기 다운포트 및 상기 업포트에 각각 연결되기 위한 제1아웃렛포트 및 제2아웃렛포트와, 상기 제1아웃렛포트 및 상기 제2아웃렛포트에 독립적으로 에어를 공급하는 제1인렛포트 및 제2인렛포트를 포함하고, 상기 유로변환유닛은, 상기 제1인렛포트와 상기 제2아웃렛포트 사이에 배치되는 제1유로변환유닛과, 상기 제2인렛포트와 상기 제2아웃렛포트 사이에 배치되는 제2유로변환유닛을 포함하고, 상기 회전날개부는, 상기 제1유로변환유닛에 설치되는 제1회전날개부와 상기 제2유로변환유닛에 설치되는 제2회전날개부를 포함하며, 상기 센서부는, 상기 제1회전날개부의 회전을 감지하는 제1센서부와 상기 제2회전날개부의 회전을 감지하는 제2센서부를 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 리크감지 장치에 의하면, 검출대상 실린더의 작동에 따른 에어의 공급시에는 제1유로를 통하여 에어가 흐르도록 하고, 설정시간 이후에는 제2유로를 통하여 작동포트에 연결시키며, 제2유로 상에 흐름이 있는 경우 회전되도록 구성된 회전날개부 및 회전날개부의 회전을 감지하는 센서부를 설치함으로써, 업 또는 다운의 작동상황에서의 에어의 흐름으로부터 모니터링이 필요한 설정시간 이후의 상황에서의 에어의 흐름을 구분하여 검출하는 것이므로 정확하면서도 안정적인 리크의 감지가 가능하게 된다.
도 1은 본 발명과 관련된 리크감지 장치가 적용된 시스템을 개략적으로 보인 사시도이다.
도 2는 도 1의 리크감지 장치의 내부의 모습을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명과 관련된 유로전환유닛을 구성하는 밸브바디의 내부 모습을 보인 단면 사시도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명과 관련된 유로전환유닛의 작용을 설명하기 위한 개념적 단면도들로서, 도 4는 설정시간 이내에 솔레노이드 밸브가 작동하지 않는 상태이고, 도 5는 설정시간이 경과하여 솔레노이드 밸브가 작동하는 경우로서 검출대상 실린더에 리크가 있는 경우를 예시적으로 보인 도면이다.
이하, 본 발명과 관련된 리크감지 장치에 대한 실시예를 상세히 설명한다. 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로만 한정되지 않을 수 있으며, 본 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 적절하게 정의되어 이해될 수 있다.
도 1은 본 발명과 관련된 리크감지 장치가 적용된 공압 시스템을 보인 것이다. 리크감지 장치(100)는 검출대상 실린더(10)와 연결됨으로써 공압 공급부(30)로부터의 공급 에어는 리크감지 장치(100)를 경유하여 공급받을 수 있게 되어 있다. 검출대상 실린더(10)는 기능이나 용도(예: 게이트밸브의 게이트 구동용)에 따라 대상물을 이동시키기 위한 피스톤로드(15)를 포함하고 있으며, 피스톤로드(15)의 다운 또는 업을 위하여 다운포트(21) 및 업포트(22)를 갖출 수 있다. 다만, 본 발명은 작동포트로서 다운포트(21) 및 업포트(22)가 모두 해당되는 예에 국한되지 않으며 작동포트가 다운포트(21) 또는 업포트(22) 중 어느 하나만에 해당하는 실린더에도 적용될 수 있다.
리크감지 장치(100)는, 도 1과 같이, 전체적으로 박스 형태로 된 하우징(111)을 갖는 장치본체(110)를 가질 수 있다. 장치본체(110)에는 검출대상 실린더(10)의 다운포트(21)와 제1연결부(102)에 의하여 연결되는 제1아웃렛포트(101), 공압 공급부(30)의 공급 에어가 제2연결부(104)를 통하여 유입되는 제1인렛포트(103), 업포트(22)와 제3연결부(106)에 의하여 연결되는 제2아웃렛포트(105), 공압 공급부(30)의 공급 에어가 제4연결부(108)를 통하여 유입되기 위한 제2인렛포트(107)를 가지고 있다. 앞에서의 설명과 같이, 검출대상 실린더(10)에 따라 작동포트가 한 개인 경우에는 제1아웃렛포트(101) 및 제1인렛포트(103) 또는 제2아웃렛포트(105) 및 제2인렛포트(107) 중 어느 하나만이 구비되거나, 모두 구비된 경우에는 어느 한 쌍만이 사용될 수도 있다.
