KR20230031994A - 페일-세이프 공압식 리프트 시스템 - Google Patents

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KR20230031994A
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Abstract

적재물들을 리프팅(lift)하기 위한 장치들 및 방법들이 설명되어 있다. 적재물 리프트(lift)는 지지 프레임(frame), 및 회전 가능한 크로스 빔(cross beam)을 클램프 플레이트(clamp plate)와 연결시키는 적어도 하나의 대기 실린더 및 메인 실린더(main cylinder)를 갖는 리프트 조립체를 포함한다. 로터리 액추에이터(rotary actuator) 조립체가 리프트 빔에 연결되어, 리프트 조립체를 리프트 포지션(position)으로부터 대기 포지션으로 회전시킴으로써 사용하지 않는 동안 리프트 조립체를 비켜서 이동시킨다.

Description

페일-세이프 공압식 리프트 시스템
[0001] 본 개시내용의 실시예들은 일반적으로 무거운 물체들을 리프팅(lift)하기 위한 장치에 관한 것이다. 특히, 본 개시내용의 실시예들은 무거운 프로세스 챔버 컴포넌트(process chamber component)들을 안전하게 이동시키기 위한 공압식 리프트(lift) 시스템들에 관한 것이다.
[0002] 무거운 컴포넌트들을 리프팅할 필요성은 많은 제조 및 서비스 환경들에서 일반적이다. 반도체 제조에서, 프로세스 챔버(chamber) 컴포넌트들(예를 들어, 리드(lid)들)은 작동자가 일상적인 유지보수 그리고 수리들 및 업그레이드(upgrade)들을 수행할 수 있게 하도록 종종 프로세스 챔버로부터 제거될 필요가 있다. 반도체 제조 환경 밖에서는, 임의의 개수의 이유들로 인해 매우 무거운 적재물들(예를 들어, 자동차 엔진(engine)들)을 리프팅하는 경우가 빈번하다.
[0003] 현재, 무거운 컴포넌트들은 전형적으로 프로세스 챔버 부품들 또는 갠트리 거더(gantry girder)들을 리프팅하기 위해 전기 윈치(winch)들 및 체인(chain)들을 사용하여 리프팅된다. 윈치들 및 체인들은 무거운 응력 조건들 하에서 고장이 나므로, 적재물이 손실될 수 있다. 임의의 높이로부터 무거운 적재물을 떨어뜨리면 적재물이 손상되거나 또는 근처에 있는 사람이 다칠 수 있다.
[0004] 따라서, 무거운 컴포넌트들을 리프팅하기 위한 페일-세이프(fail-safe) 장치에 대한 필요성이 존재한다.
[0005] 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들은 지지 프레임(frame) 및 리프트 조립체를 포함하는 적재물 리프트들에 관한 것이다. 지지 프레임은 업라이트(upright)들 및 크로스 빔(cross beam)을 갖는다. 업라이트들은 제1 방향을 따라 연장되고, 제2 방향을 따라 연장되는 크로스 빔에 의해 함께 연결된다. 리프트 조립체는 제2 방향을 따라 연장되는 리프트 빔 축을 갖는 리프트 빔을 포함한다. 리프트 빔은 크로스 빔에 연결되어, 리프트 포지션(position)과 대기 포지션 사이에서 리프트 빔 축을 중심으로 회전하도록 구성된다. 리프트 조립체는 제1 단부 및 제2 단부를 갖는 메인 실린더(main cylinder)를 포함한다. 메인 실린더의 제1 단부는 리프트 빔에 연결된다. 리프트 조립체는 제1 단부 및 제2 단부를 갖는 적어도 하나의 대기 실린더를 포함한다. 적어도 하나의 대기 실린더의 제1 단부는 리프트 빔에 연결된다. 메인 실린더의 제2 단부 및 적어도 하나의 대기 실린더의 제2 단부에는 클램프 플레이트(clamp plate)가 연결된다.
[0006] 본 개시내용의 추가 실시예들은 적재물을 이동시키는 방법들에 관한 것이다. 메인 실린더 및 적어도 하나의 대기 실린더를 통해 클램프 플레이트에 연결되는 리프트 빔을 갖는 리프트 조립체를 작동시킴으로써 적재물은 하강된다. 적재물은 클램프 플레이트에 연결된다. 적재물은 하강 후 클램프 플레이트로부터 분리되고, 리프트 조립체는 리프트 빔의 축을 중심으로 대기 포지션으로 회전된다.
[0007] 본 개시내용의 추가 실시예들은 지지 프레임 및 리프트 조립체를 포함하는 적재물 리프트들에 관한 것이다. 지지 프레임은 업라이트들 및 크로스 빔을 갖는다. 업라이트들은 제1 방향을 따라 연장되고, 제2 방향을 따라 연장되는 크로스 빔에 의해 함께 연결된다. 리프트 조립체는 리프트 빔, 메인 실린더, 2 개의 대기 실린더들, 클램프 플레이트 및 스프레더 바(spreader bar)를 포함한다. 리프트 빔은 제2 방향을 따라 연장되는 리프트 빔 축을 갖는다. 리프트 빔은 크로스 빔에 연결되어, 리프트 포지션과 대기 포지션 사이에서 리프트 빔 축을 중심으로 회전하도록 구성된다. 메인 실린더는 제1 단부 및 제2 단부를 갖고, 제1 단부는 리프트 빔에 연결된다. 2 개의 대기 실린더들은 메인 실린더의 대향하는 측면들 상에 포지셔닝(position)된다. 대기 실린더들 각각은 제1 단부 및 제2 단부를 갖고, 제1 단부는 리프트 빔에 연결된다. 클램프 플레이트는 최상부 표면 및 최하부 표면을 갖는다. 최상부 표면은 메인 실린더의 제2 단부 및 적어도 하나의 대기 실린더의 제2 단부에 연결된다. 최하부 표면은 볼 조인트(ball joint)에 연결된다. 스프레더 바는 클램프 플레이트의 볼 조인트에 연결되고, 프로세스 챔버 돔(dome)과 협력적으로 상호작용하도록 구성된다. 로터리 액추에이터(rotary actuator) 조립체는 리프트 빔에 연결되며, 장착 브래킷(bracket), 플로팅(floating) 브래킷 및 로터리 실린더를 포함한다. 장착 브래킷은 크로스 빔에 단단히 고정된다. 플로팅 브래킷은 힌지 연결부로 장착 브래킷에 연결된다. 로터리 실린더는 피스톤 로드(piston rod)가 리프트 빔에 연결되도록 플로팅 브래킷 및 리프트 빔에 연결되고, 로터리 실린더로부터 피스톤 로드가 이동하면 리프트 빔으로 하여금 대기 포지션으로부터 리프트 포지션으로 리프트 빔 축을 중심으로 회전하게 하도록 구성된다.
[0008] 본 개시내용의 위에 인용된 특징들이 상세히 이해될 수 있도록, 위에서 간략하게 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조하여 이루어질 수 있으며, 이 실시예들 중 일부가 첨부된 도면들에 예시되어 있다. 그러나, 첨부된 도면들은 본 개시내용의 단지 전형적인 실시예들을 예시하는 것이므로 그 범위를 제한하는 것으로 간주되지 않아야 하는데, 이는 본 개시내용이 다른 균등하게 유효한 실시예들을 허용할 수 있기 때문이라는 점에 유의해야 한다.
[0009] 도 1은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 프로세스 챔버 리드를 지지하는 적재물 리프트의 평행 투영도이다.
[0010] 도 2는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 대기 포지션에서의 적재물 리프트의 평행 투영도이다.
[0011] 도 3은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 리프트 포지션에서의 적재물 리프트의 등각도이다.
[0012] 도 4는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 리프트 포지션에서의 적재물 리프트의 평행 투영도이다.
[0013] 도 5는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 대기 포지션에서의 적재물 리프트의 등각도이다.
[0014] 도 6은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 적재물 리프트의 일부의 평행 투영도이다.
[0015] 도 7은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 적재물 리프트의 로터리 실린더 부분의 평행 투영도이다.
[0016] 도 8은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 적재물 리프트의 로터리 실린더 부분의 측면도이다.
[0017] 도 9a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 리프트 포지션에서 적재물 리프트의 로터리 실린더 및 리프트 조립체 부분의 측면도이다.
[0018] 도 9b는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 중간 포지션에서 적재물 리프트의 로터리 실린더 및 리프트 조립체 부분의 측면도이다.
[0019] 도 9c는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 대기 포지션에 있는 적재물 리프트의 로터리 실린더 및 리프트 조립체 부분의 측면도이다.
[0020] 도 9d는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 컴포넌트 축들과 힘들의 각도 관계들을 예시하는 적재물 리프트의 로터리 실린더 및 리프트 조립체의 개략적인 측면도이다.
[0021] 도 10은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 적재물 리프트의 잠금 조립체 부분의 평행 투영도이다.
[0022] 도 11a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 대기 포지션에 있는 리프트 조립체 및 잠금 포지션에 있는 잠금 조립체의 측면 개략도이다.
[0023] 도 11b는 도 11a의 대기 포지션에 있는 리프트 조립체 및 잠금 포지션에 있는 잠금 조립체의 전면 개략도이다.
[0024] 도 12a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 대기 포지션에 있는 리프트 조립체 및 잠금해제 포지션에 있는 잠금 조립체의 측면 개략도이다.
[0025] 도 12b는 도 12b의 대기 포지션에 있는 리프트 조립체 및 잠금 포지션에 있는 잠금 조립체의 전면 개략도이다.
