KR20230165755A - Laminates, their cured products, and electronic components containing them - Google Patents

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유토 오다기리
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Abstract

[과제] 경화 후에 매트한 질감의 외관을 나타내고, 또한 양호한 기계 특성 및 해상성을 갖게 되는 드라이 필름 적층체를 제공한다. [해결 수단] 수지층 (A)와, 수지층 (A) 상에 마련된 수지층 (B)를 구비하는 적층체로서, 수지층 (A)는, 제1 그로스값이 50 이상이고, 또한 제2 그로스값이 30 이하이고, 수지층 (B)는 제3 그로스값이 50 이상인 적층체, 또는 수지층 (A)가, (A1) 블록 공중합 수지와, (A2)광중합성 화합물를 갖고, 수지층 (B)가, (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지를 갖는 것을 특징으로 하는 적층체가 얻어졌다.[Project] To provide a dry film laminate that exhibits a matte textured appearance after curing and also has good mechanical properties and resolution. [Solution] A laminate comprising a resin layer (A) and a resin layer (B) provided on the resin layer (A), wherein the resin layer (A) has a first gross value of 50 or more and a second The gloss value is 30 or less, and the resin layer (B) is a laminate whose third gross value is 50 or more, or the resin layer (A) has (A1) a block copolymer resin and (A2) a photopolymerizable compound, and the resin layer ( B), (B1) A laminate characterized by having an alkali-soluble (meth)acrylate resin was obtained.

Description

적층체, 그의 경화물 및 이것을 포함하는 전자 부품Laminates, their cured products, and electronic components containing them

본 발명은 적층체, 특히 프린트 배선판 등의 전자 부품의 절연층으로서 사용 가능한 적층체, 그의 경화물 및 이것을 포함하는 전자 부품에 관한 것이다.The present invention relates to a laminate, particularly a laminate that can be used as an insulating layer for electronic components such as printed wiring boards, a cured product thereof, and electronic components containing the same.

다양한 전자 기기에 사용되는 프린트 배선판의 표층에는, 솔더 레지스트라 불리는 절연막이 형성되어 있다. 일반적인 솔더 레지스트는 그로스한 질감이기 때문에, 프린트 배선판의 제조 프로세스나 그 후의 부품 실장 프로세스에 있어서, 솔더 레지스트에 약간의 흠집이 발생하면 외관 불량이 되어, 수율을 저하시키는 한 요인이 되고 있다. 이러한 약간의 흠집에 의한 외관 불량을 회피 또는 그 비율을 저하시키기 위해서, 매트한(무광) 질감의 솔더 레지스트가 종종 요구된다. 또한, 회로의 은폐성을 높이고, 기판의 미감을 향상시키는 관점에서도, 매트한 질감의 솔더 레지스트의 수요가 발생하고 있다.An insulating film called solder resist is formed on the surface layer of printed wiring boards used in various electronic devices. Since general solder resist has a gross texture, in the manufacturing process of a printed wiring board or the subsequent component mounting process, if a slight scratch occurs in the solder resist, the appearance becomes defective, which is a factor in reducing yield. In order to avoid or reduce the rate of appearance defects caused by such slight scratches, a solder resist with a matte (matte) texture is often required. In addition, there is a demand for solder resist with a matte texture from the viewpoint of increasing the concealment of the circuit and improving the aesthetics of the board.

매트한 질감의 솔더 레지스트를 얻는 방법으로서, 솔더 레지스트용 조성물로서 특정한 수지 조성을 사용할 것이 제안되고 있다(예를 들어, 특허문헌 1). 특허문헌 1에서는, 솔더 레지스트용 조성물의 성분으로서, 서로 비상용성의 성분을 사용함으로써 솔더 레지스트 표면에 입사하는 광의 난반사를 발생시켜, 광택도를 저하시키려고 하는 것이다. 또한, 다른 방법에서는, 솔더 레지스트층의 표면을 조면화함으로써, 그 광택도를 억제하고, 매트한 질감의 솔더 레지스트가 얻어지는 것이 교시되어 있다(예를 들어, 특허문헌 2). 특허문헌 2에서는, 블라스트 처리한 지지체 상에 솔더 레지스트 조성물을 도공하는, 물리적인 조면화의 방법으로부터 매트한 질감의 솔더 레지스트를 얻는 것이 기재되어 있다.As a method of obtaining a solder resist with a matte texture, it has been proposed to use a specific resin composition as a composition for solder resist (for example, patent document 1). In Patent Document 1, an attempt is made to generate diffuse reflection of light incident on the surface of the solder resist by using mutually incompatible components as components of the solder resist composition, thereby reducing the gloss. Additionally, in another method, it is taught that by roughening the surface of the solder resist layer, the glossiness can be suppressed and a solder resist with a matte texture can be obtained (for example, patent document 2). Patent Document 2 describes obtaining a solder resist with a matte texture through a physical roughening method of coating a solder resist composition on a blast-treated support.

국제공개 WO2001/058977호International Publication No. WO2001/058977 일본특허공개 제2012-141605호 공보Japanese Patent Publication No. 2012-141605

그러나, 상기 특허문헌 1에 기재된 수지의 비상용성을 이용한 매트화 방법에서는, 도막 전체가 불균일하게 분리한 상태가 되는 점에서, 도막의 기계 특성 확보에 대해서는 검토의 여지가 있다.However, in the matting method using the incompatibility of the resin described in Patent Document 1, the entire coating film is in a non-uniformly separated state, so there is room for consideration regarding securing the mechanical properties of the coating film.

또한, 특허문헌 2에 기재되어 있는 것과 같은, 조면화된 지지체 표면의 요철을, 그 위에 실시되는 솔더 레지스트 조성물 내지 드라이 필름에 물리적으로 전사하는 매트화 방법으로는, 이와 같이 마련된 솔더 레지스트의 요철이, 부품 실장 공정 등에서 솔더 레지스트 표면에 별도 압력이 가해짐으로써 상실되고, 이 결과, 그로스값이 다시 상승하여, 매트한 질감의 외관은 얻을 수 없다. 또한, 노광 시에 있어서 솔더 레지스트의 표면에 요철이 존재하기 때문에, 조사한 광이 산란하는 결과, 해상성이 저하한다는 문제도 발생한다. In addition, in a matting method such as that described in Patent Document 2, which physically transfers the irregularities of the surface of the roughened support to the solder resist composition or dry film applied thereon, the irregularities of the solder resist prepared in this way are , it is lost when additional pressure is applied to the solder resist surface during the component mounting process, etc., and as a result, the gloss value rises again, making it impossible to obtain a matte textured appearance. Additionally, since irregularities exist on the surface of the solder resist during exposure, the irradiated light is scattered, resulting in a problem that resolution is lowered.

즉, 본 발명은 경화 후에 매트한 질감의 외관을 나타내고, 회로의 은폐성이 우수함과 함께, 양호한 기계 특성 및 해상성을 갖게 되는 적층체, 그의 경화물 및 이것을 포함하는 전자 부품을 제공하는 것을 목적으로 한다.That is, the object of the present invention is to provide a laminate that exhibits a matte textured appearance after curing, has excellent circuit hiding properties, and has good mechanical properties and resolution, a cured product thereof, and electronic components containing the same. Do it as

본 발명자들은, 예의 검토한 결과, 수지층 (A)와, 수지층 (A) 상에 마련된 수지층 (B)를 구비하는 적층체로서, 상기 수지층 (A)는 제1 그로스값이 50 이상이고, 또한 제2 그로스값이 30 이하이고, 상기 수지층 (B)는 제3 그로스값이 50 이상인 것을 특징으로 하는 적층체에 의해 상기 과제가 해결된다.As a result of intensive study, the present inventors have found that there is a laminate comprising a resin layer (A) and a resin layer (B) provided on the resin layer (A), wherein the resin layer (A) has a first gross value of 50 or more. The above problem is solved by a laminate wherein the second gloss value is 30 or less, and the resin layer (B) has a third gross value of 50 or more.

또한, 수지층 (A)와, 수지층 (A) 상에 마련된 수지층 (B)를 구비하는 적층체로서, 상기 수지층 (A)가 (A1) 블록 공중합 수지와, (A2) 광중합성 화합물을 갖고, 상기 수지층 (B)가 (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지를 갖는 것을 특징으로 하는 적층체에 의해 상기 과제가 해결된다.Additionally, a laminate comprising a resin layer (A) and a resin layer (B) provided on the resin layer (A), wherein the resin layer (A) includes (A1) a block copolymer resin and (A2) a photopolymerizable compound. The above problem is solved by a laminate wherein the resin layer (B) has an alkali-soluble (meth)acrylate resin (B1).

본 발명의 (A1) 블록 공중합 수지는 X-Y-X형이며, 질량 평균 분자량 Mw가 20,000 내지 400,000인 것이 바람직하다.The (A1) block copolymer resin of the present invention is of type X-Y-X, and preferably has a mass average molecular weight Mw of 20,000 to 400,000.

본 발명의 (A2) 광중합성 화합물은, 하기 일반식 (I)The (A2) photopolymerizable compound of the present invention has the following general formula (I)

(일반식 (I) 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 의미한다)(In general formula (I), R1 means a hydrogen atom or a methyl group)

로 표시되는 화합물인 것이 바람직하다.It is preferable that it is a compound represented by .

본 발명의 적층체는, 제1 필름과 제2 필름을 더 포함하고, 제1 필름, 수지층 (A), 수지층 (B) 및 제2 필름을, 이 순서로 구비할 수 있다.The laminate of the present invention further includes a first film and a second film, and may be provided with the first film, the resin layer (A), the resin layer (B), and the second film in this order.

본 발명의 과제는, 상기의 적층체의 경화물에 의해 달성된다.The object of the present invention is achieved by the cured product of the above laminate.

또한, 본 발명의 과제는, 본 발명의 경화물을 갖는 전자 부품에 의해 달성된다.Furthermore, the object of the present invention is achieved by an electronic component having the cured product of the present invention.

본 발명의 적층체는, 프린트 배선판 등의 기판에 대하여 적용될 때에, 가열 등의 처리에 의해 적층체가 경화물이 되면, 전자 기기의 제조 및 사용의 양쪽의 장면에서 전자 기기를 양호하게 보호하는 기계 특성, 해상성이 얻어지고, 또한 매트한 질감의 외관을 갖게 된다.The laminate of the present invention, when applied to a substrate such as a printed wiring board, has mechanical properties that provide good protection for electronic devices in both manufacturing and use of electronic devices when the laminate becomes cured through treatment such as heating. , resolution is obtained and a matte textured appearance is obtained.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 적층체의 모식 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 적층체의 모식 단면도이다.
도 3은 본 발명의 적층체를 사용해서 그의 경화물을 제조하는 처리 공정의 예를 설명하기 위한 도면이다.
1 is a schematic cross-sectional view of a laminate according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic cross-sectional view of a laminate according to another embodiment of the present invention.
Figure 3 is a diagram for explaining an example of a processing process for producing a cured product using the laminate of the present invention.

이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 대해서 상세히 설명한다.Hereinafter, the first embodiment of the present invention will be described in detail.

(적층체)(Laminate)

도 1의 모식 단면도에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 적층체는, 수지층 (A)와, 수지층 (A) 상에 마련된 수지층 (B)를 갖는 적층체의 형태를 갖는다. 그 사용 시에, 적층체의 수지층 (B)가, 프린트 배선판을 비롯한 전자 부품 등의 기판(도시하지 않음)에 접하도록 배치되고, 수지층 (A)가 수지층 (B)를 통해 기판과는 이격해서 배치된다.As shown in the schematic cross-sectional view of Fig. 1, the laminate of the present invention has the form of a laminate having a resin layer (A) and a resin layer (B) provided on the resin layer (A). When used, the resin layer (B) of the laminate is placed in contact with a substrate (not shown) of electronic components such as a printed wiring board, and the resin layer (A) is connected to the substrate through the resin layer (B). are placed spaced apart.

적층체는 상기와 같이 기판 상에 배치된 후, 노광 처리 및 가열 경화되고, 경화막으로서, 솔더 레지스트, 커버 레이 용도, 기타 회로 보호막 등으로서, 제조 과정에 있어서 기판을 보호하고, 또한 제품 완성 후에도 기판 상에 존재해서 이것을 보호하는 역할을 한다. 적층체의 경화는, 노광을 거쳐서 가열 처리에 의해 행해진다. 본 발명에 있어서는, 수지층 (A) 및 수지층 (B)가, 각각 감광성 수지 조성물 (A) 및 감광성 수지 조성물 (B)로 구성된다.After the laminate is placed on the substrate as described above, it is subjected to exposure treatment and heat curing, and serves as a cured film, solder resist, cover lay, and other circuit protective films to protect the substrate during the manufacturing process, and even after the product is completed. It exists on the substrate and serves to protect it. Curing of the laminate is performed through exposure and heat treatment. In the present invention, the resin layer (A) and the resin layer (B) are composed of a photosensitive resin composition (A) and a photosensitive resin composition (B), respectively.

본 발명의 적층체는, 일반적으로는 노광 공정, 가열 경화 공정, 현상 공정, 부품 실장 공정, 재가열 공정에 부쳐지고, 가열 경화 공정 후에 경화물이 된다. 적층체를 구성하는 수지층의 그로스값은 노광 처리나 가열 처리 등 상기의 일련 공정 중에 있어서 변동한다. 여기서, 「가열 경화」란, 수지층 (A) 및 수지층 (B)에 포함되는 열경화성의 성분이 가교하는 온도 이상(예를 들어 150℃ 이상)으로 소정 시간 가열해서 이들 수지층을 경화시키는 것, 즉 감광성 수지 조성물을 가열에 의해 경화시키는 것을 의미한다.The laminate of the present invention is generally subjected to an exposure process, a heat curing process, a development process, a component mounting process, and a reheating process, and becomes a cured product after the heat curing process. The gross value of the resin layer constituting the laminate varies during the above series of processes such as exposure treatment and heat treatment. Here, “heat curing” refers to curing the resin layers (A) and (B) by heating them for a predetermined period of time above the temperature at which the thermosetting components contained in the resin layer (A) and resin layer (B) crosslink (for example, 150°C or more). , that is, curing the photosensitive resin composition by heating.

본 발명의 적층체에서 사용되는 수지층 (A)는, 상기와 같이 수지층 (B)를 통해 기판 상에 배치된 상태에서, 후술하는 소정 처리 후, 수지층 (A)의 수지층 (B)와는 접하지 않는 측의 표면(수지층 (A)의 기판으로부터 먼 측의 면, 외표면이라고도 한다)의 제1 그로스값 및 제2 그로스값이 소정의 값을 나타내게 된다.The resin layer (A) used in the laminate of the present invention is disposed on a substrate through the resin layer (B) as described above, and after a predetermined treatment described later, the resin layer (B) of the resin layer (A) is The first and second gross values of the surface on the side that is not in contact with the surface (the side of the resin layer (A) far from the substrate, also referred to as the outer surface) show predetermined values.

[제1 그로스값][First gross value]

본 발명의 적층체에 있어서의 제1 그로스값은, (i) 기판 상에 마련되고, 감광성 수지 조성물 (B)로 구성되는 수지층 (B)와, 이 수지층 (B) 상, 기판과는 반대인 면에 마련되고, 감광성 수지 조성물 (A)로 구성되는 수지층 (A)를 구비하는 적층체를, 수지층 (A)측으로부터 노광한 후, 가열 경화 전에, 적층체에 있어서의 상기 수지층 (A)의 외표면의 그로스값으로서 구해지는 값에 상당한다. 또한, 적층체가 수지층 (A)에 접하는 제1 필름 및/또는 수지층 (B)에 접하는 제2 필름을 구비하는 경우에는, 제2 필름을 박리하고 수지층 (B)가 기판과 접하도록 당해 기판 상에 진공 라미네이트한 후에, 수지층 (A)측으로부터 노광하고, 이어서 제1 필름을 박리한 후, 가열 경화 전에, 적층체에 있어서의 상기 수지층 (A)의 외표면의 그로스값으로서 구해지는 값에 상당한다. 제1 그로스값은 50 이상, 바람직하게는 70 내지 100이 된다.The first gross value in the laminate of the present invention is (i) the resin layer (B) provided on the substrate and composed of the photosensitive resin composition (B), and the resin layer (B) and the substrate. After exposing a laminated body provided on the opposite side and provided with a resin layer (A) composed of the photosensitive resin composition (A) to light from the resin layer (A) side and before heat curing, the number in the laminated body It corresponds to the value obtained as the gross value of the outer surface of the stratum (A). In addition, when the laminate is provided with a first film in contact with the resin layer (A) and/or a second film in contact with the resin layer (B), the second film is peeled and the resin layer (B) is in contact with the substrate. After vacuum lamination on the substrate, it is exposed to light from the resin layer (A) side, and then, after peeling off the first film and before heat curing, the gross value of the outer surface of the resin layer (A) in the laminate is determined. It is equivalent to the value lost. The first gross value is 50 or more, preferably 70 to 100.

본 발명에서는, 기판 상에 마련된 수지층 (B) 및, 이 수지층 (B) 상, 기판과는 반대측에 마련된 수지층 (A)를 구비하고, 추가로 임의로 수지층 (A) 상에 제1 필름을 구비하는 적층체에 대하여, 오크사제의 감압 밀착형 양면 노광기(형식 번호 ORC HMW 680GW)를 사용하여, 적산 노광량 250mJ/㎠의 조건에서, 수지층 (A)측으로부터 자외선을 조사한 후에, 제1 그로스값의 측정을 행한다. 또한, 전술한 바와 같이 적층체가 제1 필름을 구비하는 경우에는, 자외선 조사 후, 제1 필름을 박리한 10분 후에, 제1 그로스값의 측정을 행한다.In the present invention, a resin layer (B) provided on a substrate, a resin layer (A) provided on the resin layer (B) on the opposite side to the substrate, and optionally a first layer (A) on the resin layer (A) are provided. The laminate including the film was irradiated with ultraviolet rays from the resin layer (A) side using a pressure-sensitive adhesive double-sided exposure machine (model number ORC HMW 680GW) manufactured by Oak, under conditions of an integrated exposure dose of 250 mJ/cm2, and then subjected to ultraviolet rays. 1 Measure the gross value. In addition, when the laminate is provided with the first film as described above, the first gross value is measured 10 minutes after peeling the first film after irradiation with ultraviolet rays.

[제2 그로스값][Second gross value]

또한, 본 발명의 적층체에 있어서의 제2 그로스값은, (ii) 상술한 제1 그로스값의 측정을 행하는 노광 후의 적층체에 대하여, 추가로 열풍 순환식 건조를 사용해서 150℃에서 60분 가열 처리를 행한 후에, 이 적층체에 있어서의 수지층 (A)의 외표면의 그로스값을 측정함으로써 구해지는 값에 상당한다.In addition, the second gloss value in the laminate of the present invention is (ii) for the laminate after exposure for which the above-mentioned first gloss value is measured, additional hot air circulation drying is used at 150°C for 60 minutes. It corresponds to the value determined by measuring the gross value of the outer surface of the resin layer (A) in this laminate after heat treatment.

또한, 상기의 제2 그로스값을 측정하기 위한 가열 경화 조건은, 본 발명의 적층체를 전자 기기 등에 사용(탑재)할 때의 가열 경화 조건을 하등 제한하는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 적층체를 사용할 때의 가열 경화 조건은, 후술하는 가열 경화 공정에 기재된 조건으로부터 적절히 선택할 수 있다.In addition, the heat-curing conditions for measuring the above-mentioned second gross value do not limit the heat-curing conditions at all when the laminate of the present invention is used (mounted) in electronic devices, etc. That is, the heat-curing conditions when using the laminate of the present invention can be appropriately selected from the conditions described in the heat-curing process described later.

또한, 수지층 (A)의 그로스값은, 수지층 (A) 전체로서 동일 또는 대략 동일해지지만, 본 발명에 있어서는, 기준의 명확화를 위해서, 수지층 (A)의 수지층 (B)와는 접하지 않는 측의 표면(외표면)의 일부에 있어서의 측정값을 사용하고 있다.In addition, the gross value of the resin layer (A) is the same or approximately the same as the entire resin layer (A), but in the present invention, for clarification of the standard, the gloss value of the resin layer (A) is not in contact with the resin layer (B). The measured value on a part of the surface (outer surface) on the side that is not exposed is used.

[제3 그로스값][Third gross value]

또한, 본 발명의 적층체에 있어서의 제3 그로스값은, (iii) 기판 상에 마련된 수지층 (A)와, 이 수지층 (A) 상, 기판과는 반대인 면에 마련된 수지층 (B)를 구비하는 적층체를 노광한 후, 가열 경화 후에, 적층체에 있어서의 수지층 (B)의 외표면의 그로스값으로서 구해지는 값이다. 즉, 기판에 대한 수지층 (A)와 수지층 (B)의 적층순이 다른 것 이외에는, 제2 그로스값과 마찬가지 수순으로 측정된다. 또한, 적층체가 수지층 (A)에 접하는 제1 필름 및/또는 수지층 (B)에 접하는 제2 필름을 구비하는 경우에는, 제1 필름을 박리하여, 수지층 (A)가 기판과 접하도록 당해 기판 상에 진공 라미네이터(CVP-300: 닛코 머티리얼사제)을 사용해서 80℃의 제1 챔버로 진공압 3hPa, 배큐엄 시간 30초의 조건 하에서 라미네이트한 후, 프레스압 0.5㎫, 프레스 시간 30초의 조건에서 프레스한 후에, 수지층 (B)측으로부터 노광하고, 이어서 제2 필름을 박리하여, 가열 경화한 후에, 수지층 (B)의 외표면의 그로스값으로서 구해지는 값에 상당한다. 제3 그로스값을 측정하기 위한 노광 및 가열 경화의 조건은 제2 그로스값의 측정에서 사용하는 조건과 마찬가지 조건을 사용한다.In addition, the third gross value in the laminate of the present invention is (iii) a resin layer (A) provided on the substrate, and a resin layer (B) provided on the resin layer (A) on the side opposite to the substrate. ) is a value obtained as the gross value of the outer surface of the resin layer (B) in the laminate after exposing the laminate provided with it to light and then heat curing. That is, it is measured in the same procedure as the second gross value, except that the lamination order of the resin layer (A) and the resin layer (B) with respect to the substrate is different. In addition, when the laminate is provided with a first film in contact with the resin layer (A) and/or a second film in contact with the resin layer (B), the first film is peeled so that the resin layer (A) is in contact with the substrate. The substrate was laminated in a first chamber at 80°C using a vacuum laminator (CVP-300: manufactured by Nikko Materials) under the conditions of a vacuum pressure of 3 hPa and a vacuum time of 30 seconds, followed by a press pressure of 0.5 MPa and a press time of 30 seconds. After pressing, exposing from the resin layer (B) side, and then peeling off the second film and heat-curing, the value is equivalent to the value obtained as the gross value of the outer surface of the resin layer (B). The conditions for exposure and heat curing for measuring the third gloss value are the same as those used for measuring the second gloss value.

또한, 본 발명에 있어서의 「그로스값」이란, BYK Additives & Instruments 사제의 광택도계(micro-TRI-gloss)를 사용하여, 수평하게 적재한 적층체에 대하여, 입사각 60°에서 광 조사함으로써 측정한 값을 의미한다.In addition, the “gloss value” in the present invention refers to the value measured by light irradiation at an incident angle of 60° on a horizontally stacked laminate using a gloss meter (micro-TRI-gloss) manufactured by BYK Additives & Instruments. It means value.

(적층체의 제조 공정)(Manufacturing process of laminate)

이하, 도 2 및 도 3을 참조하면서, 적층체의 제조 공정을 설명한다.Hereinafter, the manufacturing process of the laminate will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2는 전자 기기 등에 적용되기 전의, 적층체의 일 실시 형태에 있어서의 대략적인 단면도이다. 이 예에서는, 제1 필름(1)(예를 들어 캐리어 필름 내지 지지 필름) 상에, 감광성 수지 조성물 (A)를 도포하고, 건조시키고, 이어서 수지층 (A) 상에 감광성 수지 조성물 (B)를, 도포하고, 건조시키고, 감광성 수지 조성물 (B) 상에 제2 필름(2)이 적층되어 있다. 즉, 도 2에서는, 적층 상태의 드라이 필름(적층체)이 도시되어 있다.Figure 2 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of the laminate before being applied to electronic devices, etc. In this example, the photosensitive resin composition (A) is applied on the first film (1) (e.g., a carrier film to a support film), dried, and then the photosensitive resin composition (B) is applied on the resin layer (A). is applied and dried, and the second film (2) is laminated on the photosensitive resin composition (B). That is, in Figure 2, a dry film (laminated body) in a laminated state is shown.

즉, 먼저 감광성 수지 조성물 (A) 및 (B)를 각각 유기 용제 등으로 희석하고, 0.1dPa·s 내지 200dPa·s 정도의 점도로 조정하고, 감광성 수지 조성물 (A)를, 통상법에 따라서, 콤마 코터 등의 공지된 기구를 사용하여, 제1 필름(1)의 한쪽 면에 도포한다. 그 후, 통상, 50 내지 140℃의 온도에서 1 내지 30분간 건조시키는 것으로, 제1 필름(1) 상에 건조시킨 수지층 (A)가 형성된다. 이 수지층 (A)의 제1 필름(1)과는 반대인 면에, 상기와 마찬가지로, 점도 조정된 감광성 수지 조성물 (B)를 도포하고, 건조시킴으로써, 제1 필름(1)에 접해서 마련된, 수지층 (A)와 수지층 (B)를 포함하는 적층체가 제조된다. 본 발명의 적층체는, 수지층 (A)와 수지층 (B)를 포함하는 적층체인 한, 상기의 제1 필름(1) 및 다른 필름 내지 수지층을 가져도 된다. 적층체의 전자 기기에의 적용 시에는, 수지층 (B)가 기판측에 마련되고, 수지층 (A)는, 수지층 (B)를 통해 기판과는 반대측에 마련되어 전자 기기 표면으로부터 시인 가능한 표면층을 형성하게 된다. That is, first, the photosensitive resin compositions (A) and (B) are each diluted with an organic solvent or the like, the viscosity is adjusted to about 0.1 dPa·s to 200 dPa·s, and the photosensitive resin composition (A) is diluted with a comma according to a conventional method. It is applied to one side of the first film 1 using a known device such as a coater. After that, the dried resin layer (A) is formed on the first film 1 by usually drying at a temperature of 50 to 140°C for 1 to 30 minutes. The photosensitive resin composition (B) whose viscosity was adjusted in the same manner as above is applied to the side of this resin layer (A) opposite to the first film (1) and dried, thereby providing a layer in contact with the first film (1). , a laminate containing a resin layer (A) and a resin layer (B) is manufactured. The laminate of the present invention may have the above-mentioned first film (1) and other films or resin layers as long as it is a laminate containing the resin layer (A) and the resin layer (B). When applying the laminate to an electronic device, the resin layer (B) is provided on the substrate side, and the resin layer (A) is a surface layer that is provided on the opposite side from the substrate through the resin layer (B) and is visible from the electronic device surface. is formed.

적층체의 수지층 (B)의 수지층 (A)와는 반대측에 위치하는 면에는, 수지층 (B)의 표면에 먼지가 부착되는 것을 방지하는 등의 목적으로, 또한 박리 가능한 제2 필름(2)(예를 들어 커버 필름 내지 보호 필름)을 적층할 수 있다. 제1 필름(1) 및 제2 필름(2)으로서는, 종래 공지된 플라스틱 필름을 적절히 사용할 수 있고, 제2 필름(2)과 수지층 (B)의 접착력은, 제1 필름(1)과 수지층 (A)의 접착력보다 작은 것인 것이 바람직하다. 본 발명의 적층체(10)는, 먼저 제2 필름(2)을 박리함으로써 상기의 기판에의 적용이 행해지기 때문에, 상기와 같이 접착력을 제어함으로써, 이 작업이 용이하게 된다. 제1 필름(1) 및 제2 필름(2)의 두께에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 일반적으로는 10 내지 150㎛의 범위에서 적절히 선택된다.On the side of the resin layer (B) of the laminate located on the opposite side from the resin layer (A), a second peelable film (2) is provided for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the resin layer (B). ) (for example, a cover film or a protective film) can be laminated. As the first film 1 and the second film 2, conventionally known plastic films can be appropriately used, and the adhesive force between the second film 2 and the resin layer (B) is similar to that of the first film 1. It is preferable that it is smaller than the adhesive force of the stratum (A). Since the laminate 10 of the present invention is applied to the above-described substrate by first peeling off the second film 2, this operation is facilitated by controlling the adhesive force as described above. There is no particular limitation on the thickness of the first film 1 and the second film 2, but it is generally appropriately selected in the range of 10 to 150 μm.

이와 같이, 제1 필름(1)과, 수지층 (A)와, 수지층 (B)와, 제2 필름(2)이, 이 순서로 적층된 4층 구조의 적층체가 드라이 필름으로서 제조된다(도 2).In this way, a laminate having a four-layer structure in which the first film 1, the resin layer (A), the resin layer (B), and the second film 2 are laminated in this order is manufactured as a dry film ( Figure 2).

또한, 본 발명의 적층체는, 편면만이, 필름(제1 필름(1) 또는 제2 필름(2)의 어느 것)으로 지지 또는 보호되어도 되고, 필름을 포함하지 않는 적층체여도 된다. 또한, 본 발명의 적층체(드라이 필름)는 롤상으로 권회되어 있어도 된다.In addition, the laminate of the present invention may have only one side supported or protected by a film (either the first film 1 or the second film 2), or may be a laminate containing no film. Additionally, the laminate (dry film) of the present invention may be wound into a roll shape.

도막 강도의 관점에서, 각 층간의 계면은, 친화되어 있어도 된다. 즉, 수지층 (A)와 수지층 (B)는 밀착성이 높고, 제1 필름(1)이나, 제2 필름(2)의 박리 시, 혹은 적층체로서 기타 박리되는 층이 존재하는 경우에는, 그 박리되는 층의 박리 시에 있어서 수지층 (A)와 수지층 (B)는 서로 밀착해서 내구성이 높은 영구 피막을 형성하는 것이 바람직하다.From the viewpoint of coating film strength, the interface between each layer may be friendly. That is, the resin layer (A) and the resin layer (B) have high adhesion, and when the first film 1 or the second film 2 is peeled, or when other layers to be peeled exist as a laminate, At the time of peeling of the layer to be peeled, it is preferable that the resin layer (A) and the resin layer (B) adhere to each other to form a highly durable permanent film.

상기와 같이 얻어진 적층체는, 프린트 배선판 등의 기판(보호 대상)에 대하여 적용되고, 솔더 레지스트, 커버 레이 또는 기타 회로 보호막으로서 기능한다. 이미 설명한 바와 같이, 적층체는 제2 필름(2)을 갖는 경우에는 이것을 박리하고, 수지층 (B)의 전체면이, 기판의 보호 대상면을 덮도록 대향 배치하고, 라미네이터를 사용해서 가압함으로써, 적층체와 기판을 밀착시킨다.The laminate obtained as described above is applied to a substrate (object of protection) such as a printed wiring board, and functions as a solder resist, cover lay, or other circuit protective film. As already explained, when the laminate has the second film 2, it is peeled off, placed facing each other so that the entire surface of the resin layer (B) covers the protection target surface of the substrate, and pressed using a laminator. , the laminate and the substrate are brought into close contact.

