KR20220147888A - Multilayer ceramic capacitor manufacturing method - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor. The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor comprises the steps of: forming a plurality of dielectric layers; forming internal electrode layers by applying an internal electrode paste to one surface of each of the plurality of dielectric layers; forming a green chip by stacking and compressing the plurality of dielectric layers so that the internal electrode layers cross each other; forming a fired chip by firing the green chip; and forming an external electrode at one end of one side or the other side of the fired chip to be connected to each of the internal electrode layers. The internal electrode paste is formed using metal powder, a ceramic co-material, an organic solvent, a binder and a dispersant, and the ceramic co-material is formed by using a material containing plate-shaped graphene or plate-shaped graphene oxide. Accordingly, a multilayer ceramic capacitor having a higher capacitance in the same volume can be manufactured.

Description

적층 세라믹 커패시터 제조방법{Multilayer ceramic capacitor manufacturing method}Multilayer ceramic capacitor manufacturing method

본 발명은 적층 세라믹 커패시터 제조방법에 관한 것으로, 특히 내부전극층을 제조하기 위해 사용되는 내부전극 페이스트에 포함되는 세라믹공재에 판상 그래핀이나 판상 산화 그래핀을 포함한 것을 사용함으로써 판상 그래핀이나 판상 산화 그래핀의 기계적인 강도에 의해 금속분말 등이 돌출되게 인쇄되는 것을 방지하여 내부전극층을 평탄하게 형성함에 의해 쇼트(short) 발생을 방지할 수 있는 적층 세라믹 커패시터 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, and in particular, plate-like graphene or plate-like graphene oxide by using a ceramic material containing plate-like graphene or plate-shaped graphene oxide as a ceramic material included in an internal electrode paste used for manufacturing an internal electrode layer. The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor capable of preventing a short circuit by forming an internal electrode layer flat by preventing metal powder from protruding due to mechanical strength of a pin.

적층 세라믹 커패시터(Multilayer ceramic capacitor)는 소형 및 고용량화를 위해 유전체층과 내부전극층의 두께를 각각 박층으로 한 후 다층으로 적층하는 기술이 개발되고 있다. 적층 세라믹 커패시터는 유전체층과 내부전극층의 두께를 각각 박층으로 제조하여 다층으로 적층하는 경우에 유전체층과 내부전극층간의 계면이 증가하는 등의 이유에 의해 층간 박리 현상(delamination)이나 크랙이 발생하기 용이하며, 이로 인해 쇼트(short) 불량이 발생할 수 있다. For multilayer ceramic capacitors, a technology of making a dielectric layer and an internal electrode layer thin, respectively, and then stacking them in multiple layers is being developed for miniaturization and high capacity. In multilayer ceramic capacitors, when the dielectric layer and the internal electrode layer are each manufactured as thin layers and stacked in multiple layers, delamination or cracks easily occur due to reasons such as an increase in the interface between the dielectric layer and the internal electrode layer. As a result, a short defect may occur.

적층 세라믹 커패시터의 소형 및 고용량화로 인하 층간 박리 현상이나 크랙의 발생으로 쇼트가 발생되는 것을 방지하기 위한 기술이 한국등록특허공보 제10-0800220호(특허문헌 1)에 공개되어 있다. 특허문헌 1은 적층형 세라믹 전자 부품의 제조 방법에 관한 것으로, 내부 전극층을 형성하기 위한 도전체 페이스트는 제1 공통재와 제2 공통재를 포함하여 구성된다. 제1 공통재는 적어도 도전체 입자와 세라믹 분말로 구성되며, 제1 공통재의 평균 입자경이, 도전체 입자의 평균 입자경의 1/20 내지 1/2의 크기가 사용된다. 제2 공통재는 세라믹 분말로 구성되며 제1 공통재보다 큰 평균 입자경을 갖으며, 제2 공통재의 평균 입자경이 소성 후의 내부전극층의 평균 두께의 1/10 내지 1/2의 크기인 도전체 페이스트를 사용한다. A technique for preventing short-circuit due to delamination or crack generation due to miniaturization and high-capacity multilayer ceramic capacitors is disclosed in Korean Patent No. 10-0800220 (Patent Document 1). Patent Document 1 relates to a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein a conductive paste for forming an internal electrode layer includes a first common material and a second common material. The first common material is composed of at least conductive particles and ceramic powder, and the average particle diameter of the first common material is 1/20 to 1/2 that of the average particle diameter of the conductive particles. The second common material is composed of ceramic powder and has a larger average particle diameter than the first common material, and the average particle diameter of the second common material is 1/10 to 1/2 of the average thickness of the internal electrode layer after firing. use.

특허문헌 1과 같은 종래의 적층 세라믹 커패시터의 내부전극층은 제1 공통재의 평균입경보다 크며 내부전극층의 평균 두께의 1/10 내지 1/2의 크기의 제2 공통재를 이용해 제조함으로써 소성 후 제2 공통재 즉, 세라믹 분말이 돌출되어 앵커 효과로 인해 내부 전극층과 유전체층 사이의 결합 강도를 높여 크랙의 발생(특히, 디라미네이션에 기인하는 크랙의 발생)을 유효하게 방지할 수 있다고 하나, 세라믹 분말이 유전체층으로 돌출되게 형성되는 경우에 내부전극층을 평평하게 형성할 수 없으며 돌출되는 세라믹 분말에 의해 도전체입자, 즉, 금속입자가 유전체층으로 돌출되게 형성될 수 있고 이러한 금속입자로 인해 쇼트 현상이 발생될 수 있는 문제점이 있다. The internal electrode layer of the conventional multilayer ceramic capacitor as in Patent Document 1 is larger than the average particle diameter of the first common material and manufactured using a second common material having a size of 1/10 to 1/2 of the average thickness of the internal electrode layer. The common material, that is, the ceramic powder protrudes and increases the bonding strength between the internal electrode layer and the dielectric layer due to the anchor effect, thereby effectively preventing the occurrence of cracks (especially, the occurrence of cracks due to delamination). When the dielectric layer is formed to protrude, the internal electrode layer cannot be formed flat, and the conductive particles, that is, metal particles, may be formed to protrude into the dielectric layer due to the protruding ceramic powder. There are possible problems.

특허문헌 1 : 한국등록특허공보 제10-0800220호Patent Document 1: Korean Patent Publication No. 10-0800220

본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 내부전극층을 제조하기 위해 사용되는 내부전극 페이스트에 포함되는 세라믹공재에 판상 그래핀이나 판상 산화 그래핀을 포함한 것을 사용함으로써 판상 그래핀이나 판상 산화 그래핀의 기계적인 강도에 의해 금속분말 등이 돌출되게 인쇄되는 것을 방지하여 내부전극층을 평탄하게 형성함에 의해 쇼트(short) 발생을 방지할 수 있는 적층 세라믹 커패시터 제조방법을 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, by using a ceramic material included in the internal electrode paste used for manufacturing the internal electrode layer containing plate-shaped graphene or plate-shaped graphene oxide plate-shaped graphene or plate-shaped oxide An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor capable of preventing a short circuit by forming an internal electrode layer flat by preventing metal powder from protruding due to the mechanical strength of graphene.

본 발명의 다른 목적은 내부전극 페이스트에 포함되는 세라믹공재에 판상 그래핀이나 판상 산화 그래핀을 포함한 것을 사용함으로써 판상 그래핀이나 판상 산화 그래핀의 기계적인 강도에 의해 금속분말 등이 돌출되게 인쇄되는 것을 방지하여 내부전극층을 평탄하게 형성함에 의해 쇼트 발생을 방지함에 의해 적층 세라믹 커패시터의 제품 신뢰성을 개선시킬 수 있으며 유전체층이나 내부전극층의 박형으로 제조가 가능함에 의해 적층수의 증가시켜 동일한 체적에 보다 높은 용량을 갖는 적층 세라믹 커패시터를 제조할 수 있는 적층 세라믹 커패시터 제조방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to use a ceramic material included in the internal electrode paste containing plate-shaped graphene or plate-shaped graphene oxide, so that metal powder, etc. is printed to protrude due to the mechanical strength of plate-shaped graphene or plate-shaped graphene oxide. The product reliability of the multilayer ceramic capacitor can be improved by preventing the occurrence of short circuit by forming the internal electrode layer flat by preventing An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor capable of manufacturing a multilayer ceramic capacitor having a capacity.

본 발명의 적층 세라믹 커패시터 제조방법은 다수개의 유전체층을 형성하는 단계와, 상기 다수개의 유전체층의 일면에 각각 내부전극 페이스트를 도포해 내부전극층을 형성하는 단계와, 상기 내부전극층이 서로 교차되게 다수개의 유전체층을 적층하고 압착하여 그린칩을 형성하는 단계와, 상기 그린칩을 소성하여 소성칩을 형성하는 단계와, 상기 소성칩의 일측이나 타측의 끝단에 각각 내부전극층과 연결되게 외부전극을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 내부전극 페이스트는 금속 분말, 세라믹공재, 유기용매, 바인더 및 분산제를 이용해 형성되며, 상기 세라믹공재는 판상 그래핀이나 판상 산화 그래핀이 포함하는 세라믹 공재재질을 이용해 형성되는 것을 특징으로 한다.The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention includes the steps of forming a plurality of dielectric layers, forming internal electrode layers by applying internal electrode paste to one surface of each of the plurality of dielectric layers, and forming a plurality of dielectric layers such that the internal electrode layers cross each other. forming a green chip by stacking and pressing the green chips, firing the green chip to form a fired chip, and forming an external electrode at one or the other end of the fired chip to be connected to the internal electrode layer, respectively. wherein the internal electrode paste is formed using metal powder, ceramic material, organic solvent, binder, and dispersant, and the ceramic material is formed using a ceramic material including plate-shaped graphene or plate-shaped graphene oxide. do.

