KR20230032219A - Vacuum performance tester for vacuum chamber housing - Google Patents

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KR20230032219A
KR20230032219A KR1020210114793A KR20210114793A KR20230032219A KR 20230032219 A KR20230032219 A KR 20230032219A KR 1020210114793 A KR1020210114793 A KR 1020210114793A KR 20210114793 A KR20210114793 A KR 20210114793A KR 20230032219 A KR20230032219 A KR 20230032219A
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vacuum
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performance tester
housing body
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서정권
이석희
나재흠
서용주
강민석
서병우
은성수
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주식회사 구비테크
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Abstract

The present invention relates to a vacuum performance tester, including a first cover coupled to one surface of a housing body; and a second cover coupled to the other surface of the housing body, thereby capable of more precisely measuring a vacuum pressure durability and the like of a vacuum chamber housing including the housing body and a through-hole penetrating both sides of the housing body. The first cover includes a flow hole for supplying or discharging fluid into the housing body, and the second cover includes at least one pressure gauge for measuring the pressure inside the housing body.

Description

진공챔버 하우징의 진공성능 테스트기{VACUUM PERFORMANCE TESTER FOR VACUUM CHAMBER HOUSING} Vacuum performance tester for vacuum chamber housing {VACUUM PERFORMANCE TESTER FOR VACUUM CHAMBER HOUSING}

본 발명은 진공챔버 하우징의 진공성능 테스트기에 관한 것으로, 보다 상세히는 반도체 공정에서 웨이퍼를 진공상태로 유지하기 위해 사용되는 진공챔버 하우징의 진공성능을 검사할 수 있는 진공성능 테스트기에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum performance tester for a vacuum chamber housing, and more particularly, to a vacuum performance tester capable of inspecting the vacuum performance of a vacuum chamber housing used to maintain a wafer in a vacuum state in a semiconductor process.

반도체 공정은 일반적으로 전공정과 후공정으로 나뉘며, 전공정은 웨이퍼 제조공정, 산화공정, 에칭공정 및 증착공정 등을 포함하고, 후공정은 금속배선공정, 검사공정, 패킹공정 등을 포함하여 구성된다. 이때 상기 반도체 공정의 에칭공정은 웨이퍼에 액체 또는 기체 상태의 부식액을 이용하여 불필요한 부분을 선택적으로 제거함에 따라 반도체 회로 패턴을 만든 공정을 의미한다.The semiconductor process is generally divided into a front process and a back process. The front process includes a wafer manufacturing process, an oxidation process, an etching process, and a deposition process, and the post process includes a metal wiring process, an inspection process, and a packing process. . In this case, the etching process of the semiconductor process refers to a process of making a semiconductor circuit pattern by selectively removing unnecessary parts from a wafer using a liquid or gaseous etchant.

상기 에칭공정을 포함한 다양한 공정에서는 웨이퍼를 진공상태에서 작업하도록 진공챔버를 포함할 수 있다. 대한민국 공개특허공보 제10-2016-0135687호("플라즈마 처리 장치, 플라즈마 처리 방법 및 플라즈마 처리 장치의 제어 방법", 2016.11.28. 공고, 이하 '선행기술'이라 함.)에서는 VHF 플라즈마를 이용한 에칭 장치가 개시되어 있으며, 도 1을 참조하여 위 선행기술의 플라즈마 에칭 장치에 대해서 간략히 설명하자면 다음과 같다. 상기 플라즈마 에칭 장치는, 웨이퍼(1), 상기 웨이퍼(1)를 내부에 배치하여 진공상태를 유지하는 진공챔버(2), 플라즈마를 발생시키도록 상기 진공챔버(2)의 일면 측에 배치되는 플라즈마 구성품(3) 및 상기 플라즈마 구성품(3)을 고정하면서 상기 진공챔버(2)의 내부가 진공상태를 유지하도록 상기 진공챔버(2)와 결합되는 어퍼하우징 등의 진공챔버 하우징(4)을 포함할 수 있다. 이때 상기 플라즈마 구성품(3)은 전자석, 코일, 안테나 또는 전극 등이 포함될 수 있다. In various processes including the etching process, a vacuum chamber may be included to operate the wafer in a vacuum state. Korean Patent Publication No. 10-2016-0135687 (“Plasma processing device, plasma processing method, and control method of the plasma processing device”, 2016.11.28. Announcement, hereinafter referred to as “prior art”) Etching using VHF plasma An apparatus is disclosed, and with reference to FIG. 1, a brief description of the prior art plasma etching apparatus is as follows. The plasma etching apparatus includes a wafer 1, a vacuum chamber 2 for maintaining a vacuum state by placing the wafer 1 therein, and a plasma disposed on one side of the vacuum chamber 2 to generate plasma. A vacuum chamber housing 4 such as an upper housing coupled to the vacuum chamber 2 to maintain a vacuum state inside the vacuum chamber 2 while fixing the component 3 and the plasma component 3 can At this time, the plasma component 3 may include an electromagnet, a coil, an antenna, or an electrode.

진공챔버 하우징은, 상술한 바와 같이 일부 구성을 지지하면서도 진공챔버 내부의 진공상태를 유지할 수 있도록, 진공상태에서의 내구성과 누출방지 등의 성능이 요구된다. 하지만, 상기 진공챔버 하우징에 대한 성능검사는 현재 실제품을 전체 장비에 결합한 상태에서 진행되기 때문에, 현장에서 불량이 검출되는 경우에 전체 장비의 가동이 지연되거나 새로운 제품에 대한 설계 및 제조 시간이 과도하게 발생되는 문제점이 있다. 이와 더불어 다양한 형상에 대한 진공챔버 하우징에 대해서 성능검사를 하기 위해서는 이와 호환되는 장비가 각각 요구됨에 따라, 보다 범용적으로 사용될 수 있는 진공성능 테스트기가 요구되는 실정이다.As described above, the vacuum chamber housing requires performance such as durability in a vacuum state and leakage prevention so as to maintain a vacuum state inside the vacuum chamber while supporting some components. However, since the performance test for the vacuum chamber housing is currently conducted with the actual product coupled to the entire equipment, if a defect is detected in the field, the operation of the entire equipment is delayed or the design and manufacturing time for a new product is excessively increased. There are problems that arise. In addition, in order to test the performance of vacuum chamber housings of various shapes, as compatible equipment is required, a vacuum performance tester that can be used more universally is required.

