KR20220114162A - Particle Sensing Device - Google Patents

Particle Sensing Device Download PDF

Info

Publication number
KR20220114162A
KR20220114162A KR1020210017335A KR20210017335A KR20220114162A KR 20220114162 A KR20220114162 A KR 20220114162A KR 1020210017335 A KR1020210017335 A KR 1020210017335A KR 20210017335 A KR20210017335 A KR 20210017335A KR 20220114162 A KR20220114162 A KR 20220114162A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
measurement
particle
device body
air
storage unit
Prior art date
Application number
KR1020210017335A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102478748B1 (en
Inventor
박주현
Original Assignee
주식회사 씽크소프트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 씽크소프트 filed Critical 주식회사 씽크소프트
Priority to KR1020210017335A priority Critical patent/KR102478748B1/en
Publication of KR20220114162A publication Critical patent/KR20220114162A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102478748B1 publication Critical patent/KR102478748B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/2226—Sampling from a closed space, e.g. food package, head space
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/24—Suction devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G01N15/1404—Handling flow, e.g. hydrodynamic focusing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

Disclosed is a particle sensing device to accurately monitor air quality inside a clean room. According to one embodiment of the present invention, the particle sensing device comprises: a device body; a particle measurement sensor provided inside the device body and detecting particles included in the air to count the number of particles; a measurement air storage unit provided inside the device body and disposed to surround the particle measurement sensor to provide a particle measurement space having a predetermined size for storing a predetermined amount of measurement air; and an air flow unit coupled between the device body and the measurement air storage unit, sucking external air outside the device body into the measurement air storage unit, and moving the air so that the measurement air, of which particle amount is counted by the particle measurement sensor, is discharged to the outside of the device body.

Description

파티클 센싱 디바이스{Particle Sensing Device}Particle Sensing Device

본 발명은, 파티클 센싱 디바이스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 간단하고 효율적인 구조를 가지면서도, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 시스템이 배치되는 클린룸 내의 공기에 포함된 파티클의 수량을 정확하고 효과적으로 측정함으로써, 클린룸 내부의 공기 청정도를 정확하게 모니터링할 수 있는 파티클 센싱 디바이스에 관한 것이다.The present invention relates to a particle sensing device, and more particularly, by accurately and effectively measuring the quantity of particles contained in air in a clean room in which a semiconductor or display manufacturing process system is disposed while having a simple and efficient structure, It relates to a particle sensing device capable of accurately monitoring the cleanliness of air inside a clean room.

8K 고해상도 디스플레이, 플렉서블 디스플레이, MEMs, 마이크로렌즈 등 집적화된 공정을 요구하는 최근의 반도체 제조공정은 미세입자의 흡착으로 인한 불량률이 기존의 5배 이상 크게 증가하게 되었다.In recent semiconductor manufacturing processes that require integrated processes such as 8K high-resolution displays, flexible displays, MEMs, and microlenses, the defect rate due to the adsorption of fine particles has greatly increased by more than five times.

예를 들어, 8K 디스플레이는 기존의 4K 디스플레이에 비해 해상도가 4배 높아짐에 따라, 픽셀크기가 더 미세하게 되어 먼지 흡착에 더욱 민감하다.For example, an 8K display has four times the resolution compared to a conventional 4K display, resulting in a finer pixel size, making it more susceptible to dust absorption.

또한, 복잡한 공정으로 인해 공정시간이 길어짐에 따라 디스플레이 패널 표면에 불순물 입자가 흡착되는 확률이 기존의 수배에 이르고 있다.In addition, as the process time increases due to a complicated process, the probability of adsorbing impurity particles on the surface of the display panel is several times higher than the conventional one.

마찬가지로, 반도체 집적화에 따라 배선이 미세화되므로, 불순물입자의 존재유무에 따라 수율에 큰 영향을 끼치고 있는 실정이다.Similarly, since the wiring is miniaturized due to semiconductor integration, the presence or absence of impurity particles greatly affects the yield.

이에, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정의 불량률을 낮추기 위해서는 미세한 크기의 불순물 입자, 즉 파티클의 수량을 크기별로 측정하는 파티클 센서를 이용하여 클린룸 내부 공기의 청정도를 유지 관리하는 시스템이 필요하다.Accordingly, in order to lower the defect rate of the semiconductor or display manufacturing process, a system for maintaining the cleanliness of the air inside the clean room using a particle sensor that measures the quantity of finely sized impurity particles, ie, particles by size is required.

그런데, 이러한 종래의 클린룸 파티클 통합관리 시스템에서 사용되는 파티클 측정장치의 경우에 고가의 외산 장비가 대부분이므로, 높은 단가로 인해 중소기업에서 생산 및 조립을 위해 운영중인 클린룸 내부에 설치하기 위해서는 비용 부담이 커서 쉽게 도입하지 못하고 있는 실정이다.However, in the case of the particle measuring device used in such a conventional integrated cleanroom particle management system, expensive foreign equipment is most of the cost. This is a situation in which it is not easy to introduce.

나아가, 클린룸 다양한 장비가 배치된 클린룸 내부에서도, 위치별로 파티클의 수량을 정확하게 측정할 필요가 있는데, 클린룸 내부의 다양한 위치에 고가의 파티클 측정장치를 대량으로 설치하기에는 비용적인 부담이 큰 실정이다.Furthermore, it is necessary to accurately measure the quantity of particles for each location even in a clean room in which various equipment is arranged. However, it is costly to install a large amount of expensive particle measuring devices at various locations in the clean room. to be.

대한민국 등록특허 제10-2101413호, (2020.04.16)Republic of Korea Patent Registration No. 10-2101413, (2020.04.16)

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 간단하고 효율적인 구조를 가지면서도, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 시스템이 배치되는 클린룸 내의 공기에 포함된 파티클의 수량을 정확하고 효과적으로 측정함으로써, 클린룸 내부의 공기 청정도를 정확하게 모니터링할 수 있으며, 비용적인 부담이 적은 파티클 센싱 디바이스를 제공하는 것이다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is, while having a simple and efficient structure, by accurately and effectively measuring the quantity of particles contained in the air in the clean room in which the semiconductor or display manufacturing process system is disposed, the degree of air cleanliness inside the clean room It is to provide a particle sensing device that can accurately monitor

본 발명의 일 측면에 따르면, 디바이스 본체; 상기 디바이스 본체 내부에 마련되며, 공기에 포함된 파티클을 감지하여 상기 파티클의 수량을 카운트하는 파티클 측정 센서; 상기 디바이스 본체의 내부에 마련되되, 상기 파티클 측정 센서를 둘러싸고 배치되어, 미리 결정된 양의 측정공기를 저장하기 위한 미리 결정된 크기의 파티클 측정공간을 제공하는 측정공기 저장유닛; 및 상기 디바이스 본체와 상기 측정공기 저장유닛 사이에 결합되며, 상기 디바이스 본체 외부의 외부공기를 상기 측정공기 저장유닛의 내부로 흡입하고, 상기 파티클 측정 센서에 의해 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 상기 디바이스 본체의 외부로 배출시키도록 공기를 유동시키는 공기 유동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 센싱 디바이스가 제공될 수 있다.According to one aspect of the present invention, a device body; a particle measurement sensor provided inside the device body and configured to detect particles contained in the air and count the number of the particles; a measurement air storage unit provided inside the device body, which is disposed to surround the particle measurement sensor, and provides a particle measurement space of a predetermined size for storing a predetermined amount of measurement air; And it is coupled between the device body and the measurement air storage unit, sucks the external air outside the device body into the inside of the measurement air storage unit, the measurement air counted by the number of particles by the particle measurement sensor is said There may be provided a particle sensing device comprising an air flow unit for flowing air to be discharged to the outside of the device body.