본 발명의 적층 세라믹 커패시터 제조방법은 내부전극층을 제조하기 위해 사용되는 내부전극 페이스트에 포함되는 세라믹공재에 판상 그래핀이나 판상 산화 그래핀을 포함한 것을 사용함으로써 판상 그래핀이나 판상 산화 그래핀의 기계적인 강도에 의해 금속분말 등이 돌출되게 인쇄되는 것을 방지하여 내부전극층을 평탄하게 형성함에 의해 쇼트 발생을 방지할 수 있는 이점이 있고, 적층 세라믹 커패시터의 제품 신뢰성을 개선시킬 수 있는 이점이 있으며, 유전체층이나 내부전극층의 박형으로 제조가 가능함에 의해 적층수의 증가시켜 동일한 체적에 보다 높은 용량을 갖는 적층 세라믹 커패시터를 제조할 수 있는 이점이 있다. The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor of the present invention uses a ceramic material containing plate-shaped graphene or plate-shaped graphene oxide as a ceramic material included in an internal electrode paste used for manufacturing an internal electrode layer, thereby producing mechanical properties of plate-shaped graphene or plate-shaped graphene oxide. There is an advantage in that it is possible to prevent short circuit by forming the internal electrode layer flat by preventing metal powder from protruding due to strength, and there is an advantage in that it is possible to improve the product reliability of the multilayer ceramic capacitor, and the dielectric layer or the There is an advantage in that the multilayer ceramic capacitor having a higher capacity in the same volume can be manufactured by increasing the number of stacked layers by making the internal electrode layer thin.

도 1은 본 발명의 적층 세라믹 커패시터 제조방법의 공정 흐름도,
도 2는 도 1에 도시된 적층 세라믹 커패시터 제조방법에 의해 제조된 내부전극층의 사시도,
도 3은 도 1에 도시된 적층 세라믹 커패시터 제조방법에 의해 제조된 그린칩의 단면도,
도 4는 도 1에 도시된 적층 세라믹 커패시터 제조방법에 의해 제조된 외부전극의 형성된 소성칩의 단면도.
1 is a process flow diagram of a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention;
2 is a perspective view of an internal electrode layer manufactured by the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1;
3 is a cross-sectional view of a green chip manufactured by the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1;
FIG. 4 is a cross-sectional view of a fired chip having external electrodes manufactured by the method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1;

이하, 본 발명의 적층 세라믹 커패시터 제조방법의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2에서와 같이 본 발명의 적층 세라믹 커패시터 제조방법은 먼저, 다수개의 유전체층(111)을 형성하는 단계(S110)를 수행한다. 다수개의 유전체층(111)을 형성되면 다수개의 유전체층(111)의 일면에 각각 내부전극 페이스트를 도포해 내부전극층(112)을 형성하는 단계(S120)를 수행한다. 여기서, 내부전극 페이스트는 금속 분말, 세라믹공재, 유기용매, 바인더 및 분산제를 이용해 형성되며, 세라믹공재는 판상 그래핀(112a)이나 판상 산화 그래핀(112b)이 포함하는 세라믹 공재재질을 이용해 형성된다. 내부전극층(112)이 형성되면 내부전극층(112)이 서로 교차되게 다수개의 유전체층(111)을 적층하고 압착하여 그린칩(110a: 도 3에 도시됨)을 형성하는 단계(S130)를 수행한다. 그린칩(110a)이 형성되면 그린칩(110a)을 소성하여 소성칩(110: 도 4에 도시됨)을 형성하는 단계(S140)를 수행한다. 소성칩(110)이 형성되면 소성칩(110)의 일측이나 타측의 끝단에 각각 내부전극층(112)과 연결되게 외부전극(113,114)을 형성하는 단계(S150)를 수행한다. 1 and 2 , in the method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention, first, a step ( S110 ) of forming a plurality of dielectric layers 111 is performed. When the plurality of dielectric layers 111 are formed, the step of forming the internal electrode layers 112 by applying an internal electrode paste to one surface of the plurality of dielectric layers 111, respectively (S120) is performed. Here, the internal electrode paste is formed using a metal powder, a ceramic common material, an organic solvent, a binder, and a dispersing agent, and the ceramic common material is formed using a ceramic common material included in the plate-shaped graphene 112a or the plate-shaped graphene oxide 112b. . When the internal electrode layer 112 is formed, a step (S130) of forming a green chip 110a (shown in FIG. 3) by stacking and pressing a plurality of dielectric layers 111 so that the internal electrode layers 112 cross each other is performed. When the green chip 110a is formed, the green chip 110a is fired to form the fired chip 110 (shown in FIG. 4 ) ( S140 ). When the fired chip 110 is formed, the step of forming external electrodes 113 and 114 to be connected to the internal electrode layer 112 at one or the other end of the fired chip 110, respectively (S150) is performed.

본 발명의 적층 세라믹 커패시터 제조방법의 구체적인 실시예를 설명하면 다음과 같다.A specific embodiment of the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor of the present invention will be described as follows.

적층 세라믹 커패시터를 제조하기 위해 먼저, 도 1 및 도 2에서와 같이 그린시트(green sheet)인 다수개의 유전체층(111)을 형성하는 단계(S110)를 수행한다. 다수개의 유전체층(111)은 각각 평균입경(D50)이 80 내지 150㎚인 유전체 분말을 유기바인더로 사용되는 PVB(Polyvinyl Butyral)를 첨가하여 슬러리화 한 후 닥터 블레이드법을 이용하여 두께(T1)가 0.5 내지 1.0㎛가 되게 형성되고, 유전체 분말은 하소 분말과 희토류 글라스 프릿(rare earth glass frit)을 혼합하여 형성되며, 하소 분말은 BaTiO3 분말과 첨가제 분말을 혼합하고 분쇄한 후 600 내지 1200℃에서 하소하여 형성되며, 첨가제 분말은 MgO, Mn3O4, Cr2O3, Al2O3, CaCO3, ZrO2, Y2O3, Dy2O3 및 Yb2O3 중 일곱 개 이상이 선택되어 혼합되고, 희토류 글라스 프릿은 글라스 프릿에 희토류 산화물을 첨가하여 형성되며, 글라스 프릿은 BaO, CaO 및 SiO2가 사용되며, 희토류 산화물은 Y2O3, Dy2O3 및 Yb2O3 중 두 개 이상이 선택되어 혼합된다.In order to manufacture the multilayer ceramic capacitor, first, as shown in FIGS. 1 and 2 , a step ( S110 ) of forming a plurality of dielectric layers 111 , which are green sheets, is performed. The plurality of dielectric layers 111 are each slurried by adding a dielectric powder having an average particle diameter (D 50 ) of 80 to 150 nm and PVB (Polyvinyl Butyral) used as an organic binder, and then using a doctor blade method to obtain a thickness (T1) is formed to be 0.5 to 1.0 μm, the dielectric powder is formed by mixing calcined powder and rare earth glass frit, and the calcined powder is mixed with BaTiO 3 powder and additive powder and pulverized at 600 to 1200° C. Formed by calcination in MgO, Mn 3 O 4 , Cr 2 O 3 , Al 2 O 3 , CaCO 3 , ZrO 2 , Y 2 O 3 , Dy 2 O 3 and at least seven of Yb 2 O 3 is selected and mixed, rare-earth glass frit is formed by adding rare-earth oxide to the glass frit, BaO, CaO, and SiO 2 are used for the glass frit, and the rare-earth oxide is Y 2 O 3 , Dy 2 O 3 and Yb 2 O Two or more of the three are selected and mixed.

다수개의 유전체층(111)을 형성되면 도 1 및 도 2에서와 같이 다수개의 유전체층(111)의 일면에 각각 내부전극 페이스트를 도포해 내부전극층(112)을 형성하는 단계(S120)를 수행한다. 이와 같이 내부전극층(112)은 유전체층(111)의 일면에 내부전극 페이스트를 스크린 인쇄방법으로 인쇄하여 두께(T2)가 0.5 내지 1.2㎛가 되게 형성된다. When the plurality of dielectric layers 111 are formed, the step of forming the internal electrode layers 112 by applying internal electrode paste to one surface of the plurality of dielectric layers 111, respectively, as shown in FIGS. 1 and 2 (S120) is performed. As described above, the internal electrode layer 112 is formed to have a thickness T2 of 0.5 to 1.2 μm by printing the internal electrode paste on one surface of the dielectric layer 111 by a screen printing method.

내부전극 페이스트는 금속 분말, 세라믹공재, 유기용매, 바인더 및 분산제를 이용하고, 내부전극 페이스트는 판상 그래핀(112a)이나 판상 산화 그래핀(112b)이 고르게 펼쳐지게 점도를 5,000 내지 10,000cps(centi poise)가 되게 형성하며, 세라믹공재는 판상 그래핀(112a)이나 판상 산화 그래핀(112b)이 포함하는 세라믹 공재재질을 이용해 형성된다. 보다 구체적으로 내부전극 페이스트는 금속분말과 세라믹 공재가 포함된다. 내부전극 페이스트에 포함되는 금속분말은 평균입경(D50)이 100 내지 200㎚인 것이 사용되고, 세라믹 공재는 BaTiO3와 판상 그래핀(112a) 및 판상 산화 그래핀(112b) 중 하나 이상이 포함되며, BaTiO3는 평균입경(D50)이 30 내지 100㎚인 것이 사용된다. The internal electrode paste uses a metal powder, a ceramic material, an organic solvent, a binder and a dispersant, and the internal electrode paste has a viscosity of 5,000 to 10,000 cps (centi poise) so that the plate-shaped graphene 112a or the plate-shaped graphene oxide 112b is evenly spread. ), and the ceramic common material is formed using a ceramic common material included in the plate-shaped graphene 112a or the plate-shaped graphene oxide 112b. More specifically, the internal electrode paste includes a metal powder and a ceramic material. The metal powder included in the internal electrode paste has an average particle diameter (D 50 ) of 100 to 200 nm, and the ceramic material includes at least one of BaTiO 3 and plate-shaped graphene 112a and plate-shaped graphene oxide 112b. , BaTiO 3 An average particle diameter (D 50 ) of 30 to 100 nm is used.