또한, 본 발명에 있어서, 「상」, 「대향」이란, 그 대상으로서 기재한 층이나 면 등이, 반드시 접하고 있을 필요는 없고, 경우에 따라서는 다른 층을 개재하여 마련되어 있는 것도 있다. 반면에, 「직접」 또는 「직접적으로」는 층이나 면이 접하고 있는 상태를 의미한다.In addition, in the present invention, the layers or surfaces described as the objects of “on” and “opposite” do not necessarily have to be in contact, and in some cases, they may be provided through another layer. On the other hand, “directly” or “directly” means a state in which layers or surfaces are in contact.

상기와 같이 적층체를 제1 필름(1) 상에서 미리 제작하고, 이것을 전자 기기에 라미네이트하기 위해서는, 진공 라미네이터 등을 사용하여, 가압 및 가열 하에서 접합하는 것이 바람직하다. 이러한 진공 라미네이터를 사용함으로써, 배선 기재 표면에 요철이 있어도, 드라이 필름이 배선 기재에 밀착하기 때문에, 기포의 혼입이 없고, 또한 배선 기재 표면의 오목부의 구멍 매립성도 향상된다. 가압 조건은 0.1 내지 2.0㎫인 것이 바람직하고, 또한 가열 조건은 40 내지 120℃인 것이 바람직하다.In order to produce a laminate in advance on the first film 1 as described above and laminate it to an electronic device, it is preferable to bond it under pressure and heating using a vacuum laminator or the like. By using such a vacuum laminator, even if the surface of the wiring substrate has irregularities, the dry film is in close contact with the wiring substrate, so air bubbles are not mixed, and the hole filling property of the concave portion of the wiring substrate surface is also improved. Pressurizing conditions are preferably 0.1 to 2.0 MPa, and heating conditions are preferably 40 to 120°C.

또한, 본 발명의 적층체를 회로 기판 상에 배치하는 방법으로서는, 수지층 (A) 및 수지층 (B)를 각각 개별로 드라이 필름으로서 제작하고, 이 드라이 필름을 회로 기판의 보호 대상면에 순차 라미네이트하는 방법에 따를 수도 있다. 즉, 먼저, 수지층 (B)의 드라이 필름을 회로 기판에 라미네이트함으로써, 회로 기판 상에 수지층 (B)를 형성한다. 그 후, 수지층 (A)의 드라이 필름을 수지층 (B) 상에 라미네이트함으로써, 회로 기판 상에 형성된 본 발명의 적층체를 얻을 수 있다.In addition, as a method of disposing the laminate of the present invention on a circuit board, the resin layer (A) and the resin layer (B) are each individually produced as a dry film, and this dry film is sequentially applied to the protection target surface of the circuit board. It may also depend on the laminating method. That is, first, the resin layer (B) is formed on the circuit board by laminating the dry film of the resin layer (B) to the circuit board. Thereafter, by laminating the dry film of the resin layer (A) on the resin layer (B), the laminate of the present invention formed on a circuit board can be obtained.

그 외에, 전자 기기에 대하여 직접적으로, 감광성 수지 조성물 (B)를 도포, 건조시키고, 이어서 감광성 수지 조성물 (B)의 건조 상태의 막 상에, 감광성 수지 조성물 (A)를 도포, 건조함으로써, 적층체를 형성해도 된다. 전자 기기측에서, 감광성 수지 조성물 (B)를 포함하는 수지층 (B) 및 감광성 수지 조성물 (A)를 포함하는 수지층 (A)가 차례로 적층되고, 수지층 (B) 및 (A)는, 전자 기기에 밀착한 상태에서, 본 발명의 적층체를 구성한다. 이 경우에 사용하는 감광성 수지 조성물 (A) 및 (B)도, 필름 상에 마련되는 적층체와 마찬가지로, 유기 용제를 사용한 점도 조정, 도포, 건조 등이 행해진다.In addition, the photosensitive resin composition (B) is applied and dried directly to the electronic device, and then the photosensitive resin composition (A) is applied and dried on the dried film of the photosensitive resin composition (B), thereby laminating. You may form a sieve. On the electronic device side, a resin layer (B) containing the photosensitive resin composition (B) and a resin layer (A) containing the photosensitive resin composition (A) are sequentially laminated, and the resin layers (B) and (A) are, The laminate of the present invention is constructed while in close contact with an electronic device. The photosensitive resin compositions (A) and (B) used in this case are also subject to viscosity adjustment using an organic solvent, application, drying, etc., similar to the laminate provided on the film.

본 발명의 적층체에 사용되는 감광성 수지 조성물의 제조에 있어서, 점도 조정에 사용되는 유기 용제는 후술하는 바와 같은 공지된 유기 용제로부터 적절히 선택된다.In the production of the photosensitive resin composition used in the laminate of the present invention, the organic solvent used for viscosity adjustment is appropriately selected from known organic solvents as described later.

감광성 수지 조성물 (A) 및 (B)의 도포는, 상기의 콤마 코터 외에, 블레이드 코터, 립 코터, 필름 코터 등의 공지된 기기에 의해 행하는 것도 가능하고, 건조는 열풍 순환식 건조로, IR로, 핫 플레이트, 컨벡션 오븐 등, 증기에 의한 가열 방식의 열원을 구비한 기기를 사용함으로써 바람직하게 행해지고, 건조기 내의 열풍을 향류 접촉시키는 방법 및 노즐로부터 지지체로 분사하는 방법 등, 공지된 방법을 사용할 수도 있다.Application of the photosensitive resin compositions (A) and (B) can also be performed using known equipment such as a blade coater, lip coater, or film coater in addition to the above comma coater, and drying can be performed using a hot air circulation dryer or IR. This is preferably carried out by using a device equipped with a heat source of a steam heating type, such as a hot plate or a convection oven, and known methods such as a method of countercurrent contact with hot air in a dryer and a method of spraying from a nozzle to a support can also be used. there is.

이와 같이 제조된 적층체는, 후술하는 경화 처리에 의해 경화해서 프린트 배선판의 전자 기기(보호 대상) 등 위의 영구 피막을 구성한다.The laminate manufactured in this way is cured through a curing treatment described later to form a permanent film on electronic devices (objects of protection) such as printed wiring boards.

[수지층 (A)][Resin layer (A)]

본 발명에 관한 적층체의, 수지층 (A)는, 수지층 (B)에 대향하지 않는 면, 즉 프린트 배선판 등의 최외층이 되어 시인 가능해지는 면(외표면)의 그로스값이, 경화 처리 등의 각 공정에 있어서 변화한다. 상세하게는, 수지층 (A)의 제1 그로스값이 50 이상, 바람직하게는 70 이상 100 이하가 된다. 제1 그로스값이 50 이상이면 양호한 해상성을 얻을 수 있다.The resin layer (A) of the laminate according to the present invention has a gloss value of the surface that does not face the resin layer (B), that is, the surface (outer surface) that becomes visible as the outermost layer of a printed wiring board, etc., after the curing treatment. changes in each process, etc. In detail, the first gross value of the resin layer (A) is 50 or more, preferably 70 or more and 100 or less. If the first gross value is 50 or more, good resolution can be obtained.

또한, 본 발명에 관한 적층체의, 수지층 (A)는 제2 그로스값이, 30 이하, 바람직하게는 1 이상 20 이하가 된다. 제2 그로스값이 30 이하이면 양호하게 매트한 질감의 외관을 나타낼 수 있다.In addition, the resin layer (A) of the laminate according to the present invention has a second gross value of 30 or less, preferably 1 or more and 20 or less. If the second gloss value is 30 or less, the appearance of a good matte texture can be exhibited.

[수지층 (B)][Resin layer (B)]

본 발명의 적층체에 사용되는, 수지층 (B)는 제3 그로스값이, 50 이상, 바람직하게는 70 이상 100 이하가 된다. 수지층 (B)의 외표면의 그로스값이, 50 이상이면 양호한 기계 특성을 얻을 수 있다.The resin layer (B) used in the laminate of the present invention has a third gross value of 50 or more, preferably 70 or more and 100 or less. If the gross value of the outer surface of the resin layer (B) is 50 or more, good mechanical properties can be obtained.

본 발명에서는, 도공, 건조 후의 수지층 (B)의 막 두께는, 일반적으로 1 내지 150㎛, 바람직하게는 3 내지 120㎛, 수지층 (A)의 막 두께는 일반적으로 0.5 내지 50㎛, 바람직하게는 2 내지 30㎛가 되고, 양자의 합계 막 두께가 5 내지 150㎛가 되면 된다. 또한, 수지층 (B)의 막 두께가 수지층 (A)의 막 두께보다 큰 것이 바람직하다.In the present invention, the film thickness of the resin layer (B) after coating and drying is generally 1 to 150 μm, preferably 3 to 120 μm, and the film thickness of the resin layer (A) is generally 0.5 to 50 μm, preferably. Preferably, it is 2 to 30 μm, and the total film thickness of both is 5 to 150 μm. Additionally, it is preferable that the film thickness of the resin layer (B) is larger than the film thickness of the resin layer (A).

본 발명의 적층체 및 그의 경화물은, 솔더 레지스트 등으로서 적용되는 경우에는, 현상 가능한 것이 바람직하고, 이 관점에서, 감광성 수지 조성물 (A) 및 (B)는, 적어도 어느 것에 또는 양쪽에 알칼리 가용성 수지, 특히 카르복실기 함유 수지를 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 모두 열경화를 거쳐서 경화물이 되는 점에서, 열경화성 수지를 포함하는 것이다. 이하, 감광성 수지 조성물 (A) 및 (B)의 성분에 대해서 기재한다.When the laminate and its cured product of the present invention are applied as a solder resist or the like, it is preferable that they are developable, and from this point of view, the photosensitive resin compositions (A) and (B) are alkali soluble in at least one or both of them. It is preferable that it contains a resin, especially a carboxyl group-containing resin. In addition, since they all undergo thermal curing to become a cured product, they contain thermosetting resin. Hereinafter, the components of the photosensitive resin compositions (A) and (B) are described.

[감광성 수지 조성물 (A)의 성분][Components of photosensitive resin composition (A)]

상기의 제1 그로스값 및 제2 그로스값을 나타내는 수지층 (A)를 구성하는 감광성 수지 조성물 (A)는, 일반적으로 카르복실기 함유 수지 등의 알칼리 가용성 수지를 포함하고, 추가로 열경화성 수지를 포함하는 것이 바람직하고, 또한 폴리이미드 수지, 방향족계 수지, 감광성 수지, 메타크릴산메틸계 빗살형 폴리머를 포함해도 된다. 감광성 수지 조성물 (A)는 원하는 그로스값을 달성하기 위해서, 감광성 수지 조성물 (A) 중의 수지와 비상용성을 나타내는 성분을 더할 필요가 있다. 이것은 특정한 성분에 한하지 않고, 감광성 수지 조성물 (A) 중의 수지에 대하여 비상용성을 나타내는 성분이면 소정의 구조로 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 폴리이미드 수지에 대하여 비상용성을 나타내는 폴리아미드이미드, 혹은 카르복실기 함유 수지에 대하여 비상용성을 나타내는 헤테로 원자를 포함하는 지방산, 혹은 방향족계 수지에 비상용성을 나타내는 지방족 블록 공중합 수지, 감광성 수지에 대하여 비상용성을 나타내는 지환식형 광중합성 화합물, 메타크릴산메틸계 빗살형 폴리머에 대하여 비상용성을 나타내는 실리콘 화합물 등을 들 수 있다. 감광성 수지 조성물 (A)는, 또한 경우에 따라 광중합성 화합물, 광중합 개시제를 포함하는 것이어도 된다.The photosensitive resin composition (A) constituting the resin layer (A) showing the above-described first and second gross values generally contains an alkali-soluble resin such as a carboxyl group-containing resin, and further contains a thermosetting resin. It is preferable, and may also include polyimide resin, aromatic resin, photosensitive resin, and methyl methacrylate-based comb polymer. In order to achieve the desired gloss value, the photosensitive resin composition (A) needs to add a component that is incompatible with the resin in the photosensitive resin composition (A). This is not limited to a specific component, and is not limited to a predetermined structure as long as it is a component that is incompatible with the resin in the photosensitive resin composition (A). For example, polyamideimide, which is incompatible with polyimide resins, fatty acids containing heteroatoms, which are incompatible with carboxyl group-containing resins, or aliphatic block copolymer resins, which are incompatible with aromatic resins, and photosensitive resins. Examples include alicyclic photopolymerizable compounds that are incompatible with methyl methacrylate-based comb polymers, and silicone compounds that are incompatible with methyl methacrylate-based comb polymers. The photosensitive resin composition (A) may further contain a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator as the case may be.

또한, 알칼리 가용성 수지나 폴리이미드 수지, 폴리아미드이미드 수지 등의 고분자량 성분에 대한, 열경화성 수지나 광중합성 화합물의 배합량이 많으면 비상용성을 나타내는 경향이 있고, 이러한 감광성 수지 조성물 (A)를 사용한 수지층 (A)는 본 발명이 원하는 그로스값을 나타낸다. 이 배합량은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 고분자량 성분 100질량부에 대한 열경화성 수지 및 광중합성 화합물의 총량을 30 내지 170질량부로 할 수 있다.In addition, if the amount of thermosetting resin or photopolymerizable compound mixed with high molecular weight components such as alkali-soluble resin, polyimide resin, or polyamidoimide resin is large, incompatibility tends to occur, and such photosensitive resin composition (A) can be used. Stratum (A) represents the gross value desired by the present invention. This mixing amount is not particularly limited, but for example, the total amount of the thermosetting resin and photopolymerizable compound can be 30 to 170 parts by mass per 100 parts by mass of the high molecular weight component.

(감광성 수지 조성물 (A)에 있어서 사용되는 알칼리 가용성 수지)(Alkali-soluble resin used in photosensitive resin composition (A))

감광성 수지 조성물 (A)에 있어서, 상기한 바와 같이 알칼리 가용성 수지를 포함하는 것이 바람직하고, 공지된 알칼리 가용성 수지를 모두 사용할 수 있고, 특히 카르복실기 함유 수지인 것이 바람직하다. 감광성 수지 조성물 (A)에 있어서, 사용 가능한 알칼리 가용성 수지의 구체예로서, 특히 이하의 것을 들 수 있다.In the photosensitive resin composition (A), it is preferable that it contains an alkali-soluble resin as described above, and all known alkali-soluble resins can be used, and a carboxyl group-containing resin is especially preferable. In the photosensitive resin composition (A), specific examples of the alkali-soluble resin that can be used include the following.

(1) 이미드 구조 및 아미드 구조를 갖는 카르복실기 함유 수지(1) Carboxyl group-containing resin having an imide structure and an amide structure

이미드 구조 및 아미드 구조를 갖는 카르복실기 함유 수지, 특히 하기 일반식 (1)로 표시되는 구조 및 하기 일반식 (2)로 표시되는 구조를 갖는 폴리아미드이미드 기 함유 수지를 사용할 수 있다.Carboxyl group-containing resins having an imide structure and an amide structure can be used, especially polyamidoimide group-containing resins having a structure represented by the following general formula (1) and a structure shown by the following general formula (2).

여기서, X1은 탄소수가 24 내지 48의 다이머산 유래의 지방족 디아민 (a)의 잔기이다. X2는 카르복실기를 갖는 방향족 디아민 (b)의 잔기이다. Y는 각각 독립적으로 시클로헥산환 또는 방향환이다.Here, X 1 is the residue of aliphatic diamine (a) derived from dimer acid and having 24 to 48 carbon atoms. X 2 is the residue of aromatic diamine (b) having a carboxyl group. Y is each independently a cyclohexane ring or an aromatic ring.

구체적으로는, 이러한 구조를 갖는 폴리아미드이미드 수지로서는, 하기 일반식 (3)으로 표시되는 바와 같은 것을 들 수 있다.Specifically, polyamidoimide resins having this structure include those represented by the following general formula (3).

상기 일반식 (3) 중, X는 각각 독립적으로 디아민 잔기, Y는 각각 독립적으로 방향환 또는 시클로헥산환, Z는 디이소시아네이트 화합물의 잔기이다. n은 자연수이다.In the general formula (3), n is a natural number.

(2) 이미드 구조를 갖고 아미드 구조를 갖지 않는 카르복실기 함유 수지(2) Carboxyl group-containing resin with an imide structure and no amide structure

이미드 구조를 갖고 아미드 구조를 갖지 않는 카르복실기 함유 수지는, 카르복실기와 이미드환을 갖는 수지이면 특별히 한정되지 않는다. 이미드 구조를 갖고 아미드 구조를 갖지 않는 카르복실기 함유 수지의 합성에는, 카르복실기 함유 수지에 이미드환을 도입하는 공지 관용의 방법을 사용할 수 있다. 예를 들어, 카르복실산 무수물 성분과 아민 성분 및/또는 이소시아네이트 성분을 반응시켜서 얻어지는 수지를 들 수 있다. 이미드화는 열이미드화로 행해도, 화학 이미드화로 행해도 되고, 또한 이들을 병용해서 제조할 수 있다.The carboxyl group-containing resin that has an imide structure and does not have an amide structure is not particularly limited as long as it is a resin that has a carboxyl group and an imide ring. For the synthesis of a carboxyl group-containing resin that has an imide structure and no amide structure, a known and common method of introducing an imide ring into the carboxyl group-containing resin can be used. For example, a resin obtained by reacting a carboxylic acid anhydride component with an amine component and/or an isocyanate component can be mentioned. Imidization may be performed by thermal imidation or chemical imidation, and it can be produced by using these in combination.

여기서, 카르복실산 무수물 성분으로서는, 테트라카르복실산 무수물이나 트리카르복실산 무수물 등을 들 수 있지만, 이들 산 무수물에 한정되는 것이 아니고, 아미노기나 이소시아네이트기와 반응하는 산 무수물기 및 카르복실기를 갖는 화합물이면, 그의 유도체를 포함해 사용할 수 있다. 또한, 이들 카르복실산 무수물 성분은, 단독으로 또는 조합하여 사용해도 된다.Here, examples of the carboxylic acid anhydride component include tetracarboxylic acid anhydride and tricarboxylic acid anhydride. However, it is not limited to these acid anhydrides, and any compound having an acid anhydride group and a carboxyl group that reacts with an amino group or an isocyanate group can be used. , including its derivatives, can be used. In addition, these carboxylic acid anhydride components may be used individually or in combination.

테트라카르복실산 무수물로서는, 예를 들어 피로멜리트산 이무수물, 3-플루오로피로멜리트산 이무수물, 3,6-디플루오로피로멜리트산 이무수물, 3,6-비스(트리플루오로메틸)피로멜리트산 이무수물, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-옥시디프탈산 이무수물, 2,2'-디플루오로-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 5,5'-디플루오로-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 6,6'-디플루오로-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2',5,5',6,6'-헥사플루오로-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2'-비스(트리플루오로메틸)-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 5,5'-비스(트리플루오로메틸)-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 6,6'-비스(트리플루오로메틸)-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2',5,5'-테트라키스(트리플루오로메틸)-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2',6,6'-테트라키스(트리플루오로메틸)-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 5,5',6,6'-테트라키스(트리플루오로메틸)-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물 및 2,2',5,5',6,6'-헥사키스(트리플루오로메틸)-3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 1,2,3,4-벤젠테트라카르복실산 이무수물, 3,3",4,4"-테르페닐테트라카르복실산 이무수물, 3,3'",4,4'"-쿠아테르페닐테트라카르복실산 이무수물, 3,3"",4,4""-퀸크페닐테트라카르복실산 이무수물, 메틸렌-4,4'-디프탈산 이무수물, 1,1-에틸리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 2,2-프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 1,2-에틸렌-4,4'-디프탈산 이무수물, 1,3-트리메틸렌-4,4'-디프탈산 이무수물, 1,4-테트라메틸렌-4,4'-디프탈산 이무수물, 1,5-펜타메틸렌-4,4'-디프탈산 이무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)-1,1,1,3,3,3-헥사플루오로프로판 이무수물, 디플루오로메틸렌-4,4'-디프탈산 이무수물, 1,1,2,2-테트라플루오로-1,2-에틸렌-4,4'-디프탈산 이무수물, 1,1,2,2,3,3-헥사플루오로-1,3-트리메틸렌-4,4'-디프탈산 이무수물, 1,1,2,2,3,3,4,4-옥타플루오로-1,4-테트라메틸렌-4,4'-디프탈산 이무수물, 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5-데카플루오로-1,5-펜타메틸렌-4,4'-디프탈산 이무수물, 티오-4,4'-디프탈산 이무수물, 술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 1,3-비스(3,4-디카르복시페닐)-1,1,3,3-테트라메틸실록산 이무수물, 1,3-비스(3,4-디카르복시페닐)벤젠 이무수물, 1,4-비스(3,4-디카르복시페닐)벤젠 이무수물, 1,3-비스(3,4-디카르복시페녹시)벤젠 이무수물, 1,4-비스(3,4-디카르복시페녹시)벤젠 이무수물, 1,3-비스〔2-(3,4-디카르복시페닐)-2-프로필〕벤젠 이무수물, 1,4-비스〔2-(3,4-디카르복시페닐)-2-프로필〕벤젠 이무수물, 비스〔3-(3,4-디카르복시페녹시)페닐〕메탄 이무수물, 비스〔4-(3,4-디카르복시페녹시)페닐〕메탄 이무수물, 2,2-비스〔3-(3,4-디카르복시페녹시)페닐〕프로판 이무수물, 2,2-비스〔4-(3,4-디카르복시페녹시)페닐〕프로판 이무수물, 2,2-비스〔3-(3,4-디카르복시페녹시)페닐〕-1,1,1,3,3,3-헥사플루오로프로판 이무수물, 2,2-비스〔4-(3,4-디카르복시페녹시)페닐〕프로판 이무수물, 비스(3,4-디카르복시페녹시)디메틸실란 이무수물, 1,3-비스(3,4-디카르복시페녹시)-1,1,3,3-테트라메틸디실록산 이무수물, 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-안트라센테트라카르복실산 이무수물, 1,2,7,8-페난트렌테트라카르복실산 이무수물, 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물, 1,2,3,4-시클로부탄테트라카르복실산 이무수물, 시클로펜탄테트라카르복실산 이무수물, 시클로헥산-1,2,3,4-테트라카르복실산 이무수물, 시클로헥산-1,2,4,5-테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-비시클로헥실테트라카르복실산 이무수물, 카르보닐-4,4'-비스(시클로헥산-1,2-디카르복실산) 이무수물, 메틸렌-4,4'-비스(시클로헥산-1,2-디카르복실산) 이무수물, 1,2-에틸렌-4,4'-비스(시클로헥산-1,2-디카르복실산) 이무수물, 1,1-에틸리덴-4,4'-비스(시클로헥산-1,2-디카르복실산) 이무수물, 2,2-프로필리덴-4,4'-비스(시클로헥산-1,2-디카르복실산) 이무수물, 1,1,1,3,3,3-헥사플루오로-2,2-프로필리덴-4,4'-비스(시클로헥산-1,2-디카르복실산) 이무수물, 옥시-4,4'-비스(시클로헥산-1,2-디카르복실산) 이무수물, 티오-4,4'-비스(시클로헥산-1,2-디카르복실산) 이무수물, 술포닐-4,4'-비스(시클로헥산-1,2-디카르복실산) 이무수물, 3,3'-디플루오로옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 5,5'-디플루오로옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 6,6'-디플루오로옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',5,5',6,6'-헥사플루오로옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3'-비스(트리플루오로메틸)옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 5,5'-비스(트리플루오로메틸)옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 6,6'-비스(트리플루오로메틸)옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',5,5'-테트라키스(트리플루오로메틸)옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',6,6'-테트라키스(트리플루오로메틸)옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 5,5',6,6'-테트라키스(트리플루오로메틸)옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',5,5',6,6'-헥사키스(트리플루오로메틸)옥시-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3'-디플루오로술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 5,5'-디플루오로술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 6,6'-디플루오로술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',5,5',6,6'-헥사플루오로술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3'-비스(트리플루오로메틸)술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 5,5'-비스(트리플루오로메틸)술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 6,6'-비스(트리플루오로메틸)술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',5,5'-테트라키스(트리플루오로메틸)술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',6,6'-테트라키스(트리플루오로메틸)술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 5,5',6,6'-테트라키스(트리플루오로메틸)술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',5,5',6,6'-헥사키스(트리플루오로메틸)술포닐-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3'-디플루오로-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 5,5'-디플루오로-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 6,6'-디플루오로-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',5,5',6,6'-헥사플루오로-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3'-비스(트리플루오로메틸)-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 5,5'-비스(트리플루오로메틸)-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 6,6'-디플루오로-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',5,5'-테트라키스(트리플루오로메틸)-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',6,6'-테트라키스(트리플루오로메틸)-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 5,5',6,6'-테트라키스(트리플루오로메틸)-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 3,3',5,5',6,6'-헥사키스(트리플루오로메틸)-2,2-퍼플루오로프로필리덴-4,4'-디프탈산 이무수물, 9-페닐-9-(트리플루오로메틸)크산텐-2,3,6,7-테트라카르복실산 이무수물, 9,9-비스(트리플루오로메틸)크산텐-2,3,6,7-테트라카르복실산 이무수물, 비시클로〔2,2,2〕옥트-7-엔-2,3,5,6-테트라카르복실산 이무수물, 9,9-비스〔4-(3,4-디카르복시)페닐〕플루오렌 이무수물, 9,9-비스〔4-(2,3-디카르복시)페닐〕플루오렌 이무수물, 에틸렌글리콜비스트리멜리테이트 이무수물, 1,2-(에틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,3-(트리메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,4-(테트라메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,5-(펜타메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,6-(헥사메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,7-(헵타메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,8-(옥타메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,9-(노나 메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,10-(데카메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,12-(도데카메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,16-(헥사데카메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물), 1,18-(옥타데카메틸렌)비스(트리멜리테이트 무수물) 등을 들 수 있다. 트리카르복실산 무수물로서는, 예를 들어 트리멜리트산 무수물이나 핵수첨 트리멜리트산 무수물 등을 들 수 있다.Examples of tetracarboxylic acid anhydride include pyromellitic dianhydride, 3-fluoropyromellitic dianhydride, 3,6-difluoropyromellitic dianhydride, and 3,6-bis(trifluoromethyl). Pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxalate Cydiphthalic dianhydride, 2,2'-difluoro-3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5'-difluoro-3,3',4,4 '-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 6,6'-difluoro-3,3',4,4'-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2',5,5',6 ,6'-hexafluoro-3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2'-bis(trifluoromethyl)-3,3',4,4'- Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5'-bis(trifluoromethyl)-3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 6,6'-bis(trifluoromethyl) Romethyl)-3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2',5,5'-tetrakis(trifluoromethyl)-3,3',4,4 '-Biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,2',6,6'-Tetrakis(trifluoromethyl)-3,3',4,4'-Biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 5 ,5',6,6'-tetrakis(trifluoromethyl)-3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 2,2',5,5',6,6 '-Hexakis(trifluoromethyl)-3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride, 3,3" ,4,4"-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3'",4,4'"-quaterphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3"",4,4""-quink Phenyltetracarboxylic dianhydride, methylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,1-ethylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 2,2-propylidene-4,4'-di Phthalic dianhydride, 1,2-ethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,3-trimethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,4-tetramethylene-4,4'-di Phthalic dianhydride, 1,5-pentamethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoro Propropane dianhydride, difluoromethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2-tetrafluoro-1,2-ethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1, 1,2,2,3,3-hexafluoro-1,3-trimethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluoro -1,4-Tetramethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5-decafluoro-1,5-pentamethylene-4 ,4'-diphthalic dianhydride, thio-4,4'-diphthalic dianhydride, sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,3-bis(3,4-dicarboxyphenyl)-1 ,1,3,3-tetramethylsiloxane dianhydride, 1,3-bis(3,4-dicarboxyphenyl)benzene dianhydride, 1,4-bis(3,4-dicarboxyphenyl)benzene dianhydride, 1 ,3-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)benzene dianhydride, 1,4-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)benzene dianhydride, 1,3-bis[2-(3,4- dicarboxyphenyl)-2-propyl]benzene dianhydride, 1,4-bis[2-(3,4-dicarboxyphenyl)-2-propyl]benzene dianhydride, bis[3-(3,4-dicarboxy) Phenoxy)phenyl]methane dianhydride, bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]methane dianhydride, 2,2-bis[3-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propane Dianhydride, 2,2-bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis[3-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]-1, 1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propane dianhydride, bis(3,4-dicarboxyphenok C) Dimethylsilane dianhydride, 1,3-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxyl Acid dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic acid Dianhydride, 1,2,7,8-phenanthrenetetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid dianhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 3, 3',4,4'-bicyclohexyltetracarboxylic acid dianhydride, carbonyl-4,4'-bis(cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, methylene-4,4'- Bis(cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,2-ethylene-4,4'-bis(cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1-ethyl Liden-4,4'-bis(cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 2,2-propylidene-4,4'-bis(cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) Dianhydride, 1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2,2-propylidene-4,4'-bis(cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, oxy- 4,4'-bis(cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, thio-4,4'-bis(cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, sulfonyl-4 ,4'-bis(cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 3,3'-difluoroxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-difluoroxy -4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluoroxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',5,5',6,6'-hexafluoroxy -4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3'-bis(trifluoromethyl)oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-bis(trifluoromethyl)oxy-4 ,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-bis(trifluoromethyl)oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',5,5'-tetrakis(trifluoromethyl ) Oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',6,6'-tetrakis(trifluoromethyl)oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5',6, 6'-tetrakis(trifluoromethyl)oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',5,5',6,6'-hexakis(trifluoromethyl)oxy-4, 4'-diphthalic dianhydride, 3,3'-difluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-difluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',5,5',6,6'-hexafluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride Water, 3,3'-bis(trifluoromethyl)sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-bis(trifluoromethyl)sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride Water, 6,6'-bis(trifluoromethyl)sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',5,5'-tetrakis(trifluoromethyl)sulfonyl-4, 4'-diphthalic dianhydride, 3,3',6,6'-tetrakis(trifluoromethyl)sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5',6,6'-tetra Kiss(trifluoromethyl)sulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',5,5',6,6'-hexakis(trifluoromethyl)sulfonyl-4,4' -Diphthalic dianhydride, 3,3'-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-difluoro-2,2-perfluor Lopropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',5, 5',6,6'-hexafluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3'-bis(trifluoromethyl)-2,2-purple Fluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-bis(trifluoromethyl)-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 6, 6'-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',5,5'-tetrakis(trifluoromethyl)-2,2- Perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',6,6'-tetrakis(trifluoromethyl)-2,2-perfluoropropylidene-4,4'- Diphthalic dianhydride, 5,5',6,6'-tetrakis(trifluoromethyl)-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3',5 ,5',6,6'-hexakis(trifluoromethyl)-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 9-phenyl-9-(trifluoromethyl) xanthene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis(trifluoromethyl)xanthene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo 2,2,2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis[4-(3,4-dicarboxy)phenyl]fluorene dianhydride, 9,9-bis[4-(2,3-dicarboxy)phenyl]fluorene dianhydride, ethylene glycol bistrimellitate dianhydride, 1,2-(ethylene)bis(trimellitate anhydride), 1,3 -(trimethylene)bis(trimellitate anhydride), 1,4-(tetramethylene)bis(trimellitate anhydride), 1,5-(pentamethylene)bis(trimellitate anhydride), 1,6-( Hexamethylene)bis(trimellitate anhydride), 1,7-(heptamethylene)bis(trimellitate anhydride), 1,8-(octamethylene)bis(trimellitate anhydride), 1,9-(nona methylene )bis(trimellitate anhydride), 1,10-(decamethylene)bis(trimellitate anhydride), 1,12-(dodecamethylene)bis(trimellitate anhydride), 1,16-(hexadecamethylene )bis(trimellitate anhydride), 1,18-(octadecamethylene)bis(trimellitate anhydride), etc. Examples of tricarboxylic acid anhydride include trimellitic acid anhydride and nuclear hydrogenated trimellitic acid anhydride.