제1연결부(102), 제2연결부(104), 제3연결부(106) 및 제4연결부(108)는 연결의 상대물을 식별하기 쉽게 나타내기 위하여 굵은 쇄선만으로 표시하였으나, 형태적으로는 호스 또는 파이프의 형태로 형성될 수 있다.
장치본체(110)의 외측에는 다운포트(21) 및 제1아웃렛포트(101)를 통하여 검출대상 실린더(10)의 다운포트(21)에 공급되는 에어의 리크가 발생되는 경우 이를 식별하기 위한 제1식별부(121)가 배치되어 있다. 제1식별부(121)에는 시각적인 식별과 함께 내부에 설치된 요소의 움직임을 감지하기 위하여 센서가 장착되기 위한 센서장착부(122) 및 센서케이블(123)이 구비된다. 센서케이블(123)은 케이블연결홀(124)을 통하여 장치본체(110)의 내부에 구비된 회로기판 또는 증폭요소에 연결될 수 있다.
제1식별부(121)와 유사하게, 업포트(22) 및 제2아웃렛포트(105)를 통하여 검출대상 실린더(10)의 업포트(22)에 공급되는 에어의 리크가 발생되는 경우 이를 식별하기 위한 제2식별부(126)가 배치되어 있다. 제2식별부(126)에도 시각적인 식별과 함께 내부에 설치된 요소의 움직임을 감지하기 위하여 센서가 장착되기 위한 센서장착부(127), 센서케이블(128) 및 케이블연결홀(129)이 구비될 수 있다.
장치본체(110)의 외측에는 리크감지 장치(100)의 동작 상태나 밸브의 작동여부, 동작 횟수 등을 표시하기 위한 디스플레이(115)가 설치될 수 있다.
도 2는 도 1의 리크감지 장치(100)의 내부의 모습을 에어의 흐름을 중심으로 개략적으로 표시한 것이다. 장치본체(110)의 내부에는 제1인렛포트(103) 및 제2인렛포트(107)를 통하여 들어온 공급 에어의 유로 변환을 위한 제1유로변환유닛(130)이 설치되어 있다.
제1유로변환유닛(130)은 가변 유로를 형성하기 위한 제1밸브바디(131)를 포함하고 있으며, 제1밸브바디(131)에는 제1인렛포트(103)를 통하여 통하여 유입된 공급 에어 중 제1분기관(140)을 통하여 분기된 에어가 제5연결부(133)를 통하여 유입되기 위한 제1포트(132)와, 제1분기관(140)을 통하여 분기된 다른 에어가 제6연결부(135), 제1솔레노이드 밸브(141) 및 제7연결부(136)를 통하여 유입되기 위한 제2포트(134)가 형성되어 있다.
제1인렛포트(103)와 제1분기관(140)의 사이에는 제1리미트 스위치(142)가 설치되어 있다. 제1리미트 스위치(142)는 제1인렛포트(103)를 통하여 에어가 공급되었는지를 감지하여 이를 기반으로 제1솔레노이드 밸브(141)의 동작 여부 및 센서부의 감지신호에 대한 알람의 여부를 결정하기 위한 기준을 제공한다.
제1솔레노이드 밸브(141)는 평상시에는 닫혀 있다가 제1인렛포트(103)를 통하여 에어가 공급되어 설정시간이 경과하면 열려짐으로써 제7연결부(136)를 통하여 제2포트(134)로 에어가 들어갈 수 있게 구성된다.
제1밸브바디(131)의 외부로 노출되는 부위에는 내부에 설치된 제1회전날개부(150)의 회전 여부가 식별될 수 있도록 투광성의 제1커버(145)가 부착될 수 있다.
