KR20220170203A - 점착척 및 그 제조방법 - Google Patents
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- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims abstract description 153
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims abstract description 152
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 63
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims abstract description 62
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 31
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 12
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 8
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical compound CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 22
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract description 12
- 230000001788 irregular Effects 0.000 abstract description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 abstract 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 30
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 239000006121 base glass Substances 0.000 description 7
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- -1 dimethylsiloxane, methylphenylsiloxane Chemical class 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002156 adsorbate Substances 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N triethylenediamine Chemical compound C1CN2CCN1CC2 IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 238000007647 flexography Methods 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- NYMPGSQKHIOWIO-UHFFFAOYSA-N hydroxy(diphenyl)silicon Chemical class C=1C=CC=CC=1[Si](O)C1=CC=CC=C1 NYMPGSQKHIOWIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJIDOLBZYSCZRX-UHFFFAOYSA-N hydroxymethyl prop-2-enoate Chemical compound OCOC(=O)C=C GJIDOLBZYSCZRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000006259 organic additive Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 1
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004073 vulcanization Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1313—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells specially adapted for a particular application
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133308—Support structures for LCD panels, e.g. frames or bezels
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
본 발명은 평판 라미네이션 공정과 불규칙한 3D 형상의 라미네이션을 모두 안정적으로 수행할 수 있는 점착척에 관한 것으로서, 금속 재질의 베이스 플레이트 상에 외부에서 가해지는 압력의 증감에 의해 부풀거나 수축이 가능한 고탄성의 고무 탄성체와 이 고무 탄성체의 표면상에 피흡착물과의 접촉시 표면장력을 발생시켜 점착성을 제공하는 점착패턴을 형성한 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 분자간 인력을 이용하여 기판을 점착하는 점착척(Adhesive Chuck) 에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판 형태의 흡착물을 고무 탄성체를 이용해 척킹할 수 있는 구조를 가진 고무 탄성체 다이아프램 타입 점착척 및 그 제조방법에 관한 것이다.
정보화 사회의 발전에 따라, LCD(Liquid Crystal Display Device), OLED(Organic Light Emitting Device), PDP(Plasma Panel Display Device) 등과 같은 여러 가지 평판표시장치들이 새로운 영상 표시장치로 주목받고 있다. 이러한 평판표시장치들은 일반적으로 유리 등의 재질로 이루어진 기판 상에 증착공정, 노광공정, 식각공정과 같은 여러 가지 공정을 반복적으로 수행하여 수㎛의 미세한 선폭을 가지는 패턴들을 형성하여 완성된다. 이때, 상기 패턴들의 선폭은 수㎛에 불과하기 때문에, 전 기판 상에 균일하게 패턴을 형성하기 위해서는 공정이 수행되는 동안 기판을 척킹(Chucking)하여 고정하거나 합착, 가압, 이동시키는 것이 중요하다.
이렇게 기판을 척킹하여 고정하는 방법으로는 진공력을 이용한 진공흡착방법 또는 정전기력을 이용하는 정전척이 널리 사용되고 있으나, 진공흡착방법은 제조공정이 진공의 환경에서 수행될 경우에는 진공력으로 기판을 고정할 수 없고, 정전척은 최근 기판의 대형화에 따라 큰 사이즈의 정전척을 제작하는 것이 어려워 매우 고가이고, 정전척의 표면에 정전기력을 발생시키는 폴리이미드 필름이 공정 중 발생한 파티클에 의하여 쉽게 손상되는 문제점이 있다.
이러한 종래의 기판 고정 수단이 갖고 있는 문제점을 해결하기 위해 기판을 부착하기 위한 점착층을 이용하는 점착척(adhesive chuck)이 제안되었다. 일반적인 점착척은 점착 패드, 점착 시트 또는 점착 고무 등을 기재 상에 점착시켜서 고정하고, 고정된 점착 패드 등의 타면에 기판을 위치시켜 기판을 지지한다.
척의 표면에 점착특성을 가지는 물질(점착층)을 형성시키는 기술은 특허문헌 1(대한민국 등록특허공보 제 10-1317790 호)에 개시되어 있고, 단일 원판 척 위에 여러 개의 점착고무를 위치시키는 기술은 특허문헌 2(대한민국 등록특허공보 제 10-0855461 호)에 개시되어 있다.
특허문헌 1의 방법은 2세대 이상의 대면적 기판용 척을 제작하는 경우 단일 원판 척으로의 제작이 어렵고, 특허문헌 2의 방법은 전체 점착척 표면에서의 평탄도 관리가 어렵고, 기판 합착시 전체 면적에 대하여 균일한 압력이 분포되지 못한다.
따라서, 특허문헌 3(대한민국 등록특허공보 제 10-1550833 호)은 피흡착물과 접촉 가능한 비점착부를 구비하여 적정 흡착력을 제공하고 기판 합착시 전체 면적에 대하여 균일한 압력을 가할 수 있는 구조를 가진 고무 점착식 첨착척을 개시한다.
상기 특허문헌 1 내지 특허문헌 3의 점착척은 기판이 평탄(Flat) 하다는 조건에서는 우수한 척킹력을 나타내고 있으나 기판에 굴곡이 있는 경우에는 안정적인 척킹에 어려움을 드러낸다. 즉, 기판이 3D 구조처럼 플렉서블하거나 벤더블하게 되는 경우는 라미네이션 고정에서 전체 면적을 고르게 눌러주는 것이 불가능하게 된다. 이에 따라 평판(Flat) 라미네이션 공정과 3D(Flexible) 형상의 라미네이션을 분리해야 하므로 적용장비의 증가 및 생산성 저하의 문제점이 발생하게 된다.
따라서, 본 발명은 평판 라미네이션 공정과 불규칙한 3D 형상의 라미네이션을 모두 안정적으로 수행할 수 있는 점착척과 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제 1 양태에 따른 평판 및 굴곡 형태의 피흡착물을 점착력을 이용하여 흡착하기 위한 점착척은, 금속재질의 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 적어도 하나 이상의 비도포면을 포함하도록 도포되는 접착층; 상기 접착층을 매개로 상기 베이스 플레이트 상에 고정 접착되어 외부에서 가해지는 압력의 증감에 의해 부풀거나 수축이 가능한 고탄성의 고무 탄성체; 및 상기 고무 탄성체의 상기 비도포면 위에 배치되어 상기 피흡착물과의 접촉시 표면장력을 발생시켜 점착성을 제공하는 점착패턴을 포함하고; 에어가 상기 비도포면에 공급됨에 따라 비도포면과 마주하는 고무탄성체의 점착패턴이 탄성에 의해 부풀어 오르고, 에어가 사라짐에 따라 늘어났던 상기 고무탄성체의 점착패턴이 탄성복원력에 의해 원래대로 수축되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 제 2 양태에 따른 점착척에 있어서, 상기 점착패턴은 점착성이 존재하지 않는 적어도 하나 이상의 비점착부를 포함한다.
본 발명의 다른 제 3 양태에 따른 점착척에 있어서, 상기 점착패턴은 중심부의 비점착부를 경계로 서로 대칭되게 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 제 4 양태에 따른 점착척에 있어서, 상기 점착패턴을 형성하기 위한 점착물질로는 이소부텐과 이소프렌으로 구성된 부틸계나, 아크릴계, 실리콘계, 불소수지계 또는 우레탄계 등의 고무재질인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 제 5 양태에 따른 점착척에 있어서, 상기 고무 탄성체의 탄성계수는 20 ~ 80 kgf/cm2인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 제 6 양태에 따른 점착척에 있어서, 상기 고무 탄성체는 쇼어 경도 기준 40 ~ 70 범위에 속하고 표면 점착력이 0.5 kgf/cm2 이하인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 제 7 양태에 따른 점착척에 있어서, 상기 고무 탄성체는 디메틸 실록산 결합을 기본으로 하여 이루어진다.
본 발명의 다른 제 8 양태에 따른 점착척에 있어서, 상기 베이스 플레이트에 형성된 에어 홀을 통하여 상기 고무 탄성체에 에어가 공급됨에 따라 상기 고무 탄성체의 비도포면 부분이 부풀거나 수축되도록 압력이 가해지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 제 9 양태에 따른 평판 및 굴곡 형태의 피흡착물을 점착력을 이용하여 흡착하기 위한 점착척의 제조방법은, (a) 금속 재질의 베이스 플레이트를 준비하는 단계; (b) 상기 베이스 플레이트의 표면에 액상 접착제를 도포하되, 상기 액상 접착제가 도포되지 않는 적어도 하나 이상의 에어 윈도우를 포함할 수 있도록 특정 부위에 소정 패턴으로 도포하는 단계; 및 (c) 상기 액상 접착제가 도포된 베이스 플레이트의 표면 위에 디메틸 실록산 결합을 기본으로 하여 배합된 고무를 접합시키는 것에 의해 고무 탄성체를 형성하는 단계; 및 (d) 상기 고무 탄성체의 상기 에어 윈도우에 대응되는 표면에 피흡착물과의 접촉시 표면장력을 발생시켜 점착성을 제공하는 적어도 하나 이상의 점착패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 또 다른 제 10 양태에 따른 점착척의 제조방법에 있어서, 상기 점착패턴은 점착성이 존재하지 않는 적어도 하나 이상의 비점착부를 포함한다.
본 발명의 또 다른 제 11 양태에 따른 점착척의 제조방법에 있어서, 상기 점착패턴은 중심부의 비점착부를 경계로 서로 대칭되게 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 금속 플레이트의 표면이 고무 탄성체로 구성되어 평탄한 기판은 물론 굴곡이 있는 플렉서블 기판, 폴더블 기판, 벤더블 기판 등의 피흡착물도 파손 없이 안정적으로 척킹하여 라미네이션 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술되는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 팽창전 단면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 팽창후 단면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 베이스 플레이트의 분리 단면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 변형예에 따른 점착척의 평면도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척을 이용하여 피흡착물을 라미네이션하는 공정도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 제조 공정도이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 팽창전 단면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 팽창후 단면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 베이스 플레이트의 분리 단면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 변형예에 따른 점착척의 평면도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척을 이용하여 피흡착물을 라미네이션하는 공정도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 제조 공정도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 또한, 본 발명의 도면과 명세서에서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다. 첨부된 도면은 축척에 의하여 도시되지 않았으며, 각 도면의 동일한 참조 번호는 동일한 구성 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 팽창전 단면도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 팽창후 단면도이며, 도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 베이스 플레이트의 분리 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 점착척(10)은 베이스 플레이트(Base plate)(20)와, 이 베이스 플레이트(20)의 일면에 접착제(21)를 매개로 고정 접착되는 고무탄성체(30)를 포함한다. 상기 접착제(21)는 베이스 플레이트(Base plate)(20)와, 고무탄성체(30)의 모든 접합면에 도포되는 것이 아니고 적어도 한 곳 이상에 접착제(21)가 도포되지 않은 비도포면(27)을 포함한다. 이 비도포면(27)에서 베이스 플레이트(Base plate)(20)와, 고무탄성체(30)는 서로 접합되지 않은 상태로 존재한다.
상기 접착제(21)로는 메틸 이소부틸 케톤, 크실렌 및 에틸 벤젠 중 선택된 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물이 채용 가능하다.
상기 베이스 플레이트(20)의 내부에는 외부로부터 에어(air)를 주입받기 위한 에어 홀(25)과 이 에어 홀(25)로부터 주입된 에어를 상기 비도포면(27)으로 이동시켜 공급하기 위한 에어 공급로(26)가 설치된다.
