KR20230025041A - Pressurizing apparatus for roller and patterning apparatus having the same - Google Patents

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Abstract

In a compression device for a roller and a patterning device having the same, the compression device is disposed to be close to a pattern roller to compress a specific area of the pattern roller. In this case, the compression device comprises: a compression unit disposed to be close to the pattern roller and expanded by pressure provided from the outside to compress the specific area of the pattern roller; and a guide unit disposed outside of the compression unit to guide the compression unit to be expanded only toward the specific area.

Description

롤러에 대한 가압장치 및 이를 포함하는 패터닝 장치{PRESSURIZING APPARATUS FOR ROLLER AND PATTERNING APPARATUS HAVING THE SAME}Pressing device for the roller and patterning device including the same

본 발명은 가압장치 및 이를 포함하는 패터닝 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 롤러에 대하여 균일한 가압을 수행하고, 이러한 균일한 가압 상태를 바탕으로 UV 경화 또는 열 경화를 통한 패턴 형성을 보다 균일하게 수행할 수 있는 롤러에 대한 가압장치 및 이를 포함하는 패터닝 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pressing device and a patterning device including the same, and more particularly, uniform pressing is performed on a roller forming a predetermined pattern on a substrate, and UV curing or heat treatment is performed based on the uniform pressing state. It relates to a pressure device for a roller capable of performing pattern formation through curing more uniformly and a patterning device including the same.

실시간 연속 공정을 통해 기판 상에 소정의 패턴을 형성하기 위해 패턴롤러를 이용한 패터닝 공정이 다수 적용되고 있다. In order to form a predetermined pattern on a substrate through a real-time continuous process, a number of patterning processes using a pattern roller are being applied.

이러한 패턴롤러를 이용한 패터닝 공정의 경우, 외주면을 따라 소정의 패턴들이 형성된 상기 패턴롤러에 기판을 제공하며, 상기 외주면에 형성되는 패턴들이 상기 기판으로 전사되어 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 것으로 패턴롤러를 이용한 임프린트(imprint) 공정이 대표적이다. In the case of the patterning process using such a pattern roller, a substrate is provided to the pattern roller on which predetermined patterns are formed along the outer circumferential surface, and the patterns formed on the outer circumferential surface are transferred to the substrate to form a predetermined pattern on the substrate. An imprint process using a pattern roller is representative.

다만, 이러한 패턴롤러를 이용한 패터닝 공정에서는, 상기 패턴롤러의 외주면과 상기 기판 사이의 가압력이 일정하게 유지되어야 하며, 이를 통해 상기 기판 상에 보다 균일한 패턴이 전사될 수 있다. However, in the patterning process using such a pattern roller, the pressing force between the outer circumferential surface of the pattern roller and the substrate must be kept constant, through which a more uniform pattern can be transferred onto the substrate.

그리하여, 상기 패턴롤러의 외주면과 상기 기판 사이의 가압력을 일정하게 유지하기 위해, 상기 패턴롤러로 가압력을 제공하는 가압롤러를 별도로 구비하여, 상기 패턴롤러에 대한 가압을 수행하는 기술의 필요성이 대두되고 있다. Therefore, in order to keep the pressing force between the outer circumferential surface of the pattern roller and the substrate constant, a need for a technique for applying pressure to the pattern roller by separately providing a pressing roller for providing a pressing force to the pattern roller has emerged. there is.

이에, 대한민국 등록특허 제10-1790367호에서와 같이, 기판을 가압하는 가압롤러가 팽창이 가능하도록 구성함으로써, 보다 높은 가압력을 기판으로 제공하는 기술이 개시되고 있다. Accordingly, as in Korean Patent Registration No. 10-1790367, a technology for providing a higher pressing force to a substrate by configuring a pressure roller for pressing the substrate to be expandable is disclosed.

다만 이러한 평면으로 연장되는 기판 상에서 팽창 가능한 가압롤러의 구조를 회전하는 패턴롤러에 그대로 적용하는 것은 한계가 있으며, 회전하는 패턴롤러 및 이에 의해 패턴이 형성되는 기판의 구동상의 특징 및 구조적 특징을 고려한 가압롤러의 최적 설계가 요구된다. However, there is a limit to applying the structure of the pressure roller expandable on the substrate extending in this plane to the rotating pattern roller as it is, and the pressure considering the driving characteristics and structural characteristics of the rotating pattern roller and the substrate on which the pattern is formed thereby An optimal design of the roller is required.

대한민국 등록특허 제10-1790367호Republic of Korea Patent No. 10-1790367

이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로 본 발명의 목적은 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 패턴 롤러에 대하여 균일한 가압을 수행할 수 있는 롤러에 대한 가압장치를 제공하는 것이다. Accordingly, the technical problem of the present invention has been focused on this point, and an object of the present invention is to provide a pressing device for a roller capable of uniformly pressing a pattern roller for forming a predetermined pattern on a substrate.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 상기 가압장치를 통한 균일한 가압 상태를 바탕으로 UV 경화 또는 열 경화를 통해 보다 균일한 패턴 형성이 가능한 상기 가압장치를 포함하는 패터닝 장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a patterning device including the pressing device capable of forming a more uniform pattern through UV curing or thermal curing based on a uniform pressing state through the pressing device.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 의한 가압장치는 패턴 롤러에 인접하도록 배치되어, 상기 패턴 롤러의 특정 영역을 가압한다. 이 경우, 상기 가압장치는 상기 패턴 롤러에 인접하도록 배치되며, 외부로부터 제공되는 압력에 의해 팽창되어 상기 패턴 롤러의 특정 영역을 가압하는 가압유닛, 및 상기 가압유닛의 외부에 배치되어, 상기 가압유닛이 상기 특정 영역으로만 팽창되도록 가이드하는 가이드부를 포함한다. A pressing device according to an embodiment for realizing the object of the present invention is disposed adjacent to the pattern roller and presses a specific area of the pattern roller. In this case, the pressing device is disposed adjacent to the pattern roller, expands by pressure provided from the outside and presses a specific area of the pattern roller, and is disposed outside the pressing unit, so that the pressing unit and a guide part for guiding expansion only to the specific region.

일 실시예에서, 상기 가이드부는, 서로 인접하게 배치되는 복수의 가이드롤러들을 포함할 수 있다. In one embodiment, the guide unit may include a plurality of guide rollers disposed adjacent to each other.

일 실시예에서, 상기 가이드롤러들은, 상기 패턴 롤러의 특정 영역을 향하는 부분에는 배치되지 않아, 상기 가압유닛이 상기 특정 영역을 향해서만 팽창될 수 있다. In one embodiment, the guide rollers are not disposed on a portion of the pattern roller that faces a specific area, so that the pressure unit can expand only toward the specific area.

일 실시예에서, 상기 가이드롤러들은, 상기 가압유닛이 회전함에 따라, 각각이 회전할 수 있다. In one embodiment, each of the guide rollers may rotate as the pressure unit rotates.

일 실시예에서, 상기 가이드부는, 상기 가압유닛의 외주면을 따라 배치되며, 상기 가압유닛이 팽창되는 경우 상기 가압유닛의 외주면에 접하는 가이드 블록일 수 있다. In one embodiment, the guide part may be a guide block disposed along an outer circumferential surface of the pressing unit and contacting the outer circumferential surface of the pressing unit when the pressing unit is inflated.

일 실시예에서, 상기 가이드 블록은, 상기 패턴 롤러의 특정 영역을 향하는 부분에는 형성되지 않으며, 상기 팽창된 가압유닛은 상기 가이드 블록 상에서 슬라이딩되며 회전할 수 있다. In one embodiment, the guide block is not formed on a portion of the pattern roller that faces a specific region, and the expanded pressure unit can slide and rotate on the guide block.

일 실시예에서, 상기 가압유닛은, 상기 패턴 롤러에 인접하도록 배치되는 가압롤러, 및 상기 가압롤러의 외주면에 커버되며, 외부로부터 제공되는 압력에 의해 팽창되는 팽윤부를 포함할 수 있다. In one embodiment, the pressure unit may include a pressure roller disposed adjacent to the pattern roller, and a convex portion covered on an outer circumferential surface of the pressure roller and expanded by pressure provided from the outside.

일 실시예에서, 상기 팽윤부는, 탄성을 가지는 투명재료를 포함할 수 있다. In one embodiment, the swelling portion may include a transparent material having elasticity.

