KR20220093703A - Liquid discharging apparatus and liquid discharging method - Google Patents

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Abstract

The present invention includes: a discharge unit capable of discharging liquid material; a supply unit capable of supplying liquid material to the discharge unit and having an accommodation space in which the liquid material can be stored; a storage unit connected to the supply unit to supply the liquid material to the supply unit; and a recovery unit connected to the storage unit to recover the liquid material of the supply unit to the storage unit, wherein the supply unit includes: an accommodation space connected to the storage unit; a recovery space connected to the recovery unit; and a dam member installed between the accommodation space and the recovery space to adjust the liquid material level in the accommodation space, thereby capable of stably discharging the liquid material.

Description

액상물질 토출장치 및 액상물질 토출방법{LIQUID DISCHARGING APPARATUS AND LIQUID DISCHARGING METHOD}Liquid material discharging device and liquid material discharging method

본 발명은 액상물질 토출장치 및 액상물질 토출방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액상물질을 안정적으로 토출할 수 있는 액상물질 토출장치 및 액상물질 토출방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid material discharging apparatus and a liquid material discharging method, and more particularly, to a liquid material discharging apparatus capable of stably discharging a liquid material and a liquid material discharging method.

일반적으로 잉크젯 인쇄장치는 원하는 위치에 잉크를 분사하여 인쇄하는 장치이다. 잉크젯 인쇄장치는 반도체나 디스플레이 등의 패터닝 공정에 활용되고 있다.In general, an inkjet printing apparatus is an apparatus for printing by jetting ink to a desired position. The inkjet printing apparatus is used in a patterning process of a semiconductor or a display.

이때, 잉크젯 인쇄장치는, 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드, 및 잉크젯 헤드에 잉크를 공급하는 잉크 저장조를 포함한다. 잉크젯 헤드에 잉크가 채워진 상태를 유지해야 원하는 시점에 인쇄를 시작할 수 있다. 따라서, 잉크 저장조가 잉크젯 헤드에 지속적으로 잉크를 공급해줄 수 있다.In this case, the inkjet printing apparatus includes an inkjet head for discharging ink, and an ink storage tank for supplying ink to the inkjet head. The inkjet head needs to be filled with ink to start printing at the desired point in time. Accordingly, the ink reservoir may continuously supply ink to the inkjet head.

종래에는 잉크젯 헤드에서 중력에 의해 잉크가 외부로 새지 않도록, 잉크 저장조 내부의 압력을 조절하였다. 그러나 잉크 저장조에서 잉크젯 헤드에 잉크를 공급하거나 잉크 저장조 내부에 잉크를 채울 때, 잉크 저장조 내부의 잉크 수위가 변할 수 있다. 이에, 잉크 저장조 내부의 잉크 수위에 변화에 따른 잉크 무게 변화로 인해 잉크 저장조 내부의 압력도 변화될 수 있다. 따라서, 잉크젯 헤드에서 잉크가 누수되거나, 잉크젯 헤드가 막히는 문제가 발생할 수 있다.In the prior art, the pressure inside the ink reservoir was adjusted so that the ink did not leak out due to gravity in the inkjet head. However, when the ink reservoir supplies ink to the inkjet head or fills the ink reservoir with ink, the ink level in the ink reservoir may change. Accordingly, the pressure inside the ink storage tank may also change due to a change in ink weight according to a change in the ink level in the ink storage tank. Accordingly, ink leakage from the inkjet head or clogging of the inkjet head may occur.

KRKR 2019-01113342019-0111334 AA

본 발명은 액상물질을 안정적으로 토출할 수 있는 액상물질 토출장치 및 액상물질 토출방법을 제공한다.The present invention provides a liquid material discharging device and a liquid material discharging method capable of stably discharging the liquid material.

본 발명은 토출되는 액상물질의 품질을 향상시킬 수 있는 액상물질 토출장치 및 액상물질 토출방법을 제공한다.The present invention provides a liquid material discharging device and a liquid material discharging method capable of improving the quality of the discharged liquid material.

본 발명은 액상물질을 토출할 수 있는 토출부; 상기 토출부로 액상물질을 공급할 수 있고, 내부에 액상물질이 저장될 수 있는 수용공간을 가지는 공급부; 상기 공급부로 액상물질을 공급할 수 있도록, 상기 공급부와 연결되는 저장부; 및 상기 공급부의 액상물질을 상기 저장부로 회수할 수 있도록, 상기 저장부와 연결되는 회수부;를 포함하고,The present invention is a discharge unit capable of discharging a liquid material; a supply unit capable of supplying a liquid material to the discharge unit and having an accommodation space in which the liquid material can be stored; a storage unit connected to the supply unit to supply the liquid material to the supply unit; and a recovery unit connected to the storage unit so that the liquid material of the supply unit can be recovered to the storage unit.

상기 공급부는, 상기 저장부와 연결되는 수용공간, 상기 회수부와 연결되는 회수공간, 및 상기 수용공간의 액상물질 수위를 조절하도록, 상기 수용공간과 상기 회수공간 사이에 설치되는 댐 부재를 포함한다.The supply unit includes an accommodation space connected to the storage unit, a recovery space connected to the recovery unit, and a dam member installed between the accommodation space and the recovery space to adjust the liquid material level in the accommodation space. .

상기 댐 부재는, 상기 수용공간에서 수위가 상승하는 액상물질이 상기 회수공간으로 넘어갈 수 있도록, 상기 수용공간과 상기 회수공간 사이의 하부를 차단한다.The dam member blocks the lower portion between the receiving space and the recovery space so that the liquid material whose water level rises in the receiving space can pass to the recovery space.

상기 저장부는, 액상물질이 저장되는 저장용기; 및 일단이 저장용기에 연결되고, 타단이 상기 수용공간의 하부와 연결되는 공급라인;을 포함한다.The storage unit, a storage container in which the liquid material is stored; and a supply line having one end connected to the storage container and the other end connected to the lower portion of the accommodation space.

상기 회수부는, 일단이 상기 회수공간의 하부와 연결되고, 타단이 상기 저장부에 연결되는 회수라인; 및 상기 회수라인에 설치되는 회수펌프;를 포함한다.The recovery unit may include: a recovery line having one end connected to a lower portion of the recovery space and the other end connected to the storage unit; and a recovery pump installed in the recovery line.

상기 저장부 내부의 압력을 상기 공급부 내부의 압력보다 높아지게 조절하도록, 상기 저장부에 연결되는 제1 압력조절부; 및 상기 공급부 내부에 음압을 인가하도록, 상기 공급부에 연결되는 제2 압력조절부;를 더 포함한다.a first pressure control unit connected to the storage unit to adjust the pressure inside the storage unit to be higher than the pressure inside the supply unit; and a second pressure adjusting unit connected to the supply unit to apply a negative pressure to the inside of the supply unit.

상기 제2 압력조절부는, 상기 회수공간의 상부에 연결된다.The second pressure control unit is connected to the upper portion of the recovery space.

상기 공급부와 상기 토출부 사이에서 액상물질을 순환시킬 수 있는 순환부를 더 포함한다.It further includes a circulation unit capable of circulating the liquid material between the supply unit and the discharge unit.

상기 순환부는, 일단이 공급부에 연결되고 타단이 토출부에 연결되는 복수개의 순환라인; 및 상기 순환라인들 중 적어도 어느 하나에 설치되는 순환펌프;를 포함한다.The circulation unit may include: a plurality of circulation lines having one end connected to the supply unit and the other end connected to the discharge unit; and a circulation pump installed in at least one of the circulation lines.

상기 순환라인들은 서로 이격되어, 일부는 상기 공급부에서 상기 토출부로 액상물질이 이동하는 경로를 형성하고, 다른 일부는 상기 토출부에서 상기 공급부로 액상물질이 이동하는 경로를 형성한다.The circulation lines are spaced apart from each other, and some form a path through which the liquid material moves from the supply unit to the discharge unit, and some form a path through which the liquid material moves from the discharge unit to the supply unit.

액상물질이 통과할 수 있는 경로를 형성하도록, 상기 수용공간에 설치되는 격벽부를 더 포함한다.It further includes a partition wall portion installed in the receiving space to form a path through which the liquid material can pass.

본 발명은 액상물질을 공급할 수 있는 공급부에 액상물질을 공급하는 과정; 상기 공급부 내부의 액상물질의 수위를 정해진 높이로 조절하고, 정해진 높이를 넘은 액상물질을 상기 공급부 외부로 회수하는 과정; 상기 공급부에서 액상물질을 분사할 수 있는 토출부로 액상물질을 공급하는 과정; 및 상기 토출부로 액상물질을 분사하는 과정;을 포함한다.The present invention is a process for supplying a liquid material to the supply unit capable of supplying the liquid material; adjusting the level of the liquid material inside the supply unit to a predetermined height, and recovering the liquid material exceeding the predetermined height to the outside of the supply unit; supplying a liquid material from the supply unit to a discharge unit capable of spraying the liquid material; and spraying the liquid material to the discharge unit.

상기 공급부에 액상물질을 공급하기 전에, 상기 공급부의 내부를 수용공간과 회수공간으로 구분하는 과정;을 더 포함한다.Before supplying the liquid material to the supply unit, the process of dividing the inside of the supply unit into a receiving space and a recovery space; further includes.

상기 공급부에 액상물질을 공급하는 과정은, 액상물질이 상기 수용공간을 넘칠 수 있게 액상물질을 상기 수용공간으로 공급하는 과정을 포함한다.The process of supplying the liquid material to the supply unit includes a process of supplying the liquid material to the accommodation space so that the liquid material overflows the accommodation space.

상기 액상물질을 상기 수용공간으로 공급하는 과정은, 상기 수용공간의 하부로 액상물질을 공급하여, 상기 수용공간의 하부에 있는 액상물질을 상승시키는 과정을 포함한다.The process of supplying the liquid material to the accommodation space includes supplying the liquid material to a lower portion of the accommodation space to raise the liquid material in the lower portion of the accommodation space.

상기 액상물질 수위를 정해진 높이로 조절하는 과정은, 상기 수용공간을 외부로 넘치는 액상물질을 상기 회수공간으로 넘기는 과정;을 포함한다.The process of adjusting the level of the liquid material to a predetermined height includes a process of passing the liquid material overflowing the accommodation space to the recovery space.