아민 성분으로서는, 지방족 디아민이나 방향족 디아민 등의 디아민, 지방족 폴리에테르아민 등의 다가 아민, 카르복실산을 갖는 디아민, 페놀성 수산기를 갖는 디아민 등을 사용할 수 있지만, 이들의 아민에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이들의 아민 성분은, 단독으로 또는 조합하여 사용해도 된다.As the amine component, diamines such as aliphatic diamine and aromatic diamine, polyhydric amines such as aliphatic polyetheramine, diamines having a carboxylic acid, diamines having a phenolic hydroxyl group, etc. can be used, but are not limited to these amines. In addition, these amine components may be used individually or in combination.

디아민으로서는, 예를 들어 p-페닐렌디아민(PPD), 1,3-디아미노벤젠, 2,4-톨루엔디아민, 2,5-톨루엔디아민, 2,6-톨루엔디아민 등의 벤젠 핵 1개의 디아민, 4,4'-디아미노디페닐에테르, 3,3'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐에테르 등의 디아미노디페닐에테르류, 4,4'-디아미노디페닐메탄, 3,3'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 2,2'-비스(트리플루오로메틸)-4,4'-디아미노비페닐, 3,3'-디메틸-4,4'-디아미노디페닐메탄, 3,3',5,5'-테트라메틸-4,4'-디아미노디페닐메탄, 비스(4-아미노페닐)술피드, 4,4'-디아미노벤즈아닐리드, 3,3'-디클로로벤지딘, 3,3'-디메틸벤지딘(o-톨리딘), 2,2'-디메틸벤지딘(m-톨리딘), 3,3'-디메톡시벤지딘, 2,2'-디메톡시벤지딘, 3,3'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐에테르, 4,4'-디아미노디페닐에테르, 3,3'-디아미노디페닐술피드, 3,4'-디아미노디페닐술피드, 4,4'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 3,4'-디아미노디페닐술폰, 4,4'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노벤조페논, 3,3'-디아미노-4,4'-디클로로벤조페논, 3,3'-디아미노-4,4'-디메톡시벤조페논, 3,3'-디아미노디페닐메탄, 3,4'-디아미노디페닐메탄, 4,4'-디아미노디페닐메탄, 2,2-비스(3-아미노페닐)프로판, 2,2-비스(4-아미노페닐)프로판, 2,2-비스(3-아미노페닐)-1,1,1,3,3,3-헥사플루오로프로판, 2,2-비스(4-아미노페닐)-1,1,1,3,3,3-헥사플루오로프로판, 3,3'-디아미노디페닐술폭시드, 3,4'-디아미노디페닐술폭시드, 4,4'-디아미노디페닐술폭시드, 3,3'-디카르복시-4,4'-디아미노디페닐메탄 등의 벤젠 핵 2개의 디아민, 1,3-비스(3-아미노페닐)벤젠, 1,3-비스(4-아미노페닐)벤젠, 1,4-비스(3-아미노페닐)벤젠, 1,4-비스(4-아미노페닐)벤젠, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,4-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(3-아미노페녹시)-4-트리플루오로메틸 벤젠, 3,3'-디아미노-4-(4-페닐)페녹시벤조페논, 3,3'-디아미노-4,4'-디(4-페닐페녹시)벤조페논, 1,3-비스(3-아미노페닐술피드)벤젠, 1,3-비스(4-아미노페닐술피드)벤젠, 1,4-비스(4-아미노페닐술피드)벤젠, 1,3-비스(3-아미노페닐술폰)벤젠, 1,3-비스(4-아미노페닐술폰)벤젠, 1,4-비스(4-아미노페닐술폰)벤젠, 1,3-비스〔2-(4-아미노페닐)이소프로필〕벤젠, 1,4-비스〔2-(3-아미노페닐)이소프로필〕벤젠, 1,4-비스〔2-(4-아미노페닐)이소프로필〕벤젠 등의 벤젠 핵 3개의 디아민, 3,3'-비스(3-아미노페녹시)비페닐, 3,3'-비스(4-아미노페녹시)비페닐, 4,4'-비스(3-아미노페녹시)비페닐, 4,4'-비스(4-아미노페녹시)비페닐, 비스〔3-(3-아미노페녹시)페닐〕에테르, 비스〔3-(4-아미노페녹시)페닐〕에테르, 비스〔4-(3-아미노페녹시)페닐〕에테르, 비스〔4-(4-아미노페녹시)페닐〕에테르, 비스〔3-(3-아미노페녹시)페닐〕케톤, 비스〔3-(4-아미노페녹시)페닐〕케톤, 비스〔4-(3-아미노페녹시)페닐〕케톤, 비스〔4-(4-아미노페녹시)페닐〕케톤, 비스〔3-(3-아미노페녹시)페닐〕술피드, 비스〔3-(4-아미노페녹시)페닐〕술피드, 비스〔4-(3-아미노페녹시)페닐〕술피드, 비스〔4-(4-아미노페녹시)페닐〕술피드, 비스〔3-(3-아미노페녹시)페닐〕술폰, 비스〔3-(4-아미노페녹시)페닐〕술폰, 비스〔4-(3-아미노페녹시)페닐〕술폰, 비스〔4-(4-아미노페녹시)페닐〕술폰, 비스〔3-(3-아미노페녹시)페닐〕메탄, 비스〔3-(4-아미노페녹시)페닐〕메탄, 비스〔4-(3-아미노페녹시)페닐〕메탄, 비스〔4-(4-아미노페녹시)페닐〕메탄, 2,2-비스〔3-(3-아미노페녹시)페닐〕프로판, 2,2-비스〔3-(4-아미노페녹시)페닐〕프로판, 2,2-비스〔4-(3-아미노페녹시)페닐〕프로판, 2,2-비스〔4-(4-아미노페녹시)페닐〕프로판, 2,2-비스〔3-(3-아미노페녹시)페닐〕-1,1,1,3,3,3-헥사플루오로프로판, 2,2-비스〔3-(4-아미노페녹시)페닐〕-1,1,1,3,3,3-헥사플루오로프로판, 2,2-비스〔4-(3-아미노페녹시)페닐〕-1,1,1,3,3,3-헥사플루오로프로판, 2,2-비스〔4-(4-아미노페녹시)페닐〕-1,1,1,3,3,3-헥사플루오로프로판 등의 벤젠 핵 4개의 디아민 등의 방향족 디아민, 1,2-디아미노에탄, 1,3-디아미노프로판, 1,4-디아미노부탄, 1,5-디아미노 펜탄, 1,6-디아미노헥산, 1,7-디아미노 헵탄, 1,8-디아미노 옥탄, 1, 9-디아미노 노난, 1,10-디아미노데칸, 1,11-디아미노운데칸, 1,12-디아미노도데칸, 1,2-디아미노시클로헥산 등의 지방족 디아민을 들 수 있고, 지방족 폴리에테르아민으로서는, 에틸렌글리콜 및/또는 프로필렌글리콜계의 다가 아민 등을 들 수 있다.Examples of the diamine include diamines with one benzene nucleus, such as p-phenylenediamine (PPD), 1,3-diaminobenzene, 2,4-toluenediamine, 2,5-toluenediamine, and 2,6-toluenediamine. , diaminodiphenyl ethers such as 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, etc. Phenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-bis(trifluoromethyl)- 4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3',5,5'-tetramethyl-4,4'-diaminodiphenyl Methane, bis(4-aminophenyl)sulfide, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,3'-dichlorobenzidine, 3,3'-dimethylbenzidine (o-tolidine), 2,2'-dimethyl Benzidine (m-tolidine), 3,3'-dimethoxybenzidine, 2,2'-dimethoxybenzidine, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4, 4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'- Diaminodiphenylsulfone, 3,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminobenzophenone, 3,3'-diamino-4,4' -Dichlorobenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'-dimethoxybenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'- Diaminodiphenylmethane, 2,2-bis(3-aminophenyl)propane, 2,2-bis(4-aminophenyl)propane, 2,2-bis(3-aminophenyl)-1,1,1, 3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis(4-aminophenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 3,3'-diaminodiphenyl sulfoxide Two benzene nuclei such as seed, 3,4'-diaminodiphenyl sulfoxide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfoxide, and 3,3'-dicarboxy-4,4'-diaminodiphenylmethane. Diamine, 1,3-bis(3-aminophenyl)benzene, 1,3-bis(4-aminophenyl)benzene, 1,4-bis(3-aminophenyl)benzene, 1,4-bis(4-amino) Phenyl)benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,3- Bis(3-aminophenoxy)-4-trifluoromethyl benzene, 3,3'-diamino-4-(4-phenyl)phenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'- Di(4-phenylphenoxy)benzophenone, 1,3-bis(3-aminophenyl sulfide)benzene, 1,3-bis(4-aminophenyl sulfide)benzene, 1,4-bis(4-amino) Phenyl sulfide) benzene, 1,3-bis (3-aminophenyl sulfone) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl sulfone) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl sulfone) benzene, 1, 3-bis[2-(4-aminophenyl)isopropyl]benzene, 1,4-bis[2-(3-aminophenyl)isopropyl]benzene, 1,4-bis[2-(4-aminophenyl) [Isopropyl] benzene, etc. diamine with three benzene nuclei, 3,3'-bis(3-aminophenoxy)biphenyl, 3,3'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, 4,4'-bis (3-aminophenoxy)biphenyl, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, bis[3-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[3-(4-aminophenoxy) Si)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[3-(3-aminophenoxy)phenyl]ketone , bis[3-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ketone, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone, bis[3- (3-aminophenoxy)phenyl] sulfide, bis[3-(4-aminophenoxy)phenyl] sulfide, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl] sulfide, bis[4-(4) -aminophenoxy)phenyl]sulfide, bis[3-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[3-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy) )phenyl]sulfone, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[3-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[3-(4-aminophenoxy)phenyl]methane, Bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]methane, 2,2-bis[3-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, 2 , 2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) Si) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [3-( 4-aminophenoxy)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]-1,1,1, Benzene nucleus 4 such as 3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, etc. Aromatic diamines such as diamine, 1,2-diaminoethane, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diamino pentane, 1,6-diaminohexane, 1,7 -Diamino heptane, 1,8-diamino octane, 1, 9-diamino nonane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane, 1,12-diaminododecane, 1,2 -Aliphatic diamines such as diaminocyclohexane can be used, and examples of aliphatic polyetheramines include ethylene glycol and/or propylene glycol-based polyhydric amines.

이소시아네이트 성분으로서는, 방향족 디이소시아네이트 및 그 이성체나 다량체, 지방족 디이소시아네이트류, 지환식 디이소시아네이트류 및 그 이성체 등의 디이소시아네이트나 기타 범용의 디이소시아네이트류를 사용할 수 있지만, 이들의 이소시아네이트에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이들의 이소시아네이트 성분은, 단독으로 또는 조합하여 사용해도 된다.As the isocyanate component, diisocyanates such as aromatic diisocyanates and their isomers and multimers, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and their isomers, and other general-purpose diisocyanates can be used, but are not limited to these isocyanates. no. In addition, these isocyanate components may be used individually or in combination.

디이소시아네이트로서는, 예를 들어 4,4'-디페닐메탄디이소시아네이트, 톨릴렌디이소시아네이트, 나프탈렌디이소시아네이트, 크실릴렌디이소시아네이트, 비페닐디이소시아네이트, 디페닐술폰디이소시아네이트, 디페닐에테르디이소시아네이트 등의 방향족 디이소시아네이트 및 그 이성체, 다량체, 헥사메틸렌디이소시아네이트, 이소포론디이소시아네이트, 디시클로헥실메탄디이소시아네이트 등의 지방족 디이소시아네이트류, 혹은 상기 방향족 디이소시아네이트를 수소 첨가한 지환식 디이소시아네이트류 및 이성체, 혹은 기타 범용의 디이소시아네이트류를 들 수 있다.Examples of diisocyanates include aromatic diisocyanates such as 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, tolylene diisocyanate, naphthalene diisocyanate, xylylene diisocyanate, biphenyl diisocyanate, diphenyl sulfone diisocyanate, and diphenyl ether diisocyanate. Diisocyanate and its isomers, polymers, aliphatic diisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, and dicyclohexylmethane diisocyanate, or alicyclic diisocyanates and isomers obtained by hydrogenating the above aromatic diisocyanates, or Other general-purpose diisocyanates can be mentioned.

(3) 이미드 구조를 갖지 않는 카르복실기 함유 수지(3) Carboxyl group-containing resin without an imide structure

이미드 구조를 갖지 않는 카르복실기 함유 수지는, 카르복실기를 갖고 있는 종래 공지된 각종 카르복실기 함유 수지이면, 특별히 한정되지 않는다. 특히, 분자 중에 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 카르복실기 함유 수지가, 광경화성이나 내현상성의 면에서 보다 바람직하다. 그리고, 그 불포화 이중 결합은, 아크릴산 혹은 메타아크릴산 또는 그들의 유도체 유래의 것이 바람직하다.The carboxyl group-containing resin that does not have an imide structure is not particularly limited as long as it is any of the conventionally known carboxyl group-containing resins that have a carboxyl group. In particular, a carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule is more preferable in terms of photocurability and development resistance. And, the unsaturated double bond is preferably derived from acrylic acid or methacrylic acid or their derivatives.

카르복실기 함유 수지의 구체예로서는, 이하에 열거하는 것 같은 화합물(올리고머 및 폴리머의 어느 것이어도 된다)을 적합하게 사용할 수 있다.As specific examples of the carboxyl group-containing resin, compounds listed below (which may be either oligomers or polymers) can be suitably used.

(3-1) (메타)아크릴산 등의 불포화 카르복실산과, 스티렌, α-메틸스티렌, 저급 알킬 (메타)아크릴레이트, 이소부틸렌 등의 불포화기 함유 화합물과의 공중합에 의해 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(3-1) Carboxyl group-containing resin obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth)acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth)acrylate, and isobutylene.

(3-2) 지방족 디이소시아네이트, 분지 지방족 디이소시아네이트, 지환식 디이소시아네이트, 방향족 디이소시아네이트 등의 디이소시아네이트와, 디메틸올프로피온산, 디메틸올부탄산 등의 카르복실기 함유 디 알코올 화합물 및 폴리카보네이트계 폴리올, 폴리에테르계 폴리올, 폴리에스테르계 폴리올, 폴리올레핀계 폴리올, 아크릴계 폴리올, 비스페놀 A계 알킬렌옥사이드 부가체 디올, 페놀성 히드록실기 및 알코올성 히드록실기를 갖는 화합물 등의 디올 화합물의 중부가 반응에 의한 카르복실기 함유 우레탄 수지.(3-2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanate, branched aliphatic diisocyanate, alicyclic diisocyanate, and aromatic diisocyanate, carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, and polycarbonate-based polyol and polyether. Contains carboxyl groups through polyaddition reaction of diol compounds such as polyols, polyester polyols, polyolefin polyols, acrylic polyols, bisphenol A alkylene oxide adduct diols, and compounds having phenolic hydroxyl groups and alcoholic hydroxyl groups. Urethane resin.

(3-3) 디이소시아네이트와, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비크실레놀형 에폭시 수지, 비페놀형 에폭시 수지 등의 이관능 에폭시 수지의 (메타)아크릴레이트 혹은 그 부분 산 무수물 변성물, 카르복실기 함유 디 알코올 화합물 및 디올 화합물의 중부가 반응에 의한 카르복실기 함유 감광성 우레탄 수지.(3-3) Di-functional properties such as diisocyanate, bisphenol A-type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A-type epoxy resin, bisphenol F-type epoxy resin, bisphenol S-type epoxy resin, bixylenol-type epoxy resin, and biphenol-type epoxy resin. A photosensitive urethane resin containing a carboxyl group produced by polyaddition reaction of (meth)acrylate or a partial acid anhydride modification thereof of an epoxy resin, a di-alcohol compound containing a carboxyl group, and a diol compound.

(3-4) 상기 (3-2) 또는 (3-3)의 수지의 합성 중에, 히드록시알킬(메타)아크릴레이트 등의 분자 내에 1개의 수산기와 1개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물을 더하고, 말단 (메타)아크릴화한 카르복실기 함유 감광성 우레탄 수지.(3-4) During the synthesis of the resin of (3-2) or (3-3) above, a hydroxyalkyl (meth)acrylate, etc. having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule. A photosensitive urethane resin containing a carboxyl group in which a compound is added and the ends are (meth)acrylated.

(3-5) 상기 (3-2) 또는 (3-3)의 수지의 합성 중에, 이소포론디이소시아네이트와 펜타에리트리톨트리아크릴레이트의 등몰 반응물 등, 분자 내에 1개의 이소시아네이트기와 1개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물을 첨가해 말단 (메타)아크릴화한 카르복실기 함유 감광성 우레탄 수지.(3-5) During the synthesis of the resin of (3-2) or (3-3) above, an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate, etc., contains one isocyanate group and one or more (meth ) Photosensitive urethane resin containing a carboxyl group whose terminals are (meth)acrylated by adding a compound having an acryloyl group.

(3-6) 이관능 또는 그 이상의 다관능(고형) 에폭시 수지에 (메타)아크릴산을 반응시켜서, 측쇄에 존재하는 수산기에 이염기산 무수물을 부가시킨 카르복실기 함유 감광성 수지.(3-6) A photosensitive resin containing a carboxyl group obtained by reacting (meth)acrylic acid with a difunctional or higher polyfunctional (solid) epoxy resin and adding a dibasic acid anhydride to the hydroxyl group present in the side chain.

(3-7) 이관능(고형) 에폭시 수지의 수산기를 추가로 에피클로로히드린으로 에폭시화한 다관능 에폭시 수지에 (메타)아크릴산을 반응시켜서, 발생한 수산기에 이염기산 무수물을 부가시킨 카르복실기 함유 감광성 수지.(3-7) Carboxyl group-containing photosensitivity obtained by reacting (meth)acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin in which the hydroxyl group of the difunctional (solid) epoxy resin was further epoxidized with epichlorohydrin, and dibasic acid anhydride was added to the hydroxyl group generated. profit.

(3-8) 이관능 옥세탄 수지에 아디프산, 프탈산, 헥사히드로프탈산 등의 디카르복실산을 반응시켜서, 발생한 1급의 수산기에 무수 프탈산, 테트라히드로 무수 프탈산, 헥사히드로 무수 프탈산 등의 2 염기산 무수물을 부가시킨 카르복실기 함유 폴리에스테르 수지.(3-8) Difunctional oxetane resin is reacted with a dicarboxylic acid such as adipic acid, phthalic acid, or hexahydrophthalic acid, and the primary hydroxyl group generated is reacted with phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride. A polyester resin containing a carboxyl group to which a dibasic acid anhydride has been added.

(3-9) 1분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌옥시드, 프로필렌옥시드 등의 알킬렌옥사이드를 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 불포화기 함유 모노카르복실산을 반응시켜서, 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(3-9) A reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide, and reacting a monocarboxylic acid containing an unsaturated group. A photosensitive resin containing a carboxyl group obtained by reacting a polybasic acid anhydride.

(3-10) 1분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌카르보네이트, 프로필렌카르보네이트 등의 환상 카르보네이트 화합물을 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 불포화기 함유 모노카르복실산을 반응시켜서, 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(3-10) The reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate is reacted with a monocarboxylic acid containing an unsaturated group. , A photosensitive resin containing a carboxyl group obtained by reacting the resulting reaction product with a polybasic acid anhydride.

(3-11) 상기 (3-1) 내지 (10)의 수지가 추가로 1분자 내에 1개의 에폭시기와 1개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물을 부가해서 이루어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(3-11) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl groups in one molecule to the resins (3-1) to (10) above.

또한, 본 명세서에 있어서, (메타)아크릴레이트란, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 그들의 혼합물을 총칭하는 용어로, 다른 유사한 표현에 대해서도 마찬가지이다.In addition, in this specification, (meth)acrylate is a general term for acrylates, methacrylates, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

이상 설명한 바와 같은 본 발명의 알칼리 가용성 수지로서 적합하게 사용되는 카르복실기 함유 수지는, 포토리소그래피 공정에 대응하기 위해서, 그 산가가 20 내지 200mgKOH/g인 것이 바람직하고, 60 내지 150mgKOH/g인 것이 보다 바람직하다. 이 산가가 20mgKOH/g 이상이면 알칼리에 대한 용해성이 증가하고, 현상성이 양호해져, 나아가, 광 조사 후의 열경화 성분과의 가교도가 높아지기 때문에, 충분한 현상 콘트라스트를 얻을 수 있다. 한편, 이 산가가 200mgKOH/g 이하이면, 정확한 패턴 묘화가 용이하게 되고, 특히, 후술하는 광 조사 후의 PEB(POST EXPOSURE BAKE)공정에서의 소위 열 흐려짐을 억제할 수 있어, 프로세스 마진이 커진다.The carboxyl group-containing resin suitably used as the alkali-soluble resin of the present invention as described above has an acid value of preferably 20 to 200 mgKOH/g, and more preferably 60 to 150 mgKOH/g, in order to cope with the photolithography process. do. If this acid value is 20 mgKOH/g or more, the solubility in alkali increases, developability becomes good, and furthermore, the degree of crosslinking with the heat-curing component after light irradiation increases, so sufficient development contrast can be obtained. On the other hand, if the acid value is 200 mgKOH/g or less, accurate pattern drawing becomes easy, and in particular, so-called thermal blurring in the PEB (POST EXPOSURE BAKE) process after light irradiation, which will be described later, can be suppressed, thereby increasing the process margin.

또한, 이러한 카르복실기 함유 수지의 분자량은, 현상성과 경화 도막 특성을 고려하면, 질량 평균 분자량 Mw가 100,000 이하인 것이 바람직하고, 1,000 내지 100,000이 보다 바람직하고, 2,000 내지 50,000이 더욱 바람직하다. 이 분자량이 100,000 이하이면, 미노광부의 알칼리 용해성이 증가하고, 현상성이 향상된다. 한편, 분자량이 1,000 이상이면 노광·PEB 후에, 노광부에 있어서 충분한 내현상성과 경화물성을 얻을 수 있다.In addition, considering developability and cured film properties, the molecular weight of this carboxyl group-containing resin is preferably 100,000 or less, more preferably 1,000 to 100,000, and still more preferably 2,000 to 50,000. If this molecular weight is 100,000 or less, the alkali solubility of the unexposed area increases and developability improves. On the other hand, if the molecular weight is 1,000 or more, sufficient development resistance and cured material properties can be obtained in the exposed area after exposure and PEB.

(감광성 수지 조성물 (A)에 있어서 사용되는 열경화성 수지)(Thermosetting resin used in photosensitive resin composition (A))

감광성 수지 조성물 (A)는 열경화성 수지를 포함하는 것이 바람직하다. 열경화성 수지로서는 종래 공지된 열경화성 수지가 사용 가능하고, 환상 (티오)에테르 기 등의 열에 의한 경화 반응이 가능한 관능기를 갖는 공지 관용의 수지, 예를 들어 에폭시 수지 등이 사용된다.The photosensitive resin composition (A) preferably contains a thermosetting resin. As the thermosetting resin, conventionally known thermosetting resins can be used, and commonly known resins having functional groups capable of curing reaction by heat such as cyclic (thio)ether groups, such as epoxy resins, can be used.

상기 에폭시 수지로서는, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 브롬화 에폭시 수지, 노볼락형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 글리시딜아민형 에폭시 수지, 히단토인형 에폭시 수지, 지환식 에폭시 수지, 트리히드록시 페닐메탄형 에폭시 수지, 비크실레놀형 혹은 비페놀형 에폭시 수지 또는 그들의 혼합물; 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비스페놀 A 노볼락형 에폭시 수지, 테트라 페닐올에탄형 에폭시 수지, 복소환식 에폭시 수지, 디글리시딜 프탈레이트 수지, 테트라글리시딜크실레노일에탄 수지, 나프탈렌기 함유 에폭시 수지, 디시클로펜타디엔 골격을 갖는 에폭시 수지, 글리시딜메타크릴레이트 공중합계 에폭시 수지, 시클로헥실말레이미드와 글리시딜메타크릴레이트의 공중합 에폭시 수지, CTBN 변성 에폭시 수지 등을 들 수 있다. 이 중, 감광성 수지 조성물 (A)가 성분으로 하고, 특히 바람직한 에폭시 수지는 비스페놀 A형 에폭시 수지 또는 노볼락형 에폭시, 또는 그 병용계이다.Examples of the epoxy resin include bisphenol A-type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolac-type epoxy resin, bisphenol F-type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A-type epoxy resin, glycidylamine-type epoxy resin, hydantoin-type epoxy resin, and alicyclic epoxy resin. formula epoxy resin, trihydroxy phenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin, or mixtures thereof; Bisphenol S-type epoxy resin, bisphenol A novolac-type epoxy resin, tetraphenylolethane-type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, diglycidyl phthalate resin, tetraglycidylxylenoylethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, DC Examples include epoxy resins having a chlorpentadiene skeleton, glycidyl methacrylate copolymer epoxy resins, cyclohexyl maleimide and glycidyl methacrylate copolymer epoxy resins, and CTBN-modified epoxy resins. Among these, the photosensitive resin composition (A) is used as a component, and a particularly preferable epoxy resin is a bisphenol A type epoxy resin, a novolak type epoxy resin, or a combination thereof.

상기 열경화성 수지의 배합량으로서는, 알칼리 가용성 수지와의 당량비(카르복실기 등의 알칼리 가용성 기: 에폭시기 등의 열반응성 기)가 1:0.1 내지 1:10인 것이 바람직하다. 이러한 배합비의 범위로 함으로써, 현상이 양호해지고, 미세 패턴을 용이하게 형성할 수 있게 된다. 상기 당량비는, 1:0.2 내지 1:5인 것이 보다 바람직하다.As for the mixing amount of the thermosetting resin, the equivalent ratio with the alkali-soluble resin (alkali-soluble group such as carboxyl group: heat-reactive group such as epoxy group) is preferably 1:0.1 to 1:10. By setting the mixing ratio within this range, development becomes good and a fine pattern can be easily formed. The equivalence ratio is more preferably 1:0.2 to 1:5.

(광중합성 화합물)(Photopolymerizable compound)

본 발명의 적층체 및 그의 경화물이 솔더 레지스트 등으로서 적용되는 경우에는, 감광성 수지 조성물 (A)는, 광중합성 화합물을 포함하는 것인 것이 바람직하고, 솔더 레지스트 등의 제조에 종래보다 사용되는 광중합성 화합물이 모두 사용 가능하다.When the laminate of the present invention and its cured product are applied as a solder resist, etc., the photosensitive resin composition (A) preferably contains a photopolymerizable compound, and is one of the light types used in the production of solder resist, etc. All synthetic compounds can be used.

감광성 수지 조성물 (A)에 포함되는 광중합성 화합물로서는, 분자 중에 2개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물, 다가 알코올에 α,β-불포화 카르복실산을 부가해서 얻어지는 화합물, 글리시딜기 함유 화합물에 α,β-불포화 카르복실산을 부가해서 얻어지는 화합물 등을 들 수 있다.Photopolymerizable compounds contained in the photosensitive resin composition (A) include compounds having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule, compounds obtained by adding an α,β-unsaturated carboxylic acid to a polyhydric alcohol, and compounds containing an α-unsaturated glycidyl group. , compounds obtained by adding β-unsaturated carboxylic acid, etc.

분자 중에 1개의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물로서는, 단관능 (메타)아크릴레이트, 예를 들어 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, 라우릴(메타)아크릴레이트, 스테아릴(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필 (메타)아크릴레이트, 히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 글리시딜메타크릴레이트 등의 (메타)아크릴레이트류, 아크릴로일모르폴린 또는 테트라히드로 푸라닐기 등의 복소환기, 특히 산소 함유 환상기를 갖는 (메타)아크릴레이트류를 사용할 수 있다.Examples of compounds having one ethylenically unsaturated group in the molecule include monofunctional (meth)acrylates, such as methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, and isobutyl (meth)acrylate. Latex, lauryl (meth)acrylate, stearyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, hydroxypropyl (meth)acrylate, hydroxybutyl (meth)acrylate, glycidyl (meth)acrylates such as methacrylate, heterocyclic groups such as acryloylmorpholine or tetrahydrofuranyl group, and especially (meth)acrylates having an oxygen-containing cyclic group can be used.

산소 함유 환상기를 갖는 단관능 (메타)아크릴레이트로서는, 하기 일반식 (I)로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.Examples of monofunctional (meth)acrylates having an oxygen-containing cyclic group include compounds represented by the following general formula (I).

(일반식 (I) 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 의미한다)(In general formula (I), R1 means a hydrogen atom or a methyl group)

분자 중에 2개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물로서는, 예를 들어 에틸렌글리콜, 메톡시테트라에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 글리콜의 디아크릴레이트류; 헥산디올, 트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨, 트리스-히드록시에틸이소시아누레이트 등의 다가 알코올 또는 이들의 에틸렌옥사이드 부가물 혹은 프로필렌옥사이드 부가물 등의 다가 아크릴레이트류; 페녹시 아크릴레이트, 비스페놀 A 디아크릴레이트 및 이들의 페놀류 에틸렌옥사이드 부가물 혹은 프로필렌옥사이드 부가물 등의 다가 아크릴레이트류; 글리세린 디글리시딜에테르, 글리세린 트리글리시딜에테르, 트리메틸올프로판트리글리시딜에테르, 트리글리시딜이소시아누레이트 등의 글리시딜에테르의 다가 아크릴레이트류; 및 멜라민 아크릴레이트 및 상기 아크릴레이트에 대응하는 각 메타크릴레이트류의 어느 적어도 1종 등을 들 수 있다.Examples of compounds having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule include diacrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; polyhydric alcohols such as hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, and tris-hydroxyethyl isocyanurate, or polyacrylates such as ethylene oxide or propylene oxide adducts thereof; polyacrylates such as phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and their phenol ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts; Polyhydric acrylates of glycidyl ether, such as glycerol diglycidyl ether, glycerol triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, and triglycidyl isocyanurate; and melamine acrylate and at least one type of methacrylate corresponding to the acrylate.

