KR20230010620A - Dram 기반 lidar 픽셀 - Google Patents

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KR20230010620A
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emitter
bins
pulses
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KR1020227029634A
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Inventor
로버트 헨더슨
호드 핀클스테인
Original Assignee
센스 포토닉스, 인크.
더 유니버시티 코트 오브 더 유니버시티 오브 에딘버그
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Publication date
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Abstract

광 검출 및 거리 측정(LIDAR) 검출기 회로는, 개개의 메모리 빈들에 검출 이벤트들을 표시하는 데이터를 저장하도록 구성되는 비일시적 저장 매체를 포함하는 메모리 디바이스, 및 적어도 하나의 제어 회로를 포함한다. 적어도 하나의 제어 회로는 하나 이상의 광검출기 요소로부터 검출 신호들을 수신하고, LIDAR 이미터 요소로부터 출력되는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 검출 신호들에 의해 표시되는 검출 이벤트들의 존재 또는 부존재를 식별하고, 검출 이벤트들의 존재 또는 부존재 각각의 식별에 응답하여 개개의 메모리 빈들에서의 데이터를 업데이트하기 위해 제1 메모리 동작 또는 제2 메모리 동작 중 하나를 실행하도록 구성된다. 관련 회로들 및 동작 방법들이 또한 논의된다.

Description

DRAM 기반 LIDAR 픽셀
우선권의 주장
본 출원은, 2020년 1월 27일자로 미국 특허청에 출원되고 발명의 명칭이 "DRAM-Based LIDAR Pixel"인 미국 가특허 출원 제62/966,171호로부터의 우선권을 주장하고, 이 미국 가특허 출원의 전체 내용은 본 명세서에 참조로 포함된다.
분야
본 개시내용은 광 검출 및 거리 측정(Light Detection and Ranging)(LIDAR; 라이다라고도 또한 지칭됨) 시스템들에 관한 것으로, 더 구체적으로는, 비행 시간 라이다 시스템들에서의 메모리 동작들에 관한 것이다.
비행 시간(time of flight)(ToF) 기반 이미징은, 범위 발견, 깊이 프로파일링, 및 3D 이미징(예를 들어, 라이다)을 포함하는 다수의 적용예들에서 사용된다. 직접 비행 시간 측정은, 방사선의 방출과 객체 또는 다른 타깃으로부터의 반사 후의 방사선의 감지 사이의 시간 길이를 직접 측정하는 것을 포함한다. 이로부터, 타깃까지의 거리가 결정될 수 있다. 간접 비행 시간 측정은, 라이다 시스템의 이미터 요소(emitter element)(들)에 의해 방출된 신호들의 진폭을 위상 변조하고, 라이다 시스템의 검출기 요소(들)에서 수신된 에코 신호들의 위상들을 (예를 들어, 딜레이 또는 시프트와 관련하여) 측정함으로써 타깃까지의 거리를 결정하는 것을 포함한다. 이들 위상들은 일련의 별개의 측정들 또는 샘플들로 측정될 수도 있다.
특정 적용예들에서, 직접 또는 간접 비행 시간 시스템들에서 반사된 방사선의 감지는 단일 광자 애벌란시 다이오드(Single Photon Avalanche Diode)(SPAD)들의 어레이와 같은 광검출기(photodetector)들의 어레이를 사용하여 수행될 수도 있다. 하나 이상의 광검출기는 어레이의 검출기 픽셀을 규정할 수도 있다. SPAD 어레이들은, 높은 감도 및 타이밍 분해능이 요구될 수도 있는 이미징 적용예들에서 솔리드 스테이트 검출기들로서 사용될 수도 있다.
SPAD는, 예를 들어, 원하는 펄스 폭을 갖는 스트로브 신호에 의해 또는 그에 응답하여, 항복 영역을 초과하여 바이어싱될 때 입사 광자들을 검출할 수도 있는 반도체 접합(예를 들어, p-n 접합)에 기초한다. 높은 역 바이어스 전압은, 디바이스의 공핍 층에 도입된 단일 전하 캐리어가 충격 이온화를 통해 자체 지속 애벌란시를 야기시킬 수 있도록 충분한 크기의 전기장을 생성한다. 애벌란시는 능동적으로(예를 들어, 바이어스 전압을 감소시킴으로써) 또는 수동적으로(예를 들어, 직렬로 연결된 저항기에 걸친 전압 강하를 사용함으로써) 퀀치 회로(quench circuit)에 의해 퀀칭되어, 디바이스가 추가 광자들을 검출하도록 "리셋"되게 한다. 높은 필드 영역에 부딪치는 단일 입사 광자에 의해 개시 전하 캐리어가 광전기적으로 생성될 수 있다. 이 피처(feature)가 '단일 광자 애벌란시 다이오드'라는 이름이 생기게 한 것이다. 이 단일 광자 검출 동작 모드가 종종 '가이거 모드(Geiger Mode)'라고 지칭된다.
장면을 이미징할 때, LiDAR 적용예들에 대한 ToF 센서들은, 타깃으로부터 반사된 바와 같은 입사 광자들을 타임스탬핑 및/또는 카운트하는 회로들을 포함할 수 있다. 일부 ToF 픽셀 접근법들은 디지털 또는 아날로그 회로들을 사용하여 광자들의 검출 및 광자들의 도달 시간들을 카운트할 수도 있는데, 이는 타임스탬핑이라고도 또한 지칭된다.
데이터 레이트들이 히스토그래밍 타임스탬프들에 의해 압축될 수 있다; 그러나, 이것은, 전형적인 ToF LIDAR 시스템들에서 비효율적으로 사용될 수도 있는 상당한 메모리 리소스들을 수반할 수 있다. 예를 들어, 각각의 히스토그램 빈(histogram bin)(이는 광자 도달 시간들의 개개의 서브 범위에 대응할 수도 있다)의 메모리 깊이(예를 들어, 비트들의 수)는 전형적으로 피크 또는 최대 예상 레이저 리턴들에 의해 설정되는 반면, 실제로는, 많은 또는 대부분의 히스토그램 빈들이 (예를 들어, 단지 배경 잡음에 의해서만) 드물게 점유될 것이다. 부가적으로, 전형적인 시간-디지털 변환기(time-to-digital converter)(TDC) 분해능(예를 들어, 50 내지 100ps)으로 LIDAR 시스템의 전형적인 시간 범위(예를 들어, 마이크로초)를 커버하기에 충분한 히스토그램을 형성하기 위해 수천 개의 시간 빈(그 각각은 개개의 광자 도달 시간들에 대응함)이 전형적으로 사용될 수도 있다.
정적 랜덤 액세스 메모리(Static Random Access Memory)(SRAM)와 같은 메모리 디바이스가 메모리 저장을 위해 사용될 수도 있다. SRAM은 전형적으로, SPAD 픽셀들에 대해 종래에 적용될 수도 있는 일부 카운터들보다 비트당 20배 넘게 더 콤팩트하다. 카운터에서의 단일 비트가, 표준 셀 라이브러리들에서 대략 32개의 트랜지스터를 갖는 D-타입(또는 T-타입) 플립플롭에 의해 표현된다. 부가적으로, 독출 셀(readout cell)(예를 들어, 3상태 버퍼(tristate buffer))이 비트당 사용될 수도 있다. 그러나, SRAM은, 종래에는 일부 SRAM 구성들에 포함된 판독-증분-기입 로직(read-increment-write logic)이 크고, 레이아웃/공간 제한들로 인해, 특히 속도 및 저장 요건들이 증가함에 따라, 더 작은 픽셀에 포함하기 어려울 수도 있다는 점에서, 도전과제들을 수반할 수도 있다.
본 명세서에서 설명되는 일부 실시예들은, 하나 이상의 이미터 유닛(하나 이상의 반도체 레이저, 예컨대 표면- 또는 에지-방출 레이저 다이오드를 포함함; 이미터 신호들을 출력하는 이미터들이라고 본 명세서에서 일반적으로 지칭됨), 하나 이상의 광 검출기 픽셀(애벌란시 포토다이오드들 및 단일 광자 애벌란시 검출기들을 포함하는 하나 이상의 광검출기, 예컨대 반도체 포토다이오드를 포함함; 입사 광에 응답하여 검출 신호들을 출력하는 검출기들이라고 본 명세서에서 일반적으로 지칭됨), 및 이미터 유닛들 및/또는 검출기 픽셀들의 서브세트들(이들의 개개의 이미터들 및/또는 검출기들을 각각 포함함)을 선택적으로 동작시켜 3D 비행 시간(ToF) 플래시 라이다 시스템을 제공하도록 구성되는 하나 이상의 제어 회로를 포함하는 라이다 시스템을 제공한다.
일부 실시예들에서, 하나 이상의 제어 회로는 LIDAR 이미터 요소로부터 출력되는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 개개의 메모리 빈들에 저장된 데이터를 업데이트하기 위해 검출 이벤트들의 존재 또는 부존재를 각각 표시하는 검출 신호들에 응답하여 제1 또는 제2 메모리 동작 중 하나를 실행하도록 구성된다.
본 개시내용의 일부 실시예들에 따르면, LIDAR 검출기 회로는, 개개의 메모리 빈들에 데이터를 저장하도록 구성되는 비일시적 저장 매체를 포함하는 메모리 디바이스, 및 적어도 하나의 제어 회로를 포함한다. 적어도 하나의 제어 회로는 하나 이상의 광검출기 요소로부터 검출 신호들을 수신하고; LIDAR 이미터 요소로부터 출력되는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 검출 신호들에 의해 표시되는 검출 이벤트들의 존재 또는 부존재를 식별하고; 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 검출 신호들이 검출 이벤트들의 존재를 표시하는 것에 응답하여 개개의 메모리 빈에서의 데이터를 업데이트하기 위해 제1 메모리 동작을 실행하고; 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 검출 신호들이 검출 이벤트들의 부존재를 표시하는 것에 응답하여 개개의 메모리 빈들에서의 데이터를 업데이트하기 위해 제2 메모리 동작을 실행하도록 구성된다.
일부 실시예들에서, 제1 메모리 동작은 증분 동작일 수도 있고, 제2 메모리 동작은 리프레시 동작을 포함한다.
일부 실시예들에서, 적어도 하나의 제어 회로는 이미터 신호의 펄스들의 주파수보다 더 크거나 또는 더 작은 주파수에서 리프레시 동작을 실행하도록 구성될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 리프레시 동작의 주파수는 온도 의존적일 수도 있다.
일부 실시예들에서, 적어도 하나의 제어 회로는, 증분 동작 또는 리프레시 동작을 수행하도록 구성되는 로직 기반 카운터 회로를 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 카운터 회로는, 복수의 직렬로 연결된 가산기 회로들을 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 카운터 회로는, 선형 피드백 루프를 사용하여 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 순방향으로 시프트시킴으로써 증분 동작을 실행하도록 구성되는 선형 피드백 시프트 레지스터를 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 선형 피드백 시프트 레지스터는 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 이들의 적어도 하나의 입력에 피드백시킴으로써 리프레시 동작을 실행하도록 구성될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 메모리 디바이스의 개개의 메모리 빈들에 저장된 데이터를 업데이트하기 위한 증분 동작 또는 리프레시 동작은 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간 내에 완료될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 증분 또는 리프레시 동작들은 개개의 메모리 빈들에 대해 순차적으로 수행될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 메모리 디바이스는, 개개의 메모리 빈들을 규정하는 동적 랜덤 액세스 메모리(dynamic random access memory)(DRAM) 셀들의 개개의 로우(row)들 또는 컬럼(column)들을 포함하는 메모리 어레이일 수도 있고, 적어도 하나의 제어 회로는 개개의 로우들 또는 컬럼들에 순차적으로 인가되는 판독 신호에 응답하여 독출 신호를 출력하도록 추가로 구성될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 하나 이상의 광검출기 요소 및 메모리 디바이스는, 동일한 웨이퍼에 대해 네이티브(native)인 복수의 광검출기 요소들 및 DRAM 셀들을 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 하나 이상의 광검출기 요소 및 메모리 디바이스는, 개개의 웨이퍼들 상에 제공되고 전기적으로 상호연결되는 복수의 광검출기 요소들 및 DRAM 셀들을 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, DRAM 셀들은 광검출기 요소들 사이의 개개의 트렌치들에 제공될 수도 있고 광검출기 요소들 중 인접한 것들 사이의 광학적 및/또는 전기적 배리어들을 규정할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 독출 신호는 카운트 신호 및/또는 시간 적분 신호를 포함할 수도 있고, 적어도 하나의 제어 회로는 독출 신호에 기초하여 광검출기 요소들 상에 입사되는 광자들의 추정된 도달 시간을 계산하도록 구성될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분은 개개의 거리 서브 범위에 대응할 수도 있고, 여기서 개개의 메모리 빈들은, 개개의 거리 서브 범위에 대응하는 히스토그램 데이터를 포함한다.
일부 실시예들에서, 광검출기 요소들은 단일 광자 애벌란시 검출기(single-photon avalanche detector)(SPAD)들을 포함할 수도 있고, 히스토그램 데이터는, 개개의 거리 서브 범위에 대응하는 검출 신호들에 의해 표시되는 광자 카운트들을 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 적어도 하나의 제어 회로는, 이미터 신호의 펄스들 사이에서 상이하게 딜레이되는 개개의 검출 윈도우들에 대해 하나 이상의 광검출기 요소를 활성화시키는 개개의 스트로브 신호들을 송신하도록 구성될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 개개의 검출 윈도우들은 개개의 거리 서브 범위들에 대응할 수도 있고, 여기서 적어도 하나의 제어 회로는 개개의 거리 서브 범위들을 통해 순차적으로 사이클링하도록 하나 이상의 광검출기 요소를 활성화시키기 위해 개개의 스트로브 신호들을 송신하도록 구성된다.
본 개시내용의 일부 실시예들에 따르면, LIDAR 검출기 회로는, LIDAR 검출기 픽셀을 규정하는 하나 이상의 광검출기 요소, 개개의 메모리 빈들에 데이터를 저장하도록 구성되는 비일시적 저장 매체를 포함하는 메모리 디바이스, 및 적어도 하나의 프로세서 회로를 포함한다. 적어도 하나의 프로세서 회로는 하나 이상의 광검출기 요소로부터 검출 신호들을 수신하고, LIDAR 이미터 요소로부터 출력되는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 검출 신호들에 의해 표시되는 검출 이벤트들의 부존재를 식별하고, 검출 이벤트들의 부존재의 식별에 응답하여 개개의 메모리 빈들에서의 데이터를 업데이트하기 위해 메모리 동작을 실행하도록 구성된다.
일부 실시예들에서, 메모리 동작은 리프레시 동작일 수도 있다. 적어도 하나의 프로세서 회로는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 검출 신호들에 의해 표시되는 검출 이벤트들의 존재를 식별하고, 검출 이벤트들의 존재의 식별에 응답하여 개개의 메모리 빈들에서의 데이터를 업데이트하기 위해 증분 동작을 실행하도록 추가로 구성될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 적어도 하나의 프로세서 회로는 이미터 신호의 펄스들의 주파수보다 더 크거나 또는 더 작은 주파수에서 리프레시 동작을 실행하도록 구성될 수도 있다. 예를 들어, 리프레시 동작의 주파수는 온도 의존적일 수도 있다.
일부 실시예들에서, 적어도 하나의 프로세서 회로는, 선형 피드백 루프를 사용하여 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 순방향으로 시프트시킴으로써 증분 동작을 실행하도록 구성되고, 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 이들의 적어도 하나의 입력에 피드백시킴으로써 리프레시 동작을 실행하도록 구성되는 선형 피드백 시프트 레지스터를 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 메모리 디바이스의 개개의 메모리 빈들에 저장된 데이터를 업데이트하기 위한 증분 동작 또는 리프레시 동작은 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간 내에 완료될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분은 개개의 거리 서브 범위에 대응할 수도 있고, 개개의 메모리 빈들은, 개개의 거리 서브 범위에 대응하는 히스토그램 데이터를 포함할 수도 있다. 히스토그램 데이터는, 검출 신호들에 의해 표시되는 광자 카운트들을 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 메모리 디바이스는, 개개의 메모리 빈들을 규정하는 동적 랜덤 액세스 메모리(DRAM) 셀들을 포함할 수도 있다.
본 개시내용의 일부 실시예들에 따르면, LIDAR 검출기 회로를 동작시키는 방법은, 하나 이상의 광검출기 요소로부터 검출 신호들을 수신하는 단계; LIDAR 이미터 요소로부터 출력되는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 검출 신호들에 의해 표시되는 검출 이벤트들의 존재 또는 부존재를 식별하는 단계; 및 검출 이벤트들의 존재 또는 부존재 각각의 식별에 응답하여 메모리 디바이스의 개개의 메모리 빈들에 저장된 데이터를 업데이트하기 위해 제1 메모리 동작 또는 제2 메모리 동작 중 하나를 실행하는 단계를 포함하고, 여기서 메모리 디바이스는 비일시적 저장 매체이다.
일부 실시예들에서, 제1 메모리 동작은 증분 동작일 수도 있고, 제2 메모리 동작은 리프레시 동작일 수도 있다.
일부 실시예들에서, 리프레시 동작을 실행하는 것은, 이미터 신호의 펄스들의 주파수보다 더 크거나 또는 더 작은 주파수에서 리프레시 동작을 실행하는 것을 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 증분 동작을 실행하는 것은, 선형 피드백 시프트 레지스터의 선형 피드백 루프를 사용하여 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 순방향으로 시프트시키는 것을 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 리프레시 동작을 실행하는 것은, 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 선형 피드백 시프트 레지스터의 적어도 하나의 입력에 피드백시키는 것을 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 메모리 디바이스의 개개의 메모리 빈들에 저장된 데이터를 업데이트하기 위해 증분 동작 또는 리프레시 동작 중 하나를 실행하는 것은, 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간 내에 완료될 수도 있다.
본 개시내용의 일부 실시예들에 따르면, LIDAR 시스템은, 본 명세서의 실시예들 중 임의의 것에 설명된 바와 같은 검출기 회로를 포함할 수도 있다. LIDAR 시스템은 LIDAR 이미터 요소 및 하나 이상의 광검출기 요소가 자율 차량의 의도된 이동 방향에 대해 배향되도록 자율 차량에 커플링되도록 구성된다.
일부 실시예들에 따른 다른 디바이스들, 장치들, 및/또는 방법들은 다음의 도면들 및 상세한 설명의 검토 시에 본 기술분야의 통상의 기술자에게 명백해질 것이다. 상기의 실시예들의 임의의 그리고 모든 조합들에 부가적으로, 그러한 부가적인 실시예들 모두는 본 설명 내에 포함되고, 본 발명의 범주 내에 있으며, 첨부된 청구범위에 의해 보호되는 것으로 의도된다.
도 1은 본 개시내용의 실시예들에 따른 LIDAR 시스템 또는 회로의 일 예를 예시하는 개략적 블록 다이어그램이다.
도 2는 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 LIDAR 적용예에서의 측정 시스템 또는 회로의 컴포넌트들을 추가로 예시하는 개략적 블록 다이어그램이다.
도 3은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 메모리 픽셀을 구현하는 메모리 회로의 예시적인 구성을 예시하는 개략적 블록 다이어그램이다.
도 4a는 3T DRAM 셀들과 같은 이득 셀 DRAM을 사용하여 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 n x k 비트 DRAM 어레이를 구현하는 예시적인 메모리 디바이스를 예시한다.
도 4b는 1T1C DRAM 셀들을 사용하여 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 n x k 비트 DRAM 어레이를 구현하는 예시적인 메모리 디바이스를 예시한다.
도 5a는 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 증분 및 리프레시 동작들을 수행하도록 구성되는 예시적인 회로를 예시한다.
도 5b는 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 증분 및 리프레시 동작들을 수행하도록 구성되는 예시적인 회로를 예시한다.
도 6은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 증분 및 리프레시 동작들을 수행하기 위한 프리차지(precharge), 판독, 수정, 및 기입 동작들에 대한 예시적인 타이밍 다이어그램을 예시한다.
도 7은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 예시적인 샘플링 및 증분 또는 리프레시 회로를 예시한다.
도 8은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 증분 및 리프레시 동작들을 수행하도록 기입 신호들 및 판독 신호들을 어서트(assert)하거나 또는 인에이블시키기 위한 신호들을 생성하기 위한 예시적인 타이밍 다이어그램을 예시한다.
도 9는 온도에 따른 메모리 셀 누설 또는 보유 시간의 변화의 예시적인 시뮬레이션을 예시하는 플롯이다.
도 10은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 트렌치 커패시터들을 포함하는 메모리 구조체들을 예시하는 단면도이다.
다음의 상세한 설명에서, 본 개시내용의 실시예들의 완전한 이해를 제공하기 위해 수많은 특정 세부사항들이 제시된다. 그러나, 본 개시내용은 이들 특정 세부사항들 없이 실시될 수도 있다는 것이 본 기술분야의 통상의 기술자들에 의해 이해될 것이다. 일부 경우들에서, 잘 알려진 방법들, 프로시저들, 컴포넌트들, 및 회로들은 본 개시내용을 모호하게 하지 않도록 상세히 설명되지 않았다. 본 명세서에 개시된 모든 실시예들은 별개로 구현되거나 또는 임의의 방식 및/또는 조합으로 조합될 수 있는 것으로 의도된다. 하나의 실시예와 관련하여 설명된 양태들은 상이한 실시예들에 포함될 수도 있지만, 이들에 대해 구체적으로 설명되지 않았다. 즉, 모든 실시예들 및/또는 임의의 실시예들의 피처들은 임의의 방식 및/또는 조합으로 조합될 수 있다.
본 개시내용의 실시예들은 라이다 적용예들 및 시스템들을 참조하여 본 명세서에서 설명된다. 라이다 시스템은, 이미터들의 어레이 및 검출기들의 어레이, 또는 단일 이미터 및 검출기들의 어레이를 갖는 시스템, 또는 이미터들의 어레이 및 단일 검출기를 갖는 시스템을 포함할 수도 있다. 본 명세서에서 설명되는 바와 같이, 하나 이상의 이미터는 이미터 유닛을 규정할 수도 있고, 하나 이상의 검출기는 검출기 픽셀을 규정할 수도 있다. 검출기 픽셀은 또한, 본 명세서에서 "픽셀 내(in-pixel)" 구성이라고 지칭되는, 다른 픽셀들과 공유되지 않는 저장 및 로직 회로들(상관기, 카운터, 및/또는 시간 적분기 로직을 포함함)과 같은 전용 회로들을 포함하거나 또는 이들에 대한 출력들을 제공할 수도 있다. 플래시 라이다 시스템은 시야(field of view)(FoV) 또는 장면에 걸쳐 짧은 지속기간들(펄스들) 동안 이미터들의 어레이 또는 어레이의 서브세트로부터 광을 방출하고, 하나 이상의 검출기에서 FoV에서의 하나 이상의 타깃으로부터 반사된 에코 신호들을 검출함으로써 이미지들을 취득할 수도 있다. 비-플래시 또는 스캐닝 라이다 시스템은, 예를 들어, 포인트당 필요한 전력을 방출하고 순차적으로 스캐닝하여 전체 FoV를 재구축하기 위한 포인트 스캔 또는 라인 스캔을 사용하여, 시야 또는 장면에 걸쳐 광 방출을 (예를 들어, 연속적으로) 스캐닝함으로써 이미지 프레임들을 생성할 수도 있다.
본 명세서에서 설명되는 실시예들에서, 검출 윈도우 또는 스트로브 윈도우는, (마찬가지로 제어 회로로부터의 개개의 이미터 제어 신호들에 응답할 수도 있는) 이미터(들)에 의해 출력된 신호의 펄스들 사이의 시간적 기간 또는 시간에 걸쳐 (예를 들어, 제어 회로로부터의 개개의 검출기 시간 게이트들/제어 신호들에 응답하는) 하나 이상의 검출기의 활성화 및 비활성화의 개개의 지속기간들을 지칭할 수도 있다. 개개의 검출 윈도우들의 상대적 타이밍들 및 지속기간들은, 본 명세서에서 설명되는 바와 같은 개개의 스트로브 신호들(Strobe<x>)에 의해 제어될 수도 있고, 이 경우에 검출 윈도우들은 스트로브 윈도우들이라고 지칭될 수도 있다.
