KR20230042290A - 진공 누출 검출 시스템, 가스 제어 유닛 및 가스 누출 검출을 위한 방법 - Google Patents

진공 누출 검출 시스템, 가스 제어 유닛 및 가스 누출 검출을 위한 방법 Download PDF

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KR20230042290A
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다니엘 베트지그
맥시밀리안 라이스만
조셉 그렌즈
트리에스트 핸드릭 반
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인피콘 게엠베하
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Abstract

본 발명은 테스트 챔버 가스 입구(20) 및 테스트 챔버 가스 출구(22)를 갖는 테스트 챔버 유닛(12), 가스 검출 가스 입구(32) 및 가스 검출 가스 출구(34)를 갖는 가스 검출 유닛(14), 및 테스트 챔버 가스 입구(20) 및 테스트 챔버 가스 출구(22)를 가스 검출 가스 입구(32) 및 가스 검출 가스 출구(34)에 연결하고, 테스트 챔버 유닛(12) 및 가스 검출 유닛(14)에 연결되고, 테스트 챔버 유닛(12) 및 가스 검출 유닛(14)의 가스 입구들(20, 40) 및 가스 출구들(22, 34)을 선택적으로 연결하기 위한 별도의 가스 라인 경로들(48, 52, 54, 56, 60)을 갖는 가스 제어 유닛(16)을 포함하는 진공 누출 검출 시스템(10)에 관한 것이며, 가스 제어 유닛(16)은 대기를 향해 개방되어 있으며 제3 가스 입구(44)를 통해 유입되는 캐리어 가스를 테스트 챔버 유닛(12)으로 공급하기 위해 가스 제어 유닛(16)을 통해 이어지는 가스 라인 경로(48)를 통해 테스트 챔버 가스 입구(20)에 연결될 수 있는 제3 가스 입구(44)를 갖는다.

Description

진공 누출 검출 시스템, 가스 제어 유닛 및 가스 누출 검출을 위한 방법
본 발명은 진공 누출 검출 시스템, 가스 제어 유닛 및 가스 누출 검출을 위한 방법에 관한 것이다.
INFICON의 UL3000®과 같은 고전적인 헬륨 진공 누출 검출 디바이스는 질량 분석기 형태의 통합된 헬륨 측정 디바이스를 갖는 진공 제어 유닛을 포함한다. 디바이스는 별도의 진공 라인을 통해 테스트 챔버 또는 테스트 객체에 연결하기 위한 진공 펌프를 포함한다. 여기에서, 진공 제어 유닛, 헬륨 질량 분석기 및 진공 펌프는 공통 하우징 내에서 유닛을 형성한다.
다른 헬륨 진공 누출 검출 디바이스에서, INFICON의 LDC3000®, 섹터-필드 질량 분석기 및 이에 플랜징된(flanged) 밸브 블록을 갖는 터보 분자 펌프가 테스트 시스템에 통합된 헬륨 검출기 유닛을 형성한다. 테스트 시스템은 테스트 챔버, 펌프 스탠드 및 진공 누출 검출기를 포함한다. 헬륨 검출기 유닛은 각각의 연결 라인을 통해 진공 테스트 챔버 및 펌프 스탠드에 가스-도통 방식으로 연결된다.
본 발명의 목적은 테스트 챔버로부터 가스 검출기로의 테스트 가스의 유연하고 제어 가능한 공급을 가능하게 하는 테스트 가스 진공 누출 검출 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 진공 누출 검출 시스템은 독립 청구항 1의 특징에 의해 정의된다. 본 발명에 따른 가스 제어 유닛은 독립 청구항 2의 특징에 의해 정의된다.
이에 따르면, 진공 누출 검출 시스템은 테스트 챔버 가스 입구 및 테스트 챔버 가스 출구를 갖는 테스트 챔버 유닛, 가스 검출 가스 입구 및 가스 검출 가스 출구를 갖는 가스 검출 유닛, 및 가스 검출 유닛 및 테스트 챔버 유닛의 가스 입구 및 가스 출구를 연결하는 가스 제어 유닛인 3개의 구성 요소를 포함하며, 가스 제어 유닛은 테스트 챔버 유닛 및 가스 검출 유닛에 연결된다. 가스 제어 유닛은 가스 검출 가스 입구 및 가스 검출 가스 출구에 대한 테스트 챔버 가스 출구의 선택적인 연결을 위한 별도의 가스 도통 경로를 포함한다.
