KR20220141088A - Apparatus for measuring co2 - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a carbon dioxide measurement apparatus capable of measuring carbon dioxide inhaled from the breathing of a patient and carbon dioxide released during expiration. The carbon dioxide measurement apparatus includes: a substrate, first and second electrodes formed on the substrate, and a carbon dioxide sensing film disposed on the first and second electrodes, wherein when a voltage is applied from the first and second electrodes, the carbon dioxide sensing film can vary current resistance according to the concentration of carbon dioxide included in breathing gas of a patient. The carbon dioxide sensing film can be at least one selected from a semiconductor metal oxide group including titanium oxide (TiO_4), tin oxide (SnO_2), cobalt oxide (Co_3O_4), or an alloy thereof.

Description

이산화탄소 측정 장치{APPARATUS FOR MEASURING CO2}CO2 measuring device {APPARATUS FOR MEASURING CO2}

본 발명은 이산화탄소 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 환자의 호흡에서 흡기하는 이산화탄소와 호기 시에 발생하는 이산화탄소를 측정할 수 있는 이산화탄소 측정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a carbon dioxide measuring device, and more particularly, to a carbon dioxide measuring device capable of measuring inhaled carbon dioxide and exhaled carbon dioxide from a patient's respiration.

일반적으로 인공 호흡기는, 물리적으로 호흡이 어렵거나 자가 호흡이 불충분한 환자들을 위해 인위적으로 폐에 공기와 산소를 주입하여 호흡할 수 있도록 하는 치료 기기이다.In general, a ventilator is a treatment device that allows breathing by artificially injecting air and oxygen into the lungs for patients who are physically difficult to breathe or have insufficient self-breathing.

인공 호흡기에서 발생된 호흡 가스는, 환자의 기도와 연결되는 흡기관을 통해 환자로 공급되며, 환자가 내뱉는 이산화탄소를 포함한 배출가스는 호기관을 통해 다시 인공 호흡기로 유입되어 처리될 수 있다.Respiratory gas generated from the ventilator may be supplied to the patient through an intake pipe connected to the patient's airway, and exhaust gas including carbon dioxide exhaled by the patient may be introduced back into the ventilator through the exhalation pipe to be treated.

이처럼, 인공 호흡기를 통해 환자의 호흡 가스가 배출될 경우, 이산화탄소 측정 장치를 통해 이산화탄소를 측정함으로써, 환자의 호흡 상태를 알 수 있다.As such, when the breathing gas of the patient is discharged through the ventilator, by measuring the carbon dioxide through the carbon dioxide measuring device, it is possible to know the breathing state of the patient.

그리고, 이산화탄소 측정 장치는, 환자로부터 배출되는 호흡 가스로부터 이산화탄소의 양을 측정함으로써, 환자의 상태 정보를 제공할 수 있다.And, the carbon dioxide measuring device, by measuring the amount of carbon dioxide from the breathing gas discharged from the patient, it is possible to provide the state information of the patient.

하지만, 기존의 이산화탄소 측정 장치는, 광학식 방식으로 이산화탄소를 측정하므로, 환자가 흡기하고 호기하는 호흡 가스로부터 이산화탄소를 고감도로 측정하는데 어려움이 있었고 이산화탄소의 측정 장치의 크기를 최소화하기가 어려우며, 장치의 제작 단가도 고가인 문제가 있었다.However, since the conventional carbon dioxide measurement device measures carbon dioxide in an optical method, it is difficult to measure carbon dioxide with high sensitivity from the breathing gas inhaled and exhaled by the patient, and it is difficult to minimize the size of the carbon dioxide measurement device, and the manufacture of the device There was also a problem that the unit price was high.

따라서, 향후, 이산화탄소를 고감도로 측정 가능하고, 제작 단가 및 크기를 줄일 수 있는 이산화탄소 측정 장치의 개발이 요구되고 있다.Therefore, in the future, the development of a carbon dioxide measuring device capable of measuring carbon dioxide with high sensitivity and reducing the manufacturing cost and size is required.

대한민국 공개특허공보 제 10-2009-0056731호(2009년 06월 03일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2009-0056731 (June 03, 2009)

본 발명의 일실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는, 환자의 호흡 가스 내에 포함된 이산화탄소 농도에 상응하여 전류 저항을 가변하는 이산화탄소 감지막을 사용함으로써, 이산화탄소를 고감도로 측정 가능하게 하고, 제작 단가 및 크기를 최소화할 수 있는 이산화탄소 측정 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The technical problem to be achieved by an embodiment of the present invention is by using a carbon dioxide sensing film that changes current resistance according to the concentration of carbon dioxide contained in the patient's breathing gas, thereby enabling the measurement of carbon dioxide with high sensitivity, and minimizing the manufacturing cost and size An object of the present invention is to provide a carbon dioxide measuring device that can do this.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved in the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the description below. will be able

