KR20230123877A - Horizontal articulated robot - Google Patents

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KR20230123877A
KR20230123877A KR1020230011435A KR20230011435A KR20230123877A KR 20230123877 A KR20230123877 A KR 20230123877A KR 1020230011435 A KR1020230011435 A KR 1020230011435A KR 20230011435 A KR20230011435 A KR 20230011435A KR 20230123877 A KR20230123877 A KR 20230123877A
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KR1020230011435A
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Inventor
다모츠 구리바야시
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니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤
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Abstract

암이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 수평 다관절 로봇의 높이를 바꾸지 않고, 암의 승강량을 증가시키는 것이 가능하면서도, 수평 방향에 있어서 소형화하는 것이 가능한 수평 다관절 로봇을 제공한다. 수평 다관절 로봇(1)에서는, 본체부(13)에 대한 제1 암부(15)의 회동 중심인 제1 회동 중심과 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심인 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리인 제1 거리가, 제2 암부(16)에 대한 제3 암부(17)의 회동 중심인 제3 회동 중심과 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리인 제2 거리보다도 짧게 되어 있다. 또한, 수평 다관절 로봇(1)에서는, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 암 승강 기구(20)의 상단부는, 제1 암부(15)의 기단부의 측방에 배치되어 있다.A horizontal articulated robot capable of increasing the amount of elevation of an arm without changing the height of the horizontal articulated robot when the arm is lowered to a lower limit position, and capable of being downsized in the horizontal direction. In the horizontal articulated robot 1, the first rotation center, which is the rotation center of the first arm unit 15 with respect to the main body unit 13, and the rotation center of the second arm unit 16 with respect to the first arm unit 15, the second rotation center The first distance, which is the distance in the horizontal direction of the two rotation centers, is the second distance, which is the distance in the horizontal direction between the third rotation center, which is the rotation center of the third arm portion 17 with respect to the second arm portion 16, and the second rotation center. is shorter than In the horizontal articulated robot 1, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the upper end of the arm lifting mechanism 20 is disposed on the side of the proximal end of the first arm 15.

Description

수평 다관절 로봇{HORIZONTAL ARTICULATED ROBOT}Horizontal articulated robot {HORIZONTAL ARTICULATED ROBOT}

본 발명은, 수평 방향으로 암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a horizontal articulated robot whose arm moves in a horizontal direction.

종래, 반도체 웨이퍼를 반송하기 위한 수평 다관절 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇은, 반도체 제조 시스템에 내장되어 사용된다. 반도체 제조 시스템은, EFEM(Equipment Front End Module)을 구비하고 있고, 수평 다관절 로봇은, EFEM의 일부를 구성하고 있다. EFEM은, 수평 다관절 로봇이 수용되는 하우징을 구비하고 있다. Conventionally, a horizontal multi-joint robot for conveying semiconductor wafers is known (for example, see Patent Document 1). The horizontal multi-joint robot described in Patent Literature 1 is incorporated and used in a semiconductor manufacturing system. A semiconductor manufacturing system includes an Equipment Front End Module (EFEM), and a horizontal articulated robot constitutes a part of the EFEM. EFEM has a housing in which a horizontal articulated robot is accommodated.

특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇은, 반도체 웨이퍼가 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 암은, 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 제1 암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부와, 제2 암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제3 암부를 구비하고 있다. 제3 암부의 선단측에는, 핸드가 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 암부는, 본체부보다도 상측에 배치되고, 제2 암부는, 제1 암부보다도 상측에 배치되고, 제3 암부는, 제2 암부보다도 상측에 배치되고, 핸드는, 제3 암부보다도 상측에 배치되어 있다.The horizontal articulated robot described in Patent Literature 1 includes a hand on which a semiconductor wafer is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to the distal end, and a main body to which the proximal end of the arm is rotatably connected. The arm includes a first arm portion to which the proximal end side is rotatably connected to the main body, a second arm portion to which the proximal end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion, and the proximal end side to the distal end side of the second arm portion to rotate. It is provided with a third arm part which is connected possibly. A hand is rotatably connected to the tip side of the third arm portion. The first arm is disposed above the main body, the second arm is disposed above the first arm, the third arm is disposed above the second, and the hand is above the third arm. are placed

또한, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇은, 암을 승강시키는 암 승강 기구를 구비하고 있다. 암 승강 기구는, 볼 나사, 및 볼 나사의 나사축을 회전시키는 모터 등을 갖는 구동 기구와, 가이드 레일, 및 가이드 레일에 걸림 결합하는 가이드 블록 등을 갖는 가이드 기구를 구비하고 있다. 암 승강 기구는, 본체부의 내부에 수용되어 있으며, 제1 암부보다 하측에 배치되어 있다. 즉, 암 승강 기구의 일부를 구성하는 볼 나사 및 가이드 레일은, 제1 암부보다 하측에 배치되어 있다.In addition, the horizontal articulated robot described in Patent Literature 1 is equipped with an arm lifting mechanism for raising and lowering the arm. The arm lifting mechanism includes a drive mechanism including a ball screw and a motor for rotating a screw shaft of the ball screw, a guide mechanism including a guide rail, and a guide block engaged with the guide rail. The arm elevating mechanism is accommodated inside the body portion and is disposed below the first arm portion. That is, the ball screws and guide rails constituting a part of the arm lifting mechanism are disposed below the first arm portion.

일본 특허 공개 제2015-36186호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-36186

특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇에 있어서, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 수평 다관절 로봇의 높이를 바꾸지 않고, 암의 승강량을 증가시킬 수 있으면, 수평 다관절 로봇을 다양한 반도체 제조 시스템에서 사용하는 것이 가능해져서, 수평 다관절 로봇의 범용성을 높이는 것이 가능하게 되기 때문에, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇은, 이와 같이 되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 반도체 제조 시스템에 있어서 하우징 내에 설치되는 수평 다관절 로봇은, 수평 방향에 있어서 소형인 것이 바람직하다.In the horizontal articulated robot described in Patent Document 1, if the lifting amount of the arm can be increased without changing the height of the horizontal articulated robot when the arm is lowered to the lower limit position, the horizontal articulated robot can be manufactured by various semiconductor manufacturers. The horizontal articulated robot described in Patent Literature 1 is preferably configured in such a way because it can be used in a system and the versatility of the horizontal articulated robot can be improved. In addition, it is preferable that the horizontal multi-joint robot installed in the housing in the semiconductor manufacturing system is small in the horizontal direction.

이에, 본 발명의 과제는, 수평 방향으로 암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 있어서, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 수평 다관절 로봇의 높이를 바꾸지 않고, 암의 승강량을 증가시키는 것이 가능하면서도, 수평 방향에 있어서 소형화하는 것이 가능한 수평 다관절 로봇을 제공하는 데 있다.Therefore, an object of the present invention is to increase the lifting amount of the arm without changing the height of the horizontal articulated robot when the arm is lowered to the lower limit position in the horizontal articulated robot whose arm moves in the horizontal direction. It is an object of the present invention to provide a horizontal articulated robot capable of miniaturization in the horizontal direction while being possible.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 수평 다관절 로봇은, 수평 방향으로 암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 있어서, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 암을 승강시키는 암 승강 기구를 구비하고, 암은, 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 제1 암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 구비하고, 본체부의 상면측에, 제1 암부의 하면측이 연결되고, 제1 암부의 상면측에, 제2 암부의 하면측이 연결되고, 제2 암부의 선단측에는, 암의 일부를 구성하는 제3 암부의 기단측 또는 핸드의 기단측이 회동 가능하게 연결되고, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 중심인 제1 회동 중심과 제1 암부에 대한 제2 암부의 회동 중심인 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리인 제1 거리는, 제2 암부에 연결되는 제3 암부 또는 핸드의 제2 암부에 대한 회동 중심인 제3 회동 중심과 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리인 제2 거리보다도 짧게 되어 있으며, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 암 승강 기구의 상단부는, 제1 암부의 기단부의 측방에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the horizontal articulated robot of the present invention is a horizontal articulated robot whose arm operates in the horizontal direction, a hand on which a conveyance object is mounted, an arm in which the hand is rotatably connected to the front end side, , a body portion to which the proximal end side of the arm is rotatably connected, and an arm lifting mechanism for lifting and lowering the arm, wherein the arm includes a first arm portion to which the proximal end side of the arm is rotatably connected to the main body portion, and a front end of the first arm portion. The base end side is provided with a second arm portion rotatably connected to the side, the lower surface side of the first arm portion is connected to the upper surface side of the main body portion, and the lower surface side of the second arm portion is connected to the upper surface side of the first arm portion. , The proximal end of the third arm constituting a part of the arm or the proximal end of the hand is rotatably connected to the tip side of the second arm, and the first rotation center, which is the rotation center of the first arm with respect to the main body, and the first The first distance, which is the distance in the horizontal direction of the second rotation center, which is the rotation center of the second arm unit with respect to the arm unit, is the third rotation center connected to the second arm unit or the third rotation center, which is the rotation center of the second arm unit of the hand. It is shorter than the second distance, which is the distance in the horizontal direction of the center of rotation, and when the arm is lowered to the lower limit position, the upper end of the arm lifting mechanism is disposed on the side of the proximal end of the first arm.