내부전극층(112)을 형성하기 위한 내부전극 페이스트는 보다 구체적으로 금속 분말 40 내지 52중량%, 세라믹공재 10 내지 15중량% 및 페이스트 제조 첨가제 38 내지 45중량%를 혼합하여 형성되며, 금속 분말의 재질은 Ni이 사용된다. 페이스트 제조 첨가제는 금속 분말과 세라믹공재를 페이스트(paste) 상태로 만들기 위한 첨가재료이며, 유기용매, 바인더 및 분산제가 사용되며, 페이스트 제조 첨가제는 유기용매 92 내지 98중량%, 바인더 1 내지 4중량% 및 분산제 1 내지 4중량%로 혼합되어 사용된다. 유기용매는 터피네올(terpineol)이 사용되며, 바인더는 에틸셀룰로우스(ethyl cellulose)가 사용되며, 분산제로 글리세릴 모노올레인산(glycerol-alpha-monooleate)이나 노닐페놀 에톡실레이트 포스페이트 에스테르(nonylphenol ethoxylate phosphate ester)가 사용된다.The internal electrode paste for forming the internal electrode layer 112 is more specifically formed by mixing 40 to 52 wt% of a metal powder, 10 to 15 wt% of a ceramic material, and 38 to 45 wt% of a paste manufacturing additive, and the material of the metal powder Silver Ni is used. The paste manufacturing additive is an additive material for making metal powder and ceramic materials into a paste state, and an organic solvent, a binder, and a dispersant are used. and 1 to 4% by weight of a dispersant. The organic solvent is terpineol, the binder is ethyl cellulose, and the dispersant is glycerol-alpha-monooleate or nonylphenol ethoxylate phosphate. ethoxylate phosphate ester) is used.

세라믹공재는 BaTiO3, BaCO3, MgO, SiO2, La2O2, Dy2O2 판상 그래핀(112a) 및 판상 산화 그래핀(112b)을 혼합하여 형성된다. 세라믹공재의 구체적인 실시예는 BaTiO3 93.45 내지 99.97중량%, BaCO3 0 내지 1.5중량%, MgO 0 내지 1중량%, La2O2 0 내지 1.3중량%, Dy2O2 0 내지 1.0중량%, 판상 그래핀 0.03 내지 0.75중량% 및 판상 산화 그래핀 0 내지 1.0중량%를 혼합하여 형성된다. 여기서, 판상 그래핀(112a)과 판상 산화 그래핀(112b)은 각각 단층인 것이 사용된다.The ceramic material is formed by mixing BaTiO 3 , BaCO 3 , MgO, SiO 2 , La 2 O 2 , Dy 2 O 2 plate-shaped graphene 112a and plate-shaped graphene oxide 112b. Specific examples of the ceramic material include BaTiO 3 93.45 to 99.97% by weight, BaCO 3 0 to 1.5% by weight, MgO 0 to 1% by weight, La 2 O 2 0 to 1.3% by weight, Dy 2 O 2 0 to 1.0% by weight, It is formed by mixing 0.03 to 0.75 wt% of plate-shaped graphene and 0 to 1.0 wt% of plate-shaped graphene oxide. Here, the plate-shaped graphene 112a and the plate-shaped graphene oxide 112b are each used as a single layer.

내부전극층(112)이 형성되면 도 1 및 도 3에서와 같이 내부전극층(112)이 서로 교차되게 다수개의 유전체층(111)을 적층하고 압착하여 그린칩(110a: 도 3에 도시됨)을 형성하는 단계(S130)를 수행한다. 즉, 그린칩(110a)은 각각 내부전극층(112)이 형성된 다수개의 유전체층(111)을 도 3에서와 같이 내부전극층(112)이 서로 교차되게 적층한 후 프레스(도시 않음) 등을 이용해 800 내지 1300kgf/㎠로 압착하여 형성된다. When the internal electrode layer 112 is formed, as shown in FIGS. 1 and 3, a plurality of dielectric layers 111 are stacked so that the internal electrode layers 112 are crossed with each other and pressed to form a green chip 110a (shown in FIG. 3). Step S130 is performed. That is, the green chip 110a is formed by stacking a plurality of dielectric layers 111 on which the internal electrode layers 112 are formed so that the internal electrode layers 112 cross each other as shown in FIG. 3 , and then using a press (not shown), etc. It is formed by compression at 1300kgf/cm2.

그린칩(110a)이 형성되면 도 1 및 도 4에서와 같이 그린칩(110a)을 소성하여 소성칩(110: 도 4에 도시됨)을 형성하는 단계(S140)를 수행한다. 이러한 소성칩(110)은 그린칩(110a)을 200 내지 800℃에서 탈지하여 바인더를 제거하고, 바인더가 탈지된 그린칩(110a)을 1260 내지 1360℃의 환원 분위기에서 소성한 후 800 내지 1000℃로 산화처리하여 형성된다. When the green chip 110a is formed, as in FIGS. 1 and 4 , the green chip 110a is fired to form the fired chip 110 (shown in FIG. 4 ) ( S140 ). The fired chips 110 are prepared by degreasing the green chips 110a at 200 to 800° C. to remove the binder, and after firing the binder-degreased green chips 110a at 1260 to 1360° C. in a reducing atmosphere, 800 to 1000° C. It is formed by oxidation treatment with

소성칩(110)이 형성되면 도 1 및 도 4에서와 같이 소성칩(110)의 일측이나 타측의 끝단에 각각 내부전극층(112)과 연결되게 외부전극(113,114)을 형성하는 단계(S150)를 수행한다. 외부전극(113,114)은 소성칩(110)의 일측이나 타측의 끝단에 각각 내부전극층(112)과 연결되게 형성된 후 600 내지 700℃에서 열처리하여 형성된다. 외부전극(113,114)은 도 4에서와 같이 소성칩(110)의 일측이나 타측의 끝단을 각각 감싸게 형성되며, 재질은 Ni, Cu, Al 및 Cr 중 하나 이상을 선택하여 형성된다. When the fired chip 110 is formed, as shown in FIGS. 1 and 4 , forming external electrodes 113 and 114 to be connected to the internal electrode layer 112 at one or the other end of the fired chip 110, respectively (S150). carry out The external electrodes 113 and 114 are formed at one end or the other end of the fired chip 110 to be connected to the internal electrode layer 112 , respectively, and then are formed by heat treatment at 600 to 700°C. The external electrodes 113 and 114 are respectively formed to surround the ends of one side or the other side of the fired chip 110 as shown in FIG. 4 , and the material is formed by selecting one or more of Ni, Cu, Al, and Cr.

전술한 본 발명의 적층 세라믹 커패시터 제조방법으로 제조된 적층 세라믹 커패시터의 전기적인 특성이나 쇼트 발생율을 확인하기 위해 표 1 및 도 2에 도시된 실시예1 내지 실시예35 및 비교예 1 내지 4에 따른 내부전극 페이스트 및 세라믹공재를 이용해 적층 세라믹 커패시터를 제조하였다. Examples 1 to 35 and Comparative Examples 1 to 4 shown in Tables 1 and 2 were used to check the electrical characteristics or the short-circuit occurrence rate of the multilayer ceramic capacitor manufactured by the method of manufacturing the multilayer ceramic capacitor of the present invention. A multilayer ceramic capacitor was manufactured using an internal electrode paste and a ceramic material.

 내부전극 페이스트 조성비Internal electrode paste composition ratio 금속분말 (중량 %)Metal powder (% by weight) 세라믹공재 (중량%)Ceramic material (wt%) 페이스트 제조 첨가제(중량%) Paste Making Additives (wt%) 실시예1Example 1 4040 1515 4545 실시예2Example 2 4040 1515 4545 실시예3Example 3 4040 1515 4545 실시예4Example 4 4040 1515 4545 실시예5Example 5 4040 1515 4545 실시예6Example 6 4040 1515 4545 실시예7Example 7 4040 1515 4545 실시예8Example 8 4040 1515 4545 실시예9Example 9 4040 1515 4545 실시예10Example 10 4040 1515 4545 실시예11Example 11 4040 1515 4545 실시예12Example 12 4040 1515 4545 실시예13Example 13 4545 1010 4545 실시예14Example 14 4545 1212 4343 실시예15Example 15 4545 1212 4343 실시예16Example 16 4545 1010 4545 실시예17Example 17 4545 1212 4343 실시예18Example 18 4545 1515 4040 실시예19Example 19 4545 1010 4545 실시예20Example 20 4545 1212 4343 실시예21Example 21 5050 1010 4040 실시예22Example 22 5050 1212 38 실시예23Example 23 5050 1010 4040 실시예24Example 24 5050 1010 4040 실시예25Example 25 5050 1212 38 실시예26Example 26 5050 1010 4040 실시예27Example 27 5050 1010 4040 실시예28Example 28 5050 1010 4040 실시예29Example 29 5050 1010 4040 실시예30Example 30 5252 1010 38 실시예31Example 31 5252 1010 38 실시예32Example 32 5252 1010 38 실시예33Example 33 5252 1010 38 실시예34Example 34 5252 1010 38 실시예35Example 35 5252 1010 38 비교예1Comparative Example 1 4040 1515 4545 비교예2Comparative Example 2 4545 1212 4343 비교예3Comparative Example 3 5050 1010 4040 비교예4Comparative Example 4 5252 1010 38

