KR20230128119A - Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition, cured product, and image display device - Google Patents

Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition, cured product, and image display device Download PDF

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KR20230128119A
KR20230128119A KR1020237026699A KR20237026699A KR20230128119A KR 20230128119 A KR20230128119 A KR 20230128119A KR 1020237026699 A KR1020237026699 A KR 1020237026699A KR 20237026699 A KR20237026699 A KR 20237026699A KR 20230128119 A KR20230128119 A KR 20230128119A
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사치호 이토
시게키 아와
류키 모리모토
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오사카 유키가가쿠고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 후막화한 경우에도 현상 밀착성 및 해상도가 뛰어난 경화막을 형성할 수 있는 알칼리 가용성 수지, 및 상기 알칼리 가용성 수지를 함유하는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 상기 특성에 더하여, 약알칼리성 현상액을 이용한 경우에도 단시간에 현상 가능한 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 알칼리 가용성 수지는, 하기 일반식 (1)로 나타나는 반복 구조 단위 X를 1종 이상 포함하는 것이다. (식 중, R1은 수소 또는 메틸기이고, R2는 탄소수가 1 이상의 연결기이며, R3은 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 하기 일반식 (2)로 나타나는 유기기이고, R4는 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기 또는 유기기이다.) (식 중, R5는 모체의 탄소수가 3~8이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기이다.)An object of the present invention is to provide an alkali-soluble resin capable of forming a cured film with excellent developing adhesion and resolution even when the film is thick, and a photosensitive resin composition containing the alkali-soluble resin. In addition, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of developing in a short time even when using a weakly alkaline developer, in addition to the above characteristics. Alkali-soluble resin of this invention contains 1 or more types of repeating structural units X represented by following General formula (1). (Wherein, R 1 is hydrogen or a methyl group, R 2 is a linking group having 1 or more carbon atoms, R 3 is an organic group represented by the following general formula (2) bonded to a carbon atom of the linking group, and R 4 is the linking group It is a hydroxy group or an organic group bonded to a carbon atom of.) (Wherein, R 5 is an organic group having 3 to 8 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom, or having 2 to 7 carbon atoms as a parent and having a carboxy group) It is organic.)

Description

알칼리 가용성 수지, 감광성 수지 조성물, 경화물, 및 화상표시장치Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition, cured product, and image display device

본 발명은 알칼리 가용성 수지, 감광성 수지 조성물, 경화물, 및 화상표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to an alkali-soluble resin, a photosensitive resin composition, a cured product, and an image display device.

액정 표시 소자에서는, 컬러 필터측 기판과 박막 트랜지스터(TFT)측 기판 사이에 끼워지는 액정층의 두께를 유지하기 위해서, 포토 스페이서가 이용되고 있다.In a liquid crystal display element, a photo spacer is used to maintain the thickness of a liquid crystal layer sandwiched between a color filter side substrate and a thin film transistor (TFT) side substrate.

포토 스페이서는 일반적으로 감광성 수지 조성물을 기판에 도포하고, 건조한 후에 소정의 미세 패턴을 가지는 포토 마스크를 통과시킨 빛으로 노광하여, 현상함으로써 형성된다.A photo spacer is generally formed by applying a photosensitive resin composition to a substrate, drying it, exposing it to light passing through a photo mask having a predetermined fine pattern, and developing it.

최근, 액정표시장치 등의 화상표시장치의 고기능화(예를 들면, 3D 입체시화, 시야각 확대화 등)에 따라서, 포토 스페이서의 후막화(10μm 이상)가 요구되고 있다.[0003] In recent years, with the advancement of image display devices such as liquid crystal display devices (for example, 3D stereoscopic viewing, widening viewing angle, etc.), photo-spacer film thickness (10 μm or more) has been demanded.

예를 들면, 특허문헌 1에는, 막 두께 10μm 이상의 후막 가공을 실시해도 현상 밀착성 및 해상도가 뛰어나고, 형상이 양호한 미세 포토 스페이서를 형성할 수 있는 네거티브형 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 하여,For example, in Patent Document 1, even if thick film processing is performed with a film thickness of 10 μm or more, it is excellent in developing adhesion and resolution, and it is possible to form a fine photo-spacer with a good shape. To provide a negative photosensitive resin composition,

(A) 알칼리 가용성 수지, (B) 광라디칼 중합 개시제 및 (C) 광중합성 모노머를 함유하고, 상기 (C) 광중합성 모노머가, (C-1) 이소시아누르산 골격을 가지는 광중합성 모노머 및 (C-2) 플루오렌 골격을 가지는 광중합성 모노머를 함유하는 네거티브형 감광성 수지 조성물이 제안되어 있다.(A) an alkali-soluble resin, (B) a photoradical polymerization initiator, and (C) a photopolymerizable monomer, wherein the (C) photopolymerizable monomer is (C-1) a photopolymerizable monomer having an isocyanuric acid skeleton, and (C-2) A negative photosensitive resin composition containing a photopolymerizable monomer having a fluorene skeleton has been proposed.

또한, 특허문헌 2에는, 10μm 이상의 갭이 형성 가능하고, 기판과의 밀착성이 양호하며, 또한 노광 후의 투명성을 확보할 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 하여,Further, Patent Document 2 aims to provide a photosensitive resin composition capable of forming a gap of 10 μm or more, having good adhesion to a substrate, and being able to ensure transparency after exposure,

(A) 성분: 바인더 폴리머, (B) 성분: 광중합성 화합물, (C) 성분: 광중합 개시제, 및 (D) 성분: 메르캅토기 함유 수소 공여체를 포함하고, 상기 (B) 광중합성 화합물이, 에틸렌성 불포화기 및 이소시아누르환 구조를 가지는 광중합성 화합물을 포함하는 스페이서 형성 재료로서 이용되는 감광성 수지 조성물이 제안되어 있다.(A) component: a binder polymer, (B) component: a photopolymerizable compound, (C) component: a photopolymerization initiator, and (D) component: a mercapto group-containing hydrogen donor, wherein the (B) photopolymerizable compound, A photosensitive resin composition used as a spacer formation material containing a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group and an isocyanuric ring structure has been proposed.

특허문헌 1: 일본국 특개 2019-124929호 공보Patent Document 1: Japanese Unexamined Publication No. 2019-124929 특허문헌 2: 국제공개 제2013/115262호 공보Patent Document 2: International Publication No. 2013/115262

그러나 특허문헌 1 또는 2에 기재된 감광성 수지 조성물은, 포토 스페이서의 후막화에 즈음하여 현상 밀착성 및 해상도에 대해서 개선의 여지가 있었다. 또한, 환경면에서 희박한 약알칼리성 수용액으로 현상 가능한 감광성 수지 조성물이 요구되지만, 특허문헌 1 또는 2에 기재된 감광성 수지 조성물은 약알칼리성 수용액으로 현상하면 현상 시간이 길어지고, 생산성이 저하된다고 하는 문제가 우려된다.However, the photosensitive resin composition described in Patent Literature 1 or 2 had room for improvement with respect to developing adhesiveness and resolution when a photo-spacer was thickened. In addition, from an environmental point of view, a photosensitive resin composition that can be developed with a weakly alkaline aqueous solution is required, but the photosensitive resin composition described in Patent Document 1 or 2 is concerned about the problem that the development time becomes longer and productivity decreases when developed with a weakly alkaline aqueous solution. do.

본 발명은, 후막화한 경우에도 현상 밀착성 및 해상도가 뛰어난 경화막을 형성할 수 있는 알칼리 가용성 수지, 및 상기 알칼리 가용성 수지를 함유하는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 상기 특성에 더하여, 약알칼리성 현상액을 이용한 경우에도 단시간에 현상 가능한 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 상기 감광성 수지 조성물로부터 얻어지는 경화물, 및 상기 경화물을 포함하는 화상표시장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an alkali-soluble resin capable of forming a cured film with excellent developing adhesion and resolution even when the film is thick, and a photosensitive resin composition containing the alkali-soluble resin. In addition, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of developing in a short time even when using a weakly alkaline developer, in addition to the above characteristics. In addition, an object of the present invention is to provide a cured product obtained from the photosensitive resin composition, and an image display device including the cured product.

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위하여 예의 검토를 거듭한 결과, 하기 알칼리 가용성 수지, 및 당해 알칼리 가용성 수지를 함유하는 감광성 수지 조성물을 이용함으로써 상기 목적을 달성할 수 있다는 점을 발견하여, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.As a result of repeated intensive examinations in order to solve the above problems, the present inventors have found that the above object can be achieved by using the following alkali-soluble resin and a photosensitive resin composition containing the alkali-soluble resin, and the present invention reached completion.

본 발명은, 하기 일반식 (1)로 나타나는 반복 구조 단위 X를 1종 이상 포함하는 알칼리 가용성 수지(이하, '알칼리 가용성 수지 A'라고도 한다.)에 관한 것이다.The present invention relates to an alkali-soluble resin (hereinafter, also referred to as 'alkali-soluble resin A') containing at least one repeating structural unit X represented by the following general formula (1).

[화학식 1][Formula 1]

(식 중, R1은 수소 또는 메틸기이고, R2는 탄소수가 1 이상의 연결기이며, R3은 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 하기 일반식 (2)로 나타나는 유기기이고, R4는 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기 또는 유기기이다.)(Wherein, R 1 is hydrogen or a methyl group, R 2 is a linking group having 1 or more carbon atoms, R 3 is an organic group represented by the following general formula (2) bonded to a carbon atom of the linking group, and R 4 is the linking group It is a hydroxy group or an organic group bonded to the carbon atom of

[화학식 2][Formula 2]

(식 중, R5는 모체의 탄소수가 3~8이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기이다.)(In the formula, R 5 is an organic group having 3 to 8 carbon atoms and containing a hetero atom, or an organic group having 2 to 7 carbon atoms and a carboxy group.)

또한, 본 발명은 하기 일반식 (1')로 나타나는 반복 구조 단위 X'를 1종 이상 포함하는, 다만, 각각이 라디칼 중합성 치환기로 끝나는 2~3개의 말단을 가지는 분기한 측쇄를 갖춘 반복 구조 단위를 포함하지 않는, 알칼리 가용성 수지(이하, '알칼리 가용성 수지 B'라고도 한다.)에 관한 것이다.In addition, the present invention is a repeating structure comprising at least one repeating structural unit X' represented by the following general formula (1'), provided with a branched side chain having 2 to 3 terminals each ending with a radical polymerizable substituent. It relates to an alkali-soluble resin (hereinafter, also referred to as 'alkali-soluble resin B') that does not contain a unit.

[화학식 3][Formula 3]

(식 중, R1은 수소 또는 메틸기이고, R2는 탄소수가 1 이상의 연결기이며, R3'은 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 하기 일반식 (2')로 나타나는 유기기이고, R4는 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기 또는 유기기이다.)(Wherein, R 1 is hydrogen or a methyl group, R 2 is a linking group having 1 or more carbon atoms, R 3' is an organic group represented by the following general formula (2') bonded to a carbon atom of the linking group, and R 4 is It is a hydroxy group or an organic group bonded to the carbon atom of the linking group.)

[화학식 4][Formula 4]

(식 중, R5'는 모체의 탄소수가 2~7의 탄화수소기, 모체의 탄소수가 3~8이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기이다.)(Wherein, R 5' is a hydrocarbon group having 2 to 7 carbon atoms as a parent, an organic group having 3 to 8 carbon atoms and containing a hetero atom, or an organic group having 2 to 7 carbon atoms and having a carboxy group) device.)

상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B에 있어서, 상기 R2의 연결기는 모체의 탄소수가 1~10의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~10이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기인 것이 바람직하다.In the alkali-soluble resin A or B, the linking group of R 2 is preferably a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms as a parent, or an organic group having 1 to 10 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom.

상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B에 있어서, 상기 R4의 유기기는 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일옥시기, 아실옥시기, 아미드옥시기, 알콕시기, 아릴옥시기, 아미노기, 및 함질소 복소환으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 포함하는 유기기인 것이 바람직하다.In the alkali-soluble resin A or B, the organic group of R 4 is an acryloyloxy group, a methacryloyloxy group, an acyloxy group, an amidoxy group, an alkoxy group, an aryloxy group, an amino group, and a nitrogen-containing heterocycle. It is preferable that it is an organic group containing 1 or more types of functional groups selected from the group which consists of.

또한, 상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B에 있어서, 상기 R2의 연결기는 모체의 탄소수가 1~7의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~7이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기이고,Further, in the alkali-soluble resin A or B, the linking group of R 2 is a hydrocarbon group having 1 to 7 carbon atoms as a parent, or an organic group having 1 to 7 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom,

상기 R4는 상기 R2의 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기, 아크릴로일옥시기, 또는 메타크릴로일옥시기인 것이 바람직하다.The R 4 is preferably a hydroxy group, an acryloyloxy group, or a methacryloyloxy group bonded to the carbon atom of the linking group of the R 2 .