상기 측정공기 저장유닛은, 파티클의 수량을 카운트하기 위한 미리 결정된 양의 상기 측정공기를 미리 결정된 시간동안 밀봉시켜 저장하며, 상기 파티클 측정 센서는, 상기 측정공기 저장유닛에 미리 결정된 시간동안 저장된 미리 결정된 양의 측정공기를 기준으로 상기 측정공기에 포함된 파티클을 감지하여 상기 파티클의 수량을 카운트할 수 있다.The measurement air storage unit seals and stores a predetermined amount of the measurement air for counting the quantity of particles for a predetermined time, and the particle measurement sensor stores a predetermined amount of the measurement air stored for a predetermined time in the measurement air storage unit for a predetermined time. The quantity of the particles may be counted by detecting the particles included in the measurement air based on the quantity of the measurement air.

상기 측정공기 저장유닛은, 상기 디바이스 본체의 내부에 마련되되, 상기 파티클 측정 센서의 둘레에 배치되며 미리 결정된 높이를 가지는 격벽구조의 격벽형 저장구조체; 상기 격벽형 저장구조체의 상부에 탈착 가능하게 결합되는 커버 플레이트; 및 상기 격벽형 저장구조체와 상기 커버 플레이트 사이에 배치되어 상기 격벽형 저장구조체와 상기 커버 플레이트 사이를 밀봉시키는 실링 부재를 포함할 수 있다.The measuring air storage unit may include: a bulkhead type storage structure provided in the device body, disposed around the particle measuring sensor and having a predetermined height; a cover plate detachably coupled to an upper portion of the bulkhead-type storage structure; and a sealing member disposed between the partition wall storage structure and the cover plate to seal between the partition wall storage structure and the cover plate.

상기 공기 유동 유닛은, 상기 측정공기 저장유닛과 상기 디바이스 본체의 일측 사이에 결합되며, 상기 측정공기 저장유닛 내부와 상기 디바이스 본체 외부를 연통하여 상기 디바이스 본체 외부의 공기를 상기 측정공기 저장유닛 내부로 흡입하는 흡입유로를 형성하는 유입관부; 상기 측정공기 저장유닛과 상기 디바이스 본체의 타측 사이에 결합되며, 상기 측정공기 저장유닛 내부와 상기 디바이스 본체 외부를 연통하여 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 상기 디바이스 본체의 외부로 배출시키는 배출유로를 형성하는 배출관부; 및 상기 배출관부의 일측에 결합되어 상기 유입관부로부터 상기 측정공기 저장유닛을 거쳐 상기 배출관부로 향하는 공기의 유동을 형성하는 펌프를 포함할 수 있다.The air flow unit is coupled between the measurement air storage unit and one side of the device body, and communicates the inside of the measurement air storage unit and the outside of the device body to transfer air outside the device body into the measurement air storage unit. an inlet pipe forming a suction passage for sucking; A discharge flow path coupled between the measurement air storage unit and the other side of the device body, communicating the inside of the measurement air storage unit and the outside of the device body to discharge the measurement air counting the number of particles to the outside of the device body a discharge pipe to form; and a pump coupled to one side of the discharge pipe to form a flow of air from the inlet pipe to the discharge pipe through the measurement air storage unit.

상기 배출관부는, 상기 측정공기 저장유닛과 상기 펌프 사이에 배치되어, 상기 측정공기 저장유닛으로부터 상기 펌프까지의 제1 배출유로를 형성하는 제1 배출관; 및 상기 펌프와 상기 디바이스 본체의 타측 사이에 배치되어, 상기 펌프로부터 상기 디바이스 본체 외부까지의 제2 배출유로를 형성하는 제2 배출관을 포함할 수 있다.The discharge pipe portion may include: a first discharge pipe disposed between the measurement air storage unit and the pump to form a first discharge flow path from the measurement air storage unit to the pump; and a second discharge pipe disposed between the pump and the other side of the device body to form a second discharge path from the pump to the outside of the device body.

상기 공기 유동 유닛은, 상기 제2 배출관과 상기 디바이스 본체 사이에 결합되며, 상기 측정공기를 배출하기 전에 상기 측정공기에 존재하는 파티클을 필터링하는 파티클 필터링 모듈을 더 포함할 수 있다.The air flow unit may further include a particle filtering module coupled between the second discharge pipe and the device body and configured to filter particles present in the measurement air before discharging the measurement air.

상기 디바이스 본체의 일측에 마련되어 상기 펌프에 전원을 공급하는 전원공급유닛; 및 상기 전원공급유닛의 출력 및 상기 펌프의 출력을 제어함으로써 상기 측정공기 저장유닛에 저장되는 상기 측정공기의 유량을 제어하는 제어유닛을 더 포함할 수 있다.a power supply unit provided on one side of the device body to supply power to the pump; and a control unit for controlling the flow rate of the measurement air stored in the measurement air storage unit by controlling the output of the power supply unit and the output of the pump.

상기 디바이스 본체의 일측에 마련되어 상기 파티클 측정 센서에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 전송하는 통신유닛을 더 포함하며, 상기 통신유닛은, 적어도 하나의 유선통신용 단자; 및 적어도 하나의 무선통신용 통신모듈을 포함할 수 있다.A communication unit provided on one side of the device body to transmit the particle measurement result measured by the particle measurement sensor to the outside, wherein the communication unit includes: at least one terminal for wired communication; and at least one communication module for wireless communication.

상기 디바이스 본체에 결합되며, 상기 디바이스 본체의 외부를 향해 적어도 일부의 표시영역이 관통 배치되어 상기 파티클 측정 센서에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 표시하는 디스플레이 유닛을 더 포함할 수 있다.The display unit may further include a display unit coupled to the device body and having at least a portion of the display area penetrating toward the outside of the device body to display a particle measurement result measured by the particle measurement sensor to the outside.

본 발명의 실시예들은, 간단하고 효율적인 구조를 가지면서도, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 시스템이 배치되는 클린룸 내의 공기에 포함된 파티클의 수량을 정확하고 효과적으로 측정함으로써, 클린룸 내부의 공기 청정도를 정확하게 모니터링할 수 있다.Embodiments of the present invention, while having a simple and efficient structure, by accurately and effectively measuring the number of particles contained in the air in the clean room in which the semiconductor or display manufacturing process system is disposed, accurately monitoring the air cleanliness inside the clean room can do.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 파티클 센싱 디바이스의 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 파티클 센싱 디바이스의 시제품 내부를 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 확대도이다.
도 4는 도 1의 디스플레이 유닛 및 디스플레이 유닛에 표시되는 정보를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 클린룸 파티클 통합관리 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 도 5의 클린룸 파티클 통합관리 시스템에서 데이터의 흐름을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은 도 5의 모니터링 장치에 의해 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view schematically illustrating a structure of a particle sensing device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing the inside of a prototype of the particle sensing device of FIG. 1 .
FIG. 3 is an enlarged view of FIG. 2 .
FIG. 4 is a diagram illustrating the display unit of FIG. 1 and information displayed on the display unit;
5 is a diagram schematically illustrating a cleanroom particle integrated management system according to an embodiment of the present invention.
6 is a diagram schematically illustrating the flow of data in the integrated cleanroom particle management system of FIG. 5 .
7 is a view for explaining a process of controlling the temperature, humidity, and air cleanliness inside the clean room by the monitoring device of FIG. 5 .

