KR20230079738A

KR20230079738A - Chamber door unit

Info

Publication number: KR20230079738A
Application number: KR1020210166816A
Authority: KR
Inventors: 박병욱; 김영빈; 오승민; 주정명
Original assignee: 주식회사 테스
Priority date: 2021-11-29
Filing date: 2021-11-29
Publication date: 2023-06-07
Also published as: KR102612867B1

Abstract

The present invention relates to a chamber door unit, and more specifically, to a chamber door unit which processes a substrate using a high-pressure fluid such as a supercritical fluid. The chamber door unit includes a door, a fixed frame, and a sealing unit.

Description

Chamber door unit {Chamber door unit}

본 발명은 챔버 도어유닛에 대한 것으로서, 보다 상세하게는 초임계유체 등과 같이 고압유체를 사용하여 기판을 처리하는 챔버 도어유닛에 대한 것이다.The present invention relates to a chamber door unit, and more particularly, to a chamber door unit for processing a substrate using a high-pressure fluid such as a supercritical fluid.

일반적으로 기판은 챔버의 내측으로 인입되어 상기 챔버의 내측에서 각종 처리공정을 거치게 된다.In general, a substrate is introduced into a chamber and undergoes various processing processes inside the chamber.

이 경우, 상기 기판에 대한 처리공정을 수행하는 중에 챔버 내부가 고압으로 상승하는 경우 상기 챔버의 도어를 보다 견고히 지지할 수 있는 수단을 필요로 한다. In this case, a means capable of more firmly supporting the door of the chamber is required when the inside of the chamber rises to a high pressure during processing of the substrate.

예를 들어, 초임계유체를 이용한 초임계 공정 등의 경우 상기 챔버의 내부 압력이 매우 상승하게 되므로 상기 챔버의 내측에서 도어를 향해 작용하는 압력이 매우 커지게 된다. 이 경우, 상기 기판에 대한 처리공정 중에 도어의 파손 등을 방지하지 위하여 상기 도어를 보다 견고히 지지할 수 있는 구조를 필요로 하게 된다.For example, in the case of a supercritical process using a supercritical fluid, the internal pressure of the chamber increases very much, so the pressure acting from the inside of the chamber toward the door becomes very large. In this case, a structure capable of more firmly supporting the door is required in order to prevent damage to the door during processing of the substrate.

도 8은 종래기술에 따른 챔버 도어(14)를 도시한 측단면도이다.8 is a cross-sectional side view showing a chamber door 14 according to the prior art.

도 8에 도시된 바와 같이 종래기술에서는 도어(14)를 고정하기 위하여 볼트 등과 같은 체결수단(16)을 이용하여 도어(14)를 고정하였다. 이 경우, 도어(14)와 챔버(10) 사이에는 오링(18)이 배치될 수 있다.As shown in FIG. 8 , in the prior art, the door 14 is fixed using a fastening means 16 such as a bolt to fix the door 14 . In this case, an O-ring 18 may be disposed between the door 14 and the chamber 10 .

하지만, 종래기술에 따른 구조는 도어(14)를 개폐하는 경우에 체결수단(16)을 체결하고 푸는 과정을 반복해야 하므로 자동화 공정이 불가하게 된다.However, in the structure according to the prior art, when the door 14 is opened and closed, the process of fastening and loosening the fastening means 16 must be repeated, so that an automated process is impossible.

또한, 종래기술에서는 도어(14)와 체결수단(16) 사이의 마찰로 인해 파티클이 발생하여 챔버(10)의 처리공간(12)으로 유입될 수 있다. In addition, in the prior art, particles may be generated due to friction between the door 14 and the fastening means 16 and introduced into the processing space 12 of the chamber 10 .

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 고압공정을 진행하는 챔버에서 도어의 파손을 방지할 수 있으며, 나아가 자동화공정에도 적용할 수 있고 파티클 발생을 줄일 수 있는 챔버 도어유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a chamber door unit that can prevent damage to the door in a chamber in which a high-pressure process is performed, and can be further applied to an automated process and can reduce particle generation. to be

상기와 같은 본 발명의 목적은 챔버의 개구부를 밀폐하는 도어, 상기 챔버의 개구부가 형성된 전면에 구비되는 고정프레임 및 상기 고정프레임에 삽입되어 상기 개구부를 밀폐하는 도어를 가압하는 밀폐유닛을 구비하고, 상기 밀폐유닛은 상기 고정프레임의 제1 개구부에 적어도 일부가 삽입되어 상기 도어를 가압하는 셔터유닛과, 상기 셔터유닛을 상하로 승하강시키는 승하강유닛을 구비하고, 상기 셔터유닛은 수직방향으로 구동력을 제공하는 구동부와, 상기 구동부의 구동력을 수평방향으로 변화시켜 상기 도어를 밀폐하는 가압부를 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버 도어유닛에 의해 달성된다.An object of the present invention as described above is to include a door for sealing the opening of the chamber, a fixing frame provided on the front surface where the opening of the chamber is formed, and a sealing unit inserted into the fixing frame and pressurizing the door for sealing the opening, The sealing unit includes a shutter unit at least partially inserted into the first opening of the fixing frame to press the door, and a lifting unit to move the shutter unit up and down, and the shutter unit has a driving force in a vertical direction. This is achieved by a chamber door unit characterized in that it includes a driving unit that provides a driving unit, and a pressing unit that seals the door by changing the driving force of the driving unit in a horizontal direction.

여기서, 상기 셔터유닛은 상기 구동부와 가압부가 내측에 배치되는 하우징을 더 구비하고, 상기 가압부는 상기 하우징의 내측에 배치되어 상기 구동부의 수직방향 구동력에 의해 상하로 이동하는 수직이동부와, 상기 수직이동부의 상하이동에 의해 수평방향으로 이동하는 수평이동부와, 상기 수평이동부의 단부에 연결되어 상기 도어를 가압하는 가압판을 더 구비할 수 있다.Here, the shutter unit further includes a housing in which the driving unit and the pressing unit are disposed inside, and the pressing unit includes a vertical movement unit disposed inside the housing and moved up and down by a vertical driving force of the driving unit, and the vertical movement unit. It may further include a horizontal movable unit that moves in a horizontal direction by the vertical movement of the movable unit, and a pressure plate connected to an end of the horizontal movable unit and pressurizing the door.

나아가, 상기 수평이동부의 이동에 의해 상기 가압판이 이동하는 경우에 상기 하우징의 내부를 밀폐하도록 상기 가압판과 하우징은 실링부재로 연결될 수 있다.Furthermore, when the pressure plate is moved by the movement of the horizontal moving unit, the pressure plate and the housing may be connected by a sealing member to seal the inside of the housing.

한편, 상기 수직이동부의 일측에는 제1 경사부가 형성되고, 상기 수평이동부의 일측에는 상기 제1 경사부에 대응하는 제2 경사부가 형성되어, 상기 수직이동부가 상하이동하는 경우에 상기 제1 경사부가 상기 제2 경사부를 가압하여 상기 수평이동부가 수평이동할 수 있다.Meanwhile, a first inclined part is formed on one side of the vertical moving part, and a second inclined part corresponding to the first inclined part is formed on one side of the horizontal moving part, so that when the vertical moving part moves up and down, the first inclined part is formed. The horizontal moving part may move horizontally by pressing the second inclined part by the first inclined part.

