JP2022158998A - Laminate, cured product of the same, and electronic component including the same - Google Patents

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JP2022158998A JP2022038911A JP2022038911A JP2022158998A JP 2022158998 A JP2022158998 A JP 2022158998A JP 2022038911 A JP2022038911 A JP 2022038911A JP 2022038911 A JP2022038911 A JP 2022038911A JP 2022158998 A JP2022158998 A JP 2022158998A
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映▲旋▼ 周
Yingxuan Zhou
大地 岡本
Daichi Okamoto
悠斗 小田桐
Yuto Odagiri
英和 宮部
Hidekazu Miyabe
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Abstract

To provide a laminate which is formed into a cured product having good resolution and circuit concealing property and mechanical physical properties, a cured product of the same, and an electronic component including the same.SOLUTION: There are provided a laminate having a resin layer (A) and a resin layer (B), where one surface of the resin layer (B) is brought into contact with one surface of the resin layer (A), wherein the resin layer (A) has (A1) an alkali-soluble polyamide-imide resin and (A2) an alkali-soluble polyimide resin, and the resin layer (B) has (B1) an alkali-soluble (meth)acrylate resin; a cured product of the same, and an electronic component including the same.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、積層体、特にプリント配線板等の電子部品の絶縁層として使用可能な積層体、その硬化物およびこれを含む電子部品に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to laminates, particularly laminates that can be used as insulating layers for electronic parts such as printed wiring boards, cured products thereof, and electronic parts containing the same.

様々な電子機器に用いられるプリント配線板の表層には、ソルダーレジストと呼ばれる絶縁膜が形成されている。例えば、回路の隠蔽性を得るための低光沢のソルダーレジストを得る方法として、ソルダーレジスト用の組成物として特定の樹脂組成を用いることが提案されている(例えば、特許文献1)。特許文献1では、ソルダーレジスト用の組成物の成分として、相互に非相溶性の成分を用いることによりソルダーレジスト表面に入射する光の乱反射を生じさせ、光沢度を低下させようというものである。また、別の方法では、ソルダーレジスト層の表面を粗面化することにより、その光沢度を抑制し、低光沢のソルダーレジストが得られることが教示されている(例えば、特許文献2)。特許文献2では、ブラスト処理した支持体上にソルダーレジスト組成物を塗工する、物理的な粗面化の手法よりマット化されたソルダーレジストを得ることが記載されている。 An insulating film called a solder resist is formed on the surface layer of printed wiring boards used in various electronic devices. For example, as a method of obtaining a low-gloss solder resist for obtaining circuit hiding properties, it has been proposed to use a specific resin composition as a solder resist composition (for example, Patent Document 1). In Patent Document 1, mutually incompatible components are used as components of a composition for a solder resist to cause irregular reflection of light incident on the surface of the solder resist, thereby reducing glossiness. In another method, it is taught that by roughening the surface of the solder resist layer, the glossiness is suppressed and a solder resist with low gloss is obtained (for example, Patent Document 2). Patent Literature 2 describes obtaining a matted solder resist by a physical surface roughening technique in which a solder resist composition is applied onto a blasted support.

国際公開WO2001/058977号International publication WO2001/058977 特開2012-141605号公報JP 2012-141605 A

しかしながら、一般的なソルダーレジストは、プリント配線板の回路の隠蔽性をある程度有しているが、基板の美感を向上させるため、回路の隠蔽性にさらに優れたソルダーレジストがしばしば求められる。
また上記特許文献1に記載されたソルダーレジストは、樹脂の非相溶性を利用しているため、塗膜全体が不均一に分離した状態となることから、塗膜の機械物性や、絶縁信頼性の確保については検討の余地がある。
However, although a general solder resist has a certain degree of hiding power for the circuit of a printed wiring board, there is often a demand for a solder resist having even better hiding power for the circuit in order to improve the appearance of the board.
In addition, since the solder resist described in Patent Document 1 uses the incompatibility of the resin, the entire coating film is unevenly separated, so the mechanical properties of the coating film and the insulation reliability There is room for consideration regarding the securing of

さらに、特許文献2に記載されているような、粗面化された支持体表面の凹凸を、その上に施されるソルダーレジスト組成物ないしドライフィルムの樹脂層に物理的に転写する手法では、パターニング露光時に、支持体の凹凸部で光が散乱し、結果としてソルダーレジストの解像性が影響を受けることがある。 Furthermore, as described in Patent Document 2, in the method of physically transferring the unevenness of the roughened support surface to the resin layer of the solder resist composition or dry film applied thereon, At the time of patterning exposure, the unevenness of the support scatters light, and as a result, the resolution of the solder resist may be affected.

すなわち、本発明は、解像性に優れ、かつ回路の隠蔽性、機械物性においても良好な硬化物とされる積層体、その硬化物およびこれを有する電子部品を提供することを課題とする。 That is, an object of the present invention is to provide a laminate which is excellent in resolution and which is a cured product having excellent circuit hiding properties and mechanical properties, a cured product thereof, and an electronic component having the same.

本発明者らは、鋭意検討した結果、本発明の上記課題は、樹脂層(A)と、樹脂層(B)とを有し、樹脂層(A)の一方の面に、樹脂層(B)の一方の面が接するように設けられた積層体であって、
樹脂層(A)が、
(A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂と、
(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂と、
を有し、
樹脂層(B)が、
(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂を有することを特徴とする積層体により、上記の課題が解決されることを見出した。
すなわち、本発明者らは、上記各成分を有する樹脂層(A),(B)を有する積層体により、マット調の外観を有する硬化物を得ることができ、これによって、回路の隠蔽性を向上させたソルダーレジストを得ることができることを知見した。また、本発明の積層体によれば、解像性に優れ、かつ機械物性にも優れた硬化物を得ることができる。
As a result of intensive studies by the present inventors, the above problem of the present invention has a resin layer (A) and a resin layer (B), and a resin layer (B) is provided on one surface of the resin layer (A). ) is provided so that one surface of the laminate is in contact,
The resin layer (A) is
(A1) an alkali-soluble polyamideimide resin;
(A2) an alkali-soluble polyimide resin;
has
The resin layer (B) is
(B1) It has been found that the above problems can be solved by a laminate characterized by having an alkali-soluble (meth)acrylate resin.
That is, the present inventors have found that a laminate having resin layers (A) and (B) containing the above components can provide a cured product having a matte appearance, thereby improving the circuit hiding property. We have found that an improved solder resist can be obtained. Moreover, according to the laminate of the present invention, a cured product having excellent resolution and excellent mechanical properties can be obtained.

さらに、本発明の積層体において、(A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂が、下記一般式(1)または(2)、

Figure 2022158998000002
(式(1)中、Xは炭素数が24~48のダイマー酸由来の脂肪族ジアミン(a)の残基、式(2)中、Xはカルボキシル基を有する芳香族ジアミン(b)の残基、Yはそれぞれ独立にシクロヘキサン環または芳香環である)で示される何れか一方またはその双方の構造を一分子中に有するポリアミドイミド樹脂、またはこれら何れか2種類以上の混合物であると好ましい。 Furthermore, in the laminate of the present invention, (A1) the alkali-soluble polyamideimide resin is represented by the following general formula (1) or (2),
Figure 2022158998000002
(In the formula (1), X 1 is the residue of the dimer acid-derived aliphatic diamine (a) having 24 to 48 carbon atoms, and in the formula (2), X 2 is the aromatic diamine (b) having a carboxyl group. Residues of Y are each independently a cyclohexane ring or an aromatic ring). preferable.

さらに、本発明の積層体は、第1フィルムと、第2フィルムと、をさらに含み、第1フィルム、樹脂層(A)、樹脂層(B)および第2フィルムを、この順に備えることができる。 Furthermore, the laminate of the present invention further includes a first film and a second film, and can be provided with the first film, the resin layer (A), the resin layer (B) and the second film in this order. .

さらに、本発明の課題は、上記積層体の樹脂層(A)および樹脂層(B)を硬化した硬化物、または上記積層体の硬化物を有する電子部品により解決される。 Furthermore, the object of the present invention is solved by a cured product obtained by curing the resin layer (A) and the resin layer (B) of the laminate, or an electronic component having the cured product of the laminate.

本発明の積層体は、回路の隠蔽性が高く、かつ解像度が高く、さらに機械物性においても良好な硬化物とされ、このような硬化物を有する電子部品も同様の効果を有する。 The laminate of the present invention is a cured product having high circuit hiding power, high resolution, and excellent mechanical properties, and electronic components having such a cured product have similar effects.

本発明の一実施の形態に係る積層体の模式断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a laminate according to an embodiment of the invention; FIG. 本発明の積層体を含む電子部品の製造方法の一例を説明するための工程図である。It is process drawing for demonstrating an example of the manufacturing method of the electronic component containing the laminated body of this invention.

[積層体]
本発明の積層体は、樹脂層(A)と、樹脂層(B)とを有し、樹脂層(A)の一方の面に、樹脂層(B)の一方の面が接するように設けられた積層体であって、樹脂層(A)が(A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂と、(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂と、樹脂層(B)が(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂と、を有する。樹脂層(A)は、さらに(A3)エポキシ樹脂と、(A4)光重合開始剤と、を有すると好ましく、樹脂層(B)は、さらに(B2)エポキシ樹脂を有すると好ましい。積層体の樹脂層(A)は第1フィルム上に形成され、樹脂層(A)の第1フィルムとは対向しない(反対側)面に樹脂層(B)が設けられて積層体として構成することが好ましい。樹脂層(B)の樹脂層(A)とは対向しない面には、さらに第2フィルムが設けられていることが好ましい。
[Laminate]
The laminate of the present invention has a resin layer (A) and a resin layer (B), and is provided so that one surface of the resin layer (B) is in contact with one surface of the resin layer (A). In the laminate, the resin layer (A) is (A1) an alkali-soluble polyamideimide resin, (A2) an alkali-soluble polyimide resin, and the resin layer (B) is (B1) an alkali-soluble ( and a meth)acrylate resin. The resin layer (A) preferably further contains (A3) an epoxy resin and (A4) a photopolymerization initiator, and the resin layer (B) preferably further contains (B2) an epoxy resin. The resin layer (A) of the laminate is formed on the first film, and the resin layer (B) is provided on the surface (opposite side) of the resin layer (A) that does not face the first film to form a laminate. is preferred. It is preferable that a second film is further provided on the surface of the resin layer (B) that does not face the resin layer (A).

本発明の積層体は、回路基板上に、樹脂層(B)が回路基板に接し、樹脂層(A)が最外層とされるように配置された硬化物として、プリント配線板の製造に用いられることが好ましい。
本発明の積層体の樹脂層(A)と樹脂層(B)とは、上記のように相互に接するよう配置されて、この配置において硬化する。この未硬化の積層体においては、特に加熱工程を通して、樹脂層(A)の構成成分と樹脂層(B)の構成成分とが界面において混ざり合う。このように、樹脂層(A)と樹脂層(B)の構成成分が混ざり合うことにより、界面で可視光の乱反射が生じるため、回路の隠蔽性に優れた硬化膜を得ることができると推察される。なお、本発明の積層体を用いることにより、回路の隠蔽性を得ることができるため、従来技術のような粗面化された支持体を第1フィルムとして用いる必要がなく、支持体の凹凸に起因する解像性の低下が生じないと考えられる。さらに、本発明の積層体は全体が不均一な状態とはならないため機械強度にも優れる。従って、本発明の積層体を用いることにより、回路の隠蔽性と機械強度や解像性を両立することができる。
The laminate of the present invention is used for manufacturing a printed wiring board as a cured product arranged on a circuit board so that the resin layer (B) is in contact with the circuit board and the resin layer (A) is the outermost layer. preferably.
The resin layer (A) and the resin layer (B) of the laminate of the present invention are arranged so as to be in contact with each other as described above, and cured in this arrangement. In this uncured laminate, the components of the resin layer (A) and the components of the resin layer (B) are mixed at the interface, especially through the heating process. It is speculated that the mixing of the constituent components of the resin layer (A) and the resin layer (B) in this way causes diffuse reflection of visible light at the interface, making it possible to obtain a cured film with excellent circuit hiding properties. be done. By using the laminate of the present invention, it is possible to obtain a circuit concealing property. It is thought that the deterioration of resolution resulting from this does not occur. Furthermore, the laminate of the present invention is excellent in mechanical strength because it does not become non-uniform as a whole. Therefore, by using the laminate of the present invention, it is possible to achieve both circuit concealability, mechanical strength, and resolution.

[樹脂層(A)]
樹脂層(A)を構成する樹脂組成物は以下の成分を含む。
((A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂)
本発明の積層体の樹脂層(A)に使用される(A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂は、少なくとも1種以上のアルカリ溶解性基を含有し、アルカリ溶液で現像可能なものであればよく、公知慣用のものが用いられる。
アルカリ溶解性基とは、本発明の積層体をアルカリ溶液で現像可能とする官能基であり、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基が挙げられる。
このようなアルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂は、例えば、カルボン酸無水物成分とアミン成分とを反応させてイミド化物を得た後、得られたイミド化物とイソシアネート成分とを反応させて得られる樹脂等が挙げられる。ここで、アルカリ溶解性基は、カルボキシル基やフェノール性水酸基を有するアミン成分を用いることにより導入される。また、イミド化は、熱イミド化で行っても、化学イミド化で行ってもよく、またこれらを併用して実施することもできる。
[Resin layer (A)]
The resin composition constituting the resin layer (A) contains the following components.
((A1) alkali-soluble polyamideimide resin)
The (A1) alkali-soluble polyamideimide resin used in the resin layer (A) of the laminate of the present invention contains at least one alkali-soluble group and is developable with an alkaline solution. Well known and commonly used ones are used.
The alkali-soluble group is a functional group that enables the laminate of the present invention to be developed with an alkaline solution, and includes, for example, a carboxyl group and a phenolic hydroxyl group.
Such an alkali-soluble polyamide-imide resin is, for example, a resin obtained by reacting a carboxylic acid anhydride component and an amine component to obtain an imidized product, and then reacting the obtained imidized product with an isocyanate component. etc. Here, the alkali-soluble group is introduced by using an amine component having a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group. Further, the imidization may be carried out by thermal imidization or by chemical imidization, and these may be used in combination.