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings illustrating preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by describing preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in each figure indicate like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 파티클 센싱 디바이스의 구조를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 파티클 센싱 디바이스의 시제품 내부를 도시한 도면이며, 도 3은 도 2의 확대도이고, 도 4는 도 1의 디스플레이 유닛 및 디스플레이 유닛에 표시되는 정보를 도시한 도면이다.1 is a perspective view schematically showing the structure of a particle sensing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing the inside of a prototype of the particle sensing device of FIG. 1, and FIG. 3 is an enlarged view of FIG. and FIG. 4 is a view showing the display unit of FIG. 1 and information displayed on the display unit.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 파티클 센싱 디바이스(10)는, 디바이스 본체(100)와, 파티클 측정 센서(200)와, 측정공기 저장유닛(300)과, 공기 유동 유닛(400)과, 전원공급유닛(500)과, 통신유닛(700)과, 제어유닛(미도시)과, 디스플레이 유닛(800)과, 온도 및 습도 측정유닛(미도시)을 포함한다.As shown in these figures, the particle sensing device 10 according to an embodiment of the present invention includes a device body 100, a particle measuring sensor 200, a measuring air storage unit 300, and an air flow. It includes a unit 400, a power supply unit 500, a communication unit 700, a control unit (not shown), a display unit 800, and a temperature and humidity measurement unit (not shown).

먼저, 디바이스 본체(100)는 파티클 센싱 디바이스(10)의 외형을 형성하는 부분이며, 모든 구성요소들이 정확한 위치에 배치되어 상호 결합될 수 있도록 내부 플레이트(미도시)가 마련될 수 있다.First, the device body 100 is a part that forms the outer shape of the particle sensing device 10 , and an inner plate (not shown) may be provided so that all components are disposed at correct positions and coupled to each other.

본 실시 예에서는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 박스 형태의 시제품으로 제작되었으나, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니며 클린룸 내부의 특정한 장소에 배치될 수 있도록 다양한 형태로 제작될 수 있을 것이다.In this embodiment, as shown in Figs. 2 and 3, it was manufactured as a prototype in the form of a box, but the present invention is not limited thereto, and it can be manufactured in various forms so as to be disposed in a specific place inside the clean room. There will be.

한편, 파티클 측정 센서(200)는 디바이스 본체(100) 내부에 마련되며, 공기에 포함된 파티클을 감지하여 파티클의 수량을 카운트하는 역할을 한다.Meanwhile, the particle measuring sensor 200 is provided inside the device body 100 and serves to detect particles included in the air and count the number of particles.

파티클 측정 센서(200)는 광측정 방식에 의해 1um부터 10um 사이의 불순물 입자를 검출하고 1um, 2.5um, 5um, 10um를 분류할 수 있는 분해능을 갖추고 있으므로, 최근 반도체의 집적화와 8K로 진화하는 디스플레이 산업 뿐만 아니라, MEMs공정, 반도체 공정 등 불순물 입자가 제품의 불량률과 밀접한 관련이 있는 산업에 모두 적용이 가능하며, 나아가 학교 및 연구소의 클린룸이나 소형 기계 공정 등에도 적용이 가능하다.The particle measurement sensor 200 detects impurity particles between 1um and 10um by the photometric method and has a resolution to classify 1um, 2.5um, 5um, and 10um, so the recent semiconductor integration and display evolving to 8K It can be applied not only to industries, but also to industries where impurity particles such as MEMs process and semiconductor process are closely related to the defect rate of products, and furthermore, it can be applied to clean rooms or small machine processes in schools and research institutes.

한편, 측정공기 저장유닛(300)은 디바이스 본체(100)의 내부에 마련되되, 파티클 측정 센서(200)를 둘러싸고 배치되어, 미리 결정된 양의 측정공기를 저장하기 위한 미리 결정된 크기의 파티클 측정공간을 제공하는 역할을 한다.On the other hand, the measurement air storage unit 300 is provided inside the device body 100, is disposed to surround the particle measurement sensor 200, a particle measurement space of a predetermined size for storing a predetermined amount of measurement air serves to provide

일반적인 파티클 측정장치는 유동하는 상태의 공기를 광측정 방식에 의해 측정하게 되므로, 파티클 측정장치의 외부 공기와 내부의 측정공기 사이에 파티클의 수량이 차이가 있을 수 있다.Since a general particle measuring device measures air in a flowing state by an optical measuring method, there may be a difference in the quantity of particles between the external air and the internal measuring air of the particle measuring device.

그러나 본 발명에 따르면, 미리 결정된 양의 측정공기를 저장하기 위한 미리 결정된 크기의 파티클 측정공간을 제공함으로써, 측정공기 저장유닛(300)에 저장된 측정공기가 안정화된 상태에서 측정공기에 포함된 파티클을 감지하여 파티클의 수량을 카운트할 수 있으므로, 파티클 측정장치의 외부 공기의 파티클의 실제 수량에 가까운 데이터를 얻을 수 있게 된다.However, according to the present invention, by providing a particle measurement space of a predetermined size for storing a predetermined amount of measurement air, the particles included in the measurement air in a state in which the measurement air stored in the measurement air storage unit 300 is stabilized Since the quantity of particles can be counted by sensing, data close to the actual quantity of particles in the external air of the particle measuring device can be obtained.

물론, 일반적인 파티클 측정장치와 동일하게 유동하는 상태의 공기를 광측정 방식에 의해 측정할 수도 있으며, 측정 환경에 따라 측정 방식을 선택적으로 변경할 수도 있다. Of course, in the same manner as in a general particle measuring device, air in a flowing state may be measured by an optical measurement method, and the measurement method may be selectively changed according to a measurement environment.

이를 위해, 측정공기 저장유닛(300)은 파티클의 수량을 카운트하기 위한 미리 결정된 양의 측정공기를 미리 결정된 시간동안 밀봉시켜 저장할 수 있으며, 이 때 파티클 측정 센서(200)는 측정공기 저장유닛(300)에 미리 결정된 시간동안 저장된 미리 결정된 양의 측정공기를 기준으로 측정공기에 포함된 파티클을 감지하여 파티클의 수량을 카운트할 수 있다.To this end, the measurement air storage unit 300 may seal and store a predetermined amount of measurement air for a predetermined time for counting the quantity of particles, and at this time, the particle measurement sensor 200 is the measurement air storage unit 300 ), it is possible to count the number of particles by detecting the particles included in the measurement air based on a predetermined amount of measurement air stored for a predetermined time.

이러한 측정공기 저장유닛(300)은, 격벽형 저장구조체(310)와, 커버 플레이트(330)와, 실링 부재(미도시)를 포함한다.The measurement air storage unit 300 includes a bulkhead-type storage structure 310 , a cover plate 330 , and a sealing member (not shown).

격벽형 저장구조체(310)는 디바이스 본체(100)의 내부에 마련되되, 파티클 측정 센서(200)의 둘레에 배치되며 미리 결정된 높이를 가지는 격벽구조로 마련된다.The partition wall storage structure 310 is provided inside the device body 100 , is disposed around the particle measuring sensor 200 and has a partition wall structure having a predetermined height.

커버 플레이트(330)는 격벽형 저장구조체(310)의 상부에 탈착 가능하게 결합됨으로써, 격벽형 저장구조체(310) 내부의 파티클 측정 센서(200)를 유지보수하기 위해 필요에 따라 파티클 측정공간을 열거나 닫을 수 있다. The cover plate 330 is detachably coupled to the upper portion of the bulkhead-type storage structure 310 , thereby enumerating the particle measuring space as needed to maintain the particle measuring sensor 200 inside the bulkhead-type storage structure 310 . i can close

실링 부재(미도시)는 격벽형 저장구조체(310)와 커버 플레이트(330) 사이에 배치되어 격벽형 저장구조체(310)와 커버 플레이트 사이를 밀봉시키는 역할을 한다.A sealing member (not shown) is disposed between the partition wall storage structure 310 and the cover plate 330 to seal between the partition wall storage structure 310 and the cover plate.