일 실시예에서, 상기 가압유닛은, 상기 패턴 롤러에 인접하도록 배치되며, 외부로부터 제공되는 압력에 의해 스스로 팽창되는 팽윤롤러일 수 있다. In one embodiment, the pressure unit may be a swelling roller that is disposed adjacent to the pattern roller and self-expands by pressure provided from the outside.

상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 의한 패터닝 장치는 패턴롤러, 기판부 및 가압장치를 포함한다. 상기 패턴롤러는 패턴이 형성되는 패턴면을 포함한다. 상기 기판부는 상기 패턴롤러의 패턴면에 접촉하며, 상기 패턴롤러의 회전에 따라 이송된다. 상기 가압장치는 상기 패턴롤러에 인접하도록 배치되어, 상기 패턴롤러의 특정 영역을 가압하여, 상기 패턴면의 패턴을 상기 기판부로 전사시킨다. 이 경우, 상기 가압장치는, 상기 패턴롤러에 인접하도록 배치되며, 외부로부터 제공되는 압력에 의해 팽창되어 상기 패턴롤러의 특정 영역을 가압하는 가압유닛, 및 상기 가압유닛의 외부에 배치되어, 상기 가압유닛이 상기 특정 영역으로만 팽창되도록 가이드하는 가이드부를 포함한다. A patterning device according to an embodiment for realizing another object of the present invention described above includes a pattern roller, a substrate unit, and a pressing device. The pattern roller includes a pattern surface on which a pattern is formed. The substrate part contacts the pattern surface of the pattern roller and is transferred according to the rotation of the pattern roller. The pressing device is disposed adjacent to the pattern roller, presses a specific area of the pattern roller, and transfers the pattern of the pattern surface to the substrate. In this case, the press device is disposed adjacent to the pattern roller, and is expanded by pressure provided from the outside to press a specific area of the pattern roller, and a press unit disposed outside the press unit to press a specific area of the pattern roller. and a guide part for guiding the expansion only to the specific area.

일 실시예에서, 상기 가이드부는, 상기 패턴롤러의 특정 영역과 상기 가압유닛의 사이에는 배치되지 않아, 상기 가압유닛이 상기 특정 영역을 향해서만 팽창될 수 있다. In one embodiment, the guide unit is not disposed between the specific region of the pattern roller and the pressing unit, so that the pressing unit can expand only toward the specific region.

일 실시예에서, 상기 가압유닛의 내부에 배치되어, 상기 특정영역을 향해 광 또는 열을 제공하는 경화유닛을 더 포함할 수 있다. In one embodiment, a curing unit disposed inside the pressing unit to provide light or heat toward the specific region may be further included.

일 실시예에서, 상기 가압유닛은, 상기 광 또는 열이 통과하는 투명재료를 포함할 수 있다. In one embodiment, the pressure unit may include a transparent material through which the light or heat passes.

일 실시예에서, 상기 가압유닛의 외부에 상기 가압유닛과 인접하도록 배치되어, 상기 특정영역을 향해 광 또는 열을 제공하는 경화유닛을 더 포함할 수 있다. In one embodiment, a curing unit disposed outside the pressing unit to be adjacent to the pressing unit and providing light or heat toward the specific region may be further included.

일 실시예에서, 상기 가압장치에 의해 가압되는 압력을 측정하는 측정부, 및 상기 측정되는 압력을 바탕으로 상기 가압장치의 팽창, 또는 상기 가압장치와 상기 패턴롤러 사이의 간격을 제어하는 구동부를 더 포함할 수 있다. In one embodiment, a measuring unit for measuring the pressure applied by the pressure device, and a drive unit for controlling the expansion of the pressure device or a gap between the pressure device and the pattern roller based on the measured pressure are further added. can include

본 발명의 실시예들에 의하면, 가압유닛이 팽창하되, 가이드부에 의해 패턴 롤러에서 패터닝이 수행되는 특정 영역으로만 국부적으로 팽창되도록 유도함으로써, 해당 특정 영역에서의 패터닝시의 가압력을 집중적으로 제공할 수 있다. According to the embodiments of the present invention, the pressure unit expands, but the pattern roller guides the pattern roller to expand locally only to a specific area where patterning is performed, thereby providing intensive pressure during patterning in the specific area. can do.

이 경우, 상기 가이드부는 가압유닛의 회전과 함께 회전할 수 있는 가이드롤러들을 포함하며, 상기 특정 영역에만 배치가 생략됨으로써, 전반적인 롤러를 통한 연속공정 상태를 유지하면서도 특정 영역으로의 집중적인 팽창을 유도할 수 있다. In this case, the guide part includes guide rollers that can rotate along with the rotation of the pressurizing unit, and by omitting the arrangement only in the specific area, intensive expansion in a specific area is induced while maintaining a continuous process state through the overall rollers. can do.

이와 달리, 상기 가이드부가 자켓(jacket) 형태로 특정 영역만 노출시키도록 가압유닛의 외부를 커버함으로써, 상기 특정 영역으로만의 팽창을 보다 균일하게 유지하여 가압력을 보다 균일하게 제공할 수도 있다. Alternatively, by covering the outside of the pressurization unit in the form of a jacket so that only a specific region is exposed, the pressurizing force may be provided more uniformly by maintaining a more uniform expansion of only the specific region.

한편, 상기 가압유닛은, 가압롤러의 외주면에 형성되는 팽윤부만 팽창되거나, 또는 가압롤러 전체가 팽창되도록 형성됨으로써, 다양한 설계의 유연성을 제공할 수 있고, 특히, 팽윤부만 팽창하는 경우, 가압롤러는 안정적으로 회전을 유지하고 팽윤부에 의해 가압만 수행되므로, 안정적인 연속 공정의 수행과 효과적인 가압을 모두 구현할 수 있다. On the other hand, the pressure unit is formed so that only the convex portion formed on the outer circumferential surface of the pressure roller expands or the entire pressure roller expands, thereby providing flexibility in various designs. In particular, when only the convex portion expands, press Since the roller stably maintains rotation and only pressurization is performed by the convex area, both stable continuous processing and effective pressurization can be realized.

나아가, 가압유닛은 투명하게 형성되어 내부에서 열이나 광을 이용한 경화를 수행하는 경화유닛이 내부에 구비될 수 있으므로, 전체적인 패터닝 장치에서의 공간 효율성과 패터닝 효율성을 보다 향상시킬 수 있다. Furthermore, since the pressing unit is formed transparently and a curing unit for performing curing using heat or light may be provided therein, space efficiency and patterning efficiency in the entire patterning device may be further improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 패터닝 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 패터닝 장치가 포함하는 가압장치에서, 가이드롤러를 생략한 사시도이다.
도 3a는 도 2의 가압장치에서, 팽윤부가 팽창하기 전 상태를 도시한 모식도이고, 도 3b는 도 2의 가압장치에서, 팽윤부가 팽창한 상태를 도시한 모식도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 의한 패터닝 장치에서, 팽윤롤러가 팽창한 상태를 도시한 모식도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 패터닝 장치에서, 팽윤부가 팽창한 상태를 도시한 모식도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 패터닝 장치에서, 팽윤부가 팽창한 상태를 도시한 모식도이다. 1 is a perspective view illustrating a patterning device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view in which a guide roller is omitted in the pressure device included in the patterning device of FIG. 1 .
FIG. 3A is a schematic diagram showing a state before the swelling part expands in the pressurizing device of FIG. 2, and FIG. 3B is a schematic diagram showing a state in which the swelling part expands in the pressing device of FIG. 2 .
4 is a schematic diagram showing a state in which a swelling roller is inflated in a patterning device according to another embodiment of the present invention.
5 is a schematic diagram showing a state in which a convex area is inflated in a patterning device according to another embodiment of the present invention.
6 is a schematic diagram showing a state in which a convex area is inflated in a patterning device according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. Since the present invention can be applied with various changes and can have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numerals have been used for like elements throughout the description of each figure. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms.

상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another. Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. In this application, the terms "comprise" or "consisting of" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 패터닝 장치를 도시한 사시도이다. 도 2는 도 1의 패터닝 장치가 포함하는 가압장치에서, 가이드롤러를 생략한 사시도이다. 도 3a는 도 2의 가압장치에서, 팽윤부가 팽창하기 전 상태를 도시한 모식도이고, 도 3b는 도 2의 가압장치에서, 팽윤부가 팽창한 상태를 도시한 모식도이다. 1 is a perspective view illustrating a patterning device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view in which a guide roller is omitted in the pressure device included in the patterning device of FIG. 1 . FIG. 3A is a schematic diagram showing a state before the swelling part expands in the pressurizing device of FIG. 2, and FIG. 3B is a schematic diagram showing a state in which the swelling part expands in the pressing device of FIG. 2 .