カルボン酸無水物成分としては、テトラカルボン酸無水物やトリカルボン酸無水物などが挙げられるが、これらの酸無水物に限定されるものではなく、アミノ基やイソシアネート基と反応する酸無水物基およびカルボキシル基を有する化合物であれば、その誘導体含め用いることができる。また、これらのカルボン酸無水物成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。 Examples of the carboxylic anhydride component include tetracarboxylic anhydrides and tricarboxylic anhydrides, but are not limited to these acid anhydrides. Acid anhydride groups that react with amino groups and isocyanate groups and Any compound having a carboxyl group can be used, including its derivatives. Also, these carboxylic acid anhydride components may be used alone or in combination.

アミン成分としては、脂肪族ジアミンや芳香族ジアミンなどのジアミン、脂肪族ポリエーテルアミンなどの多価アミン、カルボキシル基を有するジアミン、フェノール性水酸基を有するジアミンなどを用いることができる。アミン成分としては、これらのアミンに限定されるものではないが、少なくともフェノール性水酸基、カルボキシル基のうち1種の官能基を導入できるアミンを用いることが必要である。また、これらのアミン成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。 As the amine component, diamines such as aliphatic diamines and aromatic diamines, polyvalent amines such as aliphatic polyetheramines, diamines having a carboxyl group, diamines having a phenolic hydroxyl group, and the like can be used. The amine component is not limited to these amines, but it is necessary to use an amine capable of introducing at least one functional group out of phenolic hydroxyl groups and carboxyl groups. Also, these amine components may be used alone or in combination.

イソシアネート成分としては、芳香族ジイソシアネートおよびその異性体や多量体、脂肪族ジイソシアネート類、脂環式ジイソシアネート類およびその異性体などのジイソシアネートやその他汎用のジイソシアネート類を用いることができるが、これらのイソシアネートに限定されるものではない。また、これらのイソシアネート成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。 As the isocyanate component, diisocyanates such as aromatic diisocyanates and their isomers and polymers, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and their isomers, and other general-purpose diisocyanates can be used. It is not limited. Also, these isocyanate components may be used alone or in combination.

以上説明したようなアルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂は、ポリアミドイミド樹脂のアルカリ溶解性(現像性)と、ポリアミドイミド樹脂を含む樹脂組成物の硬化物の機械特性など他の特性とのバランスを良好にする観点から、その酸価(固形分酸価)は、30mgKOH/g以上とすることが好ましく、30mgKOH/g~150mgKOH/gとすることがより好ましく、50mgKOH/g~120mgKOH/gとすることが特に好ましい。この酸価を30mgKOH/g以上とすることにより、アルカリ溶解性、すなわち現像性が良好となり、さらには、光照射後の熱硬化成分との架橋密度が高くなり、十分な現像コントラストを得ることができる。また、この酸価を150mgKOH/g以下とすることにより、特に、後述する光照射後のPEB(POST EXPOSURE BAKE)工程でのいわゆる熱かぶりを抑制でき、プロセスマージンが大きくなる。 The alkali-soluble polyamideimide resin as described above has a good balance between the alkali solubility (developability) of the polyamideimide resin and other properties such as the mechanical properties of the cured product of the resin composition containing the polyamideimide resin. From the point of view of is particularly preferred. By setting the acid value to 30 mgKOH/g or more, the alkali solubility, that is, developability, is improved, and further, the crosslink density with the thermosetting component after light irradiation is increased, and sufficient development contrast can be obtained. can. Further, by setting the acid value to 150 mgKOH/g or less, it is possible to suppress so-called heat fogging, especially in a PEB (POST EXPOSURE BAKE) step after light irradiation, which will be described later, and to increase the process margin.

また、アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂の分子量は、現像性と硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量は、1,000以上、20,000以下であることが好ましく、1,000~17,000がより好ましく、2,000~15,000がさらに好ましい。分子量が20,000以下であると、未露光部のアルカリ溶解性が増加し、現像性が向上する。一方、分子量が1,000以上であると、露光・PEB工程後に、露光部において十分な耐現像性と硬化物性を得ることができる。
なお、本発明において質量平均分子量は、サイズ排除クロマトグラフィーにより、JIS K7252―1:2008に準拠し、分子量標準物質としてポリスチレンを用いて測定する。
Further, the molecular weight of the alkali-soluble polyamideimide resin is preferably 1,000 or more and 20,000 or less, considering the developability and cured coating film properties. 000 is more preferred, and 2,000 to 15,000 is even more preferred. When the molecular weight is 20,000 or less, the alkali-solubility of the unexposed area is increased and the developability is improved. On the other hand, when the molecular weight is 1,000 or more, sufficient development resistance and cured physical properties can be obtained in the exposed area after the exposure/PEB process.
In the present invention, the mass average molecular weight is measured by size exclusion chromatography in accordance with JIS K7252-1:2008 using polystyrene as a molecular weight standard.

特に本発明では、下記一般式(1)で示される構造または下記一般式(2)で示される何れか一方またはその双方の構造を一分子中に有するポリアミドイミド樹脂を用いることが、現像性をさらに向上させる点でより好ましい。

Figure 2022158998000003
(X1は炭素数が24~48のダイマー酸由来の脂肪族ジアミン(a)の残基、X2はカルボキシル基を有する芳香族ジアミン(b)の残基、Yはそれぞれ独立にシクロヘキサン環または芳香環である。) In particular, in the present invention, the use of a polyamideimide resin having in one molecule a structure represented by the following general formula (1) or one or both of the structures represented by the following general formula (2) improves developability. It is more preferable in terms of further improvement.
Figure 2022158998000003
(X1 is a residue of an aliphatic diamine (a) derived from a dimer acid having 24 to 48 carbon atoms, X2 is a residue of an aromatic diamine (b) having a carboxyl group, Y is each independently a cyclohexane ring or an aromatic ring is.)

((A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂)
本発明の積層体の樹脂層(A)を構成する樹脂組成物には(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂が含まれる。この(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂は、上述したアルカリ溶解性基を有する。
((A2) alkali-soluble polyimide resin)
The resin composition constituting the resin layer (A) of the laminate of the present invention contains (A2) an alkali-soluble polyimide resin. This (A2) alkali-soluble polyimide resin has the above-described alkali-soluble group.

(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂は、アミド結合(-CONH-)を含まず、少なくともこの点で(A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂とは相違する。 The (A2) alkali-soluble polyimide resin does not contain an amide bond (--CONH--), and is different from (A1) the alkali-soluble polyamide-imide resin in at least this point.

(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂は、アルカリ溶解性基として少なくともカルボキシル基を有することが好ましく、アルカリ溶解性基としてカルボキシル基とフェノール性水酸基の双方を有することが特に好ましい。 (A2) The alkali-soluble polyimide resin preferably has at least a carboxyl group as an alkali-soluble group, and particularly preferably has both a carboxyl group and a phenolic hydroxyl group as an alkali-soluble group.

このような(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂は、例えば、カルボン酸無水物成分とアミン成分および/またはイソシアネート成分とを反応させて得られる樹脂が挙げられる。ここで、上記アルカリ溶解性基は、カルボキシル基やフェノール性水酸基を有するアミン成分を用いることにより導入される。また、イミド化は、熱イミド化で行っても、化学イミド化で行ってもよく、またこれらを併用して実施することもできる。 Examples of such (A2) alkali-soluble polyimide resins include resins obtained by reacting a carboxylic anhydride component with an amine component and/or an isocyanate component. Here, the alkali-soluble group is introduced by using an amine component having a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group. Further, the imidization may be carried out by thermal imidization or by chemical imidization, and these may be used in combination.

カルボン酸無水物成分としては、テトラカルボン酸無水物やトリカルボン酸無水物などが挙げられるが、これらの酸無水物に限定されるものではなく、アミノ基やイソシアネート基と反応する酸無水物基およびカルボキシル基を有する化合物であれば、その誘導体を含め用いることができる。また、これらのカルボン酸無水物成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。 Examples of the carboxylic anhydride component include tetracarboxylic anhydrides and tricarboxylic anhydrides, but are not limited to these acid anhydrides. Acid anhydride groups that react with amino groups and isocyanate groups and Any compound having a carboxyl group can be used, including its derivatives. Also, these carboxylic acid anhydride components may be used alone or in combination.

アミン成分としては、脂肪族ジアミンや芳香族ジアミンなどのジアミン、脂肪族ポリエーテルアミンなどの多価アミン、カルボキシル基を有するジアミン、フェノール性水酸基を有するジアミンなどを用いることができる。アミン成分としては、これらのアミンに限定されるものではないが、フェノール性水酸基、カルボキシル基のうちの少なくとも1種の官能基を導入できるアミンを用いることが必要である。また、これらのアミン成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。 As the amine component, diamines such as aliphatic diamines and aromatic diamines, polyvalent amines such as aliphatic polyetheramines, diamines having a carboxyl group, diamines having a phenolic hydroxyl group, and the like can be used. The amine component is not limited to these amines, but it is necessary to use an amine into which at least one functional group of phenolic hydroxyl groups and carboxyl groups can be introduced. Also, these amine components may be used alone or in combination.

イソシアネート成分としては、芳香族ジイソシアネートおよびその異性体や多量体、脂肪族ジイソシアネート類、脂環式ジイソシアネート類およびその異性体などのジイソシアネートやその他汎用のジイソシアネート類を用いることができるが、これらのイソシアネートに限定されるものではない。また、これらのイソシアネート成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。 As the isocyanate component, diisocyanates such as aromatic diisocyanates and their isomers and polymers, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and their isomers, and other general-purpose diisocyanates can be used. It is not limited. Also, these isocyanate components may be used alone or in combination.

このような(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂の合成においては、公知慣用の有機溶剤を用いることができる。かかる有機溶媒としては、原料であるカルボン酸無水物類、アミン類、イソシアネート類と反応せず、かつこれら原料が溶解する溶媒であれば問題はなく、特にその構造は限定されない。特に、原料の溶解性が高いことから、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン、ジメチルスルホキシド、γ-ブチロラクトン等の非プロトン性溶媒が好ましい。 In synthesizing such an alkali-soluble polyimide resin (A2), a known and commonly used organic solvent can be used. As such an organic solvent, there is no problem as long as it does not react with the carboxylic acid anhydrides, amines, and isocyanates that are raw materials and dissolves these raw materials, and its structure is not particularly limited. In particular, aprotic solvents such as N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylsulfoxide, and γ-butyrolactone are preferred because of their high solubility of raw materials.

(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂は、ポリイミド樹脂のアルカリ溶解性(現像性)と、ポリイミド樹脂を含む積層体の硬化物の機械特性など他の特性とのバランスを良好にする観点から、その酸価(固形分酸価)が20~200mgKOH/gであることが好ましく、60~150mgKOH/gであることが特に好ましい。
また、(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂の分子量は、現像性と硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量Mwが100,000以下であることが好ましく、1,000~100,000がより好ましく、2,000~50,000がさらに好ましい。
(A2) The alkali-soluble polyimide resin is used from the viewpoint of improving the balance between the alkali solubility (developability) of the polyimide resin and other properties such as the mechanical properties of the cured product of the laminate containing the polyimide resin. The acid value (solid content acid value) is preferably 20 to 200 mgKOH/g, particularly preferably 60 to 150 mgKOH/g.
In addition, the molecular weight of the alkali-soluble polyimide resin (A2) is preferably a mass average molecular weight Mw of 100,000 or less, more preferably 1,000 to 100,000, in consideration of developability and cured coating properties. Preferably, 2,000 to 50,000 is more preferable.

上記(A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂と(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂とを合算した配合量は、本発明の樹脂層(A)を構成する樹脂組成物100質量部に対して、例えば、10質量部以上85質量部以下であり、好ましくは30質量部以上80質量部以下であり、特に好ましくは45質量部以上75質量部以下である。 The total amount of the above (A1) alkali-soluble polyamideimide resin and (A2) alkali-soluble polyimide resin is, with respect to 100 parts by mass of the resin composition constituting the resin layer (A) of the present invention, For example, it is 10 to 85 parts by mass, preferably 30 to 80 parts by mass, and particularly preferably 45 to 75 parts by mass.

また、(A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂の固形分100質量部に対する(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂の配合量は10質量部以上、100質量部以下であることが好ましく、20質量部以上、70質量部以下であることがより好ましい。 Further, the amount of (A2) the alkali-soluble polyimide resin per 100 parts by mass of the solid content of the (A1) alkali-soluble polyamideimide resin is 10 parts by mass or more and 100 parts by mass or less, preferably 20 parts by mass. Above, it is more preferable that it is 70 mass parts or less.

((A3)エポキシ樹脂)
樹脂層(A)を構成する樹脂組成物は、(A3)エポキシ樹脂を含むことが好ましい。
エポキシ樹脂としては公知慣用の樹脂を用いることができ、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、CTBN変性エポキシ樹脂などが挙げられる。このうち、樹脂層(A)の成分として、特に好ましい(A3)エポキシは、ビスフェノールA型エポキシ樹脂またはノボラック型エポキシ、またはその併用系である。
((A3) epoxy resin)
The resin composition constituting the resin layer (A) preferably contains (A3) an epoxy resin.
As the epoxy resin, known and commonly used resins can be used. Resins, hydantoin-type epoxy resins, alicyclic epoxy resins, trihydroxyphenylmethane-type epoxy resins, bixylenol-type or biphenol-type epoxy resins, or mixtures thereof; bisphenol S-type epoxy resins, bisphenol A novolak-type epoxy resins, tetraphenylol Ethane-type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton, glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin, cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin, CTBN-modified epoxy resin, and the like. Among these, particularly preferable (A3) epoxy as a component of the resin layer (A) is a bisphenol A type epoxy resin, a novolak type epoxy, or a combination thereof.

