KR20230015729A - Method for manufacturing flexible solar cell module and flexible solar cell module manufactured by using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법, 구체적으로 전기도금을 이용한 초경량 플렉서블 화합물 반도체 태양전지 모듈의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 플렉서블 태양전지 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a flexible solar cell module, specifically, a method for manufacturing an ultra-light flexible compound semiconductor solar cell module using electroplating, and a flexible solar cell module manufactured using the same.
화석연료의 고갈과 환경오염, 지구온난화 문제로 인해 신재생에너지의 개발 필요성이 높아지고 있으며, 환경 친화적이고 무한 재생이 가능한 태양전지가 차세대 에너지원으로 주목받고 있다.Due to the depletion of fossil fuels, environmental pollution, and global warming, the need to develop new and renewable energy is increasing, and environmentally friendly and infinitely renewable solar cells are attracting attention as a next-generation energy source.
이러한 태양전지는 태양광 발전의 핵심소자이며, 광기전력 효과(Photovoltaic Effect)를 이용하여 태양광 에너지를 직접 전기에너지로 변환시키는 소자로써, 변환효율을 향상시키고 제조비용을 감소시키기 위해 태양전지의 재료나 구조에 대한 연구가 이루어지고 있다.This solar cell is a key element of photovoltaic power generation and is a device that directly converts solar energy into electrical energy using the photovoltaic effect. A study on the structure is being conducted.
특히, 초경량 플렉서블 III-V 화합물 반도체 태양전지는 효율이 우수하고, 전기 에너지를 동력원으로 활용하는 모든 시스템에 적용 가능하며, 특히 면적의 제한을 받는 휴대기기나 자동차, 항공기, 선박 등 이동기기의 전력 공급용 모듈로 활용이 가능하다.In particular, ultra-light and flexible III-V compound semiconductor solar cells have excellent efficiency and can be applied to all systems that use electric energy as a power source. It can be used as a supply module.
한편, 태양전지를 활용하기 위해서는 제조된 태양전지 셀을 직렬 또는 병렬로 연결하여 목표로 하는 전류 또는 전압을 구현하는 것이 일반적이다. 직렬 연결된 태양전지 모듈은 일정한 전류 하에서 전압 승압을 위해서 사용되고, 병렬로 연결된 태양전지 모듈은 일정한 전압에서 전류를 높이기 위한 목적으로 사용된다.Meanwhile, in order to utilize a solar cell, it is common to implement a target current or voltage by connecting manufactured solar cells in series or parallel. Solar cell modules connected in series are used for voltage boosting at a constant current, and solar cell modules connected in parallel are used for increasing current at a constant voltage.
이러한 목적을 달성하기 위해서 웨이퍼 상에 제조된 태양전지 셀들을 각각 톱(saw)이나 레이저를 이용하여 분할 후, 와이어 본딩 또는 리본 본딩 기술을 이용하여 직렬 또는 병렬로 연결하는 방식을 일반적으로 사용하고 있다.In order to achieve this purpose, a method of dividing solar cells manufactured on a wafer using a saw or a laser and then connecting them in series or parallel using wire bonding or ribbon bonding technology is generally used. .
예컨대, 대한민국 공개특허 제2019-0032584호는 태양전지 모듈에 관한 것으로서, 제 1 분할셀 및 제 2 분할셀을 포함하며, 이웃하여 배치되는 복수의 분할셀; 및 제 1 분할셀의 전면전극과 제 2 분할셀의 후면전극을 전기적으로 연결하는 복수의 금속성와이어;를 포함하여 이루어지며, 상기 분할셀은 태양전지 제조공정을 통해 완성된 단위셀이 복수 등분으로 분할된 것인 것을 특징으로 하는 태양전지 모듈에 관한 내용을 개시하고 있다.For example, Korean Patent Laid-open Publication No. 2019-0032584 relates to a solar cell module, including a first split cell and a second split cell, and a plurality of split cells disposed adjacent to each other; and a plurality of metallic wires electrically connecting the front electrode of the first split cell and the rear electrode of the second split cell, wherein the split cell is a unit cell completed through the manufacturing process of a “solar cell” divided into a plurality of equal parts. Discloses contents related to a solar cell module characterized in that it is divided.
도 1은 기존 태양전지를 직렬로 연결시킨 종래의 태양전지 모듈을 예시한 도이다. 도 1을 참고하면 폴리이미드 플렉서블 필름 위에 셀 실장 영역을 포함하는 태양전지 모듈을 제작을 위한 금속 패드가 구비되어 있고, 그 위에 각각의 태양전지 셀이 실장된 후 와이어 본딩을 통해 직렬로 연결된 것을 알 수 있다.1 is a diagram illustrating a conventional solar cell module in which conventional solar cells are connected in series. Referring to FIG. 1 , it can be seen that a metal pad for fabricating a solar cell module including a cell mounting area is provided on a polyimide flexible film, and each solar cell is mounted thereon and connected in series through wire bonding. can
그러나, 이러한 각 셀의 절단 공정(dicing), 플렉서블 기판에 실장하는 공정, 실장 후 셀들을 와이어본딩하는 공정들은 각기 적절한 공정 변수를 제어할 수 있어야 한다. 따라서 이러한 연속되는 공정 진행 상에 발생할 수 있는 여러가지 문제점들로 인해 직렬 또는 병렬 연결된 태양전지 모듈은 내구성에 취약할 수 밖에 없다.However, each cell dicing process, mounting process on a flexible substrate, and wire bonding process after mounting each cell need to be able to control appropriate process parameters. Therefore, due to various problems that may occur during the continuous process, the solar cell modules connected in series or in parallel are vulnerable to durability.
