KR20240035450A - 모듈형 저감 장치 - Google Patents

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KR20240035450A
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KR1020247000838A
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앤드류 제임스 시레이
데이비드 프레드릭 바츠
마이클 제이 실버스타인
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에드워즈 리미티드
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Abstract

모듈형 저감 장치 및 방법이 개시된다. 모듈형 저감 장치는 반도체 처리 도구로부터의 배출 스트림을 저감하기 위한 것이며, 공통 하우징 챔버를 한정하는 하우징과, 배출 스트림을 처리하기 위해 공통 하우징 챔버 내에 위치 가능한 복수의 연소 챔버 모듈을 포함하며, 각 연소 챔버 모듈은 연소 챔버를 내부에 한정하는 유공성 슬리브를 포함한다. 이렇게 하여, 단일의 공통 하우징 내에 다수의 연소 챔버를 제공할 수 있으며, 각 연소 챔버는 특정 배출 스트림 흐름을 처리하도록 구성될 수도 있다. 따라서, 연소 챔버의 수는 임의의 특정 처리 도구로부터 예상되는 배출 스트림의 상이한 유형과 유량에 맞게 선택될 수 있다. 이는 상류측 및 하류측 구성요소와 인터페이스할 수도 있는 공통 하우징을 보유하면서 상이한 배출 가스 스트림 유형 및 유량의 요구에 맞게 쉽게 확장할 수 있는 아키텍처를 제공한다.

Description

모듈형 저감 장치
본 발명의 분야는 모듈형 저감 장치 및 방법에 관련된다.
복사 버너와 같은 저감 장치는 알려져 있으며, 일반적으로, 예를 들면, 반도체 또는 평판 디스플레이 제조 산업에서 사용되는 제조 처리 도구로부터 배출 가스 스트림을 처리하는데 사용된다. 이러한 제조 동안에, 처리 도구로부터 펌핑되는 배출 가스 스트림에 잔류 과불화 화합물(PFC) 및 다른 화합물이 존재한다. PFC는 배출 가스로부터 제거하기 어렵고, 온실 활동이 상대적으로 높은 것으로 알려져 있기 때문에 이들을 환경으로 방출하는 것은 바람직하지 않다.
알려진 복사 버너는 연소를 사용하여 배출 가스 스트림으로부터 PFC 및 다른 화합물을 제거한다(예를 들면, EP 0 694 735에 설명됨). 일반적으로는, 배출 가스 스트림은 PFC 및 다른 화합물을 함유하는 질소 스트림이다. 배출 스트림은 유공성 가스버너의 출구면으로 측방향으로 둘러싸인 연소 챔버 내로 이송된다. 일부 경우에, 연료 가스와 같은 처리 재료가 연소 챔버로 들어가기 전에 배출 가스 스트림과 혼합될 수 있다. 연료 가스와 공기는 동시에 유공성 버너에 공급되어서 출구면에서 연소에 영향을 미친다. 유공성 버너로부터의 연소 생성물은 배출 스트림 혼합물과 반응하여 배출 스트림의 화합물을 연소시킨다.
기술은 배출 가스 스트림을 처리하기 위해 존재하지만, 각각 고유한 단점을 갖는다. 따라서, 배출 가스 스트림을 처리하기 위한 개선된 기술을 제공하는 것이 바람직하다.
제 1 관점에 따르면, 반도체 처리 도구로부터의 배출 스트림을 저감하기 위한 모듈형 저감 장치가 제공되며, 이는 공통 하우징 챔버를 한정하는 하우징과, 배출 스트림을 처리하기 위해 공통 하우징 챔버 내에 위치 가능한 복수의 연소 챔버 모듈을 포함하며, 각 연소 챔버 모듈은 연소 챔버를 내부에 한정하는 유공성 슬리브를 포함한다.
제 1 관점은 기존 저감 장치 구성의 문제점이 상이한 유형 및/또는 양의 배출 스트림을 처리하도록 쉽게 확장할 수 없다는 점이다. 다시 말해서, 각 저감 장치는 일반적으로 특정 배출 스트림과 유량을 처리하도록 설계되며, 그 설계는 그 다음에 테스트를 통해 검증된다. 또한, 간헐적인 배출 스트림이 제공되는 경우, 이러한 간헐적인 배출 스트림에 응답하여 활성 및 아이들 모드로 전환되는 다양한 저감 장치가 일반적으로 제공된다. 이러한 상이한 저감 장치는 일반적으로 이들 자체 하류측 처리 장치와 함께 제공되며, 이는 설치 규모가 원하는 것보다 커지게 할 수 있다. 또한, 상이한 배출 스트림 유량이 처리되어야 하는 경우, 새로운 설계가 일반적으로 필요하며, 이는 이어서 검증이 필요하다. 일부 표준 부분이 재사용될 수 있지만, 각 설계는 그러므로, 본질적으로 고유하며 기존 배열의 기본 아키텍처는 확장성에 한계가 있다.
따라서, 저감 장치가 제공될 수도 있다. 저감 장치는 모듈형 저감 장치일 수도 있다. 본 장치는 반도체 처리 도구로부터의 배출 스트림을 저감되거나 처리될 수도 있다. 본 장치는 공통, 공유 또는 단일 하우징 챔버를 한정하는 하우징 또는 인클로저를 포함할 수도 있다. 본 장치는 복수의 연소 챔버 모듈 또는 유닛을 포함할 수도 있다. 연소 챔버 모듈은 공통 하우징 챔버 내부 또는 내측에 위치되거나 배치할 수도 있다. 각 연소 챔버 모듈은 유공성이거나 다공성인 슬리브 또는 재킷을 포함하거나 수용할 수도 있다. 슬리브는 연소 챔버를 한정하거나 둘러싸거나 밀폐할 수도 있다. 다시 말해서, 각 연소 챔버 모듈은 단일형일 수도 있으며 자체 연소 챔버를 제공할 수도 있다. 이러한 방식으로, 하나의 공통 하우징 내에 다수의 연소 챔버를 제공할 수 있으며, 각 연소 챔버는 특정 배출 스트림 흐름을 처리하도록 구성될 수도 있다. 따라서, 임의의 특정 처리 도구로부터 예상되는 배출 스트림의 상이한 유형과 유량에 맞게 연소 챔버의 수를 선택할 수 있다. 이는 상류측 및 하류측 구성요소와 인터페이스할 수도 있는 공통 하우징을 보유하면서 상이한 배출 가스 스트림 유형 및 유량의 요구에 맞게 쉽게 확장할 수 있는 아키텍처를 제공한다.
유공성 슬리브는 단일형이거나, 단일 연속 구성요소로 형성될 수도 있다.
연소 챔버는 모듈 단면적을 차지하도록 형상설정 및/또는 치수설정될 수도 있고, 공통 하우징 챔버는 복수의 모듈 단면적을 가로질러서 연장되도록 형상설정 및/또는 치수설정될 수도 있다. 다시 말해서, 연소 챔버 모듈은 사전한정된 단면적의 단일 단위를 차지하는 것으로 간주될 수도 있으며, 공통 하우징 챔버는 이러한 단면적의 단위의 배수를 위한 공간을 제공하도록 설계될 수도 있다.
공통 하우징 챔버는 복수의 인접한 모듈 단면적을 가로질러서 연장되도록 형상설정 및/또는 치수설정될 수도 있다.
공통 하우징 챔버는 인접한 모듈 단면적의 N × M 어레이를 가로질러서 연장되도록 형상설정 및/또는 치수설정될 수도 있다.
N은 M과 동일할 수도 있다. 따라서, 어레이는 정사각형 어레이일 수도 있다.
N은 M과 동일하지 않을 수도 있다. 따라서, 어레이는 직사각형 어레이일 수도 있다.
공통 하우징 챔버는 복수의 모듈 단면적 및 파일럿 모듈 단면적을 가로질러서 연장되도록 형상설정 및/또는 치수설정될 수도 있다. 다시 말해서, 공통 하우징 챔버는 복수의 연소 챔버 모듈과 파일럿 모듈 둘 모두를 수용할 수도 있다.
공통 하우징 챔버는 헤드플레이트를 구비할 수도 있다. 헤드플레이트는 하우징 챔버의 상류측면을 한정할 수도 있다. 헤드플레이트는 복수의 배출 스트림 유입구를 구비할 수도 있다. 각각의 배출 스트림 유입구는 대응하는 모듈 단면적의 중앙을 향하거나 대응하는 모듈 단면적의 주변으로부터 멀리 위치될 수도 있다. 다시 말해서, 하우징 챔버 내의 각각의 지정된 단면적에 대해, 적어도 하나의 배출 스트림 유입구가 제공될 수도 있으며, 이는 배출 스트림을 연소 챔버의 중앙을 향해 그리고 유공성 슬리브로부터 멀리 전달하기 위해 모듈 단면적의 주변으로부터 멀리 위치될 수도 있다.
헤드플레이트는 복수의 처리 재료 유입구를 구비할 수도 있다. 각 처리 재료 유입구는 대응하는 모듈 단면적의 주변을 향해, 또는 대응하는 모듈 단면적의 중앙으로부터 멀리 위치될 수도 있다. 이는 처리 재료를 유공성 슬리브 근처로 전달되는데 도움이 된다.
헤드플레이트는 퍼지 유입구를 포함할 수도 있다. 퍼지 유입구는 퍼지 가스를 전달하도록 구성될 수도 있다. 퍼지 가스는 복수의 연소 챔버 모듈 사이에 있는 공통 하우징 챔버 내의 사이공간 또는 보이드로 전달될 수도 있다. 이는 연소 챔버 모듈 사이에 잔여물이 축적되는 것을 방지하는데 도움이 된다.
헤드플레이트는 갤러리를 포함할 수도 있다. 갤러리는 퍼지 유입구와 유체 연통하여 퍼지 가스를 복수의 연소 챔버 모듈 사이의 공통 하우징 챔버 내의 사이공간으로 전달하거나 이송할 수도 있다.
복수의 연소 챔버 모듈은 공통 하우징 챔버 내에서 해제 가능하게 또는 제거 가능하게 보유하거나 고정될 수도 있다. 이는 필요할 때, 연소 챔버를 제거하거나 교체하여 장치를 수리하거나 재구성할 수 있게 한다.
복수의 연소 챔버 모듈은 공통 하우징 챔버 내의 상보적인 해제 가능한 고정 메커니즘과 해제 가능하게 맞물리거나 고정되도록 구성될 수도 있는 해제 가능한 고정 메커니즘을 구비할 수도 있다. 따라서, 각 연소 챔버 모듈은 공통 하우징 챔버 내로 개별적으로 고정되고 공통 하우징 챔버로부터 해제될 수도 있다.
복수의 연소 챔버는 공통 하우징 챔버 내에 서로 인접하거나 접하도록 위치가능할 수도 있다. 이는 연소 챔버를 공통 하우징 챔버에 의해 제공되는 공간 내에 조밀하게 패킹될 수 있게 한다.
복수의 연소 챔버 모듈은 공통 하우징 챔버 내에서 테셀레이션 가능할 수도 있다. 이는 연소 챔버 모듈 사이의 간극을 줄이고 공통 하우징 챔버 내의 패킹 밀도를 높인다.
복수의 연소 챔버 모듈은 상이한 크기를 가질 수도 있다. 즉, 상이한 단면적의 연소 챔버 모듈이 제공될 수도 있다. 이는 상이한 크기의 연소 챔버 모듈이 상이한 배출 스트림 필요조건에 대해 제공되게 할 수 있다.
각 연소 챔버는 모듈 단면적의 배수를 차지하도록 형상설정 및/또는 치수설정될 수도 있다. 즉, 모듈이 단면적 단위를 차지하도록 의도된 경우, 각 연소 챔버 모듈은 해당 단면적 단위의 (일반적으로 정수)배수를 차지하도록 형상설정 및/또는 치수설정된다. 이는 상이한 크기의 연소 챔버 모듈을 사용하는 경우에도, 복수의 상이한 크기의 연소 챔버 모듈이 공통 하우징 챔버 내에 여전히 끼워맞춤되는 것을 보장하는데 도움이 된다.
적어도 하나의 연소 챔버 모듈은 복수의 모듈 단면적을 차지하도록 형상설정 및/또는 치수설정된 복수의 크기의 연소 챔버 모듈일 수도 있다.
다수 배 크기의 연소 챔버 모듈은 인접한 모듈 단면적의 P × Q 어레이를 차지하도록 형상설정 및/또는 치수설정될 수도 있다.
P는 Q와 동일할 수도 있다. 다시 말해서, 다수 배 크기의 연소 챔버 모듈은 정사각형일 수도 있다.
P는 Q와 동일하지 않을 수도 있다. 다시 말해서, 다수 배 크기의 연소 챔버 모듈은 직사각형일 수도 있다.
각 연소 챔버 모듈은 해당 연소 챔버를 둘러싸는 유공성 슬리브를 포함할 수도 있다. 다시 말해서, 각 연소 챔버 모듈은 해당 연소 챔버의 완전한 연소면을 한정하는 유공성 슬리브를 포함할 수도 있다.
각 연소 챔버 모듈은 모듈 하우징을 포함할 수도 있다. 모듈 하우징은 유공성 슬리브로부터 멀리 위치되거나 배치될 수도 있다. 모듈 하우징이 유공성 슬리브를 둘러쌀 수도 있다. 모듈 하우징은 연소 챔버 플리넘을 한정할 수도 있으며, 이 연소 챔버 플리넘은 대응하는 처리 재료 유입구로부터 유공성 슬리브를 통해 대응하는 연소 챔버 내로 처리 재료를 이송하도록 구성된다. 따라서, 각 개별 연소 챔버에는 연소 챔버 모듈의 모듈 하우징 내에 형성된 플리넘을 통해 자체 처리 재료가 제공될 수도 있다.
각 연소 챔버는 튜브형일 수도 있다. 원형, 타원형, 직사각형 및 다각형을 포함하는 다양하게 상이한 단면 형상의 튜브가 가능하다는 것이 인식될 것이다.
각 연소 챔버는 처리된 배출 스트림을 하류측 처리 장치로 이송하기 위한 유출구를 포함할 수도 있다. 다시 말해서, 연소 챔버 내에서 처리된 배출 스트림은 유출구를 통해 하류측 처리 장치로 배출될 수도 있다. 이는 각 연소 챔버에 대해 전용 하류측 처리 장치를 제공하는 것을 필요로 하는 것보다 모든 연소 챔버에 대해 공통의 하류측 처리 장치를 제공할 수 있게 한다.
적어도 하나의 연소 챔버 모듈은 대응하는 배출 스트림 유입구가 연장될 수도 있는 연소 챔버 장착부를 포함할 수도 있다. 연소 챔버 장착부는 헤드플레이트로부터 연소 챔버 플리넘으로 배출 스트림과 처리 재료를 이송할 수도 있다. 장착부는 연소 챔버보다 온도가 낮고 적은 내부식성 재료로 제조될 수도 있다. 연소 챔버 장착부는 다른 연소 챔버와 비교하여 해당 연소 챔버의 내부 길이를 줄이거나 변경하도록 치수설정될 수도 있다. 일반적으로, 장착부는 공통 하우징 챔버 내에 모두 수용되는 상이한 특성의 연소 챔버를 제공하기 위해 배출 스트림 유입구와 유출구 사이의 연소 챔버 길이를 단축하는데 사용될 수 있다.
공통 하우징 챔버에는 복수의 연소 챔버 모듈 주위로 연장되도록 구성된 벽이 제공될 수도 있다. 벽은 헤드플레이트로부터 하류측 처리 장치로 연장될 수도 있다.
하류측 처리 장치는 위어를 포함할 수도 있다. 위어는 공동 수용 챔버의 하류측에 배치될 수도 있다. 위어는 공동 수용 챔버의 단면적과 일치하거나 이와 유사한 단면적을 가질 수도 있다. 이는 복수의 연소 챔버 모듈을 보유하는 공통 하우징 챔버가 위어 상에 배치될 수 있어서, 콤팩트한 배열을 제공하고 연소 챔버 모듈이 하류측 처리를 위해 위어를 공유할 수 있게 한다.
각 연소 챔버 모듈은 공통 하우징 챔버로부터 그리고 적어도 부분적으로 위어 내로 연장되도록 치수설정될 수도 있다.
본 장치는 적어도 하나의 연소 챔버 모듈에 인접하거나 접하는 공통 하우징 챔버 내에 위치될 수도 있는 적어도 하나의 블랭킹, 충전 또는 패킹 모듈을 포함할 수도 있다. 따라서, 블랭킹 모듈은 해당 위치에 연소 챔버가 필요하지 않는 경우, 공통 하우징 챔버 내에 배치될 수도 있다. 이는 가요성있고 재구성 가능한 장치를 제공한다.
블랭킹 모듈은 블랭킹 플레이트를 포함할 수도 있다. 블랭킹 플레이트는 블랭킹 모듈을 가로질러서 연장될 수도 있다. 블랭킹 플레이트는 유출구와 정렬될 수도 있다. 그러므로, 블랭킹 플레이트는 블랭킹 모듈로 충전된 보이드를 효과적으로 가린다. 블랭킹 플레이트는 유공성 표면을 포함할 수도 있다. 해당 유공성 표면은 연소를 위한 연소 시약을 이송할 수도 있거나 퍼지면을 제공하도록 퍼지 가스를 이송할 수도 있다.
본 장치는 복수의 처리 재료 유입구를 제어하도록 작동 가능한 로직을 포함할 수도 있다. 제어 로직은 복수의 처리 재료 유입구를 독립적으로, 함께 및/또는 그룹으로 제어할 수도 있다.
제어 로직은 복수의 배출 스트림 유입구를 제어하기 위해 작동가능할 수도 있다. 제어 로직은 복수의 배출 스트림 유입구를 독립적으로, 함께 및/또는 그룹으로 제어하도록 작동가능할 수도 있다.
제 2 관점에 따르면, 방법이 제공되며, 본 방법은 공통 하우징 챔버를 한정하는 하우징을 치수설정하는 것과, 배출 스트림을 처리하기 위해 공통 하우징 챔버 내에 복수의 연소 챔버 모듈을 위치시키는 것으로서, 각 연소 챔버 모듈은 연소 챔버를 내부에 한정하는 유공성 슬리브를 포함하는, 상기 복수의 연소 챔버 모듈을 위치시키는 것을 포함한다.
본 방법은 모듈 단면적을 차지하도록 적어도 하나의 연소 챔버 모듈을 형상설정 및 치수설정하는 것과, 적어도 복수의 모듈 단면적을 가로질러서 연장되도록 공통 하우징 챔버를 형상설정 및 치수설정하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 적어도 복수의 인접한 모듈 단면적을 가로질러서 연장되도록 공통 하우징 챔버를 형상설정 및 치수설정되는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 적어도 인접한 모듈 단면적의 N × M 어레이에 가로질러서 연장되도록 공통 하우징 챔버를 형상설정 및 치수설정하는 것을 포함할 수도 있다.
N은 M과 동일할 수도 있다.
N은 M과 동일하지 않을 수도 있다.
본 방법은 복수의 모듈 단면적 및 파일럿 모듈 단면적을 가로질러서 연장되도록 공통 하우징 챔버의 형상설정 및 치수설정하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 하우징 챔버의 상류측면을 한정하는 헤드플레이트를 제공하는 것과, 헤드플레이트에 복수의 배출 스트림 유입구를 위치시키는 것으로서, 각 배출 스트림 유입구는 대응하는 모듈 단면적의 중앙을 향해 위치되는, 상기 복수의 배출 스트림 유입구를 위치시키는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 헤드플레이트에 복수의 처리 재료 유입구를 제공하는 것으로서, 각 처리 재료 유입구는 대응하는 모듈 단면적의 둘레를 향해 위치되는, 상기 처리 재료 유입구를 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 복수의 연소 챔버 모듈 사이의 공통 하우징 챔버 내의 사이공간으로 퍼지 가스를 전달하도록 구성된 헤드플레이트에 퍼지 유입구를 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 복수의 연소 챔버 모듈 사이의 공통 하우징 챔버 내의 사이공간으로 퍼지 가스를 전달하기 위해 퍼지 유입구와 유체 연통하는 헤드플레이트에 갤러리를 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 공통 하우징 챔버 내에 복수의 연소 챔버 모듈을 해제 가능하게 보유하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 공통 하우징 챔버 내의 상보적인 해제 가능한 고정 메커니즘과 해제 가능하게 맞물리도록 구성된 각 연소 챔버 상에 해제 가능한 고정 메커니즘을 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 공통 하우징 챔버 내에 복수의 연소 챔버 모듈을 서로 인접하게 위치시키는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 공통 하우징 챔버 내의 복수의 연소 챔버 모듈을 테셀레이션하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 상이한 크기의 연소 챔버 모듈을 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 모듈 단면적의 배수를 차지하도록 각 연소 챔버 모듈을 형상설정 및 치수설정하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 복수의 모듈 단면적을 차지하도록 형상설정 및 치수설정된 다수 배 크기의 연소 챔버 모듈로서 적어도 하나의 연소 챔버 모듈을 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 인접한 모듈 단면적의 P × Q 어레이를 차지하도록 다수 배 크기의 연소 챔버 모듈을 형상설정 및 치수설정하는 것을 포함할 수도 있다.
P는 Q와 동일할 수도 있다.
P는 Q와 동일하지 않을 수도 있다.
본 방법은 각 연소 챔버 모듈 내에서 해당 연소 챔버를 둘러싸는 유공성 슬리브를 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 해당 처리 재료 유입구로부터 해당 유공성 슬리브를 통해 해당 연소 챔버로 처리 재료를 이송하도록 구성된 연소 챔버 플리넘을 한정하기 위해, 유공성 슬리브로부터 멀리 위치되고 유공성 슬리브를 둘러싸는 모듈 하우징을 갖는 각 연소 챔버 모듈을 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 각 연소 챔버 모듈을 튜브형으로 형상설정하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 처리된 배출 스트림을 하류측 처리 장치로 이송하기 위한 유출구를 갖는 각 연소 챔버 모듈을 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 대응하는 배출 스트림 유입구가 연장되는 연소 챔버 장착부를 갖는 적어도 하나의 연소 챔버 모듈을 제공하는 것과, 다른 연소 챔버와 비교하여 해당 연소 챔버의 내부 길이를 감소시키도록 연소 챔버 장착부를 치수설정하는 것을 포함할 수도 있다.
공통 하우징 챔버는 복수의 연소 챔버 모듈 주위로 연장되는 벽을 포함할 수도 있으며, 벽은 헤드플레이트로부터 하류측 처리 장치로 연장된다.
본 방법은 공통 하우징 챔버의 하류측에 배치된 하류측 처리 장치로서 공통 하우징 챔버의 단면적과 일치하는 단면적을 갖는 위어를 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 공통 하우징 챔버로부터 적어도 부분적으로 위어로 연장되도록 각 연소 챔버 모듈을 치수설정하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 적어도 하나의 연소 챔버 모듈에 인접하게 공통 하우징 챔버 내에 적어도 하나의 블랭킹 모듈을 위치시키는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 블랭킹 모듈을 가로질러서 연장되고 유출구와 정렬된 블랭킹 플레이트를 갖는 블랭킹 모듈을 제공하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 복수의 처리 재료 유입구를 독립적으로, 함께 및/또는 그룹으로 제어하는 것을 포함할 수도 있다.
본 방법은 복수의 배출 스트림 유입구를 독립적으로, 함께 및/또는 그룹으로 제어하는 것을 포함할 수도 있다.
추가의 특정한 그리고 바람직한 관점은 첨부된 독립 청구항 및 종속 청구항에 기재된다. 종속 청구항의 특징부는 독립 청구항의 특징부와 적절하게 결합될 수도 있으며, 청구범위에 명시적으로 기재된 것 이외의 조합으로 결합될 수도 있다.
장치 특징부가 기능을 제공하기 위해 작동 가능한 것으로 설명되는 경우, 이는 해당 기능을 제공하거나 해당 기능을 제공하도록 조정 또는 구성된 장치 특징부를 포함하는 것이 인식된다.
이제, 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명할 것이다.
도 1a는 일 실시예에 따른 모듈형 저감 장치의 구성요소의 사시도이다.
도 1b는 파일럿 모듈(20)의 단면도를 제공하는 도 1a를 관통하는 단면도이다.
도 1c는 연소 챔버 모듈의 단면도를 제공하는 도 1a를 관통하는 단면도이다.
도 1d는 연소 챔버 모듈을 보다 상세히 도시하는 단면도이다.
도 2의 (A)는 헤드플레이트를 보다 상세히 도시한다.
도 2의 (B)는 연소 챔버 모듈의 하류측에서 바라본 도면이다.
도 3의 (A) 및 도 3의 (B)는 하우징을 제거한 상태로 연소 챔버 모듈과 파일럿 모듈의 배열을 보다 상세히 도시한다.
도 4의 (A) 내지 도 4의 (J)는 하우징과 연소 챔버 모듈의 상이한 구성을 개략적으로 도시한다.
도 5는 연소 챔버의 유입구에 대한 상이한 유입구 공급 구성을 도시한다.
도 6은 인접한 한 쌍의 길이가 상이한 연소 챔버 모듈의 개략적인 측면도이다.
본 실시예를 임의로 보다 상세히 논의하기 전에, 먼저, 개요가 제공된다. 일부 실시예는 저감 장치용 모듈형 배열을 제공한다. 이러한 모듈형 배열은 표준화된 구성요소 세트를 사용하여 상이한 유형의 배출 스트림 및/또는 상이한 양 또는 유량의 해당 배출 스트림에 맞게 상이한 구성의 저감 장치가 제작되게 한다. 이 아키텍처 접근법의 기본 요소는 표준 단위로서 크기설정된, 일반적으로는, 일반적인 또는 최소한의 또는 선택된 양의 배출 스트림을 처리하도록 크기설정된 연소 챔버 모듈로 시작하는 것이다. 각 연소 챔버 모듈은 기본적으로는, 자체 배출 스트림을 수용하고, 연료 및 산화제와 같은 처리 재료를 사용하여 해당 배출 스트림을 처리하기 위한 자체 연소 챔버를 한정하는 자체 유공성 슬리브를 구비하는 독립형이며, 이러한 처리 재료는 유공성 슬리브에서 연소한다. 다수의 이러한 표준 단위 크기의 연소 챔버를 통합할 수 있게 하도록 크기설정되는 공통 하우징이 제공된다.
단순한 배열에서, 공통 하우징은 해당 하우징 내에 연소 챔버 모듈 배열을 함께 끼워맞춤하도록 형성된다. 이러한 단순한 배열에서, 각 연소 챔버 모듈은 동일한 단면적을 가지므로, 공통 하우징 챔버 내에서 동일한 단면적 공간을 각각 차지하는 것을 의미한다. 그 다음에, 공통 하우징의 헤드플레이트는 각각의 이러한 연소 챔버의 중앙을 향해 배출 스트림을 전달하고 각 연소 챔버 모듈의 유공성 슬리브로 처리 재료를 전달하도록 구성될 수 있다.
다른 배열에서, 연소 챔버 모듈은 상이한 단면적을 가지므로, 공통 하우징 챔버 내에서 상이한 단면적 공간을 각각 차지하므로 상이한 배출 스트림 및/또는 유량을 처리하도록 최적화된다. 예를 들어, 표준 단위의 연소 챔버 모듈 크기의 1.5배, 2배, 3배, 4배 등인 연소 챔버가 제공될 수도 있다. 다시, 이러한 연소 챔버 모듈은 선형 또는 어레이형 구성일 수도 있다. 그러나. 헤드플레이트 구성은 여전히 동일하게 유지될 수 있으며, 예를 들면, 2배 크기의 연소 챔버 모듈에서는, 2개의 배출 스트림 유입구가 그 다음에 제공될 수도 있어서, 해당 연소 챔버의 유공성 슬리브로부터 멀리 배출 스트림을 전달한다. 게다가, 2개의 처리 재료 유입구는 처리 재료를 유공성 슬리브에 공급할 수도 있다. 이는 동일한 공통 하우징 챔버가 상이한 수의 대형 연소 챔버 모듈 또는 상이한 크기의 연소 챔버 모듈로 채워지게 한다. 이는 적은 수의 공통 부분을 유지하면서 설계 유연성을 제공한다.
각 연소 챔버의 유효 길이는 공통 하우징 챔버 내에 해당 연소 챔버를 장착하는데 사용되는 헤드플레이트 상의 장착부의 깊이를 변경함으로써 변경될 수 있지만, 각 연소 챔버의 방출 개구부는 여전히 정렬된 상태로 유지된다. 유사하게는, 블랭킹 모듈은 하우징 내에 통합되어서, 공통 하우징 챔버의 전체 용량이 필요하지 않은 공간이나 보이드를 채울 수도 있다. 블랭킹 모듈은 점화되거나 퍼지된 유공성 표면을 제공할 수도 있다. 다시, 이는 최소한의 수의 공통 부분을 사용하는 사용자 지정 가능한 장치를 제공한다.
이 배열은 공통 하우징 챔버 내에 독립형의 연소 챔버를 제공하며, 각 연소 챔버는 다른 연소 챔버 모듈의 작동에 영향을 주지 않고 개별적으로 작동 및 제어할 수 있다. 또한, 각 연소 챔버 모듈은 개별적으로 제거 및/또는 교체될 수 있다. 이러한 배열은 공통 구성요소 세트를 사용하여 다양하고 상이한 구성을 허용하는 것을 알 수 있다.
저감 장치
도 1a는 일 실시예에 따른 모듈형 저감 장치(10)의 구성요소를 사시도이다. 도 1b는 파일럿 모듈(20)의 단면도를 제공하는 도 1a를 관통하는 단면도이다. 도 1c는 연소 챔버 모듈(30)의 단면도를 제공하는 도 1a를 관통하는 단면도이다. 도 1d는 연소 챔버 모듈(30)을 보다 상세하게 도시하는 단면도이다.
연소 챔버 모듈(30)이 제공되는 공통 하우징 챔버를 한정하는 하우징(40)이 제공된다. 하우징(40)의 상류측 개구부를 덮는 공통 헤드플레이트(150)가 제공된다. 도 2의 (A)에 알 수 있는 바와 같이, 헤드플레이트(150)는 배출 스트림을 공급하기 위한 배출 스트림 유입구(60)와, 연료와 같은 처리 재료를 공급하기 위한 처리 재료 유입구(70)와, 연료를 공급하기 위한 파일럿 모듈 유입구(110)와, 질소와 같은 모듈 간 퍼지 가스를 공급하기 위한 퍼지 유입구(160)를 수용한다. 하우징(40)의 하류측은 위어(170)가 있으며, 위어는 작동 시에 물과 같은 유체가 흐르는 벽을 구비하는 습식 벽 챔버(180)를 한정한다. 본 예에서, 하우징(40) 내에 2개의 연소 챔버 모듈(30)이 선형으로 배열되어 있지만, 이하에 보다 상세히 설명하는 바와 같이, 공통 하우징 및 공통 헤드플레이트를 공유하는 상이한 구성 및 수의 연소 챔버 모듈(30)이 가능하다.
헤드플레이트(150)와 연소 챔버 모듈(30) 사이에는, 연소 챔버 모듈(30)을 하우징(40) 내에 제자리에 보유하는 장착부(50)가 제공된다. 이 장착부(50)의 깊이는 각 연소 챔버 모듈(30)이 위어(170) 내로 동일한 위치에서 방출되도록 보장하면서, 상이한 길이의 연소 챔버 모듈(30)을 수용하도록 변화할 수 있다.
연소 챔버 모듈(30)은 유공성 슬리브(90)가 내부에 끼워맞춤되는 모듈 하우징(80)을 구비한다. 유공성 슬리브(90)는 공급된 배출 스트림이 내부에서 처리되는 연소 챔버(120)를 한정한다. 각 연소 챔버 모듈(30)에는 처리될 배출 스트림을 해당 연소 챔버 모듈(30)의 연소 챔버 내로 이송하는 배출 스트림 유입구(60)가 구비된다. 유공성 슬리브(90)는 플리넘(100)을 한정하기 위해 모듈 하우징(80)으로부터 약간 멀리 이격된다. 처리 재료 유입구(70)는 연료와 같은 처리 재료를 장착부(50)를 통해 각 연소 챔버 모듈(30)의 플리넘(100) 내로 이송한다. 따라서, 각 연소 챔버 모듈(30)은 본질적으로 독립형이며, 그 작동은 하우징(40) 내의 다른 연소 챔버 모듈(30)에 영향을 미치지 않는다.
도 2의 (B)는 연소 챔버 모듈(30)의 하류측에서 바라본 도면을 도시한다. 도 1d에서도 알 수 있는 바와 같이, 유공성 슬리브(90)는 연소 챔버(120)의 방출 단부에서 원형 숄더부(140)로 종단되는 4개의 발산형 벽(180)에 의존하는 평면형 상류측 천장부(200)를 구비한다. 이는 대체로 사다리꼴 구성을 갖는 연소 챔버(120)를 형성한다. 파일럿 모듈(20)은 유공성 슬리브(90)의 숄더부(140)에 접하는 하류측 방출면(130)을 구비한다.
도 3의 (A) 및 도 3의 (B)는 하우징(40)을 제거한 상태로 연소 챔버 모듈(30)과 파일럿 모듈(20)의 배열을 보다 상세하게 도시한다. 본 예에서는, 연소 챔버 모듈(30)은 동일한 길이를 가지므로, 장착부(50)가 동일한 높이를 갖는다. 조립 동안에 숄더부(140) 및 방출면(130)이 손상되지 않도록 보호하기 위해, 이들에는 연소 챔버 모듈(30) 및 파일럿 모듈(20)이 숄더부(140) 및 방출면(130)에 접촉하지 않고 표면 상에 위치되게 하는 돌출부(190)가 제공된다.
하우징 및 연소 챔버 모듈 구성
도 4의 (A)에서 볼 수 있는 바와 같이, 하우징(40)은 2개의 연소 챔버 모듈(30)과 파일럿 모듈(20)을 수용하도록 구성된다. 연소 챔버 모듈(30)은 단위 크기를 갖도록 간주되므로, 하우징(40)은 파일럿 모듈(20)과 함께 연소 챔버 모듈의 선형 배열 또는 2 × 1 어레이를 위한 공간을 제공하도록 치수설정된다. 이 구성은 2개의 분리된 배출 스트림이 서로 독립적으로 처리되어야 할 때 유용하다. 도 4의 (B)에서 볼 수 있는 바와 같이, 동일한 크기의 하우징(40)은 또한 파일럿 모듈(20)과 함께 2 × 1 단위의 공간을 차지하도록 치수설정된 단일 연소 챔버 모듈(30')을 수용할 수 있다. 이 구성은 보다 큰 흐름의 배출 스트림을 처리해야 할 때 유용하다. 따라서, 동일한 하우징(40)은 2개의 개별 연소 챔버 모듈(30)을 수용하거나, 또는 대안적으로 단일의 보다 큰 연소 챔버 모듈(30')을 수용할 수 있음을 알 수 있다.
도 4의 (C)에서 알 수 있는 바와 같이, 파일럿 모듈(20)과 함께 연소 챔버 모듈(30)의 2 × 2 어레이를 수용하는 보다 큰 하우징(40A)이 제공될 수도 있다. 도 4의 (D)에서 알 수 있는 바와 같이, 동일한 하우징(40A)은 2 × 2 유닛의 공간을 차지하도록 치수설정된 보다 큰 연소 챔버 모듈(30')을 수용할 수 있다. 대안적으로, 하우징(40A)은 도 4의 (E) 및 도 4의 (F)에 도시된 바와 같이, 2개의 연소 챔버 모듈(30') 또는 보다 큰 연소 챔버 모듈(30')과 연소 챔버 모듈(30)의 조합을 수용할 수 있는 것도 인식될 것이다.
도 4의 (G)는 파일럿 모듈(20)과 함께 2 × 3 연소 챔버 모듈(30)의 어레이를 수용하도록 치수설정된 하우징(40B)의 배열을 도시한다. 도 4의 (H)에서 볼 수 있는 바와 같이, 연소 챔버 모듈(30)과 함께 보다 큰 크기의 연소 챔버(30')는 필요에 따라 하우징(40B) 내에 위치될 수도 있다. 하우징(40B)이 또한 연소 챔버 모듈(30), 보다 큰 연소 챔버 모듈(30') 및/또는 보다 큰 연소 챔버 모듈(30'')의 조합을 수용할 수 있는 것으로 인식될 것이다. 또한, 더 큰 연소 챔버 모듈이 제공될 수도 있다는 것이 인식될 것이다.
도 4의 (I)에서 볼 수 있는 바와 같이, 하우징(40C)은 파일럿 모듈(20)과 함께 2 × 4 연소 챔버 모듈(30)의 어레이를 수용하도록 치수설정될 수도 있다. 도 4의 (J)에서 볼 수 있는 바와 같이, 이러한 연소 챔버 모듈(30) 중 일부는 하나 이상의 연소 챔버 모듈(30')과 같은 보다 큰 모듈로 대체될 수 있다. 하우징(40C)이 또한 연소 챔버 모듈(30), 보다 큰 연소 챔버 모듈(30') 및/또는 보다 큰 연소 챔버 모듈(30'')의 조합을 수용할 수 있는 것으로 인식될 것이다. 또한, 더 큰 연소 챔버 모듈이 제공될 수도 있다는 것이 인식될 것이다.
각 연소 챔버 모듈에 대한 개별 파일럿과 같은 대체 파일럿 배열이 제공되는 경우, 하우징(40A 내지 40C)은 파일럿 모듈(20)을 위한 공간을 생략할 수도 있다. 본 예에서 연소 챔버 모듈과 하우징은 사변형을 갖지만, 하우징 내에 어떤 연소 챔버 모듈이 끼워맞춤될 수 있도록 다른 형상이 가능하다는 것이 인식되지만, 테셀레이션식 연소 챔버 모듈은 특히 공간 효율적이며, 퍼지될 연소 챔버 모듈 간 공간을 최소화할 수 있다. 또한, 하우징(40A 내지 40C)의 조합은 보다 큰 저감 장치를 제공하기 위해 배치될 수도 있다.
따라서, 연소 챔버 모듈(30)이 최소 또는 전형적인 배출 스트림 흐름을 처리하기에 적합한 연소 챔버(120)를 제공하도록 치수설정될 수 있으며, 하우징(40)이 임의의 수의 이러한 연소 챔버 모듈(30)을 수용하도록 치수설정될 수 있음을 알 수 있다. 일반적으로 연소 챔버 모듈(30)의 배수인 보다 큰 크기의 연소 챔버 모듈이 상이한 배출 스트림 및/또는 상이한 배출 스트림 흐름을 수용하기 위해 제공될 수도 있다. 그 다음에, 동일한 하우징(40)은 배출 스트림 처리 필요조건에 맞게 필요한 연소 챔버 모듈의 수와 유형을 간단히 통합함으로써 상이한 상황에서 사용될 수 있다. 모든 처리 용량이 필요하지 않은 경우, 그 다음에, 연소 챔버 모듈은 생략되고, 대신에 불필요한 연소 챔버 모듈 대신에 블랭킹 모듈로 대체될 수도 있다. 블랭킹 모듈에는 일반적으로, 연소를 위한 연소 시약(예를 들면, 연료 및 산화제) 또는 블랭킹 모듈 상에 미립자, 분말 또는 응축물이 축적되는 것을 방지하기 위한 퍼지 가스(예를 들면, 질소)를 이송하는 유공성 표면이 제공될 수도 있다.
도 5는 연소 챔버(30, 30')의 유입구(60)에 대한 상이한 유입구 공급 구성을 도시한다. 알 수 있는 바와 같이, 연소 챔버(30)는 연소 챔버(120)의 중앙을 향해 배치된 단일의 기다란 또는 타원형 유입구(60)를 구비할 수도 있다. 보다 큰 연소 챔버(30')는 연소 챔버(120)의 중앙을 향해 배치된 유입구(60)보다 큰 단일의 기다란 또는 타원형 유입구(60'), 다수의 유입구(60), 다수의 보다 작은 원형 유입구(60') 및/또는 필요조건에 적합하도록 상기의 조합을 구비할 수도 있다.
인접한 쌍의 연소 챔버 모듈의 개략적인 측면도인 도 6에서 볼 수 있는 바와 같이, 연소 챔버 모듈(30'') 중 하나는 배출 스트림의 흐름 방향으로 더 짧고, 그 장착부(50')는 결과적으로는, 더 높아져서, 연소 챔버 둘 모두가 동일한 위치에서 하류측 위어(170) 내로 방출되게 한다.
따라서, 표준 하우징이 선택될 수 있고, 다수의 표준화된 부분을 사용하여 처리될 배출 스트림의 예상 유형 및 유량에 맞게 연소 챔버 모듈(30)의 필요된 조합을 파일럿 모듈(20)과 함께 설치할 수 있는 것을 알 수 있다. 작동 시에, 각 연소 챔버 모듈(30)은 자체 배출 스트림뿐만 아니라 자체 처리 재료를 수용한다. 그 다음에, 각 개별 연소 챔버 모듈(30)은 필요에 따라 파일럿 모듈(20)로부터 독립적으로, 함께 또는 그룹으로 제어 및 점화될 수 있다. 이는 일부 연소 챔버 모듈(30)이 해당 연소 챔버 모듈(30)에 의해 처리될 배출 스트림이 없을 때 아이들 상태로 전환되는 반면, 다른 연소 챔버 모듈(30)은 계속 기능할 수 있게 한다.
일부 실시예는 상이한 연소 챔버 모듈을 활용함으로써 동일한 장치에서 다양한 적용으로부터의 가스를 처리하는 능력을 갖는 열처리 시스템을 제공한다. 모듈은 공통 아키텍처를 공유하여 어셈블리를 쉽게 커스터마이징하고 상류측의 기술 변화에 따라 변경될 수 있다. 모듈과 전체 시스템 치수는 프로세스 필요조건에 따라 크게 달라질 수 있다. 모듈은 하류측 가스 처리 구성요소를 공유하여 비용 효율성을 높이고 시스템의 복잡성을 줄인다. 이 디자인에서, 모듈은 보다 큰 플리넘 내로 끼워맞춤된다. 공통 플리넘의 장점은 어셈블리를 진공 밀봉하여 버너 인터페이스를 간소화한다는 점이다.
게다가, 공통 아키텍처는 시스템이 올바른 모듈을 선택함으로써 많은 적용에 매칭되도록 구성되게 하고, 공통 아키텍처는 기존 시스템의 비용 효율적인 변경이 새로운 사양에 충족되게 하고, 시스템 풋프린트가 테셀레이션식 모듈의 증가된 패킹 밀도로 인해 크게 줄어들고, 별도의 버너 장착부/플리넘은 버너 모듈의 비용 효율적인 교체를 허용하고, 별도의 파일럿 모듈은 점화 및 화염 증명(flame proving)을 제공하고, 개별 모듈은 공통 플리넘에 수용되고 상단과 하단이 진공 밀봉될 수 있고, 시스템 상부의 인터페이스 연결부는 풋프린트를 감소시키며, 공통 하류측 가스 처리 구성요소는 비용 효율성을 증가시키고 시스템의 복잡성을 감소시킨다.
10 : 저감 장치
20 : 파일럿 모듈
30 : 연소 챔버 모듈
40 : 하우징
50 : 장착부
60 : 배출 스트림 유입구
70 : 처리 재료 유입구
80 : 모듈형 하우징
90 : 유공성 슬리브
100 : 플리넘
110 : 파일럿 모듈 유입구
120 : 연소 챔버
130 : 방출면
140 : 숄더부
150 : 헤드플레이트
160 : 퍼지 유입구
170 : 위어
180 : 벽
190 : 돌출부
200 : 천장부

Claims (21)

  1. 반도체 처리 도구로부터 배출 스트림을 저감하기 위한 모듈형 저감 장치에 있어서,
    공통 하우징 챔버를 한정하는 하우징과,
    상기 배출 스트림을 처리하기 위해 상기 공통 하우징 챔버 내에 위치 가능한 복수의 연소 챔버 모듈을 포함하며, 각 연소 챔버 모듈은 연소 챔버를 내부에 한정하는 유공성 슬리브를 포함하는
    모듈형 저감 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    적어도 하나의 연소 챔버 모듈은 모듈 단면적을 차지하도록 형상설정 및 치수설정되고, 상기 공통 하우징 챔버는 적어도 복수의 상기 모듈 단면적을 가로질러서 연장되도록 형상설정 및 치수설정되는
    모듈형 저감 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 공통 하우징 챔버는 적어도 복수의 인접한 모듈 단면적을 가로질러서 연장되도록 형상설정 및 치수설정되는
    모듈형 저감 장치.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 공통 하우징 챔버는 인접한 모듈 단면적의 적어도 N × M 어레이를 가로질러서 연장되도록 형상설정 및 치수설정되는
    모듈형 저감 장치.
  5. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공통 하우징 챔버는 상기 복수의 모듈 단면적 및 파일럿 모듈 단면적을 가로질러서 연장되도록 형상설정 및 치수설정되는
    모듈형 저감 장치.
  6. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공통 하우징 챔버는 상기 하우징 챔버의 상류측면을 한정하는 헤드플레이트를 포함하고, 상기 헤드플레이트는 대응하는 모듈 단면적의 중앙을 향해 각각 위치되는 복수의 배출 스트림 유입구를 구비하는
    모듈형 저감 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 헤드플레이트는 대응하는 모듈 단면적의 둘레를 향해 각각 위치되는 복수의 처리 재료 유입구를 구비하는
    모듈형 저감 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 연소 챔버 모듈은 상기 공통 하우징 챔버 내에 해제 가능하게 보유될 수 있는
    모듈형 저감 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 연소 챔버 모듈은 상기 공통 하우징 챔버 내에서 테셀레이션 가능한
    모듈형 저감 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 연소 챔버 모듈은 상이한 크기의 연소 챔버 모듈을 포함하는
    모듈형 저감 장치.
  11. 제 2 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    각 연소 챔버 모듈은 상기 모듈 단면적의 배수를 차지하도록 형상설정 및 치수설정되는
    모듈형 저감 장치.
  12. 제 2 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 하나의 연소 챔버 모듈은 복수의 모듈 단면적을 차지하도록 형상설정 및 치수설정된 다수 배 크기의 연소 챔버 모듈인
    모듈형 저감 장치.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    각 연소 챔버 모듈은 해당 연소 챔버를 둘러싸는 상기 유공성 슬리브를 포함하는
    모듈형 저감 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    각 연소 챔버 모듈은 연소 챔버 플리넘을 한정하기 위해 상기 유공성 슬리브로부터 멀리 위치되고 상기 유공성 슬리브를 둘러싸는 모듈 하우징을 포함하며, 상기 연소 챔버 플리넘은 대응하는 처리 재료 유입구로부터 해당 유공성 슬리브를 통해 해당 연소 챔버 내로 처리 재료를 이송하도록 구성되는
    모듈형 저감 장치.
  15. 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    각 연소 챔버 모듈은 튜브형인
    모듈형 저감 장치.
  16. 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
    각 연소 챔버 모듈은 처리된 배출 스트림을 하류측 처리 장치로 이송하기 위한 유출구를 포함하는
    모듈형 저감 장치.
  17. 제 1 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 하나의 연소 챔버 모듈은 대응하는 배출 스트림 유입구가 연장되는 연소 챔버 장착부를 포함하고, 상기 연소 챔버 장착부는 다른 연소 챔버에 비해 해당 연소 챔버의 내부 길이를 감소시키도록 치수설정되는
    모듈형 저감 장치.
  18. 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,
    상기 공통 하우징 챔버는 상기 복수의 연소 챔버 모듈 주위로 연장되도록 구성된 벽을 포함하고, 상기 벽은 상기 헤드플레이트로부터 상기 하류측 처리 장치로 연장되는
    모듈형 저감 장치.
  19. 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하류측 처리 장치는 상기 공통 하우징 챔버의 하류측에 배치된 위어를 포함하며, 상기 위어는 상기 공통 하우징 챔버의 단면적과 일치하는 단면적을 갖는
    모듈형 저감 장치.
  20. 제 1 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 모듈형 저감 장치는 적어도 하나의 연소 챔버 모듈에 인접하게 상기 공통 하우징 챔버 내에 위치되는 적어도 하나의 블랭킹 모듈을 포함하는
    모듈형 저감 장치.
  21. 방법에 있어서,
    공통 하우징 챔버를 한정하는 하우징을 치수설정하는 것과,
    상기 배출 스트림을 처리하기 위해 상기 공통 하우징 챔버 내에 복수의 연소 챔버 모듈을 위치시키는 것을 포함하며, 각 연소 챔버 모듈은 연소 챔버를 내부에 한정하는 유공성 슬리브를 포함하는
    방법.
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