가스 제어 유닛은 진공 누출 검출 시스템의 테스트 챔버 유닛 및 가스 검출 유닛에 연결될 수 있으며, 테스트 챔버 유닛 및 가스 검출 유닛의 가스 입구 및 가스 출구의 선택적인 연결을 위해 별도의 가스 도통 경로를 갖는다. 특히, 가스 제어 유닛의 별도의 가스 입구를 통해 유입되는 캐리어 가스를 테스트 챔버 유닛으로 공급하기 위해, 가스 제어 유닛의 별도의 가스 입구가 가스 제어 유닛을 통과하는 가스 도통 경로를 통해 테스트 챔버 가스 입구에 연결되도록 제공된다. 가스 제어 유닛에 존재하는 진공 펌프가 이러한 목적으로 사용될 수 있다. 특히, 가스 제어 유닛은 테스트 챔버 유닛에 대한 캐리어 가스 공급을 제어하도록 구성된다. 이것은 캐리어 가스 공급이 가스 제어 유닛에 의해 개방 및/또는 폐쇄될 수 있고/있거나 캐리어 가스의 양이 변화될 수 있음을 의미한다. 이를 위해, 예를 들어, 가변 통로 및/또는 별도로 제어 가능한 밸브를 갖는 흐름 스로틀(throttle)이 제공될 수 있다.
본 발명의 변형은 서로 분리 가능하게 연결되도록 적응된 별도의 모듈로서 설계된 테스트 챔버 유닛, 가스 검출 유닛 및 가스 제어 유닛으로 구성될 수 있다. 3개의 모듈은 모듈을 연결하기 위한 별도의 진공 라인을 필요로 하지 않고 서로 직접 커플링될 수 있다. 이러한 방식으로, 공통 진공 누출 검출 유닛이 예를 들어, 공통 하우징에 배열된 3개의 모듈로부터 형성될 수 있다. 테스트 챔버 유닛, 가스 제어 유닛 및/또는 가스 검출 유닛은 진공 누출 검출 시스템을 개별 테스트 조건에 적응시킬 수 있도록 다른 모듈에 대해 선택적으로 교환될 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 도면은 개략적인 블록도의 형태로 실시예를 도시한다.
도면은 테스트 챔버 유닛(12), 가스 검출 유닛(14) 및 가스 제어 유닛(16)을 갖는 진공 누출 검출 시스템(10)을 도시한다.
테스트 챔버 유닛(12)은 강성 테스트 챔버 또는 예를 들어, 필름 챔버의 형태인 가요성 테스트 챔버일 수 있는 진공 테스트 챔버(18)를 포함한다. 테스트 챔버 유닛(12)은 테스트 챔버 가스 입구(20) 및 테스트 챔버 가스 출구(22)를 가지며, 이들은 모두 가스-도통 방식으로 테스트 챔버(18)에 연결된다.
가스 검출 유닛(14)은 본 실시예에서 2-단계 진공 펌프(26)를 통해 대기로 배기되는 사중극자 질량 분석기(24)인 가스 검출기(24)를 포함한다. 가스 검출기(24)는 스로틀(28)이 제공된 검출 가스 도통 경로(30)를 통해 가스-도통 방식으로 가스 검출 입구(32) 및 가스 검출 가스 출구(34)에 연결된다.
가스 제어 유닛(16)에는 3개의 가스 입구(36, 42, 44) 및 3개의 가스 출구(38, 40, 46)가 제공된다. 제1 가스 입구(36)는 분리 가능한 연결을 통해 테스트 챔버 가스 출구(22)에 가스-도통 방식으로 연결된다. 대응하여, 제1 가스 출구(38)는 테스트 챔버 가스 입구(20)에 연결된다. 대응하여, 제2 가스 출구(40)는 가스 검출 입구(32)에 연결되고, 제2 가스 입구(42)는 가스 검출 출구(34)에 연결된다. 제3 가스 입구(44) 및 제3 가스 출구(46)는 각각 대기에 개방되어 있다.