KRKR 10-2016-0135687 10-2016-0135687 AA (2016.11.28(2016.11.28 공고)Announcement)

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 진공챔버 하우징의 진공압 내구성 등을 보다 정밀하게 측정할 수 있도록 구성되는 진공성능 테스트기를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a vacuum performance tester configured to more precisely measure the vacuum pressure durability of a vacuum chamber housing.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 하우징몸체와 상기 하우징몸체의 양면으로 관통된 관통홀을 포함하는 진공챔버 하우징에 대한 진공성능 테스트기에 있어서, 상기 하우징몸체의 일면에 결합되는 제1커버; 및 상기 하우징몸체의 타면에 결합되는 제2커버;를 포함하고, 상기 제1커버는 상기 하우징몸체의 내부에 유체를 공급하거나 배출하는 유동홀을 포함하며, 상기 제2커버는 상기 하우징몸체의 내부의 압력을 측정하는 적어도 하나의 압력게이지를 포함하여 구성될 수 있다.In order to achieve the above object, the present invention provides a vacuum performance tester for a vacuum chamber housing including a housing body and through-holes passing through both sides of the housing body, a first cover coupled to one surface of the housing body. ; and a second cover coupled to the other surface of the housing body, wherein the first cover includes a flow hole through which fluid is supplied or discharged into the housing body, and the second cover is formed inside the housing body. It may be configured to include at least one pressure gauge for measuring the pressure of.

또한, 본 발명에 따른 진공성능 테스트기는, 상기 제1커버에 일단이 고정되되 타단이 상기 제2커버와 결합되는 고정부;를 더 포함할 수 있다.In addition, the vacuum performance tester according to the present invention may further include a fixing part having one end fixed to the first cover and the other end coupled to the second cover.

또한, 본 발명에 따른 진공성능 테스트기는, 상기 하우징몸체의 내부 압력을 조절하는 메인펌프; 및 상기 메인펌프와 상기 제1커버의 유동홀 사이를 연결하는 파이프조립체;를 더 포함할 수 있다.In addition, the vacuum performance tester according to the present invention, the main pump for adjusting the internal pressure of the housing body; and a pipe assembly connecting between the main pump and the flow hole of the first cover.

또한, 상기 파이프조립체는, 상기 메인펌프와 연결되는 진공파이프; 상기 하우징몸체의 내부 압력을 조절하는 서브펌프; 상기 진공파이프와 상기 유동홀 사이를 연결하되 서브펌프를 경유하도록 연결되는 제1연결파이프; 및 상기 진공파이프와 상기 유동홀 사이를 연결하는 제2연결파이프;를 포함할 수 있다.In addition, the pipe assembly may include a vacuum pipe connected to the main pump; a sub-pump for regulating the internal pressure of the housing body; a first connection pipe connected between the vacuum pipe and the flow hole via a sub-pump; and a second connection pipe connecting the vacuum pipe and the flow hole.

또한, 상기 메인펌프 및 서브펌프는 각각, 베인펌프 및 터빈펌프로 구성될 수 있다.In addition, the main pump and the sub pump may be composed of a vane pump and a turbine pump, respectively.

또한, 상기 파이프조립체는, 상기 제2연결파이프에 배치되되 상기 제2연결파이프가 분기된 두 라인 상에 각각 배치되는 제1밸브; 및 제2밸브; 상기 진공파이프와 서브펌프 사이에 배치되는 제3밸브; 상기 서브펌프와 유동홀 사이에 배치되는 제4밸브;를 포함할 수 있다.In addition, the pipe assembly includes: first valves disposed on the second connection pipe and disposed on two lines from which the second connection pipe is branched; and a second valve; a third valve disposed between the vacuum pipe and the sub pump; It may include a fourth valve disposed between the sub-pump and the flow hole.

또한, 상기 제2커버는, 상기 하우징몸체의 내부의 온도를 측정하는 적어도 하나의 온도게이지;를 더 포함할 수 있다.In addition, the second cover may further include at least one temperature gauge for measuring the temperature inside the housing body.

또한, 상기 제2커버는, 상기 하우징몸체의 내부의 유체를 외부로 배출하는 릴리프밸브;를 더 포함할 수 있다.In addition, the second cover may further include a relief valve for discharging the fluid inside the housing body to the outside.

또한, 본 발명에 따른 진공성능 테스트기는, 상기 진공챔버 하우징의 주변에 분사된 검출유체를 통해 상기 진공챔버 하우징의 리크(Leak) 여부를 감지하는 누출감지기;를 더 포함할 수 있다.In addition, the vacuum performance tester according to the present invention may further include a leak detector for detecting whether or not the vacuum chamber housing is leaked through a detection fluid sprayed around the vacuum chamber housing.

또한, 상기 검출유체는 헬륨으로 구성될 수 있다.In addition, the detection fluid may be composed of helium.

또한, 상기 진공챔버 하우징은, 하우징몸체의 양면 중 적어도 하나의 면에 실링부재가 삽입되는 그루브가 형성될 수 있다.Further, the vacuum chamber housing may have a groove into which a sealing member is inserted may be formed on at least one of both surfaces of the housing body.

또한, 상기 진공챔버 하우징은, 실제품의 양면이 편평하도록 평탄도를 조절하여 가공된 제품일 수 있다.In addition, the vacuum chamber housing may be a product processed by adjusting flatness so that both sides of the actual product are flat.

또한, 상기 실제품은, 웨이퍼 플라즈마 에칭설비에서 진공챔버의 상면에 결합되어 고주파 코일을 지지하는 어퍼하우징일 수도 있다.In addition, the actual product may be an upper housing coupled to an upper surface of a vacuum chamber in a wafer plasma etching equipment to support a high-frequency coil.

아울러 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 진공성능 테스트기를 이용한 본 발명에 따른 진공성능 측정방법은, 메인펌프를 가동하는 가동단계; 상기 제1밸브 및 제2밸브를 순차적으로 개방하여 라인압력을 제1기준압력 이하로 강하하는 제1강하단계; 상기 제1밸브를 닫은 후에 상기 제3밸브를 개방하고 상기 서브펌프를 가동하여 라인압력을 제2기준압력 이하로 강하하는 제2강하단계; 상기 제2밸브를 닫고 제4밸브를 개방한 후에 라인압력을 안정화하는 압력안정화단계; 및 상기 제2커버의 압력게이지로 상기 하우징몸체의 내부 압력을 측정하는 진공압측정단계;를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the vacuum performance measuring method according to the present invention using the vacuum performance tester according to the present invention as described above includes an operating step of operating a main pump; a first lowering step of sequentially opening the first valve and the second valve to lower the line pressure to a first reference pressure or less; a second lowering step of closing the first valve and then opening the third valve and operating the sub-pump to drop the line pressure below a second reference pressure; a pressure stabilization step of stabilizing line pressure after closing the second valve and opening the fourth valve; and a vacuum pressure measurement step of measuring the internal pressure of the housing body with a pressure gauge of the second cover.

또한, 본 발명에 따른 진공성능 측정방법은, 상기 진공압측정단계 이후, 상기 진공챔버 하우징의 주변에 검출유체를 분사하여 상기 진공챔버 하우징의 리크여부를 검출하는 리크검사단계;를 더 포함할 수 있다.In addition, the method for measuring vacuum performance according to the present invention may further include, after the vacuum pressure measurement step, a leak test step of detecting whether or not the vacuum chamber housing is leaked by injecting a detection fluid around the vacuum chamber housing. there is.

상기와 같은 구성에 의한 본 발명에 따른 진공챔버 하우징의 진공성능 테스트기는, 실제품에 대해서 검사에 적합하도록 평탄도를 조절한 제품 설계 및 제조하여 성능을 검사할 수 있음에 따라, 보다 다양한 형상의 실제품에 대해서 하나의 장비로 성능검사가 진행될 수 있는 장점이 있다. 이와 더불어 하나의 실제품에 대한 신속하면서도 정밀한 검사가 설계단계에서도 가능함에 따라, 최종적으로 출하되는 제품의 품질이 향상되는 효과로 이어질 수 있다.The vacuum performance tester of the vacuum chamber housing according to the present invention according to the configuration as described above can design and manufacture a product with flatness adjusted to be suitable for inspection of the actual product to test the performance, so that the actual product of more various shapes. There is an advantage in that the performance test can be performed with one device. In addition, as rapid and precise inspection of one actual product is possible even in the design stage, it can lead to an effect of improving the quality of the finally shipped product.

상기 진공챔버 하우징의 양면을 제1커버 및 제2커버로 밀폐하면서 그 사이에 실링부재를 개재할 수 있도록 상기 진공챔버 하우징에 그루브를 가공함에 따라, 검사할 수 있는 진공챔버 하우징의 범위가 넓어져 활용성이 높아지는 장점이 있다. As the grooves are processed in the vacuum chamber housing so that both sides of the vacuum chamber housing can be sealed with the first cover and the second cover and a sealing member can be interposed therebetween, the scope of the vacuum chamber housing that can be inspected is widened. It has the advantage of increased usability.

상기 제1커버의 유동홀과 메인펌프를 연결하는 파이프조립체를 통해 하우징몸체 내부의 진공환경 조성이 보다 정밀하게 제어될 수 있는 장점이 있다.There is an advantage in that the composition of the vacuum environment inside the housing body can be more precisely controlled through the pipe assembly connecting the flow hole of the first cover and the main pump.

상기 제1커버의 유동홀과 누출감지기를 파이프조립체를 통해 연결함에 따라 상기 진공챔버 하우징의 리크포인트 발생 여부 또한 하나의 장치에서 검사가 가능해지는 장점이 있다.As the flow hole of the first cover and the leak detector are connected through a pipe assembly, it is possible to inspect whether or not a leak point occurs in the vacuum chamber housing with one device.

도 1은 종래기술에 따른 플라즈마 처리장치의 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 진공성능 테스트기의 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 진공성능 테스트기의 정면도.
도 4는 본 발명에 따른 진공성능 테스트기의 배면도.
도 5는 본 발명에 따른 진공성능 테스트기의 부분확대도.
도 6은 본 발명에 따른 진공성능 테스트기의 분해사시도의 요부를 확대한 도면.
도 7은 본 발명에 따른 진공챔버 하우징의 사시도.
도 8은 본 발명에 따른 진공챔버 하우징의 정면도.
도 9는 본 발명에 따른 진공챔버 하우징의 평면도.
도 10은 본 발명에 따른 진공성능 테스트기를 이용한 진공성능 검사방법을 도시한 도면.
도 11은 본 발명에 따른 파이프라인을 도시한 도면.1 is a cross-sectional view of a plasma processing apparatus according to the prior art.
2 is a perspective view of a vacuum performance tester according to the present invention.
3 is a front view of a vacuum performance tester according to the present invention.
Figure 4 is a rear view of the vacuum performance tester according to the present invention.
5 is a partially enlarged view of a vacuum performance tester according to the present invention.
6 is an enlarged view of a main part of an exploded perspective view of a vacuum performance tester according to the present invention.
7 is a perspective view of a vacuum chamber housing according to the present invention;
8 is a front view of a vacuum chamber housing according to the present invention;
9 is a plan view of a vacuum chamber housing according to the present invention.
10 is a view showing a vacuum performance test method using a vacuum performance tester according to the present invention.
11 shows a pipeline according to the present invention;

이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 진공챔버 하우징의 진공성능 테스트기를 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 또한 명세서 전반에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, a vacuum performance tester of a vacuum chamber housing according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The drawings introduced below are provided as examples to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Therefore, the present invention may be embodied in other forms without being limited to the drawings presented below. Also, like reference numbers indicate like elements throughout the specification.

이때 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다.Unless otherwise defined, the technical terms and scientific terms used at this time have meanings commonly understood by those of ordinary skill in the art to which this invention belongs, and the gist of the present invention is unnecessary in the following description and accompanying drawings. Descriptions of well-known functions and configurations that may be obscure are omitted.

