KR20220135184A - 기판처리장치 및 이의 제어방법 - Google Patents

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Abstract

기판처리장치 및 기판처리장치의 제어방법이 개시된다. 개시된 기판처리장치는, 웨이퍼를 구비하는 웨이퍼 조립체를 흡착 지지하는 진공척부; 진공척부를 회전시키는 회전척부; 회전척부를 회전시키기 위하여 회전척부에 연결되는 회전축; 웨이퍼에 분사된 처리액이 진공척부로 확산되지 않도록 웨이퍼 조립체를 가압하는 링 커버부; 진공척부에 설치되어 웨이퍼 조립체를 지지하는 밀폐링부; 및, 밀폐링부의 파손을 확인하기 위한 검사매체가 밀폐링부의 내부에 유입되도록 진공척부에 검사매체를 공급하는 매체공급부;를 포함한다.

Description

기판처리장치 및 이의 제어방법{APPARATUS FOR PROCESSING WAFER AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME}
본 발명은 웨이퍼에 처리액을 분사하여 웨이퍼를 처리하는데 사용되는 기판처리장치와, 이의 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정에서는 웨이퍼를 식각하는 식각공정과, 웨이퍼를 복수의 다이로 절단하는 싱귤레이션공정과, 웨이퍼를 세정하는 세정공정 등이 수행된다. 웨이퍼 식각공정이나 세정공정에서 기판처리장치가 사용된다.
기판처리장치는 회전 가능하게 설치되며, 상부에 웨이퍼가 안착되는 회전 테이블과, 회전 테이블의 가장자리 영역에 링 형상으로 결합되는 밀폐링부를 구비한다. 회전 테이블이 회전되는 상태에서 회전 테이블에 안착된 웨이퍼에는 처리액이 공급된다. 종래의 기판처리장치는 밀폐링부가 파손되었는지를 정확하게 확인하기 어려우므로, 밀폐링부를 주기적으로 교체하였다. 따라서, 기판처리장치의 유지 비용이 증가될 수 있다.
또한, 회전 테이블의 상부에 밀폐링부를 결합시키는 과정이 번거로웠고, 결합시 밀폐링부의 결합 완료 상태가 일정하지 않아 결합 오차(틀어짐 등)가 발생할 수 있다. 나아가, 밀폐링부의 결합 오차가 발생할 경우, 밀폐링의 외측으로 처리액이 침투함에 따라 테이블의 외주부의 구조물이 손상될 수 있다. 또한, 웨이퍼가 위치 변동되는 것을 방지하기 위해 웨이퍼 고정모듈이 설치되고, 밀폐링의 고정을 위한 밀폐링 고정모듈이 설치된다. 따라서, 기판처리장치의 구조가 복잡해지고, 제조 비용이 증가될 수 있다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 제10-2016-0122067호(2016.10.21 공개, 발명의 명칭: 웨이퍼 처리 장치 및 웨이퍼 처리 장치를 위한 밀폐 링)에 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해소하기 위한 것으로, 밀폐링부의 파손 여부를 용이하고 신속하게 확인할 수 있는 기판처리장치, 및 이의 제어방법을 제공한다.
또한 본 발명은 기판처리장치의 회전축에 결합되며 내부에 진공 연결유로부와 가압 연결유로부를 구비하는 로터리 조인트를 구비한 기판처리장치를 제공한다.
본 발명은, 웨이퍼를 구비하는 웨이퍼 조립체를 흡착 지지하는 진공척부; 상기 진공척부를 회전시키는 회전척부; 상기 회전척부를 회전시키기 위하여 상기 회전척부에 연결되는 회전축; 상기 웨이퍼에 분사된 처리액이 상기 진공척부로 확산되지 않도록 상기 웨이퍼 조립체를 가압하는 링 커버부; 상기 진공척부에 설치되어 상기 웨이퍼 조립체를 지지하는 밀폐링부; 및, 상기 밀폐링부의 파손을 확인하기 위한 검사매체가 상기 밀폐링부의 내부에 유입되도록 상기 진공척부에 상기 검사매체를 공급하는 매체공급부;를 포함하는 기판처리장치를 제공한다.
상기 회전축에는 상기 진공척부에 진공압을 형성하기 위한 진공유로부와, 상기 밀폐링부에 유동매체를 공급하기 위한 수직 매체유로부가 형성될 수 있다.
상기 기판처리장치는, 상기 회전축의 하단에 연결되어 상기 회전축과 함께 회전하는 회전 코어(core), 및 상기 회전 코어를 에워싸며 상기 회전 코어를 회전 가능하게 지지하는 고정 코어를 구비한 로터리 조인트(rotary joint);를 더 구비할 수 있다.
상기 로터리 조인트에는 상기 진공유로부와 유체 유동 가능하게 연결되는 진공 연결유로부와, 상기 수직 매체유로부와 유체 유동 가능하게 연결되는 가압 연결유로부가 형성되고, 상기 진공유로부에서 상기 진공 연결유로부로 유입되는 유체는 상기 고정 코어를 통해 상기 로터리 조인트의 외부로 유출되고, 상기 가압 연결유로부에서 상기 수직 매체유로부로 유출되는 유체는 상기 고정 코어를 통해 상기 로터리 조인트의 내부로 유입될 수 있다.
상기 진공 연결유로부는, 상기 회전 코어의 내부에서 수직 방향으로 연장되고 상단이 상기 회전 코어의 상측면으로 개방된 제1 수직 진공유로, 상기 제1 수직 진공유로의 하단과 연결되고 상기 회전 코어의 외주면을 향해 수평 방향으로 연장된 제1 수평 진공유로, 상기 고정 코어의 내부에서 수직 방향으로 연장되고 하단이 상기 고정 코어의 하측면으로 개방된 제2 수직 진공유로, 및 상기 제2 수직 진공유로의 상단과 연결되고 상기 제1 수평 진공유로와 연결되도록 상기 고정 코어의 내주면을 향해 수평 방향으로 연장된 제2 수평 진공유로를 포함할 수 있다.
상기 가압 연결유로부는, 상기 회전 코어의 내부에서 수직 방향으로 연장되고 상단이 상기 회전 코어의 상측면으로 개방된 제1 수직 가압유로, 상기 제1 수직 가압유로의 하단과 연결되고 상기 회전 코어의 외주면을 향해 수평 방향으로 연장된 제1 수평 가압유로, 상기 고정 코어의 내부에서 수직 방향으로 연장되고 하단이 상기 고정 코어의 하측면으로 개방된 제2 수직 가압유로, 및 상기 제2 수직 가압유로의 상단과 연결되고 상기 제1 수평 가압유로와 연결되도록 상기 고정 코어의 내주면을 향해 수평 방향으로 연장된 제2 수평 가압유로를 포함하고, 상기 진공 연결유로부와 상기 가압 연결유로부는 서로 교차하지 않을 수 있다.
상기 제1 수평 진공유로 및 상기 제1 수평 가압유로에는 각각, 상기 회전 코어의 외주면에서 내측으로 파인 환형 홈(groove)이 포함될 수 있다.
상기 진공 연결유로부는 상기 로터리 조인트의 내부에서 서로 교차하지 않도록 복수 개가 구비되고, 상기 가압 연결유로부는 상기 로터리 조인트의 내부에서 서로 교차하지 않도록 복수 개가 구비될 수 있다.
상기 복수의 가압 연결유로부 중 적어도 하나는 상기 검사매체가 상기 고정 코어의 하측면을 통해 유입되어 상기 회전 코어의 상측면을 통해 유출되도록 상기 매체 공급부에 연결될 수 있다.
상기 로터리 조인트는, 상기 제1 수평 진공유로와 상기 제2 수평 진공유로 사이에서 상기 진공 연결유로부로 유체가 유입되어 상기 진공 연결유로부의 진공압이 약해지지 않도록 상기 고정 코어의 내주면에 설치되는 환형의 진공유로 패킹(packing)을 더 구비할 수 있다.
상기 고정 코어의 내주면에는 환형으로 파인 진공유로 패킹 안착홈(groove)이 형성되고, 상기 진공유로 패킹은, 상기 진공유로 패킹 안착홈에 삽입 안착되며 상기 제2 수평 진공유로가 폐쇄되지 않도록 관통공이 형성된 몸체부, 및 상기 제1 수평 진공유로를 폐쇄하지 않으면서 상기 회전 코어의 외주면에 접촉되도록 상기 몸체부에서 상기 회전 코어의 외주면을 향해 돌출된 립부를 구비하고, 상기 진공유로 패킹의 상기 립부는 수평 방향으로 상기 회전 코어의 외주면에 가까워질수록 수직 방향으로 상기 제1 수평 진공유로에서 멀어지는 방향으로 기울어지게 돌출될 수 있다.
상기 로터리 조인트는, 상기 제1 수평 가압유로와 상기 제2 수평 가압유로 사이에서 상기 가압 연결유로부의 외부로 유체가 유출되어 상기 가압 연결유로부의 공압(空壓)이 약해지지 않도록 상기 고정 코어의 내주면에 설치되는 환형의 가압유로 패킹을 더 구비할 수 있다.
상기 고정 코어의 내주면에는 환형으로 파인 가압유로 패킹 안착홈이 형성되고, 상기 가압유로 패킹은, 상기 가압유로 패킹 안착홈에 삽입 안착되며 상기 제2 수평 가압유로가 폐쇄되지 않도록 관통공이 형성된 몸체부, 및 상기 제1 수평 가압유로를 폐쇄하지 않으면서 상기 회전 코어의 외주면에 접촉되도록 상기 몸체부에서 상기 회전 코어의 외주면을 향해 돌출된 립부를 구비하고, 상기 가압유로 패킹의 상기 립부는 수평 방향으로 상기 회전 코어의 외주면에 가까워질수록 수직 방향으로 상기 제1 수평 가압유로에 가까워지는 방향으로 기울어지게 돌출될 수 있다.
상기 회전 코어는 상기 고정 코어에 대해 회전할 때 마찰이 감소되도록 외주면에 적층된 세라믹 코팅층(ceramic coating layer)을 구비할 수 있다.
상기 고정 코어는 상기 회전 코어를 에워싸며 적층된 복수의 환형 블록을 구비할 수 있다.
상기 로터리 조인트는, 상기 고정 코어와의 사이에 냉매가 흐르는 냉각 유로가 형성되도록 상기 고정 코어의 외주면을 에워싸는 냉각 케이스를 더 구비할 수 있다.
상기 고정 코어의 내부에 상기 냉매가 흐를 수 있게 상기 냉각 유로와 연결되고 상기 고정 코어를 관통하는 냉매 순환 유로가 형성될 수 있다.
상기 매체공급부는, 상기 진공척부에 상기 검사매체가 공급되도록 연결되는 매체공급관부; 및, 상기 매체공급관부의 압력을 측정하는 압력감지부;를 포함할 수 있다.
상기 매체공급부는, 상기 매체공급관부에서 상기 진공척부로 공급되는 상기 검사매체의 유량을 측정하는 유량감지부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 기판처리장치는, 상기 회전척부에 설치되고, 상기 웨이퍼 조립체를 상기 진공척부에 위치 고정시키고, 상기 링 커버부가 상기 웨이퍼 조립체를 가압하도록 상기 링 커버부를 하강시키는 척킹모듈;을 더 포함할 수 있다.
상기 척킹모듈은, 상기 회전척부에 설치되는 척킹 베이스; 상기 척킹 베이스를 회전시키도록 상기 척킹 베이스에 연결된 척킹 회전부; 상기 척킹 베이스의 회전시에 방사 방향으로 이동하는 복수의 제1 척킹 링크부; 상기 복수의 제1 척킹 링크부가 방사 방향으로 이동함에 따라 상기 리테이너링부가 상기 진공척부에 위치 고정되도록 가압하고, 상기 복수의 제1 척킹 링크부에 연결된 복수의 웨이퍼 조립체 구속부; 상기 척킹 베이스의 회전시에 방사 방향으로 이동하는 복수의 제2 척킹 링크부; 및, 상기 복수의 제2 척킹 링크부의 이동과 연계하여 상기 링 커버부가 승강하도록 상기 복수의 제2 척킹 링크부와 상기 링 커버부에 연결되는 복수의 커버 구속부;를 포함할 수 있다.
