KR20240009908A - 페이로드 운송 시스템 - Google Patents

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KR20240009908A
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치에 수
치-펭 텅
칭-중 창
구안춘 리
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타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
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Abstract

크로스-팹 웨이퍼 운송을 위한 시스템 및 방법이 제공된다. 방법은 브리징 영역을 통해 연결된 제1 FAB 빌딩 및 제2 FAB 빌딩을 제공하는 단계 - 제2 FAB 빌딩은 제1 FAB 빌딩에서 제조 툴에 의해 수행되는 제조 프로세스와는 상이한 제조 프로세스를 수행하도록 구성된 제조 툴을 포함함 - , 제1 FAB 빌딩에서 제조 프로세스를 수행한 후, 제1 OHT 트랙을 따라 주행하고 웨이퍼를 브리징 영역으로 가져가도록 제1 FAB 빌딩의 제1 차량을 구성하는 단계, 제2 OHT 트랙을 따라 주행하고 브리징 영역에 도착하도록 제2 FAB 빌딩의 제2 차량을 구성하는 단계 - 제1 OHT의 일부분은 브리징 영역에서 제2 OHT 트랙의 일부분과 평행함 - , 일부 미리 결정된 조건들이 충족될 때, 웨이퍼를 제2 차량으로 이송하도록 제1 차량을 구성하는 단계를 포함한다.

Description

페이로드 운송 시스템{PAYLOAD TRANSPORTATION SYSTEM}
우선권 데이터
본 출원은 2022년 07월 14일 출원된 미국 가특허 출원 번호 제63/389,194호의 우선권을 주장하며, 이 출원의 전체 내용은 참조에 의해 여기에 포함된다.
배경
반도체 디바이스의 제조 동안, 디바이스는 일반적으로 많은 워크스테이션들 또는 프로세스 툴에서 프로세싱된다. 워크스테이션 또는 프로세스 툴을 수용하기 위해, 많은 반도체 제조 설비/플랜트, 또는 "FAB"이 구축될 수 있다. 캠퍼스 세팅 또는 산업 단지에서 클러스터링된 반도체 제조 설비는 FAB 클러스터로 지칭될 수 있다. 부분적으로 완성된 디바이스 또는 WIP(work-in-process) 파트의 운송 또는 이송은 전체 제조 프로세스에서 중요한 측면이다. 반도체 웨이퍼의 이송은 칩들의 섬세한 특성으로 인해 집적 회로(integrated circuit; IC) 칩의 제조에서 특히 중요하다. 또한, IC 제품을 제조할 때, 제조 프로세스를 완료하기 위해 일반적으로 복수의 제조 단계가 수행된다. 제조 프로세스는 종종 단일 FAB 내에서의 크로스-페이즈(cross-phase) 이송 및/또는 FAB 클러스터의 FAB들 간의 크로스-팹(cross-fab) 이송에 대한 필요성을 초래한다.
자동 재료 취급 시스템(automated material handling system; "AMHS")은 칩 제조에 사용되는 다양한 프로세스 툴들 사이에서 웨이퍼의 그룹 또는 로트(lot)를 자동으로 취급 및 운송하기 위해 제조사들에서 널리 사용되어 왔다. 비록 기존의 시스템 및 방법에 일반적으로, 그들의 의도된 목적을 위해 적절했지만, 이들은 모든 관점에서 전체적으로 만족스럽지는 않았다.
본 발명개시는 첨부 도면들과 함께 읽혀질 때 아래의 상세한 설명으로부터 가장 잘 이해된다. 본 산업에서의 표준 관행에 따라 다양한 피처(feature)는 실척도로 도시되어 있지 않으며, 예시만을 목적으로 사용된다는 것을 강조한다. 사실상, 다양한 피처들의 치수들은 논의의 명료함을 위해 임의적으로 증가되거나 또는 감소될 수 있다.
도 1은 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, 간략화된 FAB 클러스터의 블록도를 예시한다.
도 2a 및 도 2b는 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, FAB 클러스터 내의 크로스-팹 이송 프로세스의 상이한 스테이지들을 예시하는 간략화된 단편적 개략도이다.
도 3은 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, 대안적인 FAB 클러스터의 간략화된 단편적인 개략도를 예시한다.
도 4는 도 3에 도시된 바와 같은 FAB 클러스터에서의 크로스-팹 이송 프로세스를 수행하는 예시적인 방법을 예시한 흐름도를 도시한다.
도 5는 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, 또다른 대안적인 FAB 클러스터의 간략화된 단편적인 개략도를 예시한다.
도 6a는 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, 예시적인 차량을 도시한다.
도 6b는 본 개시의 하나 이상의 실시예들에 따른, 크로스-팹 이송 프로세스 동안 상이한 모드로 동작하는 2개의 차량의 간략화된 개략도를 예시한다.
도 7은 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, 크로스-팹 이송 프로세스를 수행하기 위한 동작을 수행하도록 차량을 구성하는 예시적인 방법을 예시한 흐름도를 도시한다.
도 8은 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, 차량의 제어 시스템의 블록도를 도시한다.
도 9는 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, 또다른 대안적인 FAB 클러스터의 간략화된 블럭도이다.
도 10은 본 개시의 또다른 실시예에 따른, 또다른 FAB 클러스터의 간략화된 단편적인 개략도이다.
다음의 개시는 제공되는 본 발명내용의 상이한 피처들을 구현하기 위한 많은 상이한 실시예들, 또는 예시들을 제공한다. 본 개시를 단순화하기 위해 구성요소들 및 배열들의 특정 예들이 아래에서 설명된다. 물론, 이것들은 단지 예들에 불과하며, 제한하려는 의도가 아니다. 예를 들어, 다음의 설명에서의 제2 피처 위 또는 상으로의 제1 피처의 형성은 제1 및 제2 피처들이 직접적으로 접촉하게 형성되는 실시예들을 포함할 수 있고, 그리고 제1 및 제2 피처들이 직접적으로 접촉하지 않을 수 있도록 제1 및 제2 피처들 사이에 부가적인 피처들이 형성될 수 있는 실시예들을 또한 포함할 수 있다. 또한, 본 개시는 다양한 예시들에서 참조 번호들 및/또는 문자들을 반복할 수 있다. 이 반복은 단순하고 명확하게 하기 위한 목적인 것이며, 그 자체가 설명되는 다양한 실시예 및/또는 구성 간의 관계를 지시하는 것은 아니다.
“밑에”, “아래에”, “하부”, “위에”, “상부” 등과 같은 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 예시된 바와 같이 하나의 요소 또는 피처의 또다른 요소(들) 또는 피처(들)에 대한 관계를 기재하고자 설명을 쉽게 하기 위해 여기에서 사용될 수 있다. 공간 상대적인 용어들은, 도면에 도시된 배향 이외에, 사용 또는 동작 시의 디바이스의 상이한 배향을 포함하는 것으로 의도된다. 장치는 다르게 배향(90도 회전 또는 다른 배향으로)될 수 있고, 이에 따라 여기서 사용되는 공간 상대적인 기술어도 마찬가지로 해석될 수 있다.
또한, 숫자 또는 숫자의 범위가 “약”, “대략”등으로 기술될 때, 용어는, 당업자에 의해 이해되는 바와 같이, 제조 과정에서 본질적으로 발생하는 변화를 고려한 합리적인 범위 내에 있는 숫자를 포함하는 것으로 의도된다. 예를 들어, 숫자 또는 숫자의 범위는 숫자와 연관된 특성을 갖는 피처를 제조하는 것과 연관된 알려진 제조 공차들에 기초하여, 설명된 수의 +/-10% 이내와 같이, 설명된 수를 포함하는 적정한 범위를 포함한다. 예를 들어, "약 5 nm"의 두께를 갖는 재료층은 재료층을 퇴적하는 것과 연관된 제조 공차는 당업자에 의해 +/-15%인 것으로 알려져 있는 경우, 4.25 nm 내지 5.75 nm의 치수 범위를 포괄할 수 있다.
FAB 클러스터는 캠퍼스 세팅 또는 산업 단지에 구축된 다수의 FAB를 포함할 수 있다. 제조 프로세스 동안, 페이로드(예를 들어, 웨이퍼(들))가 페이로드 컨테이너/캐리어(예를 들어, "FOUP(front opening unified pod)") 내에 배치될 수 있고, 제조 프로세스의 상이한 단계들을 위해 FAB들 사이에서 이송될 수 있다. "크로스-팹(cross-fab) 이송"은 하나의 FAB로부터 다른 FAB으로의 페이로드의 이송을 포함한다. FAB 클러스터의 2개의 FAB은 브리징 영역(예를 들어, 코리더(corridor) 브리지, 스카이웨이 브리지)에 의해 연결될 수 있다. "크로스-AMHS 이송"은, 자동 재료 취급 시스템("AMHS")이 단일 FAB 내의 별개의 시스템인지 또는 별개의 FAB 내의 시스템인지에 관계없이, 하나의 AMHS로부터 다른 AMHS로 페이로드를 이송하는 것을 포함한다. 각각의 FAB는 다수의 페이즈(phase)를 포함할 수 있다. "크로스-페이즈 이송"은 페이로드를 하나의 페이즈로부터 다른 페이즈로 이송하는 것을 포함한다. FAB의 각각의 페이즈는 프로세스 툴 또는 장비를 포함할 수 있는 복수의 베이들을 포함한다. 각각의 베이 내의 장비는 인트라베이 오버헤드 이송(overhead transport; "OHT") 시스템에 의해 상호연결될 수 있다. 베이는 인터베이 OHT 시스템을 통해 다른 베이들과 상호연결될 수 있다. 당업자에 익숙한 바와 같이, 인트라베이 OHT 시스템 및 인터베이 OHT 시스템은 OHT 차량이 베이의 장비에 대해, 종종 스토커(stocker)를 통해 프로세싱될 페이로드(예를 들어, 웨이퍼 로트)를 함유하는 페이로드 컨테이너(예를 들어, FOUP)를 운송하는 오버헤드 트랙을 포함한다.
일부 기술들에서, "크로스-팹" 이송은 브리징 영역에 인터페이스 디바이스(예를 들어, 스토커)를 배치하고 제1 FAB의 OHT 차량과 제2 FAB의 OHT 차량 둘 다에 의해 액세스가능한 인터페이스 디바이스를 선택하는 단계, 페이로드 컨테이너를 제1 FAB의 프로세스 툴 또는 장비로부터 페이로드 컨테이너를 일시적으로 유지하기 위해 사용되는 선택된 인터페이스 디바이스로 가져오도록 제1 OHT 시스템의 차량을 구성하는 단계, 및 상기 페이로드 컨테이너를 상기 선택된 인터페이스 디바이스로부터 상기 제2 FAB의 프로세스 툴 또는 장비로 가져오도록 제2 OHT 시스템의 차량을 구성하는 단계를 포함할 수 있다. 이러한 종류의 "크로스-팹" 이송은 운송 볼륨을 증가시키고 교통 체증을 야기할 수 있다. 또한, "크로스-팹" 이송을 구현하기 위해 인터페이스 디바이스를 배열하기 위해 더 많은 클린룸 공간이 필요하다. "크로스-AMHS 이송" 및 "크로스-페이즈 이송"도 유사한 문제를 겪는다.
본 개시는 크로스-팹 이송을 수행하는 시스템 및 방법을 제공한다. FAB 클러스터는, 예를 들어, 상이한 제조 단계들을 수행하도록 구성된 상이한 프로세스 툴을 갖는 몇몇 FAB를 포함한다. 일부 실시예에서, 트랜지스터가 제1 FAB 내에 형성될 수 있고, 트랜지스터의 테스트가 제2 FAB에서 수행될 수 있다. 제1 FAB의 OHT 시스템은 제2 FAB의 OHT 시스템의 OHT 트랙에 부분적으로 평행한 OHT 트랙을 갖는다. OHT 트랙의 부분적으로 병렬화된 부분이 제1 및 제2 FAB의 브리징 영역에 있다. 제1 FAB에서 수행되어야 하는 제조 단계들이 완료된 후, 제1 FAB의 차량은 브리징 영역에 배치된 인터페이스 디바이스 상에 페이로드를 일시적으로 배치하지 않고 페이로드를 가져가 제2 FAB의 차량으로 이송할 수 있다. 따라서, 크로스-팹 이송 프로세스가 단순화되고, 크로스-팹 이송 프로세스의 효율이 유리하게 개선될 수 있다. 추가적으로, 인터페이스 디바이스에 의해 더 적은 클린룸 공간이 점유될 수 있다. 일부 실시예에서, 차량(들)은 2개의 페이로드 컨테이너를 동시에 운반/유지하도록 동작가능할 수 있고, 이에 의해 운송 효율을 더욱 향상시키고 교통 체증을 감소시킬 수 있다. 본 개시는 또한 크로스-페이즈 이송 및 크로스-AMHS 이송을 위해 적용될 수 있다.
도 1은 간략화된 FAB 클러스터(100)의 블록도를 예시한다. 본 실시예에서, FAB 클러스터(100)는 브리징 영역(106)에 의해 연결된 FAB(102) 및 FAB(104)를 포함한다. 일부 실시예에서, FAB(102) 및 FAB(104)는 각각 하나 이상의 빌딩을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, FAB(102)는 제1 빌딩을 포함하고, FAB(104)는 제1 빌딩으로부터 이격된 제2 빌딩을 포함하고, 브리징 영역(106)은 제1 및 제2 빌딩을 연결하는 코리더 브리지이다. FAB(102)는 제조 실행 시스템(manufacturing execution system; "MES")(108), 재료 제어 시스템(material control system; MCS)(110), 및 자동 재료 취급 시스템(AMHS)(112)을 포함한다. FAB(104)는 MES(114), MCS(116), 및 AMHS(118)를 포함한다. 페이로드 컨테이너(예를 들어, FOUP(front opening unified pod))가 이송될 때, MES(예를 들어, MES(108) 또는 MES(114))는 페이로드 컨테이너가 이송되어야 하는 FAB(예를 들어, FAB(102) 또는 FAB(104)) 내의 목적지를 결정한다. 목적지 결정이 이루어지면, MES는 MCS(예를 들어, MCS(110) 또는 MCS(116))로 이송 요청을 전송하고, MCS는 경로 검색 엔진을 사용하여 상세한 운송 경로를 계산하고, 그 다음, 예를 들어 AMHS에게 이송을 단계적으로 실행할 것을 통지한다. MES(108 및 114), MCS(110 및 116), 및 AMBS(112 및 118)는 당업계에 알려진 바와 같은 다수의 컴포넌트를 포함할 수 있다는 것을 이해한다. 예를 들어, 그러나 제한없이, AMHS(112 및 118) 각각은 레티클 스토커 제어기, 스토커 제어기, 오버헤드 버퍼 제어기, 인터베이 OHT 제어기, 인트라베이 OHT 제어기, 및/또는 리프터 제어기와 같은 다수의 제어 모듈을 포함할 수 있다. AMBS(112 및 118)는 일부 실시예에서 추가적인, 더 적은, 그리고 상이한 제어 모듈을 포함할 수 있다. FAB 클러스터(100)가 다른 수의 FAB를 가질 수 있다는 것이 이해된다.
브리징 영역(106)은 FAB(102)와 FAB(104) 사이의 연결을 나타낸다. 일부 실시예에서, 브리징 영역(106)은 예를 들어, 코리더 브리지 또는 스카이웨이 브리지일 수 있다. 브리징 영역(106)의 길이는 10미터보다 클 수 있다. 브리징 영역(106)은 페이로드 컨테이너가 하나의 FAB로부터 다른 FAB로 전달될 수 있도록 FAB를 연결한다. 따라서, 일부 실시예에서, 브리징 영역(106)은 2개 이상의 AMHS가 함께 동작할 수 있는 영역이다. 이러한 방식으로, 페이로드 컨테이너는 브리징 영역(106)에서 페이로드 컨테이너의 제어를 하나의 FAB로부터 다른 FAB로 전달함으로써 다수의 FAB를 가로질러 이송될 수 있다. 브리징 영역(106)은 페이로드 컨테이너를 FAB(102)로부터 FAB(104)로, FAB(104)로부터 FAB(102)로, 또는 둘 다로 이송하는 것을 용이하게 할 수 있다. 일부 실시예에서, 브리징 영역(106)은 2개보다 많은 FAB를 서로 연결할 수 있다. 일부 다른 실시예에서, 브리징 영역(106)은 또한 2개의 AMHS 사이의 연결을 나타낼 수 있다. 일 실시예에서, AMHS(112 및 118)는 상이한 벤더로부터의 것일 수 있다.
FAB(102)는 다수의 장비(120)(예를 들어, 프로세스 툴, 스토커)를 포함한다. FAB(102) 내의 프로세스 툴은 웨이퍼에 대한 다수의 제조 프로세스(예를 들어, 트랜지스터와 같은 집적 회로(integrated circuit; IC) 디바이스를 제조하는 것과 관련된 FEOL(front-end-of-line) 프로세스)를 수행하기 위해 사용될 수 있다. FAB(102) 내의 장비(120)는 AMHS(112)에 의해 서비스된다. FAB(104)는 또한 다수의 장비(122)(예를 들어, 프로세스 툴, 스토커)를 포함한다. FAB(104) 내의 프로세스 툴은 FAB(102)에서 수행되는 제조 프로세스와는 상이한 다수의 제조 프로세스(예를 들어, FEOL 프로세스에 의해 제조된 피처들을 상호연결하는 다층 상호연결(multilayer interconnect; MLI) 구조물을 제조하는 것과 관련된 BEOL(back-end-of-line) 프로세스)를 수행하도록 구현될 수 있다. FAB(104) 내의 장비(122)는 AMHS(118)에 의해 서비스된다.
FAB 클러스터(100)는 또한 통합 제어 유닛(126)을 포함한다. 본 실시예에서, 통합 제어 유닛(126)은 FAB(102 및 104) 각각과 통신하고, FAB(102 및 104) 사이의 페이로드의 운송을 용이하게 하고/하거나 조직화하도록 구성된다. 이와 관련하여, 통합 제어 유닛(126)은 정보 및/또는 명령을 수신하고 각각의 FAB(102 내지 104)에 제공하기 위한 서버로서 작용할 수 있다. 통합 제어 유닛(126)은 또한, 각각의 FAB의 MES, MCS, 및/또는 다른 시스템이 또다른 팹의 시스템과 통신할 수 있도록 FAB 사이의 통신 링크로서 작용할 수 있다. 통합 제어 유닛(126)은 하드웨어, 소프트웨어, 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 통합 제어 유닛(126)은 각각의 팹의 MES, MCS, 및 다른 시스템으로부터 분리된 독립형 유닛이다. 다른 실시예에서, 통합 제어 유닛(126)은 FAB 중 적어도 하나의 FAB의 컴포넌트 또는 일부일 수 있다. 적어도 일부 실시예에서, 통합 제어 유닛(126)과 FAB(102 내지 104) 사이의 통신은 공통 객체 요청 브로커 아키텍처(Common Object Request Broker Architecture; "CORBA")에 의한 것이다. 또한, 통합 제어 유닛(126)의 컴포넌트들 간의 통신과, FAB(102 및 104)의 컴포넌트들 간의 통신은 CORBA를 활용할 수 있다. 그러나, 다른 실시예에서, 다른 통신 프로토콜 및/또는 미들웨어가 사용될 수 있다. 본 실시예에서, 통합 제어 유닛(126)은 FAB(102)와 FAB(104) 사이의 페이로드의 운송을 용이하게 하기 위해 FAB(102 및 104)의 MES(108 및 114), MCS(110 및 116), 및/또는 AMHS(112 및 118)를 동기화하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 통합 제어 유닛(126)은 FAB(102)와 FAB(104) 사이의 비어있는 페이로드 컨테이너의 운송을 용이하게 하도록 구성될 수 있다.
도 1에 도시된 실시예에서, 통합 제어 유닛(126)은 상이한 FAB 간의 페이로드 이송 또는 페이로드 컨테이너 이송을 실행하기 위한 동작을 수행하도록 구성된 마이크로프로세서(130)를 포함한다. 마이크로프로세서(130)는 각각, FAB(102 및 104)의 MCS(110 및 116)로부터 데이터를 수신하고, MCS(110 및 116)로 데이터를 송신할 수 있다. 특히, 마이크로프로세서(130)는, MCS에 적절한 신호를 전송함으로써 크로스-팹 이송이 상이한 FAB(102 및 104)에 걸쳐 동기화될 수 있도록 MCS(110 및 116) 각각과 통신하도록 구성된다. 예를 들어, 마이크로프로세서(130)는 FAB(102) 내의 AMHS(112)와 연관된 차량이 브리징 영역(106)에서 인터페이스 디바이스를 사용하지 않고 FAB(104) 내의 AMHS(118)와 연관된 차량으로 페이로드를 직접 이송할 수 있는지 여부를 결정한다.
마이크로프로세서(130)는 데이터 스토리지(132)에 커플링된다. 데이터 스토리지(132)는 MCS(110 및 116)에 대한 커맨드를 생성하기 위한 프로그램 명령어들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 데이터 스토리지(132)는 마이크로프로세서(130)에 의해 실행될 때, 마이크로프로세서(130)로 하여금 각각의 MCS에 서브-경로 요청을 제공하기 위한 동작을 수행하게 하는 명령어들을 저장할 수 있다. 마이크로프로세서(130)에 의해 수행될 수 있는 동작들의 상세한 설명이 도 2a 및 도 2b를 참조하여 설명될 것이다. 데이터 스토리지(132)는 비휘발성 메모리(non-volatile memory; NVM), 각각의 FAB에 대한 이용가능한 이송 패턴에 관한 정보, FB들 간의 이용가능한 이송 패턴, 각각의 FAB에 대한 MES 및/또는 AMHS 매핑에 관한 정보, 및/또는 페이로드의 이송과 관련된 다른 정보를 함유하는 하나 이상의 데이터베이스를 포함할 수 있다.
이송 패턴은 제1 FAB 내의 제1 위치와 제2 FAB 내의 제2 위치 사이에서 페이로드를 이송하기 위한 이용가능한 경로들을 나타낼 수 있다. 일부 실시예에서, 이송 패턴은 동적이며, 정적 및 동적 트래픽 조건, 로트 정보, 로트 우선순위, 이용가능한 경로, 경로 거리, 유지보수 스케줄, 및/또는 다른 인자들과 같은 인자에 의해 업데이트될 수 있다. 일부 실시예에서, 크로스-팹 이송의 경로는 단일 FAB 내의 이송 및 브리징 영역를 가로지르는 이송으로 구성된 서브-경로로 분할될 수 있다. 다수의 서브-경로가 함께 링크되어 전체 이송 경로를 생성할 수 있다. 일부 실시예에서, 이송 패턴은 원하는 이송을 달성하기 위한 서브-경로의 이용가능한 조합에 기초할 수 있다. 마이크로프로세서(130)는 페이로드의 이송을 용이하게 하기 위해 다수의 AMHS를 동기화하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예에서, 크로스-팹 이송을 실행하기 위해, 마이크로프로세서(130)는 다수의 서브-경로에 의해 형성되는 선택된 전체 이송 경로를 제공하고, 이어서 실행을 위해 대응하는 서브-경로와 연관된 서브-경로를 대응하는 AMHS와 통신하도록 구성될 수 있다. AMHS을 조정함으로써, 크로스-팹 이송 요청이 적절하게 실행될 수 있다.
MES 및 AMHS 매핑은 다수의 MES 및 AMHS에 걸친 글로벌 매핑을 형성하도록 조합된 개별 FAB 및 AMHS 내의 이용가능한 경로에 관한 정적 정보를 제공한다. 이와 관련하여, MES 및 AMHS 매핑은 경로 계획 및 평가에 활용될 수 있는 FAB 및 AMHS 사이에 다양한 툴 및 장비의 위치를 포함할 수 있다. 이하 설명되는 실시예들 중 일부 실시예에서, 위치들 사이에 단일 경로가 있는 것으로 나타나지만, 이는 명료성 및 예시를 위해 간략화되고 제한적으로 간주되어서는 안된다. 오히려, AMHS 사이의 페이로드 컨테이너를 하나의 위치로부터 또다른 위치로 이송하기 위한 다수의 경로들이 존재할 수 있다는 것이 완전히 고려된다.
FAB 클러스터(100)는 컴포넌트의 특정 조합을 갖는 것으로 설명되었지만, FAB 클러스터(100)는 당업자에게 명백할 수 있는 바와 같이 더 적거나 더 큰 컴포넌트를 가질 수 있다는 것이 이해된다. 예를 들어, 통합 제어 유닛(126)은 또한 마이크로프로세서(130)에 커플링된 사용자 인터페이스 엔진을 포함할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 상이한 설정 또는 상이한 파라미터를 선택/구성하기 위해 사용자 인터페이스를 통해 데이터를 입력할 수 있다. 추가적으로, 다양한 컴포넌트 중 일부의 기능은 단일 컴포넌트로 결합될 수 있고/있거나 단일 컴포넌트의 기능은 다수의 컴포넌트로 분할될 수 있다. 다른 실시예에서, FAB 클러스터(100)는 통합 제어 유닛(126)과 통신하는 추가적인 FAB를 포함할 수 있다. 크로스-팹 이송은 FAB(102 및 104)과 관련하여 상기 설명된 것과 유사한 방식으로 추가적인 FAB까지 연장될 수 있다. 통합 제어 유닛(126)과 통신하는 추가적인 FAB를 포함하는 FAB 클러스터의 상세한 설명이 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명될 것이다.
도 2a 및 도 2b는 크로스-팹 페이로드 운송 프로세스의 상이한 스테이지를 예시하는 간략화된 단편적인 개략도이다. 일 예에서, "크로스-팹 이송 작업"은 페이로드 컨테이너(202)를 FAB(104)로부터 FAB(102)로 이송하는 것을 포함한다. 페이로드 컨테이너(202)는 FOUP(front opening unified pod), FOSB(front opening shipping box), 레티클 컨테이너, 트레이 카세트, 프레임 카세트, 매거진 카세트, 및 또는 다른 적합한 캐리어를 포함할 수 있다. 페이로드 컨테이너(202)는 페이로드(204)를 운반하도록 동작가능하다. 페이로드(204)는 웨이퍼, 포토마스크(또는 레티클), 또는 다른 적합한 페이로드를 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 페이로드(204)를 함유하는 페이로드 컨테이너(202)는 FAB(104)로부터 FAB(102)로 이송될 것이다.
도 2a를 참조하면, FAB(102)는 다수의 베이를 포함할 수 있고, 각각의 베이는 장비(120)(예를 들어, 프로세스 툴, 스토커, 또는 다른 장비)를 포함한다. FAB(102)의 각각의 베이 내의 장비(120)는 인트라베이 오버헤드 이송("OHT") 시스템에 의해 상호연결되며, FAB(102)의 베이는 인터베이 OHT 시스템을 통해 상호연결될 수 있다. FAB(104)는 다수의 베이를 포함할 수 있고, 각각의 베이는 장비(122)(예를 들어, 프로세스 툴, 스토커, 또는 다른 장비)를 포함한다. 마찬가지로, FAB(104)의 각각의 베이 내의 장비(122)는 또다른 인트라베이 오버헤드 이송("OHT") 시스템에 의해 상호연결되며, FAB(104)의 베이는 또다른 인터베이 OHT 시스템을 통해 상호연결될 수 있다. 인트라베이 OHT 시스템 및 인터베이 OHT 시스템은 집합적으로 또는 개별적으로 OHT 시스템으로 지칭될 수 있다.
본 실시예에서, AMHS(112)의 OHT 시스템(206)은 제1 타입 OHT 차량(차량(208))이 장비(120)로 그리고 장비(120)로부터 페이로드 컨테이너를 운송하는 오버헤드 트랙 또는 오버헤드 레일(예를 들어, 오버헤드 트랙(207))을 포함한다. AMHS(118)의 OHT 시스템(209)은 제2 타입 OHT 차량(예를 들어, 차량(212))이 장비(122)로 그리고 장비(122)로부터 페이로드 컨테이너를 운송하는 오버헤드 트랙 또는 오버헤드 레일(예를 들어, 오버헤드 트랙(210))을 포함한다. OHT 시스템(206) 및 OHT 시스템(209)은 상이한 벤더에 의해 제공될 수 있다. 도 2a에 도시된 실시예에서, OHT 시스템(206)의 오버헤드 트랙(207)은 FAB(102) 내에 배열된 부분(207a) 및 브리징 영역(106) 내에 배열된 부분(즉, 부분(207b)과 부분(207c)의 조합)을 포함한다. 즉, OHT 시스템(206)의 서비스 범위는 FAB(102)와 브리징 영역(106)의 일부분 모두를 포함한다. OHT 시스템(209)의 오버헤드 트랙(210)은 FAB(104) 내에 배열된 부분(210a) 및 브리징 영역(106) 내에 배열된 부분(즉, 부분(210b)과 부분(210c)의 조합)을 포함한다. 즉, OHT 시스템(209)의 서비스 범위는 FAB(104)와 브리징 영역(106)의 일부분 모두를 포함한다. 본 실시예에서, 오버헤드 트랙(207)의 부분(207b)은 오버헤드 트랙(210)의 부분(210b)의 부근에 있다. 보다 구체적으로, 오버헤드 트랙(207)의 부분(207b)은 오버헤드 트랙(210)의 부분(210b)에 인접하고 이와 평행한다.
상기 설명된 바와 같이, FAB 클러스터(100)는 통합 제어 유닛(126)을 포함한다. 크로스-팹 이송 요청에 응답하여, 페이로드(204)를 FAB(104) 내의 장비(122)로부터 FAB(102) 내의 타겟 장비(120)로 이송하기 위해, 마이크로프로세서(130)는 페이로드(204)를 장비(122)로부터 타겟 장비(120)로 운반하고, 서브-경로를 MCS(110) 및 MCS(116)에 각각 전달하는 페이로드 컨테이너(202)를 이송하기 위한 적절한 경로를 선택할 수 있다. MCS(116)로부터 신호(예를 들어, 서브-경로와 관련된 정보)를 수신한 후, 차량(212)은 FAB(104) 내의 장비(122)(예를 들어, 스토커)로부터 페이로드(204)를 함유하는 페이로드 컨테이너(202)를 가져오고 미리 결정된 시간에 또는 미리 결정된 기간 내에 미리 결정된 위치(214)에 도착하도록 오버헤드 트랙(210)을 따라 이동하도록 구성된다. 일 실시예에서, 차량(212)은 페이로드 컨테이너(202)를 유지하도록 구성된 트레이를 포함한다. 미리 결정된 위치(214)는 오버헤드 트랙(210)의 부분(210b) 내에 있다. MCS(110)로부터 명령을 수신한 후, 차량(208)은 오버헤드 트랙(207)을 따라 주행하기 시작하여, 동일한 미리 결정된 시간에 또는 동일한 미리 결정된 기간 내에 미리 결정된 위치(216)에 도착한다. 미리 결정된 위치(216)는 오버헤드 트랙(207)의 부분(210b) 내에 있고, Y 방향을 따라 미리 결정된 위치(214)와 실질적으로 정렬된다.
이제 도 2b를 참조하면, 일정 기간 동안 각각의 오버헤드 트랙을 따라 주행한 후, 차량(208)은 미리 결정된 시간에 미리 결정된 위치(214)에 도착하고, 차량(208)은 실질적으로 동시에 미리 결정된 위치(216)에 도착한다. 본 실시예에서, 교통 체증을 감소시키기 위해, 각각의 미리 결정된 위치(214 및 216)에 도착한 후, 차량(208 및 212) 둘 다는 각자의 트랙을 따라 계속 주행한다. 보다 구체적으로, 각자의 미리 결정된 위치(214 및 216)에 도착한 후, 차량(212)은 제1 속도로 -X 방향을 따라 오버헤드 트랙(210)의 부분(210b) 상에서 이동하고, 차량(208)은 제2 속도로 -X 방향을 따라 오버헤드 트랙(207)의 부분(207b) 상에서 이동한다. 일 실시예에서, 제1 속도는 차량(208) 및 차량(212)이 상대적으로 고정(stationary)되도록 제2 속도와 동일하다. 일부 실시예에서, 차량(208)과 차량(212)이 서로에 대해 고정된 것으로 간주되도록, 제1 속도와 제2 속도 사이의 속도 차이는 미리 결정된 문턱값(예를 들어, 0.1m/초)보다 작다. 차량(208)과 차량(212) 둘 다가 각자의 미리 결정된 위치에 도착하고 서로에 대해 고정된 후에, 차량(212) 상의 정렬 모듈은 차량(208)이 차량(212)과 정렬되어 있는지 여부를 결정할 수 있다. 일부 실시예에서, 정렬 모듈은 이미지 센서, 레이저 센서, 경사 각도 센서, 다른 적합한 디바이스, 및/또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 차량(208)과 차량(212)이 정렬되고 서로에 대해 고정된 후에, 페이로드(204)를 함유하는 페이로드 컨테이너(202)가 차량(212)으로부터 차량(208)으로 직접 이송된다. 예시적인 프로세스에서, 차량(212)의 트레이는 차량(212)의 본체로부터 슬라이딩될 수 있고, 그리고 차량(208)의 그리퍼(gripper)는 차량(212)의 트레이로부터 페이로드 컨테이너(202)를 가져오고, 페이로드 컨테이너(202)를 차량(208)의 트레이 상에 둘 수 있다. 페이로드 컨테이너(202)가 차량(212)으로부터 차량(208)으로 직접 이송된 후, 차량(208)은 페이로드 컨테이너(202)를 FAB(102) 내의 타겟 위치로 운반할 때까지 오버헤드 트랙(207)을 따라 계속 주행한다. 따라서, 크로스-팹 이송 프로세스는 페이로드 컨테이너(예를 들어, FOUP)(202)(도 2a에 도시됨)를 일시적으로 유지하기 위해 OHT 시스템(206)과 OHT 시스템(209) 사이에 인터페이스 디바이스(예를 들어, 스토커)를 배열하지 않고 완료된다. 따라서, 프로세스 툴을 배치하기 위해 사용될 수 있는 유효 영역이 증가될 수 있다. 인터페이스 디바이스 상에 페이로드 컨테이너(202)를 시간적으로 포지셔닝하는 것 및 페이로드 컨테이너(202)를 동일한 인터페이스 디바이스로부터 가져오는 것과 같은 프로세스를 감소시킴으로써 크로스-팹 이송 프로세스가 단순화되기 때문에, 이러한 프로세스들에 의해 야기되는 교통 체증이 유리하게 감소될 수 있다.
도 3은 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, 대안적인 FAB 클러스터(300) 내의 크로스-팹 이송 프로세스를 예시하는 간략화된 단편적인 개략도를 예시한다. FAB 클러스터(300)의 블록도는 FAB 클러스터(100)와 유사하며, FAB 클러스터(300)와 FAB 클러스터(100) 사이의 차이 중 하나는 FAB 클러스터(300)가 더 많은 FB 및 더 많은 브리징 영역을 포함한다는 것이다. 각각의 FAB 내의 장비는 단순화를 이유로 생략된다. FAB 클러스터(300) 내의 각각의 FAB는 통합 제어 유닛(126)과 통신할 수 있다. 본 실시예에서, 도 3에 도시된 바와 같이, FAB 클러스터(300)는 FAB(302a), FAB(302b), FAB(302c), 및 FAB(302d)를 포함한다. FAB(302a) 및 FAB(302b)는 브리징 영역(304a)에 의해 연결되고, FAB(302b) 및 FAB(302c)는 브리징 영역(304b)에 의해 연결되고, FAB(302c) 및 FAB(302d)는 브리징 영역(304c)에 의해 연결되고, FAB(302d) 및 FAB(302a)는 브리징 영역(304d)에 의해 연결된다. FAB(302a 내지 302d) 각각은 빌딩을 포함할 수 있다. 브리징 영역(304a 내지 304d) 각각은 예를 들어, 코리더 브리지 또는 스카이웨이 브리지일 수 있다. 일부 실시예에서, FAB(302a 내지 302d) 및 브리징 영역(304a 내지 304d)은 실질적으로 동일한 클린룸 레벨을 갖는다. 일부 다른 실시예에서, 제조(302a 내지 302d) 및 브리징 영역(304a 내지 304d)은 상이한 클린룸 레벨을 가질 수 있고, 페이로드 컨테이너가 더 낮은 클린룸 레벨을 갖는 FAB로부터 더 높은 클린룸 레벨을 갖는 FAB로 이송해야 하는 경우, 물리적 클리닝 프로세스(예를 들어, 샤워에 의한 탈이온수)가 수행되어 차량 및 페이로드 컨테이너를 클리닝할 수 있다. FAB(302a 내지 302d) 각각은 각각 자신의 OHT 트랙(308a, 308b, 308c 및 308d)을 갖는다. 본 실시예에서, 각각의 FAB 내부에 위치될 뿐만 아니라, OHT 트랙 각각은 2개의 상이한 브리징 영역 내에 2개의 다른 부분을 갖는다. 예를 들어, OHT 트랙(308a)은 FAB(302a) 내의 부분, 브리징 영역(304a) 내의 부분, 및 브리징 영역(304d) 내의 부분을 갖는다.
FAB(302a 내지 302d)는 상이한 제조 단계를 수행하도록 구성된다. 일 실시예에서, FAB(302a)는 고급 프로세스를 수행하도록 구성된 프로세스 툴을 포함한다. 예를 들어, 트랜지스터(예를 들어, 게이트-올-어라운드 트랜지스터, 핀 전계 효과 트랜지스터(fin field-effect transistor; FinFET), 상보적 전계 효과 트랜지스터(complementary field-effect transistor; CFET))와 같은 집적 회로(IC) 디바이스를 제조하는 것과 관련된 프로세스를 일반적으로 포함하는 FEOL(front-end-of-line) 프로세스, 및/또는 게이트 구조물에 대한 게이트 비아 및/또는 소스/드레인 피처에 대한 소스/드레인 콘택과 같은 IC 디바이스의 도전성 피처에 대한 콘택을 제조하는 것과 관련된 프로세스들을 일반적으로 포함하는 MEOL(middle-end-of-line) 프로세스는 FAB(302a) 내의 프로세스 툴에 의해 수행된다. FAB(302a) 내의 프로세스 툴은 극자외선(EUV) 리소그래피 시스템(들), 화학적 기상 증착(chemical vapor deposition; CVD) 툴(들), 원자층 증착(atomic layer deposition; ALD) 툴(들), 및 다른 적합한 툴을 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, FAB(302a)에서 FEOL 프로세스 및/또는 MEOL 프로세스 중 일부 또는 전부를 수행한 후에, 프로세싱된 웨이퍼는 추가 프로세싱을 위해 다른 FAB(예를 들어, FAB(302b), FAB(302c), 및/또는 FAB(302d))로 이송될 수 있다. 실시예에서, FAB(302b)는 FEOL 및 MEOL 프로세스에 의해 제조된 IC 피처를 상호연결하는 다층 상호연결(MLI) 구조물을 제조하는 것과 관련된 프로세스을 일반적으로 포함하는 BEOL(back-end-of-line) 프로세스를 수행하도록 구성된 프로세스 툴을 포함하고, 이에 의해 IC 디바이스의 동작을 가능하게 한다. FAB(302b)에서의 프로세스 툴은 화학적 기상 증착(CVD) 툴, 에칭 툴, 및 다른 적합한 툴을 포함할 수 있다. 실시예에서, FAB(302b) 내의 프로세스 툴은 극자외선(EUV) 리소그래피 시스템(들)을 포함하지 않는다. FAB(302a)에 형성된 IC 디바이스를 FAB(302b)로 이송하기 위해, FAB(302a) 및 FAB(302b)는 통합 제어 유닛(126)과 통신할 수 있다. FAB(302a)와 FAB(302b) 사이의 크로스-팹 이송은 FAB(102 및 104)와 관련하여 상기 설명된 것과 유사하다. 일부 실시예에서, FAB(302a)에 충분한 페이로드 컨테이너가 있음을 보장하기 위해, FAB(302a)의 차량은 페이로드를 함유하는 페이로드 컨테이너를 FAB(302b)의 차량으로 전송할 수 있을 뿐만 아니라, FAB(302b)의 차량으로부터 비점유(unoccupied)/비어있는(empty) 페이로드 컨테이너를 수용할 수 있다. FAB(302a)와 FAB(302b) 사이에서 이송되는 페이로드 컨테이너는 FOUP, FOSB, 또는 레티클 컨테이너를 포함할 수 있다. FAB(302a) 및 FAB(302b) 내의 차량은 이러한 상이한 타입의 모든 페이로드 컨테이너와 호환되도록 구성된다.
일부 실시예들에서, FAB(302b)에서 BEOL 프로세스 중 일부 또는 전부를 수행한 후에, 추가적인 프로세싱을 위해 IC 디바이스가 FAB(302b)로부터 다른 FAB(예를 들어, FAB(302c) 및/또는 FAB(302d))로 이송될 수 있다. 실시예에서, FAB(302c)는 다이싱, 웨이퍼 본딩, 배선, 몰딩, 및/또는 다른 패키징 프로세스를 수행하도록 구성된 프로세스 툴을 포함한다. 웨이퍼 다이싱 프로세스는 집적 회로(IC) 및 다른 반도체 디바이스의 제조자들이 단일 웨이퍼로부터 다수의 개별 다이스를 획득할 수 있게 한다. FAB(302c) 내의 프로세스 툴은 웨이퍼 다이싱 머신(들), 와이어 본딩 머신(들), 다이 부착 머신(들), 집적 회로를 봉지하기 위한 몰딩 장비, 및/또는 다른 적합한 장비를 포함할 수 있다. 실시예에서, FAB(302c) 내의 프로세스 툴은 화학적 기상 증착(CVD) 툴, 에칭 툴, 극자외선(EUV) 리소그래피 시스템(들)을 포함하지 않는다. FAB(302b)에 형성된 IC 디바이스를 FAB(302c)로 이송하기 위해, FAB(302b) 및 FAB(302c)는 통합 제어 유닛(126)과 통신할 수 있다. FAB(302b)와 FAB(302c) 사이의 크로스-팹 이송은 FAB(102 및 104)와 관련하여 상기 설명된 것과 유사하다. 일부 실시예에서, FAB(302b)의 차량은 페이로드를 함유하는 페이로드 컨테이너를 FAB(302c)의 차량으로 전송할 수 있을 뿐만 아니라, FAB(302c)의 차량으로부터 비어있는 페이로드 컨테이너를 수용할 수 있다. FAB(302b)와 FAB(302c) 사이에서 이송되는 페이로드 컨테이너는 FOUP, 레티클 컨테이너, 트레이 카세트, 프레임 카세트, 매거진 카세트, 및/또는 다른 적합한 페이로드 컨테이너를 포함할 수 있다. FAB(302b) 및 FAB(302c) 내의 차량은 이러한 상이한 타입의 모든 페이로드 컨테이너와 호환되도록 구성된다.
일부 실시예에서, FAB(302c)에서 패키징 프로세스 중 일부 또는 전부를 수행한 후, 패키징된 IC 디바이스는 패키징된 IC 디바이스가 적절히 동작하는지를 결정하기 위한 테스트를 위해 FAB(302c)로부터 FAB(302d)로 이송될 수 있다. 일 실시예에서, FAB(302d)는 예를 들어 전기적 및 기능적 특성에 대한 테스트뿐만 아니라 결함들을 검출하기 위한 패키징된 IC 디바이스의 성능을 수행하도록 구성된 프로세스 툴을 포함한다. FAB(302d) 내의 프로세스 툴은 자동화된 테스트 장비(automated test equipment; ATE), 웨이퍼 프로버, 프로브 카드, 및/또는 다른 적합한 테스트 툴을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, FAB(302d) 내의 프로세스 툴은 화학적 기상 증착(CVD) 툴, 에칭 툴, 포토리소그래피 시스템(들), 웨이퍼 다이싱 머신(들), 와이어 본딩 머신(들), 다이 부착 기계(들), 또는 몰딩 장비를 포함하지 않는다. FAB(302c)에 형성된 패키징된 IC 디바이스를 FAB(302d)로 이송하기 위해, FAB(302c) 및 FAB(302d)는 통합 제어 유닛(126)과 통신할 수 있다. FAB(302c)와 FAB(302d) 사이의 크로스-팹 이송은 FAB(102 및 104)와 관련하여 상기 설명된 것과 유사하다. 일부 실시예에서, FAB(302c)의 차량은 페이로드를 함유하는 페이로드 컨테이너를 FAB(302d)의 차량으로 전송할 수 있을 뿐만 아니라, FAB(302d)의 차량으로부터 비어있는 페이로드 컨테이너를 수용할 수 있다. FAB(302c)와 FAB(302d) 사이에서 이송되는 페이로드 컨테이너는 FOUP, 트레이 카세트, 또는 다른 적합한 페이로드 컨테이너를 포함할 수 있다. FAB(302c) 및 FAB(302d) 내의 차량은 이러한 상이한 타입의 모든 페이로드 컨테이너와 호환되도록 구성된다.
일부 다른 실시예에서, FAB(302a)에서 FEOL 프로세스 및/또는 MEOL 프로세스 중 일부 또는 전부를 수행한 후, 처리된 웨이퍼를 FAB(302b)로 이송하는 대신에, 처리된 웨이퍼는 테스트를 위해 차량(306g 및 306h)에 의해 FAB(302d)로 이송될 수 있다. 일부 실시예에서, FAB(302b)에서 BEOL 프로세스의 일부 또는 전부를 수행한 후, 프로세싱된 웨이퍼는 패킹 전에 테스트하기 위해 FAB(302d)로 이송될 수 있다. 일부 실시예에서, FAB(302c) 내의 일부 프로세스가 수행된 후, 웨이퍼는 또한 테스트를 위해 FAB(302d)로 이송될 수 있고, 이어서 테스트된 웨이퍼는 FAB(302d)로부터 FAB(302c)로 이송되어 FAB(302c)에서 나머지 프로세스를 완료할 수 있다.
도 4는 도 3에 FAB 클러스터(300) 내의 크로스-팹 이송 프로세스를 수행하는 예시적인 방법(400)을 예시한 흐름도를 도시한다 일 실시예에서, 방법(400)은, 블록(402)에서, 제1 FAB(예를 들어, 도 3의 FAB(302a))에서 수행되어야 하는 프로세스(예를 들어, FEOL 및/또는 MEOL 프로세스)가 완료되고 페이로드(예를 들어, 웨이퍼)가 제2 FAB(예를 들어, 도 3의 FAB(302b))에서 수행될 다음 단계를 위해 준비되면 통합 제어 유닛(예를 들어, 통합 제어 유닛(126))에 신호를 전송하는 단계를 포함한다. 일부 실시예에서, 신호는 FAB(302a)에 의해 전송될 수 있다. 일부 실시예에서, 신호를 수신한 후, 통합 제어 유닛(126)은 FAB(302a) 내의 페이로드의 현재 위치와 FAB(302b) 내의 페이로드의 다음 위치 사이에서 페이로드를 이송하기 위한 적절한 경로를 결정할 수 있다.
방법(400)은 또한, 블록(404)에서, 페이로드를 FAB(302a)로부터 FAB(302b)로 이송하라는 명령을 각각 FAB(302a) 및 FAB(302b)에 의해 통합 제어 유닛(126)으로부터 수신하는 단계를 포함한다. 명령은 FAB(302a) 내의 이송과 브리징 영역(304a)을 가로지르는 이송으로 구성되고 FAB(302a)의 MCS에 의해 수신되는 제1 서브-경로, 및 FAB(302b) 내의 이송과 브리징 영역(304a)을 가로지르는 이송으로 구성되고 FAB(302b)의 MCS에 의해 수신되는 제2 서브-경로를 포함할 수 있다.
방법(400)은 또한, 블록(406)에서, 페이로드의 현재 위치로부터 FAB(302a 및 302b)를 연결하는 브리징 영역(예를 들어, 브리징 영역(304a))으로 페이로드를 가져오고 적절한 경우 FAB(302b)의 대응하는 차량(예를 들어, 차량(306b))으로 페이로드를 이송하도록 (예를 들어, FAB(302a)의 MCS에 의해) FAB(302a)의 차량(예를 들어, 차량(306a))을 구성하는 단계, 및 블록(408)에서, 브리징 영역(예를 들어, 브리징 영역(304a))에 도착하고 적절한 경우(예를 들어, 도 2a 및 도 2b를 참조하여 설명된 바와 같이, 2개의 차량(306a 및 306b)이 정렬되고, 동일한 속도로 동일한 방향을 따라 주행하고 있고, OHT 트랙의 인접하고 평행한 부분을 따라 주행하고 있는 경우), FAB(302a)의 차량(예를 들어, 차량(306a))으로부터 페이로드를 가져오도록 (예를 들어, FAB(302b)의 MCS에 의해) FAB(302b)의 대응하는 차량(예를 들어, 차량(306b))을 구성하는 단계를 포함한다.
방법(400)은 또한, 블록(410)에서, 일부 미리 결정된 조건(예를 들어, 2개의 차량이 정렬되고, 동일한 속도로 동일한 방향을 따라 주행하고 있고, OHT 트랙의 인접하고 평행한 부분을 따라 주행하고 있음)이 충족되는 경우, FAB(302a)의 차량(306a)과 FAB(302b)의 차량(306b) 사이의 페이로드 이송을 수행하는 단계를 포함한다. 두 개의 차량들 사이의 페이로드 이송은 도 2a 및 도 2b와 관련하여 상기 설명된 것과 유사하다. 페이로드가 차량(306b)에 의해 수용된 후, 차량(306b)은 페이로드를 운반하여 미리 결정된 장비(예를 들어, 프로세스 툴 또는 스토커)로 전달할 수 있다. 그 후, 페이로드에는 FAB(302b)에서 일부 제조 프로세스가 행해질 수 있다. 인터베이 및/또는 인트라베이 페이로드 이송 프로세스는 FAB(302b) 내부에서 더 수행될 수 있다.
방법(400)은, 블록(412)에서, FAB(302b)에서 수행되어야 하는 프로세스(예를 들어, BEOL 프로세스)가 완료되고 페이로드가 FAB(302c)에서 수행될 다음 단계를 위해 준비되면, 통합 제어 유닛(예를 들어, 통합 제어 유닛(126))으로 신호를 전송하는 단계를 포함한다. 일부 실시예에서, 신호가 FAB(302b)에 의해 전송될 수 있다. 신호 또한, 수동 요청일 수 있다. 일부 실시예에서, 신호를 수신한 후, 통합 제어 유닛(126)은 FAB(302b) 내의 페이로드의 현재 위치와 FAB(302c) 내의 페이로드의 원하는 다음 위치 사이에서 페이로드를 이송하기 위한 적절한 경로를 결정할 수 있다.
방법(400)은 또한, 블록(414)에서, 페이로드를 FAB(302b)로부터 FAB(302c)로 이송하라는 명령을 각각 FAB(302b) 및 FAB(302c)에 의해 통합 제어 유닛(126)으로부터 수신하는 단계를 포함한다. 방법(400)은 또한, 블록(416)에서, 페이로드의 현재 위치로부터 FAB(302b) 및 FAB(302c)를 연결하는 브리징 영역(예를 들어, 브리징 영역(304b))으로 페이로드를 가져오고 적절한 경우 FAB(302c)의 대응하는 차량(예를 들어, 차량(306d))으로 페이로드를 이송하도록 (예를 들어, FAB(302b)의 MCS에 의해) FAB(302b)의 차량(예를 들어, 차량(306c))을 구성하는 단계, 및 블록(418)에서, 브리징 영역(예를 들어, 브리징 영역(304b))에 도착하고 적절한 경우(예를 들어, 도 2a 및 도 2b를 참조하여 설명된 바와 같이, 2개의 차량(306c 및 306d)이 정렬되고, 동일한 속도로 동일한 방향을 따라 주행하고 있고, OHT 트랙의 인접하고 평행한 부분을 따라 주행하고 있는 경우), FAB(302b)의 차량(예를 들어, 차량(306c))으로부터 페이로드를 가져오도록 (예를 들어, FAB(302c)의 MCS에 의해) FAB(302c)의 대응하는 차량(예를 들어, 차량(306d))을 구성하는 단계를 포함한다.
방법(400)은 또한, 블록(420)에서, FAB(302b)의 차량(306c)과 FAB(302c)의 차량(306d) 사이의 페이로드 이송을 수행하는 단계를 포함한다. 두 개의 차량들 사이의 페이로드 이송은 도 2a 및 도 2b와 관련하여 상기 설명된 것과 유사하다. 페이로드가 차량(306d)에 의해 수용된 후, 차량(306d)은 페이로드를 운반하여 미리 결정된 장비(예를 들어, 프로세스 툴 또는 스토커)로 전달할 수 있다. 그 후, 페이로드에는 FAB(302c)에서 일부 제조 프로세스(예를 들어, 다이싱, 와이어 본딩)가 행해질 수 있다. 인터베이 및/또는 인트라베이 페이로드 이송 프로세스는 FAB(302c) 내부에서 더 수행될 수 있다.
방법(400)은, 블록(422)에서, FAB(302c)에서 수행되어야 하는 프로세스가 완료되고 페이로드가 FAB(302d)에서 수행될 다음 단계를 위해 준비되면, 통합 제어 유닛(예를 들어, 통합 제어 유닛(126))으로 신호를 전송하는 단계를 포함한다. 일부 실시예에서, 신호가 FAB(302c)에 의해 전송될 수 있다. 신호 또한, 수동 요청일 수 있다. 일부 실시예에서, 신호를 수신한 후, 통합 제어 유닛(126)은 FAB(302c) 내의 페이로드의 현재 위치와 FAB(302d) 내의 페이로드의 원하는 다음 위치 사이에서 페이로드를 이송하기 위한 적절한 경로를 결정할 수 있다.
방법(400)은 또한, 블록(424)에서, 페이로드를 FAB(302c)로부터 FAB(302d)로 이송하라는 명령을 각각 FAB(302c) 및 FAB(302d)에 의해 통합 제어 유닛(126)으로부터 수신하는 단계를 포함한다. 방법(400)은 또한, 블록(426)에서, 페이로드의 현재 위치로부터 FAB(302c) 및 FAB(302d)를 연결하는 브리징 영역(예를 들어, 브리징 영역(304c))으로 페이로드를 가져오고 적절한 경우 FAB(302d)의 대응하는 차량(예를 들어, 차량(306f))으로 페이로드를 이송하도록 (예를 들어, FAB(302c)의 MCS에 의해) FAB(302c)의 차량(예를 들어, 차량(306e))을 구성하는 단계, 및 블록(428)에서, 브리징 영역(예를 들어, 브리징 영역(304c))에 도착하고 적절한 경우(예를 들어, 도 2a 및 도 2b를 참조하여 설명된 바와 같이, 2개의 차량(306e 및 306f)이 정렬되고, 동일한 속도로 동일한 방향을 따라 주행하고 있고, OHT 트랙의 인접하고 평행한 부분을 따라 주행하고 있는 경우), FAB(302c)의 차량(예를 들어, 차량(306e))으로부터 페이로드를 가져오도록 (예를 들어, FAB(302d)의 MCS에 의해) FAB(302d)의 대응하는 차량(예를 들어, 차량(306f))을 구성하는 단계를 포함한다.
방법(400)은 또한, 블록(430)에서, FAB(302c)의 차량(306e)과 FAB(302d)의 차량(306f) 사이의 페이로드 이송을 수행하는 단계를 포함한다. 두 개의 차량들 사이의 페이로드 이송은 도 2a 및 도 2b와 관련하여 상기 설명된 것과 유사하다. 페이로드가 차량(306f)에 의해 수용된 후, 차량(306f)은 페이로드를 운반하여 미리 결정된 장비(예를 들어, 프로세스 툴 또는 스토커)로 전달할 수 있다. 페이로드에는 FAB(302d)에서 일부 제조 프로세스가 행해질 수 있다. 인터베이 및/또는 인트라베이 페이로드 이송 프로세스는 FAB(302d)에서 더 수행될 수 있다. 상기 실시예들에서, 페이로드(예를 들어, 웨이퍼) 이송은 FAB(302a)와 FAB(302b) 사이에서, FAB(302b)와 FAB(302c) 사이에서, 그리고 FAB(302c)와 FAB(302d) 사이에서 순차적으로 수행된다. 일부 대안적인 실시예에서, 다수의 크로스-팹 이송이 이들 FAB들 사이에서 동시에 수행될 수 있고, 다양한 타입의 페이로드가 이송될 수 있다. 일부 다른 대안적인 실시예에서, 페이로드는 FAB(302a)와 FAB(302d) 사이에서 직접 이송될 수 있다. 유사한 동작이 수행될 수 있고, 단순화를 이유로 관련 설명은 생략된다.
도 5는 대안적인 FAB 클러스터(300')의 간략화된 단편적인 개략도를 예시한다. FAB 클러스터(300')는 FAB 클러스터(300)와 유사하다. FAB 클러스터(300')와 FAB 클러스터(300) 사이의 차이 중 하나는 FAB 클러스터(300') 내의 FB(302a 내지 302d)가 상이한 방식으로 배열된다는 것이다. 보다 구체적으로, FAB 클러스터(300') 내의 FAB(302a 내지 302d)는 브리징 영역(304)에 의해 연결된다. FAB(302a 내지 302d)의 OHT 시스템 각각은 브리징 영역(304) 내의 OHT 트랙의 일부분을 포함한다. OHT 트랙의 2개의 인접한 부분은 도 2a 및 도 2b를 참조하여 상기 설명된 크로스-팹 이송을 가능하게 하기 위해 적어도 부분적으로 평행한다. 반복된 설명은 단순화를 이유로 생략된다.
도 1 내지 도 5를 참조하여 설명된 상기 실시예에서, 크로스-팹 이송은 인터페이스 디바이스(예를 들어, 스토커) 상에 페이로드를 배치하지 않고 수행될 수 있고, 이에 의해 운송 효율을 증가시키고 교통 체증을 감소시킬 수 있다. 도 6a 및 도 6b에 도시된 일부 다른 실시예에서, FAB(들)의 OHT 시스템(들)에서 사용되는 차량은 운송 효율을 증가시키고 교통 체증을 감소시키기 위해 하나보다 많은 페이로드 컨테이너를 가져올 수 있다. 도 6a는 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, 도 3에 도시된 바와 같이 라인 A-A'를 따라 취해진 예시적인 차량의 단면도를 도시한다. 도 6b는 도 3에 도시된 바와 같이 라인 B-B'를 따라 취해진 예시적인 차량의 단면도를 도시한다. 도 6a를 참조하면, 차량(306a)이 트랙(308a)을 따라 이동하도록 동작가능할 수 있도록 차량(306a)이 FAB(302a)의 OHT 시스템의 트랙(308a)에 연결된다. 차량(306a)은 하우징(또는 본체)(610), 및 프로세스 툴, 인터페이스 장비, 다른 차량(예를 들어, 차량(306b)), 및/또는 다른 디바이스로부터 하나 이상의 페이로드 컨테이너를 잡기 위해 하우징(610)으로부터 연장되도록 구성된 적어도 하나의(예를 들어, 하나, 둘 또는 그 이상) 상부 그리퍼(620a) 및 적어도 하나의(예를 들어, 하나, 둘, 또는 그 이상) 하부 그리퍼(620b)를 포함한다. 상부 그리퍼(620a) 및 하부 그리퍼(620b)는 하우징(610)의 외부 표면 또는 하우징(610)의 내부 표면에 기계적으로 커플링될 수 있다. 일 예에서, 차량(306a)이 인터페이스 디바이스로부터 페이로드 컨테이너를 가져오도록 구성될 때, 상부 그리퍼(620a) 또는 하부 그리퍼(620b)는 페이로드 컨테이너를 잡도록 측방향으로(예를 들어, Y 방향을 따라) 그리고 수직으로(-Z 방향을 따라) 연장될 수 있다. 상부 그리퍼(620a) 및 하부 그리퍼(620b)는 각자의 기능을 독립적으로 수행할 수 있다. 예를 들어, 일부 실시예에서, 페이로드 컨테이너를 취하기 위해, 상부 그리퍼(620a)와 하부 그리퍼(620b) 중 하나만 페이로드 컨테이너를 가져오도록 동작하도록 구성된다.
차량(306a)은 또한, 상부 그리퍼(620a)에 의해 잡힌 페이로드 컨테이너를 유지 또는 운반하도록 구성된 제1 트레이(630a) 및 하부 그리퍼(620b)에 의해 잡힌 페이로드 컨테이너를 유지 또는 운반하도록 구성된 제2 트레이(630b)를 포함한다. 예를 들어, 상부 그리퍼(620a)가 FAB(302a) 내의 장비로부터 레티클 컨테이너를 가져온 후, 상부 그리퍼(620a)는 레티클 컨테이너를 제1 트레이(630a) 상에 둘 수 있다. 크로스-팹 이송 프로세스 동안, 제1 트레이(630a)는 이송 프로세스를 용이하게 하기 위해 차량(306a)의 본체(610)로부터 슬라이딩하도록 동작가능할 수 있다. 마찬가지로, 하부 그리퍼(620b)가 FAB(302a) 내의 장비로부터 FOUP를 가져온 후, 하부 그리퍼(620b)는 FOUP를 제2 트레이(630b) 상에 둘 수 있다. 제2 트레이(630b)는 크로스-팹 이송 프로세스 동안 차량(306a)의 몸체(610)로부터 슬라이딩되도록 동작가능할 수 있다. 일부 실시예에서, 페이로드 캐리어가 트레이(예를 들어, 제1 트레이(630a), 제2 트레이(630b))로부터 떨어지는 것을 방지하기 위해, 트레이는 미끄럼 방지 메커니즘을 갖도록 구성될 수 있다. 실시예에서, 댐퍼는 트레이의 상단 표면 상에 설치될 수 있다
제1 트레이(630a) 및 하우징(610)의 측벽 및 상단 표면은 상부 캐비티를 형성한다. 제2 트레이(630b), 하우징(610)의 측벽, 및 제1 트레이(630a)의 하단 표면은 하부 캐비티를 형성한다. 일부 실시예에서, 상부 캐비티의 부피는 하부 캐비티의 체적보다 작고, 제1 트레이(630a) 및 제2 트레이(630b)는 상이한 체적을 갖는 페이로드 컨테이너를 유지하도록 구성된다. 예를 들어, 제1 트레이(630a)는 제2 트레이(630b)에 의해 유지되는 페이로드 컨테이너(640b)(예를 들어, FOUP 또는 FOSB)의 체적보다 작은 체적을 갖는 페이로드 컨테이너(640a)(예를 들어, 트레이 카세트 또는 레티클 컨테이너)를 보유할 수 있다. 하나보다 많은 페이로드 컨테이너를 운반할 수 있는 차량을 제공함으로써, 더 많은 페이로드 컨테이너가 이송될 수 있고/있거나 더 적은 차량을 필요로 하고, 이에 따라 운송 효율을 증가시키고 교통 체증을 감소시킨다. 또한, 페이로드 컨테이너를 일시적으로 유지하기 위해 스토커를 사용하는 대신에, 차량의 트레이 중 하나에 페이로드 컨테이너를 일시적으로 저장하는 것은 페이로드 컨테이너를 언로딩하는데 걸리는 시간을 감소시킬 수 있다. 유리하게는, 크로스-팹 이송을 구현하기 위한 인터페이스 디바이스(예를 들어, 스토커)를 배열하기 위해 더 적은 클린룸 공간을 필요로 한다.
도 6b는 크로스-팹 이송 프로세스 동안의 차량(306a) 및 차량(306b)의 간략화된 개략도를 예시한다. 차량(306a 내지 306h) 및 차량(208 내지 210)은 실질적으로 동일한 구조를 가지며, 차량(306b)의 구조와 관련된 반복되는 설명은 단순화를 이유로 생략된다. 예시된 이 예에서, 차량(306a)의 제1 트레이(630a)는 페이로드 컨테이너(640a)를 유지하고, 차량(306a)의 제2 트레이(630b)는 페이로드 컨테이너(640b)를 유지한다. 차량(306a) 및 차량(306b)이 페이로드 이송을 위해 준비된 후, 차량(306b)의 상부 그리퍼(620a') 및 하부 그리퍼(620b')는 차량(306a)의 본체로부터 연장된 후, 측방으로 그리고/또는 수직으로 연장된다. 차량(306a)의 제1 트레이(630a) 및 제2 트레이(630b)는 차량(306a)의 본체(610)로부터 슬라이딩될 수 있다. 이어서, 차량(306b)의 상부 그리퍼(620a') 및 하부 그리퍼(620b')는 하방으로 연장되어 차량(306a)의 제1 트레이(630a) 및 제2 트레이(630b)로부터 각각 페이로드 컨테이너(640a) 및 페이로드 컨테이너(640b)를 가져와 들어 올리고, 페이로드 컨테이너(640a) 및 페이로드 컨테이너(640b)를 각각 차량(306b)의 제1 트레이(630a') 및 제2 트레이(630b') 상에 놓는다. 일부 다른 실시예에서, 페이로드 컨테이너(640a)는 차량(306a)으로부터 차량(306b)으로 이송될 수 있고, 페이로드 컨테이너(640b)는 차량(306a)으로부터 또다른 차량으로 이송될 수 있다. 즉, 페이로드 컨테이너(640a)와 페이로드 컨테이너(640b)의 목적지는 동일하거나 상이할 수 있다. 일부 다른 실시예에서, 차량(306a)은 내부에 페이로드를 갖는 페이로드 컨테이너를 유지할 수 있고, 차량(306b)은 비어있는 페이로드 컨테이너를 유지할 수 있다. 차량(306a)과 차량(306b)이 정렬되고 이송 준비가 된 후, 차량(306a)은 차량(306b)으로부터 비어있는 페이로드 컨테이너를 가져올 수 있고, 차량(306b)은 차량(306a)으로부터 점유 페이로드 컨테이너를 수용할 수 있다. 일부 다른 실시예에서, 차량은 2개의 비어있는 페이로드 컨테이너를 포함할 수 있다. 2개의 페이로드 컨테이너를 운반할 수 있는 차량은 FAB(102 내지 104) 및/또는 FAB(302a 내지 302d)에서 크로스-팹 이송, 동일한 FAB 내의 크로스-페이즈 이송, 및/또는 크로스-AMHS 이송을 위해 사용될 수 있다.
도 7은 본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른, 차량(306a 및 306b)에 의해 크로스-팹 프로세스를 수행하기 위한 예시적인 방법을 예시하는 흐름도를 도시한다. 방법(700)은, 블록(702)에서, 제1 FAB(예를 들어, FAB(302a))에서 제1 페이로드 컨테이너(예를 들어, 페이로드 컨테이너(640a))를 가져오고, 페이로드 컨테이너(640a)를 또다른 FAB(예를 들어, 차량(306b))의 차량(예를 들어, 차량(306b)) 이송하고, 차량(306b)으로부터 제2 페이로드 컨테이너를 수용하라는 명령을 차량(예를 들어, 차량(306a))에 의해 수신하는 단계를 포함한다. 방법(700)은 블록(704)에서, 페이로드 컨테이너(640a)의 현재 위치에 도착할 때까지 FAB(302a)의 레일(308a)을 따라 주행하는 단계를 포함한다. 페이로드 컨테이너(640a)는 웨이퍼 또는 레티클과 같은 페이로드를 운반할 수 있다. 방법(700)은, 블록(706)에서, 차량(306a)의 그리퍼(예를 들어, 상부 그리퍼(620a))에 의해 페이로드 컨테이너(640a)를 잡고 대응하는 트레이(예를 들어, 제1 트레이(630a)) 상에 배치하는 단계를 포함한다. 방법(700)은, 블록(708)에서, FAB(302a)의 레일(308a)을 따라 주행하고, 미리 결정된 시간에 2개의 FAB(예를 들어, 브리징 영역(304a)) 사이의 브리징 영역의 미리 결정된 위치에 도착하는 단계를 포함한다.
방법(700)은, 블록(710)에서, 제2 FAB(예를 들어, FAB(302b))에서 제2 페이로드 컨테이너(도시되지 않음)를 가져오고, 제2 페이로드 컨테이너를 제1 FAB(예를 들어, 차량(302a))의 차량(예를 들어, 차량(306a))으로 이송하고, 차량(306a)으로부터 제1 페이로드 컨테이너(예를 들어, 페이로드 컨테이너(640a))를 수용하라는 명령을 차량(예를 들어, 차량(306b))에 의해 수신하는 단계를 포함한다. 방법(700)은 블록(712)에서, 제2 페이로드 컨테이너의 현재 위치에 도착할 때까지 FAB(302b)의 레일(308b)을 따라 주행하는 단계를 포함한다. FAB(302a)로 이송될 FAB(302b) 내의 제2 페이로드 컨테이너는 페이로드를 운반하지 않는 비어있는 페이로드 컨테이너일 수 있다. 방법(700)은, 블록(714)에서, 차량(306b)의 그리퍼(예를 들어, 하부 그리퍼(620b))에 의해 비어있는 페이로드 컨테이너를 잡고 대응하는 트레이(예를 들어, 제2 트레이(630b)) 상에 배치하는 단계를 포함한다. 방법(700)은, 블록(716)에서, FAB(302b)의 레일(308b)을 따라 주행하고, 미리 결정된 시간에 브리징 영역(304a)의 브리징 영역의 대응하는 미리 결정된 위치에 도착하는 단계를 포함한다. 그 후, 차량(306a) 및 차량(306b)은 정렬 프로세스를 시작하고 차량(306a) 및 차량(306b)이 이송 준비가 되었는지 여부(예를 들어, 제1 및 제2 차량(306a 및 306b)이 정렬되어 동일한 속도로 동일한 방향을 따라 이동하는지 여부)를 결정할 수 있다. 그렇지 않은 경우, 차량(306a) 및 차량(306b)은 이송 준비가 될 때까지 그들 각자의 속도를 구성하거나 다른 동작을 수행할 수 있다. 만약 그렇다면, 방법(700)은 비어있는 페이로드 컨테이너가 차량(306b)으로부터 차량(306a)으로 이송되고, 페이로드 컨테이너(640a)가 차량(306a)으로부터 차량(306b)으로 이송되는 블록(720)으로 이동한다. 2개의 이송은 동시에 수행될 수 있다. 차량(306a) 및 차량(306b)은 당업자에게 명백할 수 있는 바와 같이 더 적거나 더 큰 동작을 수행할 수 있다는 것을 이해한다
도 8은 본 개시의 일 실시예에 따른, 차량의 제어 시스템의 블록도를 도시한다. 본 실시예에서, 차량(306a)은 크로스-팹 이송을 실행하기 위한 동작을 수행하도록 구성된 프로세싱 유닛(810)을 포함한다. 예를 들어, 프로세싱 유닛(810)은 그리퍼(620a 및 620b)의 동작 및 트레이(630a 및 630b)의 동작을 결정할 수 있다. 프로세싱 유닛(810)은 데이터 스토리지(예를 들어, 비휘발성 메모리(NVM))(820)에 커플링된다. 데이터 스토리지(820)는, 프로세싱 유닛(810)에 의해 실행될 때, 프로세싱 유닛(810)이 예를 들어 차량의 이동 및 속도, 그리퍼의 동작, 트레이의 이동을 제어하기 위한 동작을 수행하도록 하는 명령어들을 저장할 수 있다. 데이터 스토리지(820)는 또한 하나 이상의 미리 결정된 기준과 연관된 하나 이상의 파라미터/동작을 저장하기 위한 룩업 테이블(look-up table; LUT)을 포함할 수 있다. 미리 결정된 기준은, 예를 들어 모니터링되거나 검출된 상태 파라미터에 대응하는 기준을 포함할 수 있다. 차량(306a)은 또한 FAB(302a)의 MCS와 차량(306a) 사이의 상호연결을 제공하기 위해 프로세싱 유닛(810)에 커플링된 네트워크 인터페이스(830)를 포함한다. 프로세싱 유닛(810)은 네트워크 인터페이스(730)를 통해 차량의 위치 및 트레이의 가용성 상태와 같은 정보를 MCS로 송신할 수 있다. 프로세싱 유닛(810)은 네트워크 인터페이스(830)를 통해 서브-경로 요청과 같은 신호를 수신할 수 있다.
차량(306a)은 또한 프로세싱 유닛(810)에 동작가능하게 연결된 위치 센서(840)를 포함한다. 동작 동안, 위치 센서(840)는 차량(306a)의 위치 정보를 프로세싱 유닛(810)에 제공할 수 있다. 위치 정보에 기초하여, 프로세싱 유닛(810)은 상이한 동작들을 수행할 수 있다. 차량(306a)은 또한, 차량(306a)이 미리 결정된 대상체(예를 들어, 차량(306b))와 정렬되는지 여부를 결정하기 위해 프로세싱 유닛(810)에 커플링된 정렬 모듈(850)을 포함한다. 일부 실시예에서, 정렬 모듈(850)은 이미지 센서, 레이저 센서, 경사 각도 센서, 다른 적합한 디바이스, 및/또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 차량(306a)은 또한 차량의 그리퍼(들)가 페이로드 캐리어와 완전히 접촉하는지 여부를 결정하도록 구성된 접촉 검출기(860)를 포함할 수 있다. 차량(306a)은 당업자에게 명백할 수 있는 바와 같이 더 적거나 더 큰 컴포넌트를 가질 수 있다는 것을 이해한다. 예를 들어, 차량(306a)은 바코드, 이미지, QR 코드 또는 다른 적합한 정보를 표시하도록 구성될 수 있는 디스플레이를 포함하여, 다른 차량이 이들 두 차량 사이의 정렬을 결정하기 위해 디스플레이 상에 표시된 정보("정렬 마크")를 검출하거나 스캔하기 위해 정렬 모듈을 사용할 수 있다.
도 1 내지 도 8을 참조하여 설명된 상기 실시예에서, FAB의 차량에 의해 수행되는 동작은, 차량이 FAB 내의 또는 브리지 영역 내의 레일을 따라 주행하는지에 관계없이, FAB의 MCS에 의해 제어된다. 일부 다른 실시예에서, 차량이 브리징 영역으로 진입하면, 또다른 MCS가 차량에 의해 수행될 동작을 제어할 책임을 취할 수 있다.
도 9는 본 개시의 실시예에 따른, 간략화된 FAB 클러스터(900)의 블록도를 예시한다. FAB 클러스터(900')는 FAB 클러스터(100)와 유사하다. FAB 클러스터(900)와 FAB 클러스터(100) 사이의 차이 중 하나는 FAB 클러스터(900)의 브리징 영역(106)이 MCS(113)를 포함한다는 것이다. FAB 클러스터(900) 내의 크로스-팹 이송을 위한 예시적인 프로세스는 페이로드 컨테이너(202)를 FAB(104) 내의 장비로부터 가져오고 차량(212)이 부분(210b)을 따라 이동하고 있을 때 페이로드 컨테이너(202)를 차량(208)으로 이송하하는 명령을
차량(212)(도 2a에 도시됨)에 의해 수신하는 단계를 포함한다. 일부 실시예들에서, 명령은 마이크로프로세서(130)로부터 수신된 서브-경로 요청들 중 하나를 포함할 수 있다. 명령을 수신한 후, 차량(212)은 OHT 시스템(209)의 트랙(210)을 따라 이동하여 페이로드 컨테이너(202)를 유지하고 있는 장비에 근접한 위치에 도착하도록 구성된다. 이어서, 차량(212)은 장비로부터 페이로드 컨테이너(202)를 잡고 페이로드 컨테이너(202)를 운반하도록 구성된다. 페이로드 컨테이너(202)를 가져온 후, 차량(212)은 트랙(210)을 따라 이동하고 미리 결정된 위치(214)에 도착하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 차량(212)의 진입/퇴출을 검출하기 위해 하나 이상의 센서가 FAB(104)의 경계 근처에 설치될 수 있다. 센서가 차량(212)의 퇴출을 검출하면, 신호가 FAB(104)의 MCS(116) 및 브리징 영역(106)의 MCS(113)로 전송될 수 있고, 이어서 브리징 영역(106)의 MCS(113)는 차량(212)의 제어를 가질 수 있다. 마찬가지로, 센서가 FAB(102)의 차량(208)의 퇴출을 검출하면, 브리징 영역(106)의 MCS(113)는 차량(208)의 제어를 가질 수 있다. 브리징 영역(106)의 MCS(113)는 차량(212) 및 차량(208)에게 브리징 영역(106)에서 페이로드 이송을 수행하기 위한 동작을 수행하도록 명령할 수 있다.
도 10는 FAB 클러스터(1000)의 간략화된 단편적인 사시도이다. 일부 반도체 FAB 클러스터에서, 각각의 FAB는 상이한 장비를 함유하도록 구성된 하나의 빌딩을 가질 수 있고, 상이한 FAB는 상이한 높이를 가질 수 있다. 즉, 제1 FAB의 OHT 트랙의 높이는 제2 FAB의 OHT 트랙의 높이와는 상이할 수 있다. 도 1 내지 도 9를 참조하여 상기 설명된 방법을 사용하여 크로스-팹 운송을 수행하기 위해, 제1 및 제2 FAB의 OHT 트랙의 구성이 개선될 수 있다. 도 10은 효율적인 크로스-팹 운송을 용이하게 하기 위해 개선된 OHT 트랙의 예를 도시한다. 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 FAB(1100)는 제1 FAB(1100) 내의 OHT 트랙(1300)을 갖고, 브리징 영역(1150)에서, 제2 FAB(1200)는 제2 FAB(1200) 및 브리징 영역(1150) 내의 OHT 트랙(1400)을 갖는다. 제1 FAB(1100) 내의 OHT 트랙(1300)의 부분의 높이(H1)는 제2 FAB(1200) 내의 OHT 트랙(1400)의 부분의 높이(H2)와 상이하다. 브리징 영역(1150)에서 효율적인 크로스-팹 운송을 수행하기 위해, OHT 트랙(1300 및 1400) 각각은, OHT 트랙(1300)의 적어도 일부분과 OHT 트랙(1400)의 일부분이 평행하고 브리징 영역(1150)에서 동일한 높이를 갖도록 구성된다. 본 실시예에서, 제1 FAB(1100)의 OHT 트랙(1300)의 부분은 3개의 부분: 제1 FAB(1100)에서 높이(H1)를 갖는 제1 부분(1300a), 브리징 영역(1150)에서 경사진 레일을, 따라서 균일하지 않은 높이를 갖는 제2 부분(1300b), 및 높이(H1)보다 작은 높이(H3)를 갖는 브리징 영역(1150) 내의 제3 부분(1300c)을 갖는다. 마찬가지로, 제2 FAB(1200)의 OHT 트랙(1400)의 부분은 3개의 부분: 제2 FAB(1200)에서 높이(H2)를 갖는 제1 부분(1400a), 브리징 영역(1150)에서 경사진 레일을, 따라서 균일하지 않은 높이를 갖는 제2 부분(1400b), 및 높이(H2)보다 큰 높이(H3)를 갖는 브리징 영역(1150) 내의 제3 부분(1400c)을 갖는다. 차량에 의해 유지된 페이로드 캐리어가 모든 미터에서 제2 부분(1300b 및 1400b)을 따라 안정성을 유지할 수 있음을 보장하기 위해, 제2 부분(1300b)의 제1 피스(1300b1)의 각도(A1)와 제2 부분(1300b)의 제1 피스(1300b1)에 이웃하는 제2 피스(1300b2)의 각도(A2) 사이의 각도 차이는 10° 미만이다. 각도 차이가 10°보다 크면, 페이로드 캐리어가 차량으로부터 떨어질 수 있다. 각도 차이가 10° 미만인 경우, 브리징 영역은 긴 OHT 트랙을 함유할 수 없을 수 있다. 이는 제2 FAB(1200)의 OHT 트랙(1400)의 제2 부분(1400b)에도 적용된다. OHT 트랙(1300) 및 OHT 트랙(1400)의 높이를 구성함으로써, 2개의 FAB로부터의 차량은, OHT 트랙의 제3 부분(1300c 및 1400c)을 따라 주행하면서 정렬될 수 있고, 상기 설명된 방법을 사용하여 크로스-팹 운송이 효율적으로 수행될 수 있다.
제한을 의도하지 않지만, 본 개시의 하나 이상의 실시예는 크로스-팹 이송에 다수의 장점을 제공한다. 예를 들어, 본 개시는 페이로드 캐리어를 스토커 또는 다른 인터페이스 디바이스 상에 일시적으로 배치하지 않고 크로스-팹 이송을 수행하기 위한 방법을 제공한다. 이와 같이, 크로스-팹 이송은 단순화된다. 또한, 제조 시설은 브리징 영역에 배열된 인터페이스 디바이스를 필요로 하지 않는다. 또한, 인터페이스 디바이스 상에 웨이퍼 캐리어를 임시로 배치하고, 그 후 인터페이스 디바이스로부터 웨이퍼 캐리어를 가져감으로써 야기되는 교통 체증이 감소될 수 있다. 일부 실시예에서, FAB(들)의 차량은 운송 효율을 더욱 증가시키고 교통 체증을 감소시키기 위해 하나 이상의(예를 들어, 2개의) 페이로드 컨테이너를 함유하도록 동작가능할 수 있다. 본 개시의 하나 이상의 실시예는 또한 크로스-페이즈 운송, 크로스-AMHS 운송에 적용될 수 있다.
본 개시는 많은 상이한 실시예를 제공한다. 반도체 시스템 및 그 시스템들이 본원에 개시된다. 하나의 예시적인 양상에서, 본 개시는 시스템에 관한 것이다. 시스템은 제1 제조 플랜트(first fabrication plant; FAB) 빌딩을 포함하고, 제1 FAB 빌딩은 제1 제조 툴 세트, 제1 제조 툴 세트를 서비스하는 제1 오버헤드 이송(overhead transfer; OHT) 트랙, 및 제1 컨테이너를 운반하고 제1 OHT 트랙을 따라 이동하도록 동작가능한 제1 차량을 포함한다. 시스템은 제2 FAB 빌딩을 또한 포함하고, 제2 FAB 빌딩은 제2 제조 툴 세트, 제2 제조 툴 세트를 서비스하는 제2 OHT 트랙, 및 제1 컨테이너를 운반하고 제2 OHT 트랙을 따라 이동하도록 동작가능한 제2 차량을 포함한다. 시스템은 제1 FAB 빌딩과 제2 FAB 빌딩 사이의 제1 브리징 영역을 또한 포함하고, 제1 OHT 트랙은 제1 FAB 빌딩 내의 제1 부분 및 제1 브리징 영역 내의 제2 부분을 포함하고, 제2 OHT 트랙은 제2 FAB 빌딩 내의 제1 부분 및 제1 브리징 영역 내의 제2 부분을 포함하고, 제2 OHT 트랙의 제2 부분은 제1 OHT 트랙의 제2 부분과 적어도 부분적으로 평행하고, 제2 차량은 제1 차량과 제2 차량 둘 다가 제1 브리징 영역에서 이동하고 있을 때 제1 차량으로부터 제1 컨테이너를 직접 수용하도록 동작가능하다.
일부 실시예에서, 제1 제조 툴 세트는 FEOL(front-end-of-line) 프로세스를 수행하도록 구성될 수 있고, 제2 제조 툴 세트는 BEOL(back-end-of-line) 프로세스를 수행하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 컨테이너는 웨이퍼 또는 레티클을 함유하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 컨테이너는 FOUP(front opening unified pod), FOSB(front opening shipping box), 또는 레티클 컨테이너를 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 시스템은 제1 FAB 빌딩과 제2 FAB 빌딩 사이의 페이로드의 운송을 조직화하도록 구성된 마스터 제어 시스템을 또한 포함할 수 있고, 제1 FAB 빌딩은 제1 차량 및 마스터 제어 시스템과 직접 통신하도록 구성된 제1 제어 시스템을 또한 포함할 수 있고, 상기 제2 FAB 빌딩은 제2 차량 및 마스터 제어 시스템과 직접 통신하도록 구성된 제2 제어 시스템을 또한 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 시스템은 제3 제어 시스템을 또한 포함할 수 있고, 제1 제어 시스템은 제1 차량이 제1 OHT 트랙의 제1 부분을 따라 이동하고 있을 때 제1 차량에 의해 수행되는 동작들을 제어하도록 구성될 수 있고, 제2 제어 시스템은 제2 차량이 제2 OHT 트랙의 제1 부분을 따라 이동하고 있을 때 제2 차량에 의해 수행되는 동작들을 제어하도록 구성될 수 있고, 제3 제어 시스템은 제1 차량이 제1 OHT 트랙의 제2 부분을 따라 이동하고 있을 때 제1 차량에 의해 수행되는 동작들을 제어하고 제2 차량이 제2 OHT 트랙의 제2 부분을 따라 이동하고 있을 때 제2 차량에 의해 수행되는 동작들을 제어하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 차량은 2개의 컨테이너를 동시에 운반하도록 동작가능할 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 차량은 또한, 제1 차량과 제2 차량 둘 다가 제1 브리징 영역에서 이동하고 있을 때 제2 차량으로부터 또다른 컨테이너를 직접 수용하도록 동작가능할 수 있다. 일부 실시예에서, 시스템은 제3 FAB 빌딩을 또한 포함할 수 있고, 제3 FAB 빌딩은 제3 제조 툴 세트, 제3 제조 툴 세트를 서비스하는 제3 OHT 트랙, 및 제1 컨테이너를 운반하고 제3 OHT 트랙을 따라 이동하도록 동작가능한 제3 차량을 포함한다. 시스템은 제2 FAB 빌딩과 제3 FAB 빌딩 사이의 제2 브리징 영역을 또한 포함할 수 있고, 제2 OHT 트랙은 제2 브리징 영역 내의 제3 부분을 더 포함하고, 제3 OHT 트랙은 제3 FAB 빌딩 내의 제1 부분 및 제2 브리징 영역 내의 제2 부분을 포함하고, 제2 OHT 트랙의 제3 부분은 제3 OHT 트랙의 제2 부분과 평행하고, 제3 차량은 제2 FAB 빌딩의 차량으로부터 제1 컨테이너를 직접 수용하도록 동작가능할 수 있다. 일부 실시예에서, 제3 제조 툴 세트는 다이싱, 배선, 또는 몰딩을 포함하는 프로세스를 수행하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예에서, 제3 FAB 빌딩의 차량은 제2 FAB 빌딩의 차량에 비점유(unoccupied) 컨테이너를 이송하도록 동작가능할 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 FAB 빌딩 내의 제1 OHT 트랙의 제1 부분의 높이는 제2 FAB 빌딩 내의 제2 OHT 트랙의 제1 부분의 높이와는 상이할 수 있다.
또다른 예시적인 양상에서, 본 개시는 시스템에 관한 것이다. 시스템은 제1 자동 재료 취급 시스템(automatic material handling system; AMHS)을 포함하고, 제1 AMHS는 제1 오버헤드 이송(overhead transfer; OHT) 트랙, 및 제1 OHT 트랙을 따라 이동가능한 제1 차량을 포함하고, 제1 차량은 제1 페이로드 컨테이너와 제2 페이로드 컨테이너를 동시에 운반하도록 동작가능하다.
일부 실시예에서, 제1 페이로드 컨테이너는 트레이 카세트 또는 레티클 컨테이너를 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 제2 페이로드 컨테이너는 FOUP(front opening unified pod) 또는 FOSB(front opening shipping box)를 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 시스템은 제2 AMHS를 또한 포함할 수 있고, 제2 AMHS는 제2 OHT 트랙, 및 제2 OHT 트랙을 따라 이동가능하고 2개의 페이로드 컨테이너를 동시에 운반하도록 동작가능한 제2 차량을 포함하고, 제1 OHT 트랙은 제2 OHT 트랙의 제2 부분과 평행하고 제2 부분에 인접한 제1 부분을 포함하고, 제1 차량이 제1 OHT 트랙의 제1 부분 내에 있다는 조건 하에, 제2 차량은 제2 OHT 트랙의 제2 부분 내에 있고, 제1 차량은 제1 페이로드 컨테이너와 제2 페이로드 컨테이너 중 적어도 하나를 제2 차량으로 이송하도록 동작가능하다. 일부 실시예에서, 제1 차량은, 제1 페이로드 컨테이너를 잡도록 구성된 제1 그리퍼(gripper); 제1 페이로드 컨테이너를 유지하도록 구성된 제1 컨테이너 홀더; 제2 페이로드 컨테이너를 잡도록 구성된 제2 그리퍼; 및 제2 페이로드 컨테이너를 유지하도록 구성된 제2 컨테이너 홀더를 포함할 수 있고, 제2 컨테이너 홀더는 제1 컨테이너 홀더 아래에 배치된다.
또다른 예시적인 양상에서, 본 개시는 방법에 관한 것이다. 방법은 브리징 영역을 통해 연결된 제1 FAB 빌딩 및 제2 FAB 빌딩을 제공하는 단계 - 제1 FAB 빌딩은 제1 복수의 제조 프로세스를 수행하도록 구성된 제1 제조 툴 세트를 포함하고, 제2 FAB 빌딩은 제2 복수의 제조 프로세스를 수행하도록 구성된 제2 제조 툴 세트를 포함함 - ; 제1 FAB 빌딩에서 웨이퍼에 대해 제1 복수의 제조 프로세스 중 하나 이상의 제조 프로세스를 수행하는 단계; 제1 오버헤드 이송(overhead transfer; OHT) 트랙을 따라 주행하고 웨이퍼를 브리징 영역으로 가져가도록 제1 FAB 빌딩의 제1 차량을 구성하는 단계 - 제1 OHT 트랙의 제1 부분은 브리징 영역에 있음 - ; 제2 오버헤드 이송(OHT) 트랙을 따라 주행하고 브리징 영역에 도착하도록 제2 FAB 빌딩의 제2 차량을 구성하는 단계 - 제2 OHT 트랙의 제2 부분은 브리징 영역에 있고 제1 OHT 트랙의 제1 부분과 평행함 - ; 제1 차량 및 제2 차량이 각각 제1 OHT 트랙의 제1 부분 및 제2 OHT 트랙의 제2 부분을 따라 동일한 방향을 따라 동일한 속도로 정렬되고 주행하고 있다는 조건 하에, 웨이퍼를 제2 차량으로 이송하도록 제1 차량을 구성하는 단계; 및 제2 FAB 빌딩에서 웨이퍼에 대해 제2 복수의 제조 프로세스 중 하나 이상의 제조 프로세스를 수행하는 단계를 포함한다.
일부 실시예에서, 제1 복수의 제조 프로세스는 격리 피처, 게이트 구조 및 소스/드레인 피처를 형성하도록 구성된 FEOL(front-end-of-line) 프로세스를 포함하고, 제2 복수의 제조 프로세스는 FEOL 프로세스에 의해 제조된 집적 회로 피처를 상호연결하는 다층 상호연결(multilayer interconnect; MLI) 구조물을 형성하도록 구성된 BEOL(back-end-of-line) 프로세스를 포함한다. 일부 실시예에서, 방법은 제1 차량과 제2 차량이 각각 제1 OHT 트랙의 제1 부분 및 제2 OHT 트랙의 제2 부분을 따라 동일한 방향을 따라 동일한 속도로 정렬되고 주행한다는 조건 하에, 페이로드 컨테이너를 제1 차량에 이송하도록 제2 차량을 추가로 구성하는 단계를 또한 포함할 수 있다.
상술한 것은 당업자가 본 개시의 양상을 더 잘 이해할 수 있도록 몇몇 실시예들의 특징들의 개요를 서술한 것이다. 당업자는 본원에서 소개되는 실시예들의 동일한 이점들을 달성하고/하거나 동일한 목적들을 수행하기 위한 다른 프로세스들 및 구조들을 설계 또는 수정하기 위한 기반으로서 이들이 본 개시내용을 쉽게 사용할 수 있다는 것을 이해해야 한다. 또한 당업자들은 또한 이와 같은 균등한 구성들이 본 개시의 사상 및 범위로부터 벗어나지 않음과, 본 개시의 사상 및 범위에서 벗어나지 않고 자신들이 다양한 변경들, 대체들, 및 개조들을 행할 수 있다는 것을 인식해야 한다.
실시예
실시예 1. 시스템에 있어서,
제1 제조 플랜트(first fabrication plant; FAB) 빌딩으로서,
제1 제조 툴 세트,
상기 제1 제조 툴 세트를 서비스하는 제1 오버헤드 이송(overhead transfer; OHT) 트랙, 및
제1 컨테이너를 운반하고 상기 제1 OHT 트랙을 따라 이동하도록 동작가능한 제1 차량을 포함하는, 상기 제1 FAB 빌딩;
제2 FAB 빌딩으로서,
제2 제조 툴 세트,
상기 제2 제조 툴 세트를 서비스하는 제2 OHT 트랙, 및
상기 제1 컨테이너를 운반하고 상기 제2 OHT 트랙을 따라 이동하도록 동작가능한 제2 차량을 포함하는, 상기 제2 FAB 빌딩; 및
상기 제1 FAB 빌딩과 상기 제2 FAB 빌딩 사이의 제1 브리징 영역으로서, 상기 제1 OHT 트랙은 상기 제1 FAB 빌딩 내의 제1 부분 및 상기 제1 브리징 영역 내의 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 OHT 트랙은 상기 제2 FAB 빌딩 내의 제1 부분 및 상기 제1 브리징 영역 내의 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 OHT 트랙의 제2 부분은 상기 제1 OHT 트랙의 제2 부분과 적어도 부분적으로 평행하는 것인, 상기 제1 브리징 영역
을 포함하고,
상기 제2 차량은 상기 제1 차량과 상기 제2 차량 둘 다가 상기 제1 브리징 영역에서 이동하고 있을 때 상기 제1 차량으로부터 상기 제1 컨테이너를 직접 수용하도록 동작가능한 것인, 시스템.
실시예 2. 실시예 1에 있어서,
상기 제1 제조 툴 세트는 FEOL(front-end-of-line) 프로세스를 수행하도록 구성되고, 상기 제2 제조 툴 세트는 BEOL(back-end-of-line) 프로세스를 수행하도록 구성되는 것인, 시스템.
실시예 3. 실시예 1에 있어서,
상기 제1 컨테이너는 웨이퍼 또는 레티클을 함유하도록 구성되는 것인, 시스템.
실시예 4. 실시예 1에 있어서,
상기 제1 컨테이너는 FOUP(front opening unified pod), FOSB(front opening shipping box), 또는 레티클 컨테이너를 포함하는 것인, 시스템.
실시예 5. 실시예 1에 있어서,
상기 제1 FAB 빌딩과 상기 제2 FAB 빌딩 사이의 페이로드의 운송을 조직화하도록 구성된 마스터 제어 시스템
을 더 포함하고,
상기 제1 FAB 빌딩은 상기 제1 차량 및 상기 마스터 제어 시스템과 직접 통신하도록 구성된 제1 제어 시스템을 더 포함하고, 상기 제2 FAB 빌딩은 상기 제2 차량 및 상기 마스터 제어 시스템과 직접 통신하도록 구성된 제2 제어 시스템을 더 포함하는 것인, 시스템.
실시예 6. 실시예 5에 있어서,
제3 제어 시스템
을 더 포함하고,
상기 제1 제어 시스템은 상기 제1 차량이 상기 제1 OHT 트랙의 제1 부분을 따라 이동하고 있을 때 상기 제1 차량에 의해 수행되는 동작들을 제어하도록 구성되고, 상기 제2 제어 시스템은 상기 제2 차량이 상기 제2 OHT 트랙의 제1 부분을 따라 이동하고 있을 때 상기 제2 차량에 의해 수행되는 동작들을 제어하도록 구성되고, 상기 제3 제어 시스템은 상기 제1 차량이 상기 제1 OHT 트랙의 제2 부분을 따라 이동하고 있을 때 상기 제1 차량에 의해 수행되는 동작들을 제어하고 상기 제2 차량이 상기 제2 OHT 트랙의 제2 부분을 따라 이동하고 있을 때 상기 제2 차량에 의해 수행되는 동작들을 제어하도록 구성되는 것인, 시스템.
실시예 7. 실시예 1에 있어서,
상기 제1 차량은 2개의 컨테이너를 동시에 운반하도록 동작가능한 것인, 시스템.
실시예 8. 실시예 1에 있어서,
상기 제1 차량은 또한, 상기 제1 차량과 상기 제2 차량 둘 다가 상기 제1 브리징 영역에서 이동하고 있을 때 상기 제2 차량으로부터 또다른 컨테이너를 직접 수용하도록 동작가능한 것인, 시스템.
실시예 9. 실시예 1에 있어서,
제3 FAB 빌딩으로서,
제3 제조 툴 세트,
상기 제3 제조 툴 세트를 서비스하는 제3 OHT 트랙, 및
상기 제1 컨테이너를 운반하고 상기 제3 OHT 트랙을 따라 이동하도록 동작가능한 제3 차량을 포함하는, 상기 제3 FAB 빌딩; 및
상기 제2 FAB 빌딩과 상기 제3 FAB 빌딩 사이의 제2 브리징 영역으로서, 상기 제2 OHT 트랙은 상기 제2 브리징 영역 내의 제3 부분을 더 포함하고, 상기 제3 OHT 트랙은 상기 제3 FAB 빌딩 내의 제1 부분 및 상기 제2 브리징 영역 내의 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 OHT 트랙의 제3 부분은 상기 제3 OHT 트랙의 제2 부분과 평행하는 것인, 상기 제2 브리징 영역
을 더 포함하고;
상기 제3 차량은 상기 제2 FAB 빌딩의 차량으로부터 상기 제1 컨테이너를 직접 수용하도록 동작가능한 것인, 시스템.
실시예 10. 실시예 9에 있어서,
상기 제3 제조 툴 세트는 다이싱, 배선, 또는 몰딩을 포함하는 프로세스를 수행하도록 구성되는 것인, 시스템.
실시예 11. 실시예 9에 있어서,
상기 제3 FAB 빌딩의 차량은 상기 제2 FAB 빌딩의 차량에 비점유(unoccupied) 컨테이너를 이송하도록 동작가능한 것인, 시스템.
실시예 12. 실시예 1에 있어서,
상기 제1 FAB 빌딩 내의 상기 제1 OHT 트랙의 제1 부분의 높이는 상기 제2 FAB 빌딩 내의 상기 제2 OHT 트랙의 제1 부분의 높이와는 상이한 것인, 시스템.
실시예 13. 시스템에 있어서,
제1 자동 재료 취급 시스템(automatic material handling system; AMHS)
을 포함하고, 상기 제1 AMHS는,
제1 오버헤드 이송(overhead transfer; OHT) 트랙, 및
상기 제1 OHT 트랙을 따라 이동가능한 제1 차량을 포함하며, 상기 제1 차량은 제1 페이로드 컨테이너와 제2 페이로드 컨테이너를 동시에 운반하도록 동작가능한 것인, 시스템.
실시예 14. 실시예 13에 있어서,
상기 제1 페이로드 컨테이너는 트레이 카세트 또는 레티클 컨테이너를 포함하는 것인, 시스템.
실시예 15. 실시예 13에 있어서,
상기 제2 페이로드 컨테이너는 FOUP(front opening unified pod) 또는 FOSB(front opening shipping box)를 포함하는 것인, 시스템.
실시예 16. 실시예 13에 있어서,
제2 AMHS
를 포함하고, 상기 제2 AMHS는,
제2 OHT 트랙, 및
상기 제2 OHT 트랙을 따라 이동가능하고 2개의 페이로드 컨테이너를 동시에 운반하도록 동작가능한 제2 차량을 포함하고,
상기 제1 OHT 트랙은 상기 제2 OHT 트랙의 제2 부분과 평행하고 상기 제2 부분에 인접한 제1 부분을 포함하고,
상기 제1 차량이 상기 제1 OHT 트랙의 제1 부분 내에 있다는 조건 하에, 상기 제2 차량은 상기 제2 OHT 트랙의 제2 부분 내에 있고, 상기 제1 차량은 상기 제1 페이로드 컨테이너와 상기 제2 페이로드 컨테이너 중 적어도 하나를 상기 제2 차량으로 이송하도록 동작가능한 것인, 시스템.
실시예 17. 실시예 13에 있어서,
상기 제1 차량은,
상기 제1 페이로드 컨테이너를 잡도록 구성된 제1 그리퍼(gripper);
상기 제1 페이로드 컨테이너를 유지하도록 구성된 제1 컨테이너 홀더;
상기 제2 페이로드 컨테이너를 잡도록 구성된 제2 그리퍼; 및
상기 제2 페이로드 컨테이너를 유지하도록 구성된 제2 컨테이너 홀더를 포함하며,
상기 제2 컨테이너 홀더는 상기 제1 컨테이너 홀더 아래에 배치되는 것인, 시스템.
실시예 18. 방법에 있어서,
브리징 영역을 통해 연결된 제1 제조 플랜트(first fabrication plant; FAB) 빌딩 및 제2 FAB 빌딩을 제공하는 단계 - 상기 제1 FAB 빌딩은 제1 복수의 제조 프로세스를 수행하도록 구성된 제1 제조 툴 세트를 포함하고, 상기 제2 FAB 빌딩은 제2 복수의 제조 프로세스를 수행하도록 구성된 제2 제조 툴 세트를 포함함 - ;
상기 제1 FAB 빌딩에서 웨이퍼에 대해 상기 제1 복수의 제조 프로세스 중 하나 이상의 제조 프로세스를 수행하는 단계;
제1 오버헤드 이송(overhead transfer; OHT) 트랙을 따라 주행하고 상기 웨이퍼를 상기 브리징 영역으로 가져가도록 상기 제1 FAB 빌딩의 제1 차량을 구성하는 단계 - 상기 제1 OHT 트랙의 제1 부분은 상기 브리징 영역에 있음 - ;
제2 오버헤드 이송(OHT) 트랙을 따라 주행하고 상기 브리징 영역에 도착하도록 상기 제2 FAB 빌딩의 제2 차량을 구성하는 단계 - 상기 제2 OHT 트랙의 제2 부분은 상기 브리징 영역에 있고 상기 제1 OHT 트랙의 제1 부분과 평행함 - ;
상기 제1 차량 및 상기 제2 차량이 각각 상기 제1 OHT 트랙의 제1 부분 및 상기 제2 OHT 트랙의 제2 부분을 따라 동일한 방향을 따라 동일한 속도로 정렬되고 주행하고 있다는 조건 하에, 상기 웨이퍼를 상기 제2 차량으로 이송하도록 상기 제1 차량을 구성하는 단계; 및
상기 제2 FAB 빌딩에서 상기 웨이퍼에 대해 상기 제2 복수의 제조 프로세스 중 하나 이상의 제조 프로세스를 수행하는 단계
를 포함하는 방법.
실시예 19. 실시예 18에 있어서,
상기 제1 복수의 제조 프로세스는 격리 피처, 게이트 구조 및 소스/드레인 피처를 형성하도록 구성된 FEOL(front-end-of-line) 프로세스를 포함하고, 상기 제2 복수의 제조 프로세스는 FEOL 프로세스에 의해 제조된 집적 회로 피처를 상호연결하는 다층 상호연결(multilayer interconnect; MLI) 구조물을 형성하도록 구성된 BEOL(back-end-of-line) 프로세스를 포함하는 것인, 방법.
실시예 20. 실시예 18에 있어서,
상기 제1 차량과 상기 제2 차량이 각각 상기 제1 OHT 트랙의 제1 부분 및 상기 제2 OHT 트랙의 제2 부분을 따라 동일한 방향을 따라 동일한 속도로 정렬되고 주행한다는 조건 하에, 페이로드 컨테이너를 상기 제1 차량에 이송하도록 상기 제2 차량을 추가로 구성하는 단계를 더 포함하는, 방법.

Claims (10)

  1. 시스템에 있어서,
    제1 제조 플랜트(first fabrication plant; FAB) 빌딩으로서,
    제1 제조 툴 세트,
    상기 제1 제조 툴 세트를 서비스하는 제1 오버헤드 이송(overhead transfer; OHT) 트랙, 및
    제1 컨테이너를 운반하고 상기 제1 OHT 트랙을 따라 이동하도록 동작가능한 제1 차량을 포함하는, 상기 제1 FAB 빌딩;
    제2 FAB 빌딩으로서,
    제2 제조 툴 세트,
    상기 제2 제조 툴 세트를 서비스하는 제2 OHT 트랙, 및
    상기 제1 컨테이너를 운반하고 상기 제2 OHT 트랙을 따라 이동하도록 동작가능한 제2 차량을 포함하는, 상기 제2 FAB 빌딩; 및
    상기 제1 FAB 빌딩과 상기 제2 FAB 빌딩 사이의 제1 브리징 영역으로서, 상기 제1 OHT 트랙은 상기 제1 FAB 빌딩 내의 제1 부분 및 상기 제1 브리징 영역 내의 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 OHT 트랙은 상기 제2 FAB 빌딩 내의 제1 부분 및 상기 제1 브리징 영역 내의 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 OHT 트랙의 제2 부분은 상기 제1 OHT 트랙의 제2 부분과 적어도 부분적으로 평행하는 것인, 상기 제1 브리징 영역
    을 포함하고,
    상기 제2 차량은 상기 제1 차량과 상기 제2 차량 둘 다가 상기 제1 브리징 영역에서 이동하고 있을 때 상기 제1 차량으로부터 상기 제1 컨테이너를 직접 수용하도록 동작가능한 것인, 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 제조 툴 세트는 FEOL(front-end-of-line) 프로세스를 수행하도록 구성되고, 상기 제2 제조 툴 세트는 BEOL(back-end-of-line) 프로세스를 수행하도록 구성되는 것인, 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 컨테이너는 웨이퍼 또는 레티클을 함유하도록 구성되는 것인, 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 컨테이너는 FOUP(front opening unified pod), FOSB(front opening shipping box), 또는 레티클 컨테이너를 포함하는 것인, 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 FAB 빌딩과 상기 제2 FAB 빌딩 사이의 페이로드의 운송을 조직화하도록 구성된 마스터 제어 시스템
    을 더 포함하고,
    상기 제1 FAB 빌딩은 상기 제1 차량 및 상기 마스터 제어 시스템과 직접 통신하도록 구성된 제1 제어 시스템을 더 포함하고, 상기 제2 FAB 빌딩은 상기 제2 차량 및 상기 마스터 제어 시스템과 직접 통신하도록 구성된 제2 제어 시스템을 더 포함하는 것인, 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 차량은 2개의 컨테이너를 동시에 운반하도록 동작가능한 것인, 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 차량은 또한, 상기 제1 차량과 상기 제2 차량 둘 다가 상기 제1 브리징 영역에서 이동하고 있을 때 상기 제2 차량으로부터 또다른 컨테이너를 직접 수용하도록 동작가능한 것인, 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    제3 FAB 빌딩으로서,
    제3 제조 툴 세트,
    상기 제3 제조 툴 세트를 서비스하는 제3 OHT 트랙, 및
    상기 제1 컨테이너를 운반하고 상기 제3 OHT 트랙을 따라 이동하도록 동작가능한 제3 차량을 포함하는, 상기 제3 FAB 빌딩; 및
    상기 제2 FAB 빌딩과 상기 제3 FAB 빌딩 사이의 제2 브리징 영역으로서, 상기 제2 OHT 트랙은 상기 제2 브리징 영역 내의 제3 부분을 더 포함하고, 상기 제3 OHT 트랙은 상기 제3 FAB 빌딩 내의 제1 부분 및 상기 제2 브리징 영역 내의 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 OHT 트랙의 제3 부분은 상기 제3 OHT 트랙의 제2 부분과 평행하는 것인, 상기 제2 브리징 영역
    을 더 포함하고;
    상기 제3 차량은 상기 제2 FAB 빌딩의 차량으로부터 상기 제1 컨테이너를 직접 수용하도록 동작가능한 것인, 시스템.
  9. 시스템에 있어서,
    제1 자동 재료 취급 시스템(automatic material handling system; AMHS)
    을 포함하고, 상기 제1 AMHS는,
    제1 오버헤드 이송(overhead transfer; OHT) 트랙, 및
    상기 제1 OHT 트랙을 따라 이동가능한 제1 차량을 포함하며, 상기 제1 차량은 제1 페이로드 컨테이너와 제2 페이로드 컨테이너를 동시에 운반하도록 동작가능한 것인, 시스템.
  10. 방법에 있어서,
    브리징 영역을 통해 연결된 제1 제조 플랜트(first fabrication plant; FAB) 빌딩 및 제2 FAB 빌딩을 제공하는 단계 - 상기 제1 FAB 빌딩은 제1 복수의 제조 프로세스를 수행하도록 구성된 제1 제조 툴 세트를 포함하고, 상기 제2 FAB 빌딩은 제2 복수의 제조 프로세스를 수행하도록 구성된 제2 제조 툴 세트를 포함함 - ;
    상기 제1 FAB 빌딩에서 웨이퍼에 대해 상기 제1 복수의 제조 프로세스 중 하나 이상의 제조 프로세스를 수행하는 단계;
    제1 오버헤드 이송(overhead transfer; OHT) 트랙을 따라 주행하고 상기 웨이퍼를 상기 브리징 영역으로 가져가도록 상기 제1 FAB 빌딩의 제1 차량을 구성하는 단계 - 상기 제1 OHT 트랙의 제1 부분은 상기 브리징 영역에 있음 - ;
    제2 오버헤드 이송(OHT) 트랙을 따라 주행하고 상기 브리징 영역에 도착하도록 상기 제2 FAB 빌딩의 제2 차량을 구성하는 단계 - 상기 제2 OHT 트랙의 제2 부분은 상기 브리징 영역에 있고 상기 제1 OHT 트랙의 제1 부분과 평행함 - ;
    상기 제1 차량 및 상기 제2 차량이 각각 상기 제1 OHT 트랙의 제1 부분 및 상기 제2 OHT 트랙의 제2 부분을 따라 동일한 방향을 따라 동일한 속도로 정렬되고 주행하고 있다는 조건 하에, 상기 웨이퍼를 상기 제2 차량으로 이송하도록 상기 제1 차량을 구성하는 단계; 및
    상기 제2 FAB 빌딩에서 상기 웨이퍼에 대해 상기 제2 복수의 제조 프로세스 중 하나 이상의 제조 프로세스를 수행하는 단계
    를 포함하는 방법.
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