[0026] 도 13은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 리프트 포지션에 있는 리프트 조립체 및 잠금해제 포지션에 있는 잠금 조립체의 전면 개략도이다.
[0027] 도 14는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 리프트 포지션에 있는 리프트 조립체 및 잠금 포지션에 있는 잠금 조립체의 전면 개략도이다.
[0028] 도 15는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 진보된 공압식 제어 시스템의 개략도이다.
[0029] 도 16은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 가변 오리피스(orifice)를 갖는 파일럿(pilot) 작동 체크 밸브(check valve)의 개략도이다.
[0030] 본 개시내용의 여러 예시적인 실시예들을 설명하기 전에, 본 개시내용은 다음 설명에서 제시되는 구성 또는 프로세스 단계들의 세부사항들에 제한되지 않는다고 이해되어야 한다. 본 개시내용은 다른 실시예들이 가능하고 다양한 방식들로 실시 또는 실행될 수 있다.
[0031] 본 명세서 및 첨부된 청구항들에서 사용되는 바와 같이, "기판"이라는 용어는 프로세스가 작용하는 표면 또는 표면의 일부를 의미한다. 또한, 기판에 대한 언급은 맥락이 명백하게 달리 지시하지 않는 한, 기판의 일부만을 또한 의미할 수 있다고 당업자들에 의해 이해될 것이다. 추가로, 기판 상의 증착에 대한 언급은 베어(bare) 기판, 및 하나 이상의 막들 또는 피처들이 상부에 증착 또는 형성된 기판 모두를 의미할 수 있다.
[0032] 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들은 기압 또는 전기의 손실 시 또는 리프트 실린더들 중 하나 이상의 오작동으로 인한 적재물들을 유지할 수 있는 페일-세이프 리프팅 시스템들을 제공한다. 일부 실시예들의 기구는 실린더들에 비-굽힘 적재물들을 제공한다. 기구의 일부 실시예들은 오프셋된 무게 중심을 갖는 재료들을 취급한다.
[0033] 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들은 실린더들을 이들의 m 개의 장착 지점들로부터 제거하지 않고 프로세싱 챔버를 서비스할 수 있게 하는 회전 및 링키지(linkage) 기구들을 제공한다. 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들은 사용들 간에 하중 시험의 재인증을 위한 요건들을 제거한다. 일부 실시예들은 자체 정렬되고 회전력들을 감소시켜, 이에 따라 적재물을 부착할 때 리프트 시스템 유연성을 제공한다.
[0034] 본 개시내용의 실시예들은 무거운 프로세싱 챔버 부품들의 리프팅을 허용하는 기구들을 제공하여, 프로세스 챔버 컴포넌트들이 보다 쉽게 서비스될 수 있게 한다.
[0035] 일부 실시예들은 리프트 시스템을 챔버 프레임에 대해 장착해제하지 않고 챔버 서비스 영역 밖으로 회전될 수 있는 리프트 시스템들을 제공한다. 리프트 시스템을 챔버 프레임에 연결된 상태로 유지함으로써, 하중 시험들을 다시 수행할 필요 없이 다음 서비스 중에 공압식 리프트를 재사용하는 것이 가능할 수 있다. 이것은 중요한 시간 및 제조 비용들을 유리하게 절약한다.
[0036] 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들은 전기 윈치들에 비해 안전한 강성 리프팅 기구들을 제공한다. 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들은 프로세싱 챔버의 분해 및 조립 중에 무거운 부품들의 최종 정렬을 용이하게 하는 특징들을 제공한다. 일부 실시예들은 무게 중심 오프셋된 적재물들을 취급하기 위한 내장형 자체 정렬 특징들을 포함하여, 공압식 실린더들을 구부리거나 또는 재밍(jam)하지 않고 큰 실린더 스트로크(stroke)에 걸쳐 극도로 무거운 적재물들의 리프팅을 허용할 수 있다.
[0037] 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들은 하나 이상의 대기 공압식 실린더가 메인 리프트 실린더와 함께 작동하는 페일-세이프 리프트 시스템들을 제공한다. 일부 실시예들에서, 2 개의 대기 공압식 실린더들은 메인 공압식 리프트 실린더의 대향하는 측면들 상에 포지셔닝된다. 대기 공압식 실린더들은 메인 실린더가 적절하게 기능하지 않는 경우 중복 페일-세이프 지지부들로서 작용한다.
[0038] 일부 실시예들에서, 진보된 공압식 제어 기구는 리프트 시스템이 압력 손실 또는 정전(power failure)의 경우에 액추에이터의 스트로크의 임의의 스팬(span)에서 적재물을 적소에 견고하게 유지할 수 있게 한다. 일부 실시예들에서, 적재물의 전체 질량은 액추에이터들이 적재물(예를 들어, 프로세스 챔버 돔 조립체)의 무게 중심에 대해 약간의 오프셋으로 적재물을 취할 수 있게 하도록 볼 조인트 또는 엔드 아이 볼트(end eye bolt)를 통해 스프레더 바에 의해 액추에이터들에 연결된다. 하나 이상의 실시예들에서, 액추에이터 피스톤 로드들에 대한 측방향 적재물 응력들이 회피되고, 상이한 실린더들 사이에서 피스톤들의 이동 속도들의 약간의 변동이 있다.
[0039] 공압식 실린더들은 피스톤을 보어(bore)의 축들을 따라 수직으로 안내하여, 리프팅하는 동안 완료된 조립체의 잠재적인 흔들림, 변동들 및 처짐을 방지한다.
[0040] 일부 실시예들에서, 운동학적 푸시(push) 실린더는 리드 힌지결합 조건에서 챔버를 서비스하는 동안 리프트 액추에이터 조립체를 비켜서 푸시한다. 리프트 조립체가 비켜서 이동하면, 컴포넌트들을 제거하거나 또는 불편한 공간들에서 작동할 필요가 있는 컴포넌트들의 서비스를 허용한다.
[0041] 일부 실시예들의 로터리 실린더 조립체는 하드 스톱(hard stop) 잠금을 포함함으로써 추가로 페일-세이프가 이루어진다. 이는 푸시 실린더로부터 이용 가능할 수 있는 리프팅 토크(torque)가 그의 스트로크가 증가함에 따라 점진적으로 증가할 수 있게 한다.
[0042] 도 1 및 도 2는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른 예시적인 적재물 리프트 시스템(100)을 도시한다. 도 1은 공압식 리프트 조립체에서 복수의 공압식 실린더들을 사용하여 챔버 돔(202)을 지지하는 프로세싱 챔버(200) 상에 포지셔닝된 적재물 리프트 시스템(100)을 도시한다. 도 1에 예시된 실시예는 리프팅된 포지션에 있는 프로세싱 챔버(200)의 챔버 돔(202)을 도시한다.
[0043] 도 2는 프로세스 포지션에 있는 돔(202)을 갖는 적재물 리프트 시스템(100)의 역각도(reverse angle)를 도시한다. 돔(202) 최상부 상의 리드(204)는 힌지(206) 및 힌지 암(208) 상의 개방 포지션에 있다. 도 2의 적재물 리프트 시스템(100)은 대기 구성으로 도시된다.
[0044] 도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들은 지지 프레임(110)을 포함하는 적재물 리프트(100)에 관한 것이다. 프로세싱 챔버 돔(202) 조립체는 적재물 리프트 시스템(100)의 지지 프레임(110)을 따라 라이딩하고(ride), 스프레더 바(140)를 통해 리프트 조립체(120)에 연결된다. 공압식 푸시 실린더(로터리 액추에이터(160)로 또한 지칭됨)는 공압식 리프트 조립체(120)가 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이 옆으로 푸시될 수 있도록 공압식 리프트 조립체(120)에 연결된다.
[0045] 예시된 지지 프레임(110)은 업라이트들(112) 및 크로스 빔(114)을 갖는다. 사용 시, 업라이트들(112)은 일반적으로 수직으로 배향된다. 이러한 방식으로 사용되는 바와 같이, "수직"이라는 용어는 중력의 당김에 평행함(±5 °)을 의미한다. 일부 실시예들에서, 업라이트들(112)은 Z축 방향으로도 지칭되는 제1 방향(10)으로 연장된다.
[0046] 크로스 빔(114)은 Y축 방향으로 또한 지칭되는 제2 방향(20)을 따라 연장된다. 크로스 빔(114)은 제2 방향(20)을 따라 연장되는 축(117)을 따라 연장된다. 사용 시, 지지 프레임(110)은 업라이트들(112)을 수평으로 연결하는 크로스 빔(114)을 갖는다. 이러한 방식으로 사용되는 바와 같이, "수평"이라는 용어는 중력의 당김에 대해 직교함(±5 °)을 의미한다. 일부 실시예들의 크로스 빔(114)은 지지 프레임(110)의 업라이트들(112)을 연결하여, 강성 구조를 형성한다. 일부 실시예들의 제2 방향(20)은 제1 방향(10)에 직교한다(±5 °).
[0047] 도면들에 예시된 실시예들에서, 업라이트(112)는 제2 방향(20)을 따라 일정 거리 연장되는 상부 부분(113)을 갖는다. 크로스 빔(114)은 상부 부분(113)에서 업라이트들(112)과 교차점(115)을 형성한다. 당업자는 예시된 실시예가 단지 하나의 가능한 구성을 나타내는 것이며 본 개시내용의 범위를 제한하는 것으로 간주되어서는 안 된다는 것을 인식할 것이다.
