KR20230088949A - 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치 - Google Patents

박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치 Download PDF

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채민석
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Abstract

본 발명은 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치에 관한 것이다. 이는, 중심축선을 기준으로 등각 배치되는 다수의 디퓨저홀을 구비한 디퓨저본체를, 증착챔버내에 장착할 때, 디퓨저본체를 정위치 자리로 가이드 하는 것으로서, 증착챔버내의 리플렉터에 마련되고 디퓨저본체의 정위치자리를 제공하는 정위치유지부와; 디퓨저본체에 위치하며, 디퓨저본체를 리플렉터에 안착시킬 때 정위치유지부에 결합하여, 디퓨저홀이 상기 중심축선을 기준으로 정해진 방위에 위치하게 하는 대응고정부를 포함한다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치는, 증착챔버 내의 히터에 디퓨저소스를 안착시킬 때, 각 디퓨저소스의 장착 방위를 가이드 하여, 증착방향을 향하는 디퓨저홀의 개수를 일치시킴으로써, 기판에 대한 증착두께의 균일성을 높일 수 있게 한다.

Description

박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치{Diffuser hole positioning device for thin film deposition}
본 발명은 박막증착용 증착챔버 내에 설치되는 디퓨저소스의 디퓨저홀 정위치 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착 두께의 편차 발생을 최소화하여 균일한 두께의 증착면을 얻을 수 있고 증착 시간을 단축하게 하는, 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치에 관한 것이다.
기판 상에 박막층을 형성하는 박막증착공정에는, 화학적 기상증착(CVD), 물리적 기상증착공정(PVD) 및 원자층 증착공정(ALD)이 있다.
화학적 기상증착은, 반응가스 간의 화학반응으로 형성된 입자를 기판 표면에 증착하는 공정이다. 화학적 기상증착에는, 챔버내에 가스의 분해 및 박막 증착 시 열 에너지를 이용하는 열 기상 증착방식, 플라즈마를 유도하여 박막을 증착하는 유기 화학 기상 증착방식, 고밀도 플라즈마를 형성하여 막을 증착하는 유도결합 플라즈마 화학 기상 증착방식이 포함된다.
물리적 기상증착은, 플라즈마 상태의 이온을 타겟에 충돌시키고 타겟으로부터 튀어나오는 원자가 기판 상에 증착되게 하는 공정이다. 또한, 원자층 증착공정는, 소스가스와 반응가스를 일정한 시간 간격으로 교차하여 챔버 내부로 공급하여 원자층을 순차적으로 성장시켜 박막을 형성하는 공정이다.
기판에 박막을 형성하는 여러 장비 중 증발증착법을 위한 장비에는 증착챔버와 디퓨저소스가 포함된다. 증착챔버는 진공분위기가 유지되는 밀폐공간을 제공하며 상측부에 증착대상인 기판을 갖는다. 또한 디퓨저소스는 도가니와 디퓨저본체를 구비한다. 도가니는 증발시킬 소스를 수용하며 히터의 열을 전달받아 소스를 증발시키고, 디퓨저본체는 증발된 기체 상태의 소스를 기판측으로 유도하는 역할을 한다.
도 1은 일반적인 증착챔버(10)의 내부 구성을 개략적으로 나타내 보인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시한 디퓨저본체(16)의 사시도이다. 또한, 도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시한 디퓨저본체에 형성되어 있는 디퓨저홀의 정위치 의미를 설명하기 위한 도면이다.
도시한 바와 같이, 증착챔버(10)의 내부에 다수의 디퓨저소스(15)가 배치되어 있다. 디퓨저소스(15)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 원통의 형상을 취하며 상단부에 디퓨저본체(16)을 갖는다. 디퓨저소스(15)는 센터쉴드(13) 주변에 대칭으로 배치되며, 도가니(18)에서 기화된 기체 상태의 소스를 기판(미도시)에 전달한다.
또한, 디퓨저본체(16)의 상면은 차단판(11)에 형성되어 있는 관통구멍(11a)을 통해 상부로 노출되어 있다. 디퓨저본체(16)의 상면 중앙에는 헤드(16c)가 마련되어 있고, 헤드(16c)의 주변에 다수의 디퓨저홀(16a)이 형성되어 있다. 디퓨저홀(16a)은 기체 상태의 소스가 상향 통과하는 구멍이다.
