KR20220080069A - plate-shaped composite material - Google Patents

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심페이 야쿠와
슌지 이마무라
šœ지 이마무라
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닛토덴코 가부시키가이샤
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Abstract

비유전율, 유전 정접 등의 여러 가지 특성에 대해 조화를 이룬 우수한 판형의 복합 재료를 제공한다. 불소계 수지 및 충전제를 포함하는 판형의 복합 재료로서, 상기 충전제가, 평균 일차 입자 직경 5∼200 ㎚의 무기 미립자가 응집하여 형성된 다공성 무기 미립자 응집체, 및 평균 일차 입자 직경 0.2∼50 ㎛의 무공질 무기 미립자를 포함하고, 상기 다공성 무기 미립자 응집체와 상기 무공질 무기 미립자의 총 함유량이, 상기 복합 재료의 20∼90 질량%이며, 상기 다공성 무기 미립자 응집체와 상기 무공질 무기 미립자의 총 함유량에 대한 상기 무공질 무기 미립자의 함유량의 질량비(상기 무공질 무기 미립자의 함유량/(상기 다공성 무기 미립자 응집체의 함유량+상기 무공질 무기 미립자의 함유량))가, 0.15∼0.90인 것을 특징으로 하는 것이, 비유전율, 유전 정접 등의 여러 가지 특성에 대해 조화를 이룬 우수한 복합 재료가 된다.To provide an excellent plate-shaped composite material that is harmonized with various characteristics such as relative permittivity and dielectric loss tangent. A plate-shaped composite material comprising a fluororesin and a filler, wherein the filler is a porous inorganic fine particle aggregate formed by agglomeration of inorganic fine particles having an average primary particle diameter of 5 to 200 nm, and a non-porous inorganic particle having an average primary particle diameter of 0.2 to 50 μm including fine particles, wherein the total content of the porous inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle is 20 to 90 mass% of the composite material, and the non-porous relative to the total content of the porous inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle It is characterized in that the mass ratio of the content of the inorganic fine particles (content of the non-porous inorganic fine particles/(content of the porous inorganic fine particle aggregate + the content of the non-porous inorganic fine particle)) is 0.15 to 0.90, characterized in that the dielectric constant, dielectric It becomes an excellent composite material with harmonization of various properties such as tangent.

Description

판형의 복합 재료plate-shaped composite material

본 발명은 밀리파 레이더 등으로서 이용되는 마이크로스트립 패치 안테나의 기판 등에 적합한 판형의 복합 재료에 관한 것이다.The present invention relates to a plate-shaped composite material suitable for a substrate or the like of a microstrip patch antenna used as a millimeter wave radar or the like.

최근, 자동차 산업에서는, ADAS(선진 운전 지원 시스템)나 자동 운전에 대한 연구 개발이 활발히 행해지고 있고, 이것을 지지하는 센싱 기술로서 밀리파 레이더의 중요성도 높아지고 있다. 자동차용의 밀리파 레이더로서는, 소형, 고성능, 저가격의 관점에서, 수지 기판에 안테나 소자(패치) 등을 인쇄 배선한 평면 안테나인 「마이크로스트립 패치 안테나(Microstrip patch Antenna)」의 이용이 유력하며, 고성능화를 위해서 안테나 패턴의 설계나 기판 재료에 대한 검토가 진행되고 있다.In recent years, in the automobile industry, research and development on ADAS (Advanced Driving Assistance System) and automatic driving has been actively conducted, and the importance of millimeter wave radar as a sensing technology supporting these is increasing. As a millimeter wave radar for automobiles, from the viewpoint of small size, high performance, and low price, the use of "Microstrip patch antenna", which is a flat antenna in which an antenna element (patch), etc. is printed and wired on a resin substrate, is preferred, In order to improve the performance, the design of the antenna pattern and the examination of the substrate material are in progress.

이들 안테나에 이용되는 기판 재료로서는, 유전 정접이 작은 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)이 유력한 것의 하나이며, 또한 기계적 특성, 열적 특성, 전기적 특성을 개선하기 위해서, 질화붕소, 이산화규소(실리카), 산화티탄(티타니아) 등의 입자형의 충전제나, 유리 파이버, 탄소 섬유 등의 충전제를 배합하는 것이 제안되어 있다(특허문헌 1 및 2 참조.). As a substrate material used for these antennas, polytetrafluoroethylene (PTFE) with a small dielectric loss tangent is one of the most promising ones, and in order to improve mechanical properties, thermal properties and electrical properties, boron nitride, silicon dioxide (silica), It is proposed to mix|blend particulate fillers, such as titanium oxide (titania), and fillers, such as glass fiber and carbon fiber (refer patent documents 1 and 2.).

특허문헌 1: 일본 특허 공개 평성 제03-212987호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. Hei 03-212987 특허문헌 2: 일본 특허 공개 평성 제06-119810호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Laid-Open No. Hei 06-119810

본 발명은 비유전율, 유전 정접 등의 여러 가지 특성에 대해 조화를 이룬 우수한 판형의 복합 재료를 제공한다.The present invention provides an excellent plate-shaped composite material in which various properties such as relative permittivity and dielectric loss tangent are harmonized.

본 발명자들은, 상기 과제를 해결하기 위해서 예의 검토를 거듭한 결과, 불소계 수지에 특정한 다공성 무기 미립자 응집체와 특정한 무공질 무기 미립자를 특정한 범위에서 포함시킴으로써, 비유전율, 유전 정접 등의 여러 가지 특성에 대해 조화를 이룬 우수한 복합 재료가 되는 것을 발견하였다.The present inventors, as a result of repeated intensive studies to solve the above problems, include specific porous inorganic fine particle aggregates and specific nonporous inorganic fine particles in a specific range in the fluorine-based resin, so that various characteristics such as dielectric constant and dielectric loss tangent It has been found to be an excellent composite material in harmony.

즉, 본 발명은 이하와 같다.That is, the present invention is as follows.

<1> 불소계 수지 및 충전제를 포함하는 판형의 복합 재료로서, 상기 충전제가, 평균 일차 입자 직경 5∼200 ㎚의 무기 미립자가 응집하여 형성된 다공성 무기 미립자 응집체, 및 평균 일차 입자 직경 0.2∼50 ㎛의 무공질 무기 미립자를 포함하고, 상기 다공성 무기 미립자 응집체와 상기 무공질 무기 미립자의 총 함유량이, 상기 복합 재료의 20∼90 질량%이며, 상기 다공성 무기 미립자 응집체와 상기 무공질 무기 미립자의 총 함유량에 대한 상기 무공질 무기 미립자의 함유량의 질량비(상기 무공질 무기 미립자의 함유량/(상기 다공성 무기 미립자 응집체의 함유량+상기 무공질 무기 미립자의 함유량))가, 0.15∼0.90인 것을 특징으로 하는, 판형의 복합 재료.<1> A plate-shaped composite material comprising a fluorine-based resin and a filler, wherein the filler is a porous inorganic fine particle aggregate formed by agglomeration of inorganic fine particles having an average primary particle diameter of 5 to 200 nm, and an average primary particle diameter of 0.2 to 50 μm including non-porous inorganic fine particles, wherein the total content of the porous inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle is 20 to 90 mass% of the composite material, and the total content of the porous inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle is The mass ratio of the content of the non-porous inorganic fine particles to the (content of the non-porous inorganic fine particles/(the content of the porous inorganic fine particle aggregate + the content of the non-porous inorganic fine particle)) is 0.15 to 0.90, characterized in that composite material.

<2> 기공률이 15 체적% 이상인, <1>에 기재된 판형의 복합 재료.<2> The plate-shaped composite material according to <1>, wherein the porosity is 15% by volume or more.

본 발명에 의하면, 비유전율, 유전 정접 등의 여러 가지 특성에 대해 조화를 이룬 우수한 판형의 복합 재료를 제공할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the outstanding plate-shaped composite material which harmonized with respect to various characteristics, such as a dielectric constant and a dielectric loss tangent, can be provided.

도 1은 평균 일차 입자 직경 5∼200 ㎚의 무기 미립자가 응집하여 형성된 다공성 무기 미립자 응집체의 SEM 촬영 화상이다(도면 대용 사진).
도 2는 실시예·비교예에 따른 판형의 복합 재료의 충전제 함유량과 유전 정접의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 3은 실시예·비교예에 따른 판형의 복합 재료의 충전제 함유량과 열팽창 계수의 관계를 나타낸 그래프이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is an SEM photographed image of a porous inorganic fine particle aggregate formed by aggregation of inorganic fine particles having an average primary particle diameter of 5 to 200 nm (a photograph substituted for drawings).
2 is a graph showing the relationship between the filler content and dielectric loss tangent of plate-shaped composite materials according to Examples and Comparative Examples.
3 is a graph showing the relationship between the filler content and the coefficient of thermal expansion of plate-shaped composite materials according to Examples and Comparative Examples.

본 발명을 설명할 때, 구체예를 들어 설명하지만, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 한 이하의 내용에 한정되는 것은 아니며, 적절히 변경하여 실시할 수 있다.When this invention is demonstrated, although specific example is given and demonstrated, unless it deviates from the meaning of this invention, it is not limited to the following content, It can change suitably and implement.