(A3)エポキシ樹脂の具体例としては、三菱ケミカル社製のjER828、jER834、jER1001、jER1004、DIC社製のEPICLON 840、850、850-S、1050、2055、日鉄ケミカル&マテリアル社製のエポトートYD-011、YD-013、YD-127、YD-128、ダウケミカル社製のD.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、住友化学社製のスミ-エポキシESA-011、ESA-014、ELA-115、ELA-128等(何れも商品名)のビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱ケミカル社製のjERYL903、DIC社製のEPICLON 152、165、日鉄ケミカル&マテリアル社製のエポトートYDB-400、YDB-500、ダウケミカル社製のD.E.R.542、住友化学社製のスミ-エポキシESB-400、ESB-700等(何れも商品名)のブロム化エポキシ樹脂;三菱ケミカル社製のjER152、jER154、ダウケミカル社製のD.E.N.431、D.E.N.438、DIC社製のEPICLON N-730、N-770、N-865、日鉄ケミカル&マテリアル社製のエポトートYDCN-701、YDCN-704、日本化薬社製のEPPN-201、EOCN-1025、EOCN-1020、EOCN-104S、RE-306、NC-3000、NC-3000L、住友化学社製のスミ-エポキシESCN-195X、ESCN-220、日鉄ケミカル&マテリアル社製のYDCN-700-2、YDCN-700-3、YDCN-700-5、YDCN-700-7、YDCN-700-10、YDCN-704 YDCN-704A、DIC社製のEPICLON N-680、N-690、N-695(いずれも商品名)等のノボラック型エポキシ樹脂;DIC社製のEPICLON 830、三菱ケミカル社製jER807、日鉄ケミカル&マテリアル社製のエポトートYDF-170、YDF-175、YDF-2004等(何れも商品名)のビスフェノールF型エポキシ樹脂;日鉄ケミカル&マテリアル社製のエポトートST-2004、ST-2007、ST-3000(商品名)、三菱ケミカル社製のYX8034等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱ケミカル社製のjER604、日鉄ケミカル&マテリアル社製のエポトートYH-434、住友化学社製のスミ-エポキシELM-120等(何れも商品名)のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;ダイセル社製のセロキサイド2021等(何れも商品名)の脂環式エポキシ樹脂;三菱ケミカル社製のYL-933、日本化薬社製のEPPN-501、EPPN-502等(何れも商品名)のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;三菱ケミカル社製のYL-6056、YX-4000、YL-6121(何れも商品名)等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;日本化薬社製EBPS-200、ADEKA社製EPX-30、DIC社製のEXA-1514(商品名)等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;三菱ケミカル社製のjER157S(商品名)等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;三菱ケミカル社製のjERYL-931等(何れも商品名)のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;日産化学社製のTEPIC等(何れも商品名)の複素環式エポキシ樹脂;日油社製ブレンマーDGT等のジグリシジルフタレート樹脂;日鉄ケミカル&マテリアル社製ZX-1063等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;日鉄ケミカル&マテリアル社製ESN-190、ESN-360、DIC社製HP-4032、EXA-4750、EXA-4700等のナフタレン骨格含有エポキシ樹脂;DIC社製HP-7200、HP-7200H等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;日油社製CP-50S、CP-50M等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;CTBN変性エポキシ樹脂(例えば日鉄ケミカル&マテリアル社製のYR-102、YR-450等)などが挙げられる。
樹脂層(A)において、(A3)エポキシ樹脂は、どのような配合量であってもよいが、(A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂および(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂に含まれるアルカリ溶解性基(フェノール性水酸基、カルボキシル基)当量と(A3)エポキシ樹脂のエポキシ当量の比が1:0.1~1:10となるような割合で配合することが好ましい。
(A3) Specific examples of the epoxy resin include jER828, jER834, jER1001, and jER1004 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; EPICLON 840, 850, 850-S, 1050, and 2055 manufactured by DIC; YD-011, YD-013, YD-127, YD-128, Dow Chemical Company D.I. E. R. 317, D. E. R. 331, D. E. R. 661, D. E. R. 664, Sumie-epoxy ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128, etc. (all trade names) manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.; jERYL903 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.; EPICLON 152, 165, Epotote YDB-400 and YDB-500 manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials, D.I. manufactured by Dow Chemical. E. R. 542, Sumie-epoxy ESB-400, ESB-700, etc. (both trade names) manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.; jER152 and jER154 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.; E. N. 431, D. E. N. 438, EPICLON N-730, N-770, N-865 manufactured by DIC, Epotato YDCN-701, YDCN-704 manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials, EPPN-201, EOCN-1025 manufactured by Nippon Kayaku, EOCN-1020, EOCN-104S, RE-306, NC-3000, NC-3000L, Sumitomo Chemical Co., Ltd. Sumy-Epoxy ESCN-195X, ESCN-220, Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd. YDCN-700-2, YDCN-700-3, YDCN-700-5, YDCN-700-7, YDCN-700-10, YDCN-704 YDCN-704A, DIC EPICLON N-680, N-690, N-695 (both Novolac type epoxy resin such as trade name); EPICLON 830 manufactured by DIC, jER807 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Epotato YDF-170, YDF-175, YDF-2004 manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials Co., Ltd. (all trade names) Bisphenol F type epoxy resin; Epotote ST-2004, ST-2007, ST-3000 (trade name) manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials Co., Ltd., hydrogenated bisphenol A type epoxy resin such as YX8034 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; Mitsubishi Chemical Glycidylamine type epoxy resins such as jER604 manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials Co., Ltd., Epotote YH-434 manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials Co., Ltd., and Sumi-Epoxy ELM-120 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. (all are trade names); Hydantoin type epoxy resins; Alicyclic epoxy resins such as Celoxide 2021 (both trade names) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; Trihydroxy resins such as YL-933 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, EPPN-501 and EPPN-502 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (both trade names) Phenylmethane type epoxy resin; Mitsubishi Chemical Corp. YL-6056, YX-4000, YL-6121 (all trade names) and other bixylenol type or biphenol type epoxy resins or mixtures thereof; Nippon Kayaku Co., Ltd. EBPS- 200, ADEKA EPX-30, DIC EXA-1514 (trade name) and other bisphenol S type epoxy resins; Mitsubishi Chemical Corp. jER157S (trade name) and other bisphenol A novolac type epoxy resins; Mitsubishi Chemical Corp. Tetraphenylol ethane type epoxy resin such as jERYL-931 (both trade names) manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd. Heterocyclic epoxy resin such as TEPIC (both trade names); Diglycidyl phthalate resins such as DGT; tetraglycidyl xylenoyl ethane resins such as ZX-1063 manufactured by Nippon Steel Chemical &Materials; ESN-190 and ESN-360 manufactured by Nippon Steel Chemical &Materials; HP-4032 manufactured by DIC; Naphthalene skeleton-containing epoxy resins such as EXA-4750 and EXA-4700; Epoxy resins having a dicyclopentadiene skeleton such as HP-7200 and HP-7200H manufactured by DIC Corporation; Glycidyl such as CP-50S and CP-50M manufactured by NOF Corporation methacrylate-copolymerized epoxy resins; copolymerized epoxy resins of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate; CTBN-modified epoxy resins (eg YR-102, YR-450, etc. manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials Co., Ltd.), and the like.
In the resin layer (A), (A3) the epoxy resin may be in any amount, but the alkali contained in (A1) the alkali-soluble polyamideimide resin and (A2) the alkali-soluble polyimide resin It is preferable that the ratio of the soluble group (phenolic hydroxyl group, carboxyl group) equivalent to the epoxy equivalent of the (A3) epoxy resin is 1:0.1 to 1:10.

このような配合比の範囲とすることにより、現像が良好となり、微細パターンを容易かつ高精度に形成することができるものとなる。上記当量比は、1:0.2~1:5であることがより好ましい。 By setting the compounding ratio within such a range, the development is improved, and a fine pattern can be easily formed with high accuracy. More preferably, the equivalent ratio is 1:0.2 to 1:5.

((A4)光重合開始剤)
樹脂層(A)を構成する樹脂組成物は、(A4)光重合開始剤を含むことが好ましい。
(A4)光重合開始剤としては、オキシムエステル基を有するオキシムエステル系光重合開始剤、α-アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤からなる群から選択される1種以上の光重合開始剤を好適に使用することができる。
((A4) photopolymerization initiator)
The resin composition constituting the resin layer (A) preferably contains (A4) a photopolymerization initiator.
(A4) The photopolymerization initiator is one selected from the group consisting of an oxime ester photopolymerization initiator having an oxime ester group, an α-aminoacetophenone photopolymerization initiator, and an acylphosphine oxide photopolymerization initiator. The above photopolymerization initiators can be preferably used.

オキシムエステル系光重合開始剤としては、市販品として、BASFジャパン社製のIRUGACURE OXE01、IRUGACURE OXE02、アデカ社製N-1919、NCI-831などが挙げられる。また、分子内に2個のオキシムエステル基を有する光重合開始剤も好適に用いることができる。 Examples of the oxime ester photopolymerization initiator include commercial products such as IRUGACURE OXE01 and IRUGACURE OXE02 manufactured by BASF Japan, N-1919 and NCI-831 manufactured by Adeka Corporation. A photopolymerization initiator having two oxime ester groups in the molecule can also be preferably used.

α-アミノアセトフェノン系光重合開始剤としては、具体的には2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルホリノプロパノン-1、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタン-1-オン、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル]-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン、N,N-ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、IGM Resins B.V社製のOmnirad907、Omnirad369、Omnirad379などが挙げられる。 As the α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiator, specifically, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropanone-1,2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl)-butan-1-one, 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone, N , N-dimethylaminoacetophenone, and the like. Commercially available products include IGM Resins B.I. Omnirad 907, Omnirad 369, Omnirad 379 manufactured by V company, and the like.

アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、具体的には2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチル-ペンチルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。市販品としては、IGM Resins B.V社製のOmnirad819などが挙げられる。 Specific examples of acylphosphine oxide photopolymerization initiators include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide, bis(2,6-dimethoxy benzoyl)-2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide and the like. Commercially available products include IGM Resins B.I. Omnirad 819 manufactured by V company and the like can be mentioned.

(A4)光重合開始剤としては後述する光照射後のPEB工程に用いる場合には、光塩基発生剤としての機能も有する光重合開始剤が好適に使用される。なお、このPEB工程では、光重合開始剤と光塩基発生剤とを併用してもよい。 (A4) As the photopolymerization initiator, a photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator is preferably used when used in the PEB step after photoirradiation, which will be described later. In this PEB step, a photopolymerization initiator and a photobase generator may be used together.

光塩基発生剤としての機能も有する光重合開始剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、後述する熱硬化性樹脂の重合反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば2級アミン、3級アミンが挙げられる。このような光塩基発生剤としての機能も有する光重合開始剤としては、上述のα-アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基以外にも、N-ホルミル化芳香族アミノ基、N-アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメート基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。 The photopolymerization initiator, which also functions as a photobase generator, changes its molecular structure by irradiation with light such as ultraviolet light or visible light, or when the molecule is cleaved, the polymerization reaction of the thermosetting resin described later is initiated. A compound that produces one or more basic substances that can function as a catalyst. Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines. Examples of photopolymerization initiators that also function as photobase generators include the above-mentioned α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N- Compounds having a substituent such as an acylated aromatic amino group, a nitrobenzylcarbamate group, an alkoxybenzylcarbamate group, and the like are included.

これらの光重合開始剤としては、オキシムエステル系光重合開始剤、α-アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤のうち少なくともいずれか1種を用いることが特に好ましい。(A4)光重合開始剤の配合量は、樹脂層(A)に含まれるすべての固形分に対して、0.1~20質量%であることが好ましく、1質量%~10質量%であることがより好ましい。0.1質量%以上であると、銅上での光硬化性が向上し、塗膜の密着性が良好とされるとともに、耐薬品性などの塗膜特性も向上する。一方、20質量%以下とすることで、アウトガスの低減効果が得られる。 As these photopolymerization initiators, it is particularly preferable to use at least one of oxime ester photopolymerization initiators, α-aminoacetophenone photopolymerization initiators, and acylphosphine oxide photopolymerization initiators. (A4) The amount of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 20% by mass, more preferably 1 to 10% by mass, based on the total solid content in the resin layer (A). is more preferable. When it is 0.1% by mass or more, the photocurability on copper is improved, the adhesion of the coating film is improved, and the coating film properties such as chemical resistance are also improved. On the other hand, by making it 20% by mass or less, the effect of reducing outgassing can be obtained.

[樹脂層(B)]
樹脂層(B)を構成する樹脂組成物は以下の成分を含む。
((B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂)
本発明に用いる(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂としては、分子中にカルボキシル基と(メタ)アクリロイル基、またその誘導体由来のものが好ましい。(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)を好適に使用できる。
[Resin layer (B)]
The resin composition constituting the resin layer (B) contains the following components.
((B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin)
As the (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin used in the present invention, those derived from a carboxyl group and a (meth)acryloyl group or derivatives thereof in the molecule are preferable. (B1) As specific examples of the alkali-soluble (meth)acrylate resin, the following compounds (both oligomers and polymers may be used) can be suitably used.

(1)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物と、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物との重付加反応によるアルカリ溶解性のウレタン系(メタ)アクリレート樹脂。 (1) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates, bisphenol A epoxy resins, hydrogenated bisphenol A epoxy resins, bisphenol F epoxy resins, and bisphenol S epoxy resins , bixylenol-type epoxy resin, biphenol-type epoxy resin, etc. (meth)acrylate or its partial acid anhydride-modified product with a carboxyl group-containing dialcohol compound and a diol compound, resulting in alkali solubility due to a polyaddition reaction urethane-based (meth)acrylate resin.