상기 척킹 베이스가 회전할 때 상기 복수의 제1 척킹 링크부 및 상기 복수의 제2 척킹 링크부가 동시에 방사 방향으로 이동할 수 있다.
상기 밀폐링부는, 상기 진공척부에 마련된 밀폐홈부에 수용되며, 내부에 변형공간부가 형성된 씰링부재; 상기 씰링부재를 고정시키도록 상기 밀폐홈부에 설치되는 구속링부; 상기 변형공간부에 상기 검사매체가 공급되도록 상기 변형공간부에 연결되는 커넥터부;를 포함할 수 있다.
상기 링 커버부가 상기 웨이퍼 조립체를 사이에 두고 상기 씰링부재를 가압할 때 상기 씰링부재의 탄성 변형량이 증가되도록, 상기 씰링부재는 탄성홈부, 테이퍼부(taper portion), 오목부, 단차부, 변형홈부, 라운드부(round portion), 및 볼록부 중 적어도 하나를 구비할 수 있다.
상기 웨이퍼 조립체는, 상기 웨이퍼를 부착 지지하는 접착시트, 및 상기 접착시트의 외주부에 결합되는 리테이너링부를 더 포함하고, 상기 링 커버부는 상기 웨이퍼와 상기 리테이너링부 사이의 상기 접착시트를 가압할 수 있다.
또한 본 발명은 상기한 기판처리장치의 제어방법으로서, 상기 매체공급부를 구동하여 상기 밀폐링부의 내부에 상기 검사매체를 공급하는 검사매체 공급 단계; 및, 상기 밀폐링부의 내부에 공급된 상기 검사매체가 상기 밀폐링부의 외부로 누출되는지를 감지하는 검사매체 누출 감지 단계;를 포함하는 기판처리장치의 제어방법을 제공한다.
본 발명의 기판처리장치의 제어방법은, 상기 검사매체 누출 감지 단계에서 상기 검사매체의 누출이 감지되면, 상기 밀폐링부를 상기 진공척부에서 분리 제거하고 다른 밀폐링부를 상기 진공척부에 설치하는 밀폐링부 교체 단계; 상기 웨이퍼 조립체를 상기 진공척부에 고정 탑재하는 웨이퍼 탑재 단계; 및, 상기 웨이퍼 조립체의 상기 웨이퍼에 상기 처리액을 분사하여 상기 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 처리 단계;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 기판처리장치의 제어방법은, 상기 검사매체 누출 감지 단계에서 상기 검사매체의 누출이 감지되지 않으면, 상기 밀폐링부를 교체하지 않고 상기 웨이퍼 조립체를 상기 진공척부에 고정 탑재하는 웨이퍼 탑재 단계; 및, 상기 웨이퍼 조립체의 상기 웨이퍼에 상기 처리액을 분사하여 상기 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 처리 단계;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 매체공급부를 통해 밀폐링부의 내부에 검사매체를 공급하여 밀폐링부에서 검사매체의 누출 여부를 확인하는 방법에 의해 작업자가 밀폐링부의 파손 여부를 신속하고 정확하게 파악할 수 있다.
따라서, 기판처리장치를 이용한 웨이퍼의 처리공정 도중에 진공척부 및 회전척부로 처리액이 확산 침투하여 기판처리장치가 오염 및 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 기판처리장치의 유지 및 보수 비용이 절감된다.
로터리 조인트를 구비하는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판처리장치에 의하면, 복수의 진공 연결유로부와 가압 연결유로부가 포함되면서도 소형화된 로터리 조인트를 설계 제작할 수 있어 로터리 조인트와 이를 구비한 기판처리장치를 제한된 설치 공간에 용이하게 설치할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 구비된 로터리 조인트는, 고무 소재의 진공유로 패킹과 가압유로 패킹을 구비하여 진공 연결유로부와 가압 연결유로부에서 압력 손실이 방지되고, 메커니컬 씰(mechanical seal)을 적용하는 경우에 비해 로터리 조인트를 소형화하기 용이하고, 파티클(particle) 생성이 억제된다.
본 발명의 바람직한 실시예에 구비된 로터리 조인트는 냉매 순환 유로가 형성되도록 고정 코어의 외주면에 냉각 케이스가 설치되므로, 로터리 조인트의 작동 중 발열을 억제하여 로터리 조인트의 내구성, 즉 사용 수명이 향상된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 처리되는 웨이퍼 조립체를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 처리되는 웨이퍼 조립체를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 진공척부가 상승함에 따라 복수의 다이 사이의 간격이 벌어진 상태를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 척킹모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 매체공급부가 진공척부에 검사매체를 공급하는 상태를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 검사매체가 밀폐링부에 공급되는 상태를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 8 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 밀폐링부의 여러 실시예들을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치의 제어방법을 개략적으로 도시한 플로우 차트이다.
도 20은 도 4의 회전축의 하단에 연결되는 로터리 조인트의 일 실시예의 종단면도이다.
도 21은 도 20의 로터리 조인트를 P1-P1에 따라 절개 도시한 횡단면도이다.
도 22는 도 20의 로터리 조인트를 P2-P2에 따라 절개 도시한 횡단면도이다.
도 23은 도 21을 V1-V1에 따라 절개 도시한 종단면도이다.
도 24는 도 22를 V2-V2에 따라 절개 도시한 종단면도이다.
도 25는 로터리 조인트의 다른 일 실시예의 종단면도이다.
도 26은 로터리 조인트의 또 다른 일 실시예의 종단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치 및 기판처리장치의 제어방법을 상세하게 설명한다. 본 명세서에서 사용되는 용어(terminology)들은 본 발명의 바람직한 실시예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 사용자 또는 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 처리되는 웨이퍼 조립체를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 처리되는 웨이퍼 조립체를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 진공척부가 상승함에 따라 복수의 다이 사이의 간격이 벌어진 상태를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치를 개략적으로 도시한 단면도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 척킹모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치는 구동부(110), 회전척부(120), 진공척부(130), 링 커버부(140), 매체공급부(210), 및 밀폐링부(220)를 포함한다. 기판처리장치는 웨이퍼(wafer)(10)를 식각 및 세정하기 위해 사용될 수 있다. 식각공정(etching process)에서는 식각액이 웨이퍼(10)에 분사된다. 식각된 웨이퍼(10)가 싱귤레이션공정(singulation process)에서 매트릭스 형태로 절단됨에 따라 복수의 다이(11)가 형성된다. 세정공정에서는 세정액이 웨이퍼(10)에 분사됨에 따라 복수의 다이(11)에 부착된 이물질이 제거된다. 세정액으로는 정제수(Deionized water: DI-water) 등 다양한 종류가 적용될 수 있다. 이하에서는 식각액과 세정액을 통칭하여 처리액이라고 칭하기로 한다.
웨이퍼(10)는 링 프레임(ring frame)(14)에 부착 지지된 웨이퍼 조립체(15)의 형태로 기판처리장치에 탑재된다. 웨이퍼(10)는 매트릭스(matrix)를 이루며 배열된 복수의 다이(die)(11)를 포함한다. 링 프레임(14)은 웨이퍼(10)가 부착되는 접착시트(12)와, 접착시트(12)가 팽팽하게 당겨지도록 접착시트(12)의 외주부에 결합되는 리테이너링부(retainer ring portion)(13)를 포함한다(도 1 및 도 2 참조). 접착시트(12)는 수평방향으로 신축 가능한 재질로 형성된다. 접착시트(12)가 리테이너링부(13)에 의해 팽팽하게 당겨짐에 따라 웨이퍼(10)의 복수의 다이(11)가 위치 고정된다.
회전척부(120)는 구동부(110)에 회전 가능하게 설치된다(도 4 참조). 회전척부(120)는 회전척부(120)에 안착 지지되는 진공척부(130)와, 진공척부(130)에 탑재되는 웨이퍼 조립체(15)를 회전시킨다. 구동부(110)는 회전척부(120)의 회전중심에 연결되는 회전축(111)과, 회전축(111)에 설치되는 모터부(113)를 포함한다. 모터부(113)는 회전축(111)과 이에 고정 지지된 회전척부(120)를 축선(CL)을 중심으로 회전시키는 동력을 제공하는 것으로, 하우징(미도시)의 내부에 설치되는 고정자(미도시)와, 고정자의 내부에 배치되고, 회전축(111)을 둘러싸도록 설치되는 회전자(미도시)를 포함한다. 다만, 본 발명의 기판처리장치에 구비된 구동부(110)는 회전척부(120)를 회전시키는 동력을 제공하는 것이면 도 4에 도시된 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 벨트를 매개로 회전축(111)을 회전시키는 벨트구동방식의 구동부, 또는 체인을 매개로 회전축(111)을 회전시키는 체인구동방식의 구동부가 적용될 수도 있다.
회전축(111)에는 진공척부(130)에 진공압을 형성하기 위한 진공유로부(115: 도 4 참조)와, 밀폐링부(220)에 예컨대, 공기(air)와 같은 유동매체를 공급하기 위한 수직 매체유로부(117)가 형성된다. 진공유로부(115)와 수직 매체유로부(117)는 각각 회전축(111)의 길이방향을 따라 연장되며 서로 이격된다. 진공척부(130)에는 진공유로부(115)와 유체 유동 가능하게 연결되는 진공챔버(132)와, 수직 매체유로부(117)와 유체 유동 가능하게 연결되는 수평 매체유로부(136)가 형성된다.
진공척부(130)는 회전척부(120)에 안착된다. 진공척부(130)에는 웨이퍼 조립체(15)가 탑재된다. 진공척부(130)의 평면 형상은 회전척부(120)의 상부에 안착되도록 디스크(disk) 형상이다. 진공척부(130)는 구동부(110)의 구동력에 의해 회전척부(120)와 함께 회전한다. 기판처리장치에서 식각공정이 수행되는 경우에는 절단되지 않은 상태의 복수의 다이(11)를 포함하는 웨이퍼(10), 및 이를 부착 지지하는 링 프레임(14)을 구비하는 웨이퍼 조립체(15)가 진공척부(130)에 탑재된다.
한편, 기판처리장치에서 세정공정이 수행되는 경우에는 절단된 상태의 복수의 다이(11)를 포함하는 웨이퍼(10), 및 이를 부착 지지하는 링 프레임(14)을 구비한 웨이퍼 조립체(15)가 진공척부(130)에 탑재된다. 싱귤레이션공정에 의해 웨이퍼(10)가 복수의 다이(11)로 절단 분리되면 다이(11)의 표면과 인접한 다이(11) 사이의 틈새에 이물질이 잔존할 수 있다. 세정공정에서 상기 다이(11) 표면 및 인접한 다이(11) 사이의 이물질이 제거될 수 있다.
진공척부(130)는 제1 진공척(131) 및 제2 진공척(133)을 포함한다. 제1 진공척(131)은 회전척부(120)와 함께 회전하도록 회전척부(120)에 설치된다. 상술한 바와 같이 진공척부(130)에는 진공유로부(115)와 유체 유동 가능하게 연결되는 진공챔버(132)와, 수직 매체유로부(117)와 유체 유동 가능하게 연결되는 수평 매체유로부(136)가 형성된다.
제1 진공척(131)은 웨이퍼 조립체(15)를 흡착하도록 진공압을 형성한다. 제2 진공척(133)은 이동모듈(미도시)의 제1 진공척(131)에 대해 승강 가능하게 제1 진공척(131)에 탑재된다. 제2 진공척(133)에는 밀폐링부(220)가 설치된다.