≪판형의 복합 재료≫≪Plate-shaped composite material≫

본 발명의 일 양태인 판형의 복합 재료(이하, 「복합 재료」라고 약기하는 경우가 있다.)는, 불소계 수지 및 충전제를 포함하는 판형의 복합 재료이며, 충전제가, 「평균 일차 입자 직경 5∼200 ㎚의 무기 미립자가 응집하여 형성된 다공성 무기 미립자 응집체(이하, 「무기 미립자 응집체」라고 약기하는 경우가 있다.)」, 및 「평균 일차 입자 직경 0.2∼50 ㎛의 무공질 무기 미립자(이하, 「무공질 무기 미립자」라고 약기하는 경우가 있다.)」를 포함하고, 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 총 함유량이, 복합 재료의 20∼90 질량%이며, 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 총 함유량에 대한 무공질 무기 미립자의 함유량의 질량비(무공질 무기 미립자의 함유량/(무기 미립자 응집체의 함유량+무공질 무기 미립자의 함유량))가, 0.15∼0.90인 것을 특징으로 한다.A plate-shaped composite material (hereinafter, sometimes abbreviated as “composite material”), which is an aspect of the present invention, is a plate-shaped composite material containing a fluorine-based resin and a filler, and the filler includes an “average primary particle diameter of 5 to A porous inorganic fine particle aggregate formed by agglomeration of 200 nm inorganic fine particles (hereinafter, may be abbreviated as "inorganic fine particle aggregate")", and "non-porous inorganic fine particle having an average primary particle diameter of 0.2 to 50 μm (hereinafter, " It may be abbreviated as "non-porous inorganic fine particles"), and the total content of the inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle is 20 to 90 mass% of the composite material, and the inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle It is characterized in that the mass ratio of the content of the non-porous inorganic fine particles to the total content (content of the non-porous inorganic fine particles/(content of the inorganic fine particle aggregate + the non-porous inorganic fine particle content)) is 0.15 to 0.90.

본 발명자들은, 마이크로스트립 패치 안테나 등의 기판으로서 이용할 수 있는 판형의 복합 재료에 대해 예의 검토를 거듭한 결과, 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자를 전술한 범위에서 포함함으로써, 각각의 충전제의 이점이 적당히 발현되어, 비유전율, 유전 정접 등의 여러 가지 특성에 대해 조화를 이룬 우수한 복합 재료가 되는 것을 발견한 것이다.As a result of repeated intensive studies on plate-shaped composite materials that can be used as substrates such as microstrip patch antennas, the present inventors have found that, by including inorganic fine particle aggregates and non-porous inorganic fine particles within the above range, the advantages of each filler are It has been found to be an excellent composite material that is appropriately expressed and harmonized with various characteristics such as relative permittivity and dielectric loss tangent.

이하, 「불소계 수지」, 및 「무기 미립자 응집체」 및 「무공질 무기 미립자」 등의 「충전제」 등에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, "fluororesin" and "fillers", such as "inorganic fine particle aggregate" and "nonporous inorganic fine particle", etc. are demonstrated in detail.

<불소계 수지><Fluorine-based resin>

불소계 수지의 종류는, 특별히 한정되지 않고, 기판 등에 이용되는 불소계 수지를 적절히 채용할 수 있다.The kind of fluororesin is not specifically limited, The fluororesin used for a board|substrate etc. can be employ|adopted suitably.

불소계 수지로서는, 통상, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 퍼플루오로알콕시알칸(PFA), 테트라플루오로에틸렌·헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP), 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTEF), 테트라플루오로에틸렌·에틸렌 공중합체(ETFE), 클로로트리플루오로에틸렌·에틸렌 공중합체(ECTFE), 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF)를 들 수 있으나, PTFE가 특히 바람직하다. 이들은 단독으로 혹은 2종 이상 함께 이용할 수 있다.Examples of the fluorine-based resin are usually polytetrafluoroethylene (PTFE), perfluoroalkoxyalkane (PFA), tetrafluoroethylene/hexafluoropropylene copolymer (FEP), polychlorotrifluoroethylene (PCTEF), tetra fluoroethylene/ethylene copolymer (ETFE), chlorotrifluoroethylene/ethylene copolymer (ECTFE), and polyvinylidene fluoride (PVDF), but PTFE is particularly preferred. These can be used individually or in combination of 2 or more types.

불소계 수지는, 「피브릴화(섬유형 구조화)」되어 있는 것이 바람직하다. 피브릴화에 있어서의 섬유는, 일방향으로 뿐만이 아니라, 다방향으로 배향되어 있는 것이 보다 바람직하고, 피브릴과 후술하는 무기 미립자 응집체가 연결되어 「삼차원의 미세 메쉬 구조」를 형성하고 있는 것이 특히 바람직하다. 불소계 수지가 피브릴화되어 있는, 특히 삼차원의 미세 메쉬 구조를 형성하고 있으면, 복합 재료로서 우수한 기계적 강도, 치수 안정성을 확보할 수 있다. 또한, 불소계 수지의 피브릴화 등에 대해서는, SEM 등에 의한 표면 관찰로 확인할 수 있다. 또한, 불소계 수지의 피브릴화는, 예컨대 전단력을 가함으로써 진행시킬 수 있는데, 보다 구체적으로는 후술하는 다단계 압연에 의해 행하는 것을 들 수 있고, 또한 삼차원의 미세 메쉬 구조는, 후술하는 이방향(異方向) 다단계 압연에 의해 행하는 것을 들 수 있다.It is preferable that the fluorine-based resin is "fibrillated (fibrous structure)". It is more preferable that the fibers in fibrillation are oriented not only in one direction but in multiple directions, and it is particularly preferable that the fibrils and inorganic fine particle aggregates described later are connected to form a "three-dimensional fine mesh structure" do. When the fluorine-based resin is fibrillated, particularly when a three-dimensional fine mesh structure is formed, excellent mechanical strength and dimensional stability can be ensured as a composite material. In addition, about the fibrillation of a fluororesin, etc., it can confirm by surface observation by SEM etc. In addition, the fibrillation of the fluorine-based resin can be advanced, for example, by applying a shear force, more specifically, the multi-step rolling described later, and the three-dimensional fine mesh structure is a two-way (異) described later.方向) performing by multi-stage rolling is mentioned.

<충전제><Filler>

복합 재료에는, 충전제로서 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 포함되게 되는데, 무기 미립자 응집체는, 구체적으로는 도 1의 SEM 촬영 화상에서 나타나 있는 것과 같은 것이며, 복수의 무기 미립자가 융착되어 응집체를 형성하고, 무기 미립자 사이에 공극을 갖고 다공질로 되어 있는 것을 의미한다. 또한, 응집체에 있어서의 무기 미립자는, 처방 시에 있어서 융착되어 있으면 되고, 그 후의 불소계 수지와의 혼합 등에 의해 융착이 풀려져 있어도 좋다.The composite material contains inorganic fine particle aggregates and non-porous inorganic fine particles as fillers. The inorganic fine particle aggregate is specifically as shown in the SEM image of FIG. 1 , and a plurality of inorganic fine particles are fused to form an aggregate. and having voids between the inorganic fine particles and being porous. In addition, the inorganic fine particles in the aggregate may be fused at the time of formulation, and the fusion may be released by subsequent mixing with a fluororesin or the like.

한편, 무공질 무기 미립자의 「무공질」이란, 무기 미립자에 있어서 특징적인 「다공질」에 대한 표현이며, 무공질 무기 미립자는 「다공질」이 아닌 무기 미립자이면 되는 것으로 한다. 즉, 무공질 무기 미립자는, 세공(細孔)이 전무할 필요는 없고, 「다공질」이라고 인식되지 않을 정도이면, 세공을 갖고 있어도 좋다.On the other hand, the "non-porous" of the non-porous inorganic fine particles is an expression for the characteristic "porous" in the inorganic fine particles, and the non-porous inorganic fine particles should just be inorganic fine particles that are not "porous". That is, the non-porous inorganic fine particles do not have to have no pores, and may have pores as long as it is not recognized as "porous".

이하, 「무기 미립자 응집체」 및 「무공질 무기 미립자」에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the "inorganic fine particle aggregate" and the "non-porous inorganic fine particle" will be described in detail.

