KR20230095559A - 연마휠, 연마 장치 및 이를 이용한 패드 전극의 형성 방법 - Google Patents

연마휠, 연마 장치 및 이를 이용한 패드 전극의 형성 방법 Download PDF

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KR20230095559A
KR20230095559A KR1020210185153A KR20210185153A KR20230095559A KR 20230095559 A KR20230095559 A KR 20230095559A KR 1020210185153 A KR1020210185153 A KR 1020210185153A KR 20210185153 A KR20210185153 A KR 20210185153A KR 20230095559 A KR20230095559 A KR 20230095559A
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polishing
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polishing wheel
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이재헌
홍성도
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(주)미래컴퍼니
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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 연마 장치의 회전축에 결합되는 결합부 및 상기 회전축에 평행한 연마면을 구비하고, 상기 연마면에는 연마 패턴이 형성된 연마휠부를 포함하고, 상기 연마 패턴은 상기 연마면의 회전 방향을 따라 형성된 복수의 그루브(groove)들과, 상기 복수의 그루브들 사이에 배치되는 복수의 블록들을 포함하는, 연마휠을 제공한다.

Description

연마휠, 연마 장치 및 이를 이용한 패드 전극의 형성 방법{GRINDING WHEEL, GRINDING APPARATUS AND PAD ELECTRODE FORMING METHOD USING THE SAME}
본 발명의 실시예는 연마휠, 연마 장치 및 이를 이용한 패드 전극의 형성방법에 관한 것이다.
디스플레이(Display) 장치는 전기적 신호를 기반으로 이미지를 생성하여 표출하는 장치이다. 근래에는 TFT(Thin-film-transistor)를 이용한 박막 액정 패널과 같은 디스플레이 패널을 필수 구성으로 포함하는 형태의 디스플레이가 널리 이용되고 있다. 이를 통해 디스플레이 패널 및 장치의 두께는 혁신적으로 감소하게 되었다.
디스플레이 장치에 있어서 또 하나의 이슈는, 디스플레이 패널을 둘러싸는 베젤(bezel)의 폭이다. 디스플레이 패널은 일반적으로 그 가장자리 영역에 디스플레이 패널 내부의 TFT와 같은 스위칭 소자들에 전기적 신호를 전달하기 위한 다수의 전극을 포함한다. 상기 베젤은 이러한 전극 및 이에 접속되는 커넥터 및 전선들을 내부에 수용하게 되므로, 그 폭을 줄이는 데에 한계가 있었다. 이에 따라, 상기와 같은 베젤을 없애거나 그 폭을 줄이기 위해서는 상기 전극을 형성하는 방법을 획기적으로 개선하는 것이 필요하다.
본 발명의 실시예는 패널의 측면에 내구성이 높은 패드 전극을 형성하기 위한 연마휠, 연마 장치 및 이를 이용한 패드 전극의 형성 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예는, 연마 장치의 회전축에 결합되는 결합부 및 상기 회전축에 평행한 연마면을 구비하고, 상기 연마면에는 연마 패턴이 형성된 연마휠부를 포함하고, 상기 연마 패턴은 상기 연마면의 회전 방향을 따라 형성된 복수의 그루브(groove)들과, 상기 복수의 그루브들 사이에 배치되는 복수의 블록들을 포함하는, 연마휠을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는, 회전축을 갖는 스핀들 모터 및 상기 스핀들 모터의 회전축에 결합되는 결합부와, 상기 회전축에 평행한 연마면을 구비하고 상기 연마면에는 연마 패턴이 형성된 연마휠부를 포함하는 연마휠을 포함하고, 상기 연마 패턴은 상기 연마면의 회전 방향을 따라 형성되는 복수의 그루브(groove)들과, 상기 복수의 그루브들 사이에 배치되는 복수의 블록들을 포함하는, 연마 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예는, 연마 대상체의 상면의 일측에 일정 간격으로 이격되는 복수의 상면 전극을 형성하는 단계, 상기 복수의 상면 전극에 인접한 상기 연마 대상체의 측면을 그라인딩(grinding)하는 단계, 상기 연마 대상체의 측면과 상기 복수의 상면 전극의 일부를 커버하도록 금속막을 형성하는 단계 및 연마 패턴이 형성된 연마휠을 이용하여 상기 금속막의 일부를 연마하는 것에 의해 상기 상면 전극과 연결되는 측면 패드 전극을 형성하는 단계를 포함하는, 패드 전극의 형성 