다가 알코올에 α,β-불포화 카르복실산을 부가해서 얻어지는 화합물로서는, 예를 들어 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 프로필렌글리콜디아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디아크릴레이트, 부틸렌글리콜디아크릴레이트, 펜틸글리콜디아크릴레이트, 1,6-헥산디올디아크릴레이트, 트리메틸올프로판디아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 테트라메틸올메탄트리아크릴레이트, 테트라메틸올메탄테트라아크릴레이트, 글리세린디아크릴레이트, 펜타에리트리톨디아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 등 및 상기 아크릴레이트에 대응하는 각 메타크릴레이트류의 어느 적어도 1종 등을 들 수 있다.Compounds obtained by adding α,β-unsaturated carboxylic acid to polyhydric alcohol include, for example, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, and propylene glycol diacrylate. Acrylate, polypropylene glycol diacrylate, butylene glycol diacrylate, pentyl glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylol Methane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, glycerin diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, etc. and the above. At least one type of each methacrylate corresponding to acrylate can be mentioned.

글리시딜기 함유 화합물에 α,β-불포화 카르복실산을 부가해서 얻어지는 화합물로서는, 예를 들어 에틸렌글리콜디글리시딜에테르디아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디글리시딜에테르디아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리글리시딜에테르트리아크릴레이트, 비스페놀 A 글리시딜에테르디아크릴레이트, 프탈산디글리시딜에스테르 디아크릴레이트, 글리세린폴리글리시딜에테르폴리아크릴레이트 등; 기타, 2,2-비스(4-아크릴로일옥시디에톡시페닐)프로판, 2,2-비스-(4-아크릴로일옥시폴리에톡시페닐)프로판, 2-히드록시-3-아크릴로일옥시프로필아크릴레이트 및 상기 아크릴레이트에 대응하는 각 메타크릴레이트류의 어느 적어도 1종 등을 들 수 있다. 상기한 광중합성 화합물은, 1종 또는 2종 이상을 조합해서 사용할 수 있다.Examples of compounds obtained by adding α,β-unsaturated carboxylic acid to a glycidyl group-containing compound include ethylene glycol diglycidyl ether diacrylate, diethylene glycol diglycidyl ether diacrylate, and trimethylolpropane. triglycidyl ether triacrylate, bisphenol A glycidyl ether diacrylate, phthalic acid diglycidyl ester diacrylate, glycerin polyglycidyl ether polyacrylate, etc.; Others, 2,2-bis(4-acryloyloxydiethoxyphenyl)propane, 2,2-bis-(4-acryloyloxypolyethoxyphenyl)propane, 2-hydroxy-3-acryloyl Oxypropyl acrylate and at least one type of each methacrylate corresponding to the above acrylates can be mentioned. The photopolymerizable compounds described above can be used alone or in combination of two or more.

광중합성 화합물의 배합량은, 감광성 수지 조성물 중에 알칼리 가용성 수지를 포함하는 경우에는, 고형분 환산으로, 알칼리 가용성 수지 100질량부에 대하여, 5 내지 100질량부가 바람직하고, 보다 바람직하게는 10 내지 90질량부, 더욱 보다 바람직하게는 15 내지 85질량부인 것이 바람직하다. 상기 배합량의 범위로 함으로써, 광경화성이 향상해서 패턴 형성이 용이하게 되고, 경화물의 기계적 강도도 향상시킬 수 있다.When the photosensitive resin composition contains an alkali-soluble resin, the amount of the photopolymerizable compound is preferably 5 to 100 parts by mass, more preferably 10 to 90 parts by mass, in terms of solid content, per 100 parts by mass of the alkali-soluble resin. , more preferably 15 to 85 parts by mass. By setting the compounding amount within the above range, photocurability improves, pattern formation becomes easy, and the mechanical strength of the cured product can also be improved.

또한, 감광성 수지 조성물 (A)에는 광중합성 화합물로서, 경화 도막에 강인성 등을 부여할 목적으로, 우레탄아크릴레이트, 폴리에스테르아크릴레이트 및 에폭시아크릴레이트를 사용할 수 있다. 또한, 점도 조절 등의 목적으로, 단관능 (메타)아크릴레이트, 예를 들어 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, 라우릴(메타)아크릴레이트, 스테아릴(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필 (메타)아크릴레이트, 히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 글리시딜메타크릴레이트 등의 (메타)아크릴레이트류나, 아크릴로일모르폴린 등을 사용할 수도 있다.In addition, as photopolymerizable compounds in the photosensitive resin composition (A), urethane acrylate, polyester acrylate, and epoxy acrylate can be used for the purpose of imparting toughness, etc. to the cured coating film. In addition, for purposes such as viscosity control, monofunctional (meth)acrylates, such as methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, isobutyl (meth)acrylate, Uryl (meth)acrylate, stearyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, hydroxypropyl (meth)acrylate, hydroxybutyl (meth)acrylate, glycidyl methacrylate (meth)acrylates, acryloylmorpholine, etc. can also be used.

우레탄아크릴레이트로서는, 신나까무라 가가꾸 고교 가부시키가이샤제의 U-108A, UA-112P, UA-5201, UA-512, UA-412A, UA-4200, UA-4400, UA-340P, UA-2235PE, UA-160TM, UA-122P, UA-512, UA-W2, UA-7000, UA-7100, U-6HA, U-6H, U-15HA, UA-32P, U-324A, UA-7200; 아르끄마사제의 CN968, CN9006, CN9010, CN962, CN963, CN964, CN965, CN980, CN981, CN982, CN983, CN996, CN9001, CN9002, CN9788, CN9893, CN978, CN9782, CN9783, CN929, CN944B85, CN989, CN9008; 도아 고세 가부시키가이샤제의 M-1100, M-1200, M-1210, M-1310, M-1600; 네가미 고교 가부시키가이샤제의 UN-9000PEP, UN-9200A, UN-7600, UN-333, UN-1255, UN-6060PTM, UN-6060P, SH-500B; 교에샤 가가꾸 가부시키가이샤제 AH-600, AT-600; 다이셀·올넥스 가부시키가이샤제의 에베크릴 280, 에베크릴 284, 에베크릴 402, 에베크릴 8402, 에베크릴 8807, 에베크릴 9270, 에베크릴 264, 에베크릴 265, 에베크릴 1259, 에베크릴 8201, KRM8296, 에베크릴 294/25HD, 에베크릴 4820, 에베크릴 1290, 에베크릴 1290K, KRM8200, 에베크릴5129, 에베크릴 8210, 에베크릴 8301, 에베크릴 8405; UN-3320HA, UN-3320HB, UN-3320HC, UN-3320HS, UN-904, UN-901T, UN-905, UN-952; Double bond사제의 Doublemer 5212, Doublemer 5232B, Doublemer 541, Doublemer 5500, Doublemer 570, Doublemer 583-1, Doublemer 5812, Doublemer 5220, Doublemer 527, Doublemer 5400, Doublemer 553, Doublemer 5700, Doublemer 584, Doublemer 5900, Doublemer 5222, Doublemer 528, Doublemer 5405, Doublemer 554, Doublemer 571, Doublemer 588, Doublemer 850, Doublemer 523, Doublemer 530M, Doublemer 5433H, Doublemer 564, Doublemer 576, Doublemer 594, Doublemer 87A, Doublemer 7200, Doublemer 7201M, Doublemer 7210, 88A 등을 들 수 있다.As urethane acrylate, U-108A, UA-112P, UA-5201, UA-512, UA-412A, UA-4200, UA-4400, UA-340P, UA-2235PE manufactured by Shinnakamura Chemical Industry Co., Ltd. , UA-160TM, UA-122P, UA-512, UA-W2, UA-7000, UA-7100, U-6HA, U-6H, U-15HA, UA-32P, U-324A, UA-7200; CN968, CN9006, CN9010, CN962, CN963, CN964, CN965, CN980, CN981, CN982, CN983, CN996, CN9001, CN9002, CN9788, CN9893, CN978, CN9782, made by Arcmassa. CN9783, CN929, CN944B85, CN989, CN9008 ; M-1100, M-1200, M-1210, M-1310, M-1600 manufactured by Toa Gose Co., Ltd.; UN-9000PEP, UN-9200A, UN-7600, UN-333, UN-1255, UN-6060PTM, UN-6060P, SH-500B manufactured by Negami High School Corporation; AH-600, AT-600 manufactured by Kyoesha Chemical Co., Ltd.; Daicel/Allnex Co., Ltd.'s Evecryl 280, Evecryl 284, Evecryl 402, Evecryl 8402, Evecryl 8807, Evecryl 9270, Evecryl 264, Evecryl 265, Evecryl 1259, Evecryl 8201, KRM8296, Evercryl 294/25HD, Evecryl 4820, Evecryl 1290, Evecryl 1290K, KRM8200, Evecryl 5129, Evecryl 8210, Evecryl 8301, Evecryl 8405; UN-3320HA, UN-3320HB, UN-3320HC, UN-3320HS, UN-904, UN-901T, UN-905, UN-952; Doublemer 5212, Doublemer 5232B, Doublemer 541, Doublemer 5500, Doublemer 570, Doublemer 583-1, Doublemer 5812, Doublemer 5220, Doublemer 527, Doublemer 5400, Doublemer 553, Doublemer 5700, Doublemer 584, Doublemer 5900, Doublemer 5222 manufactured by Double Bond. , Doublemer 528, Doublemer 5405, Doublemer 554, Doublemer 571, Doublemer 588, Doublemer 850, Doublemer 523, Doublemer 530M, Doublemer 5433H, Doublemer 564, Doublemer 576, Doublemer 594, Doublemer 87A, Doublemer 7200, Doublemer 7201M, Doublemer 7210, 88A etc. can be mentioned.

폴리에스테르아크릴레이트로서는, 도아 고세 가부시키가이샤제의 아로닉스 M-6100, M-6200, M-6250, M-6500, M-7100, M-7300K, M-8030, M-8060, M-8100, M-8530, M-8560, M-9050; Double bond사제의 Doublemer 2015, Doublemer 2231-TFDoublemer 2319, Doublemer 257, Doublemer 276, Doublemer 284, Doublemer 2019, Doublemer 2232, Doublemer 236, Doublemer 270, Doublemer 278, Doublemer 285, Doublemer 220, Doublemer 2315-100, Doublemer 245, Doublemer 272, Doublemer 278X25, Doublemer 286, Doublemer 2230-TF, Doublemer 2315HM35, Doublemer 246, Doublemer 275, Doublemer 281, Doublemer 287 등을 들 수 있다.As polyester acrylate, Aronics M-6100, M-6200, M-6250, M-6500, M-7100, M-7300K, M-8030, M-8060, M-8100 manufactured by Toagosei Co., Ltd. , M-8530, M-8560, M-9050; Double Bond's Doublemer 2015, Doublemer 2231-TFDOUBLEMER 2319, Doublemer 257, Doublemer 276, Doublemer 284, DOUBLEMER 2019, Doublemer 2232, Doublemer 236, DoubleMer 270, DOUBLEMER 278, DOUBLEMER 285, DOUBLEMER 220, DoubleMer 2315-100, DoubleMer 245 , Doublemer 272, Doublemer 278X25, Doublemer 286, Doublemer 2230-TF, Doublemer 2315HM35, Doublemer 246, Doublemer 275, Doublemer 281, Doublemer 287, etc.

에폭시(메타)아크릴레이트로서는, 글리시딜기를 갖는 (메타)아크릴레이트 외에, 그 변성체를 포함하고, 시판품의 예로서는, Double bond사제의 Doublemer 1283C, Doublemer 1700, Doublemer 1710, Doublemer 186, Doublemer 193-TP50, Doublemer 127-100, Doublemer 129, Doublemer 1701, Doublemer 1720, Doublemer 188, Doublemer 193, Doublemer 127-TP20, Doublemer 156, Doublemer 1702, Doublemer 176-TF, Doublemer 191, Doublemer 128, Doublemer 1636, Doublemer 1703, Doublemer 176TF-5, Doublemer 193A-TF, Doublemer 6MX75, Doublemer 6MX75-E 등을 들 수 있다.Epoxy (meth)acrylates include (meth)acrylates having a glycidyl group as well as their modified products. Examples of commercial products include Doublemer 1283C, Doublemer 1700, Doublemer 1710, Doublemer 186, and Doublemer 193- manufactured by Double Bond. TP50, Doublemer 127-100, Doublemer 129, Doublemer 1701, Doublemer 1720, Doublemer 188, Doublemer 193, Doublemer 127-TP20, Doublemer 156, Doublemer 1702, Doublemer 176-TF, Doublemer 191, Doublemer 128, Doublemer 1636, Doublemer 1703, Examples include Doublemer 176TF-5, Doublemer 193A-TF, Doublemer 6MX75, and Doublemer 6MX75-E.

[광중합 개시제][Photopolymerization initiator]

감광성 수지 조성물 (A)에 있어서 사용 가능한 광중합 개시제로서는, 공지 관용의 것을 들 수 있다. 특히, 후술하는 광 조사 후의 PEB 공정에 사용하는 경우에는, 광염기 발생제로서의 기능도 갖는 광중합 개시제가 적합하다. 광중합 개시제는, 감광성 수지 조성물 (A)가 광중합성의 알칼리 가용성 수지 또는 광중합성 화합물을 포함하는 경우에는, 첨가하는 것이 바람직하다. 또한, 이 PEB 공정에서는, 광중합 개시제와 광염기 발생제를 병용해도 된다.Examples of photopolymerization initiators that can be used in the photosensitive resin composition (A) include well-known and commonly used ones. In particular, when used in the PEB process after light irradiation described later, a photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator is suitable. The photopolymerization initiator is preferably added when the photosensitive resin composition (A) contains a photopolymerizable alkali-soluble resin or a photopolymerizable compound. Additionally, in this PEB process, a photopolymerization initiator and a photobase generator may be used together.

광염기 발생제로서의 기능도 갖는 광중합 개시제는, 자외선이나 가시광 등의 광 조사에 의해 분자 구조가 변화하거나 또는, 분자가 개열함으로써, 후술하는 열경화성 수지의 중합 반응의 촉매로서 기능할 수 있는 1종 이상의 염기성 물질을 생성하는 화합물이다. 염기성 물질로서, 예를 들어 2급 아민, 3급 아민을 들 수 있다. 이러한 광염기 발생제로서의 기능도 갖는 광중합 개시제로서는, 예를 들어 α-아미노아세토페논 화합물, 옥심에스테르 화합물이나, 아실옥시이미노기, N-포르밀화 방향족 아미노기, N-아실화 방향족 아미노기, 니트로벤질카르바메이트기, 아르코옥시벤질카르바메이트기 등의 치환기를 갖는 화합물 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 옥심에스테르 화합물, α-아미노아세토페논 화합물이 바람직하고, 옥심에스테르 화합물이 보다 바람직하다. α-아미노아세토페논 화합물로서는, 특히, 2개 이상의 질소 원자를 갖는 것이 바람직하다.A photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator is one or more types that can function as a catalyst for the polymerization reaction of a thermosetting resin described later by changing the molecular structure or cleavage of the molecule upon irradiation of light such as ultraviolet rays or visible light. It is a compound that produces basic substances. Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines. Photopolymerization initiators that also function as such photobase generators include, for example, α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, and nitrobenzylcarboxyl groups. Compounds having substituents such as a bamate group and an arcoxybenzylcarbamate group can be mentioned. Among them, oxime ester compounds and α-aminoacetophenone compounds are preferable, and oxime ester compounds are more preferable. As the α-aminoacetophenone compound, one having two or more nitrogen atoms is particularly preferable.

α-아미노아세토페논 화합물은, 분자 중에 벤조인에테르 결합을 갖고, 광 조사를 받으면 분자 내에서 개열이 일어나고, 경화 촉매 작용을 발휘하는 염기성 물질(아민)이 생성되는 것이면 된다.The α-aminoacetophenone compound may have a benzoin ether bond in the molecule, and when irradiated with light, cleavage occurs within the molecule to generate a basic substance (amine) that acts as a curing catalyst.

옥심에스테르 화합물로서는, 광 조사에 의해 염기성 물질을 생성하는 화합물이면 모두 사용할 수 있다.As an oxime ester compound, any compound that produces a basic substance by light irradiation can be used.

이러한 광중합 개시제는, 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합해서 사용해도 된다. 감광성 수지 조성물중의 광중합 개시제의 배합량은, 감광성 수지 조성물 중에 알칼리 가용성 수지를 포함하는 경우에는, 바람직하게는 알칼리 가용성 수지 100질량부에 대하여 0.1 내지 40질량부이고, 더욱 바람직하게는, 0.3 내지 15질량부이다. 0.1질량부 이상의 경우, 광 조사부/미조사부의 내현상성의 콘트라스트를 양호하게 얻을 수 있다. 또한, 40질량부 이하의 경우, 경화물 특성이 향상된다.These photopolymerization initiators may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more types. When the photosensitive resin composition contains an alkali-soluble resin, the amount of the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition is preferably 0.1 to 40 parts by mass, more preferably 0.3 to 15 parts by mass, based on 100 parts by mass of the alkali-soluble resin. It is the mass part. In the case of 0.1 mass part or more, good development resistance contrast of the light irradiated part/unirradiated part can be obtained. Additionally, in the case of 40 parts by mass or less, the properties of the cured product improve.

[계면 활성제][Surfactants]

감광성 수지 조성물 (A)는, 분자 내에 장쇄 지방 산기와 반응성 기를 갖는 계면 활성제를 포함하는 것이어도 된다. 계면 활성제로서는 특별히 한정되지 않고 음이온계, 양이온계, 양성계, 비이온계의 계면 활성제 등을 사용할 수 있다. 계면 활성제는, 실온에서 고체의 계면 활성제를 사용하는 것이 바람직하고, 헤테로 원자를 포함하는 지방산인 것이 보다 바람직하다.The photosensitive resin composition (A) may contain a surfactant having a long-chain fatty acid group and a reactive group in the molecule. The surfactant is not particularly limited, and anionic, cationic, amphoteric, and nonionic surfactants can be used. The surfactant is preferably a solid surfactant at room temperature, and is more preferably a fatty acid containing a hetero atom.

헤테로 원자를 포함하는 지방산으로서는 공지된 화합물을 적절히 사용 가능해서, 예를 들어 본 발명에 있어서는, 수중에서 분산되는 지방산아미드를 들 수 있다. 지방산아미드의 종류는, 일반적으로 사용되고 있는 것이어도 된다. 구체적으로는, 라우르산아미드, 팔미트산아미드, 스테아르산아미드, 베헨산아미드 등의 포화 지방산 모노아미드류, 올레산아미드, 에루크산아미드, 리시놀산아미드 등의 불포화 지방산 모노아미드류, N-스테아릴스테아르산아미드, N-올레일올레산아미드, N-스테아릴올레산아미드, N-올레일스테아르산아미드, N-스테아릴에루크산아미드, N-올레일팔미트산아미드 등의 치환 아미드류, 메틸올스테아르산아미드, 메틸올베헨산아미드 등의 메틸올아미드류, 메틸렌비스스테아르산아미드, 에틸렌비스카프르산아미드, 에틸렌비스라우르산아미드, 에틸렌비스스테아르산아미드, 에틸렌비스이소스테아르산아미드, 에틸렌비스히드록시스테아르산아미드, 에틸렌비스베헨산아미드, 헥사메틸렌비스스테아르산아미드, 헥사메틸렌비스베헨산아미드, 헥사메틸렌비스히드록시스테아르산아미드, N,N'-디스테아릴 아디프산아미드, N,N'-디스테아릴세바스산아미드 등의 포화 지방산 비스 아미드류, 에틸렌비스올레산아미드, 헥사메틸렌비스올레산아미드, N,N'-디올레일아디프산아미드 등의 불포화 지방족 비스 아미드류, m-크실릴렌비스스테아르산아미드 등의 방향족계 비스 아미드류 등을 들 수 있다. 이들 지방산아미드는, 단독으로 사용하거나 2종류 이상을 혼합해서 사용해도 된다.Known compounds can be appropriately used as fatty acids containing heteroatoms, for example, in the present invention, fatty acid amides dispersed in water are included. The type of fatty acid amide may be one that is generally used. Specifically, saturated fatty acid monoamides such as lauric acid amide, palmitic acid amide, stearic acid amide, and behenic acid amide, unsaturated fatty acid monoamides such as oleic acid amide, erucic acid amide, and ricinoleic acid amide, N- Substituted amides such as stearyl stearic acid amide, N-oleyl oleic acid amide, N-stearyl oleic acid amide, N-oleyl stearic acid amide, N-stearyl erucic acid amide, and N-oleyl palmitic acid amide, Methylolamides such as methylolstearic acid amide and methylolbehenic acid amide, methylenebisstearic acid amide, ethylenebiscapric acid amide, ethylenebislauric acid amide, ethylenebisstearic acid amide, ethylenebisisostearic acid amide, ethylene Bishydroxystearic acid amide, ethylenebisbehenic acid amide, hexamethylenebisbehenic acid amide, hexamethylenebisbehenic acid amide, hexamethylenebishydroxystearic acid amide, N,N'-distearyl adipic acid amide, N Saturated fatty acid bis amides such as ,N'-distearyl sebacic acid amide, unsaturated aliphatic bis amides such as ethylenebisoleic acid amide, hexamethylene bisoleic acid amide, and N,N'-dioleyladipic acid amide, m- Aromatic bis amides such as xylylenebisstearic acid amide, etc. can be mentioned. These fatty acid amides may be used individually or may be used in mixture of two or more types.

(블록 공중합 수지)(Block copolymer resin)

이 블록 공중합 수지로서는, 일반적으로 성질의 다른 2종류 이상의 폴리머 단위가, 공유 결합으로 연결되어 긴 연쇄가 된 분자 구조의 공중합 수지를 의미한다. 본 발명에 있어서, 블록 공중합 수지로서는, 공지 관용의 것을 사용할 수 있고, X-Y형 또는 3원 이상의 블록 공중합 수지가 바람직하고, X-Y-X형 블록 공중합 수지가 보다 바람직하다. X-Y-X형 블록 공중합 수지에 있어서의 X는, 각각 동일하거나 상이하게 되어 있어도 된다.This block copolymer resin generally refers to a copolymer resin with a molecular structure in which two or more types of polymer units with different properties are linked by covalent bonds to form a long chain. In the present invention, known and commonly used block copolymer resins can be used, with X-Y type or 3 or more membered block copolymer resins being preferable, and X-Y-X type block copolymer resins being more preferable. X in the X-Y-X type block copolymer resin may be the same or different.

또한, X-Y형 또는 X-Y-X형 블록 공중합 수지 중, X가 유리 전이점 Tg가 0℃ 이상의 폴리머 단위인 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는, X가 유리 전이점 Tg가 50℃ 이상의 폴리머 단위이다. 또한, Y는 유리 전이점 Tg가 0℃ 미만인 폴리머 단위인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 유리 전이점 Tg가 -20℃ 이하인 폴리머 단위이다. 유리 전이점 Tg는 시차 주사 열량 측정(DSC)에 의해 측정된다.Furthermore, among the X-Y type or X-Y-X type block copolymer resins, it is preferable that X is a polymer unit with a glass transition point Tg of 0°C or higher. More preferably, X is a polymer unit with a glass transition point Tg of 50°C or higher. Moreover, Y is preferably a polymer unit with a glass transition point Tg of less than 0°C, and more preferably a polymer unit with a glass transition point Tg of -20°C or less. The glass transition point Tg is measured by differential scanning calorimetry (DSC).

블록 공중합 수지는, 추가로, 25℃에서 고체인 것이 바람직하다. 또한, 이 범위 밖의 온도에 있어서 고체여도 된다. 상기 온도에 있어서 고체인 것에 의해, 드라이 필름화했을 때나 기판에 도포해 가건조 했을 때의 태크성이 우수한 것이 된다.Additionally, the block copolymer resin is preferably solid at 25°C. Additionally, it may be solid at temperatures outside this range. Because it is solid at the above temperature, it has excellent tackiness when formed into a dry film or applied to a substrate and temporarily dried.

또한, X-Y형 또는 X-Y-X형 블록 공중합 수지 중에서도, X가 열경화성 수지와의 상용성이 높은 것이 바람직하고, Y가 열경화성 수지와의 상용성이 낮은 것이 바람직하다. 이와 같이, 양단의 블록이 매트릭스에 상용이며, 중앙의 블록이 매트릭스에 불상용인 블록 공중합 수지로 함으로써, 매트릭스중에 있어서 특이적인 구조를 나타내기 쉬워진다고 생각된다.Moreover, among the X-Y type or X-Y-X type block copolymer resins, it is preferable that X has high compatibility with thermosetting resins, and that Y has low compatibility with thermosetting resins. In this way, by using a block copolymer resin in which the blocks at both ends are compatible with the matrix and the block in the center is incompatible with the matrix, it is thought that it is easy to exhibit a specific structure in the matrix.

구체적으로는, 폴리머 단위 X로서는, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리스티렌(PS) 등이 바람직하고, 폴리머 단위 Y로서는, 폴리n-부틸(메타)아크릴레이트(PBA), 폴리부타디엔(PB) 등이 바람직하다. 또한, 폴리머 단위 X의 일부에 스티렌 유닛, 수산기 함유 유닛, 카르복실기 함유 유닛, 에폭시기 함유 유닛, N 치환 아크릴아미드 유닛 등으로 대표되는 알칼리 가용성 수지와의 상용성이 우수한 친수성 유닛을 도입하면, 추가로 상용성을 향상시키는 것이 가능해진다. 폴리머 단위 X의 일부에 에폭시기 함유 유닛을 도입하는 것이 특히 바람직하다. 상기한 것 중에서도 폴리머 단위 X는 폴리스티렌, 폴리글리시딜메타크릴레이트, 혹은 N 치환 폴리아크릴아미드, 폴리메틸(메타)아크릴레이트 또는 그 카르복실산 변성물 혹은 친수기 변성물인 것이 바람직하다. 또한, Y는 폴리n-부틸(메타)아크릴레이트 또는 폴리부타디엔 등인 것이 바람직하다. X 및 Y는, 각각 1종류의 폴리머 단위로 구성되어 있어도 되고, 2종 이상의 성분에 의한 폴리머 단위로 구성되어 있어도 된다.Specifically, polymethyl methacrylate (PMMA), polystyrene (PS), etc. are preferred as the polymer unit etc. are preferable. In addition, if a hydrophilic unit with excellent compatibility with alkali-soluble resins, such as styrene units, hydroxyl group-containing units, carboxyl group-containing units, epoxy group-containing units, and N-substituted acrylamide units, is introduced into part of the polymer unit It becomes possible to improve performance. It is particularly preferred to introduce epoxy group-containing units into some of the polymer units X. Among the above, it is preferable that the polymer unit Additionally, Y is preferably poly n-butyl (meth)acrylate or polybutadiene. X and Y may each be composed of one type of polymer unit, or may be composed of polymer units made of two or more types of components.

블록 공중합 수지의 제조 방법으로서는, 예를 들어, 일본특허공표 제2005-515281호, 일본특허공표 제2007-516326호에 기재된 방법을 들 수 있다.Examples of the method for producing block copolymer resin include methods described in Japanese Patent Publication No. 2005-515281 and Japanese Patent Publication No. 2007-516326.

X-Y-X형 블록 공중합 수지의 시판품으로서는, 아르끄마사제의 리빙 중합을 사용해서 제조되는 아크릴계 트리블록 코폴리머를 들 수 있다. 폴리스티렌-폴리부타디엔-폴리메틸메타크릴레이트에 대표되는 SBM 타입, 폴리메틸메타크릴레이트-폴리부틸아크릴레이트-폴리메틸메타크릴레이트에 대표되는 MAM 타입, 나아가 카르복실산 변성이나 친수기 변성 처리된 MAM N 타입이나 MAM A 타입을 들 수 있다. SBM 타입으로서는 E41, E40, E21, E20등을 들 수 있고, MAM 타입으로서는 M51, M52, M53, M22 등을 들 수 있고, MAM N 타입으로서는 52N, 22N 등을 들 수 있고, MAM A 타입으로서는 SM4032XM10, Nanostrength(등록상표) 시리즈, 예를 들어 M52N, M65N 등을 들 수 있다. 또한, 가부시키가이샤 쿠라레제의 클래리티도 메타크릴산메틸과 아크릴산부틸로부터 유도되는 블록 공중합이다.Commercially available X-Y-X type block copolymer resins include acrylic triblock copolymers manufactured using living polymerization manufactured by Arcmas. SBM type represented by polystyrene-polybutadiene-polymethyl methacrylate, MAM type represented by polymethyl methacrylate-polybutylacrylate-polymethyl methacrylate, and further MAM N treated with carboxylic acid modification or hydrophilic group modification. type or MAM A type. SBM types include E41, E40, E21, E20, etc., MAM types include M51, M52, M53, M22, etc., MAM N types include 52N, 22N, etc., and MAM A types include SM4032XM10. , Nanostrength (registered trademark) series, such as M52N, M65N, etc. Additionally, Clarity from Kuraray Co., Ltd. is also a block copolymer derived from methyl methacrylate and butyl acrylate.

블록 공중합 수지로서는 리빙 중합법에 의해 합성된 분자 구조가 정밀하게 컨트롤된 블록 공중합 수지가 본 발명의 효과를 얻는 데 있어서 바람직하다. 이것은, 리빙 중합법에 의해 합성된 블록 공중합 수지는 분자량 분포가 좁고, 각각의 유닛의 특징이 명확해졌기 때문이라고 생각된다. 사용하는 블록 공중합 수지의 분자량 분포는 2.5 이하가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 2.0 이하이다.As a block copolymer resin, a block copolymer resin whose molecular structure is precisely controlled and synthesized by a living polymerization method is preferable for obtaining the effects of the present invention. This is believed to be because the block copolymer resin synthesized by the living polymerization method has a narrow molecular weight distribution and the characteristics of each unit become clear. The molecular weight distribution of the block copolymer resin used is preferably 2.5 or less, and more preferably 2.0 or less.

분자량 분포는 후술하는 방법으로 측정한 질량 평균 분자량(Mw)과 수 평균 분자량(Mn)의 비(Mw/Mn)에 기초하여 계산된다.The molecular weight distribution is calculated based on the ratio (Mw/Mn) of the mass average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) measured by the method described later.

본 발명의 (A1) 블록 공중합 수지의 질량 평균 분자량 Mw는 20,000 내지 400,000인 것이 바람직하고, 특히 80,000 내지 350,000인 것이 바람직하다.The mass average molecular weight Mw of the (A1) block copolymer resin of the present invention is preferably 20,000 to 400,000, and particularly preferably 80,000 to 350,000.

블록 공중합 수지의 질량 평균 분자량이 20,000 이상이면 조성물의 유연성이나 탄성 등의 기계 특성을 구비하면서, 점착성이 지나치게 높아지지 않고, 굴곡성이나 크랙 내성의 향상 효과가 양호해지고, 점착성도 양호해진다. 한편, 질량 평균 분자량이 400,000 이하이면, 조성물의 점도가 지나치게 높아지지 않고, 인쇄성, 현상성이 저하되기 어렵다.If the mass average molecular weight of the block copolymer resin is 20,000 or more, the composition has mechanical properties such as flexibility and elasticity, but the adhesion does not become excessively high, the effect of improving flexibility and crack resistance becomes good, and the adhesion also becomes good. On the other hand, if the mass average molecular weight is 400,000 or less, the viscosity of the composition does not become too high and printability and developability are unlikely to decrease.