[0048] 일부 실시예들에서, 제1 방향(10)은 중력의 당김 방향으로부터 5 ° 초과의 각도에 있어서, 벌어진 레그(leg)들과 유사한 업라이트들(112)을 갖는 지지 프레임(110)을 발생시킨다. 벌어진 레그들을 갖는 일부 실시예들에서, 크로스 빔(114)은 각각의 업라이트(112)와의 교차점들에서 각도를 형성한다. 일부 실시예들에서, 크로스 빔(114)과 업라이트들(112) 사이의 교차점들에서의 각도들은 대칭적이다. 일부 실시예들에서, 크로스 빔(114)과 업라이트들(112) 사이의 교차점들에서의 각도들은 비대칭이다.
[0049] 리프트 조립체(120)는 제2 방향(20)을 따라 연장되는 리프트 빔(122)을 갖는다. 리프트 빔(122)은 제2 방향(20)을 따라 연장되는 축(123)(도 1에 도시됨)을 갖는다. 일부 실시예들에서, 축(123)은 지지 프레임(110)의 크로스 빔(114)의 축(117)으로부터 오프셋된다. 도면들에 예시된 실시예에서, 리프트 빔(122)은 업라이트들(112)의 상부 부분들(113) 사이에서 연장되고, 크로스 빔(114)으로부터 오프셋된다. 크로스 빔 및 리프트 빔에 대한 축들은 컴포넌트의 길이를 따라 컴포넌트의 질량 중심을 따라 연장되는 것으로 간주된다. 예를 들어, 예시된 크로스 빔(114)은 L자형 컴포넌트이고, 축(117)은 컴포넌트를 물리적으로 통과할 수 없는 컴포넌트의 이론적 질량 중심을 통해 연장된다.
[0050] 도 3 및 도 4는 적재물 리프트 시스템(100)의 일 측면으로부터의 리프트 조립체(120)의 확대도들을 도시한다. 도 5는 적재물 리프트 시스템(100)의 다른 측면으로부터의 리프트 조립체(120)의 확대도를 도시한다. 단지 설명적 목적들을 위해, 도 1, 도 3 및 도 4에 예시된 측면은 후면으로 지칭될 수 있고, 도 2 및 도 5에 예시된 측면은 전면으로 지칭될 수 있다. 일부 실시예들의 리프트 빔은 크로스 빔에 연결되고, 리프트 포지션(도 1에 도시된 바와 같음)과 대기 포지션(도 2에 도시된 바와 같음) 사이에서 리프트 빔 축을 중심으로 회전하도록 구성된다.
[0051] 일부 실시예들에서, 리프트 조립체(120)는 메인 리프트 실린더(124)의 양 측면 상에 대기 실린더들(126)을 포함한다. 일부 실시예의 대기 실린더들(126)은 메인 실린더(124)가 기능하지 못하는 경우에 2차 페일-세이프 지지부로서 작용한다. 일부 실시예들에서, 진보된 공압식 제어 기구는 리프트 조립체(120)가 압력 손실 및/또는 정전의 경우 액추에이터의 스트로크의 임의의 스팬에서 적재물을 적소에 견고하게 유지할 수 있게 한다.
[0052] 리프트 조립체(120)는 제1 단부(125) 및 제2 단부(131)를 갖는 메인 실린더(124)를 포함한다. 메인 실린더(124)의 제1 단부(125)는 리프트 빔(122)에 연결된다. 메인 실린더(124)의 제1 단부(125)는 당업자에게 공지된 임의의 적절한 연결부 또는 패스너(fastener)에 의해 리프트 빔(122)에 연결된다. 일부 실시예들에서, 패스너는 풀림에 저항하는 잠금 패스너이다.
[0053] 일부 실시예들의 메인 실린더(124)는 가스 소스(source)(도시되지 않음)에 연결된 공압식 실린더이다. 일부 실시예들의 메인 실린더(124)는 단일 작동 실린더이다. 일부 실시예들의 메인 실린더(124)는 이중 작동 실린더이다.
[0054] 예시된 메인 실린더(124)는 후퇴 포지션(도 1에 도시된 바와 같음)과 연장 포지션 사이에서 실린더 본체(135) 내로부터 연장되는 피스톤 로드(133)를 갖는다. 일부 실시예들에서, 피스톤 로드(133)는 메인 실린더(124)의 제2 단부(131)로부터 연장되어, 메인 실린더(124)의 본체(135)가 리프트 빔(122)에 대해 고정된 포지션에 유지된다. 일부 실시예들에서, 피스톤 로드(133)는 메인 실린더(124)의 제1 단부(125)로부터 연장되어, 메인 실린더의 본체(135)가 메인 실린더(124)의 구동 중에 리프트 빔(122)에 더 가깝게 그리고 이로부터 더 멀리 이동한다.
[0055] 리프트 조립체는 적어도 하나의 대기 실린더(126)를 포함한다. 적어도 하나의 대기 실린더(126) 각각은 당업자에게 알려진 임의의 적절한 연결부 또는 패스너에 의해 리프트 빔(122)에 연결된 제1 단부(127), 및 제2 단부(132)를 갖는다. 일부 실시예들에서, 2 개, 3 개, 4 개 또는 그 초과의 대기 실린더들(126)이 존재한다. 일부 실시예들에서, 2 개의 대기 실린더들(126)이 존재한다. 일부 실시예들에서, 대기 실린더들(126)은 메인 실린더(124) 대향하는 측면들 상에 포지셔닝된다. 예를 들어, 도면들에 도시된 바와 같이, 메인 실린더(124)는 그 양 측면 상에 대기 실린더(126)를 가지므로, 실린더들로부터 연장되는 피스톤 로드(133, 128)가 라인을 형성한다.
[0056] 메인 실린더(124) 및 적어도 하나의 대기 실린더(126)의 크기들은 동일하거나 또는 상이할 수 있다. 일부 실시예들에서, 메인 실린더(124)는 개별 대기 실린더들(126)보다 더 큰 실린더이다. 일부 실시예들에서, 메인 실린더(124)는 개별 대기 실린더들(126)보다 더 큰 질량을 이동시키도록 구성된다. 일부 실시예들에서, 조합된 대기 실린더들(126)은 메인 실린더(124)보다 더 큰 질량을 이동시키도록 구성된다.
[0057] 일부 실시예들의 대기 실린더들(126)은 프라임(prime) 액추에이터가 고장난 경우 전체 적재물을 감당할 수 있는 프라임 액추에이터(메인 실린더(124))의 축(제1 단부와 제2 단부 사이에서 연장됨)을 따라 작동한다. 일부 실시예들에서, 프라임 액추에이터(메인 실린더(124))는, 메인 실린더(124)의 축이 돔 조립체 또는 리프팅될 적재물의 질량의 무게 중심과 정렬되고 대기 액추에이터들(126)이 무게 중심선에 대해 대칭적으로 장착되도록 장착된다. 공압식 실린더들은 이들의 축들을 따라 리프팅될 질량을 안내한다. 일부 실시예들에서, 실린더들(124, 126)의 축들은 실린더(124, 126)의 개개의 본체(135, 136) 내부로부터의 피스톤 로드들(133, 128)의 이동과 정렬된다.
[0058] 일부 실시예들에서, 클램프 플레이트(130)는 메인 실린더의 제2 단부(131) 및 적어도 하나의 대기 실린더(126)의 제2 단부(132)에 연결된다. 일부 실시예들에서, 메인 실린더(124)의 제2 단부(131) 및 대기 실린더(126)의 제2 단부(132)는 제2 단부에 있는 실린더들의 본체(135, 136) 내로 그리고 외부로 이동할 수 있는 피스톤 로드(133, 128)를 포함한다. 메인 실린더(124)의 대향하는 측면들 상에 포지셔닝된 2 개의 대기 실린더들(126)이 존재하는 예시된 실시예에서, 대기 실린더들(126) 및 메인 실린더(124) 모두는 동일한 클램프 플레이트(130)에 연결된다.
[0059] 일부 실시예들에서, 지지되는 물품(예를 들어, 프로세스 챔버 리드)의 전체 질량은 스프레더 바(140)에 의해 액추에이터들(실린더들)에 연결된다. 일부 실시예들의 스프레더 바(140)는 볼 조인트(142)를 통해 클램프 플레이트(130)에 연결되며, 이는 액추에이터들이 돔 조립체의 무게 중심에서 약간의 오프셋으로 적재물을 받을 수 있게 한다.
[0060] 도 6은 도 1의 구역(VI)의 확대도를 도시한다. 도 6을 참조하면, 일부 실시예들에서, 질량체(적재물)는 볼 조인트 로드 단부 볼 조인트(142)를 통해 리프트 조립체(120)에 연결된다. 모든 자유도들을 통해 회전할 수 있는 유연성을 갖기 때문에, 이는 액추에이터들(실린더들(124, 126))이 돔 조립체의 무게 중심에서 약간의 오프셋으로 적재물을 취급할 수 있게 한다. 이러한 정렬은 액추에이터 피스톤 로드에 작용하는 측방향 적재물을 갖는 것과 연관된 영향들 또는 문제들을 방지하거나 또는 최소화한다. 추가적으로, 볼 조인트 로드 단부 볼 조인트(142)를 사용하여 리프트 조립체(120)에 연결되는 스프레더 바(140)는 실린더 피스톤 로드들(133, 128)의 이동 속도들에서 약간의 변동들을 균등화하는 데 도움이 된다. 이는 공압식 실린더들이 피스톤을 보어의 축들을 따라 수직으로 안내할 수 있게 하여, 리프팅하는 동안 적재물(예를 들어, 돔 조립체)의 흔들림, 변동 및 처짐과 연관된 문제들을 극복할 수 있다.