제1유로변환유닛(130)과 유사하게, 장치본체(110)의 다른 쪽에는 제2아웃렛포트(105)를 통하여 업포트(22)에 공급될 에어의 가변 유로를 형성하기 위한 제2유로변환유닛(160)이 설치되어 있다. 제2유로변환유닛(160)도 가변 유로를 형성하기 위한 제2밸브바디(161)를 포함한다. 제2밸브바디(161)에 공급될 에어를 나누어서 공급할 수 있도록 제2밸브바디(161)의 일측에는 제2분기관(170)이 설치되며, 제2분기관(170)을 경유한 일부 에어는 제2밸브바디(161)의 직접 공급되고, 다른 일부 에어는 제2솔레노이드 밸브(171)를 통하여 제2밸브바디(161)의 다른 포트에 공급된다. 제2인렛포트(107)와 제2분기관(170)의 사이에는 제2인렛포트(107)를 통하여 에어가 공급되었는지를 감지하는 제2리미트 스위치(172)가 설치된다.
제2밸브바디(161)의 외부로 노출되는 부위에도 내부에 설치된 제2회전날개부(180)의 회전 여부가 식별될 수 있도록 투광성의 제2커버(175)가 부착될 수 있다.
장치본체(110)의 내부에는 제1회전날개부(150) 및 제2회전날개부(180)의 회전여부를 확인하기 위하여 센서장착부(122, 127)에 장착되어 수광된 광정보를 센서케이블(123, 128; 도 1 참조)을 통하여 전달받아 이를 증폭하고 회전 여부를 감지하는 각각의 센서부(191, 192)가 설치될 수 있다.
도 3은 본 발명과 관련된 유로전환유닛을 설명하기 위해, 제1유로변환유닛(130)을 구성하는 제1밸브바디(131)의 내부 모습을 보인 도면이다.
도 3에 의하면, 밸브바디의 내부에는 제1포트(132)에 연결되어 제1아웃렛포트(101)로 대량의 에어가 흐를 수 있게 형성된 제1유로(146)와, 제1유로(146)보다 작은 유량의 에어가 흘 수 있게 형성된 제2유로(147)가 구비되어 있다. 제2유로(147)는 제1유로(146)와 달리 미세홀의 형태로서, 예를 들어, 수십 ~ 수백 ㎛정도로 형성될 수 있다. 제2유로(147) 상에는 제2유로(147)에 있는 공급에어의 흐름이 있는 경우 회전될 수 있게 형성된 제1회전날개부(150)가 설치되어 있다. 제1회전날개부(150)의 설치를 위하여, 제1밸브바디(131)에는 제1회전날개부(150)가 장착되기 위한 장착홈(149)이 형성되어 있다.
제1밸브바디(131)에는 공압의 제어에 의하여 이동되도록 형성되는 이동밸브체(148)가 설치되어 있다. 이동밸브체(148)는 스프링에 의하여 외력이나 압력이 작용하지 않을 때에는 제2포트(134)를 통하여 에어가 공급되지 않으므로 제1유로(146)를 개방시키게 된다. 그에 따라 제1아웃렛포트(101)를 향하는 대부분의 에어가 제1유로(146)를 경유하여 흐르게 된다. 도 4는 이렇게 대유량의 에어가 제1유로(146)를 통하여 흘러 제1아웃렛포트(101)로 통하여 나가는 것을 보인 것이다. 이때는 검출대상 실린더(10)의 실제 업-다운 작동과 관련한 것이므로 센서부(191, 192) 및 솔레노이드 밸브(141, 171)는 동작하지 않도록 설정될 수 있다. 즉, 이 경우는 검출대상 실린더(10)를 작동시켜 업에서 다운 또는 다운에서 업으로 변경할 때 피스톤로드(15)가 이동하는 순간과 관련이 있다. 이렇게 피스톤로드(15)가 이동하는 시간이 '설정시간' 정도로 볼 수 있으며, 이후에는 압력이 걸려 있는 상태에서 리크가 실질적으로 있는지를 제2유로(147)를 통과하는 에어의 흐름 여부로 판단한다. '설정시간'이 경과하면 제1솔레노이드 밸브(141)가 작동하게 되고, 그러면 도 5와 같이, 에어가 제1솔레노이드 밸브(141)로부터 흘러서 제2포트(134)로 유입되어 이동밸브체(148)를 이동시키게 되고, 그에 따라 제1유로(146)가 닫히게 된다. 설정시간은 검출대상 실린더(10)의 종류나 특성에 따라 다르게 정해질 수 있다. 