KR20230062812A - vacuum pump - Google Patents
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Abstract
(과제) 단열용으로 형성된 간극을 향하는 가스의 흐름(가스 분자의 수)을 적게 하여, 간극에 퇴적하는 부생성물의 양을 줄이고, 메인터넌스를 필요로 하는 간격을 늘려 생산성을 향상시킬 수 있는 진공 펌프를 제공한다.
(해결 수단) 흡기구(101)와 배기구(133)를 갖는 외통(127)과, 외통(127)의 내측에, 회전이 자유롭게 지지된 로터축(113)과, 로터축(113)과 함께 회전 가능한 복수 단의 회전 날개(102)와, 외통에 대해 고정되며, 또한, 복수 단의 회전 날개(102) 사이에 배치되는 복수 단의 고정 날개(123)와, 복수 단의 고정 날개(123)를 소정 간격으로 유지하는 냉각측 스테이터(110A) 및 가열측 스테이터(110B)를 구비하고, 냉각측 스테이터(110A)와 가열측 스테이터(110B) 사이를 단열하는 소정 폭의 간극(114)의 개구부(114A)를, 회전체(103)의 축방향에 있어서 회전 날개(102)의 외주면과 대향하지 않는 위치에 형성했다.(Problem) A vacuum pump capable of improving productivity by reducing the flow of gas (the number of gas molecules) toward the gap formed for insulation, reducing the amount of by-products deposited in the gap, and increasing the gap requiring maintenance. provides
(Means of solution) An outer cylinder 127 having an inlet port 101 and an exhaust port 133, a rotor shaft 113 freely rotatably supported inside the outer cylinder 127, and rotatable together with the rotor shaft 113 Multiple stages of rotary blades 102, multiple stages of stator blades 123 fixed to the outer cylinder and arranged between the multiple stages of rotation blades 102, and multiple stages of stator blades 123 are A cooling stator 110A and a heating stator 110B are provided, and an opening 114A of a gap 114 having a predetermined width to insulate between the cooling stator 110A and the heating stator 110B is provided. was formed at a position not facing the outer circumferential surface of the rotary blade 102 in the axial direction of the rotary body 103.
Description
본 발명은 진공 펌프에 관한 것이며, 특히, 진공 펌프 내에 가스가 고체화화여 생성되는 퇴적물(통칭 「데포지션」이라고 한다) 등이 간극에 퇴적하는 양을 줄일 수 있는 진공 펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum pump, and more particularly, to a vacuum pump capable of reducing the amount of deposits (commonly referred to as "deposition") generated by solidification of gas in the vacuum pump and the like deposited in gaps.
최근, 피처리 기판인 웨이퍼로부터 반도체 소자를 형성하는 프로세스에 있어서, 웨이퍼를, 고진공으로 유지된 반도체 제조 장치의 처리실 내에서 처리하여, 제품의 반도체 소자를 만드는 방법이 취해지고 있다. 웨이퍼를 진공실에서 가공 처리하는 반도체 제조 장치에서는, 고진공도를 달성하여 유지하기 위해 터보 분자 펌프부 및 나사 홈 펌프부 등을 구비한 진공 펌프가 이용되고 있다.In recent years, in a process of forming a semiconductor element from a wafer as a processing target substrate, a method of manufacturing a semiconductor element of a product by processing the wafer in a process chamber of a semiconductor manufacturing apparatus maintained in a high vacuum has been taken. In a semiconductor manufacturing apparatus that processes wafers in a vacuum chamber, a vacuum pump having a turbo molecular pump unit, a screw groove pump unit, and the like is used to achieve and maintain a high degree of vacuum.
터보 분자 펌프부는, 케이싱의 내부에, 얇은 금속제의 회전 가능한 회전 날개와 케이싱에 고정된 고정 날개를 갖고 있다. 그리고, 회전 날개를, 예를 들면 수백 m/초의 고속으로 운전시켜, 흡기구 측으로부터 들어오는 가공 처리에 이용한 프로세스 가스를 펌프 내부에서 압축하여 배기구 측으로부터 배기하도록 하고 있다.The turbo molecular pump unit has, inside the casing, rotatable rotor blades made of thin metal and fixed blades fixed to the casing. Then, the rotary blade is operated at a high speed of, for example, hundreds of m/sec, so that the process gas used for processing coming in from the intake port side is compressed inside the pump and exhausted from the exhaust port side.
그런데, 진공 펌프의 흡기구 측으로부터 끌어들여진 프로세스 가스의 분자는, 흡기된 직후에는 고온에서, 진공 펌프 내에서 회전 날개의 회전에 따른 배기구 측으로의 이동에 따른 압축 과정에서 냉각된다. 프로세스 가스가 냉각되면 고체화하고, 고체화된 부생성물이 고정 날개나 외통(케이싱) 내면 등에 부착되어 데포지션으로서 퇴적한다. 부생성물로서는, 염소계나 황화 불소계 가스가 일반적이다. 이들 가스는, 진공도가 낮아지고, 압력이 높아질수록 승화 온도가 높아져, 진공 펌프 내부에 가스가 고체화하여 퇴적하기 쉬워진다. 반응 생성물이 진공 펌프 내부에 퇴적하면, 반응 생성물의 유로를 좁혀 진공 펌프의 압축 성능, 배기 성능이 저하될 우려가 있다. 한편, 회전 날개나 고정 날개에 알루미늄이나 스테인리스재 등을 사용하고 있는 기체 이송부에서는, 너무 높은 온도가 되면, 회전 날개나 고정 날개의 강도가 저하되어 운전 중에 파단을 일으킬 우려가 있다. 또, 진공 펌프 내에 설치된 전장품이나 로터를 회전시키는 전동 모터는, 온도가 높아지면 원하는 성능을 발휘하지 않을 우려 등이 있다. 그 때문에, 진공 펌프는 소정의 온도를 유지하도록 온도 제어가 필요해진다.By the way, the molecules of the process gas drawn in from the inlet side of the vacuum pump are at a high temperature immediately after being sucked in, and are cooled in the compression process associated with movement to the exhaust port side in accordance with the rotation of the rotary vane within the vacuum pump. When the process gas is cooled, it solidifies, and the solidified by-product adheres to the stator blade or the inner surface of the outer cylinder (casing) and deposits as a deposit. As a by-product, chlorine-based or sulfide-fluorine-based gases are common. For these gases, the degree of vacuum decreases and the sublimation temperature increases as the pressure increases, so that the gas tends to be solidified and deposited inside the vacuum pump. If the reaction product accumulates inside the vacuum pump, the passage of the reaction product may be narrowed and the compression performance and exhaust performance of the vacuum pump may deteriorate. On the other hand, in a gas transfer section using aluminum or stainless steel for the rotor blades or stator blades, if the temperature is too high, the strength of the rotor blades or stator blades may decrease and breakage may occur during operation. In addition, there is a concern that the electrical components installed in the vacuum pump and the electric motor that rotates the rotor may not exhibit desired performance when the temperature rises. Therefore, the vacuum pump requires temperature control to maintain a predetermined temperature.
그래서, 반응 생성물이 퇴적하는 것을 억제하는 진공 펌프로서, 스테이터의 주위에 냉각 장치 또는 가열 장치를 설치하여 가스 유로 내의 온도를 제어하고, 가스 유로 내의 가스를 고체화하지 않고 이송할 수 있도록 한 구조도 알려져 있다(예를 들면 특허문헌 1 참조).Therefore, as a vacuum pump that suppresses the accumulation of reaction products, a structure is also known in which a cooling device or a heating device is installed around the stator to control the temperature in the gas passage and to transfer the gas in the gas passage without solidifying it. There is (see Patent Document 1, for example).
그러나, 진공 펌프 내의 흡입된 가스는, 진공도가 증가하여 압력이 높아질수록 승화 온도가 높아져, 진공 펌프 내부에 가스가 고체화하여 퇴적하기 쉬워진다는 특성이 있다. 한편, 회전 날개나 고정 날개 등으로 구성되는 기체 이송부는, 너무 높은 온도가 되면 강도가 저하되는 문제나, 진공 펌프 내의 전장품이나 전동 모터의 성능에 나쁜 영향을 주는 경우가 있다. 따라서, 진공 펌프 내의 전장품이나 전동 모터의 성능에 나쁜 영향을 주지 않고, 또, 기체 이송부의 강도를 저하시키는 일 없이, 진공 펌프를 정상적으로 운전시키면서 진공 펌프 내부에 있어서의 가스의 고체화를 억제할 수 있도록 온도 제어를 행하는 것이 바람직하다.However, the sucked gas in the vacuum pump has a characteristic that the sublimation temperature increases as the vacuum degree increases and the pressure becomes higher, so that the gas tends to be solidified and deposited inside the vacuum pump. On the other hand, when the temperature is too high, the gas conveying unit composed of rotary blades or stator blades may have a problem in that strength is lowered or adversely affect the performance of electrical components and electric motors in the vacuum pump. Therefore, the solidification of the gas inside the vacuum pump can be suppressed while the vacuum pump is operated normally, without adversely affecting the performance of the electrical components and electric motors in the vacuum pump and without reducing the strength of the gas transfer section. It is preferable to perform temperature control.