[0061] 일부 실시예들에서, 클램프 플레이트(130)에 연결된 스프레더 바(140)는 적재물과 협력적으로 상호작용하도록 구성된다. 예시된 실시예들에서, 클램프 플레이트(130)에 연결된 스프레더 바(140)는 프로세스 챔버 돔과 협력적으로 상호작용하도록 구성된다. 이러한 방식으로 사용되는 바와 같이, 스프레더 바(140)는 적재물과 협력적으로 상호작용하고, 이는 스프레더 바(140)가 적재물에 연결되거나 또는 부착되는 것을 의미한다. 일부 실시예들에서, 스프레더 바(140)는 적재물에 대한 마찰 결합 연결부를 갖는다. 일부 실시예들에서, 스프레더 바(140)는 패스너(145)(도 1에 도시됨)를 사용하여 적재물에 부착된다. 일부 실시예들에서, 스프레더 바(140)는 적재물과 일체로 형성된다.
[0062] 도 6에 예시된 실시예에서, 클램프 플레이트(130)는 제1 측면(144) 및 제1 측면(144) 반대쪽의 제2 측면(146)을 갖는다. 메인 실린더(124)는 클램프 플레이트(130)의 제1 측면(144)에 연결되고, 볼 조인트(142)는 메인 실린더(124) 반대쪽의 클램프 플레이트(130)의 측면 상에 있다. 스프레더 바(140)는 당업자에게 알려진 임의의 적절한 연결에 의해 볼 조인트(142)에 연결된다. 일부 실시예들에서, 볼 조인트(142)는 스프레더 바(140)를 통해 적재물에 볼트로 고정된다. 일부 실시예들에서, 볼 조인트(142)는 스프레더 바(140)의 일체형 부품이다. 일부 실시예들에서, 메인 실린더(124)는 아이 볼트를 사용하여 클램프 플레이트(130)의 제1 측면(144)에 연결된다. 당업자는 아이 볼트들 및 예시된 볼 조인트가 클램프 플레이트와 메인 실린더를 연결하기 위해 사용될 수 있는 패스너들의 대표적인 예들일 뿐이며, 본 개시내용의 범위를 제한하는 것으로 간주되어서는 안 된다는 것을 인식할 것이다. 당업자는 다른 연결 구성들이 채용될 수 있고, 본 개시내용의 범위 내에 있음을 인식할 것이다.
[0063] 여전히 도 6을 참조하면, 일부 실시예들에서, 하나 이상의 플랜지(flange)(134a, 134b)가 클램프 플레이트(130)의 제2 측면(146)으로부터 연장된다. 예시된 실시예에서, 클램프 플레이트(130)가 스프레더 바(140)에 연결될 수 있도록 하기에 충분한 거리로 이격된 2 개의 플랜지들(134a, 134b)이 존재한다. 일부 실시예들에서 지지 로드(148)는 플랜지들(134a, 134b)의 개구들(보이지 않음) 및 볼 조인트(142)의 개구(143)를 통해 연장된다. 지지 로드(148)는 볼트들(150a, 150b)을 사용하여 플랜지들(134a, 134b)에 부착된다. 당업자는 클램프 플레이트(130)와 스프레더 바(140) 사이의 연결을 예시하는 실시예가 단지 예시적일 뿐이며, 본 개시내용의 범위를 제한하는 것으로 간주되어서는 안 된다는 것을 인식할 것이다. 스프레더 바(140) 및 클램프 플레이트(130)는 당업자에게 공지된 임의의 적절한 연결에 의해 연결될 수 있다. 예시된 실시예는 단지 하나의 가능한 구성을 나타내고, 다른 연결 구성들이 본 개시내용의 범위 내에 있다. 일부 실시예들에서, 플랜지들은 더 아래쪽으로 연장되고, 스프레더 바에 구멍이 있고 플랜지들에 대응하는 구멍들이 있으며, 아이 볼트를 사용하지 않고 핀이 스프레더 바 및 플랜지들에 있는 구멍들을 통해 연장된다.
[0064] 다시 도 1을 다시 참조하면, 리프트 조립체(120)의 구동 동안, 적재물(예를 들어, 챔버 돔(202))은 메인 실린더(134)의 축 방향으로 리프팅된다. 일부 실시예들에서, 적재물은 리프트 조립체(120) 구동에 의해서만 안내된다. 일부 실시예들에서, 적재물으로부터 연장되는 가이드들(152)은 메인 실린더(134)의 축에 대한 적재물의 회전 이동을 방지하기 위해 업라이트들(112)의 채널들(154)과 정렬된다. 일부 실시예들의 가이드들(152)은 안내 포지션(도 1에 도시된 바와 같음)과 비-안내 포지션 사이에서 이동 가능하다. 일부 실시예들에서, 가이드들(152)은 적재물에 영구적으로 부착되고, 채널(154)의 길이를 따라 개구(156)를 통해 업라이트들(112) 내의 채널(154)에 포지셔닝된다.
[0065] 일부 실시예들에서, 리프트 조립체(120)는 연결된 라인들 및 컴포넌트들을 서비스하는 동안 힌지결합 또는 개방 포지션에서 프로세싱 챔버(200)의 리드(204)와 간섭한다. 로터리 액추에이터 조립체(160)로 또한 지칭되는 운동학적 푸시 실린더 기구는 그의 리드 힌지결합 조건에서 챔버(200)를 서비스하는 동안 전체 리프트 조립체(120)를 옆으로 푸시한다. 도 2는 힌지결합 조건의 리드(204)를 갖는 돔(202)을 도시하는 프로세싱 챔버(200)를 예시한다. 리드(204)는 힌지(206) 및 힌지 암(208)을 사용하여 돔(202)으로부터 리프팅되고, 리프트 조립체(120)는 챔버가 서비스되는 동안 서비스 공간을 비켜서 이동된다.
[0066] 도 1 내지 도 5에 부가하여, 도 7, 도 8, 및 도 9a 내지 도 9c를 참조하면, 로터리 액추에이터(160)가 예시되어 있다. 예시된 실시예에서 로터리 액추에이터 장착 브래킷은 피스톤 로드에 대한 측방향 적재물이 회피되도록 힌지결합되어 있다.
[0067] 일부 실시예들에서, 로터리 액추에이터 조립체(160)는 리프트 빔(122) 또는 크로스 빔(114) 중 하나 이상에 연결된다. 일부 실시예들에서, 로터리 액추에이터 조립체는 리프트 빔(122)에 연결된다. 일부 실시예들에서, 로터리 액추에이터 조립체(160)는 크로스 빔(114) 또는 크로스 빔(114)의 일부로 간주될 수 있는 업라이트들(112)의 상부 부분(113)에 연결된 장착 브래킷(162)을 포함한다. 도면들에 예시된 실시예에서, 장착 브래킷(162)은 업라이트들(112)의 상부 부분(113)에 연결되고, 크로스 빔(114)에 대해 각도를 이루어 연장된다.
[0068] 로터리 실린더 조립체(160)는 제1 단부(166) 및 제2 단부(168)를 갖는 로터리 실린더(164)를 포함한다. 당업자는 도면들에 예시된 로터리 실린더(164)가 직사각형 단면을 갖는다는 것을 인식할 것이다. 실린더라는 용어는 공압식 실린더로 작동하는 컴포넌트를 지칭하며, 본 개시내용의 범위를 원통형 형상의 컴포넌트들로 제한하는 것으로 간주되어서는 안 된다.
[0069] 도시된 실시예들에서, 장착 브래킷(162)은 크로스 빔(114)에 단단히 고정된다. 플로팅 브래킷(172)은 로터리 실린더(164)를 리프트 빔(122)에 대해 각도를 이루어 유지한다. 플로팅 브래킷(172)은 장착 브래킷(162)에 대한 힌지 연결부(176)를 형성하기 위해 장착 브래킷(162)의 힌지 단부(163)에 연결되는 플로팅 브래킷 플랜지(174)를 갖는다.
[0070] 피스톤 로드(170)는 로터리 실린더(164)의 제1 단부(166)로부터 연장 가능하다. 피스톤 로드(170)는 피스톤 로드(170)가 연장될 때 로터리 실린더(164)로부터 가장 먼 피스톤 로드(170)의 단부에 액추에이터 단부(178)를 갖는다. 일부 실시예들의 액추에이터 단부(178)는 힌지(182)에서 레버 암(180)에 연결된다. 레버 암(180)은 피스톤 로드(170)의 이동이 리프트 빔(122)의 축(123) 주위에서 리프트 조립체(120)의 회전을 유발하도록 리프트 빔(122)에 고정 연결된다.
[0071] 일부 실시예들에서, 로터리 실린더 조립체(160)는 장착 브래킷(162) 및 리프트 빔(122)에 연결되고, 로터리 실린더(164)로부터 피스톤 로드가 이동하면 리프트 빔(122)으로 하여금 리프트 빔 축(123)을 중심으로 회전하게 하도록 구성된다.
[0072] 도 9a 내지 도 9c에 예시된 실시예는 리프트 빔 축(123)을 따라 본 로터리 실린더 조립체(160)의 도면을 도시한다. 달리 말하면, 리프트 빔 축(123)은 페이지의 평면에 수직으로 연장된다. 단지 하나의 대기 실린더(126)만이 도 9a 내지 도 9c에서 볼 수 있지만, 당업자는 메인 실린더(124) 및 선택적으로 추가적인 대기 실린더(126)가 보이는 대기 실린더(126) 뒤에 있을 수 있음을 인식할 것이다.
