KR20230168264A - 인간-기계 인터페이스를 갖는 진단 도구, 및 프로그램 가능한 로직 컨트롤러의 진단 방법 - Google Patents

인간-기계 인터페이스를 갖는 진단 도구, 및 프로그램 가능한 로직 컨트롤러의 진단 방법 Download PDF

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KR20230168264A
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와타루 고바야시
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
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Abstract

진단 도구의 예는 LAN 포트, 인간-기계 인터페이스(HMI), 및 사용자에 의해 HMI로부터 발급된 명령을 LAN 포트의 연결 목적지에 송신하도록 구성된 CPU를 포함하되, 진단 도구는 무선 통신을 할 수 없도록 구성된다.

Description

휴먼-머신 인터페이스를 구비한 진단 도구, 및 프로그래머블 로직 컨트롤러의 진단 방법{DIAGNOSTIC TOOL HAVING HUMAN-MACHINE INTERFACE, AND METHOD FOR DIAGNOSIS OF PROGRAMMABLE LOGIC CONTROLLER}
인간-기계 인터페이스(HMI)를 갖는 진단 도구 및 프로그램 가능한 로직 컨트롤러(PLC)의 진단 방법에 관한 실시예가 설명된다.
예를 들어, 막 형성 장치 및 에칭 장치와 같은 반도체 제조 장치에서, PLC로 불리는 제어기가 장비를 제어하거나 장비의 상태를 파악하는 데 사용된다. PLC는, 예를 들어 센서 또는 스위치로부터 입력 정보를 판독하고 프로그램을 실행함으로써, 모터 및 램프와 같은 장비를 제어한다.
PLC와 함께 작동하도록 다양한 종류의 장비가 연결된 시스템에서, 시스템이 국제 안전 표준(ISO13849 및 IEC61508)을 준수하도록 안전 PLC가 사용된다. 안전 PLC는 반도체 제조 현장에서 작업자의 안전을 보장하는 제어기이다.
제조 공장에서 반도체 제조 장치가 조립된 후, PLC 개발 소프트웨어를 사용하여 PLC와 관련된 I/O 체크가 수행된다. PLC 개발 소프트웨어는, 프로그램을 생성하기 위한 전용 애플리케이션이며 전문 지식 없이 처리하기가 어렵다. 경험이 없는 사람이 PLC 개발 소프트웨어를 사용하고 PLC와 관련된 I/O 검사를 수행하려고 시도하는 경우, 예를 들어 약 1주일이 걸릴 수 있다.
또한, 반도체 제조 장치가 고객 공장으로 배송되면, PLC 개발 도구가 설치된 개인용 컴퓨터는 고객 공장의 보안 정책으로 인해 고객 공장으로 반입될 수 없다. 이 경우, 반도체 제조 장치의 PLC가 고객의 공장에서 경보를 발하는 경우, PLC 개발 도구 없이 문제를 신속하게 해결하기가 어렵다. 일례에 따르면, 문제를 해결하는 데 수일에서 수개월이 걸린다.
본원에 설명된 일부 예시는 전술한 문제를 해결할 수 있다. 본원에 설명된 일부 예시는 반도체 제조 장치 및 진단 방법을 쉽게 진단할 수 있는 진단 도구를 제공할 수 있다.
일부 예시에서, 진단 도구는 LAN 포트, 인간-기계 인터페이스(HMI), 및 사용자가 HMI로부터 발령된 명령을 LAN 포트의 연결 대상으로 전송하도록 구성된 CPU를 포함한다. 진단 도구는 무선 통신을 할 수 없도록 구성된다.
도 1은 진단 도구의 사시도이다.
도 2는 닫은 상태에서의 아타셰 케이스의 사시도이다.
도 3a는 아타셰 케이스의 내부의 평면도이다.
도 3b는 아타셰 케이스의 횡단면도이다.
도 3c는 아타셰 케이스의 횡단면도이다.
도 4는 진단 도구의 연결 예시를 나타낸 도면이다.
도 5는 하나의 CPU 유닛, 및 슬레이브로서 연결된 노드를 나타낸다.
