KR20230169823A - Shield type gate valve - Google Patents

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KR20230169823A
KR20230169823A KR1020220131566A KR20220131566A KR20230169823A KR 20230169823 A KR20230169823 A KR 20230169823A KR 1020220131566 A KR1020220131566 A KR 1020220131566A KR 20220131566 A KR20220131566 A KR 20220131566A KR 20230169823 A KR20230169823 A KR 20230169823A
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passage
fluid passage
gate valve
valve body
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KR1020220131566A
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하정우
박홍수
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(주)엔투텍
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Abstract

본 발명은 쉴드형 게이트 밸브에 관한 것으로서, 유체통로가 형성된 밸브몸체부와, 유체통로의 일방에 설치된 제1 통로부와, 유체통로의 타방에 제1 통로부와 연통되도록 설치된 제2 통로부와, 개폐구동력을 제공하는 구동부와, 유체통로와 연통하도록 설치된 슬로우 펌프부와, 제1 통로부의 내부둘레에 설치된 제1 쉴드부와, 제2 통로부의 내부둘레에 설치된 제2 쉴드부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 개폐부가 슬라이딩 이동되는 밸브몸체부의 유체통로에 제1 쉴드부와 제2 쉴드부를 구비함으로써, 유체통로 및 개폐부의 파우더에 의한 부식을 방지하고 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐부의 슬라이딩 불량을 감소시켜 게이트 밸브의 수명을 연장시킬 수 있는 효과를 제공한다.The present invention relates to a shield-type gate valve, comprising a valve body portion formed with a fluid passage, a first passage portion installed on one side of the fluid passage, and a second passage portion installed on the other side of the fluid passage to communicate with the first passage portion. , a driving part that provides opening and closing driving force, a slow pump part installed to communicate with the fluid passage, a first shield part installed on the inner circumference of the first passage part, and a second shield part installed on the inner circumference of the second passage part. Do it as Therefore, the present invention provides a first shield portion and a second shield portion in the fluid passage of the valve body portion along which the opening and closing portion slides, thereby preventing corrosion caused by powder in the fluid passage and the opening and closing portion and preventing jamming by lumped powder, thereby preventing the opening and closing portion from being caught. It provides the effect of reducing sliding defects and extending the life of the gate valve.

Description

쉴드형 게이트 밸브{SHIELD TYPE GATE VALVE}Shield type gate valve {SHIELD TYPE GATE VALVE}

본 발명은 쉴드형 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 개폐 동작을 원활하게 수행하는 쉴드형 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a shield-type gate valve, and more specifically, to a shield-type gate valve that is installed between a vacuum chamber and a vacuum pump and performs an opening and closing operation smoothly.

일반적으로 LCD(liquid crystal display) 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정이나 패럴린 코팅과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업을 할 때에는 작업이 이루어지는 챔버의 내부의 공기를 제거하여 진공 환경을 형성한다. 이 경우, 적절한 진공도를 설정 및 유지하는 것이 중요한데, 이 때 반드시 필요한 것이 진공 게이트 밸브이다.In general, when performing work such as an etching process for an LCD (liquid crystal display) substrate or a semiconductor wafer, a deposition process, a sputtering process, or a special coating process that requires a vacuum condition such as paraline coating, the air inside the chamber where the work is performed is performed. is removed to form a vacuum environment. In this case, it is important to set and maintain an appropriate vacuum level, and what is absolutely necessary at this time is a vacuum gate valve.

진공 게이트 밸브는 챔버와 펌프를 연결하는 통로에 위치하여 통로를 개폐함으로써, 진공상태를 유지 또는 해제하는 역할을 한다. 이러한 진공 게이트 밸브는 통상 하나의 구동판과 하나의 기밀판의 작동에 의해 챔버쪽으로 연결되는 통로를 밀폐시킴으로써 챔버의 기밀성을 유지하게 된다.The vacuum gate valve is located in the passage connecting the chamber and the pump and plays the role of maintaining or releasing the vacuum state by opening and closing the passage. This vacuum gate valve usually maintains the airtightness of the chamber by sealing the passage leading to the chamber by the operation of one driving plate and one airtight plate.

따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다. 따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있다.Therefore, the vacuum work area of the semiconductor manufacturing equipment and the air sealing technology also have a significant impact on the quality of semiconductor products. Therefore, the vacuum valve, which is installed between the chamber where the semiconductor device integration process takes place and the vacuum pump that suctions the air in the chamber, plays an important role in opening and closing the suction force of the vacuum pump to be transmitted to the chamber, thus contributing to its lifespan. Efforts to maintain are also emerging as an important problem.

특히, 진공 게이트 밸브를 통하여 배출되는 진공챔버 내의 유체는 여러 가지 부산물이 포함된다. 이러한 부산물은 유체의 배출시 게이트 밸브의 개폐판을 구동하기 위한 엑츄에이터의 링크나 개폐판이 슬라이딩되는 하우징의 내벽에 지속적으로 부착되어 개폐판의 전후진 동작을 방해하고, 개폐판과 유체통로 사이의 밀폐력을 감소시키므로, 진공 게이트 밸브 내부에 부착된 부산물을 제거하기 위한 부산물 제거부재가 필요 하였다.In particular, the fluid in the vacuum chamber discharged through the vacuum gate valve contains various by-products. These by-products continuously attach to the link of the actuator for driving the opening and closing plate of the gate valve when fluid is discharged or to the inner wall of the housing where the opening and closing plate slides, hindering the forward and backward movement of the opening and closing plate, and reducing the sealing force between the opening and closing plate and the fluid passage. Therefore, a by-product removal member was needed to remove by-products attached to the inside of the vacuum gate valve.