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일실시예에 의한 이산화탄소 측정 장치는, 기판, 상기 기판 위에 형성되는 제1, 제2 전극, 그리고 상기 제1, 제2 전극 위에 배치되는 이산화탄소 감지막을 포함하고, 상기 이산화탄소 감지막은, 상기 제1, 제2 전극으로부터 전압이 인가되면 환자의 호흡 가스 내에 포함된 이산화탄소 농도에 상응하여 전류 저항을 가변할 수 있다.In order to solve the above technical problems, the carbon dioxide measuring apparatus according to an embodiment of the present invention is a substrate, first and second electrodes formed on the substrate, and carbon dioxide sensing disposed on the first and second electrodes Including a film, the carbon dioxide sensing film, when a voltage is applied from the first and second electrodes, it is possible to vary the current resistance corresponding to the concentration of carbon dioxide contained in the patient's breathing gas.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 이산화탄소 감지막은, 티타늄산화물(TiO4), 주석산화물(SnO2), 코발트산화물(Co3O4), 또는 이들의 합금을 포함하는 반도체금속산화물 그룹으로부터 하나 이상 선택될 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measurement apparatus, the carbon dioxide sensing film is formed of a semiconductor metal oxide group including titanium oxide (TiO 4 ), tin oxide (SnO 2 ), cobalt oxide (Co 3 O 4 ), or an alloy thereof. One or more may be selected.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1, 제2 전극은, 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 니켈(Ni), 구리(Cu), 텅스텐(W), 알루미늄(Al) 또는 이들의 합금을 포함한 그룹으로부터 하나 이상 선택될 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring device, the first and second electrodes are gold (Au), platinum (Pt), silver (Ag), nickel (Ni), copper (Cu), tungsten (W), aluminum (Al) or one or more may be selected from the group including alloys thereof.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1 전극은, 상기 기판의 행 방향으로 다수 개가 배열되고, 상기 제2 전극은, 상기 기판의 행 방향으로 다수 개가 배열되며, 상기 제1 전극들 사이에 배치될 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring apparatus, a plurality of the first electrodes are arranged in a row direction of the substrate, and a plurality of the second electrodes are arranged in a row direction of the substrate, and between the first electrodes can be placed in

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 행 방향으로 배열되는 다수의 제1 전극들에 병렬로 연결되는 제1 연결 라인과, 상기 행 방향으로 배열되는 다수의 제2 전극들에 병렬로 연결되는 제2 연결 라인을 더 포함하고, 상기 제1, 제2 연결 라인은, 상기 기판의 종 방향으로 배열될 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring apparatus, a first connection line connected in parallel to the plurality of first electrodes arranged in the row direction, and a plurality of second electrodes arranged in the row direction in parallel connected A second connection line may be further included, wherein the first and second connection lines may be arranged in a longitudinal direction of the substrate.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1 연결 라인의 끝단에 연결되는 제1 전극 패드와, 상기 제2 연결 라인의 끝단에 연결되는 제2 전극 패드를 더 포함하고, 상기 제1, 제2 전극 패드는, 전원부에 연결되어 전압이 인가될 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring device, the method further comprises: a first electrode pad connected to an end of the first connection line; and a second electrode pad connected to an end of the second connection line; The two-electrode pad may be connected to a power supply and a voltage may be applied thereto.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1 전극과 제2 전극 사이의 간격은, 모두 동일할 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring device, the distance between the first electrode and the second electrode may be the same.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1 전극과 상기 제1 전극의 일측에 위치하는 제2 전극은, 제1 간격으로 배치되고, 상기 제1 전극과 상기 제1 전극의 타측에 위치하는 제2 전극은, 제2 간격으로 배치되며, 상기 제1 간격과 제2 간격은, 서로 동일할 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring device, the first electrode and the second electrode positioned on one side of the first electrode are disposed at a first interval, and the first electrode and the second electrode positioned on the other side of the first electrode The second electrodes may be disposed at a second interval, and the first interval and the second interval may be the same as each other.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1 전극과 제2 전극 사이의 간격은, 일부 다를 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring device, a distance between the first electrode and the second electrode may be partially different.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1 전극과 상기 제1 전극의 일측에 위치하는 제2 전극은, 제1 간격으로 배치되고, 상기 제1 전극과 상기 제1 전극의 타측에 위치하는 제2 전극은, 제2 간격으로 배치되며, 상기 제1 간격과 제2 간격은, 서로 다를 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring device, the first electrode and the second electrode positioned on one side of the first electrode are disposed at a first interval, and the first electrode and the second electrode positioned on the other side of the first electrode The second electrodes may be disposed at a second interval, and the first interval and the second interval may be different from each other.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1 간격은, 상기 제1, 제2 전극 폭보다 더 작고, 상기 제2 간격은, 상기 제1, 제2 전극 폭보다 더 클 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring apparatus, the first interval may be smaller than the first and second electrode widths, and the second interval may be larger than the first and second electrode widths.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1, 제2 전극의 폭과 길이는, 서로 동일할 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring device, the width and length of the first and second electrodes may be the same as each other.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1 전극은, 상기 이산화탄소 감지막에 접촉되고, 상기 제1 전극과 이산화탄소 감지막과의 접촉 면적은, 상기 이산화탄소 감지막의 전체 면적 대비 약 10% ~ 약 35%를 차지할 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring device, the first electrode is in contact with the carbon dioxide sensing film, and the contact area between the first electrode and the carbon dioxide sensing film is about 10% to about the total area of the carbon dioxide sensing film 35% can be accounted for.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제2 전극은, 상기 이산화탄소 감지막에 접촉되고, 상기 제2 전극과 이산화탄소 감지막과의 접촉 면적은, 상기 이산화탄소 감지막의 전체 면적 대비 약 10% ~ 약 35%를 차지할 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring device, the second electrode is in contact with the carbon dioxide sensing film, and the contact area between the second electrode and the carbon dioxide sensing film is about 10% to about the total area of the carbon dioxide sensing film 35% can be accounted for.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 기판 상부에 형성되는 절연층을 더 포함하고, 상기 절연층은, 상기 기판과 상기 제1, 제2 전극 사이를 이격시킬 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring apparatus, the apparatus further includes an insulating layer formed on the substrate, wherein the insulating layer may be spaced apart between the substrate and the first and second electrodes.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 제1, 제2 전극과 상기 이산화탄소 감지막 사이에 배치되는 도전 박막을 더 포함할 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring apparatus, the conductive thin film disposed between the first and second electrodes and the carbon dioxide sensing film may be further included.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 도전 박막의 면적은, 상기 이산화탄소 감지막의 면적보다 더 넓을 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring device, the area of the conductive thin film may be larger than the area of the carbon dioxide sensing film.