[0073] 도 9a 내지 도 9c는 리프트 포지션(도 9a에 도시된 바와 같음)으로부터 대기 포지션(도 9c에 도시된 바와 같음)으로의 리프트 조립체(120)의 진행을 예시한다. 예시된 실시예에서, 로터리 실린더(164)는 레버 암(180)으로부터 리프트 빔(122) 반대쪽 측면 상에 있어서, 피스톤 로드(170)가 로터리 실린더(164) 내로 후퇴하면 리프트 조립체를 리프트 포지션으로부터 대기 포지션으로 이동시킨다. 일부 실시예들에서, 로터리 실린더(164)는 레버 암(180)과 동일한 리프트 빔(122) 측에 있어서, 피스톤 로드(170)가 로터리 실린더(164) 내로 후퇴하면 리프트 조립체(120)를 대기 포지션으로부터 리프트 포지션으로 이동시킨다.
[0074] 예시된 실시예에서, 피스톤 로드(170)는 로터리 실린더(164)로부터 피스톤 로드(170)의 스트로크의 제1 단부까지 연장된다. 일부 실시예들에서, 로터리 실린더(164)로부터 연장될 수 있는 피스톤 로드(170)의 최대 양은 리프트 조립체(120)를 리프트 포지션으로 이동시키기에 충분하다. 일부 실시예들에서, 피스톤 로드(170)는 리프트 조립체(120)가 대기 포지션에 있을 때 로터리 실린더(164)로부터 최소 거리만큼 연장된다. 일부 실시예들에서, 리프트 포지션 또는 대기 포지션 중 하나 이상에 있을 때, 피스톤 로드(170)는 최소 거리와 최대 거리 사이에서 연장된다. 일부 실시예들에서, 리프트 포지션에서, 피스톤 로드는 로터리 실린더(164)로부터 최대 연장보다 2 mm, 5 mm, 10 mm, 15, mm 또는 20 mm 이상만큼 더 적게 연장된다. 일부 실시예들에서, 대기 포지션에서, 피스톤 로드(170)는 로터리 실린더(164)로부터 최소 거리보다 5 mm, 10 mm, 15 mm 또는 20 mm 이상만큼 더 많이 연장된다.
[0075] 하나 이상의 실시예들에서, 로터리 실린더(164)의 피스톤 로드(170)가 로터리 실린더(164)로부터 연장될 때 리프트 빔(122)은 리프트 포지션에 있고, 로터리 실린더(164)의 피스톤 로드(170)가 후퇴될 때 리프트 빔(122)은 대기 포지션에 있다. 일부 실시예들에서, 로터리 실린더(164)의 피스톤 로드(170)는 로터리 실린더(164)의 제1 단부(166)로부터 최소량 내지 최대량 범위의 양만큼 연장되어, 최소량에서, 리프트 조립체(120)는 대기 포지션에 있고, 최대량일 때, 리프트 조립체(120)는 리프트 포지션에 있다. 당업자는 피스톤 로드의 길이가 사용 가능한 스트로크를 결정하고, 더 짧은 스트로크들이 더 높은 힘을 필요로 한다는 것을 이해할 것이다. 일부 실시예들에서, 로터리 실린더의 배열은 사용 가능한 실린더 힘의 최대량을 활용하여, 스트로크를 최소화하고 피스톤 및 실린더의 크기를 감소시키는 데 도움이 된다.
[0076] 일부 실시예들에서, 장착 브래킷(162)은 크로스 빔(114) 또는 업라이트들(112)의 상부 부분(113)에 단단히 고정된다. "단단히 고정된"이라는 용어는 리프트 포지션과 대기 포지션 사이에서의 리프트 조립체(120)의 이동 전체에 걸쳐 언급된 컴포넌트들 사이의 연결이 정적으로 유지된다는 것을 의미한다. 일부 실시예들에서, 플로팅 브래킷(172)은 로터리 실린더(164)를 유지하고, 장착 브래킷(162)에 힌지 연결된다. "힌지 연결" 등의 용어는, 언급된 컴포넌트들 사이의 연결이 동적이며 리프트 포지션과 대기 포지션 사이에서 변경된다는 것을 의미한다.
[0077] 도 9a 내지 도 9d에 예시된 실시예들은 리프트 빔 축(123)을 따라 본 것이다. 달리 말하면, 리프트 빔 축(123)은 예시들의 페이지의 평면에 직교하여 연장된다. 도 9a는 리프트 포지션에 있는 리프트 조립체(120)를 도시한다. 일부 실시예들에서, 로터리 실린더(164)의 피스톤 로드(170)가 연장되고 리프트 조립체(120)가 리프트 포지션에 있을 때, 플로팅 브래킷(172)은 리프트 빔 축(123), 업라이트 축(112a), 메인 실린더 축, 및 대기 실린더 축(126a)에 대해 비스듬한 각도로 놓인다. 플로팅 브래킷의 각도는 도 9a에 도시된 바와 같이 로터리 실린더(164)의 피스톤 로드(170)의 중심선(170a) 또는 축을 기준으로 측정된다. 일부 실시예들에서, 리프트 포지션에서, 리프트 빔 축(123)에 대한 피스톤 로드(170)의 중심선(170a)의 각도 오프셋은 평행으로부터 10 ° 내지 30 ° 범위, 또는 15 ° 내지 25 ° 범위이다. 일부 실시예들에서, 리프트 포지션에서, 업라이트 축(112a)에 대한 직교로부터 피스톤 로드(170)의 중심선(170a)의 각도 오프셋은 100 ° 내지 120 °의 범위, 또는 105 ° 내지 115 °의 범위에 있다. 일부 실시예들에서, 리프트 포지션에서, 대기 실린더 축(126a)에 대한 중심선(170a)의 각도 오프셋은 100 ° 내지 120 ° 범위, 또는 105 ° 내지 115 ° 범위에 있다.
[0078] 도 9c는 대기 포지션에 있는 리프트 조립체(120)를 도시한다. 일부 실시예들에서, 로터리 실린더(164)의 피스톤 로드(170)가 후퇴되고 리프트 조립체(120)가 대기 포지션에 있을 때, 플로팅 브래킷(172)(피스톤 로드(170)의 중심선(170a)으로 측정됨)은 0 °(평행) 내지 5 °의 범위에서 대기 실린더 축(126a)(또는 메인 실린더 축)에 대한 평행으로부터 오프셋된 각도로 놓인다. 일부 실시예들에서, 로터리 실린더(164)의 피스톤 로드(170)가 후퇴되고 리프트 조립체(120)가 대기 포지션에 있을 때, 플로팅 브래킷(172)(피스톤 로드(170)의 중심선(170a)으로 측정됨)은 업라이트 축(112a)에 대해 85 ° 내지 95 ° 범위, 또는 88 ° 내지 92 ° 범위의 각도로 놓인다.
[0079] 도 9b는 도 9a의 리프트 포지션과 도 9c의 대기 포지션 사이의 포지션에 있는 리프트 조립체(120)를 예시한다. 중간 포지션에서, 플로팅 브래킷(172)(피스톤 로드(170)의 중심선(170a)으로 측정됨)의 각도는 대기 포지션과 리프팅 포지션에서의 각도들 사이의 각도에 있다. 실시예들은 피스톤 로드(170)가 연장될 때 리프트 포지션에 있고 피스톤 로드(170)가 로터리 실린더(164) 내로 후퇴될 때 대기 포지션에 있는 리프트 조립체(120)에 대해 설명되고 예시되었다. 그러나 당업자는, 리프트 조립체(120)가, 피스톤 로드(170)가 후퇴될 때에는 리프트 포지션에 있고 피스톤 로드(170)가 연장될 때에는 대기 포지션에 있도록, 로터리 실린더(164)와 레버 암(180) 사이의 연결의 배열이 변경될 수 있다는 것을 인식할 것이다. (도면들과 관련하여) 반대 구성으로 배열될 때, 업라이트 축(112a), 대기 실린더 축(126a), 메인 실린더 축(124a) 및/또는 리프트 빔 축(123)에 대한 피스톤 로드(170)의 중심선(170a)의 각도들은 위에 설명된 각도들과 반대이다.
[0080] 힌지(182) 주위의 플로팅 브래킷(172) 및 로터리 실린더(164)의 이동은 고정된 배열에 대한 구동 중에 피스톤 로드(170)가 겪는 측방향 적재물을 변화시킨다. 일부 실시예들에서, 로터리 실린더(164)의 피스톤 로드(170)에 대한 측방향 적재물은 고정 연결부의 측방향 적재물으로부터 감소된다. 일부 실시예들에서, 로터리 실린더(164)로부터 이용 가능한 리프팅 토크는 스트로크(피스톤 로드(170)가 연장되는 거리)가 증가함에 따라 증가한다. 예를 들어, 피스톤 로드(170)가 완전히 연장되어 리프트 조립체(120)가 리프트 포지션에 있을 때(도 9a에 도시된 바와 같음), 리프트 조립체(120)를 이동시키기 위해 이용 가능한 토크는 피스톤 로드(170)가 후퇴될 때보다 더 크다.
[0081] 도 9d는 업라이트(112)에 대한 메인 실린더(124) 및 로터리 실린더의 개략적 표현을 예시한다. 업라이트 축(112a), 메인 실린더 축(124a), 피스톤 로드(170)의 중심선(170a) 및 리프트 빔 축(123)이 예시되어 있다. 메인 실린더(124)의 길이(L)의 중심점(124b)은 메인 실린더의 길이의 절반인 거리(L/2)에 표시된다. 레버 암 축(180a)이 표시되고 리프트 빔 축(123)과 힌지(182) 사이에서 연장되고, 길이(Z)를 갖는다.