제2 진공척(133)에는 웨이퍼 조립체(15)를 흡착하도록 진공챔버(132)에 연통되는 복수의 흡착홀부(134)가 형성된다. 복수의 흡착홀부(134)는 제2 진공척(133)의 중앙을 중심으로 하는 동심원을 따라 배열될 수 있다. 진공유로부(115) 및 이에 연결된 진공챔버(132)에 진공압이 형성되면, 복수의 흡착홀부(134)에 진공 흡착력이 발생하고, 이 진공 흡착력에 의해 웨이퍼 조립체(15)가 제2 진공척(133)의 상측면에 안정적으로 밀착 지지된다. 따라서, 기판처리장치에서 웨이퍼(10)의 식각공정이나 세정공정이 진행되는 동안에 웨이퍼(10)의 평탄도가 유지될 수 있다.
링 커버부(140)는 진공척부(130)의 외주부에 배치된다. 링 커버부(140)는 웨이퍼 조립체(15)의 접착시트(12)를 가압하여 진공척부(130)의 외주부로 처리액이 확산되지 않도록 진공척부(130)의 외주부를 씰링(sealing)한다. 링 커버부(140)는 척킹모듈(150)에 연결된다. 링 커버부(140)가 웨이퍼 조립체(15)의 접착시트(12)를 가압하여 진공척부(130)의 외주부를 씰링하도록 원형 링 형태로 형성되므로, 접착시트(12)가 처리액, 구체적으로는 식각액에 의해 손상되는 것이 최소화되고, 회전척부(120)와 진공척부(130)가 식각액에 의해 오염되거나 파손되는 것이 방지된다.
링 커버부(140)는 진공척부(130)의 외주를 감싸도록 형성되는 커버 바디부(141)와, 커버 바디부(141)의 하부에서 내측으로 돌출되게 형성되는 구속턱부(142)와, 커버 바디부(141)의 상측에서 내측으로 연장되고, 웨이퍼 조립체(15)의 접착시트(12)를 가압하는 커버 가압부(143)를 포함한다. 커버 가압부(143)는 웨이퍼(10)와 리테이너링부(13) 사이의 접착시트(12)를 아래로 가압한다. 구체적으로, 커버 가압부(143)는 웨이퍼 조립체(15)에서 웨이퍼(10)의 최외곽으로부터 대략 1mm 정도 이격된 접착시트(12)의 부분을 가압한다. 커버 가압부(143)는 내측 말단으로 갈수록 두께가 점차적으로 얇아지게 형성될 수 있다. 리테이너링부(13)와 웨이퍼(10) 사이의 접착시트(12)의 부분이 대략 1mm 정도의 폭을 제외하고 커버 가압부(143)에 의해 씰링되므로, 식각공정에서 식각액에 의한 접착시트(12)의 손상이 억제된다.
세정공정에서 세정액이 웨이퍼(10)에 분사되기에 앞서서, 웨이퍼 조립체(15)가 탑재 지지된 제2 진공척(133)이 이동모듈(미도시)에 의해 회전척부(120)와 제1 진공척(131)에 대해 상승할 수 있다. 이동모듈이 구동되어서 진공척부(130)의 제2 진공척(133)이 상승할 때 제1 진공척(131)은 상승하지 않으므로, 링 프레임(14)의 리테이너링부(13)가 위치 고정된 상태에서 접착시트(12)만 상승하면서 반경방향으로 늘어나게 된다. 접착시트(12)가 반경방향으로 늘어남에 따라 웨이퍼(10)의 복수의 다이(11) 사이의 간격(G2: 도 3 참조)이 벌어지게 된다. 이 상태로 세정액이 웨이퍼(10)에 분사되면 복수의 다이(11) 사이의 틈새에 끼어 있는 이물질이 신속하고 빠르게 제거될 수 있다.
기판처리장치는, 회전척부(120)에 설치된 것으로, 웨이퍼 조립체(15)를 진공척부(130)에 위치 고정시키고, 링 커버부(140)가 웨이퍼(10)와 리테이너링부(13) 사이의 접착시트(12)를 가압하도록 링 커버부(140)를 하강시키는 척킹모듈(150)을 더 포함한다. 척킹모듈(150)은 척킹 베이스(151), 척킹 회전부(155), 복수의 제1 척킹 링크부(160), 복수의 웨이퍼 조립체 구속부(170), 복수의 제2 척킹 링크부(180) 및 복수의 커버 구속부(190)를 포함한다.
척킹 베이스(151)는 회전척부(120)에 설치된다. 척킹 회전부(155)는 척킹 베이스(151)를 회전시키도록 척킹 베이스(151)에 연결된다. 복수의 제1 척킹 링크부(160)는 각각 척킹 베이스(151)에 연결되고 방사 방향으로 연장되며, 척킹 베이스(151)의 회전시 이동한다. 복수의 웨이퍼 조립체 구속부(170)는 제1 척킹 링크부(160)가 방사 방향으로 이동함에 따라 웨이퍼 조립체(15)의 리테이너링부(13)가 진공척부(130)에 위치 고정되도록 가압하는 것으로, 복수의 제1 척킹 링크부(160)에 각각 연결된다. 척킹 베이스(151)는 회전척부(120)와 동심을 이루도록 설치된다. 척킹 베이스(151), 척킹 회전부(155), 제1 척킹 링크부(160)는 회전척부(120)의 내부에 배치된다.
척킹 회전부(155)가 구동되면, 척킹 베이스(151)가 일정 각도 회전함에 따라 복수의 제1 척킹 링크부(160)가 척킹 베이스(151)의 반경방향, 구체적으로는 척킹 베이스(151)의 중심 측으로 이동한다. 복수의 제1 척킹 링크부(160)가 동시에 이동함에 따라 복수의 웨이퍼 조립체 구속부(170)가 리테이너링부(13)를 가압 고정시킴으로써 제1 진공척(131)에 대한 웨이퍼 조립체(15)의 수직 방향 정렬이 유지된다.
척킹 베이스(151)는 베이스 바디부(152), 복수의 가이드부(153), 및 베이스 기어부(154)를 포함한다. 베이스 바디부(152)는 회전척부(120)의 회전중심과 동심을 이루도록 환형으로 형성된다. 베이스 바디부(152)는 회전척부(120)의 내부에 배치된다. 복수의 가이드부(153)는 제1 척킹 링크부(160)가 이동 가능하게 결합되도록 베이스 바디부(152)에 형성된다. 복수의 가이드부(153)의 개수는 제1 척킹 링크부(160) 개수의 2배일 수 있다. 복수의 가이드부(153)는 베이스 바디부(152)의 중심에 대해 등각도 간격으로 형성될 수 있다.
제1 척킹 링크부(160)는 복수의 가이드부(153)에 하나 걸러 하나씩 결합된다. 베이스 기어부(154)는 베이스 바디부(152)에 형성되고, 척킹 회전부(155)에 연결된다. 베이스 기어부(154)는 베이스 바디부(152)의 내주면에 원호를 따라 연장되게 배치된다. 척킹 회전부(155)가 구동되면 베이스 기어부(154)가 회전하고, 베이스 바디부(152)가 베이스 기어부(154)와 함께 회전하여 제1 척킹 링크부(160)가 베이스 바디부(152)의 반경방향으로 이동한다.
가이드부(153)는 베이스 바디부(152)의 반경 방향에 대하여 경사지게 연장된다. 가이드부(153)는 가이드 홀(guide hole)일 수 있다. 다만, 가이드부는 가이드 홀에 한정되는 것은 아니며 가이드 홈이나 가이드 돌기일 수도 있다. 가이드부(153)가 베이스 바디부(152)의 반경에 대하여 경사지게 형성되므로, 베이스 바디부(152)가 일정 각도 회전함에 따라 제1 척킹 링크부(160)가 베이스 바디부(152)의 반경방향으로 직선 운동하게 된다.
제1 척킹 링크부(160)는 제1 가이드 슬라이더(161), 제1 링크부재(162) 및 제1 링크 기어부(163)를 포함한다. 제1 가이드 슬라이더(161)는 가이드부(153)에 이동 가능하게 결합된다. 제1 링크부재(162)는 제1 가이드 슬라이더(161)에 연결되고, 제1 가이드 슬라이더(161)가 이동할 때 베이스 바디부(152)의 반경방향으로 직선 이동한다. 제1 링크부재(162)는 직선바 형태로 형성된다. 제1 링크 기어부(163)는 웨이퍼 조립체 구속부(170)와 맞물리도록 제1 링크부재(162)에 형성될 수 있다. 예시적으로 제1 링크 기어부(163)는 제1 링크부재(162)의 길이방향과 나란한 랙기어 형태로 형성될 수 있다.
제1 척킹 링크부(160)는 제1 링크부재(162)가 직선 이동 가능하게 결합되는 제1 가이드 블록(164)을 더 포함한다. 제1 가이드 블록(164)은 베이스 바디부(152)의 회전시 제1 링크부재(162)가 베이스 바디부(152)의 원주방향으로 회전하는 것을 방지한다. 따라서, 베이스 바디부(152)의 회전시 제1 가이드 슬라이더(161)가 가이드부(153)를 따라 이동하면, 제1 링크부재(162)가 회전하지 않고 직선 이동할 수 있다.
웨이퍼 조립체 구속부(170)는 제1 척킹 링크부(160)의 이동시 웨이퍼(10)의 리테이너링부(13)를 가압 및 해제하도록 회전하는 그립퍼(gripper)(175)를 포함한다. 그립퍼(175)는 웨이퍼 조립체(15)의 리테이너링부(13)의 외주면을 가압하여 고정시키도록 원호 형태로 연장된다.
복수의 제2 척킹 링크부(180)는 각각 척킹 베이스(151)에 연결되고, 방사 방향으로 연장되며, 척킹 베이스(151)의 회전시 방사 방향으로 이동한다. 복수의 커버 구속부(190)는 제2 척킹 링크부(180) 및 링 커버부(140)의 구속턱부(142)에 연계된다. 척킹 회전부(155)가 구동되면 베이스 기어부(154)가 회전하고, 베이스 바디부(152)가 베이스 기어부(154)와 함께 회전하여 제2 척킹 링크부(180)가 베이스 바디부(152)의 반경방향, 구체적으로는 척킹 베이스(151)의 중심 측으로 이동한다. 척킹 베이스(151)의 베이스 바디부(152)가 회전할 때 복수의 제1 척킹 링크부(160)와 복수의 제2 척킹 링크부(180)가 동시에 방사 방향으로 이동한다.
제1 척킹 링크부(160)가 이동함에 따라 웨이퍼 조립체(15)의 리테이너링부(13)가 진공척부(130)에 대해 위치 고정되고, 제2 척킹 링크부(180)가 이동함에 따라 링 커버부(140)가 웨이퍼 조립체(15)의 웨이퍼(10)와 리테이너링부(13) 사이의 접착시트(12)를 예컨대, 원 궤도와 같은 폐곡선 궤도를 따라 가압하도록 아래로 이동하여 위치 고정된다. 하나의 척킹 베이스(151)와 하나의 척킹 회전부(155)를 이용하여 웨이퍼 조립체(15)와 링 커버부(140)를 동시에 위치 고정시키므로, 기판처리장치의 구조를 간단하게 할 수 있다.
제2 척킹 링크부(180)는 제2 가이드 슬라이더(181) 및 제2 링크부재(182)를 포함한다. 제2 가이드 슬라이더(181)는 가이드부(153)에 이동 가능하게 결합된다. 제2 링크부재(182)는 제2 가이드 슬라이더(181)에 연결되고, 제2 가이드 슬라이더(181)의 이동시 베이스 바디부(152)의 반경방향을 따라 직선 이동한다.
제2 링크부재(182)는 직선바 형태로 형성된다. 제2 링크 기어부(183)는 커버 구속부(190)와 맞물리도록 제2 링크부재(182)에 형성될 수 있다. 예시적으로 제2 링크 기어부(183)는 제2 링크부재(182)의 길이방향과 나란한 랙기어 형태로 형성될 수 있다.
제2 척킹 링크부(180)는 제2 링크부재(182)가 직선 이동 가능하게 결합되는 제2 가이드 블록(184)을 더 포함한다. 제2 가이드 블록(184)은 베이스 바디부(152)의 회전시 제2 척킹 링크부(180)가 베이스 바디부(152)의 원주방향으로 회전하는 것을 방지한다. 따라서, 베이스 바디부(152)의 회전시 제2 가이드 슬라이더(181)가 가이드부(153)를 따라 이동하면, 제2 링크부재(182)가 회전하지 않고 직선 이동할 수 있다. 제2 척킹 링크부(180)의 이동과 연계하여 링 커버부(140)가 승강하도록 복수의 커버 구속부(190)는 복수의 제2 척킹 링크부(180)와 링 커버부(140)의 구속턱부(142)에 연결된다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 매체공급부가 진공척부에 검사매체를 공급하는 상태를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 검사매체가 밀폐링부에 공급되는 상태를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 매체공급부(210)는 진공척부(130)의 내부 및 이에 설치된 밀폐링부(220)의 내부에 검사매체를 공급한다. 진공척부(130)의 내부, 구제척으로 제1 진공척(131)의 내부에는 매체공급부(210)로부터 진공척부(130)로 유입되는 검사매체가 밀폐링부(220)에 공급되도록 수평 매체유로부(136)가 형성된다. 수평 매체유로부(136)는 밀폐링부(220)에 마련된 복수의 연통채널부(227a)에 연결되도록 제1 진공척(131) 내부에 방사 방향으로 형성될 수 있다.
매체공급부(210)는 진공척부(130)의 내부, 구제척으로 수평 매체유로부(136)에 유체인 검사매체를 공급할 수 있게 연결되는 매체공급관부(211)와, 매체공급관부(211)의 유로가 개폐되도록 매체공급관부(211)에 설치되는 밸브(213)를 포함한다. 부연하면, 수평 매체유로부(136)는 회전축(111) 내부에서 유체 유동 가능하게 수직 방향으로 연장 형성된 수직 매체유로부(117)와 연결되는데, 매체공급관부(211)는 수평 매체유로부(136)에 직접 연결될 수도 있고, 수직 매체유로부(117)를 매개로 하여 수평 매체유로부(136)에 연결될 수도 있다.
기판처리장치에서 웨이퍼(10)의 식각공정 또는 세정공정이 진행되고 있는 때에는 수직 매체유로부(117)와 수평 매체유로부(136)를 통해 예컨대, 공기(air) 와 같은 유동매체가 밀폐링부(220)의 내부에 공급된다. 기판처리장치를 이용한 웨이퍼(10)의 처리 공정이 진행되지 않을 때, 다시 말해 기판처리장치가 작동하지 때에 밸브(213)가 개방되면 검사매체가 매체공급관부(211)를 통해 수평 매체유로부(136)에 공급될 수 있다.
매체공급부(210)는 매체공급관부(211)의 압력을 측정하도록 매체공급관부(211)에 설치되는 압력감지부(214)와, 매체공급관부(211)에서 진공척부(130)의 수평 매체유로부(136)로 공급되는 검사매체의 유량을 측정하는 유량감지부(215)를 더 포함한다. 매체공급관부(211)에 검사매체가 공급되는 동안에 매체공급관부(211)의 압력이 미리 설정된 기준 압력보다 낮아지면 밀폐링부(220)가 파손된 것으로 판단할 수 있다.
유량감지부(215)는 밀폐링부(220)에 일정량의 검사매체가 공급될 수 있도록 검사매체의 유량을 측정하므로, 밀폐링부(220)의 내부 압력의 과도한 증가가 예방된다. 검사매체는 형광물질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 밀폐링부(220)에서 누출되는 검사매체가 어두운 곳에서도 확인될 수 있으므로, 어두운 곳에서도 밀폐링부(220)의 파손 여부를 용이하게 확인할 수 있다.
밀폐링부(220)는 예컨대, 고무와 같은 탄성 소재로 형성되며, 웨이퍼 조립체(15)를 지지하도록 진공척부(130)에 설치된다. 구체적으로, 밀폐링부(220)는 웨이퍼 조립체(15)의 웨이퍼(10)와 리테이너링부(13) 사이의 접착시트(12)를 지지한다. 밀폐링부(220)의 내부에는 진공척부(130)에 공급되는 검사매체가 유입된다. 밀폐링부(220)가 부분적으로 파손되면, 검사매체가 밀폐링부(220)의 파손된 부분을 통해 외부로 누출된다. 이 경우에 예를 들어, 작업자가 손끝을 밀폐링부(220)에 근접시켜 느껴지는 감각을 통해 밀폐링부(220)의 파손을 쉽게 파악할 수 있다. 한편, 작업자는 별도의 누설검사기기(미도시)를 이용하여 밀폐링부(220)에서 검사매체가 누설되는 것을 확인할 수도 있다. 밀폐링부(220)의 파손 여부는 기판처리장치를 이용한 식각공정, 세정공정과 같은 웨이퍼(10)의 처리공정이 수행되기 이전에 수행될 수 있다.
이처럼, 검사매체의 누설 여부를 확인하여 밀폐링부(220)의 파손 여부를 신속하고 용이하게 확인할 수 있다. 따라서, 밀폐링부(220)의 교체 시간을 정확하게 인지할 수 있으므로, 기판처리장치의 유지/보수 비용을 감소시킬 수 있다. 또한, 밀폐링부(220)의 파손으로 인해 기판처리장치가 오염되거나 손상되는 것을 예방할 수 있다.
밀폐링부(220)는 씰링부재(221), 구속링부(225) 및 커넥터부(227)을 포함한다. 씰링부재(221)는 진공척부(130)의 밀폐홈부(137)에 수용되고, 내부에 변형공간부(223)가 형성된다. 구속링부(225)는 씰링부재(221)를 고정시키도록 밀폐홈부(137)에 설치된다. 커넥터부(227)는 변형공간부(223)에 검사매체를 공급하도록 변형공간부(223)에 연결된다. 씰링부재(221)의 단면 형상은 하측이 개방된 사각 형태로 형성될 수 있다. 구속링부(225)에는 씰링부재(221)의 하측이 끼워져 구속된다.
커넥터부(227)에는 변형공간부(223)와 수평 매체유로부(136)를 연통시키도록 연통채널부(227a)가 형성된다. 수평 매체유로부(136)에 공급되는 검사매체는 커넥터부(227)를 통해 씰링부재(221)의 변형공간부(223)에 공급된다. 따라서, 씰링부재(221)에서 검사매체의 누출 여부를 감지하여 씰링부재(221)의 교체 시기를 정확하게 확인할 수 있다.
도 8 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치에서 밀폐링부의 여러 실시예들을 개략적으로 도시한 단면도이다. 이하에서는 이 도면들을 순차적으로 참조하여 밀폐링부(210)에 포함된 씰링부재(221)의 다양한 실시예에 관해 상세하게 설명한다.
도 8을 참조하면, 씰링부재(221)는 밀폐홈부(137)에 수용되고, 변형공간부(223)가 형성되는 씰링 바디부(222)와, 구속링부(225)에 끼워지도록 씰링 바디부(222)의 하단에서 구속링부(225) 측으로 절곡 연장된 고정리브(224)를 포함한다. 씰링 바디부(222)의 단면 형상은 대략 뒤집어진 알파벳 "U"자 형상이고, 고정리브(224)는 씰링 바디부(222)의 양측 하단에서 서로 가까워지는 방향으로 절곡 연장된다. 고정리브(224)가 구속링부(225)에 끼워져 구속되므로, 변형공간부(223)의 압력이 증가하더라도 씰링부재(221)가 구속링부(225)에서 분리되는 것을 방지할 수 있다.
압력감지부(214) 및 유량감지부(215)에 의해 매체공급관부(211)의 압력과 유량이 측정 감지되므로, 작업자는 밀폐링부(220)의 내부로 검사매체가 적절하게 유입되는지 여부 뿐만 아니라, 씰링부재(221)의 파손 여부도 파악할 수 있다.
도 9 내지 도 11을 참조하면, 씰링 바디부(222)의 외측면 또는 내측면에 탄성홈부(231)가 형성된다. 탄성홈부(231)는 씰링 바디부(222)의 상측 모서리 또는 그 주변에 형성될 수 있다. 탄성홈부(231)는 씰링 바디부(222)의 원주방향을 따라 원형으로 형성된다. 탄성홈부(231)가 형성됨으로써 링 커버부(140)의 커버 가압부(143)가 접착시트(12)를 사이에 두고 씰링 바디부(222)를 가압할 때에, 씰링 바디부(222)가 보다 원활하게 탄성 변형될 수 있다. 씰링 바디부(222)의 탄성 변형량이 증가되므로, 씰링 바디부(222)의 탄성 복원력에 의해 웨이퍼 조립체(15)의 접착시트(12)가 커버 가압부(143)에 보다 강하게 탄성 밀착되고, 씰링 바디부(222)와 커버 가압부(12)의 밀착 면적이 증대되므로, 결과적으로 씰링 바디부(222)의 밀봉(sealing) 성능이 향상될 수 있다.
도 12를 참조하면, 씰링 바디부(222)의 내주측 및 외측측에 테이퍼부(232)가 형성된다. 테이퍼부(232)는 씰링 바디부(222)의 내주측 및 외주측으로 갈수록 낮아지는 방향으로 경사지게 형성된다. 테이퍼부(232)에 의해 씰링 바디부(222)의 상단부가 보다 원활하게 탄성 변형될 수 있어서, 씰링 바디부(222)의 탄성 복원력에 의해 웨이퍼 조립체(15)의 접착시트(12)가 커버 가압부(143)에 보다 강하게 탄성 밀착되고, 씰링 바디부(222)와 커버 가압부(143)의 밀착 면적이 증대되므로, 결과적으로 씰링 바디부(222)의 밀봉 성능이 향상될 수 있다.
도 13 및 도 14를 참조하면, 씰링 바디부(222)의 상단부에는 오목하게 파인 오목부(233)가 형성된다. 오목부(233)는 씰링 바디부(222)의 상단부의 폭방향 중심부가 아래로 오목하게 파이도록 형성될 수 있다. 오목부(233)는 씰링 바디부(222)의 원주방향을 따라 원형으로 형성된다. 오목부(233)가 씰링 바디부(222)의 상단부에 형성되므로, 링 커버부(140)의 커버 가압부(143)가 접착시트(12)를 사이에 두고 씰링 바디부(222)를 가압할 때에 씰링 바디부(222)의 탄성 변형량이 증가되고, 씰링 바디부(222)와 커버 가압부(143)의 밀착 면적이 증대되며, 결과적으로 씰링 바디부(222)의 밀봉 성능이 향상될 수 있다.
씰링 바디부(222)의 외측면 또는 내측면에 탄성홈부(231)가 더 형성될 수도 있다. 탄성홈부(231)는 씰링 바디부(222)의 상측 모서리 또는 그 주변에 형성될 수 있다. 탄성홈부(231)는 씰링 바디부(222)의 원주방향을 따라 원형으로 형성된다. 씰링 바디부(222)에 오목부(233)와 탄성홈부(231)가 동시에 형성되므로, 씰링 바디부(222)의 탄성 변형량이 더욱 증가될 수 있다.
도 15를 참조하면, 씰링 바디부(222)의 상단부에는 단차부(234)가 형성된다. 단차부(234)는 커버 가압부(143)의 말단이 접촉되는 부분에 형성될 수 있다. 단차부(234)는 씰링 바디부(222)의 원주방향을 따라 원형으로 형성된다. 씰링 바디부(222)의 상단부에 단차부(234)가 형성되므로, 씰링 바디부(222)의 탄성 변형량이 더욱 증가되고, 씰링 바디부(222)와 커버 가압부(143)의 밀착 면적이 증대되며, 결과적으로 씰링 바디부(222)의 밀봉 성능이 향상될 수 있다.