이산화탄소 측정 장치의 대안적인 실시예에서, 상기 도전 박막의 두께는, 상기 이산화탄소 감지막의 두께보다 더 얇을 수 있다.In an alternative embodiment of the carbon dioxide measuring apparatus, the thickness of the conductive thin film may be thinner than the thickness of the carbon dioxide sensing film.

본 발명에 따른 이산화탄소 측정 장치의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.The effect of the carbon dioxide measuring device according to the present invention will be described as follows.

본 발명은, 환자의 호흡 가스 내에 포함된 이산화탄소 농도에 상응하여 전류 저항을 가변하는 이산화탄소 감지막을 사용함으로써, 이산화탄소를 고감도로 측정 가능하게 하고, 제작 단가 및 크기를 최소화할 수 있다.The present invention, by using a carbon dioxide sensing film that changes the current resistance according to the concentration of carbon dioxide contained in the patient's breathing gas, it is possible to measure carbon dioxide with high sensitivity, and to minimize the manufacturing cost and size.

본 발명의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 본 발명의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 본 발명의 바람직한 실시 예와 같은 특정 실시 예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다.Further scope of applicability of the present invention will become apparent from the following detailed description. However, it should be understood that the detailed description and specific embodiments such as preferred embodiments of the present invention are given by way of illustration only, since various changes and modifications within the spirit and scope of the present invention may be clearly understood by those skilled in the art.

도 1은, 본 발명 일 실시예에 따른 이산화탄소 측정 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2 및 도 3은, 도 1의 I-I' 선상에 따른 단면도이다.
도 4는, 본 발명 다른 실시예에 따른 이산화탄소 측정 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는, 도 4의 Ⅱ-Ⅱ' 선상에 따른 단면도이다.
도 6은, 환자의 인공 호흡기에 적용되는 이산화탄소 측정 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은, 환자의 호흡 가스로부터 측정되는 이산화탄소 양을 보여주는 그래프이다.1 is a plan view illustrating an apparatus for measuring carbon dioxide according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 are cross-sectional views taken along line II′ of FIG. 1 .
4 is a plan view for explaining a carbon dioxide measuring apparatus according to another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line II-II' in FIG. 4 .
6 is a view for explaining a carbon dioxide measuring device applied to a patient's ventilator.
7 is a graph showing the amount of carbon dioxide measured from the breathing gas of a patient.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 단순히 본 명세서 작성의 용이함을 고려하여 부여되는 것으로서, 상기 "모듈" 및 "부"는 서로 혼용되어 사용될 수도 있다.The suffixes “module” and “unit” for components used in the following description are simply given in consideration of the ease of writing this specification, and the “module” and “unit” may be used interchangeably.

나아가, 이하 첨부 도면들 및 첨부 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다.Furthermore, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and the contents described in the accompanying drawings, but the present invention is not limited or limited by the embodiments.

본 명세서에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 관례 또는 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 또한, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 발명의 설명 부분에서 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 본 명세서에서 사용되는 용어는, 단순한 용어의 명칭이 아닌 그 용어가 가지는 실질적인 의미와 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 해석되어야 함을 밝혀두고자 한다.The terms used in the present specification have been selected as widely used general terms as possible while considering their functions in the present invention, but these may vary depending on the intention or custom of a person skilled in the art or the advent of new technology. In addition, in a specific case, there is a term arbitrarily selected by the applicant, and in this case, the meaning will be described in the description of the corresponding invention. Therefore, it is intended to clarify that the terms used in this specification should be interpreted based on the actual meaning of the terms and the contents of the entire specification, rather than the names of simple terms.

도 1은, 본 발명 일 실시예에 따른 이산화탄소 측정 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2 및 도 3은, 도 1의 I-I' 선상에 따른 단면도이다.1 is a plan view for explaining an apparatus for measuring carbon dioxide according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are cross-sectional views taken along line II′ of FIG. 1 .

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 이산화탄소 측정 장치(10)는, 기판(100), 기판(100) 위에 형성되는 제1, 제2 전극(110, 120), 그리고 제1, 제2 전극(110, 120) 위에 배치되는 이산화탄소 감지막(130)을 포함할 수 있다.1 to 3, the carbon dioxide measuring apparatus 10 of the present invention, the substrate 100, the first and second electrodes 110 and 120 formed on the substrate 100, and the first, A carbon dioxide sensing film 130 disposed on the second electrodes 110 and 120 may be included.

여기서, 이산화탄소 감지막(130)은, 제1, 제2 전극(110, 120)으로부터 전압이 인가되면 환자의 호흡 가스 내에 포함된 이산화탄소 농도에 상응하여 전류 저항을 가변할 수 있다.Here, when a voltage is applied from the first and second electrodes 110 and 120 to the carbon dioxide sensing film 130 , the current resistance may vary according to the concentration of carbon dioxide contained in the patient's breathing gas.

일 예로, 이산화탄소 감지막(130)은, 티타늄산화물(TiO4), 주석산화물(SnO2), 코발트산화물(Co3O4), 또는 이들의 합금을 포함하는 반도체금속산화물 그룹으로부터 하나 이상 선택될 수 있다.For example, the carbon dioxide sensing film 130 may be one or more selected from a group of semiconductor metal oxides including titanium oxide (TiO 4 ), tin oxide (SnO 2 ), cobalt oxide (Co 3 O 4 ), or an alloy thereof. can

이산화탄소 감지막(130)은, 환자의 호흡 가스 내에 포함된 이산화탄소와의 전기 화학 반응을 통해 가변되는 전류 저항에 상응하여 전기 전도도(Electrical Conductivity)를 가변시킬 수 있다.The carbon dioxide sensing film 130 may change electrical conductivity in response to a current resistance that is varied through an electrochemical reaction with carbon dioxide contained in the patient's breathing gas.

이처럼, 본 발명은, 이산화탄소 감지막(130)의 전기 전도도 차이를 모니터링함으로써, 적은 양의 이산화탄소도 정밀하게 측정할 수 있어 이산화탄소 측정 감도를 향상시킬 수 있다.As such, in the present invention, by monitoring the difference in electrical conductivity of the carbon dioxide sensing film 130 , even a small amount of carbon dioxide can be precisely measured, thereby improving the carbon dioxide measurement sensitivity.

그리고, 제1, 제2 전극(110, 120)은, 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 니켈(Ni), 구리(Cu), 텅스텐(W), 알루미늄(Al) 또는 이들의 합금을 포함한 그룹으로부터 하나 이상 선택될 수 있다.In addition, the first and second electrodes 110 and 120 may include gold (Au), platinum (Pt), silver (Ag), nickel (Ni), copper (Cu), tungsten (W), aluminum (Al), or One or more may be selected from the group including alloys thereof.

다음, 제1 전극(110)은, 기판(100)의 행 방향으로 다수 개가 배열되고, 제2 전극(120)은, 기판(100)의 행 방향으로 다수 개가 배열되는데, 제1 전극들(110) 사이에 배치될 수 있다.Next, a plurality of first electrodes 110 are arranged in a row direction of the substrate 100 , and a plurality of second electrodes 120 are arranged in a row direction of the substrate 100 . ) can be placed between

또한, 본 발명은, 행 방향으로 배열되는 다수의 제1 전극(110)들에 병렬로 연결되는 제1 연결 라인(112)과, 행 방향으로 배열되는 다수의 제2 전극(120)들에 병렬로 연결되는 제2 연결 라인(122)을 더 포함할 수도 있다.In addition, according to the present invention, a first connection line 112 connected in parallel to a plurality of first electrodes 110 arranged in a row direction and a plurality of second electrodes 120 arranged in a row direction are parallel to each other. It may further include a second connection line 122 connected to.

여기서, 제1, 제2 연결 라인(112, 122)은, 기판(100)의 종 방향으로 배열될 수 있다.Here, the first and second connection lines 112 and 122 may be arranged in a longitudinal direction of the substrate 100 .

그 이유는, 전극 패드(114, 124)를 기판(100)의 일측 방향에만 배치함으로써, 기판 전체 면적을 최소화하여 측정 장치를 소형으로 제작하기 위함이다.The reason is to minimize the total area of the substrate by disposing the electrode pads 114 and 124 in only one direction of the substrate 100 to make the measuring device small.

또한, 본 발명은, 제1 연결 라인(112)의 끝단에 연결되는 제1 전극 패드(114)와, 제2 연결 라인(122)의 끝단에 연결되는 제2 전극 패드(124)를 더 포함할 수 있다.In addition, the present invention may further include a first electrode pad 114 connected to the end of the first connection line 112 and a second electrode pad 124 connected to the end of the second connection line 122 . can

여기서, 제1, 제2 전극 패드(122, 124)는, 전원부(140)에 연결되어 전압이 인가될 수 있다.Here, the first and second electrode pads 122 and 124 may be connected to the power supply unit 140 to apply a voltage.

이어, 제1 전극(110)과 제2 전극(120) 사이의 간격 D1은, 모두 동일할 수 있다.Next, the distance D1 between the first electrode 110 and the second electrode 120 may be the same.

일 예로, 제1 전극(110)과 제1 전극(110)의 일측에 위치하는 제2 전극(120)은, 제1 간격으로 배치되고, 제1 전극(110)과 제1 전극(110)의 타측에 위치하는 제2 전극(120)은, 제2 간격으로 배치되며, 제1 간격과 제2 간격은, 서로 동일할 수 있다.For example, the first electrode 110 and the second electrode 120 positioned at one side of the first electrode 110 are disposed at a first interval, and the first electrode 110 and the first electrode 110 are The second electrodes 120 positioned on the other side may be disposed at a second interval, and the first interval and the second interval may be equal to each other.

또한, 제1, 제2 간격은, 제1, 제2 전극(110, 120)의 폭보다 더 작을 수 있다.Also, the first and second intervals may be smaller than the widths of the first and second electrodes 110 and 120 .

그 이유는, 낮은 온도에서, 이산화탄소 감지막(130)과 이산화탄소와의 전기 화학 반응에 의한 이온의 전자수가 낮아질 경우에도, 전류 저항을 측정하여 이산화탄소의 농도를 정확히 검출하기 위함이다.The reason is to accurately detect the concentration of carbon dioxide by measuring the current resistance even when the number of electrons of ions is reduced due to an electrochemical reaction between the carbon dioxide sensing film 130 and carbon dioxide at a low temperature.

다른 경우로서, 제1, 제2 간격은, 제1, 제2 전극(110, 120)의 폭보다 더 클 수도 있다.In another case, the first and second intervals may be larger than the widths of the first and second electrodes 110 and 120 .

여기서, 제1, 제2 전극(110, 120)은, 나노 와이어일 수 있다.Here, the first and second electrodes 110 and 120 may be nanowires.

제1, 제2 간격이 제1, 제2 전극(110, 120)의 폭보다 더 큰 이유는, 제1, 제2 전극(110, 120)을 나노 와이어로 제작할 수 있기 때문이다.The reason that the first and second gaps are larger than the widths of the first and second electrodes 110 and 120 is that the first and second electrodes 110 and 120 can be made of nanowires.