그래서, 예를 들면 도 9 및 도 10에 나타내는 진공 펌프(10)와 같이, 냉각을 필요로 하는 냉각 범위 내에 배치되는 냉각측 스테이터(17A)를 가진 상단군 기체 이송부(11)와 가열을 필요로 하는 가열 범위 내에 배치되는 가열측 스테이터(17B)를 가진 하단 기체 이송부(12)로 나누고, 냉각측 스테이터(17A)와 가열측 스테이터(17B) 사이에 간극(15)을 형성하여, 냉각측 스테이터(17A)와 가열측 스테이터(17B)를 각각 독립화시켜, 상단군 기체 이송부(11)의 온도와 하단 기체 이송부(12)의 온도가 서로 영향을 주지 않도록 하고 있다. 또한, 냉각측 스테이터(17A)와 가열측 스테이터(17B) 사이는, 고정 날개 스페이서(14)를 볼트(19)로 눌러 위치 결정을 하고 있다.So, for example, like the
냉각측 스테이터(17A)와 가열측 스테이터(17B) 사이를, 볼트(19)로 눌러 위치 결정하는 구조에 있어서는, 볼트(19)를 조이는 힘의 크기나, 조임에 의한 O링(18)의 변형량, 또는 고정 날개 스페이서(14)의 종류 등에 따라, 냉각측 스테이터(17A)와 가열측 스테이터(17B) 사이의 간극(15)의 크기(축방향에 있어서의 치수)가 바뀐다. 그리고, 간극(15)이, 회전 날개(16)의 반경 방향 둘레면과 대향한 상태로 위치 결정된 경우, 회전 날개(16)가 회전할 때에, 회전 날개(16)에 의해, 접선 방향 및 하류 방향으로 이송된 프로세스 가스의 분자는, 간극(15) 내를 향하기 쉬워진다(가스 분자의 수가 증가한다). 그리고, 간극(15) 내에 들어간 가스는, 냉각측 스테이터(17A)에 의해 냉각되고, 간극(15) 내에서 고체화하여, 부생성물로서 퇴적한다. 이 퇴적물은, 간극(15)의 폭을 좁혀 단열 효과를 저하시키고, 펌프 내 온도 분포를 변화시킨다. 따라서, 정기적으로 진공 펌프(10)를 분해하는 등 하여, 간극(15)에 쌓인 퇴적물을 제거하는, 메인터넌스 작업이 필요해진다. 이 메인터넌스 작업에 의해, 생산성이 나쁘다는 문제점이 있었다.In the structure in which the positioning between the
그래서, 단열용으로 설치된 간극을 향하는 가스의 흐름(가스 분자의 수)을 적게 하여, 간극에 퇴적하는 부생성물의 양을 줄이고, 메인터넌스 작업을 필요로 하는 간격을 늘려 생산성을 향상시킬 수 있는 진공 펌프를 제공하기 위해 해결해야 할 기술적 과제가 생기는 것이며, 본 발명은 이 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.Therefore, a vacuum pump capable of improving productivity by reducing the flow of gas (the number of gas molecules) toward the gap installed for insulation, reducing the amount of by-products deposited in the gap, and increasing the interval requiring maintenance work. There is a technical problem to be solved in order to provide, and the present invention aims to solve this problem.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 제안된 것이며, 청구항 1에 기재된 발명은, 흡기구와 배기구를 갖는 케이싱과, 상기 케이싱의 내측에, 회전이 자유롭게 지지된 로터축과, 상기 로터축과 함께 회전 가능한 복수 단의 회전 날개와, 상기 케이싱에 대해 고정되며, 또한, 상기 복수 단의 회전 날개 사이에 배치되는 복수 단의 고정 날개와, 상기 복수 단의 고정 날개를 소정 간격으로 유지하는 냉각측 스테이터 및 가열측 스테이터를 구비한 진공 펌프로서, 상기 냉각측 스테이터와 상기 가열측 스테이터 사이를 단열하는 소정 폭의 간극의 개구부를, 상기 로터축의 축방향에 있어서 상기 회전 날개의 외주면과 대향하지 않는 위치에 형성한, 진공 펌프를 제공한다.The present invention has been proposed to achieve the above object, and the invention described in claim 1 is a casing having an intake port and an exhaust port, a rotor shaft freely rotatably supported inside the casing, and rotatable together with the rotor shaft. A plurality of stages of rotary blades, a plurality of stages of stator blades fixed to the casing and arranged between the plurality of stages of rotor blades, a cooling stator holding the plurality of stages of stator blades at a predetermined interval, and heating A vacuum pump with side stators, wherein an opening of a gap of a predetermined width for thermal insulation between the cooling side stator and the heating side stator is formed at a position that does not face the outer circumferential surface of the rotary blade in the axial direction of the rotor shaft. , providing a vacuum pump.
이 구성에 의하면, 냉각측 스테이터와 가열측 스테이터 사이를 단열하기 위한 소정 폭의 간극의 개구부를, 로터축의 축방향에 있어서 회전 날개의 외주면과 대향하지 않는 위치에 형성하고 있다. 따라서, 회전 날개의 회전에 의한 원심력으로, 가스의 일부가 스테이터의 내주면을 향해 날아가도, 간극의 개구부는, 회전 날개의 외주면과는 대향하지 않는 비켜난 위치에 형성되어 있으므로, 간극의 개구에 들어가는 양도 극히 적고, 간극 내에 퇴적하는 퇴적물의 양을 줄일 수 있다. 이로 인해, 메인터넌스 작업을 필요로 하는 간격을 늘릴 수 있어, 생산성의 향상에 기여한다.According to this configuration, an opening with a predetermined width for thermal insulation between the cooling stator and the heating stator is formed at a position not facing the outer circumferential surface of the rotary blade in the axial direction of the rotor shaft. Therefore, even if a part of the gas is blown toward the inner circumferential surface of the stator due to the centrifugal force caused by the rotation of the rotor blades, since the opening of the gap is formed in a deflected position that does not face the outer circumferential surface of the rotor blade, the amount of gas entering the opening of the gap is also reduced. It is extremely small, and the amount of sediment deposited in the gap can be reduced. For this reason, the interval which requires maintenance work can be lengthened, and it contributes to the improvement of productivity.
청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 구성에 있어서, 상기 간극의 형상은, 상기 축방향과 수직인 경방향(徑方向)의 외측을 향해 수평으로 연장되는 제1 간극 부분과, 상기 제1 간극 부분의 외단(外端)으로부터 더욱 상기 경방향의 외측, 또한, 상기 축방향의 하류측을 따라 연장되는 제2 간극 부분을 갖는, 진공 펌프를 제공한다.In the invention according to claim 2, in the configuration according to claim 1, the shape of the gap is a first gap portion extending horizontally outward in a radial direction perpendicular to the axial direction; A vacuum pump having a second gap portion extending from an outer end of the gap portion further outward in the radial direction and along a downstream side in the axial direction.
이 구성에 의하면, 개구부로부터 제1 간극 부분에 들어간 프로세스 가스가, 더욱 안쪽으로 나아가려고 했을 때, 다음의 제2 간극 부분의 벽에 한 번 부딪치므로, 그 벽이, 간극 내를 향하는 흐름의 저항이 된다. 이로 인해, 개구부로부터 간극 내에 들어가는 프로세스 가스의 양을 줄여, 프로세스 가스에서 생성되는 퇴적물의 양을 더 적게 할 수 있다.According to this configuration, when the process gas entering the first gap portion from the opening is about to proceed further inward, it hits the wall of the next second gap portion once, so that the wall becomes a resistance This makes it possible to reduce the amount of process gas entering the gap from the opening, thereby reducing the amount of deposits produced in the process gas.
청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 구성에 있어서, 상기 간극의 형상은, 상기 축방향의 하류측을 따라 연장되는 제3 간극 부분을 갖는, 진공 펌프를 제공한다.The invention described in claim 3 provides the vacuum pump according to claim 1 or 2, wherein the shape of the gap has a third gap portion extending along the downstream side in the axial direction.
이 구성에 의하면, 개구부로부터 프로세스 가스가 간극 내에 들어가려고 했을 때, 개구부를 들어가 바로 정면인 곳에, 하측을 향하는 제3 간극 부분이 벽이 되어 부딪쳐, 프로세스 가스가 간극 내를 향하는 흐름의 저항이 된다. 이로 인해, 개구부로부터 간극 내에 들어가는 프로세스 가스의 양을 줄여, 프로세스 가스에서 생성되는 퇴적물의 양을 더 적게 할 수 있다.According to this configuration, when the process gas is about to enter the gap from the opening, the portion of the third gap facing downward becomes a wall and collides directly in front of the opening, thereby resisting the flow of the process gas toward the inside of the gap. . This makes it possible to reduce the amount of process gas entering the gap from the opening, thereby reducing the amount of deposits produced in the process gas.
청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 간극의 형상은, 상기 축방향과 수직인 경방향의 외측, 또한, 상기 축방향의 상류측으로 연장되는 제4 간극 부분을 갖는, 진공 펌프를 제공한다.In the invention according to claim 4, in the structure according to any one of claims 1 to 3, the shape of the gap is a fourth that extends outward in a radial direction perpendicular to the axial direction and further upstream in the axial direction. A vacuum pump having a gap portion is provided.