그러므로 종래의 태양전지 모듈을 제조하는 공정에서 발생할 수 있는 문제점들을 억제하여 내구성을 높일 수 있는 태양전지 모듈의 제조방법의 개발이 요구되고 있는 실정이다.Therefore, there is a demand for the development of a method for manufacturing a solar cell module capable of increasing durability by suppressing problems that may occur in a conventional manufacturing process of a solar cell module.
본 발명은 태양전지를 직렬 또는 병렬로 연결하는 방식으로서, 각각의 셀을 절단하고 플렉서블 기판에 실장 후 와이어본딩을 통해 연결하는 제조 과정에서 발생할 수 있는 내구성이 취약해지는 현상을 억제할 수 있는 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법을 제공하고자 한다.The present invention is a method of connecting solar cells in series or parallel, and a flexible solar cell capable of suppressing a phenomenon in which durability is weakened, which may occur in a manufacturing process in which each cell is cut, mounted on a flexible substrate, and then connected through wire bonding. It is intended to provide a method for manufacturing a battery module.
또한, 본 발명은 태양전지 모듈을 간편하게 제조할 수 있는 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법을 제공하고자 한다.In addition, the present invention is to provide a manufacturing method of a flexible solar cell module that can easily manufacture the solar cell module.
또한, 본 발명은 우수한 내구성을 가지는 태양전지 모듈을 제공하고자 한다.In addition, the present invention is to provide a solar cell module having excellent durability.
본 발명은 유연 기판, 상기 유연 기판의 일정 영역에 구비된 하부 전극층, 상기 하부 금속층의 일정 영역에 구비된 에피층, 상기 에피층의 일정 영역에 구비된 전면 전극을 포함하는 2 이상의 태양 전지셀을 포함하는 태양전지 모듈을 준비하는 단계; 상기 태양전지 모듈 상에 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 태양 전지 모듈에 시드 금속을 증착하여 시드층을 형성하는 단계; 상기 시드층이 형성된 상기 태양전지 모듈 상에 제2 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 태양 전지 모듈에 전기 도금을 수행하여 연결배선을 형성하는 단계; 상기 제2 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계; 상기 시드층을 제거하는 단계; 및 상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계;를 포함하는 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법을 제공한다.The present invention provides two or more solar cell cells including a flexible substrate, a lower electrode layer provided in a certain area of the flexible substrate, an epitaxial layer provided in a certain area of the lower metal layer, and a front electrode provided in a certain area of the epitaxial layer. preparing a solar cell module comprising; forming a first photoresist pattern on the solar cell module; forming a seed layer by depositing a seed metal on the solar cell module on which the photoresist pattern is formed; forming a second photoresist pattern on the solar cell module on which the seed layer is formed; forming connection wires by performing electroplating on the solar cell module on which the second photoresist pattern is formed; removing the second photoresist pattern; removing the seed layer; and removing the first photoresist pattern.
또한, 본 발명은 전술한 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법으로 제조된 플렉서블 태양전지 모듈을 제공한다.In addition, the present invention provides a flexible solar cell module manufactured by the manufacturing method of the flexible solar cell module described above.
본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법은 전기도금을 이용함으로써 내구성이 우수한 직렬, 병렬 또는 직병렬 구조의 태양전지 모듈, 구체적으로 초경량 플렉서블 화합물 반도체 태양전지 모듈을 제조할 수 있다.The manufacturing method of a flexible solar cell module according to the present invention can manufacture a solar cell module having a series, parallel or series/parallel structure with excellent durability, specifically, an ultra-light flexible compound semiconductor solar cell module by using electroplating.
또한, 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법은 종래의 공정 방식인 절단, 실장, 와이어본딩으로 인한 제조 공정 상의 문제점들을 최소화할 수 있는 이점이 있다.In addition, the manufacturing method of the flexible solar cell module according to the present invention has an advantage of minimizing problems in the manufacturing process due to cutting, mounting, and wire bonding, which are conventional process methods.
또한, 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법으로 제조된 플렉서블 태양전지 모듈은 내구성이 우수한 이점이 있다.In addition, the flexible solar cell module manufactured by the manufacturing method of the flexible solar cell module according to the present invention has an advantage of excellent durability.
도 1은 종래의 태양전지 모듈을 예시한 도이다.
도 2는 종래의 플렉서블 태양전지 셀을 직렬 연결하는 공정(상단)과 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 셀을 직렬 연결하는 공정(하단)을 예시한 도이다.
도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈의 구조를 예시한 도이다.
도 4a 및 4b는 본 발명에 따른 전기도금을 이용하여 플렉서블 태양전지를 제조하는 방법을 예시한 도이다.1 is a diagram illustrating a conventional solar cell module.
2 is a diagram illustrating a process of connecting conventional flexible solar cells in series (upper part) and a process of serially connecting flexible solar cells according to the present invention (lower part).
3 is a diagram illustrating the structure of a flexible solar cell module according to the present invention.
4a and 4b are diagrams illustrating a method of manufacturing a flexible solar cell using electroplating according to the present invention.
이하, 본 발명에 대하여 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
본 발명에서 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 직접 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 개재되는 경우도 포함한다.In the present invention, when a member is said to be located “on” another member, this includes not only a case in which a member is in direct contact with the other member, but also a case where another member is interposed between the two members.
본 발명에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In the present invention, when a part "includes" a certain component, it means that it may further include other components, not excluding other components unless otherwise stated.
