JP4600906B2

JP4600906B2 - Workpiece leakage inspection apparatus, leakage inspection apparatus chamber, and leakage inspection method

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Publication number: JP4600906B2
Application number: JP2001220409A
Authority: JP
Inventors: 秀美高橋
Original assignee: Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Current assignee: Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Priority date: 2001-07-19
Filing date: 2001-07-19
Publication date: 2010-12-22
Anticipated expiration: 2021-07-19
Also published as: JP2003035622A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、トレースガス（検査用ガス）を利用して、配管の接合部分や加工部等、ワークの被検査部分における漏れを検出するワークの漏れ検査装置、漏れ検査装置用チャンバおよび漏れ検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
エアコンや冷蔵庫で使用される冷媒ガス用の配管や、自動車で使用される排気ガスや燃料用の配管等、各種の気体供給用の配管や、液体供給用の配管等の中には、気密性が要求されるものがある。そして、従来から、このような気密性を要する配管等における接合部分からの漏れを検出するための検査が行われており、このような検査に、トレースガスとしてヘリウムガスを用いた装置や方法がある。例えば、スニファー方式と呼ばれる検査方法やチャンバ方式と呼ばれる検査方法である。
【０００３】
前記スニファー方式による検査方法は、被検査用配管の一端の開口部にヘリウムガスを供給するためのヘリウムガス供給装置を接続するとともに、他の開口部を全て栓を用いて閉塞する。そして、ヘリウムガス供給装置から被検査用配管内にヘリウムガスを供給しながら、被検査用配管の接合部分に、ヘリウムガス漏れ検出装置のスニファープローブを近づけて接合部分から外部へのヘリウムガスの漏れを検出するものである。
【０００４】
また、チャンバ方式による検査方法は、被検査用配管の一端開口部にヘリウムガス供給装置を接続して、他の全ての開口部を栓を用いて閉塞し、その状態の被検査用配管を、ヘリウムガス漏れ検出装置が接続された密閉箱型のチャンバ内に配置する。そして、ヘリウムガス供給装置から被検査用配管内にヘリウムガスを供給したときに、被検査用配管からチャンバ内に漏れるヘリウムガスの有無をヘリウムガス漏れ検出装置で検出するというものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、スニファー方式による検査方法では、ガス漏れの有無といった大まかな検査ができるだけで、例えば、気流のある環境で検査を行う場合には、その気流の影響を受けるため漏れ量の定量化は難しく、正確な検査ができないという問題がある。また、ガス漏れ検出の際に、スニファープローブの先端で各接合部の周囲を辿るようにして作業を行うため、検出作業が面倒で長時間を要するという問題もある。
【０００６】
一方、チャンバ方式による検査方法では、被検査用配管全体をチャンバ内に入れるため、大きなチャンバが必要になり、装置が大型化しコストが高くなるという問題がある。さらに、被検査用配管に複数の接合部分がある場合には、どの接合部分からガス漏れが生じているかの特定ができず、この特定を行う場合には、再度別の方法による検査を行う必要が生じるという問題もある。
【０００７】
【発明の概要】
本発明は、上記した問題に対処するためになされたもので、その目的は、装置が小型でその構造が簡単になり、また、ガス漏れを検出した場合そのガス漏れ箇所の特定ができるとともに、ガス漏れ量の定量化ができて、正確で精度のよい漏れ検出ができるワークの漏れ検査装置、漏れ検査装置用チャンバおよび漏れ検査方法を提供することである。
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明に係るワークの漏れ検査装置用チャンバの特徴は、ワークの外面における被検査部分の周囲に着脱自在に取り付け可能で、被検査部分の周囲に空間部を形成するための被覆部と、被検査部分の周囲に形成される空間部を密閉するために、被覆部におけるワークとの接触部側に設けられ、ワークの外面に密着可能なシール部と、被覆部の内部と外部を連通させる気体流通路とを備え，シール部に空気注入部を設け、この空気注入部に空気を注入することにより、空気圧を利用して、ワークの外面と被覆部との間の空間部を密閉するようにしたことにある。
【０００９】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、ワークの漏れ検査装置用チャンバは小型にできるとともに、密閉性のよいものになる。また、気体流通路を介して被覆部内の密閉空間部にトレースガスを供給したり、密閉空間部内を減圧したりすることができる。さらに、シール部に空気注入部を設けることにより、ワークの大きさに多少の大小があっても、密閉空間部の密閉状態を良好にすることができる。
【００１０】
また、被覆部を略円筒状体で構成するとともに、その円筒状体を軸線方向に沿って複数個に分割し、かつ、そのそれぞれの分割面にガス漏れ防止用のシール部を設けることもできる。被覆部を、中心軸に沿って複数個に分割することにより、着脱が容易になるとともに、ワークの形状が複雑なもの、例えば、Ｔ形になった配管や、直径の異なる配管を連結したもの等の場合でも、被検査部分の被覆ができるためガス漏れ検査を行うことができるようになる。
【００１１】
本発明に係るワークの漏れ検査装置の特徴は、前述したワークの漏れ検査装置用チャンバを備えたワークの漏れ検査装置であって、ワークおよびワークの漏れ検査装置用チャンバの一方に接続手段を介して接続されて同一方にトレースガスを供給するトレースガス供給装置と、ワークおよびワークの漏れ検査装置用チャンバの他方に接続手段を介して接続されて同他方に漏れてくるトレースガスを検出する検出装置とを備えたことにある。
【００１２】
前記の場合、トレースガスの検出が行われるワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部またはワークの密閉空間部を減圧するための減圧装置を設けることが好ましい。
【００１３】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、ワークの漏れ検査装置用チャンバに設けられたシール部がワークの被検査部分の周囲に密着し、それによってワークの一部である被検査部分の周囲だけに密閉空間部を形成することができる。そして、トレースガス供給装置によって、ワークの密閉空間部か、またはワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部にトレースガスを供給するようになっている。ワークの密閉空間部にトレースガスを供給する場合には、ワークの密閉空間部からワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部に漏れてくるトレースガスを、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部に連通する接続手段を介して検出装置で検出する。
【００１４】
また、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部にトレースガスを供給する場合には、ワークの密閉空間部に連結される接続手段を介して、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部からワークの密閉空間部に漏れてくるトレースガスを検出装置で検出するようになっている。したがって、ワークの漏れ検査装置用チャンバの大きさは、ワークの被検査部分の周囲に密閉空間部を形成してその被検査部分を被覆できるだけの大きさでよいため、ワークの漏れ検査装置用チャンバの大幅な小型化が図れる。また、ワークの漏れ検査装置用チャンバをワークの周囲を被覆できるだけの小型に設定できるため、被検査部分を複数有するワークの場合、それぞれの被検査部分にワークの漏れ検査装置用チャンバを取り付け、個別に検査をすることができる。このため、欠陥のある被検査部分を特定することができ、かつ、その際のガス漏れ量の定量化もできる。
【００１５】
また、ワークの密閉空間部からワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部に漏れてくるトレースガスを検出する場合には、減圧装置を、接続手段を介してワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部に連結することにより、より精度のよい検査が行えるようになる。すなわち、この場合には、ワークの密閉空間部にはトレースガスが圧入され、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部は減圧されるため、ガス漏れの欠陥を生じさせる被検査部分の穴や亀裂の大きさが小さい場合でもトレースガスは被検査部分を通過してワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部側に移動する。
【００１６】
また、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部からワークの密閉空間部に漏れるトレースガスを検出する場合には、減圧装置を、ワークの密閉空間部に接続することにより、同様にして、精度のよい検査が行える。
【００１７】
また、本発明のワークの漏れ検査方法の特徴は、前述したワークの漏れ検査装置用チャンバを用いたワークの漏れ検査方法であって、内部側を密閉空間部にしたワークの外面における被検査部分の周囲に、ワークの漏れ検査装置用チャンバを密着させて密閉空間部を形成する工程と、ワークの密閉空間部およびワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の一方にトレースガスを供給する工程と、ワークの密閉空間部およびワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の他方に被検査部分を通過して漏れてくるトレースガスを検出する工程とからなることにある。この場合、ワークの密閉空間部およびワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の他方に漏れてくるトレースガスを検出する際に、トレースガスを検出するワークの密閉空間部およびワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の他方を減圧することが好ましい。
【００１８】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の容積を必要最小限なものに設定することができるため、検査精度が向上するとともに、迅速な作業が可能になる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図１は同実施形態に係る漏れ検査装置１０を示している。この漏れ検査装置１０は、被検査用配管１１の外周面における接合部分を密閉状態で被覆するチャンバ１２と、被検査用配管１１内に検査用のトレースガスであるヘリウムガスを供給するヘリウムボンベ１３と、ヘリウムガスの漏れを検出するヘリウムリークディテクター１４を備えている。被検査用配管１１は、Ｔ字形の配管１１ａと、３個の直線状の短い配管１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの計４個の配管からなり、配管１１ａの３箇所の端部にそれぞれ配管１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを溶接によって連結して構成されている。そして、被検査用配管１１における接合部にチャンバ１２がそれぞれ取り付けられている。
【００２０】
チャンバ１２は、図２に示すように、蝶番１５によって互いに開閉自在に連結された２個の樋状の被覆部１６ａ，１６ｂを備えており、その合わせ面１７ａ，１７ｂを接面させて組み付けることにより円筒形の被覆部１６が形成される。なお、図２は、被覆部１６ａと蝶番１５の一片１５ａが取り外された状態を示しており、もう一方の他片は、被覆部１６ｂに固定されている（図示せず）。一片１５ａは他片に対して回動自在になっており、一片１５ａと被覆部１６ａをねじによって固定することにより、蝶番１５を中心として、被覆部１６ａと被覆部１６ｂは互いに開閉するようになる。
【００２１】
被覆部１６ａ，１６ｂには、それぞれ合わせ面１７ａ，１７ｂに中心軸に沿って延びる半円柱状の凹部１８ａ，１８ｂが設けられており、その凹部１８ａ，１８ｂは、被覆部１６ａ，１６ｂを合わせて閉じると、被検査用配管１１を内嵌できる形状および大きさに設定されている。また、その凹部１８ａ，１８ｂの中心軸に沿った中心側には、凹部１８ａ，１８ｂの直径よりも大きな直径を有する半円柱状の空間部１９ａ，１９ｂが設けられている。この空間部１９ａ，１９ｂは、被覆部１６ａ，１６ｂの内部に被検査用配管１１を入れて、被覆部１６ａ，１６ｂを合わせて閉じると、被検査用配管１１の外周面に形成される円筒状の空間部になる。
【００２２】
また、合わせ面１７ａ，１７ｂおよび凹部１８ａ，１８ｂの表面には、それぞれ断面形状が半円状の無端状の溝２０ａ，２０ｂが設けられており、この溝２０ａ，２０ｂ内に、断面形状が円形状に形成された無端状の密閉用のシールゴム２１ａ，２１ｂが固定されている。シールゴム２１ａ，２１ｂは、その円形状に形成された断面形状における円形の半分の部分を合わせ面１７ａ，１７ｂから突出させた状態で、かつ互いに対称になる位置に固定されている。
【００２３】
したがって、被検査用配管１１の外周面に被覆部１６ａ，１６ｂを組み付けると、合わせ面１７ａ，１７ｂのように被検査用配管１１に接触しない位置では、シールゴム２１ａ，２１ｂは互いに圧接される。また、凹部１８ａ，１８ｂのように被検査用配管１１に接触する位置では、それぞれのシールゴム２１ａ，２１ｂが被検査用配管１１と密着することによって、空間部１９ａ，１９ｂで形成される密閉空間部は完全に外部から密閉された状態になる。
【００２４】
すなわち、凹部１８ａ，１８ｂを構成する壁面と被検査用配管１１の外周面との間は、凹部１８ａ，１８ｂに位置するシールゴム２１ａ，２１ｂによって密閉され、被覆部１６ａと被覆部１６ｂの間は、合わせ面１７ａ，１７ｂに位置するシールゴム２１ａ，２１ｂ同士の圧接によって密閉される。このように、シールゴム２１ａ，２１ｂと被検査用配管１１が圧接することによって、被検査用配管１１の一部分である接合部とその周囲部分のみで密閉空間部を形成し、この密閉空間部で漏れを検査できる。
【００２５】
また、被覆部１６ｂにおける空間部１９ｂを形成する内周面と被覆部１６ｂの外周面との間には気体流通路２２が設けられて、その気体流通路２２の外部側の開口部には気体流通用の配管２２ａが連結されている。また、被覆部１６ａにおける蝶番１５が固定された部分と反対の部分には被係合用の突起２３ａが設けられ、被覆部１６ｂにおける突起２３ａと相対峙する部分には、突起２３ａと着脱自在に係合可能な係合部２３ｂが設けられている。
【００２６】
そして、被覆部１６ａと被覆部１６ｂを閉じた状態で、係合部２３ｂを突起２３ａに係合させると、内部の空間部１９ａ，１９ｂを密閉して被覆部１６が閉成した状態が維持され、係合部２３ｂと突起２３ａの係合を解除すると、被覆部１６ａと被覆部１６ｂを開くことのできる状態になる。なお、係合部２３ｂは、突起２３ａに係合可能な四角形の枠体２３ｃと、被覆部１６ｂに固定され、枠体２３ｃを回転可能に支持するとともに、枠体２３ｃを突起２３ａに軽く係合させた状態で突起２３ａから遠ざかるように回転することにより前記係合をより強固にすることにできる回転支持体２３ｄとで構成されている。
【００２７】
したがって、枠体２３ｃを突起２３ａに引っ掛けて回転支持体２３ｄを突起２３ａから遠ざかるように回転することにより突起２３ａと係合部２３ｂの係合ができて、被覆部１６ａと被覆部１６ｂを閉じた状態にできる。また、回転支持体２３ｄを突起２３ａ側に回転させて枠体２３ｃを突起２３ａから離すことにより、突起２３ａと係合部２３ｂの係合を解除して被覆部１６ａと被覆部１６ｂを開き、被覆部１６を被検査用配管１１から取り外すことができる。
【００２８】
ヘリウムボンベ１３は、開閉バルブ２４を介して、被検査用配管１１の配管１１ｄに接続されており、検査時には、開閉バルブ２４を開けて、内部に蓄積しているヘリウムガスを被検査用配管１１内に供給する。また、ヘリウムボンベ１３には圧力計１３ａが取り付けられて、内部のヘリウム量が分かるようになっている。
【００２９】
ヘリウムリークディテクター１４は、それぞれ開閉バルブ２５ａ，２５ｂ，２５ｃを備えた３個の接続配管２６ａ，２６ｂ，２６ｃを介して、３個のチャンバ１２に接続されており、チャンバ１２内の空間部１９ａ，１９ｂで形成される密閉空間部内におけるヘリウムガスの有無およびその量を検出する。また、このヘリウムリークディテクター１４は、吸引機能も備えており、ヘリウムガス検出の際、密閉空間部内を排気することによって減圧し、より精度の高い検出が行えるようにする。
【００３０】
このように構成された漏れ検査装置１０を用いて、被検査用配管１１のガス漏れ検査を行う場合、まず、配管１１ｄに、開閉バルブ２４を連結して、被検査用配管１１とヘリウムボンベ１３を接続するとともに、配管１１ｂ，１１ｃの開口部をキャップ２７ａ，２７ｂで閉塞する。ついで、３個のチャンバ１２をそれぞれ、配管１１ａと配管１１ｂの接合部分、配管１１ａと配管１１ｃの接合部分および配管１１ａと配管１１ｄの接合部分に取り付ける。つぎに、接続配管２６ａ，２６ｂ，２６ｃをそれぞれチャンバ１２の配管２２ａに接続して、チャンバ１２内の空間部１９ａ，１９ｂとヘリウムリークディテクター１４を連通させる。
【００３１】
その状態で、開閉バルブ２４，２５ａ，２５ｂ，２５ｃを全て開いた状態にし、ヘリウムボンベ１３から被検査用配管１１内にヘリウムガスを供給するとともに、チャンバ１２の空間部１９ａ，１９ｂ内を減圧しながら空間部１９ａ，１９ｂ内のヘリウムガスを検出する。この結果、ヘリウムガスが検出されなかった場合は、この被検査用配管１１の接合部分には欠陥はないと判断して、つぎの被検査用配管の検査を行う。
【００３２】
前記検査でヘリウムガスが検出された場合には、開閉バルブ２５ａ，２５ｂ，２５ｃのうち検査するチャンバ１２が接続された接続配管の開閉バルブだけを開けて、他の２個の開閉バルブは閉じた状態にして、そのチャンバ１２に被覆された接合部分の検査を行う。この操作を順次各開閉バルブ２５ａ，２５ｂ，２５ｃを開閉しながら繰り返すことにより、ガス漏れが生じる接合部分の特定および漏れるガス量を測定する。
【００３３】
このように、本実施形態による漏れ検査装置１０によれば、チャンバ１２が、被検査用配管１１の接合部分およびその周囲だけを被覆する大きさにされているため、小さなものですむ。また、被検査用配管１１に接合部分が複数有れば、そのそれぞれにチャンバ１２を取り付け、個別に検査をすることができるため、欠陥のある接合部分を特定することができ、さらに、ヘリウムリークディテクター１４は、ヘリウムガスの有無だけでなく、量も測定できるためガス漏れ量の定量化もできる。
【００３４】
また、空間部１９ａ，１９ｂを減圧して、接合部分から漏れてくるトレースガスを検出するため、より精度のよい検査が行えるようになる。さらに、チャンバ１２の被検査用配管１１への取り付けが、被覆部１６ａと被覆部１６ｂで接合部分を挟むようにして接合部分とその周辺部の周面、すなわち、被検査用配管１１の検査部分とその周辺部という被検査用配管１１全体から見て一部分のみを被覆し、突起２３ａに係合部２３ｂを係合させるだけであるため極めて容易である。また、その取り外しも、突起２３ａと係合部２３ｂの係合を解除するだけであるため簡単である。
【００３５】
なお、前記実施形態では、被検査用配管１１にヘリウムボンベ１３を連結し、チャンバ１２の空間部１９ａ，１９ｂとヘリウムリークディテクター１４を連通しているが、これを逆にして、被検査用配管１１にヘリウムリークディテクター１４を連結し、チャンバ１２の空間部１９ａ，１９ｂとヘリウムボンベ１３を連通することもできる。この場合も、前記実施形態による漏れ検査装置１０と同様の作用効果を奏することができる。
【００３６】
また、気体流通路２２および配管２２ａを、チャンバ１２内を減圧する際の流通路と、チャンバ１２内にヘリウムガスを供給する際の流通路とで共用してもよいし、別途、気体流通路および配管を設けて、チャンバ１２内の減圧と、チャンバ１２内へのヘリウムガスの供給を別々に行うようにしてもよい。さらに、チャンバ１２を被検査用配管１１に取り付ける際、シールゴム２１ａ，２１ｂが当接する被検査用配管１１の外周面に、ゴムテープ等からなるシールを巻いておくこともできる。これによって、チャンバ１２の空間部１９ａ，１９ｂの密閉がさらに確実なものになる。
【００３７】
また、被検査用配管１１内にヘリウムガスを供給する際、被検査用配管１１内を排気したのちヘリウムガスの供給をしたり、キャップ２７ａ，２７ｂを外した状態で、被検査用配管１１内にヘリウムガスを供給し、被検査用配管１１内にヘリウムガスが充満したのち、キャップ２７ａ，２７ｂで被検査用配管１１内を閉塞したりすることもできる。これによって、被検査用配管１１内に供給されるヘリウムガスの量が増え、より精度のよい検査が行えるようになる。
【００３８】
図３は、本発明の他の実施形態によるチャンバ３０を示している。チャンバ３０は、一体からなる円筒状の被覆部３１を備えており、被覆部３１の内周面における両端側に、それぞれ円周に沿ったリング状の空気注入凹部３２ａ，３２ｂが設けられている。この空気注入凹部３２ａ，３２ｂは、被覆部３１の内周面側のリング状の開口部が幅狭に形成され、奥側が広くなった凹部に形成されている。
【００３９】
そして、この空気注入凹部３２ａ，３２ｂに、断面形状が略Ω形で弾性を有して伸縮可能なシール材３３ａ，３３ｂが、その開口側の縁部を、空気注入凹部３２ａ，３２ｂの幅狭の開口部の内側壁部に係合させて抜け止めされた状態で取り付けられている。被覆部３１の内径は、チャンバ３０が取り付けられる被検査用配管１１が挿通できる大きさに設定されており、空気注入凹部３２ａ，３２ｂ内に空気を注入するとシール材３３ａ，３３ｂが膨張して被検査用配管１１の外周面に密着するようになっている。したがって、空気注入凹部３２ａ，３２ｂとシール材３３ａ，３３ｂとで、本発明のシール部が構成される。
【００４０】
また、空気注入凹部３２ａ，３２ｂは、被覆部３１の壁部に設けられた空気注入孔３４によって互いに連通しており、さらに、空気注入孔３４は外部に延びる空気注入用配管３５に連通している。したがって、空気供給装置（図示せず）から供給される空気を、空気注入用配管３５を介して空気注入凹部３２ａ，３２ｂに圧入すると、シール材３３ａ，３３ｂは膨張して、シール材３３ａ，３３ｂの内周側の直径が小さくなる。このチャンバ３０では、被覆部３１内におけるシール材３３ａ，３３ｂの間の空間部３６が密閉空間部となる。
【００４１】
また、被覆部３１における空間部３６を形成する内周面とその外周面との間には気体流通路３７が設けられて、その気体流通路３７の外部側の開口部には気体流通用の配管３７ａが連結されている。
【００４２】
このように構成されたチャンバ３０を用いて、被検査用配管１１の接合部におけるガス漏れ検査を行う場合、まず、チャンバ３０を３個準備し、その空気注入凹部３２ａ，３２ｂから空気を抜いた状態にしておく。ついで、各チャンバ３０の中心穴にそれぞれ被検査用配管１１を差込み、その接合部にチャンバ３０を位置決めする。つぎに、空気供給装置から空気注入凹部３２ａ，３２ｂに空気を供給して、シール材３３ａ，３３ｂを膨張させ、空間部３６を外部から密閉された密閉空間部にする。
【００４３】
そして、図１のように、配管１１ｄとヘリウムボンベ１３を連結するとともに、配管１１ｂ，１１ｃの開口部をキャップ２７ａ，２７ｂで閉塞し、ついで、３個のチャンバ３０の配管３７ａにそれぞれ、接続配管２６ａ，２６ｂ，２６ｃを接続して、チャンバ３０内の空間部３６とヘリウムリークディテクター１４を連通させる。そして、前記実施形態と同様の操作をして被検査用配管１１の漏れ検査を行う。
【００４４】
このチャンバ３０では、被検査用配管１１への取り付けが、チャンバ３０の中心穴に被検査用配管１１を差込み、空気注入凹部３２ａ，３２ｂに空気を供給するだけであるため、さらに簡単になるとともに、空間部３６の密閉も確実になる。それ以外の作用効果については、前記実施形態で用いられるチャンバ１２と同様である。
【００４５】
なお、本発明による漏れ検査装置は、前記実施形態で示した被検査用配管１１のような被検査用配管だけでなく、種々の形状の被検査用配管にも使用可能である。例えば、図４に示したように、太さの異なるゴムホース３８と配管３９を金具によってかしめて接合した接合部分４０や、Ｔ形の交差部分が接合部分４１になった被検査用配管４２にも用いることができる。
【００４６】
この場合、チャンバの被覆部４３を、両端部の中心穴の直径が異なるものにしたり、Ｔ形の密閉空間部を有する被覆部４４を使用したりする等、被検査用配管４２等の形状に合った被覆部４３，４４等を数種類予め用意しておくことにより、どのような被検査用配管であっても検査が可能になる。また、被検査用配管としては、溶接、かしめにより複数の配管が連結された配管の他、ろう付け、くい込み継手、フランジ継手等によって複数の配管が連結された配管等、種々の接合部分を有する配管があるがどのような方法による接合部分を有する配管でも本発明は使用可能である。
【００４７】
また、前記実施形態では、被検査用配管１１，４２に対するガス漏れ検査の例を示しているが、検査に使用されるワークは、配管に限定されず、ワークの一部に当接し、その部分を覆うことでチャンバが形成できるものであれば適用できる。例えば、下記に記載したもの等である。
【００４８】
図５は、本発明のさらに他の実施形態によるチャンバ４５およびチャンバ４５を用いて検査する被検査用缶４６を示している。チャンバ４５は、全体形状がリング状に形成され、図６に示すように、断面形状は、縦片４７と横片４８からなる略Ｌ字状になっている。縦片４７の上端内周側と横片４８の内周側上面には、それぞれ円周に沿って突条４７ａ，４８ａが突設され、その突条４７ａ，４８ａの頂部にそれぞれ係合溝４７ｂ，４８ｂが設けられている。そして、係合溝４７ｂ，４８ｂにそれぞれリング状のシールゴム４７ｃ，４８ｃが先端部を外部に突出させた状態で嵌合している。
【００４９】
また、縦片４７の下部側における内周面と外周面との間には、気体流通路４９が設けられて、その気体流通路４９の外部側の開口部には、ヘリウムリークディテクター１４に接続された配管４９ａが連結されている。被検査用缶４６はペール缶からなっており、筒状の本体４６ａの下端縁部に底部４６ｂの周縁部を重ねて巻き込むようにして接合部分４６ｃが形成されている。なお、本体４６ａの上端には、本体４６ａの開口を密閉可能な蓋部（図示せず）が着脱自在に取り付けられている。また、この蓋部には配管を介してヘリウムボンベ１３に連通可能な通気孔が設けられている。
【００５０】
このように構成されたチャンバ４５を用いて被検査用缶４６のガス漏れ検査を行う場合、まず、被検査用缶４６の底部側をチャンバ４５内に挿入し、被検査用缶４６の底部４６ｂをシールゴム４８ｃに接触させ、本体４６ａの外周面をシールゴム４７ｃに接触させる。ついで、配管４９ａを介して、チャンバ４５の内面と被検査用缶４６における接合部分４６ｃの周囲の面とで囲まれる空間部内を排気して減圧する。
【００５１】
これによって、被検査用缶４６はチャンバ４５内に吸引されるようになり、被検査用缶４６とチャンバ４５の組み付けがより強固になって、前記空間部が密閉状態になる。その状態で、被検査用缶４６内にヘリウムガスを供給することによりガス漏れの検査を行うことができる。このチャンバ４５では、缶のように、円筒状の周面と、底部や蓋部との間に被検査部分があるものの漏れ検査ができる。それ以外の作用効果については、前述した実施形態によるチャンバ１２，３０と同様である。また、ヘリウムボンベ１３とヘリウムリークディテクター１４に接続する配管を適宜変更可能にできることも前記実施形態と同様である。
【００５２】
図７は、チャンバ４５の変形例によるチャンバ５０を示している。チャンバ５０は、有底筒状の皿形形状をしており、底部５０ａの中央には多孔物質からなる円板状の支持台５１が設けられている。それ以外の部分の構成については、チャンバ４５と同様である。したがって、同一部分に同一符号を記している。このチャンバ５０も被検査用缶４６のような缶状のワークの検査を行うことができ、この場合、底部５０ａに支持台５１が設けられているため、被検査用缶４６の設置が安定したものになる。また、被検査部分の密閉は、被検査用缶４６の周面とチャンバ５０のシールゴム４７ｃとの接触および被検査用缶４６とチャンバ５０の間の空間部の減圧によって行われる。それ以外の作用効果については、チャンバ４５と同様である。
【００５３】
なお、図２に示したチャンバ１２および上記チャンバ４６，５０では、シール部にシールゴム２１ａ，２１ｂ，４７ｃ，４８ｃを用いているが、このシールゴム２１ａ，２１ｂ，４７ｃ，４８ｃに代えて、図３に示したチャンバ３０のシール材３３ａ，３３ｂを使用することもできる。これによって、エア等を注入することによって伸縮可能なシール部が構成されより密着性を高める構造にすることができる。
【００５４】
また、本発明でワークとして使用されるものは、配管、缶以外のものでもよく、被検査部分の対象も、接合部分に限らず、薄肉になった部分や曲げ加工によって割れが生じ易くなった部分、および、射出成形品でヒケが生じそうな部分や「す」が生じそうな部分への適用が可能である。さらに、排気の通路とトレースガスの通路を共用したり別にする等、種々の構成を適宜変更可能にできることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る漏れ検査装置の概略図である。
【図２】チャンバを示す分解斜視図である。
【図３】他の実施形態によるチャンバを示す一部切欠き斜視図である。
【図４】被検査用配管の変形例を示す概略図である。
【図５】さらに他の実施形態によるチャンバと被検査用缶を示す斜視図である。
【図６】図５のチャンバの内周側を示す一部切欠き斜視図である。
【図７】図５のチャンバの変形例を示す一部切欠き斜視図である。
【符号の説明】
１０…漏れ検査装置、１１，４２…被検査用配管、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，２２ａ，３７ａ，３９，４９ａ…配管、１２，３０，４５，５０…チャンバ、１３…ヘリウムボンベ、１４…ヘリウムリークディテクター、１６，１６ａ，１６ｂ，３１，４３，４４…被覆部、１９ａ，１９ｂ，３６…空間部、２１ａ，２１ｂ，４７ｃ，４８ｃ…シールゴム、２２，３７，４９…気体流通路、２４，２５ａ，２５ｂ，２５ｃ…開閉バルブ、２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…接続配管、３２ａ，３２ｂ…空気注入凹部、３３ａ，３３ｂ…シール材、３４…空気注入孔、３５…空気注入用配管、３８…ゴムホース、４０，４１，４６ｃ…接合部分、４６…被検査用缶。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a workpiece leakage inspection apparatus, a leakage inspection apparatus chamber, and a leakage inspection method for detecting leakage in a portion to be inspected such as a joint portion or a processing portion of a pipe using a trace gas (inspection gas). About.
[0002]
[Prior art]
There are various gas supply pipes such as refrigerant gas pipes used in air conditioners and refrigerators, exhaust gas and fuel pipes used in automobiles, and liquid supply pipes. There is what is required. Conventionally, inspections for detecting leaks from joints in pipes and the like that require such airtightness have been performed. For such inspections, apparatuses and methods using helium gas as a trace gas have been used. is there. For example, an inspection method called a sniffer method and an inspection method called a chamber method.