이 구성에 의하면, 간극의 종단면의 형상이, 축방향과 수직인 경방향의 외측, 또한, 축방향의 상류측으로 연장되는 제4 간극 부분을 갖고 있다. 따라서, 개구부로부터 간극 내에 들어간 프로세스 가스는, 한 번 제4 간극 부분과 부딪쳐, 프로세스 가스가 간극 내를 향하는 흐름의 저항이 된다. 이로 인해, 개구부로부터 간극 내에 들어가는 프로세스 가스의 양을 줄여, 프로세스 가스에서 생성되는 퇴적물의 양을 더 적게 할 수 있다.According to this configuration, the shape of the longitudinal section of the gap has a fourth gap portion extending outward in the radial direction perpendicular to the axial direction and further upstream in the axial direction. Accordingly, the process gas entering the gap from the opening part collides once with the fourth gap portion, and becomes resistance to the flow of the process gas toward the inside of the gap. This makes it possible to reduce the amount of process gas entering the gap from the opening, thereby reducing the amount of deposits produced in the process gas.
청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 간극의 형상은, 상기 개구부의 상부에, 상기 개구부보다 상기 케이싱의 내측을 향해 돌출되어 있는 처마부를 갖는, 진공 펌프를 제공한다.In the invention according to claim 5, in the structure according to any one of claims 1 to 4, the shape of the gap has an eaves protruding from the opening to the inside of the casing above the opening, the vacuum pump is provided.
이 구성에 의하면, 간극의 종단면의 형상이, 케이싱을 축방향으로 종단면했을 때, 케이싱 내주면에 형성되는 간극의 개구부의 상부에, 개구부보다 케이싱의 내측을 향해 돌출되어 있는 처마부를 형성하고 있으므로, 상류측으로부터 흘러나오는 프로세스 가스는 처마부에 흐름이 제어되어, 간극의 개구부의 방향으로는 나아가지 않고, 개구부와는 상이한 하류측을 향하게 할 수 있다. 이로 인해, 개구부로부터 간극 내에 들어가는 프로세스 가스의 양을 줄여, 프로세스 가스에서 생성되는 퇴적물의 양을 더 적게 할 수 있다.According to this configuration, the shape of the longitudinal section of the gap is such that when the casing is longitudinally sectioned in the axial direction, the upper part of the opening of the gap formed on the inner circumferential surface of the casing is formed with the eaves protruding toward the inside of the casing from the opening. The flow of the process gas flowing out from the side is controlled to the eaves, so that it does not go in the direction of the opening of the gap, but can be directed to a different downstream side from the opening. This makes it possible to reduce the amount of process gas entering the gap from the opening, thereby reducing the amount of deposits produced in the process gas.
발명에 의하면, 단열용으로 형성된 간극 내에 들어가는 프로세스 가스의 양을 줄여, 프로세스 가스에서 생성되는 퇴적물이, 간극 내에 퇴적하는 양을 줄일 수 있다. 이로 인해, 간극 내의 퇴적물을 제거하는 메인터넌스 작업을 필요로 하는 간격을 늘려, 생산성을 향상시킬 수 있다. According to the present invention, it is possible to reduce the amount of process gas entering the gap formed for thermal insulation, thereby reducing the amount of deposits generated from the process gas deposited in the gap. For this reason, it is possible to increase productivity by increasing the interval required for maintenance work for removing deposits in the gap.
또, 간극의 단열 효과도 향상되어, 진공 펌프 내에 설치된 전장품이나 로터를 회전시키는 전동 모터의 성능에 나쁜 영향을 주지 않는 범위, 및, 로터나 스테이터의 강도 저하에 영향을 주지 않는 범위에서, 온도를 세세하게 제어하는 것이 가능해진다. In addition, the insulation effect of the gap is also improved, and the temperature is controlled within a range that does not adversely affect the performance of the electrical components installed in the vacuum pump or the electric motor that rotates the rotor, and does not affect the strength of the rotor or stator. Fine control becomes possible.
또, 프로세스 가스의 고체화를 제어하면서 진공 펌프의 정상 운전을 실현할 수 있다.In addition, normal operation of the vacuum pump can be realized while controlling the solidification of the process gas.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 진공 펌프의 실시예로서 나타내는 터보 분자 펌프의 종단면도이다.
도 2는, 상기 터보 분자 펌프에 있어서의 앰프 회로의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3은, 상기 터보 분자 펌프에 있어서의 앰프 회로에서 검출한 전류 지령값이 검출값보다 큰 경우의 일 제어예를 나타내는 타임 차트이다.
도 4는, 상기 터보 분자 펌프에 있어서의 앰프 회로에서 검출한 전류 지령값이 검출값보다 작은 경우의 일 제어예를 나타내는 타임 차트이다.
도 5는, 도 1에 나타내는 터보 분자 펌프의 일부 확대 단면도이며, (a)는 도 1의 A부의 확대도, (b)는 간극의 형상을 설명하기 위해 일부를 더 확대한 단면도이다.
도 6은, 본 발명의 일 변형예를 나타내며, (a)는 도 1의 A부에 상당하는 부분 확대도, (b)는 간극의 형상을 설명하기 위해 (a)의 일부를 더 확대한 단면도이다.
도 7은, 본 발명의 다른 변형예를 나타내며, (a)는 도 1의 A부에 상당하는 부분 확대도, (b)는 간극의 형상을 설명하기 위해 (a)의 일부를 더 확대한 단면도이다.
도 8은, 본 발명의 또 다른 변형예를 나타내며, (a)는 도 1의 A부에 상당하는 부분 확대도, (b)는 간극의 형상을 설명하기 위해 (a)의 일부를 더 확대한 단면도이다.
도 9는, 종래에 있어서의 진공 펌프의 일례로서 나타내는 터보 분자 펌프의 종단면도이다.
도 10은, 도 9의 B부에 상당하는 부분 확대도이다.1 is a longitudinal sectional view of a turbo molecular pump shown as an example of a vacuum pump according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a diagram showing an example of an amplifier circuit in the turbo molecular pump.
3 is a time chart showing a control example in the case where the current command value detected by the amplifier circuit in the turbo molecular pump is greater than the detected value.
4 is a time chart showing a control example in the case where the current command value detected by the amplifier circuit in the turbo molecular pump is smaller than the detected value.
5 is an enlarged cross-sectional view of a portion of the turbo molecular pump shown in FIG. 1, (a) is an enlarged view of portion A in FIG. 1, and (b) is a partially enlarged cross-sectional view to explain the shape of the gap.
6 shows a modified example of the present invention, (a) is a partially enlarged view corresponding to part A in FIG. 1, and (b) is a cross-sectional view of a part of (a) enlarged to explain the shape of the gap. am.
7 shows another modified example of the present invention, (a) is a partially enlarged view corresponding to part A in FIG. 1, and (b) is a cross-sectional view of a part of (a) enlarged to explain the shape of the gap. am.
8 shows another modified example of the present invention, (a) is a partially enlarged view corresponding to part A in FIG. 1, and (b) is a part of (a) enlarged to explain the shape of the gap it is a cross section
Fig. 9 is a longitudinal sectional view of a turbo molecular pump shown as an example of a conventional vacuum pump.
Fig. 10 is a partially enlarged view corresponding to section B in Fig. 9;
본 발명은, 단열용으로 형성된 간극을 향하는 가스의 흐름(가스 분자의 수)을 적게 하여, 간극에 퇴적하는 부생성물의 양을 줄이고, 메인터넌스 작업을 필요로 하는 간격을 늘려 생산성을 향상시킬 수 있는 진공 펌프를 제공한다는 목적을 달성하기 위해, 흡기구와 배기구를 갖는 케이싱과, 상기 케이싱의 내측에, 회전이 자유롭게 지지된 로터축과, 상기 로터축과 함께 회전 가능한 복수 단의 회전 날개와, The present invention reduces the flow of gas (the number of gas molecules) toward the gap formed for insulation, reduces the amount of by-products deposited in the gap, and increases the interval requiring maintenance work, thereby improving productivity. In order to achieve the object of providing a vacuum pump, a casing having an intake port and an exhaust port, a rotor shaft freely rotatably supported inside the casing, and a plurality of stages of rotary blades rotatable together with the rotor shaft,
상기 케이싱에 대해 고정되며, 또한, 상기 복수 단의 회전 날개 사이에 배치되는 복수 단의 고정 날개와, 상기 복수 단의 고정 날개를 소정 간격으로 유지하는 가열측 스테이터 및 냉각측 스테이터를 구비한 진공 펌프로서, 상기 가열측 스테이터와 상기 냉각측 스테이터 사이를 단열하는 소정 폭의 간극의 개구부를, 상기 로터축의 축방향에 있어서 상기 회전 날개의 외주면과 대향하지 않는 위치에 형성한 것에 의해 실현했다.A vacuum pump comprising a plurality of stages of stator blades fixed to the casing and disposed between the plurality of stages of rotary blades, a heating stator and a cooling stator for holding the plurality of stages of stator blades at predetermined intervals. This was achieved by forming an opening with a predetermined width for thermal insulation between the heating stator and the cooling stator at a position not facing the outer circumferential surface of the rotary blade in the axial direction of the rotor shaft.
실시예Example
이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 일 실시예를 첨부 도면에 의거하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 실시예에 있어서, 구성 요소의 수, 수치, 양, 범위 등에 언급하는 경우, 특별히 명시한 경우 및 원리적으로 분명하게 특정한 수로 한정되는 경우를 제외하고, 그 특정한 수로 한정되는 것이 아니라, 특정한 수 이상이어도 이하여도 상관없다.Hereinafter, an embodiment according to an embodiment of the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings. In addition, in the following embodiments, when referring to the number, numerical value, amount, range, etc. of components, unless specifically specified and in principle clearly limited to a specific number, it is not limited to that specific number, It does not matter whether it is more than or less than a specific number.