다음, 제1, 제2 전극(110, 120)의 폭과 길이는, 서로 동일할 수 있다.Next, the width and length of the first and second electrodes 110 and 120 may be the same as each other.

그 이유는, 동일한 조건의 전기적 환경을 제공하여 이산화탄소의 농도를 정확히 검출하기 위함이다.The reason is to accurately detect the concentration of carbon dioxide by providing an electrical environment under the same conditions.

또한, 제1 전극(110)은, 이산화탄소 감지막(130)에 접촉되는데, 제1 전극(110)과 이산화탄소 감지막(130)과의 접촉 면적은, 이산화탄소 감지막(130)의 전체 면적 대비 약 10% ~ 약 35%를 차지할 수 있다.In addition, the first electrode 110 is in contact with the carbon dioxide sensing film 130 , and the contact area between the first electrode 110 and the carbon dioxide sensing film 130 is about the total area of the carbon dioxide sensing film 130 . It can account for 10% to about 35%.

그리고, 제2 전극(120)은, 이산화탄소 감지막(130)에 접촉되는데, 제2 전극(120)과 이산화탄소 감지막(130)과의 접촉 면적은, 이산화탄소 감지막(130)의 전체 면적 대비 약 10% ~ 약 35%를 차지할 수 있다.In addition, the second electrode 120 is in contact with the carbon dioxide sensing film 130 , and the contact area between the second electrode 120 and the carbon dioxide sensing film 130 is about the total area of the carbon dioxide sensing film 130 . It can account for 10% to about 35%.

그 이유는, 제1, 제2 전극(110, 120)과 이산화탄소 감지막(130)과의 접촉 면적이 너무 작으면 전류 저항의 측정 감도가 저하되고, 제1, 제2 전극(110, 120)과 이산화탄소 감지막(130)과의 접촉 면적이 너무 크면 전류 저항의 측정 감도가 너무 민감하여 이산화탄소의 농도의 측정 신뢰도가 낮아지기 때문이다.The reason is that if the contact area between the first and second electrodes 110 and 120 and the carbon dioxide sensing film 130 is too small, the measurement sensitivity of the current resistance decreases, and the first and second electrodes 110 and 120 This is because, if the contact area between the carbon dioxide sensing film 130 and the carbon dioxide sensing film 130 is too large, the measurement sensitivity of the current resistance is too sensitive, so that the measurement reliability of the carbon dioxide concentration decreases.

또한, 본 발명은, 도 3과 같이, 기판(100) 상부에 형성되는 절연층(150)을 더 포함할 수도 있다.In addition, as shown in FIG. 3 , the present invention may further include an insulating layer 150 formed on the substrate 100 .

절연층(150)을 형성하는 이유는, 기판(100)과 제1, 제2 전극(110, 120) 사이를 이격시켜 전기적으로 절연시킬 수 있다.The reason for forming the insulating layer 150 is that the substrate 100 and the first and second electrodes 110 and 120 may be spaced apart to be electrically insulated.

일 예로, 절연층(150)은, 실리콘 산화막을 포함할 수 있는데, 이에 한정되지는 않는다.For example, the insulating layer 150 may include a silicon oxide layer, but is not limited thereto.

또한, 본 발명은, 제1, 제2 전극(110, 120)과 이산화탄소 감지막(130) 사이에 배치되는 도전 박막(미도시)을 더 포함할 수도 있다.In addition, the present invention may further include a conductive thin film (not shown) disposed between the first and second electrodes 110 and 120 and the carbon dioxide sensing film 130 .

여기서, 도전 박막의 면적은, 이산화탄소 감지막(130)의 면적보다 더 넓을 수 있다.Here, the area of the conductive thin film may be larger than the area of the carbon dioxide sensing film 130 .

그 이유는, 도전 박막이 이산화탄소 감지막(130)의 이산화탄소 감지 반응을 활성화하기 위한 촉매 역할을 수행하도록 하기 위함이다.The reason is that the conductive thin film serves as a catalyst for activating the carbon dioxide sensing reaction of the carbon dioxide sensing film 130 .

일 예로, 도전 박막은, 은, 구리, 금, 알루미늄, 텅스텐, 아연, 주석, 마그네슘, 니켈, 철 등과 같이 전기전도도가 높은 금속을 포함할 수 있다.For example, the conductive thin film may include a metal having high electrical conductivity, such as silver, copper, gold, aluminum, tungsten, zinc, tin, magnesium, nickel, or iron.

또한, 도전 박막의 두께는, 이산화탄소 감지막(130)의 두께보다 더 얇을 수 있다.In addition, the thickness of the conductive thin film may be thinner than the thickness of the carbon dioxide sensing film 130 .

그 이유는, 이산화탄소 측정 장치의 전체 두께를 최소화하여 얇게 제작하기 위함이다.The reason is to make the carbon dioxide measuring device thin by minimizing the overall thickness.

이와 같이, 본 발명은, 환자의 호흡 가스 내에 포함된 이산화탄소 농도에 상응하여 전류 저항을 가변하는 이산화탄소 감지막을 사용함으로써, 이산화탄소를 고감도로 측정 가능하게 하고, 제작 단가 및 크기를 최소화할 수 있다.As such, the present invention, by using a carbon dioxide sensing film that changes the current resistance in accordance with the concentration of carbon dioxide contained in the patient's breathing gas, it is possible to measure carbon dioxide with high sensitivity, and it is possible to minimize the manufacturing cost and size.