[0003]
In the inspection method using the sniffer method, a helium gas supply device for supplying helium gas is connected to an opening at one end of a pipe to be inspected, and all other openings are closed using a plug. Then, while supplying helium gas from the helium gas supply device into the pipe to be inspected, the sniffer probe of the helium gas leak detection device is brought close to the joint portion of the pipe to be inspected to leak helium gas from the joint portion to the outside. Is detected.
[0004]
Further, the inspection method by the chamber method is to connect a helium gas supply device to one end opening of the pipe to be inspected, and close all other openings with a plug, and the pipe to be inspected in that state, A helium gas leak detection device is placed in a closed box type chamber connected. Then, when helium gas is supplied from the helium gas supply device into the inspection pipe, the presence or absence of helium gas leaking from the inspection pipe into the chamber is detected by the helium gas leak detection device.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the inspection method by the sniffer method can only perform a rough inspection such as the presence or absence of gas leakage. For example, when performing inspection in an environment with airflow, it is difficult to quantify the amount of leakage because it is affected by the airflow. There is a problem that accurate inspection cannot be performed. In addition, there is a problem that the detection work is troublesome and takes a long time because the work is performed by tracing the periphery of each joint with the tip of the sniffer probe at the time of gas leak detection.
[0006]
On the other hand, in the inspection method using the chamber method, since the entire piping to be inspected is placed in the chamber, a large chamber is required, and there is a problem that the apparatus becomes large and the cost increases. Furthermore, when there are multiple joints in the pipe to be inspected, it is not possible to identify which joint is causing the gas leak, and if this is to be performed, another inspection must be performed again. There is also a problem that occurs.
[0007]
SUMMARY OF THE INVENTION
The present invention has been made in order to address the above-described problems. The purpose of the present invention is to simplify the structure of the apparatus with a small size, and when the gas leak is detected, the gas leak location can be specified. It is an object to provide a workpiece leakage inspection apparatus, a leakage inspection apparatus chamber, and a leakage inspection method capable of quantifying the amount of gas leakage and performing accurate and accurate leakage detection.
[0008]
  In order to achieve the above object, a work leakage inspection apparatus according to the present invention is provided.Of the chamberfeature isIn order to seal the covering portion for forming a space around the portion to be inspected and the space formed around the portion to be inspected, which can be detachably attached around the portion to be inspected on the outer surface of the workpiece. The seal portion is provided on the contact portion side with the workpiece and can be in close contact with the outer surface of the workpiece, and the gas flow passage for communicating the inside and the outside of the cover portion, and the seal portion is provided with an air injection portion. By injecting air into this air injection part, the air pressure is used to seal the space between the outer surface of the workpiece and the covering part.There is.
[0009]
  According to the feature of the present invention configured as described above, the chamber for the workpiece leakage inspection apparatus can be made small and can be hermetically sealed. Moreover, trace gas can be supplied to the sealed space part in a coating | coated part via a gas flow path, or the inside of a sealed space part can be pressure-reduced. Furthermore, by providing an air injection part in the seal part, the sealed state of the sealed space part can be improved even if the size of the work is somewhat large or small.
[0010]
  Further, the covering portion may be formed of a substantially cylindrical body, and the cylindrical body may be divided into a plurality along the axial direction, and a seal portion for preventing gas leakage may be provided on each of the divided surfaces. . Dividing the cover part into multiple pieces along the central axis makes it easy to attach and detach, and the workpiece has a complicated shape, for example, a pipe with a T-shape or pipes with different diameters connected Even in such a case, since the portion to be inspected can be covered, a gas leak inspection can be performed.
[0011]
  A feature of the workpiece leakage inspection apparatus according to the present invention is a workpiece leakage inspection apparatus including the workpiece leakage inspection apparatus chamber described above, wherein a connection means is connected to one of the workpiece and the workpiece leakage inspection apparatus chamber. Connected to the other of the workpiece and the chamber for the workpiece leakage inspection device via a connecting means to detect the trace gas leaking to the other. With the device.
[0012]
  In this case, it is preferable to provide a decompression device for decompressing the sealed space portion of the workpiece leakage inspection apparatus chamber or the sealed space portion of the workpiece where the trace gas is detected.
[0013]
  According to the characteristics of the present invention configured as described above, the seal portion provided in the chamber for the workpiece leakage inspection apparatus is in close contact with the periphery of the portion to be inspected of the workpiece, whereby the portion to be inspected which is a part of the workpiece It is possible to form a sealed space only around the periphery. Then, the trace gas is supplied to the sealed space portion of the workpiece or the sealed space portion of the workpiece leakage inspection device chamber by the trace gas supply device. When the trace gas is supplied to the sealed space portion of the workpiece, the trace gas leaking from the sealed space portion of the workpiece into the sealed space portion of the workpiece leakage inspection device chamber is used as the closed space of the workpiece leakage inspection device chamber. It is detected by the detection device through connection means communicating with the section.
[0014]
  In addition, when the trace gas is supplied to the sealed space portion of the workpiece leakage inspection apparatus chamber, it is connected to the workpiece leakage inspection apparatus chamber through the connecting means connected to the workpiece leakage inspection apparatus chamber. The trace gas leaking into the sealed space of the work is detected by the detection device. Accordingly, the size of the workpiece leak inspection apparatus chamber may be large enough to form a sealed space around the part to be inspected and cover the part to be inspected. Can be greatly reduced in size. In addition, since the workpiece leak inspection device chamber can be set to be small enough to cover the periphery of the workpiece, in the case of a workpiece having a plurality of parts to be inspected, a workpiece leak inspection device chamber is attached to each part to be inspected. Can be inspected. For this reason, a part to be inspected with a defect can be specified, and the amount of gas leakage at that time can be quantified.
[0015]
  In addition, when detecting trace gas leaking from the sealed space portion of the workpiece into the sealed space portion of the workpiece leakage inspection device chamber, the decompression device is connected to the workpiece leakage inspection device chamber via the connecting means. By connecting to the space portion, a more accurate inspection can be performed. That is, in this case, since the trace gas is pressed into the sealed space portion of the workpiece and the sealed space portion of the workpiece leakage inspection apparatus chamber is depressurized, a hole or Even when the size of the crack is small, the trace gas passes through the portion to be inspected and moves to the sealed space portion side of the chamber for the workpiece leakage inspection apparatus.
[0016]
  In addition, when detecting trace gas leaking from the sealed space portion of the workpiece leakage inspection device chamber to the sealed space portion of the workpiece, the accuracy can be improved in the same manner by connecting a decompression device to the sealed space portion of the workpiece. Good inspection can be performed.
[0017]
  The feature of the work leakage inspection method of the present invention is as follows.A workpiece leakage inspection method using the workpiece leakage inspection apparatus chamber described above,Around the part to be inspected on the outer surface of the work with the part side sealed space, Work leakage inspection deviceThe process of forming a sealed space by closely contacting the chamber, and the sealed space and workpieceFor work leakage inspection equipmentA process of supplying trace gas to one of the sealed spaces of the chamber, and the sealed space of the workpiece andFor work leakage inspection equipmentAnd a step of detecting trace gas leaking through the portion to be inspected on the other side of the sealed space portion of the chamber. In this case, the sealed space of the workpiece andFor work leakage inspection equipmentWhen detecting trace gas leaking to the other side of the sealed space part of the chamber, the sealed space part of the workpiece for detecting the trace gas andFor work leakage inspection equipmentIt is preferable to depressurize the other of the sealed space portions of the chamber.