따라서, 상기 에어 홀(25)로 주입된 가압 공기가 상기 비도포면(27)에 공급됨에 따라 비도포면(27)과 마주하는 고무탄성체(30) 부분이 도 2와 같이 탄성에 의해 늘어나면서 부풀어 오르게 된다. 또한, 베이스 플레이트(20)의 내부로 주입된 에어가 사라짐에 따라 늘어났던 상기 고무탄성체(30) 부분은 탄성복원력에 의해 원래대로 수축하게 된다. 이하에서는, 상기 비도포면(27)을 고무 탄성체를 팽창시키거나 수축시키기 위하여 에어가 출입하는 창이라는 기능적 측면을 강조하기 위하여 에어 윈도우(27)로 명명한다.
상기 베이스 플레이트(20)는 예를 들어, 디스플레이 패널용 글라스 기판의 척킹에 요구되는 대면적, 고강도의 구현이 가능하도록 금속재질, 바람직하게는 알루미늄이나 스테인레스강으로 구성되는 것이 바람직하지만 이들 재료에 특별히 한정되는 것은 아니다. 도 3을 참조하면, 상기 베이스 플레이트(20)는 베이스부(22)와, 이 베이스부(22)로부터 볼록하게 융기되어 상기 고무탄성체(30)를 안정적으로 안착하여 접착시키기 위한 접착부(23) 및 고무탄성체(30)의 양 끝단을 베이스 플레이트(20)에 끼워서 고정시키기 위한 끼움고정홈(24)으로 이루어질 수 있다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 점착척의 평면도이고, 도 5는 본 발명의 다른 변형예에 따른 점착척의 평면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 베이스 플레이트(20)의 일면에 고정 접착되는 고무탄성체(30)의 상면에는 적어도 하나 이상의 점착패턴(40)이 형성된다. 이 점착패턴(40)은 피흡착물과의 접촉시 표면장력을 발생시켜 점착성을 제공하는 점착물질로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 점착패턴(40)은 도 4 및 도 5와 같이 다양한 모양의 패턴으로 형성될 수 있지만, 점착패턴(40)에는 상기 점착물질에 의한 점착성이 존재하지 않는 적어도 하나 이상의 비점착부(45)를 포함할 수 있다. 보다 바람직하게, 상기 점착패턴(40)의 중심부에 상기 점착물질에 의한 점착성이 존재하지 않는 비점착부(45)가 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 점착패턴(40)은 상기 비점착부(45)를 중심으로 좌우에 서로 대칭되는 패턴을 갖는 것이 바람직하다.
상기 점착패턴(40)중 패턴 형성된 점착층만이 기판의 흡착에 기여하므로, 중심부에 상기 비점착부(45)를 배치함으로써 점착력에 의해 부착된 기판을 탈착할 시 좀더 용이한 탈착이 가능하다.
상기 점착패턴(40)을 형성하기 위한 점착물질로는 이소부텐과 이소프렌으로 구성된 부틸계나, 아크릴계, 실리콘계, 불소수지계 또는 우레탄계 등의 고무재질이 채용될 수 있으나 이들 재료에 한정되는 것은 아니다. 실리콘계 점착 물질로는 폴리오르가노실록산계 고분자 1종 혹은 다종의 혼합물을 사용하며 폴리오르가노실록산계 고분자는 디메틸실록산, 메틸페닐실록산, 디페닐실록산과 가교를 위해 비닐디메틸실록산, 비닐페닐메틸실록산, 비닐메틸실록산 중 1종 혹은 다종의 혼합물과 백금을 포함하는 금속으로 구성된 촉매로 구성된다. 아크릴계 점착물질로는, 부틸아크릴레이트와 에틸아크릴레이트가 주요 기재로써 약 20 ~ 60% 비율로 사용되며, 점도를 낮게 하기 위해서는 메틸메타아크릴레이트가 5~20% 정도의 비율로 사용될 수 있고, 점도를 높게 하기 위해서는 하이드록시메틸아크릴레이트가 사용될 수 있다. 우레탄계 점착물질로는 유기 폴리이소시아네이트와 폴리올을 반응하여 얻고, 이와 같은 반응물에 트리에틸렌 디아민, 라우릴산 디부틸 등의 촉매를 추가적으로 포함할 수 있다.
또한, 상기 점착물질에는 점착력의 조절에 필요한 유동특성을 얻기 위해 무기첨가제인 황산바륨이 첨가될 수 있다. 대안으로, 점착물질에는 유기첨가제 및/또는 오일 성분이 혼입될 수도 있다.
상기 점착물질은 가황공정을 거쳐서 가교가 이루어짐으로써 원하는 점착력과 탄성이 부여된다. 통상의 디스플레이 패널용 글라스 기판의 척킹에 요구되는 조건을 고려할 때, 상기 점착물질은 가교 완료 후의 쇼어 경도(Shore Hardness )가 20 이상 80 미만인 것이 바람직하고, 디스플레이 패널용 글라스 기판의 원활한 탈착을 위해 점착물질의 표면조도(Ra)는 0.5~2.0㎛인 것이 바람직하다. 또한, 상기 점착패턴(40)의 표면에는 글라스 기판과의 원활한 탈착을 위하여 돌기 구조물이 부가될 수 있다. 상기 돌기 구조물의 형태나 개수는 다양하게 변형 가능하다.
상기 점착패턴(40)은 원하는 모양의 패턴에 대응되도록 고무탄성체(30)의 표면 일부를 마스킹 한 다음에 슬릿 코팅, 오프세트(off-set) 프린팅, 노즐 프린팅, 스크린 프린팅, 스프레이 코팅, 그라비아 프린팅, 플렉소그라피, 잉크젯 프린팅 등의 후막 형성 공정 중에서 선택된 하나를 이용하여 점착물질을 도포하고, 이를 고화 또는 경화 처리하여 패턴 형태의 점착층을 형성할 수 있다.
상기 고무 탄성체(30)는 실록산 결합을 기본으로 하여 이루어지고 외부에서 가해지는 압력의 증감에 의해 부풀거나 수축이 가능하다. 특히, 고무 탄성체(30)는 안정적 유전특성을 제공하기 위해 실리콘과 산소의 주요 결합으로 이루어진 디메틸 실록산 결합을 기본으로 하여 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 고무 탄성체(30)의 탄성계수는 20 ~ 80 kgf/cm2인 것이 바람직하다. 탄성계수의 수치범위가 20 ~ 80 kgf/cm2 를 만족할 경우 부풀거나 수축했을 때 형상을 유지하면서도 3D 형태의 피흡착물과의 접촉시 고무 탄성체(30)의 형태가 변형되면서 빈틈없는 긴밀한 접촉이 이루어질 수 있다. 이때, 고무 탄성체(30)는 쇼어 경도 기준 40 ~ 70 범위에 속하고 표면 점착력이 0.5 kgf/cm2 이하인 것이 바람직하다.
도 6 및 도 7에는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고무 탄성체 다이아프램 타입 점착척에 의해 라미네이션 공정이 수행되는 예가 도시되어 있다.
도 6에서 베이스 플레이트(20)의 에어 홀(25)을 통해 에어 압력을 공급하고 상,하 점착척(10)에 각각 커버 글라스(1')와 베이스 글라스(5')를 흡착한 상태에서 그 사이의 멀티층(6)을 서로 가압 밀착시켜서 적층 구조물에 대한 라미네이션 공정을 수행한다. 특히, 상,하 점착척(10)의 표면에 위치한 고탄성의 고무 탄성체(30)는 에어 홀(25)을 통해 공기가 가압됨에 따라 에어 윈도우(27) 부분이 부풀어 오르면서 해당 부분에 패턴 형성되어 있는 점착패턴(40)이 3D 형상의 커버 글라스(1')와 베이스 글라스(5')의 표면에 각각 밀착되어 눌리면서 형태가 변형되어 긴밀히 점착된다. 그리고, 베이스 플레이트(20)에 공급되는 에어를 제거하게 되면 고무 탄성체(30)의 에어 윈도우(27) 부분이 원래의 형상으로 수축하게 되고, 3D 형상의 커버 글라스(1')와 베이스 글라스(5')는 고무 탄성체(30)의 점착패턴(40)으로부터 탈착하게 된다. 이때, 점착패턴(40)의 중심부에 위치하고 있는 비점착부(45)로 인해 3D 형상의 커버 글라스(1')와 베이스 글라스(5')는 고무 탄성체(30)의 점착패턴(40)으로부터 좀더 쉽게 떨어질 수 있다.
상기 커버 글라스(1')와 베이스 글라스(5')로는 평탄한 형태의 글라스는 물론 3D 형태의 글라스가 사용될 수 있으며, 단단한 글라스(Rigid Glass) 또는 유연한(Flexible) 글라스, 유연한(Flexible) 필름 등이 사용된다. 또한, 커버 글라스(1')와 베이스 글라스(5')의 사이에는 여러가지 박판들이 적층된 멀티층(6)이 개재될 수 있다. 터치판넬용의 경우, 멀티층(6)은 터치판넬판(4)을 중심으로 상,하부에 금속판 등으로 이루어진 소정의 박판(3)이 배치되고 이들을 합착하기 위해 중간 중간에 투명한 광학접착필름인 OCA 필름(2)을 포함한다.
커버 글라스(1'), 멀티층(6) 및 베이스 글라스(5')으로 이루어진 적층 구조물에 대한 라미네이션 공정이 완료되어 적층 구조물 내부의 기포가 제거된 후에는 도 7에 도시된 바와 같이 상,하 점착척(10)이 적층 구조물에서 분리되고 적층 구조물은 상,하 점착척(10) 사이의 공간에서 취출된다.
도 8에는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 점착척의 제조방법이 도시되어 있다.
도 8의 (a)에 도시된 바와 같이 금속재질의 베이스 플레이트(20)를 준비한 후, 도 8의 (b)와 같이 베이스 플레이트(20)의 표면에 액상 접착제(21)를 정해진 패턴으로 도포하는 공정을 수행한다. 이때, 액상 접착제(21)는 베이스 플레이트(20) 표면 전체에 도포되는 것이 아니라 적어도 하나 이상의 에어 윈도우(27)를 포함할 수 있도록 특정 부위에 소정 패턴으로 불규칙적으로 형성될 수 있다.
액상 접착제(21)를 도포한 후에는 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이 베이스 플레이트(20)의 표면 위에 디메틸 실록산 결합을 기본으로 하여 배합된 고무를 올려 놓고 가열 없이 압력만을 가하여 누름으로써 고무 탄성체(30)를 접합한다. 이후, 정해진 온도와 압력을 가하여 고무 탄성체(30)와 액상 접착제(21)를 동시에 경화하여 베이스 플레이트(20)에 고무 탄성체(30)를 액상 접합하여 일체화시킨다.
고무 탄성체(30)를 형성한 후에는 도 8의 (d)에 도시된 바와 같이 고무 탄성체(30)의 표면에 정해진 패턴의 점착패턴(40)를 형성한다. 이때, 점착패턴(40)은 중심부의 비점착부(45)에 대해 서로 대칭적으로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 점착패턴(40)은 상기 적어도 하나 이상의 에어 윈도우(27)에 대응되는 부위에 배치되도록 형성되어야 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 점착척은 베이스 플레이트(20)의 외부면이 고무 탄성체(30)로 구성되어 평탄한 기판은 물론 굴곡이 있는 피흡착물도 파손 없이 안정적으로 척킹하여 라미네이션 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
10 : 점착척, 20 : 베이스 플레이트, 21 : 접착제, 22 : 베이스부, 23 : 접착부, 24 : 끼움고정홈, 25 : 에어홀, 26 : 에어 공급로, 27 : 에어 윈도우, 30 : 고무 탄성체, 40 : 점착패턴, 45 : 비점착부
Claims (11)
- 평판 및 굴곡 형태의 피흡착물을 점착력을 이용하여 흡착하기 위한 점착척에 있어서,
금속재질의 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트 상에 적어도 하나 이상의 비도포면을 포함하도록 도포되는 접착층;
상기 접착층을 매개로 상기 베이스 플레이트 상에 고정 접착되어 외부에서 가해지는 압력의 증감에 의해 부풀거나 수축이 가능한 고탄성의 고무 탄성체; 및
상기 고무 탄성체의 상기 비도포면 위에 배치되어 상기 피흡착물과의 접촉시 표면장력을 발생시켜 점착성을 제공하는 점착패턴을 포함하고;
에어가 상기 비도포면에 공급됨에 따라 비도포면과 마주하는 고무탄성체의 점착패턴이 탄성에 의해 부풀어 오르고, 에어가 사라짐에 따라 늘어났던 상기 고무탄성체의 점착패턴이 탄성복원력에 의해 원래대로 수축되는 것을 특징으로 하는 점착척. - 제 1 항에 있어서,
상기 점착패턴은 점착성이 존재하지 않는 적어도 하나 이상의 비점착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착척. - 제 2 항에 있어서,
상기 점착패턴은 중심부의 비점착부를 경계로 서로 대칭되게 형성되는 것을 특징으로 하는 점착척. - 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 점착패턴을 형성하기 위한 점착물질로는 이소부텐과 이소프렌으로 구성된 부틸계나, 아크릴계, 실리콘계, 불소수지계 또는 우레탄계 등의 고무재질인 것을 특징으로 하는 점착척. - 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 고무 탄성체의 탄성계수는 20 ~ 80 kgf/cm2인 것을 특징으로 하는 점착척. - 제 5 항에 있어서,
상기 고무 탄성체는 쇼어 경도 기준 40 ~ 70 범위에 속하고 표면 점착력이 0.5 kgf/cm2 이하인 것을 특징으로 하는 점착척. - 제 6 항에 있어서,
상기 고무 탄성체는 디메틸 실록산 결합을 기본으로 하여 이루어진 것을 특징으로 하는 점착척. - 제 7 항에 있어서,
상기 베이스 플레이트에 형성된 에어 홀을 통하여 상기 고무 탄성체에 에어가 공급됨에 따라 상기 고무 탄성체의 비도포면 부분이 부풀거나 수축되도록 압력이 가해지는 것을 특징으로 하는 고무 탄성체 다이아프램 타입 점착척. - 평판 및 굴곡 형태의 피흡착물을 점착력을 이용하여 흡착하기 위한 점착척의 제조방법으로서,
(a) 금속 재질의 베이스 플레이트를 준비하는 단계;
(b) 상기 베이스 플레이트의 표면에 액상 접착제를 도포하되, 상기 액상 접착제가 도포되지 않는 적어도 하나 이상의 에어 윈도우를 포함할 수 있도록 특정 부위에 소정 패턴으로 도포하는 단계; 및
(c) 상기 액상 접착제가 도포된 베이스 플레이트의 표면 위에 디메틸 실록산 결합을 기본으로 하여 배합된 고무를 접합시키는 것에 의해 고무 탄성체를 형성하는 단계; 및
(d) 상기 고무 탄성체의 상기 에어 윈도우에 대응되는 표면에 피흡착물과의 접촉시 표면장력을 발생시켜 점착성을 제공하는 적어도 하나 이상의 점착패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착척의 제조방법. - 제 9 항에 있어서,
상기 점착패턴은 점착성이 존재하지 않는 적어도 하나 이상의 비점착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착척의 제조방법. - 제 10 항에 있어서,
상기 점착패턴은 중심부의 비점착부를 경계로 서로 대칭되게 형성되는 것을 특징으로 하는 점착척의 제조방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20220170203A true KR20220170203A (ko) | 2022-12-29 |
Family
ID=84539715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020210080959A KR20220170203A (ko) | 2021-06-22 | 2021-06-22 | 점착척 및 그 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20220170203A (ko) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100855461B1 (ko) | 2007-09-12 | 2008-09-01 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 점착척 및 이를 가진 기판합착장치 |
| KR101317790B1 (ko) | 2011-06-07 | 2013-10-15 | 주식회사 에스에프에이 | 점착척 및 그 제조방법 |
| KR101550833B1 (ko) | 2014-03-10 | 2015-09-07 | 이지스코 주식회사 | 고무 점착식 척킹기구 및 이를 구비한 기판 합착장치와 그 제조방법 |
-
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