KR20230045697A - 기판표면 결함 리뷰장치 - Google Patents

Abstract

기판표면 결함 리뷰장치를 제공한다.
본 발명은 스테이지의 양측에 구비되는 한쌍의 메인 리니어가이드를 따라 활주이동되는 적어도 하나의 이동겐트리 ; 상기 이동겐트리의 한쌍의 상부 리니어가이드를 따라 활주이동되는 한쌍의 제1슬라이더 사이를 연결하는 제1연결대를 갖추어 Y축방향으로 이동되는 제1이동블럭체 ; 상기 한쌍의 상부 리니어가이드를 따라 활주이동되는 한쌍의 제2슬라이더사이를 연결하는 제2연결대를 갖추어 Y축방향으로 이동되는 제2이동블럭체; 상기 제1이동블럭체에 구비되는 제3리니어가이드를 따라 활주이동되는 제3슬라이더와 결합되는 제1카메라브라켓에 기판 표면을 검사하는 제1리뷰카메라를 갖추어 X축방향으로 이동되는 제3이동블럭체 ; 상기 제2이동블럭체에 구비되는 제4리니어가이드를 따라 활주이동되는 제4슬라이더와 결합되는 제2카메라브라켓에 기판 표면을 검사하는 제2리뷰카메라를 갖추어 기판의 X축방향으로 이동되는 제4이동블럭체 ; 및 상기 기판의 표면에 대한 스캐닝 검사시 검출되어 확인된 결함형태를 근거로 하여 상기 이동겐트리의 개구부에서 X축방향 및 Y축방향으로 이동되는 제1리뷰카메라의 리뷰 작동모드와 상기 제2리뷰카메라의 리뷰 작동모드를 복합적으로 선택하여 제어하는 제어부;를 포함한다.

Description

기판표면 결함 리뷰장치{Substrate surface defect review apparatus}

본 발명은 기판의 표면에 발생된 결함을 리뷰하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 기판 표면에 대한 스캐닝검사 공정에서 확인된 군집성 결함 및 독립성 결함을 근거로 하여 리뷰카메라를 최적화된 리뷰 작동모드로 선택적으로 제어하면서 기판의 결함에 대한 리뷰를 초고속으로 정밀하게 수행할 수 있는 기판표면 결함 리뷰장치에 관한 것이다.

일반적으로, 표시용 패널로서 사용되는 액정 디스플레이 장치의 TFT(Thin Film Transistor) 기판이나 컬러 필터 기판, 플라즈마 디스플레이 패널용 기판, 유기 EL(Electroluminescence) 표시 패널용 기판 등의 제조는, 포토리소그래피 기술에 의해 유리 기판 상에 전기회로 패턴을 형성하여 수행된다.

그리고, 전기회로 패턴을 유리 기판에 형성하기 위한 노광공정 및 에칭 공정은 회로를 적층하기 위해 반복적으로 행해지며 정밀도가 요구되는 핵심공정이며, 유리 기판의 표면이나 내부에 흠집이나 이물질등의 결함이 존재하면, 패턴이 양호하게 형성되지 않아 불량의 원인이 된다.

이로 인해, 유리 기판의 표면에 발생된 결함을 검사하는 장치를 사용하여 유리 기판에 형성된 회로 패턴의 단선(Open) 또는 단락(Short)과 같은 결함과 더불어 표면 흠집이나 이물질 등과 같은 결함에 대한 검사가 필수적으로 행해지고 있다.

현재, 대형 디스플레이의 소비추세에 유리 기판의 대형화가 빠른 속도로 진행되고 있음에 따라 이에 수비되어 유리 기판의 결함을 검사하는 장치의 대형화도 필수적이다.