본 발명의 한 양태는 유연 기판, 상기 유연 기판의 일정 영역에 구비된 하부 전극층, 상기 하부 금속층의 일정 영역에 구비된 에피층, 상기 에피층의 일정 영역에 구비된 전면 전극을 포함하는 2 이상의 태양 전지셀을 포함하는 태양전지 모듈을 준비하는 단계; 상기 태양전지 모듈 상에 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 태양 전지 모듈에 시드 금속을 증착하여 시드층을 형성하는 단계; 상기 시드층이 형성된 상기 태양전지 모듈 상에 제2 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 태양 전지 모듈에 전기 도금을 수행하여 연결배선을 형성하는 단계; 상기 제2 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계; 상기 시드층을 제거하는 단계; 및 상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계;를 포함하는 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법에 관한 것이다.One aspect of the present invention includes a flexible substrate, a lower electrode layer provided in a certain region of the flexible substrate, an epitaxial layer provided in a certain region of the lower metal layer, and a front electrode provided in a certain region of the epitaxial layer. Two or more aspects including preparing a solar cell module including battery cells; forming a first photoresist pattern on the solar cell module; forming a seed layer by depositing a seed metal on the solar cell module on which the photoresist pattern is formed; forming a second photoresist pattern on the solar cell module on which the seed layer is formed; forming connection wires by performing electroplating on the solar cell module on which the second photoresist pattern is formed; removing the second photoresist pattern; removing the seed layer; and removing the first photoresist pattern.
본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법은, 기존 초경량 플렉서블 III-V 반도체 화합물 태양전지를 직렬 또는 병렬로 연결하는 방식인, 각각의 셀을 절단(dicing)하고 플렉서블 기판에 실장 후 와이어본딩을 통해 연결하는 과정에서 발생할 수 있는 내구성 저하 문제를 억제할 수 있는 이점이 있다.The manufacturing method of a flexible solar cell module according to the present invention is a method of connecting existing ultra-light flexible III-V semiconductor compound solar cells in series or parallel, cutting each cell, mounting it on a flexible substrate, and wire bonding. There is an advantage in suppressing the durability degradation problem that may occur in the process of connecting through the
구체적으로 도 2는 종래의 플렉서블 태양전지 셀을 직렬 연결하는 공정(상단)과 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 셀을 직렬 연결하는 공정(하단)을 예시한 도이다. 종래의 플렉서블 태양전지 셀의 경우 각 셀을 절단하고 플렉서블 기판에 실장한 후 와이어본딩을 통해 각 셀을 연결해야 하는 공정 단계를 거쳐야 하며, 이러한 많은 공정 단계를 거치면서 내구성이 저하되는 문제가 다소 발생하고 있다. 반면, 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 셀은 플렉서블 기판 위에 제작된 태양전지 셀을 전기 도금을 통해 직렬 연결하고 최종 절단(dicing)함으로써 내구성의 저하를 억제할 수 있는 우수한 이점이 있다.Specifically, FIG. 2 is a diagram illustrating a process of connecting conventional flexible solar cells in series (upper part) and a process of serially connecting flexible solar cells according to the present invention (lower part). In the case of a conventional flexible solar cell, each cell must be cut, mounted on a flexible board, and then go through a process step of connecting each cell through wire bonding. Through these many process steps, durability is somewhat deteriorated. are doing On the other hand, the flexible solar cell according to the present invention has an excellent advantage of being able to suppress degradation of durability by connecting solar cells fabricated on a flexible substrate in series through electroplating and finally cutting (dicing).
본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법은 유연 기판, 상기 유연 기판의 일정 영역에 구비된 하부 전극층, 상기 하부 금속층의 일정 영역에 구비된 에피층, 상기 에피층의 일정 영역에 구비된 전면 전극을 포함하는 2 이상의 태양 전지셀을 포함하는 태양전지 모듈을 준비하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a flexible solar cell module according to the present invention includes a flexible substrate, a lower electrode layer provided on a certain area of the flexible substrate, an epitaxial layer provided on a certain area of the lower metal layer, and a front electrode provided on a certain area of the epitaxial layer. A step of preparing a solar cell module including two or more solar cells including
요컨대, 본 발명에 따른 태양전지 모듈은 복수개의 태양 전지셀을 포함하는 상태를 일컫는다.In short, the solar cell module according to the present invention refers to a state including a plurality of solar cells.
도 3에 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈, 구체적으로 병렬 연결 구조의 플렉서블 태양전지 모듈과 직병렬 혼합 연결 구조의 플렉서블 태양전지 모듈을 예시하였다.3 illustrates a flexible solar cell module according to the present invention, specifically, a flexible solar cell module having a parallel connection structure and a flexible solar cell module having a serial/parallel/mixed connection structure.
상기 유연 기판은 폴리이미드 필름 또는 PET, PEN과 같은 폴리에스터 필름을 사용할 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 다만, 내구성 향상면에서 폴리이미드 필름이 바람직하다.The flexible substrate may use a polyimide film or a polyester film such as PET or PEN, but is not limited thereto. However, a polyimide film is preferred in terms of improving durability.
상기 유연 기판은 두께 10 내지 100㎛일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 다만, 상기 범위 내인 경우 박형화가 가능하고, 유연성이 우수하면서도 내구성이 우수하여 태양전지 셀의 기판으로의 역할 수행이 용이하기 때문에 상기 범위 내로 사용하는 것이 바람직하다.The flexible substrate may have a thickness of 10 to 100 μm, but is not limited thereto. However, when it is within the above range, it is preferable to use it within the above range because it can be thinned, has excellent flexibility and excellent durability, and can easily serve as a substrate for a solar cell.
상기 하부 전극층은 구체적으로 p-금속층을 일컬을 수 있다. 상기 하부 전극층은 스퍼터링 또는 전자빔 증착 등에 의해 형성되는 것일 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 증착법에 의해 사용되는 금속원소는 AuBe, Pt, Au, Cu, Ni, Ni-P 합금, Ni-B 합금, Ni-Au 합금 중 적어도 어느 하나 이상이거나 둘 이상을 이용하여 적층된 구조를 이루도록 사용될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.The lower electrode layer may specifically refer to a p-metal layer. The lower electrode layer may be formed by sputtering or electron beam deposition, but is not limited thereto. The metal element used by the deposition method is at least one of AuBe, Pt, Au, Cu, Ni, Ni-P alloy, Ni-B alloy, and Ni-Au alloy, or used to form a laminated structure using two or more. may, but is not limited thereto.