또한, 상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B에 있어서, 상기 R2의 연결기는 모체의 탄소수가 1~7의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~7이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기이고,Further, in the alkali-soluble resin A or B, the linking group of R 2 is a hydrocarbon group having 1 to 7 carbon atoms as a parent, or an organic group having 1 to 7 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom,

상기 R5 또는 상기 R5'는 하기 일반식 (3)으로 나타나는 유기기이며,Said R5 or said R5 ' is an organic group represented by the following general formula (3),

상기 R4는, 상기 R2의 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기, 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일옥시기, 또는 하기 일반식 (4)로 나타나는 유기기인 것이 바람직하다.It is preferable that said R <4> is a hydroxyl group couple|bonded with the carbon atom of the said linking group of said R <2> , an acryloyloxy group, a methacryloyloxy group, or an organic group represented by the following general formula (4).

[화학식 5][Formula 5]

(식 중, R6 및 R7은 각각 독립적으로 모체의 탄소수가 1~6의 탄화수소기이고, R6 및 R7의 모체의 합계 탄소수가 3~8이다.)(In the formula, R 6 and R 7 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and the total carbon atoms of the parent of R 6 and R 7 are 3 to 8.)

[화학식 6][Formula 6]

(식 중, R8은 수소 또는 메틸기이고, R9는 모체의 탄소수가 1~5의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~5이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기이다.)(In the formula, R 8 is hydrogen or a methyl group, R 9 is a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms as a parent, or an organic group having 1 to 5 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom.)

상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B에 있어서, 상기 반복 구조 단위 X 또는 X'의 함유량은, 전체 반복 구조 단위 중에 5~50 mol%인 것이 바람직하다.In the alkali-soluble resin A or B, the content of the repeating structural unit X or X' is preferably 5 to 50 mol% in all repeating structural units.

상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B는, 산가가 20~120 mgKOH/g인 것이 바람직하다.It is preferable that the said alkali-soluble resin A or B has an acid value of 20-120 mgKOH/g.

상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B는, 중량 평균 분자량이 5000~40000인 것이 바람직하다.It is preferable that the said alkali-soluble resin A or B has a weight average molecular weight of 5000-40000.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 적어도 상기 알칼리 가용성 수지 A 및/또는 B, 중합성 모노머, 및 광중합 개시제를 함유한다.The photosensitive resin composition of this invention contains at least the said alkali-soluble resin A and/or B, a polymerizable monomer, and a photoinitiator.

본 발명의 경화물은, 상기 감광성 수지 조성물로부터 얻어지는 것이다.The hardened|cured material of this invention is obtained from the said photosensitive resin composition.

상기 경화물은, 포토 스페이서, 격벽재, 렌즈재, 층간 절연막재, 보호막재, 광도파로재, 또는 평탄화막재인 것이 바람직하다.The cured product is preferably a photo spacer, partition material, lens material, interlayer insulating film material, protective film material, optical waveguide material, or flattening film material.

또한, 본 발명은, 상기 경화물을 포함하는 화상표시장치에 관한 것이다.Further, the present invention relates to an image display device including the cured product.

본 발명의 알칼리 가용성 수지 A 또는 B는, 상기 일반식 (1) 또는 (1')로 나타나는 반복 구조 단위 X 또는 X'를 1종 이상 포함하고 있고, 상기 반복 구조 단위 X 또는 X'에서 측쇄의 길이가 일정 이상의 길이이며, 그 측쇄의 말단에 카르복시기를 가지는 구조를 가지고 있는 점을 주된 특징으로 한다. 본 발명의 알칼리 가용성 수지 A 또는 B는, 그 특징 있는 구조에 의해서, 후막화 한 경우에도 현상 밀착성 및 해상도가 뛰어난 경화막을 얻을 수 있다. 또한, 본 발명의 알칼리 가용성 수지 A 또는 B는, 연결기 R2의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기 또는 유기기를 가지기 때문에, 이들 기에 유래하는 특성을 추가로 가질 수 있다. 또한, 본 발명의 알칼리 가용성 수지 A 및/또는 B를 포함하는 감광성 수지 조성물은, 약알칼리성 현상액을 이용한 경우에도 단시간에 현상할 수 있기 때문에, 포토 스페이서 등의 경화물의 생산성을 향상시킬 수 있다. 특히, 상기 R4가 유기기인 경우, 본 발명의 알칼리 가용성 수지 A 또는 B는 측쇄가 분기한 구조를 가지기 때문에, 후막화 한 경우에도 현상 밀착성 및 해상도가 더욱 뛰어난 경화막을 얻을 수 있다. 이 이유로서는, 반드시 이론에 구속되는 것은 아니지만, 상기 R3 또는 R3'가 어느 정도 길어서(원자수가 많다), 말단의 카르복시기가 주쇄와 대향하는 방향으로 향하기 쉽기 때문에, 기재와의 밀착에 관여할 수 있는 카르복시기의 수가 많아지기 때문이라고 생각할 수 있다. 또한, 상기 R4가 유기기인 경우, 알칼리 가용성 수지 A 또는 B의 측쇄는 분기한 구조가 되기 때문에, 상기 R3 또는 R3'의 말단의 카르복시기가 주쇄와 대향하는 방향으로 더욱 향하기 쉬워지고, 기재와의 밀착에 관여할 수 있는 카르복시기의 수가 더욱 많아지기 때문이라고 생각할 수 있다.The alkali-soluble resin A or B of the present invention contains at least one repeating structural unit X or X' represented by the general formula (1) or (1'), and the side chain in the repeating structural unit X or X' Its main feature is that it has a length of more than a certain length and has a structure having a carboxy group at the end of its side chain. Alkali-soluble resin A or B of the present invention, due to its characteristic structure, can obtain a cured film excellent in developing adhesion and resolution even when thickened. In addition, since the alkali-soluble resin A or B of the present invention has a hydroxy group or an organic group bonded to the carbon atom of the linking group R 2 , it may further have properties derived from these groups. Moreover, since the photosensitive resin composition containing alkali-soluble resin A and/or B of this invention can be developed in a short time even when using a weakly alkaline developer, productivity of hardened|cured materials, such as a photo spacer, can be improved. In particular, when the R 4 is an organic group, the alkali-soluble resin A or B of the present invention has a structure in which the side chains are branched, so that a cured film having excellent developing adhesion and resolution can be obtained even when a thick film is formed. For this reason, although not necessarily bound by theory, since the above-mentioned R 3 or R 3' is somewhat long (a large number of atoms), and the carboxyl group at the terminal tends to face in the direction opposite to the main chain, it may be involved in adhesion with the substrate. This is thought to be due to the increase in the number of carboxyl groups available. In addition, when the R 4 is an organic group, the side chain of the alkali-soluble resin A or B has a branched structure, so that the carboxy group at the terminal of the R 3 or R 3' is more likely to be directed in the direction opposite to the main chain. It can be thought that this is because the number of carboxyl groups that can be involved in adhesion with increases.

본 발명의 알칼리 가용성 수지 A는, 하기 일반식 (1)로 나타나는 반복 구조 단위 X를 1종 이상 포함한다.Alkali-soluble resin A of this invention contains 1 or more types of repeating structural units X represented by following General formula (1).

[화학식 7][Formula 7]

(식 중, R1은 수소 또는 메틸기이고, R2는 탄소수가 1 이상의 연결기이며, R3은 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 하기 일반식 (2)로 나타나는 유기기이고, R4는 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기 또는 유기기이다.)(Wherein, R 1 is hydrogen or a methyl group, R 2 is a linking group having 1 or more carbon atoms, R 3 is an organic group represented by the following general formula (2) bonded to a carbon atom of the linking group, and R 4 is the linking group It is a hydroxy group or an organic group bonded to the carbon atom of

[화학식 8][Formula 8]

(식 중, R5는 모체의 탄소수가 3~8이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기이다.)(In the formula, R 5 is an organic group having 3 to 8 carbon atoms and containing a hetero atom, or an organic group having 2 to 7 carbon atoms and a carboxy group.)

또한, 본 발명의 알칼리 가용성 수지 B는, 하기 일반식 (1')로 나타나는 반복 구조 단위 X'를 1종 이상 포함하고, 다만, 각각이 라디칼 중합성 치환기로 끝나는 2~3개의 말단을 가지는 분기한 측쇄를 갖춘 반복 구조 단위를 포함하지 않는다.In addition, the alkali-soluble resin B of the present invention contains at least one repeating structural unit X' represented by the following general formula (1'), provided that each branch has 2 to 3 terminals ending with radically polymerizable substituents. It does not contain repeating structural units with one side chain.

[화학식 9][Formula 9]

(식 중, R1은 수소 또는 메틸기이고, R2는 탄소수가 1 이상의 연결기이며, R3'은 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 하기 일반식 (2')로 나타나는 유기기이고, R4는 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기 또는 유기기이다.)(Wherein, R 1 is hydrogen or a methyl group, R 2 is a linking group having 1 or more carbon atoms, R 3' is an organic group represented by the following general formula (2') bonded to a carbon atom of the linking group, and R 4 is It is a hydroxy group or an organic group bonded to the carbon atom of the linking group.)

[화학식 10][Formula 10]

(식 중, R5'는 모체의 탄소수가 2~7의 탄화수소기, 모체의 탄소수가 3~8이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기이다.)(Wherein, R 5' is a hydrocarbon group having 2 to 7 carbon atoms as a parent, an organic group having 3 to 8 carbon atoms and containing a hetero atom, or an organic group having 2 to 7 carbon atoms and having a carboxy group) device.)

본 발명에서 (메타)아크릴이란 아크릴 또는 메타크릴을, (메타)아크릴로일이란 아크릴로일 또는 메타크릴로일을, (메타)아크릴산이란 아크릴산 또는 메타크릴산을, (메타)아크릴레이트란 아크릴레이트 또는 메타크릴레이트를 각각 의미한다. 또한, 본 발명에서 모체의 탄소수란, 치환기를 제외한 주골격이 되는 기의 탄소수를 의미한다.In the present invention, (meth)acryl means acryl or methacryl, (meth)acryloyl means acryloyl or methacryloyl, (meth)acrylic acid means acrylic acid or methacrylic acid, and (meth)acrylate means acryl rate or methacrylate, respectively. In the present invention, the number of carbon atoms in the parent body means the number of carbon atoms in the main skeleton excluding substituents.

상기 일반식 (1) 또는 (1')에 있어서, 상기 R2는 탄소수가 1 이상의 연결기이고, 상기 R3 및 상기 R4, 또는 상기 R3' 및 상기 R4를 에스테르 결합의 산소 원자에 연결시킬 수 있는 탄소수가 1 이상의 기이면 특별히 제한되지 않는다. 상기 연결기로서는, 예를 들면, 직쇄상 또는 분기쇄상의 지방족 포화 또는 불포화 탄화수소기, 지환식 포화 또는 불포화 탄화수소기(가교환, 축합환을 포함한다), 방향족 탄화수소기, 상기 탄화수소기를 구성하는 탄소 원자의 일부가 헤테로 원자(예를 들면, 산소 원자, 질소 원자, 및 황 원자 등)로 치환된 유기기, 및 이들의 2종 이상이 결합한 유기기 등을 들 수 있다. 또한, 상기 탄화수소기 또는 상기 유기기는, 여러 가지 치환기(예를 들면, 할로겐기, 히드록시기, 카르복시기, 아미노기, 알킬기, 알케닐기, 알콕시기, 및 아릴기 등)나 관능기(예를 들면, 에스테르 결합, 아미드 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 및 우레탄 결합 등)를 가지고 있어도 좋다.In Formula (1) or (1′), R 2 is a linking group having 1 or more carbon atoms, and R 3 and R 4 , or R 3′ and R 4 are linked to an oxygen atom of an ester bond. It is not particularly limited as long as it is a group having 1 or more carbon atoms. As the linking group, for example, a linear or branched aliphatic saturated or unsaturated hydrocarbon group, an alicyclic saturated or unsaturated hydrocarbon group (including crosslinked or condensed rings), an aromatic hydrocarbon group, and a carbon atom constituting the hydrocarbon group organic groups in which a part of is substituted with a hetero atom (for example, an oxygen atom, a nitrogen atom, a sulfur atom, etc.), and an organic group in which two or more kinds thereof are bonded. In addition, the hydrocarbon group or the organic group may include various substituents (e.g., halogen, hydroxyl, carboxy, amino, alkyl, alkenyl, alkoxy, and aryl groups) or functional groups (e.g., ester bond, amide bond, ether bond, thioether bond, urethane bond, etc.) may be present.