즉, 검사대상물인 유리 기판을 스캔 스테이지에 안착한 상태에서 스캔 카메라로 유리 기판의 전체 표면의 촬영하면서 결함의 위치를 검출한다. 상기 유리 기판의 결함이 검출되면, 상기 유리 기판을 리뷰 스테이지에 안착한 상태에서 스캐닝된 검출된 결함의 좌표를 이용하여 리뷰 카메라가 리뷰 스테이지 상에서 일 방향으로 직선 이동하면서 결함을 보다 구체적으로 확인한다.

그리고, 상기 리뷰 카메라에서 구체적으로 확인되어 리뷰된 결함부위인 회로 패턴의 단선(Open) 또는 단락(Short)을 보수하는 리페어 공정을 후공정으로 수행하게 된다.

이러한 결함을 검사하는 속도를 향상시키기 위하여는 제한된 공정 시간 내에 광학 검사장비를 이용하여 최대한 많은 결함을 찾아내는 것이 매우 중요한데, 특히, 기판제품의 대형화 및 대량 생산이 가속화됨에 따라 결함검사 공정단계에서 빠른 시간내에 기판의 결함을 확인하여 검출하고 이를 근거로 하여 기판의 양불을 판정하고 보수여부를 판덩하는 기술이 더욱 중요해지고 있다.

(특허문헌 1) KR10-1751801 B1

특허문헌 1은 제어부에서 기판을 따라 이동되는 갠트리가 기설정된 일정 속도로 이동하도록 제어하고, 프로브의 측정 동작을 제어하며, 제1보조이동블록이 갠트리의 이동속도와 동일한 속도로 갠트리의 이동방향의 반대의 X축방향으로 이동되도록 제어하면서 프로브가 기판의 결함에 대하여 일시적으로 정지할 때 기판의 결함을 측정하는 것입니다.

그러나 이러한 기판표면 결함 리뷰장치는 기판의 전체적인 길이와 폭과 대응하는 이동거리를 따라 반복적으로 이동하는 과정에서 중량물인 겐트리의 떨림과 진동에 기인하여 결함부위를 검출하는데 오류가 발생되는 치명적인 문제점이 발생하였다.

또한, 스테이지 상에서 겐트리를 기판의 길이방향인 X축방향으로 이동시키고, 카메라가 장착된 이동블럭을 겐트리에서 기판의 폭방향인 Y축방향으로 이동시키는 시간을 단축시켜 검사속도를 높이기 위해서는 동력원인 리니어 모터의 용량을 증대시켜야 하는데 용량 증대시 검사장비의 제조비용을 상승시키는 문제점이 발생하였다.

그리고 리니어 모터의 용량을 증대시켜 이동속도를 빠르게 하여도 유리 기판의 결함검사시 중량물인 겐트리가 스테이지 상에서 기판의 전체길이를 따라 이동하는 과정에서 필수적으로 발생되는 진동이나 떨림을 완벽하게 해결하지 못하게 되는 문제점이 발생하였다.

또한, 기판의 표면에서 스캐닝되어 확인되는 복수의 결함들이 서로 매우 인접하면서 군집을 이루는 것으로 확인되는 군집성 결함부위와, 기판의 표면에서 확인되는 복수의 결함이 서로 일정간격을 두고 멀리 떨어지는 것으로 확인되는 독립성 결함부위와 같이 서로 다른 형태의 결함부위에 대하여 하나의 리뷰 카메라를 이용하여 하나의 단일한 작동모드로 리뷰공정을 수행하는 과정에서 리뷰의 정확도를 높이면서 검사공정 시간을 단축하는데 한계가 있었다.

따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 겐트리에서 카메라를 X축방향과 Y축방향으로 복합이동시키는 구조물의 경량화에 의해서 유리 기판의 표면에서 스캐닝 확인된 결함에 대한 리뷰시 진동 및 떨림을 방지하여 리뷰 정확도를 높일 수 있는 기판표면 결함 리뷰장치를 제공하고자 한다.

