KR20220123892A - Point evaporation source - Google Patents

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KR20220123892A
KR20220123892A KR1020210027390A KR20210027390A KR20220123892A KR 20220123892 A KR20220123892 A KR 20220123892A KR 1020210027390 A KR1020210027390 A KR 1020210027390A KR 20210027390 A KR20210027390 A KR 20210027390A KR 20220123892 A KR20220123892 A KR 20220123892A
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evaporation source
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elevating
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KR1020210027390A
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임호선
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주식회사 선익시스템
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Abstract

According to one aspect of the present invention, provided is a point evaporation source comprising: a tubular housing; a heater unit along an inner circumferential surface of the housing; a crucible inserted into the heater unit and accommodating evaporation materials therein; and a crucible lifting unit located on a lower end of the crucible and lifting the crucible. The point evaporation source mechanically lifts the crucible from the housing to allow a worker to easily lift the crucible.

Description

점 증발원{Point evaporation source}Point evaporation source

본 발명은 점 증발원에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 점 증발원의 하우징으로부터 도가니를 기계적으로 승강시킴으로써 작업자가 도가니를 들어올려 용이하게 빼낼 수 있는 점 증발원에 관한 것이다.The present invention relates to a point evaporation source. More particularly, it relates to a point evaporation source that can be easily removed by an operator by lifting the crucible by mechanically lifting and lowering the crucible from the housing of the point evaporation source.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic Light Emitting Diodes (OLED) are self-luminous devices that emit light by using the electroluminescence phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. Therefore, a lightweight and thin flat panel display device can be manufactured.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착된다.In the organic electroluminescent device, the remaining constituent layers excluding the anode and cathode electrodes, such as a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer and an electron injection layer, are made of an organic thin film, and such an organic thin film is formed on a substrate by a vacuum thermal deposition method. is deposited on

진공열증착방법은 진공챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 도가니를 가열하여 도가니에서 승화된 증발입자를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.In the vacuum thermal deposition method, a substrate is placed in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern formed thereon is aligned on the substrate, and a crucible containing an evaporation material is heated to deposit evaporation particles sublimed in the crucible on the substrate. done in a way that

최근 기판이 대면적화되면서 대면적 기판에 대해 증착 공정을 수행하기 위해 많은 증발물질이 필요하고 이에 따라 증발물질이 수용되는 도가니 또한 대형화되고 있다.Recently, as substrates have become larger in area, many evaporation materials are required to perform a deposition process on a large area substrate, and accordingly, a crucible in which evaporation materials are accommodated is also enlarged.

도가니에 수용된 증발물질이 모두 소진된 경우 증발물질의 충전이나 도가니의 교체를 위해 도가니를 증발원에서 들어올려 빼내야 하는데, 도가니의 대형화에 따라 도가니의 무게가 증가하고 있고, 도가니를 집어 올리는 도가니 측면 부위가 협소하여 작업자가 도가니를 쉽게 들어 올려 빼낼 수 없는 문제가 있었다.When all the evaporation materials contained in the crucible are exhausted, the crucible must be lifted from the evaporation source to fill the evaporation material or to replace the crucible. There was a problem that the worker could not easily lift and remove the crucible due to its narrowness.

대한민국 공개특허공보 제10-2007-0118917호(2007.12.18공개)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2007-0118917 (published on December 18, 2007)

본 발명은, 도가니의 교체가 필요한 경우 점 증발원의 하우징으로부터 도가니를 기계적으로 승강시킴으로써 작업자가 도가니를 용이하게 들어올려 빼낼 수 있는 점 증발원을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a point evaporation source in which an operator can easily lift and remove the crucible by mechanically elevating the crucible from the housing of the point evaporation source when the crucible needs to be replaced.

본 발명의 일 측면에 따르면, 관 상의 하우징과; 상기 하우징의 내주면을 따라 히터부와; 상기 히터부의 내부에 삽입되며, 내부에 증발물질이 수용되는 도가니와; 상기 도가니의 하단에 위치하며 상기 도가니를 승강시키는 도가니 승강부를 포함하는, 점 증발원이 제공된다.According to one aspect of the present invention, a housing on a tube; a heater unit along the inner circumferential surface of the housing; a crucible inserted into the heater unit and accommodating an evaporation material therein; A point evaporation source is provided, which is located at the lower end of the crucible and includes a crucible elevating unit for elevating the crucible.

상기 하우징의 상단에 지지되도록 상기 도가니의 상단에는 외주를 따라 연장되는 지지플랜지가 형성될 수 있다.A support flange extending along the outer periphery may be formed at an upper end of the crucible so as to be supported on the upper end of the housing.

상기 도가니 승강부는, 내부에 암나사부가 형성되는 승강 슬리브와; 일단에 상기 승강 슬리브의 암나사부에 나사결합되는 수나사부가 형성되는 승강 로드와; 상기 승강 로드에 결합되어 상기 승강 로드를 회전시키는 구동 모터를 포함할 수 있다.The crucible lifting unit includes: an elevating sleeve having a female screw portion formed therein; a lifting rod having a male threaded portion screwed onto the female threaded portion of the lifting sleeve at one end thereof; It may include a driving motor coupled to the lifting rod to rotate the lifting rod.

상기 도가니 승강부는, 상기 승강 슬리브의 상단에 횡방향으로 결합되는 쉴드 플레이트를 더 포함할 수 있다.The crucible lifting unit may further include a shield plate coupled to the upper end of the lifting sleeve in a transverse direction.

본 발명의 실시예에에 따르면, 도가니의 교체가 필요한 경우 점 증발원의 하우징으로부터 도가니를 기계적으로 승강시킴으로써 작업자가 도가니를 용이하게 들어올려 빼낼 수 있다.According to an embodiment of the present invention, when the crucible needs to be replaced, the operator can easily lift the crucible out by mechanically elevating the crucible from the housing of the point evaporation source.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용의 구성을 간략히 도시한 도면.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용의 도가니의 상승 상태를 도시한 도면. 1 is a diagram schematically illustrating a configuration for a point evaporation source according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a view showing a raised state of the crucible for a point evaporation source according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate that the features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification exist, but one or more other features It is to be understood that this does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

이하, 본 발명에 따른 점 증발원의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부한 도면을 참조하여 설명함에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of a point evaporation source according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. A description will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용의 구성을 간략히 도시한 도면이고, 도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원용의 도가니의 상승 상태를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a diagram schematically illustrating the configuration of a point evaporation source according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a raised state of a crucible for a point evaporation source according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2에는, 하우징(12), 히터부(14), 도가니 본체(15), 도가니(16), 노즐부(17), 승강부(18), 지지플랜지(20), 승강 슬리브(22), 암나사부(23), 쉴드 플레이트(24), 수나사부(26), 승강 로드(28), 구동 모터(30)가 도시되어 있다.1 and 2, the housing 12, the heater unit 14, the crucible body 15, the crucible 16, the nozzle unit 17, the lifting unit 18, the support flange 20, the lifting sleeve ( 22 ), the female threaded part 23 , the shield plate 24 , the male threaded part 26 , the lifting rod 28 , and the driving motor 30 are shown.

본 실시예에 따른 점 증발원은, 관 상의 하우징(12)과; 하우징(12)의 내주면을 따라 히터부(14)와; 히터부(14)의 내부에 삽입되며, 내부에 증발물질이 수용되는 도가니(16)와; 도가니(16)의 하단에 위치하며 도가니(16)를 승강시키는 도가니 승강부(18)를 포함한다.The point evaporation source according to the present embodiment, the housing 12 on the tube; a heater unit 14 along the inner circumferential surface of the housing 12; a crucible 16 inserted into the heater unit 14 and accommodating an evaporation material therein; It is located at the lower end of the crucible 16 and includes a crucible lifting unit 18 for elevating the crucible (16).

하우징(12)은, 그 내부에 도가니(16)(미도시)가 삽입되며 도가니(16)의 외주면을 둘러싸는 관 상의 부재이다. 하우징(12)은, 상단부와 하단부가 개방된 형태의 관 형태로 구성될 수 있고 내부에는 후술할 히터부(14)가 위치한다.The housing 12 is a tubular member into which the crucible 16 (not shown) is inserted and surrounds the outer circumferential surface of the crucible 16 . The housing 12 may be configured in the form of a tube having an upper end and an open lower end, and a heater unit 14 to be described later is located therein.

하우징(12)은, 그 내부에 위치한 히터부(14)에서 방출되는 복사열을 도가니(16) 측으로 반사되도록 리플렉터 형태로 구성될 수 있다. 이를 통해, 히터부(14)에서 방출되는 복사열 에너지의 낭비를 최소화할 수 있으며, 복사열 에너지가 도가니(16)를 향해 집중적으로 방출됨으로써 도가니(16) 내 증발물질의 증발 작용을 보다 촉진할 수 있다.The housing 12 may be configured in the form of a reflector so that radiant heat emitted from the heater unit 14 located therein is reflected toward the crucible 16 . Through this, it is possible to minimize the waste of radiant heat energy emitted from the heater unit 14, and the radiant heat energy is intensively emitted toward the crucible 16, thereby further promoting the evaporation of the evaporation material in the crucible 16. .

히터부(14)는, 하우징(12)의 내주면를 따라 배치되어 도가니(16)의 외주를 가열한다. 히터부(14)가 도가니(16)의 외주를 가열함에 따라 도가니(16)의 내부에 수용되어 있던 증발물질이 증발되면서 기체 상태의 증발입자가 생성된다.The heater unit 14 is disposed along the inner peripheral surface of the housing 12 to heat the outer periphery of the crucible 16 . As the heater unit 14 heats the outer periphery of the crucible 16 , the vaporized material accommodated in the crucible 16 is evaporated, thereby generating vaporized particles in a gaseous state.

히터부(14)는, 열선이 원통 형상으로 권선되어 그 내부에 도가니(16)가 위치하게 되는데, 본 실시예에서는 히터부(14)를 상하부로 나누어 배치하여, 상부의 히터부(14)는 도가니(16) 상단의 노즐부(17)를 가열하도록 구성하였고 하부의 히터부(14)는 증발물질이 수용되는 도가니 본체(15)를 가열하도록 구성하였다. In the heater unit 14, the heating wire is wound in a cylindrical shape so that the crucible 16 is located therein. The crucible 16 is configured to heat the nozzle unit 17 at the upper end, and the lower heater unit 14 is configured to heat the crucible body 15 in which the evaporation material is accommodated.

도가니(16)는, 원통 형상으로 권선되는 히터부(14)의 내부에 삽입되며, 내부에는 증발물질이 수용되어 있다. 도가니(16)는, 증발물질이 수용되는 도가니 본체(15)와, 가열에 따라 도가니 본체(15)에서 생성되는 기체 상태의 증발입자를 분출하는 노즐부(17)로 구성될 수 있다.The crucible 16 is inserted into the heater unit 14 wound in a cylindrical shape, and an evaporation material is accommodated therein. The crucible 16 may include a crucible body 15 in which an evaporation material is accommodated, and a nozzle unit 17 that ejects vaporized particles generated in the crucible body 15 according to heating.

도가니 본체(15)는, 상단이 개방된 용기 형상으로, 도가니 본체(15)의 내부에는 증발물질이 수용되며 가열에 따라 증발물질이 증발되어 증발입자가 노즐부(17)를 통해 분출된다.The crucible body 15 has a container shape with an open top, and an evaporation material is accommodated in the crucible body 15 , and the evaporation material is evaporated according to heating, so that evaporation particles are ejected through the nozzle unit 17 .

노즐부(17)는, 도가니 본체(15)의 상단에 결합되고, 상단에는 증발입자가 분출되는 노즐구가 형성된다. 히터부(14)의 가열에 따라 도가니 본체(15)의 증발물질이 증발되면서 기체 상태의 증발입자가 도가니 본체(15)에 생성되고, 노즐부(17) 내부로 상승한 기체상태의 증발입자가 노즐구를 통해 기판을 향하여 분출된다.The nozzle unit 17 is coupled to the upper end of the crucible body 15, and a nozzle hole through which evaporation particles are ejected is formed at the upper end. As the vaporized material of the crucible main body 15 is evaporated according to the heating of the heater unit 14, vaporized particles are generated in the crucible main body 15, and the vaporized vaporized particles that rise into the nozzle unit 17 are generated by the nozzle. It is ejected through the sphere towards the substrate.

한편, 도가니(16) 상단에는 외주를 따라 외측으로 연장되는 지지플랜지(20)를 형성될 수 있는데, 도가니(16)를 하우징(12)에 삽입하는 경우 지지플랜지(20)가 하우징(12)의 상단에 지지되면 도가니(16)가 하우징(12)에 안착되도록 하기 위함이다. On the other hand, the upper end of the crucible 16 may be formed with a support flange 20 extending outwardly along the outer periphery. When the crucible 16 is inserted into the housing 12, the support flange 20 is the When supported on the upper end, the crucible 16 is to be seated on the housing 12 .

도가니 승강부(18)는, 도가니(16)의 하단에 위치하며 도가니(16)를 승강시킨다. 도가니 승강부(18)는 하우징(12)에 안착된 도가니(16)를 상승시키거나 하강시키기 위한 것이다. 도가니(16) 내부의 증발물질이 다 소진된 경우 도가니(16)를 교체하여야 하는데, 도가니(16)가 하우징(12)에 안착된 경우 작업자가 손으로 도가니(16)를 들어오려 빼내기가 어려운 점이 있다.The crucible elevating unit 18 is located at the lower end of the crucible 16 and elevates the crucible 16 . The crucible lifting unit 18 is for raising or lowering the crucible 16 seated in the housing 12 . When the evaporation material inside the crucible 16 is exhausted, the crucible 16 must be replaced. When the crucible 16 is seated in the housing 12, it is difficult for the operator to enter the crucible 16 by hand and take it out. have.

본 실시예에서는 도가니 승강부(18)를 이용하여 도가니(16)를 하우징(12)에서 일부 들어올린 상태에서, 작업자가 도가니(16) 상단의 지지플랜지(20)를 홀딩하여 도가니(16)를 하우징(12)에서 쉽게 인출할 수 있다. In this embodiment, in a state in which the crucible 16 is partially lifted from the housing 12 using the crucible lifting unit 18, the operator holds the support flange 20 of the upper end of the crucible 16 to lift the crucible 16. It can be easily withdrawn from the housing 12 .

이하에서는 본 실시예에 따른 도가니 승강부(18)에 대해 자세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, the crucible lifting unit 18 according to the present embodiment will be described in detail.

도 1을 참조하면, 도가니 승강부(18)는, 도가니(16)의 하단에 위치하여 도가니(16)를 상승 또는 하강시키기 위한 구성으로서, 내부에 암나사부(23)가 형성되는 승강 슬리브(22)와; 일단에 승강 슬리브(22)의 암나사부(23)에 나사결합되는 수나사부(26)가 형성되는 승강 로드(28)와; 상기 승강 로드(28)에 결합되어 상기 승강 로드(28)를 회전시키는 구동 모터(30)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , the crucible lifting unit 18 is located at the lower end of the crucible 16 and is configured to raise or lower the crucible 16 , and the lifting sleeve 22 in which the female screw part 23 is formed. )Wow; a lifting rod 28 having a male threaded portion 26 screwed to the female threaded portion 23 of the lifting sleeve 22 at one end thereof; and a driving motor 30 coupled to the lifting rod 28 to rotate the lifting rod 28 .

승강 슬리브(22)는, 도가니(16)의 하단에 위치하며 내부에는 암나사부(23)가 형성된다. 본 실시예에 따른 승강 슬리브(22)는 일단에서 타단으로 관통부가 형성되는 원통 형상으로서, 내부의 원통부에는 암나사부(23)가 형성된다.The lifting sleeve 22 is located at the lower end of the crucible 16 , and a female threaded portion 23 is formed therein. The elevating sleeve 22 according to the present embodiment has a cylindrical shape in which a penetrating portion is formed from one end to the other end, and a female threaded portion 23 is formed in the inner cylindrical portion.

승강 로드(28)는, 일단에 승강 슬리브(22)의 암나사부(23)에 나사결합되는 수나사부(26)가 형성되는 선형의 부재로서, 승강 로드(28)의 정역 회전에 따라 나사결합된 승강 슬리브(22)가 상승하거나 하강하면서 도가니(16)를 승강시킨다.The lifting rod 28 is a linear member in which a male threaded portion 26 screwed to the female threaded portion 23 of the lifting sleeve 22 is formed at one end, and is screwed according to the forward and reverse rotation of the lifting rod 28 . As the lifting sleeve 22 rises or descends, the crucible 16 is raised and lowered.

승강 로드(28)의 타단에는 구동 모터(30)의 샤프트가 결합되며, 구동 모터(30)의 회전력이 승강 로드(28)에 전달되어 승강 로드(28)가 정역 회전하게 된다.The shaft of the driving motor 30 is coupled to the other end of the lifting rod 28 , and the rotational force of the driving motor 30 is transmitted to the lifting rod 28 so that the lifting rod 28 rotates forward and backward.

한편, 승강 슬리브(22)의 상단에는 쉴드 플레이트(24)가 횡방향으로 결합될 수 있는데, 쉴드 플레이트(24)는 하우징(12)의 하단을 커버하여 증착 과정에서 발생하는 증발입자가 하우징(12)의 내부로 유입되는 것을 방지함과 아울러 하우징(12)의 내부에 삽입된 도가니(16)의 하부를 지지한다. On the other hand, the shield plate 24 may be coupled to the upper end of the elevating sleeve 22 in the transverse direction. ) to prevent inflow into the interior and support the lower portion of the crucible 16 inserted into the housing 12 .

승강 로드(28)의 정역 회전에 따라 승강 슬리브(22)가 승강하게 되고 이에 결합된 쉴드 플레이트(24)가 상승 또는 하강하면서 하우징(12) 내부의 도가니(16)를 승강시킨다.The elevating sleeve 22 is elevated according to the forward and reverse rotation of the elevating rod 28 , and the shield plate 24 coupled thereto rises or lowers to elevate the crucible 16 inside the housing 12 .

이상과 같이 본 실시예에 따른 점 증발원은, 도가니(16)의 교체가 필요한 경우 점 증발원의 하우징(12)으로부터 도가니(16)를 기계적으로 승강시킴으로써 작업자가 도가니(16)를 용이하게 들어올려 빼낼 수 있다.As described above, in the point evaporation source according to the present embodiment, when replacement of the crucible 16 is necessary, the worker can easily lift the crucible 16 by mechanically elevating the crucible 16 from the housing 12 of the point evaporation source. can

이상에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the embodiments of the present invention, those of ordinary skill in the art may variously modify the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. and can be changed.

12: 하우징 14: 히터부
15: 도가니 본체 16: 도가니
17: 노즐부 18: 도가니 승강부
20: 지지플랜지 22: 승강 슬리브
23: 암나사부 24: 쉴드 플레이트
26: 수나사부 28: 승강 로드
30: 구동 모터12: housing 14: heater unit
15: crucible body 16: crucible
17: nozzle unit 18: crucible lifting unit
20: support flange 22: elevating sleeve
23: female thread 24: shield plate
26: male thread 28: elevating rod
30: drive motor

Claims (4)

관 상의 하우징과;
상기 하우징의 내주면을 따라 히터부와;
상기 히터부의 내부에 삽입되며, 내부에 증발물질이 수용되는 도가니와;
상기 도가니의 하단에 위치하며 상기 도가니를 승강시키는 도가니 승강부를 포함하는, 점 증발원.
a housing on a tube;
a heater unit along the inner circumferential surface of the housing;
a crucible inserted into the heater unit and accommodating an evaporation material therein;
A point evaporation source located at the lower end of the crucible and including a crucible elevating unit for elevating the crucible.
 제1항에 있어서,
상기 하우징의 상단에 지지되도록 상기 도가니의 상단에는 외주를 따라 연장되는 지지플랜지가 형성되는 것을 특징으로 하는, 점 증발원.
According to claim 1,
Point evaporation source, characterized in that the support flange extending along the outer periphery is formed at the upper end of the crucible so as to be supported on the upper end of the housing.
 제1항에 있어서,
상기 도가니 승강부는,
내부에 암나사부가 형성되는 승강 슬리브와;
일단에 상기 승강 슬리브의 암나사부에 나사결합되는 수나사부가 형성되는 승강 로드와;
상기 승강 로드에 결합되어 상기 승강 로드를 회전시키는 구동 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는, 점 증발원.
According to claim 1,
The crucible lifting unit,
an elevating sleeve having a female thread formed therein;
a lifting rod having a male threaded portion screwed onto the female threaded portion of the lifting sleeve at one end thereof;
It is coupled to the lifting rod, characterized in that it comprises a drive motor for rotating the lifting rod, point evaporation source.
 제3항에 있어서,
상기 도가니 승강부는,
상기 승강 슬리브의 상단에 횡방향으로 결합되는 쉴드 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 점 증발원.4. The method of claim 3,
The crucible lifting unit,
Point evaporation source, characterized in that it further comprises a shield plate coupled in the transverse direction to the upper end of the elevating sleeve.
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