도 6은 CPU 유닛에 연결된 장비의 I/O를 나타낸다.
도 7은 강제 작동 스크린의 일례를 나타낸 도면이다.
도 8은 인터록 디스플레이 스크린을 나타낸다.
도 9는 경보 목록 디스플레이 스크린의 예시를 나타낸 도면이다.
도 10은 경보 상세 스크린의 예시를 나타낸 도면이다.
도 11은, 프로세싱 회로가 전용 하드웨어인 경우에, HMI의 블록도이다.
도 12는, 프로세싱 회로가 CPU인 경우에, HMI의 구성 예시를 나타내는 블록도이다.
진단 도구 및 진단 방법이 도면을 참조하여 설명될 것이다. 동일한 참조 번호가 동일하거나 대응하는 구성 요소에 할당될 경우가 있고, 중복 설명은 생략될 수 있다. PLC에 대한 간단한 설명이 PLC와 안전 PLC를 모두 나타낼 수 있는 경우가 있음을 유의한다.
도 1은 일 구현예에 따른 진단 도구(10)의 사시도이다. 일례에 따르면, 진단 도구(10)는 아타셰 케이스(12)를 포함한다. 아타셰 케이스(12)는, 작업자로 하여금 아타셰 케이스(12)를 쉽게 운반시키는 핸들(12a)을 포함한다. 일례에 따르면, 진단 도구(10)는 전력 공급 스위치(14) 및 AC 전력 공급 리셉터클(16)을 포함한다. 일례에 따르면, AC 전력 공급부 리셉터클(16)은, 전력 공급부용 국제 전기기술 위원회(IEC) 커넥터로서 사용될 수 있다. 이를 통해 각 국가의 사양을 준수하는 케이블만 준비하여 각 국가의 전원 공급 장치에 쉽게 연결할 수 있다.
일례에 따르면, 진단 도구(10)는 USB 포트(18) 및 LAN 포트(20)를 포함한다. 또한, 진단 도구(10)는 HMI(22)를 포함한다. 일례에 따르면, HMI(22)는 터치 패널이다. 일례에 따르면, 터치 패널의 각도는, 사용자가 터치 패널을 쉽게 볼 수 있는 각도로 다수의 단계로 조절될 수 있다. 다른 예시에 따르면, HMI는 디스플레이, 마우스 및 키보드를 포함한다. 전술한 USB 포트(18)는, 예를 들어 외부 메모리인 USB 메모리에 HMI(22)에 표시된 데이터를 저장하도록 구성된다. 구체적으로, HMI(22)에 표시된 데이터는, 배선을 이용해 HMI(22)에 연결된 USB 포트(18)에 의한 HMI(22)의 작동을 통해 USB 메모리에 저장될 수 있다. 데이터를 USB 메모리에 저장함으로써, 데이터는 공장 외부의 엔지니어에게 제공될 수 있고, 기술 조언은 엔지니어로부터 수신될 수 있다.
일례에 따르면, 도 1의 진단 도구(10)는 무선 통신을 할 수 없도록 구성된다. 즉, 진단 도구(10)는 무선 통신 기능을 갖지 않는다. 무선 통신 기능이 제공되지 않은 결과로서, 진단 도구(10)는 고객의 공장으로 유입될 수 있다.
도 2는 폐쇄 상태에서의 아타셰 케이스(12)의 사시도이다. 예를 들어, 아타셰 케이스(12)에, LAN 포트(20), HMI(22), CPU 등이 수용된다. 일례에 따르면, 아타셰 케이스(12) 및 아타셰 케이스(12) 내부의 모든 장치의 총 중량은 10 kg 이하가 되도록 제조되어, 작업자가 핸들(12a)로 아타셰 케이스(12)를 쉽게 운반할 수 있다.
도 3a는 아타셰 케이스(12)의 내부의 평면도이다. 예를 들어, HMI(22)는 대략 9 인치의 터치 패널이다. 일례에 따르면, HMI(22), 전력 공급 스위치(14), AC 전력 공급 리셉터클(16), USB 포트(18) 및 LAN 포트(20)는 하나의 장착 기판(25)에 부착된다. 그 다음, 장착 기판(25)은 복수의 나사(23)로 아타셰 케이스(12)에 고정된다.