본 발명의 수평 다관절 로봇에서는, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 암 승강 기구의 상단부는, 제1 암부의 기단부의 측방에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 발명에서는, 암 승강 기구의 전체가 제1 암부보다도 하측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 수평 다관절 로봇의 높이를 바꾸지 않고, 암 승강 기구의 높이를 높게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 수평 다관절 로봇의 높이를 바꾸지 않고, 암의 승강량을 증가시키는 것이 가능해진다.In the horizontal articulated robot of the present invention, when the arm is lowered to the lower limit position, the upper end of the arm lifting mechanism is disposed on the side of the proximal end of the first arm. Therefore, in the present invention, compared to the case where the entire arm lifting mechanism is arranged lower than the first arm portion, the height of the horizontal articulated robot when the arm is lowered to the lower limit position is not changed, and the arm lifting mechanism It becomes possible to increase the height of Therefore, in the present invention, it becomes possible to increase the amount of elevation of the arm without changing the height of the horizontal articulated robot when the arm is descended to the lower limit position.

또한, 본 발명에서는, 본체부에 대한 제1 암부의 회동 중심인 제1 회동 중심과 제1 암부에 대한 제2 암부의 회동 중심인 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리인 제1 거리가, 제2 암부에 연결되는 제3 암부 또는 핸드의 제2 암부에 대한 회동 중심인 제3 회동 중심과 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리인 제2 거리보다도 짧게 되어 있기 때문에, 제1 암부의 길이를 짧게 하는 것이 가능해진다.Further, in the present invention, the first distance, which is the distance in the horizontal direction between the first rotation center, which is the rotation center of the first arm unit with respect to the main body, and the second rotation center, which is the rotation center of the second arm unit with respect to the first arm unit, Since it is shorter than the second distance, which is the distance in the horizontal direction between the third arm portion connected to the second arm portion or the second arm portion of the hand, which is the rotation center of the third rotation center and the second rotation center, the length of the first arm portion is shortened. it becomes possible to do

따라서, 본 발명에서는, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때에 제1 암부의 기단부의 측방에 암 승강 기구의 상단부가 배치되어 있어도, 길이가 짧은 제1 암부의 측방에 암 승강 기구의 상단부를 배치하는 것이 가능해지고, 그 결과, 수평 방향에 있어서 수평 다관절 로봇을 소형화하는 것이 가능해진다. 즉, 본 발명에서는, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 수평 다관절 로봇의 높이를 바꾸지 않고, 암의 승강량을 증가시키는 것이 가능하면서도, 수평 방향에 있어서 수평 다관절 로봇을 소형화하는 것이 가능해진다.Therefore, in the present invention, even if the upper end of the arm lifting mechanism is disposed on the side of the proximal end of the first arm when the arm is lowered to the lower limit position, the upper end of the arm lifting mechanism is disposed on the side of the shorter first arm. As a result, it becomes possible to downsize the horizontal articulated robot in the horizontal direction. That is, in the present invention, it is possible to increase the lifting amount of the arm without changing the height of the horizontal articulated robot when the arm is lowered to the lower limit position, and it is possible to downsize the horizontal articulated robot in the horizontal direction. It happens.

본 발명에 있어서, 예를 들어 암 승강 기구는, 암을 승강시키기 위한 볼 나사와, 암을 상하 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일을 구비하고, 볼 나사의 나사축은, 나사축의 축방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고, 가이드 레일은, 가이드 레일의 긴 변 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 나사축 및 가이드 레일의 상단부는, 제1 암부의 기단부의 측방에 배치되어 있다.In the present invention, for example, the arm lifting mechanism includes a ball screw for raising and lowering the arm and a guide rail for guiding the arm in the vertical direction, and the screw shaft of the ball screw has an axial direction and a vertical direction of the screw shaft. The guide rail is arranged so that the long side direction of the guide rail and the vertical direction coincide with each other, and when the arm is lowered to the lower limit position, the screw shaft and the upper end of the guide rail are lateral to the proximal end of the first arm. is placed on

본 발명에 있어서, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 암 승강 기구의 상단은, 제2 암부의 하단보다도 하측에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제2 암부와 암 승강 기구의 간섭을 방지하기 위한 절결부 등이 제2 암부에 형성되어 있지 않아도, 제2 암부가 회동했을 때의, 제2 암부와 암 승강 기구의 간섭을 방지하는 것이 가능해진다.In the present invention, when the arm is lowered to the lower limit position, it is preferable that the upper end of the arm lifting mechanism is disposed below the lower end of the second arm portion. With this configuration, even if the cutout or the like for preventing interference between the second arm and the arm lifting mechanism is not formed in the second arm, interference between the second arm and the arm lifting mechanism when the second arm rotates is prevented. it becomes possible to prevent

본 발명에 있어서, 예를 들어 제1 암부 및 제2 암부가 서로 겹쳐 있는 상태에서 본체부에 대하여 소정의 기준 위치에 배치되어 있을 때의 제1 암부 및 제2 암부의 긴 변 방향을 암부 긴 변 방향이라 하고, 암부 긴 변 방향의 일방측을 제1 방향측이라 하고, 제1 방향측의 반대측을 제2 방향측이라 하면, 제1 암부 및 제2 암부가 서로 겹쳐 있는 상태에서 본체부에 대하여 기준 위치에 배치됨과 함께 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 제1 암부의 기단부는, 제1 암부의 제1 방향측의 단부로 되어 있어, 암 승강 기구의 상단부의 제2 방향측에 배치되고, 제2 암부의 선단부는, 제2 암부의 제1 방향측의 단부로 되어 있어, 암 승강 기구의 상측에 배치되어 있다. 이 경우에는, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 수평 다관절 로봇의 높이를 바꾸지 않고, 암의 승강량을 증가시키는 것이 가능하면서도, 암부 긴 변 방향에 있어서 수평 다관절 로봇을 소형화하는 것이 가능해진다.In the present invention, for example, the long side direction of the first arm and the second arm when the first arm and the second arm are disposed at a predetermined reference position with respect to the main body in a state where the first arm and the second arm overlap each other are defined as the long side of the arm. Assuming that one side in the direction of the long side of the arm part is the first direction side, and the opposite side to the first direction side is the second direction side, the first arm part and the second arm part overlap each other with respect to the main body. While being arranged at the reference position, when the arm is lowered to the lower limit position, the proximal end of the first arm portion is the end portion on the first direction side of the first arm portion, and is disposed on the second direction side of the upper end of the arm lifting mechanism. , The distal end of the second arm portion is an end portion on the first direction side of the second arm portion, and is disposed above the arm lifting mechanism. In this case, it is possible to increase the lifting amount of the arm without changing the height of the horizontal articulated robot when the arm is lowered to the lower limit position, and it is possible to downsize the horizontal articulated robot in the long side direction of the arm. It happens.

본 발명에 있어서, 승강 기구는, 본체부의 내부에 수용되고, 제1 암부 및 제2 암부가 서로 겹쳐 있는 상태에서 본체부에 대하여 기준 위치에 배치되어 있을 때의 제2 암부의 제1 방향측 단부는, 암부 긴 변 방향에 있어서, 본체부의 제1 방향측 단부와 동일한 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 수평 다관절 로봇의 높이를 바꾸지 않고, 암의 승강량을 증가시키는 것이 가능하면서도, 암부 긴 변 방향에 있어서 수평 다관절 로봇을 보다 소형화하는 것이 가능해진다.In the present invention, the elevating mechanism is accommodated inside the body portion, and the first direction side end of the second arm portion when the first arm portion and the second arm portion overlap each other and is disposed at a reference position with respect to the body portion. is preferably disposed at the same position as the first direction side end of the main body in the long side direction of the arm. With this configuration, it is possible to increase the lifting amount of the arm without changing the height of the horizontal articulated robot when the arm is lowered to the lower limit position, while further miniaturizing the horizontal articulated robot in the long side direction of the arm. it becomes possible

본 발명에 있어서, 예를 들어 제2 암부의 선단측에는, 제3 암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되고, 제3 암부의 선단측에는, 핸드의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다.In the present invention, for example, the proximal end of the third arm is rotatably connected to the distal end of the second arm, and the proximal end of the hand is rotatably connected to the distal end of the third arm.

본 발명에 있어서, 수평 다관절 로봇은, 본체부에 대하여 제1 암부를 회동시키는 제1 암부 구동 기구와, 제1 암부에 대하여 제2 암부를 회동시키는 제2 암부 구동 기구와, 제2 암부에 대하여 제3 암부를 회동시키는 제3 암부 구동 기구와, 제3 암부에 대하여 핸드를 회동시키는 핸드 구동 기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 수평 다관절 로봇의 동작의 자유도를 높이는 것이 가능해진다.In the present invention, the horizontal articulated robot includes a first arm driving mechanism for rotating the first arm with respect to the main body, a second arm driving mechanism for rotating the second arm with respect to the first arm, and a second arm for rotating the arm. It is preferable to provide a third arm drive mechanism for rotating the third arm portion relative to the arm portion, and a hand drive mechanism for rotating the hand relative to the third arm portion. With this configuration, it is possible to increase the degree of freedom of motion of the horizontal articulated robot.