(2)前記(1)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子内に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したアルカリ溶解性のウレタン系(メタ)アクリレート樹脂。 (2) During the synthesis of the resin of (1) above, a compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule such as hydroxyalkyl (meth)acrylate is added to terminally (meth)acrylate. Alkali-soluble urethane-based (meth)acrylate resin.

(3)前記(1)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子内に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え末端(メタ)アクリル化したアルカリ溶解性のウレタン系(メタ)アクリレート樹脂。 (3) During the synthesis of the resin in (1) above, a compound having one isocyanate group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate, is added. Alkali-soluble urethane-based (meth)acrylate resin with terminal (meth)acrylate.

(4)2官能又はそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に2塩基酸無水物を付加させたアルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂。 (4) Alkali-soluble (meth)acrylate obtained by reacting (meth)acrylic acid with a polyfunctional (solid) epoxy resin having a functionality of 2 or more and adding a dibasic acid anhydride to the hydroxyl group present in the side chain. resin.

(5)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたアルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂。 (5) Alkali obtained by reacting (meth)acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin obtained by further epoxidizing the hydroxyl groups of a bifunctional (solid) epoxy resin with epichlorohydrin, and adding a dibasic acid anhydride to the resulting hydroxyl groups Soluble (meth)acrylate resin.

(6)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に(メタ)アクリル酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるアルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂。 (6) A reaction product obtained by reacting a compound having multiple phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide is reacted with (meth)acrylic acid, and the resulting reaction product is Alkali-soluble (meth)acrylate resin obtained by reacting polybasic acid anhydride.

(7)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に(メタ)アクリル酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるアルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂。 (7) A reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate and reacting (meth)acrylic acid with the reaction product. Alkali-soluble (meth)acrylate resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a substance.

(8)上記(1)~(7)の樹脂にさらに1分子内に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるアルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語で、他の類似の表現についても同様である。
(8) An alkali-soluble (meth)acrylate resin obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl groups in one molecule to the resins of (1) to (7) above. .
In this specification, (meth)acrylate is a generic term for acrylate, methacrylate and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

前記のような(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数のカルボキシル基を有するため、希アルカリ水溶液による現像が可能になる。
また、(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂の酸価は、40~200mgKOH/gの範囲が適当であり、より好ましくは45~120mgKOH/gの範囲である。(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂の酸価が40mgKOH/g以上であるとアルカリ現像が良好に行なわれ、一方、200mgKOH/g以下とすることにより、現像液による露光部の溶解は生じず、必要以上にラインが痩せることもなく、露光部と未露光部の区別が保たれて、現像液で溶解剥離等も生ずることなく、正常なレジストパターンの描画が行われる。
Since the (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin as described above has a large number of carboxyl groups in the side chains of the backbone polymer, development with a dilute aqueous alkali solution is possible.
The acid value of (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin is suitably in the range of 40 to 200 mgKOH/g, more preferably in the range of 45 to 120 mgKOH/g. (B1) When the acid value of the alkali-soluble (meth)acrylate resin is 40 mgKOH/g or more, good alkali development is achieved. A normal resist pattern can be drawn without occurrence of thinning of the line more than necessary, the distinction between the exposed area and the unexposed area is maintained, and dissolution and peeling by the developer does not occur.

また、(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂の質量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に1,000~150,000、さらには2,000~100,000の範囲にあるものが好ましい。質量平均分子量が2,000以上であると、タックフリー性能が良好となり、露光後の塗膜の耐湿性が十分となり、現像が設計通りに行われて、解像度が向上する。一方、質量平均分子量が150,000以下とされることにより、優れた現像性が安定的に得られ、貯蔵安定性も良好となる。 Further, the mass average molecular weight of (B1) the alkali-soluble (meth)acrylate resin varies depending on the resin skeleton, but is generally in the range of 1,000 to 150,000, further 2,000 to 100,000. things are preferred. When the weight-average molecular weight is 2,000 or more, the tack-free property is good, the moisture resistance of the coating film after exposure is sufficient, development is performed as designed, and the resolution is improved. On the other hand, when the weight average molecular weight is 150,000 or less, excellent developability can be stably obtained, and storage stability is also improved.

このような(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂の配合量は、樹脂層(B)を構成する樹脂組成物の固形分量に対して、20~80質量%、好ましくは30~70質量%の範囲で含まれことが適当である。(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂の配合量が20質量%以上の場合、皮膜強度が向上する。一方、80質量%以下とすることにより、樹脂組成物の粘度が良好とされて、塗布性が向上するため好ましい。。 The amount of such an alkali-soluble (meth)acrylate resin (B1) is 20 to 80% by mass, preferably 30 to 70% by mass, based on the solid content of the resin composition constituting the resin layer (B). %. (B1) When the content of the alkali-soluble (meth)acrylate resin is 20% by mass or more, the film strength is improved. On the other hand, when the amount is 80% by mass or less, the viscosity of the resin composition is considered favorable, and the coatability is improved, which is preferable. .

これら(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂は、前記列挙したものに限らず使用することができ、1種類でも複数種混合しても使用することができる。特にアルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂の中で芳香環を有している樹脂が、屈折率が高く、解像性に優れるので好ましく、さらにノボラック構造を有しているものが解像性だけでなく、PCTやクラック耐性に優れているので好ましい。中でも、(4)、(6)、(7)に挙げたアルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂を用いることが好ましく、(6)、(7)のごときフェノール化合物を出発材料として使用するアルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂はHAST耐性、PCT耐性が優れるため好適に用いることが出来る。 These (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resins are not limited to those listed above, and may be used singly or in combination. Among alkali-soluble (meth)acrylate resins, resins having an aromatic ring are particularly preferable because they have a high refractive index and excellent resolution. It is preferable because it is excellent in PCT and crack resistance. Among them, it is preferable to use the alkali-soluble (meth)acrylate resins listed in (4), (6), and (7). (Meth)acrylate resins having excellent HAST resistance and PCT resistance can be suitably used.

本発明において、(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂((B1)成分)は、樹脂層(A)に含まれる前記(A1)アルカリ溶解性のアミドイミド樹脂((A1)成分)および前記(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂((A2)成分)の少なくとも一方と非相溶性を示すと考えられる。すなわち(A1)成分、(A2)成分、(B1)成分の混合物、またはこれらを含む樹脂層(A)および(B)形成用の樹脂組成物同士の混合物が、樹脂層(A)および樹脂層(B)の界面で、非相溶の混合状態を形成し、この結果、両層の界面が、平滑性を失い、凹凸を生ずる。この凹凸を有する界面に可視光が入射すれば、可視光の乱反射が生じて、電子部品の回路がより良好に隠蔽されると推察される。 In the present invention, the (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin ((B1) component) is the (A1) alkali-soluble amide imide resin ((A1) component) contained in the resin layer (A) and the (A2) It is thought to exhibit incompatibility with at least one of the alkali-soluble polyimide resins (component (A2)). That is, a mixture of the (A1) component, the (A2) component, and the (B1) component, or a mixture of the resin compositions for forming the resin layers (A) and (B) containing these, is the resin layer (A) and the resin layer At the interface of (B), an immiscible mixed state is formed, and as a result, the interface between the two layers loses smoothness and becomes uneven. It is presumed that when visible light is incident on the uneven interface, the visible light is diffusely reflected, and the circuit of the electronic component is better concealed.

((B2)エポキシ樹脂)
樹脂層(B)を構成する樹脂組成物は(B2)エポキシ樹脂を含むことが好ましい。(B2)エポキシ樹脂としては、樹脂層(A)の構成成分として上述した(A3)エポキシ樹脂と同様のものが使用可能である。積層体の樹脂層(A)、樹脂層(B)に用いられる(A3)エポキシ樹脂と(B2) エポキシ樹脂は、相互に同種類のものであっても、別々の種類のものであってもよい。さらに、樹脂層(A)および樹脂層(B)のいずれか、または双方で複数種類のエポキシ樹脂を用いる場合においては、その一部を同種類のエポキシ樹脂としてもよい。
((B2) epoxy resin)
The resin composition constituting the resin layer (B) preferably contains (B2) an epoxy resin. As the (B2) epoxy resin, the same epoxy resin as the (A3) epoxy resin described above as a component of the resin layer (A) can be used. The (A3) epoxy resin and (B2) epoxy resin used for the resin layer (A) and the resin layer (B) of the laminate may be of the same type or different types. good. Furthermore, when a plurality of types of epoxy resins are used for either or both of the resin layer (A) and the resin layer (B), some of them may be of the same type.

樹脂層(B)における(B2)エポキシ樹脂は、どのような配合量であってもよいが、(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂のアルカリ溶解性基(フェノール性水酸基、カルボキシル基)当量と(B2)エポキシ樹脂のエポキシ当量の比が1:0.1~1:10となるような割合で配合することが好ましい。 The (B2) epoxy resin in the resin layer (B) may be in any amount, but the alkali-soluble group (phenolic hydroxyl group, carboxyl group) of the (B1) alkali-soluble (meth)acrylate resin It is preferable that the ratio of the equivalent weight to the epoxy equivalent weight of the (B2) epoxy resin is 1:0.1 to 1:10.

このような配合比の範囲とすることにより、現像が良好となり、微細パターンを容易かつ高精度に形成することができるものとなる。上記当量比は、1:0.2~1:5であることがより好ましい。 By setting the compounding ratio within such a range, the development is improved, and a fine pattern can be easily formed with high accuracy. More preferably, the equivalent ratio is 1:0.2 to 1:5.

[樹脂層(A)および樹脂層(B)の任意成分]
樹脂層(A)および樹脂層(B)は、さらに以下の成分を含むものであってもよい。
[Optional Components of Resin Layer (A) and Resin Layer (B)]
The resin layer (A) and resin layer (B) may further contain the following components.

(光重合性化合物)
樹脂層(A)および(B)は、光重合性化合物を含むものであってよく、ソルダーレジスト等の製造に従来より用いられる光重合性化合物がいずれも使用可能である。
(Photopolymerizable compound)
The resin layers (A) and (B) may contain a photopolymerizable compound, and any photopolymerizable compound conventionally used in the production of solder resists and the like can be used.

樹脂層(A)および(B)に含むことができる光重合性化合物としては、分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、多価アルコールにα,β-不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、グリシジル基含有化合物にα,β-不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物等が挙げられる。 The photopolymerizable compounds that can be contained in the resin layers (A) and (B) include compounds having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule, α,β-unsaturated carboxylic acids added to polyhydric alcohols. A compound obtained by addition, a compound obtained by adding an α,β-unsaturated carboxylic acid to a glycidyl group-containing compound, and the like.

分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物としては、例えば、エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコールのジアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス-ヒドロキシエチルイソシアヌレート等の多価アルコールまたはこれらのエチレオキサイド付加物若しくはプロピレンオキサイド付加物等の多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、およびこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物若しくはプロピレンオキサイド付加物等の多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート等のグリシジルエーテルの多価アクリレート類;およびメラミンアクリレート、および上記アクリレートに対応する各メタクリレート類のいずれか少なくも1種等が挙げられる。 Compounds having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule include, for example, glycol diacrylates such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol and propylene glycol; hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol , dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate and other polyhydric alcohols, or polyhydric acrylates such as their ethyloxide adducts or propylene oxide adducts; phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and ethylene of these phenols polyvalent acrylates such as oxide adducts or propylene oxide adducts; polyvalent acrylates of glycidyl ethers such as glycerol diglycidyl ether, glycerol triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, triglycidyl isocyanurate; and melamine acrylate, and at least one of methacrylates corresponding to the above acrylates.

多価アルコールにα,β-不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物としては、例えば、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、ブチレングリコールジアクリレート、ペンチルグリコールジアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、グリセリンジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等、および上記アクリレートに対応する各メタクリレート類のいずれか少なくも1種等が挙げられる。 Compounds obtained by adding an α,β-unsaturated carboxylic acid to a polyhydric alcohol include, for example, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, and polypropylene. glycol diacrylate, butylene glycol diacrylate, pentyl glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylolmethane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, glycerin diacrylate , pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and the like, and at least one of methacrylates corresponding to the above acrylates.

グリシジル基含有化合物にα,β-不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物としては、例えばエチレングリコールジグリシジルエーテルジアクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジアクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールAグリシジルエーテルジアクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリアクリレート等;その他、2,2-ビス(4-アクリロイルオキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2-ビス-(4-アクリロイルオキシポリエトキシフェニル)プロパン、2-ヒドロキシ-3-アクリロイルオキシプロピルアクリレート、および上記アクリレートに対応する各メタクリレート類のいずれか少なくも1種等が挙げられる。上記した光重合性化合物は、1種または2種以上を組合せて用いることができる。 Compounds obtained by adding an α,β-unsaturated carboxylic acid to a glycidyl group-containing compound include, for example, ethylene glycol diglycidyl ether diacrylate, diethylene glycol diglycidyl ether diacrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, and bisphenol A. glycidyl ether diacrylate, phthalic acid diglycidyl ester diacrylate, glycerin polyglycidyl ether polyacrylate, etc.; 2,2-bis(4-acryloyloxydiethoxyphenyl)propane, 2,2-bis-(4-acryloyloxy polyethoxyphenyl)propane, 2-hydroxy-3-acryloyloxypropyl acrylate, and at least one of methacrylates corresponding to the above acrylates. The above photopolymerizable compounds can be used singly or in combination of two or more.