도 3b는 도 3a의 라인 3B-3B' 상의 횡단면도이다. 장착 기판(25)은, 나사(23)가 아타셰 케이스(12)에 제공된 나사 홈에 고정됨으로써, 아타셰 케이스(12)에 고정된다.
도 3c는 도 3a의 라인 3C-3C' 상의 횡단면도이다. 도 3c는 DC 전력 공급 장치(24)를 나타낸다. DC 전력 공급 장치(24)는 HMI(22) 등에 전력 공급을 가능하게 한다. DC 전력 공급 장치(24)는, 예를 들어 85 내지 265 V의 입력 전압을 지원하는 AC-DC 변환 회로이다. 또한, 퓨즈(26)는 전력 공급 장치(24)에 연결된다.
도 4는 진단 도구(10)의 연결 예시를 나타낸 도면이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, HMI(22)는 전원 케이블(42)을 AC 전원 소켓(16)에 연결함으로써 이용 가능하게 된다. 일례에 따르면, 전력 공급 케이블(42)은 AC 85 내지 264 V 및 2A 이하의 전력 공급부에 연결된다. 일례에 따르면, 프로그램을 저장하는 메모리가 HMI(22의) 후면 또는 내부에 부착된다.
예를 들어, 이더넷 케이블(40)은 LAN 포트(20)와 PLC(34)를 연결한다. 안전 PLC(36)는 PLC(34) 옆에 배치된다. 일례에 따르면, PLC(34), 안전 PLC(36) 및 다른 장치는 전기 박스(32)에 수용된다. 안전 PLC(36)는 PLC(34)에 연결되어, PLC(34) 및 안전 PLC(36)는 하나의 이더넷 케이블(40)를 이용해 진단 도구(10)에 연결될 수 있다. 일례에 따르면, PLC(34)는 이더넷 케이블(40)을 통해 핫 커넥트 기능을 사용하여 HMI(22)에 연결될 수 있다. 핫 커넥트 기능을 사용하여 연결함으로써, 진단 도구(10)는, 이더넷 케이블(40)을 PLC(34)에 연결함으로써 진단을 시작할 수 있거나, 또는 이더넷 케이블(40)은 PLC(34) 및 안전 PLC(36)의 전원을 끄지 않으면서 PLC(34)로부터 플러그를 빼지 않을 수 있다. 따라서, 핫 커넥트 기능을 사용하는 연결은 각각의 처리 종류를 실행할 수 있게 하는데, 이는 PLC의 전원을 끄지 않고 알람이 감지되는 상태에서 진단 도구(10)를 PLC에 연결함으로써 후술될 것이다.
도 5 내지 도 10은 HMI(22)에서 표시될 스크린의 예시이다. 먼저, 진단 도구(10)는 PLC(34)에 연결된다. 그 다음, 도 5의 상단 메뉴 스크린이 HMI(22)에 표시된다. 일례에 따르면, 상단 메뉴 스크린은 PLC, 및 PLC에 연결된 장비를 포함한 구성 스크린이다. 즉, 상단 메뉴 스크린은, 진단될 장치에 통합된 장비의 구성 스크린이다. 도 5는 하나의 CPU 유닛, 및 슬레이브로서 연결된 노드(2, 3, 4)를 나타낸다. 일례예에 따르면, 도 5의 스크린에 표시된 장비 중 하나를 터치하는 사용자에 의해, 터치된 장비의 I/O 상태가 HMI(22)에서 표시될 수 있다.
예를 들어, 사용자가 도 5의 CPU 유닛(전기 박스)을 터치하는 경우, 도 6의 스크린이 HMI(22)에 표시된다. 도 6에서, CPU 유닛에 연결된 장비의 I/O가 표시된다. SI101의 유닛에서, 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM) 좌측 도어 및 EFEM 우측 도어의 버튼은 녹색으로 표시되지 않으므로, 이들 센서는 오프 상태에 있는 것으로 이해될 수 있다.