또한, 본 발명은 유리 기판의 표면에서 스캐닝 확인된 결함의 결함형태에 맞추어 최적화된 검사모드로 리뷰카메라를 위치이동시키면서 기판의 표면에서 확인된 결함에 대한 리뷰공정을 탄력적이고 복합적으로 수행할 수 있는 기판표면 결함 리뷰장치를 제공하고자 한다.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서, 본 발명의 바람직한 실시예는, 기판이 올려지는 고정안착대가 상부면에 위치고정되는 스테이지 ; 상기 스테이지의 양측에 구비되는 한쌍의 메인 리니어가이드를 따라 활주이동되는 한쌍의 메인 슬라이더를 하부단에 갖추어 X축방향으로 이동가능한 적어도 하나의 이동겐트리 ; 상기 이동겐트리의 상부면에 양측에 구비되는 한쌍의 상부 리니어가이드를 따라 활주이동되는 한쌍의 제1슬라이더 사이를 연결하는 제1연결대를 갖추어 Y축방향으로 이동되는 제1이동블럭체 ; 상기 한쌍의 상부 리니어가이드를 따라 활주이동되는 한쌍의 제2슬라이더사이를 연결하는 제2연결대를 갖추어 Y축방향으로 이동되는 제2이동블럭체; 상기 제1이동블럭체에 구비되는 제3리니어가이드를 따라 활주이동되는 제3슬라이더를 갖추고, 상기 제3슬라이더와 결합되는 제1카메라브라켓에 기판 표면을 검사하는 제1리뷰카메라를 갖추어 X축방향으로 이동되는 제3이동블럭체 ; 상기 제2이동블럭체에 구비되는 제4리니어가이드를 따라 활주이동되는 제4슬라이더를 갖추고, 상기 제4슬라이더와 결합되는 제2카메라브라켓에 기판 표면을 검사하는 제2리뷰카메라를 갖추어 기판의 X축방향으로 이동되는 제4이동블럭체 ; 및 상기 기판의 표면에 대한 스캐닝 검사시 검출되어 확인된 결함형태를 근거로 하여 상기 이동겐트리의 개구부에서 X축방향 및 Y축방향으로 이동되는 제1리뷰카메라의 리뷰 작동모드와 상기 제2리뷰카메라의 리뷰 작동모드를 복합적으로 선택하여 제어하는 제어부;를 포함하는, 기판표면 결함 리뷰장치를 제공한다.

이때, 상기 제어부는 상기 이동겐트리의 개구부와 대응하여 위치하는 기판의 리뷰영역에서 확인된 군집성 결함의 위치좌표값과 독립성 결함의 위치좌표값을 근거로 하여, 상기 군집성 결함의 위치좌표값과 대응하는 제3,4리뷰카메라 중 어느 하나의 리뷰카메라는 상기 리뷰영역에서의 위치이동시 정지포인트가 없는 플라이 작동모드로 제어하고, 상기 독립성 결함의 위치좌표값과 대응하는 제1,2리뷰카메라 중 어느 하나의 리뷰카메라는 상기 리뷰영역에서의 위치이동시 정지포인트가 있는 PTP 작동모드로 제어할 수 있다.

이때, 싱기 제어부는 상기 군집성 결함과 독립성 결함의 좌표값을 근거로 하여 상기 고정안착대에 올려지는 기판의 일부가 상기 이동겐트리의 개구부에 위치되도록 상기 이동겐트리의 X축방향 이동을 제어할 수 있다.

이때, 상기 제1,2카메라브라켓에는 높이조절용 제1,2모터부재가 고정설치되고, 상기 제1,2리뷰카메라가 고정설치되는 제1,2카메라고정대는 높이조절용 제1,2모터부재에 의해서 Z축방향으로 상하이동될 수 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 바람직한 실시 예에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.

전공정에서 기판표면에 발생된 결함을 스캐닝하여 군집성 결함과 독립성 결함을 검출하여 확인한 상태에서, 군집성 결함 및 독립성 위치좌표값을 근거로 하여Y축방향으로 이동되는 이동블럭체와 X축방향으로 이동되는 이동블럭체를 리뷰카메라의 복합적인 제어이동에 의해서 위치이동시킴으로써 중량이 가벼운 이동블럭체의 이동시 진동 및 떨림발생을 최소화하여 리뷰카메라에 의한 기판 결함을 검사하는 정밀도를 높일 수 있다.