また、光重合性化合物として、硬化物の強靭性などを付与する目的で、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、およびエポキシアクリレート等が挙げられる。また、粘度調節等の目的で、単官能(メタ)アクリレート、例えばメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリシジルメタクリレート等の(メタ)アクリレート類や、アクリロイルモルホリン等を使用することもできる。
(無機充填剤)
無機充填材は、硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させるために配合することができる。このような無機充填剤としては、例えば、硫酸バリウム、無定形シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ノイブルグシリシャスアース等が挙げられる。
Further, the photopolymerizable compound includes urethane acrylate, polyester acrylate, epoxy acrylate, and the like for the purpose of imparting toughness to the cured product. In addition, for the purpose of viscosity adjustment, monofunctional (meth)acrylates such as methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, isobutyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, stearyl (meth)acrylate, ) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, hydroxypropyl (meth)acrylate, hydroxybutyl (meth)acrylate, glycidyl methacrylate and other (meth)acrylates, acryloylmorpholine and the like can also be used.
(Inorganic filler)
Inorganic fillers can be added in order to suppress curing shrinkage of the cured product and improve properties such as adhesion and hardness. Examples of such inorganic fillers include barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, and Neuburg Silicious Earth.

(熱硬化触媒)
樹脂層(A)および(B)は、熱硬化触媒を配合することができる。熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、4-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-(2-シアノエチル)-2-エチル-4-メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4-(ジメチルアミノ)-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メトキシ-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メチル-N,N-ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物等が挙げられる。また、市販されているものとしては、例えば四国化成工業株式会社製の2MZ-A、2MZ-OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ株式会社製のU-CAT 3513N(ジメチルアミン系化合物の商品名)、DBU、DBN、U-CAT SA 102(いずれも二環式アミジン化合物およびその塩)などが挙げられる。これらは、単独でまたは2種以上を混合して使用可能である。
(Thermosetting catalyst)
The resin layers (A) and (B) can contain a thermosetting catalyst. Examples of thermosetting catalysts include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1- Imidazole derivatives such as (2-cyanoethyl)-2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino)-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N-dimethylbenzyl amines, amine compounds such as 4-methyl-N,N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. In addition, commercially available products include, for example, 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, and 2P4MHZ manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd. (all are trade names of imidazole compounds), and U-CAT manufactured by San-Apro Co., Ltd. 3513N (trade name of dimethylamine compound), DBU, DBN, U-CAT SA 102 (all bicyclic amidine compounds and salts thereof), and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

さらに、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、テトラヒドロ無水フタル酸付加メラミン、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン、2-ビニル-2,4-ジアミノ-S-トリアジン、2-ビニル-4,6-ジアミノ-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS-トリアジン誘導体を用いることもできる。熱硬化触媒は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Furthermore, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, tetrahydrophthalic anhydride addition melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2- S-triazine derivatives such as vinyl-4,6-diamino-S-triazine/isocyanuric acid adduct and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine/isocyanuric acid adduct can also be used. One type of thermosetting catalyst may be used alone, or two or more types may be used in combination.

(着色剤)
着色剤としては、赤、青、緑、黄、白、黒などの公知慣用の着色剤を配合することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。
(coloring agent)
As the colorant, known and commonly used colorants such as red, blue, green, yellow, white, and black can be blended, and any of pigments, dyes, and pigments can be used.

(有機溶剤)
有機溶剤は、樹脂層(A)および(B)用成分となる樹脂の製造や、これらを含む樹脂組成物の製造、または粘度調整のために配合することができる。このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などを挙げることができる。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。
(Organic solvent)
The organic solvent can be blended for the production of the resins to be the components for the resin layers (A) and (B), the production of the resin composition containing these, or the adjustment of the viscosity. Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, and petroleum solvents. Such organic solvents may be used singly or as a mixture of two or more.

(その他成分)
必要に応じてさらに、メルカプト化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、公知慣用のものを用いることができる。また、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤および/またはレベリング剤、シランカップリング剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
(Other ingredients)
Further components such as mercapto compounds, adhesion promoters, antioxidants, and ultraviolet absorbers can be blended as necessary. Known and commonly used materials can be used as these materials. In addition, known and commonly used thickeners such as finely divided silica, hydrotalcite, organic bentonite, and montmorillonite, antifoaming agents and/or leveling agents such as silicone-based, fluorine-based, and polymer-based agents, silane coupling agents, and rust inhibitors. Known and commonly used additives such as these can be blended.

(積層体の製造工程)
本発明の積層体(ドライフィルム)の製造例を、図1を参照しながら説明する。
図1には、本発明の積層体の一実施の形態が断面図として示されている。図1において、積層体10は、まず、第1フィルム1上に、樹脂層(A)を構成する樹脂組成物を、有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、常法に従い、コンマコーター等の公知の手法で塗布する。その後、通常、50~140℃の温度で1~30分間乾燥することで、第1フィルム1上に樹脂層(A)の乾燥塗膜が形成される。このように得られた樹脂層(A)の上に、さらに樹脂層(B)を構成する樹脂組成物を、有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、常法に従い、コンマコーター等の公知の手法で塗布する。その後、通常、50~140℃の温度で1~30分間乾燥することで、樹脂層(A)の第1フィルム1とは反対側の面に樹脂層(B)の乾燥塗膜が形成される。
(Manufacturing process of laminate)
A production example of the laminate (dry film) of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 1 shows a cross-sectional view of one embodiment of the laminate of the present invention. In FIG. 1, the laminate 10 is prepared by diluting the resin composition constituting the resin layer (A) on the first film 1 with an organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate value, followed by a comma coater according to a conventional method. It is applied by a known method such as. After that, it is usually dried at a temperature of 50 to 140° C. for 1 to 30 minutes to form a dry coating film of the resin layer (A) on the first film 1 . On the resin layer (A) thus obtained, the resin composition constituting the resin layer (B) is further diluted with an organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate level, and is coated with a comma coater or the like according to a conventional method. It is applied by a known method. Thereafter, it is usually dried at a temperature of 50 to 140° C. for 1 to 30 minutes to form a dry coating film of the resin layer (B) on the surface of the resin layer (A) opposite to the first film 1. .

樹脂層(A)および(B)の形成のための樹脂組成物の塗布は、上記のコンマコーターの他、ブレードコーター、リップコーター、フィルムコーター等の公知の機器によって行うことも可能であり、乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等、蒸気による加熱方式の熱源を備えた機器を用いることにより好ましく行われ、乾燥機内の熱風を向流接触させる方法、およびノズルより吹き付ける方法等、公知の方法を用いることもできる。 Application of the resin composition for forming the resin layers (A) and (B) can be performed by known equipment such as a blade coater, a lip coater, a film coater, etc. in addition to the comma coater described above. Is preferably carried out by using a device equipped with a steam heating type heat source such as a hot air circulation drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven, etc. A known method such as a spraying method can also be used.

また、積層体の樹脂層(B)上、すなわち、積層体の樹脂層(B)の樹脂層(A)とは反対側に位置する面には、樹脂層表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、剥離可能な第2フィルム2を積層することができる。第1フィルム1および第2フィルム2としては、従来公知のプラスチックフィルムを適宜用いることができる。 In addition, on the resin layer (B) of the laminate, that is, on the surface of the resin layer (B) of the laminate opposite to the resin layer (A), dust is prevented from adhering to the surface of the resin layer. For such purposes, a peelable second film 2 can be further laminated. As the first film 1 and the second film 2, conventionally known plastic films can be appropriately used.

第2フィルム2の、樹脂層(B)との接着力は、第1フィルム1と樹脂層(A)との接着力よりも小さいものであることが好ましい。本発明の積層体10は、まず第2フィルム2を剥離した後で、電子機器上に載置されるため、上記のように接着力を制御することにより、この作業が容易とされる。第1フィルム1および第2フィルム2の厚さについては特に制限はないが、一般には10~150μmの範囲で適宜選択される。
このように、第1フィルム1、樹脂層(A)と、樹脂層(B)と、第2フィルム2とが、この順序に積層された4層構造の積層体がドライフィルムとして製造される。
また、本発明の積層体は、片面のみが、フィルム(第1フィルム1または第2フィルム2のいずれか)で支持または保護されてもよいし、フィルムを含まない積層体であってもよい。さらに、本発明の積層体(ドライフィルム)は、ロール状に巻回されていてもよい。
The adhesive force between the second film 2 and the resin layer (B) is preferably smaller than the adhesive force between the first film 1 and the resin layer (A). Since the laminate 10 of the present invention is placed on an electronic device after first peeling off the second film 2, this work is facilitated by controlling the adhesive force as described above. The thicknesses of the first film 1 and the second film 2 are not particularly limited, but are generally selected appropriately within the range of 10 to 150 μm.
Thus, a laminate having a four-layer structure in which the first film 1, the resin layer (A), the resin layer (B), and the second film 2 are laminated in this order is manufactured as a dry film.
Also, the laminate of the present invention may be supported or protected with a film (either the first film 1 or the second film 2) on only one side, or may be a laminate containing no film. Furthermore, the laminate (dry film) of the present invention may be wound into a roll.

塗膜強度の観点から、各層間の界面は、馴染んでいてもよい。すなわち、樹脂層(A)と樹脂層(B)とは密着性が高く、第1フィルム1や、第2フィルム2の剥離時、あるいは、積層体としてその他の剥離される層が存在する場合には、その剥離される層の剥離時において樹脂層(A)と樹脂層(B)は相互に密着して耐久性の高い永久被膜を形成することが好ましい。 From the viewpoint of coating film strength, the interface between each layer may be familiar. That is, the resin layer (A) and the resin layer (B) have high adhesion, and when the first film 1 or the second film 2 is peeled off, or when there are other layers to be peeled off as a laminate, It is preferable that the resin layer (A) and the resin layer (B) adhere to each other when the layers to be peeled off form a highly durable permanent film.

上記のように得られた積層体は、プリント配線板等の電子機器(保護対象)に対して適用され、ソルダーレジスト等として機能する。本発明の積層体は、保護対象に積層されて用いられる場合に、樹脂層(B)が電子部品側、樹脂層(A)が表層側となるようにラミネートされる。 The laminate obtained as described above is applied to electronic devices (to be protected) such as printed wiring boards, and functions as a solder resist or the like. The laminate of the present invention is laminated so that the resin layer (B) is on the electronic component side and the resin layer (A) is on the surface layer side when the laminate of the present invention is laminated on an object to be protected.

本発明の積層体が電子機器上に配置される際には、積層体は第2フィルム2を有する場合はこれを剥離し、樹脂層(B)が、回路基板の保護対象面を覆うように対向配置し、ラミネーターを用いて加圧することにより、積層体と電子機器とを密着させる。ラミネーターとしては、市販の真空加熱加圧型ラミネーターなどを用いることができる。たとえば名機製作所社製真空加圧式ラミネーター、ニチゴー・モートン社製バキューム・アプリケーターなどを用いることができる。この場合は前述の真空加熱加圧型ラミネーターのほか、ロールラミネーター、真空ロールラミネーターや真空プレスなどを使用して行うこともできる。真空プレスは市販されている通常の装置が適用でき、例えば多段プレス、多段真空プレス、クイックプレス、連続成形、オートクレーブ成形機等が使用できる。以上のラミネーター等の運転条件は、60~130℃で行うことができ、圧力0.1~0.7MPa、加熱加圧時間1~90秒、真空度10~10,000Pa、真空時間1~90秒の範囲で処理することができる。 When the laminate of the present invention is placed on an electronic device, if the laminate has the second film 2, it is peeled off and the resin layer (B) covers the surface to be protected of the circuit board. By arranging them facing each other and applying pressure using a laminator, the laminate and the electronic device are brought into close contact with each other. As the laminator, a commercially available vacuum heating and pressurizing laminator can be used. For example, a vacuum pressurized laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nichigo-Morton, etc. can be used. In this case, in addition to the above-described vacuum heating and pressurizing laminator, a roll laminator, a vacuum roll laminator, a vacuum press, or the like can also be used. Commercially available general equipment can be applied to the vacuum press. The operating conditions of the above laminator, etc., can be performed at 60 to 130 ° C., pressure 0.1 to 0.7 MPa, heating and pressurizing time 1 to 90 seconds, degree of vacuum 10 to 10,000 Pa, vacuum time 1 to 90 A range of seconds can be processed.

また、本発明の積層体を回路基板上に配置する方法としては、樹脂層(A)および樹脂層(B)をそれぞれ個別にドライフィルムとして作成し、このドライフィルムを回路基板の保護対象面に順次ラミネートする方法によることもできる。即ち、まず、樹脂層(B)のドライフィルムを回路基板にラミネートすることによって、回路基板上に樹脂層(B)を形成する。その後、樹脂層(A)のドライフィルムを樹脂層(B)上にラミネートすることによって、回路基板上に形成された本発明の積層体を得ることができる。 Further, as a method for disposing the laminate of the present invention on a circuit board, the resin layer (A) and the resin layer (B) are individually prepared as dry films, and the dry films are applied to the surface to be protected of the circuit board. A method of sequentially laminating can also be used. That is, first, the resin layer (B) is formed on the circuit board by laminating the dry film of the resin layer (B) on the circuit board. After that, by laminating the dry film of the resin layer (A) on the resin layer (B), the laminate of the present invention formed on the circuit board can be obtained.

なお、本発明において、「上」、「対向」とは、その対象として記載した層や面等が、必ずしも接している必要はなく、場合によっては他の層を介して設けられていることもある。一方で、「直接」等とは層や面が接している状態を意味する。 In the present invention, "above" and "opposite" do not necessarily mean that the layers, surfaces, etc. described as objects are in contact, and in some cases they may be provided via another layer. be. On the other hand, "directly" or the like means a state in which layers or surfaces are in contact with each other.