[0082] 질량(즉, 리프트 조립체)을 리프팅하기 위해 요구되는 토크는 업라이트 축(112a)과 메인 실린더(124)의 중심점(124b) 사이의 직교 거리(d1) 및 힘(W)의 함수이다. 각도(θ)는 업라이트 축(112a)과 메인 실린더 축(124a) 사이의 각도로 정의된다. 리프트 조립체의 이동 경로를 따라, 필요한 토크는 W x L/2 x sin(θ)와 같다. 도 9a에 도시된 바와 같이, 리프트 포지션에 있을 때, 각도(θ)는 0이므로, 계산된 토크 요건은 0 이다. 도 9c에 도시된 바와 같이, 각도가 대기 포지션으로 이동함에 따라, 필요한 토크는 최대이다.
[0083] 리프트 포지션과 대기 포지션 사이에서 리프트 조립체를 이동시키기 위해 이용 가능한 토크는 이동되는 힘에 리프트 빔 축(123)과 피스톤 로드(170)의 중심선(170a) 사이의 직교 거리(d2)를 곱한 값의 함수이고, 이는 W x Z x sin(α)와 같다. 각도는 레버 암 축(180a)과 피스톤 로드 축의 중심선(170a) 사이로 정의된다. 리프트 포지션에서, 리프트 조립체를 이동하는 데 필요한 토크는 작고, 리프트 조립체가 대기 포지션으로 이동됨에 따라, 이용 가능한 토크는 증가한다. 리프트 조립체의 이동 동안 플로팅 브래킷(172)의 이동은 초기 각도에서 이용 가능한 더 큰 토크를 허용한다.
[0084] 리프팅 포지션 또는 대기 포지션에 있을 때 리프트 조립체(120)의 부주의한 이동을 방지하기 위해, 잠금 조립체(184)가 채용될 수 있다. 도 10 내지 도 13은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 잠금 조립체(184)를 예시한다. 도 10은 잠금 대기 포지션에 있는 잠금 조립체(184)의 부분 직교 도면을 도시한다. 도 11a는 라인(11-11')을 따라 취해진 도 11의 잠금 조립체(184)의 부분 단면도를 도시한다. 도 11b는 도 11a의 잠금 조립체(184)의 정면도를 도시한다. 도 12a는 잠금해제 대기 포지션에 있는 잠금 조립체(184)의 부분 단면도를 도시한다. 도 12b는 도 12a의 잠금 조립체(184)의 정면도를 도시한다. 도 13은 잠금해제 리프트 포지션에 있는 잠금 조립체(184)의 정면도를 도시하고, 도 14는 잠금 리프트 포지션에 있는 잠금 조립체(184)의 정면도를 도시한다. 도면들에 예시된 실시예는 단지 예시적인 것이며, 본 개시내용의 범위를 제한하는 것으로 간주되어서는 안 된다.
[0085] 잠금 조립체(184)는 잠금 포지션(도 10, 도 11a, 도 11b 및 도 14 참조)과 잠금해제 포지션(도 12a, 도 12b 및 도 13 참조) 사이에서 이동 가능한 잠금 레버(186)를 포함한다. 예시된 실시예에서, 잠금 레버(186)는 레버 지지 부분(190)에 의해 잠금 장착부(188)에 연결된다. 레버 지지 부분(190)은 잠금 레버(186)가 잠금 장착부(188)에 힌지 연결되는 구동 구역(192)을 갖는다.
[0086] 도시된 실시예에서, 레버 지지 부분(190)은 거꾸로 된 U자형 부분이다. U자형의 개방 부분은 구동 구역(192)이다. 지지 부분(190)의 최상부(191)에 있는 개구(194)는 레버(186)의 일부가 통과하도록 허용한다.
[0087] 잠금 레버(186)는 레버의 이동을 허용하는 임의의 적절한 연결을 사용하여 레버 지지 부분(190)에 연결된다. 예시된 실시예에서, 잠금 레버(186)는 힌지 로드(196)를 이용하여 레버 지지 부분(190)에 연결된다. 일부 실시예들의 힌지 로드(196)는 로드가 탈락하는 것을 방지하기 위해 단부들에 크림프(crimped) 또는 피팅(fitting)들이 있는 로드이다. 일부 실시예들에서, 힌지 로드(196)는 볼트를 적소에 유지하기 위한 적절한 너트를 갖는 매끄러운 샤프트 볼트이다. 힌지 로드(196)는 잠금 및 잠금해제 포지션들로부터 잠금 레버(186)의 회전을 위한 펄크럼(fulcrum)으로서의 역할을 한다.
[0088] 일부 실시예들에서, 잠금 레버(186)는 컴퓨터 제어 시스템에 의해 자동으로 작동된다. 예시된 실시예에서, 잠금 레버(186)는 잠금 포지션과 잠금해제 포지션 사이에서 수동으로 작동된다. 수동 동작에서 사용자를 돕기 위해, 잠금 레버(186)의 단부에 핸들(handle)(198)이 포지셔닝된다.
[0089] 일부 실시예들은 잠금 레버(186)가 잠금해제 포지션으로부터 탈락하는 것을 방지하기 위한 래치(latch)를 포함한다. 예시된 실시예에서, 래치는 레버 지지 부분(190)의 전방 부분의 최하부 표면(193)에 부착된 자석(210)을 포함한다. 래치는 임의의 적합한 컴포넌트일 수 있으며, 자석들로 제한되지 않는다. 일부 실시예들에서, 래치는 잠금 레버(186)의 개구(도시되지 않음)를 통해 포지셔닝되거나 또는 잠금 레버(186) 아래에 포지셔닝될 수 있는 핀(pin)(도시되지 않음)이다.
[0090] 일부 실시예들에서, 잠금 레버(186)의 맞물림 부분(220)은 리프트 조립체(120)가 리프트 포지션 또는 대기 포지션 중 하나 이상에 있을 때 하드 스톱(221, 222)과 접촉한다. 일부 실시예들에서, 잠금 장착부(188)는 업라이트(112)의 상부 부분(113)에 부착되고, 하드 스톱(221, 222)은 리프트 빔(122) 상에 포지셔닝된다. 일부 실시예들에서, 2 개의 하드 스톱들: 대기 하드 스톱(221) 및 리프트 하드 스톱(222)이 존재한다.
[0091] 도 10, 도 11a, 도 11b, 도 12a 및 도 12b에 도시된 대기 하드 스톱(221)은, 로터리 실린더(164)에 대한 파워 또는 압력이 손실되는 경우 잠금 레버(186)의 맞물림 부분(220)과 대기 하드 스톱(221)의 맞물림 표면(231) 사이의 접촉이 리프트 조립체(120)가 대기 포지션으로부터 스윙 다운(swing down)하는 것을 방지하도록 구성된다. 일부 실시예들에서, 예시된 바와 같이, 대기 하드 스톱(221)은 리프트 조립체(120)가 한 방향으로 이동하는 것을 방지하기 때문에, 대기 하드 스톱(221)은 하나의 맞물림 표면(231)을 갖는다.
[0092] 도 11a 및 도 11b는 대기 포지션에 있을 때 잠금 조립체(184)의 단면도 및 정면도를 도시한다. 리프트 조립체(120)를 대기 포지션으로부터 리프트 포지션으로 이동시키기 위해, 잠금 레버(186)는 핸들(198)이 자석(210)을 향해 위쪽으로 회전하도록 잠금 포지션으로부터 이동된다. 핸들(198)이 충분히 이동되면, 잠금 레버(186)는 자석(210)과 접촉하고, 잠금해제 포지션에서 적소에 유지된다. 잠금해제 포지션은 도 12a의 단면도 및 도 12b의 정면도에 예시되어 있다.
[0093] 잠금해제 포지션에 있으면, 리프트 조립체(120)는 대기 포지션으로부터 리프트 포지션으로 리프트 빔 축(123)을 중심으로 회전될 수 있다. 도 13은 잠금 레버(186)가 잠금해제 포지션에 있는 상태에서 리프트 포지션으로 회전된 리프트 조립체(120)의 리프트 빔(122)을 도시한다.
[0094] 일단 리프트 조립체(120)가 리프트 포지션에 있으면, 도 14에 도시된 바와 같이, 일부 실시예들의 잠금 레버(186)는 회전되어 잠금 레버(186)를 자석(210)으로부터 맞물림 해제시키고 맞물림 부분(220)을 회전시켜 리프트 하드 스톱(222)과 맞물린다. 일부 실시예들의 리프트 하드 스톱(222)은 잠금 레버(186)의 맞물림 부분(220)의 2 개의 표면들(220a, 220b)과 맞물리도록 구성된 2 개의 맞물림 표면들(232a, 232b)을 갖는다. 맞물림 표면들(220a)과 맞물림 표면(232a)의 상호작용, 및 맞물림 표면(220b)과 맞물림 표면(232b)의 상호작용은 리프트 조립체(120)가 어느 방향으로든 리프트 포지션으로부터 멀리 이동하는 것을 방지하여, 로터리 실린더(164)의 우발적인 맞물림 또는 과도한 연장의 경우에 리프트 조립체(120)에 대한 불필요한 측방향 힘들이 방지된다.