위치고정된 기판에 대하여 이동되는 이동겐트리의 개구부에서 군집성 결함의 위치좌표값을 근거로 하여 리뷰시 위치이동되는 제1,2리뷰카메라의 이동속도를 높일 수 있기 때문에 기판에 대한 리뷰속도를 향상시켜 리뷰공정에 소요되는 시간을 현저히 단축할 수 있는 효과가 얻어진다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판표면 결함 리뷰장치를 도시한 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판표면 결함 리뷰장치를 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판표면 결함 리뷰장치를 도시한 정면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판표면 결함 리뷰장치에 적용되는 이동겐트리 및 제1,2,3 및 4이동블럭체를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판표면 결함 리뷰장치에 적용되는 제3,4이동블럭체를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판표면 결함 리뷰장치에 적용되는 플라이 작동모드와 PTP 작동모드를 도시한 위치그래프이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 구조 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.

또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 구성 요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

본 발명의 실시예에 따른 기판표면 결함 리뷰장치(100a)는 도 1에 도시한 바와 같이, 스캐닝카메라에 의해서 기판표면을 스캐닝한 후 확인되는 군집성 결함이나 독립성 결함과 같은 결함의 형태에 맞추어 리뷰카메라의 작동모드를 복합적으로 선택하면서 리뷰 공정을 초고속으로 정밀하게 수행할 수 있도록 스테이지(1)에 이동가능하게 설치된 이동겐트리(110)에서 Y축방향으로 이동되는 제1,2이동블럭체(150,160), 상기 이동겐트리(110)의 개구부(116)에 해당하는 리뷰영역에서 X축방향으로 이동되는 제3,4이동블럭체(170,180) 및 제어부를 포함할 수 있다.

상기 스테이지(1)는 도 1, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 리뷰 대상물인 기판이 올려지는 고정안착대(2a)를 상부면에 위치고정하여 설치하며, 상기 고정안착대의 양측과 대응하는 양측단 테두리를 따라 X축방향으로 왕복이동되는 적어도 하나의 이동겐트리(110)를 포함한다.

상기 이동겐트리(110)는 도 1, 도 2, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 스테이지(1) 양측 테두리에 배치되는 좌우한쌍의 메인리니어가이드(111)를 갖추고, 상기 메인 리니어가이드와 결합되어 이에 X축방향으로 활주이동가능하게 조립되는 좌우한쌍의 메인 슬라이더(112)를 포함하는 이동구조물이다.

이러한 이동겐트리(110)의 하부단은 상기 좌우한쌍의 메인 슬라이더(112)에 의해서 상기 스테이지(1)의 고정안착대(2a)에 대하여 X축방향으로 이동가능하게 설치되는 것이다.

상기 이동겐트리(110)는 상기 메인 슬라이더(112)에 올려지는 이동판(113)과 결합되는 한쌍의 수직대(114)를 포함하고, 상기 이동판은 일정높이를 갖는 수직대(114)를 매개로 하여 몸체중앙에 대략 직사각형의 개구부(116)를 관통형성한 수평대(115)와 결합된다.

상기 수평대(115)의 개구부(116)에서 상기 제1,2이동블럭체(150,160)는 Y축방향으로 간섭없이 이동되고, 상기 제3,4이동블럭체(170,180)는 X축방향으로 간섭없이 이동되는 것이다.

이때 상기 이동겐트리(110)는 스테이지(1)에 일정간격으로 두고 Y축방향으로 서로 나란하게 한쌍으로 X축방향으로 이동가능하게 구비되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며 상기 스테이지의 일측에 하나의 이동구조물로 독립적인 형태로 구비될 수 있다.