도 2 내지 도 4는 본 발명에 따른 진공성능 테스트기에 관한 것으로, 도 2는 진공성능 테스트기의 사시도를, 도 3은 진공성능 테스트기의 정면도를, 진공성능 테스트기의 배면도를 각각 나타낸다.2 to 4 relate to a vacuum performance tester according to the present invention, FIG. 2 shows a perspective view of the vacuum performance tester, and FIG. 3 shows a front view of the vacuum performance tester and a rear view of the vacuum performance tester, respectively.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 진공성능 테스트기(10)는 진공챔버 하우징(20)에 대한 성능을 검사하도록 프레임(100), 제1커버(110), 제2커버(120), 고정부(200), 메인펌프(300) 및 파이프조립체(400)를 포함할 수 있다. 이때 상기 프레임(100)은 상기 제1커버(110) 또는 제2커버(120)를 지면 상에서 지지할 수 있으며, 상기 제1커버(110)가 상기 진공챔버 하우징(20)의 하면에 배치되고 상기 제2커버(120)가 상기 진공챔버 하우징(20)의 상면에 배치되는 경우에는 상기 프레임(100)은 상기 제1커버(110)의 위치를 고정할 수 있다. 여기서 상기 프레임(100)은 상기 제1커버(110)를 지지하는 메인프레임(101), 상기 메인펌프(300)와 파이프조립체(400)를 지지하는 받침프레임(102) 및 상기 메인프레임(101)과 받침프레임(102)을 연결하는 연결프레임(103)을 포함할 수도 있다. 여기서 상기 받침프레임(102)은 상기 메인프레임(101)의 하측에 이격되도록 배치될 수도 있다. 아울러 상기 받침프레임(102)의 하면에는 캐스터 등이 배치되어 지면 상에서 이동이 가능할 수도 있다. Referring to FIG. 2 , the vacuum performance tester 10 according to the present invention includes a frame 100, a first cover 110, a second cover 120, and a fixing part to test the performance of a vacuum chamber housing 20. 200, a main pump 300 and a pipe assembly 400 may be included. At this time, the frame 100 may support the first cover 110 or the second cover 120 on the ground, and the first cover 110 is disposed on the lower surface of the vacuum chamber housing 20 and the When the second cover 120 is disposed on the upper surface of the vacuum chamber housing 20, the frame 100 may fix the position of the first cover 110. Here, the frame 100 includes a main frame 101 supporting the first cover 110, a support frame 102 supporting the main pump 300 and the pipe assembly 400, and the main frame 101 It may also include a connection frame 103 connecting the support frame 102. Here, the support frame 102 may be arranged to be spaced apart from the lower side of the main frame 101 . In addition, a caster or the like is disposed on the lower surface of the support frame 102 so that it can be moved on the ground.

상기 제1커버(110) 및 제2커버(120)는 상기 진공챔버 하우징(20)의 하면과 상면에 각각 면접하도록 결합되는 제1커버몸체(111) 및 제2커버몸체(121)를 포함할 수 있다. 그리고 상기 제2커버(120)는 상기 제2커버몸체(121)에 고정되어 진공챔버 하우징(20)의 내부 압력을 측정하는 하나 이상의 압력게이지를 포함할 수 있다. 이때 상기 압력게이지는 복수로 이루어져 제1압력게이지(122) 및 제2압력게이지(123)를 포함할 수 있으며, 상기 제1압력게이지(122) 및 제2압력게이지(123)는 서로 다른 제품이나 다른 방식으로 압력을 측정하도록 구성될 수 있다. 아울러 상기 제2커버(120)는 상기 제2커버몸체(121)에 고정되어 상기 진공챔버 하우징(20)의 내부 온도를 측정하도록 온도게이지(124)를 더 포함할 수 있다. 이때 상기 온도게이지(124)는 일 예로 서모커플(Thermocouple)로 구성될 수도 있다. 아울러 상기 제2커버(120)는 상기 제2커버몸체(121)에 고정되어 상기 진공챔버 하우징(20)의 내부 유체를 외부로 배출하는 릴리프밸브(125)와 상기 제2커버몸체(121)의 상면에 고정되는 핸들(126) 등을 더 포함할 수 있다. 여기서 상기 릴리프밸브(125)는 상기 진공챔버 하우징(20)의 내부 압력이 설정 압력 이상이 되는 경우에 유체를 외부로 분출하도록 제어될 수 있다.The first cover 110 and the second cover 120 may include a first cover body 111 and a second cover body 121 coupled to the lower and upper surfaces of the vacuum chamber housing 20 to be interviewed, respectively. can And, the second cover 120 may include one or more pressure gauges fixed to the second cover body 121 to measure the internal pressure of the vacuum chamber housing 20 . At this time, the pressure gauge may consist of a plurality and include a first pressure gauge 122 and a second pressure gauge 123, and the first pressure gauge 122 and the second pressure gauge 123 may be different products or It may be configured to measure pressure in other ways. In addition, the second cover 120 may further include a temperature gauge 124 fixed to the second cover body 121 to measure the internal temperature of the vacuum chamber housing 20 . At this time, the temperature gauge 124 may be configured of, for example, a thermocouple. In addition, the second cover 120 is fixed to the second cover body 121, and the relief valve 125 for discharging the internal fluid of the vacuum chamber housing 20 to the outside and the second cover body 121 A handle 126 fixed to the upper surface may be further included. Here, the relief valve 125 may be controlled to discharge the fluid to the outside when the internal pressure of the vacuum chamber housing 20 is equal to or higher than a set pressure.

또한, 본 발명에 따른 진공성능 테스트기(10)는 상기 진공챔버 하우징(20)에서 리크포인트(Leak Point)가 발생되는지 여부를 판별하도록 누출감지기(500)와, 상술한 구성들을 제어하는 컨트롤박스(600)를 더 포함할 수 있다. 이때 상기 누출감지기(500)는 진공상태로 유지되는 상기 진공챔버 하우징(20)의 주변에 검출유체를 분사하여 흡입 여부에 따라 누출 여부를 판별할 수 있으며, 일 예로 상기 검출유체를 헬륨으로 구성하여 헬륨누설시험법을 통해 소정 시간 동안 검사하도록 구성될 수 있다.In addition, the vacuum performance tester 10 according to the present invention includes a leak detector 500 to determine whether a leak point is generated in the vacuum chamber housing 20, and a control box for controlling the above-described components ( 600) may be further included. At this time, the leak detector 500 sprays the detection fluid around the vacuum chamber housing 20 maintained in a vacuum state to determine whether or not there is a leak depending on whether or not it is sucked. For example, the detection fluid is made of helium It may be configured to inspect for a predetermined time through a helium leak test method.

도 3을 참조하면, 상기 고정부(200)는 상기 제1커버(110)와 제2커버(120) 사이에 상기 진공챔버 하우징(20)이 개재되면 상기 제1커버(110)와 제2커버(120)의 위치를 고정하도록 결합될 수 있다. 상기 고정부(200)는 상기 제1커버(110)에 고정되는 고정하우징(210), 상기 제2커버(120)의 제2커버몸체(121)를 고정하거나 고정해제하는 고정부재(220), 상기 고정하우징(210) 상에서 상기 고정부재(220)의 동작을 제어하는 제어부재(230)를 포함하여 구성될 수 있다. 이때 상기 고정부(200)는 복수로 이루어져 상기 제2커버몸체(121)의 둘레 방향을 따라 서로 이격 배치될 수도 있다.Referring to FIG. 3 , when the vacuum chamber housing 20 is interposed between the first cover 110 and the second cover 120, the fixing part 200 connects the first cover 110 and the second cover. (120) can be coupled to fix the position. The fixing part 200 includes a fixing housing 210 fixed to the first cover 110, a fixing member 220 fixing or releasing the second cover body 121 of the second cover 120, It may be configured to include a control member 230 for controlling the operation of the fixing member 220 on the fixing housing 210 . At this time, the fixing part 200 may be formed in plurality and disposed spaced apart from each other along the circumferential direction of the second cover body 121 .