[0095] 본 개시내용의 일부 실시예들은 적재물을 이동시키는 방법들에 관한 것이다. 일부 실시예들에서, 리프트 조립체(120)는 로터리 실린더(164)를 사용하여 리프트 포지션으로 이동된다. 일부 실시예들에서, 잠금 레버(186)는 리프트 조립체(120)의 우발적인 이동을 방지하기 위해 잠금 포지션으로 이동된다.
[0096] 일단 리프트 포지션에 있으면, 이동될 적재물은 리프트 조립체(120)에 연결된다. 일부 실시예들에서, 적재물은 리프트 조립체(120)의 클램프 플레이트(130)에 연결된다. 적재물이 연결되면, 메인 실린더(124) 및 대기 실린더들(126)은 작동되어 적재물을 리프팅한다.
[0097] 적재물을 다시 되돌리기 위해, 적재물은 하강 방향으로 리프트 조립체(120)를 작동시킴으로써 하강된다. 적재물은 리프트 조립체(120) 또는 리프트 조립체(120)의 클램프 플레이트(130)로부터 분리된다.
[0098] 잠금 레버(186)는 잠금 포지션으로부터 잠금해제 포지션으로 회전된다. 일부 실시예들에서, 잠금 레버(186)는 리프트 조립체(120)의 이동을 허용하기 위해 잠금해제 포지션에서 적소에 자기적으로 유지된다. 로터리 실린더(164)는 리프트 조립체(120)를 대기 포지션으로 리프트 빔 축(123)을 중심으로 회전시키도록 작동된다. 잠금 레버(186)는 대기 포지션으로부터 리프트 조립체(120)의 우발적인 이동을 방지하기 위해 대기 하드 스톱(221)과 맞물리도록 잠금해제 포지션으로부터 이동된다.
[0099] 도 15를 참조하면, 본 개시내용의 일부 실시예들은 진보된 공압식 제어 시스템들(400)에 관한 것이다. 일부 실시예들의 진보된 공압식 제어 시스템(400)은 2 개의 유체 라인들(412, 414)을 통해 메인 실린더(124) 및 대기 실린더(들)(126)에 연결된 제1 밸브(410)를 포함한다. 2 개의 유체 라인들(412, 414)은 제1 밸브(410)에 연결되어, 유체 소스 라인(411)으로부터 실린더들로 유체 흐름을 제공한다. 메인 실린더(124)는 제1 체크 밸브(413) 및 제2 체크 밸브(415)를 통해 유체 라인들(412, 414)을 통해 제1 밸브(410)에 연결된다. 적어도 하나의 대기 실린더(126) 각각은 제1 체크 밸브(416) 및 제2 체크 밸브(418)를 통해 유체 라인들(412, 414)을 통해 제1 밸브(410)에 연결된다.
[00100] 일부 실시예들에서, 제1 체크 밸브들(413, 416) 및 제2 체크 밸브들(415, 418) 각각은 파일럿 작동 체크 밸브이다. 도 16은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 가변 오리피스(450)를 갖는 파일럿 작동 체크 밸브(440)의 개략적 표현을 도시한다. 정상 사용 하에, 유체는 체크 밸브의 입구(441)로 유입되어 체크 밸브의 출구(442)에서 유출되고, 반대 방향으로 흐르는 것이 방지된다. 파일럿 작동 체크 밸브에서, 파일럿 입구(445)는 체크 밸브를 통한 역류를 허용하도록 밸브(443)를 개방하는 파일럿 흐름을 허용한다.
[00101] 일부 실시예들에서, 파일럿 작동 체크 밸브(440)는 가변 오리피스를 포함하지 않는다. 일부 실시예들에서, 가변 오리피스(450)는 파일럿 작동 체크 밸브(440)의 하류에 포지셔닝된다. 일부 실시예들에서, 오리피스는 가변 오리피스 대신에 고정된 개방 오리피스이다.
[00102] 파일럿 작동 체크 밸브는 유체 라인들(412, 414) 중 임의의 유체 라인에서 압력 손실이 발생한 경우 메인 실린더(124) 및 대기 실린더들(126)의 피스톤들이 적소에 잠금되도록 허용한다. 도 15를 다시 참조하면, 파일럿 작동 체크 밸브는 체크 밸브의 입구 측면으로부터 체크 밸브의 출구 측면으로 제1 방향(도면들에서 왼쪽에서 오른쪽으로 도시됨)으로 유체의 흐름을 허용한다. 분기 라인(412a)은 제1 체크 밸브(413, 416)의 입구 라인을 제2 체크 밸브(415, 418)의 파일럿 입구에 연결한다. 제1 밸브(410) 내로 흐르는 유체는 제1 유체 라인(412)을 통해 안내된다. 제1 유체 라인(412)은 제1 체크 밸브(413, 416)의 입구에 연결되고, 분기 라인(412a)은 제1 체크 밸브(413, 416)의 입구를 제2 체크 밸브(415, 418)의 파일럿 입구에 연결한다. 이러한 배열은 유체가 제1 체크 밸브(413, 416)로부터 실린더 내로 그리고 제2 체크 밸브(415, 418)를 통해 실린더 밖으로 흐르도록 허용한다. 유체 라인들(412, 414) 중 어느 하나에서 압력이 손실되면, 파일럿은 폐쇄되어 제2 체크 밸브들(415, 418)을 통해 실린더를 빠져나가는 유체의 흐름을 방지할 것이다.
[00103] 역 구동 프로세스에서, 유체는 제1 밸브(410)를 통해 흐르고 제2 유체 라인(414)으로 안내된다. 제2 유체 라인(414)은 제2 체크 밸브(415, 418)의 입구에 연결되고, 분기 라인(414a)은 제2 체크 밸브(415, 418)의 입구를 제1 체크 밸브(413, 316)의 파일럿 입구에 연결한다. 이러한 배열은 유체가 제2 체크 밸브(415, 418)로부터 실린더 내로 그리고 제1 체크 밸브(413, 416)를 통해 실린더 밖으로 흐르도록 허용한다. 유체 라인들(412, 414) 중 어느 하나에서 압력이 손실되면, 파일럿은 폐쇄되어 제1 체크 밸브(413, 416)를 통해 실린더를 빠져나가는 유체의 흐름을 방지할 것이다.
[00104] 일부 실시예들에서, 제1 밸브는 제1 라인 배기 출구(412b) 및 제2 라인 배기 출구(414b)를 갖는다. 출구들(412b, 414b)은 라인들(412, 414) 중 하나에서 압력이 손실되면 밸브(410)의 압력을 해제하도록 허용한다. 압력 게이지(gauge)(419)가 일부 실시예들에서 유체 소스 라인(411)에 연결된다.
[00105] 일부 실시예들에서, 유체 소스 라인(411)은 또한 제2 밸브(420)에 연결된다. 일부 실시예들의 제2 밸브(420)는 로터리 액추에이터의 로터리 실린더(164)에 연결된다. 일부 실시예들의 로터리 실린더(164)는 2 개의 파일럿 작동 체크 밸브들(422, 424)에 연결되고, 리프트 조립체(120)의 밸브들과 동일한 방식으로 작동된다.
[00106] 일부 실시예들에서, 제어기(430)는 제1 밸브(410) 및 제2 밸브(420) 중 하나 이상에 연결된다. 일부 실시예들의 제어기(430)는 전기 연결, 수동 스위치를 통해 또는 자동화 또는 유체 매니폴드(manifold)를 통해 제1 밸브(410) 및/또는 제2 밸브(420)에 전력을 제공한다. 일부 실시예들에서, 제어기(430)는 작동자가 제1 밸브(410)와 제2 밸브(420) 사이의 유체 흐름을 변경하여 리프팅 동작들과 대기 포지션으로의 이동 사이에서 전환될 수 있게 하는 수동 작동 스위치이다.
[00107] 본 명세서 전반에 걸쳐 "일 실시예", "특정 실시예들", "하나 이상의 실시예들" 또는 "실시예"에 대한 언급은, 실시예와 관련하여 설명된 특정 특징, 구조, 재료 또는 특성이 본 개시내용의 적어도 하나의 실시예에 포함된다는 것을 의미한다. 따라서, 본 명세서 전반에 걸쳐 다양한 위치들에서 "하나 이상의 실시예들에서", "특정 실시예들에서", "일 실시예에서" 또는 "실시예에서"와 같은 문구들의 출현들이 반드시 본 개시내용의 동일한 실시예를 지칭하는 것은 아니다. 더욱이, 특정 특징들, 구조들, 재료들 또는 특성들은 하나 이상의 실시예들에서 임의의 적절한 방식으로 조합될 수 있다.
[00108] 본원의 개시내용이 특정 실시예들을 참조하여 설명되었지만, 당업자들은 설명된 실시예들이 단지 본 개시내용의 원리들 및 애플리케이션들을 예시한다는 것을 이해해야 한다. 본 개시내용의 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 개시내용의 방법 및 장치에 대해 다양한 수정들 및 변형들이 행해질 수 있다는 것이 당업자들에게 자명할 것이다. 따라서, 본 개시내용은 첨부된 청구항들 및 이들의 등가물들의 범위 내에 있는 수정들 및 변형들을 포함할 수 있다.