도 1 내지 도 3b를 참조하면, 본 실시예에 의한 상기 패터닝 장치(10)는 패턴롤러(100), 제1 회전롤(110), 제2 회전롤(120), 기판부(150), 가압장치(200) 및 경화유닛(300)을 포함한다. 1 to 3B, the patterning device 10 according to the present embodiment includes a pattern roller 100, a first rotation roll 110, a second rotation roll 120, a substrate unit 150, a press It includes an apparatus 200 and a curing unit 300.

상기 패턴롤러(100)는 실린더 형상을 가지며 일 방향으로 연장되는 롤러(roller)인 것으로, 도시하지는 않았으나, 외부로부터 제공되는 회전 구동력에 의해 중심축을 기준으로 회전한다. The pattern roller 100 is a roller that has a cylindrical shape and extends in one direction, and although not shown, rotates about a central axis by a rotational driving force provided from the outside.

상기 패턴롤러(100)의 경우, 외주면이 패턴면(101)인 것으로, 상기 패턴면(101) 상에는 소정의 패턴이 직접 형성될 수 있다. 이와 달리, 상기 패턴면(101)은 상기 패턴롤러(100)의 외주면 상에 별도의 층으로 추가로 형성될 수도 있으며, 이는 제한되지 않는다. In the case of the pattern roller 100, the outer circumferential surface is the pattern surface 101, and a predetermined pattern may be directly formed on the pattern surface 101. Alternatively, the pattern surface 101 may be additionally formed as a separate layer on the outer circumferential surface of the pattern roller 100, but this is not limited.

이와 같이, 상기 패턴롤러(100)의 상기 패턴면(101) 상에 형성된 패턴은, 상기 기판부(150)로 전사되는 것으로, 예를 들어, 상기 패턴면(101)과 상기 기판부(150) 사이의 가압에 의한 임프린트(imprint) 등의 공정을 통해 상기 기판부(150)로 전사될 수 있다. In this way, the pattern formed on the pattern surface 101 of the pattern roller 100 is transferred to the substrate portion 150, for example, the pattern surface 101 and the substrate portion 150 It may be transferred to the substrate portion 150 through a process such as imprinting by pressing between the layers.

즉, 상기 기판부(150)는 상기 패턴롤러(100)의 상기 패턴면(101) 상에 접촉하며 상기 패턴롤러(100)의 일부에 권취되며 이송된다. 이 경우, 상기 기판부(150) 중, 상기 패턴면(101)과 마주하며 접촉되는 면에는, 상기 가압에 의한 임프린트 등의 공정에 의해 소정의 패턴층(152)이 형성된다. That is, the substrate part 150 contacts the pattern surface 101 of the pattern roller 100 and is wound around a part of the pattern roller 100 and transferred. In this case, a predetermined pattern layer 152 is formed on a surface of the substrate 150 facing and contacting the pattern surface 101 by a process such as imprinting by pressing.

이 경우, 상기 기판부(150)는 상기 패턴롤러(100)를 따라 이송되기 위해, 유연성 또는 신축성 기판일 수 있으며, 이러한 유연성 또는 신축성 기판의 이송에 따라, 상기 기판부(150) 상에는 연속적으로 상기 패턴층(152)이 형성될 수 있다. In this case, the substrate part 150 may be a flexible or stretchable substrate to be transferred along the pattern roller 100, and according to the transfer of the flexible or stretchable substrate, the substrate part 150 continuously A pattern layer 152 may be formed.

한편, 상기 기판부(150)가 상기 패턴롤러(100)를 따라 권취되며 연속적으로 이송되기 위해, 상기 패턴롤러(100)의 전단 및 후단에는 상기 제1 회전롤(110) 및 상기 제2 회전롤(120)이 각각 배치될 수 있다. On the other hand, in order for the substrate part 150 to be wound along the pattern roller 100 and continuously transported, the first rotation roll 110 and the second rotation roll are provided at the front and rear ends of the pattern roller 100. 120 may be disposed respectively.

즉, 상기 제1 회전롤(110)에 의해 상기 기판부(150)를 상기 패턴롤러(100)를 향하여 밀착 제공할 수 있으며, 상기 제2 회전롤(120)에 의해 상기 패턴층(152)이 형성된 기판부(150)를 상기 패턴롤러(100)로부터 외부로 제공하게 된다. That is, the substrate portion 150 may be provided in close contact with the pattern roller 100 by the first rotation roll 110, and the pattern layer 152 may be formed by the second rotation roll 120. The formed substrate portion 150 is provided to the outside from the pattern roller 100 .

이 경우, 상기 패턴롤러(100)가 도시된 바와 같이, 반시계방향으로 회전한다면, 상기 제1 회전롤(110) 및 상기 제2 회전롤(120)은 모두 시계방향으로 회전하여야 한다. In this case, if the pattern roller 100 rotates counterclockwise as shown, both the first rotation roll 110 and the second rotation roll 120 must rotate clockwise.

상기 가압장치(200)는 상기 패턴롤러(100)의 패턴면(101) 상에 상기 기판부(150)를 가압하여, 상기 패턴면(101) 상에 형성된 패턴이 상기 기판부(150) 상으로 보다 효과적이고 균일하게 전사되도록 한다. The pressing device 200 presses the substrate part 150 on the pattern surface 101 of the pattern roller 100 so that the pattern formed on the pattern surface 101 is on the substrate part 150. It makes the transfer more effective and uniform.

즉, 상기 패턴롤러(100)의 패턴이 임프린트 등과 같이 상기 기판부(150) 상으로 전사되기 위해서는, 상기 패턴롤러(100)와 상기 기판부(150) 사이의 전사 영역에서 소정의 가압력이 인각되어야 한다. That is, in order for the pattern of the pattern roller 100 to be transferred onto the substrate 150 like an imprint, a predetermined pressing force must be applied in the transfer area between the pattern roller 100 and the substrate 150. do.

이에, 본 실시예에서는, 상기 가압장치(200)가 상기 패턴롤러(100)에 인접하도록 배치되어, 상기 기판부(150)를 상기 패턴롤러(100)로 가압시킴으로써, 이러한 전사를 위한 가압력을 인가하게 된다. Accordingly, in the present embodiment, the pressing device 200 is disposed adjacent to the pattern roller 100 and presses the substrate portion 150 with the pattern roller 100, thereby applying a pressing force for the transfer. will do

다만, 상기 가압장치(200)가 항상 상기 기판부(150)를 상기 패턴롤러(100) 상으로 가압시킨 상태를 유지한다면, 전사가 필요하지 않은 상황에서도 불필요한 가압력이 인가되는 문제가 있으며, 장시간 동안 가압력이 인가되는 경우 상기 가압장치(200)와 상기 패턴롤러(100)의 사이에서의 재정렬이 필요할 수 있으며, 나아가 전반적인 공정효율이 저하될 수 있다. However, if the pressing device 200 always maintains a state in which the substrate portion 150 is pressed onto the pattern roller 100, there is a problem in that unnecessary pressing force is applied even in a situation where transfer is not required, and for a long time When a pressing force is applied, realignment between the pressing device 200 and the pattern roller 100 may be required, and overall process efficiency may be reduced.

이에, 본 실시예에서는 상기 가압장치(200)가 가압이 필요한 경우에만 선택적으로, 국부적인 위치에서 상기 기판부(150)와 상기 패턴롤러(100) 사이를 가압함으로써, 전반적인 공정효율을 보다 향상시킬 수 있다. Accordingly, in the present embodiment, the pressing device 200 selectively presses between the substrate portion 150 and the pattern roller 100 at a local location only when pressing is required, thereby further improving overall process efficiency. can

구체적으로, 상기 가압장치(200)는, 가압유닛(210), 가이드부(220), 고정 플레이트(230), 인출입유닛(240), 측정부(250) 및 구동부(260)를 포함한다. Specifically, the pressing device 200 includes a pressing unit 210, a guide part 220, a fixed plate 230, a pull-out unit 240, a measuring part 250, and a driving part 260.

상기 가압유닛(210)은 상기 기판부(150)를 상기 패턴롤러(100)를 향하는 방향으로 가압하는 것으로, 가압롤러(211) 및 팽윤부(215)를 포함한다. The press unit 210 presses the substrate part 150 in a direction toward the pattern roller 100, and includes a press roller 211 and a swelling part 215.