상기 하부전극층은 상기 유연 기판의 너비와 동일한 너비로 상기 유연 기판 상에 구비될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The lower electrode layer may be provided on the flexible substrate with the same width as the width of the flexible substrate, but is not limited thereto.
상기 에피층은 상기 하부 전극층 상에 구비되는 것으로, 에피 성장(epitaxial growth)를 통해 형성된다. 상기 에피 성장의 종류로는 LPE(Liquid-phase epitaxy), VPE(Vapor-phase epitaxy), MOCVD(metal-organic chemical vapor deposition), MBE(molecular beam epitaxy) 등을 들 수 있으나, 본 발명에서 상기 에피층의 성장방법을 한정하지는 않는다.The epitaxial layer is provided on the lower electrode layer and is formed through epitaxial growth. Examples of the epitaxial growth include liquid-phase epitaxy (LPE), vapor-phase epitaxy (VPE), metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD), and molecular beam epitaxy (MBE). The method of growing the layer is not limited.
상기 에피층은 Ge, Si, GaAs, InGaP, InGaAs, InP, GaN, AlN 및 CdTe 중 적어도 어느 하나 이상을 포함할 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. The epitaxial layer may include at least one of Ge, Si, GaAs, InGaP, InGaAs, InP, GaN, AlN, and CdTe, but is not limited thereto.
상기 전면 전극은 상기 에피층의 일정 영역에 구비된다. 구체적으로 상기 전면 전극은 n-금속층을 일컬을 수 있다. The front electrode is provided in a predetermined area of the epitaxial layer. Specifically, the front electrode may refer to an n-metal layer.
상기 전면 전극은 Mo, Pt, Ni, Au, AuGe, Ag 및 Al 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.The front electrode may include at least one of Mo, Pt, Ni, Au, AuGe, Ag, and Al, but is not limited thereto.
상기 태양전지 모듈은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 당업계에서 통상적으로 사용하는 구성을 더 포함할 수 있다. The solar cell module may further include components commonly used in the art within a range that does not impair the object of the present invention.
상기 태양전지 모듈 상에는 제1 포토레지스트 패턴이 형성된다.A first photoresist pattern is formed on the solar cell module.
구체적으로 상기 제1 포토레지스트 패턴은 후술할 연결배선이 인접한 전극을 연결시키게 하기 위하여 형성된다. 구체적으로 상기 제1 포토레지스트 패턴은 상기 2 이상의 태양 전지셀을 전기적으로 연결하는 연결배선을 형성하기 위하여 형성된다.Specifically, the first photoresist pattern is formed to connect adjacent electrodes to a connection wire to be described later. Specifically, the first photoresist pattern is formed to form a connection wire electrically connecting the two or more solar cells.
본 발명에서 전극이 인접한다는 의미는 2개의 전극 사이에 다른 전면 전극이 개재하지 않는다는 것을 의미한다.In the present invention, the meaning that the electrodes are adjacent means that no other front electrode is interposed between the two electrodes.
본 발명에서 "전극"이란 후면전극층과 전면 전극을 일컫는다.In the present invention, "electrode" refers to the back electrode layer and the front electrode.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 플렉서블 태양전지의 제조방법은 상기 2 이상의 태양전지 셀을 직렬 연결하는 경우, 상기 태양전지 모듈을 준비하는 단계 이후 상기 하부 전극층을 패터닝하는 단계;를 더 포함할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the manufacturing method of the flexible solar cell may further include patterning the lower electrode layer after the step of preparing the solar cell module when the two or more solar cells are connected in series. can
도 4a는 전기도금을 이용하여 태양전지 셀을 직렬 연결하여 플렉서블 태양전지를 제조하는 방법을 예시한 도이다.4A is a diagram illustrating a method of manufacturing a flexible solar cell by connecting solar cells in series using electroplating.
도 4b는 전기도금을 이용하여 태양전지 셀을 병렬 연결하여 플렉서블 태양전지를 제조하는 방법을 예시한 도이다.4B is a diagram illustrating a method of manufacturing a flexible solar cell by connecting solar cells in parallel using electroplating.
요컨대, 도 4를 참고하면 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지의 제조방법은 인접한 전면 전극과 전면 전극을 전기적으로 연결하는 연결배선을 형성하기 위한 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.In short, referring to FIG. 4 , the method of manufacturing a flexible solar cell according to the present invention includes forming a first photoresist pattern for forming a connection wire electrically connecting adjacent front electrodes to each other.
또는 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지의 제조방법은 인접한 후면 전극층과 전면 전극을 전기적으로 연결하는 연결배선을 형성하기 위한 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 다만, 이 경우 상기 하부 전극층을 패터닝하는 단계를 더 거친다.Alternatively, the method of manufacturing a flexible solar cell according to the present invention includes forming a first photoresist pattern for forming a connection wire electrically connecting adjacent rear electrode layers and front electrodes. However, in this case, a step of patterning the lower electrode layer is further performed.
구체적으로 상기 태양전지 셀을 직렬 연결하는 경우 패터닝된 후면 전극층과 인접한 태양전지 셀의 전면 전극이 전기적으로 연결하는 연결배선을 형성하기 위한 제1 포토레지스트 패턴을 형성한다.Specifically, when the solar cells are connected in series, a first photoresist pattern for forming a connection wire electrically connecting the patterned rear electrode layer and the front electrode of an adjacent solar cell is formed.
상기 태양전지 셀을 병렬 연결하는 경우 전면 전극과 인접한 태양전지 셀의 전면 전극을 전기적으로 연결하는 연결배선을 형성하기 위한 제1 포토레지스트 패턴을 형성한다.When the solar cells are connected in parallel, a first photoresist pattern for forming a connection wire electrically connecting a front electrode and a front electrode of an adjacent solar cell is formed.
상기 제1 포토레지스트 패턴의 형성방법을 본 발명에서 제한하지는 않는다. 상기 제1 포토레지스트 패턴은 포지티브 타입으로 형성될 수도 있고, 네거티브 타입으로 형성될 수도 있으며, 예컨대 상기 태양전지 모듈 상에 마스크 패턴을 이용하여 노광하고, 노광된 포토레지스트를 현상하여 후술할 연결 배선을 획득할 수 있도록 디자인된 제1 포토레지스트 패턴을 형성할 수 있다.The method of forming the first photoresist pattern is not limited in the present invention. The first photoresist pattern may be formed of a positive type or a negative type. For example, the solar cell module is exposed to light using a mask pattern, and the exposed photoresist is developed to form a connection wire to be described later. A first photoresist pattern designed to be obtained may be formed.
상기 제1 포토레지스트 패턴은 당업계에서 통상적으로 사용되는 물질을 이용하여 형성될 수 있으며, 본 발명에서 이를 제한하지는 않는다.The first photoresist pattern may be formed using a material commonly used in the art, but is not limited thereto in the present invention.
상기 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 태양 전지 모듈에는 시드 금속을 증착하여 시드층을 형성한다.A seed layer is formed by depositing a seed metal on the solar cell module on which the photoresist pattern is formed.
상기 시드 금속은 Ti 및 Au 중 선택되는 1 이상일 수 있다. 구체적으로 상기 시드 금속은 Ti/Au 또는 Au 일 수 있다. 시드 금속이 증착되어 형성된 시드층은 후술할 전기 도금 공정의 시드층으로 활용된다.The seed metal may be at least one selected from Ti and Au. Specifically, the seed metal may be Ti/Au or Au. The seed layer formed by depositing the seed metal is used as a seed layer for an electroplating process to be described later.
상기 시드 금속의 증착은 스퍼터링 또는 전자빔 증착을 포함하는 진공 방법에 의해 50 내지 200nm 두께로 증착할 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. Deposition of the seed metal may be deposited to a thickness of 50 to 200 nm by a vacuum method including sputtering or electron beam deposition, but is not limited thereto.
상기 시드층이 형성된 상기 태양전지 모듈 상에는 제2 포토레지스트 패턴을 형성한다.A second photoresist pattern is formed on the solar cell module on which the seed layer is formed.
상기 제2 포토레지스트 패턴은 후술할 연결배선이 인접한 전극을 연결시키게 하기 위하여 형성된다. 구체적으로 상기 제2 포토레지스트 패턴은 상기 2 이상의 태양 전지셀을 전기적으로 연결하는 연결배선을 형성하기 위하여 형성된다.The second photoresist pattern is formed to connect adjacent electrodes to a connection wire to be described later. Specifically, the second photoresist pattern is formed to form a connection wire electrically connecting the two or more solar cells.
요컨대, 본 발명에서는 상기 2 이상의 태양 전지셀을 전기적으로 연결하는 연결배선을 형성하기 위하여 제1 포토레지스트 패턴과 제2 포토레지스트 패턴을 활용한다.In short, in the present invention, a first photoresist pattern and a second photoresist pattern are used to form a connection wire electrically connecting the two or more solar cells.
상기 제2 포토레지스트 패턴의 형성방법 및 구성 성분은 본 발명에서 제한하지 않는다. 예컨대, 상기 제2 포토레지스트 패턴은 상기 제1 포토레지스트 패턴과 동일한 방법을 통하여 형성할 수 있다.The formation method and components of the second photoresist pattern are not limited in the present invention. For example, the second photoresist pattern may be formed through the same method as the first photoresist pattern.
상기 제2 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 태양 전지 모듈에는 전기 도금을 수행하여 연결배선을 형성한다.Electroplating is performed on the solar cell module on which the second photoresist pattern is formed to form connection wires.
상기 연결배선은 인접한 후면 전극층과 전면 전극, 또는 전면 전극과 전면 전극을 전기적으로 연결하기 위한 것이다.The connection wiring is for electrically connecting adjacent rear electrode layers and front electrodes or between front electrodes and front electrodes.
상기 2 이상의 태양전지 셀을 연결하는 각각의 연결배선은 상기 2 이상의 태양전지 셀을 직렬 또는 병렬 연결하는 것일 수 있다. Each connection wire connecting the two or more solar cells may connect the two or more solar cells in series or in parallel.
구체적으로 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈은 직렬 연결, 병렬 연결, 직병렬 연결 방식으로 이루어질 수 있다.Specifically, the flexible solar cell module according to the present invention may be connected in series, in parallel, or in series-parallel connection.
구체적으로 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈은 직렬 연결된 복수개의 태양전지 셀과 병렬 연결된 복수개의 태양전지 셀을 모두 포함할 수 있다. Specifically, referring to FIG. 3 , the flexible solar cell module according to the present invention may include both a plurality of solar cells connected in series and a plurality of solar cells connected in parallel.
상기 전기도금은 전해 도금 또는 무전해 도금 공정을 이용하는 것일 수 있다.The electroplating may be performed using an electroplating or electroless plating process.
상기 전기 도금 물질은 Cu, Au 또는 Ag와 같은 전기전도도가 높은 금속을 이용할 수 있다.The electroplating material may use a metal having high electrical conductivity such as Cu, Au or Ag.
상기 전기도금, 구체적으로 전해 도금 또는 무전해 도금 공정의 공정 조건을 본 발명에서 한정하지는 않는다. Process conditions of the electroplating process, specifically electrolytic plating or electroless plating process, are not limited in the present invention.
상기 연결배선이 형성된 후에는 상기 제2 포토레지스트 패턴을 제거한다. 상기 제2 포토레지스트 패턴은 유기용매를 이용하여 제거할 수 있다. After the connection wire is formed, the second photoresist pattern is removed. The second photoresist pattern may be removed using an organic solvent.
그 후, 상기 시드층을 제거한다. 상기 시드층의 제거는 예컨대 에칭 공정을 이용하여 수행할 수 있으며, 상기 에칭 공정은 웨트(wet) 에칭 또는 드라이(dry) 에칭을 할 수 있다. 상기 웨트 에칭은 Au etchant 및 BHF 등의 물질을 이용하여 수행할 수 있으나 이에 한정되지는 않고, 당업계에서 통상적으로 수행하는 방법으로 수행할 수 있다. 상기 드라이 에칭은 플라즈마 등의 방법을 이용할 수 있으며, 본 발명에서 상기 드라이 에칭 방법을 제한하지는 않는다. After that, the seed layer is removed. Removal of the seed layer may be performed, for example, using an etching process, and the etching process may be wet etching or dry etching. The wet etching may be performed using materials such as Au etchant and BHF, but is not limited thereto, and may be performed by a method commonly performed in the art. The dry etching may use a method such as plasma, and the dry etching method is not limited in the present invention.
상기 시드층을 제거한 뒤 상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거하는 과정을 거침으로써 전기도금을 이용한 플렉서블 태양전지 모듈을 제조할 수 있다.A flexible solar cell module using electroplating may be manufactured by removing the seed layer and then removing the first photoresist pattern.
상기 제1 포토레지스트 패턴은 유기용매를 이용하여 제거할 수 있으며, 상기 유기용매는 상기 제1 포토레지스트의 구성 물질에 따라 적절히 선택하여 사용 가능하다.The first photoresist pattern may be removed using an organic solvent, and the organic solvent may be appropriately selected and used according to the constituent material of the first photoresist.
상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거한 이후, 상기 플렉서블 태양전지 모듈을 절단하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 절단은 다이싱(dicing) 또는 레이저 스크라이빙(laser scribing) 등의 방법을 통하여 수행할 수 있다.The method may further include cutting the flexible solar cell module after removing the first photoresist pattern. The cutting may be performed through a method such as dicing or laser scribing.
상기 플렉서블 태양전지 모듈을 절단하기 이전에 상기 태양전지 모듈 상의 상기 연결배선의 전부를 감싸도록 반사방지 코팅층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. The method may further include forming an antireflection coating layer to surround all of the connection wires on the solar cell module before cutting the flexible solar cell module.
구체적으로 상기 반사방지 코팅층은 각 단위 태양전지 셀에 맞게 형성될 수 있다.Specifically, the antireflection coating layer may be formed to suit each unit solar cell.
상기 태양전지는 II, III, IV 및 V족 원소들 중에서 둘 이상 선택된 화합물을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 태양전지는 II, III, IV 및 V족 원소들 중에서 둘 이상 선택된 화합물을 포함하는 화합물 반도체 기판, 화합물 반도체 에피층 등을 포함할 수 있다.The solar cell may include two or more compounds selected from group II, III, IV, and V elements. Specifically, the solar cell may include a compound semiconductor substrate, a compound semiconductor epitaxial layer, and the like including two or more compounds selected from group II, III, IV, and V elements.
예컨대, II-VI족 화합물, III-V족 화합물, IV-VI족 화합물, IV족 원소, IV족 화합물 및 이들의 조합에서 선택될 수 있다.For example, it may be selected from group II-VI compounds, group III-V compounds, group IV-VI compounds, group IV elements, group IV compounds, and combinations thereof.
상기 II-VI족 화합물은 CdSe, CdTe, ZnS, ZnSe, ZnTe, ZnO, HgS, HgSe, HgTe, MgSe, MgS 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 이원소 화합물, CdSeS, CdSeTe, CdSTe, ZnSeS, ZnSeTe, ZnSTe, HgSeS, HgSeTe, HgSTe, CdZnS, CdZnSe, CdZnTe, CdHgS, CdHgSe, CdHgTe, HgZnS, HgZnSe, HgZnTe, MgZnSe, MgZnS 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 삼원소 화합물, 및 HgZnTeS, CdZnSeS, CdZnSeTe, CdZnSTe, CdHgSeS, CdHgSeTe, CdHgSTe, HgZnSeS, HgZnSeTe, HgZnSTe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 사원소 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 것일 수 있다.The II-VI group compound is a binary element compound selected from the group consisting of CdSe, CdTe, ZnS, ZnSe, ZnTe, ZnO, HgS, HgSe, HgTe, MgSe, MgS and mixtures thereof, CdSeS, CdSeTe, CdSTe, ZnSeS, A ternary compound selected from the group consisting of ZnSeTe, ZnSTe, HgSeS, HgSeTe, HgSTe, CdZnS, CdZnSe, CdZnTe, CdHgS, CdHgSe, CdHgTe, HgZnS, HgZnSe, HgZnTe, MgZnSe, MgZnS and mixtures thereof, and HgZnTeS, CdZnSeS, It may be selected from the group consisting of quaternary compounds selected from the group consisting of CdZnSeTe, CdZnSTe, CdHgSeS, CdHgSeTe, CdHgSTe, HgZnSeS, HgZnSeTe, HgZnSTe, and mixtures thereof.
상기 III-V족 화합물은 GaN, GaP, GaAs, GaSb, AlN, AlP, AlAs, AlSb, InN, InP, InAs, InSb 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 이원소 화합물; GaNP, GaNAs, GaNSb, GaPAs, GaPSb, AlNP, AlNAs, AlNSb, AlPAs, AlPSb, InNP, InNAs, InNSb, InPAs, InPSb, GaAlNP 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 삼원소 화합물, 및 GaAlNAs, GaAlNSb, GaAlPAs, GaAlPSb, GaInNP, GaInNAs, GaInNSb, GaInPAs, GaInPSb, InAlNP, InAlNAs, InAlNSb, InAlPAs, InAlPSb 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 사원소 화합물로 이루어진 군에서 선택될 수 있다. IV-VI족 화합물은 SnS, SnSe, SnTe, PbS, PbSe, PbTe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 이원소 화합물; SnSeS, SnSeTe, SnSTe, PbSeS, PbSeTe, PbSTe, SnPbS, SnPbSe, SnPbTe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 삼원소 화합물; 및 SnPbSSe, SnPbSeTe, SnPbSTe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 사원소 화합물로 이루어진 군에서 선택될 수 있다. IV족 원소로는 Si, Ge 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택될 수 있다. IV족 화합물로는 SiC, SiGe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 이원소 화합물일 수 있다.The group III-V compound is a binary element compound selected from the group consisting of GaN, GaP, GaAs, GaSb, AlN, AlP, AlAs, AlSb, InN, InP, InAs, InSb, and mixtures thereof; A ternary compound selected from the group consisting of GaNP, GaNAs, GaNSb, GaPAs, GaPSb, AlNP, AlNAs, AlNSb, AlPAs, AlPSb, InNP, InNAs, InNSb, InPAs, InPSb, GaAlNP and mixtures thereof, and GaAlNAs, GaAlNSb, It may be selected from the group consisting of quaternary compounds selected from the group consisting of GaAlPAs, GaAlPSb, GaInNP, GaInNAs, GaInNSb, GaInPAs, GaInPSb, InAlNP, InAlNAs, InAlNSb, InAlPAs, InAlPSb, and mixtures thereof. The group IV-VI compound is a binary element compound selected from the group consisting of SnS, SnSe, SnTe, PbS, PbSe, PbTe, and mixtures thereof; a ternary compound selected from the group consisting of SnSeS, SnSeTe, SnSTe, PbSeS, PbSeTe, PbSTe, SnPbS, SnPbSe, SnPbTe, and mixtures thereof; And it may be selected from the group consisting of quaternary compounds selected from the group consisting of SnPbSSe, SnPbSeTe, SnPbSTe, and mixtures thereof. Group IV: Elements may be selected from the group consisting of Si, Ge, and mixtures thereof. The Group IV compound may be a binary element compound selected from the group consisting of SiC, SiGe, and mixtures thereof.
이때, 이원소 화합물, 삼원소 화합물 또는 사원소 화합물은 균일한 농도로 입자 내에 존재하거나, 농도 분포가 부분적으로 다른 상태로 나누어져 동일 입자 내에 존재하는 것일 수 있다.In this case, the two-element compound, the three-element compound, or the quaternary element compound may be present in the particle at a uniform concentration or may be present in the same particle in a state in which the concentration distribution is partially different.
본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법은 웨이퍼 기반의 전기도금 공정을 통한 연결 방식을 이용하기 때문에 직렬 연결 뿐만 아니라 동일한 공정 흐름을 거쳐 병렬 연결이 가능하다. 따라서 모듈 디자인에 맞추어 직렬 및 병렬 연결 셀들을 동시에 구현할 수 있어 플렉서블 태양전지 모듈의 제작 공정을 매우 단순화할 수 있다.Since the manufacturing method of the flexible solar cell module according to the present invention uses a connection method through a wafer-based electroplating process, parallel connection through the same process flow as well as serial connection is possible. Therefore, since series and parallel connected cells can be simultaneously implemented according to the module design, the manufacturing process of the flexible solar cell module can be greatly simplified.
본 발명의 다른 양태는 전술한 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법으로 제조된 플렉서블 태양전지 모듈에 관한 것이다.Another aspect of the present invention relates to a flexible solar cell module manufactured by the manufacturing method of the flexible solar cell module described above.
구체적으로 본 발명의 다른 양태는 유연 기판, 상기 유연 기판의 일정 영역에 구비된 하부 전극층, 상기 하부 금속층의 일정 영역에 구비된 에피층, 상기 에피층의 일정 영역에 구비된 전면 전극을 포함하는 2 이상의 태양 전지셀을 포함하는 태양전지 모듈을 준비하는 단계; 상기 태양전지 모듈 상에 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 태양 전지 모듈에 시드 금속을 증착하여 시드층을 형성하는 단계; 상기 시드층이 형성된 상기 태양전지 모듈 상에 제2 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 태양 전지 모듈에 전기 도금을 수행하여 연결배선을 형성하는 단계; 상기 제2 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계; 상기 시드층을 제거하는 단계; 및 상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계;를 포함하는 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법으로 제조된 플렉서블 태양전지 모듈에 관한 것이다.Specifically, another aspect of the present invention includes a flexible substrate, a lower electrode layer provided in a certain region of the flexible substrate, an epitaxial layer provided in a certain region of the lower metal layer, and a front electrode provided in a certain region of the epitaxial layer. Preparing a solar cell module including the above solar cells; forming a first photoresist pattern on the solar cell module; forming a seed layer by depositing a seed metal on the solar cell module on which the photoresist pattern is formed; forming a second photoresist pattern on the solar cell module on which the seed layer is formed; forming connection wires by performing electroplating on the solar cell module on which the second photoresist pattern is formed; removing the second photoresist pattern; removing the seed layer; and removing the first photoresist pattern.