제3 가스 입구(44)는 캐리어 가스 도통 경로(48)를 통해 제1 가스 출구(38)에 가스-도통 방식으로 연결된다. 캐리어 가스 도통 경로(48)는 선택적으로 제어 가능한 밸브(V4) 및 예를 들어, 10 sccm의 가스 흐름을 야기하는 흐름 스로틀(50)을 포함한다. 흐름은 흐름 스로틀을 사용하여 테스트 챔버 볼륨(18)에 적응되는 것이 가능하다. 통상적으로, 테스트 챔버 볼륨(18)의 크기에 따라, 10 sccm 내지 100 sccm의 캐리어 가스 흐름이 선택된다. 본원에서 사용되는 바와 같이, 선택적으로 제어 가능하다는 것은 각각의 밸브가 선택적으로 개방 또는 폐쇄될 수 있음을 의미한다. 이를 위해, 가스 제어 유닛(16)은 도면에 예시되지 않은 전자 기기를 포함한다. 캐리어 가스 경로(48)는 또한 가스-도통 방식으로 제3 가스 입구(44)를 제1 가스 출구(38)에 연결하고 밸브(V4) 및 스로틀(50)에 병렬로 연결된 선택적으로 제어 가능한 밸브(V5)를 포함하는 우회 경로(52)를 통해 우회된다.
제1 입구(36)는 선택적으로 제어 가능한 밸브(V2)를 포함하는 테스트 가스 도통 경로(54)를 통해 제2 가스 출구(40)에 가스-도통 방식으로 연결된다. 압력 측정 디바이스(P2 및 P3)는 압력 측정 디바이스(P2)에 의해 가스 흐름 방향으로 밸브(V2) 하류의 압력을 측정하고 압력 측정 디바이스(P3)에 의해 가스 흐름 방향으로 밸브(V2) 상류의 압력을 측정하기 위해 테스트 가스 도통 경로(54)에 연결된다.
제2 가스 입구(42)는 선택적으로 제어 가능한 밸브(V3) 및 진공 펌프(58)를 포함하는 복귀 테스트 가스 도통 경로(56)를 통해 제3 가스 출구(46)에 가스-도통 방식으로 연결된다. 선택적으로 제어 가능한 밸브(V1)를 포함하는 배기 가스 도통 경로(60)는 테스트 가스 도통 경로(54)를 가스 흐름 방향으로 밸브(V2)의 상류에서 밸브(V3)와 진공 펌프(58) 사이의 복귀 가스 도통 경로(56)에 연결한다. 가스 흐름 방향으로 밸브(V1)의 하류에서, 참조 번호 62로 식별되는 압력 측정 디바이스(P1)가 배기 가스 도통 경로(60)에 연결된다.
압력 측정 디바이스(P1, P2 및 P3)의 측정 신호는 도면에 예시되지 않은 가스 제어 유닛(16)의 전자 제어 기기로 전송된다. 제어 전자 기기는 밸브(V1, V2, V3, V4, V5 및 V6)의 개방 및 폐쇄 상태와 진공 펌프(58)의 동작 상태를 측정된 압력 값 및 가능한 추가적인 제어 파라미터에 따라 제어한다.
초기에, 밸브(V1)가 개방되고 적어도 밸브(V2 및 V3), 가능하게는 또한 밸브(V4, V5 및 V6)가 폐쇄되고, 진공 펌프(58)가 동작하여 테스트 챔버(18)를 배기한다. 테스트 챔버(18)로부터의 가스는 테스트 가스 도통 경로(54), 배기 가스 도통 경로(60) 및 복귀 가스 도통 경로(56)를 통해 제3 가스 출구(46)를 통해 대기로 배기된다. 병렬적으로, 진공 펌프(26)는 가스 검출기(24)를 배기시킨다.
압력 측정 디바이스(P3 및/또는 P1)에서 적절한 압력 임계값에 도달하면, 밸브(V2 및 V3)가 개방되고 밸브(V1)는 폐쇄된다. 가능하게는, 밸브(V4)도 개방된다. 밸브(V5)는 초기에 폐쇄되어 있다. 이러한 동작 상태에서, 진공 펌프(58)는 테스트 챔버(18)로부터의 가스를 테스트 가스 도통 경로(54)를 통해 개방된 밸브(V2)를 통해 가스 검출 입구(32)로 전달하고, 여기서 가스는 흐름 스로틀(28)을 통해 가스 검출기(24)의 질량 분석기로 흐르며, 가스 검출 출구(34) 및 제2 가스 입구(42), 복귀 가스 도통 경로(56) 및 개방된 밸브(V3)를 통해 제3 가스 출구(46)로 흐르고, 이로부터 대기로 흐른다. 제3 가스 입구(44)를 통해, 적절한 캐리어 가스 흐름이 캐리어 가스 도통 경로(48)를 거쳐 개방된 밸브(V4)를 통해, 그리고 흐름 스로틀(50)을 통해 테스트 챔버(18)로 흐른다. 여기서, 캐리어 가스는 가스 제어 유닛(16)을 둘러싸는 대기로부터 취해진다. 대안으로서, 캐리어 가스 소스가 제3 가스 입구(44)에 연결되는 것을 생각할 수 있다.