상기 가압롤러(211)는 상기 패턴롤러(100)와 인접하도록 배치되며, 상기 가압롤러(211)와 상기 패턴롤러(100) 사이에는 상기 기판부(150)가 위치하며 이동하게 된다. The pressure roller 211 is disposed adjacent to the pattern roller 100, and the substrate part 150 is positioned and moved between the pressure roller 211 and the pattern roller 100.

이 경우, 상기 기판부(150)와 상기 가압롤러(211) 사이에는 도 3a에 도시된 바와 같이, 개구부(205)가 형성되며, 상기 개구부(205)가 형성되는 상기 패턴롤러(100)의 특정 영역이, 후술되는 상기 기판부(150)와 상기 패턴롤러(100) 사이가 가압되는 영역에 해당된다. In this case, as shown in FIG. 3A, an opening 205 is formed between the substrate part 150 and the pressure roller 211, and the specific pattern roller 100 in which the opening 205 is formed The region corresponds to a region where pressure is applied between the substrate part 150 and the pattern roller 100, which will be described later.

즉, 상기 개구부(205)가 형성되는 영역에서, 상기 가압유닛(210)에 의해 상기 기판부(150)는 상기 패턴롤러(100)를 향하여 가압이 수행된다. That is, in the region where the opening 205 is formed, the substrate 150 is pressed toward the pattern roller 100 by the pressing unit 210 .

상기 가압롤러(211)의 경우, 팽창 또는 축소되지 않고 그 형상이 전체적으로 유지되는 상대적으로 단단한 구조물인 것으로, 상기 패턴롤러(100)보다 그 직경은 작으나, 전체적으로 상기 패턴롤러(100)가 연장되는 길이와 동일하거나 큰 길이로 형성되어야 한다. In the case of the pressure roller 211, it is a relatively rigid structure that does not expand or contract and maintains its shape as a whole, and has a smaller diameter than the pattern roller 100, but the overall length of the pattern roller 100. It must be formed with a length equal to or greater than

또한, 상기 가압롤러(211)는 실린더 형상을 가지며, 도시하지는 않았으나, 외부로부터 제공되는 회전 구동력에 의해 중심축을 중심으로 회전할 수 있다. In addition, the pressure roller 211 has a cylindrical shape, and although not shown, it can rotate about a central axis by a rotational driving force provided from the outside.

상기 팽윤부(215)는 상기 가압롤러(211)의 외주면에 커버되며, 상기 팽윤부(215)의 두께는 다양하게 형성될 수 있으나, 상기 팽윤부(215)의 두께는 상기 가압롤러(211)의 반경보다는 작게 형성되는 것이 바람직하다. The convex part 215 is covered on the outer circumferential surface of the pressure roller 211, and the thickness of the convex part 215 may be formed in various ways, but the thickness of the convex part 215 is the pressure roller 211 It is preferable to be formed smaller than the radius of .

상기 팽윤부(215)는, 상기 인출입유닛(240)을 통해 외부로부터 제공되는 압력, 예를 들어 공압 또는 유압에 의해 팽창될 수 있으며, 상기 제공된 압력이 다시 외부로 인출된다면 팽창된 상기 팽윤부(215)는 다시 수축할 수 있다. The swelling portion 215 may be expanded by pressure provided from the outside through the take-out unit 240, for example, pneumatic pressure or hydraulic pressure, and if the provided pressure is drawn out again, the swelling portion expands. (215) can contract again.

즉, 상기 팽윤부(215)는 상기 압력에 의해 팽창되었다, 상기 압력이 제거되면 다시 수축하는 것으로, 도 3a는 상기 팽윤부(215)가 수축한 상태를 도시한 것이며, 도 3b는 상기 팽윤부(215)가 팽창한 상태를 도시한 것이다. That is, the convex part 215 is expanded by the pressure, and contracts again when the pressure is removed. FIG. 3A shows a state in which the convex part 215 is contracted, and FIG. (215) shows an expanded state.

이 경우, 상기 인출입유닛(240)은 상기 가압롤러(211)의 측부에 형성될 수 있으며, 상세히 도시하지는 않았으나, 상기 인출입유닛(240)은 상기 팽윤부(215)의 내측과 개방되도록 연결되어, 외부로부터 제공되는 공압 또는 유압과 같은 압력은 상기 팽윤부(215)의 내부로 제공될 수 있다. In this case, the pull-out unit 240 may be formed on the side of the pressure roller 211, and although not shown in detail, the pull-out unit 240 is connected to the inside of the convex part 215 to be open. Thus, pressure such as pneumatic or hydraulic pressure provided from the outside may be provided to the inside of the convex area 215 .

상기 팽윤부(215)의 경우, 압력의 제공에 따라 팽창되기 위해, 탄성 재료를 포함할 수 있으며, 예를 들어, PDMS(polydimethylsiloxane)일 수 있다. In the case of the swelling portion 215, in order to expand according to the application of pressure, it may include an elastic material, for example, it may be PDMS (polydimethylsiloxane).

한편, 상기 팽윤부(215)는 상기 가압롤러(211)와 함께 회전되는 것으로, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 패턴롤러(100)가 반시계 방향으로 회전하는 경우, 상기 팽윤부(215)와 상기 가압롤러(211)는 시계방향으로 회전할 수 있다. On the other hand, the convex portion 215 rotates together with the pressure roller 211, and as shown in FIG. 3B, when the pattern roller 100 rotates counterclockwise, the convex portion 215 And the pressure roller 211 can rotate clockwise.

상기 가이드부(220)는 상기 팽윤부(215)의 외부에 구비되어, 상기 팽윤부(215)가 팽창하는 영역을 가이드한다. The guide part 220 is provided outside the convex part 215 and guides an area where the convex part 215 expands.

구체적으로, 상기 가이드부(220)는 도시된 바와 같이, 서로 인접하도록 배치되는 복수의 가이드 롤러들(220)일 수 있다.Specifically, as shown, the guide part 220 may be a plurality of guide rollers 220 disposed adjacent to each other.

이 경우, 상기 가이드 롤러들(220)은 도 1에 도시된 바와 같이 각각은 실린더 형상을 가지며 상기 가압롤러(211)의 길이와 실질적으로 동일한 길이로 연장될 수 있으며, 상기 가이드 롤러들(220) 각각의 반경은 상기 가압롤러(211)의 반경보다 상대적으로 매우 작게 형성된다. In this case, as shown in FIG. 1 , the guide rollers 220 each have a cylindrical shape and may extend substantially the same length as the length of the pressure roller 211, and the guide rollers 220 Each radius is relatively smaller than the radius of the pressure roller 211 .

또한, 상기 가이드 롤러들(220) 각각의 양 끝단은, 상기 가압롤러(211)의 양 끝단에 위치하는 한 쌍의 상기 고정 플레이트(230)에 의해 고정될 수 있다. In addition, both ends of each of the guide rollers 220 may be fixed by a pair of fixing plates 230 positioned at both ends of the pressure roller 211 .

그리하여, 상기 가이드 롤러들(220)은 도시된 바와 같이, 상기 가압롤러(211) 및 상기 팽윤부(215)의 외주면을 따라 복수개가 서로 인접하도록 배열된다. Thus, as shown, a plurality of guide rollers 220 are arranged to be adjacent to each other along the outer circumferential surfaces of the pressure roller 211 and the convex portion 215 .

이 경우, 서로 인접하여 배열되는 상기 가이드 롤러들(220)은 사이의 공간이 최소가 되도록 배열되며, 각각의 가이드 롤러들(220)은 독립적으로 회전될 수 있어야 한다. 즉, 상기 가이드 롤러들(220) 사이의 공간은 상기 가이드 롤러들(220) 각각이 독립적으로 회전되는 것을 방해하지 않도록 최소로 형성되면 충분하다. In this case, the guide rollers 220 arranged adjacent to each other are arranged such that a space between them is minimized, and each guide roller 220 should be independently rotatable. That is, it is sufficient if the space between the guide rollers 220 is formed to a minimum so as not to interfere with the independent rotation of each of the guide rollers 220 .

특히, 본 실시예에서는, 상기 팽윤부(215)가 외부로부터 제공되는 압력에 의해 팽창되는데, 이러한 팽창되는 팽윤부(215)가 상기 가이드 롤러들(220) 사이의 공간으로 팽창되지 않도록, 상기 가이드 롤러들(220) 사이의 공간은 최소로 유지되어야 한다. In particular, in this embodiment, the convex portion 215 is expanded by pressure provided from the outside, so that the expanded convex portion 215 does not expand into the space between the guide rollers 220, the guide The space between the rollers 220 should be kept to a minimum.