이 상황에서 만약 검출대상 실린더(10)에서 리크가 발생하게 되면 이동밸브체(148)의 이동에 관계없이 언제나 개방되어 있는 제2유로(147)를 경유하여 에어의 흐름이 발생하게 되고, 제1회전날개부(150)도 돌아가게 된다. 이때 센서부(191, 192)를 통하여 이때 기준 회전수 이상(예: 5회전 이상)의 회전이 있었다고 파악되는 경우, 제어부는 이를 리크가 발생한 것으로 간주하고 알람신호를 생성하도록 구성된다. 이때, 알람신호는 시각적 수단(예: 디스플레이(115)나 표시램프를 통하여 알림을 주는 것) 또는 청각적 수단(알람음을 발생시키는 것) 또는 네트워크에 의하여 서버로 전송되도록 구성될 수 있다.
반대로 검출대상 실린더(10)가 업동작이 있는 상황에서 리크가 발생하는지 여부는 제2아웃렛포트(105)를 통하여 공급되는 에어의 흐름을 제2유로변환유닛(160)에 제1유로변환유닛(130)과 마찬가지로 포함되어 있는 제1유로 및 제2유로, 제2회전날개부(180)의 회전을 통하여 검출할 수 있다. 검출의 방법과 구성은 제1유로변환유닛(130)에 의한 도 3 내지 도 5와 유사하며 그에 대한 상세한 설명은 상기의 설명으로 갈음한다.
이와 같이, 본 발명과 관련된 리크감지 장치(100)는 미세유로 형태로 형성된 제2유로(147) 및 회전날개부(150)와, 제1유로(146)를 차단하고 제2유로(147)로 흐름이 발생하도록 유로를 전환시키는 유로변환유닛(130)을 통하여 기계적으로 구성한 것으로, 미세한 공기의 공기의 흐름(리크)으로도 이를 정확히 감지할 수 있으며, 안정적인 동작을 보장할 수 있다.
상기와 같이 설명된 리크감지 장치는 설명된 실시예들의 구성과 방법으로 한정되지 않는다. 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다. 본 발명의 권리범위는 그러한 실시예들 또는 균등 범위에 있는 기술사상이 포함되어 해석되는 것으로 이해되어야 할 것이다.
10: 검출대상 실린더 15: 피스톤로드
21: 다운포트 22: 업포트
30: 공압 공급부 100: 리크감지 장치
101: 제1아웃렛포트 102: 제1연결부
103: 제1인렛포트 104: 제2연결부
105: 제2아웃렛포트 106: 제3연결부
107: 제2인렛포트 108: 제4연결부
110: 장치본체 111: 하우징
115: 디스플레이 121: 제1식별부
122: 센서장착부 123: 센서케이블
124: 케이블연결홀 126: 제2식별부
127: 센서장착부 128: 센서케이블
129: 케이블연결홀 130: 제1유로변환유닛
131: 제1밸브바디 132: 제1포트
133: 제5연결부 134: 제2포트
135: 제6연결부 136: 제7연결부
140: 제1분기관 141: 제1솔레노이드밸브
142: 제1리미트 스위치 145: 커버
146: 제1유로 147: 제2유로
148: 이동밸브체 149: 장착홈
150: 제1회전날개부 160: 제2유로변환유닛
161: 제2밸브바디 170: 제2분기관
171: 제2솔레노이드밸브 172: 제2리미트 스위치
175: 커버 180: 제2회전날개부
191: 제1센서부 192: 제2센서부

Claims (12)

  1. 인렛포트와 아웃렛포트를 포함하고, 상기 아웃렛포트는 검출대상 실린더의 작동포트에 연결되는, 장치본체;
    상기 인렛포트를 통하여 들어온 공급에어를 설정시간까지는 제1유로를 경유하고 상기 아웃렛포트를 통하여 상기 작동포트로 공급되도록 하고, 상기 설정시간 이후로는 상기 제1유로보다 작은 유량이 흐를 수 있게 형성된 제2유로를 경유하고 상기 아웃렛포트를 통하여 상기 작동포트로 공급되도록 구성된, 유로변환유닛;
    상기 제2유로 상에 설치되며, 상기 공급에어의 흐름이 있는 경우 회전될 수 있게 구성된, 회전날개부; 및
    상기 회전날개부의 회전을 감지할 수 있게 형성된 센서부를 포함하는, 리크감지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유로변환유닛은,
    상기 제1유로와 상기 제2유로가 형성된 밸브바디; 및