상기 연결기는 모체의 탄소수가 1~10의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~10이면서 또한 헤테로 원자(예를 들면, 산소 원자, 질소 원자, 및 황 원자 등)를 포함하는 유기기인 것이 바람직하다. 또한, 상기 연결기는 모체의 탄소수가 1~7의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~7이면서 또한 헤테로 원자(예를 들면, 산소 원자, 질소 원자, 및 황 원자 등)를 포함하는 유기기인 것이 보다 바람직하다. 또한, 상기 연결기가 헤테로 원자를 포함하는 경우, 상기 연결기가 가지는 헤테로 원자는, 상기 일반식 (1) 또는 (1')에 있어서, 상기 R3 또는 R3'과의 결합부 이외의 부분, 상기 R4와의 결합부 이외의 부분, 및 에스테르 결합 산소 원자와의 결합부 이외의 부분에 가진다. 또한, 상기 연결기는 모체의 탄소수가 2~7인 직쇄상 또는 분기쇄상의 지방족 포화 또는 불포화 탄화수소기, 모체의 탄소수가 3~7의 지환식 포화 또는 불포화 탄화수소기, 모체의 탄소수가 4~7이면서 또한 메틸렌기와 지환식 포화 또는 불포화 탄화수소기가 결합한 탄화수소기, 모체의 탄소수가 5~7이면서 또한 직쇄상 또는 분기쇄상의 지방족 포화 또는 불포화 탄화수소기와 지환식 포화 또는 불포화 탄화수소기가 결합한 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 에테르 결합을 포함하는 유기기인 것이 더욱 바람직하다.The linking group is preferably a parent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms or an organic group having 1 to 10 carbon atoms and containing a hetero atom (eg, oxygen atom, nitrogen atom, and sulfur atom). . In addition, the linking group is a parent hydrocarbon group having 1 to 7 carbon atoms or an organic group having 1 to 7 carbon atoms and containing a hetero atom (eg, an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom). more preferable In addition, when the linking group includes a hetero atom, the hetero atom possessed by the linking group is a portion other than a bonded portion to R 3 or R 3' in the general formula (1) or (1'), the above It has it at a part other than the bonding part with R 4 and a part other than the bonding part with the ester bond oxygen atom. In addition, the linking group is a linear or branched aliphatic saturated or unsaturated hydrocarbon group having 2 to 7 carbon atoms in the parent, an alicyclic saturated or unsaturated hydrocarbon group having 3 to 7 carbon atoms in the parent, and a carbon number of 4 to 7 in the parent In addition, a hydrocarbon group in which a methylene group and an alicyclic saturated or unsaturated hydrocarbon group are bonded, a hydrocarbon group in which the parent has 5 to 7 carbon atoms and a linear or branched aliphatic saturated or unsaturated hydrocarbon group and an alicyclic saturated or unsaturated hydrocarbon group are bonded, or a parent carbon number is 2 to 7 and is more preferably an organic group containing an ether bond.

상기 일반식 (1)에 있어서, 상기 R3은, 상기 R2의 연결기가 가지는 탄소 원자에 결합하는 상기 일반식 (2)로 나타나는 유기기이다. 상기 일반식 (2)에 있어서, 상기 R5는, 모체의 탄소수가 3~8이면서 또한 헤테로 원자(예를 들면, 산소 원자, 질소 원자, 및 황 원자 등)를 포함하는 유기기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기이다. 상기 R5는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기인 것이 바람직하다. 상기 R5가 카르복시기를 가지는 경우, 카르복시기의 수는 특별히 제한되지 않지만, 1~2인 것이 바람직하다. 상기 유기기는 여러 가지 치환기(예를 들면, 할로겐기, 히드록시기, 카르복시기, 아미노기, 알킬기, 알케닐기, 알콕시기, 및 아릴기 등)나 관능기(예를 들면, 에스테르 결합, 아미드 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 및 우레탄 결합 등)를 가지고 있어도 좋다.In the general formula (1), the R 3 is an organic group represented by the general formula (2) bonded to a carbon atom of the linking group of the R 2 . In the general formula (2), the R 5 is an organic group having 3 to 8 carbon atoms and containing a hetero atom (eg, an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom), or a parent It is an organic group having 2 to 7 carbon atoms and also having a carboxyl group. The R 5 is preferably an organic group having 2 to 7 carbon atoms and a carboxy group. When the R 5 has a carboxy group, the number of carboxy groups is not particularly limited, but is preferably 1 to 2. The organic group may include various substituents (eg, halogen, hydroxyl, carboxy, amino, alkyl, alkenyl, alkoxy, and aryl groups) or functional groups (eg, ester bond, amide bond, ether bond, thio ether linkages, urethane linkages, etc.) may be present.

상기 일반식 (2)로 나타나는 유기기는 하기 중 어느 하나의 유기기인 것이 바람직하다.It is preferable that the organic group represented by the said General formula (2) is any one of the following organic groups.

[화학식 11][Formula 11]

상기 일반식 (1')에 있어서, 상기 R3'은 상기 R2의 연결기가 가지는 탄소 원자에 결합하는 상기 일반식 (2')로 나타나는 유기기이다. 상기 일반식 (2')에 있어서, 상기 R5'는 모체의 탄소수가 2~7의 탄화수소기, 모체의 탄소수가 3~8이면서 또한 헤테로 원자(예를 들면, 산소 원자, 질소 원자, 및 황 원자 등)를 포함하는 유기기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기이다. 상기 R5'는 모체의 탄소수가 2~7의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기인 것이 바람직하다. 상기 R5'가 카르복시기를 가지는 경우, 카르복시기의 수는 특별히 제한되지 않지만, 1~2인 것이 바람직하다. 상기 탄화수소기로서는, 직쇄상 또는 분기쇄상의 지방족 포화 또는 불포화 탄화수소기, 지환식 포화 또는 불포화 탄화수소기(가교환, 축합환을 포함한다), 방향족 탄화수소기, 및 이들의 2종 이상이 결합한 탄화수소기 등을 들 수 있다. 상기 탄화수소기 또는 상기 유기기는, 여러 가지 치환기(예를 들면, 할로겐기, 히드록시기, 카르복시기, 아미노기, 알킬기, 알케닐기, 알콕시기, 및 아릴기 등)나 관능기(예를 들면, 에스테르 결합, 아미드 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 및 우레탄 결합 등)를 가지고 있어도 좋다.In the above general formula (1'), the above R 3' is an organic group represented by the above general formula (2') bonded to a carbon atom possessed by the linking group of the above R 2 . In the above general formula (2'), the R 5' is a hydrocarbon group having 2 to 7 carbon atoms as a parent, a hydrocarbon group having 3 to 8 carbon atoms as a parent, and a hetero atom (eg, an oxygen atom, a nitrogen atom, and sulfur atom, etc.), or an organic group having 2 to 7 carbon atoms in the parent body and also having a carboxy group. The R 5 ' is preferably a hydrocarbon group having 2 to 7 carbon atoms as a parent or an organic group having 2 to 7 carbon atoms and a carboxy group. When R 5' has a carboxy group, the number of carboxy groups is not particularly limited, but is preferably 1 to 2. Examples of the hydrocarbon group include a linear or branched aliphatic saturated or unsaturated hydrocarbon group, an alicyclic saturated or unsaturated hydrocarbon group (including cross-exchanged and condensed rings), an aromatic hydrocarbon group, and a hydrocarbon group in which two or more of these are bonded. etc. can be mentioned. The hydrocarbon group or the organic group may be formed by various substituents (eg, halogen, hydroxyl, carboxy, amino, alkyl, alkenyl, alkoxy, aryl, etc.) or functional groups (eg, ester bond, amide bond). , ether linkage, thioether linkage, urethane linkage, etc.).

상기 일반식 (2')로 나타나는 유기기는 하기 중 어느 하나의 유기기인 것이 바람직하다.It is preferable that the organic group represented by the said General formula (2') is any one of the following organic groups.

[화학식 12][Formula 12]

또한, 상기 일반식 (2) 또는 (2')에 있어서, 상기 R5 또는 R5'는 하기 일반식 (3)으로 나타나는 유기기인 것이 바람직하다.Moreover, in the said General formula (2) or (2'), it is preferable that said R5 or R5' is an organic group represented by the following general formula (3).

[화학식 13][Formula 13]

(식 중, R6 및 R7은 각각 독립적으로 모체의 탄소수가 1~6의 탄화수소기이고, R6 및 R7의 모체의 합계 탄소수가 3~8이다.)(In the formula, R 6 and R 7 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and the total carbon atoms of the parent of R 6 and R 7 are 3 to 8.)

상기 탄화수소기로서는, 직쇄상 또는 분기쇄상의 지방족 포화 또는 불포화 탄화수소기, 방향족 탄화수소기, 지환식 포화 또는 불포화 탄화수소기 등을 들 수 있다. 상기 탄화수소기는 여러 가지 치환기(예를 들면, 할로겐기, 히드록시기, 카르복시기, 아미노기, 알킬기, 알케닐기, 알콕시기, 및 아릴기 등)를 가지고 있어도 좋다.As said hydrocarbon group, a linear or branched aliphatic saturated or unsaturated hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group, an alicyclic saturated or unsaturated hydrocarbon group, etc. are mentioned. The said hydrocarbon group may have various substituents (for example, a halogen group, a hydroxyl group, a carboxy group, an amino group, an alkyl group, an alkenyl group, an alkoxy group, and an aryl group etc.).

상기 일반식 (3)으로 나타나는 유기기의 일례로서는, 하기의 것을 들 수 있다.As an example of the organic group represented by the said General formula (3), the following thing is mentioned.

[화학식 14][Formula 14]

상기 R6 및 R7은 각각 독립적으로 모체의 탄소수가 1~5의 탄화수소기이고, R6 및 R7의 모체의 합계 탄소수가 3~7인 것이 바람직하다.It is preferable that each of R 6 and R 7 independently represents a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, and the total number of carbon atoms in the parent of R 6 and R 7 is 3 to 7.

상기 일반식 (2) 또는 (2')로 나타나는 유기기는 하기의 어느 하나의 유기기인 것이 바람직하다.It is preferable that the organic group represented by the said General formula (2) or (2') is any one of the following organic groups.

[화학식 15][Formula 15]

상기 일반식 (1) 또는 (1')에 있어서, 상기 R4는 상기 R2의 연결기가 가지는 탄소 원자에 결합하는 히드록시기 또는 유기기이다. 상기 R4가 히드록시기인 경우, 더욱 현상성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 R4가 유기기인 경우, 그 유기기에 유래하는 특성(예를 들면, 현상성, 밀착성, 및 용해성 등)을 추가로 부여할 수 있다. 상기 유기기는 특별히 제한되지 않고, 예를 들면, 직쇄상 또는 분기쇄상의 지방족 포화 또는 불포화 탄화수소기, 지환식 포화 또는 불포화 탄화수소기(가교환, 축합환을 포함한다), 방향족 탄화수소기, 상기 탄화수소기를 구성하는 탄소 원자의 일부가 헤테로 원자(예를 들면, 산소 원자, 질소 원자, 및 황 원자 등)로 치환된 유기기, 및 이들의 2종 이상이 결합한 유기기 등을 들 수 있다. 또한, 상기 탄화수소기 또는 상기 유기기는 여러 가지 치환기(예를 들면, 할로겐기, 히드록시기, 카르복시기, 아미노기, 알킬기, 알케닐기, 알콕시기, 및 아릴기 등)나 관능기(예를 들면, 에스테르 결합, 아미드 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 및 우레탄 결합 등)를 가지고 있어도 좋다.In the general formula (1) or (1'), R 4 is a hydroxy group or an organic group bonded to a carbon atom of the linking group of R 2 . When the above R 4 is a hydroxyl group, developability can be further improved. In addition, when R 4 is an organic group, properties derived from the organic group (eg developability, adhesion, solubility, etc.) can be further imparted. The organic group is not particularly limited, and includes, for example, a linear or branched aliphatic saturated or unsaturated hydrocarbon group, an alicyclic saturated or unsaturated hydrocarbon group (including bridged or condensed ring), an aromatic hydrocarbon group, or the hydrocarbon group. organic groups in which some of the constituting carbon atoms are substituted with heteroatoms (eg, oxygen atoms, nitrogen atoms, sulfur atoms, etc.), and organic groups in which two or more of these atoms are bonded; and the like. In addition, the hydrocarbon group or the organic group is various substituents (eg, halogen, hydroxyl, carboxy, amino, alkyl, alkenyl, alkoxy, aryl, etc.) or functional groups (eg, ester bond, amide bond, ether bond, thioether bond, urethane bond, etc.) may be present.