버튼이 녹색으로 표시되지 않는 N2 키 SW의 센서가 오프 상태이고, 버튼이 녹색으로 표시되는 팬 필터 유닛(FFU) 경보의 센서가 온 상태임을, SI103의 유닛으로부터 알 수 있다. 이러한 방식으로, SI101, SI102, SI103, SO101, SO102 및 SO103 각각은 하나의 유닛이 되고, 각 유닛에서 센서의 온/오프 상태를 확인할 수 있다.
이러한 방식으로, 구성 스크린에 표시된 PLC 또는 장비를 선택함으로써, PLC 또는 장비의 상태를 표시할 수 있다. 즉, PLC의 내부 상태가 HMI(22)에 표시될 수 있다. 진단 도구(10)는 HMI(22)에서 LAN 포트(20)에 연결된 PLC의 내부 상태를 표시하도록 구성된다. 일례에 따르면, PLC의 내부 상태는, 진단 도구(10)를 이더넷 케이블로 PLC에 연결함으로써만 확인될 수 있다. PLC에 연결될 장비는, 예를 들어 센서, 스위치, 모터 또는 램프 중 적어도 하나를 포함함을 유의한다. 이 경우, PLC는, 센서 또는 스위치의 정보를 판독하고 미리 결정된 프로그램을 실행함으로써, 모터 또는 램프를 제어한다.
일례에 따르면, 사용자에게 보이지 않는 버튼(이하, 숨겨진 버튼으로 지칭됨)이 도 5의 구성 스크린에 제공될 수 있다. 숨겨진 버튼은 PLC에서 수행되는 작업을 강제로 수행하기 위한 버튼이다. 숨겨진 버튼을 사용자에게 보이지 않는 버튼으로 만듦으로써, 이러한 강제 작동이 쉽게 실행되지 않게 할 수 있다. 매뉴얼 등에 의해 숨겨진 버튼이 존재하는 것을 알고 있는 사람은, 터치 패널의 숨겨진 버튼을 눌러 장비를 강제로 작동할 수 있다.
예를 들어, "HMI에 존재하고 사용자에게 보이지 않는 숨겨진 버튼"은, 도 5의 구성 스크린 내의 우측 상단 영역에 배치된다. PLC에 연결된 장비를 강제로 작동시키기 위한 강제 작동 스크린은, 사용자가 미리 결정된 방법을 사용하여 이 숨겨진 버튼을 누름으로써 표시될 수 있다. 일례에 따르면, 숨겨진 버튼이 미리 정해진 횟수만큼 연속적으로 눌러진 경우에만 스크린이 강제 작동 스크린으로 전환되도록 설정을 함으로써, 스크린이 강제 작동 스크린으로 쉽게 전환되는 것을 방지할 수 있다. 다른 예시에 따르면, 스크린은 미리 결정된 순서로 눌러진 복수의 숨겨진 버튼에 의해서만 강제 작동 스크린으로 전환될 수 있다. 절차로서 저장된 숨겨진 버튼을 작동하는 방법에 의해, 사용자는 필요에 따라 절차를 참조할 수 있다.
도 7은 강제 작동 스크린의 일례를 나타낸 도면이다. 사용자는, 강제 작동 스크린을 작동시킴으로써 장비를 강제로 작동할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 강제 작동 스크린의 일부를 터치함으로써 장비를 강제 작동할 수 있다. 강제 작동의 예시는 다음과 같다.
- 오류가 발생하지 않는 한 켜지지 않는 LED를, 오류가 발생하지 않더라도 강제 작동 스크린의 버튼을 누름으로써, 발광시킨다.
- 게이트 밸브(GV)를 강제로 이동시킨다. 예를 들어, 장치가 조립될 경우 GV를 개폐하여 작동을 확인한다.
- 로봇이 EFEM에서 작동하는 상태에서 EFEM 도어를 개방한다. 정상적으로, 로봇이 작동하는 동안 EFEM 도어의 개방은 위험하기 때문에 허용되지 않는다.
- N2 가스를 방출하기 위한 신호를 강제로 발령한다.