또한, 상기 제1 경사부가 지면에 수직인 선에 대해 1°내지 5°의 각도를 가질 수 있다.In addition, the first inclined portion may have an angle of 1° to 5° with respect to a line perpendicular to the ground.

한편, 상기 셔터유닛은 가이드바를 더 구비하고, 상기 고정프레임의 제1 개구부의 테두리에는 상기 가이드바가 삽입되는 가이드홀이 더 형성될 수 있다.Meanwhile, the shutter unit may further include a guide bar, and a guide hole into which the guide bar is inserted may be further formed at an edge of the first opening of the fixing frame.

나아가, 상기 셔터유닛은 바퀴를 더 구비하고, 상기 승하강유닛에는 상기 바퀴에 대응하는 레일을 더 구비하여, 상기 셔터유닛이 상기 도어에서 멀어지는 방향으로 밀리는 경우 상기 바퀴가 상기 레일을 따라 이동하여 상기 셔터유닛의 이동을 가이드할 수 있다.Furthermore, the shutter unit further includes wheels, and the elevating unit further includes rails corresponding to the wheels, so that when the shutter unit is pushed in a direction away from the door, the wheels move along the rails, The movement of the shutter unit may be guided.

전술한 구성을 가지는 본 발명에 따르면, 고압공정을 진행하는 챔버에서 도어의 파손을 방지할 수 있다.According to the present invention having the above configuration, it is possible to prevent damage to the door in the chamber in which the high-pressure process is performed.

나아가 기판의 인입 및 인출의 경우 자동화공정을 적용할 수 있고 파티클 발생을 최대한 줄일 수 있다.Furthermore, in the case of pulling in and out of the substrate, an automated process can be applied and the generation of particles can be reduced as much as possible.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어유닛이 구비된 챔버의 사시도,
도 2는 도어유닛이 구비된 챔버의 측단면도,
도 3은 셔터유닛의 사시도,
도 4는 셔터유닛의 측단면도,
도 5는 셔터유닛의 구동을 도시한 도면,
도 6은 셔터유닛의 수직이동부와 수평이동부에 작용하는 외력을 도시한 개략도,
도 7은 제1 경사부 및 제2 경사부의 각도 변화에 따른 구동부의 구동력과 수직이동부의 상승거리를 비교한 그래프,
도 8은 종래기술에 따른 챔버 도어를 도시한 측단면도이다.1 is a perspective view of a chamber equipped with a door unit according to an embodiment of the present invention;
2 is a side cross-sectional view of a chamber equipped with a door unit;
3 is a perspective view of a shutter unit;
4 is a side cross-sectional view of the shutter unit;
5 is a view showing the driving of the shutter unit;
6 is a schematic diagram showing the external force acting on the vertical moving part and the horizontal moving part of the shutter unit;
7 is a graph comparing the driving force of the driving unit and the rising distance of the vertical moving unit according to the angle change of the first inclined part and the second inclined part;
8 is a side cross-sectional view showing a chamber door according to the prior art.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 챔버 도어유닛의 구조에 대해서 상세하게 살펴보도록 한다.Hereinafter, the structure of a chamber door unit according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어유닛(200)이 구비된 챔버(100)의 사시도이고, 도 2는 상기 도어유닛(200)이 구비된 챔버(100)의 측단면도이다.1 is a perspective view of a chamber 100 equipped with a door unit 200 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional side view of the chamber 100 equipped with the door unit 200.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 도어유닛(200)은 챔버(100)의 개구부(120)를 밀폐하는 도어(500)와, 상기 챔버(100)의 개구부(120)가 형성된 전면(102)에 구비되는 고정프레임(230) 및 상기 고정프레임(230)에 삽입되어 상기 개구부(120)를 밀폐하는 상기 도어(500)를 가압하는 밀폐유닛(600)을 구비할 수 있다.1 and 2, the door unit 200 includes a door 500 sealing the opening 120 of the chamber 100 and a front surface 102 in which the opening 120 of the chamber 100 is formed. It may be provided with a fixed frame 230 and a sealing unit 600 inserted into the fixed frame 230 and pressurizing the door 500 sealing the opening 120.

상기 챔버(100)는 내부에 기판(S)이 처리되는 처리공간(110)을 제공하며, 공정가스 등을 공급하여 상기 기판(S)에 대한 처리공정을 수행할 수 있다. The chamber 100 provides a processing space 110 in which the substrate S is processed, and a processing process for the substrate S may be performed by supplying a process gas or the like.

예를 들어, 상기 처리공간(110)의 내측에는 기판(S)을 지지하는 기판지지부(510)가 구비될 수 있다. 또한, 상기 챔버(100)의 일측에는 기판(S)이 출입하는 개구부(120)가 형성될 수 있으며, 상기 개구부(120)를 밀폐하는 도어(500)가 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 개구부(120)의 가장자리를 따라 오링(112)이 배치되어 상기 처리공간(110)을 실링할 수 있다. 한편, 상기 기판지지부(510)는 상기 도어(500)에 연결되어 함께 이동하는 구조를 가지거나, 또는 상기 기판지지부(510)와 도어(500)가 별개의 부재로 구성될 수도 있다.For example, a substrate support 510 may be provided inside the processing space 110 to support the substrate S. In addition, an opening 120 through which the substrate S enters and exits may be formed at one side of the chamber 100, and a door 500 sealing the opening 120 may be provided. In this case, an O-ring 112 may be disposed along an edge of the opening 120 to seal the processing space 110 . Meanwhile, the substrate support part 510 may have a structure that is connected to the door 500 and move together, or the substrate support part 510 and the door 500 may be formed as separate members.

한편, 상기 기판(S)에 대한 처리공정을 수행하는 중에 챔버(100) 내부가 고압으로 상승하는 경우 상기 도어(500)를 보다 견고히 지지할 수 있는 수단을 필요로 한다. Meanwhile, when the inside of the chamber 100 rises to a high pressure during the processing of the substrate S, a means capable of more firmly supporting the door 500 is required.

예를 들어, 초임계유체를 이용한 초임계 공정 등의 경우 상기 처리공간(110)의 내부의 압력이 매우 상승하게 되므로 상기 처리공간(110)에서 상기 도어(500)를 향해 작용하는 압력이 매우 커지게 된다. 이 경우, 상기 기판(S)에 대한 처리공정 중에 도어(500)의 파손 등을 방지하지 위하여 상기 도어(500)를 보다 견고히 지지할 수 있는 도어유닛을 필요로 하게 된다. 본 발명은 이러한 요구에 따라 챔버 내부에서 고압공정을 진행하는 경우에 챔버에 적용할 수 있는 도어유닛(200)을 제공하게 된다.For example, in the case of a supercritical process using a supercritical fluid, since the pressure inside the processing space 110 is very high, the pressure acting toward the door 500 in the processing space 110 is very large. will lose In this case, a door unit capable of more firmly supporting the door 500 is required to prevent the door 500 from being damaged during the processing of the substrate S. According to this demand, the present invention provides a door unit 200 that can be applied to a chamber when a high-pressure process is performed inside the chamber.

상기 도어유닛(200)은 상기 챔버(100)의 개구부(120)가 형성된 전면에 구비되는 고정프레임(230)을 구비한다.The door unit 200 includes a fixing frame 230 provided on the front surface where the opening 120 of the chamber 100 is formed.

예를 들어, 상기 고정프레임(230)은 상기 챔버(100)의 전면(102)에 구비되는 제1 수평프레임(220)과 상기 제1 수평프레임(220)의 하부에 구비되는 제2 수평프레임(240)과, 상기 제1 수평프레임(220) 및 제2 수평프레임(240)의 단부에 연결되는 전면프레임(210)을 구비할 수 있다.For example, the fixed frame 230 includes a first horizontal frame 220 provided on the front surface 102 of the chamber 100 and a second horizontal frame provided below the first horizontal frame 220 ( 240) and the front frame 210 connected to the ends of the first horizontal frame 220 and the second horizontal frame 240 may be provided.

상기 제1 수평프레임(220)과 제2 수평프레임(240)은 상기 챔버(100)의 전면(102)에 연결되며, 상기 개구부(120)를 사이에 두고 이격되어 구비될 수 있다.The first horizontal frame 220 and the second horizontal frame 240 are connected to the front surface 102 of the chamber 100 and may be spaced apart with the opening 120 therebetween.

또한, 상기 제1 수평프레임(220)과 제2 수평프레임(240)에는 제1 개구부(226, 246)가 각각 형성될 수 있다. 후술하는 셔터유닛(300)의 적어도 일부가 상기 제1 개구부(226, 246)를 관통하여 배치되어 상기 고정프레임(230)에 의해 상기 셔터유닛(300)이 지지될 수 있다. 이에 대해서는 이후에 상술한다.In addition, first openings 226 and 246 may be formed in the first horizontal frame 220 and the second horizontal frame 240, respectively. At least a portion of the shutter unit 300 to be described below may be disposed to pass through the first openings 226 and 246 so that the shutter unit 300 may be supported by the fixing frame 230 . This will be described in detail later.

한편, 상기 전면프레임(210)은 상기 챔버(100)의 전면(102)에서 돌출한 상기 제1 수평프레임(220) 및 제2 수평프레임(240)의 단부를 서로 연결하게 된다. 이 경우, 상기 전면프레임(210)에는 제2 개구부(212)가 형성될 수 있다. 상기 제2 개구부(212)를 통해 전술한 기판지지부(510)가 상기 챔버(100)의 내부로 출입할 수 있다.Meanwhile, the front frame 210 connects ends of the first horizontal frame 220 and the second horizontal frame 240 protruding from the front surface 102 of the chamber 100 to each other. In this case, a second opening 212 may be formed in the front frame 210 . The above-described substrate support 510 may enter and exit the chamber 100 through the second opening 212 .

이 경우, 상기 전면프레임(210)의 제2 개구부(212)는 전술한 챔버(100)의 개구부(120)와 평행한 방향을 따라 배치될 수 있으며, 상기 제1 수평프레임(220)과 제2 수평프레임(240)의 제1 개구부(226, 246)는 상기 전면프레임(210)의 제2 개구부(212)와 수직한 방향을 따라 배치될 수 있다. In this case, the second opening 212 of the front frame 210 may be disposed along a direction parallel to the opening 120 of the chamber 100 described above, and the first horizontal frame 220 and the second opening 212 The first openings 226 and 246 of the horizontal frame 240 may be disposed in a direction perpendicular to the second opening 212 of the front frame 210 .

또한, 상기 제1 수평프레임(220)과 제2 수평프레임(240)의 제1 개구부(226, 246)의 가장자리에는 가이드홀(224, 244)이 형성된다. 상기 가이드홀(224, 244)은 상기 셔터유닛(300)이 상기 제1 개구부(226, 246)로 삽입되는 경우에 상기 셔터유닛(300)의 이동을 가이드하는 역할을 하게 된다. In addition, guide holes 224 and 244 are formed at the edges of the first openings 226 and 246 of the first horizontal frame 220 and the second horizontal frame 240 . The guide holes 224 and 244 serve to guide the movement of the shutter unit 300 when the shutter unit 300 is inserted into the first openings 226 and 246 .

한편, 상기 밀폐유닛(600)은 적어도 일부가 상기 고정프레임(230)에 삽입되어 상기 도어(500)를 가압하는 역할을 하게 된다. 즉, 상기 밀폐유닛(600)은 상기 도어(500)를 가압하여 밀폐하게 되며, 이 경우 상기 밀폐유닛(600)은 적어도 일부가 상기 고정프레임(230)의 제1 개구부(226, 246)에 삽입되어 전술한 전면프레임(210)에 의해 견고히 지지되어 상기 도어(500)를 견고히 밀폐할 수 있다.Meanwhile, at least a part of the sealing unit 600 is inserted into the fixing frame 230 to pressurize the door 500 . That is, the sealing unit 600 presses and seals the door 500. In this case, at least a part of the sealing unit 600 is inserted into the first openings 226 and 246 of the fixing frame 230. It is firmly supported by the aforementioned front frame 210 to firmly seal the door 500.

구체적으로, 상기 밀폐유닛(600)은 상기 고정프레임(230)의 제1 개구부(226, 246)에 적어도 일부가 삽입되어 상기 도어(500)를 가압하는 셔터유닛(300)과, 상기 셔터유닛(300)을 상하로 승하강시키는 승하강유닛(400)을 구비할 수 있다.Specifically, the sealing unit 600 includes a shutter unit 300 at least partially inserted into the first openings 226 and 246 of the fixing frame 230 to press the door 500, and the shutter unit ( 300) may be provided with an elevating unit 400 for elevating and descending.

상기 셔터유닛(300)은 상기 승하강유닛(400)에 의해 상하로 미리 결정된 거리만큼 이동 가능하게 배치될 수 있다.The shutter unit 300 may be disposed to be movable upward and downward by a predetermined distance by the elevating and descending unit 400 .

상기 셔터유닛(300)이 상승하는 경우 상기 고정프레임(230)의 제1 개구부(226, 246)에 상기 셔터유닛(300)이 삽입되어 상기 도어(500)를 가압하여 밀폐하게 된다. When the shutter unit 300 rises, the shutter unit 300 is inserted into the first openings 226 and 246 of the fixing frame 230 and presses the door 500 to seal it.

도 3은 상기 셔터유닛(300)의 사시도이고, 도 4는 상기 셔터유닛(300)의 측단면도이다.3 is a perspective view of the shutter unit 300, and FIG. 4 is a cross-sectional side view of the shutter unit 300.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 셔터유닛(300)은 수직방향으로 구동력을 제공하는 구동부(380)와, 상기 구동부(380)의 구동력을 수평방향으로 변화시켜 상기 도어(500)를 밀폐하는 가압부(390)를 구비할 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 4 , the shutter unit 300 includes a driving unit 380 that provides driving force in a vertical direction, and changes the driving force of the driving unit 380 in a horizontal direction to seal the door 500. A pressing unit 390 may be provided.

예를 들어, 상기 셔터유닛(300)은 외관을 형성하는 하우징(310)과, 상기 하우징(310)의 내측에 구비되어 수직방향으로 구동력을 제공하는 구동부(380)와, 상기 구동부(380)의 구동력을 수평방향으로 변화시켜 상기 도어(500)를 밀폐하는 가압부(390)를 구비할 수 있다.For example, the shutter unit 300 includes a housing 310 forming an exterior, a driving unit 380 provided inside the housing 310 to provide a driving force in a vertical direction, and the driving unit 380. A pressing unit 390 that seals the door 500 by changing a driving force in a horizontal direction may be provided.

상기 가압부(390)는 상기 구동부(380)에서 제공되는 수직방향의 구동력을 수평방향으로 전환하여 상기 도어(500)를 가압하게 된다.The pressing unit 390 presses the door 500 by converting the vertical driving force provided by the driving unit 380 into a horizontal direction.

예를 들어, 상기 가압부(390)는 상기 하우징(310)의 내측에 배치되어 상기 구동부(380)의 수직방향 구동력에 의해 상하로 이동하는 수직이동부(370)와, 상기 수직이동부(370)의 상하이동에 의해 수평방향으로 이동하는 수평이동부(360)와, 상기 수평이동부(360)의 단부에 연결되어 상기 도어(500)를 가압하는 가압판(350)을 구비할 수 있다.For example, the pressing part 390 includes a vertical moving part 370 disposed inside the housing 310 and moving up and down by a vertical driving force of the driving part 380, and the vertical moving part 370 ) may be provided with a horizontal movement unit 360 that moves in a horizontal direction by vertical movement, and a pressure plate 350 that is connected to an end of the horizontal movement unit 360 and presses the door 500 .

상기 수직이동부(370)는 상기 하우징(310)의 내측에서 상기 구동부(380)에 연결되며, 예를 들어 상기 구동부(380)의 구동바(382)에 연결될 수 있다. 이 경우, 상기 수직이동부(370)는 하부에 상기 구동바(382)와 연결되는 연결부(374)를 구비할 수 있다.The vertical movement unit 370 is connected to the driving unit 380 inside the housing 310, and may be connected, for example, to a driving bar 382 of the driving unit 380. In this case, the vertical moving part 370 may have a connecting part 374 connected to the driving bar 382 at a lower portion.

한편, 상기 하우징(310)의 내측에는 상기 수직이동부(370)가 상하로 이동하는 경우에 상하이동을 가이드하도록 돌출부(318)를 구비할 수 있다. 즉, 상기 수직이동부(370)가 상하로 수직이동하는 경우에 상기 수직이동부(370)의 일측이 상기 돌출부(318)에 의해 가이드될 수 있다.Meanwhile, a protrusion 318 may be provided inside the housing 310 to guide vertical movement when the vertical movement unit 370 moves up and down. That is, when the vertical moving part 370 vertically moves up and down, one side of the vertical moving part 370 may be guided by the protruding part 318 .

한편, 상기 수직이동부(370)에는 제1 경사부(372)가 형성될 수 있다. 상기 제1 경사부(372)는 상기 수직이동부(370)에서 상기 하우징(310)의 개방된 홀(311)을 향하는 타측에 형성될 수 있다.Meanwhile, a first inclined portion 372 may be formed on the vertical moving portion 370 . The first inclined portion 372 may be formed on the other side of the vertical moving portion 370 toward the open hole 311 of the housing 310 .

또한, 상기 하우징(310)의 내측에는 수평이동부(360)가 배치되는데, 상기 수평이동부(360)는 상기 수직이동부(370)의 제1 경사부(372)에 맞닿도록 배치될 수 있다.In addition, a horizontal moving part 360 is disposed inside the housing 310, and the horizontal moving part 360 may be disposed so as to come into contact with the first inclined part 372 of the vertical moving part 370. .

이 경우, 상기 수평이동부(360)의 일측에는 상기 제1 경사부(372)에 대응하는 제2 경사부(362)가 형성될 수 있다. In this case, a second inclined portion 362 corresponding to the first inclined portion 372 may be formed on one side of the horizontal moving portion 360 .

즉, 상기 수직이동부(370)의 제1 경사부(372)와 상기 수평이동부(360)의 제2 경사부(362)가 서로 맞닿은 채로 상기 수직이동부(370)와 상기 수평이동부(360)가 배치될 수 있다. 따라서, 상기 수직이동부(370)가 상하이동하는 경우에 상기 제1 경사부(372)가 상기 제2 경사부(362)를 가압하여 상기 수평이동부(360)가 수평이동하게 된다.That is, the vertical moving part 370 and the horizontal moving part ( 360) may be placed. Accordingly, when the vertical moving part 370 moves up and down, the first inclined part 372 presses the second inclined part 362 so that the horizontal moving part 360 moves horizontally.

상기 제1 경사부(372)와 제2 경사부(362)는 지면에 수직인 선에 대해 동일한 경사각도(θ)를 가지도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 경사부(372) 또는 상기 제2 경사부(362)는 지면에 수직인 선에 대해 대략 1°내지 5°의 각도를 가질 수 있다.The first inclined portion 372 and the second inclined portion 362 may be formed to have the same inclination angle θ with respect to a line perpendicular to the ground. For example, the first inclined portion 372 or the second inclined portion 362 may have an angle of approximately 1° to 5° with respect to a line perpendicular to the ground.

한편, 상기 수평이동부(360)에서 상기 하우징(310)의 개방된 홀(311)을 향하는 타측에는 연장부(366)가 형성될 수 있다. 상기 연장부(366)는 상기 하우징(310)의 홀(311)을 관통하여 가압판(350)에 연결될 수 있다.Meanwhile, an extension part 366 may be formed on the other side of the horizontal moving part 360 toward the open hole 311 of the housing 310 . The extension part 366 may pass through the hole 311 of the housing 310 and be connected to the pressing plate 350 .

상기 수평이동부(360)의 이동에 의해 상기 가압판(350)이 이동하는 경우에 상기 하우징(310)의 내부를 밀폐하도록 상기 가압판(350)과 하우징(310)은 벨로우즈(bellows) 등과 같은 실링부재(354)로 연결될 수 있다.When the pressure plate 350 is moved by the movement of the horizontal moving part 360, the pressure plate 350 and the housing 310 are sealed with a sealing member such as bellows to seal the inside of the housing 310. (354).

즉, 상기 하우징(310)의 내측에 가압부(390)와 구동부(380)와 같이 이동가능한 부재를 배치하고 상기 실링부재(354)로 상기 가압판(350)과 하우징(310) 사이를 밀폐함으로써, 상기 하우징(310)의 내측에서 발생할 수 있는 파티클 또는 이물질 등이 상기 하우징(310)의 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.That is, by disposing a movable member such as a pressing part 390 and a driving part 380 inside the housing 310 and sealing the pressure plate 350 and the housing 310 with the sealing member 354, Particles or foreign substances that may occur inside the housing 310 may be prevented from leaking out of the housing 310 .

한편, 상기 홀(311)의 가장자리를 따라 안착판(352)이 배치되어, 상기 가압판(350)이 홀(311)을 향해 후퇴하는 경우에도 상기 가압판(350)이 상기 하우징(310)에 직접 접촉하는 것을 방지할 수 있다. Meanwhile, a seating plate 352 is disposed along the edge of the hole 311 so that the pressing plate 350 directly contacts the housing 310 even when the pressing plate 350 retreats toward the hole 311. can prevent doing so.

또한, 상기 수직이동부(370)의 오작동 또는 파손 등의 사고로 인해 상기 가압판(350)이 전술한 홀(311) 주변의 하우징(310)에 하중을 가할 수 있다. 이 경우, 상기 안착판(352)은 전술한 하중에 저항하여 상기 하우징(310)의 변형을 최소화하도록 상기 홀(311) 주변의 하우징(310)의 강성을 보강하는 역할도 한다.In addition, due to an accident such as malfunction or breakage of the vertical moving unit 370, the pressure plate 350 may apply a load to the housing 310 around the hole 311 described above. In this case, the seat plate 352 also serves to reinforce the rigidity of the housing 310 around the hole 311 to minimize deformation of the housing 310 by resisting the aforementioned load.

한편, 상기 수평이동부(360)의 타측에는 단차부(364, 366)가 형성될 수 있으며, 상기 하우징(310)의 내측에는 상기 단차부(364, 366)에 대응하는 지지부(316, 317)가 형성될 수 있다. Meanwhile, stepped portions 364 and 366 may be formed on the other side of the horizontal moving portion 360, and support portions 316 and 317 corresponding to the stepped portions 364 and 366 may be formed inside the housing 310. can be formed.

즉, 상기 수평이동부(360)가 단차부(364, 366)에 의해 지지되어 수평으로 이동할 수 있다. 또한, 상기 지지부(316, 317)는 상기 수평이동부(360)의 수평이동을 제한하는 스토퍼(stopper)의 역할도 할 수 있다. 즉, 상기 지지부(316, 317)는 수평이동부(360)가 필요 이상으로 수평이동하지 않도록 제한하는 역할을 할 수 있다.That is, the horizontal moving part 360 is supported by the stepped parts 364 and 366 and can move horizontally. In addition, the support parts 316 and 317 may also serve as stoppers for limiting the horizontal movement of the horizontal moving part 360 . That is, the support parts 316 and 317 may play a role of restricting the horizontal movement part 360 from horizontally moving more than necessary.

도 3에서는 상기 홀(311) 및 가압판(350)이 길게 연장된 단일 형태로 도시되지만, 이에 한정되지는 않는다. 즉, 상기 홀(311) 및 가압판(350)이 복수개로 구성되는 것도 물론 가능하다.In FIG. 3 , the hole 311 and the pressing plate 350 are shown as a single elongated form, but are not limited thereto. That is, it is of course possible that the hole 311 and the pressing plate 350 are configured in plural numbers.

한편, 상기 셔터유닛(300)의 하우징(310)의 외측에는 가이드바(312, 314)가 구비될 수 있다. 상기 가이드바(312, 314)는 전술한 가이드홀(224, 244)에 대응하게 된다. 따라서, 상기 셔터유닛(300)이 상승 또는 하강하는 경우에 상기 가이드바(312, 314)가 상기 가이드홀(224, 244)에 삽입되어 상기 셔터유닛(300)의 이동을 가이드할 수 있다.Meanwhile, guide bars 312 and 314 may be provided outside the housing 310 of the shutter unit 300 . The guide bars 312 and 314 correspond to the guide holes 224 and 244 described above. Accordingly, when the shutter unit 300 ascends or descends, the guide bars 312 and 314 may be inserted into the guide holes 224 and 244 to guide the movement of the shutter unit 300 .

한편, 상기 셔터유닛(300)의 가압판(350)에 의해 상기 도어(500)를 가압하게 되면 반력에 의해 상기 셔터유닛(300)이 상기 도어(500)에서 멀어지는 방향으로 밀릴 수 있다. 따라서, 상기 가이드홀(224, 244)은 상기 셔터유닛(300)의 수평방향 이동을 허용하도록 상기 가이드바(312, 314)의 폭에 비해 더 넓은 폭을 가지도록 형성될 수 있다.Meanwhile, when the door 500 is pressed by the pressing plate 350 of the shutter unit 300, the shutter unit 300 may be pushed away from the door 500 by a reaction force. Accordingly, the guide holes 224 and 244 may be formed to have a wider width than the guide bars 312 and 314 so as to allow the horizontal movement of the shutter unit 300 .

도 1 및 도 2를 다시 참조하면, 상기 셔터유닛(300)은 승하강유닛(400)에 의해 상하로 이동할 수 있다.Referring again to FIGS. 1 and 2 , the shutter unit 300 may be moved up and down by the elevating and descending unit 400 .

상기 승하강유닛(400)은 다양한 형태로 구현될 수 있다. 예를 들어, 도면에 도시된 바와 같이 상기 셔터유닛(300)을 지지하는 지지플레이트(410)와, 상기 지지플레이트(410)를 지지하며 상하로 이동시키는 지지레그(420)를 구비할 수 있다.The lifting and lowering unit 400 may be implemented in various forms. For example, as shown in the drawing, a support plate 410 supporting the shutter unit 300 and a support leg 420 supporting and vertically moving the support plate 410 may be provided.

상기 지지레그(420)는 상기 지지플레이트(410)를 지지하면서 나아가 실린더 등과 같은 구동수단을 구비하여 상기 지지플레이트(410)를 상하로 이동시키게 된다.The support leg 420 supports the support plate 410 and further includes a driving means such as a cylinder to move the support plate 410 up and down.

상기 도어(500)를 밀폐하는 경우 상기 지지플레이트(410)가 상승하여 상기 셔터유닛(300)의 상부가 상기 고정프레임(230)의 제1 개구부(226, 246)로 삽입된다. 이 경우, 상기 셔터유닛(300)의 가압판(350)의 높이가 상기 도어(500)에 대응하도록 상기 지지플레이트(410)가 상승하게 된다. 상기 가압판(350)의 높이가 상기 도어(500)에 대응하게 되면, 상기 구동부(380)의 구동에 의해 상기 가압부(390)가 구동하여 상기 가압판(350)에 의해 상기 도어(500)를 가압하여 밀폐할 수 있게 된다.When the door 500 is closed, the support plate 410 rises and the upper portion of the shutter unit 300 is inserted into the first openings 226 and 246 of the fixing frame 230 . In this case, the support plate 410 is raised so that the height of the pressing plate 350 of the shutter unit 300 corresponds to the door 500 . When the height of the pressing plate 350 corresponds to that of the door 500, the driving part 380 drives the pressing part 390 to press the door 500 by the pressing plate 350. so that it can be sealed.

한편, 상기 하우징(310)에는 바퀴(320)가 구비될 수 있으며, 상기 지지플레이트(410)에는 상기 바퀴(320)가 삽입되는 홈(332)이 형성된 레일(rail)(330)이 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 지지플레이트(410)에 고정부(340)가 구비되어 상기 고정부(340)에 레일(330)이 고정되어 구비될 수 있다.Meanwhile, the housing 310 may include wheels 320, and the support plate 410 may include a rail 330 having grooves 332 into which the wheels 320 are inserted. there is. For example, a fixing part 340 may be provided on the support plate 410 so that the rail 330 may be fixed to the fixing part 340 .

상기 바퀴(320) 및 레일(330)은 상기 셔터유닛(300)이 상기 지지플레이트(410) 상에서 이동하는 경우 가이드하게 된다. 즉, 전술한 바와 같이, 상기 셔터유닛(300)의 가압판(350)에 의해 상기 도어(500)를 가압하게 되면 반력에 의해 상기 셔터유닛(300)이 상기 도어(500)에서 멀어지는 방향으로 밀릴 수 있다. 이 경우, 상기 바퀴(320)가 레일(330)을 따라 이동하여 상기 셔터유닛(300)의 이동을 가이드하게 된다.The wheels 320 and the rail 330 guide the shutter unit 300 when moving on the support plate 410 . That is, as described above, when the door 500 is pressed by the pressing plate 350 of the shutter unit 300, the shutter unit 300 may be pushed away from the door 500 by a reaction force. there is. In this case, the wheel 320 moves along the rail 330 to guide the movement of the shutter unit 300 .

도 5는 상기 셔터유닛(300)의 구동을 도시한 도면이다. 도 5의 (A)는 수직이동부(370)가 상승하지 않은 상태를 도시하며, 도 5의 (B)는 상기 수직이동부(370)가 상승하여 수평이동부(360)가 이동한 상태를 도시한다.5 is a view showing the operation of the shutter unit 300. 5(A) shows a state in which the vertical moving part 370 does not rise, and FIG. 5(B) shows a state in which the vertical moving part 370 rises and the horizontal moving part 360 moves. show

도 5의 (A)에서 구동부(380)가 구동하여 구동바(382)가 수직방향으로 구동력을 제공하면 상기 수직이동부(370)가 상승하게 된다.In (A) of FIG. 5 , when the driving unit 380 is driven and the driving bar 382 provides driving force in the vertical direction, the vertical moving unit 370 rises.

이 경우, 상기 수직이동부(370)의 제1 경사부(372)가 상기 수평이동부(360)의 제2 경사부(362)를 가압하게 되어, 상기 수평이동부(360)는 도 5의 (B)와 같이 홀(311)을 향해서 수평이동하게 된다.In this case, the first inclined part 372 of the vertical moving part 370 presses the second inclined part 362 of the horizontal moving part 360, so that the horizontal moving part 360 of FIG. As shown in (B), it moves horizontally toward the hole 311.

따라서, 상기 수평이동부(360)의 연장부(366)의 단부에 구비된 가압판(350)에 의해 도어(500)를 가압하여 밀폐하게 된다.Accordingly, the door 500 is pressed and sealed by the pressing plate 350 provided at the end of the extension part 366 of the horizontal moving part 360 .

한편, 상기 가압판(350)에 의해 상기 도어(500)를 가압하는 경우 반력에 의해 상기 셔터유닛(300)이 도어(500)에서 멀어지는 방향으로 밀리게 된다. 이 경우, 상기 셔터유닛(300)은 전술한 바퀴(320)가 레일(330)을 따라 이동하여 가이드된다.Meanwhile, when the door 500 is pressed by the pressing plate 350, the shutter unit 300 is pushed away from the door 500 by a reaction force. In this case, the shutter unit 300 is guided by the wheel 320 moving along the rail 330 described above.

한편, 상기 셔터유닛(300)이 상기 도어(500)에서 멀어지는 방향으로 밀리게 되면, 상기 가압판(350)은 상기 도어(500)를 가압한 상태가 되고 상기 셔터유닛(300)의 하우징(310) 후면(홀(311)이 형성된 면의 반대면)은 전술한 전면프레임(210)에 닿게 된다. 즉, 상기 셔터유닛(300)이 상기 고정프레임(230)의 제1 개구부(226, 246)의 내측에서 고정된 상태를 유지하게 되어 상기 도어(500)를 견고히 지지할 수 있다.Meanwhile, when the shutter unit 300 is pushed away from the door 500, the pressure plate 350 presses the door 500, and the housing 310 of the shutter unit 300 The rear surface (the surface opposite to the surface where the hole 311 is formed) comes into contact with the aforementioned front frame 210 . That is, the shutter unit 300 maintains a fixed state inside the first openings 226 and 246 of the fixing frame 230 and can firmly support the door 500 .

한편, 본 실시예의 도어유닛(200)에 따르면 상기 도어(500)를 밀폐하기에 필요한 힘에 비해 상기 구동부(380)에서 필요로 하는 힘은 상대적으로 적게 된다. Meanwhile, according to the door unit 200 of this embodiment, the force required by the driving unit 380 is relatively less than the force required to close the door 500 .

도 6은 상기 셔터유닛(300)의 수직이동부(370)와 수평이동부(360)에 작용하는 힘을 도시한 개략도이다. 도 6의 (A)는 상기 수평이동부(360)에 작용하는 힘을 도시하며, 도 6의 (B)는 상기 수직이동부(370)에 작용하는 힘을 도시한다. 도 6에서는 도시의 편의를 위해 상기 수직이동부(370)와 수평이동부(360)를 간략히 도시하였음을 밝혀둔다.FIG. 6 is a schematic diagram showing forces acting on the vertical moving part 370 and the horizontal moving part 360 of the shutter unit 300. As shown in FIG. FIG. 6(A) shows the force acting on the horizontal moving part 360, and FIG. 6(B) shows the force acting on the vertical moving part 370. In FIG. 6, it is revealed that the vertical moving unit 370 and the horizontal moving unit 360 are briefly illustrated for convenience of illustration.

도 6의 (A)를 참조하면, 상기 도어(500)를 밀폐하기에 필요한 밀폐력(F)이 있는 경우 상기 수평이동부(360)에는 상기 밀폐력(F)과 평행하며 크기가 동일한 제1 반력(A)이 필요하다. 상기 제1 반력(A)은 아래 [수학식 1]로 정의할 수 있다.Referring to (A) of FIG. 6, when there is a sealing force (F) necessary to seal the door 500, the horizontal moving part 360 has a first reaction force parallel to the sealing force (F) and having the same size ( A) is required. The first reaction force (A) can be defined as [Equation 1] below.

[수학식 1][Equation 1]

이때, 'B'는 상기 수평이동부(360)의 제2 경사부(362)에 수직하게 작용하는 제2 외력으로 정의된다. 따라서, 상기 제2 외력(B)은 아래 [수학식 2]로 정의할 수 있다.At this time, 'B' is defined as a second external force acting perpendicularly to the second inclined part 362 of the horizontal moving part 360 . Therefore, the second external force (B) can be defined as [Equation 2] below.

[수학식 2][Equation 2]

한편, 도 6의 (B)를 참조하면, 상기 수직이동부(370)에 작용하는 제3 반력(C)은 전술한 제1 반력(A)과 동일함을 알 수 있다. 결국, 상기 수직이동부(370)에 필요한 수직반력(D)은 아래 [수학식 3]으로 정의할 수 있다.Meanwhile, referring to (B) of FIG. 6 , it can be seen that the third reaction force (C) acting on the vertical moving part 370 is the same as the first reaction force (A) described above. As a result, the vertical reaction force (D) required for the vertical movement unit 370 can be defined as [Equation 3] below.

[수학식 3][Equation 3]

따라서, 전술한 [수학식 3]에서 구한 수직반력(D)에 상기 수직이동부(370)의 하중을 더하게 되면 상기 밀폐력(F)을 발휘하기 위해 필요한 상기 구동부(380)의 구동력(P)을 구할 수 있다. Therefore, when the load of the vertical moving part 370 is added to the vertical reaction force D obtained in [Equation 3], the driving force P of the driving part 380 required to exert the sealing force F is can be obtained.

예를 들어, 상기 제1 경사부(372) 또는 상기 제2 경사부(362)가 지면에 수직인 선에 대해 대략 3°의 경사각도(θ)를 가지며 상기 밀폐력(F)이 30,000kgf이고 상기 수직이동부(370)의 하중이 50kgf라고 할때, 상기 구동부(380)에서 필요한 구동력(P)을 [수학식 1] 내지 [수학식 3]을 통해 계산해보면 대략 1,622kgf에 해당한다. 이 경우, 상기 밀폐력(F)에 대해 대략 5.4%의 구동력(P)이 필요함을 알 수 있어서, 상기 밀폐력(F)에 비해 상대적으로 매우 적은 구동력(P)으로도 상기 도어(500)를 충분히 밀폐할 수 있음을 알 수 있다.For example, the first inclined portion 372 or the second inclined portion 362 has an inclination angle (θ) of approximately 3 ° with respect to a line perpendicular to the ground, and the sealing force (F) is 30,000 kgf and the When the load of the vertical moving unit 370 is 50 kgf, the driving force P required by the driving unit 380 is calculated through [Equation 1] to [Equation 3] and corresponds to approximately 1,622 kgf. In this case, it can be seen that approximately 5.4% of the driving force (P) is required for the sealing force (F), so that the door 500 is sufficiently sealed even with a relatively very small driving force (P) compared to the sealing force (F). know you can do it.

한편, 상기 도어(500)를 밀폐하기 위하여 상기 수평이동부(360)가 수평방향으로 이동해야 하는 이동거리는 미리 정해질 수 있으며, 이에 따라 상기 수직이동부(370)의 상승거리가 정해질 수 있다. Meanwhile, in order to close the door 500, the horizontal movement distance of the horizontal moving part 360 may be determined in advance, and accordingly, the rising distance of the vertical moving part 370 may be determined. .

도 7은 상기 제1 경사부(372) 및 제2 경사부(362)의 각도 변화에 따른 구동부(380)에서 필요한 구동력(P)과 상기 수직이동부(370)의 상승거리를 비교한 그래프이다. 도 7에서 가로축은 상기 제1 경사부(372) 또는 상기 제2 경사부(362)의 경사각도(θ)를 도시하며, 오른쪽 세로축은 상기 수직이동부(370)의 상승거리(mm)를 도시하며, 왼쪽 세로축은 상기 구동부(380)에서 필요한 구동력(P)(kgf)를 도시한다. 도 7에서는 상기 밀폐력(F)이 30,000kgf이고, 상기 수평이동부(360)를 2mm 이동시키는 경우를 상정하여 그래프를 작성하였다.7 is a graph comparing the driving force (P) required by the driving unit 380 according to the angle change of the first inclined part 372 and the second inclined part 362 and the rising distance of the vertically moving part 370. . In FIG. 7 , the horizontal axis shows the inclination angle θ of the first inclined part 372 or the second inclined part 362, and the right vertical axis shows the rising distance (mm) of the vertical moving part 370. , and the left vertical axis shows the driving force P (kgf) required by the driving unit 380. In FIG. 7, the graph was prepared assuming that the sealing force (F) is 30,000 kgf and the horizontal moving part 360 is moved by 2 mm.

도 7을 참조하면, 상기 제1 경사부(372) 또는 상기 제2 경사부(362)의 경사각도(θ)가 커질수록 전술한 이동거리만큼 상기 수평이동부(360)를 이동시키기 위해 상기 수직이동부(370)가 상승해야 하는 거리는 줄어들게 된다. 하지만, 상기 구동부(380)에서 필요로 하는 구동력(P)은 상대적으로 매우 커지게 된다.Referring to FIG. 7 , as the inclination angle θ of the first inclined portion 372 or the second inclined portion 362 increases, the vertical moving portion 360 is moved by the aforementioned moving distance. The distance that the moving unit 370 has to rise is reduced. However, the driving force P required by the driving unit 380 is relatively large.

반대로, 상기 제1 경사부(372) 또는 상기 제2 경사부(362)의 경사각도(θ)가 작아질수록 전술한 이동거리만큼 상기 수평이동부(360)를 이동시키기 위해 상기 수직이동부(370)가 상승해야 하는 거리는 늘어나게 된다. 하지만, 상기 구동부(380)에서 필요로 하는 구동력(P)은 상대적으로 매우 작아지게 된다.On the contrary, as the inclination angle (θ) of the first inclined part 372 or the second inclined part 362 decreases, the vertical moving part ( 370) will increase the distance to rise. However, the driving force P required by the driving unit 380 is relatively small.

전술한 내용을 고려할 때, 본 발명에 따른 챔버(100)를 복수개 구비하는 기판처리시스템을 가정하면, 쓰루풋(throughput)을 늘리기 위하여 챔버(100)의 구조 및 체적에 큰 영향을 미치는 상기 구동부(380)의 사이즈를 줄이고자 하는 경우 상기 도어(500)를 밀폐하기 위한 구동력(P)이 작을수록 유리하다. 따라서, 상기 제1 경사부(372) 또는 상기 제2 경사부(362)의 경사각도(θ)가 작아지는 것이 바람직하다.Considering the foregoing, assuming a substrate processing system having a plurality of chambers 100 according to the present invention, the driving unit 380 greatly affects the structure and volume of the chamber 100 in order to increase throughput. ) When trying to reduce the size of the door 500, the smaller the driving force P for sealing the door 500 is advantageous. Therefore, it is preferable that the inclination angle θ of the first inclined portion 372 or the second inclined portion 362 is reduced.

하지만, 챔버(100)의 구조 및 체적을 줄이기 위해서는 상기 수직이동부(370)가 상승해야하는 거리를 줄여야하므로 상기 제1 경사부(372) 또는 상기 제2 경사부(362)의 경사각도(θ)가 커지는 것이 바람직하다.However, in order to reduce the structure and volume of the chamber 100, the vertical moving part 370 has to reduce the upward distance, so the inclination angle θ of the first inclined part 372 or the second inclined part 362 It is desirable that

이러한 점을 고려할 때, 상기 제1 경사부(372) 또는 상기 제2 경사부(362)는 지면에 수직인 선에 대해 대략 1°내지 5°의 경사각도(θ)를 가지는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 2°내지 4°의 경사각도(θ)를 가질 수 있다.Considering this point, the first inclined portion 372 or the second inclined portion 362 preferably has an inclination angle (θ) of approximately 1 ° to 5 ° with respect to a line perpendicular to the ground, and more Preferably, it may have an inclination angle (θ) of 2° to 4°.

또한, 상기 경사각도(θ)를 0°로 하게 되면 전술한 [수학식 3]의 수직반력(D)이 0이 되므로 이상적이다. 하지만, 이 경우에는 전술한 가압부(390)에 경사부를 구비하지 않게 되므로 상기 수직이동부(370)의 상하이동에 따른 힘이 상기 수평이동부(360)로 전달되지 않는다. 따라서, 상기 셔터유닛(300)의 가압판(350)과 도어(500) 간에 간격이 발생할 수밖에 없고 이러한 간격으로 인해 도어(500)의 밀폐력이 해제될 수 있다.In addition, when the inclination angle (θ) is set to 0°, the vertical reaction force (D) in [Equation 3] becomes zero, which is ideal. However, in this case, since the above-described pressing part 390 does not have an inclined part, the force according to the vertical movement of the vertical moving part 370 is not transmitted to the horizontal moving part 360 . Therefore, a gap inevitably occurs between the pressing plate 350 of the shutter unit 300 and the door 500, and due to this gap, the sealing force of the door 500 can be released.

나아가, 전술한 수직이동부(370) 및 수평이동부(360)를 따로 구비하지 않고 고정형 단일부재를 구비할 수도 있다. 이 경우에는 셔터유닛이 상승하는 경우 이동하지 않는 가압판에 의해 도어(500)를 가압하여 밀폐하게 된다. 하지만, 이 경우에는 상기 가압판이 상승하여 도어(500)를 가압하게 되므로 가압판과 도어(500) 사이의 간격을 적절히 유지하는 것이 매우 어렵고 곤란하다. 즉, 도어(500)의 밀폐력을 높이기 위하여 가압판과 도어(500)의 간격을 없애는 경우 셔터유닛이 상승하는 중에 가압판과 도어(500)의 마찰 또는 간섭으로 인해 파손 또는 손상이 발생할 수 있다. 반대로, 가압판과 도어(500)의 간격이 넓은 경우 셔터유닛이 상승하여도 가압판에 의해 도어(500)를 가압하는 힘이 약하여 도어(500)의 밀폐력이 충분하지 않을 수 있다.Furthermore, the aforementioned vertical moving unit 370 and the horizontal moving unit 360 may not be separately provided but may be provided with a fixed single member. In this case, when the shutter unit is raised, the door 500 is pressed and sealed by a pressing plate that does not move. However, in this case, since the pressure plate rises and presses the door 500, it is very difficult and difficult to properly maintain a distance between the pressure plate and the door 500. That is, when the gap between the pressure plate and the door 500 is removed to increase the sealing force of the door 500, damage or damage may occur due to friction or interference between the pressure plate and the door 500 while the shutter unit is raised. Conversely, when the distance between the pressure plate and the door 500 is wide, even if the shutter unit is raised, the force for pressing the door 500 by the pressure plate is weak, and thus the sealing force of the door 500 may not be sufficient.

본 발명에서는 제1 경사부(372)가 형성된 수직이동부(370)와 제2 경사부(362)가 형성된 수평이동부(360)를 구비하게 된다. 따라서, 상기 수직이동부(370)의 수직이동거리 또는 제1 경사부(372) 및 제2 경사부(362)의 경사정도에 따라 수평이동부(360)의 이동거리 또는 밀폐력을 조절할 수 있게 된다. 결국, 본 발명에서는 전술한 문제점, 즉 도어(500)의 밀폐력이 해제되거나, 또는 가압판(350)과 도어(500) 사이의 간섭문제를 해결할 수 있다.In the present invention, a vertical moving part 370 having a first inclined part 372 and a horizontal moving part 360 having a second inclined part 362 are provided. Therefore, the moving distance or sealing force of the horizontal moving part 360 can be adjusted according to the vertical moving distance of the vertical moving part 370 or the degree of inclination of the first inclined part 372 and the second inclined part 362. . As a result, in the present invention, it is possible to solve the above-mentioned problem, that is, the problem of releasing the sealing force of the door 500 or the problem of interference between the pressure plate 350 and the door 500 .

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art variously modify and change the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims described below. You will be able to. Therefore, if the modified implementation basically includes the elements of the claims of the present invention, all of them should be considered to be included in the technical scope of the present invention.

100 : 하우징
110 : 처리공간
120 : 개구부
200 : 도어유닛
300 : 셔터유닛
310 : 하우징
311 : 홀
350 : 가압판
360 : 수평이동부
362 : 제2 경사부
366 : 연장부
370 : 수직이동부
372 : 제1 경사부
380 : 구동부
400 : 승하강유닛
410 : 지지플레이트
420 : 지지레그
500 : 도어
600 : 밀폐유닛100: housing
110: processing space
120: opening
200: door unit
300: shutter unit
310: housing
311: hall
350: pressure plate
360: horizontal moving part
362: second inclined portion
366: extension
370: vertical moving part
372: first inclined portion
380: driving unit
400: lifting unit
410: support plate
420: support leg
500: door
600: sealing unit

Claims

a door sealing the opening of the chamber;
a fixing frame provided on the front surface of the chamber where the opening is formed; and
A sealing unit inserted into the fixing frame and pressurizing a door sealing the opening;
The sealing unit includes a shutter unit at least partially inserted into the first opening of the fixing frame to press the door, and a lifting unit for moving the shutter unit up and down,
The chamber door unit according to claim 1 , wherein the shutter unit includes a driving unit for providing a driving force in a vertical direction, and a pressing unit for changing the driving force of the driving unit in a horizontal direction to seal the door.

According to claim 1,
The shutter unit further includes a housing in which the driving unit and the pressing unit are disposed,
The pressing unit includes a vertical moving part disposed inside the housing and moving up and down by the vertical driving force of the driving part, a horizontal moving part moving in a horizontal direction by the vertical movement of the vertical moving part, and the horizontal moving part. The chamber door unit further comprises a pressing plate connected to an end of the pressing plate to press the door.

According to claim 2,
The chamber door unit, characterized in that the pressure plate and the housing are connected by a sealing member to seal the inside of the housing when the pressure plate is moved by the movement of the horizontal moving unit.

According to claim 2,
A first inclined part is formed on one side of the vertical moving part, and a second inclined part corresponding to the first inclined part is formed on one side of the horizontal moving part, so that when the vertical moving part moves up and down, the first inclined part is formed. The chamber door unit according to claim 1 , wherein the horizontally moving part moves horizontally by pressing the second inclined part.

According to claim 4,
The chamber door unit, characterized in that the first inclined portion has an angle of 1 ° to 5 ° with respect to a line perpendicular to the ground.

According to claim 1,
The shutter unit further includes a guide bar, and a guide hole into which the guide bar is inserted is further formed at an edge of the first opening of the fixing frame.

According to claim 1,
The shutter unit further includes wheels, and the elevating unit further includes rails corresponding to the wheels,
The chamber door unit, characterized in that when the shutter unit is pushed in a direction away from the door, the wheel moves along the rail to guide the movement of the shutter unit.