(무기 미립자 응집체)(Inorganic fine particle aggregate)

무기 미립자 응집체에 있어서의 무기 미립자의 재질은, 통상, 산화규소(일산화규소, 이산화규소(실리카) 등), 산화알루미늄(알루미나) 등의 전형 원소의 산화물(복합 산화물도 포함한다.); 산화티탄(이산화티탄(티타니아) 등), 산화철, 산화지르코늄(이산화지르코늄(지르코니아)) 등의 전이 금속 산화물(복합 산화물도 포함한다.); 질화붕소, 질화규소 등의 전형 원소의 질화물 등을 들 수 있으나, 전형 원소의 산화물이 바람직하고, 이산화규소(실리카)가 특히 바람직하다. 전형 원소의 산화물이면, 복합 재료의 비유전율을 매우 낮게 억제할 수 있고, 보다 저비용으로 복합 재료를 제조할 수 있다. 또한, 무기 미립자의 결정성은, 특별히 한정되지 않으나, 이산화규소의 경우에는 통상 비정질이다.The material of the inorganic fine particles in the inorganic fine particle aggregate is usually oxides of typical elements such as silicon oxide (silicon monoxide, silicon dioxide (silica), etc.) and aluminum oxide (alumina) (composite oxides are also included); transition metal oxides (composite oxides are also included), such as titanium oxide (titanium dioxide (titania) etc.), iron oxide, and zirconium oxide (zirconium dioxide (zirconia)); Although nitrides of typical elements, such as boron nitride and silicon nitride, etc. are mentioned, The oxide of a typical element is preferable, and silicon dioxide (silica) is especially preferable. If it is the oxide of a typical element, the dielectric constant of a composite material can be suppressed very low, and a composite material can be manufactured at lower cost. In addition, although the crystallinity of an inorganic fine particle is although it does not specifically limit, In the case of silicon dioxide, it is amorphous normally.

무기 미립자 응집체에 있어서의 무기 미립자의 평균 일차 입자 직경은, 5∼200 ㎚이지만, 바람직하게는 10 ㎚ 이상, 보다 바람직하게는 15 ㎚ 이상, 더욱 바람직하게는 20 ㎚ 이상이고, 바람직하게는 150 ㎚ 이하, 보다 바람직하게는 120 ㎚ 이하, 더욱 바람직하게는 100 ㎚ 이하, 특히 바람직하게는 80 ㎚ 이하, 가장 바람직하게는 70 ㎚ 이하이다. 상기한 범위 내이면, 혼합, 성형, 압연 등의 처리를 행해도 무기 미립자 응집체가 파괴되기 어렵고, 무기 미립자 사이에 양호한 공극을 확보할 수 있으며, 판형의 복합 재료로서 평활한 면을 확보하기 쉬워진다. 또한, 무기 미립자 응집체에 있어서의 무기 미립자의 평균 일차 입자 직경은, SEM에 의한 관찰로 입자 직경을 측정하고, 측정값을 평균화하여 얻은 수치로 한다. 구체적으로는, 랜덤하게 무기 미립자 응집체(100개)를 선택하여, 각각의 입자 직경(입자의 장직경)을 측정하고, 얻어진 입자 직경을 평균하여 수치를 얻는 순서이다.The average primary particle diameter of the inorganic fine particles in the inorganic fine particle aggregate is 5 to 200 nm, but preferably 10 nm or more, more preferably 15 nm or more, still more preferably 20 nm or more, and preferably 150 nm or more. or less, more preferably 120 nm or less, still more preferably 100 nm or less, particularly preferably 80 nm or less, and most preferably 70 nm or less. If it is within the above range, it is difficult to destroy the inorganic fine particle aggregate even when processing such as mixing, molding, rolling, etc. is performed, good voids can be ensured between the inorganic fine particles, and it is easy to ensure a smooth surface as a plate-shaped composite material. . In addition, let the average primary particle diameter of the inorganic fine particle in an inorganic fine particle aggregate be the numerical value obtained by measuring a particle diameter by observation by SEM, and averaging the measured value. Specifically, it is a procedure in which 100 inorganic fine particle aggregates are randomly selected, each particle diameter (the long diameter of the particle) is measured, and the obtained particle diameter is averaged to obtain a numerical value.

무기 미립자 응집체에 있어서의 무기 미립자의 일차 응집물의 평균 입자 직경은, 통상 100 ㎚ 이상, 바람직하게는 120 ㎚ 이상, 보다 바람직하게는 150 ㎚ 이상이고, 통상 400 ㎚ 이하, 바람직하게는 380 ㎚ 이하, 보다 바람직하게는 350 ㎚ 이하이다. 무기 미립자 응집체에 있어서의 무기 미립자의 이차 응집물(일차 응집물의 응집물)의 평균 입자 직경은, 통상 0.1 ㎛ 이상, 바람직하게는 1 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 2 ㎛ 이상이고, 통상 100 ㎛ 이하, 바람직하게는 90 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 80 ㎛ 이하이다. 또한, 복합 재료에 있어서의 무기 미립자 응집체는, 이차 응집물의 상태인 것이 바람직하다. 이차 응집물의 상태이면, 전술한 삼차원의 미세 메쉬 구조를 형성하기 쉬워진다. 또한, 일차 응집물의 평균 입자 직경과 이차 응집물의 평균 입자 직경은, 전술한 무기 미립자 응집체에 있어서의 무기 미립자의 평균 일차 입자 직경과 동일한 방법에 의해 산출할 수 있다.The average particle diameter of the primary aggregate of inorganic fine particles in the inorganic fine particle aggregate is usually 100 nm or more, preferably 120 nm or more, more preferably 150 nm or more, and usually 400 nm or less, preferably 380 nm or less, More preferably, it is 350 nm or less. The average particle diameter of the secondary aggregate (aggregate of the primary aggregate) of the inorganic fine particles in the inorganic fine particle aggregate is usually 0.1 µm or more, preferably 1 µm or more, more preferably 2 µm or more, and is usually 100 µm or less, preferably Preferably it is 90 micrometers or less, More preferably, it is 80 micrometers or less. Moreover, it is preferable that the inorganic fine particle aggregate in a composite material is in the state of a secondary aggregate. If it is a state of a secondary aggregate, it will become easy to form the above-mentioned three-dimensional fine mesh structure. In addition, the average particle diameter of a primary aggregate and the average particle diameter of a secondary aggregate are computable by the method similar to the average primary particle diameter of the inorganic fine particle in the inorganic fine particle aggregate mentioned above.

무기 미립자 응집체의 BET 비표면적은, 통상 10 ㎡/g 이상, 바람직하게는 20 ㎡/g 이상, 보다 바람직하게는 30 ㎡/g 이상, 더욱 바람직하게는 40 ㎡/g 이상이고, 통상 250 ㎡/g 이하, 바람직하게는 240 ㎡/g 이하, 보다 바람직하게는 210 ㎡/g 이하, 더욱 바람직하게는 150 ㎡/g 이하, 특히 바람직하게는 80 ㎡/g 이하이다. 상기 범위 내이면, 복합 재료로서 높은 기공률을 확보할 수 있고, 유전 정접의 상승을 억제할 수 있다. 특히 BET 비표면적이 지나치게 높으면, 복합 재료의 유전 정접이 높아지는 경향이 있다. 또한, 무기 미립자 응집체의 BET 비표면적은, 가스 흡착법(특히 질소 흡착 등온선)에 의해 측정한 가스 흡착량 등을 BET식에 대입하여 산출한 수치로 하고, 복합 재료의 제조에 사용하기 전의 수치로 나타내는 것으로 한다.The BET specific surface area of the inorganic fine particle aggregate is usually 10 m/g or more, preferably 20 m/g or more, more preferably 30 m/g or more, still more preferably 40 m/g or more, and usually 250 m/g or more. g or less, preferably 240 m 2 /g or less, more preferably 210 m 2 /g or less, still more preferably 150 m 2 /g or less, particularly preferably 80 m 2 /g or less. If it is within the above range, a high porosity can be ensured as a composite material, and an increase in dielectric loss tangent can be suppressed. In particular, when the BET specific surface area is too high, the dielectric loss tangent of the composite material tends to be high. In addition, the BET specific surface area of the inorganic fine particle aggregate is a numerical value calculated by substituting the gas adsorption amount measured by the gas adsorption method (especially nitrogen adsorption isotherm) into the BET equation, make it as

무기 미립자 응집체의 겉보기 비중은, 통상 10 g/L 이상, 바람직하게는 20 g/L 이상, 보다 바람직하게는 30 g/L 이상, 더욱 바람직하게는 40 g/L 이상이고, 통상 100 g/L 이하, 바람직하게는 90 g/L 이하, 보다 바람직하게는 80 g/L 이하, 더욱 바람직하게는 70 g/L 이하, 특히 바람직하게는 60 g/L 이하이다. 상기 범위 내이면, 복합 재료로서 높은 기공률을 확보할 수 있고, 무기 미립자 응집체가 파괴되기 어려워진다. 또한, 무기 미립자 응집체의 겉보기 비중은, 무기 미립자 응집체를 250 mL 메스실린더 등의 용적을 측정할 수 있는 용기에 충전하여, 무기 미립자 응집체의 충전 질량(X g)과 충전 용적(Y mL)을 측정하고, 충전 질량을 충전 용적으로 나눗셈([겉보기 비중(g/L)]=X/Y×1000)한 수치로 한다.The inorganic fine particle aggregate has an apparent specific gravity of usually 10 g/L or more, preferably 20 g/L or more, more preferably 30 g/L or more, still more preferably 40 g/L or more, and usually 100 g/L or more. or less, preferably 90 g/L or less, more preferably 80 g/L or less, still more preferably 70 g/L or less, particularly preferably 60 g/L or less. If it is in the said range, a high porosity can be ensured as a composite material, and it becomes difficult to destroy an inorganic fine particle aggregate. In addition, the apparent specific gravity of the inorganic fine particle aggregate is measured by filling the inorganic fine particle aggregate in a container capable of measuring a volume such as a 250 mL measuring cylinder, and measuring the packing mass (X g) and filling volume (Y mL) of the inorganic fine particle aggregate. and divide the filling mass by the filling volume ([apparent specific gravity (g/L)]=X/Y×1000).