또, 구성 요소 등의 형상, 위치 관계에 언급할 때는, 특별히 명시한 경우 및 원리적으로 분명하게 그렇지 않다고 생각되는 경우 등을 제외하고, 실질적으로 그 형상 등에 근사 또는 유사한 것 등을 포함한다.In addition, when referring to the shape and positional relationship of components, etc., substantially approximating or similar to the shape, etc. is included, except when it is specifically specified or when it is considered clearly not in principle.
또, 도면은, 특징을 알기 쉽게 하기 위해 특징적인 부분을 확대하는 등 하여 과장하는 경우가 있고, 구성 요소의 치수 비율 등이 실제와 같다고는 할 수 없다. 또, 단면도에서는, 구성 요소의 단면 구조를 이해하기 쉽게 하기 위해, 일부의 구성 요소의 해칭을 생략하는 경우가 있다.In addition, drawings may exaggerate characteristic parts by enlarging or the like to make the characteristics easier to understand, and it cannot be said that the dimensional ratios and the like of constituent elements are the same as in reality. In cross-sectional views, hatching of some components may be omitted in order to make the cross-sectional structure of the components easier to understand.
또, 이하의 설명에 있어서, 상하나 좌우 등의 방향을 나타내는 표현은, 절대적인 것이 아니고, 본 발명의 터보 분자 펌프의 각부가 그려져 있는 자세인 경우에 적절하지만, 그 자세가 변화된 경우에는 자세의 변화에 따라 변경하여 해석되어야 할 것이다. 또, 실시예의 설명 전체를 통해 같은 요소에는 같은 부호를 붙이고 있다.Further, in the following description, expressions indicating directions such as up and down, left and right are not absolute, and are appropriate for the posture in which each part of the turbo molecular pump of the present invention is drawn, but when the posture changes, the posture changes. will have to be modified and interpreted accordingly. In addition, the same reference numerals are attached to the same elements throughout the description of the embodiments.
도 1은 본 발명에 따른 진공 펌프로서의 터보 분자 펌프(100)의 일 실시예를 나타내는 것이며, 도 1은 그 종단면도이다.1 shows an embodiment of a turbo
도 1에 있어서, 터보 분자 펌프(100)는, 원통 형상의 하우징으로서의 외통(127)의 상단에 흡기구(101)가 형성되어 있다. 외통(127)의 내측에는, 가스를 흡인 배기하기 위한 터빈 블레이드인 복수의 회전 날개(102)(102a, 102b, 102c···)를 둘레부에 방사상 또한 다단으로 형성한 회전체(103)가 구비되어 있다. 이 회전체(103)의 중심에는 로터축(113)이 장착되어 있으며, 이 로터축(113)은, 예를 들면 5축 제어의 자기 베어링에 의해 공중에 부상 지지 또한 위치 제어되고 있다.1, in the turbo
상측 경방향 전자석(104)은, 4개의 전자석이 X축과 Y축에 쌍을 이루어서 배치되어 있다. 이 상측 경방향 전자석(104)의 근접에, 또한 상측 경방향 전자석(104) 각각에 대응되어 4개의 상측 경방향 센서(107)가 구비되어 있다. 상측 경방향 센서(107)는, 예를 들면 전도(傳導) 권선을 갖는 인덕턴스 센서나 와전류 센서 등이 이용되고, 로터축(113)의 위치에 따라 변화하는 이 전도 코일의 인덕턴스의 변화에 의거하여 로터축(113)의 위치를 검출한다. 이 상측 경방향 센서(107)는 로터축(113), 즉 거기에 고정된 회전체(103)의 경방향 변위를 검출하여, 도시하지 않은 제어 장치로 보내도록 구성되어 있다.In the upper
이 제어 장치에 있어서는, 예를 들면 PID 조절 기능을 갖는 보상 회로가, 상측 경방향 센서(107)에 의해 검출된 위치 신호에 의거하여, 상측 경방향 전자석(104)의 여자 제어 지령 신호를 생성하고, 도 2에 나타내는 앰프 회로(150)(후술한다)가, 이 여자 제어 지령 신호에 의거하여, 상측 경방향 전자석(104)을 여자 제어함으로써, 로터축(113)의 상측의 경방향 위치가 조정된다.In this control device, for example, a compensating circuit having a PID adjusting function generates an excitation control command signal for the upper
그리고, 이 로터축(113)은, 고투자율재(철, 스테인리스 등) 등에 의해 형성되고, 상측 경방향 전자석(104)의 자력에 의해 흡인되도록 되어 있다. 이러한 조정은, X축 방향과 Y축 방향으로 각각 독립적으로 행해진다. 또, 하측 경방향 전자석(105) 및 하측 경방향 센서(108)가, 상측 경방향 전자석(104) 및 상측 경방향 센서(107)와 동일하게 배치되고, 로터축(113)의 하측의 경방향 위치를 상측의 경방향 위치와 동일하게 조정하고 있다.The
또한, 축방향 전자석(106A, 106B)이, 로터축(113)의 하부에 구비한 원판 형상의 금속 디스크(111)를 상하로 사이에 끼워 배치되어 있다. 금속 디스크(111)는, 철 등의 고투자율재로 구성되어 있다. 로터축(113)의 축방향 변위를 검출하기 위해 축방향 센서(109)가 구비되고, 그 축방향 위치 신호가 제어 장치로 보내지도록 구성되어 있다.Further, the
그리고, 제어 장치에 있어서, 예를 들면 PID 조절 기능을 갖는 보상 회로가, 축방향 센서(109)에 의해 검출된 축방향 위치 신호에 의거하여, 축방향 전자석(106A)과 축방향 전자석(106B) 각각의 여자 제어 지령 신호를 생성하고, 앰프 회로(150)가, 이들 여자 제어 지령 신호에 의거하여, 축방향 전자석(106A)과 축방향 전자석(106B)을 각각 여자 제어함으로써, 축방향 전자석(106A)이 자력에 의해 금속 디스크(111)를 상방으로 흡인하고, 축방향 전자석(106B)이 금속 디스크(111)를 하방으로 흡인하여, 로터축(113)의 축방향 위치가 조정된다.Then, in the control device, for example, a compensating circuit having a PID adjusting function, based on the axial position signal detected by the
이와 같이, 제어 장치는, 이 축방향 전자석(106A, 106B)이 금속 디스크(111)에 미치는 자력을 적당하게 조절하여, 로터축(113)을 축방향으로 자기 부상시켜, 공간에 비접촉으로 유지하도록 되어 있다. 또한, 이들 상측 경방향 전자석(104), 하측 경방향 전자석(105) 및 축방향 전자석(106A, 106B)을 여자 제어하는 앰프 회로(150)에 대해서는, 후술한다.In this way, the control device appropriately adjusts the magnetic force exerted by the
한편, 모터(121)는, 로터축(113)을 둘러싸도록 둘레 형상으로 배치된 복수의 자극을 구비하고 있다. 각 자극은, 로터축(113)과의 사이에 작용하는 전자력을 통해 로터축(113)을 회전 구동하도록, 제어 장치에 의해 제어되고 있다. 또, 모터(121)에는 도시하지 않은 예를 들면 홀 소자, 리졸버, 인코더 등의 회전 속도 센서가 내장되어 있으며, 이 회전 속도 센서의 검출 신호에 의해 로터축(113)의 회전 속도가 검출되도록 되어 있다.On the other hand, the
또한, 예를 들면 하측 경방향 센서(108) 근방에, 도시하지 않은 위상 센서가 부착되어 있으며, 로터축(113)의 회전의 위상을 검출하도록 되어 있다. 제어 장치에서는, 이 위상 센서와 회전 속도 센서의 검출 신호를 모두 이용하여 자극의 위치를 검출하도록 되어 있다.Further, for example, a phase sensor (not shown) is attached near the lower
회전 날개(102)(102a, 102b, 102c···)와 약간의 공극을 띄우고 복수 장의 고정 날개(123)(123a, 123b, 123c···)가 배치되어 있다. 회전 날개(102)는, 각각 배기 가스의 분자를 충돌에 의해 하방향으로 이송하기 때문에, 로터축(113)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사져 형성되어 있다.A plurality of stator blades 123 (123a, 123b, 123c...) are disposed with a slight gap between the rotary blades 102 (102a, 102b, 102c...). The
또, 고정 날개(123)도, 마찬가지로 로터축(113)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사져 형성되며, 또한 외통(127)의 내측을 향해 회전 날개(102)의 단과 서로 번갈아 배치되어 있다. 그리고, 고정 날개(123)의 외주단은, 복수의 단이 적층된 고정 날개 스페이서(125)(125a, 125b, 125c···) 사이에 끼워 넣어진 상태로 지지되어 있다.In addition, the
고정 날개 스페이서(125)는 링 형상의 부재이며, 예를 들면 알루미늄, 철, 스테인리스, 구리 등의 금속, 또는 이들 금속을 성분으로 하여 포함하는 합금 등의 금속에 의해 구성되어 있다. 고정 날개 스페이서(125)의 외주에는, 약간의 공극을 띄우고 외통(127)이 고정되어 있다. 외통(127)의 저부에는 베이스부(129)가 배치되어 있다. 베이스부(129)에는 배기구(133)이 형성되고, 외부에 연통되어 있다. 챔버 측으로부터 흡기구(101)에 들어가 베이스부(129)로 이송되어 온 배기 가스는, 배기구(133)로 보내진다.The
또한, 터보 분자 펌프(100)의 용도에 따라, 고정 날개 스페이서(125)의 하부와 베이스부(129) 사이에는, 나사가 달린 스페이서(131)가 배치된다. 나사가 달린 스페이서(131)는, 알루미늄, 구리, 스테인리스, 철, 또는 이들 금속을 성분으로 하는 합금 등의 금속에 의해 구성된 원통 형상의 부재이며, 그 내주면에 나선형의 나사 홈(131a)이 복수 줄 새겨져 있다. 나사 홈(131a)의 나선의 방향은, 회전체(103)의 회전 방향으로 배기 가스의 분자가 이동했을 때에, 이 분자가 배기구(133)로 이송되는 방향이다. 회전체(103)의 회전 날개(102)(102a, 102b, 102c···)로 이어지는 최하부에는 원통부(102E)가 수하(垂下)되어 있다. 이 원통부(102E)의 외주면은, 원통 형상이며, 또한 나사가 달린 스페이서(131)의 내주면을 향해 돌출되어 있으며, 이 나사가 달린 스페이서(131)의 내주면과 소정의 간극을 띄우고 근접되어 있다. 회전 날개(102) 및 고정 날개(123)에 의해 나사 홈(131a)으로 이송되어 온 배기 가스는, 나사 홈(131a)에 안내되면서 베이스부(129)로 보내진다.In addition, depending on the purpose of the turbo
베이스부(129)는, 터보 분자 펌프(100)의 기저부를 구성하는 원반 형상의 부재이며, 일반적으로는 철, 알루미늄, 스테인리스 등의 금속에 의해 구성되어 있다. 베이스부(129)는 터보 분자 펌프(100)를 물리적으로 유지함과 더불어, 열의 전도로(傳導路)의 기능도 겸비하고 있으므로, 철, 알루미늄이나 구리 등의 강성이 있으며, 열전도율도 높은 금속이 사용되는 것이 바람직하다.The
이러한 구성에 있어서, 회전 날개(102)가 로터축(113)과 함께 모터(121)에 의해 회전 구동되면, 회전 날개(102)와 고정 날개(123)의 작용에 의해, 흡기구(101)를 통해서 챔버로부터 배기 가스가 흡기된다. 흡기구(101)로부터 흡기된 배기 가스는, 회전 날개(102)와 고정 날개(123) 사이를 지나, 베이스부(129)로 이송된다. 이 때, 배기 가스가 회전 날개(102)에 접촉할 때에 발생하는 마찰열이나, 모터(121)에서 발생한 열의 전도 등에 의해, 회전 날개(102)의 온도는 상승하는데, 이 열은, 복사 또는 배기 가스의 기체 분자 등에 의한 전도에 의해 고정 날개(123) 측에 전달된다.In this configuration, when the
고정 날개 스페이서(125)는, 외주부에서 서로 접합하고 있으며, 고정 날개(123)가 회전 날개(102)로부터 받은 열이나 배기 가스가 고정 날개(123)에 접촉할 때에 발생하는 마찰열 등을 외부로 전달한다.The
또한, 상기에서는, 나사가 달린 스페이서(131)는 회전체(103)의 원통부(102E)의 외주에 배치하고, 나사가 달린 스페이서(131)의 내주면에 나사 홈(131a)이 새겨져 있는 것으로 설명했다. 그러나, 이와는 반대로 원통부(102E)의 외주면에 나사 홈이 새겨지고, 그 주위에 원통 형상의 내주면을 갖는 스페이서가 배치되는 경우도 있다.In addition, in the above, the threaded
또, 터보 분자 펌프(100)의 용도에 따라서는, 흡기구(101)로부터 흡인된 가스가 상측 경방향 전자석(104), 상측 경방향 센서(107), 모터(121), 하측 경방향 전자석(105), 하측 경방향 센서(108), 축방향 전자석(106A, 106B), 축방향 센서(109) 등으로 구성되는 전장부에 침입하는 일이 없도록, 전장부는 주위를 스테이터 칼럼(122)으로 덮이고, 이 스테이터 칼럼(122) 내는 퍼지 가스로 소정압으로 유지되는 경우도 있다.In addition, depending on the purpose of the turbo
이 경우에는, 베이스부(129)에는 도시하지 않은 배관이 배치되고, 이 배관을 통해서 퍼지 가스가 도입된다. 도입된 퍼지 가스는, 보호 베어링(120)과 로터축(113) 사이, 모터(121)의 로터와 스테이터 사이, 스테이터 칼럼(122)과 회전 날개(102)의 내주측 원통부 사이의 간극을 통해 배기구(133)로 송출된다.In this case, a pipe (not shown) is disposed in the
여기에, 터보 분자 펌프(100)는, 기종의 특정과, 개개로 조정된 고유의 파라미터(예를 들면, 기종에 대응하는 제(諸) 특성)에 의거한 제어를 필요로 한다. 이 제어 파라미터를 저장하기 위해, 상기 터보 분자 펌프(100)는, 그 본체 내에 전자 회로부(141)를 구비하고 있다. 전자 회로부(141)는, EEP-ROM 등의 반도체 메모리 및 그 액세스를 위한 반도체 소자 등의 전자 부품, 그들의 실장용 기판(143) 등으로 구성된다. 이 전자 회로부(141)는, 터보 분자 펌프(100)의 하부를 구성하는 베이스부(129)의 예를 들면 중앙 부근의 도시하지 않은 회전 속도 센서의 하부에 수용되고, 기밀성의 바닥 덮개(145)에 의해 닫혀져 있다.Here, the turbo
그런데, 반도체의 제조 공정에서는, 챔버에 도입되는 프로세스 가스 중에는, 그 압력이 소정값보다 높아지거나, 혹은, 그 온도가 소정값보다 낮아지면, 고체가 되는 성질을 갖는 것이 있다. 터보 분자 펌프(100) 내부에서는, 배기 가스의 압력은, 흡기구(101)에서 가장 낮고 배기구(133)에서 가장 높다. 프로세스 가스가 흡기구(101)로부터 배기구(133)로 이송되는 도중에, 그 압력이 소정값보다 높아지거나, 그 온도가 소정값보다 낮아지면, 프로세스 가스는, 고체 형상이 되어, 터보 분자 펌프(100) 내부에 부착되어 퇴적한다.By the way, in a semiconductor manufacturing process, some of the process gases introduced into the chamber have the property of becoming solid when the pressure is higher than a predetermined value or the temperature is lower than a predetermined value. Inside the turbo
예를 들면, Al 에칭 장치에 프로세스 가스로서 SiCl4가 사용된 경우, 저진공(760[torr]~10-2[torr]) 또한, 저온(약 20[℃])일 때, 고체 생성물(예를 들면 AlCl3)이 석출되고, 터보 분자 펌프(100) 내부에 부착 퇴적하는 것을 증기압 곡선으로부터 알 수 있다. 이로 인해, 터보 분자 펌프(100) 내부에 프로세스 가스의 석출물이 퇴적하면, 이 퇴적물이 펌프 유로를 좁혀, 터보 분자 펌프(100)의 성능을 저하시키는 원인이 된다. 그리고, 상술한 생성물은, 배기구 부근이나 나사가 달린 스페이서(131) 부근의 압력이 높은 부분에서 응고, 부착되기 쉬운 상황에 있었다.For example, when SiCl4 is used as a process gas in an Al etching device, a solid product (eg For example, it can be seen from the vapor pressure curve that AlCl3) is precipitated and deposited inside the turbo
그 때문에, 이 문제를 해결하기 위해, 종래에는 베이스부(129) 등의 외주에 도시하지 않은 히터나 환상의 수랭관(149)을 권착(卷着)시키며, 또한 예를 들면 베이스부(129)에 도시하지 않은 온도 센서(예를 들면 서미스터)를 매입(埋入)하고, 이 온도 센서의 신호에 의거하여 베이스부(129)의 온도를 일정한 높은 온도(설정 온도)로 유지하도록 히터의 가열이나 수랭관(149)에 의한 냉각의 제어(이하 TMS라고 한다. TMS;Temperature Management System)가 행해지고 있다.Therefore, in order to solve this problem, conventionally, a heater or an annular water cooling tube 149 (not shown) is wound around the outer periphery of the
다음에, 이와 같이 구성되는 터보 분자 펌프(100)에 관하여, 그 상측 경방향 전자석(104), 하측 경방향 전자석(105) 및 축방향 전자석(106A, 106B)을 여자 제어하는 앰프 회로(150)에 대해서 설명한다. 이 앰프 회로(150)의 회로도를 도 2에 나타낸다.Next, with respect to the turbo
도 2에 있어서, 상측 경방향 전자석(104) 등을 구성하는 전자석 권선(151)은, 그 일단이 트랜지스터(161)를 통해 전원(171)의 양극(171a)에 접속되어 있으며, 또, 그 타단이 전류 검출 회로(181) 및 트랜지스터(162)를 통해 전원(171)의 음극(171b)에 접속되어 있다. 그리고, 트랜지스터(161, 162)는, 이른바 파워 MOSFET로 되어 있으며, 그 소스-드레인 사이에 다이오드가 접속된 구조를 갖고 있다.2, one end of the electromagnet winding 151 constituting the upper