この他、回路基板に対して直接的に、樹脂層(B)用の樹脂組成物を塗布、乾燥し、次いで乾燥状態とされた樹脂層(B)上に、樹脂層(A)用の樹脂組成物を塗布、乾燥することにより、積層体を形成してもよい。この場合は、積層体(ドライフィルム)は、回路基板側から、樹脂層(B)および樹脂層(A)が順に積層されてなり、樹脂層(B)および(A)は、回路基板上に積層した状態で、本発明の積層体を構成する。このように回路基板に対して直接設けられる場合も、第1フィルム1を用いて積層体を製造する場合と同様に、樹脂組成物の有機溶剤を用いた粘度調整、塗布、乾燥などが行われる。 In addition, the resin composition for the resin layer (B) is directly applied to the circuit board, dried, and then the resin for the resin layer (A) is applied onto the dried resin layer (B). A laminate may be formed by applying and drying the composition. In this case, the laminate (dry film) is formed by laminating the resin layer (B) and the resin layer (A) in order from the circuit board side, and the resin layers (B) and (A) are laminated on the circuit board. The layered body of the present invention is constructed in a layered state. Even when directly provided on the circuit board in this way, viscosity adjustment using an organic solvent of the resin composition, application, drying, etc. are performed in the same manner as in the case of producing a laminate using the first film 1. .

樹脂組成物の製造にあたり、粘度調整に用いられる有機溶剤は、上述したような公知の有機溶剤から適宜選択される。 In producing the resin composition, the organic solvent used for adjusting the viscosity is appropriately selected from the known organic solvents as described above.

このように製造された積層体は、後述の硬化処理により硬化してプリント配線板等の電子機器(保護対象)上に永久被膜を構成する。
本発明の積層体は、電子部品、特にプリント配線板の保護膜の形成に好ましく用いることができ、中でもソルダーレジスト層、フレキシブルプリント配線板のカバーレイ等の永久保護膜の形成に好ましく用いることができる。また、前記プリント配線板は特に限定されないが、本発明の積層体は、解像度が高く、さらに機械物性にも優れることから、パッケージ基板に好適に用いることができる。
The laminate thus produced is cured by a curing treatment described below to constitute a permanent coating on an electronic device (protection target) such as a printed wiring board.
The laminate of the present invention can be preferably used for forming a protective film for electronic parts, particularly for printed wiring boards, and is particularly preferably used for forming permanent protective films such as solder resist layers and coverlays for flexible printed wiring boards. can. Although the printed wiring board is not particularly limited, the laminate of the present invention has high resolution and is excellent in mechanical properties, so that it can be suitably used as a package substrate.

(硬化物および硬化物を含む電子部品の製造方法)
本発明の積層体10を含む電子部品の製造方法の一例を、図2の工程図を参照しながら説明する。
図2は、導体回路が形成されたプリント配線基板20に本発明の積層体(ドライフィルム)10を形成する工程(a)(積層工程)、この積層体に活性エネルギー線をパターン状に照射する工程(b)(露光工程)、および、この積層体をアルカリ現像して、パターン化された積層体を一括形成する工程(d)(現像工程)を含む製造方法である。また、必要に応じて、アルカリ現像後、さらなる光硬化や熱硬化を行う工程(e)(ポストキュア工程)を行い、積層体を完全に硬化させて、信頼性の高いプリント配線板を得ることができる。さらに、必要に応じて、露光工程と現像工程の間に積層体を加熱する工程(c)(PEB工程)を入れて、現像工程により、パターン化された積層体を一括形成してもよい。さらに、樹脂層(A)が、光照射により塩基性物質を生成する化合物を含有する場合には、解像性の観点から、前記PEB工程を行うことが好ましい。なお、現像工程では、上記の露光および任意のPEB工程を経ることにより、樹脂層(A)および(B)が同時(一括)に現像されるため、これを上記では「一括形成」と称している。
(Method for Producing Cured Product and Electronic Component Containing Cured Product)
An example of a method for manufacturing an electronic component including the laminate 10 of the present invention will be described with reference to the process diagrams of FIGS.
FIG. 2 shows the step (a) (lamination step) of forming the laminate (dry film) 10 of the present invention on a printed wiring board 20 on which a conductor circuit is formed, and irradiating the laminate with an active energy ray in a pattern. The manufacturing method includes step (b) (exposure step) and step (d) (development step) of forming a patterned laminate collectively by developing the laminate with an alkali. Further, if necessary, after the alkali development, a step (e) (post-cure step) of further photocuring or heat-curing is performed to completely cure the laminate to obtain a highly reliable printed wiring board. can be done. Furthermore, if necessary, the step (c) (PEB step) of heating the laminate may be inserted between the exposure step and the development step to collectively form a patterned laminate by the development step. Furthermore, when the resin layer (A) contains a compound that generates a basic substance upon irradiation with light, it is preferable to perform the PEB step from the viewpoint of resolution. In the development step, the resin layers (A) and (B) are developed simultaneously (batch) through the exposure and optional PEB steps, so this is referred to as “batch formation” above. there is

[工程a:積層工程]
この工程では、導体回路21が形成されたプリント配線基板20に、樹脂層(B)および樹脂層(A)を構成する樹脂組成物を、順次、プリント配線基板20上に直接塗布、乾燥することにより、プリント配線基板20上に樹脂層(B)および樹脂層(A)を直接形成するか、または、樹脂層(B)および樹脂層(A)を、上述したように予め製造したドライフィルム形態にした積層体10を、プリント配線基板20にラミネートする。あるいは、上述のように樹脂層(A)と樹脂層(B)をそれぞれ別個にドライフィルムとして、順次プリント配線基板20にラミネートする。
[Step a: Lamination step]
In this step, the resin composition that constitutes the resin layer (B) and the resin layer (A) is directly applied onto the printed wiring board 20 on which the conductor circuit 21 is formed, and then dried. By directly forming the resin layer (B) and the resin layer (A) on the printed wiring board 20, or forming the resin layer (B) and the resin layer (A) in advance as described above in the form of a dry film The resulting laminate 10 is laminated on the printed wiring board 20 . Alternatively, as described above, the resin layer (A) and the resin layer (B) are individually laminated as dry films on the printed wiring board 20 in sequence.

図2の工程(a)では、樹脂層(A)上の樹脂層(B)として予め作成したドライフィルムを、プリント配線板20上に積層される。積層体10はプリント配線板20に対し、真空ラミネーター等を用いて、加圧および加熱下で貼合することが好ましい。このような真空ラミネーターを使用することにより、プリント配線板20表面に凹凸があっても、ドライフィルム10が配線基材に密着するため、気泡の混入がなく、また、配線基材表面の凹部の穴埋め性も向上する。真空ラミネートの条件は上記の条件を適宜選択して用いることができる。 In step (a) of FIG. 2 , a dry film prepared in advance as the resin layer (B) on the resin layer (A) is laminated on the printed wiring board 20 . Laminate 10 is preferably laminated to printed wiring board 20 under pressure and heat using a vacuum laminator or the like. By using such a vacuum laminator, even if the surface of the printed wiring board 20 has unevenness, the dry film 10 adheres to the wiring base material, so there is no entrapment of air bubbles. The hole-filling property is also improved. As the conditions for vacuum lamination, the above conditions can be appropriately selected and used.

[工程(b):露光工程]
工程(b)では、樹脂層(A)の上面にネガ型のマスク3が配置されている。活性エネルギー線の照射により、樹脂層(A)または樹脂層(B)に含まれる光重合開始剤をネガ型のパターン状に活性化させて、露光部を硬化する。露光機としては、メタルハライドランプを搭載した露光機などを用いることができる。また、マスク3の配置を割愛して直接描画装置により活性エネルギー照射することも可能である。
[Step (b): Exposure step]
In step (b), a negative mask 3 is placed on the upper surface of the resin layer (A). By irradiation with active energy rays, the photopolymerization initiator contained in the resin layer (A) or the resin layer (B) is activated in a negative pattern, and the exposed area is cured. As an exposure machine, an exposure machine equipped with a metal halide lamp or the like can be used. It is also possible to omit the arrangement of the mask 3 and perform activation energy irradiation by a direct drawing apparatus.

露光に用いる活性エネルギー線としては、最大波長が350~450nmの範囲にあるレーザー光、散乱光または平行光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率よく光重合開始剤を活性化させることができる。また、その露光量は膜厚等によって異なるが、通常は、50~1500mJ/cmとすることができる。本発明では、積層体10を露光工程に付して硬化させた以降のものを積層体10の硬化物と呼ぶ。 As active energy rays used for exposure, it is preferable to use laser light, scattered light, or parallel light having a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. By setting the maximum wavelength within this range, the photopolymerization initiator can be efficiently activated. Also, the amount of exposure varies depending on the film thickness and the like, but it can usually be 50 to 1500 mJ/cm 2 . In the present invention, the laminate 10 after being subjected to the exposure process and cured is referred to as a cured product of the laminate 10 .

[工程(c)PEB工程]
上記露光後、任意の工程(c)として、樹脂層を加熱することにより、露光部を硬化することができる。この加熱工程はPEB(POST EXPOSURE BAKE)工程と呼ばれ、これによりフォトリソグラフィー後の積層体10の硬化収縮を抑制し、優れた硬化後の積層体10に優れた解像性を与えることができる。樹脂層(A)、樹脂層(B)が、光塩基発生剤としての機能を有する光重合開始剤、または光重合開始剤と光塩基発生剤との双方を含む場合は、露光工程で発生した塩基によって、樹脂層(A)、樹脂層(B)を深部まで硬化することができる。加熱温度は、例えば、70~140℃、好ましくは80~140℃である。加熱時間は、例えば、2~100分、好ましくは10~100分である。PEB工程では、主に熱反応によるエポキシ樹脂等の開環反応により硬化が進行することから、露光工程による光ラジカル反応により硬化を行う場合と比べてひずみや硬化収縮を抑えることができる。 なお、上記PEB工程として、露光工程と現像工程の間にドライフィルムの層を加熱することにより、露光部を硬化させてもよい。
[Step (c) PEB step]
After the exposure, the exposed portion can be cured by heating the resin layer as an optional step (c). This heating process is called a PEB (POST EXPOSURE BAKE) process, which suppresses curing shrinkage of the laminate 10 after photolithography, and can give excellent resolution to the laminate 10 after curing. . When the resin layer (A) and the resin layer (B) contain a photopolymerization initiator functioning as a photobase generator, or both a photopolymerization initiator and a photobase generator, the photobase generator generated in the exposure step The base can harden the resin layer (A) and the resin layer (B) to the depth. The heating temperature is, for example, 70 to 140°C, preferably 80 to 140°C. The heating time is, for example, 2 to 100 minutes, preferably 10 to 100 minutes. In the PEB process, curing proceeds mainly through ring-opening reaction of epoxy resin or the like due to heat reaction, so distortion and curing shrinkage can be suppressed compared to the case where curing is performed by photoradical reaction in the exposure process. As the PEB process, the exposed portion may be cured by heating the layer of the dry film between the exposure process and the development process.

[工程(d):現像工程]
この工程(d)では、アルカリ現像により、未露光部を除去して、ネガ型のパターン状に硬化した積層体10の硬化物を、特には、カバーレイおよびソルダーレジストとして形成する。現像方法としては、ディッピング等の公知の方法によることができる。また、現像液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化カリウム、アミン類、2-メチルイミダゾール等のイミダゾール類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液、または、これらの混合液を用いることができる。
[Step (d): Development step]
In this step (d), the unexposed portions are removed by alkali development, and the laminate 10 cured in a negative pattern is formed, particularly as a coverlay and a solder resist. As a developing method, a known method such as dipping can be used. As the developer, sodium carbonate, potassium carbonate, potassium hydroxide, amines, imidazoles such as 2-methylimidazole, alkaline aqueous solutions such as tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH), or mixtures thereof. can be used.

[工程(e):ポストキュア工程]
なお、現像工程(d)の後に、さらに、積層体10の硬化物に光照射してもよく、また、例えば、150℃以上で加熱してもよい。加熱温度は、例えば、80~170℃であり、加熱時間は5~100分である。本発明における積層体10のポストキュアは、例えば、熱反応によるエポキシ樹脂の開環反応であるため、光ラジカル反応で硬化が進行する場合と比べてひずみや硬化収縮を抑えることができる。
以上のように、本発明の積層体10の硬化物を含む電子部品100が製造される。
[Step (e): Post-cure step]
After the development step (d), the cured product of the laminate 10 may be further irradiated with light, or heated at 150° C. or higher, for example. The heating temperature is, for example, 80 to 170° C., and the heating time is 5 to 100 minutes. Since the post-curing of the laminate 10 in the present invention is, for example, a ring-opening reaction of the epoxy resin by thermal reaction, it is possible to suppress distortion and cure shrinkage compared to the case where curing proceeds by photoradical reaction.
As described above, the electronic component 100 including the cured product of the laminate 10 of the present invention is manufactured.

本発明の硬化物は、本発明の電子部品におけるソルダーレジスト等の機能を発揮する。電子部品においては、樹脂層(A)が最外層になるように硬化物が形成される。本発明の硬化物は優れた解像性を有することから微細なパターンを形成することが可能であり電子部品の品質を高めることができる。さらに、電子部品の回路を良好に隠蔽することができるとともに、優れた機械特性を発揮する。 The cured product of the present invention exhibits functions such as a solder resist in the electronic component of the present invention. In electronic parts, the cured product is formed such that the resin layer (A) is the outermost layer. Since the cured product of the present invention has excellent resolution, it is possible to form fine patterns and improve the quality of electronic parts. Furthermore, it can well hide the circuits of electronic parts, and exhibits excellent mechanical properties.

本発明において、電子部品とは、電子回路を有する部品を意味し、プリント配線板、トランジスタ、発光ダイオード、レーザーダイオード等の能動部品の他、抵抗、コンデンサ、インダクタ、コネクタ等の受動部品も含まれる。本発明の積層体硬化物が、これら電子部品の絶縁層としての機械特性と良好な回路の隠蔽性を与えるものである。 In the present invention, an electronic component means a component having an electronic circuit, and includes active components such as printed wiring boards, transistors, light emitting diodes, and laser diodes, as well as passive components such as resistors, capacitors, inductors, and connectors. . The cured product of the laminate of the present invention provides mechanical properties as an insulating layer of these electronic parts and good circuit concealability.

