KR20230127065A - Photosensitive resin composition, photosensitive resin layer using the same and color filter - Google Patents

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Abstract

본 기재는 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 감광성 수지막 및 컬러 필터에 관한 것이다.
구체적으로, 일 구현예는 (A) 광중합성 화합물; (B) 광중합 개시제; (C) 착색제; 및 (D) 용매를 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 4관능성 화합물 및 6관능성 화합물을 포함하고, 상기 4관능성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물인 감광성 수지 조성물을 제공한다:
[화학식 1]

Figure pat00058

(상기 각 치환기는 명세서의 정의에 따른다.)The present disclosure relates to a photosensitive resin composition, a photosensitive resin film and a color filter prepared using the photosensitive resin composition.
Specifically, one embodiment is (A) a photopolymerizable compound; (B) a photopolymerization initiator; (C) a colorant; and (D) a solvent, wherein the photopolymerizable compound includes a tetrafunctional compound and a hexafunctional compound, wherein the tetrafunctional compound is a compound represented by Formula 1 below:
[Formula 1]
Figure pat00058

(Each substituent follows the definition of the specification.)

Description

감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 감광성 수지막 및 컬러 필터{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE RESIN LAYER USING THE SAME AND COLOR FILTER}Photosensitive resin composition, photosensitive resin film and color filter manufactured using the same

본 기재는 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 감광성 수지막 및 컬러 필터에 관한 것이다.The present disclosure relates to a photosensitive resin composition, a photosensitive resin film and a color filter prepared using the photosensitive resin composition.

이미지센서는 광자를 전자로 전환하여 디스플레이로 표시하거나 저장장치에 저장할 수 있게 하는 반도체에 해당된다.An image sensor corresponds to a semiconductor that converts photons into electrons to be displayed on a display or stored in a storage device.

상기 이미지 센서는, 제작 공정과 응용 방식에 따라, 고체 촬상 소자(charge coupled device, CCD) 이미지 센서와 상보성 금속 산화물 반도체(complementary metal oxide semiconductor, CMOS) 이미지 센서로 분류된다.The image sensor is classified into a charge coupled device (CCD) image sensor and a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) image sensor according to a manufacturing process and an application method.

상기 상보성 금속 산화물 반도체 이미지 센서(CMOS Image Sensor, CIS)란, 카메라가 받아들인 이미지를 디지털 신호로 전환해 주는 비메모리 반도체로서, 컬러 필터, 포토 다이오드, 증폭기 등 픽셀(pixel)의 집합체이다. The complementary metal oxide semiconductor image sensor (CMOS Image Sensor, CIS) is a non-memory semiconductor that converts an image received by a camera into a digital signal, and is a collection of pixels such as color filters, photodiodes, and amplifiers.

상기 컬러 필터는 적색(red), 녹색(green), 청색(blue)의 덧셈 혼합 원색의 필터 세그먼트(filter segment)를 포함하며, 이를 제조하는 방법 중의 하나로 안료 분산법이 알려져 있다.The color filter includes a filter segment of additive and mixed primary colors of red, green, and blue, and a pigment dispersion method is known as one of the methods for manufacturing the filter segment.

상기 안료 분산법은, 착색제를 함유하는 감광성 수지 조성물을 기판 상에 코팅하고, 형성하고자 하는 형태의 패턴을 노광한 뒤 현상하고, 포스트 베이크(post bake)를 통해 열경화시킴으로써 감광성 수지막을 형성하고, 이러한 일련의 과정을 반복함으로써 컬러 필터를 제조하는 방법이다.The pigment dispersion method is to form a photosensitive resin film by coating a photosensitive resin composition containing a colorant on a substrate, exposing and developing a pattern of a form to be formed, and thermally curing through a post bake, This is a method of manufacturing a color filter by repeating a series of processes.

이처럼 컬러 필터를 제조하는 과정에서, 열경화 시의 잔막율 감소가 최소화되고, 현상 시의 패턴 잔사가 적게 형성될 것이 요구된다. 다만, 이 두 가지 요건을 모두 갖추기란 매우 어렵다.In this way, in the process of manufacturing the color filter, it is required that the reduction in the residual film rate during thermal curing is minimized and that pattern residues are formed in a small amount during development. However, it is very difficult to satisfy both of these requirements.

일 구현예는 컬러 필터 제조과정에서 잔막율 감소를 억제하면서도 패턴 잔사를 최소화할 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공하기 위한 것이다.One embodiment is to provide a photosensitive resin composition capable of minimizing pattern residue while suppressing a decrease in remaining film rate during the manufacturing process of a color filter.

다른 일 구현예는 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 감광성 수지막을 제공하기 위한 것이다.Another embodiment is to provide a photosensitive resin film prepared using the photosensitive resin composition.

또 다른 일 구현예는 상기 감광성 수지막을 이용하여 제조된 컬러 필터를 제공하기 위한 것이다.Another embodiment is to provide a color filter manufactured using the photosensitive resin film.

일 구현예는 (A) 광중합성 화합물; (B) 광중합 개시제; (C) 착색제; 및 (D) 용매를 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 4관능성 화합물 및 6관능성 화합물을 포함하고, 상기 4관능성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물인 감광성 수지 조성물을 제공한다:One embodiment is (A) a photopolymerizable compound; (B) a photopolymerization initiator; (C) a colorant; and (D) a solvent, wherein the photopolymerizable compound includes a tetrafunctional compound and a hexafunctional compound, wherein the tetrafunctional compound is a compound represented by Formula 1 below:

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 화학식 1에서, X1은 O 또는 S이고; L1 및 L2는 각각 독립적으로, 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌이고; R1 내지 R4는 각각 독립적으로, 하기 화학식 2로 표시되고;In Formula 1, X 1 is O or S; L 1 and L 2 are each independently a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms; R 1 to R 4 are each independently represented by Formula 2 below;

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00002
Figure pat00002

상기 화학식 2에서, L3 및 L4는 각각 독립적으로, 단일결합, 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌 또는 *-O(CH2)2-*이고; R5는 수소 원자 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C10 알킬기이다.In Formula 2, L 3 and L 4 are each independently a single bond, a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms, or *-O(CH 2 ) 2 -*; R 5 is a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted C1 to C10 alkyl group.

상기 R1 내지 R4은 각각 독립적으로, 하기 화학식 2-1 내지 2-4 중 어느 하나로 표시되는 치환기일 수 있다:R 1 to R 4 may each independently be a substituent represented by any one of Formulas 2-1 to 2-4 below:

[화학식 2-1][Formula 2-1]

Figure pat00003
Figure pat00003

[화학식 2-2][Formula 2-2]

Figure pat00004
Figure pat00004

[화학식 2-3][Formula 2-3]

Figure pat00005
Figure pat00005

[화학식 2-4][Formula 2-4]

Figure pat00006
.
Figure pat00006
.

상기 R1 및 R3은 상기 화학식 2-1 또는 2-2로 표시되는 치환기일 수 있다.R 1 and R 3 may be substituents represented by Formula 2-1 or 2-2.

상기 R2 및 R4는 상기 화학식 2-3 또는 2-4로 표시되는 치환기일 수 있다.R 2 and R 4 may be substituents represented by Formula 2-3 or 2-4.

상기 4관능성 화합물은 4관능성 화합물은 하기로 구성되는 군 중에서 선택되는 어느 하나일 수 있다:The tetrafunctional compound may be any one selected from the group consisting of:

[화학식 1-1][Formula 1-1]

Figure pat00007
Figure pat00007

[화학식 1-2][Formula 1-2]

Figure pat00008
Figure pat00008

[화학식 1-3][Formula 1-3]

Figure pat00009
Figure pat00009

[화학식 1-4][Formula 1-4]

Figure pat00010
.
Figure pat00010
.

상기 6관능성 화합물은 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물일 수 있다:The hexafunctional compound may be a compound represented by Formula 3 below:

[화학식 3][Formula 3]

Figure pat00011
Figure pat00011

상기 화학식 3에서, X2는 O 또는 S이고; L5 및 L6은 각각 독립적으로, 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌이고; R7 내지 R11은 각각 독립적으로, 하기 화학식 4로 표시되고;In Formula 3, X 2 is O or S; L 5 and L 6 are each independently a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms; R 7 to R 11 are each independently represented by Formula 4 below;

[화학식 4] [Formula 4]

Figure pat00012
Figure pat00012

상기 화학식 4에서, L7은 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌이고; R12는 수소 원자 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C10 알킬기이다.In Formula 4, L 7 is a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms; R 12 is a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted C1 to C10 alkyl group.

상기 R6 내지 R10은 각각 독립적으로, 하기 화학식 4-1 또는 4-2로 표시되는 치환기일 수 있다:R 6 to R 10 may each independently be a substituent represented by Formula 4-1 or 4-2 below:

[화학식 4-1][Formula 4-1]

Figure pat00013
Figure pat00013

[화학식 4-2][Formula 4-2]

Figure pat00014
.
Figure pat00014
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상기 6관능성 화합물은 하기로 구성되는 군 중에서 선택되는 어느 하나일 수 있다:The hexafunctional compound may be any one selected from the group consisting of:

[화학식 3-1][Formula 3-1]

Figure pat00015
Figure pat00015

[화학식 3-2][Formula 3-2]

Figure pat00016
Figure pat00016

[화학식 3-3][Formula 3-3]

Figure pat00017
Figure pat00017

[화학식 3-4][Formula 3-4]

Figure pat00018
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상기 4관능성 화합물 및 상기 6관능성 화합물의 중량비는 5:5 내지 3:7일 수 있다.The weight ratio of the tetrafunctional compound and the hexafunctional compound may be 5:5 to 3:7.

상기 감광성 수지 조성물 총량 중 상기 4관능성 화합물의 함량은 0.1 중량% 내지 2 중량%일 수 있다.The content of the tetrafunctional compound in the total amount of the photosensitive resin composition may be 0.1% by weight to 2% by weight.

상기 감광성 수지 조성물 총량 중 상기 6관능성 화합물의 함량은 0.5 중량% 내지 4 중량%일 수 있다.The content of the hexafunctional compound in the total amount of the photosensitive resin composition may be 0.5% by weight to 4% by weight.

상기 착색제는 안료를 포함할 수 있다.The colorant may include a pigment.

상기 안료는 황색 안료, 녹색 안료, 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.The pigment may include a yellow pigment, a green pigment, or a combination thereof.

상기 감광성 수지 조성물은, 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대해, 상기 (A) 광중합성 화합물 0.1 중량% 내지 5 중량%; 상기 (B) 광중합 개시제 0.1 중량% 내지 5 중량%; 상기 (C) 착색제 15 중량% 내지 95 중량%; 및 상기 (D) 용매 잔부량을 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition, based on the total amount of the photosensitive resin composition, the (A) photopolymerizable compound 0.1% to 5% by weight; 0.1% to 5% by weight of the (B) photopolymerization initiator; 15% to 95% by weight of the (C) colorant; and (D) the remaining amount of the solvent.

상기 감광성 수지 조성물은 CMOS 이미지 센서용일 수 있다.The photosensitive resin composition may be used for a CMOS image sensor.

다른 일 구현예는 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 감광성 수지막을 제공한다.Another embodiment provides a photosensitive resin film prepared using a photosensitive resin composition.

또 다른 일 구현예는 상기 감광성 수지막을 포함하는 컬러 필터를 제공한다.Another embodiment provides a color filter including the photosensitive resin film.

또 다른 일 구현예는 상기 컬러 필터를 포함하는 CMOS 이미지 센서를 제공한다.Another embodiment provides a CMOS image sensor including the color filter.

기타 본 발명의 측면들의 구체적인 사항은 이하의 상세한 설명에 포함되어 있다.The specific details of other aspects of the present invention are included in the detailed description below.

일 구현예에 따른 감광성 수지 조성물은 상기 6관능성 화합물에 더해 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 포함함에 따라, 컬러 필터 제조 시 잔막률 감소를 억제함과 동시에 패턴 잔사를 최소화할 수 있다.As the photosensitive resin composition according to an embodiment includes the tetrafunctional compound represented by Chemical Formula 1 in addition to the hexafunctional compound, it is possible to suppress a decrease in film remaining rate and minimize pattern residue when manufacturing a color filter. .

도 1은, 실시예 1의 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조한 컬러 필터 패턴 시편의 0.8 ㎛ pattern CD-SEM 사진이다.
도 2는, 실시예 2의 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조한 컬러 필터 패턴 시편의 0.8 ㎛ pattern CD-SEM 사진이다.
도 3은, 비교예 1의 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조한 컬러 필터 패턴 시편의 0.8 ㎛ pattern CD-SEM 사진이다.
도 4는, 비교예 2의 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조한 컬러 필터 패턴 시편의 0.8 ㎛ pattern CD-SEM 사진이다.
1 is a 0.8 μm pattern CD-SEM photograph of a color filter pattern specimen prepared using the photosensitive resin composition of Example 1.
2 is a 0.8 μm pattern CD-SEM photograph of a color filter pattern specimen prepared using the photosensitive resin composition of Example 2.
3 is a 0.8 μm pattern CD-SEM photograph of a color filter pattern specimen prepared using the photosensitive resin composition of Comparative Example 1.
4 is a 0.8 μm pattern CD-SEM photograph of a color filter pattern specimen prepared using the photosensitive resin composition of Comparative Example 2.

이하, 본 발명의 구현 예를 상세히 설명하기로 한다.  다만, 이는 예시로서 제시되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 제한되지는 않으며 본 발명은 후술할 청구범위의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. However, this is presented as an example, and the present invention is not limited thereby, and the present invention is only defined by the scope of the claims to be described later.

본 명세서에서 특별한 언급이 없는 한, "치환"이란 화합물 중의 적어도 하나의 수소 원자가 할로겐 원자(F, Cl, Br, I), 히드록시기, C1 내지 C20 알콕시기, 니트로기, 시아노기, 아민기, 이미노기, 아지도기, 아미디노기, 히드라지노기, 히드라조노기, 카르보닐기, 카르바밀기, 티올기, 에스테르기, 에테르기, 카르복실기 또는 그것의 염, 술폰산기 또는 그것의 염, 인산이나 그것의 염, C1 내지 C20 알킬기, C2 내지 C20 알케닐기, C2 내지 C20 알키닐기, C6 내지 C30 아릴기, C3 내지 C20 사이클로알킬기, C3 내지 C20 사이클로알케닐기, C3 내지 C20 사이클로알키닐기, C2 내지 C20 헤테로사이클로알킬기, C2 내지 C20 헤테로사이클로알케닐기, C2 내지 C20 헤테로사이클로알키닐기 또는 이들의 조합의 치환기로 치환된 것을 의미한다.Unless otherwise specified herein, "substitution" means that at least one hydrogen atom in a compound is a halogen atom (F, Cl, Br, I), a hydroxy group, a C1 to C20 alkoxy group, a nitro group, a cyano group, an amine group, No group, azido group, amidino group, hydrazino group, hydrazono group, carbonyl group, carbamyl group, thiol group, ester group, ether group, carboxyl group or its salt, sulfonic acid group or its salt, phosphoric acid or its salt. , C1 to C20 alkyl group, C2 to C20 alkenyl group, C2 to C20 alkynyl group, C6 to C30 aryl group, C3 to C20 cycloalkyl group, C3 to C20 cycloalkenyl group, C3 to C20 cycloalkynyl group, C2 to C20 heterocycloalkyl group , A C2 to C20 heterocycloalkenyl group, a C2 to C20 heterocycloalkynyl group, or a substituent of a combination thereof.

본 명세서에서 특별한 언급이 없는 한, "헤테로사이클로알킬기", "헤테로사이클로알케닐기", "헤테로사이클로알키닐기" 및 "헤테로사이클로알킬렌기"란 각각 사이클로알킬, 사이클로알케닐, 사이클로알키닐 및 사이클로알킬렌의 고리 화합물 내에 적어도 하나의 N, O, S 또는 P의 헤테로 원자가 존재하는 것을 의미한다.Unless otherwise specified herein, "heterocycloalkyl group", "heterocycloalkenyl group", "heterocycloalkynyl group" and "heterocycloalkylene group" mean cycloalkyl, cycloalkenyl, cycloalkynyl and cycloalkyl, respectively. It means that at least one N, O, S or P heteroatom exists in the ring compound of ene.

본 명세서에서 특별한 언급이 없는 한, "(메타)아크릴레이트"는 "아크릴레이트"와 "메타크릴레이트" 둘 다 가능함을 의미한다.Unless otherwise specified herein, "(meth)acrylate" means both "acrylate" and "methacrylate".

본 명세서 내 화학식에서 별도의 정의가 없는 한, 화학 결합이 그려져야 하는 위치에 화학결합이 그려져 있지 않은 경우는 상기 위치에 수소 원자가 결합되어 있음을 의미한다.Unless otherwise defined in the chemical formula within this specification, if a chemical bond is not drawn at a position where a chemical bond is to be drawn, it means that a hydrogen atom is bonded to the position.

(감광성 수지 조성물)(Photosensitive Resin Composition)

일 구현예는 (A) 광중합성 화합물; (B) 광중합 개시제; (C) 착색제; 및 (D) 용매를 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 4관능성 화합물 및 6관능성 화합물을 포함하고, 상기 4관능성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물인 감광성 수지 조성물을 제공한다:One embodiment is (A) a photopolymerizable compound; (B) a photopolymerization initiator; (C) a colorant; and (D) a solvent, wherein the photopolymerizable compound includes a tetrafunctional compound and a hexafunctional compound, wherein the tetrafunctional compound is a compound represented by Formula 1 below:

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00019
Figure pat00019

상기 화학식 1에서, X1은 O 또는 S이고; L1 및 L2는 각각 독립적으로, 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌이고; R1 내지 R4는 각각 독립적으로, 하기 화학식 2로 표시되고;In Formula 1, X 1 is O or S; L 1 and L 2 are each independently a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms; R 1 to R 4 are each independently represented by Formula 2 below;

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00020
Figure pat00020

상기 화학식 2에서, L3 및 L4는 각각 독립적으로, 단일결합, 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌 또는 *-O(CH2)2-*이다.In Formula 2, L 3 and L 4 are each independently a single bond, substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms, or *-O(CH 2 ) 2 -*.

상기 6관능성 화합물은 관능기의 수가 많은 만큼 경화도가 높은 화합물로서, 포스트 베이크 공정에서 우수한 수준으로 열경화되어, 컬러 필터의 잔막률 감소를 억제하는 데 기여한다. 다만, 상기 6관능성 화합물은 경화도가 높은 관계로, 현상 공정에서 감광성 수지막의 수축 정도를 높여, 현상 공정에서 제거되어야 할 감광성 수지막은 정작 제거되지 못하게 하고, 컬러 필터의 패턴 잔사를 증가시키는 문제가 있다. The hexafunctional compound is a compound having a high degree of curing as the number of functional groups is large, and is thermally cured to an excellent level in a post-bake process, thereby contributing to suppressing a decrease in film remaining rate of the color filter. However, since the hexafunctional compound has a high degree of curing, it increases the degree of shrinkage of the photosensitive resin film in the developing process, preventing the photosensitive resin film from being removed in the developing process and increasing the pattern residue of the color filter. there is.

그에 반면, 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물은, 관능기의 수가 상기 6관능성 화합물에 대비하여 낮은 만큼 경화도가 낮아, 잔막률 감소에는 일부 불리하지만, 현상 공정에서 감광성 수지막의 수축 정도를 낮출 수 있다. 특히, 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물은 중심 원소로서 O 또는 S를 포함함에 따라, 상기 화학식 1에서 중심 원소가 C로 치환된 4관능성 화합물에 대비하여 현상 공정에서의 제거 효과가 뛰어나고, 컬러 필터의 패턴 잔사를 현저하게 감소시키는 데 유리하다.On the other hand, the tetrafunctional compound represented by Formula 1 has a lower degree of curing as the number of functional groups is lower than that of the hexafunctional compound, which is partially disadvantageous in reducing the remaining film rate, but lowers the degree of shrinkage of the photosensitive resin film in the developing process. can In particular, as the tetrafunctional compound represented by Formula 1 includes O or S as a central element, the removal effect in the development process is excellent compared to the tetrafunctional compound in which the central element is substituted with C in Formula 1, , which is advantageous for significantly reducing the pattern residue of the color filter.

따라서, 상기 일 구현예에 따른 감광성 수지 조성물은 상기 6관능성 화합물에 더해 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 포함함에 따라, 상기 두 화합물의 단점은 보완하고 장점을 취하여, 컬러 필터 제조 시 잔막률 감소를 억제함과 동시에 패턴 잔사를 최소화할 수 있다.Therefore, as the photosensitive resin composition according to the embodiment includes the tetrafunctional compound represented by Chemical Formula 1 in addition to the hexafunctional compound, the disadvantages of the two compounds are supplemented and the advantages are taken, so that the color filter is manufactured. It is possible to suppress a decrease in remaining film rate and at the same time minimize pattern residue.

이하, 상기 감광성 수지 조성물에 포함된 각 성분을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, each component included in the photosensitive resin composition will be described in detail.

(A) 광중합성 화합물(A) photopolymerizable compound

앞서 언급한 바와 같이, 상기 일 구현예에 따른 감광성 수지 조성물은 상기 6관능성 화합물에 더해 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 포함한다.As mentioned above, the photosensitive resin composition according to the embodiment includes a tetrafunctional compound represented by Chemical Formula 1 in addition to the hexafunctional compound.

우선, 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 설명한다.First, the tetrafunctional compound represented by Formula 1 will be described.

상기 화학식 1에서, X1은 O 또는 S이다. 즉, 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물은, 중심 원소로서 O 또는 S를 포함할 수 있다.In Formula 1, X 1 is O or S. That is, the tetrafunctional compound represented by Chemical Formula 1 may include O or S as a central element.

상기 L1 및 L2는 각각 독립적으로, L1 및 L2는 각각 독립적으로, 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌이다. 구체적으로, 상기 L1 및 L2는 각각 독립적으로, 탄소수 1 내지 5의 치환 또는 비치환된 알킬렌일 수 있다. 예컨대, 상기 L1 및 L2는 모두 탄소수 1의 알킬렌(즉, 메틸렌)일 수 있다.L 1 and L 2 are each independently, and L 1 and L 2 are each independently a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms. Specifically, L 1 and L 2 may each independently be a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 5 carbon atoms. For example, both L 1 and L 2 may be alkylene having 1 carbon atom (ie, methylene).

상기 R1 내지 R4는 각각 독립적으로, 상기 화학식 2로 표시되는 아크릴레이트계 치환기이다. 즉, 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물은, 상기 화학식 2로 표시되는 아크릴레이트계 치환기를 4개 포함하여, 우수한 내열성을 발현할 수 있다.R 1 to R 4 are each independently an acrylate-based substituent represented by Formula 2 above. That is, the tetrafunctional compound represented by Chemical Formula 1 includes four acrylate-based substituents represented by Chemical Formula 2, and thus can exhibit excellent heat resistance.

상기 화학식 2에서, 상기 L3 및 L4는 각각 독립적으로, 단일결합, 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌 또는 *-O(CH2)2-*이다. 구체적으로, 상기 L3 및 L4는 각각 독립적으로, 단일결합, 탄소수 1 내지 5의 치환 또는 비치환된 알킬렌 또는 *-O(CH2)2-*일 수 있다. 예컨대, 상기 L3 및 L4는 각각 독립적으로, 단일결합, 탄소수 1의 알킬렌(즉, 메틸렌) 또는 *-O(CH2)2-*일 수 있다.In Formula 2, L 3 and L 4 are each independently a single bond, substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms, or *-O(CH 2 ) 2 -*. Specifically, L 3 and L 4 may each independently be a single bond, a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 5 carbon atoms, or *-O(CH 2 ) 2 -*. For example, L 3 and L 4 may each independently represent a single bond, an alkylene having 1 carbon atom (ie, methylene), or *-O(CH 2 ) 2 -*.

또한, 상기 R5는 수소 원자 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C10 알킬기이다. 구체적으로, 상기 R5는 수소 원자 또는 탄소수 1의 알킬기(즉, 메틸기)일 수 있다.In addition, R 5 is a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted C1 to C10 alkyl group. Specifically, R 5 may be a hydrogen atom or an alkyl group having 1 carbon atom (ie, a methyl group).

보다 구체적으로, 상기 R1 내지 R4은 각각 독립적으로, 하기 화학식 2-1 내지 2-4 중 어느 하나로 표시되는 치환기일 수 있다:More specifically, R 1 to R 4 may each independently be a substituent represented by any one of Formulas 2-1 to 2-4 below:

[화학식 2-1][Formula 2-1]

Figure pat00021
Figure pat00021

[화학식 2-2][Formula 2-2]

Figure pat00022
Figure pat00022

[화학식 2-3][Formula 2-3]

Figure pat00023
Figure pat00023

[화학식 2-4][Formula 2-4]

Figure pat00024
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Figure pat00024
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예컨대, 상기 R1 및 R3은 상기 화학식 2-1 또는 2-2로 표시되는 치환기일 수 있다. 또한, 상기 R2 및 R4는 상기 화학식 2-3 또는 2-4로 표시되는 치환기일 수 있다.For example, R 1 and R 3 may be substituents represented by Formula 2-1 or 2-2. In addition, R 2 and R 4 may be substituents represented by Formula 2-3 or 2-4.

상기 4관능성 화합물의 대표적인 예는 하기와 같다:Representative examples of the above tetrafunctional compounds are as follows:

[화학식 1-1][Formula 1-1]

Figure pat00025
Figure pat00025

[화학식 1-2][Formula 1-2]

Figure pat00026
Figure pat00026

[화학식 1-3][Formula 1-3]

Figure pat00027
Figure pat00027

[화학식 1-4][Formula 1-4]

Figure pat00028
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Figure pat00028
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다음으로, 상기 6관능성 화합물을 설명한다.Next, the hexafunctional compound is described.

상기 6관능성 화합물은 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물일 수 있다:The hexafunctional compound may be a compound represented by Formula 3 below:

[화학식 3][Formula 3]

Figure pat00029
Figure pat00029

상기 화학식 3에서, X2는 O 또는 S이다. 즉, 상기 화학식 2로 표시되는 6관능성 화합물은, 중심 원소로서 O 또는 S를 포함할 수 있다.In Formula 3, X 2 is O or S. That is, the hexafunctional compound represented by Chemical Formula 2 may include O or S as a central element.

상기 L5 및 L6은 각각 독립적으로, 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌이다. 구체적으로, 상기 L5 및 L6은 각각 독립적으로, 단일결합 또는 탄소수 1 내지 5의 치환 또는 비치환된 알킬렌일 수 있다. 예컨대, 상기 L5 및 L6은 모두 탄소수 1의 알킬렌(즉, 메틸렌)일 수 있다.L 5 and L 6 are each independently a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms. Specifically, L 5 and L 6 may each independently be a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 5 carbon atoms. For example, both L 5 and L 6 may be alkylene having 1 carbon atom (ie, methylene).

상기 R7 내지 R11은 각각 독립적으로, 하기 화학식 4로 표시된다:The R 7 to R 11 are each independently represented by Formula 4 below:

[화학식 4] [Formula 4]

Figure pat00030
Figure pat00030

상기 화학식 4에서, L7은 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌이고; R12는 수소 원자 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C10 알킬기이다.In Formula 4, L 7 is a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms; R 12 is a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted C1 to C10 alkyl group.

구체적으로, 상기 L7은 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌일 수 있다. 예컨대, 상기 L7은 탄소수 1의 알킬렌(즉, 메틸렌)일 수 있다.Specifically, L 7 may be a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms. For example, L 7 may be an alkylene having 1 carbon atom (ie, methylene).

또한, 상기 R12는 수소 원자 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C5 알킬기일 수 있다. 예컨대, 상기 R12는 수소 원자 또는 탄소수 1의 알킬기(즉, 메틸기)일 수 있다.In addition, R 12 may be a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted C1 to C5 alkyl group. For example, R 12 may be a hydrogen atom or an alkyl group having 1 carbon atom (ie, a methyl group).

보다 구체적으로, 상기 R7 내지 R11은 각각 독립적으로, 하기 화학식 4-1 또는 4-2로 표시되는 치환기일 수 있다:More specifically, R 7 to R 11 may each independently be a substituent represented by Formula 4-1 or 4-2 below:

[화학식 4-1][Formula 4-1]

Figure pat00031
Figure pat00031

[화학식 4-2][Formula 4-2]

Figure pat00032
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Figure pat00032
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상기 6관능성 화합물의 대표적인 예는 하기와 같다:Representative examples of the hexafunctional compounds are as follows:

[화학식 3-1][Formula 3-1]

Figure pat00033
Figure pat00033

[화학식 3-2][Formula 3-2]

Figure pat00034
Figure pat00034

[화학식 3-3][Formula 3-3]

Figure pat00035
Figure pat00035

[화학식 3-4][Formula 3-4]

Figure pat00036
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상기 4관능성 화합물 및 상기 6관능성 화합물의 중량비는 6:4 내지 2:8, 구체적으로 5:5 내지 3:7일 수 있다. 이 범위에서, 상기 두 화합물을 동시에 사용함에 따른 상승 효과를 극대화할 수 있다.The weight ratio of the tetrafunctional compound and the hexafunctional compound may be 6:4 to 2:8, specifically 5:5 to 3:7. Within this range, the synergistic effect of simultaneously using the two compounds can be maximized.

상기 중량비를 만족하도록 하면서, 상기 감광성 수지 조성물 총량 중 상기 각 화합물의 함량을 제어할 수 있다.The content of each compound in the total amount of the photosensitive resin composition may be controlled while satisfying the weight ratio.

상기 감광성 수지 조성물 총량 중, 상기 4관능성 화합물의 함량은 0.1 중량%내지 2 중량%, 구체적으로 0.5 중량%내지 1.5 중량%로 할 수 있고; 상기 6관능성 화합물의 함량은 0.5 중량% 내지 4 중량%, 구체적으로 1 중량% 내지 2 중량%로 할 수 있따.Of the total amount of the photosensitive resin composition, the content of the tetrafunctional compound may be 0.1% to 2% by weight, specifically 0.5% to 1.5% by weight; The content of the hexafunctional compound may be 0.5 wt% to 4 wt%, specifically 1 wt% to 2 wt%.

상기 광중합성 화합물로는, 상기 두 가지 화합물 외에도, 적어도 1개의 에틸렌성 불포화 이중결합을 가지는 (메타)아크릴산의 일관능 또는 다관능 에스테르가 추가로 사용될 수 있다.As the photopolymerizable compound, in addition to the above two compounds, a monofunctional or multifunctional ester of (meth)acrylic acid having at least one ethylenically unsaturated double bond may be additionally used.

상기 추가되는 광중합성 화합물은 상기 에틸렌성 불포화 이중결합을 가짐으로써, 패턴 형성 공정에서 노광 시 충분한 중합을 일으킴으로써 내열성, 내광성 및 내화학성이 우수한 패턴을 형성할 수 있다.The added photopolymerizable compound has the ethylenically unsaturated double bond, so that it can form a pattern having excellent heat resistance, light resistance and chemical resistance by causing sufficient polymerization during exposure in the pattern forming process.

상기 추가되는 광중합성 화합물의 구체적인 예로는, 에틸렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 프로필렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올 디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디(메타)아크릴레이트, 비스페놀A 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 비스페놀A 에폭시(메타)아크릴레이트, 에틸렌 글리콜 모노메틸에테르 (메타)아크릴레이트, 트리메틸올 프로판 트리(메타)아크릴레이트, 트리스(메타)아크릴로일옥시에틸 포스페이트, 노볼락에폭시 (메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. Specific examples of the added photopolymerizable compound include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, neo Pentyl glycol di(meth)acrylate, 1,4-butanediol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, bisphenol A di(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate Acrylates, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, pentaerythritol hexa(meth)acrylate, dipentaerythritol di(meth)acrylate, dipentaerythritol tri( meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, bisphenol A epoxy(meth)acrylate, ethylene glycol monomethyl ether (meth)acrylate, trimethylol propane Tri(meth)acrylate, tris(meth)acryloyloxyethyl phosphate, novolac epoxy (meth)acrylate, etc. are mentioned.

상기 추가되는 광중합성 화합물의 시판되는 제품을 예로 들면 다음과 같다. 상기 (메타)아크릴산의 일관능 에스테르의 예로는, 도아 고세이 가가꾸 고교(주)社의 아로닉스 M-101®, 동 M-111®, 동 M-114® 등; 니혼 가야꾸(주)社의 KAYARAD TC-110S®, 동 TC-120S® 등; 오사카 유끼 가가꾸 고교(주)社의 V-158®, V-2311® 등을 들 수 있다. 상기 (메타)아크릴산의 이관능 에스테르의 예로는, 도아 고세이 가가꾸 고교(주)社의 아로닉스 M-210®, 동 M-240®, 동 M-6200® 등; 니혼 가야꾸(주)社의 KAYARAD HDDA®, 동 HX-220®, 동 R-604® 등; 오사카 유끼 가가꾸 고교(주)社의 V-260®, V-312®, V-335 HP® 등을 들 수 있다. 상기 (메타)아크릴산의 삼관능 에스테르의 예로는, 도아 고세이 가가꾸 고교(주)社의 아로닉스 M-309®, 동 M-400®, 동 M-405®, 동 M-450®, 동 M-710®, 동 M-8030®, 동 M-8060® 등; 니혼 가야꾸(주)社의 KAYARAD TMPTA®, 동 DPCA-20®, 동-30®, 동-60®, 동-120® 등; 오사카 유끼 가야꾸 고교(주)社의 V-295®, 동-300®, 동-360®, 동-GPT®, 동-3PA®, 동-400® 등을 들 수 있다. 상기 제품을 단독 사용 또는 2종 이상 함께 사용할 수 있다.Examples of commercially available products of the added photopolymerizable compound are as follows. Examples of monofunctional esters of (meth)acrylic acid include Aronix M- 101® , M- 111® , and M- 114® from Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.; KAYARAD TC-110S ® of Nippon Kayaku Co., Ltd., the same TC-120S ® , etc.; Osaka Yuki Kagaku Kogyo Co., Ltd.'s V- 158® , V- 2311® , etc. are mentioned. Examples of the bifunctional ester of (meth)acrylic acid include Aronix M- 210® , M- 240® , and M- 6200® of Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.; KAYARAD HDDA ® from Nippon Kayaku Co., Ltd., HX-220 ® , R-604 ® , etc.; Examples include V- 260® , V- 312® , and V-335 HP® of Osaka Yuki Kagaku Kogyo Co., Ltd. Examples of the trifunctional ester of (meth)acrylic acid include Aronix M- 309® , M- 400® , M- 405® , M- 450® , and M from Toagosei Chemical Industry Co., Ltd. -710 ® , M-8030 ® , M-8060 ® , etc.; KAYARAD TMPTA ® from Nippon Kayaku Co., Ltd., Copper DPCA-20 ® , Copper-30 ® , Copper-60 ® , Copper-120 ® , etc.; V-295 ® , Dong-300 ® , Dong-360 ® , Dong-GPT ® , Dong-3PA ® , Dong-400 ® and the like of Osaka Yuki Kayaku Kogyo Co., Ltd. These products may be used alone or in combination of two or more.

상기 추가되는 광중합성 화합물은 보다 우수한 현상성을 부여하기 위하여 산무수물로 처리하여 사용할 수도 있다.The added photopolymerizable compound may be used after being treated with an acid anhydride to impart better developability.

상기 광중합성 화합물은 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.1 중량% 내지 5 중량%, 구체적으로 1 중량% 내지 4 중량%, 예컨대 2 중량% 내지 3 중량%로 포함될 수 있다. 광중합성 화합물이 상기 범위 내로 포함될 경우, 패턴 형성 공정에서 노광 시 경화가 충분히 일어나 신뢰성이 우수하며, 알칼리 현상액에의 현상성이 우수하다.The photopolymerizable compound may be included in an amount of 0.1 wt % to 5 wt %, specifically 1 wt % to 4 wt %, for example, 2 wt % to 3 wt %, based on the total amount of the photosensitive resin composition. When the photopolymerizable compound is included within the above range, sufficient curing occurs during exposure in the pattern forming process, resulting in excellent reliability and excellent developability with an alkaline developer.

(B) 광중합 개시제(B) photopolymerization initiator

상기 광중합 개시제는 감광성 수지 조성물에 일반적으로 사용되는 개시제로서, 예를 들어 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 티오크산톤계 화합물, 벤조인계 화합물, 트리아진계 화합물, 옥심계 화합물 또는 이들의 조합을 사용할 수 있다. The photopolymerization initiator is an initiator generally used in photosensitive resin compositions, for example, an acetophenone-based compound, a benzophenone-based compound, a thioxanthone-based compound, a benzoin-based compound, a triazine-based compound, an oxime-based compound, or a combination thereof. can be used

상기 아세토페논계 화합물의 예로는, 2,2'-디에톡시 아세토페논, 2,2'-디부톡시 아세토페논, 2-히드록시-2-메틸프로피오페논, p-t-부틸트리클로로 아세토페논, p-t-부틸디클로로 아세토페논, 4-클로로 아세토페논, 2,2'-디클로로-4-페녹시 아세토페논, 2-메틸-1-(4-(메틸티오)페닐)-2-모폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-부탄-1-온 등을 들 수 있다.Examples of the acetophenone-based compound include 2,2'-diethoxy acetophenone, 2,2'-dibutoxy acetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, p-t-butyltrichloro acetophenone, p-t -Butyldichloroacetophenone, 4-chloroacetophenone, 2,2'-dichloro-4-phenoxyacetophenone, 2-methyl-1-(4-(methylthio)phenyl)-2-morpholinopropane-1 -one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butan-1-one, etc. are mentioned.

상기 벤조페논계 화합물의 예로는, 벤조페논, 벤조일 안식향산, 벤조일 안식향산 메틸, 4-페닐 벤조페논, 히드록시 벤조페논, 아크릴화 벤조페논, 4,4'-비스(디메틸 아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4'-디메틸아미노벤조페논, 4,4'-디클로로벤조페논, 3,3'-디메틸-2-메톡시벤조페논 등을 들 수 있다.Examples of the benzophenone-based compound include benzophenone, benzoyl benzoic acid, methyl benzoyl benzoate, 4-phenyl benzophenone, hydroxy benzophenone, acrylated benzophenone, 4,4'-bis(dimethylamino)benzophenone, 4,4 '-bis(diethylamino)benzophenone, 4,4'-dimethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3'-dimethyl-2-methoxybenzophenone, and the like.

상기 티오크산톤계 화합물의 예로는, 티오크산톤, 2-메틸티오크산톤, 이소프로필 티오크산톤, 2,4-디에틸 티오크산톤, 2,4-디이소프로필 티오크산톤, 2-클로로티오크산톤 등을 들 수 있다.Examples of the thioxanthone-based compound include thioxanthone, 2-methylthioxanthone, isopropyl thioxanthone, 2,4-diethyl thioxanthone, 2,4-diisopropyl thioxanthone, 2- Chlorothioxanthone etc. are mentioned.

상기 벤조인계 화합물의 예로는, 벤조인, 벤조인 메틸 에테르, 벤조인 에틸 에테르, 벤조인 이소프로필 에테르, 벤조인 이소부틸 에테르, 벤질디메틸케탈 등을 들 수 있다.Examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, and benzyldimethylketal.

상기 트리아진계 화합물의 예로는, 2,4,6-트리클로로-s-트리아진, 2-페닐 4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(3', 4'-디메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4'-메톡시나프틸)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-톨릴)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-비페닐 4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 비스(트리클로로메틸)-6-스티릴-s-트리아진, 2-(나프토-1-일)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시나프토-1-일)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-4-비스(트리클로로메틸)-6-피페로닐-s-트리아진, 2-4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시스티릴)-s-트리아진 등을 들 수 있다.Examples of the triazine-based compound include 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl 4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(3', 4'- Dimethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4'-methoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-(p-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-tolyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-biphenyl 4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, bis(trichloromethyl)-6-styryl-s-triazine, 2-(naphtho-1-yl)-4, 6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(4-methoxynaphtho-1-yl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-4-bis (trichloromethyl)-6-piperonyl-s-triazine, 2-4-bis(trichloromethyl)-6-(4-methoxystyryl)-s-triazine, and the like.

상기 옥심계 화합물의 예로는, O-아실옥심계 화합물, 2-(o-벤조일옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-옥탄디온, 1-(o-아세틸옥심)-1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]에탄온, O-에톡시카르보닐-α-옥시아미노-1-페닐프로판-1-온 등을 사용할 수 있다. 상기 O-아실옥심계 화합물의 구체적인 예로는, 1,2-옥탄디온, 2-디메틸아미노-2-(4-메틸벤질)-1-(4-모르폴린-4-일-페닐)-부탄-1-온, 1-(4-페닐술파닐페닐)-부탄-1,2-디온2-옥심-O-벤조에이트, 1-(4-페닐술파닐페닐)-옥탄-1,2-디온2-옥심-O-벤조에이트, 1-(4-페닐술파닐페닐)-옥탄-1-온옥심-O-아세테이트 및 1-(4-페닐술파닐페닐)-부탄-1-온옥심-O-아세테이트 등을 들 수 있다. Examples of the oxime-based compound include O-acyloxime-based compounds, 2-(o-benzoyloxime)-1-[4-(phenylthio)phenyl]-1,2-octanedione, 1-(o-acetyloxime) )-1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]ethanone, O-ethoxycarbonyl-α-oxyamino-1-phenylpropan-1-one etc. can be used. Specific examples of the O-acyloxime compound include 1,2-octanedione, 2-dimethylamino-2-(4-methylbenzyl)-1-(4-morpholin-4-yl-phenyl)-butane- 1-one, 1-(4-phenylsulfanylphenyl)-butane-1,2-dione 2-oxime-O-benzoate, 1-(4-phenylsulfanylphenyl)-octane-1,2-dione 2 -Oxime-O-benzoate, 1-(4-phenylsulfanylphenyl)-octan-1-one oxime-O-acetate and 1-(4-phenylsulfanylphenyl)-butan-1-one oxime-O- Acetate etc. are mentioned.

상기 광중합 개시제는 상기 화합물 이외에도 카바졸계 화합물, 디케톤류 화합물, 술포늄 보레이트계 화합물, 디아조계 화합물, 이미다졸계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 플루오렌계 화합물 등을 사용할 수 있다.As the photopolymerization initiator, a carbazole-based compound, a diketone compound, a sulfonium borate-based compound, a diazo-based compound, an imidazole-based compound, a biimidazole-based compound, a fluorene-based compound, and the like may be used in addition to the above compounds.

상기 광중합 개시제는 빛을 흡수하여 들뜬 상태가 된 후 그 에너지를 전달함으로써 화학반응을 일으키는 광 증감제와 함께 사용될 수도 있다.The photopolymerization initiator may be used together with a photosensitizer that causes a chemical reaction by absorbing light, becoming excited, and then transferring the energy thereto.

상기 광 증감제의 예로는, 테트라에틸렌글리콜 비스-3-머캡토 프로피오네이트, 펜타에리트리톨 테트라키스-3-머캡토 프로피오네이트, 디펜타에리트리톨 테트라키스-3-머캡토 프로피오네이트 등을 들 수 있다. Examples of the photosensitizer include tetraethylene glycol bis-3-mercapto propionate, pentaerythritol tetrakis-3-mercapto propionate, dipentaerythritol tetrakis-3-mercapto propionate, and the like. can be heard

상기 광중합 개시제는 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.1 중량% 내지 5 중량%, 구체적으로 0.5 중량% 내지 4 중량%, 예컨대 0.1 중량% 내지 3 중량%로 포함될 수 있다. 광중합 개시제가 상기 범위 내로 포함될 경우, 패턴 형성 공정에서 노광시 경화가 충분히 일어나 우수한 신뢰성을 얻을 수 있으며, 패턴의 내열성, 내광성 및 내화학성이 우수하고, 해상도 및 밀착성 또한 우수하며, 미반응 개시제로 인한 투과율의 저하를 막을 수 있다.The photopolymerization initiator may be included in an amount of 0.1 wt % to 5 wt %, specifically 0.5 wt % to 4 wt %, for example, 0.1 wt % to 3 wt %, based on the total amount of the photosensitive resin composition. When the photopolymerization initiator is included within the above range, excellent reliability can be obtained due to sufficient curing during exposure in the pattern forming process, excellent heat resistance, light resistance and chemical resistance of the pattern, excellent resolution and adhesion, and due to the unreacted initiator A decrease in transmittance can be prevented.

(C) 착색제(C) colorant

상기 착색제는 안료를 포함할 수 있고, 이때 상기 일 구현예의 수지 조성물은 안료형 조성물이 될 수 있다. 상기 안료로는 적색 안료, 녹색 안료, 청색 안료, 황색 안료, 흑색 안료 등을 사용할 수 있다.The colorant may include a pigment, and in this case, the resin composition of one embodiment may be a pigment-type composition. As the pigment, a red pigment, a green pigment, a blue pigment, a yellow pigment, a black pigment, or the like may be used.

상기 적색 안료의 예로는 C.I. 적색 안료 254, C.I. 적색 안료 255, C.I. 적색 안료 264, C.I. 적색 안료 270, C.I. 적색 안료 272, C.I. 적색 안료 177, C.I. 적색 안료 89 등을 들 수 있다. 상기 녹색 안료의 예로는 C.I. 녹색 안료 7, C.I. 녹색 안료 36, C.I. 녹색 안료 58, C.I. 녹색 안료 59 등을 들 수 있다. 상기 청색 안료의 예로는 C.I. 청색 안료 15:6, C.I. 청색 안료 15, C.I. 청색 안료 15:1, C.I. 청색 안료 15:2, C.I. 청색 안료 15:3, C.I. 청색 안료 15:4, C.I. 청색 안료 15:5, C.I. 청색 안료 16 등과 같은 구리 프탈로시아닌 안료를 들 수 있다. 상기 황색 안료의 예로는 C.I. 황색 안료 139 등과 같은 이소인돌린계 안료, C.I. 황색 안료 138 등과 같은 퀴노프탈론계 안료, C.I. 황색 안료 150 등과 같은 니켈 컴플렉스 안료 등을 들 수 있다. 상기 흑색 안료의 예로는 아닐린 블랙, 퍼릴렌 블랙, 티타늄 블랙, 카본 블랙 등을 들 수 있다. 상기 안료는 이들을 단독으로 또는 둘 이상 혼합하여 사용할 수 있다. 예컨대, 상기 안료로는 황색 안료, 녹색 안료, 또는 이들의 혼합물을 사용할 수 있다.Examples of the red pigment include C.I. Red Pigment 254, C.I. Red Pigment 255, C.I. Red Pigment 264, C.I. Red Pigment 270, C.I. Red Pigment 272, C.I. Red Pigment 177, C.I. Red pigment 89 etc. are mentioned. Examples of the green pigment include C.I. Green Pigment 7, C.I. Green Pigment 36, C.I. Green Pigment 58, C.I. Green pigment 59 etc. are mentioned. Examples of the blue pigment include C.I. blue pigment 15:6, C.I. Blue Pigment 15, C.I. blue pigment 15:1, C.I. blue pigment 15:2, C.I. blue pigment 15:3, C.I. blue pigment 15:4, C.I. blue pigment 15:5, C.I. and copper phthalocyanine pigments such as blue pigment 16 and the like. Examples of the yellow pigment include C.I. isoindoline-based pigments such as yellow pigment 139, C.I. quinophthalone pigments such as yellow pigment 138, C.I. nickel complex pigments such as Yellow Pigment 150 and the like; and the like. Examples of the black pigment include aniline black, perylene black, titanium black, and carbon black. The above pigments may be used alone or in combination of two or more thereof. For example, a yellow pigment, a green pigment, or a mixture thereof may be used as the pigment.

상기 안료는 분산액 형태로 컬러 필터용 감광성 수지 조성물에 포함될 수 있다.  이러한 안료 분산액은 상기 안료와 용매, 분산제, 분산수지 등으로 이루어질 수 있다. 상기 고형분의 안료는 상기 안료분산액 총량에 대해 5 중량% 내지 20 중량%, 예컨대 8 중량% 내지 15 중량%로 포함될 수 있다.The pigment may be included in the photosensitive resin composition for color filters in the form of a dispersion. The pigment dispersion may be composed of the pigment, a solvent, a dispersing agent, and a dispersing resin. The solid pigment may be included in an amount of 5 wt % to 20 wt %, for example, 8 wt % to 15 wt %, based on the total amount of the pigment dispersion.

상기 용매로는 에틸렌 글리콜 아세테이트, 에틸 셀로솔브, 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세테이트, 에틸 락테이트, 폴리에틸렌 글리콜, 사이클로헥사논, 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 등을 사용할 수 있으며, 이들 중에서 좋게는 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세테이트를 사용할 수 있다. Ethylene glycol acetate, ethyl cellosolve, propylene glycol methyl ether acetate, ethyl lactate, polyethylene glycol, cyclohexanone, propylene glycol methyl ether, etc. may be used as the solvent, and among these, propylene glycol methyl ether acetate is preferably used. can

상기 분산제는 상기 안료가 분산액 내에 균일하게 분산되도록 도와주며, 비이온성, 음이온성 또는 양이온성의 분산제 각각 사용할 수 있다. 구체적으로는 폴리알킬렌 글리콜 또는 이의 에스테르, 폴리옥시 알킬렌, 다가 알콜 에스테르 알킬렌 옥사이드 부가물, 알코올 알킬렌 옥사이드 부가물, 술폰산 에스테르, 술폰산 염, 카르복시산 에스테르, 카르복시산 염, 알킬 아미드 알킬렌 옥사이드 부가물, 알킬 아민 등을 사용할 수 있으며, 이들은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The dispersant helps to uniformly disperse the pigment in the dispersion, and each of a nonionic, anionic or cationic dispersant may be used. Specifically, polyalkylene glycol or its ester, polyoxyalkylene, polyhydric alcohol ester alkylene oxide adduct, alcohol alkylene oxide adduct, sulfonic acid ester, sulfonic acid salt, carboxylic acid ester, carboxylic acid salt, alkyl amide alkylene oxide adduct Water, alkyl amine, etc. may be used, and these may be used alone or in combination of two or more.

상기 분산수지는 카르복시기를 포함한 아크릴계 수지를 사용할 수 있으며, 이는 안료 분산액의 안정성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 픽셀의 패턴성도 개선시킬 수 있다.As the dispersion resin, an acrylic resin containing a carboxyl group may be used, which may improve stability of the pigment dispersion and also improve pixel patternability.

상기 착색제는 상기 안료를 포함하면서, 염료를 더 포함할 수 있고, 이때 상기 일 구현예의 수지 조성물은 하이브리드형 조성물이 될 수 있다. 또한, 상기 염료는 특별히 한정하지 않지만, 금속 착체 염료를 포함할 수 있다.The colorant may further include a dye while including the pigment, and in this case, the resin composition of one embodiment may be a hybrid composition. In addition, the dye is not particularly limited, but may include a metal complex dye.

상기 금속 착체 염료는 200 nm 내지 650 nm 파장 영역에서 최대 흡광도를 갖는 화합물을 사용할 수 있고, 색소의 조합에 색좌표를 맞추기 위해 상기 범위의 흡광도를 가지는 화합물이라면 유기용매에 녹는 모든 컬러의 금속 착체 염료를 사용할 수 있다.The metal complex "dye" can use a compound having maximum absorbance in the wavelength range of 200 nm to 650 nm, and if the compound has absorbance in the above range to match the color coordinates to the combination of dyes, the metal complex "dye of all colors that dissolves in an organic solvent" can be used

구체적으로, 상기 금속 착체 염료는, 530 nm 내지 680 nm 파장 영역에서 최대 흡광도를 갖는 녹색 염료, 200 nm 내지 400 nm 파장 영역에서 최대 흡광도를 갖는 황색 염료, 300 nm 내지 500 nm 파장 영역에서 최대 흡광도를 갖는 오렌지 염료, 500 nm 내지 650 nm 파장 영역에서 최대 흡광도를 갖는 적색 염료 또는 이들의 조합을 사용할 수 있다.Specifically, the metal complex dye is a green dye having maximum absorbance in a wavelength range of 530 nm to 680 nm, a yellow dye having maximum absorbance in a wavelength range of 200 nm to 400 nm, and a maximum absorbance in a wavelength range of 300 nm to 500 nm. An orange "dye" having, a red "dye" having maximum absorbance in a wavelength range of 500 nm to 650 nm, or a combination thereof may be used.

상기 금속 착체 염료는 직접 염료, 산성 염료, 염기성 염료, 산성 매염 염료, 황화 염료, 환원 염료, 아조익 염료, 분산 염료, 반응성 염료, 산화 염료, 유용 염료, 아조 염료, 안트라퀴논 염료, 인디고이드 염료, 카르보늄이온 염료, 프탈로시아닌 염료, 니트로 염료, 퀴놀린 염료, 시아닌 염료, 폴리메틴 염료 또는 이들의 조합을 사용할 수 있다.The metal complex dyes are direct dyes, acid dyes, basic dyes, acid mordant dyes, sulfur dyes, reducing dyes, azoic dyes, disperse dyes, reactive dyes, oxide dyes, useful dyes, azo dyes, anthraquinone dyes, indigo dyes , carbonium ion "dye," phthalocyanine "dye, nitro" dye, quinoline "dye, cyanine" dye, polymethine "dye" or a combination thereof may be used.

상기 금속 착체 염료는 Mg, Ni, Cu, Co, Zn, Cr, Pt, Pd 및 Fe로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 금속 이온을 포함할 수 있다.The metal complex/dye may include at least one metal ion selected from the group consisting of Mg, Ni, Cu, Co, Zn, Cr, Pt, Pd, and Fe.

상기 금속 착체 염료는 C.I. 솔벤트 그린 1, 3, 4, 5, 7, 28, 29, 32, 33, 34, 35 등의 C.I. 솔벤트 염료; C.I. 애시드 그린 1, 3, 5, 6, 7, 8, 9, 11, 13, 14, 15, 16, 22, 25, 27, 28, 41, 50, 50:1, 58, 63, 65, 80, 104, 105, 106, 109 등의 C.I. 애시드 염료; C.I. 다이렉트 그린 25, 27, 31, 32, 34, 37, 63, 65, 66, 67, 68, 69, 72, 77, 79, 82 등의 C.I. 다이렉트 염료, C.I. 베이직 그린 1 등의 C.I. 베이직 염료;C.I. 모던트 그린 1, 3, 4, 5, 10, 13, 15, 19, 21, 23, 26, 29, 31, 33, 34, 35, 41, 43, 53 등의 C.I. 모던트 염료, C.I. 피그먼트 그린 7, 36, 58 등의 녹색 안료; 솔벤트 옐로우 19, 솔벤트 옐로우 21, 솔벤트 옐로우 25, 솔벤트 옐로우 79, 솔벤트 옐로우 82, 솔벤트 옐로우 88, 솔벤트 오렌지 45, 솔벤트 오렌지 54, 솔벤트 오렌지 62, 솔벤트 오렌지 99, 솔벤트 레드 8, 솔벤트 레드 32, 솔벤트 레드 109, 솔벤트 레드 112, 솔벤트 레드 119, 솔벤트 레드 124, 솔벤트 레드 160, 솔벤트 레드 132 및 솔벤트 레드 218로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나와 상기 금속 이온의 복합체를 사용할 수 있다.The metal complex dye is C.I. C.I. solvents such as greens 1, 3, 4, 5, 7, 28, 29, 32, 33, 34, 35 solvents and dyes; C.I. Acid “Green” 1, 3, 5, 6, 7, 8, 9, 11, 13, 14, 15, 16, 22, 25, 27, 28, 41, 50, 50:1, 58, 63, 65, 80, 104, 105, 106, 109, etc. C.I. acid dyes; C.I. Direct   Green 25, 27, 31, 32, 34, 37, 63, 65, 66, 67, 68, 69, 72, 77, 79, 82 C.I. Direct dye, C.I. C.I. such as Basic, Green, and 1. Basic dyes; C.I. The C.I. Mordant Dye, C.I. Green pigments, such as Pigment "Green" 7, 36, and 58; Solvent Yellow 19, Solvent Yellow 21, Solvent Yellow 25, Solvent Yellow 79, Solvent Yellow 82, Solvent Yellow 88, Solvent Orange 45, Solvent Orange 54, Solvent Orange 62, Solvent Orange 99, Solvent Red 8, Solvent Red 32, Solvent Red A complex of at least one selected from the group consisting of Solvent Red 109, Solvent Red 112, Solvent Red 119, Solvent Red 124, Solvent Red 160, Solvent Red 132, and Solvent Red 218 and the metal ion may be used.

상기 금속 착체을 포함하는 염료는 일 구현예에 따른 감광성 수지 조성물에 사용되는 용매, 즉, 후술하는 용매에 대한 용해도가 5 이상일 수 있고, 구체적으로는 5 내지 10 일 수 있다. 상기 용해도는 상기 용매 100g에 녹는 상기 염료의 양(g)으로 얻을 수 있다. 상기 금속 착체를 포함하는 염료의 용해도가 상기 범위 내일 경우, 일 구현예에 따른 감광성 수지 조성물을 이루는 다른 성분과의 상용성 및 착색력을 확보할 수 있고, 염료의 석출이 방지될 수 있다.The dye containing the metal complex may have a solubility of 5 or more, specifically 5 to 10, in a solvent used in the photosensitive resin composition according to an embodiment, that is, a solvent to be described later. The solubility can be obtained by the amount (g) of the dye dissolved in 100 g of the solvent. When the solubility of the dye containing the metal complex is within the above range, compatibility with other components constituting the photosensitive resin composition according to an embodiment and coloring power may be secured, and precipitation of the dye may be prevented.

상기 용매는, 예를 들어, 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르 아세테이트(propylene glycol monomethyl ether acetate, PGMEA), 에틸 락테이트(ethyl lactate, EL), 에틸렌 글리콜 에틸 아세테이트(ethylene glycol ethyl acetate, EGA), 시클로헥사논(cyclohexanone), 3-메톡시-1-부탄올(3-methoxy-1-butanol) 또는 이들의 조합을 사용할 수 있다.The solvent is, for example, propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA), ethyl lactate (EL), ethylene glycol ethyl acetate (EGA), cyclohexanone (cyclohexanone), 3-methoxy-1-butanol, or a combination thereof may be used.

상기 특정 범위를 가짐에 따라, 원하는 색좌표에서 고휘도 및 고명암비를 발현하는 LCD, LED 등의 컬러 필터에 유용하게 사용될 수 있다.As it has the above specific range, it can be usefully used for color filters such as LCDs and LEDs that express high luminance and high contrast ratio in a desired color coordinate.

상기 금속 착체를 포함하는 염료는 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.01 중량% 내지 1 중량%, 예컨대 0.01 중량% 내지 0.5 중량%로 포함될 수 있다. 상기 금속 착체를 포함하는 염료를 상기 범위로 사용할 경우, 원하는 색좌표에서 높은 휘도 및 명암비를 발현할 수 있다.The dye containing the metal complex may be included in an amount of 0.01 wt% to 1 wt%, for example, 0.01 wt% to 0.5 wt%, based on the total amount of the photosensitive resin composition. When the dye containing the metal complex is used in the above range, high luminance and contrast ratio can be expressed in a desired color coordinate.

상기 염료 및 상기 안료를 혼합하여 사용할 경우 0.1:99.9 내지 99.9:0.1의 중량비, 구체적으로는 1:9 내지 9:1의 중량비로 혼합하여 사용할 수 있다. 상기 중량비 범위로 혼합할 경우 내화학성, 최대 흡수 파장을 적절한 범위로 제어하고, 원하는 색좌표에서 높은 휘도 및 명암비를 발현할 수 있다. When the dye and the pigment are mixed and used, they may be mixed at a weight ratio of 0.1:99.9 to 99.9:0.1, specifically, 1:9 to 9:1. When mixed in the above weight ratio range, chemical resistance and maximum absorption wavelength can be controlled within an appropriate range, and high luminance and contrast ratio can be expressed in a desired color coordinate.

상기 착색제는 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 15 중량% 내지 95 중량%, 구체적으로 20 중량% 내지 70 중량%, 예컨대 30 중량% 내지 65 중량%로 포함될 수 있다. 상기 착색제가 상기 범위 내로 포함될 경우, 착색 효과 및 현상성이 우수하다.The colorant may be included in an amount of 15 wt % to 95 wt %, specifically 20 wt % to 70 wt %, for example, 30 wt % to 65 wt %, based on the total amount of the photosensitive resin composition. When the colorant is included within the above range, the coloring effect and developability are excellent.

(D) 용매(D) solvent

상기 용매는 상기 착색제, 상기 바인더 수지, 상기 광중합성 화합물 및 상기 광중합 개시제와의 상용성을 가지되 반응하지 않는 물질들이 사용될 수 있다.As the solvent, materials that have compatibility with the colorant, the binder resin, the photopolymerizable compound, and the photopolymerization initiator but do not react may be used.

상기 용매의 예로는, 메탄올, 에탄올 등의 알코올류; 디클로로에틸 에테르, n-부틸 에테르, 디이소아밀 에테르, 메틸페닐 에테르, 테트라히드로퓨란 등의 에테르류; 에틸렌 글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌 글리콜 모노에틸에테르 등의 글리콜 에테르류; 메틸 셀로솔브 아세테이트, 에틸 셀로솔브 아세테이트, 디에틸 셀로솔브 아세테이트 등의 셀로솔브 아세테이트류; 메틸에틸 카르비톨, 디에틸 카르비톨, 디에틸렌 글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌 글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌 글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌 글리콜 메틸에틸에테르, 디에틸렌 글리콜 디에틸에테르 등의 카르비톨류; 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 프로필렌 글리콜 프로필 에테르 아세테이트 등의 프로필렌 글리콜 알킬에테르 아세테이트류; 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류; 메틸에틸케톤, 사이클로헥사논, 4-히드록시-4-메틸-2-펜타논, 메틸-n-프로필케톤, 메틸-n-부틸케톤, 메틸-n-아밀케톤, 2-헵타논 등의 케톤류; 초산 에틸, 초산-n-부틸, 초산 이소부틸 등의 포화 지방족 모노카르복실산 알킬 에스테르류; 젖산 메틸, 젖산 에틸 등의 젖산 에스테르류; 옥시 초산 메틸, 옥시 초산 에틸, 옥시 초산 부틸 등의 옥시 초산 알킬 에스테르류; 메톡시 초산 메틸, 메톡시 초산 에틸, 메톡시 초산 부틸, 에톡시 초산 메틸, 에톡시 초산 에틸 등의 알콕시 초산 알킬 에스테르류; 3-옥시 프로피온산 메틸, 3-옥시 프로피온산 에틸 등의 3-옥시 프로피온산 알킬에스테르류; 3-메톡시 프로피온산 메틸, 3-메톡시 프로피온산 에틸, 3-에톡시 프로피온산 에틸, 3-에톡시 프로피온산 메틸 등의 3-알콕시 프로피온산 알킬 에스테르류; 2-옥시 프로피온산 메틸, 2-옥시 프로피온산 에틸, 2-옥시 프로피온산 프로필 등의 2-옥시 프로피온산 알킬 에스테르류; 2-메톡시 프로피온산 메틸, 2-메톡시 프로피온산 에틸, 2-에톡시 프로피온산 에틸, 2-에톡시 프로피온산 메틸 등의 2-알콕시 프로피온산 알킬 에스테르류; 2-옥시-2-메틸 프로피온산 메틸, 2-옥시-2-메틸 프로피온산 에틸 등의 2-옥시-2-메틸 프로피온산 에스테르류, 2-메톡시-2-메틸 프로피온산 메틸, 2-에톡시-2-메틸 프로피온산 에틸 등의 2-알콕시-2-메틸 프로피온산 알킬류의 모노옥시 모노카르복실산 알킬 에스테르류; 2-히드록시 프로피온산 에틸, 2-히드록시-2-메틸 프로피온산 에틸, 히드록시 초산 에틸, 2-히드록시-3-메틸 부탄산 메틸 등의 에스테르류; 피루빈산 에틸 등의 케톤산 에스테르류 등이 있으며, 또한, N-메틸포름아미드, N,N-디메틸포름아미드, N-메틸포름아닐라드, N-메틸아세트아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈, 디메틸술폭시드, 벤질에틸에테르, 디헥실에테르, 아세틸아세톤, 이소포론, 카프론산, 카프릴산, 1-옥탄올, 1-노난올, 벤질알코올, 초산 벤질, 안식향산 에틸, 옥살산 디에틸, 말레인산 디에틸, γ부티로락톤, 탄산 에틸렌, 탄산 프로필렌, 페닐 셀로솔브 아세테이트 등의 고비점 용매를 들 수 있다.Examples of the solvent include alcohols such as methanol and ethanol; ethers such as dichloroethyl ether, n-butyl ether, diisoamyl ether, methylphenyl ether, and tetrahydrofuran; glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether; Cellosolve acetates, such as methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, and diethyl cellosolve acetate; carbitols such as methyl ethyl carbitol, diethyl carbitol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, and diethylene glycol diethyl ether; propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol propyl ether acetate; Aromatic hydrocarbons, such as toluene and xylene; Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, methyl-n-propyl ketone, methyl-n-butyl ketone, methyl-n-amyl ketone, and 2-heptanone ; saturated aliphatic monocarboxylic acid alkyl esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate and isobutyl acetate; lactic acid esters such as methyl lactate and ethyl lactate; oxyacetic acid alkyl esters such as methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, and butyl oxyacetate; Alkoxy acetic acid alkyl esters, such as methoxy methyl acetate, methoxy ethyl acetate, methoxy butyl acetate, ethoxy methyl acetate, and ethoxy ethyl acetate; 3-oxy propionic acid alkyl esters such as 3-oxy methyl propionate and 3-oxy ethyl propionate; 3-alkoxy propionic acid alkyl esters such as 3-methoxy methyl propionate, 3-methoxy ethyl propionate, 3-ethoxy ethyl propionate, and 3-ethoxy methyl propionate; 2-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, and propyl 2-oxypropionate; 2-alkoxy propionic acid alkyl esters such as 2-methoxy methyl propionate, 2-methoxy ethyl propionate, 2-ethoxy ethyl propionate, and 2-ethoxy methyl propionate; 2-oxy-2-methyl propionic acid esters such as 2-oxy-2-methyl methyl propionate, 2-oxy-2-methyl ethyl propionate, 2-methoxy-2-methyl methyl propionate, 2-ethoxy-2- monooxy monocarboxylic acid alkyl esters of 2-alkoxy-2-methyl alkyl propionate such as methyl ethyl propionate; esters such as 2-hydroxy ethyl propionate, 2-hydroxy-2-methyl ethyl propionate, hydroxy ethyl acetate, and 2-hydroxy-3-methyl methyl butanoate; ketonic acid esters such as ethyl pyruvate, etc., and also N-methylformamide, N,N-dimethylformamide, N-methylformanilad, N-methylacetamide, N,N-dimethylacetamide , N-methylpyrrolidone, dimethylsulfoxide, benzylethyl ether, dihexyl ether, acetylacetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, benzoic acid and high boiling point solvents such as ethyl, diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, and phenyl cellosolve acetate.

이들 중 좋게는 상용성 및 반응성을 고려하여, 사이클로헥사논 등의 케톤류; 에틸렌 글리콜 모노에틸에테르 등의 글리콜 에테르류; 에틸 셀로솔브 아세테이트 등의 에틸렌 글리콜 알킬에테르 아세테이트류; 2-히드록시 프로피온산 에틸 등의 에스테르류; 디에틸렌 글리콜 모노메틸에테르 등의 카르비톨류; 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르 아세테이트, 프로필렌 글리콜 프로필에테르 아세테이트 등의 프로필렌 글리콜 알킬에테르 아세테이트류, 사이클로헥사논 등의 케톤류가 사용될 수 있다.Among these, considering compatibility and reactivity, ketones such as cyclohexanone; glycol ethers such as ethylene glycol monoethyl ether; ethylene glycol alkyl ether acetates such as ethyl cellosolve acetate; esters such as 2-hydroxy ethyl propionate; carbitols such as diethylene glycol monomethyl ether; Propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol propyl ether acetate, and ketones such as cyclohexanone may be used.

상기 용매는 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 잔부량, 예컨대 5 중량% 내지 70 중량%, 예컨대 10 중량% 내지 50 중량%로 포함될 수 있다. 상기 용매가 상기 범위 내로 포함될 경우 감광성 수지 조성물의 도포성이 우수하고, 평탄성이 우수한 도막을 얻을 수 있다.The solvent may be included in a balance amount, for example, 5 wt% to 70 wt%, for example, 10 wt% to 50 wt%, based on the total amount of the photosensitive resin composition. When the solvent is included within the above range, it is possible to obtain a coating film having excellent coatability of the photosensitive resin composition and excellent flatness.

(E) 바인더 수지(E) binder resin

상기 감광성 수지 조성물은 바인더 수지를 더 포함할 수 있고, 상기 바인더 수지는 아크릴계 수지를 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition may further include a binder resin, and the binder resin may include an acrylic resin.

상기 아크릴계 수지는 제1 에틸렌성 불포화 단량체 및 이와 공중합 가능한 제2 에틸렌성 불포화 단량체의 공중합체로, 하나 이상의 아크릴계 반복단위를 포함하는 수지이다.The acrylic resin is a copolymer of a first ethylenically unsaturated monomer and a second ethylenically unsaturated monomer copolymerizable therewith, and includes one or more acrylic repeating units.

상기 제1 에틸렌성 불포화 단량체는 하나 이상의 카르복시기를 함유하는 에틸렌성 불포화 단량체이며, 이의 구체적인 예로는 아크릴산, 메타크릴산, 말레산, 이타콘산, 푸마르산또는 이들의 조합을 들 수 있다.The first ethylenically unsaturated monomer is an ethylenically unsaturated monomer containing at least one carboxyl group, and specific examples thereof include acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, itaconic acid, fumaric acid, or a combination thereof.

상기 제1 에틸렌성 불포화 단량체는 상기 아크릴계 바인더 수지 총량에 대하여 5 중량% 내지 50 중량%, 예컨대 10 중량% 내지 40 중량%로 포함될 수 있다.The first ethylenically unsaturated monomer may be included in an amount of 5 wt % to 50 wt %, for example, 10 wt % to 40 wt %, based on the total amount of the acrylic binder resin.

상기 제2 에틸렌성 불포화 단량체는 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐톨루엔, 비닐벤질메틸에테르 등의 방향족 비닐 화합물; 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시 부틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 사이클로헥실(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트 등의 불포화 카르복시산 에스테르 화합물; 2-아미노에틸(메타)아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸(메타)아크릴레이트 등의 불포화 카르복시산 아미노 알킬 에스테르 화합물; 초산비닐, 안식향산 비닐 등의 카르복시산 비닐 에스테르 화합물; 글리시딜(메타)아크릴레이트 등의 불포화 카르복시산 글리시딜 에스테르 화합물; (메타)아크릴로니트릴 등의 시안화 비닐 화합물; (메타)아크릴아미드 등의 불포화 아미드 화합물; 등을 들 수 있으며, 이들을 단독으로 또는 둘 이상 혼합하여 사용할 수 있다.The second ethylenically unsaturated monomer may be an aromatic vinyl compound such as styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, or vinylbenzylmethyl ether; Methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxy butyl (meth)acrylate, benzyl (meth)acrylate, unsaturated carboxylic acid ester compounds such as cyclohexyl (meth)acrylate and phenyl (meth)acrylate; Unsaturated carboxylic acid amino alkyl ester compounds, such as 2-aminoethyl (meth)acrylate and 2-dimethylaminoethyl (meth)acrylate; carboxylic acid vinyl ester compounds such as vinyl acetate and vinyl benzoate; unsaturated carboxylic acid glycidyl ester compounds such as glycidyl (meth)acrylate; vinyl cyanide compounds such as (meth)acrylonitrile; unsaturated amide compounds such as (meth)acrylamide; and the like, and these may be used alone or in combination of two or more.

상기 아크릴계 수지의 구체적인 예로는 (메타)아크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체, (메타)아크릴산/벤질메타크릴레이트/스티렌 공중합체, (메타)아크릴산/벤질메타크릴레이트/2-히드록시에틸메타크릴레이트 공중합체, (메타)아크릴산/벤질메타크릴레이트/스티렌/2-히드록시에틸메타크릴레이트 공중합체 등을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 이들을 단독 또는 2종 이상을 배합하여 사용할 수도 있다.Specific examples of the acrylic resin include (meth)acrylic acid/benzyl methacrylate copolymer, (meth)acrylic acid/benzyl methacrylate/styrene copolymer, (meth)acrylic acid/benzyl methacrylate/2-hydroxyethyl methacrylate late copolymers, (meth)acrylic acid/benzyl methacrylate/styrene/2-hydroxyethyl methacrylate copolymers, and the like, but are not limited thereto, and may be used alone or in combination of two or more. .

상기 바인더 수지는 에폭시계 바인더 수지를 포함할 수 있다.The binder resin may include an epoxy-based binder resin.

상기 바인더 수지는 에폭시계 바인더 수지를 더 포함함으로써, 내열성을 향상시킬 수 있다. 상기 에폭시계 바인더 수지는 예컨대, 페놀 노볼락 에폭시 수지, 테트라메틸 비페닐 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 지환족 에폭시 수지 또는 이들의 조합 등을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The binder resin may improve heat resistance by further including an epoxy-based binder resin. The epoxy-based binder resin may include, for example, a phenol novolak epoxy resin, a tetramethyl biphenyl epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, an alicyclic epoxy resin, or a combination thereof, but is limited thereto It is not.

나아가, 상기 에폭시계 바인더 수지를 포함하는 바인더 수지는 후술할 안료 등의 착색제의 분산 안정성을 확보함과 동시에, 현상 과정에서 원하는 해상도의 픽셀이 형성되도록 돕는다. Furthermore, the binder resin including the epoxy-based binder resin secures dispersion stability of a colorant such as a pigment, which will be described later, and helps to form a pixel having a desired resolution during a developing process.

상기 에폭시계 바인더 수지는 상기 바인더 수지 총량에 대해 1 중량% 내지 10 중량%, 예컨대 5 중량% 내지 10 중량%로 포함될 수 있다. 상기 에폭시계 바인더 수지가 상기 범위로 포함될 경우, 잔막률 및 내화학성이 크게 개선될 수 있다.The epoxy-based binder resin may be included in an amount of 1 wt % to 10 wt %, for example, 5 wt % to 10 wt %, based on the total amount of the binder resin. When the epoxy-based binder resin is included in the above range, film remaining rate and chemical resistance may be greatly improved.

상기 에폭시계 바인더 수지의 에폭시당량(epoxy equivalent weight)은 150 g/eq 내지 200 g/eq 일 수 있다. 상기 범위 내의 에폭시당량을 가지는 에폭시계 바인더 수지가 바인더 수지 내에 포함될 경우, 형성된 패턴의 경화도 향상 및 패턴이 형성된 구조 내에서의 착색제 고착에 유리한 효과가 있다.The epoxy equivalent weight of the epoxy-based binder resin may be 150 g/eq to 200 g/eq. When an epoxy-based binder resin having an epoxy equivalent within the above range is included in the binder resin, there is an advantageous effect in improving the curing degree of the formed pattern and fixing the colorant in the patterned structure.

상기 바인더 수지는 고형분 형태로 후술하는 용매에 용해되어, 감광성 수지 조성물을 구성할 수 있다. 이 경우, 상기 고형분 형태의 바인더 수지는 용매에 용해된 바인더 수지 용액 총량에 대해 약 10 중량% 내지 50 중량%, 예컨대 20 중량% 내지 40 중량% 일 수 있다.The binder resin may be dissolved in a solvent to be described later in a solid form to form a photosensitive resin composition. In this case, the binder resin in the solid form may be about 10% to 50% by weight, for example, 20% to 40% by weight based on the total amount of the binder resin solution dissolved in the solvent.

상기 바인더 수지는 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 1 중량% 내지 20 중량%, 구체적으로 3 중량% 내지 15 중량%, 예컨대 5 중량% 내지 10 중량%로 포함될 수 있다. 바인더 수지가 상기 범위 내로 포함될 경우, 컬러 필터 제조 시 현상성이 우수하며 가교성이 개선되어 우수한 표면 평활도를 얻을 수 있다.The binder resin may be included in an amount of 1 wt % to 20 wt %, specifically 3 wt % to 15 wt %, for example, 5 wt % to 10 wt %, based on the total amount of the photosensitive resin composition. When the binder resin is included within the above range, it is possible to obtain excellent surface smoothness due to excellent developability and improved crosslinking property during manufacture of the color filter.

(F) 기타 첨가제(F) other additives

상기 감광성 수지 조성물은 도포 시 얼룩이나 반점을 방지하고, 레벨링 성능을 개선하기 위해, 또한 미현상에 의한 잔사의 생성을 방지하기 위하여, 말론산; 3-아미노-1,2-프로판디올; 비닐기 또는 (메타)아크릴옥시기를 포함하는 커플링제; 레벨링제; 계면활성제; 및 라디칼 중합 개시제로부터 선택되는 적어도 하나의 첨가제를 더 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition may include malonic acid; 3-amino-1,2-propanediol; A coupling agent containing a vinyl group or a (meth)acryloxy group; leveling agent; Surfactants; And it may further include at least one additive selected from a radical polymerization initiator.

상기 첨가제는 원하는 물성에 따라 용이하게 조절될 수 있다.The additives can be easily adjusted according to desired physical properties.

상기 커플링제는 실란계 커플링제일 수 있고, 상기 실란계 커플링제의 예로는, 트리메톡시실릴 벤조산, γ메타크릴 옥시프로필 트리메톡시실란, 비닐 트리아세톡시실란, 비닐 트리메톡시실란, γ이소 시아네이트 프로필 트리에톡시실란, γ글리시독시 프로필 트리메톡시실란, β에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란 등을 들 수 있으며, 이들을 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. The coupling agent may be a silane-based coupling agent, and examples of the silane-based coupling agent include trimethoxysilyl benzoic acid, γ methacryloxypropyl trimethoxysilane, vinyl triacetoxysilane, vinyl trimethoxysilane, γ Isocyanate propyl triethoxysilane, (gamma) glycidoxy propyl trimethoxysilane, (beta) epoxycyclohexyl) ethyl trimethoxysilane, etc. are mentioned, These can be used individually or in mixture of 2 or more types.

상기 실란계 커플링제는 구체적으로 상기 감광성 수지 조성물 100 중량부에 대하여 0.01 중량부 내지 1 중량부로 사용될 수 있다.The silane-based coupling agent may be specifically used in an amount of 0.01 part by weight to 1 part by weight based on 100 parts by weight of the photosensitive resin composition.

또한 상기 컬러 필터용 감광성 수지 조성물은 필요에 따라 계면활성제, 예컨대 불소계 계면활성제를 더 포함할 수 있다.  In addition, the photosensitive resin composition for color filters may further include a surfactant, for example, a fluorine-based surfactant, if necessary.

상기 불소계 계면활성제의 예로는 DIC社의 F-482, F-484, F-478 등이 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.Examples of the fluorine-based surfactant include, but are not limited to, DIC's F-482, F-484, and F-478.

상기 계면활성제는 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.01 중량% 내지 5 중량%로 포함되는 것이 바람직하고 0.01 중량% 내지 2 중량%로 포함되는 것이 보다 바람직하다. 상기 범위를 벗어나는 경우 현상 후 이물질이 발생하는 문제점이 생길 수 있어 바람직하지 못하다.The surfactant is preferably included in an amount of 0.01% to 5% by weight and more preferably in an amount of 0.01% to 2% by weight based on the total amount of the photosensitive resin composition. If it is out of the above range, it is not preferable to cause a problem in that foreign substances are generated after development.

또한 상기 감광성 수지 조성물은 물성을 저해하지 않는 범위 내에서 산화방지제, 안정제 등의 기타 첨가제가 일정량 첨가될 수도 있다.In addition, a certain amount of other additives such as antioxidants and stabilizers may be added to the photosensitive resin composition within a range that does not impair physical properties.

상기 감광성 수지 조성물은 CMOS 이미지 센서의 컬러 필터용 감광성 수지 조성물, 구체적으로 CMOS 이미지 센서의 녹색 컬러 필터용 감광성 수지 조성물에 적용할 수 있다.The photosensitive resin composition may be applied to a photosensitive resin composition for a color filter of a CMOS image sensor, specifically a photosensitive resin composition for a green color filter of a CMOS image sensor.

(감광성 수지막, 컬러 필터 및 CMOS 이미지 센서)(Photosensitive resin film, color filter and CMOS image sensor)

다른 일 구현예에 따르면, 일 구현예에 따른 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 감광성 수지막을 제공한다.According to another embodiment, a photosensitive resin film prepared using the photosensitive resin composition according to the embodiment is provided.

또 다른 일 구현예에 따르면 전술한 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 컬러 필터를 제공한다. According to another embodiment, a color filter manufactured using the photosensitive resin composition described above is provided.

상기 컬러 필터의 제조 방법은 다음과 같다. A method of manufacturing the color filter is as follows.

유리기판 위에 스핀 도포, 롤러 도포, 스프레이 도포 등의 적당한 방법을 사용하여, 예를 들면, 0.5 ㎛ 내지 10 ㎛의 두께로 전술한 감광성 수지 조성물을 도포하여 감광성 수지 조성물 층을 형성한다.A photosensitive resin composition layer is formed on a glass substrate by applying the photosensitive resin composition to a thickness of, for example, 0.5 μm to 10 μm using an appropriate method such as spin coating, roller coating, or spray coating.

이어서, 상기 감광성 수지 조성물 층이 형성된 기판에 컬러 필터에 필요한 패턴을 형성하도록 광을 조사한다. 조사에 사용되는 광원으로는 UV, 전자선 또는 X선을 사용할 수 있고, 예를 들면, 190nm 내지 450nm, 구체적으로는 200nm 내지 400nm 영역의 UV를 조사할 수 있다. 상기 조사하는 공정에서 포토레지스트 마스크를 더욱 사용하여 실시할 수도 있다. 이와 같이 조사하는 공정을 실시한 후, 상기 광원이 조사된 감광성 수지 조성물 층을 현상액으로 처리한다. 이때 감광성 수지 조성물 층에서 비노광 부분은 용해됨으로써 컬러 필터에 필요한 패턴이 형성된다. 이러한 공정을 필요한 색의 수에 따라 반복함으로써 원하는 패턴을 갖는 컬러 필터를 수득할 수 있다. 또한 상기 공정에서 현상에 의해 수득된 화상 패턴을 다시 가열하거나 활성선 조사 등에 의해 경화시키면 내크랙성, 내용제성 등을 향상시킬 수 있다.Subsequently, light is irradiated to form a pattern required for a color filter on the substrate on which the photosensitive resin composition layer is formed. As a light source used for irradiation, UV, electron beam, or X-ray may be used, and for example, UV in a range of 190 nm to 450 nm, specifically, 200 nm to 400 nm may be irradiated. In the irradiation step, a photoresist mask may be further used. After performing the irradiation step in this way, the photosensitive resin composition layer irradiated with the light source is treated with a developing solution. At this time, the unexposed portion of the photosensitive resin composition layer is dissolved to form a pattern required for the color filter. By repeating this process according to the number of colors required, a color filter having a desired pattern can be obtained. In addition, when the image pattern obtained by development in the above process is heated again or cured by irradiation with actinic rays, etc., crack resistance, solvent resistance, and the like can be improved.

또 다른 일 구현예에 따르면 상기 컬러 필터를 포함하는 CMOS 이미지 센서를 제공한다.According to another embodiment, a CMOS image sensor including the color filter is provided.

이하, 실시예를 들어 본 발명에 대해서 더욱 상세하게 설명할 것이나, 하기의 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예일 뿐 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the following examples are only preferred examples of the present invention and the present invention is not limited to the following examples.

(감광성 수지 조성물의 제조)(Preparation of photosensitive resin composition)

실시예 1 내지 6 및 비교예 1 내지 3Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 3

표 1 및 2에 나타낸 조성으로 혼합하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다.A photosensitive resin composition was prepared by mixing the compositions shown in Tables 1 and 2.

구체적으로, 용매에 광중합 개시제를 녹인 후 상온에서 30분 동안 교반한 다음, 여기에 광중합성 화합물을 첨가하여 상온에서 60분 동안 교반하였다. 이어서, 얻어진 상기 반응물에 착색제로서 염료 및 안료 분산액을 넣고 상온에서 30분 동안 교반하였다. 추가로, 용매 및 첨가제를 넣고 상온에서 30분 동안 교반하였다. 이어 상기 생성물을 2회 여과하여 불순물을 제거함으로써, 감광성 수지 조성물을 제조하였다.Specifically, after dissolving the photopolymerization initiator in a solvent, the mixture was stirred at room temperature for 30 minutes, and then a photopolymerizable compound was added thereto and stirred at room temperature for 60 minutes. Subsequently, a dye and a pigment dispersion as a colorant were added to the obtained reactant and stirred at room temperature for 30 minutes. In addition, solvent and additives were added and stirred at room temperature for 30 minutes. Subsequently, a photosensitive resin composition was prepared by filtering the product twice to remove impurities.

(단위: 중량%)(Unit: % by weight) 성분ingredient 재료명material name 고형분
(%)
solid content
(%)
실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 실시예 4Example 4 실시예 5Example 5
(A) 광중합성 화합물(A) photopolymerizable compound A-1A-1 100100 1.4791.479 1.2321.232 0.9860.986 0.7050.705 0.4930.493 A-2A-2 100100 0.9860.986 1.2331.233 1.4791.479 1.7601.760 1.9721.972 A-3A-3 100100 -- -- -- -- -- (B) 광중합 개시제(B) photopolymerization initiator B-1B-1 100100 2.6632.663 2.6632.663 2.6632.663 2.6632.663 2.6632.663 (C) 착색제(C) colorant C-1C-1 100100 45.17345.173 45.17345.173 45.17345.173 45.17345.173 45.17345.173 C-2C-2 1010 35.83835.838 35.83835.838 35.83835.838 35.83835.838 35.83835.838 (D) 용매(D) solvent D-1D-1 -- 13.46413.464 13.46413.464 13.46413.464 13.46413.464 13.46413.464 (F) 첨가제(F) additives F-1F-1 1010 0.20.2 0.20.2 0.20.2 0.20.2 0.20.2 F-1F-1 1010 0.1970.197 0.1970.197 0.1970.197 0.1970.197 0.1970.197

(단위: 중량%)(Unit: % by weight) 성분ingredient 재료명material name 고형분
(%)
solid content
(%)
비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 비교예 3Comparative Example 3
(A) 광중합성 화합물(A) photopolymerizable compound A-1A-1 100100 -- 2.4652.465 -- A-2A-2 100100 2.4652.465 -- 1.2331.233 A-3A-3 100100 -- -- 1.2321.232 (B) 광중합 개시제(B) photopolymerization initiator B-1B-1 100100 2.6632.663 2.6632.663 2.6632.663 (C) 착색제(C) colorant C-1C-1 100100 45.17345.173 45.17345.173 45.17345.173 C-2C-2 1010 35.83835.838 35.83835.838 35.83835.838 (D) 용매(D) solvent D-1D-1 -- 13.46413.464 13.46413.464 13.46413.464 (F) 첨가제(F) additives F-1F-1 1010 0.20.2 0.20.2 0.20.2 F-1F-1 1010 0.1970.197 0.1970.197 0.1970.197

상기 표 1 및 2에서 사용된 각 성분은 다음과 같다.Each component used in Tables 1 and 2 is as follows.

(A) 광중합성 화합물(A) photopolymerizable compound

(A-1) 하기 화학식 1-1로 표시되는 4관능성 화합물 (제품명: DGE-4A, 제조사: 공영사)(A-1) A tetrafunctional compound represented by the following formula 1-1 (product name: DGE-4A, manufacturer: Kongyeongsa)

[화학식 1-1][Formula 1-1]

Figure pat00037
Figure pat00037

(A-2) 하기 화학식 3-1로 표시되는 6관능성 화합물 (제품명: 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트(DPHA), 제조사: 일본화약)(A-2) A hexafunctional compound represented by the following formula 3-1 (product name: dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA), manufacturer: Nippon Explosives)

[화학식 3-1][Formula 3-1]

Figure pat00038
Figure pat00038

(A-3) 하기 화학식 A로 표시되는 6관능성 화합물 (제품명: DGE-4A 제조사: 공영사)(A-3) A hexafunctional compound represented by the following formula A (product name: DGE-4A manufacturer: Kongyeongsa)

[화학식 A] [Formula A]

Figure pat00039
Figure pat00039

(B) 광중합 개시제(B) photopolymerization initiator

(B-1) 옥심계 개시제 (OXE-01, 제조사: BASF)(B-1) oxime initiator (OXE-01, manufacturer: BASF)

(C) 착색제(C) colorant

(C-1) 녹색 안료 분산액 (G58, 제조사: ENF)(C-1) green pigment dispersion (G58, manufacturer: ENF)

(C-2) 황색 안료 분산액 (Y138, 제조사: ENF)(C-2) yellow pigment dispersion (Y138, manufacturer: ENF)

(D) 용매(D) solvent

(D-1) 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 (PGMEA, 제조사: Sigma-Aldrich)(D-1) Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA, manufacturer: Sigma-Aldrich)

(F) 첨가제(F) additives

(F-1) 불소계 계면활성제 (F-554, 제조사: DIC (10% 희석액 사용))(F-1) Fluorine-based surfactant (F-554, manufacturer: DIC (using 10% diluted solution))

(F-2) 실란계 커플링제 (S-510, 제조사: CHISSO)(F-2) Silane-based coupling agent (S-510, manufacturer: CHISSO)

(평가)(evaluation)

평가예 1: 잔막율 평가Evaluation Example 1: Evaluation of residual film rate

실시예 1 내지 5 및 비교예 1 내지 3에 따른 감광성 수지 조성물을 유리 기판 위에 스핀 코팅기(Mikasa社, Opticoat MS-A150)를 사용하여 각각 3 ㎛ 두께로 코팅한 후, 열판(hot-plate)을 이용하여 80℃에서 120초 동안 소프트-베이킹(soft-baking)을 하고, 노광기(Ushio社, ghi broadband)를 이용하여 60mJ의 출력(power)으로 노광하였다. 이어서 현상기(SVS社, SSP-200)를 사용하여 0.2 중량%의 수산화 칼륨(KOH) 수용액으로 현상하였다. 이 후, convection oven에서 150 ℃로 30 분 동안 하드-베이킹(Hard-baking)을 진행하고, 다시 200 ℃로 30 분 동안 추가 경화하였다. The “photosensitive” resin compositions according to Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3 were coated on a glass substrate to a thickness of 3 μm using a spin coater (Mikasa, Opticoat MS-A150), respectively, and then a hot-plate was applied. Soft-baking was performed at 80° C. for 120 seconds, and exposure was performed with a power of 60 mJ using an exposure machine (Ushio Co., ghi broadband). Subsequently, it was developed with a 0.2% by weight potassium hydroxide (KOH) aqueous solution using a developing machine (SVS, SSP-200). Thereafter, hard-baking was performed in a convection oven at 150° C. for 30 minutes, and additional curing was performed at 200° C. for 30 minutes.

Tencor 社의 profiler 장비를 이용하여, 상기 코팅 직후의 패턴 높이(Ha) 및 상기 추가 공정까지 완료한 후의 패턴 높이(Hb)를 각각 측정하였다. 상기 각 측정값을 하기 수학식 1에 대입하여 잔막율을 계산하고, 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다.Using Tencor's profiler equipment, the pattern height (H a ) immediately after the coating and the pattern height (H b ) after completing the additional process were measured, respectively. The remaining film rate was calculated by substituting each of the measured values into Equation 1 below, and the results are shown in Table 3 below.

[수학식 1][Equation 1]

잔막율(%) = 100(%)*Hb/Ha Remaining film rate (%) = 100 (%)*H b /H a

상기 수학식 1에서,In Equation 1 above,

Ha는 상기 코팅 직후의 패턴 높이이고,H a is the pattern height immediately after the coating,

Hb는 상기 추가 공정까지 완료한 후의 패턴 높이이다.H b is the pattern height after completion of the above additional steps.

잔막율remaining film rate 실시예 1Example 1 73 %73% 실시예 2Example 2 74.5 %74.5% 실시예 3Example 3 76.3 %76.3% 실시예 4Example 4 78.1%78.1% 실시예 5Example 5 79 %79% 비교예 1Comparative Example 1 80 %80% 비교예 2Comparative Example 2 66 %66% 비교예 3Comparative Example 3 69 %69%

상기 표 3에 따르면, 광중합성 화합물로서 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 단독 사용한 비교예 2는, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물을 단독 사용한 비교예 1에 대비하여 잔막율이 현저히 감소된 것을 알 수 있다.According to Table 3, Comparative Example 2 using only the tetrafunctional compound represented by Formula 1 as the photopolymerizable compound had a significantly reduced film remaining rate compared to Comparative Example 1 using only the hexafunctional compound as the photopolymerizable compound. it can be seen that

또한, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물과 함께 상기 화학식 1로 표시되지 않는 4관능성 화합물을 사용한 비교예 3은, 비교예 2보다는 잔막율이 일부 개선되었으나, 비교예 1보다는 현저히 낮은 수준의 잔막율을 보였다.In addition, Comparative Example 3 using a tetrafunctional compound not represented by Formula 1 together with a hexafunctional compound as a photopolymerizable compound had a partially improved film remaining rate compared to Comparative Example 2, but significantly lower residue than Comparative Example 1. showed a deadlock.

그에 반면, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물과 함께 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 사용한 실시예 1 내지 5는, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물을 단독 사용한 비교예 1에 근접한 수준의 잔막율을 보였다.On the other hand, Examples 1 to 5 using the tetrafunctional compound represented by Formula 1 together with the hexafunctional compound as the photopolymerizable compound have levels close to those of Comparative Example 1 using the hexafunctional compound alone as the photopolymerizable compound. showed residual rates.

이를 통해, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물과 함께 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 사용하면, 잔막율 감소를 억제할 수 있음을 알 수 있다.From this, it can be seen that when the tetrafunctional compound represented by Chemical Formula 1 is used together with the hexafunctional compound as the photopolymerizable compound, the decrease in film remaining rate can be suppressed.

평가예 2: 패턴 잔사 평가Evaluation Example 2: Pattern Residue Evaluation

실시예 1 내지 6 및 비교예 1 내지 3에 따른 감광성 수지 조성물을 유리 기판 위에 스핀 코팅기(Mikasa社, Opticoat MS-A150)를 사용하여 각각 3 ㎛ 두께로 코팅한 후, 열판(hot-plate)을 이용하여 80 ℃에서 120 초 동안 소프트-베이킹(soft-baking)을 하고, 노광기(Ushio社, ghi broadband)를 이용하여 60 mJ의 출력(power)으로 노광하였다. 이어서 현상기(SVS社, SSP-200)를 사용하여 0.2 중량%의 수산화 칼륨(KOH) 수용액으로 현상하였다. 이 후, convection oven에서 각각 100 ℃로 30 분 동안 하드-베이킹(Hard-baking)을 진행하고, 다시 200 ℃로 30 분 동안 추가 경화하였다. 상기 코팅, 노광, 현상, 하드-베이킹 및 추가 경화 후, CD-SEM 장비를 통해 0.8 ㎛ pattern CD를 계측하여, 하기 기준에 따라 주변 잔사가 개선되었는지 확인하였다.The “photosensitive” resin compositions according to Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 3 were coated on a glass substrate to a thickness of 3 μm using a spin coater (Mikasa, Opticoat MS-A150), respectively, and then a hot-plate was applied. Soft-baking was performed at 80° C. for 120 seconds, and exposure was performed with a power of 60 mJ using an exposure machine (Ushio Co., ghi broadband). Subsequently, it was developed with a 0.2% by weight potassium hydroxide (KOH) aqueous solution using a developing machine (SVS, SSP-200). Thereafter, hard-baking was performed in a convection oven at 100 ° C. for 30 minutes, and additional curing was performed at 200 ° C. for 30 minutes. After the coating, exposure, development, hard-baking, and additional curing, a 0.8 μm pattern CD was measured using a CD-SEM device to determine whether the surrounding residues were improved according to the following criteria.

잔사 특성 평가 기준Residue characterization criteria

◎: 패턴 및 주변 바닥 잔사 매우 양호◎: Pattern and surrounding floor residue very good

○: 패턴 잔사 양호 수준○: pattern residue good level

△: 패턴 잔사 중△: Among pattern residues

X: 패턴 잔사 열세 수준X: pattern residue thirteen levels

또한, 대표적으로 실시예 1 내지 2 및 비교예 1 내지 2의 0.8 ㎛ pattern CD 측정 결과는 도 1 내지 4에 나타내었다. 구체적으로, 도 1는 실시예 1에 관한 것이고, 도 2는 실시예 2에 관한 것이고, 도 3은 비교예 1에 관한 것이고, 도 4는 비교예 2에 관한 것이다.In addition, representatively the 0.8 μm pattern CD measurement results of Examples 1 to 2 and Comparative Examples 1 to 2 are shown in FIGS. 1 to 4 . Specifically, FIG. 1 relates to Example 1, FIG. 2 relates to Example 2, FIG. 3 relates to Comparative Example 1, and FIG. 4 relates to Comparative Example 2.

잔사residue 실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 실시예 4Example 4 실시예 5Example 5 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 XX 비교예 3Comparative Example 3

상기 표 4에 따르면, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물을 단독 사용한 비교예 1은, 광중합성 화합물로서 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 단독 사용한 비교예 2에 대비하여 패턴 잔사가 현저히 열세한 것을 알 수 있다.According to Table 4, Comparative Example 1 using only the hexafunctional compound as the photopolymerizable compound had significantly inferior pattern residues compared to Comparative Example 2 using only the tetrafunctional compound represented by Formula 1 as the photopolymerizable compound. you can see what it did

또한, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물과 함께 상기 화학식 1로 표시되지 않는 4관능성 화합물을 사용한 비교예 3은, 비교예 1보다는 패턴 잔사가 일부 개선되었으나, 비교예 2보다는 현저히 열세한 수준의 패턴 잔사를 보였다.In addition, in Comparative Example 3 using a tetrafunctional compound not represented by Formula 1 together with a hexafunctional compound as a photopolymerizable compound, pattern residues were partially improved compared to Comparative Example 1, but significantly inferior to Comparative Example 2. showed pattern residue.

그에 반면, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물과 함께 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 사용한 실시예 1 내지 5는, 광중합성 화합물로서 4관능성 화합물을 단독 사용한 비교예 2에 근접한 수준으로 양호한 패턴 잔사를 보였다.On the other hand, Examples 1 to 5 using the tetrafunctional compound represented by Formula 1 together with the hexafunctional compound as the photopolymerizable compound have a level close to that of Comparative Example 2 using the tetrafunctional compound alone as the photopolymerizable compound. It showed a good pattern residue.

이를 통해, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물과 함께 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 사용하면, 패턴 잔사를 최소화할 수 있음을 알 수 있다.From this, it can be seen that pattern residues can be minimized by using the tetrafunctional compound represented by Chemical Formula 1 together with the hexafunctional compound as a photopolymerizable compound.

상기 표 2 및 표 3을 종합하여 보면, 잔막율 감소를 억제하는 것과 패턴 잔사 최소화하는 것은 트레이드-오프(trade-off) 관계에 있는데, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물과 함께 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 사용하면 잔막율 감소를 억제하는 것과 패턴 잔사 최소화하는 것의 균형을 이룰 수 있다.Taking Tables 2 and 3 together, suppressing the remaining film rate reduction and minimizing pattern residues are in a trade-off relationship, represented by Formula 1 together with a hexafunctional compound as a photopolymerizable compound. If a tetrafunctional compound is used, it is possible to strike a balance between suppressing the remaining film rate decrease and minimizing pattern residues.

특히, 광중합성 화합물로서 6관능성 화합물과 함께 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물을 사용하면서, 상기 화학식 1로 표시되는 4관능성 화합물의 함량을 증가시킬수록, 패턴 잔사를 최소화하는 데 유리하다.In particular, while using the tetrafunctional compound represented by Formula 1 together with the hexafunctional compound as a photopolymerizable compound, increasing the content of the tetrafunctional compound represented by Formula 1 is advantageous in minimizing pattern residue. do.

이상 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and it is possible to carry out various modifications within the scope of the claims and detailed description of the invention and the accompanying drawings, and this also It goes without saying that it falls within the scope of the invention.

Claims (19)

(A) 광중합성 화합물;
(B) 광중합 개시제;
(C) 착색제; 및
(D) 용매
를 포함하고,
상기 광중합성 화합물은 4관능성 화합물 및 6관능성 화합물을 포함하고,
상기 4관능성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물인 감광성 수지 조성물:
[화학식 1]
Figure pat00040

상기 화학식 1에서,
X1은 O 또는 S이고;
L1 및 L2는 각각 독립적으로, 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌이고;
R1 내지 R4는 각각 독립적으로, 하기 화학식 2로 표시되고;
[화학식 2]
Figure pat00041

상기 화학식 2에서,
L3 및 L4는 각각 독립적으로, 단일결합, 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌 또는 *-O(CH2)2-*이고;
R5는 수소 원자 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C10 알킬기이다.
(A) a photopolymerizable compound;
(B) a photopolymerization initiator;
(C) a colorant; and
(D) solvent
including,
The photopolymerizable compound includes a tetrafunctional compound and a hexafunctional compound,
The photosensitive resin composition wherein the tetrafunctional compound is a compound represented by Formula 1 below:
[Formula 1]
Figure pat00040

In Formula 1,
X 1 is O or S;
L 1 and L 2 are each independently a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms;
R 1 to R 4 are each independently represented by Formula 2 below;
[Formula 2]
Figure pat00041

In Formula 2,
L 3 and L 4 are each independently a single bond, substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms or *-O(CH 2 ) 2 -*;
R 5 is a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted C1 to C10 alkyl group.
제1항에 있어서,
상기 R1 내지 R4은 각각 독립적으로, 하기 화학식 2-1 내지 2-4 중 어느 하나로 표시되는 치환기인 감광성 수지 조성물:
[화학식 2-1]
Figure pat00042

[화학식 2-2]
Figure pat00043

[화학식 2-3]
Figure pat00044

[화학식 2-4]
Figure pat00045
.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition wherein R 1 to R 4 are each independently a substituent represented by any one of Formulas 2-1 to 2-4:
[Formula 2-1]
Figure pat00042

[Formula 2-2]
Figure pat00043

[Formula 2-3]
Figure pat00044

[Formula 2-4]
Figure pat00045
.
제2항에 있어서,
상기 R1 및 R3은 상기 화학식 2-1 또는 2-2로 표시되는 치환기인 감광성 수지 조성물.
According to claim 2,
The photosensitive resin composition wherein R 1 and R 3 are substituents represented by Formula 2-1 or 2-2.
제2항에 있어서,
상기 R2 및 R4는 상기 화학식 2-3 또는 2-4로 표시되는 치환기인 감광성 수지 조성물.
According to claim 2,
The photosensitive resin composition wherein R 2 and R 4 are substituents represented by Formula 2-3 or 2-4.
제1항에 있어서,
상기 4관능성 화합물은 하기로 구성되는 군 중에서 선택되는 어느 하나인 감광성 수지 조성물:
[화학식 1-1]
Figure pat00046

[화학식 1-2]
Figure pat00047

[화학식 1-3]
Figure pat00048

[화학식 1-4]
Figure pat00049
.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition wherein the tetrafunctional compound is any one selected from the group consisting of:
[Formula 1-1]
Figure pat00046

[Formula 1-2]
Figure pat00047

[Formula 1-3]
Figure pat00048

[Formula 1-4]
Figure pat00049
.
제1항에 있어서,
상기 6관능성 화합물은 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물인 감광성 수지 조성물:
[화학식 3]
Figure pat00050

상기 화학식 3에서,
X2는 O 또는 S이고;
L5 및 L6은 각각 독립적으로, 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌이고;
R7 내지 R11은 각각 독립적으로, 하기 화학식 4로 표시되고;
[화학식 4]
Figure pat00051

상기 화학식 4에서,
L7은 단일결합 또는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬렌이고;
R12는 수소 원자 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C10 알킬기이다.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition wherein the hexafunctional compound is a compound represented by Formula 3 below:
[Formula 3]
Figure pat00050

In Formula 3,
X 2 is O or S;
L 5 and L 6 are each independently a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms;
R 7 to R 11 are each independently represented by Formula 4 below;
[Formula 4]
Figure pat00051

In Formula 4,
L 7 is a single bond or a substituted or unsubstituted alkylene having 1 to 10 carbon atoms;
R 12 is a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted C1 to C10 alkyl group.
제6항에 있어서,
상기 R7 내지 R11은 각각 독립적으로, 하기 화학식 4-1 또는 4-2로 표시되는 치환기인 감광성 수지 조성물:
[화학식 4-1]
Figure pat00052

[화학식 4-2]
Figure pat00053
.
According to claim 6,
The photosensitive resin composition wherein R 7 to R 11 are each independently a substituent represented by Formula 4-1 or 4-2:
[Formula 4-1]
Figure pat00052

[Formula 4-2]
Figure pat00053
.
제6항에 있어서,
상기 6관능성 화합물은 하기로 구성되는 군 중에서 선택되는 어느 하나인 감광성 수지 조성물:
[화학식 3-1]
Figure pat00054

[화학식 3-2]
Figure pat00055

[화학식 3-3]
Figure pat00056

[화학식 3-4]
Figure pat00057
.
According to claim 6,
The photosensitive resin composition wherein the hexafunctional compound is any one selected from the group consisting of:
[Formula 3-1]
Figure pat00054

[Formula 3-2]
Figure pat00055

[Formula 3-3]
Figure pat00056

[Formula 3-4]
Figure pat00057
.
제1항에 있어서,
상기 4관능성 화합물 및 상기 6관능성 화합물의 중량비는 5:5 내지 3:7인 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
A weight ratio of the tetrafunctional compound and the hexafunctional compound is 5:5 to 3:7 photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물 총량 중 상기 4관능성 화합물의 함량은 0.1 중량% 내지 2 중량%인 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition wherein the content of the tetrafunctional compound in the total amount of the photosensitive resin composition is 0.1% by weight to 2% by weight.
제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물 총량 중 상기 6관능성 화합물의 함량은 0.5 중량% 내지 4 중량%인 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition wherein the content of the hexafunctional compound in the total amount of the photosensitive resin composition is 0.5% to 4% by weight.
제1항에 있어서,
상기 착색제는 안료를 포함하는 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The colorant is a photosensitive resin composition containing a pigment.
제12항에 있어서,
상기 안료는 황색 안료, 녹색 안료, 또는 이들의 혼합물을 포함하는 감광성 수지 조성물.
According to claim 12,
The pigment is a photosensitive resin composition comprising a yellow pigment, a green pigment, or a mixture thereof.
제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물은, 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대해,
상기 (A) 광중합성 화합물 0.1 중량% 내지 5 중량%;
상기 (B) 광중합 개시제 0.1 중량% 내지 5 중량%;
상기 (C) 착색제 15 중량% 내지 95 중량%; 및
상기 (D) 용매 잔부량
을 포함하는 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition, relative to the total amount of the photosensitive resin composition,
0.1% to 5% by weight of the (A) photopolymerizable compound;
0.1% to 5% by weight of the (B) photopolymerization initiator;
15% to 95% by weight of the (C) colorant; and
The remaining amount of the above (D) solvent
Photosensitive resin composition comprising a.
제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물은 말론산; 3-아미노-1,2-프로판디올; 비닐기 또는 (메타)아크릴옥시기를 포함하는 커플링제; 레벨링제; 불소계 계면활성제; 및 라디칼 중합 개시제로부터 선택되는 적어도 하나의 첨가제를 더 포함하는 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition may include malonic acid; 3-amino-1,2-propanediol; A coupling agent containing a vinyl group or a (meth)acryloxy group; leveling agent; fluorine-based surfactants; And a photosensitive resin composition further comprising at least one additive selected from a radical polymerization initiator.
제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물은 CMOS 이미지 센서용인 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition is a photosensitive resin composition for a CMOS image sensor.
제1항의 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 감광성 수지막.
A photosensitive resin film prepared using the photosensitive resin composition of claim 1.
제17항의 감광성 수지막을 포함하는 컬러 필터.
A color filter comprising the photosensitive resin film of claim 17 .
제18항의 컬러 필터를 포함하는 CMOS 이미지 센서.A CMOS image sensor comprising the color filter of claim 18 .
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