일부 종래의 SRAM 기반 검출기 픽셀 구현들은 SRAM 셀당 6개의 트랜지스터(예를 들어, NMOS 및 PMOS; 6T라고도 또한 지칭됨) - 여기서 (로직 0 및 로직 1을 나타내는 데 사용되는 2개의 안정적인 상태를 제공하는) 2개의 크로스-커플링된 인버터를 형성하는 4개의 트랜지스터 상에 각각의 비트가 저장될 수도 있다 -, 및 (판독 및 기입 동작들 동안 저장 셀에의 액세스를 제어하기 위한) 2개의 부가적인 액세스 트랜지스터를 포함할 수도 있다. 그러한 구성들은 비트당 표면적 및 비트당 전력에 대한 제한들을 부과할 수 있다. 예를 들어, 히스토그래밍 메모리 적용예들에서, 그러한 제한들은 검출기 픽셀들의 수, 히스토그램 빈들(본 명세서에서 메모리 빈들이라고도 또한 지칭됨)의 비트 깊이, 및 히스토그램 빈들의 수를 포함할 수 있다(그러나 이에 제한되지 않는다). 특히, 메모리 셀 또는 픽셀당 더 많은 트랜지스터를 포함하면 (예를 들어, 역반사체들로부터 반사된 높은 배경 광 레벨들 또는 신호들의 존재 시에 다수의 검출기 픽셀들을 갖는 어레이들의 경우) 검출기 픽셀들의 수에 따라 피크 전력 요건들이 증가되게 할 수도 있는데, 이는 데이터 무결성 이슈들을 야기시킬 수 있다. 또한, 특히 픽셀 면적이 (예를 들어, 옵틱(optic)들 또는 비용 고려사항으로 인해) 제한되는 경우, 메모리 셀 또는 픽셀당 트랜지스터들의 수가 많을수록, (역반사체들의 존재 시에 포화를 발생시킬 수 있는) 히스토그램 빈들의 비트 깊이뿐만 아니라 히스토그램 빈들의 수(여기서, 제한된 지속기간의 수많은 스트로브 윈도우들로 인해, 이미터가 스트로브 윈도우들의 외측에서 또는 그 사이에서 액티브해질 때 광자들이 고려되지 않거나 또는 "손실"되어, 그에 의해 이미터 전력 요건들을 증가시킬 수도 있는데, 이는 표면적 및 이미터 피크 효율 이슈들을 야기시킬 수도 있다)를 제한할 수도 있다.
또한, 일부 종래의 SRAM 기반 검출기 픽셀 구현들은 이진 카운팅(binary counting) 및 산술 로직 유닛(arithmetic logic unit)(ALU) 사이클 시간에 대한 제한들을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 일부 이진 카운터들은 k-비트 캐리 체인(k-bit carry chain)을 사용할 수도 있는데, 이는 체인으로 연결된 전가산기(full-adder)들로 구현되는 경우 정착시키도록 k 게이트 딜레이를 요구할 수도 있다(예를 들어, 이에 의해 하나의 전가산기의 캐리 출력(Co)이 다음 전가산기의 캐리 입력(Ci)에 연결되게 된다). 그러나, 그러한 구성은 일부 경우들에서 빈 시간의 약 절반 내에 또는 그 내측에 정착시키기 어렵게 만들 수도 있는데, 이는 따라서 히스토그램 빈 시간 및 연관된 깊이 분해능에 제한들을 부과할 수 있다. 또한, SRAM 기반 검출기 픽셀을 프리차지, 판독, 수정, 및 기입하도록 요구되는 로직은 비교적 복잡하고 면적 소모적이어서, 이용가능한 히스토그램 빈 면적 그리고 그에 따라 동적 범위 및 스트로브 윈도우 지속기간을 제한할 수도 있다(이는 메모리 용량이 증가함에 따라 더 긴 지속기간들을 갖는 더 적은 스트로브 윈도우들이 사용될 수 있기 때문이다).
본 개시내용의 일부 실시예들은, 일부 라이다 적용예들에서, 예를 들어, 연속적으로 또는 주기적으로 제어 신호를 이미터 유닛에 인가하고 스트로브 신호를 검출기 픽셀에 인가하여 일련의 거리 서브 범위들을 통해 사이클링하는 것에 응답하여, 타깃으로부터 반사된 레이저 펄스로부터 리턴되는 유입 광자 카운트들을 이용하여 실시간으로 메모리 빈들(이는 광자 도달 시간들의 개개의 서브 범위들을 표시할 수도 있다)을 통해 점진적으로 스테핑(stepping)하고 업데이트함으로써 메모리가 순차적으로 액세스될 수도 있다는 인식으로부터 발생할 수도 있다. 이와 대조적으로, SRAM의 일부 종래의 용도들에서, 데이터 상태들은 전형적으로, 외부 시스템에 의한 산발적인 액세스에 의해 설정된 예측불가능한 시간 지속기간들 동안 홀딩될 수도 있고, 메모리 액세스는 랜덤할 수도 있다.
이에 따라, 본 개시내용의 일부 실시예들은, SRAM 기반 메모리로 가능할 수도 있는 것보다 (예를 들어, 더 적은 트랜지스터들을 이용함으로써) 더 큰 메모리 밀도들을 가능하게 하는 메모리 어레이 구현들 및 관련 제어 스킴들을 포함하는 검출기 픽셀들을 제공할 수도 있다. 예를 들어, 본 개시내용의 일부 실시예들은, 라이다 검출기 픽셀들에 의해 수행되는 일련의 거리 서브 범위들을 통한 사이클링으로, 그리고 라이다 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간으로 조정되는 순차적 메모리 액세스 및 메모리 리프레시 동작들을 사용하는, 메모리 디바이스들(예컨대, 동적 랜덤 액세스 메모리(DRAM) 기반 메모리)을 제공할 수도 있다. DRAM의 사용은 SRAM 구현들과 비교하여 동일한 타입(예를 들어, NMOS 전용)의 픽셀당 더 적은 트랜지스터들(예를 들어, 1개 내지 3개의 트랜지스터)을 요구할 수도 있는데, 이때 각각의 DRAM 셀에서의 저장된 값의 누설을 방지하기에 충분한 리프레시 레이트(예를 들어, 이미터 신호 사이클마다 1회, 매 2회의 이미터 신호 사이클마다 1회 등)로 될 수도 있고, 라이다 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간 내에 완료될 수도 있는 메모리 리프레시 동작들이 수행된다.
일부 실시예들은, 이득 셀 DRAM 구현들, 예를 들어, 2-, 3-, 또는 4-트랜지스터(2T/3T/4T) DRAM 구성(즉, DRAM 셀/저장 비트당 2/3/4 트랜지스터들을 가짐)을 포함할 수도 있고, 여기서 각각의 메모리 빈의 DRAM 셀들은 검출 이벤트에 응답하여 증분될 수 있거나, 또는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간 동안 검출 이벤트들의 부존재 시에 (예를 들어, 주기적으로) 리프레시될 수 있다. 예를 들어, 400미터(m) 이미징 거리 범위의 경우, 이미터 사이클은, 375kHz의 주파수, 및 이미터 신호의 펄스들 사이의 약 2.667㎲의 기간을 가질 수도 있다. 이 예에서 메모리 빈에 대한 최대 리프레시 시간은 2.667㎲ 이미터 사이클에 대응할 수도 있는데, 이는 (예를 들어, 약 125℃ 이상의 온도들에서) 비트 누설 이슈들을 극복하기에 충분할 수도 있다. 대안적으로, 일부 실시예들은, 각각의 메모리 빈의 DRAM 셀들을 증분 또는 리프레시하기 위해 관련 감지 증폭기 회로부를 갖는 단일 트랜지스터(1T1C) DRAM 구성(즉, DRAM 셀/저장 비트당 하나의 트랜지스터 및 하나의 커패시터를 가짐)을 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 메모리 빈 증분 또는 리프레시 동작들은 로직 기반 카운터 회로를 사용하여 수행될 수도 있다. 예를 들어, 각각의 메모리 빈의 DRAM 셀들의 값들을 증분 또는 리프레시하기 위해 일련의 또는 체인의 가산기들이 사용될 수도 있다. 다른 예로서, 메모리 빈 업데이트 시간들을 감소 또는 최소화(그리고 따라서 시간 분해능을 개선)시킬 뿐만 아니라, 프리차지-판독-수정-기입(precharge-read-modify-write)(PRMW) 로직 오버헤드(그리고 따라서 DRAM 비트들의 총 수 및 히스토그램 면적)를 감소 또는 최소화시키기 위해 선형 피드백 시프트 레지스터(linear-feedback shift register)(LFSR) 기반 카운팅이 사용될 수 있다. DRAM 기반 메모리와 관련하여 본 명세서의 예들에서 주로 설명되었지만, 본 개시내용의 실시예들은 DRAM, 또는 임의의 특정 메모리 저장 기술에 제한되지 않고, 이들 구체적으로 설명된 것들 이외의 메모리 디바이스들에 적용될 수도 있다는 것이 이해될 것이다.
본 개시내용의 실시예들을 이용할 수도 있는 라이다 시스템 또는 회로(100)의 일 예가 도 1에 도시되어 있다. 라이다 시스템(100)은, 제어 회로(105), 타이밍 회로(106), 복수의 이미터들(115e)을 포함하는 이미터 어레이(115), 및 복수의 검출기들(110d)을 포함하는 검출기 어레이(110)를 포함한다. 검출기들(110d)은 비행 시간 센서들(예를 들어, SPAD들과 같은 단일 광자 검출기들의 어레이)을 포함한다. 이미터 어레이(115)의 이미터 요소들(115e) 중 하나 이상은, 타이밍 생성기 또는 드라이버 회로(116)에 의해 제어되는 시간 및 주파수에서 (예를 들어, 확산기 또는 광학 필터(114)를 통해) 방사선 펄스 또는 연속파 신호를 각각 방출하는 이미터 유닛들을 규정할 수도 있다. 특정 실시예들에서, 이미터들(115e)은 LED들 또는 레이저들(예컨대, 수직 캐비티 표면 방출 레이저(vertical cavity surface emitting laser)(VCSEL)들)과 같은 펄스 광원들일 수도 있다. 방사선이 타깃(150)으로부터 다시 반사되고, 검출기 어레이(110)의 하나 이상의 검출기 요소(110d)에 의해 규정된 검출기 픽셀들에 의해 감지된다. 제어 회로(105)는, 직접 또는 간접 ToF 측정 기법들을 사용하여 이미터 어레이(115)로부터 타깃(150)으로 그리고 다시 검출기 어레이(110)의 검출기들(110d)로의 여정에 걸쳐 조명 펄스의 비행 시간을 측정 및/또는 계산하는 픽셀 프로세서를 구현한다.
일부 실시예들에서, 이미터 모듈 또는 회로(115)는, 이미터 요소들(115e)(예를 들어, VCSEL들)의 어레이, 이미터 요소들 중 하나 이상에 커플링되는 광학 요소들(113, 114)(예를 들어, 렌즈(들)(113)(예컨대, 마이크로렌즈들) 및/또는 확산기들(114))의 대응하는 어레이, 및/또는 드라이버 전자 장치들(116)을 포함할 수도 있다. 광학 요소들(113, 114)은 임의적일 수도 있고, 이미터 요소들(115e)의 그룹들 또는 개체 중 어느 하나의 조명 필드들이 충분히 오버랩되지 않는다는 것을 보장하도록 이미터 요소들(115e)로부터 출력된 광의 충분히 낮은 빔 발산을 제공하고, 그럼에도 불구하고 이미터 요소들(115e)로부터 출력된 광의 충분히 큰 빔 발산을 제공하여 관찰자들에게 눈 안전을 제공하도록 구성될 수 있다.
드라이버 전자 장치들(116)은 각각 하나 이상의 이미터 요소에 대응할 수도 있고, 이미터 요소들(115e)에 의해 출력된 광의 반복 레이트 및/또는 피크 전력을 제어하는 마스터 클록 및/또는 전력 제어 신호들을 참조한 타이밍 제어 신호들에 응답하여 각각 동작될 수도 있다. 일부 실시예들에서, 이미터 어레이(115)에서의 이미터 요소들(115e) 각각은 개개의 드라이버 회로(116)에 연결되고 이에 의해 제어된다. 다른 실시예들에서, 이미터 어레이(115)에서의 이미터 요소들(115e)의 개개의 그룹들(예를 들어, 서로 공간적으로 근접한 이미터 요소들(115e))은 동일한 드라이버 회로(116)에 연결될 수도 있다. 드라이버 회로 또는 회로부(116)는, 이미터들(115e)로부터 출력되는 광학 방출 신호들의 변조 주파수, 타이밍 및 진폭을 제어하도록 구성되는 하나 이상의 드라이버 트랜지스터를 포함할 수도 있다.
다수의 이미터들(115e)로부터의 광학 신호들의 방출은 플래시 LIDAR 시스템(100)을 위한 단일 이미지 프레임을 제공하지만, 본 개시내용의 실시예들은 비-플래시 또는 스캐닝 LIDAR 시스템들도 또한 포함할 수도 있다. 이미터들(115e)의 최대 광학 전력 출력은, 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따라 검출될 수 있는 가장 밝은 배경 조명 조건들에서의 가장 먼, 최소 반사 타깃으로부터의 에코 신호의 신호 대 잡음비를 생성하도록 선택될 수도 있다. 이미터 어레이(115)의 조명 필드를 증가시키기 위한 확산기(114) 및 광의 방출된 파장들을 제어하기 위한 임의적 필터가 예로서 예시되어 있다.
이미터들(115e) 중 하나 이상으로부터 출력된 광 방출은 하나 이상의 타깃(150) 상에 충돌하고 이들에 의해 반사되고, 반사된 광은 (예를 들어, 수신기 옵틱들(112)을 통해) 검출기들(110d) 중 하나 이상에 의해 광학 신호(본 명세서에서 리턴 신호, 에코 신호, 또는 에코라고도 또한 지칭됨)로서 검출되고, 전기 신호 표현(본 명세서에서 검출 신호라고 지칭됨)으로 변환되며, (예를 들어, 비행 시간에 기초하여) 프로세싱되어 시야(190)의 3-D 포인트 클라우드 표현(170)을 규정한다. 본 명세서에서 설명되는 바와 같은 본 개시내용의 실시예들에 따른 라이다 시스템들의 동작들은 하나 이상의 프로세서 또는 제어기, 예컨대 도 1의 제어 회로(105)에 의해 수행될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 수신기/검출기 모듈 또는 회로(110)는, 검출기 픽셀들의 어레이(이때 각각의 검출기 픽셀은 하나 이상의 검출기(110d), 예를 들어, SPAD를 포함함), 수신기 옵틱들(112)(예를 들어, FoV(190)에 걸쳐 광을 수집하기 위한 하나 이상의 렌즈), 및 검출기 어레이(110)의 전부 또는 부분들에 전력공급하고, 이들을 인에이블, 및 디스에이블시키도록 그리고 거기에 타이밍 신호들을 제공하도록 구성되는 수신기 전자 장치들(타이밍 회로(106)를 포함함)을 포함한다. 검출기 픽셀들은 적어도 나노초 정밀도로 활성화 또는 비활성화될 수 있고, 개별적으로 어드레싱가능하거나, 그룹별로 어드레싱가능하거나, 그리고/또는 전역적으로 어드레싱가능할 수도 있다. 수신기 옵틱들(112)은, 라이다 시스템에 의해 이미징될 수 있는 가장 큰 FoV로부터 광을 수집하도록 구성되는 매크로 렌즈들, 검출 픽셀들의 수집 효율을 개선시키기 위한 마이크로렌즈들, 및/또는 미광의 검출을 감소시키거나 또는 방지하기 위한 반사 방지 코팅을 포함할 수도 있다. 일부 실시예들에서, 스펙트럼 필터(111)는 '신호' 광(즉, 이미터들로부터 출력된 광학 신호들의 것들에 대응하는 파장들의 광)을 통과시키거나 또는 그의 통과를 가능하게 하지만 비-신호 광(즉, 이미터들로부터 출력된 광학 신호들과는 상이한 파장들의 광)의 통과를 실질적으로 거부 또는 방지하도록 제공될 수도 있다.
검출기 어레이(110)의 검출기들(110d)은 타이밍 회로(106)에 연결된다. 타이밍 회로(106)는 이미터 어레이(115)의 드라이버 회로부(116)에 위상-고정될 수도 있다. 검출기들(110d) 각각 또는 검출기들의 그룹들의 감도가 제어될 수도 있다. 예를 들어, 검출기 요소들이 역 바이어싱된 포토다이오드들, 애벌란시 포토다이오드(avalanche photodiode)들(APD), PIN 다이오드들, 및/또는 가이거 모드 애벌란시 다이오드(SPAD)들을 포함할 때, 역 바이어스가 조정될 수도 있고, 이에 의해, 오버바이어스가 높아질수록, 감도가 높아지게 된다.
일부 실시예들에서, 마이크로제어기 또는 마이크로프로세서와 같은 제어 회로(105)는 상이한 이미터들(115e)의 드라이버 회로부(116)에 상이한 이미터 제어 신호들을 제공하거나 그리고/또는 상이한 검출기들(110d)의 타이밍 회로부(106)에 상이한 신호들(예를 들어, 스트로브 신호들)을 제공하여 타깃(150)으로부터의 에코 신호를 검출하도록 상이한 검출기들(110d)을 인에이블/디스에이블시킨다. 본 명세서에서 사용되는 바와 같은 '스트로빙'은, 라이다 시스템(100)의 하나 이상의 검출기(110d)의 활성화의 타이밍 및/또는 지속기간(검출 또는 스트로브 윈도우들)을 제어하기 위한 검출기 제어 신호들(본 명세서에서 스트로브 신호들 또는 '스트로브들'이라고도 또한 지칭됨)의 생성을 지칭할 수도 있다. 제어 회로(105)는 또한, 비일시적 메모리 또는 메모리 어레이(205)에 검출 신호들에 의해 표시된 데이터를 저장하기 위한 메모리 저장 동작들을 제어할 수도 있다.
도 2는 본 명세서에서 설명되는 일부 실시예들에 따른 LIDAR 적용예에서의 ToF 측정 시스템 또는 회로(200)의 컴포넌트들을 추가로 예시한다. 회로(200)는, 프로세서 회로(105')(예컨대, 디지털 신호 프로세서(digital signal processor)(DSP)), (레이저 이미터 어레이(115)를 참조하여 예로서 예시된) 조명 소스의 타이밍을 제어하는 타이밍 생성기(116'), 및 (단일 광자 검출기 어레이(110)를 참조하여 예로서 예시된) 단일 광자 검출기들의 어레이를 포함할 수도 있다. 프로세서 회로(105')는, 이미터들(115e) 및 검출기들(110d)의 동작을 조정하도록 구성되는 시퀀서 회로를 또한 포함할 수도 있다.
프로세서 회로(105') 및 타이밍 생성기(116')는 도 1의 제어 회로(105) 및 드라이버 회로(116)의 동작들 중 일부를 구현할 수도 있다. 레이저 이미터 어레이(115)는, 타이밍 생성기(116')에 의해 제어되는 시간에 레이저 펄스(130)를 방출한다. 레이저 펄스(130)로부터의 광(135)이 (객체(150)로서 예로서 예시된) 타깃으로부터 다시 반사되고, 단일 광자 검출기 어레이(110)에 의해 감지된다. 프로세서 회로(105')는, 이미터 어레이(115)로부터 객체(150)로 그리고 다시 단일 광자 검출기 어레이(110)로의 여정에 걸쳐 레이저 펄스(130)의 ToF 및 그의 반사된 신호(135)를 측정하는 픽셀 프로세서를 구현한다.
프로세서 회로(105')는, 어레이(110)의 단일 광자 검출기들의 동작을 제어하고 그로부터 출력된 검출 신호들을 프로세싱하기 위해 필요한 타이밍 신호들(예컨대, 퀀칭 및 게이팅 또는 스트로브 신호들)을 제공하는 로직 회로들의 아날로그 및/또는 디지털 구현들을 제공할 수도 있다. 예를 들어, 어레이(110)의 단일 광자 검출기들은, 스트로브 신호들에 의해 규정되는 짧은 게이팅 간격들 또는 스트로브 윈도우들 동안에만 단지 입사 광자들에 응답하여 검출 신호들을 생성할 수도 있다. 스트로브 윈도우들의 외측에 입사되는 광자들은 단일 광자 검출기들의 출력들에 영향을 미치지 않는다. 더 일반적으로는, 프로세서 회로(105')는, 검출기들(110d)의 활성화의 타이밍 및/또는 지속기간들을 제어하는 개개의 검출기 제어 신호들을 생성하도록, 그리고/또는 이미터들(115e)로부터의 광학 신호들의 출력을 제어하는 개개의 이미터 제어 신호들을 생성하도록 구성되는 하나 이상의 회로를 포함할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 검출기들의 활성화 또는 재충전 동안, 광자에 대한 검출 확률들이 시간이 지남에 따라 변할 수도 있다. 따라서, 검출기는 스트로브 윈도우의 시작 직전에 활성화될 수도 있지만, 샘플링 회로는 일단 스트로브 윈도우가 시작되면 검출기로부터 출력된 검출 신호들만을 단지 프로세싱할 수도 있다. 유사하게, 검출기는 스트로브 윈도우의 종료 후에 그의 턴 오프 또는 강제된 방전을 개시할 수도 있지만, 프로세싱 회로는 스트로브 윈도우가 종료되는 즉시 검출기의 출력으로부터의 입력을 디스에이블시킬 수도 있다. 따라서, 검출기들은 스트로브 윈도우보다 더 긴 지속기간 동안 액티브하게 될 수도 있지만, 프로세싱 회로는, 예를 들어, 스트로브 윈도우 동안 수집될 검출기 출력의 다수의 샘플들(예를 들어, 다수의 메모리 빈들에 대응하는 주파수에서의 검출 신호들의 샘플링)을 가능하게 하기에 충분히 짧은 샘플링 사이클 또는 클록 사이클에 응답하여 스트로브 윈도우 동안에만 이들의 출력을 단지 프로세싱할 수도 있다.
검출 이벤트들은, 메모리(205)에 저장될 수도 있는, 검출기 어레이(110)로부터 출력된 검출 신호들에 의해 표시되는 하나 이상의 광자 카운트에 기초하여 프로세서 회로(105')에 의해 식별될 수도 있다. 일부 실시예들에서, 프로세서 회로(105')는, 본 명세서에서 상관 윈도우 또는 상관 시간이라고 지칭되는, 서로에 대해 미리 규정된 시간 윈도우 내에서 2개 이상의 검출기로부터의 광자 카운트들(본 명세서에서 상관된 광자 카운트들이라고 지칭됨)에 기초하여 검출 이벤트들을 식별하는 상관 회로 또는 상관기를 포함할 수도 있고, 여기서 검출 신호들은 상관 윈도우 내의 입사 광자들의 도달 시간들을 표시한다. 이미터 어레이(115)로부터 출력된 광학 신호들에 대응하는 광자들(신호 광자들이라고도 또한 지칭됨)이 주변 광에 대응하는 광자들(배경 광자들이라고도 또한 지칭됨)에 비해 시간적으로 비교적 근접하게 도달할 수도 있으므로, 상관기는 서로에 대한 상관 시간 내의 개개의 도달 시간들에 기초하여 신호 광자들을 구별하도록 구성된다. 그러한 상관기들은, 예를 들어, 발명의 명칭이 "Methods and Systems for High-Resolution Long Range Flash Lidar"인 미국 특허 출원 공개 제2019/0250257호에 설명되어 있고, 이 미국 특허 출원 공개는 본 명세서에 참조로 포함된다.
프로세서 회로(105')는, 예를 들어, 검출기 어레이(110)가, 어레이(110)의 면적 또는 풋프린트 내에 맞도록 사이징되는 프로세서 회로(105')(및/또는 메모리(205)와 같은 다른 관련 회로들)의 상부 상에 "적층"되는, 3차원으로 적층된 구현들을 가능하게 하기에 충분히 작을 수도 있다. 예를 들어, 일부 실시예들은, 예를 들어 2019년 10월 30일자로 출원되고 발명의 명칭이 "High Quantum Efficiency Geiger-Mode Avalanche Diodes Including High Sensitivity Photon Mixing Structures and Arrays Thereof"인 미국 특허 출원 공개 제2020/0135776호에 설명된 바와 같이, 제1 기판 상에 검출기 어레이(110)를, 그리고 제2 기판 상에 회로들(105/105')의 트랜지스터 어레이들을 구현할 수도 있는데, 이때 제1 및 제2 기판들/웨이퍼들은 적층된 배열로 본딩되고, 이 미국 특허 출원 공개의 개시내용은 본 명세서에 참조로 포함된다.
프로세서 회로(105')에 의해 구현된 픽셀 프로세서는 수천 개의 레이저 펄스(130) 및 반사된 광(135)에서의 광자 리턴들에 걸쳐 집계된 평균 ToF의 추정치를 계산하도록 구성된다. 프로세서 회로(105')는 레이저 사이클(또는 그의 부분)에 걸쳐 (예를 들어, 트리거된 하나 이상의 SPAD(110)에 기초하여) 검출 이벤트들을 식별하기 위해 반사된 광(135)에서의 입사 광자들을 카운트하도록 구성될 수도 있다. 검출 윈도우들의 타이밍들 및 지속기간들은 본 명세서에서 설명되는 바와 같이 스트로브 신호(Strobe#x 또는 Strobe<x>)에 의해 제어될 수도 있다. Strobe<x>의 많은 반복들이 (예를 들어, 픽셀에서) 집계되어 Strobe<x>에 대한 서브프레임을 규정하는데, 이때 서브프레임들 1 내지 x는 이미지 프레임을 규정한다. 각각의 서브프레임은 전체 이미징 거리 범위의 개개의 거리 서브 범위에 대응할 수도 있고, 여기서 레이저 사이클의 주파수는 원하는 이미징 거리 범위에 기초하여 선택될 수도 있다.
일부 실시예들에서, 검출기 픽셀은, 본 명세서에서 메모리 회로라고 집합적으로 지칭되는, DRAM 제어기와 같은 메모리 제어기(예를 들어, 제어 회로(105)/프로세서(105')) 및 메모리 어레이(예를 들어, 메모리(205))를 구현하는 회로들을 포함할 수도 있다. 도 3은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 메모리 픽셀(300)(예를 들어, DRAM 기반 픽셀)을 구현하는 메모리 회로의 예시적인 구성을 예시한다. 특히, 도 3의 메모리 픽셀(300)은, 예를 들어, 3차원적으로 적층된 구현을 규정하기 위해 검출기 픽셀들(110)의 어레이가 적층될 수도 있는 픽셀 레이아웃의 하위 또는 저부 티어(tier)를 표현할 수도 있다. 따라서, 도 3의 메모리 픽셀(300)은 검출기 어레이(110)의 면적 또는 풋프린트 내에 맞도록 사이징될 수도 있다.
도 3의 메모리 픽셀(300)은, 하나 이상의 광검출기(예를 들어, SPAD)로부터 검출 신호들을 수신하도록 구성되는 광검출기 인터페이스 회로(310), 광검출기들로부터 출력된 검출 신호들을 샘플링하도록 구성되는 샘플러 회로(302)(샘플러로서 예시됨), 히스토그램 데이터를 저장하도록 구성되는 메인 메모리 디바이스(303)(n x k DRAM 디바이스로서 예시됨, 여기서 n은 히스토그램 빈들의 수를 지칭하고 k는 빈당 비트들을 지칭한다), 및 이 인터페이스 회로(310), 샘플러(302), 및 메인 메모리 디바이스(303)의 동작들을 관리하여 광검출기들로부터 출력된 검출 신호들에 의해 표시되는 데이터를 히스토그램 데이터로 저장 및 통합하도록 구성되는 제어기 회로(305)(산술 로직 유닛(ALU) 및 PRMW 제어기로서 예시됨)를 포함한다.
일부 실시예들에서, 메인 메모리 디바이스(300)는, 내부에 저장된 데이터를 보유하도록 리프레시 동작들을 요구할 수도 있는 DRAM과 같은 휘발성 메모리를 사용하여 구현될 수도 있다. DRAM 셀들의 리프레시 레이트는 제어기 회로(305)에 의해 제어된다. 일부 실시예들에서, 리프레시 레이트는 어레이(303)에서의 모든 DRAM 셀들에 대한 메모리 리프레시 동작들이 라이다 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간(또는 기간 T) 내에 완료될 수 있도록 선택된다. 이미터 펄스들 사이의 시간(이는 레이저 사이클, 또는 더 일반적으로는 이미터 펄스 주파수를 규정한다)은 선택될 수도 있거나 또는 그렇지 않으면 라이다 시스템에 대한 원하는 이미징 거리 범위에 대응할 수도 있다. 예를 들어, 일부 실시예들에서, 리프레시 레이트는 레이저 사이클 또는 기간 Tlaser당 1회일 수도 있다. 일부 실시예들에서, 리프레시 레이트는 레이저 반복 레이트 또는 기간 Tlaser보다 더 작을 수도 있다. 일부 실시예들에서, 리프레시 레이트는 레이저 반복 레이트와 동일할 수도 있다. 일부 실시예들에서, 리프레시 레이트는 레이저 반복 레이트의 얼마간의 정수배 R일 수도 있고, 여기서 R 레이저 사이클에서 1에 대해, 시스템은 모든 빈들을 판독, 수정, 및 기입할 수도 있고, 다른 R-1 사이클에서 시스템은 빈 시간에 광자가 존재한 경우에만 단지 빈들을 판독, 수정, 및 기입할 것이다. R의 값은 전력을 절약하기 위해 타이밍 시스템에 의해 또는 온도의 함수로서 조정될 수 있다(여기서 더 높은 온도들에서 더 빈번한 리프레시 동작들이 요구될 수도 있다).
도 4a는 3T 구성에서 이득 셀 DRAM을 사용하여 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 n x k 비트 DRAM 어레이(303a)를 구현하는 예시적인 메모리 디바이스를 예시한다. 일부 실시예들이 NMOS 이득 셀 DRAM 구성들을 참조하여 본 명세서에 예시되어 있지만, PMOS 이득 셀 DRAM 구성들이 본 발명에 따라 유사하게 사용될 수도 있다는 것이 이해될 것이다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 빈들(0 내지 n-1)의 각각의 DRAM 셀(400a)(0 내지 k-1)은 3개의 트랜지스터(401, 402, 403)를 포함한다. 제1 및 제2 트랜지스터들(401 및 402)은 출력 라인 또는 비트 라인 bo<0: k-1>에 직렬 연결되고, 제3 트랜지스터(403)는, 저장 노드로서 작용하는 제1 트랜지스터(401)의 게이트와 입력 라인 bi<0: k-1> 사이에 연결된다. 판독 신호 Rd<0: n-1>이 제2 트랜지스터(402)의 게이트에 제어 신호를 제공하고, 기입 신호 Wr<0: n-1>이 제3 트랜지스터(403)의 게이트에 제어 신호를 제공한다. 빈(0 내지 n-1)의 셀들로부터 데이터가 판독되어야 할 때, 판독 신호 Rd<0:n-1>이 어서트되고, 대응하는 비트 라인들 bo<0: k-1>을 통해 데이터가 판독된다. 판독 동작 동안, 비트라인들 bo<0: k-1>은 프리차지 판독 전압 Prechargeb로 프리차지된다. 데이터가 기입되어야 할 때, 기입 신호 Wr<0:n-1>이 어서트되고 입력 라인들 bi<0: k-1>로부터의 데이터가 대응하는 DRAM 셀들(400a)에 저장된다. 이 로직 상태는 새로운 기입 동작이 개시될 때까지 주기적 리프레시 동작들을 통해 유지된다.
도 4b는 1T1C DRAM 셀들(400b)을 사용하여 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 n x k 비트 DRAM 어레이(303b)를 구현하는 예시적인 메모리 디바이스를 예시한다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 빈들(0 내지 n-1)의 각각의 DRAM 셀(0 내지 k-1)은, 단일 트랜지스터(407)(이는 액세스 트랜지스터로서 기능한다) 및 단일 커패시터(404)(이는 저장 노드로서 기능한다), 그리고 커패시터(404) 상에 저장된 값을 증분 또는 리프레시하기 위한 감지 증폭기 하드웨어(406)를 포함한다.
본 명세서에서 설명되는 DRAM 기반 픽셀들에 대한 증분 및 리프레시 동작들 각각은 프리차지-판독-수정-기입(PRMW) 동작을 포함할 수도 있고, 여기서 주어진 메모리 빈 0 내지 n-1의 현재 내용들이 (검출 이벤트들의 존재 또는 부존재에 따라) 판독, 증분 또는 리프레시되고, 개개의 메모리 빈에 다시 기입된다. 저장 노드 상의 전압의 보유 시간은, 각각의 DRAM 셀(400a, 400b)에 대한 저장된 로직 상태를 유지하기 위해 요구되는 최대 리프레시 기간을 결정할 수 있다. 일부 실시예들에서, 리프레시 동작을 완료하는 시간은, 메모리 어레이(303)의 각각의 DRAM 셀(400a, 400b)이 라이다 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간에 리프레시될 수도 있도록 한 것일 수도 있다; 그러나, 리프레시 동작들을 수행하는 것의 기간 또는 주파수는, 예를 들어, 온도에 따라 변할 수 있는, DRAM 셀들(400a, 400b)의 누설(본 명세서에서 보유 시간과 관련하여 또한 언급됨)에 의존한다는 것이 이해될 것이다. 온도에 따른 누설의 변화를 예시하는 예시적인 시뮬레이션이 도 9의 플롯에 도시되어 있고, 여기서 누설(메모리 전압의 강하로 표시됨)은 온도(플로팅된 라인들로 도시됨)가 증가함에 따라 더 신속하게 발생한다. 이와 같이, 리프레시 동작들이 이미터 신호의 사이클 Tlaser당 1회 수행되는 것으로 주로 본 명세서에서 설명되었지만, 리프레시 동작들은 일부 실시예들에서 더 또는 덜 빈번하게(예를 들어, 이미터 신호의 매 2회의 사이클(2Tlaser)마다 1회), 또는 그렇지 않으면 동작 조건들 하에서 DRAM 셀들의 누설 요건들을 충족시키기 위해 필요한 만큼 수행될 수도 있다는 것이 이해될 것이다.
도 5a는 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 증분 및 리프레시 동작들을 수행하도록 구성되는 예시적인 회로(500a)를 예시한다. 특히, 도 5a는 이미터 사이클에서 검출기 픽셀의 활성화의 윈도우 동안(예를 들어, 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간 동안) 검출 이벤트의 존재 또는 부존재에 응답하여, 도 4a의 DRAM 어레이(303a)의 예시적인 로우 또는 빈(Row i로서 도시됨)에 대한 증분 또는 리프레시 동작들을 수행하도록 구성되는 k-비트 선형 피드백 시프트 레지스터(LFSR) PRMW 및 리프레시 로직 회로(500a)를 포함하는 예시적인 실시예를 예시한다. LFSR은, 입력 비트가 이전 상태의 선형 함수인 시프트 레지스터이다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 증분 동작에서, 신호 Increment는 검출 이벤트의 존재(예를 들어, 검출기 픽셀의 출력이 '하이(high)'일 때)에 응답하여 어서트되고, 메모리 빈(빈 또는 Row i로서 도시됨)의 DRAM 셀(400a)에 저장된 비트들이 XNOR(또는 XOR) LFSR 루프 피드백을 사용하여 1만큼 순방향으로 시프트된다. 특히, 도 5a의 회로에서, 가장 좌측의 DRAM 셀(400a)에 대한 입력 비트(예를 들어, 빈 i의 최하위 비트(least significant bit))가 최상위 비트(most significant bit) 라인 bo<k-1> 상의 값, 및 하나 이상의 비트 라인 bo<fb1>, bo<fb2> 상의 값들의 XNOR에 의해 구동된다. 그에 의해, 각각의 DRAM 셀(400a)에 저장된 값은 Increment 신호에 응답하여 그의 우측 상의 DRAM 셀(400a)로 시프트된다. 리프레시 동작에서, Refresh 신호는 검출 이벤트의 부존재(예를 들어, 검출기 픽셀의 출력이 '로우(low)'일 때)에 응답하여 어서트되고, 메모리 빈의 각각의 DRAM 셀(400a)에 저장된 비트들이 그 자신의 입력에 피드백된다. 즉, j = 1 내지 스트로브 사이클들(예를 들어, 스트로브 윈도우 Strobe<x>의 사이클들 또는 반복들)의 수의 경우, 그리고 빈 i = 0 내지 n-1(순차적으로)의 경우, 검출 이벤트(예를 들어, 입사 광자)가 식별되거나 또는 사이클 j에 존재하는 경우, 그러면 (스트로브 윈도우 동안 도달 시간에 대응하는) 적절한 빈 i에 저장된 값이 증분된다. 검출 이벤트가 식별되지 않거나 또는 사이클 j에 부존재하는 경우, (더 높은 리프레시 레이트들의 경우, 즉, 매 R(≤1)회의 사이클마다 리프레시 동작들이 수행되는 경우) 빈 i에 저장된 값이 리프레시될 수도 있거나 또는 (더 낮은 리프레시 레이트들의 경우, 즉, 매 R(>1)회의 사이클마다 리프레시 동작들이 수행되는 경우) 그 사이클 j에 대해 어떠한 액션도 취해지지 않을 수도 있다.
도 5b는 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 증분 및 리프레시 동작들을 수행하도록 구성되는 예시적인 회로(500b)를 예시한다. 특히, 도 5b는 N개의 검출기 요소(510)(예를 들어, SPAD)의 어레이로부터 입력들을 수신하는 가산기 기반 픽셀을 포함하는 예시적인 실시예를 예시한다. 도 5b의 실시예는, 샘플러 회로(502)(에지 샘플러들로서 도시됨), 병렬 카운터 회로(504)(병렬 카운터로서 도시됨) 래치 회로들(506)(k개의 래치로 도시됨), 및 가산기 회로(507)(k-비트 가산기로서 도시됨)의 로직 구현들을 포함하는데, 이들은 도 4a의 DRAM 어레이(303a)의 예시적인 로우 또는 빈(Row i로서 도시됨)에 대한 증분 또는 리프레시 동작들을 수행하도록 구성된다. 도 5b의 예에서, N개의 SPAD(510)는 스트로브 사이클 j에서 빈 i = 0 내지 n-1에 대한 각각의 빈 시간에 샘플링된다. 각각의 빈 시간에, 점화된 SPAD들(510)의 수(SPAD<N-1:0>의 적어도 하나의 상승 에지에 의해 표시됨)는 병렬 카운터(504)에 의해 CorrQ<N-1:0>(샘플러(502)로부터의 출력)의 상태를 합산함으로써 결정되어 합산 워드 S<log2(N)-1:0>을 생성한다. 그 후에, 이 합산은 DRAM 어레이의 빈 i의 bo<k-1:0>으로부터 판독된 워드에 가산되어, Wr 신호의 제어 하에서 3상태 기입 드라이버들에 의해 DRAM 워드 I(즉, Row i)에 다시 기입되는 업데이트된 히스토그램 워드 sum<k-1:0>을 생성한다.
도 6은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 증분 및 리프레시 동작들을 수행하기 위한 프리차지, 판독, 수정(예를 들어, 증분 또는 리프레시), 및 기입 동작들을 위한 예시적인 타이밍 다이어그램(600)을 예시한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 출력 라인 bo<0: k-1>에 프리차지 신호 Prechargeb가 인가된다. 그 후에, 신호 Rd가 '하이' 상태로 천이하는 것에 응답하여 판독 라인 Rd<0:n-1>이 인에이블되고, 데이터가 판독된다. 그 후에, 신호 Wr이 '하이' 상태로 천이하는 것에 응답하여 기입 라인 Wr<0:n-1>이 인에이블되고, 셀이 증분 또는 리프레시된다. 프리차지, 판독, 증분/리프레시, 및 기입 동작들은 각각의 메모리 셀에서의 저장된 값의 누설을 방지하기에 충분한 시간 내에 완료될 수도 있다. 도 6의 예에서, Tlaser의 기간(예를 들어, 약 400미터의 이미징 거리 범위에 대응하는, 대략 수 마이크로초 또는 수 나노초)을 갖는 이미터 사이클 내에서 다수의 증분 또는 리프레시 동작들이 수행될 수도 있고, 여기서 각각의 프리차지, 판독, 증분/리프레시, 및 기입 동작들은 시간 Tintegrate(예를 들어, 대략 수 나노초) 내에 완료된다. 따라서, 증분 또는 리프레시 동작들의 수는 Tlaser/Tintegrate로서 표현될 수도 있다. 도 6의 예에서, 개개의 스트로브 윈도우가 이미터 신호의 각각의 펄스 사이의 시간에 측정되는 실시예들에 대해, 약 수백 개의 DRAM 셀이 각각의 스트로브 윈도우에 대해 증분 또는 리프레시될 수 있다.
도 7은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 예시적인 샘플링 회로(702) 및 증분/리프레시 회로(712)를 예시한다. 도 7에 도시된 바와 같이, 샘플러 회로(702)는, 적어도 하나의 검출 이벤트(예를 들어, SPAD로부터 출력된 검출 신호에 기초하여 광자의 검출을 표시함)가 클록 사이클 Gclk 동안 발생하였는지를 결정하도록 구성되는 로직 회로들(708)(D-플립플롭들로서 예시됨)의 구성을 포함한다. 검출 이벤트가 발생한(예를 들어, 검출 신호 "Photon"이 '하이'인) 경우, 증분/리프레시 회로(712)는 신호 Wr(도 6에 도시됨)이 '하이' 상태로 천이하는 것에 응답하여 Increment 신호를 출력하고, LFSR 회로(예를 들어, 도 5a에 도시된 회로(500a))는 증분 동작을 수행하기 위해 순방향으로 클로킹된다. 어떠한 검출 이벤트도 발생하지 않은(예를 들어, 검출 신호 "Photon"이 '로우'인) 경우, 증분/리프레시 회로(712)는 신호 Wr이 '하이' 상태로 천이하는 것에 응답하여 Refresh 신호를 출력하고, LFSR 회로는 리프레시 동작을 수행하기 위해 역방향으로 클로킹된다.
도 8은 본 개시내용의 일부 실시예들에 따른 증분 및 리프레시 동작들을 수행하기 위해 (빈들 i = 0 내지 n-1)에 대한 기입 신호 Wr<i> 및 판독 신호 Rd<i>(로직 회로들(812w 및 812r) 각각에 의해 구현됨)를 어서트하거나 또는 인에이블시키기 위한 신호들을 생성하기 위한 예시적인 타이밍 다이어그램(800)을 예시한다. 도 8의 예에서 보여지는 바와 같이, 단일 광자 검출기들의 어레이의 경우, 각각의 메모리 빈 i의 개개의 비트들을 저장하는 DRAM 셀들이 이미터 신호(Laser)의 펄스들 사이의 시간(또는 기간 Tlaser) 동안 액세스되고 증분 또는 리프레시(도 8의 "Access<0:z-1>" 동작들로서 예시됨)될 수 있다. 즉, 한 사이클에서 리프레시될 수 있는 어레이의 빈들(및 빈당 비트들)의 수는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간에 의해 제한될 수도 있다. 그의 결정론적 동작으로 인해(여기서 각각의 전류 값은 그의 이전 상태에 의해 결정된다), 일부 실시예들에서 LFSR 회로(예컨대, 도 5a에 도시된 회로(500a))는 각각의 증분/리프레시 동작에 대해 필요한 시간을 감소 또는 최소화시키는 데 사용될 수도 있다. 각각의 증분/리프레시 동작에 대해 요구된 시간을 감소시키면 더 많은 증분/리프레시 동작들이 (예를 들어, 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간 내에) 수행되게 하여, 따라서 (충분한 표면적이 DRAM 어레이에 대해 이용가능하다고 가정하여) 저장될 수 있는 DRAM 비트들의 총 수를 증가시킬 수도 있다.
여전히 도 8의 예를 참조하면, 각각의 빈이 직렬로 또는 순차적으로(즉, 한 번에 하나의 빈) 액세스되지만, 반드시 임의의 특정 순서로 액세스되지는 않는다. 일부 실시예들에서, 증분 또는 리프레시 동작들은, 롤링-셔터 스킴(rolling-shutter scheme)에서의 독출을 이용하여, 각각의 로우/빈 0 내지 n-1에 대해 순차적으로 수행될 수 있다. 도 8의 예에서, 이미터 신호 Laser의 펄스들 사이(이는, 상기의 예에서 언급된 바와 같이, Tlaser의 기간을 가질 수도 있다)에서 수행되는 z개의 액세스 동작(Access<0> 내지 Access<z-1>)이 있을 수도 있다. 각각의 액세스 동작 Access<i>는 Tintegrate의 시간 지속기간(Tlaser/z개의 액세스 동작)을 요구할 수도 있고, 도 6을 참조하여 상기에 논의된 프리차지, 판독, 증분/리프레시, 및 기입 동작들을 포함할 수도 있다. (예를 들어, 도 5a에 도시된 LFSR(500a)를 사용하는) 일부 실시예들에서, 각각의 액세스 동작 Access<i>에 대한 지속기간은, 판독 및 기입 동작들이 병렬로 수행될 수도 있으므로, 비트 깊이와 무관할 수도 있다. (예를 들어, 직렬 캐리 체인을 갖는 이진 ALU를 사용하는) 다른 실시예들에서, 각각의 액세스 동작 Access<i>에 대한 지속기간은 비트 깊이에 기초하여 변할 수도 있다(지속기간은, 예를 들어, 정착시키기 위한 더 많은 수의 게이트들로 인해, 빈 n당 비트들의 수 k에 따라 증가할 수도 있다).
이와 같이, 본 명세서에서 설명되는 일부 실시예들은 섭씨 약 -40도 내지 약 +125도의 온도 범위에 걸친 각각의 메모리 셀에 대한 기간 Tlaser(예를 들어, 400m 레이저 시스템의 경우)와 유사한 누설 또는 보유 시간에 기초하여, 이미터 사이클당 최대 Tlaser/Tintegrate개의 빈에 대해 증분/리프레시 동작들을 수행하는 것을 가능하게 하여, ToF 추정을 위한 충분한 분해능보다 더 많이 제공할 수도 있다. 그러나, 상기에 언급된 바와 같이, 메모리 셀들의 누설 또는 보유 시간이 더 큰 경우, 리프레시 동작들의 빈도가 감소될 수 있다(예를 들어, 2.6㎲의 누설 또는 보유 시간을 갖는 메모리 셀들의 경우, 334개의 빈이 매 2회의 레이저 사이클마다 1회 리프레시될 수도 있거나, 또는 668개의 빈이 사용될 수도 있다). 즉, 보유 시간은 고도로 프로세스 의존적일 수도 있고, 보유 시간이 레이저 기간 Tlaser보다 더 긴 경우, 리프레시 동작들이 덜 빈번하게 수행되어, 전력을 절약할 수도 있다.
일부 실시예들에서, 본 명세서에서 설명되는 리프레시 동작들은, 예를 들어, 심지어 더 높은 온도들에서도, 메모리 셀들의 보유 시간들이 기간 Tlaser와 유사할 수도 있으므로, 레이저 사이클당 1회 수행될 수도 있다. 예를 들어, 리프레시 동작은 증분 동작(예를 들어, 레이저 사이클당 1회)을 수행한 후에, 예를 들어, 노출의 종료 시에, LFSR 코드로부터 레이저 사이클들의 알려진 수를 감산함으로써 구현될 수도 있다. 레이저 사이클 또는 기간 Tlaser는 최대 또는 다른 원하는 LIDAR 이미징 거리 범위에 대응하도록 선택될 수도 있다.