도 16을 참조하면, 씰링 바디부(222)의 상단부에는 복수의 변형홈부(235)가 형성된다. 복수의 변형홈부(235)는 씰링 바디부(222)의 상단부 내측면에 형성될 수 있다. 복수의 변형홈부(235)는 씰링 바디부(222)의 원주방향을 따라 원형으로 형성된다. 씰링 바디부(222)의 상단부에 복수의 변형홈부(235)가 형성되므로, 씰링 바디부(222)의 탄성 변형량이 더욱 증가되고, 씰링 바디부(222)와 커버 가압부(143)의 밀착 면적이 증대되며, 결과적으로 씰링 바디부(222)의 밀봉 성능이 향상될 수 있다.
도 17을 참조하면, 씰링 바디부(222)의 상단부 내주측 및 외주측에 단면이 곡선형으로 연장되게 처리된 라운드부(round portion)(236)가 형성된다. 라운드부(236)는 씰링 바디부(222)의 상단부의 내주측 및 외주측 모서리부에 형성된다. 라운드부(236)는 씰링 바디부(222)의 원주방향을 따라 원형으로 형성된다. 씰링 바디부(222)의 내주측 및 외주측에 라운드부(236)가 형성되므로, 씰링 바디부(222)의 탄성 변형량이 더욱 증가되고, 씰링 바디부(222)와 커버 가압부(143)의 밀착 면적이 증대되며, 결과적으로 씰링 바디부(222)의 밀봉 성능이 향상될 수 있다.
도 18을 참조하면, 씰링 바디부(222)는 상부에 볼록하게 상향 돌출된 볼록부(237)를 구비한다. 볼록부(237)는 씰링 바디부(222)의 원주방향을 따라 원형으로 형성되며, 볼록부(237)의 단면 형상은 곡선형으로 연장된다. 씰링 바디부(222)의 상부에 볼록부(237)가 형성되므로, 씰링 바디부(222)의 탄성 변형량이 더욱 증가되고, 씰링 바디부(222)와 커버 가압부(143)의 밀착 면적이 증대되며, 결과적으로 씰링 바디부(222)의 밀봉 성능이 향상될 수 있다.
이하에서는 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명한 기판처리장치의 제어방법에 관해 상세하게 설명한다. 도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치의 제어방법을 개략적으로 도시한 플로우 차트이다. 도 4 내지 도 7, 및 도 19를 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치의 제어방법은 검사매체 공급 단계(S10), 검사매체 누출 감지 단계(S20), 밀폐링부 교체 단계(S30), 웨이퍼 탑재 단계(S40), 및 웨이퍼 처리 단계(S50)를 포함한다. 본 발명의 기판처리장치의 제어방법은, 기판처리장치를 이용한 웨이퍼(10)의 처리공정을 시작하기에 앞서서, 또는 기판처리장치에서 하나의 웨이퍼(10)를 처리하여 언로드(unload)하고 새로운 웨이퍼(10)를 기판처리장치에 탑재(load)하기 전까지의 시간에 수행될 수 있다.
검사매체 공급 단계(S10)는 매체공급부(210)를 구동하여 밀폐링부(220)의 내부에 검사매체를 공급하는 단계이다. 밸브(213)가 개방되면 검사매체가 매체공급관부(211)를 통해 수평 매체유로부(136)에 공급된다. 수평 매체유로부(136)에 유입된 검사매체는 커넥터부(227)를 통해 씰링부재(221)의 변형공간부(223)에 공급된다.
매체공급부(210)가 구동되어 밀폐링부(220)에 검사매체가 공급될 때 압력감지부(214)와 유량감지부(215)는 밀폐링부(220)에 공급되는 검사매체의 압력과 유량을 측정한다. 유량감지부(215)는 밀폐링부(220)에 일정량의 검사매체가 공급될 수 있도록 검사매체의 유량을 측정하므로, 밀폐링부(220)의 내부 압력이 과도하게 증가되는 것을 방지할 수 있다. 부연하면, 유량감지부(215)의 측정값이 미리 설정된 기준 유량에 도달하면, 기판처리장치의 제어부(미도시)가 밸브(213)를 폐쇄하거나 밸브(213)의 개도를 작게 조절할 수 있다.
검사매체 누출 감지 단계(S20)는 밀폐링부(220)의 내부, 즉 변형공간부(223)에 공급된 검사매체가 밀폐링부(220)의 외부로 누출되는지를 감지하는 단계이다. 밀폐링부(220)가 파손된 경우에 밀폐링부(220)의 파손 부위를 통해 검사매체가 누설된다. 작업자가 손끝을 밀폐링부(220)에 접근시켰을 때 손끝 피부에 느껴지는 기체의 흐름을 통해 밀폐링부(220)의 파손 여부를 파악할 수 있다. 검사매체에 형광물질이 포함된 경우에 밀폐링부(220)의 외부에 형광색상이 식별 가능하게 나타나므로, 작업자는 밀폐링부(22) 외부로 누설된 형광물질을 보고 어두운 장소에서도 밀폐링부(220)의 파손 여부를 용이하게 파악할 수 있다. 이 외에도 작업자는 별도의 누설검사기기를 이용하여 밀폐링부(220)의 파손 여부를 파악할 수도 있다.
매체공급관부(211)에서 수평 매체유로부(136)로 검사매체가 공급될 때 압력감지부(214)에 의해 측정되는 매체공급관부(211)의 압력이 미리 설정된 기준 압력보다 낮아지면 기판처리장치의 제어부(미도시)가 밀폐링부(220)가 파손된 것으로 판단할 수도 있다.
밀폐링부 교체 단계(S30)는, 검사매체 누출 감지 단계(S20)에서 검사매체의 누출을 감지하여 밀폐링부(220)가 파손된 것으로 파악된 경우에, 밀폐링부(220)를 진공척부(130)의 밀폐홈부(137)에서 제거하고 새로운 밀폐링부(220)를 밀폐홈부(137)에 설치하는 단계이다. 밀폐링부 교체 단계(S30)에서 새로운 밀폐링부(220) 내부의 유동매체를 배출시킬 수 있다. 이로 인해, 씰링 바디부(222)가 밀폐홈부(137)의 내측으로 압착되면서 수축되고, 밀폐링부(220)의 고정리브(224)가 변형되면서 구속링부(225)에 꽉 끼워진다. 따라서, 밀폐링부(220)의 조립 정밀도가 향상될 수 있다.
웨이퍼 탑재 단계(S40)는 웨이퍼 조립체(15)를 기판처리장치의 진공척부(130)에 고정 탑재하는 단계이다. 먼저, 웨이퍼 탑재 단계(S40)는 웨이퍼 이송부(미도시)가 예컨대, 식각, 세정과 같은 기판 처리가 수행되지 않은 웨이퍼 조립체(15)를 픽업하여 진공척부(130)에 올려 놓는 단계를 포함한다. 이때, 웨이퍼 조립체(15)의 리테이너링부(13)는 진공척부(130)의 외주부에 안착되고, 리테이너링부(13)와 웨이퍼(10) 사이의 접착시트(12)는 밀폐링부(220)의 상측에 안착된다.
다음으로, 웨이퍼 탑재 단계(S40)는 척킹모듈(150)을 구동하여 웨이퍼 조립체(15)를 진공척부(130)에 고정시키는 단계를 포함한다. 이때, 척킹 베이스(151)가 척킹 회전부(155)에 의해 회전하여 복수의 제1 척킹 링크부(160)와 복수의 제2 척킹 링크부(180)가 동시에 이동한다. 제1 척킹 링크부(160)가 이동함으로 인해 웨이퍼 조립체(15)의 리테이너링부(13)가 진공척부(130)에 고정되고, 제2 척킹 링크부(180)가 이동함으로 인해 이에 연계된 링 커버부(140)의 구속턱부(142)가 아래로 이동하여 고정되면서 커버 가압부(143)가 접착시트(12)를 사이에 두고 밀폐링부(220)를 가압한다.
다음으로, 웨이퍼 탑재 단계(S40)는 밀폐링부(220)가 팽창되도록 밀폐링부(220)의 내부에 예컨대, 공기와 같은 유동매체를 공급하는 단계를 포함한다. 유동매체는 수직 매체유로부(117)와 수평 매체유로부(136)를 통하여 밀폐링부(220)의 내부에 공급된다. 밀폐링부(220)의 팽창력으로 인해 밀폐링부(220)가 링 커버부(140)의 커버 가압부(143)에 더욱 강하게 가압되므로 링 커버부(140)의 밀봉 성능이 더욱 향상될 수 있다.
웨이퍼 처리 단계(S50)는 웨이퍼 조립체(15)의 웨이퍼(10)에 처리액을 분사하여 웨이퍼(10)를 처리하는 단계이다. 이때, 처리액 분사 노즐(미도시)이 웨이퍼(10)의 상측에서 처리액을 분사한다. 웨이퍼(10)의 처리가 완료되면, 웨이퍼(10)의 구속이 해제되도록 척킹모듈(150)이 구동되고, 웨이퍼 이송부가 웨이퍼 조립체(15)를 픽업하여 진공척부(130)의 외부로 웨이퍼 조립체(15)를 배출시킨다.
한편, 검사매체 누출 감지 단계(S20)에서 검사매체의 누출이 감지되지 않은 경우에는 밀폐링부 교체 단계(S30)는 생략될 수 있다. 다시 말해서, 검사매체 누출 감지 단계(S20) 이후에 밀폐링부(220)의 교체 없이 웨이퍼 탑재 단계(S40) 및 웨이퍼 처리 단계(S50)가 수행될 수 있다.
도 20은 도 4의 회전축의 하단에 연결되는 로터리 조인트의 일 실시예의 종단면도이고, 도 21은 도 20의 로터리 조인트를 P1-P1에 따라 절개 도시한 횡단면도이고, 도 22는 도 20의 로터리 조인트를 P2-P2에 따라 절개 도시한 횡단면도이고, 도 23은 도 21을 V1-V1에 따라 절개 도시한 종단면도이고, 도 24는 도 22를 V2-V2에 따라 절개 도시한 종단면도이다. 도 4, 도 20 내지 도 24를 함께 참조하면, 본 발명의 기판처리장치는 도 4에 도시된 회전축(111)의 하단에 연결되는 로터리 조인트(300)를 더 구비할 수 있다. 로터리 조인트(300)는 회전 코어(core)(301), 고정 코어(310), 및 냉각 케이스(case)(390)를 구비한다.
회전 코어(301)와 고정 코어(310)의 내부에는 회전축(111)의 진공유로부(115)의 하단과 유체 유동 가능하게 연결되는 진공 연결유로부(360)와, 회전축(111)의 수직 매체유로부(117)의 하단과 유체 유동 가능하게 연결되는 제1 및 제2 가압 연결유로부(370, 380)가 형성된다. 도 4에 도시된 것처럼 수직 매체유로부(117)가 한 쌍이 구비되므로, 이에 대응되게 가압 연결유로부(370, 380)가 한 쌍이 구비된다. 도 4에 도시된 바와 달이 수직 매체유로부가 한 개이거나, 3개 이상인 경우에는 가압 연결유로부의 개수도 수직 매체유로부의 개수와 같은 개수로 구비된다.
회전 코어(301)는 회전축(111)의 하단에 연결되어 축선(CL)을 중심으로 회전축(111)과 함께 회전한다. 고정 코어(310)는 회전 코어(301)를 에워싸며 회전 코어(301)를 회전 가능하게 지지한다. 코정 코어(310)는 회전 코어(301)와 함께 회전하지 않는다. 회전 코어(301)의 형상은 대체로 원통형이고, 고정 코어(310)의 형상은 대체로 중공이 형성된 원통형이다.
진공 연결유로부(360)는, 제1 수직 진공유로(361), 제1 수평 진공유로(362), 제2 수직 진공유로(368), 및 제2 수평 진공유로(366)를 포함한다. 제1 수평 진공유로(362)는 회전 코어(301)의 내부에서 축선(CL)과 평행한 수직 방향으로 연장되고 상단이 회전 코어(301)의 상측면(302)으로 개방되어 진공유로부(115)의 하단과 유체 유동 가능하게 연결된다. 제1 수평 진공유로(362)는 제1 수직 진공유로(361)의 하단과 유체 유동 가능하게 연결되고, 회전 코어(301)의 외주면(303)을 향해 수평 방향으로 연장된다.