도 4는, 본 발명 다른 실시예에 따른 이산화탄소 측정 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 5는, 도 4의 Ⅱ-Ⅱ' 선상에 따른 단면도이다.4 is a plan view for explaining a carbon dioxide measuring apparatus according to another embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 4 .

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예는, 제1 전극(110)과 제2 전극(120)의 배치 구조가 도 1의 실시예와 다를 뿐, 나머지 구조는 동일하므로 상세한 설명을 생략하도록 한다.As shown in FIGS. 4 and 5 , in another embodiment of the present invention, the arrangement structure of the first electrode 110 and the second electrode 120 is different from the embodiment of FIG. 1 , and the remaining structures are the same. A detailed description will be omitted.

본 발명의 다른 실시예에서, 제1 전극(110)은, 기판(100)의 행 방향으로 다수 개가 배열되고, 제2 전극(120)은, 기판(100)의 행 방향으로 다수 개가 배열되는데, 제1 전극들(110) 사이에 배치될 수 있다.In another embodiment of the present invention, a plurality of first electrodes 110 are arranged in a row direction of the substrate 100, and a plurality of second electrodes 120 are arranged in a row direction of the substrate 100, It may be disposed between the first electrodes 110 .

여기서, 제1 전극(110)과 제2 전극(120) 사이의 간격은, 일부 다를 수 있다.Here, a distance between the first electrode 110 and the second electrode 120 may be partially different.

일 예로, 제1 전극(110)과 제1 전극(110)의 일측에 위치하는 제2 전극(120)은, 제1 간격 D1으로 배치되고, 제1 전극(110)과 제1 전극(110)의 타측에 위치하는 제2 전극(120)은, 제2 간격 D2로 배치되며, 제1 간격 D1과 제2 간격 D2는, 서로 다를 수 있다.For example, the first electrode 110 and the second electrode 120 positioned at one side of the first electrode 110 are disposed at a first interval D1 , and the first electrode 110 and the first electrode 110 . The second electrode 120 positioned on the other side of the , may be disposed at a second interval D2, and the first interval D1 and the second interval D2 may be different from each other.

그 이유는, 낮은 온도에서 이산화탄소 감지막(130)과 이산화탄소와의 전기 화학 반응에 의한 이온의 전자수가 낮아지는 경우에, 제1 전극(110)과 제2 전극(120) 사이의 간격이 좁은 부분으로부터 전류 저항의 측정 감도를 높일 수 있기 때문이다.The reason is that when the number of electrons of ions is lowered due to an electrochemical reaction between the carbon dioxide sensing film 130 and carbon dioxide at a low temperature, the gap between the first electrode 110 and the second electrode 120 is narrow. This is because the measurement sensitivity of current resistance can be increased.

따라서, 본 발명은, 낮은 온도에서도 이산화탄소의 농도를 정확히 검출할 수 있다.Accordingly, the present invention can accurately detect the concentration of carbon dioxide even at a low temperature.

또한, 제1 간격 D1은, 제1, 제2 전극(110, 120) 폭보다 더 작고, 제2 간격 D2는, 제1, 제2 전극(110, 120) 폭보다 더 클 수 있다.In addition, the first interval D1 may be smaller than the width of the first and second electrodes 110 and 120 , and the second interval D2 may be larger than the width of the first and second electrodes 110 and 120 .

다음, 제1, 제2 전극(110, 120)의 폭과 길이는, 서로 동일할 수 있다.Next, the width and length of the first and second electrodes 110 and 120 may be the same as each other.

그 이유는, 동일한 조건의 전기적 환경을 제공하여 이산화탄소의 농도를 정확히 검출하기 위함이다.The reason is to accurately detect the concentration of carbon dioxide by providing an electrical environment under the same conditions.

또한, 제1 전극(110)은, 이산화탄소 감지막(130)에 접촉되는데, 제1 전극(110)과 이산화탄소 감지막(130)과의 접촉 면적은, 이산화탄소 감지막(130)의 전체 면적 대비 약 10% ~ 약 35%를 차지할 수 있다.In addition, the first electrode 110 is in contact with the carbon dioxide sensing film 130 , and the contact area between the first electrode 110 and the carbon dioxide sensing film 130 is about the total area of the carbon dioxide sensing film 130 . It can account for 10% to about 35%.

그리고, 제2 전극(120)은, 이산화탄소 감지막(130)에 접촉되는데, 제2 전극(120)과 이산화탄소 감지막(130)과의 접촉 면적은, 이산화탄소 감지막(130)의 전체 면적 대비 약 10% ~ 약 35%를 차지할 수 있다.In addition, the second electrode 120 is in contact with the carbon dioxide sensing film 130 , and the contact area between the second electrode 120 and the carbon dioxide sensing film 130 is about the total area of the carbon dioxide sensing film 130 . It can account for 10% to about 35%.

그 이유는, 제1, 제2 전극(110, 120)과 이산화탄소 감지막(130)과의 접촉 면적이 너무 작으면 전류 저항의 측정 감도가 저하되고, 제1, 제2 전극(110, 120)과 이산화탄소 감지막(130)과의 접촉 면적이 너무 크면 전류 저항의 측정 감도가 너무 민감하여 이산화탄소의 농도의 측정 신뢰도가 낮아지기 때문이다.The reason is that if the contact area between the first and second electrodes 110 and 120 and the carbon dioxide sensing film 130 is too small, the measurement sensitivity of the current resistance decreases, and the first and second electrodes 110 and 120 This is because, if the contact area between the carbon dioxide sensing film 130 and the carbon dioxide sensing film 130 is too large, the measurement sensitivity of the current resistance is too sensitive, so that the measurement reliability of the carbon dioxide concentration decreases.

또한, 본 발명은, 제1, 제2 전극(110, 120)과 이산화탄소 감지막(130) 사이에 배치되는 도전 박막(미도시)을 더 포함할 수도 있다.In addition, the present invention may further include a conductive thin film (not shown) disposed between the first and second electrodes 110 and 120 and the carbon dioxide sensing film 130 .

여기서, 도전 박막의 면적은, 이산화탄소 감지막(130)의 면적보다 더 넓을 수 있다.Here, the area of the conductive thin film may be larger than the area of the carbon dioxide sensing film 130 .

그 이유는, 도전 박막이 이산화탄소 감지막(130)의 이산화탄소 감지 반응을 활성화하기 위한 촉매 역할을 수행하도록 하기 위함이다.The reason is that the conductive thin film serves as a catalyst for activating the carbon dioxide sensing reaction of the carbon dioxide sensing film 130 .

일 예로, 도전 박막은, 은, 구리, 금, 알루미늄, 텅스텐, 아연, 주석, 마그네슘, 니켈, 철 등과 같이 전기전도도가 높은 금속을 포함할 수 있다.For example, the conductive thin film may include a metal having high electrical conductivity, such as silver, copper, gold, aluminum, tungsten, zinc, tin, magnesium, nickel, or iron.

또한, 도전 박막의 두께는, 이산화탄소 감지막(130)의 두께보다 더 얇을 수 있다.In addition, the thickness of the conductive thin film may be thinner than the thickness of the carbon dioxide sensing film 130 .

그 이유는, 이산화탄소 측정 장치의 전체 두께를 최소화하여 얇게 제작하기 위함이다.The reason is to make the carbon dioxide measuring device thin by minimizing the overall thickness.

이와 같이, 본 발명은, 환자의 호흡 가스 내에 포함된 이산화탄소 농도에 상응하여 전류 저항을 가변하는 이산화탄소 감지막을 사용함으로써, 이산화탄소를 고감도로 측정 가능하게 하고, 제작 단가 및 크기를 최소화할 수 있다.As such, the present invention, by using a carbon dioxide sensing film that changes the current resistance in accordance with the concentration of carbon dioxide contained in the patient's breathing gas, it is possible to measure carbon dioxide with high sensitivity, and it is possible to minimize the manufacturing cost and size.

도 6은, 환자의 인공 호흡기에 적용되는 이산화탄소 측정 장치를 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining a carbon dioxide measuring device applied to a patient's ventilator.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 이산화탄소 측정 장치(10)는, 환자의 인공 호흡기에 장착되어, 환자의 호흡 가스 내에 포함된 이산화탄소 농도를 측정할 수 있다.As shown in FIG. 6 , the carbon dioxide measuring device 10 of the present invention is mounted on the patient's ventilator, and can measure the carbon dioxide concentration contained in the patient's breathing gas.

일 예로, 환자의 인공 호흡기는, 분기부(210), 가습부(220), 호흡가스 제공부(230), 환자(P)로부터 배출되는 배기 가스 C를 전달하는 배기관(240), 그리고 호흡 가스 G를 환자(P)에게 전달하는 흡기관(250)을 포함할 수 있다.As an example, the patient's ventilator, the branching unit 210, the humidifier 220, the breathing gas providing unit 230, the exhaust pipe 240 for delivering the exhaust gas C discharged from the patient (P), and breathing gas It may include an intake pipe 250 for delivering G to the patient (P).

여기서, 분기부(210)는, 환자(P)에게 연결되는 제1 분기관(211), 흡기관(250)에 연결되는 제2 분기관(212), 그리고 배기관(240)에 연결되는 제3 분기관(213)을 포함할 수 있다.Here, the branch 210 includes a first branch pipe 211 connected to the patient P, a second branch pipe 212 connected to the intake pipe 250 , and a third branch pipe connected to the exhaust pipe 240 . It may include a branch pipe 213 .

이때, 본 발명의 이산화탄소 측정 장치(10)는, 분기부(210)의 제3 분기관(213) 내에 장착될 수 있는데, 이는 일 실시예일 뿐, 이에 한정되지는 않는다.In this case, the carbon dioxide measuring apparatus 10 of the present invention may be mounted in the third branch pipe 213 of the branch 210 , but this is only an example, and the present invention is not limited thereto.

즉, 본 발명의 이산화탄소 측정 장치(10)는, 환자의 환자감시장치와 인공 호흡기 중 다양한 위치에 장착될 수 있다.That is, the carbon dioxide measuring device 10 of the present invention may be mounted at various positions among the patient monitoring device and the ventilator.

또한, 본 발명의 이산화탄소 측정 장치(10)는, 환자의 환자감시장치와 인공 호흡기에 하나만 장착될 수도 있고, 다수 개가 장착될 수도 있다.In addition, the carbon dioxide measuring device 10 of the present invention may be mounted on the patient monitoring device and the ventilator of the patient alone, or a plurality of units may be mounted.

이처럼, 본 발명은, 이산화탄소에 대해 고감도 측정이 가능하고, 제작 단가 및 크기를 최소화할 수 있어, 환자감시장치와 인공 호흡기 등을 포함한 다양한 제품에 적용할 수 있다.As such, the present invention can measure carbon dioxide with high sensitivity, and can minimize the manufacturing cost and size, so that it can be applied to various products including patient monitoring devices and ventilators.