무기 미립자 응집체로서는, 미즈카실 시리즈(미즈사와 가가쿠 고교사 제조), 사일리시아 시리즈(후지 실리시아사 제조), AEROSIL 시리즈(닛폰 아에로질사 제조), 닙실 시리즈(도소 실리카사 제조) 등의 시판품을 적합하게 이용할 수 있고, 그 중에서도 AEROSIL 시리즈(닛폰 아에로질사 제조)의 흄드 실리카가 특히 바람직하다.Examples of the inorganic fine particle aggregate include Mizukasil series (manufactured by Mizusawa Chemical Industry Co., Ltd.), Silicia series (manufactured by Fuji Silicia, Ltd.), AEROSIL series (manufactured by Nippon Aerosil Corporation), Nipsil series (manufactured by Tosoh Silica Corporation), and the like. A commercial item can be used suitably, Especially, the fumed silica of AEROSIL series (made by Nippon Aerosil Corporation) is especially preferable.

(무공질 무기 미립자)(non-porous inorganic fine particles)

무공질 무기 미립자의 재질은, 통상, 산화규소(일산화규소, 이산화규소(실리카) 등), 산화알루미늄(알루미나) 등의 전형 원소의 산화물(복합 산화물도 포함한다.); 산화티탄(이산화티탄(티타니아) 등), 산화철, 산화지르코늄(이산화지르코늄(지르코니아)) 등의 전이 금속 산화물(복합 산화물도 포함한다.); 질화붕소, 질화규소 등의 전형 원소의 질화물 등을 들 수 있고, 그 중에서도 산화규소가 바람직하다. 또한, 복합 산화물로서는, 코디어라이트, 탤크, 월라스토나이트, 멀라이트, 스테아타이트, 포스테라이트 등을 들 수 있다. 무공질 무기 미립자의 재질은, 1종류에 한정되지 않고, 2종류 이상을 조합해도 좋다.The material of the non-porous inorganic fine particles is usually an oxide (composite oxide is also included) of typical elements such as silicon oxide (silicon monoxide, silicon dioxide (silica), etc.) and aluminum oxide (alumina); transition metal oxides (composite oxides are also included), such as titanium oxide (titanium dioxide (titania) etc.), iron oxide, and zirconium oxide (zirconium dioxide (zirconia)); and nitrides of typical elements such as boron nitride and silicon nitride, and among them, silicon oxide is preferable. Further, examples of the composite oxide include cordierite, talc, wollastonite, mullite, steatite, forsterite, and the like. The material of the non-porous inorganic fine particles is not limited to one type, and two or more types may be combined.

무공질 무기 미립자의 평균 일차 입자 직경은, 0.2∼50 ㎛이지만, 바람직하게는 0.3 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 0.4 ㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 0.5 ㎛ 이상이고, 바람직하게는 40 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 30 ㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 20 ㎛ 이하, 특히 바람직하게는 10 ㎛ 이하, 가장 바람직하게는 5 ㎛ 이하이다. 상기한 범위 내이면, 적당한 비표면적이 되어 양호한 유전 정접을 확보할 수 있고, 복합 재료의 표면을 평활한 면으로 하기 쉬워지며, 고주파용의 기판에 보다 적합한 재료가 된다. 또한, 무공질 무기 미립자의 평균 일차 입자 직경은, SEM에 의한 관찰로 입자 직경을 측정하고, 측정값을 평균화하여 얻은 수치로 한다. 구체적으로는, 랜덤하게 무기 미립자 응집체(100개)를 선택하여, 각각의 입자 직경(입자의 장직경)을 측정하고, 얻어진 입자 직경을 평균하여 수치를 얻는 순서이다.The average primary particle diameter of the non-porous inorganic fine particles is 0.2 to 50 µm, but preferably 0.3 µm or more, more preferably 0.4 µm or more, still more preferably 0.5 µm or more, preferably 40 µm or less, more preferably preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, particularly preferably 10 μm or less, most preferably 5 μm or less. If it is within the above range, a suitable specific surface area can be obtained, a good dielectric loss tangent can be ensured, the surface of the composite material can be easily made a smooth surface, and the material is more suitable for a high frequency substrate. In addition, let the average primary particle diameter of nonporous inorganic fine particles be the numerical value obtained by measuring a particle diameter by observation by SEM, and averaging the measured value. Specifically, it is a procedure in which 100 inorganic fine particle aggregates are randomly selected, each particle diameter (the long diameter of the particle) is measured, and the obtained particle diameter is averaged to obtain a numerical value.

무공질 무기 미립자의 BET 비표면적은, 통상 0.1 ㎡/g 이상, 바람직하게는 0.5 ㎡/g 이상, 보다 바람직하게는 1 ㎡/g 이상, 더욱 바람직하게는 2 ㎡/g 이상이고, 통상 30 ㎡/g 이하, 바람직하게는 25 ㎡/g 이하, 보다 바람직하게는 20 ㎡/g 이하, 더욱 바람직하게는 15 ㎡/g 이하, 특히 바람직하게는 10 ㎡/g 이하이다. 상기 범위 내이면, 양호한 유전 정접을 확보할 수 있고, 복합 재료의 표면을 평활한 면으로 하기 쉬워지며, 고주파용의 기판에 보다 적합한 재료가 된다. 또한, 무공질 무기 미립자의 BET 비표면적은, 가스 흡착법(특히 질소 흡착 등온선)에 의해 측정한 가스 흡착량 등을 BET식에 대입하여 산출한 수치로 하고, 복합 재료의 제조에 사용하기 전의 수치로 나타내는 것으로 한다.The nonporous inorganic fine particles have a BET specific surface area of usually 0.1 m 2 /g or more, preferably 0.5 m 2 /g or more, more preferably 1 m 2 /g or more, still more preferably 2 m 2 /g or more, and usually 30 m 2 /g or less, preferably 25 m 2 /g or less, more preferably 20 m 2 /g or less, still more preferably 15 m 2 /g or less, particularly preferably 10 m 2 /g or less. If it is within the above range, good dielectric loss tangent can be ensured, the surface of the composite material can be easily made a smooth surface, and the material is more suitable for a high frequency substrate. In addition, the BET specific surface area of the non-porous inorganic fine particles is a numerical value calculated by substituting the gas adsorption amount measured by the gas adsorption method (especially the nitrogen adsorption isotherm) into the BET formula, and is a numerical value before use in the manufacture of the composite material. to indicate

무공질 무기 미립자의 비유전율은, 통상 10 이하, 바람직하게는 8 이하, 보다 바람직하게는 7 이하, 더욱 바람직하게는 6 이하, 특히 바람직하게는 5 이하이고, 통상 3 이상이다. 또한, 무공질 무기 미립자의 비유전율은, 일본 공업 규격 JIS C2565에 준거한 방법에 의해 결정되는 수치로 한다.The dielectric constant of the nonporous inorganic fine particles is usually 10 or less, preferably 8 or less, more preferably 7 or less, still more preferably 6 or less, particularly preferably 5 or less, and usually 3 or more. In addition, let the dielectric constant of a nonporous inorganic fine particle be the numerical value determined by the method based on Japanese Industrial Standard JIS C2565.

무공질 무기 미립자의 시판품으로서는, 덴카사 제조 SFP-130MC, SFP-30M, FB-3SDC 등의 용융 실리카, AGC 세라믹스사 제조 코디어라이트 분말 FINE 타입, ELP-150N, ELP-325N 등의 코디어라이트, 미즈시마 고킨테츠사 제조 FS-1, HP-P1, HP40J 시리즈 등의 질화붕소, 닛폰 탤크사 제조 나노에이스 D-600, D-800, D-1000, FG-15 등의 탤크 등을 들 수 있다.Examples of commercially available nonporous inorganic fine particles include fused silica such as SFP-130MC, SFP-30M, and FB-3SDC manufactured by Denka Corporation, cordierite powder FINE type manufactured by AGC Ceramics, and cordierite such as ELP-150N and ELP-325N. and talc, such as boron nitride such as FS-1, HP-P1, and HP40J series manufactured by Kokintetsu Mizushima, and Nanoace D-600, D-800, D-1000, and FG-15 manufactured by Nippon Talc. .