이 때, 트랜지스터(161)는, 그 다이오드의 캐소드 단자(161a)가 양극(171a)에 접속되는 것과 더불어, 애노드 단자(161b)가 전자석 권선(151)의 일단과 접속되도록 되어 있다. 또, 트랜지스터(162)는, 그 다이오드의 캐소드 단자(162a)가 전류 검출 회로(181)에 접속되는 것과 더불어, 애노드 단자(162b)가 음극(171b)과 접속되도록 되어 있다.At this time, in the
한편, 전류 회생용 다이오드(165)는, 그 캐소드 단자(165a)가 전자석 권선(151)의 일단에 접속되는 것과 더불어, 그 애노드 단자(165b)가 음극(171b)에 접속되도록 되어 있다. 또, 이와 마찬가지로, 전류 회생용 다이오드(166)는, 그 캐소드 단자(166a)가 양극(171a)에 접속되는 것과 더불어, 그 애노드 단자(166b)가 전류 검출 회로(181)를 통해 전자석 권선(151)의 타단에 접속되도록 되어 있다. 그리고, 전류 검출 회로(181)는, 예를 들면 홀 센서식 전류 센서나 전기 저항 소자로 구성되어 있다.On the other hand, the
이상과 같이 구성되는 앰프 회로(150)는, 하나의 전자석에 대응되는 것이다. 그 때문에, 자기 베어링이 5축 제어이며, 전자석(104, 105, 106A, 106B)이 합계 10개인 경우에는, 전자석 각각에 대해서 동일한 앰프 회로(150)가 구성되고, 전원(171)에 대해 10개의 앰프 회로(150)가 병렬로 접속되도록 되어 있다.The
또한, 앰프 제어 회로(191)는, 예를 들면, 제어 장치의 도시하지 않은 디지털·시그널·프로세서부(이하, DSP부라고 한다)에 의해 구성되고, 이 앰프 제어 회로(191)는, 트랜지스터(161, 162)의 on/off를 전환하도록 되어 있다.The
앰프 제어 회로(191)는, 전류 검출 회로(181)가 검출한 전류값(이 전류값을 반영한 신호를 전류 검출 신호(191c)라고 한다)과 소정의 전류 지령값을 비교하도록 되어 있다. 그리고, 이 비교 결과에 의거하여, PWM 제어에 의한 1주기인 제어 사이클(Ts) 내에 발생시키는 펄스폭의 크기(펄스폭 시간 Tp1, Tp2)를 결정하도록 되어 있다. 그 결과, 이 펄스폭을 갖는 게이트 구동 신호(191a, 191b)를, 앰프 제어 회로(191)로부터 트랜지스터(161, 162)의 게이트 단자로 출력하도록 되어 있다.The
또한, 회전체(103)의 회전 속도의 가속 운전 중에 공진점을 통과할 때나 정속 운전 중에 외란이 발생했을 때 등에, 고속 또한 강한 힘으로의 회전체(103)의 위치 제어를 할 필요가 있다. 그 때문에, 전자석 권선(151)에 흐르는 전류의 급격한 증가(혹은 감소)가 가능하도록, 전원(171)으로서는, 예를 들면 50V 정도의 고전압이 사용되도록 되어 있다. 또, 전원(171)의 양극(171a)과 음극(171b) 사이에는, 전원(171)의 안정화를 위해, 통상 콘덴서가 접속되어 있다(도시 생략).In addition, when the rotational speed of the
이러한 구성에 있어서, 트랜지스터(161, 162)를 둘 다 on으로 하면, 전자석 권선(151)에 흐르는 전류(이하, 전자석 전류(iL)라고 한다)가 증가하고, 둘 다 off로 하면, 전자석 전류(iL)가 감소한다.In this configuration, when both
또, 트랜지스터(161, 162)의 한쪽을 on로 하고 다른 쪽을 off로 하면, 이른바 플라이 휠 전류가 유지된다. 그리고, 이와 같이 앰프 회로(150)에 플라이 휠 전류를 흐르게 함으로써, 앰프 회로(150)에 있어서의 히스테리시스 손실을 감소시켜, 회로 전체로서의 소비 전력을 낮게 억제할 수 있다. 또, 이와 같이 트랜지스터(161, 162)를 제어함으로써, 터보 분자 펌프(100)에 생기는 고조파 등의 고주파 노이즈를 저감할 수 있다. 또한, 이 플라이 휠 전류를 전류 검출 회로(181)에서 측정함으로써 전자석 권선(151)을 흐르는 전자석 전류(iL)가 검출 가능해진다.Also, when one of the
즉, 검출한 전류값이 전류 지령값보다 작은 경우에는, 도 3에 나타내는 바와 같이 제어 사이클(Ts)(예를 들면 100μs) 중에서 1회만, 펄스폭 시간 Tp1에 상당하는 시간만큼 트랜지스터(161, 162)를 둘 다 on으로 한다. 그 때문에, 이 기간 중의 전자석 전류(iL)는, 양극(171a)에서 음극(171b)으로, 트랜지스터(161, 162)를 통해 흐르게 할 수 있는 전류값 iLmax(도시하지 않음)을 향해 증가한다.That is, when the detected current value is smaller than the current command value, as shown in FIG. 3 , the
한편, 검출한 전류값이 전류 지령값보다 큰 경우에는, 도 4에 나타내는 바와 같이 제어 사이클(Ts) 중에서 1회만 펄스폭 시간 Tp2에 상당하는 시간만큼 트랜지스터(161, 162)를 둘 다 off로 한다. 그 때문에, 이 기간 중의 전자석 전류(iL)는, 음극(171b)에서 양극(171a)으로, 다이오드(165, 166)를 통해 회생할 수 있는 전류값 iLmin(도시하지 않음)을 향해 감소한다.On the other hand, when the detected current value is greater than the current command value, as shown in Fig. 4, both
그리고, 어느 경우에도, 펄스폭 시간 Tp1, Tp2의 경과 후에는, 트랜지스터(161, 162) 중 어느 1개를 on으로 한다. 그 때문에, 이 기간 중에는, 앰프 회로(150)에 플라이 휠 전류가 유지된다.In either case, either one of the
그런데, 케이싱으로서의 외통(127) 내에 있어서는, 냉각을 필요로 하는 냉각 범위 내에 배치한 냉각측 스테이터(110A)(고정 날개(123a~123f)) 및 냉각측 회전 날개(102A)(회전 날개(102a~102g))를 갖는 상단군 기체 이송부와, 가열을 필요로 하는 가열 범위 내에 배치한 가열측 스테이터(110B)(고정 날개(123h~123j)) 및 냉각측 회전 날개(102B)(회전 날개(102h~102k))를 갖는 하단군 기체 이송부로 이루어진다. 그리고, 냉각측 스테이터(110A)와 가열측 스테이터(110B) 사이에 O링(112)을 배치하여, 냉각측 스테이터(110A)와 가열측 스테이터(110B) 사이를 소정량 떨어뜨려 간극(114)을 형성함으로써, 냉각측 스테이터(110A)와 가열측 스테이터(110B)를 각각 독립화시키고, 냉각측 스테이터(110A)의 온도와 가열측 스테이터(110B)의 온도가 서로 영향을 주지 않도록 하고 있다. 또한, 냉각측 스테이터(110A)와 가열측 스테이터(110B) 사이는, 고정 날개 스페이서(125)를 볼트(115)로 눌러 위치 결정을 하고 있다. 또, 도 1 중의 부호 152는, 냉각측 스테이터(110A) 측의 온도를 검출하는 온도 센서, 부호 153은, 가열측 스테이터(110B) 측의 온도를 검출하는 온도 센서, 부호 154는 가열측 스테이터(110B)를 가열하기 위한 히터, 부호 155는 냉각측 스테이터(110A)를 냉각하는 냉각관이다.By the way, in the
한편, 냉각측 스테이터(110A)와 가열측 스테이터(110B) 사이의 간극(114)의 개구부(114A)와 근접하는 상단군 기체 이송부의 냉각측의 회전 날개(102g)와 하단군 기체 이송부의 가열측의 회전 날개(102h) 사이는, 냉각측의 회전 날개(102g)의 외주면과 가열측의 회전 날개(102h)의 외주면 어느 쪽도, 간극(114)의 개구부(114A)와 바로 정면으로 마주보지 않도록, 회전 날개(102g)와 회전 날개(102h)의 위치를 각각 개구부(114A)에 대해 축방향, 즉 상하 방향으로 어긋나게 하여, 회전 날개(102g)와 회전 날개(102h) 사이에 거리(S)의 간극을 형성하고 있다. 그 거리(S)는, 냉각측 스테이터(110A)와 가열측 스테이터(110B) 사이를, 볼트(115)로 눌러 위치 결정했을 때, 냉각측 스테이터(110A) 또는 가열측 스테이터(110B) 중 어느 한쪽 혹은 양쪽 모두가 축방향으로 이동해도, 간극(114)의 개구부(114A)와 바로 정면으로 마주보지 않을 만큼의 크기를 확보하는 것이 바람직하다.On the other hand, the
또, 개구부(114A)의 바람직한 위치로서는, 회전 날개(102g)와 회전 날개(102h)에 의한 프로세스 가스의 분자의 이동을 고려하여, 회전 날개(102g)와 회전 날개(102h)의 축방향 거리의 대략 중앙을 생각할 수 있다. 단, 개구부(114A)의 위치는 대략 중앙으로 한정되지 않고, 예를 들면, 회전 날개(102g)에 의한 프로세스 가스의 분자의 이동을 중시하여, 대략 중앙 위치로부터 하류측에 있어도 된다.In addition, as a preferable position of the
또, 간극(114)에 있어서의 개구부(114A)의 폭의 크기(축방향의 치수)는, 프로세스 가스의 분자가 다른 분자에 충돌하여 진로를 바꾸지 않고 나아갈 수 있는 거리의 평균값인 평균 자유 행정이나, 단열 효과 등을 고려하여, 분자가 가능한 한 들어가기 어려운 소정 폭의 크기로 설정된다. 예를 들면, 간극(114) 및 개구부(114A)의 크기로서는, 0.1mm~2.0mm이며, 보다 바람직하게는, 0.5mm~1.0mm를 생각할 수 있다.In addition, the size of the width of the
또한, 본 실시예의 구조에서는, 도 5에 도 1의 A부를 확대하여 나타내고 있는 바와 같이, 케이싱인 외통(127)을 축방향으로 종단면했을 때에 있어서의, 간극(114)의 종단면의 형상은, 개구부(114A)로부터 축방향과 수직인 경방향의 외측을 향해 수평으로 연장되는 제1 간극 부분으로서의 수평 간극 부분(114a)과, 수평 간극 부분(114a)의 외측단으로부터 더욱 경방향의 외측, 또한, 축방향의 하류측을 따라 비스듬한 하측으로 연장되는 경사진 제2 간극 부분으로서의 경사 간극 부분(14b)을 일체로 갖고, 개구부(114A)로부터 역 L자 형상으로 형성된 부분을 갖는 구조로 했다. 이하의 설명에서는, 축방향의 상류측이란 흡기구(101) 측이고, 축방향의 하류측이란 배기구(133) 측으로 한다. 또, 축방향이란, 로터축(113)의 축선 방향이고, 경방향이란 축선에 대해 수직인 방향, 즉 외통(127)의 경방향이다.In addition, in the structure of this embodiment, as shown in FIG. 5 in an enlarged manner A of FIG. 1 , the shape of the longitudinal section of the
이 실시예와 같이 구성된 진공 펌프(10)에서는, 냉각측 스테이터(110A)와 가열측 스테이터(110B) 사이를 단열하고 있는 소정 폭의 간극(114)의 개구부(14A)를, 회전체(103)의 축방향에 있어서 회전 날개(102)(회전 날개(102g)와 회전 날개(102h))의 외주면과 대향하지 않는, 축방향에 비켜난 위치에 형성되어 있다. 따라서, 회전 날개(102)의 회전에 의한 원심력으로, 프로세스 가스의 일부가, 원통부(102E)의 냉각측 스테이터(110A)와 가열측 스테이터(110B)의 내주면을 향해 날아가도, 간극(114)의 개구부(114A)에 들어가는 프로세스 가스의 양도 극히 적어, 간극(114) 내에 퇴적하는 퇴적물의 양을 줄일 수 있다. 이로 인해, 간극(114) 내에 퇴적한 퇴적물 등을 제거하기 위한 메인터넌스 작업을 필요로 하는 간격을 늘릴 수 있어, 생산성의 향상에 기여하게 된다.In the
또한, 도 1 및 도 5에 나타내는 실시예에서는, 케이싱인 외통(127)을 축방향으로 단면했을 때의, 간극(114)의 종단면의 형상을, 개구부(114A)로부터 외측을 향해 수평으로 연장되는 수평 간극 부분(114a)과, 수평 간극 부분(114a)의 외단으로부터 더욱 경방향의 외측, 또한, 축방향의 하류측을 따라 비스듬하게 연장되는 경사진 경사 간극 부분(114b)을 일체로 형성하여, 개략 역 L자 형상으로 형성하여 이루어지는 구조를 나타냈다.1 and 5, the shape of the longitudinal section of the
이 도 1 및 도 5에 나타내는 구조에서는, 개구부(114A)로부터 수평 간극 부분(114a) 내에 들어가면, 다음에 수평 간극 부분(114a)의 외측단으로부터 외측을 향해 비스듬한 하측으로 절곡하여 연장되는 경사진 경사 간극 부분(114b)이 있으므로, 개구부(114A)로부터 수평 간극 부분(114a)에 들어가, 다음에 경사 간극 부분(114b)으로 흘러 들어갈 때, 경사 간극 부분(114b)이 벽이 되어 부딪쳐, 프로세스 가스가 더욱 내측을 향하는 흐름의 저항이 된다. 이로 인해, 개구부(114A)로부터 간극(114) 내에 들어가는 프로세스 가스의 양을 줄여, 프로세스 가스에서 생성되는 퇴적물의 양을 더 적게 할 수 있다.In the structure shown in FIGS. 1 and 5, when entering the
또한, 간극(114)의 구조는, 도 1 및 도 5에 나타내는 구조로 한정하지 않고, 예를 들면, 도 6, 도 7, 도 8에 나타내는 구조로 해도 된다. 또, 경사 간극 부분(114b)은, 수평 간극 부분(114a)의 외단으로부터 더욱 경방향의 외측, 또한, 축방향의 상류측을 따라 비스듬한 상측을 향해 연장되는 간극 부분으로 해도 된다.Note that the structure of the
도 6에 나타내는 간극(114)의 구조에서는, 케이싱인 외통(127)을 축방향으로 단면했을 때의, 간극(114)의 종단면의 형상을, 개구부(114A)를 들어가면 곧바로 축방향의 하류측을 향하는 제3 간극 부분으로서의 수직 간극 부분(114c)과, 수직 간극 부분(114c)의 하단으로부터 경방향의 외측을 향해 수평으로 연장되는 수평 간극 부분(114a)을 일체로 형성하여, 개구부(114A)로부터 대략 I자 형상으로 형성하고 있는 부분을 갖는 구조로 하고 있다.In the structure of the
이 도 6의 구조에서는, 간극(114)의 단면 형상을 대략 I자 형상으로 형성함으로써, 개구부(114A)로부터 프로세스 가스가 간극(114) 내에 들어가려고 했을 때, 개구부(114A)를 들어가 곧바로 정면인 곳에, 축방향의 하류측을 향하는 수직 간극 부분(114c)의 벽이 존재하므로, 그 벽이, 프로세스 가스가 내측을 향하는 흐름의 저항이 된다. 이로 인해, 개구부(114A)로부터 간극(114) 내에 들어가는 프로세스 가스의 양을 줄이고, 동시에, 퇴적물이 생기는 양을 더 적게 할 수 있다. 또한, 수직 간극 부분(114c)은, 개구부(114A)를 들어가면 곧바로 축방향의 하류을 향하는 구조로 하고 있는데, 반대로, 개구부(114A)를 들어가면 곧바로 축방향의 상류측을 향하는 구조로 해도 된다.In the structure of FIG. 6 , the cross-sectional shape of the
도 7에 나타내는 간극(114)의 구조에서는, 케이싱인 외통(127)을 축방향으로 단면했을 때의, 간극(114)의 종단면의 형상을, 개구부(114A)를 들어가면 곧바로, 개구부(11A)로부터 축방향과 수직인 경방향의 외측, 또한, 축방향의 상류측을 향해 비스듬하게 연장되는 제4 간극 부분으로서의 경사 간극 부분(114d)과, 경사 간극 부분(114d)의 외단으로부터 축방향의 하류측을 향해 비스듬하게 연장되는 제5 간극 부분으로서의 경사 간극 부분(114e)를 일체로 형성하여, 개구부(114A)로부터 대략 역 V자 형상으로 형성하고 있는 부분을 갖는 구조로 하고 있다.In the structure of the
이 도 7의 구조에서는, 개구부(114A)로부터 경사 간극 부분(114d) 내에 들어가면 곧바로, 외측 비스듬한 상방으로 상승하므로, 개구부(114A)로부터 경사 간극 부분(114d) 내에 들어간 프로세스 가스는, 외측 비스듬한 상방으로 경사져 있는 경사 간극 부분(114d)이 벽이 되어 부딪쳐, 프로세스 가스가 내측을 향하는 흐름의 저항이 된다. 이로 인해, 개구부(114A)로부터 간극(114) 내에 들어가는 프로세스 가스의 양을 줄여, 프로세스 가스에서 생성되는 퇴적물의 양을 더 적게 할 수 있다.In the structure of FIG. 7 , as soon as it enters the
또한, 도 7의 구성에서는, 개구부(114A)로부터 축방향과 수직인 경방향의 외측, 또한, 축방향의 상류를 향해 비스듬하게 연장되는 경사 간극 부분(114d)과, 경사 간극 부분(114d)의 외단으로부터 축방향의 하류측을 향해 비스듬하게 연장되는 경사 간극 부분(114e)을 일체로 형성하여, 개구부(114A)로부터 대략 역 V자 형상으로 형성하고 있는 부분을 갖는 구조로 하고 있는데, 개구부(114A)로부터 상류측으로 경사져 연장되는 경사 간극 부분(114d), 또는, 개구부(114A)로부터 하류측을 향해 경사져 연장되는 경사 간극 부분(114e) 중 어느 한쪽을 형성한 구조로 해도 된다.In addition, in the configuration of FIG. 7 , the
도 8에 나타내는 간극(114)의 구조에서는, 케이싱인 외통(127)을 축방향으로 단면했을 때, 외통(127)의 내주면에 형성되는 간극(114)에 있어서의 개구부(114A)의 상부에, 개구부(114A)보다 외통(127)의 내측을 향해 돌출되어 있는 처마부(116)를 형성한 구조로 하고 있다. 즉, 처마부(116)는, 개구부(114A)와의 사이에 단차를 만들어, 상류측에서 흘러오는 프로세스 가스가 개구부(114A)의 방향으로는 향하지 않고, 곧바로 하류측으로 나아가도록 흐름을 제어할 수 있다. 또, 간극(114)은, 개구부(114A)를 들어가면 곧바로 하류측을 향하는 제3 간극 부분으로서의 수직 간극 부분(114c)과, 수직 간극 부분(114c)의 하단으로부터 축방향과 수직인 경방향의 외측을 향해 수평으로 연장되는 수평 간극 부분(114a)을 일체로 형성하여, 개구부(114A)로부터 대략 I자 형상으로 형성하고 있는 부분을 갖는 구조로 하고 있다.In the structure of the
도 8의 구조에서는, 간극(114)의 단면 형상을 대략 I자 형상으로 형성함으로써, 개구부(114A)로부터 프로세스 가스가 간극(114) 내에 들어가려고 했을 때, 개구부(114A)를 들어가 바로 정면인 곳에, 하측을 향하는 수직 간극 부분(114c)의 벽이 존재하므로, 그 벽에 프로세스 가스가 부딪쳐, 프로세스 가스가 내측을 향하는 흐름의 저항이 된다. 이로 인해, 개구부(114A)로부터 간극(114) 내에 들어가는 프로세스 가스의 양을 줄여, 프로세스 가스에서 생성되는 퇴적물의 양을 더 적게 할 수 있다. 또, 처마부(116)의 하면 에지 부분(처마끝 하면)(116a)과 개구부(114A)의 하측 에지 부분(114g)에는, 각각 R모따기 가공을 실시하고 있다. R모따기 가공은, 하면 에지 부분(116a) 또는 하측 에지 부분(114g)에, 외통(127) 내에서 회전 날개(102)가 부딪쳐 튀어올라 온 프로세스 가스의 일부가 부딪쳤을 때, 그 부딪친 프로세스 가스의 일부를 개구부(114A) 내와는 상이한 로터축(113)의 방향을 향하게 하여, 개구부(114A) 내에 들어가지 않도록 하는 것이다.In the structure of FIG. 8 , the cross-sectional shape of the
또한, 본 발명은, 본 발명의 정신을 일탈하지 않는 한 여러 가지 개변을 이룰 수 있고, 그리고, 본 발명이 당해 개변된 것에 이르는 것은 당연하다.In addition, various modifications can be made to the present invention without departing from the spirit of the present invention, and it is natural that the present invention leads to the modification.
