KR20230072143A - 코어리스 기판 지지체 - Google Patents

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KR20230072143A
KR20230072143A KR1020210158577A KR20210158577A KR20230072143A KR 20230072143 A KR20230072143 A KR 20230072143A KR 1020210158577 A KR1020210158577 A KR 1020210158577A KR 20210158577 A KR20210158577 A KR 20210158577A KR 20230072143 A KR20230072143 A KR 20230072143A
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윤태성
이우택
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롯데에너지머티리얼즈 주식회사
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Abstract

본 발명은 금속박 적층체에 관한 것이다. 한 구체예에서 상기 금속박 적층체는 복수의 금속박 및 상기 복수의 금속박을 서로 접합하는 접착층을 포함하는 금속박 적층체로서, 상기 접착층은 에폭시 수지, 엘라스토머 및 충전입자를 포함한다.

Description

코어리스 기판 지지체 {CORELESS BOARD SUPPORT}
본 발명은 코어리스 기판 지지체에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 금속박 적층체를 기반으로 하는 코어리스 기판 지지체에 관한 것이다.
최근 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, PCB)은 DCF(Detach Carrier Film)라는 소재를 사용하는 공법을 이용하여 제조된다. DCF는 두 장의 동박(copper foil) 사이에 프리프레그(prepreg)를 코어(core)로 사용한 소재로, PCB 제조 생산성 향상을 위해 사용하는 소재이다.
최근에는 소형화 및 슬림화된 전자기기 요구량이 증가함에 따라, 전자기기에 사용되는 인쇄회로기판도 박형화가 요구되고 있으며, 박형의 인쇄회로기판을 제조하기 위해, DCF 또는 코어리스 기판 지지체를 이용하여 코어(core)층을 삭제한 코어리스(coreless) 인쇄회로기판을 제조한다.
코어리스 기판 지지체는 열경화성 수지 매트릭스에 섬유가 함침(보강)된, 절연성의 프리프레그(prepreg)를 사용하여 제조된다. 상기 코어리스 기판 지지체는 프리프레그의 양면에 캐리어박이 부착된 극박동박을 접착하여 제조된다. 또한 상기 코어 지지체에 절연층 및 배선층을 교대로 적층한 다음, 코어 지지체를 제거함으로써 코어리스 인쇄회로기판을 제조할 수 있다.
예를 들면 DCF를 이용한 인쇄회로기판은 하기와 같은 공정을 통해 제조될 수 있다: 프리프레그 등의 코어의 양면에 캐리어박 부착 극박동박을 프레스 가공하여 DCF를 마련하고, 상기 DCF의 극박동박 표면에 포토레지스트를 전사하고 레이저 패터닝하여 소정의 패턴을 형성 후, 상기 포토레지스트를 박리(strip) 한다. 상기 DCF의 극박동박 양면에 절연재를 프레스 가공하여 절연층을 형성하고, 상기 절연층을 레이저 드릴가공하여 소정의 패턴을 형성한 다음, 상기 패턴 표면에 무전해 동(Cu) 도금하여 동도금층을 형성한다. 그 다음에, 상기 동도금층의 표면에 포토레지스트를 전사하고, 레이저 패터닝하여 소정의 패턴을 형성 후, 상기 포토레지스트를 박리한다. 그 다음에 상기 포토레지스트가 박리된 패턴을 플래시 에칭하고, 상기 에칭된 패턴층 표면에 포토레지스트를 적층한 적층기판을 제조할 수 있다. 그 다음에 상기 적층기판의 코어 및 캐리어박과, 극박동박을 분리하고, 상기 분리된 극박동박 표면을 동(Cu) 에칭하고, 상기 포토레지스트를 박리한 다음, 솔더 마스크 공정, 배선공정(routing) 및 OSP(Organic Solderability Preservatives) 등의 공정을 거쳐 인쇄회로기판을 제조할 수 있다.
그러나 프리프레그 적용한 코어 지지체는 두께 편차가 크며, 인쇄회로기판 제조시 리플로우 등 고온 공정을 거치는 과정에서 지지체에 휨(warpage)이 발생하는 등의 결함이 발생하는 문제가 있었다.
또한, 인쇄회로기판의 제조 공정에서 배선층의 형성 후, 캐리어박을 포함하여 프리프레그를 박리함으로써 코어가 제거되는데, 이 과정에서 섬유가 함침된 프리프레그는 분리가 어렵고, 재활용이 어려워 폐기물로 버려지는 실정이다. 이로 인해 폐기물 처리비용이 증가하며, 폐기물 처리시 탄소 발생량도 증가할 수 있다.
본 발명의 하나의 목적은 프리프레그를 포함하지 않으면서도 코어리스 기판 지지체로 사용될 수 있는 금속박 적층체를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 강성 및 내열성이 우수하고, 적층체의 두께 편차를 최소화하며, 열팽창계수가 낮아 휨(warpage) 발생 방지 효과가 우수한 금속박 적층체를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 접착층 구성 성분의 혼합성 및 분산성이 우수하고, 재활용이 용이하며 친환경성 및 탄소 발생량 저감효과가 우수한 금속박 적층체를 제공하는 것이다.
본 발명의 하나의 관점은 금속박 적층체에 관한 것이다. 한 구체예에서 상기 금속박 적층체는 복수의 금속박 및 상기 복수의 금속박을 서로 접합하는 접착층을 포함하는 금속박 적층체로서, 상기 접착층은 에폭시 수지, 엘라스토머 및 충전입자를 포함한다.
한 구체예에서 상기 접착층은, 에폭시 수지 100 중량부, 엘라스토머 50~200 중량부 및 충전입자 10~50 중량부를 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 에폭시 수지는 유리전이온도(Tg)가 30~100℃일 수 있다.
한 구체예에서 상기 엘라스토머는 아크릴로니트릴계, 부타디엔계, 스티렌계, 아크릴계, 이소프렌계, 올레핀계, 우레탄계 및 실리콘계 엘라스토머 중 하나 이상 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 충전입자는 탄산칼슘(CaCO3), 산화알루미늄(Al2O3), 수산화알루미늄(Al(OH)3), 탄화규소(SiC), 질화붕소(BN), 산화마그네슘(MgO) 및 수산화마그네슘(Mg(OH)2) 중 하나 이상 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 복수의 금속박은 동박이고, 상기 금속박 적층체는 접착강도가 1,000 gf/cm 이상이고, 열팽창계수(CTE)가 10~20 ppm/℃일 수 있다.
한 구체예에서 상기 복수의 금속박은 제1 금속박 및 제2 금속박으로 구성되고, 상기 제1 금속박 및 제2 금속박은 각각 캐리어박이 부착된 극박동박이고, 상기 캐리어박은 두께가 30~50㎛ 이고, 상기 극박동박은 두께가 1~5㎛ 이고, 상기 금속박 적층체의 모듈러스는 30,000~40,000 N/mm2 일 수 있다.
한 구체예에서 상기 복수의 금속박은 제1 금속박, 제2 금속박, 및 제3 금속박의 순서로 구성되고, 상기 제1 금속박 및 제3 금속박은 각각 캐리어박이 부착된 극박동박이고, 상기 캐리어박은 두께가 10~20㎛ 이고, 상기 극박동박은 두께가 1~5㎛ 이고, 상기 제2 금속박은 두께가 30~70㎛인 단일층으로 구성되고, 상기 금속박 적층체의 모듈러스는 30,000~50,000 N/mm2 일 수 있다.
한 구체예에서 상기 접착층은 두께가 5~30 ㎛일 수 있다.
한 구체예에서 코어리스 기판 지지체로서 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 금속박 적층체는 프리프레그를 포함하지 않으면서도 코어리스 기판 지지체로 사용될 수 있으며, 캐리어박에 대한 접착층의 접착력이 우수하면서, 접착층으로부터 캐리어박의 박리가 용이하고, 강성 및 내열성이 우수하고, 적층체의 두께 편차를 최소화하며, 접착층의 열팽창계수가 낮아 휨(warpage) 발생 방지 효과가 우수하며, 접착층 구성 성분의 혼합성 및 분산성이 우수하며, 재활용이 용이하며 친환경성 및 탄소 발생량 저감효과가 우수할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 구체예에 따른 금속박 적층체를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 다른 구체예에 따른 금속박 적층체를 나타낸 것이다.
본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기술 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있으므로 그 정의는 본 발명을 설명하는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
금속박 적층체
본 발명의 하나의 관점은 금속박 적층체에 관한 것이다. 한 구체예에서 상기 금속박 적층체는 복수의 금속박 및 상기 복수의 금속박을 서로 접합하는 접착층을 포함하는 금속박 적층체로서, 상기 접착층은 에폭시 수지, 엘라스토머 및 충전입자를 포함한다.
금속박
상기 금속박은 동박을 포함할 수 있다. 예를 들면 상기 금속박은 캐리어박 부착 극박동박을 포함할 수 있다. 한 구체예에서 상기 캐리어박 부착 극박동박은 순차적으로 형성된 캐리어박, 박리층 및 극박동박을 포함할 수 있다.
상기 캐리어박은 알루미늄박, 스테인레스강박, 티타늄박, 동박 및 동합금박 중 하나 이상 포함할 수 있다. 예를 들면 상기 캐리어박은 전해동박, 전해동합금박, 압연동박 또는 압연동합금박을 포함할 수 있다.
또한, 상기 캐리어박은 미처리 전해동박 또는 미처리 전해동합금박의 매트면(matte surface) 또는 샤이니면(shiny surface) 일 수 있다. 다른 예를 들면 상기 캐리어박은 압연동박 또는 압연동합금박의 압연 마무리면일 수 있다.
예를 들면 상기 캐리어박은 미처리 전해동박 또는 미처리 전해동합금박의 매트면 또는 샤이니면에 조화 처리를 실시한 박일 수 있다. 예를 들면 상기 캐리어박은 압연동박 또는 압연동합금박의 압연 마무리 면의 적어도 한쪽 면에 조화처리를 실시한 박일 수 있다.
상기 박리층은 박리성을 갖는 제1 금속(A); 및 상기 제1 금속의 도금을 용이하게 하는 제2 금속(B) 및 상기 제1 금속의 도금을 용이하게 하는 제3 금속(C);을 포함할 수 있다. 예를 들면 상기 박리층은 제1 금속, 제2 금속 및 제3 금속의 합금층으로 이루어질 수 있다.
한 구체예에서 상기 박리층 전체중량에 대하여 제1 금속 30~89 중량%, 제2 금속 10~60 중량% 및 제3 금속 1~20 중량% 포함할 수 있다.
상기 제2 금속 및 제3 금속은 캐리어박의 표면에 흡착되어 제1 금속의 도금에 촉매 역할을 한다. 상기 캐리어 극박 동박은 고온 환경에서도 들뜸의 발생이 억제되고 캐리어박으로부터 극박 동박을 용이하게 벗길 수 있다. 상기 제1 금속의 도금에 촉매 역할을 하는 금속으로서 1종의 금속만을 사용하면 박리층의 균일도가 저하된다.
상기 제1 금속, 제2 금속 및 제3 금속의 함량 범위는, 박리층 1dm2의 단위 면적 당 제1 금속(A)의 부착량(피막량)을, 동일 면적 당 제1 금속(A), 제2 금속(B) 및 제3 금속(C)의 부착량(피막량)의 합계로 나눈 값에 100을 곱하여 각각 도출할 수 있다.
상기 제1 금속은 상기 박리층 전체중량에 대하여 30~89 중량% 포함될 수 있다. 상기 함량범위로 포함시 극박동박의 박리성이 우수할 수 있다.
상기 제2 금속은 상기 박리층 전체중량에 대하여 10~60 중량% 포함될 수 있다. 상기 함량범위로 포함시 극박동박의 박리성이 우수할 수 있다.
상기 제3 금속은 상기 박리층 전체중량에 대하여 1~20 중량% 포함될 수 있다. 상기 함량범위로 포함시 박리층이 균일하게 도금될 수 있다.
한 구체예에서 상기 제1 금속(A)은 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W) 중 하나 이상 포함하며, 상기 제2 금속(B) 및 제3 금속(C)은 각각 철(Fe), 코발트(Co) 및 니켈(Ni) 중에서 선택되는 하나 이상 포함하되, 상기 제2 금속 및 제3 금속은 각각 서로 다른 종류의 금속을 포함할 수 있다. 상기 조건에서 박리층의 균일한 박리가 가능할 수 있다.
상기 제1 금속 및 제2 금속 만으로 박리층을 형성한 경우, 박리층의 박리성이 불균일한 현상이 발생하며, 박리시 박리층이 극박 동박과 함께 박리될 수 있다.
예를 들면 상기 제1 금속은 몰리브덴(Mo)을 포함하며, 제2 금속은 니켈(Ni)을 포함하고, 제3 금속은 철(Fe)을 포함할 수 있다. 예를 들면 상기 제3 금속은 철(Fe) 이온을 포함할 수 있다.
상기 제3 금속이 철이온을 포함시, 상기 제1 금속(Mo)의 도금시 촉매 역할을 하며, 박리층의 균일한 도금이 가능할 수 있다.
한 구체예에서 상기 박리층은 부착량 합이 0.05~10 mg/dm2일 수 있다. 상기 조건에서 박리성이 우수하며, 극박동박으로부터 용이하게 분리될 수 있다.
한 구체예에서 상기 박리층의 표면 거칠기는 캐리어박 표면의 거칠기 기준 1.5배 이하이며, 상기 박리층의 표면적은 상기 캐리어박의 표면적 기준 1.5배 이하일 수 있다. 상기 조건에서 박리 강도와 그 편차가 지나치게 증가하는 것을 방지할 수 있다.
상기 극박동박은 황산동, 피로포스포릭산(pyrophosphoric acid)동, 시안화(cyanated)동 및 설파민산동 등의 전해욕을 사용하여 상기 박리층 위에 전해 도금하여 형성될 수 있다. 한 구체예에서 도금욕은 pH 1~12의 구리 도금욕을 사용할 수 있다.
상기 극박동박은 박리층 표면이 동(Cu) 등의 도금액에 용해되기 쉬운 금속으로 형성되어 있는 경우, 도금액 중의 침지 시간, 전류값, 도금 마무리 공정의 도금액 제거, 수세, 금속 도금 직후의 도금액 pH 등이 박리층 표면의 상태를 결정하기 때문에, 욕의 종류는 박리층 표면 및 그 위에 형성하는 금속과의 관계를 고려하여 선택할 필요가 있다.
또한, 박리층 상으로의 극박동박 형성은 그 박리층의 박리성 때문에 균일한 도금을 수행하는 것이 상당히 어려워, 극박 동박에 핀홀의 수가 많이 존재할 수 있다. 이러한 도금 조건일 때에는 먼저 스트라이크(strike) 구리 도금을 수행하고, 이어서 통상의 전해 도금을 수행할 수 있다. 상기 스트라이크 도금을 수행 후 전해 도금시, 박리층 상에 균일한 도금을 실시하는 것이 가능하여 극박동박에 생기는 핀홀의 수를 크게 감소시킬 수 있다.
한 구체예에서 스트라이크 도금으로 부착시키는 구리 도금의 두께는 0.001~1㎛ 일 수 있다. 상기 스트라이크 도금은 욕 종류에 따라 조건이 변화할 수 있다. 예를 들면 상기 스트라이크 도금은 전류 밀도 0.1~20 A/dm2 및 도금 시간 0.1~300초 조건으로 실시할 수 있다. 상기 전류 밀도 및 도금 시간 조건에서 도금액의 금속 농도를 낮춘 스트라이크 도금에서 한계 전류 밀도 이상의 도금으로 인해 금속 산화물 도금(버닝현상 발생)층이 형성되는 것을 방지하여, 균일한 동박층을 제조 가능하며, 생산성이 우수할 수 있다.
한 구체예에서 스트라이크 도금에 의해 박리층 상에 박리층의 박리성을 저하시키지 않는 두께인, 0.001㎛ 이상의 두께를 가지는 구리 도금층을 형성한 다음, 소정의 두께로 구리 전해 도금을 수행하여 극박동박을 형성할 수 있다. 예를 들면 극박동박은 두께가 1~5㎛ 일 수 있다.
한 구체예에서 상기 극박동박은 용도에 따라 조화면과 비조화면을 가지는 동박을 형성할 수 있다. 상기 조화면은 노듈레이션(nodulation) 처리를 통해 형성하며, 상기 비조화면은 상기 극박동박의 최초박 형성시 광택제 및 억제제를 첨가하여 제조할 수 있다.
한 구체예에서 상기 극박동박의 일 표면(수지와 접합하는 면)에는, 상기 극박동박과 절연 수지와의 밀착성을 실용 수준 또는 그 이상으로 만들기 위해서 표면 처리를 실시할 수 있다. 동박 상에서의 표면 처리는 예를 들면 내열 및 내화학성 처리, 크로메이트 처리, 실란 커플링 처리 중 어느 하나 또는 이들의 조합 등을 들 수 있다. 절연 수지로 이용하는 수지에 따라서 적절한 표면 처리 법을 적용할 수 있다.
상기 내열 및 내화학성 처리는, 예를 들면 니켈, 주석, 아연, 크롬, 몰리브덴 및 코발트 등의 금속 중 하나 이상 또는 이들의 합금을 스퍼터링, 전기 도금 또는 무전해 도금에 의해 금속박 상에 박막 형성함으로써 실시할 수 있다. 비용면에서는 전기 도금이 바람직하다. 금속 이온의 석출을 쉽게 하기 위해서 시트르산염, 타르타르산염, 술파민산 등의 착화제를 필요량 첨가할 수 있다.
상기 크로메이트 처리는 6가 크롬 이온을 포함하는 수용액을 이용할 수 있다. 상기 크로메이트 처리는 단순한 침지 처리나 음극 처리로 실시할 수 있다. 예를 들면 상기 크로메이트 처리는 중크롬산 나트륨 0.1~50 g/L, pH 1~13, 욕온도 15~60 ℃, 전류 밀도 0.1~5 A/dm2, 전해 시간 0.1~100 초 조건에서 실시할 수 있다. 중크롬산 나트륨 대신에 크롬산 또는 중크롬산 칼륨을 이용하여 행할 수도 있다. 또한, 상기 크로메이트 처리는 방청 처리 상에 실시하는 것이 바람직하고, 이에 의해 내습 및 내열성을 보다 향상시킬 수 있다.
상기 실란 커플링 처리에 사용되는 실란 커플링제로서는, 예를 들면 3-글리시독시프로필 트리메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란 등의 에폭시 관능성 실란, 3-아미노프로필 트리메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필 트리메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸 디메톡시실란 등의 아미노 관능성 실란, 비닐트리메톡시 실란, 비닐페닐트리메톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란 등의 올레핀 관능성 실란, 3-아크릴록시프로필 트리메톡시실란 등의 아크릴 관능성 실란, 3-메타크릴록시프로필 트리메톡시실란 등의 메타크릴 관능성 실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란 등의 머캅토 관능성 실란 등이 이용된다. 이들은 단독으로 이용할 수도 있고, 복수개를 혼합하여 이용할 수도 있다.
상기 실란 커플링제는 물 등의 용매에 0.1~15 g/L의 농도로 용해시켜 실온 내지 50℃의 온도에서 극박동박에 도포하거나, 전착시켜 흡착시킬 수 있다. 상기 실란 커플링제는 극박동박 표면의 방청 처리 금속의 수산기와 축합 결합함으로써 피막을 형성할 수 있다. 실란 커플링 처리 후에는 가열, 자외선 조사 등에 의해서 안정적 결합을 형성한다. 가열은 100~200℃에서 2~60초 건조시킬 수 있다. 자외선 조사는 200~400 nm, 200~2500 mJ/cm2에서 실시할 수 있다. 상기 실란 커플링 처리는 극박동박의 최외층에 실시할 수 있다. 상기 실란 커플링 처리시 내습 및 절연 수지 조성물층과 극박동박 과의 밀착성을 보다 향상시킬 수 있다.
한 구체예에서 상기 캐리어박 부착 극박동박 제조 방법은 캐리어 동박의 평활면에, 제1 금속, 제2 금속, 제3 금속, 구연산의 금속염, 및 암모니아수 또는 암모늄염이 첨가된 pH 9.5 이상의 도금욕으로부터 형성된 박리층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 제1 금속(A)은 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W) 중 하나 이상 포함하며, 상기 제2 금속(B) 및 제3 금속(C)은 각각 철(Fe), 코발트(Co) 및 니켈(Ni) 중에서 선택되는 하나 이상 포함하되, 상기 제2 금속 및 제3 금속은 각각 서로 다른 종류의 금속을 포함할 수 있다. 상기 조건에서 박리층의 균일한 박리가 가능할 수 있다.
한 구체예에서 상기 도금욕에 포함된 제1 금속은 1~100g/L, 제2 금속은 1~40g/L 및 제3 금속은 0.1~20g/L의 농도로 포함될 수 있다. 상기 농도 조건에서 범위가 본원 발명의 목적을 달성하기에 적합할 수 있다.
한 구체예에서 상기 구연산의 금속염은 도금욕에 첨가되면 시트레이트(citrate) 이온이 된다. 상기 구연산의 금속염은 구연산칼륨, 구연산나트륨, 구연산철, 구연산칼슘, 구연산삼나트륨, 구연산철암모늄 또는 이들의 혼합물을 포함할 수 있다.
상기 시트레이트 이온은 상기 제1 금속이 금속 산화물로 도금되는 것을 도와주는 역할을 하며 도금욕의 전압을 낮춰주는 역할을 한다. 예를 들어, Mo, Ni 및 Fe이 첨가된 도금욕에서 시트레이트 이온이 Ni과 반응하여 Ni과 시트레이트의 착물이 형성되면, MoO4 2-가 MoO2의 형태로 도금층을 형성하기가 용이해진다. 상기 도금욕에 포함된 구연산 금속염의 농도는 5~200g/L가 바람직하며, 더욱 바람직하게는 15~150g/L 일 수 있다.
한 구체예에서 상기 도금욕은 pH 9.5 이상일 수 있다. 상기 pH 가 9.5 조건에서 박리층이 용이하게 형성될 수 있다. 상기 도금욕의 pH 를 조절하기 위해 첨가되는 화합물로는 암모니아수 또는 암모늄염을 포함할 수 있다. 암모니아수 또는 암모늄염의 함량은 0.001~0.5N일 수 있다.
한 구체예에서 상기 도금욕은 제1 금속 1~100g/L, 제2 금속 1~40g/L, 제3 금속 0.1~20g/L, 구연산의 금속염 5~200g/L 및 암모니아수 또는 암모늄염의 함량이 0.001~1N 로 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 캐리어박 부착 극박동박 제조 방법은 하기와 같다. 먼저 소정의 표면조도 및 두께를 가지는 전해 동박을 황산 등의 강산에서 산세처리 및 순수로 세척하여 캐리어박(캐리어 동박)을 준비할 수 있다. 상기 캐리어박을 도금욕에 침지시키고 상기 캐리어박의 평활면에, 제1 금속, 제2 금속, 제3 금속, 구연산의 금속염, 및 암모니아수 또는 암모늄염을 포함하는 pH 9.5 이상의 도금욕을 이용하여 도금하여, 박리층을 형성시킨다.
그 다음에, 상기 박리층의 표면에 스트라이크 도금을 통하여 소정 두께의 동박층을 형성한 다음, 전해 도금에 의해 극박동박을 형성시킬 수 있다. 상기 캐리어 동박 준비, 스트라이크 도금층 형성 및 극박 동박 형성에 관한 구체적인 실시 조건은 필요에 따라 적절히 조절될 수 있다.
접착층
상기 접착층은 에폭시 수지, 엘라스토머 및 충전입자를 포함한다. 한 구체예에서 상기 접착층은, 에폭시 수지 100 중량부, 엘라스토머 50~200 중량부 및 충전입자 10~50 중량부를 포함할 수 있다.
이하, 상기 접착층의 구성 성분을 상세히 설명하도록 한다.
에폭시 수지
상기 에폭시 수지는 상기 접착층의 접착력과, 강성 및 내열성을 확보하기 위해 포함될 수 있다. 한 구체예에서 상기 에폭시 수지는 에폭시 당량이 50~1500g/eq 일 수 있다. 상기 에폭시 당량 조건에서 상기 접착층의 접착성이 우수하며, 내열성이 우수할 수 있다. 예를 들면 상기 에폭시 수지는 에폭시 당량이 150~300g/eq 일 수 있다.
한 구체예에서 상기 에폭시계 수지는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 노볼락 에폭시 수지 및 할로겐 함유 에폭시 수지 중 하나 이상 포함할 수 있다. 예를 들면 노볼락 에폭시 수지를 포함할 수 있다. 상기 노볼락 에폭시 수지로 페놀 노볼락 에폭시 수지 및 크레졸 노볼락 에폭시 수지 중 하나 이상 포함할 수 있다. 상기 노볼락 에폭시 수지를 포함시 내열성 및 접착력이 우수하면서, 열팽창계수(CTE)가 낮아 상기 접착층이 목표로 하는 열팽창계수를 용이하게 달성할 수 있다.
한 구체예에서 상기 에폭시 수지는 유리전이온도(Tg)가 30~100℃일 수 있다. 상기 유리전이온도 조건에서 상기 접착층의 내열성 및 강성이 우수할 수 있다.
엘라스토머
상기 엘라스토머는 상기 접착층의 유연성과 구리와의 접착력 확보를 목적으로 포함될 수 있다.
한 구체예에서 상기 엘라스토머는 중량평균분자량이 50,000~500,000g/mol일 수 있다. 상기 조건에서 접착층의 혼합성 및 분산성이 우수하면서, 내열성 및 부착성이 우수할 수 있다. 예를 들면 상기 엘라스토머는 중량평균분자량이 200,000~350,000 g/mol 일 수 있다.
한 구체예에서 상기 엘라스토머는 아크릴로니트릴(acrylonitrile)계, 부타디엔(butadiene)계, 스티렌(styrene)계, 아크릴(acryl)계, 이소프렌(isoprene)계, 올레핀(olefin)계, 우레탄(urethane)계 및 실리콘(silicone)계 엘라스토머 중 하나 이상 포함할 수 있다. 예를 들면 니트릴계 엘라스토머를 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 엘라스토머는 상기 에폭시 수지 100 중량부에 대하여 50~200 중량부 포함될 수 있다. 상기 함량 범위로 포함시 접착층의 혼합성 및 분산성이 우수하면서, 유연성 및 강성이 우수하고, 구리와의 부착력이 저하되지 않을 수 있다.
충전입자
한 구체예에서 상기 충전입자는 탄산칼슘(CaCO3), 산화알루미늄(Al2O3), 수산화알루미늄(Al(OH)3), 탄화규소(SiC), 질화붕소(BN), 산화마그네슘(MgO) 및 수산화마그네슘(Mg(OH)2) 중 하나 이상 포함할 수 있다. 상기 조건의 충전입자를 포함시, 상기 접착층의 강성이 우수할 수 있다. 예를 들면 탄산칼슘을 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 충전입자는 구형, 타원체형, 다면체형 또는 부정형일 수 있다. 예를 들면 구형일 수 있다.
한 구체예에서 상기 충전입자는 평균 입경(D50)이 100~1000 nm일 수 있다. 상기 평균 입경 범위에서 상기 접착층의 혼합성 및 분산성이 우수하면서, 구리와의 부착력과 강성이 우수할 수 있다.
한 구체예에서 상기 충전입자는 상기 에폭시 수지 100 중량부에 대하여 10~50 중량부 포함될 수 있다. 상기 함량 범위로 포함시 접착층의 혼합성 및 분산성이 우수하면서, 구리와의 부착력과 강성이 우수할 수 있다.
한 구체예에서 상기 복수의 금속박은 제1 금속박 및 제2 금속박을 포함할 수 있다. 한 구체예에서 상기 제1 금속박 및 제2 금속박은 각각 캐리어박이 부착된 극박동박일 수 있다.
한 구체예에서 상기 캐리어박이 부착된 극박동박은 캐리어박 및 극박동박이 순차적으로 적층될 수 있다. 예를 들면, 상기 캐리어박이 부착된 극박동박은 캐리어박 및 극박동박 사이에 형성된 박리층을 더 포함할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 구체예에 따른 금속박 적층체를 나타낸 것이다. 상기 도 1을 참조하면 금속박 적층체(100)는 제1 캐리어박이 부착된 극박동박(12), 접착층(30) 및 제2 캐리어박이 부착된 극박동박(24)이 순차적으로 적층될 수 있다. 예를 들면 금속박 적층체(100)는 제1 극박동박(12), 제1 캐리어박(14), 접착층(30), 제2 캐리어박(24) 및 제2 극박동박(22)이 순차적으로 적층된 구조를 가질 수 있다. 상기 도 1에 도시되지 않았으나, 제1 극박동박 및 제1 캐리어박 사이에는 제1 박리층이 더 형성되며, 제2 극박동박 및 제2 캐리어박 사이에는 제2 박리층이 더 형성될 수 있다.
한 구체예에서 상기 접착층은 섬유를 포함하지 않을 수 있다. 상기 조건에서 치수 안정성이 우수하여 두께 편차를 최소화하며, 접착층의 재활용이 용이하고, 탄소 발생량을 최소화하여 친환경성이 우수할 수 있다.
한 구체예에서 상기 접착층은 에폭시 수지 100 중량부, 엘라스토머 50~200 중량부 및 충전입자 10~50 중량부를 포함할 수 있다. 상기 접착층의 구성 성분은 전술한 바와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다.
한 구체예에서 상기 접착층은 두께가 5~30 ㎛일 수 있다. PCB 공정에서 극박층과 접착될 수지층의 물성에 따라 상기 두께 범위에서 접착층의 두께를 자유롭게 조절이 가능하다. 예를 들면 상기 접착층은 두께가 5~20 ㎛일 수 있다.
한 구체예에서 상기 제1 캐리어박 및 제2 캐리어박은 각각 두께가 30~50 ㎛일 수 있지만, PCB 제조공정과 어셈블리 공정에 따라 두께 선택이 가능하다. 예컨대 고강성이 요구될 경우는 캐리어박 두께를 높이고 접착층 두께를 낮추거나, 또는 적용예의 요구 조건에 따라 유연한 구조를 선택할 수 있다. 예를 들면 상기 제1 캐리어박 및 제2 캐리어박은 각각 두께가 35~45 ㎛일 수 있다.
한 구체예에서 상기 제1 극박동박 및 제2 극박동박은 각각 두께가 1~5 ㎛일 수 있다.
한 구체예에서 상기 캐리어박 및 접착층은 두께비가 2:1 내지 15:1 일 수 있지만, PCB 제조공정과 어셈블리 공정에 따라 두께 선택이 가능하다.
예를 들면 제1 캐리어박 및 접착층과, 제2 캐리어박 및 접착층은 각각 두께비가 1:1 내지 10:1 일 수 있다.
한 구체예에서 상기 금속박 적층체는 코어리스 기판 지지체로 사용될 수 있다.
한 구체예에서 상기 금속박 적층체는 접착층과 구리면에 대한 접착강도가 1,000 gf/cm 이상일 수 있다. 상기 접착강도 조건에서 구리면에 대한 접착력이 우수하여, 작업시 인쇄회로기판의 불량률을 최소화할 수 있다. 예를 들면 1,000~2,000gf/cm일 수 있다. 다른 예를 들면 1,200~1,600 gf/cm 일 수 있다.
예를 들면 상기 금속박 적층체는 만능 시험기(SHIMADZU, UTM)를 이용하여 ASTM D638 기준으로 접착층과 구리면(제1 캐리어박 또는 제2 캐리어박)에 대한 접착강도를 측정한 접착강도가 각각 1,000~2,000 gf/cm 일 수 있다. 예를 들면 1,200~1,600 gf/cm 일 수 있다.
한 구체예에서 상기 금속박 적층체는 모듈러스가 30,000~40,000 N/mm2 일 수 있다. 상기 모듈러스 조건에서 강성이 저하되어 휨 발생을 방지하며, PCB 제조 공정 중에 치공구 등과의 충돌로 파손이 발생하는 현상을 방지할 수 있다. 예를 들면 상기 모듈러스는 ASTM D638 기준으로 접착층에 대하여 측정할 수 있다. 예를 들면 상기 금속박 적층체는 모듈러스가 35,000~37,000 N/mm2 일 수 있다.
한 구체예에서 금속박 적층체는 열팽창계수(CTE)가 10~20ppm/℃ 일 수 있다. 상기 열팽창계수 조건에서 접착층과 캐리어층 간의 접착력이 우수하며, 인쇄회로기판 제조공정에서 극박층과 PCB 코어층 간의 열팽창계수 차이로 인한 휨발생을 방지할 수 있다. 예를 들면 상기 금속박 적층체 접착층의 열팽창계수를 ASTM E831 기준에 의거하여 측정할 수 있다. 예를 들면 상기 금속박 적층체는 열팽창계수(CTE)가 12~18ppm/℃ 일 수 있다.
다른 구체예에서 상기 복수의 금속박은 제1 금속박, 제2 금속박, 및 제3 금속박의 순서로 구성될 수 있다. 예를 들면 상기 제1 금속박 및 제3 금속박은 각각 캐리어박이 부착된 극박동박이며, 상기 제2 금속박은 단일층으로 구성될 수 있다.
예를 들면 상기 제1 극박동박 및 제1 캐리어박 사이에는 제1 박리층이 더 형성되며, 제3 극박동박 및 제3 캐리어박 사이에는 제3 박리층이 더 형성될 수 있다.
한 구체예에서 상기 제1 캐리어박 및 제3 캐리어박은 각각 두께가 10~20㎛ 이고, 상기 제1 극박동박 및 제3 극박동박은 각각 두께가 1~5㎛ 이며, 상기 제2 금속박은 두께가 30~70㎛인 단일층으로 구성될 수 있다. 예를 들면 상기 제1 캐리어박 및 제3 캐리어박은 각각 두께가 12~18㎛ 이고, 상기 제2 금속박은 두께가 35~50㎛일 수 있다.
예를 들면 상기 금속박 적층체는 만능 시험기(SHIMADZU, UTM)를 이용하여 ASTM D638 기준으로 접착층과 구리면(제1 접착층과 제1 캐리어박 또는 제2 접착층과 제3 캐리어박)에 대한 접착강도를 측정한 접착강도가 각각 1,000~2,000 gf/cm 일 수 있다. 예를 들면 상기 접착강도가 각각 1,200~1,800 gf/cm 일 수 있다.
상기 금속박 적층체의 모듈러스는 30,000~50,000 N/mm2일 수 있다. 상기 모듈러스 조건에서 강성이 저하되어 휨 발생을 방지하며, PCB 제조 공정 중에 치공구 등과의 충돌로 파손이 발생하는 현상을 방지할 수 있다. 예를 들면 상기 모듈러스는 ASTM D638 기준으로 제1 접착층 또는 제2 접착층에 대하여 측정한 것일 수 있다. 예를 들면 상기 금속박 적층체의 모듈러스는 35,000~50,000 N/mm2일 수 있다.
한 구체예에서 금속박 적층체는 열팽창계수(CTE)가 10~20ppm/℃ 일 수 있다. 상기 열팽창계수 조건에서 접착층과 캐리어층 간의 접착력이 우수하며, 인쇄회로기판 제조공정에서 극박층과 PCB 코어층 간의 열팽창계수 차이로 인한 휨발생을 방지할 수 있다. 예를 들면 상기 금속박 적층체의 제1 접착층 또는 제2 접착층의 열팽창계수를 ASTM E831 기준에 의거하여 측정할 수 있다. 예를 들면 금속박 적층체는 열팽창계수(CTE)가 10~18ppm/℃ 일 수 있다.
한 구체예에서 상기 금속박 적층체는 코어리스 기판 지지체로서 사용될 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 구체예에 따른 금속박 적층체를 나타낸 것이다. 상기 도 2를 참조하면, 금속박 적층체(200)는 제1 극박동박(12), 제1 캐리어박(14), 제1 접착층(30), 제2 금속박(26), 제2 접착층(32), 제3 캐리어박(44) 및 제3 극박동박(42)이 순차적으로 적층된 구조를 가질 수 있다.
상기 도 2에는 개시되지 않았으나, 제1 극박동박(12) 및 제1 캐리어박(14) 사이에는 제1 박리층이 더 형성되며, 제3 극박동박(42) 및 제3 캐리어박(44) 사이에는 제3 박리층이 더 형성될 수 있다.
한 구체예에서 상기 제1 접착층 및 제2 접착층은 각각 두께가 5~30 ㎛일 수 있다. 접착층의 두께는 PCB 제조 공정과 DCF의 물성을 고려하여 선정할 수 있다. 예를 들면 상기 제1 접착층 및 제2 접착층은 각각 두께가 5~20 ㎛일 수 있다.
한 구체예에서 상기 제1 캐리어박 및 제3 캐리어박은 각각 두께가 10~20 ㎛일 수 있다. 캐리어박들의 두께는 PCB 제조 공정과 DCF의 물성을 고려하여 선정할 수 있다. 예를 들면 상기 제1 캐리어박 및 제3 캐리어박은 각각 두께가 12~18㎛ 일 수 있다.
상기 제2 금속박(26)은 두께가 30~70㎛인 단일층으로 구성될 수 있다. 예를 들면 제2 금속박(26)은 두께가 35~50㎛일 수 있다.
한 구체예에서 상기 제1 극박동박 및 제3 극박동박은 각각 두께가 1~5 ㎛일 수 있다.
한 구체예에서 상기 제1 캐리어박 및 제1 접착층과, 상기 제3 캐리어박 및 제2 접착층은 각각 두께비가 1.5:1 내지 5:1 일 수 있다.
상기 제2 금속박(26)은 금속박 적층체의 강성을 확보하기 위해 포함될 수 있다. 한 구체예에서 상기 제2 금속박(26)은 스테인리스, 알루미늄(Al), 구리(Cu), 철(Fe)계 합금 중 하나 이상 포함할 수 있다. 상기 조건에서 금속박 적층체의 강성이 우수할 수 있다.
금속박 적층체의 제조방법
본 발명의 또 다른 관점은 상기 금속박 적층체의 제조방법에 관한 것이다. 한 구체예에서 상기 금속박 적층체의 제조방법은 제1 극박동박이 일면에 형성된 제1 캐리어박과, 제2 극박동박이 일면에 형성된 제2 캐리어박을 각각 마련하고; 그리고 상기 제1 캐리어박의 타면과 상기 제2 캐리어박의 타면을 상기 접착층으로 부착하는; 단계를 포함한다.
상기 제1 극박동박과 제1 캐리어박 사이에는 제1 박리층이 더 형성되며, 제2 극박동박 및 제2 캐리어박 사이에는 제2 박리층이 더 형성될 수 있다.
한 구체예에서 상기 접착층은 전술한 바와 동일한 것을 사용할 수 있다. 예를 들면 상기 접착층은 130~160℃의 조건으로 경화하여 형성할 수 있다.
다른 구체예에서 상기 금속박 적층체 제조방법은 제1 극박동박이 일면에 형성된 제1 캐리어박과, 제3 극박동박이 일면에 형성된 제3 캐리어박을 각각 마련하고; 그리고 제2 금속박의 양면에 상기 제1 캐리어박의 타면과 상기 제3 캐리어박의 타면을 각각 접착층으로 부착하는; 단계를 포함한다.
상기 제1 극박동박과 제1 캐리어박 사이에는 제1 박리층이 더 형성되며, 제2 극박동박 및 제2 캐리어박 사이에는 제2 박리층이 더 형성될 수 있다.
한 구체예에서 상기 접착층은 전술한 바와 동일한 것을 사용할 수 있다. 예를 들면 상기 접착층은 130~160℃의 조건으로 경화하여 제1 접착층 및 제2 접착층을 각각 형성할 수 있다.
한 구체예에서 상기 제1 극박동박 및 제3 극박동박의 표면에 패턴화된 제1 도금층 및 제3 도금층을 형성하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 통하여 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다. 여기에 기재되지 않은 내용은 이 기술 분야에서 숙련된 자이면 충분히 기술적으로 유추할 수 있는 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.
실시예 및 비교예
상기 실시예에 사용된 성분은 하기와 같다.
(A) 에폭시 수지: 에폭시 당량이 190~220g/eq이고, 유리전이온도(Tg)가 75~85℃인 노볼락 에폭시 수지를 사용하였다. (제조사: 국도화학, 제품명: YDCN-500-80P)
(B) 엘라스토머: 중량평균분자량이 300,000g/mol인 니트릴계 엘라스토머를 사용하였다. (제조사: Nantex, 제품명: 1072)
(C) 충전입자: 평균 입경(D50)이 100~1,000nm인 구형 탄산칼슘(CaCO3)을 사용하였다.
실시예 1
(1) 접착층 제조: 에폭시 수지 100 중량부, 엘라스토머 50 중량부 및 충전입자 30 중량부를 공지된 방법으로 혼합하여 접착층(접착 조성물)을 제조하였다.
(2) 금속박 적층체 제조: 두께 2㎛의 제1 극박동박이 일면에 형성된 두께 35㎛의 제1 캐리어박과, 두께 2㎛의 제2 극박동박이 일면에 형성된 두께 35㎛의 제2 캐리어박을 각각 마련하였다. 그 다음에, 상기 제1 캐리어박의 타면과 상기 제2 캐리어박의 타면을 상기 접착층으로 부착 후 160℃에서 경화하여 두께 11~12㎛의 접착층을 형성하여 도 1과 같은 금속박 적층체(코어리스 지지체)를 제조하였다.
실시예 2~7 및 비교예 1~6
하기 표 1에 기재된 성분 및 함량 조건의 접착층을 적용한 것을 제외하고, 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 금속박 적층체(코어리스 지지체)를 제조하였다.
실시예 8~14 및 비교예 7~14
하기 표 2 및 표 3 두께 조건의 제1 캐리어박, 제2 캐리어박 및 접착층을 적용한 것을 제외하고, 상기 실시예 2와 동일한 조건으로 금속박 적층체를 제조하였다.
실시예 15
(1) 접착층 제조: 에폭시 수지 100 중량부, 엘라스토머 100 중량부 및 충전입자 20 중량부를 공지된 방법으로 혼합하여 접착층을 제조하였다.
(2) 금속박 적층체 제조: 두께 2㎛의 제1 극박동박이 일면에 형성된 두께 12㎛의 제1 캐리어박과, 두께 50㎛의 제2 금속박, 두께 2㎛의 제3 극박동박이 일면에 형성된 두께 12㎛의 제3 캐리어박을 각각 마련하였다.
그 다음에 상기 제2 금속박의 양면에, 상기 제1 캐리어박의 타면과 상기 제3 캐리어박의 타면을 각각 상기 접착층으로 부착하고, 160℃에서 경화하여 두께 20㎛인 제1 접착층 및 제2 접착층을 각각 형성하여 도 2와 같은 금속박 적층체를 제조하였다.
실시예 16~19 및 비교예 15~20
하기 표 3 두께 조건의 제1 캐리어박, 제2 금속박, 제3 캐리어박을 적용한 것을 제외하고, 상기 실시예 15와 동일한 조건으로 금속박 적층체를 제조하였다.
비교예 21~22
상기 접착층 대신 하기 표 5와 같이 유리섬유가 함침된 프리프레그(두께 50㎛)를 적용한 것을 제외하고, 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 두께 90㎛의 금속박 적층체를 제조하였다.
시험예
상기 실시예 및 비교예의 금속박 적층체에 대하여 하기와 같은 방법으로 물성을 평가하여 그 결과를 하기 표 1 내지 표 5에 나타내었다.
(1) 접착강도(gf/cm): 만능 시험기(SHIMADZU, UTM)를 이용하여 ASTM D638 기준으로 제1 접착층과 구리면(제1 캐리어박)에 대한 접착강도를 측정하였다. 접착강도의 경우 상기 실시예 및 비교예 중 대표적으로 실시예 1~7, 11~14와, 비교예 1~6, 11~22에 대하여 측정하였다.
(2) 모듈러스(N/mm2): ASTM D638 기준으로 모듈러스를 측정하였다.
(3) 열팽창계수(CTE, ppm/℃): ASTM E831 기준으로 열팽창계수(CTE)를 측정하였다.
Figure pat00001
Figure pat00002
Figure pat00003
Figure pat00004
Figure pat00005
상기 표 1 내지 표 5의 결과를 참조하면, 본 발명의 실시예 1~19은 비교예 1~22에 비해 캐리어층과 접착층 사이의 접착력이 우수하면서 모듈러스와 열팽창계수가 적정한 범위를 가짐으로써 휨발생을 최소화하여 인쇄회로기판 제조시 불량률을 최소화함을 알 수 있었다.
특히, 본 발명 실시예 1~19는 프리프레그를 포함하지 않으면서도, 종래 DCF 공정에 사용되는 프리프레그를 적용한 비교예 21~22에 대비하여 대등한 모듈러스와 열팽창계수를 가지고 또한 월등한 접착강도를 가지는 것을 알 수 있었다.
이제까지 본 발명에 대하여 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 제1 금속박 12: 제1 극박동박
14: 제1 캐리어박 20: 제2 금속박
22: 제2 극박동박 24: 제2 캐리어박
26: 제2 금속박 30: 제1 접착층
32: 제2 접착층 40: 제3 금속박
42: 제3 극박동박 44: 제3 캐리어박
100, 200: 금속박 적층체

Claims (10)

  1. 복수의 금속박 및 상기 복수의 금속박을 서로 접합하는 접착층을 포함하는 금속박 적층체로서,
    상기 접착층은 에폭시 수지, 엘라스토머 및 충전입자를 포함하는, 금속박 적층체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 접착층은 에폭시 수지 100 중량부, 엘라스토머 50~200 중량부 및 충전입자 10~50 중량부를 포함하는, 금속박 적층체.
  3. 제1항에 있어서, 상기 에폭시 수지는 유리전이온도(Tg)가 30~100℃인, 금속박 적층체.
  4. 제1항에 있어서, 상기 엘라스토머는 아크릴로니트릴계, 부타디엔계, 스티렌계, 아크릴계, 이소프렌계, 올레핀계, 우레탄계 및 실리콘계 엘라스토머 중 하나 이상 포함하는, 금속박 적층체.
  5. 제1항에 있어서, 상기 충전입자는 탄산칼슘(CaCO3), 산화알루미늄(Al2O3), 수산화알루미늄(Al(OH)3), 탄화규소(SiC), 질화붕소(BN), 산화마그네슘(MgO) 및 수산화마그네슘(Mg(OH)2) 중 하나 이상 포함하는, 금속박 적층체.
  6. 제1항에 있어서, 상기 복수의 금속박은 동박이고, 상기 금속박 적층체는 접착강도가 1,000 gf/cm 이상이고, 열팽창계수(CTE)가 10~20 ppm/℃인, 금속박 적층체.
  7. 제6항에 있어서, 상기 복수의 금속박은 제1 금속박 및 제2 금속박으로 구성되고,
    상기 제1 금속박 및 제2 금속박은 각각 캐리어박이 부착된 극박동박이고, 상기 캐리어박은 두께가 30~50㎛ 이고, 상기 극박동박은 두께가 1~5㎛ 이고,
    상기 금속박 적층체의 모듈러스는 30,000~40,000 N/mm2인, 금속박 적층체.
  8. 제6항에 있어서, 상기 복수의 금속박은 제1 금속박, 제2 금속박, 및 제3 금속박의 순서로 구성되고,
    상기 제1 금속박 및 제3 금속박은 각각 캐리어박이 부착된 극박동박이고, 상기 캐리어박은 두께가 10~20㎛ 이고, 상기 극박동박은 두께가 1~5㎛ 이고,
    상기 제2 금속박은 두께가 30~70㎛인 단일층으로 구성되고,
    상기 금속박 적층체의 모듈러스는 30,000~50,000 N/mm2인, 금속박 적층체.
  9. 제1항에 있어서, 상기 접착층은 두께가 5~30 ㎛인, 금속박 적층체.
  10. 제1항에 있어서, 코어리스 기판 지지체로서 사용되는 금속박 적층체.

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