또한, 본 발명에 있어서, 질량 평균 분자량 및 수 평균 분자량은, 지엘 사이언스(주)사제의 GPC(겔 투과 크로마토그래피) 장치 「GL7700」을 사용하고, 칼럼으로서 도소(주)사제의 α-2500과 α-4000을 사용하고, 용리액은 NMP의 10mM 브롬화리튬 용액 및 NMP의 100mM의 인산 용액을 사용해서 행하여, 폴리스티렌을 표준 물질로 한, 폴리스티렌 환산 분자량을 가리킨다.In addition, in the present invention, the mass average molecular weight and the number average molecular weight are determined using a GPC (gel permeation chromatography) device "GL7700" manufactured by GL Science Co., Ltd. and α-2500 manufactured by Tosoh Corporation as a column. α-4000 is used, the eluent is a 10mM lithium bromide solution of NMP and a 100mM phosphoric acid solution of NMP, and the molecular weight in terms of polystyrene is indicated using polystyrene as the standard material.

블록 공중합 수지는, 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합해서 사용해도 된다. 블록 공중합 수지의 배합량은, 감광성 수지 조성물 중에 알칼리 가용성 수지를 포함하는 경우에는, 바람직하게는 알칼리 가용성 수지 100질량부에 대하여 1 내지 60질량부, 보다 바람직하게는 2 내지 50질량부, 특히 바람직하게는 3 내지 40질량부이다. 블록 공중합 수지의 배합량이, 1질량부 이상이면 굴곡성 및 내열성이 향상되고, 60질량부 이하이면, 굴곡성 및 내열성의 밸런스가 양호해진다.Block copolymer resin may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more types. When the photosensitive resin composition contains an alkali-soluble resin, the mixing amount of the block copolymer resin is preferably 1 to 60 parts by mass, more preferably 2 to 50 parts by mass, particularly preferably, based on 100 parts by mass of the alkali-soluble resin. is 3 to 40 parts by mass. When the compounding amount of the block copolymer resin is 1 part by mass or more, flexibility and heat resistance improve, and when it is 60 parts by mass or less, the balance between flexibility and heat resistance becomes good.

[감광성 수지 조성물 (B)][Photosensitive resin composition (B)]

수지층 (B)는 제3 그로스값이 50 이상이 되는 것 같은 감광성 수지 조성물 (B)로 구성된다. 감광성 수지 조성물 (B)는, 일반적으로, 카르복실기 함유 수지 등의 알칼리 가용성 수지를 포함하고, 추가로 열경화성 수지와 포함한다. 감광성 수지 조성물 (B)는, 또한 경우에 따라 광중합성 화합물 및 광중합 개시제를 포함하는 것이어도 된다. 감광성 수지 조성물 (B)는 원하는 그로스값을 달성하기 위해서, 조성물 중의 수지나 모노머 등의 성분이 서로 상용하는 것이 필요하다. 즉 상술한 바와 같은 비상용성을 나타내는 각 성분의 조합을 포함하지 않는 것이다.The resin layer (B) is composed of a photosensitive resin composition (B) having a third gross value of 50 or more. The photosensitive resin composition (B) generally contains an alkali-soluble resin such as a carboxyl group-containing resin, and further contains a thermosetting resin. The photosensitive resin composition (B) may further contain a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator as the case may be. In order to achieve the desired gloss value, the photosensitive resin composition (B) requires that components such as resins and monomers in the composition are compatible with each other. That is, it does not include combinations of components that exhibit incompatibility as described above.

이하, 감광성 수지 조성물 (B)에 있어서 사용 가능한 성분에 대해서 설명한다.Hereinafter, components that can be used in the photosensitive resin composition (B) will be described.

(감광성 수지 조성물 (B)에 있어서의 알칼리 가용성 수지)(Alkali-soluble resin in photosensitive resin composition (B))

감광성 수지 조성물 (B)에 있어서도, 공지된 알칼리 가용성 수지를 모두 사용할 수 있지만, 사용 가능한 알칼리 가용성 수지의 구체예로서는, 소정의 그로스값이 되는 한에 있어서, 감광성 수지 조성물 (A)에 관해서 상세히 설명한 알칼리 가용성 수지를 사용할 수 있다.In the photosensitive resin composition (B), all known alkali-soluble resins can be used. Specific examples of alkali-soluble resins that can be used include the alkali resins described in detail with respect to the photosensitive resin composition (A), as long as the predetermined gross value is achieved. Soluble resins can be used.

(감광성 수지 조성물 (B)에 있어서의 열경화성 수지)(Thermosetting resin in photosensitive resin composition (B))

감광성 수지 조성물 (B)는, 열경화성 수지를 포함한다. 감광성 수지 조성물 (B)에 있어서도, 소정의 그로스값이 되는 한에 있어서, 감광성 수지 조성물 (A)에 있어서의 열경화성 수지와 마찬가지인 화합물이 사용되고, 환상 (티오)에테르 기 등의 열에 의한 경화 반응이 가능한 관능기를 갖는 공지 관용의 화합물, 예를 들어 에폭시 화합물 등이 바람직하게 사용된다.The photosensitive resin composition (B) contains a thermosetting resin. In the photosensitive resin composition (B), as long as the predetermined gross value is achieved, a compound similar to the thermosetting resin in the photosensitive resin composition (A) is used, and a curing reaction by heat such as a cyclic (thio)ether group is possible. Known and commonly used compounds having a functional group, such as epoxy compounds, are preferably used.

또한, 감광성 수지 조성물 (B)의 성분으로서 사용 가능한, 광중합성 화합물 및 광중합 개시제의 상세는, 감광성 수지 조성물 (A)에 관해서 상세히 설명한 바와 같다.In addition, the details of the photopolymerizable compound and photopolymerization initiator that can be used as components of the photosensitive resin composition (B) are the same as those described in detail regarding the photosensitive resin composition (A).

감광성 수지 조성물 (B)에 있어서의 광중합성 화합물의 배합량은, 감광성 수지 조성물 중에 알칼리 가용성 수지를 포함하는 경우에는, 알칼리 가용성 수지 100질량부에 대하여 1 내지 100질량부인 것이 바람직하고, 5 내지 80질량부인 것이 보다 바람직하다. When the photosensitive resin composition contains an alkali-soluble resin, the amount of the photopolymerizable compound in the photosensitive resin composition (B) is preferably 1 to 100 parts by mass, and 5 to 80 parts by mass, based on 100 parts by mass of the alkali-soluble resin. It is more preferable to deny it.

상기 외에, 감광성 수지 조성물 (A) 및 (B)는, 추가로 이하의 성분을 포함할 수 있다.In addition to the above, photosensitive resin compositions (A) and (B) may further contain the following components.

(무기 충전제/체질 안료)(Inorganic filler/extending pigment)

무기 충전제나 체질 안료는, 경화물의 경화 수축을 억제하고, 밀착성, 경도 등의 특성을 향상시키기 위해서 배합할 수 있다. 이러한 무기 충전제나 체질 안료로서는, 예를 들어 황산바륨, 무정형 실리카, 용융 실리카, 구상 실리카, 탈크, 클레이, 탄산마그네슘, 탄산칼슘, 산화알루미늄, 산화티타늄, 수산화알루미늄, 질화규소, 질화알루미늄, 질화붕소, 노이부르그 실리셔스 어스 등을 들 수 있다.Inorganic fillers and extenders can be added to suppress curing shrinkage of the cured product and improve properties such as adhesion and hardness. Such inorganic fillers and extender pigments include, for example, barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, titanium oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, Examples include Neuburg Silicious Earth.

(열경화 촉매)(thermal curing catalyst)

본 발명의 적층체에 사용되는 감광성 수지 조성물 (A) 및 (B)에는, 열경화 촉매를 배합할 수 있다. 열경화 촉매로서는, 예를 들어 이미다졸, 2-메틸이미다졸, 2-에틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 4-페닐이미다졸, 1-시아노에틸-2-페닐이미다졸, 1-(2-시아노에틸)-2-에틸-4-메틸이미다졸 등의 이미다졸 유도체; 디시안디아미드, 벤질디메틸아민, 4-(디메틸아미노)-N,N-디메틸벤질아민, 4-메톡시-N,N-디메틸벤질아민, 4-메틸-N,N-디메틸벤질아민 등의 아민 화합물, 아디프산 디히드라지드, 세바스산 디히드라지드 등의 히드라진 화합물; 트리페닐포스핀 등의 인 화합물 등을 들 수 있다. 또한, 시판되고 있는 것으로서는, 예를 들어 시꼬꾸 가세이 고교 가부시키가이샤제의 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (모두 이미다졸계 화합물의 상품명), 산-아프로 가부시키가이샤제의 U-CAT 3513N (디메틸아민계 화합물의 상품명), DBU, DBN, U-CAT SA 102(모두 2환식 아미딘 화합물 및 그의 염) 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 2종 이상을 혼합해서 사용 가능하다.A thermosetting catalyst can be blended with the photosensitive resin compositions (A) and (B) used in the laminate of the present invention. As a thermosetting catalyst, for example, imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, Imidazole derivatives such as 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole and 1-(2-cyanoethyl)-2-ethyl-4-methylimidazole; Amines such as dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino)-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N-dimethylbenzylamine, and 4-methyl-N,N-dimethylbenzylamine. compounds, hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; Phosphorus compounds, such as triphenylphosphine, etc. are mentioned. Additionally, commercially available products include, for example, 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd. (all brand names of imidazole-based compounds), and San-Apro Co., Ltd. U-CAT 3513N (trade name of dimethylamine compound), DBU, DBN, U-CAT SA 102 (all bicyclic amidine compounds and salts thereof), etc. These can be used individually or in mixture of two or more types.

또한, 구아나민, 아세토구아나민, 벤조구아나민, 멜라민, 테트라히드로 무수 프탈산 부가 멜라민, 2,4-디아미노-6-메타크릴로일옥시에틸-S-트리아진, 2-비닐-2,4-디아미노-S-트리아진, 2-비닐-4,6-디아미노-S-트리아진·이소시아누르산 부가물, 2,4-디아미노-6-메타크릴로일옥시에틸-S-트리아진·이소시아누르산 부가물 등의S-트리아진 유도체를 사용할 수도 있고, 바람직하게는 이들 밀착성 부여제로서도 기능하는 화합물을 열경화 촉매와 병용한다. 열경화 촉매는, 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 병용해도 된다.Additionally, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, tetrahydrophthalic anhydride addition melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4 -Diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine·isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S- S-triazine derivatives such as triazine-isocyanuric acid adducts may be used, and preferably, these compounds that also function as adhesion imparting agents are used in combination with a thermosetting catalyst. The thermosetting catalyst may be used individually by one type, or may be used in combination of two or more types.

열경화 촉매의 배합량은, 감광성 수지 조성물 전량당 고형분 환산으로, 바람직하게는 0.1 내지 5질량부이고, 보다 바람직하게는 1 내지 3질량부이다.The compounding amount of the thermosetting catalyst is preferably 0.1 to 5 parts by mass, more preferably 1 to 3 parts by mass, in terms of solid content per entire amount of the photosensitive resin composition.

(착색제)(coloring agent)

착색제로서는, 적, 청, 녹, 황, 백, 흑 등의 공지 관용의 착색제를 배합할 수 있고, 안료, 염료, 색소의 어느 것이어도 된다.As the colorant, known and commonly used colorants such as red, blue, green, yellow, white, and black can be blended, and any of pigments, dyes, and pigments may be used.

(유기 용제)(organic solvent)

유기 용제는, 감광성 수지 조성물 (A) 및 (B)의 조제를 위해서나, 기재나 제1 필름(1)(캐리어 필름)에 도포하기 위한 점도 조정을 위해서 배합할 수 있다. 이러한 유기 용제로서는, 케톤류, 방향족 탄화수소류, 글리콜에테르류, 글리콜에테르아세테이트류, 에스테르류, 알코올류, 지방족 탄화수소, 석유계 용제 등을 들 수 있다. 이러한 유기 용제는, 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상의 혼합물로서 사용해도 된다.The organic solvent can be blended for preparing the photosensitive resin compositions (A) and (B) or for adjusting the viscosity for application to the base material or the first film 1 (carrier film). Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, and petroleum solvents. These organic solvents may be used individually by one type, or may be used as a mixture of two or more types.

(기타 성분)(Other Ingredients)

필요에 따라 또한, 머캅토 화합물, 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제 등의 성분을 배합할 수 있다. 이들은, 공지 관용의 것을 사용할 수 있다. 또한, 미분 실리카, 하이드로탈사이트, 유기 벤토나이트, 몬모릴로나이트 등의 공지 관용의 증점제, 실리콘계, 불소계, 고분자계등의 소포제 및/또는 레벨링제, 실란 커플링제, 방청제등과 같은 공지 관용의 첨가제류를 배합할 수 있다.If necessary, components such as mercapto compounds, adhesion promoters, antioxidants, and ultraviolet absorbers can be added. These can be used as known and commonly used ones. In addition, commonly known thickeners such as fine powdered silica, hydrotalcite, organic bentonite, and montmorillonite, and commonly known additives such as silicone-based, fluorine-based, and polymer-based antifoaming agents and/or leveling agents, silane coupling agents, and rust inhibitors are added. can do.

(적층체의 경화물 제조 공정)(Manufacturing process of cured product of laminate)

이하에, 도 3을 사용하여, 본 발명의 적층체를 제조하기 위한 처리 공정의 일례를 설명한다. 여기에서는, 도 2에 나타낸 드라이 필름의 경화물 제조예를 설명한다.Below, an example of a processing process for manufacturing the laminate of the present invention will be described using FIG. 3. Here, an example of manufacturing a cured dry film shown in FIG. 2 will be described.

[(a) 적층 공정][(a) Lamination process]

도 3에 (a) 적층 공정으로서 나타낸 바와 같이, 발명의 적층체(10)는, 예를 들어 도체 회로(21)를 갖는 프린트 배선판 등의 기판(20)에 대하여 수지층 (B)가 대향하도록 배치되고, 기판과 수지층 (B)를 압착함으로써 적층된다. 반면에, 다른 적용에서는, 이러한 전자 기기에 대한 적층을 앞서서 행하지 않는 경우도 있다. 본 실시 형태에서는, 기체 상에 적층체가 직접 배치된 상태에서의 경화 처리에 대해서, 그 각 공정을 설명한다. 또한, 이하의 공정은 모두가 필수적인 공정이 아니고, 그 용도나 적층체의 조성에 따라, 적절히 선택해서 행하는 것이다.As shown in Figure 3 (a) as a lamination process, the laminated body 10 of the invention is formed so that the resin layer (B) faces the substrate 20, such as a printed wiring board having a conductor circuit 21, for example. It is placed and laminated by pressing the substrate and the resin layer (B). On the other hand, in other applications, lamination for such electronic devices may not be performed prior. In this embodiment, each process of the curing treatment in a state in which the laminate is placed directly on the base will be explained. In addition, the following processes are not all essential processes, and are appropriately selected and performed depending on the intended use or the composition of the laminate.

[(b) 노광 공정][(b) Exposure process]

본 발명의 적층체를 경화시키는 것에 있어서, 노광 공정이 행해진다. 노광 공정에서는, 활성 에너지선(도 3의 (b) 중, 화살표로 나타낸다)의 조사에 의해, 수지층 (A), 수지층 (B) 또는 그 양쪽에 포함되는 광중합 개시제, 광염기 발생제로서의 기능을 갖는 광중합 개시제 또는 광염기 발생제를, 네가티브형 패턴상으로 활성화시킨다. 노광기로서는, 직접 묘화 장치, 메탈 할라이드 램프를 탑재한 노광기 등을 사용할 수 있다. 패턴상의 노광용 마스크는, 네가티브형의 마스크이다.In curing the laminate of the present invention, an exposure process is performed. In the exposure step, the photopolymerization initiator and photobase generator contained in the resin layer (A), the resin layer (B), or both are irradiated with active energy rays (indicated by arrows in Figure 3(b)). A functional photopolymerization initiator or photobase generator is activated in a negative pattern. As an exposure machine, a direct drawing device, an exposure machine equipped with a metal halide lamp, etc. can be used. The pattern exposure mask is a negative type mask.

노광에 사용하는 활성 에너지선으로서는, 최대 파장이 350 내지 450㎚의 범위에 있는 레이저광 또는 산란광을 사용하는 것이 바람직하다. 최대 파장을 이 범위로 함으로써, 효율적으로 광중합 개시제를 활성화시킬 수 있다. 또한, 그 노광량은 막 두께 등에 따라 다르지만, 통상은 100 내지 1500mJ/㎠로 행한다.As the active energy ray used for exposure, it is preferable to use laser light or scattered light with a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. By setting the maximum wavelength within this range, the photopolymerization initiator can be activated efficiently. In addition, the exposure amount varies depending on the film thickness, etc., but is usually 100 to 1500 mJ/cm2.

[(c) PEB 공정][(c) PEB process]

상기 노광 후, 수지층을 가열함으로써, 노광부를 경화한다. 본 발명의 감광성 수지 조성물 (A) 및 (B)가, 광염기 발생제로서의 기능을 갖는 광중합 개시제 또는 광중합 개시제와 광염기 발생제와의 양쪽을 포함하는 경우에는, 노광 공정에서 발생한 염기에 의해, 수지층 (B)를 심부까지 경화할 수 있다. 가열 온도는, 예를 들어 80 내지 200℃이다. 가열 시간은, 예를 들어 10 내지 100분이다. 또한, 상기 노광 공정 후에, 광염기 발생제로서의 기능을 갖는 광중합 개시제 또는 광중합 개시제와 광염기 발생제와의 양쪽이 존재하는 상태에서의 가열 공정을 행하는 경우에는, 이 가열 경화 공정은 PEB(POST EXPOSURE BAKE) 공정이라고 불리며, 이에 의해 포토리소그래피 후의 도막의 경화 수축을 억제하고, 결과로서 우수한 해상성이 부여된다. After the exposure, the exposed portion is cured by heating the resin layer. When the photosensitive resin compositions (A) and (B) of the present invention contain a photopolymerization initiator having a function as a photobase generator or both a photopolymerization initiator and a photobase generator, the base generated in the exposure process, The resin layer (B) can be hardened to the core. The heating temperature is, for example, 80 to 200°C. The heating time is, for example, 10 to 100 minutes. In addition, after the exposure process, when a heating process is performed in the presence of a photopolymerization initiator having a function as a photobase generator or both a photopolymerization initiator and a photobase generator, this heat curing process is performed using PEB (POST EXPOSURE It is called the BAKE) process, and this suppresses curing shrinkage of the coating film after photolithography, and provides excellent resolution as a result.

[(d) 현상 공정][(d) Development process]

상기의 노광 공정이 행해진 경우, 현상 공정이 행해진다. 현상 공정에서는, 알칼리 현상에 의해, 미노광부를 제거하여, 네가티브형의 패턴상의 절연막, 특히는, 커버 레이 및 솔더 레지스트를 형성한다. 현상 방법으로서는, 디핑 등의 공지된 방법에 의한 수 있다. 또한, 현상액으로서는, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 수산화칼륨, 아민류, 2-메틸이미다졸 등의 이미다졸류, 수산화 테트라메틸암모늄 수용액(TMAH) 등의 알칼리 수용액, 또는 이들 혼합액을 사용할 수 있다.When the above exposure process is performed, a development process is performed. In the development process, the unexposed portion is removed by alkaline development to form a negative patterned insulating film, particularly a cover lay and solder resist. The developing method may be a known method such as dipping. Additionally, as a developing solution, sodium carbonate, potassium carbonate, potassium hydroxide, amines, imidazoles such as 2-methylimidazole, alkaline aqueous solutions such as tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH), or mixtures thereof can be used.

[(e) 후경화 공정][(e) Post-cure process]

또한, 현상 공정 후에, 추가로 적층체의 경화물에 광조사해도 되고, 또한, 예를 들어 150℃ 이상으로 가열해도 된다. 가열 온도는, 예를 들어 80 내지 170℃이고, 가열 시간은 5 내지 100분이다. 본 발명에 있어서의 적층체(10)의 후경화는, 예를 들어 열반응에 의한 에폭시 수지의 개환 반응이기 때문에, 광 라디칼 반응으로 경화가 진행되는 경우와 비교해서 변형이나 경화 수축을 억제할 수 있다.In addition, after the development process, the cured product of the laminate may be further irradiated with light or heated to, for example, 150°C or higher. The heating temperature is, for example, 80 to 170°C, and the heating time is 5 to 100 minutes. Since the post-curing of the laminate 10 in the present invention is, for example, a ring-opening reaction of the epoxy resin by a thermal reaction, deformation and curing shrinkage can be suppressed compared to the case where curing proceeds by a photo radical reaction. there is.

[부품 실장 공정][Component mounting process]

필요에 따라 상기와 같이 현상된 후, 본 발명의 적층체 경화물은, 부품 실장 공정(도시하지 않음)에 부쳐진다. 이 공정에 의해 본 발명의 경화물을 갖는 기판 상에 각종 부품이 실장되어, 본 발명의 전자 부품을 얻을 수 있다.After being developed as described above, if necessary, the cured laminate of the present invention is subjected to a component mounting process (not shown). Through this process, various components can be mounted on a substrate containing the cured product of the present invention, and the electronic component of the present invention can be obtained.

[재가열 공정][Reheating process]

부품 실장 후의 적층체 경화물은, 재가열 공정에 부쳐질 수 있다(도시하지 않음). 재가열 공정의 가열 온도는, 예를 들어 120℃ 내지 300℃, 특히 250℃ 내지 300℃, 가열 시간은, 예를 들어 5분 내지 120분이다. 또한, 재가열 공정의 전 또는 후로, 또한 절연막에 광조사해도 된다.The cured laminate after component mounting may be subjected to a reheating process (not shown). The heating temperature of the reheating process is, for example, 120°C to 300°C, particularly 250°C to 300°C, and the heating time is, for example, 5 minutes to 120 minutes. Additionally, the insulating film may be irradiated with light before or after the reheating process.

이와 같이 얻어진 본 발명의 적층체 경화물은, 상기한 적층체의 경화물 제조 공정, 특히 부품 실장 공정에 있어서, 경화물에 열이나 압력이 가해지는 것 등에 의해, 경화물이 열 프레스되거나 해서 그로스값이 증대하고, 매트한 질감의 표면이 상실된 경우에 있어서도, 이 재가열 공정에 있어서, 다시 그로스값이 저하되어, 매트한 질감의 표면으로 할 수 있다. 구체적으로는, 본 발명의 경화물의 외표면의 그로스값이 50 이상이 된 경우에 있어서도, 260℃에서 10분의 재가열 공정을 행함으로써, 다시 외표면의 그로스값을 30 이하로 할 수 있다.The cured laminate of the present invention obtained in this way is gross by heat pressing or applying heat or pressure to the cured product during the manufacturing process of the cured product of the above-described laminate, especially the component mounting process. Even when the value increases and the surface with a matte texture is lost, in this reheating process, the gloss value decreases again, making it possible to create a surface with a matte texture. Specifically, even when the outer surface gross value of the cured product of the present invention becomes 50 or more, the outer surface gross value can be brought back to 30 or less by performing a 10-minute reheating process at 260°C.

즉, 본 발명의 경화물은 수지층 (A)의 최외층(외표면)이 매트한 질감로 되는 점에서, 경화물이 전자 기기의 일부로 되어 제품화된 경우에도 흠집 등이 눈에 띄기 어려워, 제품의 수율을 향상시키고, 또한 매트한 질감의 외관을 갖는 기호 내지 수요에 부응할 수 있다.That is, the cured product of the present invention has a matte texture in the outermost layer (outer surface) of the resin layer (A), so even when the cured product is manufactured as part of an electronic device, scratches, etc. are difficult to be noticed, making the product It can improve the yield and also meet the preference or demand for a matte textured appearance.

또한, 본 발명의 적층체 경화물은, 수지층 (A)와 수지층 (B)의 양쪽의 존재에 의해, 프린트 배선판 등의 전자 기기의 회로를 양호하게 은폐할 수 있다. 수지층 (A)와 수지층 (B)의 양쪽을 사용함으로써, 수지층 (A) 또는 수지층 (B)의 어느 한쪽을 사용하는 경우보다, 전자 기기의 회로의 은폐성이 향상되지만, 이것은 수지층 (A)와 수지층 (B)를 구성하는 감광성 수지 조성물의 조성의 차이에 기인하는 굴절률의 차이에 의해 초래되는 효과라고 추정된다. 수지층 (A)는 비상용성을 나타내는 층으로 되어 있지만, 수지층 (B)는 상용성을 나타내는 층으로 되어 있는 점에서, 수지층 (A)와 수지층 (B)의 굴절률에는 차가 발생하게 된다. 이러한, 수지층 (A)와 수지층 (B)의 굴절률의 차이를 갖는 적층체 경화물이 회로 상에 실시되는 것에 의해, 회로가 충분히 은폐된다.In addition, the cured laminate of the present invention can well conceal circuits of electronic devices such as printed wiring boards due to the presence of both the resin layer (A) and the resin layer (B). By using both the resin layer (A) and the resin layer (B), the concealability of the circuit of the electronic device is improved compared to the case of using either the resin layer (A) or the resin layer (B), but this can be It is presumed that this effect is caused by a difference in refractive index resulting from a difference in composition of the photosensitive resin composition constituting the stratum (A) and the resin layer (B). Since the resin layer (A) is made of a layer showing incompatibility, but the resin layer (B) is made of a layer showing compatibility, a difference occurs in the refractive index of the resin layer (A) and the resin layer (B). . By applying such a cured laminate having a difference in refractive index between the resin layer (A) and the resin layer (B) on the circuit, the circuit is sufficiently concealed.

본 발명의 적층체 및 이것으로부터 얻어지는 경화물은, 리지드 또는 플렉시블 기판, 특히 리지드 기판에 구리 회로가 형성된 프린트 배선판 상에 적용 가능하다.The laminate of the present invention and the cured product obtained therefrom can be applied to a rigid or flexible substrate, especially a printed wiring board in which a copper circuit is formed on a rigid substrate.

본 발명에 있어서, 전자 부품이란, 전자 회로에 사용하는 부품을 의미하고, 프린트 배선판, 트랜지스터, 발광 다이오드, 레이저 다이오드 등의 능동 부품 외에, 저항, 콘덴서, 인덕터, 커넥터 등의 수동 부품도 포함된다. 본 발명의 적층체 경화물이, 이들 전자 부품의 절연층으로서의 기계 특성과 매트한 질감의 외관을 부여하는 것이다.In the present invention, electronic components refer to components used in electronic circuits, and include active components such as printed wiring boards, transistors, light-emitting diodes, and laser diodes, as well as passive components such as resistors, condensers, inductors, and connectors. The cured laminate of the present invention provides mechanical properties as an insulating layer for these electronic components and a matte textured appearance.

이하, 본 발명의 제2 실시 형태에 대해서 상세히 설명한다.Hereinafter, the second embodiment of the present invention will be described in detail.

본 발명의 적층체는, 수지층 (A)와 수지층 (B)를 갖고, 수지층 (A)의 한쪽 면에, 수지층 (B)의 한쪽 면이 접하도록 마련된 적층체로서, 수지층 (A)가, (A1) 블록 공중합 수지와, (A2) 광중합성 화합물를 갖고, 수지층 (B)가, (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지를 갖는 것이다.The laminate of the present invention has a resin layer (A) and a resin layer (B), and is provided so that one side of the resin layer (B) is in contact with one side of the resin layer (A), and the resin layer ( A) has a block copolymer resin (A1) and a photopolymerizable compound (A2), and the resin layer (B) has an alkali-soluble (meth)acrylate resin (B1).

본 발명의 적층체 수지층 (A)와 수지층 (B)는, 서로 접하도록 배치되고, 이 배치에 있어서 경화한다. 이 미경화의 적층체에 있어서는, 특히 가열 공정을 통해서, 수지층 (A)의 구성 성분과 수지층 (B)의 구성 성분이 계면에 있어서 혼합된다. 이와 같이 수지층 (A)와 수지층 (B)의 구성 성분이 혼합되는 것에 의해, 계면에 있어서 가시광의 난반사가 일어나기 때문에, 회로의 은폐성이 우수한 경화막을 얻을 수 있는 것으로 추정된다. 또한, 본 발명의 적층체를 사용함으로써, 양호한 회로의 은폐성을 얻을 수 있기 때문에, 종래 기술과 같은 조면화된 플라스틱 필름을 제1 필름으로서 사용할 필요가 없어, 지지체의 요철에 기인하는 해상성의 저하가 발생하지 않는다고 생각된다. 또한 본 발명의 적층체는, 종래 기술과는 달리, 수지층의 전체가 불균일한 상태로는 되지 않기 때문에 기계 강도도 우수하다. 따라서, 본 발명의 적층체를 사용함으로써, 회로의 은폐성과 기계 강도나 해상성을 양립시킬 수 있다.The laminated body resin layer (A) and the resin layer (B) of the present invention are arranged to be in contact with each other, and are cured in this arrangement. In this uncured laminate, the components of the resin layer (A) and the components of the resin layer (B) are mixed at the interface, especially through the heating process. As the components of the resin layer (A) and the resin layer (B) are mixed in this way, diffuse reflection of visible light occurs at the interface, so it is presumed that a cured film excellent in circuit concealment can be obtained. In addition, by using the laminate of the present invention, good circuit hiding properties can be obtained, so there is no need to use a roughened plastic film as in the prior art as the first film, and the decrease in resolution due to the unevenness of the support body is eliminated. It is thought that does not occur. Additionally, unlike the prior art, the laminate of the present invention has excellent mechanical strength because the entire resin layer is not in a non-uniform state. Therefore, by using the laminate of the present invention, it is possible to achieve both circuit concealment, mechanical strength, and resolution.

[수지층 (A)][Resin layer (A)]

수지층 (A)를 구성하는 수지 조성물은 이하의 성분을 포함한다.The resin composition constituting the resin layer (A) contains the following components.

((A1) 블록 공중합 수지)((A1) block copolymer resin)

수지층 (A)에서 사용하는 블록 공중합 수지는, 상술한 제1 실시 형태에서 설명한 것과 마찬가지 물(物)을 사용할 수 있다.The block copolymer resin used in the resin layer (A) can be the same as that described in the first embodiment described above.

X-Y형 블록 공중합 수지, X-Y-X형의 블록 공중합 수지 모두 사용할 수 있지만, X-Y-X형의 블록 공중합 수지인 것이 바람직하다.Both X-Y type block copolymer resin and X-Y-X type block copolymer resin can be used, but X-Y-X type block copolymer resin is preferable.

또한, 블록 공중합 수지는 질량 평균 분자량 Mw가 20,000 내지 400,000인 것이 바람직하고, 80,000 내지 350,000인 것이 보다 바람직하다. 질량 평균 분자량은 상술한 방법을 사용하여 측정한다. 보다 바람직하게는, X-Y-X형의 블록 공중합 수지며, 또한 질량 평균 분자량이 20,000 내지 400,000, 특히는 80,000 내지 350,000인 것이 바람직하다.In addition, the block copolymer resin preferably has a mass average molecular weight Mw of 20,000 to 400,000, and more preferably 80,000 to 350,000. The mass average molecular weight is measured using the method described above. More preferably, it is a block copolymer resin of type

(A1) 블록 공중합 수지의 배합량은, 수지층 (A)의 고형분량에 대하여, 1 내지 30질량부의 범위가 바람직하고, 보다 바람직하게는 2 내지 20질량부이다. 1질량부 이상에서 그 효과는 기대할 수 있고, 30질량부 이하에서 광경화성 수지 조성물로서 현상성이나 도포성이 양호해진다.(A1) The compounding amount of the block copolymer resin is preferably in the range of 1 to 30 parts by mass, more preferably 2 to 20 parts by mass, relative to the solid content of the resin layer (A). The effect can be expected at 1 part by mass or more, and at 30 parts by mass or less, developability and applicability become good as a photocurable resin composition.