상기 제1이동블럭체(150)는 도 1, 도 2, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이,상기 수평대(115)의 개구부 양측에 고정설치되는 한쌍의 상부 리니어가이드(117)를 따라 구동력에 의해서 활주이동되는 한쌍의 제1슬라이더(152)를 갖추고, 상기 한쌍의 제1슬라이더와의 사이를 연결하는 대략 사각판상의 제1연결대(153))를 포함한다.

이에 따라, 상기 제1이동블럭체(150)는 상기 수평대에 구비되는 리니어모터의 구동시 상부 리니어가이드(117)를 따라 제1연결대와 더불어 한쌍의 제1슬라이더(152)를 Y축방향으로 왕복이동시킨다.

상기 제2이동블럭체(160)는 도 1, 도 2, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이,상기 제1이동블럭체와 대략 동일한 구조를 갖추어 상기 제1이동블럭체와 Y축방향으로 서로 마주하는 것으로, 이러한 제2이동블럭체(160)는 상기 수평대(115)에 설치되는 한쌍의 상부 리니어가이드(117)를 따라 구동력에 의해서 활주이동되는 한쌍의 제2슬라이더(162)를 갖추고, 상기 한쌍의 제2슬라이더와의 사이를 연결하는 대략 사각판상의 제2연결대(163)를 포함한다.

이에 따라, 상기 제2이동블럭체(160)는 제1이동블럭체와 동일하게 상기 수평대의 상부면에 한쌍의 구비되는 리니어모터의 구동시 한쌍의 상부 리니어가이드(117)를 따라 제2연결대와 더불어 제2슬라이더(162)를 Y축방향으로 슬라이딩이동시킨다.

이때, 서로 마주하는 제1,2연결대(153,163) 중 일측 연결대에는 접촉바를 갖추고, 이에 대응하는 타측 연결대에는 기판 표면의 결함에 대한 리뷰중 Y축방향으로 이동되면서 서로 인접하게 되는 제1,2이동블럭체간의 충돌시 충격을 흡수할 수 있도록 상기 접촉바와 접촉시 충격을 흡수하는 압소바를 설치하는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 상부 리니어가이드와 이에 활주이동가능하게 조립되는 제1,2슬라이더는 전원인가시 상기 제1,2슬라이더를 Y축방향으로 왕복이동시키는 구동력을 발생시키는 리니어모터로 구비되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 한쌍의 상부 리니어가이드 중 하나는 전원인가시 구동력을 발생시키는 리니어모터로 구비되고 나머지 하나는 슬라이더가 무동력으로 활주이동가능하게 조립되는 안내레일로 구비되어 이에 대응하는 리니어모터의 구동력에 의해서 연동하여 작동될 수 있다.

상기 제3이동블럭체(170)는 도 1, 도 2, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 제1이동블럭체의 Y축방향 이동방향과 직교하는 X축방향으로 다른 리니어모터의 구동력에 의해서 이동되는 것으로, 이러한 제3이동블럭체(170)는 상기 제1이동블럭체(150)의 제1연결대(153)의 상부면에 고정설치되는 제3리니어가이드(171)를 포함하고, 상기 제3리니어가이드(171)를 따라 구동력에 의해서 X축방향으로 활주이동되는 제3슬라이더(172)를 포함한다.

상기 제3슬라이더(172)에는 상기 고정안착대(2a)에 올려진 기판의 표면을 검사하는 제1리뷰카메라(174)가 고정설치되는 제1카메라브라켓(173)을 포함한다.

이에 따라, 상기 제3이동블럭체(170)는 상기 제1연결대의 상부면에 구비되는 리니어모터의 구동시 제3리니어가이드(171)를 따라 제3슬라이더(172)를 상기 제1이동블럭체의 이동방향과 직교하는 Y축방향으로 슬라이딩이동시킴으로써, 상기 제1리뷰카메라는 상기 제1이동블럭체의 제1슬라이더를 Y축방향으로 위치이동시키는 작동제어와 상기 제3이동블럭체의 제3슬라이더를 X축방향으로 위치이동시키는 작동제어에 의해서 상기 이동겐트리의 수평대에 관통형성된 개구부와 대응하는 기판의 리뷰 영역에서 결함형태에 맞추어 PTP 작동모드 또는 플라이 작동모드(Fly mode)로 선택되어 위치이동되면서 리뷰를 수행하게 된다.