以下に実施例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものではない。なお、本実施例および比較例の「部」、「%」の値は、特に断りが無い限り、質量を基準とする。 EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. The values of "parts" and "%" in the examples and comparative examples are based on mass unless otherwise specified.

<樹脂組成物の調製>
I.樹脂成分の合成
[合成例1:カルボキシル基を有するポリアミドイミド樹脂溶液(アルカリ溶解性のポリアイミドイミド樹脂1)の合成(一般式(1)または(2)の何れか一方またはその双方の構造を一分子中に有するポリアミドイミド樹脂)]
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,5-ジアミノ安息香酸を3.8g、2,2’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを6.98g、ジェファーミンXTJ-542(ハンツマン社製、分子量1025.64)を8.21g、γ-ブチロラクトンを86.49g、室温(25℃)で仕込み、溶解した。
<Preparation of resin composition>
I. Synthesis of Resin Component [Synthesis Example 1: Synthesis of polyamideimide resin solution having carboxyl group (alkali-soluble polyimideimide resin 1) (either one or both of general formula (1) or (2) Polyamideimide resin possessed in one molecule)]
3.8 g of 3,5-diaminobenzoic acid and 2,2′-bis[4-(4-aminophenoxy) were placed in a separable three-necked flask equipped with a stirrer, nitrogen inlet tube, fractionation ring, and cooling ring. 6.98 g of phenyl]propane, 8.21 g of Jeffamine XTJ-542 (manufactured by Huntsman, molecular weight: 1025.64), and 86.49 g of γ-butyrolactone were charged and dissolved at room temperature (25°C).

次いで、シクロヘキサン-1,2,4-トリカルボン酸-1,2-無水物17.84gおよびトリメリット酸無水物2.88gを仕込み、室温で30分間保持した。次いで、トルエンを30g加え、160℃まで昇温して、トルエンおよび水を留去しながら3時間撹拌した後、室温まで冷却し、イミド化物溶液を得た。 Next, 17.84 g of cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride and 2.88 g of trimellitic anhydride were charged and kept at room temperature for 30 minutes. Then, 30 g of toluene was added, the temperature was raised to 160° C., and the mixture was stirred for 3 hours while toluene and water were distilled off, and then cooled to room temperature to obtain an imide solution.

得られたイミド化物溶液に、トリメリット酸無水物9.61gおよびトリメチルヘキサメチレンジイソシアネート17.45gを仕込み、温度160℃で32時間撹拌した。こうしてカルボキシル基を有するポリアミドイミド樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液(樹脂1)の固形分は40.1質量%、固形分の酸価は88.1mgKOHであった。 9.61 g of trimellitic anhydride and 17.45 g of trimethylhexamethylene diisocyanate were added to the imidized product solution obtained, and the mixture was stirred at a temperature of 160° C. for 32 hours. Thus, a polyamide-imide resin solution having carboxyl groups was obtained. The obtained resin solution (resin 1) had a solid content of 40.1% by mass and an acid value of the solid content of 88.1 mgKOH.

[合成例2:フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液(アルカリ溶解性のポリイミド樹脂2)の合成]
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジヒドロキシジフェニルスルホン22.4g、2,2’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを8.2g、NMPを30g、γ-ブチロラクトンを30g、4,4’-オキシジフタル酸無水物を27.9g、トリメリット酸無水物を3.8g加え、窒素雰囲気下、室温、100rpmで4時間撹拌した。次いでトルエンを20g加え、シリコーン浴温度180℃、150rpmでトルエンおよび水を留去しながら4時間撹拌して、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液(樹脂2)を得た。得られた樹脂(固形分)の酸価は18mgKOH、Mwは10,000、水酸基当量は390であった。
[Synthesis Example 2: Synthesis of polyimide resin solution having phenolic hydroxyl group and carboxyl group (alkali-soluble polyimide resin 2)]
22.4 g of 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylsulfone, 2,2′-bis[4 8.2 g of -(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 30 g of NMP, 30 g of γ-butyrolactone, 27.9 g of 4,4'-oxydiphthalic anhydride, and 3.8 g of trimellitic anhydride were added, Under nitrogen atmosphere, the mixture was stirred at room temperature and 100 rpm for 4 hours. Next, 20 g of toluene was added, and the mixture was stirred for 4 hours at a silicone bath temperature of 180° C. and 150 rpm while toluene and water were distilled off to obtain a polyimide resin solution (resin 2) having phenolic hydroxyl groups and carboxyl groups. The obtained resin (solid content) had an acid value of 18 mg KOH, an Mw of 10,000, and a hydroxyl equivalent of 390.

[合成例3:カルボキシル基含有ノボラック型アクリレート樹脂(アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂3)の合成]
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置および撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(アイカ工業株式会社製、商品名「ショーノールCRG951」、OH当量:119.4)119.4g、水酸化カリウム1.19gおよびトルエン119.4gを仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8gを徐々に滴下し、125~132℃、0~4.8kg/cm2で16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56gを添加して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2g/eq.であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りアルキレンオキシドが平均1.08モル付加しているものであった。次いで、得られたノボラック型クレゾール樹脂のアルキレンオキシド反応溶液293.0g、アクリル酸43.2g、メタンスルホン酸11.53g、メチルハイドロキノン0.18gおよびトルエン252.9gを、撹拌機、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6gの水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35gで中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート118.1gで置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5gおよびトリフェニルホスフィン1.22gを、撹拌器、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8gを徐々に加え、95~101℃で6時間反応させた。このようにして、固形分酸価88mgKOH/g、固形分71%、質量平均分子量2,000のカルボキシル基含有感光性樹脂(樹脂3)溶液を得た。
[Synthesis Example 3: Synthesis of carboxyl group-containing novolak-type acrylate resin (alkali-soluble (meth)acrylate resin 3)]
An autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device and an alkylene oxide introduction device, and a stirring device was charged with 119.4 g of a novolak cresol resin (manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd., trade name "Shonol CRG951", OH equivalent: 119.4), 1.19 g of potassium hydroxide and 119.4 g of toluene were charged, and the inside of the system was replaced with nitrogen while stirring, followed by heating. Next, 63.8 g of propylene oxide was gradually added dropwise and reacted at 125-132° C. and 0-4.8 kg/cm 2 for 16 hours. After cooling to room temperature, 1.56 g of 89% phosphoric acid was added to the reaction solution to neutralize the potassium hydroxide. A propylene oxide reaction solution of a novolak-type cresol resin was obtained. This was obtained by adding an average of 1.08 mol of alkylene oxide per equivalent of phenolic hydroxyl group. Next, 293.0 g of the alkylene oxide reaction solution of the novolak type cresol resin obtained, 43.2 g of acrylic acid, 11.53 g of methanesulfonic acid, 0.18 g of methylhydroquinone and 252.9 g of toluene were mixed with a stirrer, a thermometer and air. The mixture was charged into a reactor equipped with a blowing tube, air was blown in at a rate of 10 ml/min, and the mixture was reacted at 110° C. for 12 hours while stirring. 12.6 g of water was distilled out as an azeotrope with toluene, which was produced by the reaction. After cooling to room temperature, the resulting reaction solution was neutralized with 35.35 g of a 15% aqueous sodium hydroxide solution and then washed with water. After that, the toluene was removed by an evaporator while replacing it with 118.1 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate to obtain a novolac type acrylate resin solution. Next, 332.5 g of the obtained novolak-type acrylate resin solution and 1.22 g of triphenylphosphine were charged into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer and an air blowing pipe, and air was blown at a rate of 10 ml/min. While stirring, 60.8 g of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added and reacted at 95-101° C. for 6 hours. Thus, a solution of a carboxyl group-containing photosensitive resin (resin 3) having a solid content acid value of 88 mgKOH/g, a solid content of 71%, and a mass average molecular weight of 2,000 was obtained.

II.樹脂層(A)および(B)用の樹脂組成物の調製
下記表1の樹脂層(A)および(B)の配合に従って、各成分を攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、各樹脂組成物を調製した。
II. Preparation of Resin Compositions for Resin Layers (A) and (B) According to the formulations of resin layers (A) and (B) shown in Table 1 below, each component was premixed with a stirrer and then kneaded with a three-roll mill. Then, each resin composition was prepared.

表1

Figure 2022158998000004
*上記表中の各成分の割合は固形分による。 Table 1
Figure 2022158998000004
*The ratio of each component in the table above is based on the solid content.

表1に記載した各成分の詳細は以下のとおりである。
ポリアミドイミド樹脂:合成例1により合成、アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂
ポリイミド樹脂:合成例2により合成、アルカリ溶解性のポリイミド樹脂
エポキシ樹脂((A3)および(B2)): ビスフェノールA型ノボラックエポキシ樹脂(DIC社製)
光重合開始剤:オキシムエステル系光重合開始剤IRUGACURE OXE 02(BASFジャパン社製)
アクリレート樹脂1:KAYARAD ZCR-1569H(多官能エポキシ(メタ)アクリレートの2塩基酸無水物の付加物、アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂)(日本化薬社製)
DHPA:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬社製)
着色顔料:Paliogen Black S0084(ペリレンブラック顔料)(BASF社製)
アクリレート樹脂2:合成例3により合成、アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂
*第1フィルムとしてマットPET(PTHA-25、ユニチカ株式会社製、表面粗さRa:0.3μm)を使用することにより、樹脂層(A)表面に凹凸を形成した
Details of each component described in Table 1 are as follows.
Polyamideimide resin: Alkali-soluble polyamideimide resin synthesized in Synthesis Example 1 Polyimide resin: Alkali-soluble polyimide resin synthesized in Synthesis Example 2 Epoxy resin ((A3) and (B2)): Bisphenol A type novolak epoxy resin (manufactured by DIC)
Photopolymerization initiator: oxime ester photopolymerization initiator IRUGACURE OXE 02 (manufactured by BASF Japan)
Acrylate resin 1: KAYARAD ZCR-1569H (dibasic acid anhydride adduct of polyfunctional epoxy (meth)acrylate, alkali-soluble (meth)acrylate resin) (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
DHPA: dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Coloring pigment: Paliogen Black S0084 (perylene black pigment) (manufactured by BASF)
Acrylate resin 2: Alkali-soluble (meth)acrylate resin synthesized according to Synthesis Example 3 * By using matte PET (PTHA-25, manufactured by Unitika Ltd., surface roughness Ra: 0.3 μm) as the first film , unevenness was formed on the surface of the resin layer (A)

III.積層体の作成とその硬化物の評価
III-1. 積層体(ドライフィルム)の作製
上記のように得られた各樹脂組成物を、それぞれ有機溶剤メチルエチルケトンで希釈して適切な粘度(10mPa・s~100dPa・s)に調整した。第1フィルム(PETフィルム、厚さ:25μm、表面粗さ(Ra):0.03μm)上に、表1に記載の樹脂層(A)に対応する樹脂組成物を、樹脂層(A)の乾燥後膜厚が同表に記載した厚みになるように塗布、90℃にて15分乾燥した。次に、上記の乾燥した樹脂層(A)上に、表1の樹脂層(B)に対応する樹脂組成物を、樹脂層(B)の乾燥後膜厚が同表に記載の厚みになるように塗布後、80℃にて30分乾燥した。これにより、第1フィルム上に、樹脂層(A)および樹脂層(B)を順に有する積層体がドライフィルムとして得られた。ただし、比較例3は樹脂層(A)のみの単層膜ドライフィルムとした。また、比較例2については、第1フィルムとして、マットPET(PTHA-25、ユニチカ株式会社製、表面粗さRa:0.3μm)を用いたため、マットPETの凹凸が樹脂層(A)に転写され、その結果、樹脂層(A)は、物理的に粗面化された表面を有していた。
III. Preparation of Laminate and Evaluation of Cured Product III-1. Preparation of Laminate (Dry Film) Each resin composition obtained as described above was diluted with an organic solvent methyl ethyl ketone to obtain an appropriate viscosity (10 mPa s). ~100 dPa·s). On the first film (PET film, thickness: 25 μm, surface roughness (Ra): 0.03 μm), a resin composition corresponding to the resin layer (A) described in Table 1 is added to the resin layer (A). After drying, the coating was applied so that the film thickness was as shown in the same table, and dried at 90° C. for 15 minutes. Next, on the dried resin layer (A), a resin composition corresponding to the resin layer (B) in Table 1 is applied, and the film thickness of the resin layer (B) after drying becomes the thickness shown in the same table. After coating as above, it was dried at 80° C. for 30 minutes. As a result, a laminate having the resin layer (A) and the resin layer (B) in order on the first film was obtained as a dry film. However, in Comparative Example 3, a monolayer dry film having only the resin layer (A) was used. In Comparative Example 2, matte PET (PTHA-25, manufactured by Unitika Ltd., surface roughness Ra: 0.3 μm) was used as the first film, so the unevenness of the matte PET was transferred to the resin layer (A). As a result, the resin layer (A) had a physically roughened surface.