도 7은, 환자의 호흡 가스로부터 측정되는 이산화탄소 양을 보여주는 그래프이다.7 is a graph showing the amount of carbon dioxide measured from the breathing gas of a patient.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 이산화탄소 측정 장치를 환자의 환자감시장치와 인공 호흡기에 적용한 경우, 환자가 흡기하는 가스와 환자로부터 배출되는 호기 가스에 포함된 이산화탄소 농도를 정밀하게 측정함으로써, 환자의 호흡 상태를 통해 환자 상태를 정확하게 진단할 수 있다.7, when the carbon dioxide measuring device of the present invention is applied to the patient monitoring device and the ventilator of the patient, by precisely measuring the concentration of carbon dioxide contained in the gas inhaled by the patient and the exhaled gas discharged from the patient, It is possible to accurately diagnose the patient's condition through the patient's breathing condition.

이상에서 본 발명들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects, etc. described in the present inventions above are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, features, structures, effects, etc. illustrated in each embodiment can be combined or modified for other embodiments by those of ordinary skill in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents related to such combinations and modifications should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In addition, although the embodiment has been described above, it is only an example and does not limit the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains are exemplified above in a range that does not depart from the essential characteristics of the present embodiment. It can be seen that various modifications and applications that have not been made are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be implemented by modification. And the differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.

10: 이산화탄소 측정 장치
100: 기판
110: 제1 전극
112: 제1 연결 라인
114: 제1 전극 패드
120: 제2 전극
122: 제1 연결 라인
124: 제1 전극 패드
130: 이산화탄소 감지막
140: 전원부
150: 절연층10: carbon dioxide measuring device
100: substrate
110: first electrode
112: first connection line
114: first electrode pad
120: second electrode
122: first connection line
124: first electrode pad
130: carbon dioxide sensing film
140: power unit
150: insulating layer

Claims (8)

기판;
상기 기판 위에 형성되는 제1, 제2 전극; 그리고,
상기 제1, 제2 전극 위에 배치되는 이산화탄소 감지막을 포함하고,
상기 이산화탄소 감지막은,
상기 제1, 제2 전극으로부터 전압이 인가되면 환자의 호흡 가스 내에 포함된 이산화탄소 농도에 상응하여 전류 저항을 가변하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 측정 장치.Board;
first and second electrodes formed on the substrate; and,
a carbon dioxide sensing film disposed on the first and second electrodes;
The carbon dioxide sensing film,
When a voltage is applied from the first and second electrodes, the carbon dioxide measuring device, characterized in that for varying the current resistance corresponding to the concentration of carbon dioxide contained in the breathing gas of the patient. 제1 항에 있어서,
상기 이산화탄소 감지막은,
티타늄산화물(TiO4), 주석산화물(SnO2), 코발트산화물(Co3O4), 또는 이들의 합금을 포함하는 반도체금속산화물 그룹으로부터 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 측정 장치.The method of claim 1,
The carbon dioxide sensing film,
Titanium oxide (TiO 4 ), tin oxide (SnO 2 ), cobalt oxide (Co 3 O 4 ), or carbon dioxide measuring device, characterized in that at least one selected from the group of semiconductor metal oxides including alloys thereof. 제1 항에 있어서,
상기 제1, 제2 전극은,
금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 니켈(Ni), 구리(Cu), 텅스텐(W), 알루미늄(Al) 또는 이들의 합금을 포함한 그룹으로부터 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 측정 장치.The method of claim 1,
The first and second electrodes are
At least one selected from the group consisting of gold (Au), platinum (Pt), silver (Ag), nickel (Ni), copper (Cu), tungsten (W), aluminum (Al), or alloys thereof Carbon dioxide measuring device. 제1 항에 있어서,
상기 제1 전극은,
상기 기판의 행 방향으로 다수 개가 배열되고,
상기 제2 전극은,
상기 기판의 행 방향으로 다수 개가 배열되며, 상기 제1 전극들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 측정 장치.The method of claim 1,
The first electrode is
A plurality of pieces are arranged in the row direction of the substrate,
The second electrode is
A plurality of carbon dioxide measuring devices are arranged in a row direction of the substrate and are disposed between the first electrodes. 제1 항에 있어서,
상기 제1 전극은,
상기 이산화탄소 감지막에 접촉되고,
상기 제1 전극과 이산화탄소 감지막과의 접촉 면적은,
상기 이산화탄소 감지막의 전체 면적 대비 10% ~ 35%를 차지하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 측정 장치.The method of claim 1,
The first electrode is
in contact with the carbon dioxide sensing film,
A contact area between the first electrode and the carbon dioxide sensing film is,
Carbon dioxide measuring device, characterized in that it occupies 10% to 35% of the total area of the carbon dioxide sensing film. 제1 항에 있어서,
상기 제2 전극은,
상기 이산화탄소 감지막에 접촉되고,
상기 제2 전극과 이산화탄소 감지막과의 접촉 면적은,
상기 이산화탄소 감지막의 전체 면적 대비 10% ~ 35%를 차지하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 측정 장치.The method of claim 1,
The second electrode is
in contact with the carbon dioxide sensing film,
A contact area between the second electrode and the carbon dioxide sensing film is,
Carbon dioxide measuring device, characterized in that it occupies 10% to 35% of the total area of the carbon dioxide sensing film. 제1 항에 있어서,
상기 기판 상부에 형성되는 절연층을 더 포함하고,
상기 절연층은,
상기 기판과 상기 제1, 제2 전극 사이를 이격시키는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 측정 장치.The method of claim 1,
Further comprising an insulating layer formed on the substrate,
The insulating layer is
Carbon dioxide measuring apparatus, characterized in that spaced apart between the substrate and the first and second electrodes. 제1 항에 있어서,
상기 제1, 제2 전극과 상기 이산화탄소 감지막 사이에 배치되는 도전 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 측정 장치.The method of claim 1,
The carbon dioxide measuring device further comprising a conductive thin film disposed between the first and second electrodes and the carbon dioxide sensing film.
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