이상과 같이, 본 발명에서는, 수평 방향으로 암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 있어서, 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 수평 다관절 로봇의 높이를 바꾸지 않고, 암의 승강량을 증가시키는 것이 가능하면서도, 수평 방향에 있어서 수평 다관절 로봇을 소형화하는 것이 가능해진다.As described above, in the present invention, in the horizontal articulated robot whose arm moves in the horizontal direction, it is preferable to increase the lifting amount of the arm without changing the height of the horizontal articulated robot when the arm is lowered to the lower limit position. While possible, it becomes possible to miniaturize the horizontal articulated robot in the horizontal direction.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 수평 다관절 로봇의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시한 수평 다관절 로봇의 다른 상태의 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 수평 다관절 로봇의 측면도이다.
도 4는 도 3에 도시한 수평 다관절 로봇의, 암이 상승해 있는 상태의 측면도이다.
도 5는 도 2에 도시한 수평 다관절 로봇의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 6은 도 3의 E-E 방향에서 암 승강 기구의 구성을 설명하기 위한 도면이다.1 is a plan view for explaining the configuration of a horizontal articulated robot according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a plan view of another state of the horizontal articulated robot shown in Fig. 1;
Fig. 3 is a side view of the horizontal articulated robot shown in Fig. 2;
FIG. 4 is a side view of the horizontal articulated robot shown in FIG. 3 in a state in which an arm is raised.
FIG. 5 is a block diagram for explaining the configuration of the horizontal articulated robot shown in FIG. 2;
FIG. 6 is a view for explaining the configuration of an arm lifting mechanism in the EE direction of FIG. 3 .

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

(수평 다관절 로봇의 구성)(Configuration of horizontal articulated robot)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 수평 다관절 로봇(1)의 구성을 설명하기 위한 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시한 수평 다관절 로봇(1)의 다른 상태의 평면도이다. 도 3은, 도 2에 도시한 수평 다관절 로봇(1)의 측면도이다. 도 4는, 도 3에 도시한 수평 다관절 로봇(1)의, 암(12)이 상승해 있는 상태의 측면도이다. 도 5는, 도 2에 도시한 수평 다관절 로봇(1)의 구성을 설명하기 위한 블록도이다. 도 6은, 도 3의 E-E 방향에서 암 승강 기구(20)의 구성을 설명하기 위한 도면이다.1 is a plan view for explaining the configuration of a horizontal articulated robot 1 according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 is a plan view of the horizontal articulated robot 1 shown in Fig. 1 in another state. FIG. 3 is a side view of the horizontal articulated robot 1 shown in FIG. 2 . FIG. 4 is a side view of the horizontal articulated robot 1 shown in FIG. 3 in a state in which the arm 12 is raised. FIG. 5 is a block diagram for explaining the configuration of the horizontal articulated robot 1 shown in FIG. 2 . FIG. 6 is a diagram for explaining the configuration of the arm lifting mechanism 20 in the E-E direction of FIG. 3 .

본 형태의 수평 다관절 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 반송 대상물인 반도체 웨이퍼(2)(이하, 「웨이퍼(2)」라 함)를 반송하기 위한 산업용 로봇이다. 웨이퍼(2)는, 얇은 원판형으로 형성되어 있다. 로봇(1)은, 반도체 제조 시스템(3)에 내장되어 사용된다. 이하의 설명에서는, 상하 방향(연직 방향)에 직교하는 도 1 등의 X 방향을 「좌우 방향」이라 하고, 상하 방향과 좌우 방향에 직교하는 도 1 등의 Y 방향을 「전후 방향」이라 한다. 또한, 전후 방향의 일방측인 도 1 등의 Y1 방향측을 「전」측이라 하고, 그 반대측인 도 1 등의 Y2 방향측을 「후」측이라 한다.The horizontal articulated robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment is an industrial robot for conveying a semiconductor wafer 2 (hereinafter referred to as "wafer 2") as an object to be conveyed. am. The wafer 2 is formed in the shape of a thin disk. The robot 1 is incorporated in the semiconductor manufacturing system 3 and used. In the following description, the X direction in FIG. 1 or the like orthogonal to the vertical direction (vertical direction) is referred to as the “left-right direction”, and the Y direction in FIG. 1 or the like orthogonal to the vertical and horizontal directions is referred to as the “front-back direction”. In addition, the Y1 direction side of FIG. 1 etc., which is one side of the front-back direction, is called the "front" side, and the opposite side, the Y2 direction side of FIG. 1 etc., is called the "rear" side.

반도체 제조 시스템(3)은, EFEM(4)을 구비하고 있다. 로봇(1)은, EFEM(4)의 일부를 구성하고 있다. EFEM(4)은, 예를 들어 웨이퍼(2)가 수용되는 FOUP(6)를 개폐하는 복수의 로드 포트(7)와, 로봇(1)이 수용되는 하우징(8)을 구비하고 있다. 하우징(8)은, 직육면체의 상자형으로 형성되어 있다. 상하 방향에서 보았을 때의 하우징(8)의 외형은, 좌우 방향으로 가늘고 긴 직사각형으로 되어 있다. 복수의 로드 포트(7)는, 예를 들어 하우징(8)의 전방측에 배치되어 있다. 또한, 복수의 로드 포트(7)는, 좌우 방향으로 일정한 간격을 둔 상태로 배열되어 있다.The semiconductor manufacturing system 3 includes an EFEM 4 . The robot 1 constitutes a part of the EFEM 4. The EFEM 4 includes, for example, a plurality of load ports 7 that open and close the FOUP 6 in which the wafer 2 is accommodated, and a housing 8 in which the robot 1 is accommodated. The housing 8 is formed in the shape of a rectangular parallelepiped box. The outer shape of the housing 8 when viewed from the top and bottom directions is a long and thin rectangle in the left and right directions. The plurality of load ports 7 are arranged on the front side of the housing 8, for example. Also, the plurality of load ports 7 are arranged at regular intervals in the left-right direction.

로봇(1)은, 웨이퍼(2)가 탑재되는 2개의 핸드(11)와, 2개의 핸드(11)가 선단측에 회동 가능하게 연결됨과 함께 수평 방향으로 동작하는 암(12)과, 암(12)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(13)를 구비하고 있다. 핸드(11)는, 상하 방향에서 보았을 때의 형상이 대략 Y 형상이 되도록 형성되어 있다. 암(12)은, 본체부(13)에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부(15)와, 제1 암부(15)의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부(16)와, 제2 암부(16)의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제3 암부(17)로 구성되어 있다. 제3 암부(17)의 선단측에는, 2개의 핸드(11)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 2개의 핸드(11)의 기단측은, 상하 방향으로 겹쳐 있다.The robot 1 includes two hands 11 on which wafers 2 are mounted, an arm 12 that operates in a horizontal direction while the two hands 11 are rotatably connected to the front end side, and an arm ( The base end side of 12) is provided with the body part 13 connected so that rotation is possible. The hand 11 is formed so that its shape when viewed from the vertical direction is substantially Y-shaped. The arm 12 includes a first arm portion 15 whose proximal end side is rotatably connected to the body portion 13, and a second arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 15 ( 16), and a third arm portion 17 whose proximal end side is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 16. To the front end side of the 3rd arm part 17, the proximal end side of the two hands 11 is connected so that rotation is possible. The proximal ends of the two hands 11 overlap in the vertical direction.

핸드(11), 제1 암부(15), 제2 암부(16) 및 제3 암부(17)는, 상하 방향을 회동의 축방향으로서 회동한다. 제1 암부(15), 제2 암부(16) 및 제3 암부(17)의 상면 및 하면은, 상하 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 제1 암부(15)는, 본체부(13)의 상면측에 연결되어 있다. 제2 암부(16)는, 제1 암부(15)의 상면측에 연결되어 있다. 제3 암부(17)는, 제2 암부(16)의 상면측에 연결되어 있다. 핸드(11)는, 제3 암부(17)의 상면측에 연결되어 있다.The hand 11, the first arm 15, the second arm 16, and the third arm 17 rotate in the vertical direction as an axial direction of rotation. The upper and lower surfaces of the first arm 15, the second arm 16, and the third arm 17 are planes orthogonal to the vertical direction. The 1st arm part 15 is connected to the upper surface side of the body part 13. The second arm portion 16 is connected to the upper surface side of the first arm portion 15 . The 3rd arm part 17 is connected with the upper surface side of the 2nd arm part 16. The hand 11 is connected to the upper surface side of the third arm portion 17 .

즉, 본체부(13)의 상면측에는, 제1 암부(15)의 하면측이 연결되고, 제1 암부(15)의 상면측에는, 제2 암부(16)의 하면측이 연결되고, 제2 암부(16)의 상면측에는, 제3 암부(17)의 하면측이 연결되고, 제3 암부(17)의 상면측에는, 핸드(11)의 하면측이 연결되어 있다. 제2 암부(16)는, 제1 암부(15)보다도 상측에 배치되고, 제3 암부(17)는, 제2 암부(16)보다도 상측에 배치되고, 핸드(11)는, 제3 암부(17)보다도 상측에 배치되어 있다.That is, the lower surface side of the first arm portion 15 is connected to the upper surface side of the body portion 13, the lower surface side of the second arm portion 16 is connected to the upper surface side of the first arm portion 15, and the second arm portion The lower surface side of the third arm portion 17 is connected to the upper surface side of (16), and the lower surface side of the hand 11 is connected to the upper surface side of the third arm portion 17. The second arm portion 16 is disposed above the first arm portion 15, the third arm portion 17 is disposed above the second arm portion 16, and the hand 11 is disposed above the third arm portion ( 17) is placed above.

또한, 로봇(1)은, 암(12)을 승강시키는 암 승강 기구(20)와, 본체부(13)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키는 제1 암부 구동 기구(21)와, 제1 암부(15)에 대하여 제2 암부(16)를 회동시키는 제2 암부 구동 기구(22)와, 제2 암부(16)에 대하여 제3 암부(17)를 회동시키는 제3 암부 구동 기구(23)와, 제3 암부(17)에 대하여 핸드(11)를 회동시키는 핸드 구동 기구(24)를 구비하고 있다. 본 형태의 로봇(1)은, 2개의 핸드(11)의 각각을 개별로 회동시키는 2개의 핸드 구동 기구(24)를 구비하고 있다.Further, the robot 1 includes an arm lifting mechanism 20 that moves the arm 12 up and down, a first arm drive mechanism 21 that rotates the first arm unit 15 with respect to the main body unit 13, and 2nd arm drive mechanism 22 which rotates the 2nd arm 16 with respect to 1 arm 15, and the 3rd arm drive mechanism 23 which rotates the 3rd arm 17 with respect to the 2nd arm 16 ) and a hand driving mechanism 24 for rotating the hand 11 relative to the third arm 17. The robot 1 of this embodiment is provided with two hand driving mechanisms 24 for individually rotating each of the two hands 11 .

제3 암부(17)에 대한 2개의 핸드(11)의 회동 중심은 일치하고 있다. 본체부(13)에 대한 제1 암부(15)의 회동 중심을 제1 회동 중심 C1이라 하고, 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심을 제2 회동 중심 C2라 하고, 제2 암부(16)에 대한 제3 암부(17)의 회동 중심을 제3 회동 중심 C3이라 하고, 제3 암부(17)에 대한 핸드(11)의 회동 중심을 제4 회동 중심 C4라 하면, 제1 회동 중심 C1과 제2 회동 중심 C2의 수평 방향의 거리인 제1 거리 D1은, 제2 회동 중심 C2와 제3 회동 중심 C3의 수평 방향의 거리인 제2 거리 D2보다도 짧게 되어 있다. 또한, 제2 거리 D2는, 제3 회동 중심 C3과 제4 회동 중심 C4의 수평 방향의 거리인 제3 거리 D3보다도 짧게 되어 있다.The centers of rotation of the two hands 11 with respect to the third arm 17 coincide. The center of rotation of the first arm 15 with respect to the main body 13 is referred to as the first center of rotation C1, and the center of rotation of the second arm 16 with respect to the first arm 15 is referred to as the second center of rotation C2. If the center of rotation of the third arm 17 with respect to the second arm 16 is the third center of rotation C3 and the center of rotation of the hand 11 with respect to the third arm 17 is the fourth center of rotation C4 , The first distance D1, which is the horizontal distance between the first rotation center C1 and the second rotation center C2, is shorter than the second distance D2, which is the horizontal distance between the second rotation center C2 and the third rotation center C3. Further, the second distance D2 is shorter than the third distance D3, which is the distance in the horizontal direction between the third rotation center C3 and the fourth rotation center C4.

그 때문에, 본 형태에서는, 제1 암부(15)의 길이(제1 암부(15)의 긴 변 방향의 길이)는, 제2 암부(16)의 길이(제2 암부(16)의 긴 변 방향의 길이)보다도 짧게 되어 있고, 제2 암부(16)의 길이는, 제3 암부(17)의 길이(제3 암부(17)의 긴 변 방향의 길이)보다도 짧게 되어 있다.Therefore, in this form, the length of the 1st arm part 15 (length in the long side direction of the 1st arm part 15) is the length of the 2nd arm part 16 (the length in the long side direction of the 2nd arm part 16) length), and the length of the second arm 16 is shorter than the length of the third arm 17 (the length of the third arm 17 in the longitudinal direction).

본체부(13)는, 하우징(26)과, 제1 암부(15)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 승강체(27)를 구비하고 있다. 하우징(26)은, 전체적으로 상하 방향으로 가늘고 긴 직육면체형으로 형성되어 있다. 하우징(26)의 후단부에는, 상측을 향해 돌출되는 돌출부(26a)가 형성되어 있다. 즉, 하우징(26)의 후단부의 높이는, 하우징(26)의 전방측 부분의 높이보다도 높게 되어 있다.The body portion 13 includes a housing 26 and an elevation body 27 to which the proximal end side of the first arm portion 15 is rotatably connected. The housing 26 is formed in the shape of a rectangular parallelepiped that is elongated in the vertical direction as a whole. At the rear end of the housing 26, a projecting portion 26a projecting upward is formed. That is, the height of the rear end of the housing 26 is higher than the height of the front portion of the housing 26 .

돌출부(26a)는, 제1 암부(15)의 기단보다도 후방측에 배치되어 있다. 돌출부(26a)의 상면은, 상하 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 또한, 하우징(26)의, 돌출부(26a)보다도 전방측 부분의 상면도, 상하 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 하우징(26)의 전방측 부분의 상면에 대한 돌출부(26a)의 높이는, 제1 암부(15)의 두께(상하 방향의 두께)와 거의 동등하게 되어 있다.The protruding portion 26a is arranged on the rear side of the base end of the first arm portion 15 . The upper surface of the protruding portion 26a is a plane orthogonal to the vertical direction. Further, the upper surface of the portion on the front side of the housing 26 is also a plane orthogonal to the vertical direction than the protruding portion 26a. The height of the protruding portion 26a relative to the upper surface of the front portion of the housing 26 is substantially equal to the thickness of the first arm portion 15 (thickness in the vertical direction).

승강체(27)는, 하우징(26)에 대하여 승강 가능하게 되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 승강체(27)의 대부분은, 하우징(26)의 내부에 수용되어 있다. 승강체(27)는, 상단에 제1 암부(15)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 승강체 본체(27a)와, 승강체 본체(27a)의 하단부로부터 후방측을 향해 돌출되는 보유 지지부(27b)를 구비하고 있다. 승강체 본체(27a)는, 하우징(26)의 돌출부(26a)보다도 전방측에 배치되어 있다. 승강체 본체(27a)의 상단은, 하우징(26)의, 돌출부(26a)보다도 전방측 부분의 상면보다도 상측에 배치되어 있다. 하우징(26)의, 돌출부(26a)보다도 전방측 부분의 상단부에는, 승강체 본체(27a)의 일부가 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다.The elevation body 27 is capable of elevation relative to the housing 26 . As shown in FIG. 3 , when the arm 12 is lowered to the lower limit position, most of the elevating body 27 is accommodated inside the housing 26 . The elevator body 27 includes an elevator main body 27a to which the proximal end side of the first arm 15 is rotatably connected to the upper end, and a holding portion protruding from the lower end of the elevator body 27a toward the rear side ( 27b) is provided. The elevation body 27a is disposed on the front side of the protrusion 26a of the housing 26 . The upper end of the elevator main body 27a is disposed above the upper surface of the front side portion of the housing 26 than the projecting portion 26a. In the upper end of the portion on the front side of the housing 26 than the protruding portion 26a, a through hole in which a part of the elevator body 27a is disposed is formed.

암 승강 기구(20)는, 승강체(27)를 승강시킨다. 즉, 암 승강 기구(20)는, 승강체(27)를 승강시킴으로써, 승강체(27)와 함께 암(12)을 승강시킨다. 또한, 암 승강 기구(20)는, 도 3에 도시한 암(12)의 하한 위치와 도 4에 도시한 암(12)의 상한 위치의 사이에서 승강체(27)와 함께 암(12)을 승강시킨다. 도 6에 도시한 바와 같이, 암 승강 기구(20)는, 승강체(27)와 함께 암(12)을 승강시키기 위한 볼 나사(28)와, 볼 나사(28)의 나사축(29)을 회전시키는 모터(30)와, 승강체(27)와 함께 암(12)을 상하 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(31) 및 가이드 블록(32)을 구비하고 있다. 암 승강 기구(20)는, 하우징(26)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 암 승강 기구(20)는, 본체부(13)의 내부에 수용되어 있다.The arm lifting mechanism 20 raises and lowers the elevator body 27 . That is, the arm lifting mechanism 20 raises and lowers the arm 12 together with the elevator body 27 by moving the elevator body 27 up and down. Further, the arm lifting mechanism 20 moves the arm 12 together with the elevating body 27 between the lower limit position of the arm 12 shown in FIG. 3 and the upper limit position of the arm 12 shown in FIG. 4 . elevate As shown in FIG. 6 , the arm lifting mechanism 20 includes a ball screw 28 for lifting the arm 12 together with the lifting body 27 and a screw shaft 29 of the ball screw 28. A guide rail 31 and a guide block 32 for guiding the arm 12 in the vertical direction along with a rotating motor 30 and an elevating body 27 are provided. The arm lifting mechanism 20 is disposed inside the housing 26 . That is, the arm lifting mechanism 20 is accommodated inside the body portion 13 .

나사축(29)은, 나사축(29)의 축방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 나사축(29)은, 하우징(26)의 내부에 배치되는 프레임에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 볼 나사(28)의 너트 부재(33)는, 승강체(27)의 보유 지지부(27b)에 설치되어 있다. 너트 부재(33)는, 나사축(29)에 걸림 결합하고 있다. 나사축(29)의 하단부에는, 풀리(35)가 고정되어 있다. 모터(30)는, 하우징(26)의 내부에서 고정되어 있다. 모터(30)의 출력축에는, 풀리(36)가 고정되어 있다. 풀리(35)와 풀리(36)에는, 벨트(37)가 걸쳐져 있다. 모터(30)는, 로봇(1)의 제어부(38)에 전기적으로 접속되어 있다.The screw shaft 29 is arranged so that the axial direction of the screw shaft 29 and the vertical direction coincide. The screw shaft 29 is rotatably held by a frame arranged inside the housing 26 . The nut member 33 of the ball screw 28 is attached to the holding portion 27b of the elevation body 27 . The nut member 33 is engaged with the screw shaft 29 . A pulley 35 is fixed to the lower end of the screw shaft 29 . The motor 30 is fixed inside the housing 26 . A pulley 36 is fixed to the output shaft of the motor 30 . A belt 37 is straddled between the pulley 35 and the pulley 36 . The motor 30 is electrically connected to the controller 38 of the robot 1.

가이드 레일(31)은, 가이드 레일(31)의 긴 변 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 가이드 레일(31)은, 하우징(26)의 내부에 배치되는 프레임에 고정되어 있다. 본 형태에서는, 2개의 가이드 레일(31)이 좌우 방향으로 간격을 둔 상태에서 설치되어 있다. 가이드 블록(32)은, 승강체(27)의 보유 지지부(27b)에 설치되어 있다. 가이드 블록(32)은, 전방측으로부터 가이드 레일(31)에 걸림 결합하고 있다. 또한, 본 형태에서는, 상하 방향에 있어서 간격을 둔 상태에서 배치되는 2개의 가이드 블록(32)이 1개의 가이드 레일(31)에 걸림 결합하고 있다.The guide rail 31 is arranged so that the longitudinal direction of the guide rail 31 and the vertical direction coincide. The guide rail 31 is fixed to a frame arranged inside the housing 26 . In this embodiment, the two guide rails 31 are installed in a state at intervals in the left-right direction. The guide block 32 is attached to the holding portion 27b of the elevator 27 . The guide block 32 is engaged with the guide rail 31 from the front side. In addition, in this embodiment, two guide blocks 32 disposed in a state at intervals in the vertical direction are engaged with one guide rail 31 .

상술한 바와 같이, 암 승강 기구(20)는, 하우징(26)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 암 승강 기구(20)는, 하우징(26)의 후단부의 내부에 배치되어 있다. 또한, 암 승강 기구(20)의 상단부는, 돌출부(26a)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 나사축(29) 및 가이드 레일(31)의 상단부가 돌출부(26a)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 암(12)의 상한 위치까지 암(12)이 상승해 있을 때에는, 1개의 가이드 레일(31)에 걸림 결합하는 2개의 가이드 블록(32) 중 상측에 배치되는 가이드 블록(32)이 돌출부(26a)의 내부에 배치되어 있다(도 4 참조).As described above, the arm lifting mechanism 20 is disposed inside the housing 26 . Specifically, the arm lifting mechanism 20 is disposed inside the rear end of the housing 26 . Also, the upper end of the arm lifting mechanism 20 is disposed inside the protrusion 26a. Specifically, the screw shaft 29 and the upper end of the guide rail 31 are arranged inside the protrusion 26a. In addition, when the arm 12 is raised to the upper limit position of the arm 12, the guide block 32 disposed on the upper side of the two guide blocks 32 engaged with one guide rail 31 is a protrusion. It is arranged inside 26a (see Fig. 4).

또한, 상술한 바와 같이, 암 승강 기구(20)는, 도 3에 도시한 암(12)의 하한 위치와 도 4에 도시한 암(12)의 상한 위치의 사이에서 승강체(27)와 함께 암(12)을 승강시킨다. 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 제1 암부(15)는, 상하 방향에 있어서 하우징(26)의 돌출부(26a)와 거의 동일한 위치에 배치되어 있고, 돌출부(26a)의 상면은, 제1 암부(15)의 하면보다도 상측에 배치되어 있다. 또한, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 제1 암부(15)의 기단부는, 돌출부(26a)의 전방측에 배치되어 있다.Further, as described above, the arm lifting mechanism 20 is moved along with the elevating body 27 between the lower limit position of the arm 12 shown in FIG. 3 and the upper limit position of the arm 12 shown in FIG. 4 . The arm 12 is raised and lowered. When the arm 12 is lowered to the lower limit position, the first arm 15 is disposed at substantially the same position as the protrusion 26a of the housing 26 in the vertical direction, and the upper surface of the protrusion 26a is , is disposed above the lower surface of the first arm portion 15. Further, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the proximal end of the first arm portion 15 is disposed on the front side of the protruding portion 26a.

즉, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 돌출부(26a)의 내부에 배치되는 암 승강 기구(20)의 상단부(구체적으로는, 나사축(29) 및 가이드 레일(31)의 상단부)는, 제1 암부(15)의 기단부의 후방측(후방)에 배치되어 있다. 즉, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 암 승강 기구(20)의 상단부(구체적으로는, 나사축(29) 및 가이드 레일(31)의 상단부)는, 제1 암부(15)의 기단부의 측방(가로)에 배치되어 있다. 또한, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 암 승강 기구(20)의 상단(구체적으로는, 나사축(29) 및 가이드 레일(31)의 상단)은, 제1 암부(15)의 하면보다도 상측에 배치되어 있다.That is, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the upper end of the arm lifting mechanism 20 disposed inside the protruding portion 26a (specifically, the upper end of the screw shaft 29 and the guide rail 31). ) is disposed on the rear side (rear side) of the proximal end of the first arm portion 15. That is, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the upper end of the arm lifting mechanism 20 (specifically, the upper end of the screw shaft 29 and the guide rail 31) is the first arm 15 It is arranged on the side (horizontal) side of the proximal end of the . In addition, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the upper end of the arm lifting mechanism 20 (specifically, the upper end of the screw shaft 29 and the guide rail 31) is the first arm portion 15 It is arranged on the upper side than the lower surface of the .

또한, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 제1 암부(15)의 상면은, 돌출부(26a)의 상면보다도 약간 상측에 배치되어 있다. 또한, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 제2 암부(16)의 하면은, 돌출부(26a)의 상면보다도 상측에 배치되어 있다. 즉, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 암 승강 기구(20)의 상단은, 제2 암부(16)의 하단보다도 하측에 배치되어 있다.Moreover, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the upper surface of the 1st arm part 15 is arrange|positioned slightly above the upper surface of the protruding part 26a. Further, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the lower surface of the second arm portion 16 is disposed above the upper surface of the protruding portion 26a. That is, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the upper end of the arm lifting mechanism 20 is disposed below the lower end of the second arm portion 16 .

본 형태에서는, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)가 서로 겹쳐 있는 상태에서 본체부(13)에 대하여 소정의 기준 위치에 배치되어 있을 때(도 2 내지 도 4에 도시한 상태일 때)의 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)의 긴 변 방향은, 전후 방향과 일치하고 있다. 또한, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)가 서로 겹쳐 있는 상태에서 본체부(13)에 대하여 기준 위치에 배치됨과 함께 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 제2 암부(16)의 선단부는, 제2 암부(16)의 후단부로 되어 있어, 돌출부(26a)의 상측에 배치되어 있다(도 3 참조).In this embodiment, when the first arm portion 15 and the second arm portion 16 are disposed at a predetermined standard position with respect to the body portion 13 in a state in which they overlap each other (the state shown in FIGS. 2 to 4) When), the long side directions of the first arm portion 15 and the second arm portion 16 coincide with the front-back directions. In addition, when the first arm portion 15 and the second arm portion 16 are disposed at the standard position with respect to the main body portion 13 in a state where they overlap each other and the arm 12 is lowered to the lower limit position, the second arm portion The front end of 16 serves as the rear end of the second arm 16 and is disposed above the protrusion 26a (see Fig. 3).

즉, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)가 서로 겹쳐 있는 상태에서 본체부(13)에 대하여 기준 위치에 배치됨과 함께 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에는, 제2 암부(16)의 선단부는, 암 승강 기구(20)의 상측에 배치되어 있다. 또한, 이때에는, 제1 암부(15)의 기단부는, 제1 암부(12)의 후단부로 되어 있어, 암 승강 기구(20)의 상단부의 전방측에 배치되어 있다. 또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)가 서로 겹쳐 있는 상태에서 본체부(13)에 대하여 기준 위치에 배치되어 있을 때의 제2 암부(16)의 후단은, 전후 방향에 있어서, 본체부(13)의 후단(구체적으로는, 하우징(26)의 후방면)과 동일한 위치에 배치되어 있다.That is, when the first arm portion 15 and the second arm portion 16 are disposed at the standard position with respect to the main body portion 13 in a state where they overlap each other and the arm 12 is lowered to the lower limit position, the second arm portion The front end of (16) is disposed above the arm lifting mechanism (20). In addition, at this time, the base end of the 1st arm part 15 becomes the rear end of the 1st arm part 12, and is arrange|positioned on the front side of the upper end of the arm lifting mechanism 20. Further, as shown in FIG. 3, the second arm 16 when the first arm 15 and the second arm 16 are disposed at the standard position with respect to the main body 13 in a state where they overlap each other The rear end of is disposed at the same position as the rear end of the body portion 13 (specifically, the rear surface of the housing 26) in the front-back direction.

본 형태의 전후 방향(Y 방향)은, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)가 서로 겹쳐 있는 상태에서 본체부(13)에 대하여 기준 위치에 배치되어 있을 때의 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)의 긴 변 방향인 암부 긴 변 방향으로 되어 있다. 또한, 후방측(Y2 방향측)은, 암부 긴 변 방향의 일방측인 제1 방향측으로 되어 있고, 전방측(Y1 방향측)은, 제1 방향측의 반대측인 제2 방향측으로 되어 있다.In the front-back direction (Y direction) of this embodiment, the first arm 15 when the first arm 15 and the second arm 16 are disposed at the standard position with respect to the main body 13 in a state where they overlap each other. ) and the long side direction of the arm portion, which is the long side direction of the second arm portion 16. Further, the rear side (Y2 direction side) is a side in the first direction, which is one side in the long side direction of the arm portion, and the front side (Y1 direction side) is the side in the second direction, which is opposite to the first direction side.

제1 암부 구동 기구(21)는, 모터(39)를 구비하고 있다. 모터(39)는, 승강체(27)에 설치되어 있다. 모터(39)의 동력은, 감속기, 풀리 및 벨트 등을 포함하는 동력 전달 기구에 의해 제1 암부(15)에 전달된다. 제2 암부 구동 기구(22)는, 모터(40)를 구비하고 있다. 모터(40)는, 제1 암부(15)와 승강체(27)의 연결부에 설치되어 있다. 모터(40)의 동력은, 감속기, 풀리 및 벨트 등을 포함하는 동력 전달 기구에 의해 제2 암부(16)에 전달된다.The first arm driving mechanism 21 includes a motor 39 . The motor 39 is installed on the elevating body 27 . The power of the motor 39 is transmitted to the first arm 15 by a power transmission mechanism including a reduction gear, a pulley, a belt, and the like. The second arm driving mechanism 22 includes a motor 40 . The motor 40 is attached to a connecting portion between the first arm portion 15 and the elevation body 27 . The power of the motor 40 is transmitted to the second arm portion 16 by a power transmission mechanism including a reduction gear, a pulley, a belt, and the like.

제3 암부 구동 기구(23)는, 모터(41)를 구비하고 있다. 모터(41)는, 제2 암부(16)의 내부에 설치되어 있다. 모터(41)의 동력은, 감속기, 풀리 및 벨트 등을 포함하는 동력 전달 기구에 의해 제3 암부(17)에 전달된다. 핸드 구동 기구(24)는, 모터(42)를 구비하고 있다. 모터(42)는, 제3 암부(17)의 내부에 설치되어 있다. 모터(42)의 동력은, 감속기, 풀리 및 벨트 등을 포함하는 동력 전달 기구에 의해 핸드(11)에 전달된다.The third arm driving mechanism 23 includes a motor 41 . The motor 41 is installed inside the second arm portion 16 . The power of the motor 41 is transmitted to the third arm portion 17 by a power transmission mechanism including a reduction gear, a pulley, a belt, and the like. The hand drive mechanism 24 includes a motor 42 . The motor 42 is installed inside the third arm portion 17 . The power of the motor 42 is transmitted to the hand 11 by a power transmission mechanism including a reduction gear, a pulley, a belt, and the like.

모터(39 내지 42)는, 제어부(38)에 전기적으로 접속되어 있다. 본 형태에서는, 상하 방향에서 보았을 때에 대략 Y 형상을 이루는 핸드(11)의 긴 변 방향과 전후 방향이 일치한 상태에서 핸드(11)가 좌우 방향으로 이동하는 경우에, 제어부(38)는, 상하 방향에서 보았을 때에, 좌우 방향에 평행한 가상선 VL(도 1 참조) 상을 제3 회동 중심 C3이 통과하도록, 모터(39 내지 42)를 제어하여, 제1 암부(15), 제2 암부(16), 제3 암부(17) 및 핸드(11)를 회동시킨다.The motors 39 to 42 are electrically connected to the control unit 38 . In this embodiment, when the hand 11 moves in the left-right direction in a state where the long side direction and the front-back direction of the hand 11 forming a substantially Y shape when viewed from the up-down direction coincide, the control unit 38 moves up-and-down When viewed from the direction, the motors 39 to 42 are controlled so that the third rotation center C3 passes on a virtual line VL (see FIG. 1) parallel to the left and right directions, so that the first arm portion 15 and the second arm portion ( 16), the third arm 17 and the hand 11 are rotated.

즉, 핸드(11)의 긴 변 방향과 전후 방향이 일치한 상태에서 핸드(11)가 좌우 방향으로 이동하는 경우에, 제어부(38)는, 상하 방향에서 보았을 때에, 제3 회동 중심 C3이 좌우 방향으로 직선적으로 이동하도록, 제1 암부(15), 제2 암부(16), 제3 암부(17) 및 핸드(11)를 회동시킨다. 이때에는, 제어부(38)는, 핸드(11) 및 암(12)과 하우징(8)이 간섭하지 않도록, 제1 암부(15), 제2 암부(16), 제3 암부(17) 및 핸드(11)를 회동시킨다.That is, when the hand 11 moves in the left-right direction in a state where the long side direction and the front-back direction of the hand 11 coincide, the controller 38 determines that the third rotation center C3 is left and right when viewed from the top and bottom directions. The first arm part 15, the second arm part 16, the third arm part 17, and the hand 11 are rotated so as to move linearly in the direction. At this time, the controller 38 controls the first arm 15, the second arm 16, the third arm 17 and the hand so that the hand 11 and arm 12 and the housing 8 do not interfere. Rotate (11).

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 돌출부(26a)의 내부에 배치되는 암 승강 기구(20)의 상단부는, 제1 암부(15)의 기단부 후방측에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 암 승강 기구(20)의 전체가 제1 암부(15)보다도 하측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 로봇(1)의 높이를 바꾸지 않고, 암 승강 기구(20)의 높이를 높게 하는 것이 가능해진다. 즉, 본 형태에서는, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 로봇(1)의 높이를 바꾸지 않고, 나사축(29) 및 가이드 레일(31)의 상하 방향 길이를 길게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 로봇(1)의 높이를 바꾸지 않고, 암(12)의 승강량을 증가시키는 것이 가능해진다.As described above, in this embodiment, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the upper end of the arm lifting mechanism 20 disposed inside the protrusion 26a is behind the proximal end of the first arm 15. placed on the side. Therefore, in this embodiment, compared to the case where the entire arm lifting mechanism 20 is disposed below the first arm portion 15, the robot 1 when the arm 12 is lowered to the lower limit position. It becomes possible to increase the height of the arm lifting mechanism 20 without changing the height of . That is, in this embodiment, it is possible to increase the vertical length of the screw shaft 29 and the guide rail 31 without changing the height of the robot 1 when the arm 12 is lowered to the lower limit position. . Therefore, in this form, it becomes possible to increase the amount of elevation of the arm 12 without changing the height of the robot 1 when the arm 12 is descending to the lower limit position.

또한, 본 형태에서는, 본체부(13)에 대한 제1 암부(15)의 회동 중심인 제1 회동 중심 C1과 제1 암부(15)에 대한 제2 암부(16)의 회동 중심인 제2 회동 중심 C2의 수평 방향의 거리인 제1 거리 D1이, 제2 암부(16)에 대한 제3 암부(17)의 회동 중심인 제3 회동 중심 D3과 제2 회동 중심 D2의 수평 방향의 거리인 제2 거리 D2보다도 짧게 되어 있고, 제1 암부(15)의 길이가 제2 암부(16)의 길이보다도 짧게 되어 있다.Moreover, in this form, the 1st rotation center C1 which is the rotation center of the 1st arm part 15 with respect to the body part 13, and the 2nd rotation center which is the rotation center of the 2nd arm part 16 with respect to the 1st arm part 15 The first distance D1, which is the distance in the horizontal direction of the center C2, is the distance in the horizontal direction between the third rotation center D3, which is the rotation center of the third arm portion 17 with respect to the second arm portion 16, and the second rotation center D2. It is shorter than 2 distance D2, and the length of the 1st arm part 15 is shorter than the length of the 2nd arm part 16.

그 때문에, 본 형태에서는, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에 제1 암부(15)의 기단부 후방측에 암 승강 기구(20)의 상단부가 배치되어 있어도, 길이가 짧은 제1 암부(15)의 후방측에 암 승강 기구(20)의 상단부를 배치하는 것이 가능해지고, 그 결과, 전후 방향에 있어서 로봇(1)을 소형화하는 것이 가능해진다. 즉, 본 형태에서는, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 로봇(1)의 높이를 바꾸지 않고, 암(12)의 승강량을 증가시키는 것이 가능하면서도, 전후 방향에 있어서 로봇(1)을 소형화하는 것이 가능해진다.Therefore, in this embodiment, even if the upper end of the arm lifting mechanism 20 is disposed on the rear side of the proximal end of the first arm 15 when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the first arm having a short length ( It becomes possible to dispose the upper end of the arm lifting mechanism 20 on the rear side of 15), and as a result, it becomes possible to downsize the robot 1 in the front-back direction. That is, in this embodiment, while it is possible to increase the lifting amount of the arm 12 without changing the height of the robot 1 when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the robot 1 in the front-back direction. ) can be miniaturized.

또한, 본 형태에서는, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)가 서로 겹쳐 있는 상태에서 본체부(13)에 대하여 기준 위치에 배치되어 있을 때의 제2 암부(16)의 후단이, 전후 방향에 있어서, 본체부(13)의 후단와 동일한 위치에 배치되어 있기 때문에, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때의 로봇(1)의 높이를 바꾸지 않고, 암(12)의 승강량을 증가시키는 것이 가능하면서도, 전후 방향에 있어서 로봇(1)을 보다 소형화하는 것이 가능해진다.Further, in this embodiment, the rear end of the second arm 16 when the first arm 15 and the second arm 16 are disposed at the reference position with respect to the main body 13 in a state where they overlap each other, Since it is arranged at the same position as the rear end of the main body 13 in the front-back direction, the lifting amount of the arm 12 does not change the height of the robot 1 when the arm 12 is lowered to the lower limit position. While it is possible to increase , it becomes possible to further downsize the robot 1 in the front-back direction.

본 형태에서는, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 제2 암부(16)의 하단이 되는 제2 암부(16)의 하면은, 하우징(26)의 돌출부(26a)의 상면보다도 상측에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 암 승강 기구(20)의 상단부가 수용되어 있는 돌출부(26a)와 제2 암부(16)의 간섭을 방지하기 위한 절결부 등이 제2 암부(16)에 형성되어 있지 않아도, 제2 암부(16)가 회동했을 때의, 제2 암부(16)와 돌출부(26a)의 간섭을 방지하는 것이 가능해진다.In this embodiment, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the lower surface of the second arm 16 serving as the lower end of the second arm 16 is higher than the upper surface of the protrusion 26a of the housing 26. is placed on Therefore, in this embodiment, a notch or the like for preventing interference between the protruding portion 26a in which the upper end of the arm lifting mechanism 20 is accommodated and the second arm portion 16 is not formed in the second arm portion 16. Even without this, it becomes possible to prevent interference between the second arm portion 16 and the protruding portion 26a when the second arm portion 16 rotates.

본 형태에서는, 로봇(1)은, 본체부(13)에 대하여 제1 암부(15)를 회동시키는 제1 암부 구동 기구(21)와, 제1 암부(15)에 대하여 제2 암부(16)를 회동시키는 제2 암부 구동 기구(22)와, 제2 암부(16)에 대하여 제3 암부(17)를 회동시키는 제3 암부 구동 기구(23)와, 제3 암부(17)에 대하여 핸드(11)를 회동시키는 핸드 구동 기구(24)를 구비하고 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 로봇(1)의 동작 자유도를 높이는 것이 가능해진다.In this embodiment, the robot 1 includes a first arm driving mechanism 21 for rotating the first arm 15 relative to the main body 13, and a second arm 16 relative to the first arm 15. The second arm driving mechanism 22 for rotating the , the third arm driving mechanism 23 for rotating the third arm 17 with respect to the second arm 16 , and the hand with respect to the third arm 17 ( 11) is provided with a hand drive mechanism 24 that rotates. Therefore, in this form, it becomes possible to increase the degree of freedom of motion of the robot 1.

(다른 실시 형태)(another embodiment)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다.Although the form mentioned above is an example of the suitable form of this invention, it is not limited to this, Various modified implementation is possible in the range which does not change the summary of this invention.

상술한 형태에 있어서, 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)가 서로 겹쳐 있는 상태에서 본체부(13)에 대하여 기준 위치에 배치되어 있을 때의 제2 암부(16)의 후단이, 본체부(13)의 후단보다 전방측에 배치되어 있어도 되고, 본체부(13)의 후단보다 후방측에 배치되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 암(12)이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 제2 암부(16)의 하단이 하우징(26)의 돌출부(26a)의 상면보다 하측에 배치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 돌출부(26a)와 제2 암부(16)의 간섭을 방지하기 위한 절결부 등이 제2 암부(16)에 형성되어 있다.In the form described above, the rear end of the second arm portion 16 when the first arm portion 15 and the second arm portion 16 are disposed at the reference position with respect to the body portion 13 in a state where they overlap each other, It may be arranged on the front side of the rear end of the body portion 13, or may be arranged on the rear side of the rear end of the body portion 13. In addition, in the aspect mentioned above, when the arm 12 is lowered to the lower limit position, the lower end of the 2nd arm part 16 may be arrange|positioned below the upper surface of the protrusion part 26a of the housing 26. In this case, a notch or the like for preventing interference between the protrusion 26a and the second arm 16 is formed in the second arm 16 .

상술한 형태에 있어서, 암(12)은, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)의 2개의 암부에 의해 구성되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제2 암부(16)의 선단측에, 핸드(11)의 기단부가 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 이 경우에는, 제2 암부(16)에 대한 핸드(11)의 회동 중심인 제3 회동 중심과 제2 회동 중심 C2의 수평 방향의 거리인 제2 거리가 제1 거리 D1보다도 길게 되어 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 암(12)은, 4개 이상의 암부에 의해 구성되어 있어도 된다.In the aspect mentioned above, the arm 12 may be comprised by two arm parts, the 1st arm part 15 and the 2nd arm part 16. In this case, the proximal end of the hand 11 is rotatably connected to the distal end of the second arm 16 . In this case, the second distance, which is the distance in the horizontal direction between the third rotation center and the second rotation center C2, which is the rotation center of the hand 11 with respect to the second arm 16, is longer than the first distance D1. . Moreover, in the aspect mentioned above, the arm 12 may be comprised by 4 or more arm parts.

상술한 형태에 있어서, 암 승강 기구(20)는, 가이드 레일(31) 및 가이드 블록(32) 대신에, 예를 들어 가이드축과, 가이드축이 삽입 관통되는 통 형상의 가이드 부시를 구비하고 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 암 승강 기구(20)는, 볼 나사(28) 대신에, 예를 들어 승강체(27)의 보유 지지부(27b)에 일부가 고정되는 벨트와, 이 벨트가 걸쳐지는 풀리를 구비하고 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 암(12)의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 핸드(11)의 수는, 1개여도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은, 웨이퍼(2) 이외의 것이어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 반송 대상물은, 정사각형 또는 직사각형의 평판형으로 형성되어 있어도 된다.In the form described above, the arm lifting mechanism 20 replaces the guide rail 31 and the guide block 32, for example, even if it is provided with a guide shaft and a tubular guide bush through which the guide shaft is inserted. do. In addition, in the form described above, the arm lifting mechanism 20 replaces the ball screw 28, for example, with a belt partially fixed to the holding portion 27b of the lifting member 27, and the belt is strung over the belt. A supporting pulley may be provided. Moreover, in the form mentioned above, the number of the hands 11 connected to the front end side of the arm 12 so that rotation is possible may be one. In the above-described aspect, the object to be conveyed by the robot 1 may be other than the wafer 2 . In this case, the object to be conveyed may be formed in a square or rectangular flat plate shape, for example.

1: 로봇(수평 다관절 로봇)
2: 웨이퍼(반도체 웨이퍼, 반송 대상물)
11: 핸드
12: 암
13: 본체부
15: 제1 암부
16: 제2 암부
17: 제3 암부
20: 암 승강 기구
21: 제1 암부 구동 기구
22: 제2 암부 구동 기구
23: 제3 암부 구동 기구
24: 핸드 구동 기구
28: 볼 나사
29: 나사축
31: 가이드 레일
C1: 제1 회동 중심
C2: 제2 회동 중심
C3: 제3 회동 중심
D1: 제1 거리
D2: 제2 거리
Y: 암부 긴 변 방향
Y1: 제2 방향측
Y2: 제1 방향측1: robot (horizontal articulated robot)
2: Wafer (semiconductor wafer, object to be conveyed)
11: hand
12: cancer
13: body part
15: first dark part
16: second dark part
17: 3rd dark part
20: arm lifting mechanism
21: first arm drive mechanism
22: second arm driving mechanism
23: third arm driving mechanism
24: hand drive mechanism
28: ball screw
29: screw shaft
31: guide rail
C1: first pivot center
C2: second pivot center
C3: third pivot center
D1: first distance
D2: second distance
Y: Long side direction of dark part
Y1: second direction side
Y2: first direction side

Claims (7)

수평 방향으로 암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 있어서,
반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 상기 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 상기 암과, 상기 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 상기 암을 승강시키는 암 승강 기구를 구비하고,
상기 암은, 상기 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암부와, 상기 제1 암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부를 구비하고,
상기 본체부의 상면측에, 상기 제1 암부의 하면측이 연결되고,
상기 제1 암부의 상면측에, 상기 제2 암부의 하면측이 연결되고,
상기 제2 암부의 선단측에는, 상기 암의 일부를 구성하는 제3 암부의 기단측 또는 상기 핸드의 기단측이 회동 가능하게 연결되고,
상기 본체부에 대한 상기 제1 암부의 회동 중심인 제1 회동 중심과 상기 제1 암부에 대한 상기 제2 암부의 회동 중심인 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리인 제1 거리는, 상기 제2 암부에 연결되는 상기 제3 암부 또는 상기 핸드의 상기 제2 암부에 대한 회동 중심인 제3 회동 중심과 상기 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리인 제2 거리보다도 짧게 되어 있으며,
상기 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 상기 암 승강 기구의 상단부는, 상기 제1 암부의 기단부의 측방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 수평 다관절 로봇.In a horizontal articulated robot in which an arm moves in a horizontal direction,
A hand on which an object to be conveyed is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to a front end side, a body portion to which a proximal end side of the arm is rotatably connected, and an arm lifting mechanism for lifting the arm,
The arm includes a first arm part rotatably connected to the main body part and a second arm part rotatably connected to the proximal end side of the first arm part,
The lower surface side of the first arm part is connected to the upper surface side of the main body part,
The lower surface of the second arm is connected to the upper surface of the first arm,
The proximal end of the third arm constituting a part of the arm or the proximal end of the hand is rotatably connected to the distal end of the second arm,
A first distance, which is a distance in a horizontal direction between a first rotation center that is the rotation center of the first arm unit with respect to the main body and a second rotation center that is the rotation center of the second arm unit with respect to the first arm unit, is is shorter than a second distance, which is a distance in a horizontal direction between a third rotation center, which is a rotation center of the third arm portion or the hand, connected to the second arm portion, and the second rotation center,
The horizontal articulated robot characterized in that, when the arm is lowered to the lower limit position, the upper end of the arm lifting mechanism is disposed on the side of the proximal end of the first arm. 제1항에 있어서,
상기 암 승강 기구는, 상기 암을 승강시키기 위한 볼 나사와, 상기 암을 상하 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일을 구비하고,
상기 볼 나사의 나사축은, 상기 나사축의 축방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고,
상기 가이드 레일은, 상기 가이드 레일의 긴 변 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고,
상기 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 상기 나사축 및 상기 가이드 레일의 상단부는, 상기 제1 암부의 기단부의 측방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 수평 다관절 로봇.According to claim 1,
The arm lifting mechanism includes a ball screw for lifting the arm and a guide rail for guiding the arm in a vertical direction,
The screw shaft of the ball screw is arranged so that the axial direction and the vertical direction of the screw shaft coincide,
The guide rail is arranged so that the long side direction and the vertical direction of the guide rail coincide with each other,
The horizontal articulated robot characterized in that, when the arm is lowered to the lower limit position, the upper end of the screw shaft and the guide rail is disposed on the side of the proximal end of the first arm. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 상기 암 승강 기구의 상단은, 상기 제2 암부의 하단보다도 하측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 수평 다관절 로봇.According to claim 1 or 2,
A horizontal articulated robot characterized in that, when the arm is lowered to the lower limit position, an upper end of the arm lifting mechanism is disposed lower than a lower end of the second arm. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 암부 및 상기 제2 암부가 서로 겹쳐 있는 상태에서 상기 본체부에 대하여 소정의 기준 위치에 배치되어 있을 때의 상기 제1 암부 및 상기 제2 암부의 긴 변 방향을 암부 긴 변 방향이라 하고, 상기 암부 긴 변 방향의 일방측을 제1 방향측이라 하고, 제1 방향측의 반대측을 제2 방향측이라 하면,
상기 제1 암부 및 상기 제2 암부가 서로 겹쳐 있는 상태에서 상기 본체부에 대하여 상기 기준 위치에 배치됨과 함께 상기 암이 하한 위치까지 하강해 있을 때에, 상기 제1 암부의 기단부는, 상기 제1 암부의 제1 방향측의 단부로 되어 있어, 상기 암 승강 기구의 상단부의 제2 방향측에 배치되고, 상기 제2 암부의 선단부는, 상기 제2 암부의 제1 방향측의 단부로 되어 있어, 상기 암 승강 기구의 상측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 수평 다관절 로봇.According to claim 1 or 2,
The long side direction of the first arm portion and the second arm portion when the first arm portion and the second arm portion are disposed at a predetermined reference position with respect to the main body portion in a state in which the first arm portion and the second arm portion overlap each other are referred to as the long side direction of the arm portion. , If one side in the long side direction of the arm part is referred to as the first direction side, and the opposite side to the first direction side is referred to as the second direction side,
When the first arm portion and the second arm portion are disposed at the reference position with respect to the body portion in a state in which the second arm portion overlaps each other and the arm is lowered to the lower limit position, the proximal end of the first arm portion is disposed at the first arm portion. It is an end portion on the first direction side of the arm, is disposed on the second direction side of the upper end of the arm lifting mechanism, and the front end of the second arm portion is an end portion on the first direction side of the second arm portion. A horizontal articulated robot characterized by being disposed above the arm lifting mechanism. 제4항에 있어서,
상기 승강 기구는, 상기 본체부의 내부에 수용되고,
상기 제1 암부 및 상기 제2 암부가 서로 겹쳐 있는 상태에서 상기 본체부에 대하여 상기 기준 위치에 배치되어 있을 때의 상기 제2 암부의 제1 방향측 단부는, 상기 암부 긴 변 방향에 있어서, 상기 본체부의 제1 방향측 단부와 동일한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 수평 다관절 로봇.According to claim 4,
The elevating mechanism is accommodated inside the body portion,
The first-direction-side end of the second arm portion when the first arm portion and the second arm portion are disposed at the reference position with respect to the main body portion in a state in which the second arm portion overlaps each other, in the long side direction of the arm portion, A horizontal articulated robot characterized in that it is arranged at the same position as the end of the body section in the first direction. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 암부의 선단측에는, 상기 제3 암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되고,
상기 제3 암부의 선단측에는, 상기 핸드의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 수평 다관절 로봇.According to claim 1 or 2,
The proximal end of the third arm is rotatably connected to the distal end of the second arm,
A horizontal articulated robot characterized in that the proximal end of the hand is rotatably connected to the distal end of the third arm. 제6항에 있어서,
상기 본체부에 대하여 상기 제1 암부를 회동시키는 제1 암부 구동 기구와, 상기 제1 암부에 대하여 상기 제2 암부를 회동시키는 제2 암부 구동 기구와, 상기 제2 암부에 대하여 상기 제3 암부를 회동시키는 제3 암부 구동 기구와, 상기 제3 암부에 대하여 상기 핸드를 회동시키는 핸드 구동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는, 수평 다관절 로봇.According to claim 6,
A first arm driving mechanism for rotating the first arm with respect to the main body; a second arm driving mechanism for rotating the second arm with respect to the first arm; and a third arm with respect to the second arm. A horizontal articulated robot characterized by comprising a third arm driving mechanism for rotating and a hand driving mechanism for rotating the hand with respect to the third arm.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2015036186A (en) 2013-08-09 2015-02-23 日本電産サンキョー株式会社 Horizontally articulated robot

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