[0018]
  According to the characteristics of the present invention configured as described above,, Work leakage inspection deviceSince the volume of the sealed space portion of the chamber can be set to the minimum necessary, the inspection accuracy can be improved and quick work can be performed.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a leak inspection apparatus 10 according to the embodiment. The leak inspection apparatus 10 includes a chamber 12 that covers a joint portion on the outer peripheral surface of a pipe 11 to be inspected in a sealed state, and a helium cylinder 13 that supplies helium gas that is a trace gas for inspection into the pipe 11 to be inspected. And a helium leak detector 14 for detecting helium gas leak. The pipe 11 to be inspected is composed of a total of four pipes, a T-shaped pipe 11a and three straight short pipes 11b, 11c, 11d, and pipes 11b, 11c at three ends of the pipe 11a, respectively. 11d are connected by welding. The chambers 12 are respectively attached to the joints in the piping 11 for inspection.
[0020]
As shown in FIG. 2, the chamber 12 includes two hook-shaped covering portions 16a and 16b that are connected to each other by a hinge 15 so as to be opened and closed, and are assembled with their mating surfaces 17a and 17b in contact with each other. Thus, the cylindrical covering portion 16 is formed. FIG. 2 shows a state in which the covering portion 16a and the one piece 15a of the hinge 15 are removed, and the other other piece is fixed to the covering portion 16b (not shown). The one piece 15a is rotatable with respect to the other pieces. By fixing the one piece 15a and the covering portion 16a with screws, the covering portion 16a and the covering portion 16b open and close each other around the hinge 15. .
[0021]
The covering portions 16a and 16b are provided with semi-cylindrical concave portions 18a and 18b extending along the central axis on the mating surfaces 17a and 17b, respectively. The concave portions 18a and 18b are formed by combining the covering portions 16a and 16b. When closed, the shape and size are set such that the inspected pipe 11 can be internally fitted. Further, on the center side along the central axis of the recesses 18a and 18b, semi-columnar spaces 19a and 19b having a diameter larger than the diameter of the recesses 18a and 18b are provided. The space portions 19a and 19b are formed in a cylindrical shape formed on the outer peripheral surface of the piping 11 to be inspected when the piping 11 to be inspected is put inside the covering portions 16a and 16b and the covering portions 16a and 16b are closed together. It becomes the space part.
[0022]
Further, end surfaces of semicircular endless grooves 20a and 20b are provided on the surfaces of the mating surfaces 17a and 17b and the recesses 18a and 18b, respectively, and the cross-sectional shape is circular in the grooves 20a and 20b. Endless sealing rubbers 21a and 21b formed in a shape are fixed. The seal rubbers 21a and 21b are fixed in positions where they are symmetrical with each other in a state in which half of the circular shape in the circular cross-sectional shape is projected from the mating surfaces 17a and 17b.
[0023]
Accordingly, when the covering portions 16a and 16b are assembled on the outer peripheral surface of the pipe 11 to be inspected, the seal rubbers 21a and 21b are pressed against each other at a position where the covering pipe 11 is not in contact with the mating faces 17a and 17b. In addition, in the positions where the inspected pipes 11 are in contact with each other, such as the recesses 18a and 18b, the sealed rubber parts formed by the space parts 19a and 19b are brought into close contact with the inspected pipes 11 by the respective seal rubbers 21a and 21b. Is completely sealed from the outside.
[0024]
That is, the space between the wall surface forming the recesses 18a and 18b and the outer peripheral surface of the pipe 11 to be inspected is sealed by the seal rubbers 21a and 21b located in the recesses 18a and 18b, and the space between the cover portion 16a and the cover portion 16b is The sealing rubbers 21a and 21b positioned on the mating surfaces 17a and 17b are sealed by pressure contact. In this way, the sealing rubbers 21a and 21b and the pipe 11 to be inspected are in pressure contact with each other, so that a sealed space portion is formed only by the joint portion that is a part of the pipe 11 to be inspected and its peripheral portion. Can be inspected.
[0025]
Further, a gas flow path 22 is provided between the inner peripheral surface forming the space portion 19b in the covering portion 16b and the outer peripheral surface of the covering portion 16b, and a gas is provided in the opening on the outside of the gas flow passage 22. A distribution pipe 22a is connected. Further, an engagement protrusion 23a is provided on a portion of the covering portion 16a opposite to the portion to which the hinge 15 is fixed, and a portion of the covering portion 16b facing the protrusion 23a is detachably engaged with the protrusion 23a. A mating engagement portion 23b is provided.
[0026]
When the engaging portion 23b is engaged with the protrusion 23a in a state where the covering portion 16a and the covering portion 16b are closed, the internal space portions 19a and 19b are sealed to keep the covering portion 16 closed. When the engagement between the engaging portion 23b and the protrusion 23a is released, the covering portion 16a and the covering portion 16b can be opened. The engaging portion 23b is fixed to the quadrangular frame 23c that can be engaged with the protrusion 23a and the covering portion 16b, rotatably supports the frame 23c, and lightly engages the frame 23c with the protrusion 23a. In this state, the rotation support 23d can be further strengthened by rotating away from the protrusion 23a.
[0027]
Therefore, by engaging the frame body 23c with the protrusion 23a and rotating the rotation support body 23d away from the protrusion 23a, the protrusion 23a and the engaging portion 23b can be engaged, and the covering portion 16a and the covering portion 16b are closed. Can be in a state. Further, by rotating the rotary support 23d to the protrusion 23a side and releasing the frame body 23c from the protrusion 23a, the engagement between the protrusion 23a and the engaging portion 23b is released, and the covering portion 16a and the covering portion 16b are opened. The part 16 can be removed from the piping 11 for inspection.
[0028]
The helium cylinder 13 is connected to the pipe 11d of the pipe 11 to be inspected via the open / close valve 24. At the time of inspection, the open / close valve 24 is opened and the helium gas accumulated in the pipe 11 to be inspected is opened. Supply in. In addition, a pressure gauge 13a is attached to the helium cylinder 13 so that the amount of helium inside can be understood.
[0029]
The helium leak detector 14 is connected to the three chambers 12 through three connection pipes 26a, 26b, and 26c each having opening / closing valves 25a, 25b, and 25c. The presence and amount of helium gas in the sealed space formed by 19b is detected. The helium leak detector 14 also has a suction function, and when helium gas is detected, the inside of the sealed space is evacuated to reduce the pressure so that more accurate detection can be performed.
[0030]
When performing the gas leak inspection of the pipe 11 to be inspected using the leak inspection apparatus 10 configured as described above, first, the open / close valve 24 is connected to the pipe 11d, and the pipe 11 to be inspected and the helium cylinder 13 are connected. And the openings of the pipes 11b and 11c are closed with caps 27a and 27b. Next, the three chambers 12 are respectively attached to the joint portion between the pipe 11a and the pipe 11b, the joint portion between the pipe 11a and the pipe 11c, and the joint portion between the pipe 11a and the pipe 11d. Next, the connection pipes 26a, 26b, and 26c are connected to the pipe 22a of the chamber 12, respectively, so that the space portions 19a and 19b in the chamber 12 and the helium leak detector 14 are communicated.
[0031]
In this state, all the open / close valves 24, 25a, 25b, and 25c are opened, and helium gas is supplied from the helium cylinder 13 into the pipe 11 to be inspected, and the spaces 19a and 19b of the chamber 12 are depressurized. However, helium gas in the space portions 19a and 19b is detected. As a result, if helium gas is not detected, it is determined that there is no defect in the joint portion of the pipe 11 to be inspected, and the next pipe to be inspected is inspected.
[0032]
When helium gas is detected in the inspection, only the opening / closing valve of the connection pipe to which the chamber 12 to be inspected is connected is opened among the opening / closing valves 25a, 25b, 25c, and the other two opening / closing valves are closed. In this state, the joint portion covered with the chamber 12 is inspected. This operation is sequentially repeated while opening and closing each of the on-off valves 25a, 25b, and 25c, thereby identifying the joint where gas leakage occurs and measuring the amount of gas leaked.