강제 작동은 전술한 작동에 한정되지 않으며, PLC에서 수행되는 모든 종류의 작동을 포함할 수 있다. 따라서, 다수의 다른 종류의 강제 작동을 수행하는 것이 가능하다. 일례에 따르면, 상기 장치는, 상기 장치가 전달되기 전에 강제 작동 모두를 한 번 실행함으로써 배송 전에 확인된다. 일례에 따르면, 전송 모듈 컨트롤러(TMC)에 의해 제어될 모든 종류의 장비의 작동, 즉, 전송 시스템은 강제 작동을 통해 확인된다. 이러한 수단에 의해, 장치가 클라이언트에 전달되기 전에 장치가 정상적으로 작동하는지 쉽게 확인할 수 있다. 이러한 작동은, 당분야에서 복잡한 절차가 수행되지 않는 한 수행될 수 없었음을 주목한다.
예를 들어, 반도체 제조 장치에서, 다양한 인터록이 안전 PLC에 의해 설정된다. 일례에 따르면, 인터록이 진단 도구(10)와 정상적으로 기능하는지 여부를 확인할 수 있다.
인터록 버튼은 도 5의 구성 스크린의 좌측 상단에 제공된다. 사용자가 인터록 버튼을 누름으로써, 도 8의 인터록 디스플레이 스크린이 HMI(22)에 표시될 수 있다. 다른 예시에 따르면, HMI(22)를 작동시킴으로써, PLC에 연결된 장비의 인터록 상태를 HMI(22)에 표시할 수 있다.
도 8의 인터록 디스플레이 스크린은, 도 5 내지 도 7에 표시된 신호가 각각의 인터록에 대해 수집되는 스크린이라는 것을 알 수 있다. 하나의 인터록에 사용될 신호 목록이 도 8의 인터록 디스플레이 스크린에 표시된다. 예를 들어, FE 로봇 작동 인터록의 유닛에서, 전방 단부 로봇의 작동을 허용하는 조건이 수집된다. 특히, EFEM 좌측 도어 닫힘, EFEM 우측 도어 닫힘, LL1 리드 닫힘 및 LL2 리드 닫힘의 모든 조건이 충족되는 경우, 프론트 엔드 로봇의 작동이 허용된다. 도 8의 예시에서, 적색 버튼은 모든 인터록에서 켜지므로, 모든 장비는 인터록 상태에 있고 작동될 수 없다. 반면에 녹색 버튼이 표시되면 장비를 작동할 수 있다. 이러한 방식으로, 일반적으로 인터록이 기능하는지의 여부가 HMI(22)에서 표시될 수 있다. 일례에 따르면, 종종 다수의 인터록이 존재하므로, 인터록 디스플레이 스크린은, 예를 들어 30개 이상의 페이지를 포함할 수 있다.
도 5의 구성 스크린은 ALM으로 표시된 버튼을 포함한다. 일례에 따르면, 경보가 발령되는 경우에 ALM 버튼을 적색으로 표시함으로써, 사용자에게 경보의 발령을 통지할 수 있다. 사용자가 ALM 버튼을 누르면, PLC로부터 발령된 경보 목록이 HMI(22)에 표시될 수 있다. 도 9는 경보 목록 디스플레이 스크린의 예시를 나타낸 도면이다. 이 경보 목록에서 10개의 사소한 폴트가 발생하는 것을 볼 수 있다. 일례에 따르면, "스크린 샷" 버튼과 "USB로 전송" 버튼이 경보 목록 디스플레이 스크린에 제공될 수 있다. 사용자가 스크린 샷 버튼을 누르면, 스크린 샷이 진단 도구(10)의 메모리에 저장된다. 사용자가 USB로 전송 버튼을 누르면 USB 포트(18)에 연결된 USB 메모리에 경보 목록이 저장된다.
사용자가 경보 목록 디스플레이 스크린에 표시된 경보 중 하나를 터치하고 세부 정보 표시 버튼을 누르면, 스크린이 경보의 상세 스크린으로 전환된다. 도 10은 경보 상세 스크린의 예시를 나타낸 도면이다. 이러한 방식으로, 경보 목록에 표시되는 경보를 선택함으로써, 경보의 세부 정보가 HMI(22)에 표시될 수 있다. 진단 도구(10)는 HMI로 하여금 PLC의 경보의 세부사항을 표시하도록 구성된다.