그런데 종래 증착장비의 경우, 디퓨저소스(15)의 설치 방향이 일률적으로 정해져 있지 않다. 즉, 디퓨저소스를 히터(미도시, 차단판의 하측에 설치됨)에 안착할 때 정방향에 대한 명확한 기준이 없는 것이다. 다시 말하면 다수의 디퓨저홀(16a) 중 증착방향을 향하는 디퓨저홀(16a)의 개수가 제각기 달라, 기판에 증착되는 증착두께가 균일하지 않은 것이다.
증착방향을 향하는 디퓨저홀(16a)의 개수가 많은 디퓨저본체(16)(도 3b)와, 증착방향을 향하는 디퓨저홀(16a)의 개수가 상대적으로 적은 디퓨저본체(도 3a의 16)에서 공급되는 증발 소스의 유량에 차이가 있는 것이다.
유량의 차이가 있다는 것은, 기판의 위치에 따른 증착 두께가 다르다는 것을 의미한다. 이를테면, 도 3b의 디퓨저본체(16)를 통해 공급되는 증착 기체에 의한 증착두께가, 도 3a의 디퓨저본체(16)를 통해 공급되는 증착 기체에 의한 증착두께보다 두꺼운 것이다.
증착방향을 향하는 디퓨저홀(16a)의 개수를 일치시킨다면 기판에 대한 증착 균일성이 양호해질 것이지만, 종래 증착장비는, 디퓨저소스(15)의 장착 시, 디퓨저홀(16a)의 방향을 맞추기 위한 별도의 수단이 없어, 증착층의 균일성 수준을 어느 이상 향상시킬 수 없었다.
국내 등록특허공보 제10-1633112호 (유기박막 진공 열 증착 장치용 소스)
본 발명은 상기 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 증착챔버에 장착되는 모든 디퓨저소스의 장착 방위를 가이드 하여, 증착방향을 향하는 디퓨저홀의 개수를 일치시킴으로써, 기판에 대한 증착두께의 균일성을 높일 수 있게 하는, 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치을 제공함에 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 과제의 해결수단으로서의 본 발명의 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치는, 중심축선을 기준으로 등각 배치되는 다수의 디퓨저홀을 구비한 디퓨저본체를, 증착챔버내에 장착할 때, 디퓨저본체를 정위치 자리로 가이드 하는 것으로서, 증착챔버내의 리플렉터에 마련되고 디퓨저본체의 정위치자리를 제공하는 정위치유지부와; 디퓨저본체에 위치하며, 디퓨저본체를 리플렉터에 안착시킬 때 정위치유지부에 결합하여, 디퓨저홀이 상기 중심축선을 기준으로 정해진 방위에 위치하게 하는 대응고정부를 포함한다.
또한, 상기 정위치유도부는, 리플렉터에 형성되는 다수의 정위치홈을 포함하고, 대응고정부는, 디퓨저본체에 위치하고 상기 정위치홈에 일대일 대응하며 끼움 결합하는 끼움돌기이다.
또한, 상기 정위치홈은, 디퓨저본체의 중심축선을 기준으로 비대칭으로 배치된다.
또한, 상기 다수의 정위치홈의 사이즈는 상이하다.
그리고, 상기 정위치홈의 내부에는, 정위치홈의 내측으로 돌출되며 탄성 지지력을 제공하는 홀딩스프링이 구비되고, 끼움돌기에는, 끼움돌기가 정위치홈에 삽입된 상태로 홀딩스프링에 지지되는 걸림돌출부가 형성된다.
또한, 상기 정위치홈의 내부에는 내향홈이 형성되어 있고, 끼움돌기에는, 끼움돌기가 정위치홈에 삽입된 상태로 내향홈에 삽입되는 걸림스프링이 구비된다.
아울러, 상기 정위치유도부는, 리플렉터의 상부로 돌출되며 가이드경사면을 제공하는 돌출슬라이더를 포함하고, 대응고정부는, 디퓨저본체를 리플렉터에 안착할 때 상기 돌출슬라이더의 가이드경사면에 가이드되며 하강하고 돌출슬라이더를 수용하는 외주홈이다.
또한, 상기 정위치유도부는, 리플렉터에 장착되는 고정자석을 포함하고, 대응고정부는, 상기 고정자석에 대응하며 디퓨저본체의 안착시 고정자석에 결합하는 가동자석을 구비한다.
또한, 상기 고정자석은, 부분원호의 형상을 취하고 다수개가 리플렉터의 원주방향으로 배치되며, 가동자석은, 부분원호의 형상을 취하고 다수 개가 디퓨저본체의 외곽부에 원주방향으로 배치된다.
그리고, 원주방향으로 배치된 다수의 고정자석 중, 임의의 고정자석은, 이웃 고정자석과 반대의 극성을 가동자석측으로 출력하고, 원주방향으로 배치된 다수의 가동자석 중, 임의의 가동자석은, 이웃하는 가동자석과 반대의 극성을 고정자석측으로 출력한다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치는, 증착챔버 내의 히터에 디퓨저소스를 안착시킬 때, 모든 디퓨저소스의 장착 방위를 가이드 하여, 증착방향을 향하는 디퓨저홀의 개수를 일치시킴으로써, 기판에 대한 증착두께의 균일성을 높일 수 있게 한다.
도 1은 일반적인 증착챔버의 내부 구성을 나타내 보인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시한 디퓨저본체의 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시한 디퓨저본체에 형성되어 있는 디퓨저홀의 정위치 의미를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 5a 내지 도 5c는 도 4에 도시한 디퓨저본체에 적용된 끼움돌기의 배치 구조를 도시한 디퓨저본체의 저면도이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치의 여러 변형 예를 도시한 도면이다.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 정위치 장치를 적용했을 때와 적용하지 않았을 때의 증착 두께의 균일성을 나타내 보인 그래프이다.
이하, 본 발명에 따른 하나의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.
또한 본 발명의 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치는, 중심축선을 기준으로 등각 배치되는 다수의 디퓨저홀을 구비한 디퓨저본체를, 증착챔버내에 장착할 때, 디퓨저본체를 정위치 자리로 가이드 하는 것으로서, 증착챔버내의 리플렉터에 마련되고 디퓨저본체의 정위치자리를 제공하는 정위치유지부와; 디퓨저본체에 위치하며, 디퓨저본체를 리플렉터에 안착시킬 때 정위치유지부에 결합하여, 디퓨저홀이 상기 중심축선을 기준으로 정해진 방위에 위치하게 하는 대응고정부를 포함한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이고, 도 5a 내지 도 5c는 도 4에 도시한 디퓨저본체에 적용된 끼움돌기의 배치 구조를 도시한 디퓨저본체(16)의 저면도이다.
본 실시예에 따른 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치(30)는, 정위치유지부와 대응고정부를 구비한다.
정위치유지부는, 증착챔버(10)내의 리플렉터(19)에 위치하며 디퓨저본체(16)의 정위치 자리를 제공한다. 또한, 대응고정부는, 디퓨저본체에 마련된 것으로서 디퓨저본체(16)를 리플렉터(19)에 안착시킬 때 정위치유지부에 결합하여 디퓨저홀(16a)이 정해진 방위에 위치하게 한다.
디퓨저홀(16a)의 방위는, 디퓨저소스(15)의 중심축선(Z)을 기준으로 하는 방향을 의미한다. 또한, 디퓨저본체(16)의 정위치 자리는, 디퓨저홀(16a)이 정해진 방위를 향하는 자리이다.
증착챔버(10)에 디퓨저소스(15)를 끼워 설치할 때에는, 디퓨저홀(16a)의 방위를 정교하게 맞출 수 가 없으므로, 일단 디퓨저소스(15)를 히터(미도시)에 끼워 수직으로 세운 다음, 디퓨저소스(15)를, 중심축선(Z)을 회전축으로 삼아 이리 저리 회전시켜 맞추어야 하는데, 본 실시예의 정위치 장치(30)는 이러한 번거로움을 없애는 것이다. 즉, 정위치유지부에 대응고정부를 맞추기만 하면 디퓨저홀(16a)의 방위가 저절로 맞추어지는 것이다. 결국, 본 실시예의 정위치 장치(30)는, 디퓨저홀(16a)을 정해진 방위로 자동으로 위치시키는 것이다.
아울러, 본 실시예에 있어서의, '정위치'는, 디퓨저본체(16)에 형성되어 있는 디퓨저홀(16a) 중, 증착방향(도 3a,3b 참조)을 향하는 디퓨저홀(16a)의 개수가 동일할 때의 위치를 의미한다.
가령, 임의의 디퓨저본체(16)에서의 6개의 디퓨저홀(16a) 중, (도 3a와 같이) 4개의 디퓨저홀(16a)이 증착방향을 향한다고 가정해 보자. 이 상황에서의 정위치의 기준은, 4개의 디퓨저홀(16a)이 증착방향을 향하고 있는 상태의 위치이다. 다시 말하면, 4개의 디퓨저홀(16a)이 증착방향을 향하고 있는 디퓨저본체(16)는 정위치에 위치된 것이다. 증착방향은 증발된 기체가 향하는 방향이다. 이와 같이 모든 디퓨저본체(16)를 정위치 기준에 맞춤으로써, 모든 디퓨저소스(15)로부터 기판을 향해 움직이는 기체의 유량이 같아지게 된다.
도 4에 도시한 정위치 장치(30)는, 리플렉터(19)에 형성되어 있는 다수의 정위치홈(19a)과, 디퓨저본체(16)에 마련되어 있는 끼움돌기(16e)를 포함한다.
리플렉터(19)는, 차단판(11)의 관통구멍(11a)에 장착되는 원통형 부재로서 디퓨저소스(15)를 하향 통과시킨다. 리플렉터(19) 자체의 구성이나 기능은 일반적인 리플렉터와 동일하며 그에 관한 설명은 생략하기로 한다.
도시한 바와 같이, 리플렉터(19)의 내주면에 다수의 정위치홈(19a)이 형성되어 있다. 정위치홈(19a)은 끼움돌기(16e)를 수용하는 홈으로서, 끼움돌기(16e)와 일대일 대응한다.
끼움돌기(16e)는 디퓨저본체(16)의 외곽부 저면에 위치하는 돌출부이다. 끼움돌기(16e)는 디퓨저소스(15)를 리플렉터(19)에 삽입할 때, 자신과 대응하는 정위치홈(19a)을 찾아 들어간다. 즉, 디퓨저홀(16a)이 디퓨저본체의 중심축선(Z)을 기준으로 회전하며 정위치되는 것이다. 이러한 과정은 당연히 작업자에 의해 이루어진다.
도 5a 내지 도 5c는 도 4에 도시한 디퓨저본체에 적용된 끼움돌기(16e)의 배치 구조를 도시한 저면도이다.
디퓨저본체(16)의 중심축선을 기준으로, 끼움돌기(16e)의 위치는 다양하게 변경 가능하다. 가령, 도 5a에 도시한 바와 같이, 두 개의 끼움돌기(16eb)가 반대방향에 위치하거나, 도 5b와 같이, 둔각의 사이각(θ)을 가지도록 비대칭으로 배치될 수 있다. 또한 도 5c처럼 두 개의 끼움돌기(35b)의 사이즈를 다르게 적용할 수도 있다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치(30)의 여러 변형 예를 도시한 도면이다.
이하, 상기한 도면부호와 동일한 도면부호는 동일한 기능의 동일한 부재를 가리킨다.
도 6에 도시한 디퓨저홀더 정위치 장치(30)는, 홀딩스프링(19c)과 걸림돌출부(16f)를 더 포함한다. 홀딩스프링(19c)은 정위치홈(19a)의 내측으로 돌출되며 탄성 지지력을 제공하는 판스프링이다. 홀딩스프링(19c)을 장착할 수 있도록 정위치홈(19a)의 내측에는 끼움홈(19b)이 형성되어 있다.
걸림돌출부(16f)는 끼움돌기(16e)의 양측부에 형성된 돌출부로서, 끼움돌기(16e)를 정위치홈(19a)에 삽입할 때 홀딩스프링(19c)을 누르며 홀딩스프링(19c)을 통과한다. 홀딩스프링(19c)은 걸림돌출부(16f)가 지나간 후 다시 튀어나와 걸림돌출부(16f)를 하향 지지한다. 도 6과 도 7은, 끼움돌기(16e)가 90도 각도만큼 틀어져서 표시되었다.
도 7에 도시한 디퓨저홀더 정위치 장치(30)는, 정위치홈(19a) 내측에 내향홈(19f)이, 끼움돌기(16e)에 걸림스프링(16h)이 적용된 특징을 갖는다.
걸림스프링(16h)은 끼움돌기(16e)의 반대측면에 장착된 판스프링으로서, 내향홈(19f)에 삽입되었을 때 내향홈으로부터 지지력을 전달받는다.
도 6과 도 7의 정위치 장치(30)는, 홀딩스프링(19c)과 걸림스프링(16h)을 포함하여, 리플렉터(19)에 대한 디퓨저소스(15)의 결합이 탄성적으로 유지되는 추가적인 효과를 제공한다.
도 8의 정위치 장치(30)는, 돌출슬라이더(19g)와 외주홈(16k)을 더 포함한다. 돌출슬라이더(19g)는 리플렉터(19)의 일측에 상향 돌출된 삼각판 형상의 돌출부이다. 돌출슬라이더(19g)의 양측부는 가이드경사면(19h)이다.
가이드경사면(19h)은, 디퓨저본체(16)를 리플렉터(19)에 안착시킬 때, 외주홈(16k)의 내측 일부에 접하며, 디퓨저본체(16)의 하강을 가이드한다. 즉, 디퓨저본체(16)가 중심축선(Z)을 중심으로 축회전하여 제자리를 찾아가도록 작용하는 것이다. 디퓨저본체(16)를 리플렉터(19)에 안착시킬 때, 외주홈(16k)을 돌출슬라이더(19g)의 상단부에 맞춘 상태로 손을 놓으면, 디퓨저본체(16)가 중력의 작용에 의해 하강하면서 가이드경사면(19h)을 따라 하강하여 자동으로 정위치 된다.
외주홈(16k)은 디퓨저본체(16)의 외주부 일측에 마련된 홈으로서, 돌출슬라이더(19g)를 수용한다.
한편, 도 9에 도시한 정위치 장치(30)는, 고정자석(21)과, 가동자석(17)을 포함한다. 고정자석(21)은 리플렉터(19)의 상측부에, 가동자석(17)은 디퓨저본체(16)의 테두리부 저면에 고정된다. 고정자석(21)과 가동자석(17)은 영구자석이다. 고정자석(21)과 가동자석(17)의 사이즈와 적용갯수는 다앙하게 변경 가능하다.
각각의 고정자석(21)은, 부분원호의 형상을 취하고 다수개가 리플렉터(19)의 원주방향을 따라 연속 배치되어 전체적으로 링의 형상을 취한다.
마찬가지로, 각 가동자석(17)은 부분원호의 형상을 취하며, 다수 개가 디퓨저본체(16)의 외곽부에서 원주방향을 따라 연속 배치되어 전체적으로 링의 형상을 취한다. 가동자석(17)은 디퓨저본체(16)를 리플렉터(19)에 안착시킬 때 고정자석(21)에 부착되어, 디퓨저소스(15)의 흔들림을 방지한다.
또한, 다수의 고정자석(21) 중, 임의의 고정자석은, 이웃 고정자석과 반대의 극성을 가동자석(17)측으로 출력한다. 즉, 임의의 고정자석은, N극이 상부를 향하고, 그 옆에 위치한 이웃 고정자석은 S극이 상부를 향하는 것이다.
그리고, 다수의 가동자석(17) 중, 임의의 가동자석은, 이웃 가동자석과 반대의 극성을 고정자석(21) 측으로 출력한다. 이를테면, 임의의 가동자석은 N극이 하부를 향하고, 그 옆에 이웃하는 가동자석은 S극이 하부를 향하는 것이다.
상기 구성을 갖는 정위치 장치(30)에 있어서, 고정자석(21)과 가동자석(17)이 인력의 상태에 있을 때, 즉, 고정자석(21)과 가동자석(17)이 결합한 상태에서, 디퓨저본체(16)는 정위치에 위치한 것이다.
고정자석(21)과 가동자석(17)은 인력의 작용에 의해 스스로 결합하므로, 디퓨저소스(15)를 리플렉터(19)에 삽입하기만 하여도, 디퓨저본체(16)가 자동으로 정위치 되게 된다.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 정위치 장치를 적용했을 때와 적용하지 않았을 때의 증착 두께의 균일성을 나타내 보인 그래프이다.
도 10의 초록색과 보라색 라인은, 디퓨저홀(16a)을 정위치 시키지 않았을 때의, 기판 각 지점에서의 증착층의 두께를 나타내고, 빨강색과 하늘색 라인은, 디퓨저홀을 정위치 시켰을 때의 기판 각 지점에서의 증착층의 두께를 나타낸다.
또한 도 11의 경우, 초록색라인은 디퓨저홀(16a)을 정위치 시키지 않았을 때의 기판 각 지점에서의 증착층의 두께를, 빨강색라인은, 디퓨저홀(16a)을 정위치 시켰을 대의 기판 각 지점에서의 증착층의 두께를 나타낸다. 디퓨저홀을 정위치 시켰을 때의 두께 편차가 현저히 작음을 알 수 있다.
이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
10:증착챔버 11:차단판 11a:관통구멍
13:센서쉴드 15:디퓨저소스 16:디퓨저본체
16a:디퓨저홀 16c:헤드 16e:끼움돌기
16f:걸림돌출부 16h:걸림스프링 16k:외주홈
17:가동자석 18:도가니 19:리플렉터
19a:정위치홈 19b:끼움홈 19c:홀딩스프링
19f:내향홈 19g:돌출슬라이더 19h:가이드경사면
21:고정자석 30:정위치 장치

Claims (10)

  1. 중심축선을 기준으로 등각 배치되는 다수의 디퓨저홀을 구비한 디퓨저본체를, 증착챔버내에 장착할 때, 디퓨저본체를 정위치 자리로 가이드 하는 것으로서,
    증착챔버내의 리플렉터에 마련되고 디퓨저본체의 정위치자리를 제공하는 정위치유지부와;
    디퓨저본체에 위치하며, 디퓨저본체를 리플렉터에 안착시킬 때 정위치유지부에 결합하여, 디퓨저홀이 상기 중심축선을 기준으로 정해진 방위에 위치하게 하는 대응고정부를 포함하는,
    박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정위치유도부는, 리플렉터에 형성되는 다수의 정위치홈을 포함하고,
    대응고정부는, 디퓨저본체에 위치하고 상기 정위치홈에 일대일 대응하며 끼움 결합하는 끼움돌기인,
    박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 정위치홈은, 디퓨저본체의 중심축선을 기준으로 비대칭으로 배치되는,
    박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 다수의 정위치홈의 사이즈가 상이한,
    박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 정위치홈의 내부에는, 정위치홈의 내측으로 돌출되며 탄성 지지력을 제공하는 홀딩스프링이 구비되고,
    끼움돌기에는, 끼움돌기가 정위치홈에 삽입된 상태로 홀딩스프링에 지지되는 걸림돌출부가 형성된,
    박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 정위치홈의 내부에는 내향홈이 형성되어 있고,
    끼움돌기에는, 끼움돌기가 정위치홈에 삽입된 상태로 내향홈에 삽입되는 걸림스프링이 구비된,
    박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 정위치유도부는,
    리플렉터의 상부로 돌출되며 가이드경사면을 제공하는 돌출슬라이더를 포함하고,
    대응고정부는,
    디퓨저본체를 리플렉터에 안착할 때 상기 돌출슬라이더의 가이드경사면에 가이드되며 하강하고 돌출슬라이더를 수용하는 외주홈인,
    박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 정위치유도부는, 리플렉터에 장착되는 고정자석을 포함하고,
    대응고정부는, 상기 고정자석에 대응하며 디퓨저본체의 안착시 고정자석에 결합하는 가동자석을 구비하는,
    박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 고정자석은, 부분원호의 형상을 취하고 다수개가 리플렉터의 원주방향으로 배치되며,
    가동자석은, 부분원호의 형상을 취하고 다수 개가 디퓨저본체의 외곽부에 원주방향으로 배치되는,
    박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    원주방향으로 배치된 다수의 고정자석 중, 임의의 고정자석은, 이웃 고정자석과 반대의 극성을 가동자석측으로 출력하고,
    원주방향으로 배치된 다수의 가동자석 중, 임의의 가동자석은, 이웃하는 가동자석과 반대의 극성을 고정자석측으로 출력하는,
    박막 증착용 디퓨저홀 정위치 장치.
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