상기 정해진 높이를 넘은 액상물질을 상기 공급부 외부로 회수하는 과정은, 상기 회수공간의 액상물질 수위를, 상기 수용공간의 액상물질 수위보다 낮추는 과정을 포함한다.The process of recovering the liquid material exceeding the predetermined height to the outside of the supply unit includes a process of lowering the level of the liquid material in the recovery space than the level of the liquid material in the accommodation space.

상기 공급부에서 상기 토출부로 액상물질을 공급한 후에, 상기 공급부와 상기 토출부 사이에서 액상물질을 순환시키는 과정을 더 포함한다.After supplying the liquid material from the supply unit to the discharge unit, the method further includes circulating the liquid material between the supply unit and the discharge unit.

상기 액상물질은 잉크를 포함하고,The liquid material includes ink,

상기 토출부로 액상물질을 분사하는 과정은, 기재 상에 잉크를 분사하여 패턴을 형성하는 과정을 포함한다.The process of spraying the liquid material to the discharge part includes a process of forming a pattern by spraying ink on a substrate.

본 발명의 실시 예들에 따르면, 토출부로 액상물질을 공급하는 공급부 내부의 액상물질 수위를 일정하게 유지할 수 있다. 이에, 공급부 내부의 액상물질 무게를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 액상물질의 무게 변화에 따른 공급부 내부의 압력 변화를 최소화하여 공급부 내부의 압력을 일정하게 유지할 수 있기 때문에, 토출부가 액상물질을 안정적으로 토출할 수 있다.According to embodiments of the present invention, it is possible to maintain a constant level of the liquid material inside the supply unit for supplying the liquid material to the discharge unit. Accordingly, it is possible to maintain a constant weight of the liquid material inside the supply unit. Accordingly, since the pressure inside the supply unit can be kept constant by minimizing the pressure change in the supply unit according to the change in the weight of the liquid material, the discharge unit can stably discharge the liquid material.

또한, 액상물질을 순환시켜 이동하는 상태를 유지할 수 있다. 이에, 액상물질이 계속 이동하기 때문에, 액상물질에 침전물이 발생하는 것을 억제하거나 방지할 수 있다. 따라서, 토출부가 침전물로 인해 막히는 것을 억제하거나 방지하여, 토출부가 액상물질을 안정적으로 토출할 수 있다.In addition, it is possible to maintain a moving state by circulating the liquid material. Accordingly, since the liquid material continues to move, it is possible to suppress or prevent the occurrence of deposits in the liquid material. Accordingly, it is possible to suppress or prevent the discharge unit from being clogged due to the sediment, so that the discharge unit can stably discharge the liquid material.

또한, 공급부 내부의 압력을 일정하게 유지하고, 액상물질에 침전물이 발생하는 것을 억제하거나 방지할 수 있기 때문에, 토출부에서 토출되는 액상물질의 품질을 향상시킬 수 있다. 이에, 불량 발생률을 감소시키고 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.In addition, since it is possible to maintain a constant pressure inside the supply unit and suppress or prevent the occurrence of sediment in the liquid material, it is possible to improve the quality of the liquid material discharged from the discharge unit. Accordingly, it is possible to reduce the defect rate and improve the efficiency of the process.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 액상물질 토출장치의 구조를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 공급부와 토출부의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 공급부와 토출부의 구조를 나타내는 분해사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 액상물질 토출방법을 나타내는 플로우 차트이다.1 is a view showing the structure of a liquid material discharging device according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating the structure of a supply unit and a discharge unit according to an embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view showing the structure of a supply unit and a discharge unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating a liquid material discharging method according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 발명을 상세하게 설명하기 위해 도면은 과장될 수 있고, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and the scope of the invention to those of ordinary skill in the art completely It is provided to inform you. In order to explain the invention in detail, the drawings may be exaggerated, and like reference numerals refer to like elements in the drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 액상물질 토출장치의 구조를 나타내는 도면이다. 하기에서는 본 발명의 실시 예에 따른 액상물질 토출장치에 대해 설명하기로 한다.1 is a view showing the structure of a liquid material discharging device according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, a liquid material discharging device according to an embodiment of the present invention will be described.

액상물질 토출장치(100)는 잉크젯 인쇄장치일 수 있고, 액상물질 토출장치가 토출하는 액상물질은 잉크일 수 있고, 액상물질 토출장치가 수행하는 공정을 도체나 디스플레이 등에 패터닝을 하는 인쇄공정일 수 있다. 그러나 액상물질 토출장치가 토출하는 액상물질의 종류나 수행하는 공정은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다. 도 1을 참조하면, 액상물질 토출장치(100)는, 토출부(110), 공급부(120), 저장부(130), 및 회수부(140)를 포함한다.The liquid material discharging device 100 may be an inkjet printing device, the liquid material discharged by the liquid material discharging device may be ink, and the process performed by the liquid material discharging device may be a printing process for patterning a conductor or a display. have. However, the type of the liquid material discharged by the liquid material discharging device or the process performed is not limited thereto, and may vary. Referring to FIG. 1 , the liquid material discharging device 100 includes a discharging unit 110 , a supply unit 120 , a storage unit 130 , and a recovery unit 140 .

토출부(110)는 액상물질을 토출할 수 있다. 토출부(110)는 내부공간을 가지는 몸체부재, 및 몸체부재의 하부에 설치되는 복수개의 노즐은 포함할 수 있다. 이에, 몸체부재의 내부공간의 액상물질이 복수개의 노즐로 공급되고, 노즐들에서 하측으로 액상물질을 토출할 수 있다. 따라서, 토출부(110)를 기재(예를 들어, 기판이나 디스플레이 등) 상측에 위치시킨 상태에서, 토출부(110)를 이동시키면서 액상물질을 토출시키면 기재 상에 패턴이 형성될 수 있다. 그러나 토출부(110)의 구조는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.The discharge unit 110 may discharge a liquid material. The discharge unit 110 may include a body member having an inner space, and a plurality of nozzles installed under the body member. Accordingly, the liquid material in the inner space of the body member may be supplied to a plurality of nozzles, and the liquid material may be discharged downward from the nozzles. Accordingly, when the discharge unit 110 is positioned above the substrate (eg, substrate or display) and the liquid material is discharged while the discharge unit 110 is moved, a pattern may be formed on the substrate. However, the structure of the discharge unit 110 is not limited thereto and may vary.

공급부(120)는 토출부(110)로 액상물질을 공급할 수 있다. 이에, 공급부(120)에서 공급하는 액상물질이 토출부(110)의 몸체부재 내부로 공급될 수 있다. 따라서, 몸체부재 내부의 액상물질을 노즐을 통해 외부로 모두 토출하더라도, 공급부(120)에 의해 몸체부재 내부에 액상물질이 채워진 상태를 유지할 수 있다. 이때, 공급부(120)의 내부는 댐 부재(121)에 의해 수용공간(S1)과 회수공간(S2)으로 구분될 수 있다. 공급부(120)의 상세한 구조는 하기에서 설명하기로 한다.The supply unit 120 may supply the liquid material to the discharge unit 110 . Accordingly, the liquid material supplied from the supply unit 120 may be supplied into the body member of the discharge unit 110 . Accordingly, even if all of the liquid material inside the body member is discharged to the outside through the nozzle, it is possible to maintain the state in which the liquid material is filled in the body member by the supply unit 120 . In this case, the inside of the supply unit 120 may be divided into an accommodation space S1 and a recovery space S2 by the dam member 121 . A detailed structure of the supply unit 120 will be described below.

저장부(130)는 공급부(120)와 연결될 수 있다. 저장부(130)는 공급부(120)로 액상물질을 공급할 수 있다. 저장부(130)는 저장용기(131), 및 공급라인(132)을 포함한다.The storage unit 130 may be connected to the supply unit 120 . The storage unit 130 may supply the liquid material to the supply unit 120 . The storage unit 130 includes a storage container 131 and a supply line 132 .

저장용기(131)는 용기 형상으로 형성되고, 내부에 액상물질이 저장될 수 있는 공간을 형성한다. 이에, 저장용기(131) 내부에 액상물질이 담겨 저장될 수 있다. 저장용기(131)에 수용될 수 있는 액상물질의 양은 공급부(120)에 수용되는 액상물질의 양보다 많을 수 있다.The storage container 131 is formed in a container shape, and forms a space in which a liquid material can be stored. Accordingly, the liquid material may be stored inside the storage container 131 . The amount of the liquid material that can be accommodated in the storage container 131 may be greater than the amount of the liquid material accommodated in the supply unit 120 .

공급라인(132)은 액상물질이 이동하는 경로를 형성하는 배관일 수 있다. 공급라인(132)의 일단은 저장용기(131)에 연결되고, 타단은 공급부(120)에 연결되어 수용공간(S1)과 연통될 수 있다. 이에, 저장용기(131) 내부의 액상물질이 공급라인(132)을 통해 공급부(120)로 전달될 수 있다. 따라서, 공급부(120) 내부에 액상물질이 채워진 상태를 유지하여, 공급부(120)가 토출부(110)에 액상물질을 안정적으로 공급해줄 수 있다.The supply line 132 may be a pipe forming a path through which the liquid material moves. One end of the supply line 132 may be connected to the storage container 131 , and the other end may be connected to the supply unit 120 to communicate with the receiving space S1 . Accordingly, the liquid material inside the storage container 131 may be transferred to the supply unit 120 through the supply line 132 . Accordingly, by maintaining the state in which the liquid material is filled in the supply unit 120 , the supply unit 120 may stably supply the liquid material to the discharge unit 110 .

상세하게는, 공급라인(132)은 공급부(120) 내부의 수용공간(S1) 하부에 연결될 수 있다. 따라서, 액상물질이 수용공간(S1)의 하부부터 채워져 수위가 상승할 수 있다. 액상물질의 수위가 댐 부재(121)보다 높아지면, 액상물질은 댐 부재(121)를 넘어 공급부(120) 내부의 회수공간(S2)으로 이동할 수 있다. 수용공간(S1) 내에서 액상물질이 하부에서 채워져 상부를 이동하기 때문에, 수용공간(S1) 내 액상물질이 전체적으로 정지되지 않고 이동하는 상태를 유지할 수 있다.In detail, the supply line 132 may be connected to the lower portion of the receiving space S1 inside the supply unit 120 . Accordingly, the liquid material may be filled from the lower portion of the accommodation space S1 to increase the water level. When the level of the liquid material is higher than that of the dam member 121 , the liquid material may move beyond the dam member 121 to the recovery space S2 inside the supply unit 120 . Since the liquid material in the receiving space (S1) is filled from the bottom and moves to the upper part, the liquid material in the receiving space (S1) can maintain a moving state without stopping as a whole.