상기 제4이동블럭체(180)는 도 1, 도 2, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 제3이동블럭체와 마찬가지로 제2이동블럭체의 Y축방향 이동과 직교하는 X축방향으로 다른 리니어모터의 구동력에 의해서 이동되는 것으로, 이러한 제4이동블럭체(180)는 상기 제2이동블럭체(160)의 제2연결대(163)의 상부면에 고정설치되는 제4리니어가이드(181)를 포함하고, 상기 제4리니어가이드(181)를 따라 구동력에 의해서 X축방향으로 활주이동되는 제4슬라이더(182)를 포함한다.

상기 제4슬라이더(182)에는 상기 고정안착대(2a)에 올려진 기판의 표면을 검사하는 제2리뷰카메라(184)가 고정설치되는 제2카메라브라켓(183)을 포함한다.

이에 따라, 상기 제4이동블럭체(180)는 상기 제2연결대의 상부면에 구비되는 리니어모터의 구동시 제4리니어가이드(181)를 따라 제4슬라이더(182)를 상기 제2이동블럭체의 이동방향과 직교하는 X축방향으로 슬라이딩이동시킴으로써, 상기 제2리뷰카메라(184)는 제1리뷰카메라와 마찬가지로 상기 제2이동블럭체의 제2슬라이더를 Y축방향으로 위치이동시키는 작동제어와 상기 제4이동블럭체의 제4슬라이더를 X축방향으로 위치이동시키는 작동제어에 의해서 상기 이동겐트리의 수평대에 관통형성딘 개구부에 해당하는 기판의 리뷰 영역에서 결함형태에 맞추어 PTP 작동모드 또는 플라이 작동모드(Fly mode)로 선택되어 위치이동되면서 복합적으로 리뷰를 수행하게 된다.

한편, 상기 제1카메라브라켓(173)과 제2카메라브라켓(183)에는 도 5에 도시한 바와 같이, 높이조절용 제1,2모터부재(175,185)가 고정설치되고, 상기 제1,2리뷰카메라가 고정설치되는 제1,2카메라고정대(176,186)는 높이조절용 제1,2모터부재에 의해서 Z축방향으로 상하이동된다.

이에 따라, 상기 높이조절용 제1,2모터부재의 작동에 의해서 상기 제1,2카메라고정대를 상하방향으로 위치이동시킴으로써 상기 기판과 상기 제1,2리뷰카메라와의 사이인 간격을 넓히거나 좁힐 수 있도록 조절할 수 있다.

그리고, 상기 제1,2리뷰카메라에 의한 리뷰 공정 이전에 상기 기판의 전체 표면을 스캐닝카메라로서 스캐닝하며, 상기 스캐닝카메라에 의해서 스캐닝 검출되어 확인되는 결함발생 형태는 기판의 단위면적당 발생된 결함의 수량으로 나타나는 결함 밀집분포를 근거로 하여, 기판의 표면에서 확인되는 복수의 결함들이 서로 매우 인접하면서 군집을 이루는 것으로 확인되는 군집성 결함과, 기판의 표면에서 확인되는 복수의 결함이 서로 일정간격을 두고 원거리로 떨어져 있는 것으로 확인되는 독립성 결함으로 확인되어 구별될 수 있다.

이때, 상기 기판의 표면에서 스캐닝되어 확인되는 결함의 밀집분포에 따른 형태는 군집성 결함과 독립성 결함이 혼재하여 발생하게 된다.