가스 누출 검출의 종료 후, 흐름 스로틀(50)은 우회 가스 도통 경로(52)를 통해 우회될 수 있고 대응하여 많은 양의 가스가 테스트 챔버(18), 밸브 및 가스 도통 경로를 플러싱(flushing)하기 위해 제3 가스 입구로부터 유입될 수 있다. 이를 위해, 적절한 플러싱 가스 소스를 제3 가스 입구(44)에 연결하는 것도 가능하다. 예를 들어, 매우 큰 누출률 측정 후 오염을 줄이기 위해 측정 챔버(18)를 플러싱하는 것은 라인 섹션(52), 밸브(V5), 테스트 챔버(18), 테스트 가스 도통 경로(54)를 통해 그리고 그 후 직접 개방된 밸브(V1) 및 배기 가스 도통 경로(60)를 통해 펌프(58)로 이어지는 경로를 통해 실시된다. 이러한 플러싱 기간 동안, 가스 검출을 위한 흐름 스로틀(28)에 대한 입구 영역은 폐쇄된 밸브(V2 및 V3)에 의해 분리된다. 라인(56)과 밸브(V2 및 V3) 사이의 섹션을 플러싱하는 것은 밸브(V6)를 통해 스로틀링된 플러싱 가스 입구를 통해 실시된다. 이러한 단계에서, 밸브(V2 및 V1)는 폐쇄된다. 플러싱 가스는 밸브(V6 및 V3)를 통해 펌프(58)로 안내된다.
가스 도통 경로(48, 52, 54, 56 및 60)뿐만 아니라 대응하는 밸브(V1-V6), 스로틀 및 압력 측정 디바이스(P1-P3)도 가스 제어 유닛(16)에 배열된 공통의 일체형 밸브 블록에 배열되며, 블록은 솔리드(solid) 요소이다. 압력 측정 디바이스뿐만 아니라 진공 펌프(58)는 밸브 블록의 적절한 커넥터에 연결될 수 있다. 밸브(V1-V6)는 그 자체로 알려진 방식으로 밸브 블록의 외측 상에 배열될 수 있고 각각의 가스 도통 경로의 대응 커넥터에 연결될 수 있다.
종래의 진공 누출 검출 시스템과 비교하여, 본 발명은 가스 누출 검출 동안 그리고 가스 도통 경로 및 테스트 챔버의 후속 플러싱에 대해 테스트 챔버의 배기를 위한 가스 도통이 별도의 호스 라인을 통해 테스트 챔버 및/또는 가스 검출기에 별도의 구성 요소를 연결할 필요 없이 단지 하나의 요소, 즉, 가스 제어 유닛(16)에 의해 제어될 수 있다는 결정적인 이점을 제공한다. 캐리어 가스 공급기 및 플러싱 가스 공급기도 별도의 호스 라인을 통해 테스트 챔버(18)로 향하는 것이 아니라 가스 제어 유닛(16)으로 직접 향한다. 여기서, 테스트 챔버(18)는 2개의 포트만을 갖는다. 캐리어 가스의 공급 및/또는 플러싱 가스 공급을 위한 별도의 포트가 필요하지 않다. 대응하여, 또한 가스 검출 유닛(14)은 펌프, 밸브, 압력 측정 디바이스 등을 위한 별도의 포트를 필요로 하지 않고, 질량 분석기(24)의 배기를 위한 출구뿐만 아니라 2개의 포트(32, 34)만을 필요로 한다.

Claims (16)

  1. 테스트 챔버 가스 입구(20) 및 테스트 챔버 가스 출구(22)를 갖는 테스트 챔버 유닛(12), 가스 검출 가스 입구(32) 및 가스 검출 가스 출구(34)를 갖는 가스 검출 유닛(14), 및 상기 테스트 챔버 가스 입구(20) 및 상기 테스트 챔버 가스 출구(22)를 상기 가스 검출 가스 입구(32) 및 상기 가스 검출 가스 출구(34)에 연결하고, 상기 테스트 챔버 유닛(12) 및 상기 가스 검출 유닛(14)에 연결되고, 상기 테스트 챔버 유닛(12) 및 상기 가스 검출 유닛(14)의 상기 가스 입구들(20, 40)과 상기 가스 출구들(22, 34)을 선택적으로 연결하기 위한 별도의 가스 도통 경로들(48, 52, 54, 56, 60)을 갖는 가스 제어 유닛(16)을 포함하는 진공 누출 검출 시스템(10)으로서,
    상기 가스 제어 유닛(16)은 대기를 향해 개방되어 있으며 제3 가스 입구(44)를 통해 유입되는 캐리어 가스를 상기 테스트 챔버 유닛(12)으로 공급하기 위해 상기 가스 제어 유닛(16)을 통해 이어지는 가스 도통 경로(48)를 통해 상기 테스트 챔버 가스 입구(20)에 연결될 수 있는 상기 제3 가스 입구(44)를 갖는, 진공 누출 검출 시스템(10).
  2. 테스트 챔버 가스 입구(20) 및 테스트 챔버 가스 출구(22)를 갖는 테스트 챔버 유닛(12), 및 가스 검출 가스 입구(32) 및 가스 검출 가스 출구(34)를 갖는 가스 검출 유닛(14)을 포함하는 진공 누출 검출 시스템을 위한 가스 제어 유닛(16)으로서,
    상기 가스 제어 유닛(16)은 상기 테스트 챔버 가스 입구(20) 및 상기 테스트 챔버 가스 출구(22)를 상기 가스 검출 가스 입구(32) 및 상기 가스 검출 가스 출구(34)에 연결하도록 구성되고, 이러한 목적으로 상기 테스트 챔버 유닛(12) 및 상기 가스 검출 유닛(14)에 연결 가능하고, 상기 테스트 챔버 유닛(12) 및 상기 가스 검출 유닛(14)의 상기 가스 입구들(20, 40)과 상기 가스 출구들(22, 34)을 선택적으로 연결하기 위한 별도의 가스 도통 경로들(48, 52, 54, 56, 60)을 갖고, 상기 가스 제어 유닛(16)은 대기를 향해 개방되어 있으며 제3 가스 입구(44)를 통해 유입되는 캐리어 가스를 상기 테스트 챔버 유닛(12)으로 공급하기 위해 상기 가스 제어 유닛(16)을 통해 이어지는 가스 도통 경로(48)를 통해 상기 테스트 챔버 가스 입구(20)에 연결될 수 있는 상기 제3 가스 입구(44)를 갖는, 가스 제어 유닛(16).
  3. 제1항에 따른 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 제2항에 따른 가스 제어 유닛(16)으로서,
    상기 가스 제어 유닛은 상기 테스트 챔버 유닛(12)을 배기하기 위한 진공 펌프(58)를 포함하고, 상기 펌프는 상기 테스트 챔버 가스 출구(22)에 연결될 수 있는 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 누출 검출 시스템(10)은 상기 테스트 챔버 유닛(12)에 의해 모듈식으로 형성되고, 상기 가스 검출 유닛(14) 및 상기 가스 제어 유닛(16)은 서로 분리 가능하게 연결되도록 적응된 별도의 모듈들인 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가스 제어 유닛(16)은 상기 테스트 챔버 가스 출구(22)에 연결 가능한 제1 가스 입구(36), 상기 테스트 챔버 가스 입구(20)에 연결 가능한 제1 가스 출구(38), 상기 가스 검출 가스 입구(32)에 연결 가능한 제2 가스 출구(40) 및 상기 가스 검출 가스 출구(34)에 연결 가능한 제2 가스 입구(42)를 포함하고, 상기 제1 가스 입구(36)는 상기 가스 제어 유닛(16)을 통해 연장되는 가스 도통 경로(54)를 통해 상기 제2 가스 출구(40)에 연결되는 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 가스 출구(38) 및 상기 제2 가스 입구(42)는 상기 가스 제어 모듈(16)을 통해 연장되는 가스 도통 경로를 통해 서로 연결되지 않는 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  7. 