이때, 저장부(130)가 공급부(120)에 공급하는 액상물질의 양은 수용공간(S1)에 수용될 수 있는 액상물질의 양 이상일 수 있다. 따라서, 저장부(130)가 공급부(120)에 액상물질을 계속 공급하면, 수용공간(S1)의 액상물질이 수용공간(S1) 외부로 넘쳐 회수공간(S2)으로 이동할 수 있고, 수용공간(S1) 내 액상물질의 수위는 댐 부재(121)의 상부면 높이로 유지될 수 있다.In this case, the amount of the liquid material supplied by the storage unit 130 to the supply unit 120 may be greater than or equal to the amount of the liquid material that can be accommodated in the receiving space S1 . Therefore, if the storage unit 130 continues to supply the liquid material to the supply unit 120 , the liquid material in the receiving space S1 overflows to the outside of the receiving space S1 and can move to the recovery space S2, and the receiving space (S1) The level of the liquid material in S1) may be maintained at the height of the upper surface of the dam member 121 .

회수부(140)는 저장부(130)와 연결될 수 있다. 회수부(140)는 공급부(120)의 액상물질을 저장부(130)로 회수할 수 있다. 이에, 저장부(130)에서 공급부(120)로 댐 부재(121)를 넘치도록 액상물질을 공급하더라도, 회수부(140)로 댐 부재(121)를 넘친 액상물질을 회수하여 공급부(120) 내부 전체가 액상물질로 채워지는 것을 방지할 수 있다. 회수부(140)는 회수라인(141), 및 회수펌프(142)를 포함한다.The recovery unit 140 may be connected to the storage unit 130 . The recovery unit 140 may recover the liquid material from the supply unit 120 to the storage unit 130 . Accordingly, even if the liquid material is supplied to overflow the dam member 121 from the storage unit 130 to the supply unit 120 , the liquid material overflowing the dam member 121 is recovered by the recovery unit 140 to the inside of the supply unit 120 . It is possible to prevent the whole from being filled with liquid substances. The recovery unit 140 includes a recovery line 141 and a recovery pump 142 .

회수라인(141)은 내부에 액상물질이 이동하는 경로를 형성한다. 회수라인(141)의 일단은 공급부(120)에 연결되어 회수공간(S2)과 연통되고, 타단은 저장부(130)에 연결될 수 있다. 이에, 회수공간(S2) 내 액상물질이 회수라인(141)을 통해 저장부(130)로 이동하여 회수될 수 있다. 따라서, 공급라인(132)을 통해 저장부(130)에서 공급부(120)로 액상물질이 이동하고, 회수라인(141)을 통해 공급부(120)에서 저장부(130)로 액상물질이 이동하여, 액상물질이 순환할 수 있다.The recovery line 141 forms a path through which the liquid material moves therein. One end of the recovery line 141 may be connected to the supply unit 120 to communicate with the recovery space S2 , and the other end may be connected to the storage unit 130 . Accordingly, the liquid material in the recovery space S2 may be recovered by moving to the storage unit 130 through the recovery line 141 . Accordingly, the liquid material moves from the storage unit 130 to the supply unit 120 through the supply line 132, and the liquid material moves from the supply unit 120 to the storage unit 130 through the recovery line 141, Liquid substances can circulate.

이때, 회수라인(141)은 회수공간(S2)의 하부와 연결될 수 있다. 따라서, 댐 부재(121)를 넘어 회수공간(S2)의 하부부터 채워지는 액상물질을, 회수라인(141)으로 용이하게 회수할 수 있다. 이에, 회수공간(S2)에서 액상물질 수위가 높아지는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.In this case, the recovery line 141 may be connected to the lower portion of the recovery space S2. Accordingly, the liquid material filled from the lower portion of the recovery space S2 beyond the dam member 121 can be easily recovered through the recovery line 141 . Accordingly, it is possible to effectively prevent the level of the liquid material from increasing in the recovery space (S2).

회수펌프(142)는 회수라인(141)에 설치된다. 회수펌프(142)는 회수라인(141)을 통해 공급부(120)의 회수공간(S2) 내 액상물질을 저장부(130)로 끌어올릴 수 있다. 이에, 회수라인(141)을 통해 공급부(120)에서 저장부(130)로 액상물질이 원활하게 이동할 수 있다.The recovery pump 142 is installed in the recovery line 141 . The recovery pump 142 may raise the liquid material in the recovery space S2 of the supply unit 120 to the storage unit 130 through the recovery line 141 . Accordingly, the liquid material may smoothly move from the supply unit 120 to the storage unit 130 through the recovery line 141 .

또한, 회수펌프(142)는 회수라인(141)을 통해 저장부(130)에서 공급부(120)로 액상물질이 역류하는 것을 방지할 수 있다. 이에, 회수라인(141)을 통해 공급부(120)에서 저장부(130)로 액상물질을 안정적으로 회수할 수 있다.In addition, the recovery pump 142 may prevent the liquid material from flowing backward from the storage unit 130 to the supply unit 120 through the recovery line 141 . Accordingly, the liquid material can be stably recovered from the supply unit 120 to the storage unit 130 through the recovery line 141 .

이때, 회수부(140)가 공급부(120)에 회수하는 액상물질의 양은 수용공간(S1)에서 회수공간(S2)으로 유입되는 액상물질의 양과 같을 수 있다. 따라서, 저장부(130)에서 수용공간(S1)으로 액상물질을 계속 공급하여 수용공간(S1)에서 회수공간(S2)으로 액상물질이 계속 넘치더라도, 회수공간(S2) 내 액상물질 수위를 수용공간(S1) 내 액상물질 수위보다 낮출 수 있다. 이에, 회수공간(S2) 내 액상물질 수위가 상승하여 액상물질이 수용공간(S1)으로 역류하는 것을 방지할 수 있다.In this case, the amount of the liquid material recovered by the recovery unit 140 to the supply unit 120 may be the same as the amount of the liquid material flowing into the recovery space S2 from the receiving space S1 . Therefore, even if the liquid material continues to overflow from the accommodation space S1 to the recovery space S2 by continuously supplying the liquid material from the storage unit 130 to the receiving space S1, the liquid material level in the recovery space S2 is accommodated. It can be lower than the level of the liquid material in the space (S1). Accordingly, it is possible to prevent the liquid material from flowing back into the receiving space (S1) by increasing the level of the liquid material in the recovery space (S2).

한편, 액상물질 토출장치(100)는 제1 압력조절부(160), 및 제2 압력조절부(170)를 더 포함할 수 있다. 이에, 저장부(130)와 공급부(120) 내부의 압력을 조절하여, 저장부(130)에서 공급부(120)로 액상물질을 안정적으로 공급해줄 수 있다.Meanwhile, the liquid material discharging device 100 may further include a first pressure adjusting unit 160 and a second pressure adjusting unit 170 . Accordingly, by adjusting the pressure inside the storage unit 130 and the supply unit 120 , the liquid material may be stably supplied from the storage unit 130 to the supply unit 120 .

제1 압력조절부(160)는 저장부(130)에 연결된다. 제1 압력조절부(160)는 저장부(130) 내부의 압력을 공급부(120) 내부의 압력보다 높아지게 조절할 수 있다. 예를 들어, 제1 압력조절부(160)는 양압관일 수 있다. 따라서, 제1 압력조절부(160)는 저장부(130) 내부에 일정한 양압을 인가하여, 저장부(130) 내부의 압력을 공급부(120) 내부의 압력보다 높일 수 있다. 이에, 저장부(130)에서 공급부(120)로 액상물질이 원활하게 이동할 수 있다.The first pressure adjusting unit 160 is connected to the storage unit 130 . The first pressure adjusting unit 160 may adjust the pressure inside the storage unit 130 to be higher than the pressure inside the supply unit 120 . For example, the first pressure adjusting unit 160 may be a positive pressure tube. Accordingly, the first pressure adjusting unit 160 may apply a certain positive pressure to the inside of the storage unit 130 to increase the pressure inside the storage unit 130 higher than the pressure inside the supply unit 120 . Accordingly, the liquid material may smoothly move from the storage unit 130 to the supply unit 120 .

제2 압력조절부(170)는 공급부(120)에 연결된다. 제2 압력조절부(170)는 공급부(120) 내부에 음압을 인가할 수 있다. 예를 들어, 제2 압력조절부(170)는 음압관일 수 있다. 따라서, 제2 압력조절부(170)는 공급부(120) 내부에 일정한 음압을 인가하여 토출부(110)로 공급되는 액상물질의 양을 조절할 수 있다.The second pressure adjusting unit 170 is connected to the supply unit 120 . The second pressure adjusting unit 170 may apply a negative pressure to the inside of the supply unit 120 . For example, the second pressure adjusting unit 170 may be a negative pressure tube. Accordingly, the second pressure control unit 170 may adjust the amount of the liquid material supplied to the discharge unit 110 by applying a constant negative pressure to the inside of the supply unit 120 .

이때, 제2 압력조절부(170)는 회수공간(S2)의 상부에 연결될 수 있다. 회수공간(S2)에 제2 압력조절부(170)가 연결되는 위치가, 회수공간(S2)에 회수부(140)가 연결되는 위치보다 높을 수 있다. 따라서, 회수부(140)가 회수공간(S2)의 하부에서 액상물질을 회수하여, 회수공간(S2)의 상부까지 액상물질 수위가 높아지는 것을 방지할 수 있기 때문에, 제2 압력조절부(170)로 회수공간(S2) 내 액상물질이 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이에, 제2 압력조절부(170)가 안정적으로 공급부(120) 내부의 압력을 조절할 수 있다.At this time, the second pressure control unit 170 may be connected to the upper portion of the recovery space (S2). A position where the second pressure adjusting unit 170 is connected to the recovery space S2 may be higher than a position where the recovery unit 140 is connected to the recovery space S2 . Accordingly, since the recovery unit 140 recovers the liquid material from the lower portion of the recovery space S2 and prevents the liquid material level from rising to the upper portion of the recovery space S2, the second pressure control unit 170 . It is possible to prevent the liquid material from entering the furnace recovery space (S2). Accordingly, the second pressure adjusting unit 170 can stably adjust the pressure inside the supply unit 120 .