제2 수직 진공유로(368)는 고정 코어(310)의 내부에서 축선(CL)과 평행한 수직 방향으로 연장되고 하단이 고정 코어(310)의 하측면(311)으로 개방된다. 제2 수직 진공유로(368)의 하단은 유체가 제1 수직 진공유로(361)의 상단을 통해 유입되어 제2 수직 진공유로(368)의 하단을 통해 방출되도록 유체를 흡기하는 진공 흡입부(미도시)에 유체 유동 가능하게 연결된다. 진공 흡입부는 부압(負壓)을 형성하는 진공 펌프(미도시)를 구비할 수 있다.
제2 수평 진공유로(366)는 제2 수직 진공유로(368)의 상단과 유체 유동 가능하게 연결되고, 제1 수평 진공유로(362)와 유체 유동 가능하게 연결되도록 고정 코어(310)의 내주면(313)을 향해 수평 방향으로 연장된다. 제1 수평 진공유로(362)에는 회전 코어(301)의 외주면(303)에서 내측으로 파인 환형 홈(groove)(364)이 포함된다. 환형 홈(364)은 축선(CL)을 중심으로 하는 원 궤도를 따라 연장된다. 환형 홈(364)이 형성되어 있으므로, 회전 코어(301)가 고정 코어(310)에 대해 회전함에도 불구하고 제1 수평 진공유로(362)에서 제2 수평 진공유로(366)로 유체가 유동할 수 있다.
제1 및 제2 가압 연결유로부(370, 380)는 각각 제1 수직 가압유로(371, 381), 제1 수평 가압유로(372, 382), 제2 수직 가압유로(378, 388), 및 제2 수평 가압유로(376, 386)을 포함한다. 제1 수직 가압유로(371, 381)는 회전 코어(301)의 내부에서 축선(CL)과 평행한 수직 방향으로 연장되고 상단이 회전 코어(301)의 상측면(302)으로 개방되어 한 쌍의 수직 매체유로부(117)의 하단과 유체 유동 가능하게 연결된다. 제1 수평 가압유로(372, 382)는 제1 수직 가압유로(371, 381)의 하단과 유체 유동 가능하게 연결되고 회전 코어(301)의 외주면(303)을 향해 수평 방향으로 연장된다.
제2 수직 가압유로(378, 388)는 고정 코어(310)의 내부에서 축선(CL)과 평행한 수직 방향으로 연장되고 하단이 고정 코어(310)의 하측면(311)으로 개방된다. 제2 수직 가압유로(378, 388)의 하단은 유동매체가 제2 수직 가압유로(378, 388)의 하단을 통해 유입되어 제1 수직 가압유로(371, 381)의 상단을 통해 방출되도록 유동매체를 공급하는 유동매체 공급부(미도시)에 유체 유동 가능하게 연결된다. 유동매체 공급부는 양압(陽壓)을 형성하는 양압 펌프를 구비할 수 있다.
제2 수평 가압유로(376, 386)는 제2 수직 가압유로(378, 388)의 상단과 유체 유동 가능하게 연결되고, 제1 수평 가압유로(372, 382)와 연결되도록 고정 코어(310)의 내주면(313)을 향해 수평 방향으로 연장된다. 제1 수평 가압유로(372, 382)에는 회전 코어(301)의 외주면(303)에서 내측으로 파인 환형 홈(374, 384)이 포함된다. 환형 홈(374, 384)은 축선(CL)을 중심으로 하는 원 궤도를 따라 연장된다. 제2 가압 연결유로부(380)의 환형 홈(384)은 제1 가압 연결유로부(370)의 환형 홈(374)과 회전 코어(301)의 외주면에서 형성된 높이만 다를 뿐 형상은 동일하다. 환형 홈(374, 384)이 형성되어 있으므로, 회전 코어(301)가 고정 코어(310)에 대해 회전함에도 불구하고 제2 수평 가압유로(376, 386)에서 제1 수평 가압유로(372, 382)로 유체가 유동할 수 있다.
진공 연결유로부(360)와 제1 및 제2 가압 연결유로부(370, 380)는 회전 코어(301)와 고정 코어(310)의 내부에서 서로 교차하지 않는다. 이와 같은 구성으로, 진공유로부(115)에서 진공 연결유로부(360)로 유입되는 유체는 고정 코어(310)의 하측면(311)을 통해 로터리 조인트(300)의 외부로 유출된다. 또한, 제1 및 제2 가압 연결유로부(370, 380)에서 수직 매체유로부(117)로 유출되는 유체, 즉 유동매체는 고정 코어(310)의 하측면(311)을 통해 로터리 조인트(300)의 내부로 유입된다.
로터리 조인트(300)는, 제1 수평 진공유로(362)와 제2 수평 진공유로(366) 사이에서 진공 연결유로부(360)로 유체가 유입되어 진공 연결유로부(360)의 진공압, 즉 부압이 약해지지 않도록 고정 코어(310)의 내주면(313)에 설치되는 환형의 진공유로 패킹(packing)(330), 및 제1 및 제2 가압 연결유로부(370, 380)의 제1 수평 가압유로(372, 382)와 제2 수평 가압유로(376, 386) 사이에서 제1 및 제2 가압 연결유로부(370, 380)의 외부로 유체가 유출되어 제1 및 제2 가압 연결유로부(370, 380)의 공압(空壓)이 약해지지 않도록 고정 코어(310)의 내주면(313)에 설치되는 환형의 제1 및 제2 가압유로 패킹(340, 350)을 더 구비한다.
고정 코어(310)의 내주면(313)에는 축선(CL)을 중심으로 하는 원 궤도를 따라 환형으로 연장되게 파인 진공유로 패킹 안착홈(groove)(320), 제1 가압유로 패킹 안착홈(323), 및 제2 가압유로 패킹 안착홈(미도시)이 형성된다. 진공유로 패킹 안착홈(320)은 제1 수평 진공유로(362) 및 제2 수평 진공유로(366)의 높이와 같은 높이에 형성되고, 제1 가압유로 패킹 안착홈(323)은 제1 가압 연결유로부(370)의 제1 수평 가압유로(372) 및 제2 수평 가압유로(376)의 높이와 같은 높이에 형성되며, 제2 가압유로 패킹 안착홈은 제2 가압 연결유로부(380)의 제1 수평 가압유로(382) 및 제2 수평 가압유로(386)의 높이와 같은 높이에 형성된다.
진공유로 패킹(330)은 몸체부(body portion)(331), 상측 립부(lip portion)(334), 및 하측 립부(336)를 구비한다. 몸체부(331), 상측 립부(334), 및 하측 립부(336)가 모두 축선(CL)을 중심으로 하는 원 궤도를 따라 환형으로 연장된다. 상측 립부(334)와 하측 립부(336)는 위아래로 이격되게 배치된다. 몸체부(331)는 진공유로 패킹 안착홈(320)에 삽입 안착된다. 몸체부(331)에는 제2 수평 진공유로(366)가 폐쇄되지 않도록 몸체부(331)를 수평 방향으로 관통하는 관통공(332)이 형성된다. 상측 립부(334)와 하측 립부(336)는 제1 수평 진공유로(362)를 폐쇄하지 않으면서 회전 코어(301)의 외주면(303)에 접촉되도록 몸체부(331)에서 회전 코어(301)의 외주면(303)을 향해 돌출된다.
상측 립부(334)와 하측 립부(336)는 도 23에 도시된 바와 같이 수평 방향으로 회전 코어(301)의 외주면(303)에 가까워질수록 수직 방향으로 제1 수평 진공유로(362)의 환형 홈(364)에서 멀어지는 방향으로 기울어지게 돌출된다. 구체적으로, 상측 립부(334)는 수평 방향으로 회전 코어(301)의 외주면(303)에 가까워질수록 상승하는 방향으로 기울어지게 돌출되고, 하측 립부(336)는 수평 방향으로 회전 코어(301)의 외주면(303)에 가까워질수록 하강하는 방향으로 기울어지게 돌출된다. 제1 수평 진공유로(362)의 환형 홈(364)과 제2 수평 진공유로(366)의 내주측 말단(367) 사이에 유체가 흡인되도록 진공압이 형성될 때, 상측 립부(334)의 말단과 하측 립부(336)의 말단이 서로 가까워지도록 오므려지면서 회전 코어(301)의 외주면(303)에 강하게 밀착되므로, 회전 코어(301)의 외주면(303)과 상측 립부(334)의 말단 및 하측 립부(336)의 말단 사이로 유체의 유입이 신뢰성있게 차단되어 진공 연결유로부(360)의 진공압이 약해지지 않는다.
제1 가압유로 패킹(340)은 몸체부(341), 상측 립부(344), 및 하측 립부(346)를 구비한다. 몸체부(341), 상측 립부(344), 및 하측 립부(346)가 모두 축선(CL)을 중심으로 하는 원 궤도를 따라 환형으로 연장된다. 상측 립부(344)와 하측 립부(346)는 위아래로 이격되게 배치된다. 몸체부(341)는 제1 가압유로 패킹 안착홈(323)에 삽입 안착된다. 몸체부(341)에는 제2 수평 가압유로(376)가 폐쇄되지 않도록 몸체부(341)를 수평 방향으로 관통하는 관통공(342)이 형성된다. 상측 립부(344)와 하측 립부(346)는 제1 수평 가압유로(372)를 폐쇄하지 않으면서 회전 코어(301)의 외주면(303)에 접촉되도록 몸체부(341)에서 회전 코어(301)의 외주면(303)을 향해 돌출된다.
상측 립부(344)와 하측 립부(346)는 도 24에 도시된 바와 같이 수평 방향으로 회전 코어(301)의 외주면(303)에 가까워질수록 수직 방향으로 제1 수평 가압유로(372)의 환형 홈(374)에 가까워지는 방향으로 기울어지게 돌출된다. 구체적으로, 상측 립부(344)는 수평 방향으로 회전 코어(301)의 외주면(303)에 가까워질수록 하강하는 방향으로 기울어지게 돌출되고, 하측 립부(346)는 수평 방향으로 회전 코어(301)의 외주면(303)에 가까워질수록 상승하는 방향으로 기울어지게 돌출된다. 제1 수평 가압유로(372)의 환형 홈(374)과 제2 수평 가압유로(376)의 내주측 말단(377) 사이에 유체가 공급되도록 양압이 형성될 때, 상측 립부(344)의 말단과 하측 립부(346)의 말단이 서로 멀어지도록 벌어지면서 회전 코어(301)의 외주면(303)에 강하게 밀착되므로, 회전 코어(301)의 외주면(303)과 상측 립부(344)의 말단 및 하측 립부(346)의 말단 사이로 유체의 유출이 신뢰성있게 차단되어 제1 가압 연결유로부(370)의 양압이 약해지지 않는다.
제2 가압유로 패킹(350)은 제1 가압유로 패킹(340)의 몸체부(341), 상측 립부(344), 및 하측 립부(346)과 동일한 형상과 구조를 갖는 몸체부, 상측 립부, 및 하측 립부를 구비하므로, 중복되는 설명은 생략한다. 제2 가압유로 패킹(350)의 몸체부는 제2 가압유로 패킹 안착홈(미도시)에 삽입 안착된다. 진공유로 패킹(330), 제1 가압유로 패킹(340), 및 제2 가압유로 패킹(350)은 예컨대, 고무 소재로 형성될 수 있다. 바람직하게는, 회전하는 회전 코어(301)와의 마찰을 줄이기 위해 진공유로 패킹(330), 제1 가압유로 패킹(340), 및 제2 가압유로 패킹(350)은 자체 윤활성이 우수한 PTFE(polytetrafluoroethylene) 소재로 형성될 수 있다.