한편, 상기 가이드 롤러들(220)은 상기 기판부(150)를 향하는 공간인, 상기 개구부(205) 상에는 배치되지 않는다. 그리하여, 상기 개구부(205)에서는, 상기 팽윤부(215)가 상기 기판부(150) 및 상기 패턴롤러(100)와 직접 마주하며 배치하게 된다. Meanwhile, the guide rollers 220 are not disposed on the opening 205, which is a space facing the substrate portion 150. Thus, in the opening 205 , the convex portion 215 is disposed directly facing the substrate portion 150 and the pattern roller 100 .

이상과 같이, 상기 팽윤부(215)의 외측에서, 상기 개구부(205)를 제외한 모든 위치에서 상기 가이드 롤러들(220)이 배치됨에 따라, 상기 팽윤부(215)는 외부로부터 제공되는 압력에 의해, 상기 개구부(205)를 향하여만 팽창될 수 있다. As described above, as the guide rollers 220 are disposed outside the convex portion 215 at all locations except for the opening 205, the convex portion 215 is formed by pressure provided from the outside. , can be expanded only toward the opening 205.

즉, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 팽윤부(215)가 팽창되는 경우, 상기 개구부(205) 외의 다른 방향으로는 상기 가이드 롤러들(220)에 의해 팽창 정도가 제한되며, 이에 따라 상기 개구부(205)를 향하여만 돌출되도록 팽창된다. 그리하여, 상기 팽창으로 돌출된 상기 팽윤부(215)는 상기 기판부(150)의 외부면(151)에 접촉하며, 상기 기판부(150)를 가압하게 된다. That is, as shown in FIG. 3B, when the convex portion 215 expands, the degree of expansion is limited by the guide rollers 220 in directions other than the opening 205, and thus the opening 215 expands. It is inflated so as to protrude only toward (205). Thus, the convex portion 215 protruded by the expansion contacts the outer surface 151 of the substrate portion 150 and presses the substrate portion 150 .

이와 같이, 상기 팽윤부(215)가 상기 개구부(205)를 향하여만 돌출하여 팽창됨으로써, 상기 개구부(205)에 위치하는 상기 기판부(150)는 상기 패턴롤러(100)를 향하여 가압될 수 있으며, 결국 상기 개구부(205)가 가압부(217)를 형성하게 된다. In this way, since the convex portion 215 protrudes and expands only toward the opening 205, the substrate portion 150 located in the opening 205 can be pressed toward the pattern roller 100, , Eventually, the opening 205 forms the pressing portion 217.

즉, 상기 가압부(217)에서, 상기 팽윤부(215)의 팽창에 따른 가압력이 상기 기판부(150)로 제공됨에 따라, 상기 기판부(150)는 상기 패턴롤러(100)의 패턴면(101)과 보다 높은 압력으로 밀착될 수 있으며, 이에 따라 상기 패턴면(101)에 형성되는 패턴은 상기 기판부(150)로 전사되게 된다. That is, in the pressing part 217, as the pressing force according to the expansion of the convex part 215 is provided to the substrate part 150, the substrate part 150 is the pattern surface of the pattern roller 100 ( 101) with a higher pressure, and accordingly, the pattern formed on the pattern surface 101 is transferred to the substrate portion 150.

나아가, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 패턴롤러(100)가 반시계 방향으로 회전함에 따라, 상기 가압롤러(211) 및 상기 팽윤부(215)는 시계방향으로 회전하게 되는데, 상기 팽윤부(215)가 시계방향으로 회전하는 경우에도, 상기 개구부(205)에 위치하는 팽윤부(215)의 부분만이 상기 기판부(150)를 가압하게 되며, 다른 영역에서는 상기 팽윤부(215)의 팽창은 상기 가이드 롤러들(220)에 의해 제한된다. Furthermore, as described above, as the pattern roller 100 rotates counterclockwise, the pressure roller 211 and the swelling portion 215 rotate clockwise. Even when rotating in the clockwise direction, only the portion of the convex portion 215 located in the opening 205 presses the substrate portion 150, and the expansion of the convex portion 215 in the other area causes the guide It is bounded by rollers 220 .

또한, 상기 가이드 롤러들(220)도 서로 독립적으로 회전이 가능하므로, 상기 팽윤부(215)가 상기 가이드 롤러들(220)에 접촉한 상태에서 시계방향으로 회전하는 경우, 상기 가이드 롤러들(220) 각각은 화살표로 도시된 바와 같이, 반시계 방향으로 회전할 수 있다. In addition, since the guide rollers 220 can also rotate independently of each other, when the convex part 215 rotates clockwise while in contact with the guide rollers 220, the guide rollers 220 ) can rotate counterclockwise, as shown by arrows.

이상과 같이, 전체적으로 상기 패턴롤러(100)의 회전과 연계되어 상기 가압유닛(210) 및 가이드 롤러들(220)이 회전하므로, 전체적인 연속 공정이 방해되지 않고 패터닝이 수행될 수 있으며, 가압이 필요한 특정 영역에 해당되는 부분에서만 상기 팽윤부(215)가 팽창하므로, 상기 특정 영역에서만 가압되어 패터닝 공정이 국부적으로 그리고 효과적으로 수행될 수 있다. As described above, since the pressure unit 210 and the guide rollers 220 rotate in conjunction with the rotation of the pattern roller 100 as a whole, patterning can be performed without disturbing the overall continuous process, and pressure is required. Since the convex area 215 expands only in a specific area, the patterning process can be performed locally and effectively by pressing only in the specific area.

한편, 상기 측정부(250)는 상기 고정 플레이트(230)의 외측에 구비되며, 상기 가압유닛(210)을 통해 상기 기판부(150)를 가압하는 경우, 상기 가압력을 측정할 수 있다. Meanwhile, the measuring unit 250 is provided outside the fixing plate 230 and can measure the pressing force when pressing the substrate 150 through the pressing unit 210 .

즉, 상기 측정부(250)는 예를 들어, 로드셀(load cell)일 수 있으며, 상기 가압력을 측정하여, 상기 가압력이 기 설정된 소정 범위 이내로 유지되는가의 여부를 측정할 수 있다. That is, the measuring unit 250 may be, for example, a load cell, and may measure the pressing force to determine whether or not the pressing force is maintained within a predetermined range.

또한, 상기 구동부(260)는 상기 측정부(250)와 유사하게, 상기 고정 플레이트(230)의 외측에 구비될 수 있으며, 상기 가압유닛(210)의 전반적인 구동을 제어할 수 있다. Also, similar to the measuring unit 250, the driving unit 260 may be provided outside the fixed plate 230, and may control overall driving of the pressing unit 210.

즉, 상기 인출입유닛(240)의 개폐를 제어하여, 외부로부터 상기 팽윤부(215)의 내부로 압력이 제공되도록 하거나, 상기 팽윤부(215) 내부의 압력을 외부로 유출할 수도 있다. That is, by controlling the opening and closing of the draw-in/out unit 240, pressure may be provided from the outside to the inside of the convex area 215, or the pressure inside the convex area 215 may be discharged to the outside.

또한, 상기 측정부(250)에서 측정되는 상기 가압력을 바탕으로, 상기 가압력을 증가 또는 감소시키기 위한 구동도 구현할 수 있다. In addition, based on the pressing force measured by the measurement unit 250, driving for increasing or decreasing the pressing force may be implemented.

즉, 상기 가압력이 추가로 필요하다면, 상기 인출입유닛(240)의 개방 정도를 증가시켜 상기 공급되는 압력을 보다 증가시켜 상기 팽윤부(215)의 팽창을 더 크게 유도할 수 있다. That is, if the pressing force is additionally required, the supplied pressure may be further increased by increasing the degree of opening of the withdrawal/intake unit 240 to induce greater expansion of the convex area 215 .

또한, 상기 가압력이 추가로 필요하다면, 상기 가압유닛(210)을 전체적으로 상기 패턴롤러(100)를 향하는 방향으로 이동시킴으로써, 가압력을 증가시킬 수도 있다. In addition, if the pressing force is additionally required, the pressing force may be increased by moving the pressing unit 210 in a direction toward the pattern roller 100 as a whole.