한편, 액상물질 토출장치(100)는 순환부(190)를 더 포함할 수 있다. 순환부(190)는 공급부(120)와 토출부(110) 사이에서 액상물질을 순환시킬 수 있게 설치된다. 순환부(190)는 순환라인(191), 및 순환펌프(192)를 포함한다.Meanwhile, the liquid material discharging device 100 may further include a circulation unit 190 . The circulation unit 190 is installed to circulate the liquid material between the supply unit 120 and the discharge unit 110 . The circulation unit 190 includes a circulation line 191 and a circulation pump 192 .

순환라인(191)은 액상물질이 이동하는 경로를 형성한다. 예를 들어, 공급부(120)가 토출부(110)의 상측에 배치되는 경우, 순환라인(191)은 상하방향으로 연장될 수 있다. 순환라인(191)의 상단은 공급부(120)의 하부에 연결되어 내부가 수용공간(S1)과 연통되고, 하단은 토출부(110)에 연결될 수 있다.The circulation line 191 forms a path through which the liquid material moves. For example, when the supply unit 120 is disposed above the discharge unit 110 , the circulation line 191 may extend in the vertical direction. The upper end of the circulation line 191 may be connected to the lower portion of the supply unit 120 so that the inside communicates with the receiving space S1 , and the lower end may be connected to the discharge unit 110 .

또한, 순환라인(191)은 공급부(120) 및 토출부(110)와 분리 가능하게 연결될 수 있다. 이에, 토출부(110)나 챔버(122)를 수리하거나 교체하는 경우, 순환라인(191)에서 공급부(120)나 토출부(110)를 분리할 수 있다.In addition, the circulation line 191 may be detachably connected to the supply unit 120 and the discharge unit 110 . Accordingly, when repairing or replacing the discharge unit 110 or the chamber 122 , the supply unit 120 or the discharge unit 110 may be separated from the circulation line 191 .

이때, 순환라인(191)은 복수개가 구비될 수 있다. 따라서, 순환라인(191)들 중 어느 일부를 통해 공급부(120)에서 토출부(110)로 액상물질을 이동시키고, 다른 일부를 통해 토출부(110)에서 공급부(120)로 액상물질을 이동시킬 수 있다. 이에, 공급부(120)와 토출부(110) 사이에서 액상물질이 순환할 수 있고, 액상물질이 계속 이동하여 공급부(120)나 토출부(110) 내부에 침전물이 생기는 것을 억제하거나 방지할 수 있다.In this case, a plurality of circulation lines 191 may be provided. Therefore, the liquid material is moved from the supply unit 120 to the discharge unit 110 through some of the circulation lines 191 and the liquid material is moved from the discharge unit 110 to the supply unit 120 through another part. can Accordingly, the liquid material can circulate between the supply unit 120 and the discharge unit 110 , and it is possible to suppress or prevent the formation of deposits inside the supply unit 120 or the discharge unit 110 as the liquid material continues to move. .

순환펌프(192)는 순환라인(191)들 중 적어도 어느 하나에 설치된다. 예를 들어, 공급부(120)가 토출부(110)의 상측에 배치되는 경우, 순환펌프(192)는 순환라인(191)을 통해 토출부(110) 내부의 액상물질을 공급부(120)로 끌어올릴 수 있다.The circulation pump 192 is installed in at least one of the circulation lines 191 . For example, when the supply unit 120 is disposed above the discharge unit 110 , the circulation pump 192 draws the liquid material inside the discharge unit 110 through the circulation line 191 to the supply unit 120 . can be raised

이때, 순환펌프(192)가 순환라인(191)들 중 일부에 구비되는 경우, 순환펌프(192)가 설치된 순환라인(191)을 공급부(120)에서 토출부(110)로 액상물질을 이동시키는 경로로 사용하고, 순환펌프(192)가 설치되지 않은 순환라인(191)을 토출부(110)에서 공급부(120)로 액상물질을 이동시키는 경로로 형성할 수 있다. 순환펌프(192)가 구비되지 않은 순환라인(191)에서는 액상물질이 하중에 의해 별도의 펌프가 없어도 공급부(120)에서 토출부(110)로 액상물질이 이동할 수 있다.At this time, when the circulation pump 192 is provided in some of the circulation lines 191 , the circulation line 191 in which the circulation pump 192 is installed moves the liquid material from the supply unit 120 to the discharge unit 110 . It is used as a path, and the circulation line 191 in which the circulation pump 192 is not installed may be formed as a path for moving the liquid material from the discharge unit 110 to the supply unit 120 . In the circulation line 191 in which the circulation pump 192 is not provided, the liquid material may move from the supply unit 120 to the discharge unit 110 without a separate pump due to the load of the liquid material.

또는, 순환펌프(192)가 순환라인(191)들 각각 모두에 구비되는 경우, 순환펌프(192)를 작동시킨 순환라인(191)을 공급부(120)에서 토출부(110)로 액상물질을 이동시키는 경로로 사용하고, 순환펌프(192)를 작동시키지 않은 순환라인(191)을 토출부(110)에서 공급부(120)로 액상물질을 이동시키는 경로로 형성할 수 있다. 이에, 순환펌프(192)들의 작동을 다르게 제어하여, 순환라인(191)들 각각의 역할을 결정할 수 있다.Alternatively, when the circulation pump 192 is provided in each of the circulation lines 191 , the circulation line 191 operating the circulation pump 192 moves the liquid material from the supply unit 120 to the discharge unit 110 . The circulation line 191 in which the circulation pump 192 is not operated can be formed as a path for moving the liquid material from the discharge unit 110 to the supply unit 120 . Accordingly, by differently controlling the operation of the circulation pumps 192, the role of each of the circulation lines 191 can be determined.

이때, 순환라인(191)들은 서로 이격되어, 일부는 토출부(110)의 일측에 연결되고, 다른 일부는 토출부(110)의 타측에 연결될 수 있다. 순환라인(191)들 중 일부는 공급부(120)에서 토출부(110)로 액상물질이 이동하는 경로를 형성하고, 다른 일부는 토출부(110)에서 공급부(120)로 액상물질이 이동하는 경로를 형성하기 때문에, 액상물질이 토출부(110)의 내부의 일측에서 타측으로 이동할 수 있다. 따라서, 토출부(110) 내부의 액상물질이 전체적으로 이동하는 상태를 유지할 수 있다.In this case, the circulation lines 191 may be spaced apart from each other, some may be connected to one side of the discharge unit 110 , and the other may be connected to the other side of the discharge unit 110 . Some of the circulation lines 191 form a path through which the liquid material moves from the supply unit 120 to the discharge unit 110 , and some of the circulation lines 191 form a path through which the liquid material moves from the discharge unit 110 to the supply unit 120 . to form, the liquid material may move from one side of the inside of the discharge unit 110 to the other side. Accordingly, it is possible to maintain a state in which the liquid material inside the discharge unit 110 moves as a whole.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 공급부와 토출부의 구조를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 공급부와 토출부의 구조를 나타내는 분해사시도이다. 하기에서는 본 발명의 실시 예에 따른 공급부의 구조에 대해 상세하게 설명하기로 한다.2 is a perspective view illustrating the structure of the supply unit and the discharge unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating the structure of the supply unit and the discharge unit according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, the structure of the supply unit according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 공급부(120)는 내부에 액상물질이 저장할 수 있다. 이에, 공급부(120)는 토출부(110)에 액상물질을 공급할 수 있다. 공급부(120)는 댐 부재(121), 챔버(122), 및 도어(123)를 포함할 수 있다.1 to 3 , the supply unit 120 may store a liquid material therein. Accordingly, the supply unit 120 may supply the liquid material to the discharge unit 110 . The supply unit 120 may include a dam member 121 , a chamber 122 , and a door 123 .

챔버(122)는 내부공간을 가지도록 형성된다. 예를 들어, 챔버(122)는 사각통 형태로 형성되고, 상부가 개방될 수 있다. 챔버(122)의 내부공간은 후술될 댐 부재(121)에 의해, 액상물질이 수용되는 수용공간(S1)과, 액상물질이 배출되어 회수되는 회수공간(S2)으로 구분될 수 있다. 그러나 챔버(122)의 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.The chamber 122 is formed to have an internal space. For example, the chamber 122 may be formed in a rectangular tube shape, and an upper portion may be opened. The inner space of the chamber 122 may be divided into an accommodation space S1 in which the liquid material is accommodated and a recovery space S2 in which the liquid material is discharged and recovered by a dam member 121 to be described later. However, the shape of the chamber 122 is not limited thereto and may vary.

이때, 챔버(122)는 토출부(110) 상측에 배치될 수 있다. 예를 들어, 챔버(122)는 토출부(110)의 상부에 안착(또는, 장착)되어 지지되거나, 토출부(110)의 상측에 이격되어 지지될 수 있다. 따라서, 챔버(122)의 수용공간(S1)에 저장되는 액상물질이 하중에 의해 토출부(110)로 용이하게 이동하여 공급될 수 있다.In this case, the chamber 122 may be disposed above the discharge unit 110 . For example, the chamber 122 may be supported by being seated (or mounted) on the upper portion of the discharge unit 110 , or may be supported while being spaced apart from the upper side of the discharge unit 110 . Accordingly, the liquid material stored in the receiving space S1 of the chamber 122 can be easily moved and supplied to the discharge unit 110 by the load.

또한, 챔버(122)에는 도 3과 같이 유입구(A), 회수구(B), 및 압력구(C)가 형성될 수 있다. 유입구(A), 회수구(B), 및 압력구(C) 각각에 유입단(122a), 회수단(122b), 및 압력단(122c)이 설치될 수 있다.In addition, an inlet (A), a recovery port (B), and a pressure port (C) may be formed in the chamber 122 as shown in FIG. 3 . An inlet end 122a, a recovery end 122b, and a pressure end 122c may be installed at the inlet A, the recovery port B, and the pressure port C, respectively.

유입구(A)는 원통형 구멍 형태로 형성되고, 챔버(122)의 일측 벽체 하단에 형성될 수 있다. 챔버(122)의 일측 벽체는 댐 부재(121)와 함께 수용공간(S1)을 형성할 수 있다. 유입구(A)는 수용공간(S1)과 연결되며, 유입구(A)에 설치되는 유입단(122a)은 공급라인(132)과 연결된다. 이에, 공급라인(132)을 통해 공급되는 액상물질이 수용공간(S1)의 하부부터 채워질 수 있다. 따라서, 수용공간(S1) 내부에서 액상물질의 수위가 서서히 평탄하게 상승할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 유입구(A)는 챔버(122)의 하부에 형성될 수도 있다.The inlet (A) is formed in the form of a cylindrical hole, it may be formed at the lower end of one side wall of the chamber (122). One wall of the chamber 122 may form an accommodation space S1 together with the dam member 121 . The inlet (A) is connected to the receiving space (S1), the inlet end (122a) installed in the inlet (A) is connected to the supply line (132). Accordingly, the liquid material supplied through the supply line 132 may be filled from the lower portion of the accommodating space S1. Therefore, the level of the liquid material in the receiving space (S1) can gradually rise to a flat level. However, the present invention is not limited thereto, and the inlet A may be formed in the lower portion of the chamber 122 .