전술한 바와 같이, 장치의 내부 상태를 파악하고, 강제로 장치를 작동시키고, 진단 도구(10)를 사용하여 경보 목록 및 세부 사항을 확인하는 것이 가능하다. 또한, 진단 도구(10)는 무선 기능을 갖지 않으며, PLC를 포함한 장치의 일부로서 간주될 수 있다. 따라서, 노트 PC가 보안상의 이유로 고객의 공장에 반입될 수 없는 경우에도, 이 진단 도구(10)를 고객의 공장에 반입할 수 있다. 예를 들어, LAN 포트 및 USB 포트를 통해서만 사용자에게 데이터를 주고 받을 수 있도록 진단 도구(10)를 구성함으로써, 고객의 공장에서 요구되는 보안 요건이 충족될 수 있는 경우가 자주 있다. 또한, 전술한 각각의 작동 유형은, 터치 패널에 의해 규정된 HMI를 사용하여 간단하고 직관적으로 수행될 수 있다. 따라서, PLC 개발 소프트웨어를 작동하기 위한 방법을 알지 못하는 사람도 진단 도구(10)를 사용할 수 있다. 예를 들어, 경보 발생 문제를 고객 공장의 사람이 해결할 수 없는 경우에도, USB 메모리에 경보의 세부 정보를 저장함으로써, 고객 공장 외부의 엔지니어로부터 조언을 쉽게 구할 수 있다.
일례에 따르면, 진단 도구(10)는 상기 기능의 전부 또는 적어도 일부를 수행하기 위한 프로세싱 회로를 포함한다. 일례에서, 프로세싱 회로는 적어도 전술한 강제 작동을 수행할 수 있다. 프로세싱 회로는 전용 하드웨어일 수 있거나, 메모리에 저장되는 프로그램을 실행하는 CPU(중앙 프로세싱 유닛, 중앙 프로세서 유닛, 프로세싱 유닛, 연산 유닛, 마이크로프로세서, 마이크로컴퓨터, 프로세서 또는 DSP로도 지칭됨)일 수 있다.
도 11은, 프로세싱 회로(70b)가 전용 하드웨어인 경우에, HMI(22)의 블록도이다. HMI(22)는 수신기(70a), 프로세싱 회로(70b), 및 출력 장치(70c)를 포함한다. 수신기(70a)는 PLC로부터 데이터를 수신한다. 프로세싱 회로(70b)는, 예를 들어 단일 회로, 복합 회로, 프로그래밍된 프로세서, 병렬 프로그래밍된 프로세서, ASIC, FPGA, 또는 이들의 조합에 대응한다. 진단 도구(10)의 기능은 프로세싱 회로의 각각의 부분에 의해 실현될 수 있거나, 프로세싱 회로에 의해 집합적으로 실현될 수 있다. 일례에 따르면, 프로세싱 회로는 강제 작동을 제어하는 제어기로서 기능한다. 출력 장치(70c)는 터치 패널일 수 있다. 이 경우, 출력 장치(70c)는 또한 사용자로부터 명령어를 수신하기 위한 입력 장치로서 기능한다.
도 12는, 프로세싱 회로가 CPU인 경우에, HMI(22)의 구성 예시를 나타내는 블록도이다. 이 경우, 상기 일련의 공정은 프로그램에 의해 제어된다. 예를 들어, 강제 작동에 대한 절차는 자동으로 시작한다. 프로세싱 회로(80b)가 도 12에 나타낸 바와 같이 CPU인 경우에, 진단 도구의 각각의 기능은 소프트웨어, 펌웨어, 또는 소프트웨어 및 펌웨어의 조합에 의해 실현된다. 소프트웨어 또는 펌웨어는 프로그램으로서 설명되고, 컴퓨터 판독 가능 저장 매체(80c)에 저장된다. 일례에서, 이 프로그램은 컴퓨터가 장치의 내부 상태를 표시하고, 경보의 목록을 표시하고, 경보의 세부사항을 표시하고, 강제 작동을 실행하게 한다. 또 다른 예시에서, 이 프로그램은 컴퓨터로 하여금 사용자에 의해 HMI로부터 발급된 명령을 LAN 포트의 연결 목적지로 송신한다.

