KR20230111363A - 혼압액 공급 장치, 이를 구비하는 기판 처리 설비 및 혼압액 공급 방법 - Google Patents

혼압액 공급 장치, 이를 구비하는 기판 처리 설비 및 혼압액 공급 방법 Download PDF

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Abstract

기판 처리 설비 내에 설치된 서로 다른 챔버에 서로 다른 농도의 혼합액을 공급할 수 있는 혼합액 공급 장치가 제공된다. 상기 혼합액 공급 장치는 오존수를 공급하는 오존수 공급 라인; 제1 순수를 공급하는 제1 순수 공급 라인; 제2 순수를 공급하는 제2 순수 공급 라인; 상기 오존수 공급 라인으로부터 공급받은 오존수와, 상기 제1 순수 공급 라인으로부터 공급받은 제1 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 제1 타겟 오존농도를 갖는 제1 혼합액을 생성하는 제1 혼합 라인; 상기 오존수 공급 라인으로부터 공급받은 오존수와, 상기 제2 순수 공급 라인으로부터 공급받은 제2 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 상기 제1 타겟 오존농도와 다른 제2 타겟 오존농도를 갖는 제2 혼합액을 생성하는 제2 혼합 라인; 상기 제1 혼합 라인에 설치되고, 상기 제1 혼합액의 제1 오존농도를 측정하는 제1 농도계; 및 상기 제1 오존농도를 기초로, 상기 제1 혼합 라인에 공급하는 제1 순수의 공급량을 조정하는 제어기를 포함한다.

Description

혼압액 공급 장치, 이를 구비하는 기판 처리 설비 및 혼압액 공급 방법{Mixture liquid supply apparatus, substrate processing apparatus having same, and mixture liquid supply method}
본 발명은 혼압액 공급 장치, 이를 구비하는 기판 처리 설비 및 혼압액 공급 방법에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치를 제조할 때에는, 사진, 식각, 애싱, 이온주입, 박막증착, 세정 등 다양한 공정이 실시된다. 여기서, 세정 공정은 기판 상에 잔류하는 이물질을 제거하는 공정이고, 플라즈마를 이용하는 건식 세정 공정과 세정액을 이용한 습식 세정 공정으로 구분할 수 있다.
한편, 오존수(O3DIW)와 순수(DIW)를 혼합한 혼합액을 이용하여, 기판의 표면에 잔류하는 감광액 및 유기 오염물질을 제거할 수 있다. 기판 처리 설비 내에 습식 세정 공정을 수행하는 다수의 챔버가 배치된 경우, 다수의 챔버 각각에는 서로 동일한 농도 및 유량의 혼합액이 공급된다. 유량이 고정되어 있어, 사용되지 않은 혼합액은 폐액으로 처리되어 버려진다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판 처리 설비 내에 설치된 서로 다른 챔버에 서로 다른 농도의 혼합액을 공급할 수 있는 혼합액 공급 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 상기 혼합액 공급 장치를 포함하는 기판 처리 설비를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 혼합액 공급 장치의 일 면(aspect)은, 오존수를 공급하는 오존수 공급 라인; 제1 순수를 공급하는 제1 순수 공급 라인; 제2 순수를 공급하는 제2 순수 공급 라인; 상기 오존수 공급 라인으로부터 공급받은 오존수와, 상기 제1 순수 공급 라인으로부터 공급받은 제1 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 제1 타겟 오존농도를 갖는 제1 혼합액을 생성하는 제1 혼합 라인; 상기 오존수 공급 라인으로부터 공급받은 오존수와, 상기 제2 순수 공급 라인으로부터 공급받은 제2 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 상기 제1 타겟 오존농도와 다른 제2 타겟 오존농도를 갖는 제2 혼합액을 생성하는 제2 혼합 라인; 상기 제1 혼합 라인에 설치되고, 상기 제1 혼합액의 제1 오존농도를 측정하는 제1 농도계; 및 상기 제1 오존농도를 기초로, 상기 제1 혼합 라인에 공급하는 제1 순수의 공급량을 조정하는 제어기를 포함한다.
상기 제어기는 상기 제1 타겟 오존농도와 상기 제1 오존농도를 비교하고, 상기 제1 타겟 오존농도가 상기 제1 오존농도보다 크면, 상기 제1 순수의 공급량을 줄이고, 상기 제1 타겟 오존농도가 상기 제1 오존농도보다 작으면, 상기 제1 순수의 공급량을 늘린다.
상기 제2 혼합 라인에 설치되고, 상기 제2 혼합액의 제2 오존농도를 측정하는 제2 농도계를 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 제2 오존농도를 기초로, 상기 제2 혼합 라인에 공급하는 제2 순수의 공급량을 조정한다.
상기 제어기는 상기 제2 타겟 오존농도와 상기 제2 오존농도를 비교하고, 상기 제2 타겟 오존농도가 상기 제2 오존농도보다 크면, 상기 제2 순수의 공급량을 줄이고, 상기 제2 타겟 오존농도가 상기 제2 오존농도보다 작으면, 상기 제2 순수의 공급량을 늘린다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 설비의 일 면은, 전술한 혼합액 공급 장치; 상기 혼합액 공급 장치로부터 제1 혼합액을 공급받아 기판을 처리하는, 적어도 하나의 제1 챔버; 및 상기 혼합액 공급 장치로부터 제2 혼합액을 공급받아 기판을 처리하는, 적어도 하나의 제2 챔버를 포함하고, 상기 제1 혼합액의 제1 오존농도와 상기 제2 혼합액의 제2 오존농도는 서로 다르다.
상기 적어도 하나의 제1 챔버로부터 배수된 제1 혼합액과, 상기 적어도 하나의 제2 챔버로부터 배수된 제2 혼합액을 제공받아, 일시적으로 저장하는 배수용기를 더 포함한다.
상기 또 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 혼합액 공급 방법의 일 면은, 오존수 공급 라인으로부터 공급받은 오존수와, 제1 순수 공급 라인으로부터 공급받은 제1 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 제1 혼합액을 생성하고, 상기 오존수 공급 라인으로부터 공급받은 오존수와, 제2 순수 공급 라인으로부터 공급받은 제2 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 제2 혼합액을 생성하고, 상기 제1 혼합액의 제1 오존농도를 측정하고, 상기 제1 오존농도를 기초로 상기 제1 혼합 라인에 공급하는 제1 순수의 공급량을 조정함으로써, 상기 제1 혼합액의 오존농도를 제1 타겟 오존농도로 맞추고, 상기 제2 혼합액의 제2 오존농도를 측정하고, 상기 제2 오존농도를 기초로 상기 제2 혼합 라인에 공급하는 제2 순수의 공급량을 조정하고, 상기 제2 혼합액의 오존농도를 상기 제1 타겟 오존농도와 다른 제2 타겟 오존농도로 맞추는 것을 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 혼합액 공급 장치를 포함하는 기판 처리 설비를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 챔버를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 적어도 하나의 제1 챔버에 혼합액을 공급하기 위한 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1의 기판 처리 설비에서, 혼합액을 배수하기 위한 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 혼합액 공급 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 6은 도 5의 S30단계를 구체적으로 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 혼합액 공급 장치를 포함하는 기판 처리 설비를 설명하기 위한 도면이다. 도 2는 도 1에 도시된 제1 챔버를 설명하기 위한 도면이다. 도 3은 도 1에 도시된 적어도 하나의 제1 챔버에 혼합액을 공급하기 위한 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 4는 도 1의 기판 처리 설비에서, 혼합액을 배수하기 위한 구성을 설명하기 위한 도면이다.
우선 도 1을 참고하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 혼합액 공급 장치(10)는, 오존수 공급 라인(120), 제1 순수 공급 라인(212), 제2 순수 공급 라인(222), 제1 혼합 라인(132a), 제2 혼합 라인(132b), 제1 농도계(140a), 제2 농도계(140b) 및 제어기(500)를 포함한다.
오존수 공급 라인(120)은 오존수 공급부(110)와 제1 혼합 밸브(136a)를 연결하고, 오존수 공급부(110)와 제2 혼합 밸브(136b)를 연결한다. 이를 위해서, 오존수 공급 라인(120)은 다수의 라인(즉, 2개의 라인)으로 분지되고, 분지된 라인들 각각이 제1 혼합 밸브(136a) 및 제2 혼합 밸브(136b)에 연결될 수 있다. 오존수 공급부(110)는 예를 들어, 오존과 순수를 혼합하여 오존수를 생성할 수 있다. 오존수 공급부(110)에서 생성된 오존수가 오존수 공급 라인(120)을 통해서 제1 혼합 밸브(136a) 및 제2 혼합 밸브(136b)로 전달된다.
제1 순수 공급 라인(212)은 제1 순수 공급부(210)와 제1 혼합 밸브(136a)를 연결한다. 제1 혼합 밸브(136a)는 오존수 공급 라인(120)과 제1 순수 공급 라인(212)의 개폐를 효과적으로 수행하기 위해, 오존수 공급 라인(120)과 제1 순수 공급 라인(212)의 오픈시에 오존수와 제1 순수의 공급량을 정밀하게 수행할 수 있는 밸브이다.
제1 혼합 밸브(136a)는 제1 혼합 라인(132a)과 연결된다.
제1 혼합 라인(132a)에서 오존수와 제1 순수가 인라인 방식으로 혼합되어 제1 혼합액이 생성된다. 제1 혼합 라인(132a)에는 제1 믹서(138a)가 설치되어 있어서, 제1 혼합 라인(132a)을 흐르는 오존수와 제1 순수가 서로 효과적으로 혼합된다. 제1 믹서(138a)는 예를 들어, 스테이틱 믹서(static mixer)일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
또한, 제1 혼합 라인(132a)에는 제1 혼합액의 제1 오존농도(D1)를 측정하는 제1 농도계(140a)가 설치된다.
제1 혼합 라인(132a)에서 생성된 제1 혼합액은 제1 매니폴드(142a)로 전달된다. 제1 혼합액은 제1 매니폴드(142a)와 연결된 다수의 분배라인을 통해서 다수의 제1 챔버(100a)에 공급된다. 다수의 제1 챔버(100a)에 공급되는 제1 혼합액은, 서로 동일한 농도(즉, 제1 오존농도(D1))를 가질 수 있다.
또한, 제2 순수 공급 라인(222)은 제2 순수 공급부(220)와 제2 혼합 밸브(136b)를 연결한다. 제2 혼합 밸브(136b)는 오존수 공급 라인(120)과 제2 순수 공급 라인(222)의 개폐를 효과적으로 수행하기 위해서, 오존수 공급 라인(120)과 제2 순수 공급 라인(222)의 오픈시에 오존수와 제2 순수의 공급량을 정밀하게 수행할 수 있는 밸브이다.
제2 혼합 밸브(136b)는 제2 혼합 라인(132b)과 연결된다.
제2 혼합 라인(132b)에서 오존수와 제2 순수가 인라인 방식으로 혼합되어 제2 혼합액이 생성된다. 제2 혼합 라인(132b)에는 제2 믹서(138b)가 설치되어 있어서, 제2 혼합 라인(132b)을 흐르는 오존수와 제2 순수가 서로 효과적으로 혼합된다. 제2 믹서(138b)는 예를 들어, 스테이틱 믹서(static mixer)일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
또한, 제2 혼합 라인(132b)에는 제2 혼합액의 제2 오존농도(D2)를 측정하는 제2 농도계(140b)가 설치된다.
제2 혼합 라인(132b)에서 생성된 제2 혼합액은 제2 매니폴드(142b)로 전달된다. 제2 혼합액은 제2 매니폴드(142b)와 연결된 다수의 분배라인을 통해서 다수의 제2 챔버(100b)에 공급된다. 다수의 제2 챔버(100b)에 공급되는 제2 혼합액은, 서로 동일한 농도(즉, 제2 오존농도(D2))를 가질 수 있다.
한편, 제1 농도계(140a)에서 측정된 제1 오존농도(D1)는 제어기(500)에 제공된다. 제어기(500)는 제1 오존농도(D1)를 기초로, 제1 혼합 라인(132a)에 공급할 제1 순수의 공급량을 조정한다. 제1 순수의 공급량을 조정하기 위해 제1 공급량 제어신호(CD1)를 제1 순수 공급부(210) 및/또는 제1 혼합 밸브(136a)에 제공한다. 보다 구체적으로, 제어기(500)는 측정된 제1 오존농도(D1)와, 제1 혼합액의 목표치에 해당하는 제1 타겟 오존농도(TD1)를 서로 비교한다. 제1 오존농도(D1)가 제1 타겟 오존농도(TD1)보다 높으면, 오존농도를 낮추기 위해서 제1 순수의 공급량을 늘린다. 제1 오존농도(D1)가 제1 타겟 오존농도(TD1)보다 낮으면, 오존농도를 높이기 위해서 제1 순수의 공급량을 줄인다.
유사하게, 제2 농도계(140b)에서 측정된 제2 오존농도(D2)는 제어기(500)에 제공된다. 제어기(500)는 제2 오존농도(D2)를 기초로, 제2 혼합 라인(132b)에 공급할 제2 순수의 공급량을 조정한다. 제2 순수의 공급량을 조정하기 위해 제2 공급량 제어신호(CD2)를 제2 순수 공급부(220) 및/또는 제2 혼합 밸브(136b)에 제공한다. 보다 구체적으로, 제어기(500)는 측정된 제2 오존농도(D2)와, 제2 혼합액의 목표치에 해당하는 제2 타겟 오존농도(TD2)를 서로 비교한다. 제2 오존농도(D2)가 제2 타겟 오존농도(TD2)보다 높으면, 오존농도를 낮추기 위해서 제2 순수의 공급량을 늘린다. 제2 오존농도(D2)가 제2 타겟 오존농도(TD2)보다 낮으면, 오존농도를 높이기 위해서 제2 순수의 공급량을 줄인다.
한편, 오존수 공급부(110)에서 생성되는 오존수의 오존농도는, 제1 혼합 라인(132a)에서 생성된 제1 혼합액의 제1 오존농도(D1) 및 제2 혼합 라인(132b)에서 생성된 제2 혼합액의 제2 오존농도(D2)보다 높을 수 있다. 예를 들어, 오존수 공급부(110)에서 생성되는 오존수의 오존농도가 160ppm이면, 제1 혼합액의 제1 오존농도(D1)는 100ppm, 제2 혼합액의 제2 오존농도(D2)는 130ppm일 수 있다. 이와 같이, 제1 순수 또는 제2 순수의 공급량을 제어함으로써, 서로 다른 오존농도의 제1 혼합액, 제2 혼합액을 생성할 수 있다. 하나의 오존수 공급부(110)/오존수 공급 라인(120)을 기초로, 서로 다른 오존농도의 제1 혼합액, 제2 혼합액을 생성할 수 있다.
제어기(500)는 측정된 오존농도(D1, D2)를 기준으로 제1 순수/제2 순수의 공급량을 결정하는 피드백 제어를 하게 된다. 구체적으로, 제어기(500)는 제1 농도계(140a)에서 측정된 제1 오존농도(D1)와, 제2 농도계(140b)에서 측정된 제2 오존농도(D2)를 기준으로, 기설정된 연산을 통해서 제1 순수 또는 제2 순수의 공급량을 결정할 수 있다. 또는, 제어기(500)는 측정된 오존농도(D1, D2), 타겟 오존농도(TD1, TD2), 이에 대응되는 제1 순수/제2 순수의 공급량이 결정되어 있는 라이브러리를 이용할 수 있다. 이러한 라이브러리는, 미리 실험을 통해서 제1 순수/제2 순수의 공급량을 산출하여 준비할 수 있다.
이와 같은 피드백 방식을 사용함으로써, 제1 혼합액의 제1 오존농도(D1)와, 제2 혼합액의 제2 오존농도(D2)를 기설정된 값에 맞추어서(즉, 타겟 오존농도(TD1, TD2)에 맞추어서) 유지할 수 있다.
여기서 도 2를 참고하여 제1 공정 챔버(100a)의 예시적 구성을 설명한다.
제1 공정 챔버(100a) 내부로 기판(W)이 이송된다. 제1 공정 챔버(100a) 내부에는 하우징(108), 스핀척(107), 노즐(109) 등을 포함한다. 하우징(108)은 내부에 세정 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 하우징(108)은 상부가 개방된 컵(cup) 형상을 가진다. 하우징(108)의 개방된 상부는 기판(W) 출입을 위한 통로로 사용된다. 스핀척(107)은 공정시 하우징(108) 내부에서 기판(W)을 지지 및 회전시킨다. 그리고, 노즐(109)은 세정 공정시 제1 혼합액을 공급받아 스핀척(107)에 놓여진 기판(W)의 처리면으로 제1 혼합액을 분사한다.
별도로 도시하지 않았으나, 제2 공정 챔버(100b)의 예시적 구성도 도 2와 실질적으로 동일하다.
여기서 도 3을 참고하여, 매니폴드(142a)를 통과한 제1 혼합액이 적어도 하나의 제1 챔버(100a)에 공급되는 것을 설명한다. 도 3에서는 4개의 제1 챔버(100a)를 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다.
매니폴드(142a)를 통과한 제1 혼합액은 공정유닛(100)으로 공급된다. 제1 내지 제4 분배라인(44a, 44b, 44c, 44d)은 각각 다수의 제1 챔버(100a) 각각으로 제1 혼합액을 공급한다. 여기서, 제1 내지 제4 분배라인(44a, 44b, 44c, 44d)의 길이는 서로 동일하도록 제공된다. 즉, 제1 혼합액 내 오존은 산소가스로 용이하게 환원되므로, 제1 내지 제4 분배라인(44a, 44b, 44c, 44d)의 길이가 서로 상이하면, 다수의 제1 챔버(100a) 각각에 따라 제1 혼합액에서 오존농도가 상이하게 된다. 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이, 분배라인(44a, 44c)는 다른 분배라인(44b, 44d)보다 짧아질 수 있으므로, 분배라인(44a, 44c)의 길이와 분배라인(44b, 44d)의 길이를 동일하게 하기 위해, 분배라인(44a, 44c)에는 길이 보상 라인(44a-1, 44c-1)이 설치될 수 있다.
여기서, 도 4를 참고하여, 기판 처리 설비에서 혼합액을 배수하기 위한 예시적 구성을 설명한다.
제1 혼합액/제2 혼합액에서 오존을 제거하기 위해 배수용기(156)가 제공된다. 배수용기(156)는 제1 혼합 라인(132a)과 연결된 제1 배수 라인(131a), 제2 혼합 라인(132b)과 연결된 제2 배수 라인(131b), 제1 매니폴드(142a)와 연결된 제3 배수 라인(141a), 제2 매니폴드(142b)와 연결된 제4 배수 라인(141b), 다수의 제1 챔버(100a)와 연결된 제5 배수 라인(101a), 다수의 제2 챔버(100b)와 연결된 제6 배수 라인(101b) 등을 포함한다. 다수의 배수 라인(131a, 131b, 141a, 141b, 101a, 101b) 각각에는 배수여부를 결정하기 위한 밸브가 설치된다. 각 배수 라인(131a, 131b, 141a, 141b, 101a, 101b)에 설치되는 밸브는 예를 들어, 릴리프 밸브(relief valve)일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 배수 라인(131a, 131b, 141a, 141b, 101a, 101b) 내의 압력이 기설정된 범위를 벗어나면, 릴리프 밸브는 자동으로 개방되어 배수 라인(131a, 131b, 141a, 141b, 101a, 101b) 내의 제1/제2 혼합액을 배출할 수 있다.
도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 혼합액 공급 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1 및 도 5를 참고하면, 오존수 공급 라인(120)으로부터 공급받은 오존수와, 제1 순수 공급 라인(212)으로부터 공급받은 제1 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 제1 혼합액을 생성한다(S10). 제1 혼합 라인(132a)에서 제1 믹서(138a)를 이용하여 제1 혼합액을 생성할 수 있다.
오존수 공급 라인(120)으로부터 공급받은 오존수와, 제2 순수 공급 라인(222)으로부터 공급받은 제2 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 제2 혼합액을 생성한다(S20). 제2 혼합 라인(132b)에서 제2 믹서(138b)를 이용하여 제2 혼합액을 생성할 수 있다.
이어서, 제1 농도계(140a)를 이용하여 제1 혼합액의 제1 오존농도(D1)를 측정하고, 제1 오존농도(D1)를 기초로 제1 혼합 라인(132a)에 공급하는 제1 순수의 공급량을 조정한다. 이와 같이 함으로써, 제1 혼합액의 오존농도를 제1 타겟 오존농도로 맞춘다(S30).
또한, 제2 농도계(140b)를 이용하여 제2 혼합액의 제2 오존농도(D2)를 측정하고, 제2 오존농도(D2)를 기초로 제2 혼합 라인(132b)에 공급하는 제2 순수의 공급량을 조정한다. 이와 같이 함으로써, 제2 혼합액의 오존농도를, 제1 타겟 오존농도(TD1)와 다른 제2 타겟 오존농도(TD2)로 맞춘다(S40).
도 6은 도 5의 S30단계를 구체적으로 설명하기 위한 순서도이다.
도 6을 참고하면, 제1 혼합액의 제1 오존농도(D1)를 측정한다(S31).
이어서, 제1 타겟 오존농도(TD1)와 제1 오존농도(D1)를 비교한다(S32).
비교 결과, 제1 타겟 오존농도(TD1)가 제1 오존농도(D1)보다 크면, 오존농도를 높이기 위해 제1 순수의 공급량을 줄인다(S33). 반대로, 제1 타겟 오존농도(TD1)가 제1 오존농도(D1)보다 작으면, 오존농도를 낮추기 위해 제1 순수의 공급량을 늘린다(S34).
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 혼합액 공급 장치
120: 오존수 공급 라인
132a: 제1 혼합 라인
132b: 제2 혼합 라인
140a: 제1 농도계
140b: 제2 농도계
212: 제1 순수 공급 라인
222: 제2 순수 공급 라인
500: 제어기

Claims (7)

  1. 오존수를 공급하는 오존수 공급 라인;
    제1 순수를 공급하는 제1 순수 공급 라인;
    제2 순수를 공급하는 제2 순수 공급 라인;
    상기 오존수 공급 라인으로부터 공급받은 오존수와, 상기 제1 순수 공급 라인으로부터 공급받은 제1 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 제1 타겟 오존농도를 갖는 제1 혼합액을 생성하는 제1 혼합 라인;
    상기 오존수 공급 라인으로부터 공급받은 오존수와, 상기 제2 순수 공급 라인으로부터 공급받은 제2 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 상기 제1 타겟 오존농도와 다른 제2 타겟 오존농도를 갖는 제2 혼합액을 생성하는 제2 혼합 라인;
    상기 제1 혼합 라인에 설치되고, 상기 제1 혼합액의 제1 오존농도를 측정하는 제1 농도계; 및
    상기 제1 오존농도를 기초로, 상기 제1 혼합 라인에 공급하는 제1 순수의 공급량을 조정하는 제어기를 포함하는, 혼합액 공급 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 제어기는
    상기 제1 타겟 오존농도와 상기 제1 오존농도를 비교하고,
    상기 제1 타겟 오존농도가 상기 제1 오존농도보다 크면, 상기 제1 순수의 공급량을 줄이고,
    상기 제1 타겟 오존농도가 상기 제1 오존농도보다 작으면, 상기 제1 순수의 공급량을 늘리는, 혼합액 공급 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 혼합 라인에 설치되고, 상기 제2 혼합액의 제2 오존농도를 측정하는 제2 농도계를 더 포함하고,
    상기 제어기는 상기 제2 오존농도를 기초로, 상기 제2 혼합 라인에 공급하는 제2 순수의 공급량을 조정하는, 혼합액 공급 장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 제어기는
    상기 제2 타겟 오존농도와 상기 제2 오존농도를 비교하고,
    상기 제2 타겟 오존농도가 상기 제2 오존농도보다 크면, 상기 제2 순수의 공급량을 줄이고,
    상기 제2 타겟 오존농도가 상기 제2 오존농도보다 작으면, 상기 제2 순수의 공급량을 늘리는, 혼합액 공급 장치.
  5. 제 1항의 혼합액 공급 장치;
    상기 혼합액 공급 장치로부터 제1 혼합액을 공급받아 기판을 처리하는, 적어도 하나의 제1 챔버; 및
    상기 혼합액 공급 장치로부터 제2 혼합액을 공급받아 기판을 처리하는, 적어도 하나의 제2 챔버를 포함하고,
    상기 제1 혼합액의 제1 오존농도와 상기 제2 혼합액의 제2 오존농도는 서로 다른 기판 처리 설비.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제1 챔버로부터 배수된 제1 혼합액과, 상기 적어도 하나의 제2 챔버로부터 배수된 제2 혼합액을 제공받아, 일시적으로 저장하는 배수용기를 더 포함하는, 기판 처리 설비.
  7. 오존수 공급 라인으로부터 공급받은 오존수와, 제1 순수 공급 라인으로부터 공급받은 제1 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 제1 혼합액을 생성하고,
    상기 오존수 공급 라인으로부터 공급받은 오존수와, 제2 순수 공급 라인으로부터 공급받은 제2 순수를 인라인 방식으로 혼합하여, 제2 혼합액을 생성하고,
    상기 제1 혼합액의 제1 오존농도를 측정하고, 상기 제1 오존농도를 기초로 상기 제1 혼합 라인에 공급하는 제1 순수의 공급량을 조정함으로써, 상기 제1 혼합액의 오존농도를 제1 타겟 오존농도로 맞추고,
    상기 제2 혼합액의 제2 오존농도를 측정하고, 상기 제2 오존농도를 기초로 상기 제2 혼합 라인에 공급하는 제2 순수의 공급량을 조정하고, 상기 제2 혼합액의 오존농도를 상기 제1 타겟 오존농도와 다른 제2 타겟 오존농도로 맞추는 것을 포함하는, 혼합액 공급 방법.
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