    상기 밸브바디에 공압의 제어에 의해 이동되도록 형성되고, 제1이동상태에서 상기 제1유로가 개방되고, 제2이동상태에서 상기 제1유로가 차단되도록 구성된, 이동밸브체를 포함하는, 리크감지 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 설정시간이 이후에 작동되어 상기 이동밸브체를 상기 제1이동상태에서 상기 제2이동상태로 이동시킬 수 있게 형성된 솔레노이드 밸브를 더 포함하는, 리크감지 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 인렛포트를 통해 유입된 에어가 상기 제1유로와 상기 솔레노이드 밸브로 분기되어 흐를 수 있게 형성된 분기부를 더 포함하는, 리크감지 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 인렛포트와 상기 분기부 사이에 설치되며, 상기 인렛포트로 에어가 공급되었는지를 감지하여 신호를 생성할 수 있게 형성된 리미트 스위치를 더 포함하는, 리크감지 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 밸브바디에 상기 회전날개부가 설치되기 위한 장착홈이 형성되고,
    상기 제2유로는 상기 장착홈과 연통된 미세홀 형태로 형성된, 리크감지 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2유로는 상기 밸브바디에서 상기 이동밸브체의 상기 제1이동상태 및 상기 제2이동상태와 관계없이 개방되어 있도록 형성된, 리크감지 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 장착홈의 상부에 상기 회전날개부가 보일 수 있게 투광성 커버가 부착된, 리크감지 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 센서부를 통하여 감지된 신호에 의하여 상기 회전날개부가 기준 회전수 이상으로 회전되었을 때 알람신호를 생성할 수 있게 형성된 제어부를 더 포함하는, 리크감지 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 알람신호는 시각적 수단 또는 청각적 수단으로 출력될 수 있도록 구성되거나, 네트워크에 의하여 서버로 전송될 수 있는 형태로 형성된, 리크감지 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 센서부는 광센서 또는 광케이블을 포함하는, 리크감지 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 작동포트는 다운포트와 업포트를 포함하고,
    상기 장치본체는, 상기 다운포트 및 상기 업포트에 각각 연결되기 위한 제1아웃렛포트 및 제2아웃렛포트와, 상기 제1아웃렛포트 및 상기 제2아웃렛포트에 독립적으로 에어를 공급하는 제1인렛포트 및 제2인렛포트를 포함하고,
    상기 유로변환유닛은, 상기 제1인렛포트와 상기 제2아웃렛포트 사이에 배치되는 제1유로변환유닛과, 상기 제2인렛포트와 상기 제2아웃렛포트 사이에 배치되는 제2유로변환유닛을 포함하고,
    상기 회전날개부는, 상기 제1유로변환유닛에 설치되는 제1회전날개부와 상기 제2유로변환유닛에 설치되는 제2회전날개부를 포함하며,
    상기 센서부는, 상기 제1회전날개부의 회전을 감지하는 제1센서부와 상기 제2회전날개부의 회전을 감지하는 제2센서부를 포함하는, 리크감지 장치.
KR1020220149870A 2022-11-10 리크감지 장치 KR20240068429A (ko)

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KR20240068429A true KR20240068429A (ko) 2024-05-17

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