Claims (19)

  1. 진단 도구로서,
    LAN 포트;
    인간-기계 인터페이스(HMI); 및
    사용자에 의해 상기 HMI로부터 발급된 명령을 상기 LAN 포트의 연결 목적지에 송신하도록 구성된 CPU를 포함하되,
    상기 진단 도구는 무선 통신을 할 수 없도록 구성되는, 도구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 HMI는 터치 패널인, 진단 도구.
  3. 제1항에 있어서, 상기 HMI는 디스플레이, 마우스, 및 키보드를 포함하는, 진단 도구.
  4. 제1항에 있어서, 상기 LAN 포트, 상기 HMI 및 상기 CPU가 수용된 아타셰 케이스(attache case)를 추가로 포함하는 진단 도구.
  5. 제1항에 있어서, 상기 HMI에서 표시된 데이터를 외부 메모리에 저장하도록 구성된 USB 포트를 추가로 포함하는 진단 도구.
  6. 제1항에 있어서, 전력 공급부용 IEC 커넥터, 및 85 내지 265 V의 입력 전압을 지원하도록 구성된 AC-DC 변환 회로를 추가로 포함하는 진단 도구.
  7. 제1항에 있어서, 상기 진단 도구는, 상기 HMI로 하여금 상기 LAN 포트에 연결된 프로그램 가능한 로직 컨트롤러(PLC)의 내부 상태를 표시하게 하는, 진단 도구.
  8. 제1항에 있어서, 상기 진단 도구는, 상기 HMI로 하여금 프로그램 가능한 로직 컨트롤러(PLC)의 경보의 세부 사항을 표시하게 하는, 진단 도구.
  9. 제5항에 있어서, 데이터는 상기 LAN 포트 및 상기 USB 포트를 통해서만 제공되고 수신되는, 진단 도구.
  10. PLC의 진단을 위한 방법으로서,
    인간-기계 인터페이스(HMI)를 포함한 진단 도구를, 프로그램 가능한 로직 컨트롤러(PLC)에 연결하는 단계; 및
    상기 HMI로 하여금 상기 PLC의 내부 상태를 표시하게 하는 단계를 포함하는, 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 PLC의 진단을 위해,
    상기 HMI로 하여금, 상기 PLC 및 상기 PLC에 연결된 장비를 포함한 구성 스크린을 표시하게 하는 단계; 및
    상기 구성 스크린에 표시된 PLC 또는 장비를 선택함으로써, 상기 PLC 또는 상기 장비의 상태를 표시하게 하는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 PLC의 진단을 위해, 상기 장비는 센서, 스위치, 모터 또는 램프인, 방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 HMI로 하여금 상기 PLC로부터 발령된 경보 목록을 표시하게 하는 단계; 및
    상기 경보 목록에 표시된 경보를 선택함으로써 상기 HMI로 하여금 알람의 세부 사항을 표시하게 하는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 HMI에 존재하고 미리 결정된 방법을 사용하여 사용자에게 보이지 않는 버튼을 누름으로써, 상기 PLC에 연결된 강제 작동 장비용 강제 작동 스크린을 표시하는 단계; 및
    상기 강제 작동 스크린을 작동시킴으로써 상기 장비를 강제로 작동시키는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 HMI는 터치 패널이고, 사용자는 상기 강제 작동 스크린의 일부를 터치함으로써 상기 장비를 강제 작동시키는, 방법.
  16. 제10항에 있어서, 상기 PLC는 이더넷 케이블을 통해 핫 커넥트 기능을 사용하여 상기 HMI에 연결되는, 방법.
  17. 제10항에 있어서, 상기 HMI로부터 상기 PLC 내의 로직 프로그램을 작동시키는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
  18. 제10항에 있어서, 상기 HMI를 작동시킴으로써, 상기 HMI로 하여금 상기 PLC에 연결된 장비의 인터록 상태를 표시하게 하는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 HMI로 하여금 상기 인터록이 정상적으로 기능하는지 여부를, 표시하게 하는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
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