회수구(B)는 원통형 구멍 형태로 형성되고, 챔버(122)의 일측 벽체와 대향되는 타측 벽체의 하단에 형성될 수 있다. 챔버(122)의 타측 벽체는 댐 부재(121)와 함께 회수공간을 형성할 수 있다. 회수구(B)는 회수공간(S2)과 연결되며, 회수구(B)에 설치되는 회수단(122b)은 회수라인(141)과 연결된다. 이에, 댐 부재(121)를 넘어 회수공간(S2)으로 이동한 액상물질을 회수라인(141)을 통해 회수할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 회수구(B)는 챔버(122)의 하부에 형성될 수도 있다.The recovery port (B) is formed in the form of a cylindrical hole, and may be formed at the lower end of the wall of the other side opposite to the wall of one side of the chamber (122). The other wall of the chamber 122 may form a recovery space together with the dam member 121 . The recovery port B is connected to the recovery space S2 , and the recovery end 122b installed in the recovery port B is connected to the recovery line 141 . Accordingly, the liquid material that has moved beyond the dam member 121 to the recovery space S2 may be recovered through the recovery line 141 . However, the present invention is not limited thereto, and the recovery port B may be formed in the lower portion of the chamber 122 .

압력구(C)는 원통형 구멍 형태로 형성되고, 챔버(122)의 타측 벽체의 상단에 형성될 수 있다. 압력구(C)는 회수구(B) 상측에 위치하여 회수공간(S2)과 연결되며, 압력구(C)에 설치되는 압력단(122c)은 제2 압력조절부(170)와 연결된다. 압력구(C)(또는, 압력단(122c))가 회수구(B)(회수단(122b))보다 상측에 위치하기 때문에, 회수공간(S2)에서 액상물질은 회수구(B)로 배출되고, 압력구(C)까지 수위가 상승하지 않을 수 있다. 이에, 제2 압력조절부(170)로 액상물질이 유입되는 것을 방지할 수 있고, 제2 압력조절부(170)가 챔버(122) 내부의 압력을 안정적으로 조절할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 압력구(C)는 도어(123)에 형성될 수도 있다.The pressure sphere (C) is formed in the form of a cylindrical hole, it may be formed at the top of the other side wall of the chamber (122). The pressure port C is located above the recovery port B and is connected to the recovery space S2 , and the pressure end 122c installed in the pressure port C is connected to the second pressure adjusting unit 170 . Since the pressure port C (or the pressure end 122c) is located above the recovery port B (the recovery means 122b), the liquid material in the recovery space S2 is discharged to the recovery port B. and the water level may not rise to the pressure port (C). Accordingly, it is possible to prevent the liquid material from flowing into the second pressure control unit 170 , and the second pressure control unit 170 can stably control the pressure inside the chamber 122 . However, the present invention is not limited thereto, and the pressure port C may be formed in the door 123 .

도어(123)는 챔버(122)의 상부에 설치된다. 도어(123)은 챔버(122) 상부의 개방된 부분을 개폐할 수 있다. 예를 들어, 도어(123)는 챔버(122)의 개방된 부분의 형상을 따라 사각판 형태로 형성될 수 있다. 따라서, 도어(123)는 챔버(122)의 개방된 부분을 차단하여 챔버(122) 내부를 밀폐시키거나 개방할 수 있다. 그러나 도어(123)의 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.The door 123 is installed on the upper part of the chamber 122 . The door 123 may open and close an open portion of the upper portion of the chamber 122 . For example, the door 123 may be formed in a square plate shape along the shape of the open portion of the chamber 122 . Accordingly, the door 123 may seal or open the inside of the chamber 122 by blocking the open portion of the chamber 122 . However, the shape of the door 123 is not limited thereto and may vary.

이때, 액상물질 토출장치(100)에 순환부(190)가 구비되지 않는 경우, 도 2 및 도 3과 같이 공급부(120)에 전달라인(124)이 구비될 수도 있다. 전달라인(124)은 하나 또는 복수개가 구비되어 액상물질이 이동하는 경로를 형성할 수 있다. 예를 들어, 챔버(122)가 토출부(110)의 상측에 배치되는 경우, 전달라인(124)은 상하방향으로 연장될 수 있다. 전달라인(124)의 상단은 챔버(122)의 하부에 연결되어 내부가 수용공간(S1)과 연통되고, 하단은 토출부(110)에 연결될 수 있다. 따라서, 공급부(120)가 토출부(110)에 액상물질을 직접 전달해줄 수 있다.At this time, when the circulation unit 190 is not provided in the liquid material discharging device 100 , the delivery line 124 may be provided in the supply unit 120 as shown in FIGS. 2 and 3 . One or a plurality of delivery lines 124 may be provided to form a path through which the liquid material moves. For example, when the chamber 122 is disposed above the discharge unit 110 , the delivery line 124 may extend in the vertical direction. The upper end of the delivery line 124 may be connected to the lower portion of the chamber 122 so that the inside communicates with the receiving space S1 , and the lower end thereof may be connected to the discharge unit 110 . Accordingly, the supply unit 120 may directly deliver the liquid material to the discharge unit 110 .

또한, 전달라인(124)은 챔버(122) 및 토출부(110)와 분리 가능하게 연결될 수 있다. 이에, 토출부(110)나 챔버(122)를 수리하거나 교체하는 경우, 전달라인(124)에서 챔버(122)나 토출부(110)를 분리할 수 있다.In addition, the delivery line 124 may be detachably connected to the chamber 122 and the discharge unit 110 . Accordingly, when repairing or replacing the discharge unit 110 or the chamber 122 , the chamber 122 or the discharge unit 110 may be separated from the delivery line 124 .

한편, 액상물질 토출장치(100)는 도 3과 같이 격벽부(180)를 더 포함할 수 있다. 격벽부(180)는 공급부(120)의 수용공간(S1)에 설치될 수 있다. 예를 들어, 격벽부(180)는 허니컴 구조체일 수 있다. 즉, 격벽부(180)에는 일방향을 따라 이격되는 플레이트들과, 일방향과 교차하는 타방향을 따라 이격되는 플레이트들이 서로 교차하면서 연결되는 구조를 가지며, 플레이트들에는 액상물질이 통과할 수 있는 복수개의 구멍이 형성될 수 있다. 이에, 격벽부(180)는 수용공간(S1)에서 액상물질이 통과할 수 있는 경로를 형성할 수 있다. 수용공간(S1)에서 액상물질이 격벽부(180)를 통과하여 채워질 수 있고, 격벽부(180)는 액상물질의 수위가 흔들리는 것을 억제하거나 방지할 수 있다. 그러나 격벽부(180)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.Meanwhile, the liquid material discharging device 100 may further include a partition wall portion 180 as shown in FIG. 3 . The partition wall unit 180 may be installed in the receiving space S1 of the supply unit 120 . For example, the barrier rib 180 may be a honeycomb structure. That is, the partition wall portion 180 has a structure in which plates spaced apart along one direction and plates spaced apart along the other direction intersecting one direction are connected while crossing each other, and the plates have a plurality of plates through which a liquid material can pass. A hole may be formed. Accordingly, the partition wall 180 may form a path through which the liquid material may pass in the accommodation space S1 . In the receiving space S1 , the liquid material may pass through the partition wall 180 and be filled, and the partition wall 180 may suppress or prevent the level of the liquid material from shaking. However, the structure and shape of the partition wall portion 180 is not limited thereto, and may vary.

댐 부재(121)는 챔버(122)의 내부에 설치된다. 이에, 댐 부재(121)는 챔버(122)의 내부를, 저장부(130)가 연결되는 수용공간(S1)과, 회수부(140)가 연결되는 회수공간(S2)으로 구분할 수 있다. 즉, 댐 부재(121)는 수용공간(S1)과 회수공간(S2) 사이에 설치될 수 있고, 수용공간(S1)의 액상물질 수위를 조절할 수 있다. 따라서, 댐 부재(121)에 의해 공급부(120)가 수용공간(S1)과 회수공간(S2)을 포함할 수 있다.The dam member 121 is installed inside the chamber 122 . Accordingly, the dam member 121 may divide the interior of the chamber 122 into an accommodation space S1 to which the storage unit 130 is connected and a recovery space S2 to which the recovery unit 140 is connected. That is, the dam member 121 may be installed between the accommodation space S1 and the recovery space S2 , and may adjust the level of the liquid material in the accommodation space S1 . Accordingly, the supply unit 120 may include an accommodation space S1 and a recovery space S2 by the dam member 121 .

상세하게는 댐 부재(121)가 도 1과 같이 챔버(122) 내부의 바닥에 설치되어, 수용공간(S1)과 회수공간(S2) 사이의 하부를 차단할 수 있다. 이에, 수용공간(S1)에서 수위가 상승하는 액상물질이 댐 부재(121)가 차단하지 않은 상부를 통해 회수공간(S2)으로 넘어갈 수 있다.In detail, the dam member 121 may be installed on the floor inside the chamber 122 as shown in FIG. 1 to block the lower portion between the accommodation space S1 and the recovery space S2 . Accordingly, the liquid material whose water level rises in the accommodating space S1 may flow to the recovery space S2 through the upper portion not blocked by the dam member 121 .

예를 들어, 댐 부재(121)는 도 1 및 도 3과 같이 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 댐 부재(121)는 챔버(122) 내부의 단면 형상을 따라 사각 플레이트 형태로 형성될 수 있고, 챔버(122) 내부의 바닥면 상에 설치되어 상하로 연장될 수 있다. 댐 부재(121)의 상하방향 길이는 챔버(122)의 상하방향 길이보다 짧게 형성될 수 있다. 따라서, 댐 부재(121)의 상부면은 도어(123)의 하부면과 이격될 수 있고, 댐 부재(121)와 도어(123)의 이격공간을 통해 액상물질이 댐 부재(121)를 넘어갈 수 있다.For example, the dam member 121 may be formed in a plate shape as shown in FIGS. 1 and 3 . The dam member 121 may be formed in a rectangular plate shape along a cross-sectional shape of the inside of the chamber 122 , and may be installed on a bottom surface of the inside of the chamber 122 to extend vertically. The vertical length of the dam member 121 may be shorter than the vertical length of the chamber 122 . Accordingly, the upper surface of the dam member 121 may be spaced apart from the lower surface of the door 123 , and the liquid material may pass over the dam member 121 through the space between the dam member 121 and the door 123 . have.