세라믹공재 조성비Composition ratio of ceramic materials BaTiO3 (중량%) BaTiO 3 (wt%) BaCO3 (중량%)BaCO 3 (wt%) MgO (중량%)MgO (wt%) La2O2 (중량%)La 2 O 2 (wt%) Dy2O3 (중량%)Dy 2 O 3 (wt%) 판상 그래핀 (중량%)Plate-like graphene (wt%) 판상산화그래핀 (중량%)Plate graphene oxide (wt%) 실시예1Example 1 99.9799.97 00 00 00 00 0.030.03 00 실시예2Example 2 99.9499.94 00 00 00 00 0.030.03 0.030.03 실시예3Example 3 9999 0.10.1 0.30.3 00 0.50.5 0.050.05 0.050.05 실시예4Example 4 98 0.50.5 0.850.85 0.50.5 00 0.10.1 0.050.05 실시예5Example 5 97.7597.75 0.50.5 0.50.5 00 0.50.5 00 0.750.75 실시예6Example 6 97.597.5 00 1One 0.50.5 0.50.5 0.20.2 0.30.3 실시예7Example 7 96.996.9 0.50.5 0.60.6 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.50.5 실시예8Example 8 9797 0.70.7 0.60.6 0.30.3 1One 0.10.1 0.30.3 실시예9Example 9 96.2596.25 1One 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.750.75 0.50.5 실시예10Example 10 96.2596.25 0.70.7 0.70.7 1One 0.750.75 0.10.1 0.50.5 실시예11Example 11 93.4593.45 1.51.5 1One 1.31.3 1One 0.750.75 1One 실시예12Example 12 9696 1.51.5 0.40.4 1One 1One 0.050.05 0.050.05 실시예13Example 13 99.9799.97 00 00 00 00 0.030.03 00 실시예14Example 14 99.9599.95 00 00 00 00 0.050.05 00 실시예15Example 15 9999 0.10.1 0.30.3 00 0.50.5 0.050.05 0.050.05 실시예16Example 16 98 0.50.5 0.50.5 00 0.50.5 00 0.50.5 실시예19Example 19 9797 0.70.7 0.60.6 0.150.15 1One 0.250.25 0.30.3 실시예20Example 20 97.197.1 1One 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.150.15 0.250.25 실시예21Example 21 96.596.5 0.70.7 0.70.7 1One 0.750.75 0.10.1 0.250.25 실시예22Example 22 95.1595.15 1.51.5 1One 1One 1One 0.150.15 0.20.2 실시예23Example 23 99.9499.94 00 00 00 00 0.030.03 0.030.03 실시예24Example 24 99.799.7 00 00 00 00 0.050.05 0.250.25 실시예25Example 25 9999 0.10.1 0.30.3 00 0.50.5 0.050.05 0.050.05 실시예26Example 26 98.6598.65 00 0.50.5 0.50.5 00 0.10.1 0.250.25 실시예27Example 27 98.198.1 0.50.5 0.250.25 00 0.50.5 0.150.15 0.50.5 실시예28Example 28 97.4597.45 00 0.50.5 0.250.25 0.50.5 0.30.3 1One 실시예29Example 29 97.197.1 0.50.5 0.60.6 0.50.5 0.50.5 0.050.05 0.750.75 실시예31Example 31 9797 1One 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.0250.025 0.250.25 실시예33Example 33 9696 1.51.5 00 1.31.3 1One 0.10.1 0.10.1 실시예34Example 34 99.9499.94 00 00 00 00 0.030.03 0.030.03 실시예35Example 35 99.799.7 00 00 00 00 0.050.05 0.250.25 실시예36Example 36 9999 0.10.1 0.30.3 00 0.50.5 0.050.05 0.050.05 실시예37Example 37 98.6598.65 00 0.50.5 0.50.5 00 0.10.1 0.250.25 실시예38Example 38 98.198.1 0.50.5 0.250.25 00 0.50.5 0.150.15 0.50.5 실시예39Example 39 96.6596.65 0.50.5 0.60.6 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.750.75 비교예1Comparative Example 1 100100 00 00 00 00 00 00 비교예2Comparative Example 2 100100 00 00 00 00 00 00 비교예3Comparative Example 3 100100 00 00 00 00 00 00 비교예4Comparative Example 4 100100 00 00 00 00 00 00

표 1 및 표 2에 기재된 실시예 1 내지 실시예 17, 비교예1 및 비교예2에 따른 내부전극 페이스트를 이용한 적층 세라믹 커패시터의 제조방법은 먼저, 그린시트인 다수개의 유전체층(111)을 제조하였다. 다수개의 유전체층(111)은 각각 평균입경(D50)이 80㎚인 유전체 분말을 유기바인더로 사용되는 PVB(Polyvinyl Butyral)를 첨가하여 슬러리화 한 후 닥터 블레이드법을 이용하여 두께(T1)가 0.5㎛가 되게 형성하였다. 유전체 분말은 하소 분말과 희토류 글라스 프릿을 혼합하여 형성하였고, 하소 분말은 BaTiO3 분말과 첨가제 분말을 혼합하고 분쇄한 후 600℃에서 하소하여 형성하였으며, 첨가제 분말은 MgO, Mn3O4, Cr2O3, CaCO3, Y2O3, Dy2O3 및 Yb2O3를 혼합하였다. 희토류 글라스 프릿은 글라스 프릿에 희토류 산화물을 첨가하여 형성하였으며, 글라스 프릿은 BaO, CaO 및 SiO2를 사용하였고, 희토류 산화물은 Y2O3와 Dy2O3를 사용하였다. In the method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the internal electrode pastes according to Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 and 2 described in Tables 1 and 2, first, a plurality of dielectric layers 111 serving as green sheets were prepared. . Each of the plurality of dielectric layers 111 is slurried by adding a dielectric powder having an average particle diameter (D 50 ) of 80 nm and PVB (Polyvinyl Butyral) used as an organic binder, and then using a doctor blade method to have a thickness (T1) of 0.5 It was formed to be ㎛. Dielectric powder was formed by mixing calcined powder and rare-earth glass frit, and calcined powder was formed by mixing BaTiO 3 powder and additive powder, pulverizing, and calcining at 600 ° C. The additive powder was MgO, Mn 3 O 4 , Cr 2 O 3 , CaCO 3 , Y 2 O 3 , Dy 2 O 3 and Yb 2 O 3 were mixed. The rare earth glass frit was formed by adding a rare earth oxide to the glass frit. BaO, CaO and SiO 2 were used as the glass frit, and Y 2 O 3 and Dy 2 O 3 were used as the rare earth oxide.

다수개의 유전체층(111)을 형성한 후 유전체층(111)의 일면 즉, 상부면에 내부전극 페이스트를 스크린 인쇄방법으로 인쇄하여 두께(T2)가 0.5㎛가 되게 내부전극층(112)을 형성하였다. 내부전극 페이스트는 금속 분말, 세라믹공재 및 페이스트 제조 첨가제를 이용해 형성하였고, 판상 그래핀(112a)이나 판상 산화 그래핀(112b)이 고르게 펼쳐지게 점도를 5,000cps가 되게 형성하였으며, 금속분말은 재질이 Ni이며 평균입경(D50)이 100㎚인 것을 사용하였다. 페이스트 제조 첨가제는 유기용매, 바인더 및 분산제를 혼합하여 사용하였고, 유기용매는 터피네올(terpineol)을 사용하였고, 바인더는 에틸셀룰로우스(ethyl cellulose)를 사용하였고 분산제로 글리세릴 모노올레인산(glycerol-alpha-monooleate)을 사용하였다. 세라믹공재는 BaTiO3 , BaCO3, MgO, La2O2, Dy2O2, 판상 그래핀(112a) 및 판상 산화 그래핀(112b)을 혼합하여 형성하였으며, 판상 그래핀(112a)과 판상 산화 그래핀(112b)은 각각 단층인 것을 사용하였고, BaTiO3는 평균입경(D50)이 30㎚인 것을 사용하였다. 여기서, 판상 그래핀(112a)과 판상 산화 그래핀(112b)은 각각 분산제에 의해 내부전극 페이스트 내에서 고르게 펼쳐진 상태에서 판상이 유지되게 분산되도록 3-롤 밀(roll mill)이나 바스켓 밀(basket mill)을 이용해 분산시킨다. After forming the plurality of dielectric layers 111, internal electrode paste was printed on one surface, ie, the upper surface, of the dielectric layer 111 by a screen printing method to form the internal electrode layer 112 so that the thickness T2 was 0.5 μm. The internal electrode paste was formed using metal powder, ceramic materials, and paste manufacturing additives, and the plate-like graphene (112a) or plate-like graphene oxide (112b) was evenly spread and the viscosity was 5,000 cps. and an average particle diameter (D 50 ) of 100 nm was used. As the paste preparation additive, an organic solvent, a binder and a dispersing agent were mixed, the organic solvent was terpineol, the binder was ethyl cellulose, and the dispersant was glycerol monooleic acid (glycerol). -alpha-monooleate) was used. The ceramic material was formed by mixing BaTiO 3 , BaCO 3 , MgO, La 2 O 2 , Dy 2 O 2 , plate-shaped graphene 112a and plate-shaped graphene oxide 112b, and plate-shaped graphene 112a and plate-shaped oxide. Graphene 112b was used as a single layer, respectively, and BaTiO 3 had an average particle diameter (D 50 ) of 30 nm. Here, the plate-shaped graphene 112a and the plate-shaped graphene oxide 112b are each dispersed in a state evenly spread in the internal electrode paste by a dispersant so that the plate shape is maintained in a 3-roll mill or a basket mill. ) to disperse.

내부전극층(112)을 형성한 후 내부전극층(112)이 서로 교차되게 다수개의 유전체층(111)을 적층하고 프레스(도시 않음)를 이용해 800kgf/㎠로 압착하여 그린칩(110a: 도 3에 도시됨)을 형성하였고, 내부전극층(112)이 상부면에 형성된 유전체층(111)은 800개를 적층하였다. 그린칩(110a)을 형성한 후 200℃에서 탈지하여 바인더를 제거하고, 바인더가 탈지된 그린칩(110a)을 1260℃의 환원 분위기에서 소성한 후 800℃로 산화처리하여 소성칩(110)을 형성하였다. 소성칩(110)을 형성한 후 디핑(dipping) 방법을 이용해 외부전극(113,114)을 형성하였다. 외부전극(113,114)은 내부전극층(112)과 연결되며 소성칩(110)의 일측과 타측의 끝단을 감싸게 Cu를 선택하여 형성한 후 600℃에서 열처리하여 형성하여 적층 세라믹 커패시터를 제조하였다. After the internal electrode layer 112 is formed, a plurality of dielectric layers 111 are stacked so that the internal electrode layers 112 are crossed with each other, and compressed at 800 kgf/cm 2 using a press (not shown) to form a green chip 110a (shown in FIG. 3 ). ) was formed, and 800 dielectric layers 111 having internal electrode layers 112 formed on the upper surface were stacked. After the green chips 110a are formed, the binder is removed by degreasing at 200° C., and the green chips 110a from which the binder has been degreased are fired in a reducing atmosphere at 1260° C. and then oxidized at 800° C. to obtain the fired chips 110. formed. After the firing chip 110 was formed, external electrodes 113 and 114 were formed using a dipping method. The external electrodes 113 and 114 are connected to the internal electrode layer 112 and are formed by selecting and forming Cu to surround the ends of one side and the other side of the fired chip 110, and then heat-treating it at 600° C. to manufacture a multilayer ceramic capacitor.

실시예 1 내지 실시예 17, 비교예1 및 비교예2에 따른 적층 세라믹 커패시터의 제조방법은 전술한 것과 같이 동일하게 제조하며, 다만, 표 1 및 표 2에 기재된 바와 같이 내부전극 페이스트의 조성비와 세라믹공재의 조성비의 차이가 있다. The multilayer ceramic capacitors according to Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 and 2 were manufactured in the same manner as described above, except that the composition ratio of the internal electrode paste and the composition ratio of the internal electrode paste as shown in Tables 1 and 2 were There is a difference in the composition ratio of ceramic materials.

실시예1에 따른 내부전극 페이스트는 표 1에 기재된 바와 같이 금속 분말 40중량%, 세라믹공재 15중량% 및 페이스트 제조 첨가제 45중량%를 혼합하여 형성하였고, 페이스트 제조 첨가제는 유기용매 92중량%, 바인더 4중량% 및 분산제 4중량%로 혼합되어 사용하였다. 실시예1에 따른 세라믹공재는 표 2에 기재된 바와 같이 BaTiO3 99.97중량%와 판상 그래핀 0.03중량%를 혼합하여 형성하였다. 실시예2에 따른 내부전극 페이스트는 표 1에 기재된 바와 같이 금속 분말 40중량%, 세라믹공제 15중량 % 및 페이스트 제조 첨가제 45중량%를 혼합하여 형성하였고, 페이스트 제조 첨가제는 유기용매 92중량%, 바인더 4중량% 및 분산제 4중량%로 혼합되어 사용하였다. 실시예1에 따른 세라믹공재는 표 2에 기재된 바와 같이 BaTiO3 99.97중량%, 판상 그래핀 0.03중량% 및 판상 산화그래핀 0.03중량%을 혼합하여 형성하였다. 이와 같이 실시예3 내지 실시예17, 비교예1 및 비교예2에 따른 내부전극 페이스트는 각각 전술한 실시예1 실시예2에서와 같이 표 1 및 표 2에서와 같이 혼합하여 형성한 후 이를 이용해 내부전극층(112)을 형성하였다. The internal electrode paste according to Example 1 was formed by mixing 40 wt% of a metal powder, 15 wt% of a ceramic material, and 45 wt% of a paste preparation additive as shown in Table 1, and the paste preparation additive contained 92 wt% of an organic solvent, and a binder 4% by weight and 4% by weight of the dispersant were mixed and used. As shown in Table 2, the ceramic material according to Example 1 was formed by mixing 99.97 wt% of BaTiO 3 and 0.03 wt% of plate-shaped graphene. The internal electrode paste according to Example 2 was formed by mixing 40 wt% of a metal powder, 15 wt% of a ceramic additive, and 45 wt% of a paste preparation additive as shown in Table 1, and the paste preparation additive was an organic solvent 92 wt%, a binder 4% by weight and 4% by weight of the dispersant were mixed and used. As shown in Table 2, the ceramic material according to Example 1 was formed by mixing 99.97 wt% of BaTiO 3 , 0.03 wt% of graphene plate, and 0.03 wt% of graphene oxide plate. As described above, the internal electrode pastes according to Examples 3 to 17, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 were mixed and formed as in Table 1 and Table 2 as in Example 1 and Example 2, respectively, and then using the same. An internal electrode layer 112 was formed.

표 1 및 표 2에 기재된 실시예 18 내지 실시예 35, 비교예3 및 비교예4에 따른 내부전극 페이스트를 이용한 적층 세라믹 커패시터의 제조방법은 각각 다수개의 유전체층(111)은 각각 평균입경(D50)이 150㎚인 유전체 분말을 유기바인더로 사용되는 PVB를 첨가하여 슬러리화 한 후 닥터 블레이드법을 이용하여 두께(T1)가 1.0㎛가 되게 형성하였고, 유전체 분말은 하소 분말과 희토류 글라스 프릿을 혼합하여 형성하였다. 하소 분말은 BaTiO3 분말과 첨가제 분말을 혼합하고 분쇄한 후 1200℃에서 하소하여 형성하였으며, 첨가제 분말은 MgO, Mn3O4, Cr2O3, Al2O3, CaCO3, ZrO2, Y2O3, Dy2O3 및 Yb2O3를 사용하였고, 희토류 글라스 프릿은 글라스 프릿에 희토류 산화물을 첨가하여 형성하였으며, 글라스 프릿은 BaO, CaO 및 SiO2를 사용하였으며, 희토류 산화물은 Y2O3, Dy2O3 및 Yb2O3를 사용하였다. In the method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the internal electrode pastes according to Examples 18 to 35, Comparative Examples 3 and 4 described in Tables 1 and 2, each of the plurality of dielectric layers 111 has an average particle diameter (D 50 ). ) of 150 nm was slurried by adding PVB used as an organic binder, and then formed to have a thickness (T1) of 1.0 μm using a doctor blade method. The dielectric powder was mixed with calcined powder and rare earth glass frit. was formed. The calcined powder was formed by mixing and pulverizing BaTiO 3 powder and additive powder and calcining at 1200° C. The additive powder was MgO, Mn 3 O 4 , Cr 2 O 3 , Al 2 O 3 , CaCO 3 , ZrO 2 , Y 2 O 3 , Dy 2 O 3 and Yb 2 O 3 were used, the rare earth glass frit was formed by adding rare earth oxide to the glass frit, BaO, CaO and SiO 2 were used for the glass frit, and the rare earth oxide was Y 2 O 3 , Dy 2 O 3 and Yb 2 O 3 were used.

다수개의 유전체층(111)을 형성한 후 유전체층(111)의 일면 즉, 상부면에 내부전극 페이스트를 스크린 인쇄방법으로 인쇄하여 두께(T2)가 1.2㎛가 되게 내부전극층(112)을 형성하였다. 내부전극 페이스트는 금속 분말, 세라믹공재 및 페이스트 제조 첨가제를 이용해 형성하였고, 판상 그래핀(112a)이나 판상 산화 그래핀(112b)이 고르게 펼쳐지게 점도를 10,000cps가 되게 형성하였으며, 금속분말은 재질이 Ni이며 평균입경(D50)이 200㎚인 것을 사용하였다. 페이스트 제조 첨가제는 유기용매, 바인더 및 분산제를 혼합하여 사용하였고, 유기용매는 터피네올(terpineol)를 사용하였고, 바인더는 에틸셀룰로우스(ethyl cellulose)를 사용하였고 분산제로 모노올레인산(glycerol-alpha-monooleate)과 노닐페놀 에톡실레이트 포스페이트 에스테르(nonylphenol ethoxylate phosphate ester)을 혼합하여 사용하였다. 세라믹공재는 BaTiO3, BaCO3, MgO, La2O2, Dy2O2, 판상 그래핀(112a) 및 판상 산화 그래핀(112b)을 혼합하여 형성하였으며, 판상 그래핀(112a)과 판상 산화 그래핀(112b)은 각각 단층인 것을 사용하였고, BaTiO3는 평균입경(D50)이 30㎚인 것을 사용하였다. 여기서, 판상 그래핀(112a)과 판상 산화 그래핀(112b)은 각각 분산제에 의해 내부전극 페이스트 내에서 고르게 펼쳐진 상태에서 판상이 유지되게 분산되도록 3-롤 밀(roll mill)이나 바스켓 밀(basket mill)을 이용해 분산시킨다. After the plurality of dielectric layers 111 were formed, internal electrode paste was printed on one surface, that is, the upper surface of the dielectric layer 111 by a screen printing method to form the internal electrode layer 112 so that the thickness T2 was 1.2 μm. The internal electrode paste was formed using metal powder, ceramic materials and paste manufacturing additives, and the viscosity of the plate-shaped graphene 112a or the plate-shaped graphene oxide 112b was uniformly spread to 10,000 cps, and the metal powder was made of Ni material. and an average particle diameter (D 50 ) of 200 nm was used. As the paste preparation additive, an organic solvent, a binder and a dispersant were mixed, the organic solvent was terpineol, the binder was ethyl cellulose, and the dispersant was monooleic acid (glycerol-alpha). -monooleate) and nonylphenol ethoxylate phosphate ester were mixed and used. The ceramic material was formed by mixing BaTiO 3 , BaCO 3 , MgO, La 2 O 2 , Dy 2 O 2 , plate-shaped graphene 112a and plate-shaped graphene oxide 112b, and plate-shaped graphene 112a and plate-shaped oxide. Graphene 112b was used as a single layer, respectively, and BaTiO 3 had an average particle diameter (D 50 ) of 30 nm. Here, the plate-shaped graphene 112a and the plate-shaped graphene oxide 112b are each dispersed in a state evenly spread in the internal electrode paste by a dispersant so that the plate shape is maintained in a 3-roll mill or a basket mill. ) to disperse.

내부전극층(112)을 형성한 후 내부전극층(112)이 서로 교차되게 다수개의 유전체층(111)을 적층하고 프레스(도시 않음)를 이용해 1300kgf/㎠로 압착하여 그린칩(110a: 도 3에 도시됨)을 형성하였고, 내부전극층(112)이 상부면에 형성된 유전체층(111)은 600개를 적층하였다. 그린칩(110a)을 형성한 후 800℃에서 탈지하여 바인더를 제거하고, 바인더가 탈지된 그린칩(110a)을 1360℃의 환원 분위기에서 소성한 후 1000℃로 산화처리하여 소성칩(110)을 형성하였다. 소성칩(110)을 형성한 후 디핑(dipping) 방법을 이용해 외부전극(113,114)을 형성하였다. 외부전극(113,114)은 내부전극층(112)과 연결되며 소성칩(110)의 일측과 타측의 끝단을 감싸게 Ni, Cu, Al 및 Cr의 재질을 순차적으로 이용해 디핑하여 다층으로 형성한 후 700℃에서 열처리하여 형성하여 적층 세라믹 커패시터를 제조하였다. After the internal electrode layer 112 is formed, a plurality of dielectric layers 111 are stacked so that the internal electrode layers 112 are crossed with each other, and the green chip 110a is shown in FIG. ) was formed, and 600 dielectric layers 111 having internal electrode layers 112 formed on the upper surface were stacked. After the green chip 110a is formed, the binder is removed by degreasing at 800° C., and the green chip 110a from which the binder is degreased is fired in a reducing atmosphere at 1360° C. and then oxidized at 1000° C. to obtain the fired chip 110. formed. After the firing chip 110 was formed, external electrodes 113 and 114 were formed using a dipping method. The external electrodes 113 and 114 are connected to the internal electrode layer 112 and are formed into multi-layers by sequentially dipping using a material of Ni, Cu, Al and Cr so as to surround the ends of one side and the other side of the fired chip 110, and then at 700°C. It was formed by heat treatment to manufacture a multilayer ceramic capacitor.

실시예 18 내지 실시예 35, 비교예3 및 비교예4에 따른 적층 세라믹 커패시터의 제조방법은 전술한 것과 같이 동일하게 제조하며, 다만, 표 1 및 표 2에 기재된 바와 같이 내부전극 페이스트의 조성비와 세라믹공재의 조성비의 차이가 있다. The multilayer ceramic capacitors according to Examples 18 to 35, Comparative Examples 3 and 4 were prepared in the same manner as described above, except that the composition ratio of the internal electrode paste and the composition ratio of the internal electrode paste as shown in Tables 1 and 2 were There is a difference in the composition ratio of ceramic materials.

실시예18에 따른 내부전극 페이스트는 표 1에 기재된 바와 같이 금속 분말 445중량%, 세라믹공재 15중량% 및 페이스트 제조 첨가제 40중량%를 혼합하여 형성하였고, 페이스트 제조 첨가제는 유기용매 98중량%, 바인더 1중량% 및 분산제 1중량%로 혼합되어 사용하였다. 실시예18에 따른 세라믹공재는 표 2에 기재된 바와 같이 BaTiO3 97.10중량%, BaCO3 0.5중량%, MgO 0.5중량%, La2O2 0.5중량%, Dy2O2 0.5중량%, 판상 그래핀 0.15중량% 및 판상 산화 그래핀 0.25중량%을 혼합하여 형성하였다. 실시예19에 따른 내부전극 페이스트는 표 1에 기재된 바와 같이 금속 분말 45중량%, 세라믹공재 10중량% 및 페이스트 제조 첨가제 45중량%를 혼합하여 형성하였고, 페이스트 제조 첨가제는 유기용매 98중량%, 바인더 1중량% 및 분산제 1중량%로 혼합되어 사용하였다. 실시예19에 따른 세라믹공재는 표 2에 기재된 바와 같이 BaTiO3 96.50중량%, BaCO3 0.7중량%, MgO 0.7중량%, La2O2 1.0중량%, Dy2O2 0.75중량%, 판상 그래핀 0.10중량% 및 판상 산화 그래핀 0.25중량%를 혼합하여 형성하였다. 이와 같이 실시예20 내지 실시예35, 비교예3 및 비교예4에 따른 내부전극 페이스트는 각각 전술한 실시예1 실시예2에서와 같이 표 1 및 표 2에서와 같이 혼합하여 형성한 후 이를 이용해 내부전극층(112)을 형성하였다. The internal electrode paste according to Example 18 was formed by mixing 445 wt% of a metal powder, 15 wt% of a ceramic material, and 40 wt% of a paste preparation additive as shown in Table 1, and the paste preparation additive contained 98 wt% of an organic solvent, and a binder 1% by weight and 1% by weight of the dispersant were mixed and used. As shown in Table 2, the ceramic material according to Example 18 was BaTiO 3 97.10 wt%, BaCO 3 0.5 wt%, MgO 0.5 wt%, La 2 O 2 0.5 wt%, Dy 2 O 2 0.5 wt%, plate-shaped graphene It was formed by mixing 0.15 weight% and 0.25 weight% of plate-shaped graphene oxide. The internal electrode paste according to Example 19 was formed by mixing 45 wt% of a metal powder, 10 wt% of a ceramic material, and 45 wt% of a paste preparation additive as shown in Table 1, and the paste preparation additive contained 98 wt% of an organic solvent, and a binder 1% by weight and 1% by weight of the dispersant were mixed and used. As shown in Table 2, the ceramic material according to Example 19 was BaTiO 3 96.50 wt%, BaCO 3 0.7 wt%, MgO 0.7 wt%, La 2 O 2 1.0 wt%, Dy 2 O 2 0.75 wt%, plate-shaped graphene It was formed by mixing 0.10 weight% and 0.25 weight% of plate-shaped graphene oxide. As described above, the internal electrode pastes according to Examples 20 to 35, Comparative Examples 3 and 4 were mixed and formed as in Table 1 and Table 2 as in Example 1 and Example 2, respectively, and then using the same. An internal electrode layer 112 was formed.

실시예1 내지 실시예35에 따른 내부전극 페이스트를 이용해 적층 세라믹 커패시터의 제조 시 포함되는 판상 그래핀(112a)과 판상 산화 그래핀(112b)은 각각 분산제에 의해 내부전극 페이스트 내에서 고르게 펼쳐진 상태에서 판상이 유지되게 분산되도록 3-롤 밀(roll mill)이나 바스켓 밀(basket mill)을 이용해 분산시킴으로써 도 2에서와 같이 유전체층(111)의 상부면에 인쇄된 내부전극층(112)에서 내에서 시트 형상으로 펼쳐진 상태로 인쇄되며, 이로 인해 판상 그래핀(112a)이나 판상 산화 그래핀(112b)의 기계적인 강도에 의해 금속분말 등이 돌출되게 인쇄되는 것을 방지하여 도 3 및 도 4에서와 같이 적층 후 압착 및 소성 후에도 내부전극층(112)이 평탄하게 유지되도록 함으로써 평균입경이 큰 금속 분말이나 BaTiO3가 돌출되게 형성됨에 의한 쇼트(short) 발생을 방지할 수 있게 된다. The plate-shaped graphene 112a and the plate-shaped graphene oxide 112b included in the manufacture of the multilayer ceramic capacitor using the internal electrode pastes according to Examples 1 to 35 are evenly spread in the internal electrode paste by the dispersant, respectively. In the internal electrode layer 112 printed on the upper surface of the dielectric layer 111 as shown in FIG. 2 by dispersing it using a 3-roll mill or a basket mill so that the plate shape is maintained and dispersed in a sheet shape within It is printed in an unfolded state, which prevents the metal powder from protruding due to the mechanical strength of the plate-shaped graphene 112a or the plate-shaped graphene oxide 112b after lamination as shown in FIGS. 3 and 4 . By keeping the internal electrode layer 112 flat even after compression and firing, it is possible to prevent a short from occurring due to protrusion of metal powder or BaTiO 3 having a large average particle diameter.

이와 같이 실시예1 내지 실시예35, 비교예1 내지 비교예4에 따른 내부전극 페이스트를 이용해 적층 세라믹 커패시터를 제조하였고, 제조된 실시예1 내지 실시예35, 비교예1 내지 비교예4에 따른 적층 세라믹 커패시터의 전기적인 특성을 검사하였으며, 그 결과가 표 3에 기재하였다.In this way, multilayer ceramic capacitors were manufactured using the internal electrode pastes according to Examples 1 to 35 and Comparative Examples 1 to 4, and according to the prepared Examples 1 to 35 and Comparative Examples 1 to 4, The electrical characteristics of the multilayer ceramic capacitor were examined, and the results are shown in Table 3.

  정전용량
[㎌]
capacitance
[㎌]
유전손실
[%]
dielectric loss
[%]
내전압 [V/㎛]Withstand voltage [V/㎛] 절연저항
[MΩ]
Insulation Resistance
[MΩ]
쇼트율
(%)
short rate
(%)
실시예1Example 1 8.98.9 5.045.04 9191 280280 2.92.9 실시예2Example 2 99 5.055.05 9494 310310 2.92.9 실시예3Example 3 99 7.87.8 98 223223 4.24.2 실시예4Example 4 9.29.2 5.345.34 102102 278278 1.91.9 실시예5Example 5 9.49.4 7.27.2 8989 168168 1.861.86 실시예6Example 6 9.49.4 5.345.34 98 300 1.851.85 실시예7Example 7 9.49.4 5.85.8 7878 157.3157.3 4.54.5 실시예8Example 8 9.69.6 5.345.34 105105 310310 1.8 실시예9Example 9 9.69.6 7.67.6 7878 145.2145.2 5.85.8 실시예10Example 10 9.49.4 5.265.26 9696 268268 1.21.2 실시예11Example 11 9.39.3 8.078.07 80 228228 4.14.1 실시예12Example 12 9.29.2 8.18.1 79 218218 5.15.1 실시예13Example 13 9.29.2 5.825.82 98 267267 55 실시예14Example 14 9.59.5 5.055.05 106106 321321 2.762.76 실시예15Example 15 9.79.7 5.65.6 104104 298298 1.981.98 실시예16Example 16 9.49.4 5.615.61 104104 298298 1.121.12 실시예17Example 17 9.69.6 5.325.32 102102 301301 0.980.98 실시예18Example 18 9.29.2 8.128.12 9999 238238 2.42.4 실시예19Example 19 9.759.75 5.335.33 105105 289289 1.041.04 실시예20Example 20 9.79.7 5.675.67 105105 299299 1.021.02 실시예21Example 21 9.59.5 5.455.45 8989 245245 0.350.35 실시예22Example 22 9.69.6 5.785.78 9191 250 0.320.32 실시예23Example 23 9.79.7 5.345.34 98 280280 0.430.43 실시예24Example 24 9.79.7 5.565.56 105105 312312 0.010.01 실시예25Example 25 9.89.8 5.635.63 98 256256 0.040.04 실시예26Example 26 9.89.8 8.048.04 85 8989 5.895.89 실시예27Example 27 10.110.1 7.047.04 8787 105105 5.225.22 실시예28Example 28 10.210.2 5.125.12 98 234234 0.120.12 실시예29Example 29 1010 5.225.22 103 281281 0.060.06 실시예30Example 30 9.89.8 5.545.54 108108 302302 0.210.21 실시예31Example 31 9.99.9 5.55.5 101 301301 0.110.11 실시예32Example 32 10.210.2 5.355.35 9999 286286 0.10.1 실시예33Example 33 10.410.4 5.675.67 9292 244244 0.090.09 실시예34Example 34 10.510.5 5.665.66 9090 240240 3.33.3 실시예35Example 35 10.210.2 6.036.03 8282 103 5.225.22 비교예1Comparative Example 1 8.78.7 5.65.6 8686 250 8.38.3 비교예2Comparative Example 2 9.29.2 5.935.93 8989 238238 8.18.1 비교예3Comparative Example 3 9.59.5 5.895.89 88 238238 9.19.1 비교예4Comparative Example 4 9.99.9 5.185.18 98 231231 6.56.5

표 3에서와 같이 실시예1 내지 실시예35, 비교예1 내지 비교예4에 따른 내부전극 페이스트를 이용해 제조된 적층 세라믹 커패시터는 각 실시예나 비교예 당 100개를 제조하여 정전용량, 유전손실, 내전, 절연저항 및 쇼트율을 시험하였으며, 특히 쇼트율은 시험 평가의 신뢰성을 개선하기 위해 실시예나 비교예 당 10,000개를 제작하여 시험하였다. As shown in Table 3, 100 multilayer ceramic capacitors manufactured by using the internal electrode pastes according to Examples 1 to 35 and Comparative Examples 1 to 4 were prepared for each Example or Comparative Example, so that capacitance, dielectric loss, Discharge resistance, insulation resistance, and short-circuit rate were tested, and in particular, the short-circuit rate was tested by manufacturing 10,000 pieces per Example or Comparative Example in order to improve the reliability of test evaluation.

정전용량과 유전손실은 용량 측정기(3504-50C HiTester, HIOKI사)를 이용하여 측정하였으며, 1kHz, 전압 0.5 Vrms, 25℃에서의 정전용량과 유전손실을 측정하였다. 내전압은 25℃에서 5V/분의 속도로 인가하고 일반적인 내전압 측정기를 이용하여 누설전류가 100mA일 때를 절연파괴전압, 내전압으로 하여 측정하였으며, 절연저항은 고저항측정기(High Resistance Meter 4329A, HP사)를 이용하여 측정하였으며, 25℃에서 10 내지 50V의 직류전압을 60초 동안 인가하여 측정하였다. 쇼트율은 실시예나 비교예 당 10,000개를 제작하여 저항측정기를 이용해 100㏀ 이하인 것은 쇼트가 발생된 것으로 판단하였다. Capacitance and dielectric loss were measured using a capacitance measuring instrument (3504-50C HiTester, HIOKI), and capacitance and dielectric loss were measured at 1 kHz, voltage 0.5 Vrms, and 25°C. The withstand voltage was applied at 25°C at a rate of 5V/min, and when the leakage current was 100mA using a general withstand voltage measuring device, the breakdown voltage and withstand voltage were measured. ) was used, and a DC voltage of 10 to 50 V was applied at 25° C. for 60 seconds. As for the short-circuit rate, 10,000 pieces were manufactured per Example or Comparative Example, and those with a short-circuit rate of 100 kΩ or less were judged to have occurred using a resistance measuring device.

표 3에서와 같이 실시예1 내지 실시예35에 따른 내부전극 페이스트를 이용해 제조된 적층 세라믹 커패시터는 정전용량이 8.9 내지 10.5[㎌]으로 측정되었으며, 유전손실은 5.04 내지 8.12[%]로 측정되었다. 실시예1 내지 실시예35에 따른 내부전극 페이스트를 이용해 제조된 적층 세라믹 커패시터의 내전압은 78 내지 108[V/㎛]로 측정되었으며, 절연저항은 89 내지 321[㏁]으로 측정되었다. 특히 실시예1 내지 실시예35에 따른 내부전극 페이스트를 이용해 제조된 적층 세라믹 커패시터의 쇼트율은 0.01 내지 5.89[%]로 측정되었으며, 이는 실시예24나 실시예25에서와 같이 내부전극 페이스트에 판상 그래핀(112a)과 판상 산화 그래핀(112b)이 모두 포함되는 경우에 쇼트율 즉, 쇼트 발생율이 적은 것을 알 수 있었다.As shown in Table 3, the multilayer ceramic capacitors manufactured using the internal electrode pastes according to Examples 1 to 35 had a capacitance of 8.9 to 10.5 [㎌] and a dielectric loss of 5.04 to 8.12 [%]. . The multilayer ceramic capacitors manufactured using the internal electrode pastes according to Examples 1 to 35 had a withstand voltage of 78 to 108 [V/㎛], and an insulation resistance of 89 to 321 [㏁]. In particular, the short-circuit rate of the multilayer ceramic capacitors manufactured by using the internal electrode pastes according to Examples 1 to 35 was measured to be 0.01 to 5.89 [%], which was in a plate shape on the internal electrode paste as in Examples 24 and 25. It was found that when both the graphene 112a and the graphene oxide plate 112b are included, the short-circuit rate, that is, the short-circuit occurrence rate is small.

표 3에서와 같이 비교예1 내지 비교예4에 따른 내부전극 페이스트를 이용해 제조된 적층 세라믹 커패시터는 정전용량이 8.7 내지 9.9[㎌]으로 측정되었고, 유전손실은 5.18 내지 5.60[%]로 측정되었으며, 내전압은 86 내지 98[V/㎛]로 측정되었으며, 절연저항은 231 내지 250[㏁]으로 측정되었다. 반면에, 비교예1 내지 비교예4에 따른 내부전극 페이스트를 이용해 제조된 적층 세라믹 커패시터의 쇼트율은 6.50 내지 8.30[%]로 측정되었으며, 이는 내부전극 페이스트에 판상 그래핀(112a)이나 판상 산화 그래핀(112b)이 포함되지 않음으로써 내부전극층(112)을 박형으로 형성 시 평탄화 도포 불량을 발생시킬 수 있다. 이와 같이 내부전극층(112)의 평탄화 도포 불량은 박형으로 유전체층(111)과 내부전극층(112)을 형성한 후 이를 적층하고 압착 및 소성하는 과정에서 내부전극층(112)에 포함되는 Ni과 같은 금속분말이 내부전극층(112)에서 돌출되어 유전체층(111)을 통과해 다음 내부전극층(112)과 연결될 수 있으며 이로 인해 쇼트율이 높게 발생될 수 있다. As shown in Table 3, the multilayer ceramic capacitors manufactured using the internal electrode pastes according to Comparative Examples 1 to 4 had capacitances of 8.7 to 9.9 [㎌] and dielectric losses of 5.18 to 5.60 [%]. , the withstand voltage was measured to be 86 to 98 [V/㎛], and the insulation resistance was measured to be 231 to 250 [㏁]. On the other hand, the short-circuit ratio of the multilayer ceramic capacitors manufactured using the internal electrode pastes according to Comparative Examples 1 to 4 was measured to be 6.50 to 8.30 [%], which is a plate-shaped graphene 112a or plate-shaped oxide in the internal electrode paste. Since the graphene 112b is not included, a planarization coating defect may occur when the internal electrode layer 112 is formed to be thin. In this way, the flattening coating of the internal electrode layer 112 is poor, after forming the dielectric layer 111 and the internal electrode layer 112 in a thin shape, stacking them, and pressing and firing metal powder such as Ni included in the internal electrode layer 112 . It protrudes from the internal electrode layer 112 and passes through the dielectric layer 111 to be connected to the next internal electrode layer 112 , which may result in a high short-circuit rate.

본 발명의 적층 세라믹 커패시터 제조방법은 적층 세라믹 커패시터 제조 산업 분야에 적용된다. The multilayer ceramic capacitor manufacturing method of the present invention is applied to the multilayer ceramic capacitor manufacturing industry.