[0033]
As described above, according to the leak inspection apparatus 10 according to the present embodiment, the chamber 12 is sized so as to cover only the joint portion of the pipe 11 to be inspected and the periphery thereof, and therefore, the chamber 12 can be small. In addition, if there are a plurality of joint portions in the pipe 11 to be inspected, the chamber 12 can be attached to each of the joint portions and inspection can be performed individually, so that a defective joint portion can be identified, and further, a helium leak Since the detector 14 can measure not only the presence or absence of helium gas but also the amount, the amount of gas leakage can also be quantified.
[0034]
Further, since the space portions 19a and 19b are depressurized and the trace gas leaking from the joint portion is detected, a more accurate inspection can be performed. Further, the chamber 12 is attached to the pipe 11 to be inspected so that the joint portion is sandwiched between the covering portion 16a and the covering portion 16b, and the peripheral surface of the joint portion and its peripheral portion, that is, the inspection portion of the pipe 11 to be inspected and its It is very easy because only a part of the periphery of the pipe 11 to be inspected is covered and only the engaging portion 23b is engaged with the protrusion 23a. Further, the removal is simple because it only releases the engagement between the protrusion 23a and the engaging portion 23b.
[0035]
In the above embodiment, the helium cylinder 13 is connected to the pipe 11 to be inspected, and the space portions 19a and 19b of the chamber 12 and the helium leak detector 14 are communicated. 11, the helium leak detector 14 can be connected to allow the space portions 19 a and 19 b of the chamber 12 to communicate with the helium cylinder 13. Also in this case, the same effect as the leak test apparatus 10 according to the embodiment can be obtained.
[0036]
Further, the gas flow passage 22 and the pipe 22a may be shared by a flow passage when the inside of the chamber 12 is decompressed and a flow passage when the helium gas is supplied into the chamber 12, or a separate gas flow passage. In addition, a pipe may be provided to reduce the pressure in the chamber 12 and supply the helium gas into the chamber 12 separately. Further, when the chamber 12 is attached to the pipe 11 to be inspected, a seal made of rubber tape or the like can be wound around the outer peripheral surface of the pipe 11 to be inspected where the seal rubbers 21a and 21b abut. Thereby, the sealing of the space portions 19a and 19b of the chamber 12 is further ensured.
[0037]
Further, when the helium gas is supplied into the pipe 11 to be inspected, the inside of the pipe 11 to be inspected in a state where the helium gas is supplied after the pipe 11 to be inspected is exhausted or the caps 27a and 27b are removed. After the helium gas is supplied to the pipe 11 to be inspected and the helium gas is filled, the pipe 11 to be inspected can be closed with the caps 27a and 27b. As a result, the amount of helium gas supplied into the pipe 11 to be inspected increases, so that a more accurate inspection can be performed.
[0038]
FIG. 3 shows a chamber 30 according to another embodiment of the present invention. The chamber 30 includes an integral cylindrical covering portion 31, and ring-shaped air injection recesses 32 a and 32 b along the circumference are provided on both ends of the inner peripheral surface of the covering portion 31. . The air injection recesses 32a and 32b are formed in recesses in which the ring-shaped opening on the inner peripheral surface side of the covering portion 31 is formed narrow and the back side is widened.
[0039]
Then, the air injection recesses 32a and 32b are provided with sealing members 33a and 33b having a substantially Ω-shaped cross section and having elasticity and extending and contracting the edges on the opening side of the air injection recesses 32a and 32b. It is attached in a state in which it is engaged with the inner wall portion of the opening and is prevented from coming off. The inner diameter of the covering portion 31 is set to a size that allows insertion of the pipe 11 to be inspected to which the chamber 30 is attached. When air is injected into the air injecting recesses 32a and 32b, the sealing materials 33a and 33b are expanded and covered. It comes in close contact with the outer peripheral surface of the inspection pipe 11. Therefore, the air injection recesses 32a and 32b and the seal members 33a and 33b constitute the seal portion of the present invention.
[0040]
The air injection recesses 32a and 32b communicate with each other through an air injection hole 34 provided in the wall portion of the covering portion 31, and the air injection hole 34 communicates with an air injection pipe 35 extending to the outside. Yes. Therefore, when the air supplied from the air supply device (not shown) is press-fitted into the air injection recesses 32a and 32b via the air injection pipe 35, the seal materials 33a and 33b expand, and the seal materials 33a and 33b. The diameter on the inner peripheral side of the is reduced. In this chamber 30, the space part 36 between the sealing materials 33a and 33b in the coating | coated part 31 turns into a sealed space part.
[0041]
Further, a gas flow passage 37 is provided between the inner peripheral surface forming the space portion 36 in the covering portion 31 and the outer peripheral surface thereof, and the gas flow passage 37 has an opening for gas flow in the opening on the outer side. The pipe 37a is connected.
[0042]
When performing the gas leak inspection at the joint portion of the pipe 11 to be inspected using the chamber 30 configured in this way, first, three chambers 30 are prepared, and air is extracted from the air injection recesses 32a and 32b. Leave it in a state. Next, the pipe 11 to be inspected is inserted into the center hole of each chamber 30 and the chamber 30 is positioned at the joint. Next, air is supplied from the air supply device to the air injection recesses 32a and 32b, and the sealing materials 33a and 33b are expanded to make the space 36 a sealed space sealed from the outside.
[0043]
As shown in FIG. 1, the pipe 11d and the helium cylinder 13 are connected, and the openings of the pipes 11b and 11c are closed with caps 27a and 27b, and then connected to the pipes 37a of the three chambers 30, respectively. 26a, 26b, and 26c are connected to allow the space 36 in the chamber 30 and the helium leak detector 14 to communicate with each other. And the leak operation of the piping 11 to be inspected is performed by the same operation as the above embodiment.
[0044]
In this chamber 30, the attachment to the pipe 11 to be inspected is further simplified because the pipe 11 to be inspected is simply inserted into the central hole of the chamber 30 and air is supplied to the air injection recesses 32 a and 32 b. Also, the sealing of the space 36 is ensured. Other functions and effects are the same as those of the chamber 12 used in the embodiment.
[0045]
The leak inspection apparatus according to the present invention can be used not only for inspection pipes such as the inspection pipe 11 shown in the above embodiment, but also for inspection pipes having various shapes. For example, as shown in FIG. 4, a joint portion 40 in which rubber hoses 38 and pipes 39 having different thicknesses are joined by metal fittings, or a pipe 42 to be inspected in which a T-shaped intersection portion is a joint portion 41 are also used. Can be used.
[0046]
In this case, the covering portion 43 of the chamber is formed into a shape such as a pipe 42 to be inspected, such as having a different diameter of the center hole at both ends, or using a covering portion 44 having a T-shaped sealed space portion. By preparing several types of covering portions 43, 44 and the like in advance, any piping for inspection can be inspected. In addition, pipes to be inspected have various joints such as pipes in which a plurality of pipes are connected by welding and caulking, as well as pipes in which a plurality of pipes are connected by brazing, biting joints, flange joints, etc. The present invention can be used for pipes having pipes but having joint portions by any method.
[0047]
Moreover, in the said embodiment, although the example of the gas leak test | inspection with respect to the piping 11 and 42 for to-be-inspected is shown, the workpiece | work used for a test | inspection is not limited to piping, It contact | abuts a part of workpiece | work and the part As long as the chamber can be formed by covering, it is applicable. For example, those described below.