상기 파이프조립체(400)는, 상기 진공챔버 하우징(20)의 내부의 압력을 진공압으로 조절하도록 상기 메인펌프(300)와 상기 제1커버(110)를 연결하는 진공파이프라인(410) 및, 상기 진공챔버 하우징(20)의 리크여부를 감지하도록 상기 누출감지기(500)와 상기 제1커버(110)를 연결하는 검출파이프라인(420)을 포함하여 구성될 수 있다. 이때 상기 진공파이프라인(410)과 검출파이프라인(420)은 서로 호환되도록 일부 파이프를 서로 공유할 수도 있으며, 서로 별개의 파이프라인이 형성될 수도 있다. 이하 상기 진공파이프라인(410)과 검출파이프라인(420)이 일부 파이프라인을 서로 공유하는 일 실시예로 예거하여 보다 상세히 설명한다.The pipe assembly 400 includes a vacuum pipeline 410 connecting the main pump 300 and the first cover 110 to adjust the pressure inside the vacuum chamber housing 20 to a vacuum pressure, It may be configured to include a detection pipeline 420 connecting the leak detector 500 and the first cover 110 to detect whether or not the vacuum chamber housing 20 is leaking. In this case, the vacuum pipeline 410 and the detection pipeline 420 may share some pipes to be compatible with each other, or separate pipelines may be formed. Hereinafter, an example in which the vacuum pipeline 410 and the detection pipeline 420 share some pipelines will be described in more detail.

도 4를 참조하면, 상기 파이프조립체(400)는 상기 메인펌프(300)에 연결되는 진공파이프(411)와, 상기 누출감지기(500)에 연결되는 검출파이프(421)를 포함할 수 있다. 그리고 상기 파이프조립체(400)는 상기 진공파이프(411)와 상기 제1커버(110)를 연결하는 제1연결파이프(431) 및 제2연결파이프(432)를 포함할 수 있으며, 상기 검출파이프(421)는 상기 제1연결파이프(431)와 제2연결파이프(432) 중 어느 하나에 연결되도록 배치될 수 있다. 상기 제1연결파이프(431)는 서브펌프(430)를 경유하여 상기 제1커버(110)에 연결될 수 있으며, 상기 제2연결파이프(432)는 상기 제1커버(110) 상에 바로 연결될 수 있다. 여기서 상기 메인펌프(300)와 서브펌프(430)는 서로 다른 종류의 펌프일 수 있으며, 일 예로 상기 메인펌프(300)는 로터리 베인펌프(Rotary Vane Pump)로 상기 서브펌프(430)는 터빈펌프(Turbine Pump)로 각각 구성될 수 있다. Referring to FIG. 4 , the pipe assembly 400 may include a vacuum pipe 411 connected to the main pump 300 and a detection pipe 421 connected to the leak detector 500 . The pipe assembly 400 may include a first connection pipe 431 and a second connection pipe 432 connecting the vacuum pipe 411 and the first cover 110, and the detection pipe ( 421 may be arranged to be connected to either one of the first connection pipe 431 and the second connection pipe 432 . The first connection pipe 431 may be connected to the first cover 110 via a sub pump 430, and the second connection pipe 432 may be directly connected to the first cover 110. there is. Here, the main pump 300 and the sub pump 430 may be different types of pumps. For example, the main pump 300 is a rotary vane pump and the sub pump 430 is a turbine pump. (Turbine Pump) can be configured respectively.

상기 제2연결파이프(432)는 중간에 라인이 분기 후 병합될 수 있으며, 상기 파이프조립체(400)는 분기된 상기 제2연결파이프(432)의 라인 상에 각각 배치되는 제1밸브(441) 및 제2밸브(442)를 포함할 수 있다. 이때 상기 제1밸브(441) 및 제2밸브(442)는 서로 다른 종류의 밸브일 수 있으며, 일 예로 상기 제1밸브(441)는 Slow Pumping Valve로, 상기 제2밸브는 Rough Pump Angle Valve로 각각 구성될 수 있다. The second connection pipe 432 may be merged after a line diverges in the middle, and the pipe assembly 400 is a first valve 441 disposed on each line of the branched second connection pipe 432 And it may include a second valve 442. At this time, the first valve 441 and the second valve 442 may be different types of valves. For example, the first valve 441 is a Slow Pumping Valve and the second valve is a Rough Pump Angle Valve. each can be configured.

상기 제1연결파이프(431)는 상기 서브펌프(430)를 기준으로 전후 라인이 구분될 수 있으며, 상기 파이프조립체(400)는 상기 진공파이프(411)와 상기 서브펌프(430) 사이에 배치되는 제3밸브(443)와 상기 서브펌프(430)와 상기 제1커버(110) 사이에 배치되는 제4밸브(444)를 포함할 수 있다. 이때 상기 제3밸브(443) 및 제4밸브(444)는 서로 다른 종류의 밸브일 수 있으며, 일 예로 상기 제3밸브(443)는 Fore-Line Angle Valve로, 상기 제4밸브(444)는 High Vacuum Valve로 각각 구성될 수 있다. Front and rear lines of the first connection pipe 431 may be divided based on the sub pump 430, and the pipe assembly 400 is disposed between the vacuum pipe 411 and the sub pump 430. A third valve 443 and a fourth valve 444 disposed between the sub pump 430 and the first cover 110 may be included. At this time, the third valve 443 and the fourth valve 444 may be different types of valves. For example, the third valve 443 is a Fore-Line Angle Valve, and the fourth valve 444 is a Fore-Line Angle Valve. Each can be composed of High Vacuum Valve.

도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 진공성능 테스트기에 관한 것으로, 도 5는 진공성능 테스트기의 부분확대도를, 도 6은 진공성능 테스트기의 분해사시도의 요부를 확대한 도면을 각각 나타낸다.5 and 6 relate to a vacuum performance tester according to the present invention, FIG. 5 is a partial enlarged view of the vacuum performance tester, and FIG. 6 is an exploded perspective view of the vacuum performance tester with enlarged main parts.

도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 진공챔버 하우징(20)은 상하측으로 개방된 원통 형상의 하우징몸체(21)와 상기 하우징몸체(21)의 내측에 형성되는 관통홀(22)을 포함할 수 있으며, 상기 제1커버몸체(111) 및 제2커버몸체(121)는 상기 하우징몸체(21)의 하면 및 상면에 각각 결합되어 상기 관통홀(22)의 상하측을 밀폐할 수 있다. 이에 따라 상기 하우징몸체(21)의 내부가 밀폐되어 압력이 유지될 수 있다.5 and 6 , the vacuum chamber housing 20 may include a cylindrical housing body 21 open up and down and a through hole 22 formed inside the housing body 21. And, the first cover body 111 and the second cover body 121 are coupled to the lower and upper surfaces of the housing body 21, respectively, to seal the upper and lower sides of the through hole 22. Accordingly, the inside of the housing body 21 is sealed so that pressure can be maintained.