회전 코어(301)는 고정 코어(310)에 대해 축선(CL)을 중심으로 회전할 때 마찰이 감소되도록 외주면(303)에 적층된 세라믹 코팅층(ceramic coating layer)(305)을 구비한다. 세라믹 코팅층(305)은 내열성 및 내마모성이 우수하여 회전 코어(301)가 안정적으로 고속 회전할 수 있도록 하며, 회전 코어(301)와 고정 코어(310)의 손상을 억제한다. 세라믹 코팅층(305)은 도 23 및 도 24에 도시된 바와 같이 진공유로 패킹(330), 제1 가압유로 패킹(340), 및 제2 가압유로 패킹(350)과 접촉되는 외주면(303)의 영역에만 선택적으로 적층될 수도 있고, 외주면(303)의 전체 영역에 적층될 수도 있다.
고정 코어(310)는 하나의 부재로 이루어질 수도 있으나, 도 20에 도시된 바와 같이 회전 코어(301)를 에워싸며 적층된 복수의 환형 블록(355, 356, 357, 358)을 구비하여 구성될 수도 있다. 이 경우에 복수의 환형 블록(355, 356, 357, 358)의 개수를 더하거나 감하여 로터리 조인트(300)의 높이를 쉽게 변경할 수 있다. 또한, 규격화된 복수의 환형 블록(355, 356, 357, 358)을 미리 준비해 두면, 로터리 조인트(300)를 신속하게 조립 제작할 수 있다.
냉각 케이스(390)는 고정 코어(310)와의 사이에 냉각 유로(397)가 형성되도록 고정 코어(310)의 외주면(313)을 에워싼다. 구체적으로, 냉각 케이스(390)는 고정 코어(310)의 외주면(313) 상단부 및 하단부에 결합 지지되는 환형의 상단부(392) 및 하단부(393)를 구비하고, 상단부(392)의 외주부에서 하단부(393)의 외주부까지 연장된 관부(管部)(391)를 구비하여, 고정 코어(310)의 외주면(313), 관부(391)의 내주면, 상단부(392)의 하측면, 및 하단부(393)의 상측면 사이에 냉각 유로(397)가 형성된다.
냉매 유입공(394)과 냉매 유출공(395)은 하단부(393)를 위아래 방향으로 관통하도록 하단부(393)에 형성된다. 관부(391)는 내주면에서 고정 코어(310)의 외주면(313)에 접촉되도록 축선(CL)을 향해 돌출된 내벽(396)을 구비한다. 냉매 유입공(394)과 냉매 유출공(395)은 내벽(396)을 사이에 두고 일 측과 타 측에 배치된다. 냉매 유입공(394)은 로터리 조인트(300) 외부의 냉매 공급 유로(미도시)과 연결되고 냉매 유출공(395)은 로터리 조인트(300) 외부의 냉매 방출 유로(미도시)와 연결된다.
회전 코어(301)가 고정 코어(310)에 대해 고속으로 회전하더라도 냉매 유입공(394)을 통해 냉각 유로(397)로 유입된 냉매가 고정 코어(310)의 외주면을 따라 유동하여 열 교환을 통해 고정 코어(310) 및 회전 코어(301)를 냉각시킨 후 냉매 유출공(395)을 통해 로터리 조인트(300)의 외부로 방출된다. 따라서, 로터리 조인트(300)의 과열과 이로 인한 손상이 예방되고, 로터리 조인트(300)의 사용 수명, 즉 내구성이 향상된다.
도 20에 도시된 바와 같이 고정 코어(310)가 적층된 복수의 환형 블록(355, 356, 357, 358)을 구비하여 구성된 경우에는 냉각 유로(397)로 유입된 냉매가 적층된 환형 블록(355, 356, 357, 358) 사이를 통과하여 냉각 효율이 더욱 향상될 수 있다. 내벽(396)이 냉매 유입공(394)과 냉매 유출공(395) 사이에 배치되어서 냉매 유입구(394)을 통해 냉각 유로(397)로 유입된 냉매가 충분한 열 교환 없이 냉매 유출구(395)로 배출되지 않을 수 있다. 냉매 유입구(394)를 통해 냉각 유로(397)로 유입되는 냉매는 예컨대, 상온(常溫)의 냉각수일 수 있다.
로터리 조인트(300)는 고정 코어(310)의 하단을 통해서만 로터리 조인트(300) 외부의 진공 흡입부(미도시) 및 유동매체 공급부(미도시)와 유체 유동 가능하게 연결되고, 로터리 조인트(300)의 외주면을 통해서는 진공 흡입부 및 유동매체 공급부와 연결되지 않는다. 따라서, 로터리 조인트(300)를 소형화하여 설계 및 제작할 수 있고, 제한된 설치 공간에 용이하게 설치할 수 있다.
도 25는 로터리 조인트의 다른 일 실시예의 종단면도이다. 도 25를 참조하면, 본 발명 다른 일 실시예에 따른 로터리 조인트(400)는 도 20에 도시된 로터리 조인트(300)와 마찬가지로, 회전 코어(401), 고정 코어(405), 및 냉각 케이스(440)를 구비한다. 회전 코어(401)는 고정 코어(405)에 대해 회전 가능하고, 고정 코어(405)의 외주면과 냉각 케이스(440)의 내주면 사이에는 냉매가 유동하여 회전 코어(401)와 고정 코어(405)의 과열을 방지하는 냉각 유로(445)가 형성된다. 냉각 케이스(440)의 하단부에는 냉매를 로터리 조인트(400)의 외부에서 냉각 유로(445)로 유입되도록 안내하는 냉매 유입공(442), 및 냉매를 냉각 유로(445)에서 로터리 조인트(400)의 외부로 유출되도록 안내하는 냉매 유출공(443)이 형성된다.
로터리 조인트(400)는 도 20에 도시된 로터리 조인트(300)와 달리, 회전 코어(401)와 고정 코어(405)의 내부에 복수의 진공 연결유로부(410, 415)와 복수의 가압 연결유로부(420, 425, 430)를 구비한다. 복수의 진공 연결유로부(410, 415)는 로터리 조인트(400)의 내부에서 서로 교차하지 않으며, 복수의 가압 연결유로부(420, 425, 430)도 로터리 조인트(400) 내부에서 서로 교차하지 않는다.
복수의 진공 연결유로부(410, 415)는 각각, 도 20에 도시된 로터리 조인트(300)의 진공 연결유로부(360)와 마찬가지로, 제1 수직 진공유로, 제2 수직 진공유로, 제1 수평 진공유로, 및 제2 수평 진공유로를 포함한다. 복수의 가압 연결유로부(420, 425, 430)는 각각, 도 20에 도시된 로터리 조인트(300)의 가압 연결유로부(370, 380)와 마찬가지로, 제1 수직 가압유로, 제2 수직 가압유로, 제1 수평 가압유로, 및 제2 수평 가압유로를 포함한다.
도 20의 로터리 조인트(300)와 마찬가지로, 복수의 진공 연결유로부(410, 415)의 모든 제2 수직 진공유로의 하단은 고정 코어(405)의 하측면을 통해 아래로 개방되고, 복수의 진공 연결유로부(410, 415)의 모든 제1 수직 진공유로의 상단은 회전 코어(401)의 상측면을 통해 위로 개방된다. 또한, 도 20의 로터리 조인트(300)와 마찬가지로, 복수의 가압 연결유로부(420, 425, 430)의 모든 제2 수직 가압유로의 하단은 고정 코어(405)의 하측면을 통해 아래로 개방되고, 복수의 가압 연결유로부(420, 425, 430)의 모든 제1 수직 가압유로의 상단은 회전 코어(401)의 상측면을 통해 위로 개방된다.
복수의 가압 연결유로부(420, 425, 430) 중 적어도 하나는 매체 공급부(210)에 연결된다. 이에 따라, 밀폐링부(220)의 파손을 확인하기 위한 검사매체가 매체공급부(210)의 매체공급관부(211)를 통과하여 고정 코어(405)의 하측면을 통해 로터리 조인트(400)의 내부로 유입되어 회전 코어(401)의 상측면을 통해 유출되고, 수직 매체유로부(117)와 수평 매체유로부(136)을 통해 밀폐링부(220)에 공급될 수 있다.
다만, 도 25에는 복수의 진공 연결유로부(410, 415)의 제2 수직 진공유로의 하단이 고정 코어(405)의 하측면을 통해 개방되도록 아래로 연장되지 않은 것처럼 도시되어 있으나, 이는 하나의 종단면에 모두 다 나타낼 수 없는 한계로 인해 개략적으로 도시되었기 때문이다. 그리고, 도 25에는 복수의 가압 연결유로부(420, 425, 430)의 제1 수직 가압유로의 상단이 회전 코어(401)의 상측면을 통해 개방되도록 위로 연장되지 않은 것처럼 도시되고, 복수의 가압 연결유로부(420, 425, 430)의 제2 수직 가압유로의 하단이 고정 코어(405)의 하측면을 통해 개방되도록 아래로 연장되지 않은 것처럼 도시되어 있으나, 이 또한 하나의 종단면에 모두 다 나타낼 수 없는 한계로 인해 개략적으로 도시되었기 때문이다.
도 26은 로터리 조인트의 또 다른 일 실시예의 종단면도이다. 도 26을 참조하면, 본 발명 또 다른 일 실시예에 따른 로터리 조인트(500)는 도 25에 도시된 로터리 조인트(500)와 마찬가지로, 회전 코어(501), 고정 코어(505), 및 냉각 케이스(540)를 구비한다. 회전 코어(501)는 고정 코어(505)에 대해 회전 가능하고, 고정 코어(505)의 외주면과 냉각 케이스(540)의 내주면 사이에는 냉매가 유동하여 회전 코어(501)와 고정 코어(505)의 과열을 방지하는 냉각 유로(545)가 형성된다. 냉각 케이스(540)의 하단부에는 냉매를 로터리 조인트(500)의 외부에서 냉각 유로(545)로 유입되도록 안내하는 냉매 유입공(542), 및 냉매를 냉각 유로(545)에서 로터리 조인트(400)의 외부로 유출되도록 안내하는 냉매 유출공(543)이 형성된다.
로터리 조인트(500)는 회전 코어(501)와 고정 코어(505)의 내부에 복수의 진공 연결유로부(510, 515)와 복수의 가압 연결유로부(520, 525, 530)를 구비한다. 복수의 진공 연결유로부(510, 515)는 로터리 조인트(500)의 내부에서 서로 교차하지 않으며, 복수의 가압 연결유로부(520, 525, 530)도 로터리 조인트(500) 내부에서 서로 교차하지 않는다. 복수의 진공 연결유로부(510, 515)와 복수의 가압 연결유로부(520, 525, 530)의 구성은 도 25에 도시된 복수의 진공 연결유로부(410, 415) 및 복수의 가압 연결유로부(420, 425, 430)의 구성과 동일하므로 중복되는 설명은 생략한다.