종래의 부산물 제거부재로는 게이트 밸브의 유체통로 부위에 설치되어 질소와 같은 세정가스를 공급함으로써 진공 게이트 밸브의 몸체 내부에 부착된 파우더 등의 이물질을 제거하는 세정가스 공급부를 구비하였다.The conventional by-product removal member includes a cleaning gas supply unit installed in the fluid passage area of the gate valve to remove foreign substances such as powder attached to the body of the vacuum gate valve by supplying a cleaning gas such as nitrogen.

그러나, 이러한 세정가스 공급부는 진공 게이트 밸브에 부가적으로 설치되어 진공 게이트 밸브의 개폐여부에 따라 동작되므로 그 구조와 제어가 복잡하였다. However, since this cleaning gas supply unit is installed additionally to the vacuum gate valve and operates depending on whether the vacuum gate valve is opened or closed, its structure and control are complicated.

또한, 진공 게이트 밸브 내의 부산물을 지속적으로 제거하기 위해서는, 세정가스를 정기적으로 공급해야 하므로 부산물 제거 비용이 높다는 문제가 있었다. 또한, 진공 게이트 밸브 내에 부착된 부산물이 공급된 세정가스에 의해 출구로 빠져나가지 못하고 진공 게이트 밸브의 더 깊숙한 내부 공간으로 이동되었다. In addition, in order to continuously remove by-products in the vacuum gate valve, cleaning gas must be supplied regularly, which poses a problem of high by-product removal costs. Additionally, by-products attached to the vacuum gate valve could not escape through the outlet due to the supplied cleaning gas and were moved deeper into the internal space of the vacuum gate valve.

이는 개폐판의 슬라이딩 불량을 야기시킬 뿐만 아니라, 진공 게이트 밸브 전체를 해체하여 세척하거나 클리닝해야하는 문제가 있었고, 유체통로의 개폐성능 및 밀폐성능의 저하로 인하여 여기에 연결되는 진공 반도체 설비에서의 처리공정에서도 처리불량을 제공하는 문제도 있었다.This not only caused a sliding defect in the opening and closing plate, but also caused the problem of having to disassemble and wash the entire vacuum gate valve, and the processing process in the vacuum semiconductor equipment connected to it due to the deterioration of the opening and closing performance and sealing performance of the fluid passage. There was also a problem of providing poor processing.

대한민국 공개특허 제10-2016-0131564호 (2016년11월16일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2016-0131564 (November 16, 2016) 대한민국 등록특허 제10-1651251호 (2016년08월26일)Republic of Korea Patent No. 10-1651251 (August 26, 2016) 대한민국 등록특허 제10-2202570호 (2021년01월13일)Republic of Korea Patent No. 10-2202570 (January 13, 2021)

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 개폐부가 슬라이딩 이동되는 밸브몸체부의 유체통로에 제1 쉴드부와 제2 쉴드부를 구비함으로써, 유체통로 및 개폐부의 파우더에 의한 부식을 방지하고 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐부의 슬라이딩 불량을 감소시킬 수 있는 쉴드형 게이트 밸브를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention was devised to solve the above-described conventional problems. By providing a first shield portion and a second shield portion in the fluid passage of the valve body portion where the opening and closing portion slides, corrosion caused by powder in the fluid passage and the opening and closing portion is prevented. The purpose is to provide a shield-type gate valve that can reduce sliding defects in the opening and closing portion by preventing jamming by lump powder.

또한, 본 발명은 쉴드부로서 쉴드편과 쉴드면과 쉴드턱과 쉴드돌기와 슬로우 펌프홀을 구비함으로써, 유체통로에 설치를 용이하게하는 동시에 쉴드면의 표면 마찰계수가 작아 표면 상에 생성물이나 미립자(Paticle) 등의 부착이나 증착에 의한 오염도를 최소화할 수 있는 쉴드형 게이트 밸브를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.In addition, the present invention facilitates installation in the fluid passage by providing a shield piece, a shield surface, a shield jaw, a shield protrusion, and a slow pump hole as a shield part, and at the same time, the surface friction coefficient of the shield surface is small, preventing products or particulates ( Another purpose is to provide a shield-type gate valve that can minimize contamination caused by attachment or deposition of particles, etc.

또한, 본 발명은 밸브몸체부의 유체통로에 합성수지 소재의 제1 쉴드부와 제2 쉴드부를 탈부착하도록 이격 설치함으로써, 유체통로에 파우더의 부착이나 증착을 저감하는 동시에 밸브몸체부의 유체통로에 대한 유지보수 성능을 향상시킬 수 있는 쉴드형 게이트 밸브를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention reduces the adhesion or deposition of powder in the fluid passage by installing the first shield and the second shield made of synthetic resin in a detachable manner in the fluid passage of the valve body, and at the same time allows maintenance of the fluid passage of the valve body. Another purpose is to provide a shield-type gate valve that can improve performance.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유체통로가 형성된 밸브몸체부(10); 상기 밸브몸체부(10)의 유체통로의 일방에 설치된 제1 통로부(20); 상기 밸브몸체부(10)의 유체통로의 타방에 상기 제1 통로부(20)와 연통되도록 설치된 제2 통로부(30); 상기 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되어, 상기 제1 통로부(20)와 상기 제2 통로부(30)의 연통부위를 개폐하도록 개폐구동력을 제공하는 구동부(40); 상기 밸브몸체부(10)의 일방에 유체통로와 연통하도록 설치된 슬로우 펌프부(50); 상기 제1 통로부(20)의 내부둘레에 설치된 제1 쉴드부(60); 및 상기 제2 통로부(30)의 내부둘레에 설치된 제2 쉴드부(70);를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object includes a valve body portion (10) in which a fluid passage is formed; A first passage portion (20) installed on one side of the fluid passage of the valve body portion (10); a second passage portion 30 installed on the other side of the fluid passage of the valve body portion 10 to communicate with the first passage portion 20; A driving unit 40 installed at one end of the valve body 10 to provide an opening/closing drive force to open and close the communication portion of the first passage 20 and the second passage 30; A slow pump unit (50) installed on one side of the valve body unit (10) to communicate with a fluid passage; A first shield portion 60 installed around the inner circumference of the first passage portion 20; and a second shield part 70 installed around the inner circumference of the second passage part 30.