((A2) 광중합성 화합물)((A2) Photopolymerizable compound)

수지층 (A)에서 사용하는 광중합성 화합물은 상술한 제1 실시 형태에서 설명한 것과 마찬가지 물(物)을 사용할 수 있다.The photopolymerizable compound used in the resin layer (A) can be the same as that described in the first embodiment described above.

특히 하기 일반식 (I)로 표시되는 광중합성 화합물이 바람직하게 사용된다.In particular, a photopolymerizable compound represented by the following general formula (I) is preferably used.

(일반식 (I) 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 의미한다)(In general formula (I), R1 means a hydrogen atom or a methyl group)

(A2) 광중합성 화합물의 배합량은, 수지층 (A)의 고형분량에 대하여, 1질량% 내지 40질량%가 바람직하고, 보다 바람직하게는 1질량% 내지 30질량%, 더욱 바람직하게는 1.5질량% 내지 20질량%이다. 상기 배합량의 범위로 함으로써, 광경화성이 향상되고, 패턴 형성이 용이하게 되고, 경화막의 강도도 향상할 수 있다.(A2) The compounding amount of the photopolymerizable compound is preferably 1% by mass to 40% by mass, more preferably 1% by mass to 30% by mass, and still more preferably 1.5% by mass, relative to the solid content of the resin layer (A). % to 20 mass%. By setting the compounding amount within the above range, photocurability can be improved, pattern formation can be facilitated, and the strength of the cured film can also be improved.

기타 수지층 (A)에 포함할 수 있는 임의 성분에 대해서 설명한다.Other optional components that may be included in the resin layer (A) will be explained.

((A3) 에폭시 수지)((A3) Epoxy resin)

에폭시 수지로서는, 상술한 제1 실시 형태에서 설명한 것과 마찬가지의 에폭시 수지를 사용할 수 있다. 특히 비스페놀 A형 에폭시 수지 및/또는 노볼락형 에폭시 수지를 바람직하게 사용할 수 있다.As the epoxy resin, an epoxy resin similar to that described in the first embodiment described above can be used. In particular, bisphenol A type epoxy resin and/or novolac type epoxy resin can be preferably used.

수지층 (A)에 있어서, 에폭시 수지는, 어떤 배합량이어도 되지만, 수지층 (A)의 고형분량에 대하여, 10 내지 40질량%의 범위가 기준이 되고, 15 내지 30질량%가 되는 것이 바람직하다. 이러한 배합비의 범위로 함으로써, 현상이 양호해지고, 미세 패턴을 용이하고 또한 고정밀도로 형성할 수 있게 된다.In the resin layer (A), the epoxy resin may be mixed in any amount, but the range is 10 to 40% by mass, and is preferably 15 to 30% by mass, relative to the solid content of the resin layer (A). . By setting the mixing ratio within this range, development becomes good and fine patterns can be formed easily and with high precision.

((A4) 광중합 개시제)((A4) Photopolymerization initiator)

광중합 개시제로서는, 상술한 제1 실시 형태에서 설명한 것과 마찬가지 광중합 개시제를 사용할 수 있다. 광중합 개시제로서는, 옥심에스테르기를 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제, α-아미노아세토페논계 광중합 개시제, 아실포스핀옥사이드계 광중합 개시제로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 광중합 개시제를 사용하는 것이 바람직하다.As the photopolymerization initiator, a photopolymerization initiator similar to that described in the first embodiment described above can be used. As a photopolymerization initiator, it is preferable to use at least one type of photopolymerization initiator selected from the group consisting of an oxime ester-based photopolymerization initiator having an oxime ester group, an α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiator, and an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator.

광중합 개시제의 배합량은, 수지층 (A)의 고형분량에 대하여, 0.1질량% 내지 20질량% 인 것이 바람직하고, 1질량% 내지 10질량% 인 것이 보다 바람직하다. 0.1질량% 이상이면 광경화성이 향상되고, 도막의 기판과의 밀착성이 양호하게 됨과 함께, 내약품성 등의 도막 특성도 향상된다. 한편, 20질량% 이하로 함으로써, 아웃 가스의 저감 효과가 얻어진다.The amount of the photopolymerization initiator mixed is preferably 0.1% by mass to 20% by mass, and more preferably 1% by mass to 10% by mass, based on the solid content of the resin layer (A). If it is 0.1% by mass or more, photocurability improves, adhesion of the coating film to the substrate becomes good, and coating film properties such as chemical resistance also improve. On the other hand, by setting it to 20% by mass or less, the effect of reducing outgassing is obtained.

[수지층 (B)][Resin layer (B)]

수지층 (B)를 구성하는 수지 조성물은 이하의 성분을 포함한다.The resin composition constituting the resin layer (B) contains the following components.

((B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지)((B1) Alkali-soluble (meth)acrylate resin)

본 발명에 사용하는 (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지로서는, 분자 중에 카르복실기와 (메타)아크릴로일기, 또한 그의 유도체 유래의 것이 바람직하다. (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지의 구체예로서는, 이하에 열거하는 것 같은 화합물(올리고머 및 폴리머의 어느 것이어도 된다)을 적합하게 사용할 수 있다.The (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin used in the present invention is preferably one derived from a carboxyl group and a (meth)acryloyl group in the molecule, and also a derivative thereof. (B1) As specific examples of the alkali-soluble (meth)acrylate resin, compounds listed below (which may be either oligomers or polymers) can be suitably used.

(1) 지방족 디이소시아네이트, 분지 지방족 디이소시아네이트, 지환식 디이소시아네이트, 방향족 디이소시아네이트 등의 디이소시아네이트와, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비크실레놀형 에폭시 수지, 비페놀형 에폭시 수지 등의 이관능 에폭시 수지의 (메타)아크릴레이트 혹은 그 부분 산 무수물 변성물과, 카르복실기 함유 디 알코올 화합물 및 디올 화합물과의 중부가 반응에 의한 알칼리 가용성의 우레탄계 (메타)아크릴레이트 수지.(1) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanate, branched aliphatic diisocyanate, alicyclic diisocyanate, and aromatic diisocyanate, and bisphenol A-type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A-type epoxy resin, bisphenol F-type epoxy resin, and bisphenol S-type epoxy. Alkali resulting from polyaddition reaction between (meth)acrylates or partial acid anhydride modifications of bifunctional epoxy resins such as resins, bixylenol-type epoxy resins, and biphenol-type epoxy resins, and carboxyl group-containing di-alcohol compounds and diol compounds. Soluble urethane-based (meth)acrylate resin.

(2) 상기 (1)의 수지의 합성 중에, 히드록시알킬 (메타)아크릴레이트 등의 분자 내에 1개의 수산기와 1개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물을 더하고, 말단 (메타)아크릴화한 알칼리 가용성의 우레탄계 (메타)아크릴레이트 수지.(2) During the synthesis of the resin of (1) above, a compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule, such as hydroxyalkyl (meth)acrylate, is added, and the terminal is (meth)acrylated. Alkali-soluble urethane-based (meth)acrylate resin.

(3) 상기 (1)의 수지의 합성 중에, 이소포론디이소시아네이트와 펜타에리트리톨트리아크릴레이트의 등몰 반응물 등, 분자 내에 1개의 이소시아네이트기와 1개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물을 첨가해 말단 (메타)아크릴화한 알칼리 가용성의 우레탄계 (메타)아크릴레이트 수지.(3) During the synthesis of the resin of (1) above, a compound having one isocyanate group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate, is added. Alkali-soluble urethane-based (meth)acrylate resin with (meth)acrylated terminals.

(4) 이관능 또는 그 이상의 다관능 에폭시 수지에 (메타)아크릴산을 반응시켜서, 측쇄에 존재하는 수산기에 이염기산 무수물을 부가시킨 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지.(4) An alkali-soluble (meth)acrylate resin obtained by reacting (meth)acrylic acid with a difunctional or higher multifunctional epoxy resin and adding a dibasic acid anhydride to the hydroxyl group present in the side chain.

(5) 이관능 에폭시 수지의 수산기를 추가로 에피클로로히드린으로 에폭시화한 다관능 에폭시 수지에 (메타)아크릴산을 반응시켜서, 발생한 수산기에 이염기산 무수물을 부가시킨 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지.(5) Alkali-soluble (meth)acrylate obtained by reacting (meth)acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin obtained by adding the hydroxyl group of the difunctional epoxy resin and epoxidizing it with epichlorohydrin, and adding a dibasic acid anhydride to the resulting hydroxyl group. profit.

(6) 1분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌옥시드, 프로필렌옥시드 등의 알킬렌옥사이드를 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 (메타)아크릴산을 반응시켜서, 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지.(6) reacting a compound having multiple phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide, reacting the resulting reaction product with (meth)acrylic acid, and reacting the resulting reaction product with a polybasic acid anhydride. An alkali-soluble (meth)acrylate resin obtained by

(7) 1분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌카르보네이트, 프로필렌카르보네이트 등의 환상 카르보네이트 화합물을 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 (메타)아크릴산을 반응시켜서, 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지.(7) The reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate is reacted with (meth)acrylic acid, and the resulting reaction product is An alkali-soluble (meth)acrylate resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride.

(8) 상기 (1) 내지 (7)의 수지가 추가로 1분자 내에 1개의 에폭시기와 1개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물을 부가해서 이루어지는 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지.(8) An alkali-soluble (meth)acrylate resin obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl groups in one molecule to the resins (1) to (7) above.

또한, 본 명세서에 있어서, (메타)아크릴레이트란, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 그들의 혼합물을 총칭하는 용어로, 다른 유사한 표현에 대해서도 마찬가지이다.In addition, in this specification, (meth)acrylate is a general term for acrylates, methacrylates, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

상기와 같은 (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지는, 백본·폴리머의 측쇄에 다수의 카르복실기를 갖기 때문에, 희알칼리 수용액에 의한 현상이 가능해진다.Since the alkali-soluble (meth)acrylate resin (B1) described above has a large number of carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, development using a dilute aqueous alkali solution is possible.

또한, (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지의 산가는, 40 내지 200mgKOH/g의 범위가 적당하고, 보다 바람직하게는 45 내지 120mgKOH/g의 범위이다. (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지의 산가가 40mgKOH/g 이상이면 알칼리 현상이 양호하게 행해지고, 한편 200mgKOH/g 이하로 함으로써, 현상액에 의한 노광부의 용해는 발생하지 않고, 필요 이상으로 라인이 가늘어지지 않고, 노광부와 미노광부의 구별이 유지되어, 현상액으로 용해 박리 등도 발생하지 않고, 정상적인 레지스트 패턴의 묘화가 행해진다.Additionally, the acid value of the (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin is suitably in the range of 40 to 200 mgKOH/g, and more preferably in the range of 45 to 120 mgKOH/g. (B1) If the acid value of the alkali-soluble (meth)acrylate resin is 40 mgKOH/g or more, alkali development is performed satisfactorily. On the other hand, if it is 200 mgKOH/g or less, dissolution of the exposed area by the developing solution does not occur, and the line is stretched more than necessary. This does not become thinner, the distinction between the exposed and unexposed areas is maintained, and no dissolution or peeling occurs with the developing solution, and a normal resist pattern can be drawn.

또한, (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지의 질량 평균 분자량은, 수지 골격에 따라 다르지만, 일반적으로 1,000 내지 150,000, 나아가 2,000 내지 100,000의 범위에 있는 것이 바람직하다. 질량 평균 분자량이 2,000 이상이면 태크프리 성능이 양호해지고, 노광 후의 도막 내습성이 충분해지고, 현상 시가 설계대로 행해지고, 해상도가 향상된다. 한편, 질량 평균 분자량이 150,000 이하로 됨으로써, 우수한 현상성이 안정적으로 얻어지고, 저장 안정성도 양호해진다.In addition, the mass average molecular weight of the (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin varies depending on the resin skeleton, but is generally preferably in the range of 1,000 to 150,000, and further preferably 2,000 to 100,000. If the mass average molecular weight is 2,000 or more, tack-free performance becomes good, the moisture resistance of the coating film after exposure becomes sufficient, development is performed as designed, and resolution improves. On the other hand, by setting the mass average molecular weight to 150,000 or less, excellent developability is stably obtained and storage stability also becomes good.

이러한 (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지의 배합량은, 수지층 (B)를 구성하는 수지 조성물의 고형분량에 대하여, 20 내지 80질량%, 바람직하게는 30 내지 70질량%의 범위인 것이 적당하다. (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지의 배합량이 20질량% 이상의 경우, 피막 강도가 향상된다. 한편, 80질량% 이하로 함으로써, 조성물의 점도가 양호하게 되어, 도포성이 향상되기 때문에 바람직하다.The compounding amount of this (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin is 20 to 80% by mass, preferably 30 to 70% by mass, based on the solid content of the resin composition constituting the resin layer (B). It is appropriate. (B1) When the compounding amount of alkali-soluble (meth)acrylate resin is 20% by mass or more, film strength improves. On the other hand, setting it to 80% by mass or less is preferable because the viscosity of the composition becomes good and applicability improves.

이들 (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지는, 상기 열거한 것에 한하지 않고 사용할 수 있고, 1종류이거나 복수종 혼합해서도 사용할 수 있다. 특히 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지 중에서 방향환을 갖고 있는 수지는, 굴절률이 높고, 해상성이 우수하므로 바람직하고, 추가로 노볼락 구조를 갖고 있는 것이 해상성뿐만 아니라, PCT나 크랙 내성이 우수하므로 바람직하다. 그 중에서도, (6), (7)과 같이 페놀 화합물을 출발 재료로서 사용하는 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지는 HAST 내성, PCT 내성이 우수하기 때문에 적합하게 사용할 수 있다.These (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resins can be used not limited to those listed above, and can be used alone or in a mixture of multiple types. In particular, among alkali-soluble (meth)acrylate resins, those with aromatic rings are preferable because they have a high refractive index and excellent resolution, and those with an additional novolac structure improve not only resolution but also PCT and crack resistance. It is desirable because it is excellent. Among them, alkali-soluble (meth)acrylate resins using phenolic compounds as starting materials, such as (6) and (7), can be suitably used because they have excellent HAST resistance and PCT resistance.

본 발명에 있어서는, (B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지((B1) 성분)는, 수지층 (A)에 포함되는 상기 (A1) 블록 공중합 수지((A1) 성분) 및 상기 (A2) 광중합성 화합물((A2) 성분)의 적어도 한쪽과 비상용성을 나타낸다고 생각된다. 즉 (A1) 성분, (A2) 성분, (B1) 성분의 혼합물 또는 이들을 포함하는 수지층 (A) 및 (B) 형성용 수지 조성물끼리의 혼합물이, 수지층 (A) 및 수지층 (B)의 계면에서, 비상용의 혼합 상태를 형성하고, 이 결과, 양층의 계면이, 평활성을 상실하고, 요철을 발생시킨다. 이 요철을 갖는 계면에 가시광이 입사하면, 가시광의 난반사가 발생하고, 전자 부품의 회로가 양호하게 은폐된다. 이와 같이 해서 본 발명의 적층체는 양호한 회로 은폐성을 나타내는 것으로 추정된다.In the present invention, (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin ((B1) component) includes the (A1) block copolymer resin ((A1) component) and (A2) contained in the resin layer (A). ) It is thought that it shows incompatibility with at least one of the photopolymerizable compounds (component (A2)). That is, a mixture of component (A1), component (A2), and component (B1) or a mixture of resin compositions for forming resin layers (A) and (B) containing these components is used to form the resin layer (A) and (B). At the interface, an incompatible mixed state is formed, and as a result, the interface between both layers loses smoothness and generates irregularities. When visible light is incident on the interface having this unevenness, diffuse reflection of visible light occurs, and the circuit of the electronic component is well concealed. In this way, it is presumed that the laminate of the present invention exhibits good circuit hiding properties.

기타 수지층 (B)에 포함할 수 있는 임의 성분에 대해서 설명한다.Other optional components that may be included in the resin layer (B) will be explained.

((B2) 에폭시 수지)((B2) Epoxy Resin)

수지층 (B)를 구성하는 수지 조성물은 (B2) 에폭시 수지를 포함하는 것이 바람직하다. (B2) 에폭시 수지로서는, 수지층 (A)의 구성 성분으로서 상술한 (A3) 에폭시 수지와 마찬가지 것이 사용 가능하다. 적층체의 수지층 (A), 수지층 (B)에 사용되는 (A3) 에폭시 수지와 (B2) 에폭시 수지는, 서로 동일 종류의 것이거나, 별도의 종류의 것이어도 된다. 또한, 수지층 (A) 및 수지층 (B)의 어느 것, 또는 양쪽에서 복수 종류의 에폭시 수지를 사용하는 경우에 있어서는, 그 일부를 동일 종류의 에폭시 수지로 해도 된다.It is preferable that the resin composition constituting the resin layer (B) contains (B2) epoxy resin. As the (B2) epoxy resin, one similar to the (A3) epoxy resin described above as a component of the resin layer (A) can be used. The epoxy resin (A3) and the epoxy resin (B2) used in the resin layer (A) and resin layer (B) of the laminate may be of the same type or may be of separate types. Additionally, in the case where multiple types of epoxy resins are used in either or both of the resin layer (A) and the resin layer (B), some of them may be made of the same type of epoxy resin.

수지층 (B)에 있어서의 (B2) 에폭시 수지는, 어떤 배합량이어도 되지만, 수지층 (B)를 구성하는 수지 조성물의 전체 고형분량에 대하여, 10 내지 40질량%의 범위가 기준이 되고, 15 내지 30질량%가 되는 것이 바람직하다.The (B2) epoxy resin in the resin layer (B) may be any compounding amount, but the range of 10 to 40% by mass is the standard, with respect to the total solid content of the resin composition constituting the resin layer (B), and is 15%. It is preferably from 30% by mass.

이러한 배합비의 범위로 함으로써, 현상이 양호해지고, 미세 패턴을 용이하고 또한 고정밀도로 형성할 수 있게 된다.By setting the mixing ratio within this range, development becomes good and fine patterns can be formed easily and with high precision.

[수지층 (A) 및 수지층 (B)의 임의 성분][Arbitrary components of the resin layer (A) and the resin layer (B)]

수지층 (A) 및 수지층 (B)는, 그 외에 임의 성분을 포함하는 것이어도 된다. 수지층 (A) 및 수지층 (B)가 포함할 수 있는 임의 성분으로서는, 상술한 제1 실시 형태에서 설명한 것과 마찬가지 성분을 사용할 수 있다.The resin layer (A) and the resin layer (B) may contain other optional components. As arbitrary components that the resin layer (A) and the resin layer (B) may contain, the same components as those described in the first embodiment described above can be used.

(적층체의 제조 공정)(Manufacturing process of laminate)

본 발명의 제2 실시 형태에 따른 적층체의 제조 공정 및 경화물의 제조 공정으로서는, 상술한 제1 실시 형태에 따른 적층체의 제조 공정 및 경화물의 제조 공정과 마찬가지 공정을 적절히 선택해서 사용할 수 있다.As the manufacturing process of the laminate and the manufacturing process of the cured product according to the second embodiment of the present invention, processes similar to the manufacturing process of the laminate and the manufacturing process of the cured product according to the first embodiment described above can be appropriately selected and used.

본 발명에서는, 도공, 건조 후의 수지층 (B)의 막 두께는, 일반적으로 1 내지 150㎛, 바람직하게는 3 내지 120㎛, 수지층 (A)의 막 두께는 일반적으로 0.5 내지 50㎛, 바람직하게는 2 내지 30㎛가 되고, 양자의 합계 막 두께가 5 내지 150㎛가 되면 된다. 또한, 수지층 (B)의 막 두께가 수지층 (A)의 막 두께보다 큰 것이 바람직하다.In the present invention, the film thickness of the resin layer (B) after coating and drying is generally 1 to 150 μm, preferably 3 to 120 μm, and the film thickness of the resin layer (A) is generally 0.5 to 50 μm, preferably. Preferably, it is 2 to 30 μm, and the total film thickness of both is 5 to 150 μm. Additionally, it is preferable that the film thickness of the resin layer (B) is larger than the film thickness of the resin layer (A).

이상, 상세히 기술한 것 같이 본 발명의 적층체 경화물은, 전자 부품의 절연층으로서의 기계 특성과 양호한 회로의 은폐성을 부여하는 것이다.As described in detail above, the cured laminate of the present invention provides mechanical properties as an insulating layer for electronic components and good circuit hiding properties.

실시예Example

이하에 실시예 및 비교예를 나타내서 본 발명에 대해서 구체적으로 설명하지만, 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 실시예 및 비교예의 「부」,「%」의 값은, 특별한 언급이 없는 한, 질량을 기준으로 한다.The present invention will be described in detail below by showing examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. In addition, the values of “part” and “%” in this Example and Comparative Example are based on mass, unless otherwise specified.

[실시예 1-1 내지 1-7(제1 실시 형태) 및 비교예 1-1 내지 1-6][Examples 1-1 to 1-7 (First Embodiment) and Comparative Examples 1-1 to 1-6]

1. 수지 성분의 합성1. Synthesis of resin components

(합성예 1-1: 카르복실기를 갖는 폴리아미드이미드 수지 용액 (수지 1-1))(Synthesis Example 1-1: Polyamideimide resin solution having a carboxyl group (Resin 1-1))

질소 가스 도입관, 온도계, 교반기를 구비한 4구의 300mL 플라스크에, 다이머 디아민 (a)로서의 탄소수 36의 다이머산에서 유래하는 지방족 디아민(크로다 재팬사 제조, 제품명 PRIAMINE1075) 29.49g(0.054mol), 카르복실기 함유 디아민 (b)로서의 3,5-디아미노벤조산 4.02g(0.026mol), γ-부티로락톤 73.5g을 실온에서 투입하고 용해했다.In a four-necked 300 mL flask equipped with a nitrogen gas introduction tube, thermometer, and stirrer, 29.49 g (0.054 mol) of aliphatic diamine derived from dimer acid with 36 carbon atoms as dimer diamine (a) (manufactured by Croda Japan, product name PRIAMINE1075), 4.02 g (0.026 mol) of 3,5-diaminobenzoic acid and 73.5 g of γ-butyrolactone as carboxyl group-containing diamine (b) were added and dissolved at room temperature.

이어서, 시클로헥산-1,2,4-트리카르복실산 무수물 (c) 31.71g(0.160mol), 무수 트리멜리트산(d) 1.54g(0.008mol)을 투입하고, 실온에서 30분 유지했다. 또한 톨루엔 30g을 투입하고, 160℃까지 승온하여, 톨루엔과 함께 생성하는 물을 제거한 후, 3시간 유지하고, 실온까지 냉각함으로써 이미드화물을 함유하는 용액을 얻었다.Next, 31.71 g (0.160 mol) of cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic anhydride (c) and 1.54 g (0.008 mol) of trimellitic anhydride (d) were added, and kept at room temperature for 30 minutes. Additionally, 30 g of toluene was added, the temperature was raised to 160°C, the water generated along with the toluene was removed, the solution was maintained for 3 hours, and the solution was cooled to room temperature to obtain a solution containing the imidide.

얻어진 이미드화물을 함유하는 용액에, 디이소시아네이트 화합물 (e)로서의, 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트 6.90g(0.033mol) 및 디시클로헥실메탄디이소시아네이트 8.61g(0.033mol)을 투입하고, 160℃의 온도에서 32시간 유지하여, 시클로헥사논 36.8g으로 희석함으로써 폴리아미드이미드 수지를 함유하는 용액 (A-2)를 얻었다. 얻어진 폴리아미드이미드 수지의 질량 평균 분자량 Mw는 5840, 고형분은 40.4질량%, 산가는 62mgKOH/g, 다이머 디아민 (a)의 함유량은 40.1질량%였다.6.90 g (0.033 mol) of trimethylhexamethylene diisocyanate and 8.61 g (0.033 mol) of dicyclohexylmethane diisocyanate as diisocyanate compound (e) were added to the solution containing the obtained imidized product, and the temperature was 160°C. was maintained for 32 hours and diluted with 36.8 g of cyclohexanone to obtain a solution (A-2) containing polyamidoimide resin. The mass average molecular weight Mw of the obtained polyamidoimide resin was 5840, the solid content was 40.4 mass%, the acid value was 62 mgKOH/g, and the content of dimer diamine (a) was 40.1 mass%.

(합성예 1-2: 페놀성 수산기 및 카르복실기를 갖는 폴리이미드 수지 (수지 1-2) 용액의 합성)(Synthesis Example 1-2: Synthesis of polyimide resin (resin 1-2) solution having phenolic hydroxyl group and carboxyl group)

교반기, 질소 도입관, 분류환, 냉각환을 설치한 세퍼러블 3구 플라스크에, 3,3'-디아미노-4,4'-디히드록시디페닐술폰 22.4g, 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판을 8.2g, NMP를 30g, γ-부티로락톤을 30g, 4,4'-옥시디프탈산 무수물을 27.9g, 트리멜리트산 무수물을 3.8g 더하고, 질소 분위기 하에서, 실온, 100rpm으로 4시간 교반했다. 이어서 톨루엔을 20g 더하고, 실리콘욕 온도 180℃, 150rpm으로 톨루엔 및 물을 증류 제거하면서 4시간 교반하고, 페놀성 수산기 및 카르복실기를 갖는 폴리이미드 수지 용액 (수지 1-2)를 얻었다. 얻어진 수지(고형분)의 산가는 18mgKOH/g, Mw는 10,000, 수산기 당량은 390이었다.In a separable three-necked flask equipped with a stirrer, nitrogen introduction tube, dividing ring, and cooling ring, 22.4 g of 3,3'-diamino-4,4'-dihydroxydiphenylsulfone, 2,2'-bis[ Add 8.2 g of 4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 30 g of NMP, 30 g of γ-butyrolactone, 27.9 g of 4,4'-oxydiphthalic anhydride, and 3.8 g of trimellitic anhydride; Under a nitrogen atmosphere, the mixture was stirred at room temperature and 100 rpm for 4 hours. Next, 20 g of toluene was added, and the mixture was stirred for 4 hours at a silicone bath temperature of 180°C and 150 rpm while distilling off toluene and water to obtain a polyimide resin solution (resin 1-2) having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group. The acid value of the obtained resin (solid content) was 18 mgKOH/g, Mw was 10,000, and the hydroxyl equivalent was 390.

(합성예 1-3: 비스페놀 F형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지 (수지 1-3)의 합성)(Synthesis Example 1-3: Synthesis of carboxyl group-containing resin (Resin 1-3) having a bisphenol F-type skeleton)

하기 일반식 (I)에 있어서 X가 CH2, 평균의 중합도 n이 6.2인 비스페놀 F형 에폭시 수지(에폭시 당량 950g/eq, 연화점 85℃) 380부와 에피클로로히드린 925부를 디메틸술폭시드 462.5부에 용해시킨 후, 교반 하 70℃에서 98.5% NaOH 60.9부를 100분에 걸쳐 첨가했다.In the general formula ( I ) below, After dissolving in , 60.9 parts of 98.5% NaOH was added over 100 minutes at 70°C while stirring.

상기의 첨가 후 추가로 70℃에서 3시간 반응을 행하였다. 반응 종료 후, 물 250부를 더하여 수세를 행하였다. 유수 분리 후, 유층으로부터 디메틸술폭시드의 대부분 및 과잉의 미반응 에피클로로히드린을 감압 하에 증류 회수하고, 잔류한 부제염과 디메틸술폭시드를 포함하는 반응 생성물을 메틸이소부틸케톤 750부에 용해시키고, 30% NaOH 10부를 더 더하고, 70℃에서 1시간 반응시켰다. 반응 종료 후, 물 200부로 2회 수세를 행하였다. 유수 분리 후, 유층으로부터 메틸이소부틸케톤을 증류 회수하여, 에폭시 당량 310g/eq, 연화점 69℃의 에폭시 수지 (a1)을 얻었다. 얻어진 에폭시 수지 (a1)은, 에폭시 당량으로부터 계산하면, 상기 출발 물질 비스페놀 F형 에폭시 수지에 있어서의 알코올성 수산기 6.2개 중 약 5개가 에폭시화된 것이었다. 이 에폭시 수지 (a1) 310부 및 카르비톨 아세테이트 282부를 플라스크에 투입하고, 90℃로 가열·교반하고, 용해했다. 얻어진 용액을 일단 60℃까지 냉각하고, 아크릴산 72부(1몰), 메틸하이드로퀴논 0.5부, 트리페닐포스핀 2부를 더하고, 100℃로 가열하고, 약 60시간 반응시켜서, 산가가 0.2mgKOH/g의 반응물을 얻었다. 여기에 테트라히드로 무수 프탈산 140부(0.92몰)를 더하고, 90℃로 가열하고, 반응을 행하고, 카르복실기 함유 수지 (수지 1-3)을 얻었다. 얻어진 카르복실기 함유 수지 바니시의 고형분 농도는 62질량%, 고형분 산가(mgKOH/g)는 100이었다.After the above addition, the reaction was further performed at 70°C for 3 hours. After completion of the reaction, 250 parts of water were added and washing was performed. After oil-water separation, most of the dimethyl sulfoxide and excess unreacted epichlorohydrin were distilled and recovered from the oil layer under reduced pressure, and the reaction product containing the remaining subsalt and dimethyl sulfoxide was dissolved in 750 parts of methyl isobutyl ketone. , 10 more parts of 30% NaOH were added and reacted at 70°C for 1 hour. After completion of the reaction, it was washed twice with 200 parts of water. After oil-water separation, methyl isobutyl ketone was distilled and recovered from the oil layer to obtain epoxy resin (a1) with an epoxy equivalent weight of 310 g/eq and a softening point of 69°C. As for the obtained epoxy resin (a1), when calculated from the epoxy equivalent weight, about 5 out of 6.2 alcoholic hydroxyl groups in the starting material bisphenol F-type epoxy resin were epoxidized. 310 parts of this epoxy resin (a1) and 282 parts of carbitol acetate were added to a flask, heated and stirred at 90°C, and dissolved. The obtained solution was once cooled to 60°C, 72 parts (1 mole) of acrylic acid, 0.5 parts of methylhydroquinone, and 2 parts of triphenylphosphine were added, heated to 100°C, and reacted for about 60 hours to obtain an acid value of 0.2 mgKOH/g. The reactant was obtained. 140 parts (0.92 mol) of tetrahydrophthalic anhydride were added thereto, heated to 90°C, reaction was performed, and carboxyl group-containing resin (Resin 1-3) was obtained. The solid content concentration of the obtained carboxyl group-containing resin varnish was 62% by mass, and the solid acid value (mgKOH/g) was 100.