이와 달리, 상기 가압력을 감소시킬 필요가 있다면, 상기 인출입유닛(240)의 개방 정도를 감소시켜 상기 공급되는 압력을 보다 감소시켜 상기 팽윤부(215)의 팽창을 감소시킬 수 있으며, 상기 가압유닛(210)을 전체적으로 상기 패턴롤러(100)의 반대방향으로 이동시킴으로써, 가압력을 감소시킬 수도 있다. Alternatively, if it is necessary to reduce the pressurizing force, the supplied pressure may be further reduced by reducing the degree of opening of the take-out unit 240 to reduce the expansion of the convex area 215, and the pressurizing unit By moving 210 as a whole in the opposite direction of the pattern roller 100, the pressing force may be reduced.

상기 경화유닛(300)은 상기 가압롤러(211)의 내부에 구비되는 것으로, 상기 개구부(205)를 향하여 광(301) 또는 열을 제공한다. The curing unit 300 is provided inside the pressure roller 211 and provides light 301 or heat toward the opening 205 .

상기 경화유닛(300)이 상기 개구부(205)를 향하여 광 또는 열을 제공함에 따라, 상기 개구부(205)에 위치하는, 즉 상기 팽윤부(215)에 의해 가압되는 가압부(217) 상에 위치하는, 상기 패턴롤러(100)의 패턴이 상기 기판부(150)로 전사되면서, 광 경화 또는 열 경화가 수행될 수 있다. As the curing unit 300 provides light or heat toward the opening 205, it is located in the opening 205, that is, on the pressing part 217 pressed by the swelling part 215 While the pattern of the pattern roller 100 is transferred to the substrate 150, photocuring or thermal curing may be performed.

이 경우, 상기 제공되는 광은 자외선(UV)일 수 있다. In this case, the provided light may be ultraviolet (UV) light.

그리하여, 상기 기판부(150)로 전사되는 패턴은, 상기 경화를 통해 보다 안정적으로 상기 패턴층(152)으로 상기 기판부(150) 상에 형성될 수 있다. Thus, the pattern transferred to the substrate portion 150 can be more stably formed on the substrate portion 150 as the pattern layer 152 through the curing.

이 경우, 상기 경화유닛(300)으로부터 발생되는 광 또는 열은 상기 기판부(150)로 제공되어야 하므로, 상기 팽윤부(215)는 투명한 재질로 형성되어야 한다. In this case, since light or heat generated from the curing unit 300 should be provided to the substrate part 150, the convex part 215 should be formed of a transparent material.

나아가, 상기 경화유닛(300)이 도시된 바와 같이, 상기 가압롤러(211)의 외주면 상에 위치하지 않고, 상기 가압롤러(211)의 내측으로 위치한다면, 상기 광 또는 열이 효과적으로 전달되기 위해 상기 가압롤러(211) 역시 투명하게 형성되어야 한다. Furthermore, as shown, if the curing unit 300 is not located on the outer circumferential surface of the pressure roller 211 but is located inside the pressure roller 211, the light or heat can be effectively transmitted. The pressure roller 211 should also be formed transparently.

한편, 상기 가압롤러(211) 및 상기 팽윤부(215)는 회전되지만, 상기 경화유닛(300)은 일정하게 상기 가압부(217)를 향하여 광 또는 열을 제공하여야 하므로, 상기 경화유닛(300)의 위치는 고정되어야 한다. Meanwhile, although the pressure roller 211 and the convex portion 215 are rotated, the curing unit 300 must constantly provide light or heat toward the pressing portion 217, so that the curing unit 300 position must be fixed.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 의한 패터닝 장치에서, 팽윤롤러가 팽창한 상태를 도시한 모식도이다. 4 is a schematic diagram showing a state in which a swelling roller is inflated in a patterning device according to another embodiment of the present invention.

본 실시예에 의한 상기 패터닝 장치(11)는, 가압유닛(201)이 팽윤롤러(212)로만 구성되는 것을 제외하고는, 도 1 내지 도 3b를 참조하여 설명한 상기 패터닝 장치(10)와 실질적으로 동일하므로, 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 사용하고 중복되는 설명은 이를 생략한다. The patterning device 11 according to the present embodiment is substantially the same as the patterning device 10 described with reference to FIGS. 1 to 3B, except that the pressure unit 201 is composed of only the swelling roller 212. Since they are the same, the same reference numerals are used for the same elements, and overlapping descriptions are omitted.

즉, 도 4를 참조하면, 본 실시예에서의 상기 패터닝 장치(11)에서는, 상기 가압유닛(201)이 가압롤러 및 팽윤부를 각각 구별하여 구비하지 않고, 하나의 팽윤롤러(212)로 구성된다. That is, referring to FIG. 4 , in the patterning device 11 in this embodiment, the pressure unit 201 is composed of a single swelling roller 212 without separately providing a pressure roller and a swelling portion, respectively. .

즉, 상기 가압유닛(201)은 하나의 팽윤롤러(212)로 구성되며, 상기 팽윤롤러(212)는 상기 인출입유닛(240)을 통해 외부로부터 압력을 제공받으면 스스로 팽창하며, 외부로 압력이 제거되면 스스로 수축한다. That is, the pressure unit 201 is composed of one swelling roller 212, and the swelling roller 212 expands itself when pressure is supplied from the outside through the withdrawal unit 240, and the pressure to the outside When removed, it contracts on its own.

이 경우, 도시된 바와 같이, 상기 팽윤롤러(212) 역시, 압력의 제공에 따라 팽창하는 경우에도, 상기 가압부(217)를 향해서만 돌출되도록 팽창될 뿐, 다른 부분으로는 일정 부분 이상의 팽창이 상기 가이드 롤러들(220)에 의해 제한된다. In this case, as shown, even when the swelling roller 212 expands according to the provision of pressure, it only expands to protrude only toward the pressing part 217, and other parts expand more than a certain amount. It is limited by the guide rollers 220 .

그리하여, 상기 가압부에서만 돌출되며 팽창되는 상기 팽윤롤러(212)에 의해, 상기 기판부(150)는 상기 패턴롤러(100)를 향하여 가압된다. Thus, the substrate part 150 is pressed toward the pattern roller 100 by the swelling roller 212 that protrudes and expands only in the pressing part.

나아가, 상기 팽윤롤러(212)의 내부에는 앞선 실시예에서와 같이, 상기 경화유닛(300)이 구비될 수 있으며, 상기 경화유닛(300)에 의해 상기 가압부(217)를 향하여 광(301) 또는 열이 제공될 수 있다. Furthermore, as in the previous embodiment, the curing unit 300 may be provided inside the swelling roller 212, and the light 301 is directed toward the pressing part 217 by the curing unit 300 Alternatively, heat may be provided.

따라서, 상기 팽윤롤러(212)는, 팽창이나 수축이 가능한 탄성 재질을 포함할 수 있으며, 투명한 재질로 형성될 수 있다. Accordingly, the swelling roller 212 may include an elastic material capable of expansion or contraction and may be formed of a transparent material.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 패터닝 장치에서, 팽윤부가 팽창한 상태를 도시한 모식도이다. 5 is a schematic diagram showing a state in which a convex area is inflated in a patterning device according to another embodiment of the present invention.

본 실시예에 의한 상기 패터닝 장치(12)는, 가이드부가 가이드 블록(270)으로 형성되는 것을 제외하고는, 도 1 내지 도 3b를 참조하여 설명한 상기 패터닝 장치(10)와 실질적으로 동일하므로, 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 사용하고 중복되는 설명은 이를 생략한다. The patterning device 12 according to the present embodiment is substantially the same as the patterning device 10 described with reference to FIGS. 1 to 3B except that the guide portion is formed of the guide block 270, The same reference numerals are used for components, and overlapping descriptions are omitted.

즉, 도 5를 참조하면, 본 실시예에서의 상기 패터닝 장치(12)에서는, 상기 팽윤부(215)의 팽창을 가이드하는 가이드부가, 하나의 가이드 블록(270)으로 형성될 수 있다. That is, referring to FIG. 5 , in the patterning device 12 according to the present embodiment, a guide unit for guiding the expansion of the convex area 215 may be formed as one guide block 270 .

즉, 상기 가이드 블록(270)은 일체로 하나로 형성되어, 상기 팽윤부(215)의 외부를 둘러싸도록 형성된다. 이 경우, 상기 가이드 블록(270) 역시, 상기 가압부(217) 상에는 형성되지 않아, 상기 팽윤부(215)와 상기 기판부(150) 사이에는 개구부(205)가 형성되는 것은 앞서 설명한 바와 같다. That is, the guide block 270 is integrally formed to surround the outside of the convex portion 215 . In this case, the guide block 270 is also not formed on the pressing part 217, and the opening 205 is formed between the convex part 215 and the substrate part 150 as described above.