상기 R4의 유기기는, 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일옥시기, 아실옥시기, 아미드옥시기, 알콕시기, 아릴옥시기, 아미노기, 및 함질소 복소환으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 포함하는 유기기인 것이 바람직하고, 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일옥시기, 또는 하기 식의 어느 하나로 나타나는 유기기인 것이 보다 바람직하다.The organic group for R 4 is at least one functional group selected from the group consisting of an acryloyloxy group, a methacryloyloxy group, an acyloxy group, an amideoxy group, an alkoxy group, an aryloxy group, an amino group, and a nitrogen-containing heterocycle. It is preferable that it is an organic group containing, and it is more preferable that it is an acryloyloxy group, a methacryloyloxy group, or an organic group represented by any one of the following formulas.

[화학식 16][Formula 16]

(식 중, R10 및 R11은 각각 독립적으로 단락 [0039]에 기재된 유기기이다.)(In the formula, R 10 and R 11 are each independently an organic group described in paragraph [0039].)

또한, 상기 R4는 상기 R2의 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기, 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일옥시기, 또는 하기 일반식 (4)로 나타나는 유기기인 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that said R <4> is a hydroxyl group couple|bonded with the carbon atom of the said linking group of said R <2> , an acryloyloxy group, a methacryloyloxy group, or an organic group represented by the following general formula (4).

[화학식 17][Formula 17]

(식 중, R8은 수소 또는 메틸기이고, R9는 모체의 탄소수가 1~5의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~5이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기이다.)(In the formula, R 8 is hydrogen or a methyl group, R 9 is a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms as a parent, or an organic group having 1 to 5 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom.)

상기 일반식 (4)에 있어서, 상기 R9는, 모체의 탄소수가 1~5의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~5이면서 또한 헤테로 원자(예를 들면, 산소 원자, 질소 원자, 및 황 원자 등)를 포함하는 유기기이다. 또한, 상기 유기기가 헤테로 원자를 포함하는 경우, 상기 유기기가 가지는 헤테로 원자는, 상기 일반식 (4)에서 우레탄 결합의 질소 원자와의 결합부 이외의 부분, 및 (메타)아크릴로일옥시기의 산소 원자와의 결합부 이외의 부분에 가진다. 상기 탄화수소기로서는, 직쇄상 또는 분기쇄상의 지방족 포화 또는 불포화 탄화수소기를 들 수 있다. 상기 탄화수소기 또는 상기 유기기는, 여러 가지 치환기(예를 들면, 할로겐기, 히드록시기, 카르복시기, 아미노기, 알킬기, 알케닐기, 알콕시기, 및 아릴기 등)나 관능기(예를 들면, 에스테르 결합, 아미드 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 및 우레탄 결합 등)를 가지고 있어도 좋다. 상기 R9는, 바람직하게는 모체의 탄소수가 1~5의 탄화수소기이고, 보다 바람직하게는 에틸렌기, 또는 프로필렌기이다.In the general formula (4), the R 9 is a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms as a parent, or a heteroatom (eg, an oxygen atom, a nitrogen atom, and sulfur having 1 to 5 carbon atoms as a parent) It is an organic group containing atoms, etc.). In addition, when the organic group contains a heteroatom, the heteroatom possessed by the organic group is a part other than the bonded portion with the nitrogen atom of the urethane bond in the above general formula (4), and the oxygen of the (meth)acryloyloxy group It is held in a part other than the bonding part with an atom. As said hydrocarbon group, a linear or branched aliphatic saturated or unsaturated hydrocarbon group is mentioned. The hydrocarbon group or the organic group may be formed by various substituents (eg, halogen, hydroxyl, carboxy, amino, alkyl, alkenyl, alkoxy, aryl, etc.) or functional groups (eg, ester bond, amide bond). , ether linkage, thioether linkage, urethane linkage, etc.). The R 9 is preferably a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms in the parent body, and more preferably an ethylene group or a propylene group.

상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B를 구성하는 상기 반복 구조 단위 X 또는 X' 이외의 반복 구조 단위의 기초가 되는 모노머로서는, 예를 들면, (메타)아크릴산, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸숙신산, 말레산, 및 이타콘산 등의 카르복실기 함유 모노머; 무수 말레산, 및 무수 이타콘산 등의 카르본산 무수물기 함유 모노머; 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 프로필(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 라우릴(메타)아크릴레이트, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 에톡시에틸(메타)아크릴레이트, 및 글리시딜(메타)아크릴레이트 등의 알킬(메타)아크릴레이트; 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 이소보르닐(메타)아크릴레이트, 및 디시클로펜테닐(메타)아크릴레이트 등의 지환식 (메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 또한, 스티렌, 시클로헥실말레이미드, 페닐말레이미드, 메틸말레이미드, 에틸말레이미드, n-부틸말레이미드, 라우릴말레이미드, 및 실리콘 함유 모노머 등을 공중합 모노머로서 이용해도 좋다. 이들 모노머는 단독으로 이용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다.Examples of monomers underlying repeating structural units other than the repeating structural unit X or X' constituting the alkali-soluble resin A or B include (meth)acrylic acid and 2-(meth)acryloyloxyethylsuccinic acid. , maleic acid, and carboxyl group-containing monomers such as itaconic acid; carboxylic acid anhydride group-containing monomers such as maleic anhydride and itaconic anhydride; Methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, propyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, benzyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, hydroxyethyl (meth)acrylate alkyl (meth)acrylates such as hydroxypropyl (meth)acrylate, ethoxyethyl (meth)acrylate, and glycidyl (meth)acrylate; and alicyclic (meth)acrylates such as cyclohexyl (meth)acrylate, isobornyl (meth)acrylate, and dicyclopentenyl (meth)acrylate. In addition, styrene, cyclohexyl maleimide, phenyl maleimide, methyl maleimide, ethyl maleimide, n-butyl maleimide, lauryl maleimide, and a silicon-containing monomer may be used as copolymerization monomers. These monomers may be used independently or may use 2 or more types together.

다만, 상기 알칼리 가용성 수지 B는, 각각이 라디칼 중합성 치환기로 끝나는 2~3개의 말단을 가지는 분기한 측쇄를 갖춘 반복 구조 단위(이하, '반복 구조 단위 Y'라고도 한다.)를 포함하지 않는다. 상기 반복 구조 단위 Y는 국제공개 제2018/169036호에 기재되어 있는 모노머 단위(1)이고, 자세하게는, 상기 각각의 라디칼 중합성 치환기는, 예를 들면, 탄화수소쇄(L) 상에 각각 치환하고 있으며, 당해 탄화수소쇄(L)는 예를 들면, -COO-기를 통해서 폴리머의 주쇄에 결합하고 있다. 당해 탄화수소쇄(L)를 구성하는 탄소수는, 예를 들면, 3~5개, 3 또는 4개, 혹은 3개이다. 상기 라디칼 중합성 치환기는, 예를 들면, (메타)아크릴로일옥시기이다.However, the alkali-soluble resin B does not include a repeating structural unit (hereinafter, also referred to as 'repeating structural unit Y') having a branched side chain having 2 to 3 ends each ending with a radical polymerizable substituent. The repeating structural unit Y is a monomer unit (1) described in International Publication No. 2018/169036, and in detail, each of the radical polymerizable substituents is substituted on the hydrocarbon chain (L), for example, , and the hydrocarbon chain (L) is bonded to the main chain of the polymer through, for example, a -COO- group. The number of carbon atoms constituting the hydrocarbon chain (L) is, for example, 3 to 5, 3 or 4, or 3. The radical polymerizable substituent is, for example, a (meth)acryloyloxy group.

본 발명의 알칼리 가용성 수지 A 또는 B는, 예를 들면, 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트를 포함하는 모노머 조성물을 중합하여 얻어지는 측쇄에 에폭시기를 가지는 중합체에, 카르복시기 함유 화합물을 반응시켜서 히드록시기를 가지는 측쇄로 변환하고, 그리고 상기 히드록시기에 카르본산 무수물을 반응시키는 방법(1), 혹은 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트를 포함하는 모노머 조성물을 중합해서 얻어지는 측쇄에 에폭시기를 가지는 중합체에, 에틸렌성 불포화기와 카르복시기를 가지는 화합물을 반응시켜서 히드록시기와 에틸렌성 불포화기를 가지는 측쇄로 변환하고, 그리고 상기 히드록시기에 이소시아네이트기 등의 히드록시기와 반응하는 관능기를 가지는 화합물을 반응시키며, 추가로 상기 에틸렌성 불포화기에 수산기, 티올기, 및 아미노기 등의 에틸렌성 불포화기와 반응하는 관능기와 카르복시기를 가지는 화합물을 반응시키는 방법(2) 등에 의해 합성할 수 있다.Alkali-soluble resin A or B of the present invention, for example, a polymer having an epoxy group in the side chain obtained by polymerizing a monomer composition containing an epoxy group-containing (meth)acrylate is reacted with a carboxy group-containing compound to form a side chain having a hydroxyl group. Method (1) of converting and then reacting the hydroxy group with a carboxylic acid anhydride, or a polymer having an epoxy group in the side chain obtained by polymerizing a monomer composition containing an epoxy group-containing (meth)acrylate having an ethylenically unsaturated group and a carboxy group A compound is reacted to convert a side chain having a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group, and a compound having a functional group that reacts with a hydroxyl group such as an isocyanate group is reacted with the hydroxyl group, and further, a hydroxyl group, a thiol group, and an amino group are reacted with the ethylenically unsaturated group It can be synthesized by a method (2) of reacting a compound having a carboxyl group with a functional group that reacts with an ethylenically unsaturated group such as the above.

상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B는, 상기 반복 구조 단위 X 또는 X'로 구성되는 호모 폴리머여도 좋고, 또한, 상기 반복 구조 단위 X 또는 X'와 다른 반복 구조 단위로 구성되는 랜덤 공중합체, 블록 공중합체, 교대 공중합체, 또는 주기적 공중합체여도 좋다.The alkali-soluble resin A or B may be a homopolymer composed of the repeating structural unit X or X', or a random copolymer or a block copolymer composed of a repeating structural unit different from the repeating structural unit X or X'. , an alternating copolymer, or a periodic copolymer.

상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B에 있어서, 상기 반복 구조 단위 X 또는 X'의 함유량은 특별히 제한되지 않지만, 후막화 한 경우에도 현상 밀착성 및 해상도가 뛰어난 경화막을 형성하는 관점, 및 약알칼리성 현상액을 이용한 경우에도 단시간에 현상 가능하게 하는 관점에서, 전체 반복 구조 단위 중에 5~50 mol%인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 5~25 mol%이다.In the alkali-soluble resin A or B, the content of the repeating structural unit X or X' is not particularly limited, but from the viewpoint of forming a cured film with excellent development adhesion and resolution even when a thick film is formed, and when a weakly alkaline developer is used It is preferably 5 to 50 mol%, and more preferably 5 to 25 mol%, in all repeating structural units, from the viewpoint of enabling development in a short time.

상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B의 중량 평균 분자량은 특별히 제한되지 않지만, 감도 및 현상성의 관점에서, 5000~40000인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 5000~20000이다. 상기 중량 평균 분자량은 겔 침투 크로마토그래피(GPC)를 이용해서 측정한 폴리스티렌 환산에 따른 값이고, JIS 7252-4에 준거하여 측정한 값이다. 후술하는 실시예에서 기재된 중량 평균 분자량도 본 항의 기재에 따라서 구한 값이다.The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin A or B is not particularly limited, but is preferably 5000 to 40000, and more preferably 5000 to 20000 from the viewpoint of sensitivity and developability. The said weight average molecular weight is a value according to polystyrene conversion measured using gel permeation chromatography (GPC), and is a value measured based on JIS7252-4. The weight average molecular weight described in Examples to be described later is also a value obtained according to the description in this section.

상기 알칼리 가용성 수지 A 또는 B의 산가는 특별히 제한되지 않지만, 약알칼리성 현상액을 이용한 경우에도 단시간에 현상 가능하도록 하는 관점에서, 20~120 mgKOH/g인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 20~80 mgKOH/g이다.The acid value of the alkali-soluble resin A or B is not particularly limited, but is preferably 20 to 120 mgKOH/g, more preferably 20 to 80 mgKOH from the viewpoint of enabling development in a short time even when using a weakly alkaline developer. /g.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 적어도 상기 알칼리 가용성 수지 A 및/또는 B, 중합성 모노머, 및 광중합 개시제를 함유한다.The photosensitive resin composition of the present invention contains at least the alkali-soluble resin A and/or B, a polymerizable monomer, and a photopolymerization initiator.

상기 감광성 수지 조성물 중의 전고형분의 함유량에 대한 상기 알칼리 가용성 수지 A 및/또는 B의 함유 비율(병용하는 경우는 합계이다.)은 특별히 제한되지 않지만, 후막화 한 경우에도 현상 밀착성 및 해상도가 뛰어난 경화막을 형성하는 관점, 및 약알칼리성 현상액을 이용한 경우에도 단시간에 현상 가능하도록 하는 관점에서, 통상 40~90 질량% 정도이고, 바람직하게는 40~80 질량%이며, 보다 바람직하게는 50~70 질량%이다.The content ratio of the alkali-soluble resin A and/or B to the total solid content in the photosensitive resin composition (the total amount when used in combination) is not particularly limited, but curing with excellent developing adhesion and resolution even when thickened. From the viewpoint of forming a film and enabling development in a short time even when using a weakly alkaline developer, it is usually about 40 to 90% by mass, preferably 40 to 80% by mass, and more preferably 50 to 70% by mass. am.

상기 중합성 모노머는 특별히 제한되지 않고, 예를 들면, 노닐페닐카르비톨(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실카르비톨(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 및 N-비닐피롤리돈 등의 단관능 모노머나, 디비닐벤젠, 디알릴프탈레이트, 및 디알릴벤젠포스포네이트 등의 다관능 방향족 비닐계 모노머; (디)에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 및 트리스(히드록시에틸)이소시아누레이트의 트리(메타)아크릴레이트 등의 다관능 (메타)아크릴레이트 등의 다관능 모노머를 들 수 있다. 이들 중합성 모노머는, 단독으로 이용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다.The polymerizable monomer is not particularly limited, and examples thereof include nonylphenylcarbitol (meth)acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth)acrylate, and 2-ethylhexylcarbitol (meth)acrylate. Monofunctional monomers such as lactate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, and N-vinylpyrrolidone, or multifunctional aromatic vinyl monomers such as divinylbenzene, diallylphthalate, and diallylbenzenephosphonate ; (di) Ethylene glycol di(meth)acrylate, propylene glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate , Pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol di(meth)acrylate, dipentaerythritol di(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate ) polyfunctional (metha) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and tri (meth) acrylate of tris (hydroxyethyl) isocyanurate. ) Polyfunctional monomers, such as acrylate, are mentioned. These polymerizable monomers may be used independently or may use 2 or more types together.

상기 중합성 모노머의 함유량은 특별히 제한되지 않지만, 본 발명의 효과를 충분히 얻는 관점에서, 상기 알칼리 가용성 수지 A 및/또는 B 100 질량부(병용하는 경우는 합계이다.)에 대해서 30~100 질량부인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 40~80 질량부이며, 더욱 바람직하게는 50~70 질량부이다.The content of the polymerizable monomer is not particularly limited, but from the viewpoint of sufficiently obtaining the effect of the present invention, it is 30 to 100 parts by mass relative to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin A and/or B (when used together, the total is). It is preferably 40 to 80 parts by mass, more preferably 50 to 70 parts by mass.

상기 광중합 개시제는 특별히 제한되지 않고, 예를 들면, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르 등의 벤조인과 그 알킬에테르류; 아세트페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세트페논, 1,1-디클로로아세트페논 등의 아세트페논류; 2-메틸안트라퀴논, 2-아밀안트라퀴논, 2-t-부틸안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논 등의 안트라퀴논류; 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디이소프로필티오크산톤, 2-클로로티오크산톤 등의 티오크산톤류; 아세트페논디메틸케탈, 벤질디메틸케탈 등의 케탈류; 벤조페논 등의 벤조페논류; 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노-프로판-1-온이나 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온-1; 아실포스핀옥사이드류 및 크산톤류 등을 들 수 있다. 이들 광중합 개시제는 단독으로 이용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다.The photopolymerization initiator is not particularly limited, and examples thereof include benzoin and alkyl ethers thereof such as benzoin, benzoin methyl ether, and benzoin ethyl ether; acetphenones such as acetphenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetphenone, and 1,1-dichloroacetphenone; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, and 1-chloroanthraquinone; thioxanthone such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, and 2-chlorothioxanthone; ketals such as acetphenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; benzophenones such as benzophenone; 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-propan-1-one or 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone -One; Acyl phosphine oxides, xanthones, etc. are mentioned. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

상기 광중합 개시제의 함유량은 특별히 제한되지 않지만, 상기 알칼리 가용성 수지 A 및/또는 B 100 질량부(병용하는 경우는 합계이다.)에 대해서, 0.1~5 질량부인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.2~4 질량부이며, 더욱 바람직하게는 0.5~3 질량부이다.The content of the photopolymerization initiator is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 5 parts by mass, more preferably 0.2 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin A and/or B (the total is the case when used together). It is 4 parts by mass, more preferably 0.5 to 3 parts by mass.

상기 감광성 수지 조성물에는 광중합 개시조제를 첨가해도 좋다. 광중합 개시조제로서는, 예를 들면, 1,3,5-트리스(3-메르캅토프로피오닐옥시에틸)-이소시아누레이트, 1,3,5-트리스(3-메르캅토부틸옥시에틸)-이소시아누레이트(쇼와덴코사 제조, 카렌즈 MT(등록상표) NR1), 트리메틸올프로판트리스(3-메르캅토프로피오네이트) 등의 3관능 티올 화합물; 펜타에리트리톨테트라키스(3-메르캅토프로피오네이트), 펜타에리트리톨테트라키스(3-메르캅토부틸레이트)(쇼와덴코사 제조, 카렌즈 MT(등록상표) PEI) 등의 4관능 티올 화합물; 디펜타에리트리톨헥사키스(3-프로피오네이트) 등의 6관능 티올 화합물 등의 다관능 티올을 들 수 있다. 이들 광중합 개시조제는 단독으로 이용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다.A photopolymerization initiator may be added to the photosensitive resin composition. Examples of photopolymerization initiator aids include 1,3,5-tris(3-mercaptopropionyloxyethyl)-isocyanurate and 1,3,5-tris(3-mercaptobutyloxyethyl)-iso trifunctional thiol compounds such as cyanurate (Karenz MT (registered trademark) NR1, manufactured by Showa Denko Corporation) and trimethylolpropanetris (3-mercaptopropionate); Tetrafunctional thiol compounds such as pentaerythritol tetrakis(3-mercaptopropionate) and pentaerythritol tetrakis(3-mercaptobutylate) (Karenz MT (registered trademark) PEI manufactured by Showa Denko Co., Ltd.) ; Polyfunctional thiols, such as 6 functional thiol compounds, such as dipentaerythritol hexakis (3-propionate), are mentioned. These photopolymerization initiator aids may be used alone or in combination of two or more.

상기 감광성 수지 조성물에는 열중합 개시제를 첨가해도 좋다. 열중합 개시제로서는, 예를 들면, 쿠멘하이드로퍼옥사이드, 디이소프로필벤젠퍼옥사이드, 디-t-부틸퍼옥사이드, 라우릴퍼옥사이드, 벤조일퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시이소프로필카보네이트, t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트, t-아밀퍼옥시-2-에틸헥사노에이트 등의 유기 과산화물; 2,2'-아조비스(이소부틸로니트릴), 1,1'-아조비스(시클로헥산카르보니트릴), 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 디메틸2,2'-아조비스(2-메틸프로피오네이트) 등의 아조 화합물 등을 들 수 있다. 이들 열중합 개시제는 단독으로 이용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다.A thermal polymerization initiator may be added to the photosensitive resin composition. Examples of the thermal polymerization initiator include cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene peroxide, di-t-butyl peroxide, lauryl peroxide, benzoyl peroxide, t-butyl peroxyisopropyl carbonate, and t-butyl. organic peroxides such as peroxy-2-ethylhexanoate and t-amylperoxy-2-ethylhexanoate; 2,2'-azobis (isobutylonitrile), 1,1'-azobis (cyclohexanecarbonitrile), 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), dimethyl 2,2 Azo compounds, such as '- azobis (2-methylpropionate), etc. are mentioned. These thermal polymerization initiators may be used independently or may use 2 or more types together.

상기 감광성 수지 조성물에는, 불포화 폴리에스테르, 에폭시아크릴레이트, 우레탄아크릴레이트, 폴리에스테르아크릴레이트 등의 라디칼 중합성 올리고머; 에폭시 수지 등의 경화성 수지를 첨가해도 좋다.In the photosensitive resin composition, radical polymerizable oligomers such as unsaturated polyester, epoxy acrylate, urethane acrylate, and polyester acrylate; You may add curable resins, such as an epoxy resin.

상기 감광성 수지 조성물은 용매를 함유해도 좋다. 용매로서는, 예를 들면, 테트라히드로푸란, 디옥산, 에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르 등의 에테르류; 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥산온 등의 케톤류; 아세트산에틸, 아세트산부틸, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트 등의 에스테르류; 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, n-부탄올, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 등의 알코올류; 톨루엔, 크실렌, 에틸벤젠 등의 방향족 탄화수소류; 클로로포름, 디메틸술폭시드 등을 들 수 있다. 이들 용매는 단독으로 이용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다. 또한, 용매의 함유량은 당해 조성물을 사용할 때의 최적의 점도에 따라서 적당히 설정하면 좋다.The photosensitive resin composition may contain a solvent. Examples of the solvent include ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, and diethylene glycol dimethyl ether; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; esters such as ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and 3-methoxybutyl acetate; alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol monomethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether; Aromatic hydrocarbons, such as toluene, xylene, and ethylbenzene; Chloroform, dimethyl sulfoxide, etc. are mentioned. These solvents may be used independently or may use 2 or more types together. In addition, what is necessary is just to set content of a solvent suitably according to the optimum viscosity at the time of using the said composition.

상기 감광성 수지 조성물은, 본 발명의 효과를 해치지 않는 범위에서 수산화 알루미늄, 활석, 점토, 황산 바륨 등의 충전재, 염료, 안료, 소포제, 커플링제, 레벨링제, 증감제, 이형제, 활제, 가소제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 난연제, 중합 억제제, 증점제 및 분산제 등의 공지의 첨가제를 함유하고 있어도 좋다.The photosensitive resin composition may contain fillers such as aluminum hydroxide, talc, clay, barium sulfate, dyes, pigments, antifoaming agents, coupling agents, leveling agents, sensitizers, release agents, lubricants, plasticizers, oxidizing agents, etc. You may contain known additives, such as an inhibitor, a ultraviolet absorber, a flame retardant, a polymerization inhibitor, a thickener, and a dispersing agent.

본 발명의 경화물은 상기 감광성 수지 조성물을 경화함으로써 얻어진다. 상기 경화물의 제조 방법으로서는, 예를 들면, 상기 감광성 수지 조성물을 성형 금형(수지 금형)에 주입하거나, 혹은 상기 감광성 수지 조성물을 기재(기판)나 각종 기능층 위에 코팅하여 원하는 형상으로 한 후에, 빛(예를 들면, 자외선)을 조사하여 상기 감광성 수지 조성물을 경화하는 방법을 들 수 있다. 경화의 조건은, 사용하는 상기 감광성 수지 조성물에 따라서 적당히 조정한다.The cured product of the present invention is obtained by curing the photosensitive resin composition. As a method for producing the cured product, for example, after injecting the photosensitive resin composition into a molding mold (resin mold) or coating the photosensitive resin composition on a base material (substrate) or various functional layers to form a desired shape, (For example, a method of curing the photosensitive resin composition by irradiation with ultraviolet rays) is exemplified. Curing conditions are appropriately adjusted according to the photosensitive resin composition to be used.

상기 경화물은, 포토 스페이서, 격벽재, 렌즈재, 층간 절연막재, 보호막재, 광도파로재, 또는 평탄화막재로서 바람직하게 이용되고, 특히 포토 스페이서로서 바람직하게 이용된다.The cured product is preferably used as a photo spacer, barrier rib material, lens material, interlayer insulating film material, protective film material, optical waveguide material, or flattening film material, and is particularly preferably used as a photo spacer.

포토 스페이서의 형성 방법은 특별히 제한되지 않고, 예를 들면, 상기 감광성 수지 조성물을 유리 또는 투명 플라스틱 필름 등의 기판에 도포하고, 건조하여 도막을 형성하며, 그 다음, 포토리소그래피에 의해 형성할 수 있다. 포토리소그래피에 있어서는, 예를 들면, 도막 위에 포토 마스크를 배치하고, 자외선을 조사함으로써 도막을 광경화시키며, 자외선 조사 후의 도막에 알칼리 수용액을 산포하고, 미노광부를 용해, 제거하고 남은 노광부를 수세하여 현상함으로써 포토 스페이서를 형성한다. 그 후, 포스트 베이크를 실시해도 좋다.The method of forming the photo spacer is not particularly limited, and for example, the photosensitive resin composition is applied to a substrate such as glass or a transparent plastic film, dried to form a coating film, and then formed by photolithography. . In photolithography, for example, a photomask is placed on a coating film, the coating film is photocured by irradiation with ultraviolet rays, an alkaline aqueous solution is sprayed on the coating film after ultraviolet irradiation, the unexposed areas are dissolved and removed, and the remaining exposed areas are washed with water A photo-spacer is formed by developing. After that, you may perform post-baking.

본 발명의 감광성 수지 조성물을 이용함으로써, 막 두께가 10μm 이상, 20μm 이상, 30μm 이상, 또 50μm 이상의 포토 스페이서를 높은 현상 밀착성, 그리고 고해상도로 제조할 수 있다. 또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 이용함으로써, 종횡비가 4.0 이상의 포토 스페이서를 제조할 수 있다. 또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 약알칼리성 현상액을 이용한 경우에도 단시간에 현상할 수 있기 때문에, 포토 스페이서를 생산성 좋게 제조할 수 있다.By using the photosensitive resin composition of the present invention, a photo-spacer having a film thickness of 10 μm or more, 20 μm or more, 30 μm or more, or 50 μm or more can be produced with high developing adhesion and high resolution. In addition, a photo-spacer having an aspect ratio of 4.0 or more can be produced by using the photosensitive resin composition of the present invention. In addition, since the photosensitive resin composition of the present invention can be developed in a short time even when using a weakly alkaline developer, photo-spacers can be manufactured with high productivity.

실시예Example

이하에 실시예를 들어 본 발명을 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 의해서 전혀 한정되는 것은 아니다.The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited at all by these examples.

[합성예 1] 알칼리 가용성 수지 1의 합성[Synthesis Example 1] Synthesis of alkali-soluble resin 1

하기 제조 방법에 따라서, 하기 반복 구조 단위 A 및 X1을 포함하는 알칼리 가용성 수지 1을 합성하였다.An alkali-soluble resin 1 comprising the following repeating structural units A and X1 was synthesized according to the following production method.

[화학식 18][Formula 18]

가열 냉각·교반장치, 환류 냉각관 및 질소 도입관을 구비한 유리제 플라스크에, 글리시딜메타크릴레이트 100 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 212 g을 넣었다. 계내의 기상 부분을 질소로 치환한 후, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 17 g을 첨가하고, 80℃에서 가열하여, 동일한 온도에서 8시간 반응시켰다. 얻어진 용액에, 추가로 아크릴산 53.2 g, 트리페닐포스핀 1.0 g, 하이드로퀴논 0.02 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 6.0 g을 첨가하고, 100℃에서 16시간 반응시켰다. 반응 후, 반응 용액에 추가로 무수 숙신산 3.7 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 13.0 g을 첨가하고, 65℃에서 6시간 반응시켜서, 알칼리 가용성 수지 1을 45 질량% 포함하는 용액을 얻었다. GPC로 분자량을 측정한 결과, 알칼리 가용성 수지 1의 중량 평균 분자량(Mw)은 7,000이었다. 또한, 분자량 측정은, 겔 투과 크로마토그래피(도소사 제조, 품번: HLC-8120, 컬럼: G-5000HXL 및 G-3000HXL의 2연결, 검출기: RI, 이동상: 테트라히드로푸란)로 실시하였다. 이하에서도 동일한 방법으로 중량 평균 분자량을 측정하였다. 또한, 알칼리 가용성 수지 1의 산가는 21 mgKOH/g이었다.100 g of glycidyl methacrylate and 212 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were placed in a glass flask equipped with a heating/cooling/stirring device, a reflux cooling tube and a nitrogen inlet tube. After replacing the gaseous portion in the system with nitrogen, 17 g of 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) was added, heated at 80°C, and reacted at the same temperature for 8 hours. 53.2 g of acrylic acid, 1.0 g of triphenylphosphine, 0.02 g of hydroquinone, and 6.0 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were further added to the obtained solution, and it was made to react at 100 degreeC for 16 hours. After the reaction, 3.7 g of succinic anhydride and 13.0 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were further added to the reaction solution, and it was made to react at 65 degreeC for 6 hours, and the solution containing 45 mass % of alkali-soluble resin 1 was obtained. As a result of measuring the molecular weight by GPC, the weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin 1 was 7,000. In addition, the molecular weight was measured by gel permeation chromatography (product number: HLC-8120 manufactured by Tosoh Corporation, column: G-5000HXL and G-3000HXL double-linked, detector: RI, mobile phase: tetrahydrofuran). Also below, the weight average molecular weight was measured by the same method. In addition, the acid value of alkali-soluble resin 1 was 21 mgKOH/g.

[합성예 2] 알칼리 가용성 수지 2의 합성[Synthesis Example 2] Synthesis of alkali-soluble resin 2

반응 용액으로의 무수 숙신산의 첨가량을 11.0 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트의 첨가량을 22.0 g으로 변경한 것 외에는, 합성예 1과 동일한 제조 방법으로 알칼리 가용성 수지 2를 45 질량% 포함하는 용액을 얻었다. GPC로 분자량을 측정한 결과, 알칼리 가용성 수지 2의 중량 평균 분자량(Mw)은 7,000이었다. 또한, 알칼리 가용성 수지 2의 산가는 54 mgKOH/g이었다.A solution containing 45% by mass of alkali-soluble resin 2 was prepared in the same manner as in Synthesis Example 1, except that the amount of succinic anhydride added to the reaction solution was changed to 11.0 g and the amount of propylene glycol monomethyl ether acetate added to 22.0 g. got it As a result of measuring the molecular weight by GPC, the weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin 2 was 7,000. Moreover, the acid value of alkali-soluble resin 2 was 54 mgKOH/g.

[합성예 3] 알칼리 가용성 수지 3의 합성[Synthesis Example 3] Synthesis of alkali-soluble resin 3

반응 용액으로의 무수 숙신산의 첨가량을 18.5 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트의 첨가량을 31.0 g으로 변경한 것 외에는, 합성예 1과 동일한 제조 방법으로 알칼리 가용성 수지 3을 45 질량% 포함하는 용액을 얻었다. GPC로 분자량 측정한 결과, 알칼리 가용성 수지 3의 중량 평균 분자량(Mw)은 7,000이었다. 또한, 알칼리 가용성 수지 3의 산가는 66 mgKOH/g이었다.A solution containing 45% by mass of alkali-soluble resin 3 was prepared in the same manner as in Synthesis Example 1, except that the amount of succinic anhydride added to the reaction solution was changed to 18.5 g and the amount of propylene glycol monomethyl ether acetate added to 31.0 g. got it As a result of molecular weight measurement by GPC, the weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin 3 was 7,000. In addition, the acid value of alkali-soluble resin 3 was 66 mgKOH/g.

[합성예 4] 알칼리 가용성 수지 4의 합성[Synthesis Example 4] Synthesis of alkali-soluble resin 4

하기 제조 방법에 따라서, 하기 반복 구조 단위 A 및 X1을 포함하는 알칼리 가용성 수지 4를 합성하였다.Alkali-soluble resin 4 comprising the following repeating structural units A and X1 was synthesized according to the following production method.

[화학식 19][Formula 19]

가열 냉각·교반장치, 환류 냉각관, 및 질소 도입관을 구비한 유리제 플라스크에, 글리시딜메타크릴레이트 100 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 150 g을 넣었다. 계내의 기상 부분을 질소로 치환한 후, 2,2’-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5.2 g을 첨가하고, 80℃에서 가열하여, 동일한 온도에서 8시간 반응시켰다. 얻어진 용액에, 추가로 아크릴산 53.2 g, 트리페닐포스핀 2.0 g, 하이드로퀴논 0.02 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 1.0 g을 첨가하고, 100℃에서 7시간 반응시켰다. 반응 후, 반응 용액에 추가로 무수 숙신산 11 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 9.3 g을 첨가하고, 65℃에서 6시간 반응시켜서, 알칼리 가용성 수지 4를 52 질량% 포함하는 용액을 얻었다. GPC로 분자량을 측정한 결과, 알칼리 가용성 수지 4의 중량 평균 분자량(Mw)은 13,000이었다. 또한, 알칼리 가용성 수지 4의 산가는 51 mgKOH/g이었다.100 g of glycidyl methacrylate and 150 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were placed in a glass flask equipped with a heating/cooling/stirring device, a reflux condenser, and a nitrogen inlet tube. After replacing the gaseous portion in the system with nitrogen, 5.2 g of 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) was added, heated at 80°C, and reacted at the same temperature for 8 hours. 53.2 g of acrylic acid, 2.0 g of triphenylphosphine, 0.02 g of hydroquinone, and 1.0 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were further added to the obtained solution, and it was made to react at 100 degreeC for 7 hours. After the reaction, 11 g of succinic anhydride and 9.3 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were further added to the reaction solution, and it was made to react at 65 degreeC for 6 hours, and the solution containing 52 mass % of alkali-soluble resin 4 was obtained. As a result of measuring the molecular weight by GPC, the weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin 4 was 13,000. In addition, the acid value of alkali-soluble resin 4 was 51 mgKOH/g.

[합성예 5] 알칼리 가용성 수지 5의 합성[Synthesis Example 5] Synthesis of alkali-soluble resin 5

하기 제조 방법에 따라서, 하기 반복 구조 단위 A, B 및 X2를 포함하는 알칼리 가용성 수지 5를 합성하였다.Alkali-soluble resin 5 comprising the following repeating structural units A, B and X2 was synthesized according to the following production method.

[화학식 20][Formula 20]

가열 냉각·교반장치, 환류 냉각관, 및 질소 도입관을 구비한 유리제 플라스크에, 글리시딜메타크릴레이트 100 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 160 g을 넣었다. 계내의 기상 부분을 질소로 치환한 후, 2,2’-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 7.5 g을 첨가하고, 80℃에서 가열하여, 동일한 온도에서 8시간 반응시켰다. 얻어진 용액에, 추가로 아크릴산 53.2 g, 트리페닐포스핀 0.3 g, 및 하이드로퀴논 0.02 g을 첨가하고, 100℃에서 15시간 반응시켰다. 반응 후, 반응 용액에 추가로 2-이소시아네이트에틸메타크릴레이트(쇼와덴코사 제조, 카렌즈 MOI) 87 g, 하이드로퀴논 0.01 g, 및 N,N'-디메틸벤질아민 0.1 g을 첨가하고, 65℃에서 15시간 반응시켰다. 반응 후, 반응 용액에 추가로 티오글리콜산 26.0 g, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 50 g, 하이드로퀴논 0.003 g, 메토퀴논 0.5 g, 및 N,N'-디메틸벤질아민 0.5 g을 첨가하고, 70℃에서 20시간 반응시켜서, 알칼리 가용성 수지 5를 50 질량% 포함하는 용액을 얻었다. GPC로 분자량을 측정한 결과, 알칼리 가용성 수지 5의 중량 평균 분자량(Mw)은 28,000이었다. 또한, 알칼리 가용성 수지 5의 산가는 59 mgKOH/g이었다.100 g of glycidyl methacrylate and 160 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were placed in a glass flask equipped with a heating/cooling/stirring device, a reflux condenser, and a nitrogen inlet tube. After replacing the gaseous portion in the system with nitrogen, 7.5 g of 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) was added, heated at 80°C, and reacted at the same temperature for 8 hours. 53.2 g of acrylic acid, 0.3 g of triphenylphosphine, and 0.02 g of hydroquinone were further added to the obtained solution, and it was made to react at 100 degreeC for 15 hours. After the reaction, 87 g of 2-isocyanate ethyl methacrylate (manufactured by Showa Denko, Karenz MOI), 0.01 g of hydroquinone, and 0.1 g of N,N'-dimethylbenzylamine were further added to the reaction solution, and 65 It was reacted for 15 hours at °C. After the reaction, 26.0 g of thioglycolic acid, 50 g of propylene glycol monomethyl ether acetate, 0.003 g of hydroquinone, 0.5 g of methoquinone, and 0.5 g of N,N'-dimethylbenzylamine were further added to the reaction solution, and the temperature was 70°C. It was made to react for 20 hours, and the solution containing 50 mass % of alkali-soluble resin 5 was obtained. As a result of measuring the molecular weight by GPC, the weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin 5 was 28,000. In addition, the acid value of alkali-soluble resin 5 was 59 mgKOH/g.

[합성예 6] 알칼리 가용성 수지 6의 합성[Synthesis Example 6] Synthesis of alkali-soluble resin 6

하기 제조 방법에 따라서, 하기 반복 구조 단위 A 및 X3을 포함하는 알칼리 가용성 수지 6을 합성하였다.Alkali-soluble resin 6 containing the following repeating structural units A and X3 was synthesized according to the following production method.

[화학식 21][Formula 21]

가열 냉각·교반장치, 환류 냉각관, 및 질소 도입관을 구비한 유리제 플라스크에, 글리시딜메타크릴레이트 100 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 212 g을 넣었다. 계내의 기상 부분을 질소로 치환한 후, 2,2’-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 17 g을 첨가하고, 80℃에서 가열하여, 동일한 온도에서 8시간 반응시켰다. 얻어진 용액에, 추가로 아크릴산 53.2 g, 트리페닐포스핀 1.0 g, 하이드로퀴논 0.02 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 6.0 g을 첨가하고, 100℃에서 16시간 반응시켰다. 반응 후, 반응 용액에 추가로 5-노보넨-2,3-디카르본산 무수물을 18.2 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 31.0 g을 첨가하고, 65℃에서 19시간 반응시켜서, 아크릴 가용성 수지 6을 45 질량% 포함하는 용액을 얻었다. GPC로 분자량을 측정한 결과, 알칼리 가용성 수지 6의 중량 평균 분자량(Mw)은 8,000이었다. 또한, 알칼리 가용성 수지 6의 산가는 58 mgKOH/g이었다.100 g of glycidyl methacrylate and 212 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were placed in a glass flask equipped with a heating/cooling/stirring device, a reflux cooling pipe, and a nitrogen inlet pipe. After replacing the gaseous portion in the system with nitrogen, 17 g of 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) was added, heated at 80°C, and reacted at the same temperature for 8 hours. 53.2 g of acrylic acid, 1.0 g of triphenylphosphine, 0.02 g of hydroquinone, and 6.0 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were further added to the obtained solution, and it was made to react at 100 degreeC for 16 hours. After the reaction, 18.2 g of 5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride and 31.0 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were further added to the reaction solution, followed by reaction at 65°C for 19 hours to obtain an acrylic soluble resin 6 A solution containing 45% by mass of was obtained. As a result of measuring the molecular weight by GPC, the weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin 6 was 8,000. Moreover, the acid value of alkali-soluble resin 6 was 58 mgKOH/g.

[합성예 7] 알칼리 가용성 수지 7의 합성[Synthesis Example 7] Synthesis of alkali-soluble resin 7

가열 냉각·교반장치, 환류 냉각관, 및 질소 도입관을 구비한 유리제 플라스크에, 메타크릴산 25.0 g, 메타크릴산메틸 12.8 g, 디시클로펜타닐메타크릴레이트 20.2 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 94.6 g을 넣은 후, 2,2’-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 6.4 g을 첨가하고, 질소 분위기 하에, 80℃에서 8시간 반응시켰다. 얻어진 용액에, 추가로 글리시딜메타크릴레이트 12.3 g, 하이드로퀴논 0.2 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 2.5 g을 첨가하고, 100℃에서 19시간 반응시켜서, 알칼리 가용성 수지 7을 45 질량% 포함하는 용액을 얻었다. GPC로 분자량을 측정한 결과, 알칼리 가용성 수지 7의 중량 평균 분자량(Mw)은 11,800이었다. 또한, 알칼리 가용성 수지 7의 산가는 107 mgKOH/g이었다.To a glass flask equipped with a heating/cooling/stirring device, a reflux cooling pipe, and a nitrogen inlet pipe, 25.0 g of methacrylic acid, 12.8 g of methyl methacrylate, 20.2 g of dicyclopentanyl methacrylate, and propylene glycol monomethyl ether acetate After putting 94.6 g, 6.4 g of 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) was added, and it was made to react at 80 degreeC in nitrogen atmosphere for 8 hours. To the obtained solution, 12.3 g of glycidyl methacrylate, 0.2 g of hydroquinone, and 2.5 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were further added, followed by reaction at 100°C for 19 hours, containing 45% by mass of alkali-soluble resin 7. A solution was obtained. As a result of measuring the molecular weight by GPC, the weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin 7 was 11,800. Moreover, the acid value of alkali-soluble resin 7 was 107 mgKOH/g.

[합성예 8] 알칼리 가용성 수지 8의 합성[Synthesis Example 8] Synthesis of alkali-soluble resin 8

가열 냉각·교반장치, 환류 냉각관, 및 질소 도입관을 구비한 유리제 플라스크에, 메타크릴산 25.0 g, 메타크릴산메틸 22.6 g, 메타크릴산부틸 18.4 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 99.0 g을 넣은 후, 2,2’-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5.6 g을 첨가하고, 질소 분위기 하에, 80℃에서 8시간 반응시켰다. 얻어진 용액에, 추가로 글리시딜메타크릴레이트 18.4 g, 하이드로퀴논 0.2 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 4.3 g을 첨가하고, 100℃에서 19시간 반응시켜서, 알칼리 가용성 수지 8을 45 질량% 포함하는 용액을 얻었다. GPC로 분자량을 측정한 결과, 알칼리 가용성 수지 8의 중량 평균 분자량(Mw)은 10,800이었다. 또한, 알칼리 가용성 수지 8의 산가는 106 mgKOH/g이었다.To a glass flask equipped with a heating cooling/stirring device, a reflux condenser, and a nitrogen inlet tube, 25.0 g of methacrylic acid, 22.6 g of methyl methacrylate, 18.4 g of butyl methacrylate, and 99.0 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were added. After adding, 5.6 g of 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) was added and reacted at 80°C for 8 hours under a nitrogen atmosphere. To the obtained solution, 18.4 g of glycidyl methacrylate, 0.2 g of hydroquinone, and 4.3 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were further added, followed by reaction at 100°C for 19 hours, containing 45% by mass of alkali-soluble resin 8. A solution was obtained. As a result of measuring the molecular weight by GPC, the weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin 8 was 10,800. Moreover, the acid value of alkali-soluble resin 8 was 106 mgKOH/g.

[합성예 9] 알칼리 가용성 수지 9의 합성[Synthesis Example 9] Synthesis of alkali-soluble resin 9

가열 냉각·교반장치, 환류 냉각관, 및 질소 도입관을 구비한 유리제 플라스크에, 글리시딜메타크릴레이트 100 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 212 g을 넣었다. 계내의 기상 부분을 질소로 치환한 후, 2,2’-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 17 g을 첨가하고, 80℃에서 가열하여, 동일한 온도에서 8시간 반응시켰다. 얻어진 용액에, 추가로 아크릴산 53.2 g, 트리페닐포스핀 1.0 g, 하이드로퀴논 0.02 g, 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 6.0 g을 첨가하고, 100℃에서 12시간 반응시켜서, 알칼리 가용성 수지 9를 44 질량% 포함하는 용액을 얻었다. GPC로 분자량을 측정한 결과, 알칼리 가용성 수지 9의 중량 평균 분자량(Mw)은 9,000이었다. 또한, 알칼리 가용성 수지 9의 산가는 12 mgKOH/g이었다.100 g of glycidyl methacrylate and 212 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were placed in a glass flask equipped with a heating/cooling/stirring device, a reflux cooling pipe, and a nitrogen inlet pipe. After replacing the gaseous portion in the system with nitrogen, 17 g of 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) was added, heated at 80°C, and reacted at the same temperature for 8 hours. 53.2 g of acrylic acid, 1.0 g of triphenylphosphine, 0.02 g of hydroquinone, and 6.0 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were further added to the obtained solution, and it was made to react at 100 degreeC for 12 hours, and 44 mass of alkali-soluble resin 9 were added A solution containing % was obtained. As a result of measuring the molecular weight by GPC, the weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin 9 was 9,000. In addition, the acid value of alkali-soluble resin 9 was 12 mgKOH/g.

[합성예 10] 알칼리 가용성 수지 10의 합성[Synthesis Example 10] Synthesis of alkali-soluble resin 10

5-노보넨-2,3-디카르본산 무수물 18.2 g 대신에 트리멜리트산 무수물 14.2 g을 첨가하고, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트의 첨가량을 31.0 g에서 26.2 g으로 변경한 것 외에는, 합성예 6과 동일한 제조 방법으로 알칼리 가용성 수지 10을 45 질량% 포함하는 용액을 얻었다. GPC로 분자량을 측정한 결과, 알칼리 가용성 수지 10의 중량 평균 분자량(Mw)은 16,000이었다. 또한, 알칼리 가용성 수지 10의 산가는 62 mgKOH/g이었다.Synthesis Example 6, except that 14.2 g of trimellitic anhydride was added instead of 18.2 g of 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid anhydride and the addition amount of propylene glycol monomethyl ether acetate was changed from 31.0 g to 26.2 g. A solution containing 45% by mass of alkali-soluble resin 10 was obtained by the same manufacturing method as above. As a result of measuring the molecular weight by GPC, the weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin 10 was 16,000. In addition, the acid value of alkali-soluble resin 10 was 62 mgKOH/g.

실시예 1~7, 및 비교예 1~3Examples 1 to 7, and Comparative Examples 1 to 3

[감광성 수지 조성물의 조제][Preparation of photosensitive resin composition]

알칼리 가용성 수지 1을 45 질량% 포함하는 상기 용액 100 질량부, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트(일본화약사 제조, KAYARAD DPHA) 60 질량부, 광중합 개시제(LAMBSON사 제조, SPEEDCURE TPO) 1.6 질량부, 광중합 개시제(BASF 재팬 주식회사, Irgacure OXE01) 1.0 질량부, 및 계면활성제(BYK 제조, BYK-307) 0.2 질량부를 혼합하고, 조성물 중의 고형분이 50%인 감광성 수지 조성물을 조제하였다(실시예 1). 알칼리 가용성 수지 1을 45 질량% 포함하는 상기 용액 100 질량부 대신에, 알칼리 가용성 수지 2~10을 상기 각 질량% 포함하는 상기 각 용액 100 질량부를 이용한 것 외에는, 상기와 동일한 방법으로 조성물 중의 고형분이 50%인 감광성 수지 조성물을 조제하였다(실시예 2~7 및 비교예 1~3).100 parts by mass of the above solution containing 45 mass% of alkali-soluble resin 1, 60 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Chemical Co., Ltd., KAYARAD DPHA), 1.6 parts by mass of photopolymerization initiator (manufactured by LAMBSON, SPEEDCURE TPO), 1.0 parts by mass of a photopolymerization initiator (BASF Japan Co., Ltd., Irgacure OXE01) and 0.2 parts by mass of a surfactant (BYK-307, manufactured by BYK) were mixed to prepare a photosensitive resin composition having a solid content of 50% in the composition (Example 1). Instead of 100 parts by mass of the solution containing 45% by mass of alkali-soluble resin 1, 100 parts by mass of each solution containing 2 to 10 alkali-soluble resins by mass was used, in the same manner as above, so that the solid content in the composition was reduced. A 50% photosensitive resin composition was prepared (Examples 2 to 7 and Comparative Examples 1 to 3).

[현상성의 평가][Evaluation of developability]

10cmХ10cm 사방의 각 유리 기판상에, 스핀 코터를 이용하여 실시예 1~7 및 비교예 1~3에서 조제한 감광성 수지 조성물을 각각 도포하여 막 두께 30μm의 도막을 형성하고, 당해 도막을 90℃의 핫 플레이트상에서 2분간 가열하여 용제를 완전하게 제거하였다. 그 후, 얻어진 도막에 대해서, 0.3% Na2CO3 수용액을 이용하여 알칼리 현상을 실시하고, 도막이 용해 제거되는 시간을 최단 현상 시간으로 하여 현상성 평가를 실시하였다. 이 값이 작을 수록 현상성이 뛰어나다고 할 수 있다. 이하의 기준에 따라서 랭크를 분류하였다.The photosensitive resin compositions prepared in Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3 were respectively coated on each glass substrate of 10 cmХ10 cm square using a spin coater to form a coating film with a film thickness of 30 μm, and the coating film was heated at 90 ° C. The solvent was completely removed by heating on the plate for 2 minutes. Thereafter, the obtained coating film was subjected to alkali development using a 0.3% Na 2 CO 3 aqueous solution, and developability was evaluated by setting the time for the coating film to be dissolved and removed as the shortest developing time. It can be said that the developability is excellent, so that this value is small. Ranks were classified according to the following criteria.

A: 최단 현상 시간이 60초 이내A: The shortest development time is within 60 seconds

B: 최단 현상 시간이 60초 초과 80초 이내B: The shortest developing time exceeds 60 seconds and is within 80 seconds

C: 최단 현상 시간이 80초 초과 100초 이내C: The shortest developing time exceeds 80 seconds and is within 100 seconds

F: 최단 현상 시간이 100초 초과F: The shortest development time exceeds 100 seconds

[포토 스페이서의 제작][Production of photo spacer]

10cmХ10cm 사방의 각 유리 기판상에, 스핀 코터를 이용하여 실시예 1~7 및 비교예 1~3에서 조제한 각 감광성 수지 조성물을, 스핀 코터의 회전수를 조정하여 형성한 후의 포토 스페이서의 높이가 30μm가 되도록 도포하여 도막을 각각 형성하고, 각 도막을 100℃의 핫 플레이트상에서 2분간 가열하여 용제를 완전하게 제거하였다. 그 후, 얻어진 각 도막에 대해서, 1 cm2당 100개, 직경 4~30μm까지 1μm 마다 개구부를 가지는 포토 스페이서 형성용 마스크를 통해서, 초고압 수은등의 빛을 100 mJ/cm2 조사하였다(i선 환산으로 조도 21 mW/cm2). 또한, 마스크와 기판의 간격(노광 갭)은 100μm로 노광을 실시하였다. 그 후, 0.3% Na2CO3 수용액을 이용하여 알칼리 현상을 실시하였다. 현상 시간은 상술한 방법으로 측정한 최단 현상 시간의 1.5배로 하였다. 수세한 후, 230℃에서 30분간 포스트 베이크를 실시하여 포토 스페이서를 형성하였다.Each photosensitive resin composition prepared in Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3 was formed on each glass substrate of 10cmХ10cm square by adjusting the rotation speed of the spin coater using a spin coater, and the height of the photo spacer was 30 μm. , and each coating film was heated on a hot plate at 100° C. for 2 minutes to completely remove the solvent. Thereafter, each obtained coating film was irradiated with light from an ultra-high pressure mercury lamp at 100 mJ/cm 2 through a mask for forming a photo spacer having openings every 1 μm from 4 to 30 μm in diameter, 100 per 1 cm 2 (in terms of i-rays). with an illuminance of 21 mW/cm 2 ). In addition, the exposure was performed at an interval (exposure gap) between the mask and the substrate of 100 µm. Then, alkali development was performed using a 0.3% Na 2 CO 3 aqueous solution. The developing time was 1.5 times the shortest developing time measured by the method described above. After washing with water, post-baking was performed at 230°C for 30 minutes to form a photo spacer.

[현상 밀착성의 평가][Evaluation of development adhesion]

상술한 방법으로 형성한 포토 스페이서 중, 현상으로 제거되지 않고 형성되어 있는 최소 패턴의 선 폭을 현상 밀착성으로 하여 평가를 실시하였다. 이 값이 작을 수록 현상 밀착성이 뛰어나다고 할 수 있다. 이하의 기준에 따라서 랭크를 분류하였다.Among the photo-spacers formed by the above-described method, the line width of the minimum pattern formed without being removed by development was evaluated as developing adhesion. It can be said that the developing adhesiveness is excellent, so that this value is small. Ranks were classified according to the following criteria.

A: 최소 패턴이 15μm 미만A: The minimum pattern is less than 15 μm

B: 최소 패턴이 15μm 이상 20μm 미만B: The minimum pattern is 15 μm or more and less than 20 μm

C: 최소 패턴이 20μm 이상C: The minimum pattern is 20 μm or more

F: 현상 불가F: Unable to develop

[표 1][Table 1]

표 1의 결과로부터, 패턴의 높이가 30μm 정도인 후막 패턴 형성에서 약알칼리 현상액을 사용한 경우, 실시예 1~7의 감광성 수지 조성물은 비교예 1~3의 감광성 수지 조성물에 비해서 단시간에 현상되어 있고, 또한 현상 밀착성이 뛰어난 경화막을 형성할 수 있다는 것을 알 수 있다.From the results of Table 1, when a weak alkali developer was used in the formation of a thick film pattern having a pattern height of about 30 μm, the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 7 were developed in a shorter time than the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 1 to 3. , and it is found that a cured film having excellent developing adhesion can be formed.

본 발명의 알칼리 가용성 수지, 및 당해 알칼리 가용성 수지를 함유하는 감광성 수지 조성물은, 포토 스페이서, 격벽재, 렌즈재, 층간 절연막재, 보호막재, 광도파로재, 또는 평탄화막재의 원료로서 바람직하게 이용된다.The alkali-soluble resin of the present invention and the photosensitive resin composition containing the alkali-soluble resin are preferably used as raw materials for photo spacers, barrier rib materials, lens materials, interlayer insulating film materials, protective film materials, optical waveguide materials, or planarization film materials. .

Claims (14)

하기 일반식 (1)로 나타나는 반복 구조 단위 X를 1종 이상 포함하는 알칼리 가용성 수지:
[화학식 1]

(식 중, R1은 수소 또는 메틸기이고, R2는 탄소수가 1 이상의 연결기이며, R3은 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 하기 일반식 (2)로 나타나는 유기기이고, R4는 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기 또는 유기기이다.)
[화학식 2]

(식 중, R5는 모체의 탄소수가 3~8이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기이다.)
An alkali-soluble resin containing at least one repeating structural unit X represented by the following general formula (1):
[Formula 1]

(Wherein, R 1 is hydrogen or a methyl group, R 2 is a linking group having 1 or more carbon atoms, R 3 is an organic group represented by the following general formula (2) bonded to a carbon atom of the linking group, and R 4 is the linking group It is a hydroxy group or an organic group bonded to the carbon atom of
[Formula 2]

(In the formula, R 5 is an organic group having 3 to 8 carbon atoms and containing a hetero atom, or an organic group having 2 to 7 carbon atoms and a carboxy group.)
하기 일반식 (1')로 나타나는 반복 구조 단위 X'를 1종 이상 포함하는, 다만, 각각이 라디칼 중합성 치환기로 끝나는 2~3개의 말단을 가지는 분기한 측쇄를 갖춘 반복 구조 단위를 포함하지 않는, 알칼리 가용성 수지:
[화학식 3]

(식 중, R1은 수소 또는 메틸기이고, R2는 탄소수가 1 이상의 연결기이며, R3'은 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 하기 일반식 (2')로 나타나는 유기기이고, R4는 상기 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기 또는 유기기이다.)
[화학식 4]

(식 중, R5'는 모체의 탄소수가 2~7의 탄화수소기, 모체의 탄소수가 3~8이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기, 또는 모체의 탄소수가 2~7이면서 또한 카르복시기를 가지는 유기기이다.)
Containing at least one repeating structural unit X' represented by the following general formula (1'), provided that it does not contain a repeating structural unit having branched side chains having 2 to 3 terminals each ending with a radical polymerizable substituent. , Alkali-soluble resin:
[Formula 3]

(Wherein, R 1 is hydrogen or a methyl group, R 2 is a linking group having 1 or more carbon atoms, R 3' is an organic group represented by the following general formula (2') bonded to a carbon atom of the linking group, and R 4 is It is a hydroxy group or an organic group bonded to the carbon atom of the linking group.)
[Formula 4]

(Wherein, R 5' is a hydrocarbon group having 2 to 7 carbon atoms as a parent, an organic group having 3 to 8 carbon atoms and containing a hetero atom, or an organic group having 2 to 7 carbon atoms and having a carboxy group) device.)
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 R2의 연결기는 모체의 탄소수가 1~10의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~10이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기인, 알칼리 가용성 수지.
According to claim 1 or 2,
The linking group of R 2 is a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms as a parent, or an organic group having 1 to 10 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom, alkali-soluble resin.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 R4의 유기기는 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일옥시기, 아실옥시기, 아미드옥시기, 알콕시기, 아릴옥시기, 아미노기, 및 함질소 복소환으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 관능기를 포함하는 유기기인, 알칼리 가용성 수지.
According to any one of claims 1 to 3,
The organic group of R 4 is at least one functional group selected from the group consisting of an acryloyloxy group, a methacryloyloxy group, an acyloxy group, an amideoxy group, an alkoxy group, an aryloxy group, an amino group, and a nitrogen-containing heterocycle. Alkali-soluble resin which is an organic group containing.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 R2의 연결기는 모체의 탄소수가 1~7의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~7이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기이고,
상기 R4는 상기 R2의 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기, 아크릴로일옥시기, 또는 메타크릴로일옥시기인, 알칼리 가용성 수지.
According to claim 1 or 2,
The linking group of R 2 is a hydrocarbon group having 1 to 7 carbon atoms as a parent, or an organic group having 1 to 7 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom;
The R 4 is a hydroxy group, an acryloyloxy group, or a methacryloyloxy group bonded to a carbon atom of the linking group of the R 2 , alkali-soluble resin.
제1항에 있어서,
상기 R2의 연결기는 모체의 탄소수가 1~7의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~7이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기이고,
상기 R5는 하기 일반식 (3)으로 나타나는 유기기이며,
상기 R4는, 상기 R2의 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기, 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일옥시기, 또는 하기 일반식 (4)로 나타나는 유기기인, 알칼리 가용성 수지:
[화학식 5]

(식 중, R6 및 R7은 각각 독립적으로 모체의 탄소수가 1~6의 탄화수소기이고, R6 및 R7의 모체의 합계 탄소수가 3~8이다.)
[화학식 6]

(식 중, R8은 수소 또는 메틸기이고, R9는 모체의 탄소수가 1~5의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~5이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기이다.)
According to claim 1,
The linking group of R 2 is a hydrocarbon group having 1 to 7 carbon atoms as a parent, or an organic group having 1 to 7 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom;
Said R 5 is an organic group represented by the following general formula (3),
Alkali-soluble resin, wherein R 4 is a hydroxyl group bonded to a carbon atom of the linking group of R 2 , an acryloyloxy group, a methacryloyloxy group, or an organic group represented by the following general formula (4):
[Formula 5]

(In the formula, R 6 and R 7 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and the total carbon atoms of the parent of R 6 and R 7 are 3 to 8.)
[Formula 6]

(In the formula, R 8 is hydrogen or a methyl group, R 9 is a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms as a parent, or an organic group having 1 to 5 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom.)
제2항에 있어서,
상기 R2의 연결기는, 모체의 탄소수가 1~7의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~7이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기이고,
상기 R5'는, 하기 일반식 (3)으로 나타나는 유기기이며,
상기 R4는, 상기 R2의 연결기의 탄소 원자에 결합하는 히드록시기, 아크릴로일옥시기, 메타크릴로일옥시기, 또는 하기 일반식 (4)로 나타나는 유기기인, 알칼리 가용성 수지:
[화학식 7]

(식 중, R6 및 R7은 각각 독립적으로 모체의 탄소수가 1~6의 탄화수소기이고, R6 및 R7의 모체의 합계 탄소수가 3~8이다.)
[화학식 8]

(식 중, R8은 수소 또는 메틸기이고, R9는 모체의 탄소수가 1~5의 탄화수소기, 또는 모체의 탄소수가 1~5이면서 또한 헤테로 원자를 포함하는 유기기이다.)
According to claim 2,
The linking group of R 2 is a parent hydrocarbon group having 1 to 7 carbon atoms or an organic group having 1 to 7 carbon atoms and containing a hetero atom;
Said R5 ' is an organic group represented by the following general formula (3),
Alkali-soluble resin, wherein R 4 is a hydroxyl group bonded to a carbon atom of the linking group of R 2 , an acryloyloxy group, a methacryloyloxy group, or an organic group represented by the following general formula (4):
[Formula 7]

(In the formula, R 6 and R 7 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and the total carbon atoms of the parent of R 6 and R 7 are 3 to 8.)
[Formula 8]

(In the formula, R 8 is hydrogen or a methyl group, R 9 is a hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms as a parent, or an organic group having 1 to 5 carbon atoms as a parent and containing a hetero atom.)
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 반복 구조 단위 X 또는 X'의 함유량은, 전체 반복 구조 단위 중에 5~50 mol%인, 알칼리 가용성 수지.
According to any one of claims 1 to 7,
The content of the repeating structural unit X or X' is 5 to 50 mol% of the total repeating structural unit, alkali-soluble resin.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 알칼리 가용성 수지는, 산가가 20~120 mgKOH/g인, 알칼리 가용성 수지.
According to any one of claims 1 to 8,
The alkali-soluble resin has an acid value of 20 to 120 mgKOH/g, an alkali-soluble resin.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 알칼리 가용성 수지는, 중량 평균 분자량이 5000~40000인, 알칼리 가용성 수지.
According to any one of claims 1 to 9,
The alkali-soluble resin has a weight average molecular weight of 5000 to 40000, alkali-soluble resin.
적어도 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 기재된 알칼리 가용성 수지, 중합성 모노머, 및 광중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물.A photosensitive resin composition containing at least the alkali-soluble resin according to any one of claims 1 to 10, a polymerizable monomer, and a photopolymerization initiator. 제11항에 기재된 감광성 수지 조성물로부터 얻어지는 경화물.A cured product obtained from the photosensitive resin composition according to claim 11. 제12항에 있어서,
상기 경화물은, 포토 스페이서, 격벽재, 렌즈재, 층간 절연막재, 보호막재, 광도파로재, 또는 평탄화막재인 경화물.
According to claim 12,
The cured product is a photo spacer, a partition material, a lens material, an interlayer insulating film material, a protective film material, an optical waveguide material, or a flattening film material.
제12항 또는 제13항에 기재된 경화물을 포함하는 화상표시장치.An image display device comprising the cured product according to claim 12 or 13.
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