본 개시내용의 실시예들의 일부 이점들은, (예를 들어, 단지 단일 타입의 트랜지스터(예를 들어, N-웰들이 없는 NMOS 트랜지스터들)만을 사용함으로써) 더 콤팩트한 레이아웃, 그리고 더 낮은 비트라인 커패시턴스(예를 들어, 셀당 하나의 드레인 확산, 이는 각각의 셀의 단지 하나의 트랜지스터만이 비트 라인에 커플링될 수도 있기 때문이다)를 포함할 수도 있는데, 이는 더 낮은 전력 요건들 및 더 빠른 PRMW 사이클들(예를 들어, SRAM에 비해 DRAM에 대한 액세스 라인들의 수의 절반, 이는 SRAM이 한 쌍의 비트 라인들을 요구할 수도 있기 때문이다)을 가능하게 할 수 있다. 또한, 더 작은 픽셀 구현들(예를 들어, 10mm 미만의 하나 이상의 치수를 가짐)이, 예를 들어, 짧은 범위의 적용예들(예를 들어, 약 3m 이하의 거리 범위를 갖는 실내 적용예들)의 경우, 높은 비트 깊이(예를 들어, 18비트)를 갖는 iToF에 대해 더 적은 빈들(예를 들어, 4개의 빈)로 가능해질 수도 있다. 그러한 실내 또는 다른 짧은 범위의 적용예들은 더 짧은 범위의 거리(그리고 따라서, 이미터 신호의 더 작은 기간)로 인해 더 짧은 시간 지속기간에 그리고/또는 더 높은 주파수에서 본 명세서에서 설명되는 바와 같은 증분/리프레시 동작들을 완료할 필요가 있을 수도 있다. 일부 실시예들은 iToF 픽셀과 동일한 면적에서 작은 픽셀 피치를 갖는 짧은 범위의 직접 ToF 픽셀들을 가능하게 할 수도 있다. 또한, 디지털 Vdd에서 Rd 및 Wr의 더 낮은 구동 커패시턴스는 빈 클록들(Gclk)의 더 낮은 전력, 더 높은 주파수(예를 들어, 대략 수백 MHz)의 전역 구동을 가능하게 할 수도 있다. 예를 들어, 더 높은 주파수의 전역 클록들 Gclk는 실내의 짧은 범위의 ToF에 대해 요구될 수도 있지만, 저전력 소비로 큰 어레이에 걸쳐 그러한 주파수들을 달성하기 위해 이들 클록들 Gclk의 로딩을 낮게 유지할 필요가 있을 수도 있다. DRAM은 Rd 또는 Wr에 의해 단지 단일 트랜지스터만이 구동되므로 이 능력을 제공할 수도 있다. 전력 소비 요건들은, 종종 배터리 전력공급되고 휴대용인 실내 ToF 시스템들의 경우 더 낮을 수도 있다.
본 개시내용의 일부 실시예들은 (기존의 팹 지원된(fab-supported) 것보다는 오히려) 커스텀의 이득 셀 DRAM 레이아웃을 요구할 수도 있지만, 단일 트랜지스터 타입(예를 들어, NMOS 전용)의 사용은 SRAM 셀 레이아웃들과 비교하여 (예를 들어, PMOS 트랜지스터들의 부존재의 이용으로 인해) 더 콤팩트한 구현들을 가능하게 할 수도 있다. 본 개시내용의 실시예들은 순차 또는 롤링 셔터 타입 독출(여기서 한 번에 하나의 로우 또는 빈이 독출된다)을 이용할 수도 있어서, 증분 또는 리프레시 동작들이, 저장 노드의 보유 시간보다 더 긴 시간 지속기간(예를 들어, 대략 수 밀리초)을 요구할 수도 있는 독출 동작들 동안 계속될 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 실시예들에서 리프레시 레이트는 DRAM 셀들이 누설되지 않는다는 것을 보장하기에 충분하도록 선택되고, 동작 조건들(예를 들어, 동작 온도들)에 의존적일 수도 있다. 상기에 언급된 바와 같이, 리프레시 동작들이 이미터 사이클당 1회 수행되는 실시예들에서, 최대 약 2.667㎲의 리프레시 시간이 최대 약 125℃의 동작 온도들에 대해 충분할 수도 있다. 또한, 본 명세서에서 설명되는 실시예들은 (예를 들어, 룩업 테이블들 및 연관된 소프트웨어 동작들을 사용하여) LFSR 코드를 이진으로 오프칩 디코딩하는 것을 수반할 수도 있는데, 이는 부가적인 전력 및/또는 디바이스 면적의 관점에서 오버헤드를 요구할 수도 있다.
본 명세서에서 설명되는 바와 같은 메모리 디바이스들에서 사용될 수도 있는 DRAM 구조체들과 같은 메모리 구조체들의 추가 실시예들은 다음의 것을 포함할 수도 있지만, 이에 제한되지 않는다. 일부 실시예들에서, 검출기 요소들(예를 들어, SPAD들) 사이의 광학적-전기적 격리 구조체들이 딥-트렌치 격리(deep-trench isolation)로서 구현된다. 일부 실시예들에서, 메모리 구조체들은 검출기 어레이의 검출기 요소들과는 별개의 웨이퍼 상에 위치되고, 그 후에 별개의 웨이퍼 상의 검출기 어레이 및 그 별개의 웨이퍼 상의 메모리 구조체들은, 예를 들어, 픽셀 내 범프 본드들을 사용하여, 전기적으로 상호연결된다.
일부 실시예들에서, 메모리 구조체들은, 예를 들어 도 10에 도시된 바와 같은, 트렌치 커패시터들로서 구현된다. 특히, 도 10은 기판(1000)에서의 액세스 트랜지스터들(1001) 및 저장 커패시터 구조체들(1004)을 포함하는 n x k DRAM 어레이(1003)의 구현을 예시한다. 저장 커패시터 구조체들(1004)은, 액세스 트랜지스터들(1001) 사이의 트렌치들(1004d)에서의 전도성 층들(1004c)(예를 들어, 폴리실리콘) 및 유전체 층들(1004d)을 포함한다. 일부 실시예들에서, DRAM 구조체들은 트렌치 커패시터들을 생성하고, 예를 들어, DRAM 구조체들의 면들 상에 충분히 불투명한 코팅 층을 퇴적시킴으로써, 이들 커패시터들이 이들의 주변들로부터 충분히 광학적으로 격리된다는 것을 보장함으로써 형성된다.
일부 실시예들에서, 메모리 구조체들은 메모리 디바이스 및 검출기 요소들이 동일한 웨이퍼 또는 기판에 대해 네이티브이도록 검출기 웨이퍼 상에 형성된다. 일부 실시예들에서, DRAM 구조체들은 또한 SPAD 구조체들 사이에 (예를 들어, 트렌치 커패시터들로서 구현될 때) 광학적 및/또는 전기적 배리어를 형성하여, 따라서 핫 캐리어 재조합에 의해 생성된 것들과 같은 광자들에 대한 광학적 배리어들로서 그리고 메모리 구조체들로서 양쪽으로 DRAM 구조체들을 사용함으로써 다이의 면적을 감소시켜, 광학 크로스토크 영향들을 잠재적으로 감소시킨다. 본 개시내용의 실시예들에 따라 사용될 수도 있는 이득 셀 DRAM 구조체들의 다른 변형들은 발행물(P. Meinerzhagen, et al., "Gain-Cell Embedded DRAMs for Low-Power VLSI Systems-on-Chip", Basel, Switzerland:Springer, 2018)에 설명된 것들을 포함할 수도 있고, 그 개시내용은 본 명세서에 참조로 포함된다.
본 명세서에서 설명되는 라이다 시스템들 및 어레이들은 ADAS(Advanced Driver Assistance Systems), 자율 차량들, UAV(unmanned aerial vehicle)들, 산업 자동화, 로봇 공학, 생체 인식, 모델링, 증강 및 가상 현실, 3D 매핑, 및 보안에 적용될 수도 있다. 일부 실시예들에서, 이미터 어레이의 이미터 요소들은 수직 캐비티 표면 방출 레이저(VCSEL)들일 수도 있다. 일부 실시예들에서, 이미터 어레이는, 예를 들어, 2018년 4월 12일자로 미국 특허청에 출원된, Burroughs 등의 미국 특허 출원 공개 제2018/0301872호에 설명된 바와 같이, 직렬로 그리고/또는 병렬로 전기적으로 연결된 수천 개의 개별 이미터 요소를 상부에 갖는 비-네이티브 기판을 포함할 수도 있는데, 이때 드라이버 회로는, 이미터 어레이의 개개의 로우들 및/또는 컬럼들에 인접한 비-네이티브 기판 상에 집적된 드라이버 트랜지스터들에 의해 구현되고, 이 미국 특허 출원 공개의 개시내용은 본 명세서에 참조로 포함된다.
예시적인 실시예들이 도시된 첨부 도면들을 참조하여 다양한 실시예들이 본 명세서에서 설명되었다. 그러나, 이들 실시예들은 상이한 형태들로 구체화될 수도 있고 본 명세서에 제시된 실시예들로 제한되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 오히려, 이들 실시예들은 본 개시내용이 철저하고 완전해지도록, 그리고 본 기술분야의 통상의 기술자들에게 본 발명의 개념을 충분히 전달하도록 제공된다. 본 명세서에서 설명되는 일반적인 원리들 및 피처들 그리고 예시적인 실시예들에 대한 다양한 수정들이 쉽게 명백해질 것이다. 도면들에서, 층들 및 영역들의 사이즈들 및 상대적 사이즈들은 축척대로 도시되지 않으며, 일부 경우들에서는 명확성을 위해 과장될 수도 있다.
예시적인 실시예들은 특정 구현들에서 제공되는 특정 방법들 및 디바이스들의 관점에서 주로 설명된다. 그러나, 방법들 및 디바이스들은 다른 구현들에서 효과적으로 동작할 수도 있다. "예시적인 실시예", "하나의 실시예" 및 "다른 실시예"와 같은 어구들은 동일한 또는 상이한 실시예들뿐만 아니라 다수의 실시예들을 지칭할 수도 있다. 실시예들은 특정 컴포넌트들을 갖는 시스템들 및/또는 디바이스들과 관련하여 설명될 것이다. 그러나, 시스템들 및/또는 디바이스들은, 도시된 것들보다 더 적거나 또는 부가적인 컴포넌트들을 포함할 수도 있고, 컴포넌트들의 배열 및 타입에 있어서의 변형들은 본 발명의 개념들의 범주로부터 벗어남이 없이 이루어질 수도 있다.
예시적인 실시예들은 특정 단계들 또는 동작들을 갖는 특정 방법들의 맥락에서 설명될 수도 있다. 그러나, 방법들 및 디바이스들은, 예시적인 실시예들과 일관되지 않는 상이한 순서들의 단계들/동작들 및 상이한 그리고/또는 부가적인 단계들/동작들을 갖는 다른 방법들에 대해 효과적으로 동작할 수도 있다. 따라서, 본 발명의 개념들은 도시된 실시예들로 제한되도록 의도된 것이 아니라, 본 명세서에서 설명되는 원리들 및 피처들과 일관되는 가장 넓은 범주를 부여받게 하려는 것이다.
본 명세서에서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예들을 설명할 목적을 위한 것이며 예시적인 실시예들을 제한하려는 것으로 의도되지 않는다. 본 명세서에서 사용되는 바와 같이, 문맥상 명확히 달리 나타내지 않는 한, 단수형들 "a", "an" 및 "the"는 복수형들도 또한 포함하도록 의도된다. 본 명세서에서 사용되는 바와 같이, "포함하는(comprising)" 또는 "포함하다(comprises)"라는 용어는 개방형이고, 하나 이상의 언급되지 않은 요소, 단계 및/또는 기능을 배제하는 일 없이 하나 이상의 언급된 요소, 단계 및/또는 기능을 포함한다는 것이 또한 이해될 것이다. "및/또는"이라는 용어는 연관된 리스팅된 아이템들 중 하나 이상의 아이템의 임의의 그리고 모든 조합들을 포함한다.
제1(first), 제2(second) 등의 용어들이 본 명세서에서 다양한 요소들을 설명하기 위해 사용될 수도 있지만, 이들 요소들은 이들 용어들에 의해 제한되지 않아야 한다는 것이 이해될 것이다. 이들 용어들은 하나의 요소를 다른 요소와 구별하기 위해서만 단지 사용된다. 따라서, 아래에 논의되는 제1 요소는 본 발명의 개념들의 범주로부터 벗어남이 없이 제2 요소로 칭해질 수 있다.
한 요소가 다른 요소에 "연결된" 또는 "커플링된" 것으로 지칭될 때, 그것은 다른 요소에 직접 연결 또는 커플링될 수 있거나, 또는 개재된 요소(intervening element)들이 존재할 수도 있다는 것이 또한 이해될 것이다. 이와 대조적으로, 한 요소가 다른 요소에 "직접 연결된" 또는 "직접 커플링된" 것으로 지칭될 때, 개재된 요소들이 존재하지 않는다.
달리 규정되지 않는 한, 본 명세서에서 사용되는 (기술적 및 과학적 용어들을 포함하는) 모든 용어들은 본 발명의 개념이 속하는 본 기술분야의 통상의 기술자에 의해 통상적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 통상적으로 사용되는 사전들에 규정된 것들과 같은 용어들은 관련 기술의 맥락에서 이들의 의미와 일관된 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 본 명세서에서 명백히 이와 같이 규정되지 않는 한 이상화된 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않을 것이라는 것이 추가로 이해될 것이다.
많은 상이한 실시예들이 상기의 설명 및 도면들과 관련하여 본 명세서에 개시되었다. 이들 실시예들의 모든 조합 및 서브 조합을 문자 그대로 설명 및 예시하는 것은 과도하게 반복적이고 난해할 것이라는 것이 이해될 것이다. 이에 따라, 도면들을 포함하는 본 명세서는, 본 명세서에서 설명되는 실시예들의 모든 조합들 및 서브 조합들, 그리고 이들을 만들고 사용하는 방식 및 프로세스의 완전한 서면 설명을 구성하는 것으로 해석되어야 하고, 임의의 그러한 조합 또는 서브 조합에 대한 청구범위를 지지해야 한다.
도면들 및 명세서에는, 본 개시내용의 실시예들이 개시되었고, 특정 용어들이 채용되지만, 이들은 단지 일반적이고 설명적인 의미로만 사용되고 제한의 목적들을 위한 것이 아니며, 본 발명의 범주는 다음의 청구범위에 제시된다.

Claims (30)

  1. 광 검출 및 거리 측정(Light Detection and Ranging)(LIDAR) 검출기 회로로서,
    개개의 메모리 빈(memory bin)들에 데이터를 저장하도록 구성되는 비일시적 저장 매체를 포함하는 메모리 디바이스; 및
    적어도 하나의 제어 회로
    를 포함하고,
    상기 적어도 하나의 제어 회로는:
    하나 이상의 광검출기 요소(photodetector element)로부터 검출 신호들을 수신하고;
    LIDAR 이미터 요소(emitter element)로부터 출력되는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 상기 검출 신호들이 검출 이벤트들의 존재를 표시하는 것에 응답하여 상기 개개의 메모리 빈들에서의 데이터를 업데이트하기 위해 제1 메모리 동작을 실행하고;
    상기 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 상기 검출 신호들이 상기 검출 이벤트들의 부존재를 표시하는 것에 응답하여 상기 개개의 메모리 빈들에서의 데이터를 업데이트하기 위해 제2 메모리 동작을 실행하도록
    구성되는, LIDAR 검출기 회로.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 메모리 동작은 증분 동작(increment operation)을 포함하고, 상기 제2 메모리 동작은 리프레시 동작을 포함하는, LIDAR 검출기 회로.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제어 회로는 상기 이미터 신호의 펄스들의 주파수보다 더 크거나 또는 더 작은 주파수에서 상기 리프레시 동작을 실행하도록 구성되고, 임의로 상기 리프레시 동작의 주파수는 온도 의존적인, LIDAR 검출기 회로.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제어 회로는, 상기 증분 동작 또는 상기 리프레시 동작을 수행하도록 구성되는 로직 기반 카운터 회로를 포함하는, LIDAR 검출기 회로.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 카운터 회로는, 복수의 직렬로 연결된 가산기 회로들을 포함하는, LIDAR 검출기 회로.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 카운터 회로는, 선형 피드백 루프를 사용하여 상기 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 순방향으로 시프트시킴으로써 상기 증분 동작을 실행하도록 구성되는 선형 피드백 시프트 레지스터를 포함하는, LIDAR 검출기 회로.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 선형 피드백 시프트 레지스터는 상기 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 이들의 적어도 하나의 입력에 피드백시킴으로써 상기 리프레시 동작을 실행하도록 구성되는, LIDAR 검출기 회로.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 메모리 디바이스의 개개의 메모리 빈들에 저장된 데이터를 업데이트하기 위한 상기 증분 동작 또는 상기 리프레시 동작은 상기 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간 내에 완료되는, LIDAR 검출기 회로.
  9. 제2항 또는 제8항에 있어서,
    상기 증분 또는 리프레시 동작들은 상기 개개의 메모리 빈들에 대해 순차적으로 수행되는, LIDAR 검출기 회로.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 메모리 디바이스는, 상기 개개의 메모리 빈들을 규정하는 동적 랜덤 액세스 메모리(dynamic random access memory)(DRAM) 셀들의 개개의 로우(row)들 또는 컬럼(column)들을 포함하는 메모리 어레이이고, 상기 적어도 하나의 제어 회로는 상기 개개의 로우들 또는 컬럼들에 순차적으로 인가되는 판독 신호에 응답하여 독출 신호(readout signal)를 출력하도록 추가로 구성되는, LIDAR 검출기 회로.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 하나 이상의 광검출기 요소 및 상기 메모리 디바이스는, 동일한 웨이퍼에 대해 네이티브(native)이거나 또는 개개의 웨이퍼들 상에 제공되고 전기적으로 상호연결되는 복수의 광검출기 요소들 및 상기 DRAM 셀들을 포함하는, LIDAR 검출기 회로.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 DRAM 셀들은 상기 광검출기 요소들 사이의 개개의 트렌치들에 제공되고 상기 광검출기 요소들 중 인접한 것들 사이의 광학적 및/또는 전기적 배리어들을 규정하는, LIDAR 검출기 회로.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 독출 신호는 카운트 신호 및/또는 시간 적분 신호를 포함하고, 상기 적어도 하나의 제어 회로는 상기 독출 신호에 기초하여 상기 광검출기 요소들 상에 입사되는 광자들의 추정된 도달 시간을 계산하도록 구성되는, LIDAR 검출기 회로.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분은 개개의 거리 서브 범위에 대응하고, 상기 개개의 메모리 빈들은, 상기 개개의 거리 서브 범위에 대응하는 히스토그램 데이터를 포함하는, LIDAR 검출기 회로.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 광검출기 요소들은 단일 광자 애벌란시 검출기(single-photon avalanche detector)(SPAD)들을 포함하고, 상기 히스토그램 데이터는, 상기 개개의 거리 서브 범위에 대응하는 검출 신호들에 의해 표시되는 광자 카운트들을 포함하는, LIDAR 검출기 회로.
  16. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제어 회로는, 상기 이미터 신호의 펄스들 사이에서 상이하게 딜레이되는 개개의 검출 윈도우들에 대해 상기 하나 이상의 광검출기 요소를 활성화시키는 개개의 스트로브 신호들을 송신하도록 구성되는, LIDAR 검출기 회로.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 개개의 검출 윈도우들은 개개의 거리 서브 범위들에 대응하고, 상기 적어도 하나의 제어 회로는 상기 개개의 거리 서브 범위들을 통해 순차적으로 사이클링하도록 상기 하나 이상의 광검출기 요소를 활성화시키기 위해 상기 개개의 스트로브 신호들을 송신하도록 구성되는, LIDAR 검출기 회로.
  18. 광 검출 및 거리 측정(LIDAR) 검출기 회로로서,
    LIDAR 검출기 픽셀을 규정하는 하나 이상의 광검출기 요소;
    개개의 메모리 빈들에 데이터를 저장하도록 구성되는 비일시적 저장 매체를 포함하는 메모리 디바이스; 및
    적어도 하나의 프로세서 회로
    를 포함하고,
    상기 적어도 하나의 프로세서 회로는 상기 하나 이상의 광검출기 요소로부터 검출 신호들을 수신하고, LIDAR 이미터 요소로부터 출력되는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 상기 검출 신호들에 의해 표시되는 검출 이벤트들의 부존재를 식별하고, 상기 검출 이벤트들의 부존재의 식별에 응답하여 상기 개개의 메모리 빈들에서의 데이터를 업데이트하기 위해 메모리 동작을 실행하도록 구성되는, LIDAR 검출기 회로.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 메모리 동작은 리프레시 동작이고, 상기 적어도 하나의 프로세서 회로는 상기 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 상기 검출 신호들에 의해 표시되는 검출 이벤트들의 존재를 식별하고, 상기 검출 이벤트들의 존재의 식별에 응답하여 상기 개개의 메모리 빈들에서의 데이터를 업데이트하기 위해 증분 동작을 실행하도록 추가로 구성되는, LIDAR 검출기 회로.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 프로세서 회로는 상기 이미터 신호의 펄스들의 주파수보다 더 크거나 또는 더 작은 주파수에서 리프레시 동작을 실행하도록 구성되고, 임의로 상기 리프레시 동작의 주파수는 온도 의존적인, LIDAR 검출기 회로.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 프로세서 회로는, 선형 피드백 루프를 사용하여 상기 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 순방향으로 시프트시킴으로써 상기 증분 동작을 실행하도록 구성되고, 상기 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 이들의 적어도 하나의 입력에 피드백시킴으로써 상기 리프레시 동작을 실행하도록 구성되는 선형 피드백 시프트 레지스터를 포함하는, LIDAR 검출기 회로.
  22. 제19항에 있어서,
    상기 메모리 디바이스의 개개의 메모리 빈들에 저장된 데이터를 업데이트하기 위한 상기 증분 동작 또는 상기 리프레시 동작은 상기 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간 내에 완료되는, LIDAR 검출기 회로.
  23. 제19항에 있어서,
    상기 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분은 개개의 거리 서브 범위에 대응하고, 상기 개개의 메모리 빈들은, 상기 개개의 거리 서브 범위에 대응하는 히스토그램 데이터를 포함하고, 상기 히스토그램 데이터는, 상기 검출 신호들에 의해 표시되는 광자 카운트들을 포함하고, 상기 메모리 디바이스는, 상기 개개의 메모리 빈들을 규정하는 동적 랜덤 액세스 메모리(DRAM) 셀들을 포함하는, LIDAR 검출기 회로.
  24. 광 검출 및 거리 측정(LIDAR) 검출기 회로를 동작시키는 방법으로서,
    하나 이상의 광검출기 요소로부터 검출 신호들을 수신하는 단계;
    LIDAR 이미터 요소로부터 출력되는 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간의 부분 동안 상기 검출 신호들에 의해 표시되는 검출 이벤트들의 존재 또는 부존재를 식별하는 단계; 및
    상기 검출 이벤트들의 존재 또는 부존재 각각의 식별에 응답하여 비일시적 저장 매체를 포함하는 메모리 디바이스의 개개의 메모리 빈들에 저장된 데이터를 업데이트하기 위해 제1 메모리 동작 또는 제2 메모리 동작 중 하나를 실행하는 단계
    를 포함하는, 방법.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 제1 메모리 동작은 증분 동작을 포함하고, 상기 제2 메모리 동작은 리프레시 동작을 포함하는, 방법.
  26. 제25항에 있어서,
    상기 리프레시 동작을 실행하는 것은, 상기 이미터 신호의 펄스들의 주파수보다 더 크거나 또는 더 작은 주파수에서 상기 리프레시 동작을 실행하는 것을 포함하고, 임의로 상기 리프레시 동작의 주파수는 온도 의존적인, 방법.
  27. 제25항에 있어서,
    상기 증분 동작을 실행하는 것은, 선형 피드백 시프트 레지스터의 선형 피드백 루프를 사용하여 상기 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 순방향으로 시프트시키는 것을 포함하는, 방법.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 리프레시 동작을 실행하는 것은, 상기 개개의 메모리 빈들에 저장된 비트들을 상기 선형 피드백 시프트 레지스터의 적어도 하나의 입력에 피드백시키는 것을 포함하는, 방법.
  29. 제25항에 있어서,
    상기 메모리 디바이스의 개개의 메모리 빈들에 저장된 데이터를 업데이트하기 위해 상기 증분 동작 또는 상기 리프레시 동작 중 하나를 실행하는 것은, 상기 이미터 신호의 펄스들 사이의 시간 내에 완료되는, 방법.
  30. LIDAR 시스템으로서,
    상기 LIDAR 시스템은 제1항 내지 제23항 중 어느 한 항의 LIDAR 검출기 회로를 포함하고,
    상기 LIDAR 시스템은 상기 LIDAR 이미터 요소 및 상기 하나 이상의 광검출기 요소가 자율 차량의 의도된 이동 방향에 대해 배향되도록 상기 자율 차량에 커플링되도록 구성되는, LIDAR 시스템.
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