또한, 상기 가이드 블록(270)은 고정된 상태로 위치하지만, 상기 팽윤부(215)가 내부에서 회전이 가능하도록 구성될 수 있다. In addition, although the guide block 270 is positioned in a fixed state, the convex part 215 may be configured to rotate inside.

즉, 상기 팽윤부(215)는 도시된 바와 같은 화살표 방향으로 상기 가이드 블록(270)의 내부에서 회전할 수 있으며, 이러한 회전이 가능하도록 상기 팽윤부(215)와 상기 가이드 블록(270)이 서로 접촉될 수 있다. That is, the convex part 215 can rotate inside the guide block 270 in the direction of the arrow as shown, and the convex part 215 and the guide block 270 are mutually connected to each other to enable this rotation. can be contacted.

이에, 도시하지는 않았으나, 상기 가이드 블록(270)의 내주면을 따라서는 소정의 슬라이딩 가이드가 형성될 수 있으며, 이에 따라 상기 팽윤부(215)는 상기 슬라이딩 가이드를 따라 상기 가이드 블록(270)의 내주면에 접하면서 회전될 수 있다. Accordingly, although not shown, a predetermined sliding guide may be formed along the inner circumferential surface of the guide block 270, and accordingly, the convex part 215 is formed on the inner circumferential surface of the guide block 270 along the sliding guide. It can rotate while touching.

이상과 같이, 상기 가이드 블록(270)에 의해 상기 팽윤부(215)의 외주면이 커버됨에 따라, 상기 팽윤부(215)는 상기 개구부(205)를 제외한 영역에서 상기 가이드 블록(270)에 의해 보다 견고하게 그 팽창이 제한될 수 있다. As described above, as the outer circumferential surface of the convex portion 215 is covered by the guide block 270, the convex portion 215 is more formed by the guide block 270 in an area excluding the opening 205. Its expansion can be rigidly limited.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 패터닝 장치에서, 팽윤부가 팽창한 상태를 도시한 모식도이다. 6 is a schematic diagram showing a state in which a convex area is inflated in a patterning device according to another embodiment of the present invention.

본 실시예에 의한 상기 패터닝 장치(13)는, 경화유닛(310)이 배치되는 위치를 제외하고는, 도 1 내지 도 3b를 참조하여 설명한 상기 패터닝 장치(10)와 실질적으로 동일하므로, 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 사용하고 중복되는 설명은 이를 생략한다. Since the patterning device 13 according to this embodiment is substantially the same as the patterning device 10 described with reference to FIGS. 1 to 3B except for the position where the curing unit 310 is disposed, the same configuration The same reference numbers are used for elements, and overlapping descriptions are omitted.

즉, 도 6을 참조하면, 본 실시예에 의한 상기 패터닝 장치(13)에서는, 상기 경화유닛(310)은 상기 가압롤러(211)의 내부에 위치하지 않으며, 상기 가압장치(200)의 외측에 별도로 위치하게 된다. That is, referring to FIG. 6 , in the patterning device 13 according to the present embodiment, the curing unit 310 is not located inside the pressure roller 211 and is located outside the pressure device 200. will be located separately.

따라서, 도 1에서 설명한 상기 패터닝 장치(10)에서와 달리, 상기 가압롤러(211)는 물론 상기 팽윤부(215) 역시 투명한 재질로 형성될 필요는 없다. Therefore, unlike the patterning device 10 described with reference to FIG. 1 , neither the pressure roller 211 nor the convex portion 215 need to be formed of a transparent material.

본 실시예의 경우, 상기 팽윤부(215)의 팽창에 따라 상기 가압부(217)에서 상기 기판부(150)가 가압되어, 상기 패턴롤러(100)의 패턴이 상기 기판부(150)에 1차적으로 전사된다. In the present embodiment, the substrate portion 150 is pressed by the pressing portion 217 according to the expansion of the convex portion 215, so that the pattern of the pattern roller 100 is primarily applied to the substrate portion 150. is transcribed into

이 후, 상기 기판부(150)가 상기 패턴롤러(100) 상에서 추가로 이송되면, 상기 경화유닛(310)에 의해 상기 기판부(150)로 전사된 패턴에 대한 광(311) 또는 열이 제공되며, 이렇게 제공되는 광 또는 열에 의해 상기 기판부(150)에 전사된 패턴은 경화되어 최종적으로 패턴층(152)으로 형성될 수 있다. Then, when the substrate part 150 is further transferred on the pattern roller 100, light 311 or heat for the pattern transferred to the substrate part 150 by the curing unit 310 is provided. The pattern transferred to the substrate 150 by the light or heat provided in this way can be cured and finally formed into the pattern layer 152 .

이상과 같이, 도 1 내지 도 3b를 참조하여 설명한 상기 패터닝 장치(10)에서는, 전사와 함께 경화 공정이 상기 가압부(217)에서 동시에 수행되는 것을 설명하였으나, 본 실시예에 의한 상기 패터닝 장치(13)에서는, 기판부로의 전사 공정이 우선 수행된 후 광 또는 열에 의한 경화 공정이 수행된다. As described above, in the patterning device 10 described with reference to FIGS. 1 to 3B, the transfer and curing process are simultaneously performed in the pressing unit 217, but the patterning device according to the present embodiment ( In 13), a transfer process to the substrate is first performed, and then a curing process by light or heat is performed.

이와 같이, 상기 경화유닛(310)이 가압유닛(210)의 외측에 별도로 구비됨에 따라, 공간 활용성은 저하될 수 있으나, 상기 가압유닛(210)을 불투명한 재료로 제작할 수 있어 다양한 재료로 제작이 가능하다. 또한, 회전하는 가압롤러(211)의 내부에 고정된 경화유닛을 구비하여야 함에 따른 복잡한 설계 구조를 개선하여 가압유닛을 보다 간단한 구조로 설계 및 제작할 수 있다. In this way, as the curing unit 310 is provided separately outside the pressing unit 210, space utilization may be reduced, but the pressing unit 210 can be made of an opaque material, making it easy to manufacture with various materials. possible. In addition, the pressure unit can be designed and manufactured with a simpler structure by improving the complicated design structure due to the need to have a hardening unit fixed inside the rotating pressure roller 211.

상기와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 가압유닛이 팽창하되, 가이드부에 의해 패턴 롤러에서 패터닝이 수행되는 특정 영역으로만 국부적으로 팽창되도록 유도함으로써, 해당 특정 영역에서의 패터닝시의 가압력을 집중적으로 제공할 수 있다. According to the embodiments of the present invention as described above, the pressure unit expands, but by inducing the pressure unit to expand locally only in a specific area where patterning is performed on the pattern roller by the guide unit, the pressing force during patterning in the specific area is reduced. concentration can be provided.

이 경우, 상기 가이드부는 가압유닛의 회전과 함께 회전할 수 있는 가이드롤러들을 포함하며, 상기 특정 영역에만 배치가 생략됨으로써, 전반적인 롤러를 통한 연속공정 상태를 유지하면서도 특정 영역으로의 집중적인 팽창을 유도할 수 있다. In this case, the guide part includes guide rollers that can rotate along with the rotation of the pressurizing unit, and by omitting the arrangement only in the specific area, intensive expansion in a specific area is induced while maintaining a continuous process state through the overall rollers. can do.

이와 달리, 상기 가이드부가 자켓(jacket) 형태로 특정 영역만 노출시키도록 가압유닛의 외부를 커버함으로써, 상기 특정 영역으로만의 팽창을 보다 균일하게 유지하여 가압력을 보다 균일하게 제공할 수도 있다. Alternatively, by covering the outside of the pressurization unit in the form of a jacket so that only a specific region is exposed, the pressurizing force may be provided more uniformly by maintaining a more uniform expansion of only the specific region.

한편, 상기 가압유닛은, 가압롤러의 외주면에 형성되는 팽윤부만 팽창되거나, 또는 가압롤러 전체가 팽창되도록 형성됨으로써, 다양한 설계의 유연성을 제공할 수 있고, 특히, 팽윤부만 팽창하는 경우, 가압롤러는 안정적으로 회전을 유지하고 팽윤부에 의해 가압만 수행되므로, 안정적인 연속 공정의 수행과 효과적인 가압을 모두 구현할 수 있다. On the other hand, the pressure unit is formed so that only the convex portion formed on the outer circumferential surface of the pressure roller expands or the entire pressure roller expands, thereby providing flexibility in various designs. In particular, when only the convex portion expands, press Since the roller stably maintains rotation and only pressurization is performed by the convex area, both stable continuous processing and effective pressurization can be implemented.