한편, 공기 유동 유닛(400)은 디바이스 본체(100)와 측정공기 저장유닛(300) 사이에 결합되며, 디바이스 본체(100) 외부의 외부공기를 측정공기 저장유닛(300)의 내부로 흡입하고, 파티클 측정 센서(200)에 의해 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 디바이스 본체(100)의 외부로 배출시키도록 공기를 유동시키는 역할을 한다.On the other hand, the air flow unit 400 is coupled between the device body 100 and the measurement air storage unit 300, and sucks the external air outside the device body 100 into the inside of the measurement air storage unit 300, It serves to flow the air to discharge the measurement air counted by the number of particles by the particle measurement sensor 200 to the outside of the device body (100).

이러한 공기 유동 유닛(400)은, 유입관부(410)와, 배출관부(420)와, 펌프(430)와, 파티클 필터링 모듈(440)을 포함한다.The air flow unit 400 includes an inlet pipe part 410 , an exhaust pipe part 420 , a pump 430 , and a particle filtering module 440 .

유입관부(410)는 측정공기 저장유닛(300)과 디바이스 본체(100)의 일측 사이에 결합되며, 측정공기 저장유닛(300) 내부와 디바이스 본체(100) 외부를 연통하여 디바이스 본체(100) 외부의 공기를 측정공기 저장유닛(300) 내부로 흡입하는 흡입유로를 형성한다. The inlet pipe part 410 is coupled between the measurement air storage unit 300 and one side of the device body 100, and communicates with the inside of the measurement air storage unit 300 and the outside of the device body 100 to the outside of the device body 100 A suction flow path for sucking the air of the measurement air storage unit 300 into the inside is formed.

배출관부(420)는 측정공기 저장유닛(300)과 디바이스 본체(100)의 타측 사이에 결합되며, 측정공기 저장유닛(300) 내부와 디바이스 본체(100) 외부를 연통하여 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 디바이스 본체(100)의 외부로 배출시키는 배출유로를 형성한다. The discharge pipe part 420 is coupled between the measurement air storage unit 300 and the other side of the device body 100, and the measurement air storage unit 300 communicates with the inside and the outside of the device body 100 to count the number of particles. An exhaust passage for discharging the measurement air to the outside of the device body 100 is formed.

배출관부(420)는 제1 배출관(421)과 제2 배출관(422)을 포함하는데, 제1 배출관(421)은 측정공기 저장유닛(300)과 펌프(430) 사이에 배치되어 측정공기 저장유닛(300)으로부터 펌프(430)까지의 제1 배출유로를 형성하며, 제2 배출관(422)은 펌프(430)와 디바이스 본체(100)의 타측 사이에 배치되어 펌프(430)로부터 디바이스 본체(100) 외부까지의 제2 배출유로를 형성한다. The discharge pipe part 420 includes a first discharge pipe 421 and a second discharge pipe 422, the first discharge pipe 421 is disposed between the measurement air storage unit 300 and the pump 430, the measurement air storage unit A first discharge path from 300 to the pump 430 is formed, and the second discharge pipe 422 is disposed between the pump 430 and the other side of the device body 100 and from the pump 430 to the device body 100 . ) to form a second discharge path to the outside.

펌프(430)는 배출관부(420)의 일측에 결합되어 유입관부(410)로부터 측정공기 저장유닛(300)을 거쳐 배출관부(420)로 향하는 공기의 유동을 형성하는 역할을 한다. The pump 430 is coupled to one side of the discharge pipe part 420 and serves to form a flow of air from the inlet pipe part 410 through the measurement air storage unit 300 to the discharge pipe part 420 .

파티클 필터링 모듈(440)은 제2 배출관(422)과 디바이스 본체(100) 사이에 결합되며, 측정공기를 배출하기 전에 측정공기에 존재하는 파티클을 필터링하는 역할을 한다.The particle filtering module 440 is coupled between the second discharge pipe 422 and the device body 100, and serves to filter the particles present in the measurement air before discharging the measurement air.

도 3을 참조하여, 공기 유동 유닛(400)의 유입관부(410)와 배출관부(420)와 펌프(430) 및 파티클 필터링 모듈(440) 사이의 배치에 대하여 설명하면, 먼저 유입관부(410)가 디바이스 본체(100)의 일측 벽으로부터 측정공기 저장유닛(300)까지 연결되어 화살표 A를 따라 배치되는 흡입유로를 형성하며, 다음으로 제1 배출관(421)이 측정공기 저장유닛(300)으로부터 펌프(430)까지 연결되어 화살표 B를 따라 배치되는 제1 배출유로를 형성하고, 그 뒤로 제2 배출관(422)이 펌프(430)로부터 파티클 필터링 모듈(440)까지 연결되어 화살표 C를 따라 배치되는 제2 배출유로를 형성하며, 마지막으로 파티클 필터링 모듈(440)이 제2 배출관(422)과 디바이스 본체(100)의 내벽 사이에 직접 연결된다.Referring to FIG. 3 , when describing the arrangement between the inlet pipe part 410 and the discharge pipe part 420 and the pump 430 and the particle filtering module 440 of the air flow unit 400 , first the inlet pipe part 410 . is connected from one wall of the device body 100 to the measurement air storage unit 300 to form a suction flow path arranged along the arrow A, and then the first discharge pipe 421 is pumped from the measurement air storage unit 300 It is connected to 430 to form a first discharge flow path arranged along the arrow B, and thereafter, the second discharge pipe 422 is connected from the pump 430 to the particle filtering module 440 to form a first discharge path arranged along the arrow C. Two discharge passages are formed, and finally, the particle filtering module 440 is directly connected between the second discharge pipe 422 and the inner wall of the device body 100 .

이러한 구조를 가진 공기 유동 유닛(400)의 작동에 대하여 설명하면, 펌프(430)가 작동하게 되면, 유입관부(410)로부터 측정공기 저장유닛(300)의 내부를 거쳐서 제1 배출관(421)에 이르기까지 흡입력이 발생하게 되므로, 디바이스 본체(100) 외부의 공기를 흡입하여 측정공기 저장유닛(300)으로 공급하게 된다.Description of the operation of the air flow unit 400 having this structure, when the pump 430 is operated, from the inlet pipe 410 through the inside of the measurement air storage unit 300 to the first outlet pipe 421 Since the suction force is generated until reaching the device body 100 , the air outside the device body 100 is sucked and supplied to the measurement air storage unit 300 .

이 때, 후술할 제어유닛(미도시)에 의해 펌프(430)의 출력을 제어함으로써 측정공기 저장유닛(300)에 저장되는 측정공기의 유량을 제어할 수 있게 된다.At this time, it is possible to control the flow rate of the measurement air stored in the measurement air storage unit 300 by controlling the output of the pump 430 by a control unit (not shown) to be described later.

또한, 펌프(430)의 작동여부를 제어함으로써 측정공기 저장유닛(300)의 내부에 미리 결정된 양의 측정공기를 미리 결정된 시간동안 밀봉시켜 저장할 수 있으며, 이 때 측정공기 저장유닛(300) 내부의 파티클 측정 센서(200)에 의해 측정공기에 포함된 파티클을 감지하여 파티클의 수량을 카운트할 수 있다.In addition, by controlling the operation of the pump 430, a predetermined amount of measurement air can be sealed and stored inside the measurement air storage unit 300 for a predetermined time, and at this time, the measurement air storage unit 300 inside the The number of particles may be counted by detecting particles included in the measurement air by the particle measurement sensor 200 .