Claims (20)

  1. 적재물 리프트(load lift)로서,
    업라이트(upright)들 및 크로스 빔(cross beam)을 갖는 지지 프레임(frame) ― 상기 업라이트들은 제1 방향을 따라 연장되고, 제2 방향을 따라 연장되는 상기 크로스 빔에 의해 함께 연결됨 ― ; 및
    리프트 조립체를 포함하고,
    상기 리프트 조립체는,
    상기 제2 방향을 따라 연장되는 리프트 빔 축을 갖는 리프트 빔 ― 상기 리프트 빔은 상기 크로스 빔과 연결되어 리프트 포지션(position)과 대기 포지션 사이에서 상기 리프트 빔 축을 중심으로 회전하도록 구성됨 ― ;
    제1 단부 및 제2 단부를 갖는 메인 실린더(main cylinder) ― 상기 제1 단부는 상기 리프트 빔에 연결됨 ― ;
    제1 단부 및 제2 단부를 갖는 적어도 하나의 대기 실린더 ― 상기 제1 단부는 상기 리프트 빔에 연결됨 ― ; 및
    상기 메인 실린더의 상기 제2 단부 및 상기 적어도 하나의 대기 실린더의 상기 제2 단부에 연결되는 클램프 플레이트(clamp plate)를 포함하는,
    적재물 리프트.
  2. 제1 항에 있어서,
    2 개의 대기 실린더들이 존재하는,
    적재물 리프트.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 대기 실린더들은 상기 메인 실린더의 대향하는 측면들 상에 있는,
    적재물 리프트.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 클램프 플레이트에 연결되는 스프레더 바(spreader bar)를 더 포함하고, 상기 스프레더 바는 프로세스 챔버 돔(process chamber dome)과 협력적으로 상호작용하도록 구성되는,
    적재물 리프트.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 클램프 플레이트는 상기 메인 실린더 반대쪽의 상기 클램프 플레이트의 측면 상에 볼 조인트(ball joint)를 갖고, 상기 스프레더 바는 상기 볼 조인트에 연결되는,
    적재물 리프트.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 리프트 빔 및 상기 크로스 빔에 연결되는 로터리 액추에이터(rotary actuator) 조립체를 더 포함하고, 상기 로터리 액추에이터 조립체는 상기 크로스 빔에 연결된 장착 브래킷(bracket), 및 상기 장착 브래킷 및 상기 리프트 빔에 연결된 로터리 실린더를 포함하고, 상기 로터리 실린더는 상기 로터리 실린더로부터 피스톤 로드(piston rod)가 이동하면 상기 리프트 빔으로 하여금 상기 대기 포지션으로부터 상기 리프트 포지션으로 상기 리프트 빔 축을 중심으로 회전하게 하도록 구성되는,
    적재물 리프트.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 로터리 실린더의 상기 피스톤 로드가 상기 로터리 실린더로부터 연장될 때 상기 리프트 빔은 상기 리프트 포지션에 있고, 상기 로터리 실린더의 상기 피스톤 로드가 후퇴될 때, 상기 리프트 빔은 상기 대기 포지션에 있는,
    적재물 리프트.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 장착 브래킷은 상기 크로스 빔에 단단히 고정되고, 상기 로터리 실린더를 유지하는 플로팅(floating) 브래킷과의 힌지 연결부를 갖는,
    적재물 리프트.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 로터리 실린더의 상기 피스톤 로드가 연장될 때, 상기 플로팅 브래킷은 상기 리프트 빔 축에 대해 직교하여 오프셋(offset)된 각도로 놓이는,
    적재물 리프트.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 로터리 실린더의 상기 피스톤 로드가 후퇴될 때, 상기 플로팅 브래킷은 상기 장착 브래킷과의 상기 힌지 연결부를 중심으로 회전하여 상기 리프트 빔 축에 직교하는 각도로 놓이는,
    적재물 리프트.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 로터리 실린더의 상기 피스톤 로드에 대한 측방향 적재물은 고정 연결부로부터 감소되는,
    적재물 리프트.
  12. 제1 항에 있어서,
    잠금 포지션과 잠금해제 포지션 사이에서 이동 가능한 잠금 레버(lever)를 더 포함하는,
    적재물 리프트.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 잠금 레버는 고정 힌지 및 하드 스톱(hard stop)에 연결되어 상기 리프트 조립체가 상기 대기 포지션에서 잠길 수 있게 하는,
    적재물 리프트.
  14. 적재물을 이동시키는 방법으로서,
    메인 실린더 및 적어도 하나의 대기 실린더를 통해 클램프 플레이트에 연결된 리프트 빔을 갖는 리프트 조립체를 작동시킴으로써 상기 적재물을 하강시키는 단계 ― 상기 적재물은 상기 클램프 플레이트에 연결됨 ― ;
    상기 적재물을 상기 클램프 플레이트로부터 분리하는 단계; 및
    상기 리프트 빔의 축을 중심으로 상기 리프트 조립체를 대기 포지션으로 회전시키는 단계를 포함하는,
    적재물을 이동시키는 방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 메인 실린더와 함께 작동되는 2 개의 대기 실린더들이 존재하고, 상기 대기 실린더는 상기 메인 실린더의 대향하는 측면들 상에 포지셔닝되는,
    적재물을 이동시키는 방법.
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 적재물을 상기 클램프 플레이트로부터 분리하는 단계는, 상기 클램프 플레이트에 연결된 스프레더 바로부터 상기 적재물을 분리하는 단계를 더 포함하고, 상기 스프레더 바는 상기 적재물과 협력적으로 상호작용하도록 구성되는,
    적재물을 이동시키는 방법.
  17. 제14 항에 있어서,
    상기 리프트 빔의 상기 축을 중심으로 상기 리프트 조립체를 회전시키는 단계는, 상기 리프트 빔 및 크로스 빔에 연결된 로터리 액추에이터 조립체를 작동시키는 단계를 포함하고, 상기 로터리 액추에이터 조립체는 상기 크로스 빔에 연결된 장착 브래킷, 및 상기 장착 브래킷 및 상기 리프트 빔에 연결된 로터리 실린더를 포함하고, 상기 로터리 실린더는 상기 로터리 실린더로부터 피스톤 로드가 이동하면 상기 리프트 빔으로 하여금 상기 대기 포지션으로부터 상기 리프트 포지션으로 리프트 빔 축을 중심으로 회전하게 하도록 구성되는,
    적재물을 이동시키는 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 로터리 실린더의 상기 피스톤 로드가 상기 로터리 실린더로부터 연장될 때 상기 리프트 빔은 상기 리프트 포지션에 있고, 상기 로터리 실린더의 상기 피스톤 로드가 후퇴될 때 상기 리프트 빔은 상기 대기 포지션에 있는,
    적재물을 이동시키는 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 장착 브래킷은 상기 크로스 빔에 단단히 고정되고, 상기 로터리 실린더를 유지하는 플로팅 브래킷과의 힌지 연결부를 가지며, 상기 로터리 실린더의 상기 피스톤 로드가 후퇴될 때 상기 플로팅 브래킷은 상기 리프트 빔 축에 대한 직교로부터 오프셋된 각도로 놓이고, 상기 로터리 실린더의 상기 피스톤 로드가 연장될 때, 상기 플로팅 브래킷은 상기 장착 브래킷과의 상기 힌지 연결부를 중심으로 회전하여 상기 리프트 빔 축에 직교하는 각도로 놓이는,
    적재물을 이동시키는 방법.
  20. 적재물 리프트로서,
    업라이트들 및 크로스 빔을 갖는 지지 프레임 ― 상기 업라이트들은 제1 방향을 따라 연장되고, 제2 방향을 따라 연장되는 상기 크로스 빔에 의해 함께 연결됨 ― ;
    리프트 조립체 ― 상기 리프트 조립체는,
    상기 제2 방향을 따라 연장되는 리프트 빔 축을 갖는 리프트 빔 ― 상기 리프트 빔은 상기 크로스 빔에 연결되고, 상기 리프트 빔 축을 중심으로 리프트 포지션과 대기 포지션 사이에서 회전하도록 구성됨 ― ,
    제1 단부 및 제2 단부를 갖는 메인 실린더 ― 상기 제1 단부는 상기 리프트 빔에 연결됨 ― ,
    상기 메인 실린더의 대향하는 측면들 상에 포지셔닝되는 2 개의 대기 실린더들 ― 상기 대기 실린더들 각각은 제1 단부 및 제2 단부를 갖고, 상기 제1 단부는 상기 리프트 빔에 연결됨 ― ,
    최상부 표면 및 최하부 표면을 갖는 클램프 플레이트 ― 상기 최상부 표면은 상기 메인 실린더의 상기 제2 단부 및 상기 대기 실린더들의 상기 제2 단부에 연결되고, 상기 최하부 표면은 볼 조인트에 연결됨 ― , 및
    상기 클램프 플레이트의 상기 볼 조인트에 연결되는 스프레더 바 ― 상기 스프레더 바는 프로세스 챔버 돔과 협력적으로 상호작용하도록 구성됨 ― 를 포함함 ― ; 및
    상기 리프트 빔에 연결된 로터리 액추에이터 조립체 ― 상기 로터리 액추에이터 조립체는,
    상기 크로스 빔에 단단히 고정된 장착 브래킷,
    힌지 연결부로 상기 장착 브래킷에 연결된 플로팅 브래킷,
    상기 리프트 빔에 피스톤 로드가 연결되도록 상기 플로팅 브래킷 및 상기 리프트 빔에 연결되는 로터리 실린더 ― 상기 로터리 실린더는 상기 로터리 실린더로부터 피스톤 로드가 이동하면 상기 리프트 빔으로 하여금 상기 대기 포지션으로부터 상기 리프트 포지션으로 상기 리프트 빔 축을 중심으로 회전하게 하도록 구성됨 ― 를 포함함 ― 를 포함하는,
    적재물 리프트.
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