나아가, 가압유닛은 투명하게 형성되어 내부에서 열이나 광을 이용한 경화를 수행하는 경화유닛이 내부에 구비될 수 있으므로, 전체적인 패터닝 장치에서의 공간 효율성과 패터닝 효율성을 보다 향상시킬 수 있다. Furthermore, since the pressing unit is formed transparently and a curing unit for performing curing using heat or light may be provided therein, space efficiency and patterning efficiency in the entire patterning device may be further improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that you can.

10, 11, 12, 13 : 패터닝 장치 100 : 패턴롤러
101 : 패턴면 150 : 기판부
151 : 외부면 152 : 패턴층
200, 201, 202 : 가압장치 205 : 개구부
210 : 가압유닛 211 : 가압롤러
212 : 팽윤롤러 215 : 팽윤부
217 : 가압부 220 : 가이드롤러
230 : 고정 플레이트 270 : 가이드 블록
300, 310 : 경화유닛10, 11, 12, 13: patterning device 100: pattern roller
101: pattern surface 150: substrate portion
151: outer surface 152: pattern layer
200, 201, 202: pressurization device 205: opening
210: pressure unit 211: pressure roller
212: swelling roller 215: swelling part
217: pressing unit 220: guide roller
230: fixed plate 270: guide block
300, 310: curing unit

Claims (15)

패턴 롤러에 인접하도록 배치되어, 상기 패턴 롤러의 특정 영역을 가압하는 가압장치에서,
상기 패턴 롤러에 인접하도록 배치되며, 외부로부터 제공되는 압력에 의해 팽창되어 상기 패턴 롤러의 특정 영역을 가압하는 가압유닛; 및
상기 가압유닛의 외부에 배치되어, 상기 가압유닛이 상기 특정 영역으로만 팽창되도록 가이드하는 가이드부를 포함하는 가압장치. In the pressing device disposed adjacent to the pattern roller and pressing a specific area of the pattern roller,
a pressure unit disposed adjacent to the pattern roller and pressurizing a specific area of the pattern roller by being expanded by external pressure; and
and a guide part disposed outside the pressurization unit to guide the pressurization unit to expand only to the specific region. 제1항에 있어서, 상기 가이드부는,
서로 인접하게 배치되는 복수의 가이드롤러들을 포함하는 것을 특징으로 하는 가압장치. The method of claim 1, wherein the guide unit,
Pressing device characterized in that it comprises a plurality of guide rollers disposed adjacent to each other. 제2항에 있어서, 상기 가이드롤러들은,
상기 패턴 롤러의 특정 영역을 향하는 부분에는 배치되지 않아, 상기 가압유닛이 상기 특정 영역을 향해서만 팽창되는 것을 특징으로 하는 가압장치. The method of claim 2, wherein the guide rollers,
The pressing device is not disposed on a portion of the pattern roller facing a specific region, and the pressing unit expands only toward the specific region. 제2항에 있어서, 상기 가이드롤러들은,
상기 가압유닛이 회전함에 따라, 각각이 회전하는 것을 특징으로 하는 가압장치. The method of claim 2, wherein the guide rollers,
As the pressure unit rotates, the pressure device characterized in that each rotates. 제1항에 있어서, 상기 가이드부는,
상기 가압유닛의 외주면을 따라 배치되며, 상기 가압유닛이 팽창되는 경우 상기 가압유닛의 외주면에 접하는 가이드 블록인 것을 특징으로 하는 가압장치. The method of claim 1, wherein the guide unit,
The pressurization device, characterized in that the guide block is disposed along the outer circumferential surface of the pressurization unit, contacting the outer circumferential surface of the pressurization unit when the pressurization unit is inflated. 제5항에 있어서, 상기 가이드 블록은,
상기 패턴 롤러의 특정 영역을 향하는 부분에는 형성되지 않으며,
상기 팽창된 가압유닛은 상기 가이드 블록 상에서 슬라이딩되며 회전하는 것을 특징으로 하는 가압장치. The method of claim 5, wherein the guide block,
It is not formed on a portion of the pattern roller facing a specific area,
The pressurization device, characterized in that the inflated pressurization unit slides and rotates on the guide block. 제1항에 있어서, 상기 가압유닛은,
상기 패턴 롤러에 인접하도록 배치되는 가압롤러; 및
상기 가압롤러의 외주면에 커버되며, 외부로부터 제공되는 압력에 의해 팽창되는 팽윤부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가압장치. The method of claim 1, wherein the pressurization unit,
a pressure roller disposed adjacent to the pattern roller; and
and a convex portion covered on an outer circumferential surface of the pressure roller and expanded by pressure supplied from the outside. 제7항에 있어서, 상기 팽윤부는,
탄성을 가지는 투명재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 가압장치. The method of claim 7, wherein the swelling part,
A pressure device comprising a transparent material having elasticity. 제1항에 있어서, 상기 가압유닛은,
상기 패턴 롤러에 인접하도록 배치되며, 외부로부터 제공되는 압력에 의해 스스로 팽창되는 팽윤롤러인 것을 특징으로 하는 가압장치. The method of claim 1, wherein the pressurization unit,
A pressure device, characterized in that a swelling roller disposed adjacent to the pattern roller and self-expanding by pressure provided from the outside. 패턴이 형성되는 패턴면을 포함하는 패턴롤러;
상기 패턴롤러의 패턴면에 접촉하며, 상기 패턴롤러의 회전에 따라 이송되는 기판부; 및
상기 패턴롤러에 인접하도록 배치되어, 상기 패턴롤러의 특정 영역을 가압하여, 상기 패턴면의 패턴을 상기 기판부로 전사시키는 가압장치를 포함하며,
상기 가압장치는,
상기 패턴롤러에 인접하도록 배치되며, 외부로부터 제공되는 압력에 의해 팽창되어 상기 패턴롤러의 특정 영역을 가압하는 가압유닛; 및
상기 가압유닛의 외부에 배치되어, 상기 가압유닛이 상기 특정 영역으로만 팽창되도록 가이드하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치. a pattern roller including a pattern surface on which a pattern is formed;
a substrate unit that contacts the pattern surface of the pattern roller and is transported according to the rotation of the pattern roller; and
A pressing device disposed adjacent to the pattern roller and pressing a specific region of the pattern roller to transfer the pattern of the pattern surface to the substrate portion;
The pressure device is
a pressure unit disposed adjacent to the pattern roller and expanded by pressure supplied from the outside to press a specific area of the pattern roller; and
and a guide part disposed outside the pressing unit to guide the pressing unit to expand only to the specific region. 제10항에 있어서, 상기 가이드부는,
상기 패턴롤러의 특정 영역과 상기 가압유닛의 사이에는 배치되지 않아, 상기 가압유닛이 상기 특정 영역을 향해서만 팽창되는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치. 11. The method of claim 10, wherein the guide unit,
The patterning device, characterized in that it is not disposed between the specific area of the pattern roller and the pressure unit, characterized in that the pressure unit expands only toward the specific area. 제10항에 있어서,
상기 가압유닛의 내부에 배치되어, 상기 특정영역을 향해 광 또는 열을 제공하는 경화유닛을 더 포함하는 패터닝 장치. According to claim 10,
The patterning device further comprises a curing unit disposed inside the pressing unit to provide light or heat toward the specific region. 제12항에 있어서, 상기 가압유닛은,
상기 광 또는 열이 통과하는 투명재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치. The method of claim 12, wherein the pressurization unit,
A patterning device comprising a transparent material through which the light or heat passes. 제10항에 있어서,
상기 가압유닛의 외부에 상기 가압유닛과 인접하도록 배치되어, 상기 특정영역을 향해 광 또는 열을 제공하는 경화유닛을 더 포함하는 패터닝 장치. According to claim 10,
The patterning device further comprises a curing unit disposed outside the pressing unit to be adjacent to the pressing unit and providing light or heat toward the specific region. 제10항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가압장치에 의해 가압되는 압력을 측정하는 측정부; 및
상기 측정되는 압력을 바탕으로 상기 가압장치의 팽창, 또는 상기 가압장치와 상기 패턴롤러 사이의 간격을 제어하는 구동부를 더 포함하는 패터닝 장치. According to any one of claims 10 to 14,
a measuring unit for measuring the pressure applied by the pressure device; and
The patterning device further comprises a driving unit for controlling expansion of the pressure device or a gap between the pressure device and the pattern roller based on the measured pressure.
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