상기 제1커버(110)는 상기 제1커버몸체(111)의 중심부에 배치되어 상기 파이프조립체(400)와 연결되는 유동홀(112)과, 상기 하우징몸체(21)의 저면과 대향하는 측에 배치되는 실링부재(113)를 더 포함할 수 있다. 이때 상기 유동홀(112)은 상기 하우징몸체(21)의 내부를 진공압으로 형성하도록 상기 하우징몸체(21)의 내부와 상기 파이프조립체(400)를 연결하는 홀일 수 있으며, 상기 실링부재(113)는 링 가스켓 등으로 이루어져 상기 하우징몸체(21)와 외부 사이의 유체흐름을 차단할 수 있다. 이때 도시되지는 않았으나 상기 제2커버몸체(121)의 하면과 상기 하우징몸체(21)의 상면 사이를 밀폐하도록 상기 제2커버몸체(121)의 하면에도 실링부재가 배치될 수 있다.The first cover 110 is disposed in the center of the first cover body 111 and has a flow hole 112 connected to the pipe assembly 400 and a side opposite to the bottom surface of the housing body 21. A sealing member 113 may be further included. At this time, the flow hole 112 may be a hole connecting the inside of the housing body 21 and the pipe assembly 400 so as to form the inside of the housing body 21 by vacuum pressure, and the sealing member 113 Is composed of a ring gasket or the like can block the fluid flow between the housing body 21 and the outside. At this time, although not shown, a sealing member may be disposed on the lower surface of the second cover body 121 to seal between the lower surface of the second cover body 121 and the upper surface of the housing body 21 .

도 7 내지 도 9는 본 발명에 따른 진공성능 테스트기에 관한 것으로, 도 7은 진공챔버 하우징의 사시도를, 도 8은 진공챔버 하우징의 정면도를, 도 9는 진공챔버 하우징의 평면도를 각각 나타낸다.7 to 9 relate to a vacuum performance tester according to the present invention, wherein FIG. 7 is a perspective view of a vacuum chamber housing, FIG. 8 is a front view of the vacuum chamber housing, and FIG. 9 is a plan view of the vacuum chamber housing.

도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 진공챔버 하우징(20)은 에칭공정의 플라즈마 장치에서 사용되는 어퍼하우징(Upper Housing)을 모사한 제품일 수 있다. 일반적으로 실제품인 어퍼하우징은 제품몸체, 관통홀과 더불어 다른 제품들을 고정하거나 상호 체결이 가능하도록 돌출부, 측면홀 또는 함몰부 등을 더 포함할 수 있다. 이에 따라 상기 실제품에 대한 성능을 직접 검사하기 위해서는, 상기 제품몸체의 상하면 형상과 대응하도록 장치가 마련되어야 하는 문제가 있으며, 본원발명은 상기 실제품의 제품몸체 및 관통홀과 크기가 대응되면서 상하면이 편평하도록 평탄도를 조절한 하우징몸체(21)를 포함하는 진공챔버 하우징(20)을 설계 및 제작할 수 있다. 그리고 상기 제품몸체의 상면 또는 하면에 돌출부 등으로 인해 발생된 높이차이를 수치조절을 통해 편평하도록 설계 및 제작할 수 있다.Referring to FIGS. 7 and 8 , the vacuum chamber housing 20 according to the present invention may be a product imitating an upper housing used in a plasma device of an etching process. In general, the upper housing, which is a real product, may further include a protrusion, a side hole, or a depression to fix or mutually fasten other products in addition to the product body and the through hole. Accordingly, in order to directly test the performance of the actual product, there is a problem in that a device must be provided to correspond to the shape of the upper and lower surfaces of the product body. It is possible to design and manufacture the vacuum chamber housing 20 including the housing body 21 whose flatness is adjusted to And it can be designed and manufactured to be flat through numerical adjustment of the height difference caused by the protrusion on the upper or lower surface of the product body.

도 9에서 도시된 바와 같이 상기 진공챔버 하우징(20)은 상기 하우징몸체(21)의 상면 또는 하면의 둘레방향을 따라 파여진 홈인 그루브(23)를 더 포함할 수 있으며, 상기 그루브(23) 상에는 상술한 바와 같이 실링부재가 배치될 수도 있다. 이때 상기 그루브(23)는 상기 하우징몸체(21)의 상면 또는 하면에 형성되거나, 상하면 모두 배치될 수도 있다.As shown in FIG. 9, the vacuum chamber housing 20 may further include a groove 23, which is a groove dug along the circumferential direction of the upper or lower surface of the housing body 21, on the groove 23 As described above, a sealing member may be disposed. At this time, the groove 23 may be formed on the upper or lower surface of the housing body 21, or may be disposed on both upper and lower surfaces.

도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 진공성능 테스트기를 이용한 진공성능 측정방법에 관한 것으로, 도 10 및 도 11은 진공성능 검사방법을 도시한 도면을 각각 나타낸다. 이때 도 11에서는 본 발명에 따른 파이프라인이 도시되어 있다.10 and 11 relate to a vacuum performance measuring method using a vacuum performance tester according to the present invention, and FIGS. 10 and 11 each show views showing a vacuum performance testing method. 11 shows a pipeline according to the present invention.

도 10을 참조하면, 본 발명에 따른 진공성능 검사방법은, 성능검사 이전에 실제품의 형상과 수치를 측정하는 단계와, 측정된 실제품의 형상과 수치를 기반으로 테스트용 제품인 진공챔버 하우징(20)을 제작하는 단계를 포함할 수 있다. 이때 상기 진공챔버 하우징(20)을 제작하는 과정에서 실제품의 상면 및 하면이 편평해지도록 돌출부나 함몰부를 제거할 수 있으며, 실제품의 제품몸체의 내면과 외면을 관통하는 측면홀이 형성된 경우에는 밀폐되도록 상기 진공챔버 하우징(20)의 하우징몸체(21)를 설계할 수 있다. 그리고 상기 진공챔버 하우징(20)의 제작이 완료되면 본 발명에 따른 진공성능 테스트기(10)에 삽입하여 성능을 검사할 수 있다.Referring to FIG. 10, the vacuum performance testing method according to the present invention includes the step of measuring the shape and numerical value of an actual product prior to performance testing, and the vacuum chamber housing 20, which is a product for testing, based on the measured shape and numerical value of the actual product. It may include a step of manufacturing. At this time, in the process of manufacturing the vacuum chamber housing 20, protrusions or depressions may be removed so that the upper and lower surfaces of the actual product become flat, and when side holes penetrating the inner and outer surfaces of the product body of the actual product are formed, they are sealed. The housing body 21 of the vacuum chamber housing 20 can be designed. And, when the manufacture of the vacuum chamber housing 20 is completed, it can be inserted into the vacuum performance tester 10 according to the present invention to test its performance.