상기 제어부는 스캐닝공정에서 스캐닝된 기판표면의 결함형태를 수신하여 저장하고, 이를 토대로 기판 표면의 결함의 밀집분포를 연산하여 군집성 결함이 발생된 위치와 독립성 결함이 발생된 위치를 확인한 다음, 이를 근거로 하여 상기 이동겐트리의 수평대에 관통형성된 개구부와 대응하는 리뷰영역에서 X축방향 및 Y축방향으로 이동되는 제3리뷰카메라의 리뷰 작동모드와 상기 제4리뷰카메라의 리뷰 작동모드를 복합적으로 선택하여 위치이동을 제어함으로써 기판의 표면에 복합적으로 발생되는 군집성 결함과 독립성 결함에 대하여 이에 부합되는 최적화된 작동모드로서 효율적으로 기판표면의 결합에 대한 리뷰를 정밀하고 신속하게 수행할 수 있는 것이다.

즉, 상기 제어부는 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 이동겐트리의 개구부와 대응하는 기판의 리뷰영역에서 확인된 군집성 결함의 위치좌표값과 독립성 결함의 위치좌표값을 근거로 하여 상기 군집성 결함의 위치좌표값과 대응하는 제1,2리뷰카메라 중 어느 하나의 리뷰카메라는 상기 리뷰영역의 위치이동시 정지포인트가 없는 플라이 작동모드로 제어하고, 상기 독립성 결함의 위치좌표값과 대응하는 제3,4리뷰카메라 중 어느 하나의 리뷰카메라는 상기 리뷰영역의 위치이동시 정지포인트가 있는 PTP 작동모드로 제어할 수 있다.

이러한 제어부에서 선택되는 플라이 작동모드 또는 PTP 작동모드에 의해서 상기 제1,2이동블럭체(150,160)는 상기 스테이지에 이동가능하게 구비되는 이동겐트리(110)의 개구부와 대응하는 리뷰영역에서 Y축방향으로 위치이동됨과 동시에 상기 제3,4이동블럭체(170,180)는 X축방향으로 위치이동되면서 기판의 군집성 결함과 독립성 결함에 대한 리뷰를 제1,2리뷰카메라에 의해서 복합적으로 수행하게 된다.

이때, 플라이 작동모드 또는 PTP 작동모드로 위치이동되는 제1,2,3 및 4이동블럭체는 전체적인 부피가 작고 경량화되어 있기 때문에 위치이동시 발생되는 진동이나 떨림을 최소화할 수 있어 리뷰 정밀도를 높일 수 있다.

상기 제1,2리뷰카메라가 군집성 결함이 발생된 기판의 표면을 따라 플라이 작동모드로 제어되면서 이동되면, 리뷰공정시 군집성 결함을 제1,2리뷰카메라의 정지없이 고화질의 영상을 취득할 수 있기 때문에 종래와 같이 리뷰카메라가 정지후 결함 이미지 획득을 진행하면서 불가피하게 진동을 유발하게 되고, 이로 인하여 영상 획득을 위한 딜레이 시간이 발생되면서 리뷰시간이 길어지는 것을 근본적으로 해결할 수 있다.

또한, 상기 제어부는 전공정에서 확인된 군집성 결함과 독립성 결함의 좌표값을 근거로 하여 상기 고정안착대(2a)에 올려지는 기판의 리뷰영역이 이동겐트리의 개구부에 위치되도록 상기 기판이 올려진 고정안착대를 위치고정한 상태에서 상기 이동겐트리를 X축방향으로 위치이동시키는 것을 제어할 수 있다.

이때, 플라이 작동모드 또는 PTP 작동모드로 위치이동되는 제1,2,3 및 4이동블럭체는 전체적인 부피가 작고 경량화되어 있기 때문에 위치이동시 발생되는 진동이나 떨림을 최소화할 수 있어 리뷰 정밀도를 높일 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.