이후에 파티클의 수량이 측정된 측정공기는 펌프(430)의 작동에 의해 제1 배출관(421)을 따라 측정공기 저장유닛(300)으로부터 펌프(430)까지 이동하게 되고, 제2 배출관(422)을 따라 파티클 필터링 모듈(440)을 거쳐서 디바이스 본체(100)의 외부로 배출된다.Thereafter, the measurement air, in which the quantity of particles is measured, moves from the measurement air storage unit 300 to the pump 430 along the first discharge pipe 421 by the operation of the pump 430, and the second discharge pipe 422. is discharged to the outside of the device body 100 through the particle filtering module 440 along the

본 발명에 따르면, 파티클의 수량이 측정된 측정공기를 파티클 필터링 모듈(440)을 거쳐서 배출함으로써, 배출된 측정공기에 포함된 파티클에 의해 클린룸 내부에서 발생할 수 있는 제조공정의 불량을 방지할 수 있게 된다.According to the present invention, by discharging the measurement air in which the quantity of particles is measured through the particle filtering module 440, it is possible to prevent defects in the manufacturing process that may occur inside the clean room due to the particles included in the discharged measurement air. there will be

한편, 전원공급유닛(500)은 디바이스 본체(100)의 일측에 마련되어 펌프(430)에 전원을 공급하는 역할을 하며, 펌프(430) 뿐만 아니라 제어유닛(미도시), 디스플레이 유닛(800), 온도 및 습도 측정유닛(미도시) 등 전원을 필요로 하는 모든 구성요소로 전원을 공급하게 된다.On the other hand, the power supply unit 500 is provided on one side of the device body 100 and serves to supply power to the pump 430, as well as the pump 430, a control unit (not shown), a display unit 800, Power is supplied to all components that require power, such as a temperature and humidity measuring unit (not shown).

한편, 제어유닛(미도시)은 전원공급유닛(500)의 출력 및 펌프(430)의 출력을 제어함으로써 측정공기 저장유닛(300)에 저장되는 측정공기의 유량을 제어하는 역할을 한다.Meanwhile, the control unit (not shown) serves to control the flow rate of the measurement air stored in the measurement air storage unit 300 by controlling the output of the power supply unit 500 and the output of the pump 430 .

따라서, 파티클 센싱 디바이스(10)가 배치되는 클린룸 내부의 환경 조건 및 제조 공정에 따른 특성에 맞게 원하는 유량으로 조절할 수 있게 된다.Therefore, it is possible to adjust the desired flow rate according to the characteristics according to the environmental conditions and the manufacturing process inside the clean room in which the particle sensing device 10 is disposed.

한편, 통신유닛(700)은 디바이스 본체(100)의 일측에 마련되어 파티클 측정 센서(200)에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 전송하는 역할을 하며, 적어도 하나의 유선통신용 단자(710)와, 적어도 하나의 무선통신용 통신모듈(미도시)을 포함한다.On the other hand, the communication unit 700 is provided on one side of the device body 100 and serves to transmit the particle measurement result measured by the particle measurement sensor 200 to the outside, at least one terminal for wired communication 710 and, It includes at least one communication module for wireless communication (not shown).

적어도 하나의 유선통신용 단자(710)는 USB 외부연결 단자(711)와 유선 LAN 외부연결 단자(712)를 포함할 수 있으며, 이들을 통해 후술할 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)의 데이터 관리용 서버(20)와 유선으로 통신 가능하게 연결될 수 있다. The at least one wired communication terminal 710 may include a USB external connection terminal 711 and a wired LAN external connection terminal 712, and a server for data management of the cleanroom particle integrated management system 1 to be described later through these terminals (20) may be communicatively connected to the wire.

또한, 적어도 하나의 무선통신용 통신모듈(미도시)은, 블루투스(bluetooth) 또는 적외선통신(IrDA) 등의 근거리 무선연결방식 및 와이파이(Wi-Fi) 등 다양한 무선통신 방식에 의해 데이터 관리용 서버(20)와 무선으로 통신 가능하게 연결될 수 있으며, 후술할 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)의 모니터링 장치(30)와도 추가적으로 통신 가능하도록 연결될 수 있다.In addition, at least one communication module for wireless communication (not shown) is a data management server ( 20) and may be connected wirelessly, and may be additionally connected to the monitoring device 30 of the integrated cleanroom particle management system 1 to be described later.

본 발명에 따르면, 도 6에 도시된 바와 같이, 무선통신을 이용하여 클라우드 형태의 데이터 관리용 서버(20)에 연결될 수도 있지만, 클린룸의 형태 및 수요기업에 따른 작업 현장의 환경 등에 따라 유선으로도 마련될 수 있으며 맞춤형으로 데이터 전송 시스템을 구축할 수 있다. According to the present invention, as shown in FIG. 6 , it may be connected to the cloud-type data management server 20 using wireless communication, but may be wired according to the type of the clean room and the environment of the work site according to the demanding company. can also be provided, and a customized data transmission system can be built.

한편, 디스플레이 유닛(800)은 디바이스 본체(100)에 결합되며, 디바이스 본체(100)의 외부를 향해 적어도 일부의 표시영역이 관통 배치되어 파티클 측정 센서(200)에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 표시하는 역할을 한다.Meanwhile, the display unit 800 is coupled to the device body 100 , and at least a portion of the display area is disposed through the device body 100 toward the outside to display the particle measurement result measured by the particle measurement sensor 200 to the outside. serves to indicate

도 4의 (a)에 도시된 디바이스 본체(100)의 외부를 향해 배치되는 디스플레이 유닛(800)의 디스플레이 표시영역에는, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 파티클의 크기에 따라 구분되어 카운트된 파티클의 수량, 측정공기의 온도 및 습도를 비롯하여 센서와의 연결 상태 및 데이터 관리용 서버(20)와의 연결 상태 등 다양한 정보가 표시된다.In the display area of the display unit 800 that is disposed toward the outside of the device body 100 shown in FIG. 4(a), as shown in FIG. Various information such as the number of counted particles, the temperature and humidity of the measured air, the connection state with the sensor, and the connection state with the data management server 20 are displayed.

이러한 디스플레이 유닛(800)은 터치입력이 가능하게 마련됨으로써, 파티클 센싱 디바이스(10)를 조작하는 조작부의 역할도 함께 할 수 있다.Since the display unit 800 is provided to enable a touch input, it may also serve as a manipulation unit for manipulating the particle sensing device 10 .

한편, 온도 및 습도 측정유닛(미도시)은 파티클 센싱 디바이스(10)가 배치되는 클린룸 내부 및 측정공기의 온도 및 습도를 측정하는 역할을 하며, 여기서 수집된 데이터에 의해 후술할 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)의 데이터 관리용 서버(20)가 온도 및 습도 데이터에 따라 파티클 센싱 디바이스(10)로부터 취득한 공기 청정도 데이터를 보정하여 측정 불량률을 예측할 수 있게 된다.On the other hand, the temperature and humidity measurement unit (not shown) serves to measure the temperature and humidity of the measurement air and inside the clean room in which the particle sensing device 10 is disposed, and the clean room particle integration to be described later by the collected data The data management server 20 of the management system 1 corrects the air cleanliness data obtained from the particle sensing device 10 according to the temperature and humidity data to predict the measurement defect rate.