도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 진공성능 측정방법은, 메인펌프(300)를 가동하는 가동단계, 상기 제1밸브(441) 및 제2밸브(442)를 순차적으로 개방하여 라인압력을 제1기준압력 이하로 강하하는 제1강하단계, 상기 제1밸브(441)를 닫은 후에 상기 제3밸브(443)를 개방하고 상기 서브펌프(430)를 가동하여 라인압력을 제2기준압력 이하로 강하하는 제2강하단계, 상기 제2밸브(442)를 닫고 제4밸브(444)를 개방한 후에 라인압력을 안정화하는 압력안정화단계 및, 상기 제1압력게이지(122) 또는 제2압력게이지(123)로 상기 진공챔버 하우징(20)의 내부 압력을 측정하는 진공압측정단계를 포함할 수 있다. 이때 상기 진공성능 측정방법은 상기 진공압측정단계 이후, 상기 상기 진공챔버 하우징(20)의 주변에 검출유체를 분사하여 상기 진공챔버 하우징(20)의 리크여부를 검출하는 리크검사단계를 더 포함할 수 있다. 이때 상기 리크검사단계에서는 상기 누출감지기(500)에 연결된 감지기밸브(422)를 개방하여 라인을 따라 유동되는 검출유체를 측정하여 리크포인트 발생여부를 판별할 수 있다. 아울러 상기 제1강하단계 및 제2강하단계에서는 라인 상에 연결된 제3압력게이지(450)를 통해 제1기준압력 및 제2기준압력 이하인지 여부를 판별할 수 있다. 이때 상기 제2기준압력은 상기 제1기준압력 보다 낮도록 설정될 수 있다.Referring to FIG. 11, in the method for measuring vacuum performance according to the present invention, the operation step of operating the main pump 300 and sequentially opening the first valve 441 and the second valve 442 to determine the line pressure. In the first drop step of dropping below 1 reference pressure, after closing the first valve 441, the third valve 443 is opened and the sub pump 430 is operated to reduce the line pressure to the second reference pressure or less. The second descending step, the pressure stabilization step of stabilizing the line pressure after the second valve 442 is closed and the fourth valve 444 is opened, and the first pressure gauge 122 or the second pressure gauge ( 123) may include a vacuum pressure measurement step of measuring the internal pressure of the vacuum chamber housing 20. At this time, the vacuum performance measurement method may further include a leak test step of detecting whether or not the vacuum chamber housing 20 leaks by injecting a detection fluid around the vacuum chamber housing 20 after the vacuum pressure measuring step. can At this time, in the leak test step, the detector valve 422 connected to the leak detector 500 may be opened to measure the detection fluid flowing along the line to determine whether a leak point has occurred. In addition, in the first lowering step and the second lowering step, it is possible to determine whether the pressure is lower than the first reference pressure and the second reference pressure through the third pressure gauge 450 connected to the line. At this time, the second reference pressure may be set to be lower than the first reference pressure.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 일 실시예에 한정되는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.As described above, the present invention has been described with specific details such as specific components and limited embodiment drawings, but this is only provided to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above one embodiment. No, and those skilled in the art to which the present invention pertains can make various modifications and variations from these descriptions.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술되는 특허 청구 범위뿐 아니라 이 특허 청구 범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and it can be said that not only the claims described later, but also all modifications equivalent or equivalent to these claims fall within the scope of the spirit of the present invention. will be.

10 : 진공성능 테스트기
20 : 진공챔버 하우징 21 : 하우징몸체
22 : 관통홀 23 : 그루브
100 : 프레임 101 : 메인프레임
102 : 받침프레임 103 : 연결프레임
110 : 제1커버
111 : 제1커버몸체 112 : 유동홀
113 : 실링부재
120 : 제2커버
121 : 제2커버몸체 122 : 제1압력게이지
123 : 제2압력게이지 124 : 온도게이지
125 : 릴리프밸브 126 : 핸들
200 : 고정부 210 : 고정하우징
220 : 고정부재 230 : 제어부재
300 : 메인펌프
400 : 파이프조립체
410 : 진공파이프라인 411 : 진공파이프
420 : 검출파이프라인 421 : 검출파이프
422 : 감지기밸브
430 : 서브펌프 431 : 제1연결파이프
432 : 제2연결파이프 441 : 제1밸브
442 : 제2밸브 443 : 제3밸브
444 : 제4밸브 450 : 제3압력게이지
500 : 누출감지기
600 : 컨트롤박스10: Vacuum performance tester
20: vacuum chamber housing 21: housing body
22: through hole 23: groove
100: frame 101: mainframe
102: support frame 103: connection frame
110: first cover
111: first cover body 112: flow hole
113: sealing member
120: second cover
121: second cover body 122: first pressure gauge
123: second pressure gauge 124: temperature gauge
125: relief valve 126: handle
200: fixed part 210: fixed housing
220: fixing member 230: control member
300: main pump
400: pipe assembly
410: vacuum pipeline 411: vacuum pipe
420: detection pipeline 421: detection pipe
422: sensor valve
430: sub pump 431: first connection pipe
432: second connection pipe 441: first valve
442: second valve 443: third valve
444: fourth valve 450: third pressure gauge
500: leak detector
600: control box

Claims (15)

하우징몸체와 상기 하우징몸체의 양면으로 관통된 관통홀을 포함하는 진공챔버 하우징에 대한 진공성능 테스트기에 있어서,
상기 하우징몸체의 일면에 결합되는 제1커버; 및
상기 하우징몸체의 타면에 결합되는 제2커버;
를 포함하고,
상기 제1커버는 상기 하우징몸체의 내부에 유체를 공급하거나 배출하는 유동홀을 포함하며,
상기 제2커버는 상기 하우징몸체의 내부의 압력을 측정하는 적어도 하나의 압력게이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
A vacuum performance tester for a vacuum chamber housing including a housing body and through-holes passing through both sides of the housing body,
a first cover coupled to one surface of the housing body; and
a second cover coupled to the other surface of the housing body;
including,
The first cover includes a flow hole for supplying or discharging fluid into the housing body,
The vacuum performance tester, characterized in that the second cover includes at least one pressure gauge for measuring the pressure inside the housing body.
 제1항에 있어서,
상기 제1커버에 일단이 고정되되 타단이 상기 제2커버와 결합되는 고정부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to claim 1,
a fixing part having one end fixed to the first cover and the other end coupled to the second cover;
Vacuum performance tester characterized in that it further comprises.
 제1항에 있어서,
상기 하우징몸체의 내부 압력을 조절하는 메인펌프; 및
상기 메인펌프와 상기 제1커버의 유동홀 사이를 연결하는 파이프조립체;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to claim 1,
a main pump for regulating the internal pressure of the housing body; and
a pipe assembly connecting the main pump and the flow hole of the first cover;
Vacuum performance tester characterized in that it further comprises.
 제3항에 있어서,
상기 파이프조립체는,
상기 메인펌프와 연결되는 진공파이프;
상기 하우징몸체의 내부 압력을 조절하는 서브펌프;
상기 진공파이프와 상기 유동홀 사이를 연결하되 서브펌프를 경유하도록 연결되는 제1연결파이프; 및
상기 진공파이프와 상기 유동홀 사이를 연결하는 제2연결파이프;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to claim 3,
The pipe assembly,
a vacuum pipe connected to the main pump;
a sub-pump for regulating the internal pressure of the housing body;
a first connection pipe connected between the vacuum pipe and the flow hole via a sub-pump; and
a second connection pipe connecting the vacuum pipe and the flow hole;
A vacuum performance tester comprising a.
 제4항에 있어서,
상기 메인펌프 및 서브펌프는 각각,
베인펌프 및 터빈펌프인 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to claim 4,
The main pump and the sub pump, respectively,
A vacuum performance tester characterized in that the vane pump and the turbine pump.
 제4항에 있어서,
상기 파이프조립체는,
상기 제2연결파이프에 배치되되 상기 제2연결파이프가 분기된 두 라인 상에 각각 배치되는 제1밸브; 및 제2밸브;
상기 진공파이프와 서브펌프 사이에 배치되는 제3밸브;
상기 서브펌프와 유동홀 사이에 배치되는 제4밸브;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to claim 4,
The pipe assembly,
first valves disposed on the second connection pipe and disposed on two lines from which the second connection pipe is branched; and a second valve;
a third valve disposed between the vacuum pipe and the sub pump;
a fourth valve disposed between the sub pump and the flow hole;
A vacuum performance tester comprising a.
 제1항에 있어서,
상기 제2커버는,
상기 하우징몸체의 내부의 온도를 측정하는 적어도 하나의 온도게이지;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to claim 1,
The second cover,
at least one temperature gauge for measuring the internal temperature of the housing body;
Vacuum performance tester characterized in that it further comprises.
 제1항에 있어서,
상기 제2커버는,
상기 하우징몸체의 내부의 유체를 외부로 배출하는 릴리프밸브;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to claim 1,
The second cover,
a relief valve for discharging the fluid inside the housing body to the outside;
Vacuum performance tester characterized in that it further comprises.
 제3항에 있어서,
상기 진공챔버 하우징의 주변에 분사된 검출유체를 통해 상기 진공챔버 하우징의 리크(Leak) 여부를 감지하는 누출감지기;
를 더 포함하는 진공성능 테스트기.
According to claim 3,
a leak detector for detecting whether or not the vacuum chamber housing leaks through a detection fluid sprayed around the vacuum chamber housing;
A vacuum performance tester further comprising a.
 제9항에 있어서,
상기 검출유체는 헬륨인 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to claim 9,
The detection fluid is a vacuum performance tester, characterized in that helium.
 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 진공챔버 하우징은,
하우징몸체의 양면 중 적어도 하나의 면에 실링부재가 삽입되는 그루브가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to any one of claims 1 to 10,
The vacuum chamber housing,
A vacuum performance tester, characterized in that a groove into which a sealing member is inserted is formed on at least one of both sides of the housing body.
 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 진공챔버 하우징은,
실제품의 양면이 편평하도록 평탄도를 조절하여 가공된 제품인 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to any one of claims 1 to 10,
The vacuum chamber housing,
A vacuum performance tester, characterized in that the product is processed by adjusting the flatness so that both sides of the actual product are flat.
 제12항에 있어서,
상기 실제품은,
웨이퍼 플라즈마 에칭설비에서 진공챔버의 상면에 결합되어 고주파 코일을 지지하는 어퍼하우징인 것을 특징으로 하는 진공성능 테스트기.
According to claim 12,
The actual product is
Vacuum performance tester, characterized in that the upper housing coupled to the upper surface of the vacuum chamber in the wafer plasma etching equipment to support the high-frequency coil.
 제6항의 진공성능 테스트기를 이용한 진공성능 측정방법에 있어서,
메인펌프를 가동하는 가동단계;
상기 제1밸브 및 제2밸브를 순차적으로 개방하여 라인압력을 제1기준압력 이하로 강하하는 제1강하단계;
상기 제1밸브를 닫은 후에 상기 제3밸브를 개방하고 상기 서브펌프를 가동하여 라인압력을 제2기준압력 이하로 강하하는 제2강하단계;
상기 제2밸브를 닫고 제4밸브를 개방한 후에 라인압력을 안정화하는 압력안정화단계; 및
상기 제2커버의 압력게이지로 상기 하우징몸체의 내부 압력을 측정하는 진공압측정단계;
를 포함하는 진공성능 측정방법.
In the vacuum performance measuring method using the vacuum performance tester of claim 6,
An operation step of operating the main pump;
a first lowering step of sequentially opening the first valve and the second valve to lower the line pressure to a first reference pressure or less;
a second lowering step of closing the first valve and then opening the third valve and operating the sub-pump to drop the line pressure below a second reference pressure;
a pressure stabilization step of stabilizing line pressure after closing the second valve and opening the fourth valve; and
a vacuum pressure measurement step of measuring the internal pressure of the housing body with a pressure gauge of the second cover;
Vacuum performance measurement method comprising a.
 제14항에 있어서,
상기 진공압측정단계의 이후,
상기 진공챔버 하우징의 주변에 검출유체를 분사하여 상기 진공챔버 하우징의 리크여부를 검출하는 리크검사단계;
를 더 포함하는 진공성능 측정방법.According to claim 14,
After the vacuum pressure measurement step,
a leak test step of spraying a detection fluid around the vacuum chamber housing to detect leaks in the vacuum chamber housing;
Vacuum performance measuring method further comprising a.
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