또한, 댐 부재(121)는 챔버(122)의 서로 대향되는 일측 벽체과 타측 벽체 사이에 위치할 수 있다. 이에, 댐 부재(121)와 챔버(122)의 일측 벽체 사이에 수용공간(S1)이 형성되고, 댐 부재(121)와 챔버(122)의 타측 벽체 사이에 회수공간(S2)이 형성될 수 있다.In addition, the dam member 121 may be positioned between one side wall and the other side wall of the chamber 122 facing each other. Accordingly, an accommodation space S1 is formed between the dam member 121 and one wall of the chamber 122 , and a recovery space S2 may be formed between the dam member 121 and the other wall of the chamber 122 . have.

수용공간(S1)은 챔버 내부에서 토출부(110)로 공급될 액상물질이 저장되는 공간이다. 이에, 저장부(130)가 공급하는 액상물질이 수용공간(S1)에 저장될 수 있다. 수용공간(S1) 내 액상물질의 양이 증가하면, 액상물질이 댐 부재(121)를 넘어 회수공간(S2)으로 이동할 수 있다. 따라서, 댐 부재(121)는 수용공간(S1)에 자신의 상부면 높이까지 액상물질이 채워지게 하고, 자신의 상부면 높이를 초과하는 액상물질은 회수공간(S2)으로 넘어가게 할 수 있다. 이에, 댐 부재(121)는 수용공간(S1)에서 액상물질의 수위를, 자신의 상부면 높이로 유지시킬 수 있다.The accommodation space S1 is a space in which the liquid material to be supplied to the discharge unit 110 is stored in the chamber. Accordingly, the liquid material supplied by the storage unit 130 may be stored in the receiving space (S1). When the amount of the liquid material in the accommodating space S1 increases, the liquid material may move beyond the dam member 121 to the recovery space S2. Accordingly, the dam member 121 may fill the accommodating space S1 with the liquid material up to the height of its upper surface, and the liquid material exceeding its upper surface height may pass to the recovery space S2 . Accordingly, the dam member 121 may maintain the level of the liquid material in the accommodation space S1 at the height of its upper surface.

회수공간(S2)은 수용공간(S1)에서 댐 부재(121)를 넘어 이동한 액상물질이 임시로 수용되면서 외부로 회수되는 공간이다. 회수공간(S2)으로 유입된 액상물질은 회수부(140)가 계속 회수하기 때문에, 회수공간(S2) 내 액상물질의 수위는 회수구(B) 위치와 근접하게 유지되거나 회수구(B) 위치 이하로 유지될 수 있다.The recovery space S2 is a space in which the liquid material that has moved beyond the dam member 121 in the accommodation space S1 is temporarily accommodated and recovered to the outside. Since the recovery unit 140 continuously recovers the liquid material flowing into the recovery space S2, the level of the liquid material in the recovery space S2 is maintained close to the recovery port B position or close to the recovery port B position. can be kept below.

이때, 댐 부재(121)는 챔버(122)의 일측 벽체보다 타측 벽체에 근접하게 배치될 수 있다. 따라서, 수용공간(S1)의 부피를 증가시켜, 수용공간(S1)에 저장될 수 있는 액상물질의 양을 증가시킬 수 있다. 그러나 댐 부재(121)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.In this case, the dam member 121 may be disposed closer to the other wall than to the one wall of the chamber 122 . Therefore, by increasing the volume of the accommodation space (S1), it is possible to increase the amount of the liquid material that can be stored in the accommodation space (S1). However, the structure and shape of the dam member 121 is not limited thereto and may vary.

이처럼 액상물질 토출장치(100)는 댐 부재(121)를 이용하여 공급부(120) 내부를 수용공간(S1)과 회수공간(S2)으로 구분하고, 수용공간(S1) 내 액상물질 수위를 일정하게 유지시킬 수 있다. 댐 부재(121)를 넘은 액상물질은 회수부(140)를 통해 저장부(130)로 회수된다. 따라서, 공급부(120) 내부의 수용공간(S1)에서 액상물질 수위는, 댐부(140)의 상부면 높이로 일정하게 유지될 수 있다. 이에, 공급부(120) 내 액상물질의 무게 변화에 따른 공급부(120) 내 압력 변화를 최소화하여 용이하게 공급부(120) 내부의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.As such, the liquid material discharging device 100 divides the inside of the supply unit 120 into an accommodation space S1 and a recovery space S2 by using the dam member 121, and keeps the liquid material level in the accommodation space S1 constant. can keep The liquid material exceeding the dam member 121 is recovered to the storage unit 130 through the recovery unit 140 . Accordingly, the liquid material level in the receiving space S1 inside the supply unit 120 may be constantly maintained at the height of the upper surface of the dam unit 140 . Accordingly, it is possible to easily maintain a constant pressure inside the supply unit 120 by minimizing the pressure change in the supply unit 120 according to the change in the weight of the liquid material in the supply unit 120 .

또한, 액상물질을 순환하기 때문에 이동하는 상태를 유지할 수 있다. 이에, 액상물질이 계속 이동하기 때문에, 액상물질에 침전물이 발생하는 것을 억제하거나 방지할 수 있다. 따라서, 공급부(120)와 토출부(110) 사이가 침전물에 의해 막히는 것을 억제하거나 방지하여, 공급부(120)가 토출부(110)에 액상물질을 안정적으로 공급해줄 수 있다.In addition, it is possible to maintain a moving state because the liquid material is circulated. Accordingly, since the liquid material continues to move, it is possible to suppress or prevent the occurrence of deposits in the liquid material. Accordingly, the supply unit 120 can stably supply the liquid material to the discharge unit 110 by suppressing or preventing clogging between the supply unit 120 and the discharge unit 110 by the sediment.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 액상물질 토출방법을 나타내는 플로우 차트이다. 하기에서는 본 발명의 실시 예에 따른 액상물질 토출방법에 대해 설명하기로 한다.4 is a flowchart illustrating a liquid material discharging method according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, a method for discharging a liquid material according to an embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 실시 예에 따른 기재 상에 액상물질을 토출하는 방법일 수 있다. 도 4를 참조하면 액상물질 토출방법은, 액상물질을 공급할 수 있는 공급부에 액상물질을 공급하는 과정(S110), 공급부 내부의 액상물질 수위를 정해진 높이로 조절하고, 정해진 높이를 넘은 액상물질을 공급부 외부로 회수하는 과정(S120), 공급부에서 액상물질을 분사할 수 있는 토출부로 액상물질을 공급하는 과정(S130), 및 토출부로 액상물질을 분사하는 과정(S140)을 포함한다.It may be a method of discharging a liquid material on a substrate according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4 , the liquid material discharging method is a process of supplying a liquid material to a supply unit capable of supplying a liquid material (S110), adjusting the liquid material level inside the supply unit to a predetermined height, and supplying the liquid material exceeding the predetermined height to the supply unit The process includes a process of recovering to the outside (S120), a process of supplying the liquid material from the supply unit to a discharge unit capable of spraying the liquid material (S130), and a process of spraying the liquid material through the discharge unit (S140).

이때, 액상물질 토출방법은, 도 1 내지 도 3과 같은 구조를 가지는 본 발명의 실시 예에 따른 액상물질 토출장치(100)에 의해 수행될 수 있다. 액상물질은 잉크를 포함할 수 있고, 기재는 기판이나 디스프레이일 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고 액상물질 토출방법은 다양한 액상물질을 토출하는 공정에 적용될 수 있다.In this case, the liquid material discharging method may be performed by the liquid material discharging apparatus 100 according to an embodiment of the present invention having the structure as shown in FIGS. 1 to 3 . The liquid material may include ink, and the substrate may be a substrate or a display. However, the present invention is not limited thereto, and the liquid material discharging method may be applied to a process of discharging various liquid materials.

우선, 액상물질을 공급할 수 있는 공급부(120)에 액상물질을 공급한다(S110). 즉, 저장부(130)에 저장된 액상물질을 공급부(120)로 공급할 수 있다. 예를 들어, 저장부(130) 내부의 압력을 높이거나 공급부(120) 내부의 압력을 낮추어, 공급부(120) 내부의 압력이 저장부(130) 내부의 압력보다 낮아지게 할 수 있다. 따라서, 압력차에 의해 저장부(130)에서 공급부(120) 내부로 액상물질이 이동하여, 공급부(120) 내부에 액상물질이 채워지기 시작할 수 있다.First, the liquid material is supplied to the supply unit 120 capable of supplying the liquid material (S110). That is, the liquid material stored in the storage unit 130 may be supplied to the supply unit 120 . For example, by increasing the pressure inside the storage unit 130 or lowering the pressure inside the supply unit 120 , the pressure inside the supply unit 120 may be lower than the pressure inside the storage unit 130 . Accordingly, the liquid material may move from the storage unit 130 into the supply unit 120 by the pressure difference, and the liquid material may start to fill the inside of the supply unit 120 .

한편, 공급부(120)의 내부에 댐 부재(121)가 구비될 수 있다. 댐 부재(120)에 의해 공급부(120)의 내부가, 토출부(110)로 공급할 액상물질이 수용되는 수용공간(S1)과, 외부로 회수할 액상물질이 임시로 수용되면서 외부로 회수되는 회수공간(S2)으로 구분될 수 있다.Meanwhile, the dam member 121 may be provided inside the supply unit 120 . The inside of the supply unit 120 by the dam member 120, the receiving space S1 in which the liquid material to be supplied to the discharge unit 110 is accommodated, and the liquid material to be recovered to the outside is temporarily accommodated and recovered to the outside. It may be divided into a space S2.

이때, 공급부(120)에 액상물질을 공급할 때, 액상물질이 수용공간(S1)을 넘칠 수 있게 액상물질을 수용공간(S1)으로 공급할 수 있다. 따라서, 액상물질이 수용공간(S1)에 채워지면서 수위가 상승할 수 있고, 수용공간(S1)의 수용량을 초과한 액상물질은 수용공간 외부로 넘칠 수 있다.At this time, when the liquid material is supplied to the supply unit 120 , the liquid material may be supplied to the accommodation space S1 so that the liquid material overflows the accommodation space S1 . Accordingly, as the liquid material is filled in the accommodation space ( S1 ), the water level may rise, and the liquid material exceeding the storage capacity of the accommodation space ( S1 ) may overflow to the outside of the accommodation space.

그 다음, 공급부(120) 내부의 액상물질 수위를 정해진 높이로 조절하고, 정해진 높이를 넘은 액상물질을 공급부(120) 외부로 회수한다(S120). 댐 부재(121)에 의해, 공급부(120)의 수용공간(S1)으로 공급된 액상물질은 수용공간(S1)에 채워지면서, 댐 부재(121)의 상부면 높이까지 수위가 상승할 수 있다.Then, the level of the liquid material inside the supply unit 120 is adjusted to a predetermined height, and the liquid material exceeding the predetermined height is recovered to the outside of the supply unit 120 (S120). The liquid material supplied to the receiving space S1 of the supply unit 120 by the dam member 121 is filled in the receiving space S1 , and the water level may rise to the height of the upper surface of the dam member 121 .

댐 부재(121)의 상부면 높이까지 액상물질의 수위가 상승한 상태에서 공급부(120) 내부로 액상물질을 계속 공급하면, 액상물질이 댐 부재(121)를 넘어 회수공간(S2)으로 유입될 수 있다. 따라서, 수용공간(S1) 내 액상물질의 수위는 댐 부재(121)의 상부면 높이로 조절되어 유지될 수 있다.If the liquid material continues to be supplied into the supply unit 120 while the level of the liquid material rises to the height of the upper surface of the dam member 121 , the liquid material may be introduced into the recovery space S2 beyond the dam member 121 . have. Accordingly, the water level of the liquid material in the accommodation space S1 may be maintained by being adjusted to the height of the upper surface of the dam member 121 .

이때, 수용공간(S1)의 하부로 액상물질을 공급되기 때문에, 수용공간(S1)의 하부에 있던 액상물질이 수용공간(S1)으로 공급되는 다른 액상물질에 의해 상승하여 회수공간(S2)으로 넘어갈 수 있다. 따라서, 수용공간(S1)에 계속 액상물질을 공급하면, 수용공간(S1) 내 액상물질이 전체적으로 정지되지 않고 이동하는 상태를 유지할 수 있다. 따라서, 수용공간(S1)에 액상물질의 침전물이 발생하는 것을 효과적으로 억제하거나 방지할 수 있다.At this time, since the liquid material is supplied to the lower portion of the accommodation space (S1), the liquid material in the lower portion of the accommodation space (S1) rises by the other liquid material supplied to the accommodation space (S1) to the recovery space (S2) can pass Therefore, if the liquid material is continuously supplied to the accommodation space ( S1 ), the liquid material in the accommodation space ( S1 ) can maintain a moving state without stopping as a whole. Therefore, it is possible to effectively suppress or prevent the occurrence of sediment of the liquid material in the receiving space (S1).

한편, 댐 부재(121)를 넘어 회수공간(S2)으로 이동한 액상물질은 회수부(140)를 이용하여 저장부(130)로 회수할 수 있다. 회수부(140)를 이용하여 회수공간(S2)의 액상물질 수위를, 수용공간(S1)의 액상물질 수위보다 낮출 수 있다. 이에, 회수공간(S2) 내 액상물질 수위가 상승하여 액상물질이 수용공간(S1)으로 역류하는 것을 방지할 수 있다.Meanwhile, the liquid material that has moved beyond the dam member 121 to the recovery space S2 may be recovered to the storage unit 130 using the recovery unit 140 . The level of the liquid material in the recovery space S2 may be lower than the level of the liquid material in the accommodation space S1 by using the recovery unit 140 . Accordingly, it is possible to prevent the liquid material from flowing back into the receiving space (S1) by increasing the level of the liquid material in the recovery space (S2).

이처럼 액상물질이 저장부(130)에서 공급부(120)로 이동하고 공급부(120)에서 저장부(130)로 이동하여 순환할 수 있다. 따라서, 액상물질이 계속 이동하는 상태를 유지하기 때문에, 액상물질에 침전물이 발생하는 것을 억제하거나 방지할 수 있다.As such, the liquid material may move from the storage unit 130 to the supply unit 120 , and may move from the supply unit 120 to the storage unit 130 to circulate. Therefore, since the liquid material maintains a state in which it continues to move, it is possible to suppress or prevent the occurrence of sediment in the liquid material.

그 다음, 공급부(120)에서 액상물질을 분사할 수 있는 토출부(110)로 액상물질을 공급한다(S130). 따라서, 수용공간(S1) 내 액상물질 중 일부가 토출부(110) 내부에 채워질 수 있다. Next, the liquid material is supplied from the supply unit 120 to the discharge unit 110 capable of spraying the liquid material (S130). Accordingly, some of the liquid material in the receiving space S1 may be filled in the discharge unit 110 .

이때, 저장부(130)에서 공급부(120)로 공급되는 액상물질이 공급되는 상태가 계속 유지될 수 있다. 따라서, 수용공간(S1) 내 액상물질 중 일부가 토출부(110)로 공급되어 액상물질의 수위가 낮아지더라도, 저장부(130)에서 공급부(120)로 액상물질을 계속 공급하기 때문에, 액상물질의 수위가 댐 부재(141)의 상부면 높이까지 다시 상승할 수 있다. 따라서, 수용공간(S1) 내 액상물질의 수위는 댐 부재(141)의 상부면 높이까지 일정하게 유지될 수 있다.At this time, the state in which the liquid material supplied from the storage unit 130 to the supply unit 120 is supplied may be continuously maintained. Therefore, even if some of the liquid material in the receiving space S1 is supplied to the discharge unit 110 and the level of the liquid material is lowered, since the liquid material is continuously supplied from the storage unit 130 to the supply unit 120 , the liquid material The level of the material may rise again to the height of the upper surface of the dam member 141 . Accordingly, the water level of the liquid material in the accommodation space S1 may be constantly maintained up to the height of the upper surface of the dam member 141 .

한편, 공급부(120)에서 토출부(110)로 액상물질을 공급한 후에, 공급부(120)와 토출부(110) 사이에서 액상물질을 순환시킬 수도 있다. 예를 들어, 공급부(120)와 토출부(110)를 연결하는 순환라인(191)들 중 어느 일부를 통해 공급부(120)에서 토출부(110)로 액상물질을 이동시키고, 다른 일부를 통해 토출부(110)에서 공급부(120)로 액상물질을 이동시킬 수 있다. 따라서, 공급부(120)와 토출부(110) 사이에서 액상물질이 순환할 수 있고, 액상물질이 계속 이동하여 공급부(120)나 토출부(110) 내부에 침전물이 생기는 것을 억제하거나 방지할 수 있다.Meanwhile, after supplying the liquid material from the supply unit 120 to the discharge unit 110 , the liquid material may be circulated between the supply unit 120 and the discharge unit 110 . For example, the liquid material is moved from the supply unit 120 to the discharge unit 110 through any part of the circulation lines 191 connecting the supply unit 120 and the discharge unit 110 , and the liquid material is discharged through the other part. The liquid material may be moved from the unit 110 to the supply unit 120 . Therefore, the liquid material can circulate between the supply unit 120 and the discharge unit 110, and it is possible to suppress or prevent the formation of deposits inside the supply unit 120 or the discharge unit 110 as the liquid material continues to move. .

그 다음, 토출부(110)로 액상물질을 분사한다(S140). 토출부(110) 내부에 액상물질이 채워진 상태이기 때문에, 토출부(110)가 액상물질을 분사할 수 있는 상태를 유지할 수 있다. 이에, 원하는 시점에 토출부(110)로 액상물질을 분사할 수 있다.Then, the liquid material is sprayed to the discharge unit 110 (S140). Since the liquid material is filled inside the discharge unit 110 , the discharge unit 110 may maintain a state in which the liquid material can be sprayed. Accordingly, the liquid material may be sprayed to the discharge unit 110 at a desired time.

예를 들어, 액상물질이 잉크인 경우, 기판이나 디스플레이와 같은 기재 상측에서 토출부(110)를 이동시키면서 토출부(110)로 기재 상에 잉크를 분사할 수 있다. 따라서, 기재 상에 패턴을 형성하는 공정을 수행할 수 있다.For example, when the liquid material is ink, the ink may be jetted onto the substrate by the discharging unit 110 while moving the discharging unit 110 on the upper side of the substrate, such as a substrate or display. Accordingly, a process of forming a pattern on the substrate may be performed.

이처럼, 토출부(110)로 액상물질을 공급하는 공급부(120) 내부의 액상물질 수위를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 공급부(120) 내부의 액상물질 무게를 일정하게 유지할 수 있다. 이에, 액상물질의 무게 변화에 따른 공급부(120) 내부의 압력 변화를 최소화하여 공급부(120) 내부의 압력을 일정하게 유지할 수 있기 때문에, 토출부(110)가 액상물질을 안정적으로 토출할 수 있다.As such, it is possible to maintain a constant level of the liquid material inside the supply unit 120 for supplying the liquid material to the discharge unit 110 . Therefore, the weight of the liquid material inside the supply unit 120 can be constantly maintained. Accordingly, since it is possible to maintain a constant pressure inside the supply unit 120 by minimizing the pressure change inside the supply unit 120 according to the change in the weight of the liquid material, the discharge unit 110 can stably discharge the liquid material. .

또한, 공급부(120)의 액상물질을 순환시켜 이동하는 상태를 유지할 수 있다. 이에, 액상물질이 계속 이동하기 때문에, 액상물질에 침전물이 발생하는 것을 억제하거나 방지할 수 있다. 따라서, 토출부(110)가 침전물로 인해 막히는 것을 억제하거나 방지하여, 토출부(110)가 액상물질을 안정적으로 토출할 수 있다.In addition, it is possible to maintain a moving state by circulating the liquid material of the supply unit 120 . Accordingly, since the liquid material continues to move, it is possible to suppress or prevent the occurrence of deposits in the liquid material. Accordingly, the discharge unit 110 is prevented from being clogged due to the sediment, so that the discharge unit 110 can stably discharge the liquid material.