또한, 후술할 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)의 모니터링 장치(30)가, 데이터 관리용 서버(20)에서 예측한 측정 불량률을 고려하여 환기 장치(40) 및 온도 및 습도 조절장치(50)를 제어함으로써 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절할 수 있도록 수집된 데이터를 제공한다.In addition, in consideration of the measurement failure rate predicted by the data management server 20, the monitoring device 30 of the cleanroom particle integrated management system 1 to be described later, the ventilation device 40 and the temperature and humidity control device 50 By controlling the temperature, humidity and air cleanliness inside the clean room, the collected data is provided.

이와 같이, 본 실시 예에 따르면, 간단하고 효율적인 구조를 가지면서도, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 시스템이 배치되는 클린룸 내의 공기에 포함된 파티클의 수량을 정확하고 효과적으로 측정함으로써, 클린룸 내부의 공기 청정도를 정확하게 모니터링할 수 있게 된다.As described above, according to the present embodiment, while having a simple and efficient structure, by accurately and effectively measuring the number of particles contained in the air in the clean room in which the semiconductor or display manufacturing process system is disposed, the cleanliness of the air inside the clean room is improved. can be accurately monitored.

한편, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 클린룸 파티클 통합관리 시스템을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 도 5의 클린룸 파티클 통합관리 시스템에서 데이터의 흐름을 개략적으로 도시한 도면이며, 도 7은 도 5의 모니터링 장치에 의해 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.Meanwhile, FIG. 5 is a diagram schematically illustrating a cleanroom particle integrated management system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a diagram schematically illustrating a flow of data in the cleanroom particle integrated management system of FIG. , FIG. 7 is a view for explaining a process of controlling the temperature, humidity, and air cleanliness inside the clean room by the monitoring device of FIG. 5 .

이하에서는, 이들 도면을 참조하여 전술한 파티클 센싱 디바이스(10)를 포함하는 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)에 대하여 설명한다.Hereinafter, a cleanroom particle integrated management system 1 including the aforementioned particle sensing device 10 will be described with reference to these drawings.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 클린룸 파티클 통합관리 시스템(1)은, 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스(10)와, 데이터 관리용 서버(20)와, 모니터링 장치(30)와, 환기 장치(40)와, 온도 및 습도 조절장치(50)를 포함한다.As shown in FIG. 5 , the cleanroom particle integrated management system 1 according to an embodiment of the present invention includes at least one particle sensing device 10 , a data management server 20 , and a monitoring device ( 30 ), and a ventilation device 40 , and a temperature and humidity control device 50 .

적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스(10)는 전술한 바와 같은 구조를 가지며, 클린룸 내부의 다양한 위치에 배치되어 공기에 포함된 파티클의 크기 및 수량과, 측정공기의 온도 및 습도를 측정하여 데이터를 취득하는 역할을 하고, 취득된 데이터를 통신 가능하게 연결된 데이터 관리용 서버(20)로 업로드하는 역할을 한다. At least one particle sensing device 10 has the structure as described above, and is disposed at various positions inside the clean room to measure the size and quantity of particles contained in the air, and the temperature and humidity of the measurement air to acquire data and serves to upload the acquired data to the communicatively connected data management server 20 .

데이터 관리용 서버(20)는 적어도 하나의 파티클 센싱 디바이스(10)와 통신 가능하게 연결되며, 파티클 센싱 디바이스(10)로부터 측정공기에 포함된 파티클의 수량에 따른 공기 청정도 데이터를 취득하고, 취득한 공기 청정도 데이터를 분류 및 관리하는 역할을 한다.The data management server 20 is communicatively connected with at least one particle sensing device 10, and acquires air cleanliness data according to the quantity of particles included in the measured air from the particle sensing device 10, It serves to classify and manage air cleanliness data.

또한, 데이터 관리용 서버(20)는 파티클 센싱 디바이스(10)의 온도 및 습도 측정유닛(미도시)에 의해 측정된 온도 및 습도 데이터를 취득하고, 취득한 온도 및 습도 데이터를 분류 및 관리하며, 온도 및 습도 데이터에 따라 파티클 센싱 디바이스(10)로부터 취득한 공기 청정도 데이터를 보정하여 측정 불량률을 예측할 수 있다.In addition, the server 20 for data management acquires the temperature and humidity data measured by the temperature and humidity measurement unit (not shown) of the particle sensing device 10, classifies and manages the acquired temperature and humidity data, and the temperature And by correcting the air cleanliness data acquired from the particle sensing device 10 according to the humidity data, it is possible to predict the measurement defect rate.

모니터링 장치(30)는 데이터 관리용 서버(20)와 통신 가능하게 연결되어 클린룸 내부의 공기 청정도를 실시간으로 모니터링하고, 이에 따라 클린룸 내부의 공기 청정도를 제어하는 역할을 한다.The monitoring device 30 is communicatively connected to the data management server 20 to monitor the air cleanliness level inside the clean room in real time, and thus serves to control the air cleanliness level inside the clean room.

환기 장치(40)는 클린룸의 내부에 설치되며, 클린룸 내부의 공기 청정도를 조절하는 역할을 하며, 이 때, 모니터링 장치(30)가 환기 장치(40)와 통신 가능하게 연결되어 환기 장치(40)를 제어함으로써 클린룸 내부의 공기 청정도를 조절할 수 있다.The ventilation device 40 is installed inside the clean room, and serves to adjust the air cleanliness inside the clean room, and at this time, the monitoring device 30 is communicatively connected to the ventilation device 40 and the ventilation device ( 40), it is possible to adjust the air cleanliness inside the clean room.

온도 및 습도 조절장치(50)는 클린룸의 내부에 설치되며, 클린룸 내부의 온도 및 습도를 조절하는 역할을 한다.The temperature and humidity control device 50 is installed inside the clean room, and serves to control the temperature and humidity inside the clean room.

도 5에 도시된 바와 같이, 모니터링 장치(30)가 환기 장치(40) 및 온도 및 습도 조절장치(50)와 통신 가능하게 연결되며, 데이터 관리용 서버(20)에서 예측한 측정 불량률을 고려하여 환기 장치(40) 및 온도 및 습도 조절장치(50)를 제어함으로써 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절할 수 있다.As shown in Figure 5, the monitoring device 30 is communicatively connected with the ventilation device 40 and the temperature and humidity control device 50, in consideration of the measurement defect rate predicted by the data management server 20 By controlling the ventilation device 40 and the temperature and humidity control device 50, it is possible to adjust the temperature, humidity, and air cleanliness inside the clean room.

즉, 도 7에 도시된 바와 같이, 클린룸 내부의 공기와 클린룸 외부의 공기가 환기 장치(40)에 의해 순환하여 다시 클린룸의 내부로 투입될 때에, 온도 및 습도 조절장치(50)를 거치면서 클린룸의 내부로 투입되는 공기의 온도 및 습도를 조절할 수 있으며, 클린룸의 내부로 투입되기 직전에 헤파 필터(41) 등의 공기정화장치를 거치면서 공기에 포함된 파티클의 수량을 조절할 수 있게 된다.That is, as shown in FIG. 7 , when the air inside the clean room and the air outside the clean room are circulated by the ventilation device 40 and put back into the clean room, the temperature and humidity control device 50 is It is possible to adjust the temperature and humidity of the air introduced into the clean room while passing through it, and it is possible to adjust the quantity of particles contained in the air while passing through an air purifying device such as a HEPA filter 41 just before being introduced into the clean room. be able to

이와 같이, 본 실시 예에 따르면, 간단하고 효율적인 구조를 가진 파티클 센싱 디바이스에 의해, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정 시스템이 배치되는 클린룸 내부의 공기에 포함된 파티클의 수량을 정확하고 효과적으로 측정함으로써, 클린룸 내부의 공기 청정도를 정확하게 모니터링할 수 있으며, 이에 따라 클린룸 내부의 공기 청정도를 보다 효과적으로 제어할 수 있게 된다.As described above, according to the present embodiment, by accurately and effectively measuring the quantity of particles contained in the air inside the clean room in which the semiconductor or display manufacturing process system is disposed, the clean room by the particle sensing device having a simple and efficient structure. It is possible to accurately monitor the air cleanliness inside the room, and accordingly, it is possible to more effectively control the air cleanliness inside the clean room.