(합성예 1-4: 비스페놀 A형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지 (수지 1-4)의 합성)(Synthesis Example 1-4: Synthesis of carboxyl group-containing resin (Resin 1-4) having a bisphenol A-type skeleton)

상술한 일반식 (I)에 있어서 X가 C(CH3)2, 평균의 중합도 n이 3.3인 비스페놀 A형 에폭시 수지(에폭시 당량 650g/eq, 연화점 81.1℃) 371부와 에피클로로히드린925부를 디메틸술폭시드 462.5부에 용해시킨 후, 교반 하 70℃에서 98.5% NaOH 52.8부를 100분에 걸쳐 첨가했다. 첨가 후 추가로 70℃에서 3시간 반응을 행하였다. 반응 종료 후, 물 250부를 더하여 수세를 행하였다. 유수 분리 후, 유층으로부터 디메틸술폭시드의 대부분 및 과잉의 미반응 에피클로로히드린을 감압 하에 증류 회수하고, 잔류한 부제염과 디메틸술폭시드를 포함하는 반응 생성물을 메틸이소부틸케톤 750부에 용해시키고, 30% NaOH 10부를 더 더하고, 70℃에서 1시간 반응시켰다. 반응 종료 후, 물 200부로 2회 수세를 행하였다. 유수 분리 후, 유층으로부터 메틸이소부틸케톤을 증류 회수하여, 에폭시 당량 287g/eq, 연화점 64.2℃의 에폭시 수지 (a2)를 얻었다. 얻어진 에폭시 수지 (a2)는 에폭시 당량으로부터 계산하면, 상기 출발 물질 비스페놀 A형 에폭시 수지에 있어서의 알코올성 수산기 3.3개 중 약 3.1개가 에폭시화된 것이었다. 이 에폭시 수지 (a2) 310부 및 카르비톨 아세테이트 282부를 플라스크에 투입하고, 90℃로 가열·교반하고, 용해했다. 얻어진 용액을 일단 60℃까지 냉각하고, 아크릴산 72부(1몰), 메틸하이드로퀴논 0.5부, 트리페닐포스핀 2부를 더하고, 100℃로 가열하고, 약 60시간 반응시켜서, 산가가 0.2mgKOH/g의 반응물을 얻었다. 여기에 테트라히드로 무수 프탈산 140부(0.92몰)를 더하여, 90℃로 가열하고, 반응을 행하여, 카르복실기 함유 수지 (수지 1-4)를 얻었다. 얻어진 카르복실기 함유 수지 바니시의 고형분 농도는 62질량%, 고형분 산가(mgKOH/g)는 100이었다.In the general formula ( I ) described above , 371 parts of bisphenol A-type epoxy resin (epoxy equivalent weight 650 g/eq, softening point 81.1°C) where After dissolving 462.5 parts of dimethyl sulfoxide, 52.8 parts of 98.5% NaOH was added over 100 minutes at 70°C while stirring. After addition, reaction was further performed at 70°C for 3 hours. After completion of the reaction, 250 parts of water were added and washing was performed. After oil-water separation, most of the dimethyl sulfoxide and excess unreacted epichlorohydrin were distilled and recovered from the oil layer under reduced pressure, and the reaction product containing the remaining subsalt and dimethyl sulfoxide was dissolved in 750 parts of methyl isobutyl ketone. , 10 more parts of 30% NaOH were added and reacted at 70°C for 1 hour. After completion of the reaction, it was washed twice with 200 parts of water. After oil-water separation, methyl isobutyl ketone was distilled and recovered from the oil layer to obtain epoxy resin (a2) with an epoxy equivalent weight of 287 g/eq and a softening point of 64.2°C. When calculating from the epoxy equivalent weight of the obtained epoxy resin (a2), about 3.1 of the 3.3 alcoholic hydroxyl groups in the starting material bisphenol A type epoxy resin were epoxidized. 310 parts of this epoxy resin (a2) and 282 parts of carbitol acetate were added to a flask, heated and stirred at 90°C, and dissolved. The obtained solution was once cooled to 60°C, 72 parts (1 mole) of acrylic acid, 0.5 parts of methylhydroquinone, and 2 parts of triphenylphosphine were added, heated to 100°C, and reacted for about 60 hours to obtain an acid value of 0.2 mgKOH/g. The reactant was obtained. 140 parts (0.92 mol) of tetrahydrophthalic anhydride were added thereto, heated to 90°C, reaction was performed, and carboxyl group-containing resin (Resin 1-4) was obtained. The solid content concentration of the obtained carboxyl group-containing resin varnish was 62% by mass, and the solid acid value (mgKOH/g) was 100.

(합성예 1-5: 에틸렌성 이중 결합 및 카르복실기를 겸비하는 감광성 수지 (수지 1-5)의 합성)(Synthesis Example 1-5: Synthesis of photosensitive resin (Resin 1-5) having both an ethylenic double bond and a carboxyl group)

크레졸노볼락형 에폭시 수지(DIC 가부시키가이샤제, EPICLON N-695, 에폭시 당량: 220) 220부를 교반기 및 환류 냉각기가 있는 4구 플라스크로 넣고, 카르비톨 아세테이트 214부를 더하고, 가열 용해했다. 이어서, 중합 금지제로서 하이드로퀴논 0.1부와, 반응 촉매로서 디메틸벤질아민 2.0부를 첨가했다. 이 혼합물을 95 내지 105℃로 가열하고, 아크릴산 72부를 서서히 적하하고, 16시간 반응시켰다. 이 반응 생성물을 80 내지 90℃까지 냉각하고, 테트라히드로프탈산 무수물 106부를 더하고, 8시간 반응시켜서, 냉각 후, 취출했다.220 parts of cresol novolak-type epoxy resin (DIC Co., Ltd., EPICLON N-695, epoxy equivalent: 220) were placed in a four-necked flask equipped with a stirrer and reflux condenser, and 214 parts of carbitol acetate were added and heated to dissolve. Next, 0.1 part of hydroquinone as a polymerization inhibitor and 2.0 parts of dimethylbenzylamine as a reaction catalyst were added. This mixture was heated to 95 to 105°C, 72 parts of acrylic acid was gradually added dropwise, and reaction was carried out for 16 hours. This reaction product was cooled to 80 to 90°C, 106 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added, it was made to react for 8 hours, and it was taken out after cooling.

이와 같이 해서 얻어진 에틸렌성 이중 결합 및 카르복실기를 겸비하는 감광성 수지 (수지 1-5)는 불휘발분 65%, 고형물의 산가 100mgKOH/g, 질량 평균 분자량 Mw는 약 3,500이었다.The photosensitive resin (Resin 1-5) having both an ethylenic double bond and a carboxyl group obtained in this way had a non-volatile content of 65%, a solid acid value of 100 mgKOH/g, and a mass average molecular weight Mw of about 3,500.

(합성예 1-6: 테트라히드로 무수 프탈산 부가 멜라민의 합성)(Synthesis Example 1-6: Synthesis of tetrahydrophthalic anhydride-added melamine)

2리터의 비이커에 이온 교환수 800밀리리터를 넣고, 그 안에 교반자를 넣고, 핫 플레이트를 갖는 교반기 상에서 교반하면서 비등시켰다. 이 열수에, 멜라민 12.6g을 더하여 완전 용해시켰다. 또한, 1리터의 비이커에 이온 교환수 500밀리리터를 넣고, 그 안에 교반자를 넣고, 핫 플레이트를 갖는 교반기 상에서 교반하면서 비등시켰다. 이 열수에, 테트라히드로프탈산 무수물 15.2g을 더하고, 1시간 가열 교반하고, 테트라히드로프탈산의 수용액을 얻었다. 이 수용액을 상기 멜라민 수용액에 더하여, 교반했다. 이 혼합액을, 빙수로 냉각하면, 결정이 석출했다. 이 결정을 여과 분리 후, 진공 건조기로 건조시키고, 멜라민 화합물을 얻었다.800 milliliters of ion-exchanged water was placed in a 2-liter beaker, a stirrer was placed in it, and the mixture was boiled while stirring on a stirrer with a hot plate. To this hot water, 12.6 g of melamine was added and completely dissolved. Additionally, 500 milliliters of ion-exchanged water was placed in a 1-liter beaker, a stirrer was placed in it, and the mixture was boiled while stirring on a stirrer with a hot plate. To this hot water, 15.2 g of tetrahydrophthalic anhydride was added, heated and stirred for 1 hour, and an aqueous solution of tetrahydrophthalic acid was obtained. This aqueous solution was added to the melamine aqueous solution and stirred. When this liquid mixture was cooled with ice water, crystals precipitated. This crystal was separated by filtration and then dried with a vacuum dryer to obtain a melamine compound.

2. 감광성 수지 조성물 a 내지 f의 조제2. Preparation of photosensitive resin compositions a to f

상기 합성예에 의해 얻어진 수지 1-1 내지 1-5 및 이외의 성분을, 하기 표 1에 나타내는 조성으로 배합하고, 각 성분을 교반기로 예비 혼합한 후, 3개 롤 밀로 혼련하고, 감광성 수지 조성물 a 내지 f를 조제했다. 수지 1-1 내지 1-5 이외의 성분의 상세는 표 1의 아래에 기재했다.Resins 1-1 to 1-5 obtained by the above synthesis examples and other components were mixed in the composition shown in Table 1 below, each component was premixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to obtain a photosensitive resin composition. a to f were prepared. Details of components other than Resins 1-1 to 1-5 are listed below in Table 1.

Figure pct00008
Figure pct00008

* 상기 표 1 중의 각 성분의 비율은 고형분에 의한다.* The ratio of each component in Table 1 above is based on solid content.

[알칼리 가용성 수지][Alkali-soluble resin]

수지 1-1: 합성예 1에 의해 조제(카르복실기를 갖는 폴리아미드이미드 수지)Resin 1-1: prepared according to Synthesis Example 1 (polyamidoimide resin having a carboxyl group)

수지 1-2: 합성예 1-2에 의해 조제(페놀성 수산기 및 카르복실기를 갖는 폴리이미드 수지)Resin 1-2: prepared according to Synthesis Example 1-2 (polyimide resin having phenolic hydroxyl group and carboxyl group)

수지 1-3: 합성예 1-3에 의해 조제(비스페놀 F형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지)Resin 1-3: prepared according to Synthesis Example 1-3 (carboxyl group-containing resin having a bisphenol F-type skeleton)

수지 1-4: 합성예 1-4에 의해 조제(비스페놀 A형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지)Resin 1-4: prepared according to Synthesis Example 1-4 (carboxyl group-containing resin having a bisphenol A type skeleton)

수지 1-5: 합성예 1-5에 의해 조제(에틸렌성 이중 결합 및 카르복실기를 겸비하는 감광성 수지)Resin 1-5: prepared according to Synthesis Example 1-5 (photosensitive resin having both an ethylenic double bond and a carboxyl group)

[지방산아미드]·닛카아마이드S: N-스테아릴스테아르산아미드(미쓰비시 케미컬 가부시키가이샤)[Fatty acid amide] Nikka amide S: N-stearyl stearic acid amide (Mitsubishi Chemical Co., Ltd.)

·닛카아마이드 OS: N-올레일스테아르산아미드(미쓰비시 케미컬 가부시키가이샤)Nikkaamide OS: N-oleylstearic acid amide (Mitsubishi Chemical Co., Ltd.)

[광중합 개시제][Photopolymerization initiator]

·IRGACURE OXE02: 옥심계 광중합 개시제(BASF 재팬 가부시키가이샤제)・IRGACURE OXE02: Oxime-based photopolymerization initiator (manufactured by BASF Japan Co., Ltd.)

[광중합성 화합물][Photopolymerizable compound]

·KRM8296: 3관능 우레탄아크릴레이트(다이셀·올넥스 가부시키가이샤제)·KRM8296: Trifunctional urethane acrylate (made by Daicel/Allnex Co., Ltd.)

·DPHA: 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트(닛폰 가야쿠 가부시키가이샤제)DPHA: Dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

[열경화성 수지][Thermosetting resin]

·YDF-2004: 비스페놀 F형 에폭시 수지(닛테츠 케미컬 & 머티리얼 가부시키가이샤제)YDF-2004: Bisphenol F-type epoxy resin (manufactured by Nittetsu Chemical & Materials Co., Ltd.)

·EPICLON 860: 비스페놀 A형 에폭시 수지(DIC 가부시키가이샤제)・EPICLON 860: Bisphenol A type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation)

·YDC-1312: 2,5-t-부틸히드로퀴논형 에폭시 수지(닛테츠 케미컬 & 머티리얼 가부시키가이샤제)YDC-1312: 2,5-t-butylhydroquinone type epoxy resin (manufactured by Nittetsu Chemical & Materials Co., Ltd.)

·N-655: 크레졸노볼락형 에폭시 수지(DIC 가부시키가이샤제)・N-655: Cresol novolac type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation)

·TEPIC-S: 트리글리시딜이소시아누레이트(닛산 가가꾸 가부시키가이샤제)・TEPIC-S: Triglycidyl isocyanurate (manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.)

[열경화 촉매][Thermal curing catalyst]

·THPA 멜라민: 테트라히드로 무수 프탈산 부가 멜라민(합성예 1-6에 의해 조제)THPA melamine: tetrahydrophthalic anhydride added melamine (prepared by Synthesis Example 1-6)

[체질 안료][Constitutional pigment]

·바리에이스 B-31: 황산바륨(사까이 가가꾸 고교 가부시키가이샤제)・Variace B-31: Barium sulfate (manufactured by Sakai Chemical High School Co., Ltd.)

3. 시험 기판의 제작3. Fabrication of test board

3-1. 드라이 필름의 제작3-1. Production of dry film

감광성 수지 조성물 a 내지 f를, 유기 용제 MEK로, 동일 점도로 조정했다. 하기의 표 2 및 표 3의 수지층 (A)로서 기재한 수지 조성물을, 표 2 및 3에 기재한 제1 필름(재질: 폴리에틸렌테레프탈레이트 두께: 25㎛, 표면 조도(Ra): 0.03㎛ 또는 0.3㎛) 상에, 건조 후의 막 두께가 동일 표에 기재된 막 두께가 되도록 도포하고, 열풍 순환식 건조로를 사용해서 90℃에서 15분 건조시켰다. 이어서, 상기의 건조시킨 수지층 (A) 상에, 표 2 및 표 3의 수지층 (B)로서 기재한 수지 조성물을 건조 후의 막 두께가 동일 표에 기재된 막 두께가 되도록 도포하고, 80℃에서 30분 건조시켰다. 이에 의해, 제1 필름 상에, 수지층 (A) 및 수지층 (B)를 차례로 갖는 적층체가 얻어졌다. 이어서, 수지층 (B) 상에, 제2 필름으로서 연신 폴리프로필렌 필름을 맞대어 붙이고, 각 실시예 및 비교예의 드라이 필름으로 하였다. 또한, 비교예 1-1 내지 1-3과 같이 단층의 경우에는 상기, 수지층 (A)만을 도포한 후에, 수지층 (A) 상에 제2 필름을 맞대어 붙이고, 드라이 필름으로 하였다.The photosensitive resin compositions a to f were adjusted to the same viscosity using the organic solvent MEK. The resin composition described as the resin layer (A) in Tables 2 and 3 below was applied to the first film (material: polyethylene terephthalate, thickness: 25 μm, surface roughness (Ra): 0.03 μm, or 0.3 µm), and dried at 90°C for 15 minutes using a hot air circulation type drying furnace. Next, on the dried resin layer (A), the resin composition described as the resin layer (B) in Tables 2 and 3 was applied so that the film thickness after drying was the film thickness shown in the same table, and the resin composition was applied at 80°C. It was dried for 30 minutes. As a result, a laminate having the resin layer (A) and the resin layer (B) in that order on the first film was obtained. Next, a stretched polypropylene film was pasted as a second film on the resin layer (B), and it was used as a dry film for each Example and Comparative Example. In addition, in the case of a single layer as in Comparative Examples 1-1 to 1-3, after only the resin layer (A) was applied, a second film was pasted on the resin layer (A) to form a dry film.

또한, 비교예 1-2에 대해서는, 제1 필름으로서, 매트 PET(PTHA-25, 유니티카 가부시키가이샤제, 표면 조도 Ra: 0.3㎛)를 사용하고 있기 때문에, 매트 PET의 요철이 수지층 (A)에 전사되고, 그 결과, 수지층 (A)는 물리적으로 조면화된 표면을 갖게 된다.In addition, for Comparative Example 1-2, since mat PET (PTHA-25, manufactured by Unitica Corporation, surface roughness Ra: 0.3 μm) was used as the first film, the unevenness of the mat PET was affected by the resin layer ( A), and as a result, the resin layer (A) has a physically roughened surface.

3-2. 제1, 제2 그로스값 측정용 기판의 제작3-2. Production of first and second gross value measurement boards

상기에서 제작한 드라이 필름의 제2 필름을 박리한 후에, 진공 라미네이터(CVP-300: 닛코 머티리얼사제)를 사용해서 80℃의 제1 챔버로 진공압 3hPa, 배큐엄 시간 30초의 조건 하에서 라미네이트한 후, 프레스압 0.5㎫, 프레스 시간 30초의 조건에서 프레스를 행하여, 프린트 배선판 상에 수지층 (B)가 프린트 배선판 상에 접촉하도록 접합하여, 제1, 제2 그로스값 측정용 기판을 제작했다.After peeling off the second film of the dry film produced above, it was laminated in a first chamber at 80°C using a vacuum laminator (CVP-300: manufactured by Nikko Materials) under the conditions of a vacuum pressure of 3 hPa and a vacuum time of 30 seconds. , pressing was performed under the conditions of a press pressure of 0.5 MPa and a press time of 30 seconds, and the resin layer (B) was bonded to the printed wiring board so that it was in contact with the printed wiring board to produce first and second gross value measurement boards.

상기와 같이 얻어진 제1, 제2 그로스값 측정용 기판을 오크사제의 감압 밀착형 양면 노광기(형식 번호 ORC HMW 680GW)를 사용하여, 적산 노광량 250mJ/㎠의 조건에서, 수지층 (A)측으로부터 자외선을 조사했다(노광 공정). 이어서, 각각 수지층 (A)측에 마련된 제1 필름을 제거하고, 그 후에 수지층 (A)의 외표면에 대해서 측정한 그로스값의 값을 제1 그로스값으로 하였다.The first and second gross value measurement substrates obtained as described above were exposed from the resin layer (A) side using a pressure-sensitive adhesive double-sided exposure machine (model number ORC HMW 680GW) manufactured by Oak, under conditions of an integrated exposure dose of 250 mJ/cm2. Ultraviolet rays were irradiated (exposure process). Next, the first film provided on each side of the resin layer (A) was removed, and the value of the gloss value measured for the outer surface of the resin layer (A) thereafter was used as the first gross value.

상기 제1 필름을 제거한 후에, 150℃에서 60분으로 열경화하고, 수지층 (A)의 외표면에 대해서 측정한 그로스값을 제2 그로스값으로 하였다.After removing the first film, it was heat-cured at 150°C for 60 minutes, and the gloss value measured for the outer surface of the resin layer (A) was used as the second gross value.

또한 이 시험 기판을 진공 프레스기 KVHC-PRESS(기타가와 세이키제)로 압력 3㎫, 온도 170℃에서 30분의 프레스를 실시했다(열 프레스 공정). 이 열 프레스 공정 후의 적층체를, 추가로 260℃, 10분에서 재가열했다(재가열 공정).Additionally, this test board was pressed using a vacuum press machine KVHC-PRESS (manufactured by Kitagawa Seiki) at a pressure of 3 MPa and a temperature of 170°C for 30 minutes (heat press process). The laminate after this heat press process was further reheated at 260°C for 10 minutes (reheating process).

3-3. 제3 그로스값 측정용 기판의 제작3-3. Production of the third gross value measurement board

상기에서 제작한 드라이 필름의 제1 필름을 박리한 후에, 진공 라미네이터를 사용하여, 프린트 배선판 상에 수지층 (A)가 프린트 배선판 상에 접촉하도록 접합하고, 제3 그로스값 측정용 기판을 제작했다. 또한, 비교예 1-1 내지 1-3의 단층 드라이 필름에 대해서는 제1 필름을 박리한 후에, 수지층 (A)의 제1 필름측의 표면이 프린트 배선판에 접촉하도록 맞대어 붙여서 제작한다.After peeling off the first film of the dry film produced above, using a vacuum laminator, it was bonded to a printed wiring board so that the resin layer (A) was in contact with the printed wiring board, and a third gross value measurement board was produced. . In addition, the single-layer dry films of Comparative Examples 1-1 to 1-3 are produced by peeling off the first film and then sticking them so that the surface of the resin layer (A) on the first film side is in contact with the printed wiring board.

상기와 같이 얻어진 제3 그로스값 측정용 기판을 오크사제의 감압 밀착형 양면 노광기(형식 번호 ORC HMW 680GW)를 사용하여, 적산 노광량 250mJ/㎠의 조건에서, 수지층 B측으로부터 자외선을 조사했다(노광 공정). 이어서, 각각 수지층 (B)측에 마련된 제2 필름을 제거하고, 150℃에서 60분으로 열경화하고, 수지층 (B)의 외표면에 대해서 측정한 그로스값을 제3 그로스값으로 하였다.The third substrate for gross value measurement obtained as above was irradiated with ultraviolet rays from the resin layer B side under conditions of an integrated exposure dose of 250 mJ/cm2 using a reduced-pressure contact type double-sided exposure machine (model number ORC HMW 680GW) manufactured by Oak Corporation (model number ORC HMW 680GW). exposure process). Next, the second film provided on each side of the resin layer (B) was removed, heat cured at 150°C for 60 minutes, and the gloss value measured for the outer surface of the resin layer (B) was used as the third gross value.

4. 그로스값의 측정4. Measurement of gross value

각 측정용 기판의 제1, 제2, 제3 그로스값 및 상기 열 프레스 공정, 재가열 공정 후의 수지층 (A)의 외표면의 그로스값을, 광택도계 「micro-TRI-gloss」(BYK Additives & Instruments사제)를 사용하여, 입사각 60°에서 측정했다. 측정 결과를 표 2 및 표 3에 나타낸다.The first, second and third gloss values of each measurement substrate and the gloss value of the outer surface of the resin layer (A) after the heat press process and reheating process were measured using a gloss meter "micro-TRI-gloss" (BYK Additives & Measured at an incident angle of 60° using an instrument manufactured by Instruments. The measurement results are shown in Tables 2 and 3.

5. 그로스값의 평가5. Evaluation of gross value

상기의 측정 결과를 바탕으로, 상기 처리에 의해 완전히 경화한 시험 기판의 수지층 (A) 표면의 그로스값을 매트한 질감의 외관을 평가하는 것으로서 종합 평가했다. 그로스값 종합 평가의 기준은 이하와 같다.Based on the above measurement results, the gross value of the surface of the resin layer (A) of the test board completely cured by the above treatment was comprehensively evaluated by evaluating the appearance of the matte texture. The standards for comprehensive evaluation of gross values are as follows.

◎: 열 프레스후, 재가열함으로써 다시 그로스값이 30 이하가 된다.◎: After heat pressing, the gross value becomes 30 or less again by reheating.

×: 재가열후에 있어서도 그로스값이 30 초과가 된다.×: The gross value exceeds 30 even after reheating.

결과를 표 2 및 3에 합쳐서 기재한다.The results are combined and reported in Tables 2 and 3.

6. 땜납 내열성 평가6. Solder heat resistance evaluation

제2 그로스값의 측정을 행하는 열경화 후의 기판에 로진계 플럭스를 도포하고, 미리 260℃ 및 280℃로 설정한 땜납조에 10초 침지하고, 경화 도막의 들뜸, 팽창, 박리의 발생에 대해서 평가했다. 평가 기준은 하기와 같다.A rosin-based flux was applied to the heat-cured substrate on which the second gross value was measured, immersed in a soldering tank previously set at 260°C and 280°C for 10 seconds, and the occurrence of lifting, expansion, and peeling of the cured coating film was evaluated. . The evaluation criteria are as follows.

◎: 260℃ 및 280℃의 어느 침지에서도 들뜸, 팽창, 박리의 발생이 없었다.◎: No lifting, swelling, or peeling occurred in either immersion at 260°C or 280°C.

○: 260℃의 침지에서는 들뜸, 팽창, 박리의 발생이 없지만, 280℃의 침지에서 들뜸, 팽창, 박리가 발생했다.○: When immersed at 260°C, no lifting, swelling, or peeling occurred, but when immersed at 280°C, lifting, swelling, or peeling occurred.

×: 260℃ 및 280℃의 어느 침지에서도 들뜸, 박리가 발생했다.×: Floating and peeling occurred in both immersion at 260°C and 280°C.

7. 파단 강도 평가7. Breaking strength evaluation

제2 그로스값의 측정을 행하는 열경화 후의 기판으로부터, 경화한 수지층을 박리하고, 이것을 파단 강도 평가가 시험편으로 하였다. 이 시험편에 대해서, JIS K7127에 준거해서 파단 강도를 측정하고, 평가했다. 평가 기준은 이하와 같다.The cured resin layer was peeled off from the heat-cured substrate on which the second gross value was measured, and this was used as a test piece for evaluation of breaking strength. About this test piece, the breaking strength was measured and evaluated based on JIS K7127. The evaluation criteria are as follows.

◎: 40㎫ 이상◎: 40 MPa or more

○: 30㎫ 이상, 40㎫ 미만○: 30 MPa or more, less than 40 MPa

×: 30㎫ 미만 ×: Less than 30 MPa

8. 표면 경도(연필 경도) 평가8. Surface hardness (pencil hardness) evaluation

제2 그로스값의 측정을 행하는 열경화 후의 기판으로부터, 경화한 수지층을 박리하고, 이것을 표면 경도 평가가 시험편으로 하였다. 시험편의 경화 도막을 JIS K 5600-5-4:1999의 시험 방법에 따라서 시험하고, 도막에 흠집이 생기지 않는 가장 높은 경도를 측정했다.The cured resin layer was peeled off from the heat-cured substrate on which the second gross value was measured, and this was used as a test piece for surface hardness evaluation. The cured coating film of the test piece was tested according to the test method of JIS K 5600-5-4:1999, and the highest hardness at which no scratches occurred in the coating film was measured.

9. 회로 은폐성 평가9. Circuit concealment evaluation

상기 땜납 내열성의 평가 방법으로 사용한 평가 시험편과 같은 평가 시험편을 사용하여, 30㎝의 거리로부터 눈으로 보아 관찰하고, 회로 은폐성을 평가했다. 평가 기준은 이하와 같다.Using the same evaluation test piece as the evaluation test piece used in the above solder heat resistance evaluation method, the circuit concealability was evaluated by visual observation from a distance of 30 cm. The evaluation criteria are as follows.

◎: 회로를 시인할 수 없다.◎: The circuit cannot be recognized.

○: 회로의 일부를 시인할 수 있다.○: Part of the circuit can be recognized.

×: 회로를 명확하게 시인할 수 있다.×: The circuit can be clearly seen.

10. 해상성 평가(최소 개구 직경의 평가))10. Resolution evaluation (evaluation of minimum aperture diameter))

상술한 방법으로 제작한 드라이 필름의 제1 필름을 박리하여, 수지층 (A)가 프린트 배선판과 접촉하도록 진공 라미네이트를 한 후에, 수지층 (A)측으로부터 오크사제의 감압 밀착형 양면 노광기(형식 번호 ORC HMW 680GW)에 의해 스텝 태블릿(Kodak No.2)를 통해 자외선을 조사했다. 또한 시험 기판의 수지층 (A)로부터 제1 필름을 제거하고, 현상(30℃, 0.2㎫, 1wt% Na2CO3 수용액)을 60초로 행하였다. 측정 샘플마다, 현상 후에 잔존하는 부분의, 스텝 태블릿 5단째의 농도 부분에 대응할 때의 광량을 최적 노광량으로 하였다.The first film of the dry film produced by the above-mentioned method is peeled off, and vacuum laminated so that the resin layer (A) is in contact with the printed wiring board. Then, from the resin layer (A) side, a reduced pressure contact type double-sided exposure machine made by Oak (model) Ultraviolet light was irradiated through a step tablet (Kodak No. 2) by No. ORC HMW 680GW. Additionally, the first film was removed from the resin layer (A) of the test substrate, and development (30°C, 0.2 MPa, 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution) was performed for 60 seconds. For each measurement sample, the light amount corresponding to the density portion of the 5th stage of the step tablet, which is the portion remaining after development, was set as the optimal exposure amount.

마찬가지로, 드라이 필름의 제1 필름을 박리하여, 수지층 (A)가 프린트 배선판과 접촉하도록 진공 라미네이트를 한 후에, 수지층 (A)의 외표면에, 해상성 평가용 네가티브 마스크로서 비아 개구 직경 500㎛, 300㎛, 150㎛, 100㎛, 80㎛를 갖는 네가티브 패턴을 배치하고, 이것을 개재하여, 오크사제의 감압 밀착형 양면 노광기(형식 번호 ORC HMW 680GW)에 의해 최적 노광량으로 자외선을 조사했다. 또한 시험 기판의 수지층 (A)로부터 제1 필름을 제거하고, 현상(30℃, 0.2㎫, 1wt% Na2CO3 수용액)을 60초로 행하였다. 150℃×60분으로 열 경화함으로써, 경화한 드라이 필름(적층체 또는 단층막)을 갖는 시험 기판을 제작했다. 이 기판에 있어서, 패턴 개구부를 SEM으로 관찰하여, 최소 개구 직경을 구했다.Similarly, after peeling off the first film of the dry film and vacuum lamination so that the resin layer (A) is in contact with the printed wiring board, a via opening diameter of 500 is applied to the outer surface of the resin layer (A) as a negative mask for resolution evaluation. A negative pattern having dimensions of ㎛, 300 ㎛, 150 ㎛, 100 ㎛, and 80 ㎛ was arranged, and through this, ultraviolet rays were irradiated at the optimal exposure amount using a pressure-sensitive adhesive double-sided exposure machine (model number ORC HMW 680GW) manufactured by Oak. Additionally, the first film was removed from the resin layer (A) of the test substrate, and development (30°C, 0.2 MPa, 1 wt% Na2CO3 aqueous solution) was performed for 60 seconds. A test board having a cured dry film (laminated body or monolayer film) was produced by heat curing at 150°C for 60 minutes. In this substrate, the pattern openings were observed with an SEM to determine the minimum opening diameter.

기계 특성 측정 결과를 표 2 및 3에 합쳐서 기재한다.The mechanical property measurement results are listed in Tables 2 and 3.

Figure pct00009
Figure pct00009

Figure pct00010
Figure pct00010

이상, 본 발명의 실시예에 의하면, 적층체 경화물의 외표면이 매트한 질감으로 된 것에 더하여, 경화물의 표면 경도, 땜납 내열성, 파단 강도, 및 회로 은폐성 모두 우수한 값이 나타내졌다. 이에 반해, 단층 구조의 비교예 1-1 내지 1-3 및 적층 구조의 비교예 1-4 내지 1-6의 어느 것에 있어서도, 기계 특성 및 표면(본 발명의 적층체 외표면에 대응)의 저그로스값의 양쪽에 있어서 만족한 결과가 얻어지는 일은 없었다.According to the examples of the present invention, in addition to the matte texture of the outer surface of the cured laminate, the cured product showed excellent values for surface hardness, solder heat resistance, breaking strength, and circuit concealment. On the other hand, in any of Comparative Examples 1-1 to 1-3 of the single-layer structure and Comparative Examples 1-4 to 1-6 of the laminated structure, the mechanical properties and surface (corresponding to the outer surface of the laminate of the present invention) were different. Satisfactory results were never obtained on both sides of the loss value.