상기 플렉서블 태양전지 모듈은 직렬; 병렬; 또는 직렬과 병렬;로 연결된 2 이상의 태양전지 셀을 포함할 수 있다.The flexible solar cell module is serial; parallel; or in series and parallel; it may include two or more solar cells connected in series.
본 발명에 따른 플렉서블 태양전지 모듈은 웨이퍼 기반의 전기도금 공정을 통한 연결 방식을 이용하기 때문에 직렬 연결 뿐만 아니라 동일한 공정 흐름을 거쳐 병렬 연결이 가능하다. 따라서 모듈 디자인에 맞추어 직렬 및 병렬 연결 셀들이 동시에 구현될 수 있는 이점이 있다. 또한, 종래 태양전지 모듈을 제조하는 과정에서 발생했던 제조상의 문제점들이 억제되어 내구성이 우수하고, 초경량화가 가능한 이점이 있다.Since the flexible solar cell module according to the present invention uses a connection method through a wafer-based electroplating process, parallel connection through the same process flow as well as series connection is possible. Therefore, there is an advantage in that serial and parallel connected cells can be simultaneously implemented according to the module design. In addition, manufacturing problems that occurred in the process of manufacturing a conventional solar cell module are suppressed, and durability is excellent and ultra-light weight is possible.
Claims (10)
상기 태양전지 모듈 상에 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;
상기 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 태양 전지 모듈에 시드 금속을 증착하여 시드층을 형성하는 단계;
상기 시드층이 형성된 상기 태양전지 모듈 상에 제2 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;
상기 제2 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 태양 전지 모듈에 전기 도금을 수행하여 연결배선을 형성하는 단계;
상기 제2 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계;
상기 시드층을 제거하는 단계; 및
상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계;
를 포함하는 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법.An aspect including two or more solar cells including a flexible substrate, a lower electrode layer provided on a certain area of the flexible substrate, an epitaxial layer provided on a certain area of the lower metal layer, and a front electrode provided on a certain area of the epitaxial layer Preparing a battery module;
forming a first photoresist pattern on the solar cell module;
forming a seed layer by depositing a seed metal on the solar cell module on which the photoresist pattern is formed;
forming a second photoresist pattern on the solar cell module on which the seed layer is formed;
forming connection wires by performing electroplating on the solar cell module on which the second photoresist pattern is formed;
removing the second photoresist pattern;
removing the seed layer; and
removing the first photoresist pattern;
Method of manufacturing a flexible solar cell module comprising a.
상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계 이후 상기 플렉서블 태양전지 모듈을 절단하는 단계;를 더 포함하는 것인 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법.According to claim 1,
The method of manufacturing a flexible solar cell module further comprising: cutting the flexible solar cell module after the step of removing the first photoresist pattern.
상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계와 상기 플렉서블 태양전지 모듈을 절단하는 단계 사이에, 상기 태양전지 모듈 상의 상기 연결배선의 전부를 감싸도록 반사방지 코팅층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것인 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법.According to claim 2,
Between the step of removing the first photoresist pattern and the step of cutting the flexible solar cell module, forming an antireflection coating layer to surround all of the connection wires on the solar cell module; further comprising Manufacturing method of flexible solar cell module.
상기 2 이상의 태양전지 셀을 연결하는 각각의 연결배선은 상기 2 이상의 태양전지 셀을 직렬 또는 병렬 연결하는 것인 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법.According to claim 1,
Each connection wire connecting the two or more solar cells connects the two or more solar cells in series or in parallel.
상기 2 이상의 태양전지 셀을 직렬 연결하는 경우, 상기 태양전지 모듈을 준비하는 단계 이후 상기 하부 전극층을 패터닝하는 단계;를 더 포함하는 것인 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법.According to claim 1,
The method of manufacturing a flexible solar cell module further comprising the step of patterning the lower electrode layer after the step of preparing the solar cell module when the two or more solar cells are connected in series.
상기 전기도금은 전해 도금 또는 무전해 도금 공정을 이용하는 것인 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법.According to claim 1,
The electroplating is a method of manufacturing a flexible solar cell module using an electrolytic plating or electroless plating process.
상기 전기 도금 물질은 Cu, Au 또는 Ag을 사용하는 것인 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법.According to claim 1,
The electroplating material is a method of manufacturing a flexible solar cell module using Cu, Au or Ag.
상기 태양전지는II, III, IV 및 V족 원소들 중에서 둘 이상 선택된 화합물을 포함하는 것인 플렉서블 태양전지 모듈의 제조방법.According to claim 1,
The solar cell is a method of manufacturing a flexible solar cell module comprising two or more compounds selected from II, III, IV and V elements.
상기 플렉서블 태양전지 모듈은 직렬; 병렬; 또는 직렬과 병렬;로 연결된 2 이상의 태양전지 셀을 포함하는 것인 플렉서블 태양전지 모듈.According to claim 9,
The flexible solar cell module is serial; parallel; Or a flexible solar cell module comprising two or more solar cells connected in series and in parallel.
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| KR20230015729A true KR20230015729A (en) | 2023-01-31 |
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Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
| KR101000383B1 (en) * | 2008-06-30 | 2010-12-13 | 한국철강 주식회사 | Integrated thin-film solar cells and method of manufacturing thereof |
| KR20110069487A (en) * | 2009-12-17 | 2011-06-23 | 현대중공업 주식회사 | Method for fabricating metal electrode of solar cell |
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2021
- 2021-07-23 KR KR1020210097221A patent/KR102632464B1/en active IP Right Grant
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| KR20190032584A (en) | 2016-10-13 | 2019-03-27 | 현대중공업그린에너지 주식회사 | Solar cell module |
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