1 : 스테이지
2a : 고정안착대
110 : 이동겐트리
111 : 메인 리니어가이드
112 : 메인 슬라이더
113 : 이동판
115 : 수평대
116 : 개구부
150 : 제1이동블럭체
160 : 제2이동블럭체
152,162 : 제1,2슬라이더
153,163 : 제1,2연결대
170 : 제3이동블럭체
180 : 제4이동블럭체
182 : 제3,4슬라이더
172,182 : 제3,4슬라이더
173,183 : 제1,2카메라브라켓
174,184 : 제1,2리뷰카메라
175,185 : 높이조절용 제1,2모터부재

Claims (4)

1. 기판이 올려지는 고정안착대가 상부면에 위치고정되는 스테이지 ;
   상기 스테이지의 양측에 구비되는 한쌍의 메인 리니어가이드를 따라 활주이동되는 한쌍의 메인 슬라이더를 하부단에 갖추어 X축방향으로 이동가능한 적어도 하나의 이동겐트리 ;
   상기 이동겐트리의 상부면에 양측에 구비되는 한쌍의 상부 리니어가이드를 따라 활주이동되는 한쌍의 제1슬라이더 사이를 연결하는 제1연결대를 갖추어 Y축방향으로 이동되는 제1이동블럭체 ;
   상기 한쌍의 상부 리니어가이드를 따라 활주이동되는 한쌍의 제2슬라이더사이를 연결하는 제2연결대를 갖추어 Y축방향으로 이동되는 제2이동블럭체;
   상기 제1이동블럭체에 구비되는 제3리니어가이드를 따라 활주이동되는 제3슬라이더를 갖추고, 상기 제3슬라이더와 결합되는 제1카메라브라켓에 기판 표면을 검사하는 제1리뷰카메라를 갖추어 X축방향으로 이동되는 제3이동블럭체 ;
   상기 제2이동블럭체에 구비되는 제4리니어가이드를 따라 활주이동되는 제4슬라이더를 갖추고, 상기 제4슬라이더와 결합되는 제2카메라브라켓에 기판 표면을 검사하는 제2리뷰카메라를 갖추어 기판의 X축방향으로 이동되는 제4이동블럭체 ; 및
   상기 기판의 표면에 대한 스캐닝 검사시 검출되어 확인된 결함형태를 근거로 하여 상기 이동겐트리의 개구부에서 X축방향 및 Y축방향으로 이동되는 제1리뷰카메라의 리뷰 작동모드와 상기 제2리뷰카메라의 리뷰 작동모드를 복합적으로 선택하여 제어하는 제어부;를 포함하는, 기판표면 결함 리뷰장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제어부는 상기 이동겐트리의 개구부와 대응하여 위치하는 기판의 리뷰영역에서 확인된 군집성 결함의 위치좌표값과 독립성 결함의 위치좌표값을 근거로 하여,
   상기 군집성 결함의 위치좌표값과 대응하는 제3,4리뷰카메라 중 어느 하나의 리뷰카메라는 상기 리뷰영역에서의 위치이동시 정지포인트가 없는 플라이 작동모드로 제어하고,
   상기 독립성 결함의 위치좌표값과 대응하는 제1,2리뷰카메라 중 어느 하나의 리뷰카메라는 상기 리뷰영역에서의 위치이동시 정지포인트가 있는 PTP 작동모드로 제어하는, 기판표면 결함 리뷰장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 제어부는 상기 군집성 결함과 독립성 결함의 좌표값을 근거로 하여 상기 고정안착대에 올려지는 기판의 일부가 상기 이동겐트리의 개구부에 위치되도록 상기 이동겐트리의 X축방향 이동을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판표면 결함 리뷰장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한항에 있어서,
   상기 제1,2카메라브라켓에는 높이조절용 제1,2모터부재가 고정설치되고, 상기 제1,2리뷰카메라가 고정설치되는 제1,2카메라고정대는 높이조절용 제1,2모터부재에 의해서 Z축방향으로 상하이동되는, 기판표면 결함 리뷰장치.

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