[실시예 2-1 내지 2-12(제2 실시 형태) 및 비교예 2-1 내지 2-3][Examples 2-1 to 2-12 (second embodiment) and Comparative Examples 2-1 to 2-3]

<수지 조성물의 조제><Preparation of resin composition>

1. 수지 성분의 합성1. Synthesis of resin components

[합성예 2-1: 페놀성 수산기 및 카르복실기를 갖는 폴리이미드 수지 용액 (수지 2-1)의 합성][Synthesis Example 2-1: Synthesis of polyimide resin solution (resin 2-1) having phenolic hydroxyl group and carboxyl group]

상술한 제1 실시 형태의 실시예에 있어서의 합성예 1-2와 마찬가지 방법으로, 페놀성 수산기 및 카르복실기를 갖는 폴리이미드 수지 용액 (수지 2-1)을 얻었다.A polyimide resin solution (resin 2-1) having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group was obtained in the same manner as Synthesis Example 1-2 in the example of the first embodiment described above.

[합성예 2-2: 카르복실기 함유 노볼락형 아크릴레이트 수지 (수지 2-2)의 합성][Synthesis Example 2-2: Synthesis of carboxyl group-containing novolak-type acrylate resin (Resin 2-2)]

온도계, 질소 도입 장치겸 알킬렌옥사이드 도입 장치 및 교반 장치를 구비한 오토클레이브에, 노볼락형 크레졸 수지(아이카 고교 가부시키가이샤제, 상품명 「쇼놀 CRG951」, OH 당량: 119.4) 119.4g, 수산화칼륨 1.19g 및 톨루엔 119.4g을 투입하고, 교반하면서 계 내를 질소 치환하고, 가열 승온했다. 이어서, 프로필렌옥시드 63.8g을 서서히 적하하고, 125 내지 132℃, 0 내지 4.8kg/㎠로 16시간 반응시켰다. 그 후, 실온까지 냉각하고, 이 반응 용액에 89% 인산 1.56g을 첨가해서 수산화칼륨을 중화하고, 불휘발분 62.1%, 수산기가가 182.2g/eq.인 노볼락형 크레졸 수지의 프로필렌옥시드 반응 용액을 얻었다. 이것은 페놀성 수산기 1당량당 알킬렌옥사이드가 평균 1.08몰 부가하고 있는 것이었다. 이어서, 얻어진 노볼락형 크레졸 수지의 알킬렌옥사이드 반응 용액 293.0g, 아크릴산 43.2g, 메탄술폰산 11.53g, 메틸하이드로퀴논 0.18g 및 톨루엔 252.9g을, 교반기, 온도계 및 공기 취입관을 구비한 반응기에 투입하고, 공기를 10ml/분의 속도로 취입하고, 교반하면서, 110℃에서 12시간 반응시켰다. 반응에 의해 생성한 물은, 톨루엔과의 공비 혼합물로서, 12.6g의 물이 유출했다. 그 후, 실온까지 냉각하고, 얻어진 반응 용액을 15% 수산화나트륨 수용액 35.35g으로 중화하고, 이어서 수세했다. 그 후, 증발기에서 톨루엔을 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 118.1g으로 치환하면서 증류 제거하고, 노볼락형 아크릴레이트 수지 용액을 얻었다. 이어서, 얻어진 노볼락형 아크릴레이트 수지 용액 332.5g 및 트리페닐포스핀 1.22g을, 교반기, 온도계 및 공기 취입관을 구비한 반응기에 투입하고, 공기를 10ml/분의 속도로 취입하고, 교반하면서, 테트라히드로프탈산 무수물 60.8g을 서서히 더하고, 95 내지 101℃에서 6시간 반응시켰다. 이와 같이 해서, 고형분 산가 88mgKOH/g, 고형분 71%, 질량 평균 분자량 2,000의 카르복실기 함유 수지 (수지 2-2) 용액을 얻었다.In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device and an alkylene oxide introduction device, and a stirring device, 119.4 g of novolak-type cresol resin (manufactured by Aika Kogyo Co., Ltd., brand name "Shonol CRG951", OH equivalent weight: 119.4), potassium hydroxide 1.19 g and 119.4 g of toluene were added, the inside of the system was replaced with nitrogen while stirring, and the temperature was raised by heating. Next, 63.8 g of propylene oxide was slowly added dropwise, and reaction was performed at 125 to 132°C and 0 to 4.8 kg/cm2 for 16 hours. Afterwards, it was cooled to room temperature, and 1.56 g of 89% phosphoric acid was added to the reaction solution to neutralize the potassium hydroxide, and propylene oxide reaction of novolak-type cresol resin with a non-volatile content of 62.1% and a hydroxyl value of 182.2 g/eq. A solution was obtained. This was an average of 1.08 moles of alkylene oxide added per equivalent of phenolic hydroxyl group. Next, 293.0 g of the alkylene oxide reaction solution of the obtained novolak-type cresol resin, 43.2 g of acrylic acid, 11.53 g of methanesulfonic acid, 0.18 g of methylhydroquinone, and 252.9 g of toluene were added to a reactor equipped with a stirrer, thermometer, and air intake tube. Then, air was blown in at a rate of 10 ml/min and the mixture was stirred while reacting at 110°C for 12 hours. The water produced by the reaction was an azeotropic mixture with toluene, and 12.6 g of water flowed out. After that, it was cooled to room temperature, and the obtained reaction solution was neutralized with 35.35 g of 15% aqueous sodium hydroxide solution and then washed with water. Thereafter, toluene was distilled off in an evaporator while being replaced with 118.1 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate, and a novolak-type acrylate resin solution was obtained. Next, 332.5 g of the obtained novolak-type acrylate resin solution and 1.22 g of triphenylphosphine were introduced into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer, and an air blowing tube, and air was blown in at a rate of 10 ml/min and stirred, 60.8 g of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added, and reaction was performed at 95 to 101°C for 6 hours. In this way, a carboxyl group-containing resin (resin 2-2) solution with a solid acid value of 88 mgKOH/g, a solid content of 71%, and a mass average molecular weight of 2,000 was obtained.

2. 수지층 (A) 및 (B)용의 수지 조성물의 조제2. Preparation of resin compositions for resin layers (A) and (B)

하기 표 4의 수지층 (A) 및 (B)의 배합에 따라, 각 성분을 교반기로 예비 혼합한 후, 3개 롤 밀로 혼련하고, 각 수지 조성물을 조제했다.According to the composition of the resin layers (A) and (B) in Table 4 below, each component was premixed with a stirrer and then kneaded with a three-roll mill to prepare each resin composition.

Figure pct00011
Figure pct00011

*상기 표 중의 각 성분의 비율은 고형분에 의한다.*The ratio of each component in the table above is based on solid content.

표 4에 기재한 각 성분의 상세는 이하와 같다.The details of each component listed in Table 4 are as follows.

블록 공중합 수지 1: M65N:X-Y-X형 블록 공중합 수지, 질량 평균 분자량(Mw)약 100000 내지 300000, 아르끄마사 제조, NANOSTRENGTH(등록상표)Block copolymer resin 1: M65N:

블록 공중합 수지 2: M52N:X-Y-X형 블록 공중합 수지, 질량 평균 분자량(Mw)약 100000, 아르끄마사 제조, NANOSTRENGTH(등록상표)Block copolymer resin 2: M52N:

광중합성 화합물 1: DOUBLEMER 6MX75: DOUBLE BOND CHEMICAL IND. CO., LTD. 사제 일반식 (I)로 표시되는 화합물Photopolymerizable Compound 1: DOUBLEMER 6MX75: DOUBLE BOND CHEMICAL IND. CO., LTD. Compounds represented by the general formula (I)

광중합성 화합물 2: DOUBLEMER 527, DOUBLE BOND CHEMICAL IND. CO., LTD. 사 제조, 6관능 아크릴레이트 지방족 우레탄아크릴레이트올리고머Photopolymerizable Compound 2: DOUBLEMER 527, DOUBLE BOND CHEMICAL IND. CO., LTD. Manufactured by our company, hexafunctional acrylate aliphatic urethane acrylate oligomer

광중합성 화합물 3: DHPA:디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트(닛폰 가야쿠사제)Photopolymerizable compound 3: DHPA: dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

에폭시 수지 1: 비스페놀 A형 노볼락에폭시 수지 DIC사제 N870Epoxy resin 1: Bisphenol A type novolac epoxy resin N870 manufactured by DIC.

광중합 개시제: 옥심에스테르계 광중합 개시제 IRUGACURE OXE02(BASF 재팬사제)Photopolymerization initiator: Oxime ester-based photopolymerization initiator IRUGACURE OXE02 (manufactured by BASF Japan)

수지 2-1: 합성예 2-1에 의해 합성(페놀성 수산기 및 카르복실기를 갖는 폴리이미드 수지)Resin 2-1: synthesized according to Synthesis Example 2-1 (polyimide resin having phenolic hydroxyl group and carboxyl group)

쇼놀 CRG951: 아이카 고교사 제조, 노볼락형 크레졸 수지, OH 당량: 119.4)Shonol CRG951: manufactured by Aika Kogyo Co., Ltd., novolak-type cresol resin, OH equivalent weight: 119.4)

착색 안료(수지층 (A) 및 (B)용): Paliogen Black S0084: 페릴렌 블랙 안료(BASF사제)Coloring pigment (for resin layers (A) and (B)): Paliogen Black S0084: Perylene black pigment (manufactured by BASF)

KAYARAD ZCR-1569H: 산 변성 에폭시아크릴레이트(닛폰 가야쿠사제)(다관능 에폭시(메타)아크릴레이트의 이염기산 무수물의 부가물)KAYARAD ZCR-1569H: Acid-modified epoxy acrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) (adduct of dibasic acid anhydride to polyfunctional epoxy (meth)acrylate)

수지 2-2: 합성예 2-2에 의해 합성(카르복실기 함유 노볼락형 아크릴레이트 수지)Resin 2-2: synthesized according to Synthesis Example 2-2 (carboxyl group-containing novolak-type acrylate resin)

에폭시 수지 2: 비스페놀 A형 노볼락에폭시 수지(DIC사제)Epoxy resin 2: Bisphenol A type novolac epoxy resin (manufactured by DIC)

제1 필름으로서 매트 PET(PTHA-25, 유니티카 가부시키가이샤제, 표면 조도 Ra:0.3㎛)을 사용함으로써, 수지층 (A) 표면에 요철을 형성했다.By using mat PET (PTHA-25, manufactured by Unitica Corporation, surface roughness Ra: 0.3 μm) as the first film, irregularities were formed on the surface of the resin layer (A).

3. 드라이 필름의 제작3. Production of dry film

상기와 같이 얻어진 각 수지 조성물을, 각각 유기 용제 MEK로 희석해서 적절한 점도(10mPa·s 내지 100dPa·s)로 조정했다. 제1 필름(PET 필름, 두께: 25㎛, 표면 조도(Ra): 0.03㎛) 상에, 표 4에 기재된 수지층 (A)에 대응하는 수지 조성물을, 건조 후의 막 두께가 동일 표에 기재한 막 두께가 되도록 도포 후, 90℃에서 15분 건조시켰다. 이어서, 상기의 건조시킨 수지층 (A) 상에, 표 4의 수지층 (B)에 대응하는 수지 조성물을, 건조 후의 막 두께가 동일 표에 기재된 막 두께가 되도록 도포 후, 80℃에서 30분 건조시켰다. 이에 의해, 제1 필름 상에, 수지층 (A) 및 수지층 (B)를 차례로 갖는 적층체가 얻어졌다. 단, 비교예 2-3은 수지층 (A)만의 단층막 드라이 필름으로 하였다. 또한, 비교예 2-2에 대해서는, 제1 필름으로서, 매트 PET(PTHA-25, 유니티카 가부시키가이샤제, 표면 조도 Ra: 0.3㎛)를 사용했기 때문에, 매트 PET의 요철이 수지층 (A)에 전사되고, 그 결과, 수지층 (A)는, 물리적으로 조면화된 표면을 갖고 있었다.Each resin composition obtained as described above was diluted with the organic solvent MEK and adjusted to an appropriate viscosity (10 mPa·s to 100 dPa·s). On the first film (PET film, thickness: 25 μm, surface roughness (Ra): 0.03 μm), a resin composition corresponding to the resin layer (A) shown in Table 4 was applied, and the film thickness after drying was shown in the same table. After applying to a film thickness, it was dried at 90°C for 15 minutes. Next, the resin composition corresponding to the resin layer (B) in Table 4 is applied onto the dried resin layer (A) so that the film thickness after drying is the film thickness shown in the same table, and then incubated at 80°C for 30 minutes. dried. As a result, a laminate having the resin layer (A) and the resin layer (B) in that order on the first film was obtained. However, Comparative Example 2-3 was used as a single-layer dry film containing only the resin layer (A). In addition, for Comparative Example 2-2, since mat PET (PTHA-25, manufactured by Unitica Corporation, surface roughness Ra: 0.3 μm) was used as the first film, the unevenness of the mat PET was reflected in the resin layer (A). ), and as a result, the resin layer (A) had a physically roughened surface.

4. 시험 기판의 제작과 평가4. Fabrication and evaluation of test boards

<시험 기판 A의 제작><Production of test board A>

구리 두께 15㎛의 회로가 형성되어 있는 편면 프린트 배선 기판을 준비하고, 맥크사제 CZ8100을 사용해서 전처리를 행하였다. 상기에 의해 제작한 각 실시예, 비교예의 드라이 필름을, 수지층 (B)가 기판에 접하도록, 진공 라미네이터를 사용해서 접합함으로써, 기판 상에 적층체를 형성했다.A single-sided printed wiring board on which a circuit with a copper thickness of 15 μm was formed was prepared, and pretreatment was performed using CZ8100 manufactured by Mack. The dry films of each Example and Comparative Example produced as described above were bonded using a vacuum laminator so that the resin layer (B) was in contact with the substrate, thereby forming a laminate on the substrate.

이 기판에 오크사제의 감압 밀착형 양면 노광기(형식 번호 ORC HMW 680GW)를 사용해서 하기 최적 노광량으로 패턴 노광하고, 100℃에서 30분간의 베이크를 행한 후, 적층체 작성 시에 제1 필름으로서 사용한 PET 필름을 박리했다. 그 후, 30℃의 1wt% 탄산나트륨 수용액에 의해 스프레이압 0.2㎫의 조건에서 60초간 현상을 행하고, 솔더 레지스트 패턴으로 해서 적층체의 경화물을 얻었다. 이 기판에 대하여, 수지층 (A)의 상부로부터, UV 컨베이어 로에서 적산 노광량 1000mJ/㎠의 조건에서 자외선 조사한 후, 150℃에서 60분 가열해서 경화하고, 각 적층체로 이루어지는 경화물을 구비하는 시험 기판 A를 제작했다.This substrate was pattern-exposed at the optimal exposure amount below using a pressure-sensitive adhesive double-sided exposure machine (model number ORC HMW 680GW) manufactured by Oak, and baked at 100°C for 30 minutes, and then used as the first film when creating the laminate. The PET film was peeled off. After that, development was performed for 60 seconds in a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30°C under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa, and a cured product of the laminate was obtained as a solder resist pattern. This substrate was irradiated with ultraviolet rays from the top of the resin layer (A) in a UV conveyor furnace under conditions of an integrated exposure dose of 1000 mJ/cm2, then cured by heating at 150°C for 60 minutes, and a cured product consisting of each laminate was prepared. Substrate A was produced.

<최적 노광량의 결정><Determination of optimal exposure amount>

시험 기판 A 제작 시의 패턴 노광에 있어서 사용한 최적 노광량은 이하와 같이 구한 것이다.The optimal exposure amount used in pattern exposure when producing test board A was calculated as follows.

즉, 구리 두께 15㎛의 회로가 형성되어 있는 편면 프린트 배선 기판을 준비하고, 맥크사제 CZ8100을 사용해서 전처리를 행하였다. 상기에 의해 제작한 각 실시예, 비교예의 드라이 필름을, 수지층 (B)가 기판에 접하도록, 진공 라미네이터를 사용해서 접합함으로써, 기판 상에 적층체(측정 샘플)을 형성했다. 이와 같이 얻어진, 각 최적 노광량 측정 샘플에 대하여, 오크사제의 감압 밀착형 양면 노광기(형식 번호 ORC HMW 680GW)를 사용하고, 스텝 태블릿(Kodak No.2)을 통해 노광했다. 노광 후, 100℃에서 30분간의 가열을 행하였다. 그 후, 적층체 작성 시에 제1 필름으로서 사용한 PET 필름을 박리하여, 현상(30℃, 0.2㎫, 1wt% Na2CO3 수용액)을 60초로 행하였다. 측정 샘플마다, 현상 후에 잔존하는 부분의, 스텝 태블릿 5단째의 농도 부분에 대응할 때의 광량을 최적 노광량으로서, 시험 기판 A 및 B의 패턴 노광 시의 광량으로 하였다.That is, a single-sided printed wiring board on which a circuit with a copper thickness of 15 μm was formed was prepared, and pretreatment was performed using CZ8100 manufactured by Mack. The dry films of each Example and Comparative Example produced as above were bonded using a vacuum laminator so that the resin layer (B) was in contact with the substrate, thereby forming a laminate (measurement sample) on the substrate. Each optimal exposure dose measurement sample obtained in this way was exposed through a step tablet (Kodak No. 2) using a pressure-sensitive contact type double-sided exposure machine manufactured by Oak (model number ORC HMW 680GW). After exposure, heating was performed at 100°C for 30 minutes. After that, the PET film used as the first film when creating the laminate was peeled off, and development (30°C, 0.2 MPa, 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution) was performed for 60 seconds. For each measurement sample, the light amount corresponding to the density portion of the 5th stage of the step tablet, which is the portion remaining after development, was set as the optimal exposure amount, and was set as the light amount during pattern exposure of test substrates A and B.

<은폐성 평가><Concealment evaluation>

시험 기판 A를 사용하여, 30㎝의 거리로부터 눈으로 보아 관찰하고, 회로의 은폐성을 평가했다. 평가 기준은 이하와 같다.Using test board A, visual observation was made from a distance of 30 cm to evaluate the concealability of the circuit. The evaluation criteria are as follows.

◎: 은폐력이 높고 회로를 시인할 수 없다.◎: Hiding power is high and the circuit cannot be visually recognized.

○: 회로의 일부를 시인할 수 있다.○: Part of the circuit can be recognized.

×: 회로를 명확하게 시인할 수 있다.×: The circuit can be clearly seen.

<밀착성의 평가><Evaluation of adhesion>

시험 기판 A에서, 시험편상의 경화물에 커터 나이프로 1㎜ 간격의 바둑판 눈 상의 절입을 넣고, 셀로판 테이프를 첩부한 후, 셀로판 테이프를 박리하고, 시험편상의 잔존하는 경화물의 상태를 이하의 판정 기준으로 평가했다.In test board A, checkerboard-shaped cuts at 1 mm intervals were made in the cured material on the test piece with a cutter knife, cellophane tape was attached, the cellophane tape was peeled off, and the state of the remaining cured material on the test piece was evaluated according to the following judgment criteria. evaluated.

○: 박리가 없다○: No peeling

×: 박리가 있다×: There is peeling

<무전해 금 도금 내성 평가><Electroless gold plating resistance evaluation>

상기 시험 기판 A에 대하여,For the test board A,

시판품의 무전해 니켈 도금욕 및 무전해 금 도금욕을 사용하여, 니켈 0.5㎛, 금 0.03㎛가 붙도록 한 조건에서 도금을 행하고, 도금면에 JIS Z 1522에 규정된 공칭 폭 12 내지 19㎜의 테이프를 첩부하고, 테이프를 순간적으로 뜯는 것으로 테이프 필링 시험을 행하였다. 도금의 배어듦 유무를 평가했다. 판정 기준은 이하와 같다.Using a commercially available electroless nickel plating bath and an electroless gold plating bath, plating was performed under conditions such that 0.5 μm of nickel and 0.03 μm of gold adhered, and a plating surface with a nominal width of 12 to 19 mm specified in JIS Z 1522 was applied to the plating surface. A tape peeling test was performed by attaching a tape and momentarily tearing off the tape. The presence or absence of staining of the plating was evaluated. The judgment criteria are as follows.

○: 배어듦, 박리가 보이지 않는다○: No staining or peeling is visible.

×: 도금 후에 조금 배어듦이 확인된다×: Slight staining is confirmed after plating.

<시험 기판 B의 제작><Production of test board B>

구리 두께 15㎛의 회로가 형성되어 있는 편면 프린트 배선 기판을 준비하고, 맥크사제 CZ8100을 사용해서 전처리를 행하였다. 상기에 의해 제작한 각 실시예, 비교예의 드라이 필름을, 수지층 (B)가 기판에 접하도록, 진공 라미네이터를 사용해서 접합함으로써, 기판 상에 적층체를 형성했다. 이 기판의 적층체 수지층 (A)에, 해상성 평가용 네가티브 마스크로서 비아 개구 직경 500㎛, 300㎛, 150㎛, 100㎛, 80㎛를 갖는 네가티브 패턴을 배치하고, 이것을 개재하여, 오크사제의 감압 밀착형 양면 노광기(형식 번호 ORC HMW 680GW)를 사용하여, 상술한 방법으로 결정한 최적 노광량으로 패턴 노광했다. 또한, 100℃에서 30분간의 베이크를 행한 후, 적층체 작성 시에 제1 필름으로서 사용한 PET 필름을 박리했다. 그 후, 30℃의 1wt% 탄산나트륨 수용액에 의해 스프레이압 0.2㎫의 조건에서 60초간 현상을 행하고, 솔더 레지스트 패턴을 얻었다. 이 기판을, UV 컨베이어 로에서 적산 노광량 1000mJ/㎠의 조건에서 자외선 조사한 후, 150℃에서 60분 가열해서 경화하고, 각 적층체로 이루어지는 경화물을 구비하는 시험 기판 B를 제작했다.A single-sided printed wiring board on which a circuit with a copper thickness of 15 μm was formed was prepared, and pretreatment was performed using CZ8100 manufactured by Mack. The dry films of each Example and Comparative Example produced as described above were bonded using a vacuum laminator so that the resin layer (B) was in contact with the substrate, thereby forming a laminate on the substrate. On the laminate resin layer (A) of this substrate, a negative pattern having via opening diameters of 500 μm, 300 μm, 150 μm, 100 μm, and 80 μm was placed as a negative mask for resolution evaluation, and through this, Using a pressure-sensitive adhesive double-sided exposure machine (model number ORC HMW 680GW), the pattern was exposed at the optimal exposure amount determined by the method described above. Additionally, after baking at 100°C for 30 minutes, the PET film used as the first film when creating the laminate was peeled. After that, development was performed for 60 seconds in a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30°C under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa, and a solder resist pattern was obtained. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under conditions of an integrated exposure dose of 1000 mJ/cm 2 and then cured by heating at 150° C. for 60 minutes to produce a test substrate B provided with a cured product made of each laminate.

<해상성 평가(최소 개구 직경의 평가))><Resolution evaluation (evaluation of minimum aperture diameter)>

시험 기판 B에 있어서, 패턴 개구부를 SEM으로 관찰하고, 최소 개구 직경을 구했다.In test board B, the pattern opening was observed with an SEM, and the minimum opening diameter was determined.

<B-HAST 내성><B-HAST resistance>

시험 기판 B를, 130℃, 습도 85%의 분위기 하의 고온 고습조 내에 넣고, 라인/스페이스=12㎛/13㎛의 빗형 전극부(n=6)에 전압 3.5V를 인가하고, 300시간, 조내 B-HAST를 행하였다. 300시간 경과 후, 이하의 기준에 따라, B-HAST 내성을 평가했다. 저항값 1×106Ω 미만을 쇼트로 판정했다.Test board B was placed in a high-temperature, high-humidity tank in an atmosphere of 130°C and 85% humidity, and a voltage of 3.5V was applied to the comb-shaped electrode portion (n=6) with line/space = 12 μm/13 μm, and maintained in the tank for 300 hours. B-HAST was performed. After 300 hours, B-HAST resistance was evaluated according to the following criteria. A resistance value of less than 1×10 6 Ω was judged to be a short circuit.

◎: 6개의 모든 빗형 전극간에서 쇼트 발생 없음◎: No short circuit between all six comb electrodes.

○: 6개 중 1개의 빗형 전극간에서 쇼트 발생○: Short circuit occurs between one comb-shaped electrode out of six.

×: 6개 중 2개 이상의 빗형 전극간에서 쇼트 발생×: Short circuit occurs between two or more comb-shaped electrodes out of six.

<파단 강도><Breaking strength>

시험 기판 B로부터, 적층체의 경화물을 박리하고, 박리한 경화물에 대해서, JIS K7127에 준거해서 파단 강도를 측정하고, 평가했다. 평가 기준은, 이하와 같다.The cured product of the laminate was peeled from the test board B, and the breaking strength of the peeled cured product was measured and evaluated based on JIS K7127. The evaluation criteria are as follows.

◎: 40㎫ 이상◎: 40 MPa or more

○: 30㎫ 이상, 40㎫ 미만○: 30 MPa or more, less than 40 MPa

본 발명의 실시예에 의한 적층체의 경화물은, 모든 평가에 있어서 양호한 결과를 나타냈다. 한편, 수지 조성 또는 층 구성이 다른 비교예 2-1 및 2-3에 의하면 회로의 은폐성과, 기계 특성을 양립시키는 것은 곤란한 것을 알 수 있다. 또한 비교예 2-2에서는, 물리적인 방법으로 회로의 은폐성을 향상시켰지만, 경화물의 해상도가 저하되고 있다.The cured product of the laminate according to the example of the present invention showed good results in all evaluations. On the other hand, according to Comparative Examples 2-1 and 2-3, which had different resin compositions or layer structures, it was found that it was difficult to achieve both circuit concealment and mechanical properties. Additionally, in Comparative Example 2-2, although the concealment of the circuit was improved by a physical method, the resolution of the cured product was lowered.

이상, 본 발명자들에 의해 이루어진 발명을 실시 형태에 기초하여 구체적으로 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경 가능한 것은 말할 필요도 없다.Above, the invention made by the present inventors has been described in detail based on the embodiments. However, the present invention is not limited to the above embodiments, and it goes without saying that various changes can be made without departing from the gist of the invention.

1 제1 필름
A 수지층 (A)
B 수지층 (B)
2 제2 필름
1 first film
A Resin layer (A)
B resin layer (B)
2 second film

Claims (7)

수지층 (A)와, 수지층 (A) 상에 마련된 수지층 (B)를 구비하는 적층체로서,
상기 수지층 (A)는 제1 그로스값이 50 이상이고, 또한 제2 그로스값이 30 이하이고,
상기 수지층 (B)는 제3 그로스값이 50 이상이고,
(i) 상기 제1 그로스값은, 기판 상에 상기 수지층 (B)와 상기 수지층 (A)를 이 순서로 구비하는 적층체에 있어서, 수지층 (A)의 표면에 대하여 노광한 후, 가열 경화 전에, 상기 적층체에 있어서의 상기 수지층 (A)의 외표면의 그로스값을 측정함으로써 구해지는 값이고,
(ii) 상기 제2 그로스값은, 상기 제1 그로스값의 측정 후의 상기 적층체를, 추가로 150℃에서 60분 가열 처리를 행한 후에, 상기 적층체에 있어서의 상기 수지층 (A)의 외표면의 그로스값을 측정함으로써 구해지고,
(iii) 상기 제3 그로스값은, 기판 상에 수지층 (A)와 수지층 (B)를 이 순서로 구비하는 적층체에 있어서, 수지층 (B)의 표면에 대하여 노광하고, 추가로 150℃에서 60분 가열 처리를 행한 후에, 상기 적층체에 있어서의 상기 수지층 (B)의 외표면의 그로스값을 측정함으로써 구해지는 것인 것을 특징으로 하는 적층체.
A laminate comprising a resin layer (A) and a resin layer (B) provided on the resin layer (A),
The resin layer (A) has a first gloss value of 50 or more and a second gloss value of 30 or less,
The resin layer (B) has a third gross value of 50 or more,
(i) The first gross value is obtained after exposing the surface of the resin layer (A) to light in a laminate comprising the resin layer (B) and the resin layer (A) in this order on a substrate. It is a value obtained by measuring the gross value of the outer surface of the resin layer (A) in the laminate before heat curing,
(ii) The second gross value is obtained by further subjecting the laminate after the measurement of the first gross value to heat treatment at 150° C. for 60 minutes, and then measuring the outside of the resin layer (A) in the laminate. It is obtained by measuring the surface gross value,
(iii) The third gross value is further calculated by exposing the surface of the resin layer (B) to 150 in a laminate comprising the resin layer (A) and the resin layer (B) in this order on a substrate. A laminate, characterized in that it is obtained by measuring the gross value of the outer surface of the resin layer (B) in the laminate after heat treatment at ℃ for 60 minutes.
수지층 (A)와, 수지층 (A) 상에 마련된 수지층 (B)를 구비하는 적층체로서,
상기 수지층 (A)가,
(A1) 블록 공중합 수지와,
(A2) 광중합성 화합물
을 갖고,
상기 수지층 (B)가,
(B1) 알칼리 가용성의 (메타)아크릴레이트 수지를 갖는 것을 특징으로 하는 적층체.
A laminate comprising a resin layer (A) and a resin layer (B) provided on the resin layer (A),
The resin layer (A) is,
(A1) block copolymer resin,
(A2) Photopolymerizable compound
With
The resin layer (B) is,
(B1) A laminate characterized by having an alkali-soluble (meth)acrylate resin.
제2항에 있어서,
상기 (A1) 블록 공중합 수지가 X-Y-X형이고, 질량 평균 분자량 Mw가 20,000 내지 400,000인 적층체.
According to paragraph 2,
The (A1) block copolymer resin is of type XYX and the mass average molecular weight Mw is 20,000 to 400,000.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 (A2) 광중합성 화합물이, 하기 일반식 (I)

(일반식 (I) 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 의미한다)
로 표시되는 화합물인 적층체.
According to paragraph 2 or 3,
The photopolymerizable compound (A2) has the following general formula (I)

(In general formula (I), R1 means a hydrogen atom or a methyl group)
A laminate that is a compound represented by .
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 필름과 제2 필름을 더 포함하고, 상기 제1 필름, 상기 수지층 (A), 상기 수지층 (B) 및 상기 제2 필름을, 이 순서로 구비하는 것을 특징으로 하는 적층체.The method according to any one of claims 1 to 4, further comprising a first film and a second film, and comprising the first film, the resin layer (A), the resin layer (B), and the second film. , A laminate characterized by being provided in this order. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 적층체의 수지층을 경화해서 이루어지는 경화물.A cured product obtained by curing the resin layer of the laminate according to any one of claims 1 to 5. 제6항의 경화물을 갖는 전자 부품.An electronic component having the cured product of claim 6.
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