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는, 전술한 방법에 의해 패드 전극이 형성된 연마 대상체를 제공한다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 따른 연마휠, 연마 장치 및 패드 전극의 형성 방법은 연마 패턴이 형성된 연마휠을 이용함으로써, 연마 대상체의 측면에 안정적인 패드 전극을 형성할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 연마휠, 연마 장치 및 패드 전극의 형성 방법은 연마휠 내부로 갈수록 폭이 좁아지는 그루브들로 연마 패턴을 형성함으로써, 패드 전극의 폭과 패드 전극 사이의 폭을 연마휠의 가공 깊이를 이용하여 정밀하게 조절할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치에 의해 패드 전극이 형성된 연마 대상체의 일부를 확대하여 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3 내지 도 5는 도 2의 연마휠을 설명하기 위한 도면들이다.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 전극의 형성 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 패드 전극의 형성 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 이하의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예들은 다양한 변환을 가할 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 실시예들의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 내용들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 실시예들은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하의 실시예에서 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서 유닛, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 유닛, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
이하의 실시예에서 연결하다 또는 결합하다 등의 용어는 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 반드시 두 부재의 직접적 및/또는 고정적 연결 또는 결합을 의미하는 것은 아니며, 두 부재 사이에 다른 부재가 개재된 것을 배제하는 것이 아니다.
명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 이하의 실시예는 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치에 의해 패드 전극이 형성된 연마 대상체(1)의 일부를 확대하여 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(100)를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 3 내지 도 5는 도 2의 연마휠(120)을 설명하기 위한 도면들이다.
도 1을 참조하면, 연마 대상체(1)는 연마 장치(100)에 의해 연마가공되는 대상으로, 일 실시예로서, 디스플레이 패널일 수 있다. 디스플레이 패널은 박막 액정표시장치(TFT LCD, Thin-film-transitor Liquid Drystal Display), 유기발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display) 등일 수 있다.
디스플레이 패널은 영상을 표출하기 위해 패널 내 영역으로 전기 신호를 공급하기 위한 전극을 구비할 수 있다. 전극은 디스플레이 패널의 측면(A2)에 형성됨으로써, 전극이 디스플레이 패널의 상면(A1)에만 형성되는 경우에 비해 가장자리에 영상이 표시되지 않는 부분을 없애거나 최소화할 수 있다. 이를 통해, 디스플레이 패널의 베젤(bezel)을 없애거나 그 두께를 최소화하는 설계가 가능하다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(100)는 스핀들 모터(130) 및 연마휠(120)을 구비할 수 있다. 또한, 연마 장치(100)는 연마 대상체(1)를 지지하는 지지테이블(110)을 더 구비할 수 있다.
스핀들 모터(130)는 회전축(Ax1)을 갖고 장착되는 연마휠(120)을 회전축(Ax1)에 대하여 회전시킬 수 있다. 도시하지 않았지만, 스핀들 모터(130)는 제어부(미도시)에 의해 회전 속도, 회전 방향 등이 제어될 수 있다.
연마휠(120)은 스핀들 모터(130)의 회전축(Ax1)에 결합되는 결합부(121) 및 회전축(Ax1)에 평행한 연마면(PA)을 구비하고, 연마면에는 연마 패턴(PT)이 형성된 연마휠부(123)를 포함할 수 있다.
이때, 연마 패턴(PT)은 연마면(PA)의 회전 방향을 따라 형성된 복수의 그루브(groove, pg)들과, 복수의 그루브(pg)들 사이에 배치되는 복수의 블록(pb)을 포함할 수 있다.
연마 장치(100)는 회전하는 연마휠(120)을 연마 대상체(1)의 측면(A2)을 향하여(도 2에서 y방향) 이동시킴으로써, 연마 대상체(1)의 측면(A2)에 형성된 금속막을 연마 가공할 수 있다. 연마휠(120)은 전술한 바와 같이, 연마 패턴(PT)이 형성되어 있으므로, 연마 패턴(PT)에 대응되는 형태로 금속막이 연마 가공될 수 있으며, 서로 단락된 패드 전극을 형성할 수 있다.
연마휠(120)은 복수의 그루브(pg)들이 배치되는 방향이 연마 대상체(1)의 패드 전극들이 배열되는 방향(x방향)에 평행하도록 구비되어 연마 대상체(1)를 연마 가공할 수 있다.
여기서, 연마휠(120)의 복수의 블록(pb)들은 연마 대상체(1)의 패드 전극 간격에 대응될 수 있다. 복수의 블록(pb)들은 연마 대상체(1)의 측면(A2)에 실질적으로 접촉하는 부분으로, 복수의 블록(pb)들에 의해 대응되는 부분의 금속막이 제거될 수 있다. 따라서, 복수의 블록(pb)들의 간격(g1)은 기 설정된 패드 전극의 간격(g2)에 대응될 수 있다.
특히, 연마 대상체(1)에 상면 전극(11)이 먼저 형성되어 있는 경우, 복수의 블록(pb)들의 간격(g1)은 상면 전극(11)의 간격에 대응될 수 있다. 예를 들면, 복수의 블록(pb)들은 1mm 이하의 간격(g1)으로 이격될 수 있다.
여기서, 연마면(PA)에서의 블록(pb)의 폭(w1)은 블록(pb)들 사이에 형성되는 그루브(pg)의 폭(w2)보다 작을 수 있다. 이때, 복수의 그루브(pg)들은 연마휠(120)의 중심을 향하여 오목한 형상으로 형성될 수 있으며, 그루브(pg)의 폭(w2)이 점차 좁아지는 형태로 형성될 수 있다. 다시 말해, 도시된 바와 같이, 그루브(pg)들은 폭(w2)이 연마휠(120) 내부로 갈수록 점차 좁아지는 경사진 형태 또는 곡면으로 이루어질 수 있다.
연마 장치(100)는 상기한 구조를 갖는 연마휠(120)을 이용하여 패드 전극의 제1 폭(k1)과 패드 전극 사이의 제2 폭(k2)의 비율을 조절할 수 있다. 예를 들어, 패드 전극의 제1 폭(a1)이 120um 이고, 패드 전극 사이의 제2 폭(a2)이 80um인 경우, 연마 장치(100)는 그루브(pg) 사이의 폭(w2)이 패드 전극의 제1 폭(k1)에 대응되게 연마휠(120)의 깊이(d1)를 조절하여 연마공정을 수행할 수 있다.
다시 말해, 연마 장치(100)는 연마휠(120)의 깊이(d1)를 조절함으로써, 패드 전극 사이의 제2 폭(k2)을 조정할 수 있고, 이를 통해, 패드 전극의 폭(k1)이 결정될 수 있다.
한편, 연마휠(120)은 연마면(PA)의 가장자리 영역(S1, S2)의 높이(t3)가 복수의 블록(pb)들의 높이를 가질 수 있다. 복수의 블록(pb)들은 연마면(PA)과 동일한 높이로 이루어지며, 연마휠부(123)의 연마면(PA)은 가장자리 영역(S1, S2)을 제외하고 동일한 패턴들이 형성될 수 있다.
연마휠(120)의 전체 폭은 가공하고자 하는 연마 대상체(1)의 측면의 길이보다 작기 때문에, 연마휠(120)을 일 방향으로 이동하면서 연마 대상체(1)의 측면을 여러 차례 가공하게 된다. 이때, 연마휠(120)은 가장자리 영역(S1, S2)의 높이가 블록(pb)들보다 낮게 형성됨으로써, 연마 가공이 중첩되는 부분에서의 위치 조절을 보다 용이하게 수행할 수 있다.
일 실시예로서, 연마면(PA)의 가장자리 영역(S1, S2)의 높이(t3)는 복수의 그루브(pg)들의 깊이(t1)와 동일하거나, 이보다 더 클 수 있다. 연마면(PA)의 가장자리 영역(S1, S2)가 연마 공정에 간섭하는 것을 최소화하기 위해서, 연마 대상체(1)와 직접 접촉하는 연마면(PA)을 기준으로 가장자리 영역(S1, S2)까지 높이(t3)는 복수의 그루브(pg)들의 최대 깊이(t1)와 동일하거나 더 클 수 있다.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 전극의 형성 방법을 설명하기 위한 도면이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 전극의 형성 방법은 전술한 연마 장치(100)를 이용하는 것을 특징으로 한다.
먼저, 도 6a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 전극의 형성 방법은 연마 대상체(1)의 상면(A1)의 일측에 일정 간격으로 이격되는 복수의 상면 전극(11)을 형성한다. 복수의 상면 전극(11)은 마스크를 이용한 포토 공정을 통해 형성될 수 있으나, 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
패드 전극의 형성 방법은 복수의 상면 전극(11)을 형성하는 경우나, 이후 측면에 금속막을 형성하고 패드 전극을 형성하는 경우 연마 대상체(1)의 상면(A1)에 형성된 얼라인 마크(20)를 이용하여 위치를 보정할 수 있다.
이후, 패드 전극의 형성 방법은 복수의 상면 전극(11)에 인접한 연마 대상체(1)의 측면(A2)을 그라인딩(grinding)할 수 있다. 이는 연마 대상체(1)의 측면(A2)에 금속막(12')을 형성하기 전, 측면(A2)을 평탄화시키는 단계로서, 이러한 과정을 통해 금속막(12')은 보다 견고하게 형성될 수 있으며, 이후 연마휠(120)을 이용하여 균일하게 연마하여 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
다음, 도 6b를 참조하면, 패드 전극의 형성 방법은 연마 대상체(1)의 측면(A2)과 복수의 상면 전극(11)의 일부를 커버하도록 금속막(12')을 형성한다. 또한, 패드 전극의 형성 방법은 금속막(12')이 연마 대상체(1)의 하면까지 형성할 수 있다. 이를 통해, 연마 대상체(1)는 상면과 하면에 전기적 연결성을 확보할 수 있다.
금속막(12')은 상면 전극(11)의 일부를 커버함으로써, 측면 패드 전극(12)과 상면 전극(11)과의 전기적 연결성을 부여하게 된다. 금속막(12')은 사전에 설정된 너비로 상면 전극(11)을 커버할 수 있고, 이후 연마휠(120)을 통해 사전에 설정된 너비보다 깊게 연마 대상체(1)의 측면(A2)을 가공함으로써, 측면 패드 전극(12)들을 단락시킬 수 있다.
이후, 도 6c를 참조하면, 패드 전극의 형성 방법은 연마 패턴이 형성된 연마휠(120)을 이용하여 금속막(12')의 일부를 연마하는 것에 의해 상면 전극(11)과 연결되는 측면 패드 전극(12)을 형성한다.
여기서, 연마휠(120)은 전술한 연마 패턴을 구비할 수 있다. 연마 패턴(PT)은 연마면(PA)의 회전 방향을 따라 형성된 복수의 그루브(groove, pg)들과, 복수의 그루브(pg)들 사이에 배치되는 복수의 블록(pb)을 포함할 수 있다.
측면 패드 전극(12)은, 복수의 그루브(pg)들이 배치되는 방향이 연마 대상체(1)의 상면 전극(11)들이 배열되는 방향(x방향, 도 1 참조)에 평행하도록 연마휠(120)을 배치시킨 상태에서 금속막(12')의 일부를 연마하여 형성될 수 있다.
도 6d를 참조하면, 패드 전극의 형성 방법은 연마휠(120)의 위치를 상면 전극(11)들이 배열되는 방향(x방향, 도 1 참조)으로 이동시키면서, 동일한 연마 공정을 수행함으로써, 연마 대상체(1)의 측면(A2)에 패드 전극을 형성할 수 있다.
연마휠(120)을 이용하여 연마 대상체(1)의 측면(A2)을 가공하는 경우, 도면에 도시된 바와 같이, 금속막(12')뿐만 아니라, 연마 대상체(1)의 일부도 연마될 수 있다. 이로 인해, 패드 전극이 형성된 연마 대상체(1)의 측면(A2)은 반복적으로 형성되는 요철이 형성될 수 있으며, 요철 상에 패드 전극이 배치되는 구조로 이루어질 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 패드 전극의 형성 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 패드 전극의 형성 방법은 연마휠(120)을 연마 대상체(1)의 측면 방향으로 평행하게 이동시켜 연마 가공하는 것이 아니라, 연마 대상체(1)의 측면의 상부 또는 하부 방향을 향하여 비스듬히 이동시키는 것을 특징으로 한다.
보다 구체적으로, 측면 패드 전극을 형성하는 단계는, 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 연마휠(120)을 연마 대상체(1)의 측면(A2)의 상부를 향하여 이동시켜 금속막의 일부를 제거하고, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 연마휠(120)을 연마 대상체(1)의 측면(A2)의 하부를 향하여 이동시켜 금속막의 일부를 제거함으로써, 측면 패드 전극(12)을 형성할 수 있다.
여기서, 연마휠(120)을 연마 대상체(1)의 측면(A2)의 상부를 향하여 이동시켜 금속막의 일부를 제거하는 경우와, 연마휠(120)을 연마 대상체(1)의 측면(A2)의 하부를 향하여 이동시켜 금속막의 일부를 제거하는 경우, 연마휠(120)의 회전 방향은 서로 반대 방향일 수 있다.
다시 말해, 연마휠(120)은 연마 대상체(1)의 외부에서 내부로 향하는 방향으로 회전하면서 연마할 수 있다. 구체적으로, 연마휠(120)이 연마 대상체(1)의 측면(A2)의 상부를 향하여 이동하는 경우에는 시계 방향(R1)으로 회전할 수 있고, 연마휠(120)이 연마 대상체(1)의 측면(A2)의 하부를 향하여 이동하는 경우에는 반시계 방향(R2)으로 회전할 수 있다.
상기와 같은 다른 실시예에 따른 패드 전극의 형성 방법은 상부 또는 하부 방향에서 연마휠(120)이 접근하여 연마 가공을 수행하므로, 패드 전극 형성 시 상부 또는 하부에서의 뜯김 현상을 최소화하여 공정 수율을 향상시킬 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 연마휠, 연마 장치 및 패드 전극의 형성 방법은 연마 패턴이 형성된 연마휠을 이용함으로써, 연마 대상체의 측면에 안정적인 패드 전극을 형성할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 연마휠, 연마 장치 및 패드 전극의 형성 방법은 연마휠 내부로 갈수록 폭이 좁아지는 그루브들로 연마 패턴을 형성함으로써, 패드 전극의 폭과 패드 전극 사이의 폭을 연마휠의 가공 깊이를 이용하여 정밀하게 조절할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100 : 연마 장치
110 : 지지 테이블
120 : 연마휠
130 : 스핀들 모터

Claims (15)

  1. 연마 장치의 회전축에 결합되는 결합부; 및
    상기 회전축에 평행한 연마면을 구비하고, 상기 연마면에는 연마 패턴이 형성된 연마휠부;를 포함하고,
    상기 연마 패턴은 상기 연마면의 회전 방향을 따라 형성된 복수의 그루브(groove)들과, 상기 복수의 그루브들 사이에 배치되는 복수의 블록들을 포함하는, 연마휠
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 블록들의 간격은 연마 대상체의 패드 전극 간격에 대응되는, 연마휠.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 연마면의 가장자리 영역은 상기 복수의 블록들의 높이보다 낮은 높이를 갖는, 연마휠.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 연마면의 가장자리 영역의 높이는 상기 복수의 그루브들의 깊이와 동일한, 연마휠.
  5. 회전축을 갖는 스핀들 모터; 및
    상기 스핀들 모터의 회전축에 결합되는 결합부와, 상기 회전축에 평행한 연마면을 구비하고 상기 연마면에는 연마 패턴이 형성된 연마휠부를 포함하는 연마휠;을 포함하고,
    상기 연마 패턴은 상기 연마면의 회전 방향을 따라 형성되는 복수의 그루브(groove)들과, 상기 복수의 그루브들 사이에 배치되는 복수의 블록들을 포함하는, 연마 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 연마휠은 상기 복수의 그루브들이 배치되는 방향이 연마 대상체의 패드 전극들이 배열되는 방향에 평행하도록 구비되어 연마 가공하는, 연마 장치.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 복수의 블록들의 간격은 연마 대상체의 패드 전극 간격에 대응되는, 연마 장치.
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 연마면의 가장자리 영역은 상기 복수의 블록들의 높이보다 낮은 높이를 갖는, 연마 장치.
  9. 연마 대상체의 상면의 일측에 일정 간격으로 이격되는 복수의 상면 전극을 형성하는 단계;
    상기 복수의 상면 전극에 인접한 상기 연마 대상체의 측면을 그라인딩(grinding)하는 단계;
    상기 연마 대상체의 측면과 상기 복수의 상면 전극의 일부를 커버하도록 금속막을 형성하는 단계; 및
    연마 패턴이 형성된 연마휠을 이용하여 상기 금속막의 일부를 연마하는 것에 의해 상기 상면 전극과 연결되는 측면 패드 전극을 형성하는 단계;를 포함하는, 패드 전극의 형성 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 연마휠의 연마 패턴은 연마면의 회전 방향을 따라 형성되는 복수의 그루브(groove)들과, 상기 복수의 그루브들 사이에 배치되는 복수의 블록들을 포함하는, 패드 전극의 형성 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 측면 패드 전극을 형성하는 단계는, 상기 복수의 그루브들이 배치되는 방향이 상기 연마 대상체의 상면 전극들이 배열되는 방향에 평행하도록 상기 연마휠을 배치시킨 상태에서 상기 금속막의 일부를 연마하는, 패드 전극의 형성 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 측면 패드 전극을 형성하는 단계는,
    상기 연마휠을 상기 연마 대상체의 측면의 상부를 향하여 이동시켜 상기 금속막의 일부를 제거하는 단계; 및
    상기 연마휠을 상기 연마 대상체의 측면의 하부를 향하여 이동시켜 상기 금속막의 일부를 제거하는 단계;를 포함하는, 패드 전극의 형성 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 연마휠을 상기 연마 대상체의 측면의 상부를 향하여 이동시켜 상기 금속막의 일부를 제거하는 단계는, 상기 연마휠을 제1 방향으로 회전시키고,
    상기 연마휠을 상기 연마 대상체의 측면의 하부를 향하여 이동시켜 상기 금속막의 일부를 제거하는 단계, 상기 연마휠을 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 회전시키는, 패드 전극의 형성 방법.
  14. 제9 항 내지 제13 항 중 어느 한 항에 의해 패드 전극이 형성된 연마 대상체.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 패드 전극이 형성된 연마 대상체의 측면은 요철 구조로 포함하는, 연마 대상체.
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