또한, 데이터 관리용 서버에서, 파티클 센싱 디바이스의 온도 및 습도 측정유닛에 의해 측정된 온도 및 습도 데이터에 따라 파티클 센싱 디바이스로부터 취득한 공기 청정도 데이터를 보정하여 측정 불량률을 예측할 수 있게 된다.In addition, in the server for data management, it is possible to predict the measurement defect rate by correcting the air cleanliness data obtained from the particle sensing device according to the temperature and humidity data measured by the temperature and humidity measuring unit of the particle sensing device.

나아가, 모니터링 장치에 의해, 데이터 관리용 서버에서 예측한 측정 불량률을 고려하여 환기 장치 및 온도 및 습도 조절장치를 제어함으로써 클린룸 내부의 온도, 습도 및 공기 청정도를 조절할 수 있게 된다.Furthermore, it is possible to control the temperature, humidity and air cleanliness inside the clean room by controlling the ventilation device and the temperature and humidity control device in consideration of the measurement failure rate predicted by the data management server by the monitoring device.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As such, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, it should be said that such modifications or variations are included in the claims of the present invention.

1 : 클린룸 파티클 통합관리 시스템 10 : 파티클 센싱 디바이스
20 : 데이터 관리용 서버 30 : 모니터링 장치
40 : 환기 장치 50 : 온도 및 습도 조절장치
100 : 디바이스 본체 200 : 파티클 측정 센서
300 : 측정공기 저장유닛 310 : 격벽형 저장구조체
330 : 커버 플레이트 400 : 공기 유동 유닛
410 : 유입관부 420 : 배출관부
421 : 제1 배출관 422 : 제2 배출관
430 : 펌프 440 : 파티클 필터링 모듈
500 : 전원공급유닛 700 : 통신유닛
800 : 디스플레이 유닛1: Cleanroom particle integrated management system 10: Particle sensing device
20: server for data management 30: monitoring device
40: ventilation device 50: temperature and humidity control device
100: device body 200: particle measurement sensor
300: measurement air storage unit 310: bulkhead storage structure
330: cover plate 400: air flow unit
410: inlet pipe 420: discharge pipe
421: first discharge pipe 422: second discharge pipe
430: pump 440: particle filtering module
500: power supply unit 700: communication unit
800: display unit

Claims (9)

디바이스 본체;
상기 디바이스 본체 내부에 마련되며, 공기에 포함된 파티클을 감지하여 상기 파티클의 수량을 카운트하는 파티클 측정 센서;
상기 디바이스 본체의 내부에 마련되되, 상기 파티클 측정 센서를 둘러싸고 배치되어, 미리 결정된 양의 측정공기를 저장하기 위한 미리 결정된 크기의 파티클 측정공간을 제공하는 측정공기 저장유닛; 및
상기 디바이스 본체와 상기 측정공기 저장유닛 사이에 결합되며, 상기 디바이스 본체 외부의 외부공기를 상기 측정공기 저장유닛의 내부로 흡입하고, 상기 파티클 측정 센서에 의해 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 상기 디바이스 본체의 외부로 배출시키도록 공기를 유동시키는 공기 유동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 센싱 디바이스.device body;
a particle measurement sensor provided inside the device body and configured to detect particles contained in the air and count the number of the particles;
a measurement air storage unit provided inside the device body, which is disposed to surround the particle measurement sensor, and provides a particle measurement space of a predetermined size for storing a predetermined amount of measurement air; and
It is coupled between the device body and the measurement air storage unit, sucks external air from the outside of the device body into the measurement air storage unit, and receives measurement air counting the quantity of particles by the particle measurement sensor to the device Particle sensing device comprising an air flow unit for flowing air to be discharged to the outside of the body. 제1항에 있어서,
상기 측정공기 저장유닛은,
파티클의 수량을 카운트하기 위한 미리 결정된 양의 상기 측정공기를 미리 결정된 시간동안 밀봉시켜 저장하며,
상기 파티클 측정 센서는,
상기 측정공기 저장유닛에 미리 결정된 시간동안 저장된 미리 결정된 양의 측정공기를 기준으로 상기 측정공기에 포함된 파티클을 감지하여 상기 파티클의 수량을 카운트하는 것을 특징으로 하는 파티클 센싱 디바이스.According to claim 1,
The measurement air storage unit,
Sealing and storing a predetermined amount of the measurement air for a predetermined time for counting the number of particles,
The particle measuring sensor,
Particle sensing device, characterized in that for counting the number of particles by detecting the particles contained in the measurement air based on a predetermined amount of measurement air stored for a predetermined time in the measurement air storage unit. 제1항에 있어서,
상기 측정공기 저장유닛은,
상기 디바이스 본체의 내부에 마련되되, 상기 파티클 측정 센서의 둘레에 배치되며 미리 결정된 높이를 가지는 격벽구조의 격벽형 저장구조체;
상기 격벽형 저장구조체의 상부에 탈착 가능하게 결합되는 커버 플레이트; 및
상기 격벽형 저장구조체와 상기 커버 플레이트 사이에 배치되어 상기 격벽형 저장구조체와 상기 커버 플레이트 사이를 밀봉시키는 실링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 센싱 디바이스.According to claim 1,
The measurement air storage unit,
a partition wall storage structure provided inside the device body, disposed around the particle measuring sensor and having a predetermined height;
a cover plate detachably coupled to an upper portion of the bulkhead-type storage structure; and
and a sealing member disposed between the partition wall storage structure and the cover plate to seal between the partition wall storage structure and the cover plate. 제3항에 있어서,
상기 공기 유동 유닛은,
상기 측정공기 저장유닛과 상기 디바이스 본체의 일측 사이에 결합되며, 상기 측정공기 저장유닛 내부와 상기 디바이스 본체 외부를 연통하여 상기 디바이스 본체 외부의 공기를 상기 측정공기 저장유닛 내부로 흡입하는 흡입유로를 형성하는 유입관부;
상기 측정공기 저장유닛과 상기 디바이스 본체의 타측 사이에 결합되며, 상기 측정공기 저장유닛 내부와 상기 디바이스 본체 외부를 연통하여 파티클의 수량을 카운트한 측정공기를 상기 디바이스 본체의 외부로 배출시키는 배출유로를 형성하는 배출관부; 및
상기 배출관부의 일측에 결합되어 상기 유입관부로부터 상기 측정공기 저장유닛을 거쳐 상기 배출관부로 향하는 공기의 유동을 형성하는 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 센싱 디바이스.4. The method of claim 3,
The air flow unit,
It is coupled between the measurement air storage unit and one side of the device body, and communicates the inside of the measurement air storage unit and the outside of the device body to form a suction flow path for sucking air outside the device body into the inside of the measurement air storage unit an inlet pipe;
A discharge flow path coupled between the measurement air storage unit and the other side of the device body, communicating the inside of the measurement air storage unit and the outside of the device body to discharge the measurement air counting the number of particles to the outside of the device body a discharge pipe to form; and
and a pump coupled to one side of the discharge pipe to form a flow of air from the inlet pipe to the discharge pipe through the measurement air storage unit. 제4항에 있어서,
상기 배출관부는,
상기 측정공기 저장유닛과 상기 펌프 사이에 배치되어, 상기 측정공기 저장유닛으로부터 상기 펌프까지의 제1 배출유로를 형성하는 제1 배출관; 및
상기 펌프와 상기 디바이스 본체의 타측 사이에 배치되어, 상기 펌프로부터 상기 디바이스 본체 외부까지의 제2 배출유로를 형성하는 제2 배출관을 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 센싱 디바이스.5. The method of claim 4,
The discharge pipe part,
a first discharge pipe disposed between the measurement air storage unit and the pump to form a first discharge passage from the measurement air storage unit to the pump; and
and a second discharge pipe disposed between the pump and the other side of the device body to form a second discharge path from the pump to the outside of the device body. 제5항에 있어서,
상기 공기 유동 유닛은,
상기 제2 배출관과 상기 디바이스 본체 사이에 결합되며, 상기 측정공기를 배출하기 전에 상기 측정공기에 존재하는 파티클을 필터링하는 파티클 필터링 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 센싱 디바이스.6. The method of claim 5,
The air flow unit,
Particle sensing device, coupled between the second discharge pipe and the device body, characterized in that it further comprises a particle filtering module for filtering the particles present in the measurement air before discharging the measurement air. 제4항에 있어서,
상기 디바이스 본체의 일측에 마련되어 상기 펌프에 전원을 공급하는 전원공급유닛; 및
상기 전원공급유닛의 출력 및 상기 펌프의 출력을 제어함으로써 상기 측정공기 저장유닛에 저장되는 상기 측정공기의 유량을 제어하는 제어유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 센싱 디바이스.5. The method of claim 4,
a power supply unit provided on one side of the device body to supply power to the pump; and
Particle sensing device, characterized in that it further comprises a control unit for controlling the flow rate of the measurement air stored in the measurement air storage unit by controlling the output of the power supply unit and the output of the pump. 제1항에 있어서,
상기 디바이스 본체의 일측에 마련되어 상기 파티클 측정 센서에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 전송하는 통신유닛을 더 포함하며,
상기 통신유닛은,
적어도 하나의 유선통신용 단자; 및
적어도 하나의 무선통신용 통신모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 센싱 디바이스.According to claim 1,
Further comprising a communication unit provided on one side of the device body to transmit the particle measurement result measured by the particle measurement sensor to the outside,
The communication unit is
at least one terminal for wired communication; and
Particle sensing device comprising at least one communication module for wireless communication. 제1항에 있어서,
상기 디바이스 본체에 결합되며, 상기 디바이스 본체의 외부를 향해 적어도 일부의 표시영역이 관통 배치되어 상기 파티클 측정 센서에 의해 측정된 파티클 측정 결과를 외부로 표시하는 디스플레이 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 센싱 디바이스.According to claim 1,
Particles coupled to the device body, characterized in that it further comprises a display unit for displaying the particle measurement result measured by the particle measurement sensor to the outside by having at least a part of the display area penetrating toward the outside of the device body sensing device.
KR1020210017335A 2021-02-08 2021-02-08 Particle Sensing Device KR102478748B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210017335A KR102478748B1 (en) 2021-02-08 2021-02-08 Particle Sensing Device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210017335A KR102478748B1 (en) 2021-02-08 2021-02-08 Particle Sensing Device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220114162A true KR20220114162A (en) 2022-08-17
KR102478748B1 KR102478748B1 (en) 2022-12-19