110: 소성칩 110a: 그린칩
111: 유전체층 112: 내부전극층
112a: 판상 그래핀 112b: 판상 산화 그래핀
113,114: 외부전극
110: sintered chip 110a: green chip
111: dielectric layer 112: internal electrode layer
112a: plate-shaped graphene 112b: plate-shaped graphene oxide
113, 114: external electrode

Claims (9)

다수개의 유전체층을 형성하는 단계와,
상기 다수개의 유전체층의 일면에 각각 내부전극 페이스트를 도포해 내부전극층을 형성하는 단계와,
상기 내부전극층이 서로 교차되게 다수개의 유전체층을 적층하고 압착하여 그린칩을 형성하는 단계와,
상기 그린칩을 소성하여 소성칩을 형성하는 단계와,
상기 소성칩의 일측이나 타측의 끝단에 각각 내부전극층과 연결되게 외부전극을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 내부전극 페이스트는 금속 분말, 세라믹공재, 유기용매, 바인더 및 분산제를 이용해 형성되며, 상기 세라믹공재는 판상 그래핀이나 판상 산화 그래핀을 포함하는 세라믹 공재재질을 이용해 형성되는 적층 세라믹 커패시터 제조방법.
forming a plurality of dielectric layers;
forming an internal electrode layer by applying an internal electrode paste to one surface of the plurality of dielectric layers, respectively;
forming a green chip by stacking and compressing a plurality of dielectric layers such that the internal electrode layers cross each other;
forming a fired chip by firing the green chip;
and forming an external electrode at one end or the other end of the fired chip to be connected to the internal electrode layer, respectively,
The internal electrode paste is formed using a metal powder, a ceramic material, an organic solvent, a binder, and a dispersant, and the ceramic material is formed using a ceramic material including plate-shaped graphene or plate-shaped graphene oxide.
제1항에 있어서,
상기 다수개의 유전체층을 형성하는 단계에서 상기 다수개의 유전체층은 각각 평균입경(D50)이 80 내지 150㎚인 유전체 분말을 유기바인더로 사용되는 PVB(Polyvinyl Butyral)를 첨가하여 슬러리화 한 후 닥터 블레이드법을 이용하여 두께가 0.5 내지 1.0㎛가 되게 형성되고, 상기 유전체 분말은 하소 분말과 희토류 글라스 프릿(rare earth glass frit)을 혼합하여 형성되며, 상기 하소 분말은 BaTiO3 분말과 첨가제 분말을 혼합하고 분쇄한 후 600 내지 1200℃에서 하소하여 형성되며, 상기 첨가제 분말은 MgO, Mn3O4, Cr2O3, Al2O3, CaCO3, ZrO2, Y2O3, Dy2O3 및 Yb2O3 중 일곱 개 이상이 선택되어 혼합되고, 상기 희토류 글라스 프릿은 글라스 프릿에 희토류 산화물을 첨가하여 형성되며, 상기 글라스 프릿은 BaO, CaO 및 SiO2가 사용되며, 상기 희토류 산화물은 Y2O3, Dy2O3 및 Yb2O3 중 두 개 이상이 선택되어 혼합되는 적층 세라믹 커패시터 제조방법.
According to claim 1,
In the step of forming the plurality of dielectric layers, the plurality of dielectric layers are each slurried by adding a dielectric powder having an average particle diameter (D 50 ) of 80 to 150 nm and PVB (Polyvinyl Butyral) used as an organic binder, followed by a doctor blade method. is formed to have a thickness of 0.5 to 1.0 μm using It is formed by calcining at 600 to 1200° C., and the additive powder is MgO, Mn 3 O 4 , Cr 2 O 3 , Al 2 O 3 , CaCO 3 , ZrO 2 , Y 2 O 3 , Dy 2 O 3 and Yb Seven or more of 2 O 3 are selected and mixed, the rare earth glass frit is formed by adding a rare earth oxide to the glass frit, BaO, CaO and SiO 2 are used as the glass frit, and the rare earth oxide is Y 2 O 3 , Dy 2 O 3 and Yb 2 O 3 A method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor in which two or more are selected and mixed.
제1항에 있어서,
상기 내부전극층을 형성하는 단계에서 상기 내부전극층은 유전체층의 일면에 내부전극 페이스트를 스크린 인쇄방법으로 인쇄하여 두께가 0.5 내지 1.2㎛가 되게 형성되고, 내부전극 페이스트는 금속분말과 세라믹 공재가 포함되며, 상기 금속분말은 평균입경(D50)이 100 내지 200㎚인 것이 사용되며, 상기 세라믹 공재는 BaTiO3와 판상 그래핀 및 판상 산화 그래핀 중 하나 이상이 포함되며, BaTiO3는 평균입경(D50)이 30 내지 100㎚인 것이 사용되는 적층 세라믹 커패시터 제조방법.
According to claim 1,
In the step of forming the internal electrode layer, the internal electrode layer is formed to have a thickness of 0.5 to 1.2 μm by printing an internal electrode paste on one surface of the dielectric layer by a screen printing method, and the internal electrode paste includes a metal powder and a ceramic material, The metal powder has an average particle diameter (D 50 ) of 100 to 200 nm, and the ceramic material includes at least one of BaTiO 3 and plate-shaped graphene and plate-shaped graphene oxide, and BaTiO 3 has an average particle diameter (D 50 ). ) of 30 to 100 nm is a multilayer ceramic capacitor manufacturing method used.
제1항에 있어서,
상기 내부전극층을 형성하는 단계에서 상기 내부전극 페이스트는 금속 분말 40 내지 52중량%, 세라믹공재 10 내지 15중량% 및 페이스트 제조 첨가제 38 내지 45중량%를 혼합하여 형성되고, 상기 금속 분말의 재질은 Ni이 사용되며, 상기 페이스트 제조 첨가제는 유기용매, 바인더 및 분산제가 사용되며, 상기 유기용매는 터피네올(terpineol)이 사용되며, 상기 바인더는 에틸셀룰로우스(ethyl cellulose)가 사용되며, 상기 분산제로 글리세릴 모노올레인산(glycerol-alpha-monooleate)이나 노닐페놀 에톡실레이트 포스페이트 에스테르(nonylphenol ethoxylate phosphate ester)가 사용되는 적층 세라믹 커패시터 제조방법.
According to claim 1,
In the step of forming the internal electrode layer, the internal electrode paste is formed by mixing 40 to 52 wt% of a metal powder, 10 to 15 wt% of a ceramic material, and 38 to 45 wt% of a paste preparation additive, and the material of the metal powder is Ni is used, the paste manufacturing additive uses an organic solvent, a binder and a dispersant, the organic solvent is terpineol, the binder is ethyl cellulose, and the dispersant is used. A method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor in which glycerol-alpha-monooleate or nonylphenol ethoxylate phosphate ester is used.
제4항에 있어서,
상기 세라믹공재는 BaTiO3, BaCO3, MgO, SiO2, La2O2, Dy2O2, 판상 그래핀 및 판상 산화 그래핀을 포함하는 적층 세라믹 커패시터 제조방법.
5. The method of claim 4,
The ceramic material includes BaTiO 3 , BaCO 3 , MgO, SiO 2 , La 2 O 2 , Dy 2 O 2 , graphene in a plate shape, and graphene oxide in a plate shape.
제4항에 있어서,
상기 세라믹공재는 BaTiO3 93.45 내지 99.97중량%, BaCO3 0 내지 1.5중량%, MgO 0 내지 1중량%, La2O2 0 내지 1.3중량%, Dy2O2 0 내지 1.0중량%, 판상 그래핀 0.03 내지 0.75중량% 및 판상 산화 그래핀 0 내지 1.0중량%을 포함하는 적층 세라믹 커패시터 제조방법.
5. The method of claim 4,
The ceramic material is BaTiO 3 93.45 to 99.97 wt%, BaCO 3 0 to 1.5 wt%, MgO 0 to 1 wt%, La 2 O 2 0 to 1.3 wt%, Dy 2 O 2 0 to 1.0 wt%, plate-shaped graphene A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor comprising 0.03 to 0.75% by weight and 0 to 1.0% by weight of graphene oxide plate.
제5항 또는 제6항에 있어서,
상기 판상 그래핀과 상기 판상 산화 그래핀은 각각 단층인 것이 사용되는 적층 세라믹 커패시터 제조방법.
7. The method of claim 5 or 6,
The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, wherein each of the plate-shaped graphene and the plate-shaped graphene oxide is a single layer.
제1항에 있어서,
상기 내부전극층을 형성하는 단계에서 상기 내부전극 페이스트는 점도가 5,000 내지 10,000cps(centi poise)가 되게 형성되는 적층 세라믹 커패시터 제조방법.
According to claim 1,
In the forming of the internal electrode layer, the internal electrode paste is formed to have a viscosity of 5,000 to 10,000 cps (centi poise).
제1항에 있어서,
상기 다수개의 유전체층을 적층하고 압착하여 그린칩을 형성하는 단계에서 상기 그린칩은 다수개의 유전체층을 적층한 후 800 내지 1300kgf/㎠로 압착하여 형성되고, 상기 소성칩을 형성하는 단계에서 상기 소성칩은 상기 그린칩을 200 내지 800℃에서 탈지하여 바인더를 제거하고, 바인더가 탈지된 그린칩을 1260 내지 1360℃의 환원 분위기에서 소성한 후 800 내지 1000℃로 산화처리하여 형성되며, 상기 외부전극을 형성하는 단계에서 상기 외부전극은 소성칩의 일측이나 타측의 끝단에 각각 내부전극층과 연결되게 형성된 후 600 내지 700℃에서 열처리하여 형성되는 적층 세라믹 커패시터 제조방법.
According to claim 1,
In the step of stacking and compressing the plurality of dielectric layers to form a green chip, the green chip is formed by stacking a plurality of dielectric layers and pressing at 800 to 1300 kgf/cm 2 , and in forming the fired chip, the fired chip is The green chips are degreased at 200 to 800° C. to remove the binder, and the binder-degreasing green chips are fired in a reducing atmosphere at 1260 to 1360° C. and then oxidized at 800 to 1000° C. to form the external electrode. In the step of forming the external electrode to be connected to the internal electrode layer at one end or the other end of the sintered chip, respectively, the multilayer ceramic capacitor manufacturing method is formed by heat treatment at 600 to 700 ℃.
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