본 발명의 상기 제1 쉴드부(60)는, 상기 제1 통로부(20)의 내부둘레에 설치된 제1 쉴드편; 상기 제1 쉴드편의 내주면에 형성된 제1 쉴드면; 상기 제1 쉴드편의 일단 둘레에 형성된 제1 쉴드턱; 상기 제1 쉴드편의 타단 둘레에 형성된 제1 쉴드돌기; 및 상기 제1 쉴드면의 일방에 관통 형성된 제1 슬로우 펌프홀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The first shield portion 60 of the present invention includes a first shield piece installed around the inner circumference of the first passage portion 20; a first shield surface formed on the inner peripheral surface of the first shield piece; a first shield jaw formed around one end of the first shield piece; a first shield protrusion formed around the other end of the first shield piece; and a first slow pump hole formed through one side of the first shield surface.

본 발명의 상기 제1 쉴드편은, 상기 제1 통로부(20)의 내부둘레에 소정거리 이격 설치된 합성수지 소재의 쉴드부재로 이루어져 있는 것을 특징으로 한다.The first shield piece of the present invention is characterized in that it consists of a shield member made of synthetic resin installed at a predetermined distance around the inner circumference of the first passage portion 20.

본 발명의 상기 제2 쉴드부(70)는, 상기 제2 통로부(30)의 내부둘레에 설치된 제2 쉴드편; 상기 제2 쉴드편의 내주면에 형성된 제2 쉴드면; 상기 제2 쉴드편의 일단 둘레에 형성된 제2 쉴드턱; 상기 제2 쉴드편의 타단 둘레에 형성된 제2 쉴드돌기; 및 상기 제2 쉴드면의 일방에 관통 형성된 제2 슬로우 펌프홀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The second shield portion 70 of the present invention includes a second shield piece installed around the inner circumference of the second passage portion 30; a second shield surface formed on the inner peripheral surface of the second shield piece; a second shield jaw formed around one end of the second shield piece; a second shield protrusion formed around the other end of the second shield piece; and a second slow pump hole formed through one side of the second shield surface.

본 발명의 상기 제2 쉴드편은, 상기 제2 통로부(30)의 내부둘레에 소정거리 이격 설치된 합성수지 소재의 쉴드부재로 이루어져 있는 것을 특징으로 한다.The second shield piece of the present invention is characterized in that it consists of a shield member made of synthetic resin installed at a predetermined distance around the inner circumference of the second passage portion 30.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 개폐부가 슬라이딩 이동되는 밸브몸체부의 유체통로에 제1 쉴드부와 제2 쉴드부를 구비함으로써, 유체통로 및 개폐부의 파우더에 의한 부식을 방지하고 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐부의 슬라이딩 불량을 감소시켜 게이트 밸브의 수명을 연장시킬 수 있는 효과를 제공한다.As discussed above, the present invention provides a first shield portion and a second shield portion in the fluid passage of the valve body portion where the opening and closing portion slides, thereby preventing corrosion caused by powder in the fluid passage and the opening and closing portion and preventing jamming by lumped powder. This provides the effect of extending the life of the gate valve by reducing sliding defects in the opening and closing part.

또한, 쉴드부로서 쉴드편과 쉴드면과 쉴드턱과 쉴드돌기와 슬로우 펌프홀을 구비함으로써, 유체통로에 설치를 용이하게하는 동시에 쉴드면의 표면 마찰계수가 작아 표면 상에 생성물이나 미립자(Paticle) 등의 부착이나 증착에 의한 오염도를 최소화할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, the shield part is provided with a shield piece, a shield surface, a shield jaw, a shield protrusion, and a slow pump hole, thereby facilitating installation in the fluid passage and at the same time, the surface friction coefficient of the shield surface is small, preventing products, particles, etc. from forming on the surface. It provides the effect of minimizing contamination caused by adhesion or deposition.

또한, 밸브몸체부의 유체통로에 합성수지 소재의 제1 쉴드부와 제2 쉴드부를 탈부착하도록 이격 설치함으로써, 유체통로에 파우더의 부착이나 증착을 저감하는 동시에 밸브몸체부의 유체통로에 대한 유지보수 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by installing the first shield part and the second shield part made of synthetic resin in a detachable manner in the fluid passage of the valve body, the adhesion or deposition of powder in the fluid passage is reduced and the maintenance performance of the fluid passage of the valve body is improved. It provides effects that can be achieved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 정면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 분해사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 분해도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 단면구성도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 단면상세도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 상세도.1 is a configuration diagram showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a front view showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is an exploded perspective view showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is an exploded view showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a cross-sectional configuration diagram showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a detailed cross-sectional view showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a detailed view showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 더욱 상세히 설명한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 정면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 분해사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 분해도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 단면구성도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 단면상세도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 쉴드형 게이트 밸브를 나타내는 상세도이다.Figure 1 is a configuration diagram showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a front view showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention, and Figure 3 is an embodiment of the present invention. It is an exploded perspective view showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is an exploded view showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention, and Figure 5 is a cross-section showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention. It is a configuration diagram, and Figure 6 is a detailed cross-sectional view showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention, and Figure 7 is a detailed view showing a shield-type gate valve according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브는, 밸브몸체부(10), 제1 통로부(20), 제2 통로부(30), 구동부(40), 슬로우 펌프부(50), 제1 쉴드부(60) 및 제2 쉴드부(70)를 포함하여 이루어져, 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 개폐 동작을 원활하게 수행하는 텐션형 게이트 밸브이다.1 to 4, the tension-type gate valve according to this embodiment includes a valve body portion 10, a first passage portion 20, a second passage portion 30, a drive portion 40, and a slow It is a tension-type gate valve that includes a pump unit 50, a first shield unit 60, and a second shield unit 70, and is installed between a vacuum chamber and a vacuum pump to smoothly perform opening and closing operations.