III-2. 試験基板の作製と評価
<試験基板Aの作製>
銅厚15μmの回路が形成してある片面プリント配線基板を用意し、メック社製CZ8100を使用して前処理を行った。上記により作成した各実施例、比較例の積層体(ドライフィルム)を、樹脂層(B)が基板に接するように、真空ラミネーターを用いて貼り合わせることにより、基板上に積層体を形成した。この基板に、高圧水銀灯(ショートアークランプ)を搭載した露光装置を用いて後述の最適露光量で、樹脂層(A)側からパターン露光し、100℃で30分間のベークを行った後、第1フィルムを剥離した。その後、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液によりスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、ソルダーレジストパターンとして積層体を得た。この基板に対し、樹脂層(A)側から、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、150℃で60分加熱して硬化し、各積層体からなる硬化物を備える試験基板Aを作製した。
III-2. Preparation and Evaluation of Test Substrate <Preparation of Test Substrate A>
A single-sided printed wiring board having a circuit formed thereon with a copper thickness of 15 μm was prepared and pretreated using CZ8100 manufactured by MEC. A laminate was formed on a substrate by laminating the laminate (dry film) of each example and comparative example prepared above using a vacuum laminator so that the resin layer (B) was in contact with the substrate. This substrate was pattern-exposed from the resin layer (A) side using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp) at an optimum exposure dose described later, and baked at 100° C. for 30 minutes. 1 film was peeled off. After that, development was performed for 60 seconds with a 1 wt % sodium carbonate aqueous solution at 30° C. under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa to obtain a laminate as a solder resist pattern. This substrate is irradiated with ultraviolet rays from the resin layer (A) side in a UV conveyor furnace under the conditions of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 , and then cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes. A test substrate A was prepared comprising:

[最適露光量の決定]
試験基板A作製時のパターン露光において用いた最適露光量は以下のように求めたものである。すなわち、銅厚15μmの回路が形成してある片面プリント配線基板を用意し、メック社製CZ8100を使用して前処理を行った。上記により作成した各実施例、比較例の積層体(ドライフィルム)を、樹脂層(B)が基板に接するように、真空ラミネーターを用いて貼り合わせることにより、基板上に積層体(最適露光量測定サンプル)を形成した。このように得られた、各最適露光量測定サンプルに対し、高圧水銀灯搭載の露光装置を用い、ステップタブレット(Kodak No.2)を介して露光した。露光後、100℃で30分間の加熱を行った。その後、第1フィルムを剥離し、現像(30℃、0.2MPa、1wt%NaCO水溶液)を60秒で行った。測定サンプルごとに、現像後に残存する部分の、ステップタブレット5段目の濃度部分に対応する時の光量を最適露光量として、試験基板Aのパターン露光時の光量とした。
[Determination of optimum exposure]
The optimum exposure amount used in the patterned exposure for fabricating the test substrate A was determined as follows. That is, a single-sided printed wiring board on which a circuit with a copper thickness of 15 μm is formed was prepared, and pretreatment was performed using CZ8100 manufactured by MEC. The laminate (dry film) of each example and comparative example prepared as described above is laminated using a vacuum laminator so that the resin layer (B) is in contact with the substrate, so that the laminate (optimal exposure amount A measurement sample) was formed. Each optimal exposure amount measurement sample thus obtained was exposed through a step tablet (Kodak No. 2) using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp. After exposure, heating was performed at 100° C. for 30 minutes. After that, the first film was peeled off, and development (30° C., 0.2 MPa, 1 wt % Na 2 CO 3 aqueous solution) was performed for 60 seconds. For each measurement sample, the amount of light corresponding to the density portion of the 5th stage of the step tablet in the portion remaining after development was taken as the optimum amount of exposure, and the amount of light during pattern exposure of test substrate A was determined.

<隠蔽性評価>
上記試験基板Aを用い、30cmの距離から目視で観察し、回路の隠蔽性を評価した。評価基準は以下の通りである。
◎:隠蔽力が高く回路が視認できない。
○:回路の一部を視認できる。
×:回路を明確に視認できる。
<Concealability evaluation>
Using the test substrate A described above, the circuit was visually observed from a distance of 30 cm to evaluate the circuit concealability. Evaluation criteria are as follows.
⊚: The hiding power is high and the circuit cannot be visually recognized.
◯: Part of the circuit is visible.
x: The circuit can be clearly visually recognized.

<無電解金めっき耐性評価>
上記試験基板Aに対し、市販品の無電解ニッケルめっき浴及び無電解金めっき浴を用いて、ニッケル0.5μm、金0.03μmの条件でめっきを行い、めっき面にJIS Z 1522に規定された呼び幅12~19mmのテープを貼り付け、テープを瞬間的に引きはがすことでテープピーリング試験を行った。試験後のレジスト層の剥がれの有無やめっきのしみ込みの有無を評価した。判定基準は以下のとおりである。
○:染み込み、剥がれが見られない。
×:めっき後に染み込みが確認される
<Evaluation of resistance to electroless gold plating>
Using a commercially available electroless nickel plating bath and an electroless gold plating bath, plating was performed on the test substrate A under the conditions of 0.5 μm nickel and 0.03 μm gold, and the plating surface was subjected to JIS Z 1522. A tape peeling test was performed by affixing a tape having a nominal width of 12 to 19 mm and instantaneously peeling off the tape. After the test, the presence or absence of peeling of the resist layer and the presence or absence of penetration of the plating were evaluated. Judgment criteria are as follows.
◯: Neither penetration nor peeling was observed.
×: Penetration is confirmed after plating

<試験基板Bの作製>
銅厚15μmの回路が形成してある片面プリント配線基板を用意し、メック社製CZ8100を使用して前処理を行った。上記により作成した各実施例、比較例の積層体(ドライフィルム)を、樹脂層(B)が基板に接するように、真空ラミネーターを用いて貼り合わせることにより、基板上に積層体を形成した。この基板の積層体の樹脂層(A)に、解像性評価用ネガマスクとしてビア開口径500μm、300μm、150μm、100μm、80μmを有するネガパターンを配し、これを介し、高圧水銀灯を搭載した露光装置を用いて、上述の試験基板Aの作成に関連して説明した最適露光量でパターン露光した。さらに、100℃で30分間のベークを行った後、第1フィルムを剥離した。その後、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液によりスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、ソルダーレジストパターンを得た。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、150℃で60分加熱して硬化し、各積層体からなる硬化物を備える試験基板Bを作製した。
<解像性評価(最小開口径の評価))>
試験基板Bにおいて、パターン開口部をSEMにて倍率200で観察し、最小開口径を求めた。
<Production of test substrate B>
A single-sided printed wiring board having a circuit formed thereon with a copper thickness of 15 μm was prepared and pretreated using CZ8100 manufactured by MEC. A laminate was formed on a substrate by laminating the laminate (dry film) of each example and comparative example prepared above using a vacuum laminator so that the resin layer (B) was in contact with the substrate. A negative pattern having a via opening diameter of 500 μm, 300 μm, 150 μm, 100 μm, and 80 μm was placed on the resin layer (A) of the laminated body of this substrate as a negative mask for evaluation of resolution. Using the apparatus, pattern exposure was performed at the optimum exposure dose described in connection with the preparation of test substrate A above. Furthermore, after baking at 100° C. for 30 minutes, the first film was peeled off. After that, development was performed for 60 seconds with a 1 wt % sodium carbonate aqueous solution at 30° C. and a spray pressure of 0.2 MPa to obtain a solder resist pattern. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 and then cured by heating at 150°C for 60 minutes to prepare a test substrate B comprising a cured product composed of each laminate. .
<Evaluation of resolution (evaluation of minimum aperture diameter))>
In the test substrate B, the pattern opening was observed with an SEM at a magnification of 200 to obtain the minimum opening diameter.

<密着性の評価>
試験基板Bの積層体の硬化物に対し、JIS D-0202に基づいた碁盤目付着性試験方法に従って、カッターナイフで1mm間隔の碁盤目が100個できるように切込みを入れ、セロハンテープを貼り付けた後、セロハンテープを剥離し、基板上の残存する硬化物の状態を以下の判定基準で評価した。
○:はがれが無い。
×:はがれがある。
<Evaluation of Adhesion>
The cured product of the laminate of test substrate B was cut with a cutter knife so that 100 grids at 1 mm intervals were made according to the cross-cut adhesion test method based on JIS D-0202, and cellophane tape was attached. After that, the cellophane tape was peeled off, and the state of the cured product remaining on the substrate was evaluated according to the following criteria.
○: No peeling.
x: There is peeling.

<B-HAST耐性>
試験基板Bを、130℃、湿度85%の雰囲気下の高温高湿槽内に入れ、ライン/スペース=12μm/13μmのくし型電極部(n=6)に電圧3.5Vを印加し、300時間、槽内B-HASTを行った。300時間経過後、以下の基準に従い、B-HAST耐性を評価した。抵抗値1×10Ω未満をショートと判定した。
◎:6個のすべてのくし型電極間でショート発生なし
○:6個中1個のくし型電極間でショート発生
×:6個中2個以上のくし型電極間でショート発生
<B-HAST resistance>
Test substrate B was placed in a high-temperature, high-humidity chamber under an atmosphere of 130° C. and humidity of 85%, and a voltage of 3.5 V was applied to comb-shaped electrode portions (n=6) of line/space=12 μm/13 μm. After that time, an in-tank B-HAST was performed. After 300 hours, B-HAST resistance was evaluated according to the following criteria. A resistance value of less than 1×10 6 Ω was determined as a short circuit.
◎: No short-circuit occurred between all 6 comb-shaped electrodes ○: Short-circuit occurred between 1 out of 6 comb-shaped electrodes ×: Short-circuit occurred between 2 or more out of 6 comb-shaped electrodes

<破断強度>
試験基板Bから、積層体の硬化物を剥離し、剥離した硬化物をJIS K7127に準拠して幅10mm、長さ70mmに切断し試験片として破断強度を測定し、評価した。いずれの試料も破断強度が30MPa以上であった。
<Breaking strength>
The cured product of the laminate was peeled off from the test substrate B, and the peeled cured product was cut into a test piece having a width of 10 mm and a length of 70 mm according to JIS K7127, and the breaking strength was measured and evaluated. All samples had a breaking strength of 30 MPa or more.

<耐熱性評価>
試験基板Bにロジン系フラックスを塗布し、あらかじめ260℃および 280℃に設定したはんだ槽に10秒浸漬して、硬化塗膜の浮き、膨れ、剥がれの発生について評価した。評価基準は下記のとおりである。
◎:260℃および280℃のいずれの浸漬でも浮き、膨れ、剥がれの発生
がなかった。
〇:260℃の浸漬では浮き、膨れ、剥がれの発生がないが、280℃の浸
漬で浮き、膨れ、剥がれが発生した。
×:260℃および280℃のいずれの浸漬でも浮き、剥がれが発生した。
<Heat resistance evaluation>
A rosin-based flux was applied to the test substrate B, which was then immersed in a solder bath previously set at 260° C. and 280° C. for 10 seconds to evaluate the occurrence of floating, blistering, and peeling of the cured coating film. Evaluation criteria are as follows.
⊚: No lifting, swelling or peeling occurred in both immersion at 260°C and 280°C.
◯: No lifting, swelling or peeling occurred when immersed at 260°C, but lifting, swelling or peeling occurred when immersed at 280°C.
x: Lifting and peeling occurred in both immersion at 260°C and 280°C.

本発明の実施例による積層体の硬化物は、すべての評価において良好な結果を示した。一方、樹脂組成または層構成の異なる比較例1および3によると回路の隠蔽性と、機械特性を両立することは困難であることがわかる。さらに比較例2では、物理的な手法で回路の隠蔽性を向上させたため、硬化物の解像度が低下している。 The cured products of laminates according to the examples of the present invention showed good results in all evaluations. On the other hand, according to Comparative Examples 1 and 3, which have different resin compositions or layer structures, it is difficult to achieve both circuit concealability and mechanical properties. Furthermore, in Comparative Example 2, the resolution of the cured product was lowered because the circuit concealability was improved by a physical technique.

以上、本発明者等によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。 Although the invention made by the present inventors has been specifically described based on the embodiments, it should be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and that various changes can be made without departing from the gist of the invention. Needless to say.

1 第1フィルム
(A) 樹脂層(A)
(B) 樹脂層(B)
2 第2フィルム
1 first film (A) resin layer (A)
(B) Resin layer (B)
2 second film

Claims (5)

樹脂層(A)と、樹脂層(B)とを有し、
前記樹脂層(A)の一方の面に、前記樹脂層(B)の一方の面が接するように設けられた積層体であって、
前記樹脂層(A)が、
(A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂と、
(A2)アルカリ溶解性のポリイミド樹脂と、
を有し、
前記樹脂層(B)が、
(B1)アルカリ溶解性の(メタ)アクリレート樹脂を有することを特徴とする積層体。
Having a resin layer (A) and a resin layer (B),
A laminate in which one surface of the resin layer (B) is in contact with one surface of the resin layer (A),
The resin layer (A) is
(A1) an alkali-soluble polyamideimide resin;
(A2) an alkali-soluble polyimide resin;
has
The resin layer (B) is
(B1) A laminate comprising an alkali-soluble (meth)acrylate resin.
前記(A1)アルカリ溶解性のポリアミドイミド樹脂が、下記一般式(1)または(2)、
Figure 2022158998000005
(式(1)中、X1は炭素数が24~48のダイマー酸由来の脂肪族ジアミン(a)の残基、式(2)中、X2はカルボキシル基を有する芳香族ジアミン(b)の残基、Yはそれぞれ独立にシクロヘキサン環または芳香環である)で示される何れか一方またはその双方の構造を一分子中に有するポリアミドイミド樹脂、またはこれら何れか2種類以上の混合物である、請求項1に記載の積層体。
The (A1) alkali-soluble polyamideimide resin is represented by the following general formula (1) or (2),
Figure 2022158998000005
(In formula (1), X1 is the residue of aliphatic diamine (a) derived from dimer acid having 24 to 48 carbon atoms, and in formula (2), X2 is the residue of aromatic diamine (b) having a carboxyl group. groups, Y are each independently a cyclohexane ring or an aromatic ring). 2. The laminate according to 1.
第1フィルムと、第2フィルムと、をさらに含み、前記第1フィルム、前記樹脂層(A)、前記樹脂層(B)および前記第2フィルムを、この順に備えることを特徴とする請求項1または2に記載の積層体。 1. Further comprising a first film and a second film, wherein the first film, the resin layer (A), the resin layer (B) and the second film are provided in this order. 3. Or the laminated body of 2. 請求項1または2に記載の積層体における前記樹脂層(A)および前記樹脂層(B)を硬化した硬化物。 A cured product obtained by curing the resin layer (A) and the resin layer (B) in the laminate according to claim 1 or 2. 請求項4に記載の積層体の硬化物を有する電子部品。 An electronic component comprising a cured product of the laminate according to claim 4.
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