100:터보 분자 펌프 101:흡기구
102:회전 날개 102A:냉각측 회전 날개
102B:냉각측 회전 날개 102E:원통부
102a:회전 날개 102b:회전 날개
102c:회전 날개 102d:회전 날개
102e:회전 날개 102f:회전 날개
102g:회전 날개 103:회전체
104:상측 경방향 전자석 105:하측 경방향 전자석
106A:축방향 전자석 106B:축방향 전자석
107:상측 경방향 센서 108:하측 경방향 센서
109:축방향 센서 110A:냉각측 스테이터(상단군 기체 이송부)
110B:가열측 스테이터(하단군 기체 이송부)
111:금속 디스크 112:O링
113:로터축 114:간극
114A:개구부 114a:수평 간극 부분(제1 간극 부분)
114b:경사 간극 부분(제2 간극 부분)
114c:수직 간극 부분(제3 간극 부분)
114d:경사 간극 부분(제4 간극 부분)
114e:경사 간극 부분(제5 간극 부분)
114g:하측 에지 부분 115:볼트
116:처마부 116a:하면 에지 부분
120:보호 베어링 121:모터
122:스테이터 칼럼 123:고정 날개
123a:고정 날개 123b:고정 날개
123c:고정 날개 123d:고정 날개
123e:고정 날개 123f:고정 날개
123g:고정 날개 123h:고정 날개
123i:고정 날개 125:고정 날개 스페이서
127:외통 129:베이스부
131:나사가 달린 스페이서 131a:나사 홈
133:배기구 141:전자 회로부
143:기판 145:바닥 덮개
149:수랭관 150:앰프 회로
151:전자석 권선 152:온도 센서
153:온도 센서 154:전자석 권선
155:수랭관 161:히터
161a:캐소드 단자 161b:애노드 단자
162:트랜지스터 162a:캐소드 단자
162b:애노드 단자 165:다이오드
165a:캐소드 단자 165b:애노드 단자
166:다이오드 166a:캐소드 단자
166b:애노드 단자 171:전원
171a:양극 171b:음극
181:전류 검출 회로 191:앰프 제어 회로
191a:게이트 구동 신호 191b:게이트 구동 신호
191c:전류 검출 신호 S:거리
Tp1:펄스폭 시간 Tp2:펄스폭 시간
Ts:제어 사이클 iL:전자석 전류
iLmax:전류값 iLmin:전류값 100: turbo molecular pump 101: intake port
102:
102B: Cooling side rotary blade 102E: Cylindrical part
102a:
102c:
102e:
102g: rotary wing 103: rotating body
104: upper radial electromagnet 105: lower radial electromagnet
106A:
107: upper radial sensor 108: lower radial sensor
109:
110B: Heating side stator (lower group gas transfer part)
111: metal disk 112: O-ring
113: rotor shaft 114: gap
114A:
114b: inclination gap part (second gap part)
114c: vertical gap part (third gap part)
114d: inclined gap part (fourth gap part)
114e: inclined gap part (fifth gap part)
114g: lower edge part 115: bolt
116:
120: protective bearing 121: motor
122: stator column 123: fixed wing
123a: fixed
123c: fixed
123e: fixed
123g: fixed
123i: fixed wing 125: fixed wing spacer
127: outer cylinder 129: base
131: spacer with screw 131a: screw groove
133: exhaust port 141: electronic circuit
143: substrate 145: bottom cover
149: water cooling tube 150: amplifier circuit
151: electromagnet winding 152: temperature sensor
153: temperature sensor 154: electromagnet winding
155: water cooling pipe 161: heater
161a:
162:
162b: anode terminal 165: diode
165a: cathode terminal 165b: anode terminal
166:
166b: anode terminal 171: power supply
171a:
181: Current detection circuit 191: Amplifier control circuit
191a:
191c: current detection signal S: distance
Tp1: Pulse width time Tp2: Pulse width time
Ts: control cycle iL: electromagnet current
iLmax: current value iLmin: current value
Claims (5)
상기 케이싱의 내측에, 회전이 자유롭게 지지된 로터축과,
상기 로터축과 함께 회전 가능한 복수 단의 회전 날개와,
상기 케이싱에 대해 고정되며, 또한, 상기 복수 단의 회전 날개 사이에 배치되는 복수 단의 고정 날개와,
상기 복수 단의 고정 날개를 소정 간격으로 유지하는 냉각측 스테이터 및 가열측 스테이터
를 구비한 진공 펌프로서,
상기 냉각측 스테이터와 상기 가열측 스테이터 사이를 단열하는 소정 폭의 간극의 개구부를,
상기 로터축의 축방향에 있어서 상기 회전 날개의 외주면과 대향하지 않는 위치에 형성한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.A casing having an intake port and an exhaust port;
Inside the casing, a rotor shaft freely supported for rotation;
A plurality of stages of rotary blades rotatable together with the rotor shaft;
A plurality of stator blades fixed to the casing and disposed between the plurality of stages of rotary blades;
A cooling-side stator and a heating-side stator holding the plurality of stator blades at predetermined intervals.
As a vacuum pump having a,
An opening of a gap having a predetermined width for thermal insulation between the cooling-side stator and the heating-side stator,
A vacuum pump characterized in that it is formed at a position not facing an outer circumferential surface of the rotor blade in the axial direction of the rotor shaft.
상기 간극의 형상은, 상기 축방향과 수직인 경방향(徑方向)의 외측을 향해 수평으로 연장되는 제1 간극 부분과, 상기 제1 간극 부분의 외단(外端)으로부터 더욱 상기 경방향의 외측, 또한, 상기 축방향의 하류측을 따라 연장되는 제2 간극 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.The method of claim 1,
The shape of the gap is: a first gap portion extending horizontally outward in a radial direction perpendicular to the axial direction; , and also has a second gap portion extending along the downstream side in the axial direction.
상기 간극의 형상은, 상기 축방향의 하류측을 따라 연장되는 제3 간극 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.According to claim 1 or claim 2,
The vacuum pump characterized in that the shape of the gap has a third gap portion extending along the downstream side in the axial direction.
상기 간극의 형상은, 상기 축방향과 수직인 경방향의 외측, 또한, 상기 축방향의 상류측으로 연장되는 제4 간극 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.The method according to any one of claims 1 to 3,
The shape of the gap has a fourth gap portion extending outward in a radial direction perpendicular to the axial direction and upstream in the axial direction.
상기 간극의 형상은, 상기 개구부의 상부에, 상기 개구부보다 상기 케이싱의 내측을 향해 돌출되어 있는 처마부를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
The method according to any one of claims 1 to 4,
The vacuum pump characterized in that the shape of the gap has an eaves protruding toward an inside of the casing from an upper portion of the opening portion.
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