밸브몸체부(10)는, 유체통로가 형성된 몸체부재로서, 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 진공 게이트 밸브를 구성하며 유체통로가 형성된 박스형상의 몸체부재에 상판과 하판과 복수의 측판과 몸체플랜지와 고정브래킷을 포함하여 이루어져 있다.The valve body portion 10 is a body member in which a fluid passage is formed, and constitutes a vacuum gate valve installed between a vacuum chamber and a vacuum pump. The valve body portion 10 is a box-shaped body member in which a fluid passage is formed, and includes an upper plate, a lower plate, a plurality of side plates, and a body. It consists of a flange and a fixing bracket.

상판은 밸브몸체부(10)의 상면을 구성하며 유체통로를 구성하는 관통홀이 형성되어 있고, 하판은 밸브몸체부(10)의 하면을 구성하며 유체통로를 구성하는 관통홀이 형성되어, 이러한 상판과 하판에 각각 형성된 관통홀은 밸브몸체부(10)의 유체통로를 구성하게 된다.The upper plate constitutes the upper surface of the valve body portion 10 and is formed with a through hole constituting the fluid passage, and the lower plate constitutes the lower surface of the valve body portion 10 and is formed with a through hole constituting the fluid passage. The through holes formed in the upper and lower plates respectively form the fluid passage of the valve body portion 10.

이러한 밸브몸체부(10)의 내부에는 슬라이딩 공간이 구비되고, 이러한 슬라이딩 공간은 개폐부가 유체통로를 개폐하도록 유체통로와 수직한 방향으로 슬라이딩되는 공간을 형성하게 된다.A sliding space is provided inside the valve body portion 10, and this sliding space forms a space in which the opening/closing portion slides in a direction perpendicular to the fluid passage to open and close the fluid passage.

제1 통로부(20)는, 밸브몸체부(10)의 유체통로의 일방에 설치된 통로부재로서, 유체통로와 연통되어 유체가 흐르는 튜브 형태의 연통로와 연통로 양단의 둘레에 다른 부재와 결합이 용이하도록 돌출 형성된 제1 플랜지로 구성되어 있다.The first passage portion 20 is a passage member installed on one side of the fluid passage of the valve body portion 10, and is connected to a tube-shaped communication passage through which fluid flows in communication with the fluid passage and other members around both ends of the communication passage. It consists of a first flange that protrudes to facilitate this.

제1 플랜지는 유체통로의 상류에 결합되어 유체통로와 연통되는 상류 연통로가 형성되고, 연통로의 상단 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 진공챔버와 결합되고, 상류 연통로의 하단 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 밸브몸체부의 상판 관통홀에 결합되어 진공챔버와 게이트 밸브 사이의 접속을 용이하게 한다.The first flange is coupled to the upstream side of the fluid passage to form an upstream communication passage communicating with the fluid passage, the flange protruding around the upper end of the communication passage is coupled to the vacuum chamber, and the flange protruding around the lower end of the upstream communication passage is formed. It is coupled to the through hole of the upper plate of the valve body to facilitate connection between the vacuum chamber and the gate valve.

제2 통로부(30)는, 밸브몸체부(10)의 유체통로의 타방에 제1 통로부(20)와 연통되도록 설치된 통로부재로서, 유체통로와 연통되어 유체가 흐르는 튜브 형태의 연통로와 연통로 양단의 둘레에 다른 부재와 결합이 용이하도록 돌출 형성된 제2 플랜지로 구성되어 있다.The second passage portion 30 is a passage member installed on the other side of the fluid passage of the valve body portion 10 to communicate with the first passage portion 20, and has a communication passage in the form of a tube through which fluid flows and is in communication with the fluid passage. It consists of a second flange protruding around both ends of the communication passage to facilitate connection with other members.

제2 플랜지는 유체통로의 하류에 결합되어 유체통로와 연통되는 하류 연통로가 형성되고, 연통로의 하단 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 진공펌프와 결합되고, 하류 연통로의 하단 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 밸브몸체부의 하판 관통홀에 결합되어 진공펌프와 게이트 밸브 사이의 접속을 용이하게 한다.The second flange is coupled to the downstream side of the fluid passage to form a downstream communication passage communicating with the fluid passage, the flange protruding around the lower end of the communication passage is coupled to the vacuum pump, and the flange protruding around the lower end of the downstream communication passage is formed. It is coupled to the through hole in the lower plate of the valve body to facilitate connection between the vacuum pump and the gate valve.