제5항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가스 제어 모듈(16)은 상기 대기를 향해 개방되어 있는 제3 가스 출구(46)를 갖고, 상기 제3 가스 입구(44)는 상기 가스 제어 유닛(16)을 통해 연장되는 가스 도통 경로(48, 52)를 통해 상기 제1 가스 출구(38)에 연결되고, 상기 제3 가스 출구(46)는 상기 가스 제어 유닛(16)을 통해 연장되는 가스 도통 경로(56)를 통해 상기 제2 가스 입구(42)에 연결되는 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 가스 입구(42)를 상기 제3 가스 출구(46)로 연결하는 상기 가스 도통 경로(56)는 별도로 제어 가능한 밸브(V3) 및 진공 펌프(58)를 포함하고, 별도로 제어 가능한 밸브(V1)를 또한 포함하는 가스-도통 연결 브랜치(60)를 통해 상기 제1 가스 입구(36)를 상기 제2 가스 출구(40)로 연결하는 상기 가스 도통 경로(54)에 연결되는 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 가스 입구(36)를 상기 제2 가스 출구(40)로 연결하는 상기 가스 도통 경로(54)는 별도로 제어 가능한 밸브(V2)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제3 가스 입구(44)를 상기 제1 가스 출구(38)로 연결하는 상기 가스 도통 경로(50)는 별도로 제어 가능한 밸브(V4) 및 이에 병렬로 연결된 흐름 스로틀(throttle)(50) 및 상기 밸브(V4)와 상기 흐름 스로틀(50)을 우회하고 또한 별도로 제어 가능한 밸브(V5)를 포함하는 우회 브랜치(52)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가스 제어 유닛(16)의 상기 가스 도통 경로들(48, 52, 54, 56, 60)은 공통 밸브 블록에 배열되는 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 테스트 챔버 유닛(12)은 강성 테스트 챔버 형태 또는 가요성 필름 챔버 형태의 테스트 챔버(18)로서 설계된 진공 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가스 제어 유닛(16)의 펌핑 용량을 증가시키기 위해 상기 가스 제어 유닛(16)에 연결 가능한 보조 펌프 모듈이 제공되는 것을 특징으로 하는, 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16).
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 진공 누출 검출 시스템(10) 또는 가스 제어 유닛(16)을 이용한 가스 누출 검출을 위한 방법으로서,
    · 상기 제1 가스 입구(36)를 상기 진공 펌프(58)로 연결하고 상기 진공 펌프(58)를 상기 제3 가스 출구(46)로 연결하는 가스 도통 경로(54, 60, 56)를 통해 상기 가스 제어 유닛(16)의 상기 진공 펌프(58)를 사용하여 상기 테스트 챔버 유닛(12)의 상기 테스트 챔버(18)를 배기하는 단계,
    · 상기 제3 가스 입구(44)를 상기 제1 가스 출구(38)로 연결하는 가스 도통 경로(48)가 상기 제3 가스 입구(44)를 통해 캐리어 가스를 상기 테스트 챔버(18)로 공급하고 캐리어 가스와 가능한 누출 가스의 혼합물을 상기 가스 검출 유닛(14)으로 공급하기 위해 또한 개방되어 있는 동안, 상기 제1 입구(36)를 상기 진공 펌프(58)로 연결하는 상기 연결 브랜치(60)를 차단하고 상기 제1 가스 입구(36)를 상기 제2 가스 출구(40)로 연결하는 상기 가스 도통 경로(54) 및 상기 제2 가스 입구(42)를 상기 진공 펌프(58)로 연결하는 상기 가스 도통 경로(56)를 개방하는 단계를 포함하는, 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    · 상기 제3 가스 입구(44)를 통해 상기 가스 제어 유닛(16)을 둘러싸는 상기 대기로부터 유입된 가스로 상기 테스트 챔버 유닛(12) 및/또는 상기 가스 검출 유닛(14)을 플러싱(flushing)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  16. 제14항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 테스트 챔버(18)가 상기 가스 제어 유닛(16)의 상기 진공 펌프(58)를 사용하여 배기되는 동안, 상기 제1 입구(36)를 상기 제2 출구(40)로 연결하는 상기 가스 도통 경로(54) 및 상기 제2 입구(42)를 상기 제3 가스 출구(46)로 연결하는 상기 가스 도통 경로(56)는 각각 폐쇄되는 것을 특징으로 하는, 방법.
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