Family

ID=83110915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210017335A KR102478748B1 (en) 2021-02-08 2021-02-08 Particle Sensing Device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102478748B1 (en)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050048706A (en) * 2003-11-19 2005-05-25 삼성전자주식회사 Air particle mesurement apparatus
US20170248509A1 (en) * 2015-07-14 2017-08-31 Teilch, LLC Airborne Particle Measuring Device
KR20180062628A (en) * 2016-12-01 2018-06-11 엘지전자 주식회사 Dust measuring device
KR101912240B1 (en) * 2018-03-28 2018-10-26 주식회사 과학기술분석센타 Fine particle measuring device
KR20200030269A (en) * 2018-09-12 2020-03-20 김은숙 Particle measurement apparatus for Semiconductor equipment
KR102101413B1 (en) 2019-04-29 2020-04-16 주식회사 아셀 Apparatus for measuring particle
KR102157179B1 (en) * 2019-01-25 2020-09-18 주식회사 이노서플 Measuring System for Particulate Matter in Air
KR102169451B1 (en) * 2020-02-26 2020-10-23 한국건설기술연구원 Mobile Air Quality Measurement System

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050048706A (en) * 2003-11-19 2005-05-25 삼성전자주식회사 Air particle mesurement apparatus
US20170248509A1 (en) * 2015-07-14 2017-08-31 Teilch, LLC Airborne Particle Measuring Device
KR20180062628A (en) * 2016-12-01 2018-06-11 엘지전자 주식회사 Dust measuring device
KR101912240B1 (en) * 2018-03-28 2018-10-26 주식회사 과학기술분석센타 Fine particle measuring device
KR20200030269A (en) * 2018-09-12 2020-03-20 김은숙 Particle measurement apparatus for Semiconductor equipment
KR102157179B1 (en) * 2019-01-25 2020-09-18 주식회사 이노서플 Measuring System for Particulate Matter in Air
KR102101413B1 (en) 2019-04-29 2020-04-16 주식회사 아셀 Apparatus for measuring particle
KR102169451B1 (en) * 2020-02-26 2020-10-23 한국건설기술연구원 Mobile Air Quality Measurement System

Also Published As

Publication number Publication date
KR102478748B1 (en) 2022-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7635244B2 (en) Sheet-like electronic component clean transfer device and sheet-like electronic component manufacturing system
US7426024B2 (en) System for inspecting a disk-shaped object
CN102066897A (en) System and method for air sampling in controlled environments
KR102533923B1 (en) Clean Room Particle Management System
US20230304914A1 (en) Modular optical particle counter sensor and apparatus
CN210775144U (en) Semiconductor detection machine
JP2001099462A (en) Display system of optimum control analysis value of specific area environment inside clean room or clean booth
KR20220114162A (en) Particle Sensing Device
KR101736875B1 (en) Monitoring method and equipment of conditioning plumbing for clean room
JP2010197386A (en) In-line high pressure particle sensing system
KR20150008294A (en) Roof Type Industrial Dust Filtering System
KR101347600B1 (en) Automatic pressure controller having high stablity control valve for semi-conducter process
KR100702219B1 (en) Cooling Apparatus having a Sensing Function of filter Pollution for a Controller
WO2021033475A1 (en) Airflow measurement system and communication module
CN105666528A (en) Circulating filtration device for clean room, clean room and glove box
TWI274825B (en) A remote monitoring system and method for chemical delivery
DE202019000666U1 (en) Prevention system for preventing mold formation in restricted air circulation conditions in indoor spaces created by furnishings
JP4685260B2 (en) Negative pressure type glove tightness inspection device and inspection method thereof
KR20200063404A (en) Blowing device
KR101347602B1 (en) Automatic pressure controller having high stability control valve for semi-conducter process
CN215490183U (en) Clean factory building control system
CN209183521U (en) Blowning installation
JP2009016743A (en) Wafer transporting device, and method of monitoring air flow in wafer transporting device
CN114184126B (en) Portable detection device and environment monitoring method using same
KR101592908B1 (en) Device for Managing Suction Pressure

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant