KR20220143319A - 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛 - Google Patents

반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛에 대한 것이다. 상기 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛이 본체 부재와, 세정액 수용 부재와, 무게 감지 부재와, 출력 부재 및 제어 부재를 포함함에 따라, 상기 기판의 세정을 위해 외부로부터 유입되어 상기 기판이 올려지는 척 부재 쪽으로 토출되는 상기 세정액의 무게를 측정할 수 있게 되고, 그에 따라 상기 기판을 세정시키기 위해 필요한 상기 세정액의 양을 정확하게 확인할 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛{Weighing unit for cleaning liquids applied to semiconductor and display manufacturing}
본 발명은 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛에 관한 것이다.
반도체 산업이 1950년대 이후로 급속도로 발전해 오면서 현재의 반도체는 초고집적화되고 있는데, 이러한 반도체의 초고집적화로 제조 공정 수가 증가됨에 따라 각 제조 공정의 수행 시 각 제조 공정에서 발생되는 파티클, 금속 오염물, 자연 산화막 등의 오염물을 제거시키는 세정 공정이 중요한 공정으로 부각되고 있다.
이러한 세정 공정의 부각은 반도체의 기본이 되는 웨이퍼 등의 반도체 기판의 제조에서도 동일하게 적용되고, 이러한 반도체 기판을 세정하는 세정 장치의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
상기 기판의 세정을 위해서는 척 부재 상에 올려진 상기 기판에 세정액을 토출시킴으로써 수행되는데, 이 때 상기 기판의 세정을 위해 유입되는 상기 세정액의 양을 확인하기 위해서 종래에는 상기 세정액이 유동되는 배관에 유량 측정 장치를 장착하였다.
그러나, 종래의 유량 측정 장치에 의하면, 외부로부터 유입되는 전체적인 상기 세정액의 양을 확인할 수는 있었지만, 유입된 상기 세정액은 상기 기판뿐만 아니라 상기 기판의 주변부에도 함께 토출되에 따라 유입된 상기 세정액 중 상기 기판 쪽으로 토출되어 실질적으로 상기 기판의 세정을 위해 사용되는 상기 세정액의 양에 대해서는 확인할 수 없는 한계가 있었다.
공개특허 제 10-2005-0076264 호, 공개일자: 2005.07.26., 발명의 명칭: 반도체 기판 세정 장치
본 발명은 세정이 필요한 기판이 올려지는 척 부재 상에 상기 기판이 올려지기 전 먼저 배치되어 외부로부터 유입되는 세정액 중 상기 척 부재 쪽으로 토출되는 상기 세정액의 무게를 측정할 수 있는 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛은 세정이 필요한 기판이 올려지는 척 부재 상에 상기 기판이 올려지기 전 먼저 배치되어 상기 기판의 세정을 위해 외부로부터 유입된 후 상기 척 부재를 향해 토출되는 세정액의 무게를 측정하기 위한 것으로서, 상기 척 부재의 상단에 올려지는 본체 부재; 상기 본체 부재의 상부에 배치되고, 상기 척 부재의 상측으로 토출되는 상기 세정액이 그 내부의 공간에 수용되는 세정액 수용 부재; 상기 세정액 수용 부재의 하부에 배치되고, 상기 세정액 수용 부재에 수용된 상기 세정액의 무게 정보를 감지하는 무게 감지 부재; 상기 무게 감지 부재에 의해 감지된 상기 무게 정보로부터 획득되는 무게값이 출력되는 출력 부재; 및 상기 무게 감지 부재에 의해 감지된 상기 무게 정보를 전달받아 연산처리하여 상기 무게값을 산출하고, 산출된 상기 무게값을 상기 출력 부재에 전달하는 제어 부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛에 의하면, 상기 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛이 본체 부재와, 세정액 수용 부재와, 무게 감지 부재와, 출력 부재 및 제어 부재를 포함함에 따라, 기판의 세정을 위해 외부로부터 유입되어 상기 기판이 올려지는 척 부재 쪽으로 토출되는 상기 세정액의 무게를 측정할 수 있게 되고, 그에 따라 상기 기판을 세정시키기 위해 필요한 상기 세정액의 양을 정확하게 확인할 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛의 모습을 보이는 사시도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 수직으로 절단한 단면도.
도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 확대도.
도 4는 제 1 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 분해한 것을 위에서 내려다본 모습을 보이는 사시도.
도 5는 제 1 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 분해한 것을 아래에서 올려다본 모습을 보이는 사시도.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 수직으로 절단한 것의 일부분을 확대한 확대도.
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 수직으로 절단한 것의 일부분을 확대한 확대도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛의 모습을 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 수직으로 절단한 단면도이고, 도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 확대도이고, 도 4는 제 1 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 분해한 것을 위에서 내려다본 모습을 보이는 사시도이고, 도 5는 제 1 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 분해한 것을 아래에서 올려다본 모습을 보이는 사시도이다.
도 1 내지 도 5를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛(100)은 세정이 필요한 기판이 올려지는 척 부재(10) 상에 상기 기판이 올려지기 전 먼저 배치되어 상기 기판의 세정을 위해 외부로부터 유입된 후 상기 척 부재(10)를 향해 토출되는 세정액의 무게를 측정하기 위한 것으로서, 본체 부재(110)와, 세정액 수용 부재(120)와, 무게 감지 부재(140)와, 출력 부재(145) 및 제어 부재(146)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 세정액은 외부로부터 유입되는 상기 세정액 중 상기 척 부재(10)를 벗어나서 상기 척 부재(10)의 외부로 토출되는 것은 제외하고, 순수하게 상기 기판을 세정시키기 위해 상기 척 부재(10)의 상면을 향해 토출 또는 분사되는 것을 말하고, 이러한 상기 세정액의 정의는 이하 설명에서도 동일하게 적용된다.
또한, 상기 세정액은 외부로부터 유입된 후 상기 척 부재(10)의 상공에서 상기 척 부재(10) 쪽으로 토출되는 상부 세정액과, 상기 척 부재(10)의 중앙부에 설치되고 후술되는 하부 세정액 토출체(11)에 의해 외부로부터 상기 척 부재의 하부로 유입된 후 상기 척 부재(10)의 상측으로 토출되는 하부 세정액을 포함할 수 있다.
본 실시예에서는 상기 세정액이 상기 상부 세정액을 포함하는 것을 그 예로 들어 설명한다.
상기 척 부재(11)에는 상기 척 부재(11)의 중앙부에 배치되고, 외부로부터 상기 척 부재(11)의 하부로 유입되는 하부 세정액을 상기 척 부재(11)의 하부로부터 상기 척 부재(11)의 상측으로 상승시켜 상기 척 부재(11)의 상측으로 토출시키는 하부 세정액 토출체(11)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 본체 부재(110)는 상기 척 부재(10)의 상단에 올려지는 것으로, 본체측 몸체(111)와, 본체측 테두리(112)와, 본체측 돌기(113)와, 본체측 관통 홀(114)을 포함한다.
상기 본체측 몸체(111)는 원판 형태로 형성되고 상기 척 부재(10) 상에 안착되는 것이다.
상기 본체측 테두리(112)는 상기 본체측 몸체(111)의 상단 가장자리부에서 서로 연결되어 그 내부에 외부와 분리되는 소정 공간이 형성되도록 테두리 형태로 형성되는 것이다.
상기 본체측 테두리(112)에 의해 형성되는 공간에는 상기 무게 감지 부재(140)를 구성하고 후술되는 무게 감지체(143) 및 상기 제어 부재(146)가 설치된다.
상기 본체측 돌기(113)는 상기 본체측 몸체(111)의 중앙부에서 상방으로 원형 형태를 가지며 소정 길이 돌출되는 것이다.
상기 본체측 관통 홀(114)은 상기 본체측 돌기(113) 내에 관통 형성된 것이다.
도면 번호 115는 상기 본체측 테두리(112)에 의해 형성되는 공간에 설치되고, 상기 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛(100)을 작동시키기 위한 전원을 공급하는 전원 공급 수단이다.
상기 전원 공급 수단(115)은 휴대용 배터리 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 세정액 수용 부재(120)는 상기 본체 부재(110)의 상부에 배치되고, 상기 척 부재(10)의 상측으로 토출되는 상기 세정액이 그 내부의 공간에 수용되는 것으로, 세정액 수용 몸체부(121)와, 수용측 덮개(130)를 포함한다.
상기 세정액 수용 몸체부(121)는 외부로부터 유입되어 상기 척 부재(10)의 상측으로 토출되는 상기 세정액, 더 정확하게는 상기 세정액 중 상기 척 부재(10)의 상공에서 상기 척 부재(10) 쪽으로 토출되는 상기 상부 세정액이 그 내부 공간에 수용되는 것이다.
상세히, 상기 세정액 수용 몸체부(121)는 세정액 수용 베이스(122)와, 경사체(123)와, 하측 테두리부(124)와, 상측 돌기(125)와, 하측 돌기(126) 및 수용 몸체측 관통 홀(127)을 포함한다.
상기 세정액 수용 베이스(122)는 소정 면적의 원판 형태로 형성되는 것이다.
상기 경사체(123)는 상기 세정액 수용 베이스(122)의 가장자리로부터 상방으로 연장되되, 상측으로 갈수록 점진적으로 벌어지는 형태로 경사지게 형성된 것이다.
상기 세정액 수용 베이스(122) 및 상기 경사체(123)는 전체적으로 접시 형태로 형성되어 수용되는 상기 세정액이 보관될 수 있다.
상기 하측 테두리부(124)는 상기 세정액 수용 베이스(122)의 저면에서 그 내부에 외부와 분리되는 소정 공간이 형성되도록 테두리 형태로 돌출되는 것이다.
본 실시예에서 상기 하측 테두리부(124)는 상기 세정액 수용 베이스(122)의 중앙부로부터 소정 거리 이격된 네 개의 면이 서로 연결되어 형성된다.
상기 상측 돌기(125)는 상기 세정액 수용 베이스(122)의 상면 중앙부에서 원통 형태로 소정 길이 돌출되는 것이다.
상기 하측 돌기(126)는 상기 세정액 수용 베이스(122)의 저면 중앙부에서 원통 형태로 소정 길이 돌출되는 것이다.
상기 수용 몸체측 관통 홀(127)은 상기 상측 돌기(125)와, 상기 세정액 수용 베이스(122) 및 상기 하측 돌기(126)에서 관통 형성되는 것이다.
상기 하측 돌기(126)의 외경은 상기 본체측 돌기(113)의 내경에 비해 상대적으로 작게 형성되어 상기 본체 부재(110) 및 상기 세정액 수용 부재(120)가 서로 연결될 때 상기 하측 돌기(126)의 적어도 일부분이 상기 본체측 돌기(113) 내에 삽입된다.
그러면, 상기 본체측 돌기(113)가 상기 본체측 몸체(111)의 중앙부에 형성되고, 상기 상측 돌기(125) 및 상기 하측 돌기(126)가 상기 세정액 수용 베이스(122)의 중앙부에 형성됨으로써, 상기 본체 부재(110) 및 상기 세정액 수용 부재(120)가 서로 연결될 때 상기 본체측 관통 홀(114) 및 상기 수용 몸체측 관통 홀(127)이 연통되는 상태로 상기 본체 부재(110) 및 상기 세정액 수용 부재(120)의 위치가 정렬될 수 있게 된다.
도면 번호 135는 상기 상측 돌기(125) 말단부를 덮는 상측 돌기 캡으로, 상기 세정액 수용 몸체부(121)로 상기 상부 세정액이 토출될 때, 상기 상부 세정액이 상기 수용 몸체측 관통 홀(127)로 유입되는 것을 막는 것이다.
상기 상측 돌기 캡(135)은 상기 상측 돌기(125)에 착탈 가능하게 형성된다.
상기 수용측 덮개(130)는 상기 세정액 수용 몸체부(121)의 개구된 상부를 덮고, 상기 세정액 수용 몸체부(121)로 상기 세정액을 유입시키기 위한 세정액 투입 홀(131)이 복수 개 형성된 것이다.
상세히, 상기 수용측 덮개(130)는 상기 세정액 수용 몸체부(121)의 상부를 덮으면서 상기 세정액 수용 몸체부(121)에 결합되고, 상기 수용측 덮개(130)에는 서로 이격되면서 복수 개로 이루어진 상기 세정액 투입 홀(131)이 관통 형성되어 외부로부터 유입된 후 상기 척 부재(10)의 상공에서 상기 척 부재(10) 쪽으로 토출되는 상기 상부 세정액이 상기 세정액 투입 홀(131)을 통해 상기 세정액 수용 베이스(122) 및 상기 경사체(123)에 수용 가능하다.
상기 무게 감지 부재(140)는 상기 세정액 수용 부재(120)의 하부에 배치되고, 상기 세정액 수용 부재(120)에 수용된 상기 세정액의 무게 정보를 감지하는 것으로, 무게 감지 몸체(141)와, 무게 감지측 관통 홀(142)과, 무게 감지체(143)를 포함한다.
상기 무게 감지 몸체(141)는 그 하부가 개방된 직육면체 형태로 형성되면서, 상기 하측 테두리부(124)의 내부 공간에 배치되는 것이다.
상기 무게 감지측 관통 홀(142)은 상기 무게 감지 몸체(141)의 중앙부에서 관통 형성된 것으로, 상기 무게 감지측 관통 홀(142)에는 상기 세정액 수용 부재(120)와 상기 무게 감지 부재(140)가 서로 정렬되면서 연결될 수 있도록 상기 하측 돌기(126)가 삽입된다.
상기 무게 감지체(143)는 상기 무게 감지 몸체(141)의 내측 저면과 연결되어 상기 세정액 수용 부재(120)의 상기 무게 정보를 감지하는 것으로, 로드 셀 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 무게 감지체(143)에서 감지된 상기 무게 정보는 상기 제어 부재(146)에 전달된다.
상기와 같이 구성됨으로써, 외부로부터 유입되는 상기 세정액을 구성하고 상기 척 부재(10)의 상공에서 상기 척 부재(10) 쪽으로 토출되는 상기 상부 세정액이 상기 세정액 수용 부재(120) 내부에 수용되면, 상기 상부 세정액이 수용된 상기 세정액 수용 부재(120)가 상기 무게 감지 몸체(141)와 함께 상기 무게 감지체(143)를 눌러 주게 되고, 그에 따라 상기 무게 감지체(143)가 상기 상부 세정액에 대한 상기 무게 정보를 감지할 수 있게 된다.
상기 출력 부재(145)는 상기 무게 감지 부재(140)에 의해 감지된 상기 무게 정보로부터 상기 제어 부재(146)에 의해 획득되는 무게값이 출력되는 것으로 인디게이터 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 출력 부재(145)에서 상기 무게값은 그램, 파운드 등의 무게 단위로 표시되고, 무게 단위는 작업자에 의해 변경 가능하다.
상기 무게 감지체(143)에 의해 감지된 상기 세정액의 상기 무게 정보는 상기 제어 부재(146)에서 연산 처리된후 상기 제어 부재(146)를 구성하는 무선 통신 모듈(미도시)을 통해 무선으로 상기 출력 부재(145)에 전달된다.
상기 제어 부재(146)는 상기 본체측 테두리(112)에 의해 형성되는 내부 공간에 배치되고, 상기 무게 감지 부재(140)에 의해 감지된 상기 무게 정보를 전달받아 연산처리하여 상기 무게값을 산출하고, 산출된 상기 무게값을 상기 출력 부재(145)에 전달하는 것이다.
상기 제어 부재(146)는 상기 전원 공급 수단(115)의 전원을 공급받아서 작동되고, 상기 무게 감지체(143)의 작동을 함께 제어한다.
또한, 상기 제어 부재(146)는 상기 무선 통신 모듈을 포함하고, 와이파이, 블루투스 등의 무선 통신을 통해 상기 무게값을 상기 출력 부재(145)에 전달하게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 상기 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 척 부재(10) 상에 상기 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛(100)을 올린다.
그런 다음, 상기 전원 공급 수단(115)을 켜서 상기 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛(100)에 전원을 공급한다.
그런 다음, 외부로부터 상기 상부 세정액을 공급한다.
그러면, 외부로부터 공급된 후 상기 척 부재(10)의 상공에서 상기 척 부재(10) 쪽으로 토출되는 상기 상부 세정액이 상기 세정액 투입 홀(131)을 통해 상기 세정액 수용 몸체부(121)에 수용된다.
그런 다음, 상기 세정액 수용 몸체부(121)에 수용된 상기 세정액의 무게 정보가 상기 무게 감지체(143)에서 감지되고, 감지된 상기 무게 정보가 상기 제어 부재(146)로 전달된다.
그런 다음, 상기 제어 부재(146)는 상기 무게 감지체(143)에서 감지된 상기 무게 정보를 연산하여 무게값을 산출하고, 산출한 상기 무게값을 상기 출력 부재(145)로 전송한다.
이 때, 상기 제어 부재(146)는 무선 통신으로 상기 무게값을 상기 출력 부재(145)로 전송한다.
상기 출력 부재(145)에 상기 척 부재(10)로 쪽으로 토출된 상기 세정액의 무게가 표시된다.
상기와 같이, 상기 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛(100)이 상기 본체 부재(110)와, 상기 세정액 수용 부재(120)와, 상기 무게 감지 부재(140)와, 상기 출력 부재(145) 및 상기 제어 부재(146)를 포함함에 따라, 외부로부터 유입된 후 상기 기판의 세정을 위해 상기 기판이 올려지는 상기 척 부재(10)를 향해 토출되는 상기 세정액의 무게를 측정할 수 있게 됨으로써, 상기 기판을 세정시키기 위해 필요한 상기 세정액의 양을 정확하게 확인할 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예인 제 2 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛에 대하여 설명한다.
이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 수직으로 절단한 것의 일부분을 확대한 확대도이다.
도 6을 참조하면, 본 실시예에서는, 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛이 세정이 필요한 기판이 올려지는 척 부재 상에 상기 기판이 올려지기 전 먼저 배치되어 상기 기판의 세정을 위해 외부로부터 유입된 후 상기 척 부재의 상측으로 토출되는 세정액의 무게를 측정하기 위한 것으로서, 본체 부재와, 세정액 수용 부재와, 무게 감지 부재와, 출력 부재와, 제어 부재 및 유동 방향 변경 부재(250)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 척 부재에는 상기 척 부재의 중앙부에서 상기 척 부재의 상측을 향해 소정 길이 돌출 형성된 하부 세정액 토출체(11)가 설치된다.
또한, 본 실시예에서 상기 세정액은 상기 하부 세정액 토출체(11)에 의해 외부로부터 상기 척 부재의 하부로 유입된 후 상기 척 부재의 상측으로 토출되는 하부 세정액을 포함하고, 이하 설명에서도 상기 세정액이 상기 하부 세정액을 포함하는 것을 그 예로 들어 설명한다.
상기 본체 부재는 상기 척 부재의 상단에 올려지는 것으로, 본체측 몸체(211)와, 본체측 테두리와, 본체측 돌기(213)와, 본체측 관통 홀(214)을 포함한다.
상기 세정액 수용 부재는 상기 본체 부재의 상부에 배치되고, 토출되는 상기 세정액이 그 내부의 공간에 수용되는 것으로, 세정액 수용 몸체부와, 수용측 덮개(130)를 포함한다.
상기 무게 감지 부재는 상기 세정액 수용 부재의 하부에 배치되고, 상기 세정액 수용 부재에 수용된 상기 세정액의 무게 정보를 감지하는 것이다.
상기 출력 부재는 상기 무게 감지 부재에 의해 감지된 상기 무게 정보로부터 획득되는 무게값이 출력되는 것이다.
상기 제어 부재는 상기 무게 감지 부재에 의해 감지된 상기 무게 정보를 전달받아 연산처리하여 상기 무게값을 산출하고, 산출된 상기 무게값을 상기 출력 부재에 전달하는 것이다.
상기 유동 방향 변경 부재(250)는 상기 하부 세정액 토출체(11)에서 상기 척 부재의 상측 쪽으로 토출되는 상기 하부 세정액의 무게를 측정할 수 있도록 상기 하부 세정액의 유동 방향을 변경하여 상기 하부 세정액이 상기 세정액 수용 부재에 수용되도록 하는 것이다.
상기 유동 방향 변경 부재(250)는 유동 방향 변경 몸체(251)와, 내측 곡면(252)을 포함한다.
상기 유동 방향 변경 몸체(251)는 상기 유동 방향 변경 부재(250)의 외곽 틀을 형성하면서 상기 세정액 수용 부재를 구성하는 수용측 덮개(130)에 형성된 복수 개의 세정액 투입 홀 중 상기 수용측 덮개(130)의 상측 중앙부에 형성된 것을 덮는 것이다.
상기 유동 방향 변경 몸체(251)가 상기 수용측 덮개(130)의 중앙부에 결합될 경우, 수용 몸체측 관통 홀이 개방되도록 상측 돌기 캡은 상측 돌기로부터 분리된 상태이다.
상기 내측 곡면(252)은 상기 유동 방향 변경 몸체(251)의 내측에서 소정 곡률의 곡면 형태로 형성된 것이다.
상기 유동 방향 변경 부재(250)가 상기와 같이 구성됨으로써, 상기 하부 세정액 토출체(11)에서 토출된 상기 하부 세정액은 상기 본체측 관통 홀(214) 및 상기 수용 몸체측 관통 홀을 경유한 후 상기 내측 곡면(252)에 부딪히게 되고, 상기 내측 곡면(252)에 부딪힌 상기 하부 세정액은 상기 내측 곡면(252)의 곡면을 따라 하방으로 흐르면서 상기 세정액 수용 부재 쪽으로 낙하되어 상기 세정액 수용 부재에 수용된다.
상기 유동 방향 변경 부재(250)는 상기 세정액 수용 부재에 착탈 가능하게 결합되어 상기 하부 세정액의 무게를 측정할 경우에만 상기 수용측 덮개(130)의 상측 중앙부에 결합된다.
상세히, 외부로부터 유입되어 상기 척 부재에 토출되는 상기 세정액 중 상기 척 부재의 상공에서 상기 척 부재를 향해 토출되는 상부 세정액의 무게를 측정할 경우에는 상기 상측 돌기 캡에 의해 상기 상측 돌기가 덮인 상태가 되고, 외부로부터 유입되어 상기 척 부재에 토출되는 상기 세정액 중 상기 하부 세정액 토출체(11)를 통해 토출되는 상기 하부 세정액의 무게를 측정할 경우에는 상기 상측 돌기 캡이 상기 상측 돌기로부터 제거되고, 상기 유동 방향 변경 부재(250)가 상기 수용측 덮개(230)의 상측 중앙부에 결합된다.
상기 하부 세정액 토출체(11)에 의해 상기 척 부재의 하부에서 상기 척 부재의 상측으로 토출된 상기 하부 세정액은 상기 유동 방향 변경 부재(250)에 의해 상기 세정액 수용 부재에 수용되고, 상기 세정액 수용 부재에 수용된 상기 하부 세정액은 상기 무게 감지 부재에 의해 감지되며, 상기 제어 부재에 의해 연산 처리된 후 상기 출력 부재를 통해 출력된다.
상기와 같이, 상기 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛이 상기 유동 방향 변경 부재(250)를 포함함에 따라, 외부로부터 유입되어 상기 척 부재의 상공에서 상기 척 부재 쪽으로 토출되는 상기 상부 세정액의 무게뿐만 아니라, 상기 척 부재의 하부로부터 유입되어 상기 척 부재의 상측으로 상승되어 상기 척 부재의 상측으로 토출되는 상기 하부 세정액의 무게도 확인할 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예인 제 3 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛에 대하여 설명한다.
이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예 및 제 2 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 수직으로 절단한 것의 일부분을 확대한 확대도이다.
도 7을 참조하면, 본 실시예에서는, 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛을 구성하는 유동 방향 변경 부재(350)가 유동 방향 변경 몸체(351)와, 내측 곡면(352) 및 곡면측 세정액 제거부(353)를 포함한다.
상기 유동 방향 변경 몸체(351)는 세정액 수용 부재의 상측 중앙부를 덮는 것이다.
상기 내측 곡면(352)은 상기 유동 방향 변경 몸체(351)의 내측에서 소정 곡률의 곡면 형태로 형성된 것이다.
상기 곡면측 세정액 제거부(353)는 그 내부에 수용된 공기를 상기 내측 곡면(352) 쪽으로 분사시켜 상기 내측 곡면(352)에 묻은 하부 세정액을 제거시키는 것이다.
상세히, 상기 곡면측 세정액 제거부(353)는 공기 수용체(354)와, 일측 공기 유동홀(355)과, 일측 유동홀 덮개(356)와, 타측 공기 유동홀(357)과, 타측 유동홀 덮개(358)를 포함한다.
상기 공기 수용체(354)는 상기 유동 방향 변경 몸체(351)의 상측에서 반구 형태로 형성되고, 그 내부에 빈 공간이 형성되어 상기 공기가 수용될 수 있는 것이다.
상기 공기 수용체(354)는 고무 등의 탄성이 있는 재질로 이루어진다.
상기 일측 공기 유동홀(355)은 상기 유동 방향 변경 몸체(351)에 관통 형성되고, 상기 공기 수용체(354)의 내부 공간과 상기 내측 곡면(352)으로 둘러싸인 상기 유동 방향 변경 몸체(351)의 내부 공간을 연통시키는 것이다.
상기 일측 유동홀 덮개(356)는 상기 내측 곡면(352)에 결합되면서 상기 일측 공기 유동홀(355)을 막을 수 있는 것이다.
상세히, 상기 일측 유동홀 덮개(356)는 고무 등의 탄성 재질로 이루어지면서 상기 내측 곡면(352) 중 상기 일측 공기 유동홀(355)의 주변 부분에 배치되고, 소정 곡률을 가지되, 상기 일측 공기 유동홀(355) 쪽과 대면되는 면이 오목하게 형성되고, 상기 일측 유동홀 덮개(356)의 양측 말단부 중 상기 내측 곡면(352)의 최고점(세정액 수용 몸체부에 상기 수용측 덮개(330)가 덮이고, 상기 수용측 덮개(330)에 상기 유동 방향 변경 부재(350)가 연결된 상태에서 상기 내측 곡면(352) 중 상측 돌기(325)의 상공에 위치되면서 상측 돌기(325)의 길이 방향을 기준으로 상기 상측 돌기(325)와 상대적으로 가장 먼 부분)에 상대적으로 근접된 부분은 상기 내측 곡면(352)에 결합되고, 상기 일측 유동홀 덮개(356)의 양측 말단부 중 상기 내측 곡면(352)의 최고점에서 상대적으로 먼 부분은 상기 내측 곡면(352)에서 분리되게 형성된다.
상기 타측 공기 유동홀(357)은 상기 유동 방향 변경 몸체(351) 중 상기 일측 공기 유동홀(355)과 이격된 부분에서 관통 형성되고, 상기 일측 공기 유동홀(355)과 함께 상기 공기 수용체(354)의 내부 공간과 상기 내측 곡면(352)으로 둘러싸인 상기 유동 방향 변경 몸체(351)의 내부 공간을 연통시키는 것이다.
상기 타측 유동홀 덮개(358)는 상기 내측 곡면(352)에 결합되면서 상기 타측 공기 유동홀(357)을 막을 수 있는 것이다.
상세히, 상기 타측 유동홀 덮개(358)는 고무 등의 탄성 재질로 이루어지면서 상기 내측 곡면(352) 중 상기 타측 공기 유동홀(357)의 주변 부분에 배치되고, 소정 곡률을 가지되, 상기 타측 공기 유동홀(357) 쪽과 대면되는 면이 오목하게 형성되고, 상기 타측 유동홀 덮개(358)의 양측 말단부 중 상기 내측 곡면(352)의 최고점에 상대적으로 근접된 부분은 상기 내측 곡면(352)에 밀착되고, 상기 타측 유동홀 덮개(358)의 양측 말단부 중 상기 내측 곡면(352)의 최고점에서 상대적으로 먼 부분은 상기 내측 곡면(352)에서 분리되게 형성된다.
상기 일측 공기 유동홀(355) 및 상기 일측 유동홀 덮개(356)는 상기 내측 곡면(352)의 최고점을 지나는 가상의 수직선을 기준으로 상기 타측 공기 유동홀(357) 및 상기 타측 유동홀 덮개(358)와 대칭되는 형태가 된다.
상기 유동 방향 변경 부재(350)가 상기와 같이 구성되면, 하부 세정액 토출체(11)에서 토출된 상기 하부 세정액이 본체측 관통 홀(314) 및 수용 몸체측 관통 홀(327)을 경유하여 상기 내측 곡면(352)에 부딪힐 때, 상기 일측 유동홀 덮개(356) 및 상기 타측 유동홀 덮개(358)는 탄성 변형되면서 상기 일측 공기 유동홀(355) 및 상기 타측 공기 유동홀(357)을 각각 막게 되어 상기 하부 세정액이 상기 일측 공기 유동홀(355) 및 상기 타측 공기 유동홀(357)을 통해 상기 공기 수용체(354) 쪽으로 유입되는 것이 방지될 수 있다.
그러다가 상기 하부 세정액 토출체(11)를 통한 상기 하부 세정액의 토출이 완료된 상태에서 상기 공기 수용체(354)에 작업자에 의해 외력이 인가되어 상기 공기 수용체(354)가 눌리게 되면, 상기 공기 수용체(354)의 눌림에 의해 상기 공기 수용체(354)의 내부에 있던 상기 공기는 상기 일측 공기 유동홀(355) 및 상기 타측 공기 유동홀(357)을 따라 유동된 후 상기 일측 유동홀 및 상기 타측 유동홀을 밀면서 상기 유동 방향 변경 몸체(351)의 내부 공간으로 이동되되, 상기 일측 유동홀의 오목한 곡면 및 상기 타측 유동홀의 오목한 곡면에 의해 상기 공기가 상대적으로 상기 내측 곡면(352)을 따라 슬라이딩되면서 하방으로 이동되고, 그에 따라 상기 하부 세정액 토출체(11)로부터 토출되어 상기 내측 곡면(352)에 묻은 상기 하부 세정액이 상기 곡면측 세정액 제거부(353)에 의해 제거될 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛에 의하면, 기판의 세정을 위해 외부로부터 유입되어 상기 기판이 올려지는 척 부재 쪽으로 토출되는 상기 세정액의 무게를 측정함으로써 상기 기판을 세정시키기 위해 필요한 상기 세정액의 양을 정확하게 확인할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
10 : 척 부재
11 : 하부 세정액 토출체
100 : 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛
110 : 본체 부재
120 : 세정액 수용 부재
140 : 무게 감지 부재
145 : 출력 부재
146 : 제어 부재
250 : 유동 방향 변경 부재

Claims (4)

  1. 세정이 필요한 기판이 올려지는 척 부재 상에 상기 기판이 올려지기 전 먼저 배치되어 상기 기판의 세정을 위해 외부로부터 유입된 후 상기 척 부재를 향해 토출되는 세정액의 무게를 측정하기 위한 것으로서,
    상기 척 부재의 상단에 올려지는 본체 부재;
    상기 본체 부재의 상부에 배치되고, 상기 척 부재의 상측으로 토출되는 상기 세정액이 그 내부의 공간에 수용되는 세정액 수용 부재;
    상기 세정액 수용 부재의 하부에 배치되고, 상기 세정액 수용 부재에 수용된 상기 세정액의 무게 정보를 감지하는 무게 감지 부재;
    상기 무게 감지 부재에 의해 감지된 상기 무게 정보로부터 획득되는 무게값이 출력되는 출력 부재; 및
    상기 무게 감지 부재에 의해 감지된 상기 무게 정보를 전달받아 연산처리하여 상기 무게값을 산출하고, 산출된 상기 무게값을 상기 출력 부재에 전달하는 제어 부재;를 포함하는 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체 부재는
    상기 척 부재 상에 안착되는 본체측 몸체와,
    상기 본체측 몸체의 상단에서 그 내부에 외부와 분리되는 소정 공간이 형성되도록 테두리 형태로 형성되는 본체측 테두리와,
    상기 본체측 몸체의 중앙부에서 상방으로 소정 길이 돌출되는 본체측 돌기와,
    상기 본체측 돌기 내에 관통 형성된 본체측 관통 홀을 포함하고,
    상기 세정액 수용 부재는
    외부로부터 유입되어 상기 척 부재의 상측으로 토출되는 상기 세정액이 그 내부에 수용되는 세정액 수용 몸체부와,
    상기 세정액 수용 몸체부의 개구된 상부를 덮고, 상기 세정액 수용 몸체부로 상기 세정액을 유입시키기 위한 세정액 투입 홀이 복수 개 형성된 수용측 덮개를 포함하고,
    상기 세정액 수용 몸체부는
    원판 형태로 형성되는 세정액 수용 베이스와,
    상기 세정액 수용 베이스의 가장자리로부터 상방으로 연장되되, 상측으로 갈수록 점진적으로 벌어지는 형태로 경사지게 형성된 경사체와,
    상기 세정액 수용 베이스의 저면에서 그 내부에 외부와 분리되는 소정 공간이 형성되도록 테두리 형태로 돌출되는 하측 테두리부와,
    상기 세정액 수용 베이스의 상면 중앙부에서 소정 길이 돌출되는 상측 돌기와,
    상기 세정액 수용 베이스의 저면 중앙부에서 소정 길이 돌출되는 하측 돌기와,
    상기 상측 돌기와, 상기 세정액 수용 베이스 및 상기 하측 돌기에서 관통 형성되는 수용 몸체측 관통 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 세정액은 외부로부터 유입된 후 상기 척 부재의 상공에서 상기 척 부재 쪽으로 토출되는 상부 세정액을 포함하고,
    상기 무게 감지 부재는
    그 하부가 개방된 직육면체 형태로 형성되면서, 상기 하측 테두리부의 내부 공간에 배치되는 무게 감지 몸체와,
    상기 무게 감지 몸체의 중앙부에서 관통 형성된 무게 감지측 관통 홀과,
    상기 무게 감지 몸체의 내측 저면과 연결되어 상기 세정액 수용 부재의 상기 무게 정보를 감지하는 무게 감지체를 포함하고,
    상기 상부 세정액이 상기 세정액 수용 부재의 내부에 수용되면, 상기 상부 세정액이 수용된 상기 세정액 수용 부재가 상기 무게 감지 몸체와 함께 상기 무게 감지체를 눌러 주게 되고, 그에 따라 상기 무게 감지체가 상기 상부 세정액에 대한 상기 무게 정보를 감지할 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 척 부재에는 상기 척 부재의 중앙부에서 상기 척 부재의 상측을 향해 소정 길이 돌출 형성된 하부 세정액 토출체가 설치되고,
    상기 세정액은 상기 하부 세정액 토출체에 의해 외부로부터 상기 척 부재의 하부로 유입된 후 상기 척 부재의 상측으로 토출되는 하부 세정액을 포함하고,
    상기 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛은
    상기 하부 세정액 토출체에서 토출되는 상기 하부 세정액의 무게를 측정할 수 있도록 상기 하부 세정액의 유동 방향을 변경하여 상기 하부 세정액이 상기 세정액 수용 부재에 수용되도록 하는 유동 방향 변경 부재;를 포함하고,
    상기 유동 방향 변경 부재는
    복수 개의 상기 세정액 투입 홀 중 상기 수용측 덮개의 상측 중앙부에 형성된 것을 덮는 유동 방향 변경 몸체와,
    상기 유동 방향 변경 몸체의 내측에서 소정 곡률의 곡면 형태로 형성된 내측 곡면을 포함하고,
    상기 하부 세정액 토출체에서 토출된 상기 하부 세정액은 상기 본체측 관통 홀 및 상기 수용 몸체측 관통 홀을 경유한 후 상기 내측 곡면에 부딪히게 되고, 상기 내측 곡면에 부딪힌 상기 하부 세정액은 상기 내측 곡면의 곡면을 따라 하방으로 흐르면서 상기 세정액 수용 부재 쪽으로 낙하되어 상기 세정액 수용 부재에 수용됨으로써 상기 하부 세정액의 무게가 상기 무게 감지 부재에 의해 감지될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조에 사용되는 세정액에 대한 무게 측정 유닛.
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