고정 코어(505)는 복수의 적층된 블록이 아니라 하나의 관형 블록으로 이루어진다. 고정 코어(505)의 내부에는 냉매가 흐를 수 있게 냉각 유로(545)와 연결되고 고정 코어(505)를 관통하는 냉매 순환 유로(550)가 형성된다. 냉매 유입공(542)을 통해 냉각 유로(545)로 유입된 냉매는 냉매 순환 유로(550)로 통과하면서 고정 코어(505)를 관통하고 냉매 유출공(543)을 통해 로터리 조인트(500)의 외부로 방출된다. 이에 따라 냉매의 열 교환 효율이 향상된다. 그러므로, 예컨대, 냉각수와 같이 냉각 성능이 우수한 액체를 냉매로 사용하지 않고, 예컨대, 공기, 질소가스(N2)와 같은 기체를 냉매로 사용하더라도 로터리 조인트(500)의 적절한 냉각 효과를 기대할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시되는 일 실시예를 참고로 하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10: 웨이퍼 11: 다이
12: 접착시트 13: 리테이너링부
14: 링 프레임 15: 웨이퍼 조립체
110: 구동부 111: 회전축
120: 회전척부 130: 진공척부
131: 제1 진공척 133: 제2 진공척
140: 링 커버부 142: 구속턱부
143: 커버 가압부 150: 척킹모듈
210: 매체공급부 211: 매체공급관부
213: 밸브 214: 압력감지부
215: 유량감지부 220: 밀폐링부
221: 씰링부재 222: 씰링 바디부
223: 변형공간부 224: 고정리브
225: 구속링부 227: 커넥터부

Claims (28)

  1. 웨이퍼를 구비하는 웨이퍼 조립체를 흡착 지지하는 진공척부;
    상기 진공척부를 회전시키는 회전척부;
    상기 회전척부를 회전시키기 위하여 상기 회전척부에 연결되는 회전축;
    상기 웨이퍼에 분사된 처리액이 상기 진공척부로 확산되지 않도록 상기 웨이퍼 조립체를 가압하는 링 커버부;
    상기 진공척부에 설치되어 상기 웨이퍼 조립체를 지지하는 밀폐링부; 및,
    상기 밀폐링부의 파손을 확인하기 위한 검사매체가 상기 밀폐링부의 내부에 유입되도록 상기 진공척부에 상기 검사매체를 공급하는 매체공급부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 회전축에는 상기 진공척부에 진공압을 형성하기 위한 진공유로부와, 상기 밀폐링부에 유동매체를 공급하기 위한 수직 매체유로부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 회전축에 연결되어 상기 회전축과 함께 회전하는 회전 코어(core), 및 상기 회전 코어를 에워싸며 상기 회전 코어를 회전 가능하게 지지하는 고정 코어를 구비한 로터리 조인트(rotary joint);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 로터리 조인트에는 상기 진공유로부와 유체 유동 가능하게 연결되는 진공 연결유로부와, 상기 수직 매체유로부와 유체 유동 가능하게 연결되는 가압 연결유로부가 형성되고,
    상기 진공유로부에서 상기 진공 연결유로부로 유입되는 유체는 상기 고정 코어를 통해 상기 로터리 조인트의 외부로 유출되고,
    상기 가압 연결유로부에서 상기 수직 매체유로부로 유출되는 유체는 상기 고정 코어를 통해 상기 로터리 조인트의 내부로 유입되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 진공 연결유로부는, 상기 회전 코어의 내부에서 수직 방향으로 연장되고 상단이 상기 회전 코어의 상측면으로 개방된 제1 수직 진공유로, 상기 제1 수직 진공유로의 하단과 연결되고 상기 회전 코어의 외주면을 향해 수평 방향으로 연장된 제1 수평 진공유로, 상기 고정 코어의 내부에서 수직 방향으로 연장되고 하단이 상기 고정 코어의 하측면으로 개방된 제2 수직 진공유로, 및 상기 제2 수직 진공유로의 상단과 연결되고 상기 제1 수평 진공유로와 연결되도록 상기 고정 코어의 내주면을 향해 수평 방향으로 연장된 제2 수평 진공유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 가압 연결유로부는, 상기 회전 코어의 내부에서 수직 방향으로 연장되고 상단이 상기 회전 코어의 상측면으로 개방된 제1 수직 가압유로, 상기 제1 수직 가압유로의 하단과 연결되고 상기 회전 코어의 외주면을 향해 수평 방향으로 연장된 제1 수평 가압유로, 상기 고정 코어의 내부에서 수직 방향으로 연장되고 하단이 상기 고정 코어의 하측면으로 개방된 제2 수직 가압유로, 및 상기 제2 수직 가압유로의 상단과 연결되고 상기 제1 수평 가압유로와 연결되도록 상기 고정 코어의 내주면을 향해 수평 방향으로 연장된 제2 수평 가압유로를 포함하고,
    상기 진공 연결유로부와 상기 가압 연결유로부는 서로 교차하지 않는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 수평 진공유로 및 상기 제1 수평 가압유로에는 각각, 상기 회전 코어의 외주면에서 내측으로 파인 환형 홈(groove)이 포함된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  8. 제4 항에 있어서,
    상기 진공 연결유로부는 상기 로터리 조인트의 내부에서 서로 교차하지 않도록 복수 개가 구비되고,
    상기 가압 연결유로부는 상기 로터리 조인트의 내부에서 서로 교차하지 않도록 복수 개가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 복수의 가압 연결유로부 중 적어도 하나는 상기 검사매체가 상기 고정 코어의 하측면을 통해 유입되어 상기 회전 코어의 상측면을 통해 유출되도록 상기 매체 공급부에 연결되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  10. 제5 항에 있어서,
    상기 로터리 조인트는,
    상기 제1 수평 진공유로와 상기 제2 수평 진공유로 사이에서 상기 진공 연결유로부로 유체가 유입되어 상기 진공 연결유로부의 진공압이 약해지지 않도록 상기 고정 코어의 내주면에 설치되는 환형의 진공유로 패킹(packing)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 고정 코어의 내주면에는 환형으로 파인 진공유로 패킹 안착홈(groove)이 형성되고,
    상기 진공유로 패킹은,
    상기 진공유로 패킹 안착홈에 삽입 안착되며 상기 제2 수평 진공유로가 폐쇄되지 않도록 관통공이 형성된 몸체부, 및
    상기 제1 수평 진공유로를 폐쇄하지 않으면서 상기 회전 코어의 외주면에 접촉되도록 상기 몸체부에서 상기 회전 코어의 외주면을 향해 돌출된 립부를 구비하고,
    상기 진공유로 패킹의 상기 립부는 수평 방향으로 상기 회전 코어의 외주면에 가까워질수록 수직 방향으로 상기 제1 수평 진공유로에서 멀어지는 방향으로 기울어지게 돌출되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  12. 제6 항에 있어서,
    상기 로터리 조인트는,
    상기 제1 수평 가압유로와 상기 제2 수평 가압유로 사이에서 상기 가압 연결유로부의 외부로 유체가 유출되어 상기 가압 연결유로부의 공압(空壓)이 약해지지 않도록 상기 고정 코어의 내주면에 설치되는 환형의 가압유로 패킹을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 고정 코어의 내주면에는 환형으로 파인 가압유로 패킹 안착홈이 형성되고,
    상기 가압유로 패킹은,
    상기 가압유로 패킹 안착홈에 삽입 안착되며 상기 제2 수평 가압유로가 폐쇄되지 않도록 관통공이 형성된 몸체부, 및
    상기 제1 수평 가압유로를 폐쇄하지 않으면서 상기 회전 코어의 외주면에 접촉되도록 상기 몸체부에서 상기 회전 코어의 외주면을 향해 돌출된 립부를 구비하고,
    상기 가압유로 패킹의 상기 립부는 수평 방향으로 상기 회전 코어의 외주면에 가까워질수록 수직 방향으로 상기 제1 수평 가압유로에 가까워지는 방향으로 기울어지게 돌출되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  14. 제3 항에 있어서,
    상기 회전 코어는 상기 고정 코어에 대해 회전할 때 마찰이 감소되도록 외주면에 적층된 세라믹 코팅층(ceramic coating layer)을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  15. 제3 항에 있어서,
    상기 고정 코어는 상기 회전 코어를 에워싸며 적층된 복수의 환형 블록을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  16. 제3 항에 있어서,
    상기 로터리 조인트는,
    상기 고정 코어와의 사이에 냉매가 흐르는 냉각 유로가 형성되도록 상기 고정 코어의 외주면을 에워싸는 냉각 케이스를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 고정 코어의 내부에 상기 냉매가 흐를 수 있게 상기 냉각 유로와 연결되고 상기 고정 코어를 관통하는 냉매 순환 유로가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  18. 제1 항에 있어서,
    상기 매체공급부는,
    상기 진공척부에 상기 검사매체가 공급되도록 연결되는 매체공급관부; 및,
    상기 매체공급관부의 압력을 측정하는 압력감지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 매체공급부는,
    상기 매체공급관부에서 상기 진공척부로 공급되는 상기 검사매체의 유량을 측정하는 유량감지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  20. 제1 항에 있어서,
    상기 회전척부에 설치되고, 상기 웨이퍼 조립체를 상기 진공척부에 위치 고정시키고, 상기 링 커버부가 상기 웨이퍼 조립체를 가압하도록 상기 링 커버부를 하강시키는 척킹모듈;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  21. 제20 항에 있어서,
    상기 척킹모듈은,
    상기 회전척부에 설치되는 척킹 베이스;
    상기 척킹 베이스를 회전시키도록 상기 척킹 베이스에 연결된 척킹 회전부;
    상기 척킹 베이스의 회전시에 방사 방향으로 이동하는 복수의 제1 척킹 링크부;
    상기 복수의 제1 척킹 링크부가 방사 방향으로 이동함에 따라 상기 리테이너링부가 상기 진공척부에 위치 고정되도록 가압하고, 상기 복수의 제1 척킹 링크부에 연결된 복수의 웨이퍼 조립체 구속부;
    상기 척킹 베이스의 회전시에 방사 방향으로 이동하는 복수의 제2 척킹 링크부; 및,
    상기 복수의 제2 척킹 링크부의 이동과 연계하여 상기 링 커버부가 승강하도록 상기 복수의 제2 척킹 링크부와 상기 링 커버부에 연결되는 복수의 커버 구속부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  22. 제21 항에 있어서,
    상기 척킹 베이스가 회전할 때 상기 복수의 제1 척킹 링크부 및 상기 복수의 제2 척킹 링크부가 동시에 방사 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  23. 제1 항에 있어서,
    상기 밀폐링부는,
    상기 진공척부에 마련된 밀폐홈부에 수용되며, 내부에 변형공간부가 형성된 씰링부재;
    상기 씰링부재를 고정시키도록 상기 밀폐홈부에 설치되는 구속링부;
    상기 변형공간부에 상기 검사매체가 공급되도록 상기 변형공간부에 연결되는 커넥터부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  24. 제23 항에 있어서,
    상기 링 커버부가 상기 웨이퍼 조립체를 사이에 두고 상기 씰링부재를 가압할 때 상기 씰링부재의 탄성 변형량이 증가되도록, 상기 씰링부재는 탄성홈부, 테이퍼부(taper portion), 오목부, 단차부, 변형홈부, 라운드부(round portion), 및 볼록부 중 적어도 하나를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  25. 제1 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 조립체는, 상기 웨이퍼를 부착 지지하는 접착시트, 및 상기 접착시트의 외주부에 결합되는 리테이너링부를 더 포함하고,
    상기 링 커버부는 상기 웨이퍼와 상기 리테이너링부 사이의 상기 접착시트를 가압하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  26. 제1 항의 기판처리장치의 제어방법으로서,
    상기 매체공급부를 구동하여 상기 밀폐링부의 내부에 상기 검사매체를 공급하는 검사매체 공급 단계; 및,
    상기 밀폐링부의 내부에 공급된 상기 검사매체가 상기 밀폐링부의 외부로 누출되는지를 감지하는 검사매체 누출 감지 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어방법.
  27. 제26 항에 있어서,
    상기 검사매체 누출 감지 단계에서 상기 검사매체의 누출이 감지되면, 상기 밀폐링부를 상기 진공척부에서 분리 제거하고 다른 밀폐링부를 상기 진공척부에 설치하는 밀폐링부 교체 단계;
    상기 웨이퍼 조립체를 상기 진공척부에 고정 탑재하는 웨이퍼 탑재 단계; 및,
    상기 웨이퍼 조립체의 상기 웨이퍼에 상기 처리액을 분사하여 상기 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 처리 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어방법.
  28. 제26 항에 있어서,
    상기 검사매체 누출 감지 단계에서 상기 검사매체의 누출이 감지되지 않으면, 상기 밀폐링부를 교체하지 않고 상기 웨이퍼 조립체를 상기 진공척부에 고정 탑재하는 웨이퍼 탑재 단계; 및,
    상기 웨이퍼 조립체의 상기 웨이퍼에 상기 처리액을 분사하여 상기 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 처리 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어방법.
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