이와 같이 상류 플랜지와 하류 플랜지를 확관형상이나 협관협상으로 테이퍼지게 형성함으로써, 상류 플랜지를 통해 유입되어 하류 플랜지로 배출되는 파우더는 상류 플랜지의 입구보다 유체통로에서 더 빠른 속도로 통과하게 된다. 따라서, 유체통로의 주변 및 밸브몸체부(10)의 내부에 파우더가 부착되는 것을 방지할 수 있게 된다.In this way, by forming the upstream flange and the downstream flange to be tapered in a widened or narrow pipe shape, the powder flowing in through the upstream flange and discharged to the downstream flange passes through the fluid passage at a faster speed than the inlet of the upstream flange. Accordingly, it is possible to prevent powder from adhering to the periphery of the fluid passage and the inside of the valve body portion 10.

구동부(40)는, 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되어 제1 통로부(20)와 제2 통로부(30) 사이에 형성된 연통부위를 개폐하도록 개폐구동력을 제공하는 구동부재로서, 밸브몸체부(10)의 일측 외부에 개폐부를 전후방향으로 슬라이딩 이동시키도록 액추에이터와 링크기구 등으로 이루어져 있다.The driving unit 40 is a driving member installed at one end of the valve body 10 to provide an opening and closing drive force to open and close the communication portion formed between the first passage portion 20 and the second passage portion 30. It consists of an actuator and a link mechanism on the outside of one side of the body portion 10 to slide the opening and closing portion in the forward and backward directions.

액추에이터는 링크기구를 통해 개폐부에 슬라이딩 구동력을 제공하는 구동원으로, 직선구동력을 제공하는 실린더, 선형모터 등과 같은 다양한 구동수단을 사용할 수 있다. 액추에이터는 밸브몸체부(10)의 일단에 설치된 별도의 유공압설비로 구성할 수 있다.The actuator is a driving source that provides sliding driving force to the opening and closing part through a link mechanism, and can use various driving means such as cylinders and linear motors that provide linear driving force. The actuator may be configured as a separate hydraulic or pneumatic facility installed at one end of the valve body portion 10.

링크기구는 액추에이터의 직선구동력을 기구적인 연결에 의해 회전구동력으로 전환시켜서 그 회전력에 의해 개폐부를 전후방향으로 슬라이딩 이송시키는 동력전달부재이다. The link mechanism is a power transmission member that converts the linear driving force of the actuator into rotational driving force through mechanical connection and slides the opening and closing part in the forward and backward directions by the rotational force.

이러한 링크기구는 밸브몸체부(10)의 슬라이딩 공간에 위치되고, 링크기구는 지렛대 원리로 액추에이터의 직선구동력을 증폭시켜 회전구동력으로 전달시키게 된다. 따라서, 액추에이터의 직선 구동거리에 비하여 개폐부의 전후진 슬라이딩 거리가 길게 된다.This link mechanism is located in the sliding space of the valve body portion 10, and the link mechanism amplifies the linear driving force of the actuator using the lever principle and transmits it to rotational driving force. Therefore, the forward and backward sliding distance of the opening and closing part becomes longer than the straight-line driving distance of the actuator.

슬로우 펌프부(50)는, 밸브몸체부(10)의 일방에 제1 통로부(20) 및 제2 통로부(30)와 연통하도록 설치된 슬로우 펌프부재로서, 유체통로의 개방시 게이트 밸브 상류 및 하류의 진공상태를 일정하게 형성시키도록 개폐밸브와 제1 연결관과 제2 연결관으로 이루어져 있다.The slow pump unit 50 is a slow pump member installed on one side of the valve body 10 to communicate with the first passage 20 and the second passage 30, and when the fluid passage is opened, the gate valve upstream and It consists of an on-off valve, a first connector, and a second connector to maintain a constant vacuum state downstream.

개폐밸브는 상류 연통로와 연결된 제1 연결관과 하류 연통로와 연결된 제2 연결관 사이에 설치되어, 유체통로의 개폐동작에 따라 동작된다. 또한, 개폐밸브는 유체통로가 밀폐된 상태에서는 동작하지 않고, 유체통로가 개방되기 직전에 동작한다.The opening/closing valve is installed between the first connection pipe connected to the upstream communication path and the second connection pipe connected to the downstream communication path, and operates according to the opening and closing operation of the fluid passage. Additionally, the open/close valve does not operate when the fluid passage is closed, but operates immediately before the fluid passage is opened.

따라서, 이러한 슬로우 펌프부(50)의 동작은 유체통로가 개방되기 직전에 슬로우 펌프부(50)의 내부로 공기를 주입하여 개폐밸브를 개방하고, 개폐밸브의 개방으로 인하여 제1, 제2 연결관이 연통됨으로써, 유체통로가 개방되기 전에 게이트 밸브의 상류 및 하류를 연통시켜 진공상태를 일정하게 유지시키게 된다.Therefore, the operation of this slow pump unit 50 opens the on-off valve by injecting air into the inside of the slow pump unit 50 just before the fluid passage is opened, and the opening of the on-off valve causes the first and second connections. By communicating the pipes, the upstream and downstream sides of the gate valve are communicated before the fluid passage is opened to maintain a constant vacuum state.

즉, 유체통로가 밀폐된 상태에서는 게이트 밸브 상류 및 하류의 진공상태가 상이하게 형성된 경우에 유체통로를 개방하면 게이트 밸브 하류에 연결된 진공펌프가 손상될 위험이 크므로 유체통로를 개방하기 이전에 슬로우 펌프부(50)를 동작시켜 진공펌프의 손상 위험을 예방하게 된다.In other words, when the fluid passage is closed and the vacuum conditions upstream and downstream of the gate valve are different, there is a high risk that the vacuum pump connected to the downstream of the gate valve will be damaged if the fluid passage is opened. Therefore, before opening the fluid passage, By operating the pump unit 50, the risk of damage to the vacuum pump is prevented.

개폐부는, 밸브몸체부(10)의 내부에서 구동부(40)에 의해 슬라이딩 이동하도록 설치되어 제1 통로부(20)와 제2 통로부(30) 사이의 연통부위를 개폐하는 개폐부재로서, 유체통로를 개폐하도록 밸브몸체부(10)의 슬라이딩 공간에서 슬라이딩되도록 설치된 개폐판으로 이루어져 있다.The opening and closing part is an opening and closing member that is installed to slide by the driving part 40 inside the valve body 10 and opens and closes the communication area between the first passage part 20 and the second passage part 30, and the fluid It consists of an opening and closing plate installed to slide in the sliding space of the valve body portion 10 to open and close the passage.

개폐판은 판형태의 부재로서, 밸브몸체부(10)의 유체통로에 수직으로 교차하도록 설치되어 전후진됨으로써 유체통로의 입구를 개폐시키게 되고, 이러한 개폐판의 일면에는 실링부재가 설치되는 실링홈이 형성되어 있다.The opening and closing plate is a plate-shaped member that is installed to intersect perpendicularly to the fluid passage of the valve body portion 10 and moves forward and backward to open and close the entrance to the fluid passage. One side of the opening and closing plate has a sealing groove in which a sealing member is installed. This is formed.

제1 쉴드부(60)는, 제1 통로부(20)의 내부둘레에 설치된 쉴드부재로서, 도 3 내지 도 7에 나타낸 바와 같이 제1 쉴드편, 제1 슬로우 펌프홀(63), 제1 쉴드면(64), 제1 쉴드턱(65) 및 제1 쉴드돌기(66)을 포함하여 이루어져 있다.The first shield portion 60 is a shield member installed around the inner circumference of the first passage portion 20, and as shown in FIGS. 3 to 7, the first shield piece, the first slow pump hole 63, and the first It includes a shield surface 64, a first shield jaw 65, and a first shield protrusion 66.

제1 쉴드편은, 제1 통로부(20)의 내부둘레에 삽입되어 설치된 쉴드부재로서, 하방으로 갈수록 직경이 좁아지게 형성된 협관형상의 제11 쉴드편(61)과, 상하방이 동일한 직경으로 형성된 원통형상의 제12 쉴드편(62)으로 이루어져 있다.The first shield piece is a shield member inserted and installed around the inner circumference of the first passage portion 20, and is formed with a narrow tube-shaped 11th shield piece 61 whose diameter narrows downward, and the upper and lower sides are formed with the same diameter. It consists of a 12th shield piece 62 of a cylindrical shape.

이러한 제1 쉴드편은, 제1 통로부(20)의 내부둘레에 부착되는 이물질을 차단하도록 합성수지 소재의 쉴드부재를 삽입하여 생성물 증착을 억제하고 개폐부의 차폐 구동을 원활하게 할 수 있게 된다.In this first shield piece, a shield member made of synthetic resin is inserted to block foreign substances attached to the inner circumference of the first passage portion 20, thereby suppressing product deposition and smoothing the shielding operation of the opening and closing portion.

제1 슬로우 펌프홀(63)은, 제1 쉴드면(64)의 둘레에 복수개가 관통 형성된 홀부재로서, 슬로우 펌프부(50)와 연통되어 유체통로의 개방시 게이트 밸브 상류 및 하류의 진공상태를 일정하게 형성시키게 된다.The first slow pump hole 63 is a plurality of hole members formed through a circumference of the first shield surface 64, and is in communication with the slow pump unit 50 and is in a vacuum state upstream and downstream of the gate valve when the fluid passage is opened. is formed consistently.

제1 쉴드면(64)은, 제1 쉴드편의 내주면에 형성된 면부재로서, 이러한 제1 쉴드면(64)은 제1 쉴드편이 합성수지 소재로 이루어지고 표면의 마찰계수가 작아 표면 상에 생성물이나 미립자(Paticle) 등의 부착이나 증착에 의한 오염도를 최소화할 수 있게 된다.The first shield surface 64 is a surface member formed on the inner peripheral surface of the first shield piece. The first shield surface 64 is made of a synthetic resin material and has a small surface friction coefficient, so that products or fine particles are not formed on the surface. It is possible to minimize contamination caused by attachment or deposition of particles, etc.

제1 쉴드턱(65)은, 제1 쉴드편의 일단 둘레에 형성된 턱부재로서, 제1 쉴드편을 제1 통로부(20)의 내부둘레에 비접촉하도록 소정거리 이격시킨 상태로 고정 설치하기 위해 제1 통로부(20)의 일단에 걸어맞춤 결합되는 이격 결합턱으로 이루어져 있다.The first shield jaw 65 is a jaw member formed around one end of the first shield piece, and is used to fix and install the first shield piece at a predetermined distance apart so as not to contact the inner circumference of the first passage portion 20. 1 It consists of a spaced engagement jaw that is engaged and coupled to one end of the passage portion (20).

제1 쉴드돌기(66)는, 제1 쉴드편의 타단 둘레에 형성된 돌기부재로서, 제1 쉴드편을 제1 통로부(20)의 내부둘레에 비접촉하도록 소정거리 이격시킨 상태로 고정 설치하기 위해 제1 통로부(20)의 타단에 걸어맞춤 결합되는 이격 결합돌기로 이루어져 있다.The first shield protrusion 66 is a protruding member formed around the other end of the first shield piece, and is used to fix and install the first shield piece at a predetermined distance apart so as not to contact the inner circumference of the first passage portion 20. 1 It consists of spaced coupling protrusions engaged with the other end of the passage portion 20.

제2 쉴드부(70)는, 제2 통로부(30)의 내부둘레에 설치된 쉴드부재로서, 도 3 내지 도 7에 나타낸 바와 같이 제2 쉴드편(71), 제2 슬로우 펌프홀(72), 제2 결합홀(73), 제2 쉴드면(74), 제2 쉴드턱(75) 및 제2 쉴드돌기(76)을 포함하여 이루어져 있다.The second shield portion 70 is a shield member installed around the inner circumference of the second passage portion 30, and includes a second shield piece 71 and a second slow pump hole 72 as shown in FIGS. 3 to 7. , a second coupling hole 73, a second shield surface 74, a second shield jaw 75, and a second shield protrusion 76.

제2 쉴드편(71)은, 제2 통로부(30)의 내부둘레에 내부둘레에 삽입되어 설치된 쉴드부재로서, 제2 통로부(30)의 내부둘레에 부착되는 이물질을 차단하도록 합성수지 소재의 쉴드부재를 삽입하여 생성물 증착을 억제하고 개폐부의 차폐 구동을 원활하게 할 수 있게 된다.The second shield piece 71 is a shield member inserted and installed around the inner circumference of the second passage portion 30, and is made of synthetic resin to block foreign substances attached to the inner circumference of the second passage portion 30. By inserting a shield member, product deposition can be suppressed and the shielding operation of the opening and closing part can be smoothly performed.

제2 슬로우 펌프홀(72)은, 제2 쉴드면(74)의 둘레에 복수개가 관통 형성된 홀부재로서, 슬로우 펌프부(50)와 연통되어 유체통로의 개방시 게이트 밸브 상류 및 하류의 진공상태를 일정하게 형성시키게 된다.The second slow pump hole 72 is a plurality of hole members formed through a circumference of the second shield surface 74, and is in communication with the slow pump unit 50 and is in a vacuum state upstream and downstream of the gate valve when the fluid passage is opened. is formed consistently.

제2 결합홀(73)은, 제2 쉴드턱(75)의 둘출부위의 둘레에 복수개가 이격 형성된 홀부재로서, 밸브몸체부(10)의 유체통로를 개폐하도록 개폐부가 슬라이딩 이동되는 슬라이딩 공간에 제2 쉴드편(71)을 결합시키게 된다.The second coupling hole 73 is a plurality of hole members formed spaced apart around the protruding portion of the second shield jaw 75, and is located in a sliding space where the opening and closing portion is slidably moved to open and close the fluid passage of the valve body portion 10. The second shield piece 71 is coupled.

제2 쉴드면(74)은, 제2 쉴드편(71)의 내주면에 형성된 면부재로서, 이러한 제2 쉴드면(74)은 제2 쉴드편(71)이 합성수지 소재로 이루어지고 표면의 마찰계수가 작아 표면 상에 생성물이나 미립자(Paticle) 등의 부착이나 증착에 의한 오염도를 최소화할 수 있게 된다.The second shield surface 74 is a surface member formed on the inner peripheral surface of the second shield piece 71. This second shield surface 74 is made of a synthetic resin material and has a friction coefficient of the surface. is small, making it possible to minimize contamination caused by attachment or deposition of products or particles on the surface.

제2 쉴드턱(75)은, 제2 쉴드편(71)의 일단 둘레에 형성된 턱부재로서, 제2 쉴드편(71)을 제2 통로부(30)의 내부둘레에 비접촉하도록 소정거리 이격시킨 상태로 고정 설치하기 위해 제2 통로부(30)의 타단에 걸어맞춤 결합되는 이격 결합턱으로 이루어져 있다.The second shield jaw 75 is a jaw member formed around one end of the second shield piece 71, and is spaced a predetermined distance apart so that the second shield piece 71 does not contact the inner circumference of the second passage portion 30. It consists of a spaced engagement jaw that is engaged with the other end of the second passage portion 30 for fixed installation.

제2 쉴드돌기(76)는, 제2 쉴드편(71)의 타단 둘레에 형성된 돌기부재로서, 제2 쉴드편(71)을 제2 통로부(30)의 내부둘레에 비접촉하도록 소정거리 이격시킨 상태로 고정 설치하기 위해 제2 통로부(30)의 일단에 걸어맞춤 결합되는 이격 결합돌기로 이루어져 있다.The second shield protrusion 76 is a protruding member formed around the other end of the second shield piece 71, and is spaced a predetermined distance apart so that the second shield piece 71 does not contact the inner circumference of the second passage portion 30. It consists of spaced engagement protrusions that engage and engage with one end of the second passage portion 30 for fixed installation.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 개폐부가 슬라이딩 이동되는 밸브몸체부의 유체통로에 제1 쉴드부와 제2 쉴드부를 구비함으로써, 유체통로 및 개폐부의 파우더에 의한 부식을 방지하고 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐부의 슬라이딩 불량을 감소시켜 게이트 밸브의 수명을 연장시킬 수 있는 효과를 제공한다.As described above, according to the present invention, by providing a first shield part and a second shield part in the fluid passage of the valve body portion where the opening and closing portion slides, corrosion by powder in the fluid passage and the opening and closing portion is prevented and jamming by lumped powder is prevented. This provides the effect of extending the life of the gate valve by reducing sliding defects in the opening and closing part.

또한, 쉴드부로서 쉴드편과 쉴드면과 쉴드턱과 쉴드돌기와 슬로우 펌프홀을 구비함으로써, 유체통로에 설치를 용이하게하는 동시에 쉴드면의 표면 마찰계수가 작아 표면 상에 생성물이나 미립자(Paticle) 등의 부착이나 증착에 의한 오염도를 최소화할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, the shield part is provided with a shield piece, a shield surface, a shield jaw, a shield protrusion, and a slow pump hole, thereby facilitating installation in the fluid passage and at the same time, the surface friction coefficient of the shield surface is small, preventing products, particles, etc. from forming on the surface. It provides the effect of minimizing contamination caused by adhesion or deposition.

또한, 밸브몸체부의 유체통로에 합성수지 소재의 제1 쉴드부와 제2 쉴드부를 탈부착하도록 이격 설치함으로써, 유체통로에 파우더의 부착이나 증착을 저감하는 동시에 밸브몸체부의 유체통로에 대한 유지보수 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by installing the first shield part and the second shield part made of synthetic resin in a detachable manner in the fluid passage of the valve body, the adhesion or deposition of powder in the fluid passage is reduced and the maintenance performance of the fluid passage of the valve body is improved. It provides effects that can be achieved.

이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다. The present invention described above can be implemented in various other forms without departing from its technical idea or main features. Therefore, the above embodiment is merely an example in all respects and should not be construed as limited.

10: 밸브몸체부 20: 제1 통로부
30: 제2 통로부 40: 구동부
50: 슬로우 펌프부 60: 제1 쉴드부
70: 제2 쉴드부10: valve body portion 20: first passage portion
30: second passage part 40: driving part
50: slow pump part 60: first shield part
70: Second shield part

Claims (5)

유체통로가 형성된 밸브몸체부(10);
상기 밸브몸체부(10)의 유체통로의 일방에 설치된 제1 통로부(20);
상기 밸브몸체부(10)의 유체통로의 타방에 상기 제1 통로부(20)와 연통되도록 설치된 제2 통로부(30);
상기 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되어, 상기 제1 통로부(20)와 상기 제2 통로부(30)의 연통부위를 개폐하도록 개폐구동력을 제공하는 구동부(40);
상기 밸브몸체부(10)의 유체통로와 연통하도록 설치된 슬로우 펌프부(50);
상기 제1 통로부(20)의 내부둘레에 설치된 제1 쉴드부(60); 및
상기 제2 통로부(30)의 내부둘레에 설치된 제2 쉴드부(70);를 포함하는 것을 특징으로 하는 쉴드형 게이트 밸브.A valve body portion (10) with a fluid passage formed thereon;
A first passage portion (20) installed on one side of the fluid passage of the valve body portion (10);
a second passage portion 30 installed on the other side of the fluid passage of the valve body portion 10 to communicate with the first passage portion 20;
A driving unit 40 installed at one end of the valve body 10 to provide an opening/closing drive force to open and close the communication portion of the first passage 20 and the second passage 30;
A slow pump unit (50) installed to communicate with the fluid passage of the valve body unit (10);
A first shield portion 60 installed around the inner circumference of the first passage portion 20; and
A shield-type gate valve comprising a second shield part (70) installed around the inner circumference of the second passage part (30). 제 1 항에 있어서,
상기 제1 쉴드부(60)는,
상기 제1 통로부(20)의 내부둘레에 설치된 제1 쉴드편;
상기 제1 쉴드편의 내주면에 형성된 제1 쉴드면;
상기 제1 쉴드편의 일단 둘레에 형성된 제1 쉴드턱;
상기 제1 쉴드편의 타단 둘레에 형성된 제1 쉴드돌기; 및
상기 제1 쉴드면의 일방에 관통 형성된 제1 슬로우 펌프홀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 쉴드형 게이트 밸브.According to claim 1,
The first shield portion 60,
a first shield piece installed around the inner circumference of the first passage portion 20;
a first shield surface formed on the inner peripheral surface of the first shield piece;
a first shield jaw formed around one end of the first shield piece;
a first shield protrusion formed around the other end of the first shield piece; and
A shield-type gate valve comprising a first slow pump hole formed through one side of the first shield surface. 제 2 항에 있어서,
상기 제1 쉴드편은, 상기 제1 통로부(20)의 내부둘레에 소정거리 이격 설치된 합성수지 소재의 쉴드부재로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 쉴드형 게이트 밸브.According to claim 2,
A shield-type gate valve, characterized in that the first shield piece is made of a shield member made of synthetic resin installed at a predetermined distance around the inner circumference of the first passage portion (20). 제 1 항에 있어서,
상기 제2 쉴드부(70)는,
상기 제2 통로부(30)의 내부둘레에 설치된 제2 쉴드편;
상기 제2 쉴드편의 내주면에 형성된 제2 쉴드면;
상기 제2 쉴드편의 일단 둘레에 형성된 제2 쉴드턱;
상기 제2 쉴드편의 타단 둘레에 형성된 제2 쉴드돌기; 및
상기 제2 쉴드면의 일방에 관통 형성된 제2 슬로우 펌프홀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 쉴드형 게이트 밸브.According to claim 1,
The second shield portion 70,
a second shield piece installed around the inner circumference of the second passage portion 30;
a second shield surface formed on the inner peripheral surface of the second shield piece;
a second shield jaw formed around one end of the second shield piece;
a second shield protrusion formed around the other end of the second shield piece; and
A shield-type gate valve comprising a second slow pump hole formed through one side of the second shield surface. 제 4 항에 있어서,
상기 제2 쉴드편은, 상기 제2 통로부(30)의 내부둘레에 소정거리 이격 설치된 합성수지 소재의 쉴드부재로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 쉴드형 게이트 밸브.According to claim 4,
The second shield piece is a shield-type gate valve, characterized in that it is made of a shield member made of synthetic resin installed at a predetermined distance around the inner circumference of the second passage portion (30).
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