[0048]
FIG. 5 shows a chamber 45 and a can 46 to be inspected using the chamber 45 according to still another embodiment of the present invention. The overall shape of the chamber 45 is formed in a ring shape, and as shown in FIG. 6, the cross-sectional shape is substantially L-shaped consisting of a vertical piece 47 and a horizontal piece 48. On the inner peripheral side of the upper end of the vertical piece 47 and on the inner peripheral side upper surface of the horizontal piece 48, ridges 47a and 48a project along the circumference, respectively, and the engaging grooves 47b are formed on the tops of the ridges 47a and 48a, respectively. , 48b are provided. Then, ring-shaped seal rubbers 47c and 48c are fitted in the engaging grooves 47b and 48b, respectively, with the tip portions protruding outward.
[0049]
Further, a gas flow passage 49 is provided between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface on the lower side of the vertical piece 47, and the helium leak detector 14 is connected to an opening on the outer side of the gas flow passage 49. The pipe 49a thus connected is connected. The to-be-inspected can 46 is a pail can, and a joining portion 46c is formed such that the peripheral edge of the bottom 46b is overlapped and wound around the lower end edge of the cylindrical main body 46a. A lid (not shown) capable of sealing the opening of the main body 46a is detachably attached to the upper end of the main body 46a. The lid is provided with a vent hole that can communicate with the helium cylinder 13 via a pipe.
[0050]
When performing the gas leak inspection of the inspected can 46 using the chamber 45 configured as described above, first, the bottom side of the inspected can 46 is inserted into the chamber 45, and the bottom 46 b of the inspected can 46 is inserted. Is brought into contact with the seal rubber 48c, and the outer peripheral surface of the main body 46a is brought into contact with the seal rubber 47c. Next, the inside of the space surrounded by the inner surface of the chamber 45 and the surface around the joint portion 46c of the test can 46 is evacuated and decompressed through the pipe 49a.
[0051]
As a result, the test can 46 is sucked into the chamber 45, the assembly of the test can 46 and the chamber 45 becomes stronger, and the space is sealed. In this state, the gas leak can be inspected by supplying helium gas into the inspection can 46. In the chamber 45, a leak inspection can be performed on a portion to be inspected between a cylindrical peripheral surface and a bottom portion or a lid portion like a can. Other functions and effects are the same as those of the chambers 12 and 30 according to the above-described embodiment. Further, the piping connected to the helium cylinder 13 and the helium leak detector 14 can be appropriately changed as in the above embodiment.
[0052]
FIG. 7 shows a chamber 50 according to a modification of the chamber 45. The chamber 50 has a bottomed cylindrical dish shape, and a disc-shaped support base 51 made of a porous material is provided at the center of the bottom 50a. The configuration of the other parts is the same as that of the chamber 45. Therefore, the same reference numerals are given to the same parts. The chamber 50 can also inspect a can-like workpiece such as the can 46 to be inspected. In this case, since the support base 51 is provided on the bottom 50a, the installation of the can 46 to be inspected is stable. Become a thing. Further, the part to be inspected is sealed by the contact between the peripheral surface of the inspected can 46 and the seal rubber 47 c of the chamber 50 and the decompression of the space between the inspected can 46 and the chamber 50. Other functions and effects are the same as those of the chamber 45.
[0053]
In the chamber 12 and the chambers 46 and 50 shown in FIG. 2, the seal rubbers 21a, 21b, 47c, and 48c are used for the seal portions. Instead of the seal rubbers 21a, 21b, 47c, and 48c, FIG. It is also possible to use the sealing materials 33a and 33b of the chamber 30 shown. Accordingly, a seal portion that can be expanded and contracted by injecting air or the like is formed, and a structure that further improves the adhesion can be obtained.
[0054]
In addition, what is used as a workpiece in the present invention may be other than pipes and cans, and the object of the part to be inspected is not limited to the joined part, and cracking is likely to occur due to a thinned part or bending. The present invention can be applied to a portion and a portion where an sink mark is likely to occur or a portion where “s” is likely to occur in an injection molded product. Furthermore, it goes without saying that various configurations can be appropriately changed, such as sharing the exhaust passage and the trace gas passage separately or separately.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view of a leak inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view showing a chamber.
FIG. 3 is a partially cutaway perspective view showing a chamber according to another embodiment.
FIG. 4 is a schematic view showing a modified example of the pipe for inspection.
FIG. 5 is a perspective view showing a chamber and an inspection can according to still another embodiment.
6 is a partially cutaway perspective view showing the inner peripheral side of the chamber of FIG. 5. FIG.
7 is a partially cutaway perspective view showing a modification of the chamber of FIG. 5. FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Leak inspection apparatus, 11, 42 ... Pipe for to be inspected, 11a, 11b, 11c, 11d, 22a, 37a, 39, 49a ... Pipe, 12, 30, 45, 50 ... Chamber, 13 ... Helium cylinder, 14 ... Helium leak detector, 16, 16a, 16b, 31, 43, 44 ... covering portion, 19a, 19b, 36 ... space portion, 21a, 21b, 47c, 48c ... seal rubber, 22, 37, 49 ... gas flow passage, 24, 25a, 25b, 25c ... open / close valve, 26a, 26b, 26c ... connection piping, 32a, 32b ... air injection recess, 33a, 33b ... sealing material, 34 ... air injection hole, 35 ... air injection piping, 38 ... rubber hose, 40, 41, 46c ... Junction part, 46 ... Can for inspection.

Claims

A cover part for forming a space around the part to be inspected, removably attachable around the part to be inspected on the outer surface of the workpiece,
In order to hermetically seal the space formed around the part to be inspected, a seal portion provided on the contact portion side of the covering portion with the workpiece and capable of being in close contact with the outer surface of the workpiece;
A gas flow passage for communicating the inside and the outside of the covering portion;
With
An air injection portion is provided in the seal portion, and air is injected into the air injection portion, so that the space between the outer surface of the workpiece and the covering portion is sealed using air pressure. A chamber for a workpiece leakage inspection device.

2. The covering portion is formed of a substantially cylindrical body, and the cylindrical body is divided into a plurality of portions along the axial direction, and a seal portion for preventing gas leakage is provided on each of the divided surfaces. A chamber for a workpiece leakage inspection apparatus according to claim 1.

A workpiece leakage inspection apparatus comprising the workpiece leakage inspection apparatus chamber according to claim 1 or 2,
A trace gas supply device connected to one of the workpiece and the chamber for leak inspection device of the workpiece via a connection means to supply a trace gas in the same direction;
A detection device connected to the other of the workpiece and the chamber for leak inspection device of the workpiece via a connecting means for detecting trace gas leaking to the other;
A workpiece leakage inspection apparatus characterized by comprising:

The work leakage inspection apparatus according to claim 3, further comprising a decompression device for decompressing a sealed space portion of the workpiece leakage inspection device chamber or the sealed space portion of the workpiece where the trace gas is detected.

A workpiece leakage inspection method using the workpiece leakage inspection apparatus chamber according to claim 1 or 2,
A process of forming a sealed space portion by closely contacting the chamber for a leakage inspection device of the workpiece around a portion to be inspected on the outer surface of the workpiece having an inner space as a sealed space portion;
Supplying a trace gas to one of the sealed space of the workpiece and the sealed space of the chamber for leak inspection of the workpiece;
A step of detecting trace gas leaking through the portion to be inspected to the other of the sealed space portion of the workpiece and the sealed space portion of the chamber for leak inspection device of the workpiece;
Inspection method for workpiece leakage.

When detecting trace gas leaking to the other of the sealed space portion of the workpiece and the sealed space portion of the chamber for the workpiece leakage inspection apparatus, the workpiece closed space portion for detecting the trace gas and the leakage of the workpiece are detected. word over click leakage inspection method according to claim 5 for reducing the pressure of the other closed space portion of the inspection apparatus chamber.