한편, 공급부(120) 내부의 압력을 일정하게 유지하고, 액상물질에 침전물이 발생하는 것을 억제하거나 방지할 수 있기 때문에, 토출부(110)에서 토출되는 액상물질의 품질을 향상시킬 수 있다. 따라서, 불량 발생률을 감소시키고 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.On the other hand, since it is possible to maintain a constant pressure inside the supply unit 120 and suppress or prevent the occurrence of sediment in the liquid material, it is possible to improve the quality of the liquid material discharged from the discharge unit 110 . Accordingly, it is possible to reduce the defect rate and improve the efficiency of the process.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능하며, 실시 예들 간에 다양한 조합도 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 아래에 기재될 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As such, although specific embodiments have been described in the detailed description of the present invention, various modifications are possible without departing from the scope of the present invention, and various combinations between the embodiments are possible. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined by the claims to be described below as well as the claims and equivalents.

100: 액상물질 토출장치 110: 토출부
120: 공급부 130: 저장부
140: 회수부 160: 제1 압력조절부
170: 제2 압력조절부 180: 격벽부
190: 순환부100: liquid material discharging device 110: discharging unit
120: supply unit 130: storage unit
140: recovery unit 160: first pressure control unit
170: second pressure control unit 180: bulkhead portion
190: circulation unit

Claims (18)

액상물질을 토출할 수 있는 토출부;
상기 토출부로 액상물질을 공급할 수 있고, 내부에 액상물질이 저장될 수 있는 수용공간을 가지는 공급부;
상기 공급부로 액상물질을 공급할 수 있도록, 상기 공급부와 연결되는 저장부; 및
상기 공급부의 액상물질을 상기 저장부로 회수할 수 있도록, 상기 저장부와 연결되는 회수부;를 포함하고,
상기 공급부는,
상기 저장부와 연결되는 수용공간,
상기 회수부와 연결되는 회수공간, 및
상기 수용공간의 액상물질 수위를 조절하도록, 상기 수용공간과 상기 회수공간 사이에 설치되는 댐 부재를 포함하는 액상물질 토출장치.a discharge unit capable of discharging a liquid material;
a supply unit capable of supplying a liquid material to the discharge unit and having an accommodation space in which the liquid material can be stored;
a storage unit connected to the supply unit to supply the liquid material to the supply unit; and
and a recovery unit connected to the storage unit so that the liquid material of the supply unit can be recovered to the storage unit.
The supply unit,
Receiving space connected to the storage unit,
a recovery space connected to the recovery unit, and
and a dam member installed between the accommodating space and the recovery space to adjust the level of the liquid material in the accommodating space. 청구항 1에 있어서,
상기 댐 부재는,
상기 수용공간에서 수위가 상승하는 액상물질이 상기 회수공간으로 넘어갈 수 있도록, 상기 수용공간과 상기 회수공간 사이의 하부를 차단하는 액상물질 토출장치.The method according to claim 1,
The dam member is
A liquid material discharging device for blocking a lower portion between the receiving space and the recovery space so that the liquid material whose water level rises in the receiving space can pass to the recovery space. 청구항 2에 있어서,
상기 저장부는,
액상물질이 저장되는 저장용기; 및
일단이 저장용기에 연결되고, 타단이 상기 수용공간의 하부와 연결되는 공급라인;을 포함하는 액상물질 토출장치.3. The method according to claim 2,
The storage unit,
a storage container in which the liquid material is stored; and
A liquid material discharging device including a; one end connected to the storage container and the other end connected to the lower portion of the receiving space. 청구항 2에 있어서,
상기 회수부는,
일단이 상기 회수공간의 하부와 연결되고, 타단이 상기 저장부에 연결되는 회수라인; 및
상기 회수라인에 설치되는 회수펌프;를 포함하는 액상물질 토출장치.3. The method according to claim 2,
The recovery unit,
a recovery line having one end connected to the lower portion of the recovery space and the other end connected to the storage unit; and
A liquid material discharging device including a; a recovery pump installed in the recovery line. 청구항 2에 있어서,
상기 저장부 내부의 압력을 상기 공급부 내부의 압력보다 높아지게 조절하도록, 상기 저장부에 연결되는 제1 압력조절부; 및
상기 공급부 내부에 음압을 인가하도록, 상기 공급부에 연결되는 제2 압력조절부;를 더 포함하는 액상물질 토출장치.3. The method according to claim 2,
a first pressure control unit connected to the storage unit to adjust the pressure inside the storage unit to be higher than the pressure inside the supply unit; and
The liquid material discharging device further comprising a; a second pressure control unit connected to the supply unit so as to apply a negative pressure to the inside of the supply unit. 청구항 5에 있어서,
상기 제2 압력조절부는, 상기 회수공간의 상부에 연결되는 액상물질 토출장치.6. The method of claim 5,
The second pressure control unit is a liquid material discharging device connected to the upper portion of the recovery space. 청구항 1에 있어서,
상기 공급부와 상기 토출부 사이에서 액상물질을 순환시킬 수 있는 순환부를 더 포함하는 액상물질 토출장치.The method according to claim 1,
The liquid material discharging device further comprising a circulation unit capable of circulating the liquid material between the supply unit and the discharging unit. 청구항 7에 있어서,
상기 순환부는,
일단이 공급부에 연결되고 타단이 토출부에 연결되는 복수개의 순환라인; 및
상기 순환라인들 중 적어도 어느 하나에 설치되는 순환펌프;를 포함하는 액상물질 토출장치.8. The method of claim 7,
The circulation unit,
a plurality of circulation lines having one end connected to the supply unit and the other end connected to the discharge unit; and
A liquid material discharging device comprising a; a circulation pump installed in at least one of the circulation lines. 청구항 8에 있어서,
상기 순환라인들은 서로 이격되어, 일부는 상기 공급부에서 상기 토출부로 액상물질이 이동하는 경로를 형성하고, 다른 일부는 상기 토출부에서 상기 공급부로 액상물질이 이동하는 경로를 형성하는 액상물질 토출장치.9. The method of claim 8,
The circulation lines are spaced apart from each other, and some form a path through which the liquid material moves from the supply unit to the discharge unit, and some form a path through which the liquid material moves from the discharge unit to the supply unit. 청구항 1에 있어서,
액상물질이 통과할 수 있는 경로를 형성하도록, 상기 수용공간에 설치되는 격벽부를 더 포함하는 액상물질 토출장치.The method according to claim 1,
The liquid material discharging device further comprising a partition wall portion installed in the receiving space to form a path through which the liquid material can pass. 액상물질을 공급할 수 있는 공급부에 액상물질을 공급하는 과정;
상기 공급부 내부의 액상물질의 수위를 정해진 높이로 조절하고, 정해진 높이를 넘은 액상물질을 상기 공급부 외부로 회수하는 과정;
상기 공급부에서 액상물질을 분사할 수 있는 토출부로 액상물질을 공급하는 과정; 및
상기 토출부로 액상물질을 분사하는 과정;을 포함하는 액상물질 토출방법.The process of supplying a liquid material to a supply unit capable of supplying the liquid material;
adjusting the level of the liquid material inside the supply unit to a predetermined height, and recovering the liquid material exceeding the predetermined height to the outside of the supply unit;
supplying a liquid material from the supply unit to a discharge unit capable of spraying the liquid material; and
A liquid material discharging method comprising a; the process of spraying the liquid material to the discharge unit. 청구항 11에 있어서,
상기 공급부에 액상물질을 공급하기 전에,
상기 공급부의 내부를 수용공간과 회수공간으로 구분하는 과정;을 더 포함하는 액상물질 토출방법.12. The method of claim 11,
Before supplying the liquid material to the supply unit,
The process of dividing the inside of the supply part into an accommodation space and a recovery space; the liquid material discharging method further comprising a. 청구항 12에 있어서,
상기 공급부에 액상물질을 공급하는 과정은,
액상물질이 상기 수용공간을 넘칠 수 있게 액상물질을 상기 수용공간으로 공급하는 과정을 포함하는 액상물질 토출방법.13. The method of claim 12,
The process of supplying the liquid material to the supply unit,
A liquid material discharging method comprising the step of supplying a liquid material to the accommodation space so that the liquid material overflows the accommodation space. 청구항 13에 있어서,
상기 액상물질을 상기 수용공간으로 공급하는 과정은,
상기 수용공간의 하부로 액상물질을 공급하여, 상기 수용공간의 하부에 있는 액상물질을 상승시키는 과정을 포함하는 액상물질 토출방법.14. The method of claim 13,
The process of supplying the liquid material to the accommodation space,
and supplying the liquid material to the lower portion of the accommodation space to raise the liquid material in the lower portion of the accommodation space. 청구항 13에 있어서,
상기 액상물질 수위를 정해진 높이로 조절하는 과정은,
상기 수용공간을 외부로 넘치는 액상물질을 상기 회수공간으로 넘기는 과정;을 포함하는 액상물질 토출방법.14. The method of claim 13,
The process of adjusting the liquid material level to a predetermined height is,
The liquid material discharging method comprising a; passing the liquid material overflowing the receiving space to the outside to the recovery space. 청구항 15에 있어서,
상기 정해진 높이를 넘은 액상물질을 상기 공급부 외부로 회수하는 과정은,
상기 회수공간의 액상물질 수위를, 상기 수용공간의 액상물질 수위보다 낮추는 과정을 포함하는 액상물질 토출방법.16. The method of claim 15,
The process of recovering the liquid material exceeding the predetermined height to the outside of the supply unit,
and lowering the level of the liquid material in the recovery space to a level lower than the level of the liquid material in the accommodation space. 청구항 11에 있어서,
상기 공급부에서 상기 토출부로 액상물질을 공급한 후에,
상기 공급부와 상기 토출부 사이에서 액상물질을 순환시키는 과정을 더 포함하는 액상물질 토출방법.12. The method of claim 11,
After supplying the liquid material from the supply unit to the discharge unit,
The liquid material discharging method further comprising the step of circulating the liquid material between the supply unit and the discharging unit. 청구항 11 내지 청구항 17 중 어느 한 항에 있어서,
상기 액상물질은 잉크를 포함하고,
상기 토출부로 액상물질을 분사하는 과정은,
기재 상에 잉크를 분사하여 패턴을 형성하는 과정을 포함하는 액상물질 토출방법.18. The method according to any one of claims 11 to 17,
The liquid material includes ink,
The process of spraying the liquid material to the discharge part,
A liquid material ejection method comprising the step of forming a pattern by spraying ink on a substrate.
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