KR20240034644A - 가스시료의 수분제거장치 - Google Patents

가스시료의 수분제거장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20240034644A
KR20240034644A KR1020230100425A KR20230100425A KR20240034644A KR 20240034644 A KR20240034644 A KR 20240034644A KR 1020230100425 A KR1020230100425 A KR 1020230100425A KR 20230100425 A KR20230100425 A KR 20230100425A KR 20240034644 A KR20240034644 A KR 20240034644A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
valve
pipe body
gas sample
moisture
port
Prior art date
Application number
KR1020230100425A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102655506B1 (ko
Inventor
심창현
이수형
이지선
임지재
윤아현
곽대철
김동우
조호성
Original Assignee
주식회사 케이엔알
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이엔알 filed Critical 주식회사 케이엔알
Publication of KR20240034644A publication Critical patent/KR20240034644A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102655506B1 publication Critical patent/KR102655506B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/40—Concentrating samples
    • G01N1/4022—Concentrating samples by thermal techniques; Phase changes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0011—Sample conditioning
    • G01N33/0016—Sample conditioning by regulating a physical variable, e.g. pressure or temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/40—Concentrating samples
    • G01N1/4022—Concentrating samples by thermal techniques; Phase changes
    • G01N2001/4033—Concentrating samples by thermal techniques; Phase changes sample concentrated on a cold spot, e.g. condensation or distillation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Drying Of Gases (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 있어서 관체에 얼어붙은 얼음알갱이들을 제거 하면서도 가스시료 트랩과 노즐을 바꾸지 않고 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있도록, 가스에 포함된 수분을 얼려 제거하는 얼음형성부(100)가 구비되되, 상기 얼음형성부는 관체(110)와 상기 관체(110)의 내부의 온도를 영하로 강하시키는 온도조절기(130)가 구비되어, 상기 관체의 내부온도를 영하로 유지하면서 상기 관체내부로 수분이 포함된 가스시료를 통과시켜, 상기 가스에 포함된 수분을 얼음으로 상변화 시켜 제거하여 수분이 제거된 가스시료를 회수하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치를 제공한다.

Description

가스시료의 수분제거장치{APPARATUS FOR REMOVING WATER IN THE GAS SAMPLE}
본 발명은 수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 있어서 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거 하면서도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거하면서도, 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거하는 동안 가스시료 트랩과 노즐을 교체하지 않고도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거 할 수 있는 방법에 관한 것이다.
여러 시료를 분석함에 있어서, 시료 내부에 수분이 포함된 상태로 분석장비에 공급되면 상기 수분에 의해 분석에 악영향을 끼치므로, 이를 방지하기 위해 상기 분석장비에 시료를 공급하기 이전에 수분을 제거하게 된다.
시료의 수분을 제거하기 위한 방법으로, 수분 흡수 물질을 이용한 방법, 온도 변화를 이용한 방법 등이 제안된 바 있다.
그러나 상기 방법들만으로는 효과적으로 수분을 제거하기 힘들며, 이를 해결하기 위해 도 1에 도시된 바와 같은 복수개의 냉동 제습수단을 이용한 방법이 제안된 바 있다.
상기 도 1에 도시한 수분제거장치는 시료가 저장되는 시료저장부(10*), 온도를 조절하여 고인 수분이 배출되는 배출부(22*)를 선택적으로 개방하는 솔레노이드밸브(21*)가 형성된 제1제습부(20*); 상기 제1제습부로 시료를 공급하는 공급 펌프(30*); 상기 제1제습부(20*)를 통과한 시료가 이송되어 온도를 조절하여 내벽에 수분이 포집되도록 순차적으로 구비되는 제2제습부(40*) 및 제3제습부(50*); 를 포함하여 형성된다.
상기 수분제거장치는 상기 공급 펌프에 의해 시료가 2중관 구조의 내측 하부로 이송되고, 하부에서 외측으로 이동되어 상부로 이동하여 외부로 배출되며, 온도 조절에 의해 하부에는 수분이 고이게 된다.
이 때, 상기 공급 펌프의 작동 시, 상기 공급 펌프에 의해 제1제습부 내부에 고압이 형성되므로, 시료가 수분과 함께 상기 배출부를 통해 배출되는 것을 방지하기 위하여 상기 배출부에는 솔레노이드밸브가 형성되고, 상기 솔레노이드밸브에 타이머가 구비되어 정기적으로 하측에 고인 수분을 제거하게 된다.
그러나 상기 제1제습부 내지 제3제습부는 온도 조절을 통해 수분을 제거하도록 구비되지만 복수개의 제습부가 형성되고, 각각 온도를 조절하기 위한 수단이 형성되어야 하므로 차지하는 부피가 커질 수 밖에 없으며, 상기 제2제습부 및 제3제습부는 각각 -20 ℃와 -60 ℃ 의 온도로 유지되어야 하므로 이를 유지하기 위한 에너지가 크게 소요되고, 제1제습부를 통과한 시료와 수분은 제2 및 제3제습부를 통과하게 되는데 이 제습부들은 영하권으로 유지하므로 트랩 내부에 수분이 얼어붙어 관체가 막혀 시료가 통과하지 못하는 문제가 발생되므로 수분 트랩을 수시로 교체해 주어야 하며, 대기 습도 등의 주변 요소에 의해 큰 영향을 받게 되어 수분 제거 효과가 달라지는 문제점이 있다.
한편, 한국특허공개번호 제10-2012-0013098호(명칭: 부식성 가스 스크러버 중의 수분제거 시스템)에서는, 공보에 기재된 바와 같이, 유입되는 분석용 시료를 복수의 라인에 선택적으로 분배하는 분배수단과 상기 복수의 라인에 각각 설치되어 시료의 수분을 제거하는 한 쌍의 제습수단을 구비하고, 콘트롤러를 이용하여 상기 시료를 각 라인에 선택적으로 투입함과 동시에 제습을 하도록 된 수분제거 시스템이 기재되어 있다.
이에 따라, 반도체 공정이나 화학 공정 과정에서 배출되는 부식성 가스가 다량 함유된 배출가스의 복식 구조를 통해 교대로 연속적인 수분 제거하도록 되어 있다.
그리고, 한국특허등록번호 제10-1508972호(명칭: 열전도성 플라스틱 냉각관을 구비한 스크러버용 제습장치)에서는, 공보에 기재된 바와 같이, 진공펌프를 통해 메인설비로부터 유입되는 유독성 가스를 포함하는 유해가스를 정화시켜 배기덕트로 배출하는 스크러버와 일체로 설치되거나 상기 배기덕트에 설치되되, 상기 스크러버로부터 배출되는 배기가스가 유입되는 유입구와, 상기 유입구와 연통된 제습공간과, 상기 제습공간과 상기 배기덕트를 연통시키는 배출구가 구비된 제습챔버와, 상기 제습챔버의 제습공간에 다단으로 설치되어 상기 제습공간으로 유입된 배기가스에 포함된 유독성 가스를 냉각시켜 응축시키는 다수의 열전도성 플라스틱 냉각관을 포함하는 제습장치기 기재되어 있다.
또 다른 종래기술을 도 2. 3에 의해 소개하면 수분제거장치(1^)는, 내부에 부식가스가 이송되는 이동공간을 가지며 상기 이동공간으로 부식가스를 유입시키는 유입구(11^)와 외부로 토출하는 토출구(12^)와 상기 이동공간에서 응축된 응축수를 배출하도록 된 배출구(13^)를 가지는 챔버(10^)와, 상기 챔버(10^)에 열을 공급하도록 된 열공급수단(20^)을 가진다.
즉, 상기 열공급수단(20^)에서 발생된 냉각열을 상기 챔버(10^)가 공급받아, 이동공간에서 이동되는 부식가스와 열교환을 통해 응축시켜 부식가스에 함유된 수분을 응축하게 되는 것으로, 특히 반도체 제조 공정이나 화학 공정 등에서 배출되는 부식성 가스에 함유된 수분을 제거하는 것에 적용되어, 부식가스가 수분이 포함된 상태에서 분석장비에 투입되는 것을 방지하게 된다.
이와 같이 응축된 응축수는 상기 배출구(13^)를 통해 배출되어 별도로 처리된다.
이러한 종래기술은 부식가스의 수분제거장치(1^)에서, 상기한 챔버(10^)는, 상단에 사이 간격을 가지면서 상기 유입구(11^)와 토출구(12^)가 각각 구비되며 내부에 상기 이동공간이 상기 유입구(11^)와 토출구(12^)와 연통되게 형성되고 하단에 상기 이동공간과 연통되는 상기 배출구(13^)가 구비된 '통' 형상의 몸체(14^)를 가진다.
즉, 상기 유입구(11^)를 통해 유입되는 부식가스가 상기 토출구(12^)로 이동되어 토출 되는 중에 응축되고, 응축된 응축수는 상기 배출구(13^)를 통해 배출된다.
이에 따라 수분제거장치(1^)에서, 상기 몸체(14^)의 이동공간에는, 상기 유입구(11^)와 토출구(12^)의 사이를 구획하여 분리하되 하단의 일부가 연통되어 부식가스가 상기 유입구(11^) 측에서 토출구(12^)로 이동하도록 구비된 격벽(15^)이 마련된다.
그러나 이러한 응축수들은 관체에 얼어붙어 문제가 발생할 수 있어 수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 있어서 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거 하면서도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 방법이 요구된다.
또한 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거하는 동안 가스시료 트랩과 노즐을 교체하지 않고도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 방법이 요구된다.
참고로 종래기술을 설명할 때는 도번의 중복나열을 피하기 위해 도번과 함께 * 또는 ^을 첨자로 사용하였음을 밝힌다.
1. 한국특허등록번호 제10-0922630호 2. 한국특허등록번호 제10-1667882호 3. 한국특허공개번호 제10-2012-0013098호 4.한국특허등록번호 제10-1508972호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 목적은, 수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 있어서 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거 하면서도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 수분제거장치를 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 목적은, 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거하는 동안 가스시료 트랩과 노즐을 교체하지 않고도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 수분제거장치를 제공하는 것이다.
본 출원이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 상술된 것에 제한되지 않는다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 있어서 상기 장치에는 가스에 포함된 수분을 얼려 제거하는 얼음형성부(100)가 구비되되, 상기 얼음형성부는 관체(110)와 상기 관체(110)의 내부의 온도를 영하로 강하시키는 온도조절기(130)가 구비되어, 상기 관체의 내부온도를 영하로 유지하면서 상기 관체내부로 수분이 포함된 가스시료를 통과시켜, 상기 가스에 포함된 수분을 얼음으로 상변화 시켜 제거하여 수분이 제거된 가스시료를 회수하는 것을 특징으로 한다.
이때 상기 관체 내부면에는 수분의 상변화로 인해 생성된 얼음알갱이가 달라붙으며, 상기 장치에는 상기 관체 내부면에서 얼음알갱이를 제거하기 위한 얼음제거부가 구비된 것을 특징으로 한다.
또한 상기 관체를 감싸는 판재(120)가 구비되고 상기 온도조절기(130)는 상기 판재에 부착되어 상기 판재의 온도를 영하 또는 영상으로 변화시켜 상기 관체내부의 온도를 제어하며 이때 상기 관체의 재질은 유리 또는 스테인레스인 것을 특징으로 한다.
또한 얼음제거는 상기 온도조절기에 의해 판재의 온도를 영상으로 올림에 따라 상기 내부면의 온도가 영상으로 되며, 상기 내부면에 달라붙은 얼음알갱이가 상기 내부면으로부터 분리되고, 압축가스를 상기 내부통로로 투입시켜 상기 분리되면서 녹는 얼음알갱이를 제거하는 것을 특징으로 한다.
또한 얼음형성부(100)은 제1얼음형성부(100a)와 제2얼음형성부(100b)로 형성되어 제1얼음형성부(100a)의 제1관체(110a)를 통해 가스시료의 수분을 제거함에 따라 제1관체 내부통로에 얼음알갱이가 쌓여 협소해지면 얼음제거부를 통해 상기 제1관체의 얼음알갱이를 제거하면서 동시에 제2얼음형성부를 통해 가스시료의 수분을 제거하고, 다시 제2얼음형성부(100b)의 제2관체(110b) 내부통로에 얼음알갱이가 쌓여 협소해지면 얼음제거부를 통해 상기 제2관체 내부통로의 얼음알갱이를 제거하면서 동시에 제1얼음형성부의 제1관체(110a)를 통해 가스시료의 수분을 제거하여 연속적으로 가스시료의 수분을 제거하는 것을 특징으로 한다.
또한 제1얼음형성부의 제1관체와 제2얼음형성부의 제2관체는 하나의 가스시료입구(A)을 통해 가스시료가 공급되고, 상기 제1관체 및 제2관체를 통해 수분이 제거된 가스시료는 하나의 가스시료출구(B)로 배출되도록 형성됨에 따라 가스시료입구를 바꾸지 않고도 연속하여 가스시료를 제1관체와 제2관체에 번갈이 공급하고, 상기 제1관체와 상기 제2관체에서 배출되는 수분이 제거된 가스시료가 하나의 가스시료출구로 배출됨에 따라 가스시료출구를 바꾸지 않고도 연속하여 수분이 제거된 가스시료를 배출하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 가스시료입구(A)에는 제1밸브(1)가 배치됨에 따라 상기 제1밸브의 제1a구(1a)는 가스시료입구와 직결되며 상기 제1밸브의 제1b구(1b)는 상기 제1관체(110a)의 제1관체입구(110a1) 연통되며, 상기 제1밸브의 제1c구(1c)는 상기 제2관체(110b)의 제2관체입구(110b1) 연통되어 상기 가스시료입구(A)는 상기 하나의 제1_3웨어밸브를 통해 제1관체 입구(110a1)와 제2관체입구(110b1)를 연결하며, 상기 가스시료출구에는 제2밸브(2)가 배치됨에 따라 상기 제2밸브의 제2a구(2a)는 가스시료출구(B)와 직결되고 상기 제2밸브의 제2b구(2b)는 상기 제1관체(110a)의 제1관체출구(110a2) 연통되며, 상기 제2밸브의 제2c구(2c)는 상기 제2관체(110b)의 제2관체출구(110b2) 연통되어 상기 가스시료출구(B)는 상기 하나의 제2밸브를 통해 제1관체 출구(110a2)와 제2관체 출구(110b2)를 연결하는 것을 특징으로 한다.
또한 제1얼음형성부의 제1관체와 제2얼음형성부의 제2관체는 하나의 압축공기입구(C)을 통해 압축공기가 공급되도록 형성됨에 따라 압축공기입구(C)를 바꾸지 않고도 제1관체 및 제2관체에 압축공기를 공급하며,
제1얼음형성부의 제1관체와 제2얼음형성부의 제2관체는 하나의 압축공기출구(D)을 통해 압축공기가 배출되도록 형성됨에 따라 압축공기출구(D)를 바꾸지 않고도 제1관체 및 제2관체에서 배출되는 수분이 섞여있는 얼음알갱이 혹은 수분을 하나의 압축공기출구로 배출하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 제1밸브의 제1b구(1b)와 상기 제1관체(110a)의 제1관체입구(110a1) 사이에는 제5밸브(5)가 배치됨에 따라, 제1밸브의 제1b구(1b)는 제5밸브(5)의 제5b구(5b)와 연결되고, 제5밸브(5)의 제5c구(5c)는 제1관체입구(110a1)와 연결되며,
상기 제1밸브의 제1c구(1c)와 상기 제2관체(110b)의 제1관체입구(110b1)사이에는 제6밸브(6)가 배치됨에 따라, 제1밸브의 제1c구(1c)는 제6밸브(6)의 제6b구(6b)와 연결되고, 제6밸브(6)의 제6c구(6c)는 제2관체입구(110b1)와 연결되며,
상기 제1관체(110a)의 제1관체출구(110a2)와 상기 제2밸브의 제2b입구(2b)사이에는 제7밸브(7)가 배치됨에 따라, 상기 제1관체출구(110a2)는 제7밸브의 제7b구(7b)와 연결되고, 제7밸브(7)의 제7c구(7c)는 상기 제2밸브의 제2b구(2b)와 연결되며,
상기 제2관체(110b)의 제2관체출구(110b2)와 상기 제2밸브의 제2c구(2c)사이에는 제8밸브(8)가 배치됨에 따라, 상기 제2관체출구(110b2)는 제8밸브의 제8b구(8b)와 연결되고, 제8밸브(8)의 제8c구(8c)는 상기 제2밸브의 제2c구(2c)와 연결되어 상기 압축공기가 상기 제1관체 및 상기 제2관체로 공급되는 통로를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 압축공기입구(C)에는 제3밸브(3)가 배치됨에 따라 상기 제3밸브의 제3a구(3a)는 압축공기입구와 직결되며 상기 제3밸브(3)의 제3b구(3b)는 제5밸브(5)의 제5a구(5a)와 연통되고, 상기 제3밸브(3)의 제3c구(3c)는 제6밸브(6)의 제6a구(6a)와 연통되며,
상기 압축공기출구(D)에는 제4밸브(4)가 배치됨에 따라 상기 제4밸브의 제4a구(4a)는 압축공기출구와 직결되며 상기 제4밸브(4)의 제4b구(4b)는 제7밸브(7)의 제7a구(7a)와 연통되고, 상기 제4밸브(4)의 제4c구(4c)는 제8밸브(8)의 제8a구(8a)와 연통되어, 상기 압축공기가 상기 제1관체 및 상기 제2관체로 공급되는 통로를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한 수분이 함유된 가스시료가 제1관체(110a)로 공급되어 수분이 제거될 때는, 상기 제1밸브의 제1c구와 제5밸브의 제5a구와 제7밸브의 제7a구와 제2밸브의 제2c구가 off 되고, 제1밸브의 제1a구 및 제1b구와, 제5밸브의 제5b구 및 제5c구와, 제7밸브의 제7b구 및 제7c구와, 제2밸브의 제2a구 및 제2b구가 on 되어
상기 가스시료입구(A)에서 공급된 수분이 함유된 가스시료는 제1밸브의 제1a구와 제1b구를 통과한 후 제5밸브의 제5b구와 제5c구를 통과하며 이후에 제1관체(110a)를 통과하면서 수분이 제거되고, 다시 제7밸브의 제7b구 및 제7c구를 통과한 후, 제2밸브의 제2b구와 제2a구를 거쳐 가스시료 출구(B)로 배출되며 이때 상기 제1관체(110a)는 영하로 유지되도록 관리되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 제1관체(110a)로 수분이 함유된 가스시료에서 수분이 제거될 때는 상기 제2관체(110b)에는 압축공기를 공급하여 제2관체 내부에 형성된 알음알갱이를 제거하며, 이때 상기 제3밸브의 제3b구와 제6밸브의 제6b구와 제8밸브의 제8c구와 제4밸브의 제4b구는 off 되고, 제3밸브의 제3a구 및 제3c구와, 제6밸브의 제6a구 및 제6c구와, 제8밸브의 제8b구 및 제8a구와, 제4밸브의 제4c구 및 제4a구가 on 되어 상기 압축공기입구(C)에서 공급된 압축공기는 제3밸브의 제3a구 및 제3c구와, 제6밸브의 제6a구 및 제6c구를 통화한 후 제2관체(110b)를 통과하면서 얼음알갱이 혹은 수분을 제거하고 제8밸브의 제8b구 및 제8a구와, 제4밸브의 제4c구 및 제4a구를 거쳐 압축공기출구(D)로 배출되며, 이때 상기 제2관체(110b)는 영상으로 유지되도록 제어되는 것을 특징으로 한다.
또한 수분이 함유된 가스시료가 제2관체(110b)로 공급되어 수분이 제거될 때는, 상기 제1밸브의 제1b구와 제6밸브의 제6a구와 제8밸브의 제8a구와 제2밸브의 제2b구가 off 되고, 제1밸브의 제1a구 및 제1c구와, 제6밸브의 제6b구 및 제6c구와, 제8밸브의 제8b구 및 제8c구와, 제2밸브의 제2a구 및 제2c구가 on 되어 상기 가스시료입구(A)에서 공급된 수분이 함유된 가스시료는 제1밸브의 제1a구와 제1c구를 통과한 후 제6밸브의 제6b구와 제6c구를 통과하며 이후에 제2관체(110b)를 통과하면서 수분이 제거되고, 다시 제8밸브의 제8b구 및 제8c구를 통과한 후, 제2밸브의 제2c구와 제2a구를 거쳐 가스시료 출구(B)로 배출되며 이때 상기 제2관체(110b)는 영하로 유지되도록 관리되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 제2관체(110b)로 수분이 함유된 가스시료에서 수분이 제거될 때는 상기 제1관체(110a)에는 압축공기를 공급하여 제1관체 내부에 형성된 알음알갱이를 제거하며, 이때 상기 제3밸브의 제3c구와 제5밸브의 제5b구와 제7밸브의 제7c구와 제4밸브의 제4c구는 off 되고, 제3밸브의 제3a구 및 제3b구와, 제5밸브의 제5a구 및 제5c구와, 제7밸브의 제7b구 및 제8a구와, 제4밸브의 제4b구 및 제4a구가 on 되어 상기 압축공기입구(C)에서 공급된 압축공기는 제3밸브의 제3a구 및 제3b구와, 제5밸브의 제5a구 및 제5c구를 통화한 후 제1관체(110a)를 통과하면서 얼음알갱이 혹은 수분을 제거하고 제7밸브의 제7b구 및 제8a구와, 제4밸브의 제4b구 및 제4a구를 거쳐 압축공기출구(D)로 배출되며, 이때 상기 제1관체(110a)는 영상으로 유지되도록 제어되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 제1관체의 온도를 높이거나 내리기 위한 매개체로 상기 제1관체를 감싸는 제1판재(120a)가 구비되고 상기 제1판재(120a)의 온도의 온도를 올리거나 내리기 위한 제1온도조절기(130a)는 전원을 인가하면 온도가 떨어지고 전원을 차단하면 온도가 올라가는 열전소자를 활용하고, 상기 제2관체의 온도를 높이거나 내리기 위한 매개체로 상기 제2관체를 감싸는 제2판재(120b)가 구비되고 상기 제2판재(120b)의 온도의 온도를 올리거나 내리기 위한 제2온도조절기(130b)는 전원을 인가하면 온도가 떨어지고 전원을 차단하면 온도가 올라가는 열전소자를 활용하는 것을 특징으로 한다.
본 출원의 실시 예에 따르면, 본 발명은 수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 있어서 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거 하면서도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거하는 동안 가스시료 트랩과 노즐을 교체하지 않고도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 효과가 있다.
도1 내지 3은 종래의 수분제거장치를 도시한 개략도이다.
도4는 본 발명에 따른 가스시료의 수분제거장치를 도시한 개략도이다.
도5은 본 발명에 따른 제1관체에서의 가스시료 수분제거과정을 도시한 개략도이다.
도6는 본 발명에 따른 제2관체에서의 가스시료 수분제거과정을 도시한 개략도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시 예 들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 있어서, 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거 하면서도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 방법을 제공하며, 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거하는 동안 가스시료 트랩과 노즐을 교체하지 않고도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 가스시료의 수분제거장치를 제공한다.
종래의 도1과 같은 가스시료의 수분제거 과정에서는 수분을 제거하는 트랩 내부에 수분이 얼어붙어 관체가 막혀 시료가 통과하지 못하는 문제가 발생되므로 수분 트랩을 수시로 교체하여야 하는 경우가 많았다.
이에 본 발명의 가스시료의 수분제거장치는 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거 하면서도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 방법이 제공된다.
또한 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거하는 동안 가스시료 트랩과 노즐을 교체하지 않고도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 방법을 제공할 수 있는 방법이 제공된다.
이하에서 도 4 내지 도 6를 참고하여 본 발명의 수분이 포함된 가스시료의 수분제거장치에서 수분을 제거하는 방법을 설명하도록 한다.
도 4에 도시된 본 발명의 수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치는 가스에 포함된 수분을 얼려 제거하는 얼음형성부(100)가 구비되되, 상기 얼음형성부는 관체(110)와 상기 관체(110)의 내부의 온도를 영하로 강하시키는 온도조절기(130)가 구비되어, 상기 관체의 내부온도를 영하로 유지하면서 상기 관체내부로 수분이 포함된 가스시료를 통과시켜, 상기 가스에 포함된 수분을 얼음으로 상변화 시켜 제거하여 수분이 제거된 가스시료를 회수하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 관체 내부면에는 수분의 상변화로 인해 생성된 얼음알갱이가 달라붙으며, 상기 장치에는 상기 관체 내부면에서 얼음알갱이를 제거하기 위한 얼음제거부를 포함한다.
그리고 상기 관체를 감싸는 판재(120)가 구비되고 상기 온도조절기(130)는 상기 판재에 부착되어 상기 판재의 온도를 영하 또는 영상으로 변화시켜 상기 관체내부의 온도를 제어하며 이때 상기 관체의 재질은 유리 또는 스테인레스를 포함한다.
이때 얼음제거는 상기 온도조절기에 의해 판재의 온도를 영상으로 올림에 따라 상기 내부면의 온도가 영상으로 되며, 상기 내부면에 달라붙은 얼음알갱이가 상기 내부면으로부터 분리되고, 압축가스를 상기 내부통로로 투입시켜 상기 분리되면서 녹는 얼음알갱이를 제거하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 제1관체의 온도를 높이거나 내리기 위한 매개체로는 상기 제1관체를 감싸는 제1판재(120a)가 구비되고 상기 제1판재(120a)의 온도의 온도를 올리거나 내리기 위한 제1온도조절기(130a)는 전원을 인가하면 온도가 떨어지고 전원을 차단하면 온도가 올라가는 열전소자를 활용하고,
상기 제2관체의 온도를 높이거나 내리기 위한 매개체로 상기 제2관체를 감싸는 제2판재(120b)가 구비되고 상기 제2판재(120b)의 온도의 온도를 올리거나 내리기 위한 제2온도조절기(130b)는 전원을 인가하면 온도가 떨어지고 전원을 차단하면 온도가 올라가는 열전소자를 활용하는 것을 특징으로 한다.
다음으로 도5에 도시된 바와 같이 상기 얼음형성부(100)은 제1얼음형성부(100a)와 제2얼음형성부(100b)로 형성되어 제1얼음형성부(100a)의 제1관체(110a)를 통해 가스시료의 수분을 제거함에 따라 제1관체 내부통로에 얼음알갱이가 쌓여 협소해지면 얼음제거부를 통해 상기 제1관체의 얼음알갱이를 제거하면서 동시에 제2얼음형성부를 통해 가스시료의 수분을 제거하고, 다시 제2얼음형성부(100b)의 제2관체(110b) 내부통로에 얼음알갱이가 쌓여 협소해지면 얼음제거부를 통해 상기 제2관체 내부통로의 얼음알갱이를 제거하면서 동시에 제1얼음형성부의 제1관체(110a)를 통해 가스시료의 수분을 제거하여 연속적으로 가스시료의 수분을 제거하는 것을 특징으로 한다.
이를 통하여 제1얼음형성부의 제1관체와 제2얼음형성부의 제2관체는 하나의 가스시료입구(A)을 통해 가스시료가 공급되고, 상기 제1관체 및 제2관체를 통해 수분이 제거된 가스시료는 하나의 가스시료출구(B)로 배출되도록 형성됨에 따라 가스시료입구를 바꾸지 않고도 연속하여 가스시료를 제1관체와 제2관체에 번갈이 공급하고, 상기 제1관체와 상기 제2관체에서 배출되는 수분이 제거된 가스시료가 하나의 가스시료출구로 배출됨에 따라 가스시료출구를 바꾸지 않고도 연속하여 수분이 제거된 가스시료를 배출하는 것을 특징으로 한다.
나아가 상기 제1얼음형성부의 제1관체와 제2얼음형성부의 제2관체는 하나의 압축공기입구(C)을 통해 압축공기가 공급되도록 형성됨에 따라 압축공기입구(C)를 바꾸지 않고도 제1관체 및 제2관체에 압축공기를 공급하며, 제1얼음형성부의 제1관체와 제2얼음형성부의 제2관체는 하나의 압축공기출구(D)을 통해 압축공기가 배출되도록 형성됨에 따라 압축공기출구(D)를 바꾸지 않고도 제1관체 및 제2관체에서 배출되는 수분이 섞여있는 얼음알갱이 혹은 수분을 하나의 압축공기출구로 배출되도록 하는 것이 바람직하다.
이와 같은 상기 제1관체와 제2관체에는 각 밸브가 구비되어 있어 가스시료를 각 관체에 번갈아 공급할 수 있게 되는데, 구체적으로 도2에 도시된 바와 같이 상기 가스시료입구(A)에는 제1밸브(1)가 배치됨에 따라 상기 제1밸브의 제1a구(1a)는 가스시료입구와 직결되며 상기 제1밸브의 제1b구(1b)는 상기 제1관체(110a)의 제1관체입구(110a1) 연통되며, 상기 제1밸브의 제1c구(1c)는 상기 제2관체(110b)의 제2관체입구(110b1) 연통되어 상기 가스시료입구(A)는 상기 하나의 제1_3웨어밸브를 통해 제1관체 입구(110a1)와 제2관체입구(110b1)를 연결하며, 상기 가스시료출구에는 제2밸브(2)가 배치됨에 따라 상기 제2밸브의 제2a구(2a)는 가스시료출구(B)와 직결되고 상기 제2밸브의 제2b구(2b)는 상기 제1관체(110a)의 제1관체출구(110a2) 연통되며, 상기 제2밸브의 제2c구(2c)는 상기 제2관체(110b)의 제2관체출구(110b2) 연통되어 상기 가스시료출구(B)는 상기 하나의 제2밸브를 통해 제1관체 출구(110a2)와 제2관체 출구(110b2)를 연결할 수 있다.
그리고 상기 제1밸브의 제1b구(1b)와 상기 제1관체(110a)의 제1관체입구(110a1) 사이에는 제5밸브(5)가 배치됨에 따라, 제1밸브의 제1b구(1b)는 제5밸브(5)의 제5b구(5b)와 연결되고, 제5밸브(5)의 제5c구(5c)는 제1관체입구(110a1)와 연결되며,
상기 제1밸브의 제1c구(1c)와 상기 제2관체(110b)의 제1관체입구(110b1)사이에는 제6밸브(6)가 배치됨에 따라, 제1밸브의 제1c구(1c)는 제6밸브(6)의 제6b구(6b)와 연결되고, 제6밸브(6)의 제6c구(6c)는 제2관체입구(110b1)와 연결되며,
상기 제1관체(110a)의 제1관체출구(110a2)와 상기 제2밸브의 제2b입구(2b)사이에는 제7밸브(7)가 배치됨에 따라, 상기 제1관체출구(110a2)는 제7밸브의 제7b구(7b)와 연결되고, 제7밸브(7)의 제7c구(7c)는 상기 제2밸브의 제2b구(2b)와 연결되며,
상기 제2관체(110b)의 제2관체출구(110b2)와 상기 제2밸브의 제2c구(2c)사이에는 제8밸브(8)가 배치됨에 따라, 상기 제2관체출구(110b2)는 제8밸브의 제8b구(8b)와 연결되고, 제8밸브(8)의 제8c구(8c)는 상기 제2밸브의 제2c구(2c)와 연결되어, 상기 압축공기가 상기 제1관체 및 상기 제2관체로 공급되는 통로를 구비하는 것이 바람직하다.
또한 상기 압축공기입구(C)에는 제3밸브(3)가 배치됨에 따라 상기 제3밸브의 제3a구(3a)는 압축공기입구와 직결되며 상기 제3밸브(3)의 제3b구(3b)는 제5밸브(5)의 제5a구(5a)와 연통되고, 상기 제3밸브(3)의 제3c구(3c)는 제6밸브(6)의 제6a구(6a)와 연통되며,
상기 압축공기출구(D)에는 제4밸브(4)가 배치됨에 따라 상기 제4밸브의 제4a구(4a)는 압축공기출구와 직결되며 상기 제4밸브(4)의 제4b구(4b)는 제7밸브(7)의 제7a구(7a)와 연통되고, 상기 제4밸브(4)의 제4c구(4c)는 제8밸브(8)의 제8a구(8a)와 연통되어, 상기 압축공기가 상기 제1관체 및 상기 제2관체로 공급되는 통로를 구비하는 것이 바람직하다.
다음으로 밸브가 작동되는 방식에 관하여 수분이 함유된 가스시료가 제1관체(110a)로 공급되어 수분이 제거되는 모습은 도5에, 제2관체(110b)로 공급되어 수분이 제거되는 모습은 도6에 도시된 바와 같아.
구체적으로 수분이 함유된 가스시료가 제1관체(110a)로 공급되어 수분이 제거될 때는, 상기 제1밸브의 제1c구와 제5밸브의 제5a구와 제7밸브의 제7a구와 제2밸브의 제2c구가 off 되고, 제1밸브의 제1a구 및 제1b구와, 제5밸브의 제5b구 및 제5c구와, 제7밸브의 제7b구 및 제7c구와, 제2밸브의 제2a구 및 제2b구가 on 되어
상기 가스시료입구(A)에서 공급된 수분이 함유된 가스시료는 제1밸브의 제1a구와 제1b구를 통과한 후 제5밸브의 제5b구와 제5c구를 통과하며 이후에 제1관체(110a)를 통과하면서 수분이 제거되고, 다시 제7밸브의 제7b구 및 제7c구를 통과한 후, 제2밸브의 제2b구와 제2a구를 거쳐 가스시료 출구(B)로 배출되며 이때 상기 제1관체(110a)는 영하로 유지되도록 관리되는 것이 바람직하다.
상기 제1관체(110a)로 수분이 함유된 가스시료에서 수분이 제거될 때는 상기 제2관체(110b)에는 압축공기를 공급하여 제2관체 내부에 형성된 알음알갱이를 제거하며, 이때 상기 제3밸브의 제3b구와 제6밸브의 제6b구와 제8밸브의 제8c구와 제4밸브의 제4b구는 off 되고, 제3밸브의 제3a구 및 제3c구와, 제6밸브의 제6a구 및 제6c구와, 제8밸브의 제8b구 및 제8a구와, 제4밸브의 제4c구 및 제4a구가 on 되어
상기 압축공기입구(C)에서 공급된 압축공기는 제3밸브의 제3a구 및 제3c구와, 제6밸브의 제6a구 및 제6c구를 통화한 후 제2관체(110b)를 통과하면서 얼음알갱이 혹은 수분을 제거하고 제8밸브의 제8b구 및 제8a구와, 제4밸브의 제4c구 및 제4a구를 거쳐 압축공기출구(D)로 배출되며, 이때 상기 제2관체(110b)는 영상으로 유지되도록 제어되는 것이 바람직하다.
반대로 수분이 함유된 가스시료가 제2관체(110b)로 공급되어 수분이 제거될 때는, 도4에 도시된 바와 같이, 상기 제1밸브의 제1b구와 제6밸브의 제6a구와 제8밸브의 제8a구와 제2밸브의 제2b구가 off 되고, 제1밸브의 제1a구 및 제1c구와, 제6밸브의 제6b구 및 제6c구와, 제8밸브의 제8b구 및 제8c구와, 제2밸브의 제2a구 및 제2c구가 on 되어,
상기 가스시료입구(A)에서 공급된 수분이 함유된 가스시료는 제1밸브의 제1a구와 제1c구를 통과한 후 제6밸브의 제6b구와 제6c구를 통과하며 이후에 제2관체(110b)를 통과하면서 수분이 제거되고, 다시 제8밸브의 제8b구 및 제8c구를 통과한 후, 제2밸브의 제2c구와 제2a구를 거쳐 가스시료 출구(B)로 배출되며 이때 상기 제2관체(110b)는 영하로 유지되도록 관리되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 제2관체(110b)로 수분이 함유된 가스시료에서 수분이 제거될 때는 상기 제1관체(110a)에는 압축공기를 공급하여 제1관체 내부에 형성된 알음알갱이를 제거하며, 이때 상기 제3밸브의 제3c구와 제5밸브의 제5b구와 제7밸브의 제7c구와 제4밸브의 제4c구는 off 되고, 제3밸브의 제3a구 및 제3b구와, 제5밸브의 제5a구 및 제5c구와, 제7밸브의 제7b구 및 제8a구와, 제4밸브의 제4b구 및 제4a구가 on 되어,
상기 압축공기입구(C)에서 공급된 압축공기는 제3밸브의 제3a구 및 제3b구와, 제5밸브의 제5a구 및 제5c구를 통화한 후 제1관체(110a)를 통과하면서 얼음알갱이 혹은 수분을 제거하고 제7밸브의 제7b구 및 제8a구와, 제4밸브의 제4b구 및 제4a구를 거쳐 압축공기출구(D)로 배출되며, 이때 상기 제1관체(110a)는 영상으로 유지되도록 제어되는 것이 바람직하다.
이를 통하여 본 발명은, 수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 있어서, 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거 하면서도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있고, 얼어붙은 관체의 얼음알갱이들을 제거하는 동안 가스시료 트랩과 노즐을 교체하지 않고도 연속적으로 가스시료의 수분을 제거할 수 있는 가스시료의 수분제거장치를 제공한다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
1 : 제1밸브 2 : 제2밸브
3 : 제3밸브 4 : 제4밸브
5 : 제5밸브 6 : 제6밸브
7 : 제7밸브 8 : 제8밸브
100 : 얼음형성부 100a : 제1얼음형성부
100b : 제2얼음형성부 110 : 관체
110a : 제1관체 110b : 제2관체
120 : 판재 120a : 제1판재
120b : 제2판재 130 : 온도조절기
130a : 제1온도조절기 130b : 제2온도조절기

Claims (16)

  1. 수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 있어서,
    상기 장치에는 가스에 포함된 수분을 얼려 제거하는 얼음형성부(100)가 구비되되, 상기 얼음형성부는 관체(110)와 상기 관체(110)의 내부의 온도를 영하로 강하시키는 온도조절기(130)가 구비되어, 상기 관체의 내부온도를 영하로 유지하면서 상기 관체내부로 수분이 포함된 가스시료를 통과시켜, 상기 가스에 포함된 수분을 얼음으로 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 관체 내부면에는 수분의 상변화로 인해 생성된 얼음알갱이가 달라붙는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치. .
  3. 제2항에 있어서,
    상기 관체를 감싸는 판재(120)가 구비되고 상기 온도조절기(130)는 상기 판재에 부착되어 상기 판재의 온도를 영하 또는 영상으로 변화시켜 상기 관체내부의 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  4. 제3항에 있어서,
    얼음제거는 상기 온도조절기에 의해 판재의 온도를 영상으로 올림에 따라 상기 내부면의 온도가 영상으로 되며, 상기 내부면에 달라붙은 얼음알갱이가 상기 내부면으로부터 분리되어 제거하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  5. 제4항에 있어서
    얼음형성부(100)은 제1얼음형성부(100a)와 제2얼음형성부(100b)로 형성되어 제1얼음형성부(100a)의 제1관체(110a)를 통해 가스시료의 수분을 제거함에 따라 제1관체 내부통로에 얼음알갱이가 쌓여 협소해지면 얼음제거부를 통해 상기 제1관체의 얼음알갱이를 제거하면서 동시에 제2얼음형성부를 통해 가스시료의 수분을 제거하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  6. 수분이 포함된 가스시료에서 수분을 제거하는 장치에 있어서,
    상기 장치에는 가스에 포함된 수분을 얼려 제거하는 얼음형성부(100)가 구비되되, 상기 얼음형성부는 관체(110)와 상기 관체(110)의 내부의 온도를 영하로 강하시키는 온도조절기(130)가 구비되어, 상기 관체의 내부온도를 영하로 유지하면서 상기 관체내부로 수분이 포함된 가스시료를 통과시켜, 상기 가스에 포함된 수분을 얼음으로 상변화 시켜 제거하여 수분이 제거된 가스시료를 회수하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  7. 제1항 또는 제6항에 있어서,
    상기 관체 내부면에는 수분의 상변화로 인해 생성된 얼음알갱이가 달라붙으며, 상기 장치에는 상기 관체 내부면에서 얼음알갱이를 제거하기 위한 얼음제거부가 구비된 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치. .
  8. 제7항에 있어서,
    상기 관체를 감싸는 판재(120)가 구비되고 상기 온도조절기(130)는 상기 판재에 부착되어 상기 판재의 온도를 영하 또는 영상으로 변화시켜 상기 관체내부의 온도를 제어하며 이때 상기 관체의 재질은 유리 또는 스테인레스인 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  9. 제8항에 있어서,
    얼음제거는 상기 온도조절기에 의해 판재의 온도를 영상으로 올림에 따라 상기 내부면의 온도가 영상으로 되며, 상기 내부면에 달라붙은 얼음알갱이가 상기 내부면으로부터 분리되고, 압축가스를 상기 내부통로로 투입시켜 상기 분리되면서 녹는 얼음알갱이를 제거하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  10. 제9항에 있어서
    얼음형성부(100)은 제1얼음형성부(100a)와 제2얼음형성부(100b)로 형성되어 제1얼음형성부(100a)의 제1관체(110a)를 통해 가스시료의 수분을 제거함에 따라 제1관체 내부통로에 얼음알갱이가 쌓여 협소해지면 얼음제거부를 통해 상기 제1관체의 얼음알갱이를 제거하면서 동시에 제2얼음형성부를 통해 가스시료의 수분을 제거하고,
    다시 제2얼음형성부(100b)의 제2관체(110b) 내부통로에 얼음알갱이가 쌓여 협소해지면 얼음제거부를 통해 상기 제2관체 내부통로의 얼음알갱이를 제거하면서 동시에 제1얼음형성부의 제1관체(110a)를 통해 가스시료의 수분을 제거하여 연속적으로 가스시료의 수분을 제거하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  11. 제10항에 있어서
    제1얼음형성부의 제1관체와 제2얼음형성부의 제2관체는 하나의 가스시료입구(A)을 통해 가스시료가 공급되고, 상기 제1관체 및 제2관체를 통해 수분이 제거된 가스시료는 하나의 가스시료출구(B)로 배출되도록 형성됨에 따라 가스시료입구를 바꾸지 않고도 연속하여 가스시료를 제1관체와 제2관체에 번갈이 공급하고,
    상기 제1관체와 상기 제2관체에서 배출되는 수분이 제거된 가스시료가 하나의 가스시료출구로 배출됨에 따라 가스시료출구를 바꾸지 않고도 연속하여 수분이 제거된 가스시료를 배출하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  12. 제11항에 있어서
    상기 가스시료입구(A)에는 제1밸브(1)가 배치됨에 따라 상기 제1밸브의 제1a구(1a)는 가스시료입구와 직결되며 상기 제1밸브의 제1b구(1b)는 상기 제1관체(110a)의 제1관체입구(110a1) 연통되며, 상기 제1밸브의 제1c구(1c)는 상기 제2관체(110b)의 제2관체입구(110b1) 연통되어 상기 가스시료입구(A)는 상기 하나의 제1_3웨어밸브를 통해 제1관체 입구(110a1)와 제2관체입구(110b1)를 연결하며,
    상기 가스시료출구에는 제2밸브(2)가 배치됨에 따라 상기 제2밸브의 제2a구(2a)는 가스시료출구(B)와 직결되고 상기 제2밸브의 제2b구(2b)는 상기 제1관체(110a)의 제1관체출구(110a2) 연통되며, 상기 제2밸브의 제2c구(2c)는 상기 제2관체(110b)의 제2관체출구(110b2) 연통되어 상기 가스시료출구(B)는 상기 하나의 제2밸브를 통해 제1관체 출구(110a2)와 제2관체 출구(110b2)를 연결하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  13. 제12항에 있어서,
    제1얼음형성부의 제1관체와 제2얼음형성부의 제2관체는 하나의 압축공기입구(C)을 통해 압축공기가 공급되도록 형성됨에 따라 압축공기입구(C)를 바꾸지 않고도 제1관체 및 제2관체에 압축공기를 공급하며,
    제1얼음형성부의 제1관체와 제2얼음형성부의 제2관체는 하나의 압축공기출구(D)을 통해 압축공기가 배출되도록 형성됨에 따라 압축공기출구(D)를 바꾸지 않고도 제1관체 및 제2관체에서 배출되는 수분이 섞여있는 얼음알갱이 혹은 수분을 하나의 압축공기출구로 배출하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 제1밸브의 제1b구(1b)와 상기 제1관체(110a)의 제1관체입구(110a1) 사이에는 제5밸브(5)가 배치됨에 따라, 제1밸브의 제1b구(1b)는 제5밸브(5)의 제5b구(5b)와 연결되고, 제5밸브(5)의 제5c구(5c)는 제1관체입구(110a1)와 연결되며,
    상기 제1밸브의 제1c구(1c)와 상기 제2관체(110b)의 제1관체입구(110b1)사이에는 제6밸브(6)가 배치됨에 따라, 제1밸브의 제1c구(1c)는 제6밸브(6)의 제6b구(6b)와 연결되고, 제6밸브(6)의 제6c구(6c)는 제2관체입구(110b1)와 연결되며,
    상기 제1관체(110a)의 제1관체출구(110a2)와 상기 제2밸브의 제2b입구(2b)사이에는 제7밸브(7)가 배치됨에 따라, 상기 제1관체출구(110a2)는 제7밸브의 제7b구(7b)와 연결되고, 제7밸브(7)의 제7c구(7c)는 상기 제2밸브의 제2b구(2b)와 연결되며,
    상기 제2관체(110b)의 제2관체출구(110b2)와 상기 제2밸브의 제2c구(2c)사이에는 제8밸브(8)가 배치됨에 따라, 상기 제2관체출구(110b2)는 제8밸브의 제8b구(8b)와 연결되고, 제8밸브(8)의 제8c구(8c)는 상기 제2밸브의 제2c구(2c)와 연결되어
    상기 압축공기가 상기 제1관체 및 상기 제2관체로 공급되는 통로를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 압축공기입구(C)에는 제3밸브(3)가 배치됨에 따라 상기 제3밸브의 제3a구(3a)는 압축공기입구와 직결되며 상기 제3밸브(3)의 제3b구(3b)는 제5밸브(5)의 제5a구(5a)와 연통되고, 상기 제3밸브(3)의 제3c구(3c)는 제6밸브(6)의 제6a구(6a)와 연통되며,
    상기 압축공기출구(D)에는 제4밸브(4)가 배치됨에 따라 상기 제4밸브의 제4a구(4a)는 압축공기출구와 직결되며 상기 제4밸브(4)의 제4b구(4b)는 제7밸브(7)의 제7a구(7a)와 연통되고, 상기 제4밸브(4)의 제4c구(4c)는 제8밸브(8)의 제8a구(8a)와 연통되어, 상기 압축공기가 상기 제1관체 및 상기 제2관체로 공급되는 통로를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
  16. 제15항에 있어서,
    수분이 함유된 가스시료가 제1관체(110a)로 공급되어 수분이 제거될 때는, 상기 제1밸브의 제1c구와 제5밸브의 제5a구와 제7밸브의 제7a구와 제2밸브의 제2c구가 off 되고, 제1밸브의 제1a구 및 제1b구와, 제5밸브의 제5b구 및 제5c구와, 제7밸브의 제7b구 및 제7c구와, 제2밸브의 제2a구 및 제2b구가 on 되어
    상기 가스시료입구(A)에서 공급된 수분이 함유된 가스시료는 제1밸브의 제1a구와 제1b구를 통과한 후 제5밸브의 제5b구와 제5c구를 통과하며 이후에 제1관체(110a)를 통과하면서 수분이 제거되고, 다시 제7밸브의 제7b구 및 제7c구를 통과한 후, 제2밸브의 제2b구와 제2a구를 거쳐 가스시료 출구(B)로 배출되며 이때 상기 제1관체(110a)는 영하로 유지되도록 관리되는 것을 특징으로 하는 가스시료의 수분제거장치.
KR1020230100425A 2022-09-06 2023-08-01 가스시료의 수분제거장치 KR102655506B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220112806 2022-09-06
KR1020220112806 2022-09-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20240034644A true KR20240034644A (ko) 2024-03-14
KR102655506B1 KR102655506B1 (ko) 2024-04-11

Family

ID=90249170

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020230100415A KR20240034643A (ko) 2022-09-06 2023-08-01 가스시료의 수분제거장치
KR1020230100425A KR102655506B1 (ko) 2022-09-06 2023-08-01 가스시료의 수분제거장치

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020230100415A KR20240034643A (ko) 2022-09-06 2023-08-01 가스시료의 수분제거장치

Country Status (1)

Country Link
KR (2) KR20240034643A (ko)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100922630B1 (ko) 2008-06-12 2009-10-22 한국표준과학연구원 수분제거장치
KR20120013098A (ko) 2010-08-04 2012-02-14 지앤엘 (주) 부식성 가스 스크러버 중의 수분 제거 시스템
KR101508972B1 (ko) 2014-10-22 2015-04-07 박은정 열전도성 플라스틱 냉각관을 구비한 스크러버용 제습장치
KR101667882B1 (ko) 2015-06-01 2016-10-20 김문종 부식가스의 수분제거장치
KR20180088008A (ko) * 2017-01-26 2018-08-03 건국대학교 산학협력단 대기오염 측정 분석용 수분 전처리 장치를 위한 성에 배출장치
KR20210108199A (ko) * 2020-02-25 2021-09-02 건국대학교 산학협력단 다습환경에서의 tvoc 또는 thc 분석을 위한 수직형 물질이동 조절장치 및 그 동작방법

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100922630B1 (ko) 2008-06-12 2009-10-22 한국표준과학연구원 수분제거장치
KR20120013098A (ko) 2010-08-04 2012-02-14 지앤엘 (주) 부식성 가스 스크러버 중의 수분 제거 시스템
KR101508972B1 (ko) 2014-10-22 2015-04-07 박은정 열전도성 플라스틱 냉각관을 구비한 스크러버용 제습장치
KR101667882B1 (ko) 2015-06-01 2016-10-20 김문종 부식가스의 수분제거장치
KR20180088008A (ko) * 2017-01-26 2018-08-03 건국대학교 산학협력단 대기오염 측정 분석용 수분 전처리 장치를 위한 성에 배출장치
KR20210108199A (ko) * 2020-02-25 2021-09-02 건국대학교 산학협력단 다습환경에서의 tvoc 또는 thc 분석을 위한 수직형 물질이동 조절장치 및 그 동작방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR102655506B1 (ko) 2024-04-11
KR20240034643A (ko) 2024-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10724750B2 (en) Cooling dryer for compressed air and corresponding method
US8845796B2 (en) Fluid separation device
CA2057920C (en) Desiccant gas drying system
US6306189B1 (en) Clean room
US20130145779A1 (en) Absorption type air drying system and method of performing heating regeneration of the same
KR100776315B1 (ko) 트랩장치
KR102655506B1 (ko) 가스시료의 수분제거장치
KR100907551B1 (ko) 일체형 에어드라이어시스템
RU2697448C1 (ru) Осушитель воздуха
EP1436559A1 (en) Cryogenic condensation system
US6368371B1 (en) Trap device and trap system
CN102985158A (zh) 气体除去系统
KR20150062683A (ko) 이단 히트펌프장치를 이용한 고효율 오일정화장치의 제어방법
US6743279B2 (en) Air purification device for air handling units
JP4129772B2 (ja) 骨材等の水分除去装置
RU116066U1 (ru) Устройство для осушки сжатого воздуха
KR20190030598A (ko) 가스 치환용 드라이룸
KR20070061498A (ko) 연속식 이온교환 스크러버
TW201422319A (zh) 控制在溼式排煙脫硫（ｗｆｇｄ）之積垢的系統與方法
RU185232U1 (ru) Осушитель компримированного газа на основе элементов пельтье
EP0891803B1 (en) A gas dryer
KR102598124B1 (ko) 기판 세정장치
CN211724815U (zh) 一种质谱设备的流体过滤系统和质谱设备
EP4360730A1 (en) Organic solvent recovery system
CN207610476U (zh) 干燥箱

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant