KR20230099629A - 기판 처리 시스템 관리 장치 및 기판 처리 시스템 관리 방법 - Google Patents

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KR20230099629A
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Abstract

본 발명은 기판 처리 시스템 관리 장치에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 점검자가 OHT를 이용한 제조 설비의 점검 작업 시, OHT 제어 시스템을 관장하는 운영 근무자가 점검 작업 상태로 점검 작업 종료 상태를 실시간으로 알 수 있도록 하는 기판 처리 시스템 관리 장치 및 기판 처리 시스템 관리 방법을 제공하는 데 있다.
그에 따른 OHT 제어 시스템은 점검자용 위치정보를 발신하는 점검자용 태그; 상기 점검자용 태그와 연동하여 상기 점검자용 위치정보를 중계하는 중계기; 및, 상기 중계기와 연동하여 상기 점검자용 위치정보를 입력받고, 상기 점검자용 위치정보를 점검자용 위치좌표로 변환하는 위치정보 변환부를 포함하는 OHT제어시스템; 을 포함한다.

Description

기판 처리 시스템 관리 장치 및 기판 처리 시스템 관리 방법{MANAGEMENT DEVICE FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND MANAGEMENT METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM}
본 발명은 기판 처리 시스템 관리 장치 및 기판 처리 시스템 관리 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OHT 및 반도체 제조 설비를 관리하는 기판 처리 시스템 관리 장치 및 기판 처리 시스템 관리 방법에 관한 것이다.
반도체 제조기술은 기술 집약 적인 미래기술들이 융합되면서 급변하는 기술혁신 속도 및 빠르게 변화하는 환경에 대응하고 있으며, 특히, 반도체 소자의 집적도가 높아지고 고성능 제품이 개발됨에 따라 반도체 제조 공정의 물류 기술까지도 보다 효율적인 기술을 추구하고 있다.
이러한 반도체 제조 물류 흐름은 병목현상 해결, 설비고장 개선, 그리고 예방보전(Preventive Maintenance, PM) 등을 통해 현장 상황에 따라 관리되고 있는 상황이다.
이와 같은 반도체 제조 물류 흐름에 따라, 반도체 팹(FAB)에서는 OHT(Overhead Hoist Transport)를 이용하여 다양한 물류 반송을 수행하고 있다.
이러한 OHT는 레일 상에서 대량으로 운영되며, 이를 제어 및 관리하기 위하여, 전체 OHT들을 제어하고 관리하는 OHT 제어 시스템(OHT Control System)이 있다.
이 경우, 반도체 제조 설비를 점검하려면, 점검자는 OHT 제어 시스템을 관장하는 운영 근무자와 협의하여 작업 시작 시간과 작업 종료 시간 및 작업 구간을 협의하고, OHT 제어 시스템을 관장하는 운영 근무자는 협의된 작업 시작 시간과 작업 종료 시간 동안 해당 반도체 제조 설비의 작업 구간에 OHT가 진입하지 못하도록 OHT 제어 시스템의 제어 패널상에서 작업 구간을 레인 컷(Lane Cut)으로 설정함으로서, 작업 진행 시 점검자가 OHT들과 충돌하지 않도록 시스템상의 안전 장치를 마련하게 된다.
이후, 점검자는 작업 구간의 시작점과 끝지점에 반사판을 설치하여, 다른 OHT가 작업 구간에 접근시 라이다 센서가 반사판을 장애물로 인식하여 회피 구동되도록 함으로써, 물리적인 안전 장치를 마련하게 된다.
다음, 점검자는 사다리나 롤링타워를 설치한 후, 사다리나 롤링타워를 타고 설비를 점검하게 된다.
다음, 설비의 점검 작업을 끝낸 점검자는 반사판을 제거하고, 사다리나 롤링타워에서 내려온 이후, 사다리나 롤링타워를 다른 곳으로 이동시키는 작업을 진행하게 된다.
다음, 점검자는 OHT 제어 시스템을 관장하는 운영 근무자에게 이동하여 점검 작업이 끝난 것을 알리게 되고, OHT 제어 시스템을 관장하는 운영 근무자는 제어 패널을 조작하여 작업 구간의 레인 컷 설정을 해제하게 된다.
이와 같이, 종래 OHT를 이용하는 제조 설비의 점검시에는 작업 시작부터 작업 종료까지 안전 수칙 절차대로 매우 많은 단계를 진행해야 하는데, 특히, 점검 작업 종료 이후 OHT 제어 시스템을 관장하는 운영 근무자에게 이동하게 되는 경우, 대부분의 OHT 제어 시스템은 전원 설비등과 함께 반도체 제조 설비가 배치되는 층의 아래층에 설치되어 운용하고 있기 때문에, 점검자는 매우 먼거리를 이동해야만 한다.
따라서, OHT 제어 시스템을 감독하는 운영 근무자는 점검을 마친 점검자가 다른 층으로 이동하는 동안에 점검이 끝난 것을 알지 못하기 때문에, 점검 구간을 레인 컷 상태로 설정할 수 밖에 없게 되며, 이로 인해 물류 이송 효율이 낮아지는 문제점을 유발하게 되고, 특히, 점검자가 OHT 제어 시스템을 관장하는 운영 근무자에게 점검 완료에 대한 상황을 알리지 않게 되면, 물류 이송 효율이 더 낮아지는 문제점을 유발하게 된다.
한편, OHT의 점검시에는 점검에 필요한 점검자 보호용 장구류, 부속, 계측기 및, 공구등과 같은 점검용 물품을 필요로 하게 되는데, 이와 같은 점검용 물품은 반도체 제조 설비가 설치되는 공장 내부의 물품 보관소들에 비치되어 운용된다.
이 경우, 물품 보관소에 비치되는 점검용 물품은 반도체 제조 공장 내에 진입한 사람 누구나 이용하기 때문에, 이용 이후에 최초 이용한 지점의 물품 보관소가 아닌 다른 지점의 물품 보관소로 이동하는 경우가 많이 발생하게 된다.
이로 인해 부속이나 공구를 관리하는 현장 운영자는 점검용 물품이 어느 위치의 물품 보관소에 있는지를 알기 어려워 물품 보관소들을 이동해가며 찾아야 하기 때문에, 점검용 물품의 관리가 어려운 문제점이 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 기술적 과제는 점검자가 OHT를 이용한 제조 설비의 점검 작업 시, OHT 제어 시스템을 관장하는 운영 근무자가 점검 작업 상태로 점검 작업 종료 상태를 실시간으로 알 수 있도록 하는 기판 처리 시스템 관리 장치 및 기판 처리 시스템 관리 방법을 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 다른 기술적 과제는 점검 점검자나 현장 운영자가 점검용 물품의 위치를 시간으로 알 수 있도록 하는 기판 처리 시스템 관리 장치 및 기판 처리 시스템 관리 방법을 제공하는 데 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 OHT 제어 시스템은 점검자용 위치정보를 발신하는 점검자용 태그; 상기 점검자용 태그와 연동하여 상기 점검자용 위치정보를 중계하는 중계기; 및, 상기 중계기와 연동하여 상기 점검자용 위치정보를 입력받고, 상기 점검자용 위치정보를 점검자용 위치좌표로 변환하는 위치정보 변환부를 포함하는 OHT제어시스템; 을 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 중계기는 복수 개로 구성되어 각각이 중계기용 위치좌표를 포함하고, 상기 위치정보 변환부는 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검자용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검자용 위치정보를 상기 점검자용 위치좌표로 변환하게 된다.
일 실시예에 의하면, 상기 OHT제어시스템은 상기 점검자용 위치좌표를 맵 내에 디스플레이하고 상기 맵 내에 구간별 레일 및 반도체 제조 설비를 그래픽화하여 출력하는 디스플레이 패널; 을 더 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 OHT제어시스템은 상기 위치정보 변환부와 연동하여 3개의 원형 경로가 교차되는 교차점에 대한 점검자용 위치좌표를 입력받고, 입력받은 교차점에 대한 점검자용 위치좌표를 맵상에 그래픽 아이콘 형태로 출력하는 맵 연동부; 를 더 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 기판 처리 시스템 관리 장치는 점검물품에 결합되어 점검물품용 위치정보를 상기 중계기에 제공하는 점검자용 태그; 를 더 포함하며, 상기 위치정보 변환부는 상기 점검물품용 위치정보를 점검물품용 위치좌표로 변환하게 된다.
일 실시예에 의하면, 상기 중계기는 복수 개로 구성되어 각각이 중계기용 위치좌표를 포함하고, 상기 위치정보 변환부는 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검물품용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검물품용 위치정보를 상기 점검물품용 위치좌표로 변환하게 된다.
일 실시예에 의하면, 상기 OHT제어시스템은 상기 점검물품용 위치좌표를 맵 내에 디스플레이하고, 상기 맵 내에 구간별 레일 및 반도체 제조 설비를 그래픽화하여 출력하는 디스플레이 패널; 을 더 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 OHT제어시스템은 점검 시작 시간과 점검 완료 시간 및 작업 구간을 설정 시, 점검 시간 내의 작업 구간에서 점검 시작 시간과 점검 완료 시간 동안 OHT가 운행되지 않도록 레인 컷을 설정하는 점검 스케줄링 운영부; 를 더 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 OHT제어시스템은 상기 위치정보 변환부와 연동하여 점검자용 태그에서 제공하는 점검자용 위치좌표를 입력받고, 상기 점검 스케줄링 운영부와 연동하여 점검자가 점검 작업을 시행할 점검 구간의 점검구간 위치좌표를 입력받으며, 점검자용 위치좌표가 점검구간 위치좌표의 일정 범위를 벗어나게 되면, 디스플레이 패널에 점검자 이탈 알람을 발생시키는 이탈 알람부; 를 더 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 점검자용 태그는 전원스위치를 더 포함하며, 상기 전원스위치는 턴 온되는 경우 상기 점검자용 위치정보를 발신시키고, 턴 오프되는 경우 상기 점검자용 위치정보의 발신을 중지시키게 된다.
일 실시예에 의하면, 상기 OHT제어시스템은 점검자용 태그가 턴 온되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되는 지를 감시하고, 점검자용 태그가 턴 오프되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되지 않는 경우 디스플레이 패널에 점검자용 위치좌표가 출력되지 않도록 하는 작업 종료 감시부; 를 더 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 작업 종료 감시부는 반도체 제조 설비의 정상 구동 상태 또는 비정상 구동 상태를 입력받아 입력받은 상태정보를 상기 디스플레이 패널에 디스플레이하게 된다.
한편, 상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 시스템 관리 방법은 점검 스케줄링 운영부에서 점검할 제조 설비 부근에 OHT가 진입하지 못하도록 점검 시작 시간과 점검 완료 시간을 설정하여 점검 시작 시간과 점검 완료 시간동안 OHT를 레인 컷하는 점검 스케줄링 설정단계; OHT제어시스템이 중계기와 연동하여 점검자용 태그의 점검자용 위치정보를 입력받는 태그 위치정보 확인단계; 위치정보 변환부가 상기 점검자용 태그에서 제공하는 점검자용 위치정보를 맵 내의 점검자용 위치좌표로 변환하는 태그 위치정보 변환단계; 및, 상기 점검자용 태그의 점검자용 위치좌표를 맵상에 그래픽 아이콘 형태로 형성하여 디스플레이 패널에 출력하는 태그 위치정보 디스플레이단계; 를 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 기판 처리 시스템 관리 방법은 이탈 알람부가 위치정보 변환부로부터 상기 점검자용 위치좌표를 입력받고, 상기 점검 스케줄링 운영부와 연동하여 점검자가 점검 작업을 시행할 점검구간 위치좌표를 입력받은 상태에서 점검자용 위치좌표와 점검구간 위치좌표를 비교하고, 점검자용 위치좌표가 점검구간 위치좌표의 일정 범위를 벗어나게 되면, 디스플레이 패널에 점검자 이탈 알람을 발생시키는 이탈 감시단계; 를 더 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 기판 처리 시스템 관리 방법은 상기 점검자용 태그가 턴 온되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되는 지를 감시하고, 상기 점검자용 태그가 턴 오프되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되지 않는 경우 작업 종료 감시부가 상기 디스플레이 패널에 점검자용 위치좌표가 출력되지 않도록 하는 점검 작업 종료단계; 를 더 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 점검 작업 종료단계에서는 반도체 제조 설비의 상태정보가 정상구동상태인 경우 점검 스케줄링 운영부의 설정을 통해 레인 컷된 작업구간을 해제시키게 된다.
일 실시예에 의하면, 상기 태그 위치정보 확인단계에서는 상기 중계기가 복수 개로 구성되어 각각이 중계기용 위치좌표를 포함하고, 상기 태그 위치정보 변환단계에서는 상기 위치정보 변환부가 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검자용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 점검자용 위치정보를 상기 점검자용 위치좌표로 변환하게 된다.
일 실시예에 의하면, 상기 태그 위치정보 확인단계에서는 상기 OHT제어시스템이 중계기와 연동하여 점검물품용 태그의 점검물품용 위치정보를 더 입력받고, 상기 태그 위치정보 변환단계에서는 상기 위치정보 변환부가 상기 점검물품용 태그에서 제공하는 점검물품용 위치정보를 상기 맵 내의 점검물품용 위치좌표로 더 변환하게 된다.
일 실시예에 의하면, 상기 태그 위치정보 확인단계에서는 상기 중계기가 복수 개로 구성되어 각각이 중계기용 위치좌표를 포함하고, 상기 태그 위치정보 변환단계에서는 상기 위치정보 변환부가 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검물품용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검물품용 위치정보를 상기 점검물품용 위치좌표로 변환하게 된다.
다른 한편, 상기한 기술적 과제들 달성하기 위한 다른 기판 처리 시스템 관리 장치는 점검자용 위치정보를 발신하는 점검자용 태그; 점검물품에 결합되어 점검물품용 위치정보를 발신하는 점검물품용 태그; 상기 점검자용 태그와 연동하여 상기 점검자용 위치정보를 중계하고, 상기 점검물품용 태그와 연동하여 상기 점검물품용 위치정보를 중계하며, 복수 개로 구성되어 각각이 중계기용 위치좌표를 포함하는 중계기; 상기 중계기와 연동하여 상기 점검자용 위치정보 및 상기 점검물품용 위치정보를 입력받고, 상기 점검자용 위치정보를 점검자용 위치좌표로 변환하고, 상기 점검물품용 위치정보를 점검물품용 위치좌표로 변환하는 위치정보 변환부를 포함하는 OHT제어시스템; 및, 상기 점검자용 위치좌표 및 상기 점검물품용 위치좌표를 맵 내에 디스플레이하고, 상기 맵 내에 구간별 레일 및 반도체 제조 설비를 그래픽화하여 출력하는 디스플레이 패널; 를 포함하며,
상기 위치정보 변환부는 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검자용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검자용 위치정보를 상기 점검자용 위치좌표로 변환하며,
상기 위치정보 변환부는 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검물품용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검물품용 위치정보를 점검물품용 위치좌표로 변환하고,
상기 OHT제어시스템은 상기 위치정보 변환부와 연동하여 3개의 원형 경로가 교차되는 교차점에 대한 점검자용 위치좌표를 입력받고 입력받은 교차점에 대한 점검자용 위치좌표를 맵상에 그래픽 아이콘 형태로 출력하고, 상기 위치정보 변환부와 연동하여 3개의 원형 경로가 교차되는 교차점에 대한 점검물품용 위치좌표를 입력받고 입력받은 교차점에 대한 점검물품용 위치좌표를 맵상에 그래픽 아이콘 형태로 출력하는 맵 연동부; 점검 시작 시간과 점검 완료 시간 및 작업 구간을 설정 시, 점검 시간 내의 작업 구간에서 점검 시작 시간과 점검 완료 시간 동안 OHT가 운행되지 않도록 레인 컷을 설정하는 점검 스케줄링 운영부; 및, 상기 위치정보 변환부와 연동하여 점검자용 태그에서 제공하는 점검자용 위치좌표를 입력받고, 상기 점검 스케줄링 운영부와 연동하여 점검자가 점검 작업을 시행할 점검 구간의 점검구간 위치좌표를 입력받으며, 점검자용 위치좌표가 점검구간 위치좌표의 일정 범위를 벗어나게 되면, 디스플레이 패널에 점검자 이탈 알람을 발생시키는 이탈 알람부; 를 더 포함하고,
상기 점검자용 태그는 전원스위치를 더 포함하며, 상기 전원스위치는 턴 온되는 경우 상기 점검자용 위치정보를 발신시키고, 턴 오프되는 경우 상기 점검자용 위치정보의 발신을 중지시키며,
상기 OHT제어시스템은 점검자용 태그가 턴 온되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되는 지를 감시하고, 점검자용 태그가 턴 오프되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되지 않는 경우 디스플레이 패널에 점검자용 위치좌표가 출력되지 않도록 하는 작업 종료 감시부; 를 더 포함하고,
상기 작업 종료 감시부는 반도체 제조 설비의 정상 구동 상태 또는 비정상 구동 상태를 입력받아 입력받은 상태정보를 상기 디스플레이 패널에 디스플레이하게 된다.
본 발명은 점검자가 OHT를 이용한 반도체 제조 설비의 점검 작업 시, OHT 제어 시스템을 관장하는 운영 근무자가 점검 작업 진행 상태와 점검 작업 종료 상태를 실시간으로 알 수 있으므로, 점검자의 이동 없이 OHT 레인 컷 상태를 해제할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 점검 점검자나 현장 운영자가 점검용 물품의 위치를 시간으로 알 수 있기 때문에, 점검용 물품을 매우 용이하게 관리할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템 관리 장치의 블록도.
도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널에 출력되는 맵의 구성도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템 관리 방법의 순서도.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 실시예를 설명하기로 하며, 이 경우, 명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제어하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미하는 것으로 간주한다. 또한, 명세서에 기재된 "...부" 등의 용어는 전자 하드웨어 또는 전자 소프트웨어에 대한 설명시 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하고, 기계장치에 대한 설명시 하나의 부품, 기능, 용도, 지점 또는 구동요소를 의미하는 것으로 간주한다. 또한, 이하에서는 동일한 구성 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하여 설명하기로 하며, 동일한 구성 요소의 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템 관리 장치의 블록도이다. 도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널에 출력되는 맵의 구성도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템 관리 장치는 점검자용 태그(10), 점검물품용 태그(20), 중계기(30) 및, OHT제어시스템(40)을 포함한다.
점검자용 태그(10)는 반도체 제조 설비(1c)를 점검하기 위한 점검자용 위치정보를 제공하기 위하여 점검 작업 시 점검 작업자가 휴대하는 휴대용 통신기기로서, 고유한 식별번호인 점검자용 아이디정보와 및 점검자용 신호세기 정보(RSSI : Received Signal Strength Indicatior)를 발신하게 된다. 이 경우, 점검자용 태그(10)는 고유의 점검자용 아이디정보와 및 점검자용 신호 세기 정보를 중계기(30)로 전송하게 된다. 이와 같은 점검자용 태그(10)는 점검자가 작업시 휴대하거나 점검자의 안전모등에 장착되어 이용된다. 여기서, 점검자용 태그(10)는 점검자의 안전모나 벨트등에 결합된 상태로 운용될 수 있다.
또한, 점검자용 태그(10)는 전원스위치(11)가 설치되며, 전원스위치(11)는 턴 온되는 경우 점검자용 아이디정보와 및 점검자용 신호세기 정보가 발신되고, 턴 오프되는 경우 점검자용 아이디정보와 및 점검자용 신호세기 정보가 발신되지 않도록 하게 된다. 여기서, 전원스위치(11)는 점검 작업 시작 시 작업자가 턴 온시킬 수 있으며, 점검 작업 완료시 턴 오프시킬 수 있다.
점검물품용 태그(20)는 점검물품의 점검물품용 위치정보를 제공하기 위하여 점검물품에 결합되는 휴대용 통신기기로서, 고유한 식별번호인 점검물품용 아이디정보와 점검물품용 위치정보 및 점검물품용 신호세기 정보(RSSI : Received Signal Strength Indicatior)를 발신하게 된다. 이 경우, 점검물품용 태그(20)는 고유의 점검물품용 아이디정보와 점검물품용 신호 세기 정보를 중계기(30)로 전송하게 된다. 이와 같은 점검물품용 태그(20)는 점검시에 이용하는 공구나 계측기등과 같은 점검용 물품에 부착되어 이용된다. 한편, OHT제어시스템(40)상에는 공구나 계측기에 부착된 점검물품용 태그(20) 내의 점검물품용 아이디정보마다 공구명이나 계측기명등이 매칭되도록 점검물품용 데이터 테이블이 더 구성되며, 여기서, 검검물품용 데이터 테이블은 점검물품용 태그(20)가 디스플레이 패널(43)부에 그래픽화되어 출력되는 경우, 공구명이나 계측기명이 디스플레이 패널(43)부에 출력되도록 할 수 있다.
중계기(30)는 점검자용 태그(10)와 OHT제어시스템(40) 사이의 통신을 무선으로 중계하는 장치로서, 블루투스(Bluetooth), 초광대역통신(UWB) 또는, 무선랜(Wi-fi)와 같은 무선 통신을 통해 점검자용 태그(10)와 통신을 수행하게 된다. 이와 같은 중계기(30)는 점검자용 태그(10)와 연동하여 점검자용 태그(10)에서 출력되는 고유한 식별번호인 점검자용 아이디정보 및 점검자용 신호세기 정보를 입력받고, 점검자용 아이디정보 및 점검자용 신호세기 정보를 OHT제어시스템(40)에 전송하게 된다. 여기서, 중계기(30)는 복수 개로 구성되며, 복수 개 각각의 중계기(30)는 점검자용 태그(10)에서 출력되는 고유한 식별번호인 점검자용 아이디정보 및 점검자용 신호세기 정보를 OHT제어시스템(40)에 전송하게 된다.
또한, 중계기(30)는 점검물품용 태그(20)와 OHT제어시스템(40) 사이의 통신을 블루투스(Bluetooth), 초광대역통신(UWB) 또는, 무선랜(Wi-fi)와 같은 무선 통신을 통해 무선으로 중계하게 된다. 중계기(30)는 점검물품용 태그(20)와 연동하여 점검물품용 태그(20)에서 출력되는 고유한 식별번호인 점검물품용 아이디정보 및 점검물품용 신호세기 정보를 입력받고, 점검물품용 아이디정보 및 점검물품용 신호세기 정보를 OHT제어시스템(40)에 전송하게 된다. 여기서, 중계기(30)는 복수 개로 구성되며, 복수 개 각각의 중계기(30)는 점검물품용 태그(20)에서 출력되는 고유한 식별번호인 점검물품용 아이디정보 및 점검물품용 신호세기 정보를 OHT제어시스템(40)에 전송하게 된다.
또한, 복수 개의 중계기(30) 각각은 고유한 아이디값과 함께 중계기 위치좌표(x2,y2)를 내장하고 있으며, 점검자용 아이디정보, 점검자용 신호세기 정보, 점검물품용 아이디정보 및, 점검물품용 신호세기 정보를 전송시에 중계기 위치좌표(x2,y2)를 OHT제어시스템(40)에 전송하게 된다. 이 경우, OHT제어시스템(40)은 도 2에 도시된 바와 같이, 공장 내부의 맵(2a)을 내장하고 있으며, 중계기 위치좌표(x2,y2)는 맵(2a) 내에서 중계기(30)들의 실제 설치 위치와 매칭되어 설정된다. 여기서, 맵(2a)은 그리드좌표값을 가지는 픽셀들의 이미지로 구현될 수 있으며, 중계기 위치좌표(x2,y2)는 특정 픽셀값의 그리드좌표값으로 설정될 수 있다.
OHT제어시스템(40)은 OHT 제어부(41), OHT 모니터링부(42), 디스플레이 패널(43), 위치정보 변환부(44), 맵 연동부(45), 점검 스케줄링 운영부(46), 이탈 알람부(47) 및, 작업 종료 감시부(48)를 포함한다.
OHT 제어부(41)는 OHT(1a)와 통신을 수행하여 OHT(1a)의 구동 및 물류 운반 내역의 구동을 제어하게 된다.
OHT 모니터링부(42)는 OHT(1a)의 상태정보(1f)와 구동 상태 정보 및 물류 상하차 정보를 모니터링하게 된다.
디스플레이 패널(43)은 점검자의 위치를 현장 운영자가 볼 수 있도록 점검자용 태그(10)의 점검자용 위치좌표(x,y)를 맵(2a) 내에 디스플레이하게 된다. 또한, 디스플레이 패널(43)은 점검물품용 태그(20)의 점검물품용 위치좌표(x1,y1)를 맵(2a) 내에 디스플레이하게 된다. 또한, 디스플레이 패널(43)은 점검자용 위치좌표(x,y)와 점검물품용 위치좌표(x1,y1)를 맵(2a) 내에 디스플레이하는 경우, OHT(1a)와 구간별 레일(1b) 및 반도체 제조 설비(1c)등을 맵(2a) 내에 그래픽화하여 출력함으로서, 점검자용 위치정보와 점검물품용 위치정보와 OHT(1a)와 구간별 레일(1b) 및 반도체 제조 설비(1c)의 위치를 상대적으로 비교하여 OHT(1a)를 운영하는 현장 운영자가 점검자의 위치와 점검물품의 위치를 육안으로 쉽게 알아볼 수 있도록 형성된다.
위치정보 변환부(44)는 점검자용 태그(10)에서 제공하는 점검자용 위치정보를 맵(2a) 내의 점검자용 위치좌표(x,y)로 변환하게 된다. 위치정보 변환부(44)가 점검자용 태그(10)에서 제공하는 위치정보를 맵(2a) 내의 점검자용 위치좌표(x,y)로 변환하는 일 예에 대해 설명하면, 먼저, 위치정보 변환부(44)는 맵(2a)의 중계기 위치좌표(x2,y2)들을 저장한 상태에서, 복수 개의 중계기(30)와 연동하여 점검자용 태그(10)에서 출력되는 고유한 식별번호인 점검자용 아이디정보 및 점검자용 신호세기 정보를 입력받게 된다. 또한, 위치정보 변환부(44)는 복수 개의 중계기(30)가 하나의 점검자용 태그(10)와 통신을 수행하여 복수 개의 점검자용 아이디정보 및 점검자용 신호세기 정보를 입력받게 되는데, 이 경우, 위치정보 변환부(44)는 복수 개로 입력되는 점검자용 아이디정보가 동일한 경우에 대해 각각의 점검자용 신호세기 정보를 거리변환식에 의해 거리정보로 변환하게 된다. 여기서, 거리변환식은 점검자용 태그(10)와 중계기(30) 사이의 거리에 따라 점검자용 신호세기 정보의 신호 강도의 변화율을 실험값에 의해 설정한 변환 그래프에 해당한다. 예들 들면, 위치정보 변환부(44)는 점검자용 신호세기 정보의 신호 강도1(RSSI_1)이 -50db인 경우 점검자용 태그(10)와 중계기(30) 사이의 측정된 거리가 20m이고, 점검자용 신호세기 정보의 신호 강도2(RSSI_2)가 -45db인 경우 점검자용 태그(10)와 중계기(30) 사이의 측정된 거리가 10m이며, 점검자용 신호세기 정보의 신호 강도3(RSSI_3)이 -43db인 경우 점검자용 태그(10)와 중계기(30) 사이의 측정된 거리가 8m인 경우 각각에 대해 점검자용 신호세기 정보에 따라 측정된 거리정보를 저장하고, 수치를 보간하여 점검자용 신호세기 정보의 신호 강도와 측정된 거리를 거리변환식으로 변환하게 된다.
이와 같이 위치정보 변환부(44)에 의해 변환된 거리변환식은 점검자용 태그(10)의 위치를 확인하기 위하여 이용되는데, 보다 구체적으로, 적어도 3개로 구성되는 중계기(30) 각각에서 어느 하나의 점검자용 태그(10)에서 발신되는 점검자용 아이디 정보와 점검자용 신호세기 정보를 입력받아 중계기 위치좌표(x2,y2)와 함께 위치정보 변환부(44)에 전송하게 되면, 위치정보 변환부(44)에서는 3개의 중계기(30) 각각의 위치좌표들에서 거리변환식에 의해 변환된 거리를 출력하게 된다. 이 경우, 거리변환식에 변환된 거리는 원형의 경로로 형성되며, 3개의 중계기(30) 각각에서는 3개의 원형 경로를 생성하게 된다. 이때, 위치정보 변환부(44)는 3개의 원형 경로가 교차되는 교차점(1e)을 점검자용 태그(10)의 점검자용 위치좌표(x,y)로 인식하게 된다.
맵 연동부(45)는 위치정보 변환부(44)와 연동하여 3개의 원형 경로가 교차되는 교차점(1e)에 대한 점검자용 위치좌표(x,y)를 입력받고, 입력받은 교차점(1e)에 대한 점검자용 위치좌표(x,y)를 맵(2a)상에 그래픽 아이콘 형태로 디스플레이 패널(43)에 출력하게 된다. 여기서, 맵(2a)이 출력되는 디스플레이 패널(43)은 OHT제어시스템(40)와 연동하고, 이 경우, 맵 연동부(45)는 점검자용 태그(10) 위치에 대한 그래픽 아이콘 뿐만 아니라, OHT(1a)와 구간별 레일(1b) 및 반도체 제조 설비(1c)등을 그래픽화되어 출력됨으로써, 공장 내부의 OHT(1a)와 구간별 레일(1b) 및 제조 설비등과 비교하여 상대적인 위치를 알 수 있도록 구현된다. 따라서, 현장 운영자는 디스플레이 패널(43)에 출력되는 맵(2a) 내의 점검자용 위치좌표(x,y)에 대한 그래픽 아이콘을 확인하여 점검자가 어느 위치에 있는지를 알 수 있게 된다.
또한, 위치정보 변환부(44)는 점검물품용 태그(20)에서 제공하는 위치정보를 맵(2a) 내의 점검물품용 위치좌표(x1,y1)로 변환하게 된다. 여기서, 점검물품용 태그(20)에서 제공하는 위치정보를 맵(2a) 내의 점검물품용 위치좌표(x1,y1)로 변환하는 일 예로써, 점검물품용 태그(20)는 점검물품용 아이디정보와 점검물품용 신호 세기 정보를 위치정보 변환부(44)로 전송하게 된다. 여기서, 위치정보 변환부(44)는 전술한 점검자용 태그(10)와 동일한 방식의 거리변환식에 의해 생성된 점검물품용 위치좌표(x1,y1)를 디스플레이 패널(43)의 맵(2a)내에 아이콘 형태로 출력시키게 된다. 이 경우, 점검물품용 태그(20)는 점검자용 태그(10)와 아이디 정보만이 다르고, 디스플레이되는 아이콘이나 인식정보만이 다르며, 위치정보를 변환하는 방식은 점검자용 태그(10)와 동일하므로, 이에 대한 중복적인 설명은 생략하기로 한다. 이와 같이, 위치정보 변환부(44)는 점검물품용 태그(20)의 점검물품용 위치좌표(x1,y1)가 디스플레이 패널(43)상에 나타나는 것을 통해 점검용 물품의 위치를 실시간으로 확인할 수 있으므로, 점검용 물품을 용이하게 관리할 수 있게 된다.
점검 스케줄링 운영부(46)는 점검 시작 시간과 점검 완료 시간 및 작업 구간을 설정 시, 점검 시간 내의 작업 구간에서 점검 시작 시간과 점검 완료 시간 동안 OHT(1a)가 운행되지 않도록 레인 컷을 설정하게 된다. 이와 같은 스케줄링 운영부는 현장 운영자가 직접적으로 OHT제어시스템(40)의 제어용 입력장치(미도시)를 조작하여 설정될 수 있다.
이탈 알람부(47)는 위치정보 변환부(44)와 연동하여 점검자용 태그(10)에서 제공하는 점검자용 위치좌표(x,y)를 입력받고, 점검 스케줄링 운영부(46)와 연동하여 점검자가 점검 작업을 시행할 점검 구간의 점검구간 위치좌표(x3,y3)를 입력받게 된다. 이 경우, 이탈 알람부(47)는 점검자용 위치좌표(x,y)와 점검구간 위치좌표(x3,y3)를 비교하고, 점검자용 위치좌표(x,y)가 점검구간 위치좌표(x3,y3)의 일정 범위를 벗어나게 되면, 디스플레이 패널(43)에 점검자 이탈 알람을 발생시키게 된다. 따라서, OHT제어시스템(40)을 관리하는 현장 운영자는 이탈 알람을 통해 점검자의 정상 작업 여부를 실시간으로 확인하여 실시간으로 조치를 취할 수 있게 된다.
작업 종료 감시부(48)는 점검자용 태그(10)가 턴 온되어 점검자용 위치좌표(x,y)가 실시간으로 입력되는 지를 감시하고, 점검자용 태그(10)가 턴 오프되어 점검자용 위치좌표(x,y)가 실시간으로 입력되지 않는 경우 디스플레이 패널(43)에 점검자용 위치좌표(x,y)가 출력되지 않도록 하게 된다. 또한, 작업 종료 감시부(48)는 디스플레이 패널(43)에 점검자용 위치좌표(x,y)가 출력되지 않는 경우, 작업 종료 알람을 디스플레이 패널(43)에 출력할 수 있다. 따라서, OHT제어시스템(40)을 관리하는 현장 운영자는 맵(2a) 상에 디스플레이되는 작업 종료 알람과 점검자용 위치좌표(x,y)가 출력되지 않는 것을 육안으로 확인하여, 점검 작업이 종료된 것을 확인할 수 있게 된다.
또한, 작업 종료 감시부(48)는 작업 구간에 점검할 반도체 제조 설비(1c)와 연동하여 반도체 제조 설비(1c)의 상태정보(1f)를 입력받게 된다. 이 경우, 반도체 제조 설비(1c)의 상태정보(1f)는 정상 구동 상태 또는 반도체 제조 설비(1c)내에 에러등이 발생하여 점검이 필요한 비정상 구동 상태를 포함한다. 이 경우, 작업 종료 감시부(48)는 맵 연동부(45)와 연동하여 반도체 제조 설비(1c)가 정상 구동 상태인지 또는 비정상 구동 상태인지에 대한 상태정보(1f)를 맵 연동부(45)에 출력하고, 맵 연동부(45)는 반도체 제조 설비(1c)의 상태 정보를 그래픽으로 출력하여 맵(2a)과 함께 디스플레이 패널(43)에 디스플레이하게 된다. 따라서, OHT제어시스템(40)을 관리하는 현장 운영자는 맵(2a) 상에 디스플레이되는 상태정보(1f)를 육안으로 확인하여, 반도체 제조 설비(1c)의 정상 구동 상태를 확인할 수 있게 된다.
이하에서는 상기한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템 관리 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템 관리 방법의 순서도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템 관리 방법은 점검 스케줄링 설정단계(S10), 태그 위치정보 확인단계(S20), 태그 위치정보 변환단계(S30), 태그 위치정보 디스플레이단계(S40), 이탈 감시단계(S50) 및, 점검 작업 종료단계(S60)를 포함한다.
먼저, 점검 스케줄링 설정단계(S10)에서는 점검자가 점검할 반도체 제조 설비(1c)의 작업 구간에 대해 점검 시작 시간과 점검 완료 시간동안 OHT(1a)가 레인 컷되도록 점검 스케줄링 운영부(46)에서 점검 시작 시간과 점검 완료 시간을 설정하게 된다.
다음, 태그 위치정보 확인단계(S20)에서는 OHT제어시스템(40)이 중계기 위치좌표(x2,y2)를 맵(2a) 내의 위치정보로 변환한 상태에서, 점검자용 태그(10)의 점검자용 아이디정보와 및 점검자용 신호세기 정보를 각각의 중계기(30)로부터 입력받게 되고, 점검물품용 태그(20)로부터 점검물품용 아이디정보와 점검물품용 신호 세기 정보를 중계기(30)로부터 입력받게 된다.
다음, 태그 위치정보 변환단계(S30)에서는 위치정보 변환부(44)가 점검자용 태그(10)에서 제공하는 점검자용 위치정보를 맵(2a) 내의 점검자용 위치좌표(x,y)로 변환하고, 점검물품용 태그(20)에서 제공하는 위치정보를 맵(2a) 내의 점검자용 위치좌표(x,y)로 변환하게 된다. 이 경우, 점검자용 태그(10) 및 점검물품용 태그(20)에서 제공하는 위치정보를 맵(2a) 내의 위치정보로 변환하는 방식은 점검자용 태그(10) 및 점검물품용 태그(20)에서 직접적으로 위치정보를 제공하거나 전술한 바와 같이, 위치정보 변환부(44)가 점검자용 아이디정보, 점검물품용 아이디정보, 점검자용 신호 세기 정보 및, 점검물품용 신호 세기 정보와 함께 중계기(30)의 위치정보를 입력받고, 거리변환식에 의해 생성되는 3개의 원형 경로들이 교차되는 교차점(1e)을 점검자용 태그(10)의 점검자용 위치좌표(x,y)나 점검물품용 위치좌표(x1,y1)로 인식하는 방식을 이용할 수 있다.
다음, 태그 위치정보 디스플레이단계(S40)에서는 점검자용 태그(10) 및 점검물품용 태그(20)에 대한 맵(2a) 내의 점검자용 위치좌표(x,y) 및 점검물품용 위치좌표(x1,y1)를 맵(2a)상에 그래픽 아이콘 형태로 형성하여 OHT제어시스템(40)와 연동하는 디스플레이 패널(43)에 출력하게 된다. 이 경우, 맵(2a)에는 점점자용 태그 및 점검물품용 태그(20)의 위치를 상대적으로 용이하게 알 수 있도록 하기 위하여, OHT(1a)와 구간별 레일(1b) 및 반도체 제조 설비(1c)등이 그래픽화되어 출력된다. 이 경우, OHT제어시스템(40)을 운영하는 현장 운영자는 디스플레이 패널(43)에 출력되는 점검자용 태그(10) 및 점검물품용 태그(20)의 위치에 대한 그래픽 아이콘을 보고, 어느 위치에 점검자가 있는지와 어느 위치에 점검용물품이 배치되어 있는지를 용이하게 알 수 있게 된다.
다음, 이탈 감시단계(S50)에서는 이탈 알람부(47)가 위치정보 변환부(44)로부터 점검자용 위치좌표(x,y)를 입력받고, 점검 스케줄링 운영부(46)와 연동하여 점검자가 점검 작업을 시행할 점검구간 위치좌표(x3,y3)를 입력받은 상태에서 점검자용 위치좌표(x,y)와 점검구간 위치좌표(x3,y3)를 비교하고, 점검자용 위치좌표(x,y)가 점검구간 위치좌표(x3,y3)의 일정 범위를 벗어나게 되면, 디스플레이 패널(43)에 점검자 이탈 알람을 발생시키게 된다. 따라서, OHT제어시스템(40)을 관리하는 현장 운영자는 이탈 감시단계(S50)에서의 이탈 알람을 통해 점검자의 정상 작업 여부를 실시간으로 확인하여 실시간으로 조치를 취할 수 있게 된다.
다음, 점검 작업 종료단계(S60)에서는 점검자가 작업을 종료하여 점검자용 태그(10)의 전원스위치(11)를 턴 오프시키게 되는 경우, 작업 종료 감시부(48)가 디스플레이 패널(43)에 점검자용 위치좌표(x,y)가 출력되지 않도록 한 상태에서 작업 종료 알람을 발생시키게 된다. 이 경우, OHT제어시스템(40)을 운용하는 현장 관리자는 작업 종료 감시부(48)에 의해 디스플레이 패널(43)부에 출력되는 반도체 제조 설비(1c)의 상태정보(1f)를 확인하고, 반도체 제조 설비(1c)의 상태정보(1f)가 정상구동상태인 경우에 작업구간의 레인 컷을 해제시키게 된다. 즉, 반도체 제조 설비(1c)를 검검하는 점검자는 OHT제어시스템(40)을 운용하는 현장 관리자에게 직접적으로 이동할 필요 없이 검검자용 태그의 전원스위치(11)가 턴 오프시키는 작업만으로, OHT제어시스템(40)을 운용하는 현장 관리자에게 작업 종료 시점을 알릴 수 있게 된다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템 관리 장치 및 기판 처리 시스템 관리 방법은 점검자가 OHT(1a)를 이용한 반도체 제조 설비(1c)의 점검 작업 시, OHT제어시스템(40)을 관장하는 운영 근무자가 점검 작업 진행 상태와 점검 작업 종료 상태를 실시간으로 알 수 있으므로, 점검자의 이동 없이 OHT의 레인 컷 상태를 해제할 수 있게 된다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템 관리 방법은 점검 점검자나 현장 운영자가 점검용 물품의 위치를 시간으로 알 수 있기 때문에, 점검용 물품을 매우 용이하게 관리할 수 있게 된다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10 : 점검자용 태그 20 : 점검물품용 태그
30 : 중계기 40 : OHT제어시스템
41 : OHT 제어부 42 : OHT 모니터링부
43 : 디스플레이 패널 44 : 위치정보 변환부
45 : 맵 연동부 46 : 점검 스케줄링 운영부
47 : 이탈 알람부 48 : 작업 종료 감시부

Claims (20)

  1. 점검자용 위치정보를 발신하는 점검자용 태그;
    상기 점검자용 태그와 연동하여 상기 점검자용 위치정보를 중계하는 중계기; 및,
    상기 중계기와 연동하여 상기 점검자용 위치정보를 입력받고, 상기 점검자용 위치정보를 점검자용 위치좌표로 변환하는 위치정보 변환부를 포함하는 OHT제어시스템; 을 포함하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 중계기는 복수 개로 구성되어 각각이 중계기용 위치좌표를 포함하고,
    상기 위치정보 변환부는 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검자용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검자용 위치정보를 상기 점검자용 위치좌표로 변환하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 OHT제어시스템은 상기 점검자용 위치좌표를 맵 내에 디스플레이하고 상기 맵 내에 구간별 레일 및 반도체 제조 설비를 그래픽화하여 출력하는 디스플레이 패널; 을 더 포함하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 OHT제어시스템은 상기 위치정보 변환부와 연동하여 3개의 원형 경로가 교차되는 교차점에 대한 점검자용 위치좌표를 입력받고, 입력받은 교차점에 대한 점검자용 위치좌표를 맵상에 그래픽 아이콘 형태로 출력하는 맵 연동부; 를 더 포함하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    점검물품에 결합되어 점검물품용 위치정보를 상기 중계기에 제공하는 점검자용 태그; 를 더 포함하며,
    상기 위치정보 변환부는 상기 점검물품용 위치정보를 점검물품용 위치좌표로 변환하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 중계기는 복수 개로 구성되어 각각이 중계기용 위치좌표를 포함하고,
    상기 위치정보 변환부는 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검물품용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검물품용 위치정보를 상기 점검물품용 위치좌표로 변환하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 OHT제어시스템은 상기 점검물품용 위치좌표를 맵 내에 디스플레이하고, 상기 맵 내에 구간별 레일 및 반도체 제조 설비를 그래픽화하여 출력하는 디스플레이 패널; 을 더 포함하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 OHT제어시스템은 점검 시작 시간과 점검 완료 시간 및 작업 구간을 설정 시, 점검 시간 내의 작업 구간에서 점검 시작 시간과 점검 완료 시간 동안 OHT가 운행되지 않도록 레인 컷을 설정하는 점검 스케줄링 운영부; 를 더 포함하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 OHT제어시스템은 상기 위치정보 변환부와 연동하여 점검자용 태그에서 제공하는 점검자용 위치좌표를 입력받고, 상기 점검 스케줄링 운영부와 연동하여 점검자가 점검 작업을 시행할 점검 구간의 점검구간 위치좌표를 입력받으며, 점검자용 위치좌표가 점검구간 위치좌표의 일정 범위를 벗어나게 되면, 디스플레이 패널에 점검자 이탈 알람을 발생시키는 이탈 알람부; 를 더 포함하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 점검자용 태그는 전원스위치를 더 포함하며, 상기 전원스위치는 턴 온되는 경우 상기 점검자용 위치정보를 발신시키고, 턴 오프되는 경우 상기 점검자용 위치정보의 발신을 중지시키는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 OHT제어시스템은 점검자용 태그가 턴 온되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되는 지를 감시하고, 점검자용 태그가 턴 오프되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되지 않는 경우 디스플레이 패널에 점검자용 위치좌표가 출력되지 않도록 하는 작업 종료 감시부; 를 더 포함하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 작업 종료 감시부는 반도체 제조 설비의 정상 구동 상태 또는 비정상 구동 상태를 입력받아 입력받은 상태정보를 상기 디스플레이 패널에 디스플레이하는, 기판 처리 시스템 관리 장치.
  13. 점검 스케줄링 운영부에서 점검할 제조 설비 부근에 OHT가 진입하지 못하도록 점검 시작 시간과 점검 완료 시간을 설정하여 점검 시작 시간과 점검 완료 시간동안 OHT를 레인 컷하는 점검 스케줄링 설정단계;
    OHT제어시스템이 중계기와 연동하여 점검자용 태그의 점검자용 위치정보를 입력받는 태그 위치정보 확인단계;
    위치정보 변환부가 상기 점검자용 태그에서 제공하는 점검자용 위치정보를 맵 내의 점검자용 위치좌표로 변환하는 태그 위치정보 변환단계; 및,
    상기 점검자용 태그의 점검자용 위치좌표를 맵상에 그래픽 아이콘 형태로 형성하여 디스플레이 패널에 출력하는 태그 위치정보 디스플레이단계; 를 포함하는, 기판 처리 시스템 관리 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    이탈 알람부가 위치정보 변환부로부터 상기 점검자용 위치좌표를 입력받고, 상기 점검 스케줄링 운영부와 연동하여 점검자가 점검 작업을 시행할 점검구간 위치좌표를 입력받은 상태에서 점검자용 위치좌표와 점검구간 위치좌표를 비교하고, 점검자용 위치좌표가 점검구간 위치좌표의 일정 범위를 벗어나게 되면, 디스플레이 패널에 점검자 이탈 알람을 발생시키는 이탈 감시단계; 를 더 포함하는, 기판 처리 시스템 관리 방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 점검자용 태그가 턴 온되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되는 지를 감시하고, 상기 점검자용 태그가 턴 오프되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되지 않는 경우 작업 종료 감시부가 상기 디스플레이 패널에 점검자용 위치좌표가 출력되지 않도록 하는 점검 작업 종료단계; 를 더 포함하는, 기판 처리 시스템 관리 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 점검 작업 종료단계에서는 반도체 제조 설비의 상태정보가 정상구동상태인 경우 점검 스케줄링 운영부의 설정을 통해 레인 컷된 작업구간을 해제시키는, 기판 처리 시스템 관리 방법.
  17. 제12항에 있어서,
    상기 태그 위치정보 확인단계에서는 상기 중계기가 복수 개로 구성되어 각각이 중계기용 위치좌표를 포함하고,
    상기 태그 위치정보 변환단계에서는 상기 위치정보 변환부가 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검자용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검자용 위치정보를 상기 점검자용 위치좌표로 변환하는, 기판 처리 시스템 관리 방법.
  18. 제12항에 있어서,
    상기 태그 위치정보 확인단계에서는 상기 OHT제어시스템이 중계기와 연동하여 점검물품용 태그의 점검물품용 위치정보를 더 입력받고,
    상기 태그 위치정보 변환단계에서는 상기 위치정보 변환부가 상기 점검물품용 태그에서 제공하는 점검물품용 위치정보를 상기 맵 내의 점검물품용 위치좌표로 변환하는, 기판 처리 시스템 관리 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 태그 위치정보 확인단계에서는 상기 중계기가 복수 개로 구성되어 각각이 중계기용 위치좌표를 포함하고,
    상기 태그 위치정보 변환단계에서는 상기 위치정보 변환부가 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검물품용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검물품용 위치정보를 상기 점검물품용 위치좌표로 변환하는, 기판 처리 시스템 관리 방법.
  20. 점검자용 위치정보를 발신하는 점검자용 태그;
    점검물품에 결합되어 점검물품용 위치정보를 발신하는 점검물품용 태그;
    상기 점검자용 태그와 연동하여 상기 점검자용 위치정보를 중계하고, 상기 점검물품용 태그와 연동하여 상기 점검물품용 위치정보를 중계하며, 복수 개로 구성되어 각각이 중계기용 위치좌표를 포함하는 중계기;
    상기 중계기와 연동하여 상기 점검자용 위치정보 및 상기 점검물품용 위치정보를 입력받고, 상기 점검자용 위치정보를 점검자용 위치좌표로 변환하고, 상기 점검물품용 위치정보를 점검물품용 위치좌표로 변환하는 위치정보 변환부를 포함하는 OHT제어시스템; 및,
    상기 점검자용 위치좌표 및 상기 점검물품용 위치좌표를 맵 내에 디스플레이하고, 상기 맵 내에 구간별 레일 및 반도체 제조 설비를 그래픽화하여 출력하는 디스플레이 패널; 를 포함하며,
    상기 위치정보 변환부는 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검자용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검자용 위치정보를 상기 점검자용 위치좌표로 변환하며,
    상기 위치정보 변환부는 복수 개 각각의 중계기용 위치좌표에서 상기 점검물품용 태그와의 상대적인 거리들의 교차점을 통해 상기 점검물품용 위치정보를 점검물품용 위치좌표로 변환하고,
    상기 OHT제어시스템은 상기 위치정보 변환부와 연동하여 3개의 원형 경로가 교차되는 교차점에 대한 점검자용 위치좌표를 입력받고 입력받은 교차점에 대한 점검자용 위치좌표를 맵상에 그래픽 아이콘 형태로 출력하고, 상기 위치정보 변환부와 연동하여 3개의 원형 경로가 교차되는 교차점에 대한 점검물품용 위치좌표를 입력받고 입력받은 교차점에 대한 점검물품용 위치좌표를 맵상에 그래픽 아이콘 형태로 출력하는 맵 연동부; 점검 시작 시간과 점검 완료 시간 및 작업 구간을 설정 시, 점검 시간 내의 작업 구간에서 점검 시작 시간과 점검 완료 시간 동안 OHT가 운행되지 않도록 레인 컷을 설정하는 점검 스케줄링 운영부; 및, 상기 위치정보 변환부와 연동하여 점검자용 태그에서 제공하는 점검자용 위치좌표를 입력받고, 상기 점검 스케줄링 운영부와 연동하여 점검자가 점검 작업을 시행할 점검 구간의 점검구간 위치좌표를 입력받으며, 점검자용 위치좌표가 점검구간 위치좌표의 일정 범위를 벗어나게 되면, 디스플레이 패널에 점검자 이탈 알람을 발생시키는 이탈 알람부; 를 더 포함하고,
    상기 점검자용 태그는 전원스위치를 더 포함하며, 상기 전원스위치는 턴 온되는 경우 상기 점검자용 위치정보를 발신시키고, 턴 오프되는 경우 상기 점검자용 위치정보의 발신을 중지시키며,
    상기 OHT제어시스템은 점검자용 태그가 턴 온되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되는 지를 감시하고, 점검자용 태그가 턴 오프되어 점검자용 위치좌표가 실시간으로 입력되지 않는 경우 디스플레이 패널에 점검자용 위치좌표가 출력되지 않도록 하는 작업 종료 감시부; 를 더 포함하고,
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