(그 외의 충전제)(Other fillers)

복합 재료는, 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자에 해당하지 않는 충전제(이하, 「그 외의 충전제」라고 약기하는 경우가 있다.)를 포함하고 있어도 좋고, 충전제로서 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자만을 포함하는 것도 바람직하다. 그 외의 충전제로서는, 입자형의 충전제와 섬유형의 충전제를 들 수 있고, 입자형의 충전제로서는, 예컨대, 카본 블랙, 흑연 등의 고체 탄소; 실리카 벌룬, 유리 벌룬 등의 중공 무기 입자 등을 들 수 있으며, 섬유형의 충전제로서는, 예컨대, 유리 파이버, 탄소 섬유 등을 들 수 있다. 그 외의 충전제는, 1종류에 한정되지 않고, 2종류 이상을 조합해도 좋다.The composite material may contain an inorganic fine particle aggregate and a filler that does not correspond to the non-porous inorganic fine particle (hereinafter, it may be abbreviated as "other filler"), and only the inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle as the filler. It is also preferable to include. Examples of other fillers include particulate fillers and fibrous fillers. Examples of particulate fillers include solid carbon such as carbon black and graphite; Hollow inorganic particles, such as a silica balloon and a glass balloon, etc. are mentioned, As a fibrous filler, glass fiber, carbon fiber, etc. are mentioned, for example. Other fillers are not limited to one type, You may combine two or more types.

충전제(무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자를 포함한다.)는, 소수성 기를 갖는 표면 수식제(이하, 「표면 수식제」라고 약기하는 경우가 있다.)로 표면이 수식되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the surface of the filler (including inorganic fine particle aggregates and non-porous inorganic fine particles) is modified with a surface modifying agent having a hydrophobic group (hereinafter sometimes abbreviated as "surface modifying agent").

이하, 「표면 수식제」에 의한 수식에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the modification by the "surface modifier" will be described in detail.

표면 수식제의 소수성 기로서는, 플루오로기(-F), 탄화수소기(-CnH2n+1(n=1∼30)) 등을 들 수 있으나, 물뿐만이 아니라, 유제(油劑)에 대해서도 발액성(撥液性)을 발하는 플루오로기가 특히 바람직하다.Examples of the hydrophobic group of the surface modifier include a fluoro group (-F), a hydrocarbon group (-C n H 2n+1 (n=1 to 30)), and the like. Also, the fluoro group which emits liquid repellency is especially preferable.

표면 수식제는, 충전제의 표면에 대해 화학적으로 흡착(반응)되는 것이어도, 충전제의 표면에 물리적으로 흡착되는 것이어도 좋고, 저분자 화합물이어도, 고분자 화합물이어도 좋다. 충전제의 표면에 대해 화학적으로 흡착(반응)되는 표면 수식제는, 통상, 충전제의 표면 작용기(히드록실기(-OH) 등)와 반응하는 반응성 작용기를 갖고 있고, 반응성 작용기로서는 알콕시실릴기(-SiOR(R의 탄소 원자수는 1∼6)), 클로로실릴기(-SiCl), 브로모실릴기(-SiBr), 히드로실릴기(-SiH) 등을 들 수 있다. 또한, 충전제의 표면을 표면 수식제로 수식하는 방법은, 공지된 방법을 적절히 채용할 수 있는데, 충전제와 표면 수식제를 접촉시키는 것을 들 수 있다.The surface modifier may be chemically adsorbed (reacted) with respect to the surface of the filler, may be physically adsorbed to the surface of the filler, or may be a low molecular weight compound or a high molecular compound. The surface modifier chemically adsorbed (reacted) to the surface of the filler usually has a reactive functional group that reacts with the surface functional group of the filler (such as a hydroxyl group (-OH)), and the reactive functional group is an alkoxysilyl group (- SiOR (R has 1 to 6 carbon atoms), a chlorosilyl group (-SiCl), a bromosilyl group (-SiBr), a hydrosilyl group (-SiH), and the like. In addition, although a well-known method can be employ|adopted suitably as a method of modifying the surface of a filler with a surface modifier, making a filler and a surface modifier contact is mentioned.

표면 수식제는, 단독으로 혹은 2종 이상 함께 이용할 수 있고, 예컨대 충전제의 표면에 대해 반응성 작용기를 갖는 저분자 화합물의 표면 수식제를 반응시킨 후, 그 위에 소수성 기를 갖는 고분자 화합물의 표면 수식제를 물리적으로 흡착시켜도 좋다. 충전제의 재질이 이산화규소(실리카) 등이면, 염기성 수용액에 노출된 경우에 용해(분해)되어 버리는 경우가 있으나, 이와 같이 수식하면, 염기성 수용액에 대한 내성을 높일 수 있다.The surface modifying agent can be used alone or in combination of two or more. For example, after reacting the surface modifying agent of a low molecular compound having a reactive functional group with the surface of the filler, a surface modifying agent of a high molecular compound having a hydrophobic group thereon is physically applied. may be adsorbed. If the material of the filler is silicon dioxide (silica) or the like, it may dissolve (decompose) when exposed to a basic aqueous solution.

표면 수식제의 열분해 온도는, 통상 250℃ 이상, 바람직하게는 300℃ 이상, 보다 바람직하게는 350℃ 이상, 더욱 바람직하게는 360℃ 이상, 특히 바람직하게는 370℃ 이상이다. 상기한 범위 내이면, 고온 가열 등의 처리를 행해도 분해를 억제할 수 있다. 표면 수식제의 열분해 온도는, 열중량 감소 분석법(TG-DTA)에 의해, 20℃/분으로 승온시켰을 때에 5% 중량 감소하는 온도로 한다.The thermal decomposition temperature of the surface modifier is usually 250°C or higher, preferably 300°C or higher, more preferably 350°C or higher, still more preferably 360°C or higher, and particularly preferably 370°C or higher. If it is within the above range, decomposition can be suppressed even if a process, such as high temperature heating, is performed. The thermal decomposition temperature of the surface modifier is a temperature at which the weight decreases by 5% when the temperature is raised at 20°C/min by thermogravimetric reduction analysis (TG-DTA).

플루오로기와 반응성 작용기를 갖는 저분자 화합물의 표면 수식제로서는, 하기 식으로 표시되는 것을 들 수 있다. 또한, 하기 식으로 표시되는 화합물은 시판되어 있고, 적절히 입수하여 표면 수식제로서 이용할 수 있다.Examples of the surface modifying agent for a low molecular weight compound having a fluoro group and a reactive functional group include those represented by the following formula. In addition, the compound represented by the following formula is commercially available, and it can obtain suitably and can use it as a surface modifier.

Figure pct00001
Figure pct00001

플루오로기를 갖는 고분자 화합물의 표면 수식제로서는, 하기 식으로 표시되는 것을 들 수 있다.Examples of the surface modifying agent for the polymer compound having a fluoro group include those represented by the following formula.

Figure pct00002
Figure pct00002

표면 수식제로서 시판되어 있는 용액을 이용해도 좋고, 적합한 것으로서, 도쿄 가세이 고교사 제조 T1770, 3M사 제조 Novec(등록 상표) 2202를 들 수 있다. Novec(등록 상표) 2202는, 플루오로기를 갖는 고분자 화합물을 함유하고 있고, 「플루오로알킬실란 폴리머」가 배합되어 있는 것이 공표되어 있다. Novec(등록 상표) 2202를 표면 수식제로서 사용하면, 비교적 간이적인 조작으로 복합 재료의 임계 발액 장력을 낮게 억제하기 쉬워지는 특장(特長)을 갖는다. A commercially available solution may be used as the surface modifier, and suitable examples include T1770 by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd. and Novec (registered trademark) 2202 by 3M. Novec (registered trademark) 2202 contains a high molecular compound having a fluoro group, and it is published that "fluoroalkylsilane polymer" is mix|blended. When Novec (registered trademark) 2202 is used as a surface modifier, it has a feature that it is easy to suppress the critical liquid-repellent tension of the composite material by a relatively simple operation.

충전제에 있어서의 표면 수식제의 함유량(유기물의 함유량)은, 통상 0.1 질량% 이상, 바람직하게는 1 질량% 이상, 보다 바람직하게는 2 질량% 이상, 더욱 바람직하게는 3 질량% 이상, 특히 바람직하게는 4 질량% 이상이고, 통상 50 질량% 이하, 바람직하게는 40 질량% 이하, 보다 바람직하게는 30 질량% 이하, 더욱 바람직하게는 25 질량% 이하, 특히 바람직하게는 20 질량% 이하이다.The content of the surface modifier in the filler (content of organic matter) is usually 0.1 mass% or more, preferably 1 mass% or more, more preferably 2 mass% or more, still more preferably 3 mass% or more, particularly preferably Preferably it is 4 mass % or more, Usually 50 mass % or less, Preferably it is 40 mass % or less, More preferably, it is 30 mass % or less, More preferably, it is 25 mass % or less, Especially preferably, it is 20 mass % or less.

(복합 재료)(composite material)

복합 재료는, 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 총 함유량이 20∼90 질량%인데, 「총 함유량」이란, 복합 재료를 100 질량%로 했을 때의 무기 미립자 응집체의 함유량과 무공질 무기 미립자의 함유량의 합계 함유량을 의미하고, 무기 미립자 응집체 및/또는 무공질 무기 미립자가 2종류 이상의 것을 포함하는 경우에는, 이들 모든 합계 함유량을 의미하는 것으로 한다. 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 총 함유량은, 바람직하게는 30 질량% 이상, 보다 바람직하게는 40 질량% 이상, 더욱 바람직하게는 50 질량% 이상이고, 바람직하게는 80 질량% 이하, 보다 바람직하게는 75 질량% 이하, 더욱 바람직하게는 70 질량% 이하이다. 또한, 불소계 수지, 및 무기 미립자 응집체 및 무공질 무기 미립자의 합계를 100 질량부로 했을 때에, 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 총 함유량이 통상 20∼90 질량부이고, 바람직하게는 30 질량부 이상, 보다 바람직하게는 40 질량부 이상, 더욱 바람직하게는 50 질량부 이상이며, 바람직하게는 80 질량부 이하, 보다 바람직하게는 75 질량부 이하, 더욱 바람직하게는 70 질량부 이하이다. 상기 범위 내이면, 비유전율, 유전 정접 등의 여러 가지 특성에 대해 조화를 이루기 쉬워진다.In the composite material, the total content of the inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle is 20 to 90 mass %, and the "total content" refers to the content of the inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle when the composite material is 100 mass %. The total content of the content is meant, and when the inorganic fine particle aggregate and/or the non-porous inorganic fine particles contain two or more types, all these total contents are meant. The total content of the inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particles is preferably 30 mass % or more, more preferably 40 mass % or more, still more preferably 50 mass % or more, preferably 80 mass % or less, more preferably Preferably it is 75 mass % or less, More preferably, it is 70 mass % or less. Further, when the total of the fluorine-based resin and the inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle is 100 parts by mass, the total content of the inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle is usually 20 to 90 parts by mass, preferably 30 parts by mass or more. , More preferably, it is 40 mass parts or more, More preferably, it is 50 mass parts or more, Preferably it is 80 mass parts or less, More preferably, it is 75 mass parts or less, More preferably, it is 70 mass parts or less. If it is in the said range, it will become easy to achieve harmony with respect to various characteristics, such as a dielectric constant and a dielectric loss tangent.

복합 재료는, 무기 미립자 응집체와 상기 무공질 무기 미립자의 총 함유량에 대한 상기 무공질 무기 미립자의 함유량의 질량비(상기 무공질 무기 미립자의 함유량/(상기 무기 미립자 응집체의 함유량+상기 무공질 무기 미립자의 함유량))가 0.15∼0.90이지만, 바람직하게는 0.2 이상, 보다 바람직하게는 0.3 이상, 더욱 바람직하게는 0.4 이상, 가장 바람직하게는 0.5 이상이고, 바람직하게는 0.8 이하, 보다 바람직하게는 0.75 이하, 더욱 바람직하게는 0.7 이하, 가장 바람직하게는 0.65 이하이다.The composite material has a mass ratio of the content of the non-porous inorganic fine particles to the total content of the inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle (the content of the non-porous inorganic fine particle / (the content of the inorganic fine particle aggregate + the non-porous inorganic fine particle) content)) is 0.15 to 0.90, preferably 0.2 or more, more preferably 0.3 or more, still more preferably 0.4 or more, most preferably 0.5 or more, preferably 0.8 or less, more preferably 0.75 or less; More preferably, it is 0.7 or less, and most preferably, it is 0.65 or less.

복합 재료에 있어서의 충전제의 총 함유량은, 통상 20∼90 질량%, 바람직하게는 30 질량% 이상, 보다 바람직하게는 40 질량% 이상, 더욱 바람직하게는 50 질량% 이상이고, 바람직하게는 80 질량% 이하, 보다 바람직하게는 75 질량% 이하, 더욱 바람직하게는 70 질량% 이하이다. 또한, 불소계 수지와 충전제의 합계를 100 질량부로 했을 때에, 충전제의 총 함유량은, 통상 20∼90 질량부이고, 바람직하게는 30 질량부 이상, 보다 바람직하게는 40 질량부 이상, 더욱 바람직하게는 50 질량부 이상이며, 바람직하게는 80 질량부 이하, 보다 바람직하게는 75 질량부 이하, 더욱 바람직하게는 70 질량부 이하이다. 상기 범위 내이면, 비유전율, 유전 정접 등의 여러 가지 특성에 대해 조화를 이루기 쉬워진다.The total content of the filler in the composite material is usually 20 to 90 mass %, preferably 30 mass % or more, more preferably 40 mass % or more, still more preferably 50 mass % or more, and preferably 80 mass % or more. % or less, more preferably 75 mass% or less, still more preferably 70 mass% or less. Further, when the total of the fluororesin and the filler is 100 parts by mass, the total content of the filler is usually 20 to 90 parts by mass, preferably 30 parts by mass or more, more preferably 40 parts by mass or more, still more preferably It is 50 mass parts or more, Preferably it is 80 mass parts or less, More preferably, it is 75 mass parts or less, More preferably, it is 70 mass parts or less. If it is in the said range, it will become easy to achieve harmony with respect to various characteristics, such as a dielectric constant and a dielectric loss tangent.

복합 재료는, 전술한 불소계 수지 및 충전제(무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자를 포함한다.) 이외의 것을 포함해도 좋으나, 복합 재료에 있어서의 불소계 수지 및 충전제의 합계 함유량은, 통상 60 질량% 이상, 바람직하게는 70 질량% 이상, 보다 바람직하게는 80 질량% 이상, 더욱 바람직하게는 90 질량% 이상, 특히 바람직하게는 100 질량%이다.The composite material may contain materials other than the above-described fluorine-based resin and filler (including inorganic fine particle aggregates and non-porous inorganic fine particles), but the total content of the fluorine-based resin and filler in the composite material is usually 60% by mass or more. , Preferably it is 70 mass % or more, More preferably, it is 80 mass % or more, More preferably, it is 90 mass % or more, Especially preferably, it is 100 mass %.

복합 재료의 형상은, 판형인데, 그 두께는 통상 2.0∼3000 ㎛이고, 바람직하게는 10 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 50 ㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 80 ㎛ 이상, 가장 바람직하게는 100 ㎛ 이상이며, 바람직하게는 2000 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 1000 ㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 800 ㎛ 이하, 특히 바람직하게는 600 ㎛ 이하, 가장 바람직하게는 400 ㎛ 이하이다. 상기한 범위 내이면, 복합 재료로서 양호한 비유전율 등을 확보할 수 있다.The shape of the composite material is plate-like, and the thickness is usually 2.0 to 3000 µm, preferably 10 µm or more, more preferably 50 µm or more, still more preferably 80 µm or more, and most preferably 100 µm or more. , preferably 2000 μm or less, more preferably 1000 μm or less, still more preferably 800 μm or less, particularly preferably 600 μm or less, most preferably 400 μm or less. If it is within the above range, it is possible to ensure a good dielectric constant and the like as a composite material.

복합 재료의 치수(최대 직경, 세로 또는 가로의 길이)는, 통상 20∼1500 ㎜이지만, 바람직하게는 30 ㎜ 이상, 보다 바람직하게는 40 ㎜ 이상, 더욱 바람직하게는 50 ㎜ 이상, 가장 바람직하게는 60 ㎜ 이상이고, 바람직하게는 1400 ㎜ 이하, 보다 바람직하게는 1300 ㎜ 이하이다.The dimensions (maximum diameter, longitudinal or transverse length) of the composite material are usually 20 to 1500 mm, but preferably 30 mm or more, more preferably 40 mm or more, still more preferably 50 mm or more, and most preferably It is 60 mm or more, Preferably it is 1400 mm or less, More preferably, it is 1300 mm or less.

복합 재료의 기공률은, 통상 10∼90 체적%이지만, 바람직하게는 15 체적% 이상, 보다 바람직하게는 20 체적% 이상, 더욱 바람직하게는 30 체적% 이상, 특히 바람직하게는 40 체적% 이상이고, 바람직하게는 80 체적% 이하, 보다 바람직하게는 70 체적% 이하, 더욱 바람직하게는 60 체적% 이하이다. 상기 범위 내이면, 복합 재료로서 양호한 비유전율, 열팽창 계수 등의 특성을 확보할 수 있다. 또한, 복합 재료의 기공률은, 복합 재료의 체적, 불소계 수지의 비중과 질량(배합 질량), 충전제의 비중과 질량(배합 질량)을 측정하고, 하기 식에 대입함으로써 산출되는 수치로 한다.The porosity of the composite material is usually 10 to 90% by volume, but preferably 15% by volume or more, more preferably 20% by volume or more, still more preferably 30% by volume or more, particularly preferably 40% by volume or more, Preferably it is 80 volume% or less, More preferably, it is 70 volume% or less, More preferably, it is 60 volume% or less. If it is in the said range, characteristics, such as a dielectric constant and thermal expansion coefficient, favorable as a composite material can be ensured. In addition, the porosity of the composite material is a numerical value calculated by measuring the volume of the composite material, the specific gravity and mass of the fluororesin (mixed mass), and the specific gravity and mass (mixing mass) of the filler, and substituting it into the following formula.

[기공률(체적%)]=([복합 재료의 체적]-[불소계 수지의 질량/불소계 수지의 비중]-[충전제의 질량/충전제의 비중])/[복합 재료의 체적]×100[Porosity (volume %)] = ([volume of composite material]-[mass of fluororesin / specific gravity of fluororesin]-[mass of filler / specific gravity of filler])/[volume of composite material] x 100

복합 재료의 비유전율(주파수: 10 ㎓)은, 통상 3.0 이하, 바람직하게는 2.60 이하, 보다 바람직하게는 2.40 이하, 더욱 바람직하게는 2.00 이하, 특히 바람직하게는 1.80 이하이고, 통상 1.55 이상이다. 또한, 복합 재료의 비유전율은, 공동 공진기 섭동법(측정 주파수: 10 ㎓)에 의해 복소 유전율을 측정하여 산출한 실수부(εr')의 수치로 한다.The dielectric constant (frequency: 10 GHz) of the composite material is usually 3.0 or less, preferably 2.60 or less, more preferably 2.40 or less, still more preferably 2.00 or less, particularly preferably 1.80 or less, and usually 1.55 or more. The relative dielectric constant of the composite material is a numerical value of the real part εr' calculated by measuring the complex dielectric constant by the cavity resonator perturbation method (measurement frequency: 10 GHz).

복합 재료의 유전 정접(주파수: 10 ㎓)은, 통상 0.01 이하, 바람직하게는 0.008 이하, 보다 바람직하게는 0.006 이하, 더욱 바람직하게는 0.004 이하, 특히 바람직하게는 0.002 이하이고, 통상 0.0005 이상이다. 또한, 복합 재료의 비유전율은, 공동 공진기 섭동법(측정 주파수: 10 ㎓)에 의해 복소 유전율을 측정하여 산출한 실수부(εr')에 대한 허수부(εr")의 비율(εr"/εr')로 한다.The dielectric loss tangent (frequency: 10 GHz) of the composite material is usually 0.01 or less, preferably 0.008 or less, more preferably 0.006 or less, still more preferably 0.004 or less, particularly preferably 0.002 or less, and usually 0.0005 or more. In addition, the relative permittivity of the composite material is determined by measuring the complex permittivity by the cavity resonator perturbation method (measurement frequency: 10 GHz) and calculated by measuring the ratio of the imaginary part (εr') to the real part (εr') (εr"/εr) ').

복합 재료의 열팽창 계수(Z축 방향)는, 통상 100 ppm/K 이하, 바람직하게는 90 ppm/K 이하, 보다 바람직하게는 80 ppm/K 이하, 더욱 바람직하게는 70 ppm/K 이하, 특히 바람직하게는 60 ppm/K 이하, 가장 바람직하게는 50 ppm/K 이하이고, 통상 5 ppm/K 이상이다. 또한, 복합 재료의 열팽창 계수(Z축 방향)는, 레이저 간섭법(레이저 열팽창계, 측정 온도 영역: -50∼200℃, 승온 속도: 2℃/분, 분위기: He, 부하 하중: 17 g)을 이용하여, 일본 공업 규격 JIS R3251-1990에 준거한 식으로부터 산출되는 수치로 한다.The coefficient of thermal expansion (Z-axis direction) of the composite material is usually 100 ppm/K or less, preferably 90 ppm/K or less, more preferably 80 ppm/K or less, still more preferably 70 ppm/K or less, particularly preferably It is preferably 60 ppm/K or less, most preferably 50 ppm/K or less, and is usually 5 ppm/K or more. In addition, the thermal expansion coefficient (Z-axis direction) of the composite material was determined by laser interferometry (laser thermal extensometer, measurement temperature range: -50 to 200°C, temperature increase rate: 2°C/min, atmosphere: He, load: 17 g) It is set as the numerical value computed from the formula based on Japanese Industrial Standard JIS R3251-1990 using

복합 재료의 인장 강도는, 통상 1∼50 ㎫, 바람직하게는 5 ㎫ 이상, 보다 바람직하게는 7 ㎫ 이상, 더욱 바람직하게는 10 ㎫ 이상이고, 바람직하게는 45 ㎫ 이하, 보다 바람직하게는 40 ㎫ 이하, 더욱 바람직하게는 35 ㎫ 이하이다. 인장 강도는, 일본 공업 규격 JIS K7161에 정해진 방법에 준거하여 측정한 수치로 한다(상세한 조건은 후술하는 것을 참조.).The tensile strength of the composite material is usually 1 to 50 MPa, preferably 5 MPa or more, more preferably 7 MPa or more, still more preferably 10 MPa or more, preferably 45 MPa or less, more preferably 40 MPa or more. Hereinafter, more preferably, it is 35 MPa or less. The tensile strength is a numerical value measured in accordance with the method specified in Japanese Industrial Standard JIS K7161 (refer to the detailed conditions mentioned later.).

복합 재료의 인장 탄성률은, 통상 0.05∼1 ㎬, 바람직하게는 0.08 ㎬ 이상, 보다 바람직하게는 0.1 ㎬ 이상, 더욱 바람직하게는 0.15 ㎬ 이상이고, 바람직하게는 0.8 ㎬ 이하, 보다 바람직하게는 0.6 ㎬ 이하, 더욱 바람직하게는 0.4 ㎬ 이하이다. 인장 탄성률은, 일본 공업 규격 JIS K7161에 정해진 방법에 준거하여 측정한 수치로 한다(상세한 조건은 후술하는 것을 참조.).The tensile modulus of elasticity of the composite material is usually 0.05 to 1 GPa, preferably 0.08 GPa or more, more preferably 0.1 GPa or more, still more preferably 0.15 GPa or more, preferably 0.8 GPa or less, more preferably 0.6 GPa or more. Hereinafter, more preferably, it is 0.4 GPa or less. The tensile modulus of elasticity is a numerical value measured in accordance with the method specified in Japanese Industrial Standards JIS K7161 (refer to the detailed conditions mentioned later.).

<복합 재료의 용도><Use of Composite Material>

복합 재료의 용도는, 특별히 한정되지 않으나, 바람직하게는 전자 회로 기판, 보다 바람직하게는 휴대 전화, 컴퓨터 등의 회로 기판, 밀리파 레이더용의 마이크로스트립 패치 안테나의 기판 등을 들 수 있다. 즉, 전술한 복합 재료를 포함하여 이루어지는 기판(이하, 「기판」이라고 약기하는 경우가 있다.)도 본 발명의 일 양태로서 들 수 있다.The use of the composite material is not particularly limited, but preferably an electronic circuit board, more preferably a circuit board for a mobile phone or a computer, and a microstrip patch antenna board for millimeter wave radar. That is, a substrate (hereinafter, sometimes abbreviated as "substrate") made of the above-described composite material is also mentioned as an aspect of the present invention.

기판은, 복합 재료를 포함하여 이루어지는 것인데, 복합 재료의 한쪽 면 또는 양면에 접착된 열가소성 수지를 포함하여 이루어지는 층(이하, 「수지층」이라고 약기하는 경우가 있다.)을 갖는 것이 바람직하고, 열가소성 수지로서는 불소계 수지가 특히 바람직하다.Although the substrate is made of a composite material, it is preferable to have a layer (hereinafter, sometimes abbreviated as "resin layer") made of a thermoplastic resin adhered to one or both surfaces of the composite material. As resin, a fluorine-type resin is especially preferable.

불소계 수지로서는, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE, 융점: 327℃), 퍼플루오로알콕시알칸(PFA, 융점: 310℃), 테트라플루오로에틸렌·헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP, 융점: 260℃), 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTEF, 융점: 220℃), 테트라플루오로에틸렌·에틸렌 공중합체(ETFE, 융점: 270℃), 클로로트리플루오로에틸렌·에틸렌 공중합체(ECTFE, 융점: 270℃), 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF, 융점: 151∼178℃)를 들 수 있고, PTFE, PFA가 특히 바람직하다. 이들은 단독으로 혹은 2종 이상 함께 이용할 수 있다.As the fluorine-based resin, polytetrafluoroethylene (PTFE, melting point: 327°C), perfluoroalkoxyalkane (PFA, melting point: 310°C), tetrafluoroethylene/hexafluoropropylene copolymer (FEP, melting point: 260°C) ), polychlorotrifluoroethylene (PCTEF, melting point: 220°C), tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE, melting point: 270°C), chlorotrifluoroethylene-ethylene copolymer (ECTFE, melting point: 270°C) ), polyvinylidene fluoride (PVDF, melting point: 151 to 178°C), with PTFE and PFA being particularly preferred. These can be used individually or in combination of 2 or more types.

수지층의 두께는, 통상 0.050∼30 ㎛이지만, 바람직하게는 0.100 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 0.40 ㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 1.0 ㎛ 이상, 가장 바람직하게는 1.5 ㎛ 이상이고, 바람직하게는 20 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 10 ㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 8.0 ㎛ 이하, 특히 바람직하게는 6.0 ㎛ 이하, 가장 바람직하게는 5.0 ㎛ 이하이다. 기판은 안테나 등의 제조 과정 등에 사용하는 여러 가지 약품에 노출되게 된다. 예컨대 침투성이 높은 처리액에 노출된 경우에, 처리액이 내부에 침투하여 기판에 외관 불량이나 특성 변화가 발생하는 경우가 있다. 수지층은, 처리액의 침투를 억제하는 기능도 있기 때문에, 상기 범위 내이면, 도체층 등의 박리를 효과적으로 억제할 수 있고, 전자 회로 기판의 제조에 사용되는 침투성이 높은 처리액 등에 노출된 경우라도 외관 불량이나 특성 변화가 발생하기 어려워진다. 또한, 수지층의 두께는, 수지층의 두께 방향 말단으로부터 복합 재료와 수지층의 계면까지의 거리에 대해, 5∼10점 정도 측정하고, 이들을 평균한 수치를 의미하는 것으로 한다.The thickness of the resin layer is usually 0.050 to 30 µm, but preferably 0.100 µm or more, more preferably 0.40 µm or more, still more preferably 1.0 µm or more, most preferably 1.5 µm or more, and preferably 20 µm or more. or less, more preferably 10 µm or less, still more preferably 8.0 µm or less, particularly preferably 6.0 µm or less, and most preferably 5.0 µm or less. The substrate is exposed to various chemicals used in the manufacturing process of antennas and the like. For example, when exposed to a treatment liquid with high permeability, the treatment liquid permeates therein, resulting in poor appearance or a change in characteristics of the substrate. Since the resin layer also has a function of suppressing penetration of the processing liquid, if it is within the above range, peeling of the conductor layer or the like can be effectively suppressed, and when exposed to a processing liquid with high permeability used in the manufacture of electronic circuit boards, etc. Even if it is, it becomes difficult to generate|occur|produce an appearance defect or a characteristic change. In addition, the thickness of a resin layer shall mean the numerical value which measured about 5-10 points|pieces with respect to the distance from the thickness direction terminal of a resin layer to the interface of a composite material and a resin layer, and averaged these.

수지층은, 복합 재료의 한쪽 면에만 적층(접착)될 뿐만이 아니라, 복합 재료의 양면에 적층되어 있어도 좋다.The resin layer may be laminated not only on one side of the composite material (adhesive), but also on both surfaces of the composite material.

복합 재료와 수지층의 박리 강도는, 통상 0.2∼2.5 N/㎜, 바람직하게는 0.3 N/㎜ 이상, 보다 바람직하게는 0.4 N/㎜ 이상, 더욱 바람직하게는 0.5 N/㎜ 이상이고, 바람직하게는 2.4 N/㎜ 이하, 보다 바람직하게는 2.2 N/㎜ 이하, 더욱 바람직하게는 2 N/㎜ 이하이다. 박리 강도는, 일본 공업 규격 JIS C6481:1996에 정해진 방법에 준거하여 측정한 수치로 한다(상세한 조건은 후술하는 것을 참조.).The peel strength of the composite material and the resin layer is usually 0.2 to 2.5 N/mm, preferably 0.3 N/mm or more, more preferably 0.4 N/mm or more, still more preferably 0.5 N/mm or more, preferably is 2.4 N/mm or less, more preferably 2.2 N/mm or less, still more preferably 2 N/mm or less. Peel strength is set as the numerical value measured based on the method prescribed|regulated to Japanese Industrial Standards JIS C6481:1996 (refer the thing mentioned later for detailed conditions.).

기판에는, 통상 도체층이 형성되고, 도체층은 통상 금속층이다. 또한, 수지층을 갖는 경우에는, 도체층은 수지층에 적층된다.A conductor layer is normally formed in a board|substrate, and a conductor layer is a metal layer normally. Moreover, when it has a resin layer, a conductor layer is laminated|stacked on the resin layer.

금속층의 금속종은, 통상 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 이들의 금속종을 포함하는 합금 등을 들 수 있다.As for the metal species of a metal layer, normally gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), copper (Cu), aluminum (Al), the alloy containing these metal species, etc. are mentioned.

금속층의 두께는, 통상 5 ㎛ 이상, 바람직하게는 10 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 15 ㎛ 이상이고, 통상 50 ㎛ 이하, 바람직하게는 45 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 40 ㎛ 이하이다.The thickness of the metal layer is usually 5 µm or more, preferably 10 µm or more, more preferably 15 µm or more, and is usually 50 µm or less, preferably 45 µm or less, and more preferably 40 µm or less.

도체층의, 복합 재료 또는 수지층에 대한 접촉면의 최대 높이 Rz는, 통상 0.020 ㎛ 이상, 바람직하게는 0.050 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 0.10 ㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 0.20 ㎛ 이상, 특히 바람직하게는 0.30 ㎛ 이상이고, 통상 10 ㎛ 이하, 바람직하게는 8.0 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 6.0 ㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 4.0 ㎛ 이하, 특히 바람직하게는 2.0 ㎛ 이하이다. 또한, 「최대 높이 Rz」는, 일본 공업 규격 JIS B0601:2013(국제 표준화 기구 규격 ISO4287에 대해 기술적 내용을 변경하지 않고 작성한 일본 공업 규격이다.)에 준거한 방법에 의해 결정되는 수치를 의미하는 것으로 한다. 또한, 「도체층의, 복합 재료 또는 수지층에 대한 접촉면의 최대 높이 Rz」는, 직접 측정하는 것 외에, 도체층에 사용하는 재료의 최대 높이 Rz를 그대로 사용해도 좋다.The maximum height Rz of the contact surface of the conductor layer to the composite material or resin layer is usually 0.020 µm or more, preferably 0.050 µm or more, more preferably 0.10 µm or more, still more preferably 0.20 µm or more, particularly preferably It is 0.30 micrometer or more, Usually 10 micrometers or less, Preferably it is 8.0 micrometers or less, More preferably, it is 6.0 micrometers or less, More preferably, it is 4.0 micrometers or less, Especially preferably, it is 2.0 micrometers or less. In addition, "maximum height Rz" means a numerical value determined by a method based on Japanese industrial standard JIS B0601:2013 (It is a Japanese industrial standard created without changing technical content with respect to International Organization for Standardization Standard ISO4287.) do. In addition, "the maximum height Rz of the contact surface of the conductor layer with respect to the composite material or resin layer" is directly measured, and the maximum height Rz of the material used for the conductor layer may be used as it is.

수지층의 두께로부터 도체층의 최대 높이 Rz를 뺀 두께((수지층의 두께)-(도체층의 최대 높이 Rz))는, 통상 0.005 ㎛ 이상, 바람직하게는 0.010 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 0.050 ㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 0.10 ㎛ 이상, 특히 바람직하게는 0.50 ㎛ 이상이고, 통상 29.98 ㎛ 이하, 바람직하게는 20 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 15 ㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 10 ㎛ 이하, 특히 바람직하게는 5.0 ㎛ 이하이다. 상기한 범위 내이면, 수지층의 두께가 충분히 확보되기 때문에, 전자 회로 기판의 제조에 사용되는 침투성이 높은 처리액 등에 노출된 경우라도 외관 불량이나 특성 변화가 발생하기 어려워진다.The thickness ((thickness of resin layer)-(maximum height Rz of conductor layer)) obtained by subtracting the maximum height Rz of the conductor layer from the thickness of the resin layer is usually 0.005 µm or more, preferably 0.010 µm or more, more preferably 0.050 µm or more. μm or more, more preferably 0.10 μm or more, particularly preferably 0.50 μm or more, usually 29.98 μm or less, preferably 20 μm or less, more preferably 15 μm or less, still more preferably 10 μm or less, particularly preferably preferably 5.0 μm or less. If it is within the above range, since the thickness of the resin layer is sufficiently ensured, even when exposed to a highly permeable processing liquid used for manufacturing an electronic circuit board, etc., it becomes difficult to generate an appearance defect or a change in characteristics.

<복합 재료의 제조 방법><Method for manufacturing composite material>

복합 재료는, 하기의 수지 준비 공정, 충전제 준비 공정, 혼합 공정, 성형 공정, 및 압연 공정을 포함하는 제조 방법(이하, 「복합 재료의 제조 방법」이라고 약기하는 경우가 있다.)에 의해 제조되는 것이 바람직하다.The composite material is manufactured by a manufacturing method (hereinafter, sometimes abbreviated as "manufacturing method of a composite material") including the following resin preparation process, filler preparation process, mixing process, molding process, and rolling process. it is preferable

·불소계 수지를 준비하는 수지 준비 공정(이하, 「수지 준비 공정」이라고 약기하는 경우가 있다.).- A resin preparation step of preparing a fluorine-based resin (hereinafter, it may be abbreviated as a “resin preparation step”).

·충전제를 준비하는 충전제 준비 공정(이하, 「충전제 준비 공정」이라고 약기하는 경우가 있다.).- Filler preparation process of preparing a filler (Hereinafter, it may abbreviate as "filler preparation process".).

·상기 불소계 수지, 상기 충전제, 및 휘발성 첨가제를 혼합하여 전구체 조성물을 얻는 혼합 공정(이하, 「혼합 공정」이라고 약기하는 경우가 있다.).- A mixing step of mixing the fluororesin, the filler, and a volatile additive to obtain a precursor composition (hereinafter, it may be abbreviated as a “mixing step”).

·상기 전구체 조성물을 성형하여 압연 가능한 피압연물을 얻는 성형 공정(이하, 「성형 공정」이라고 약기하는 경우가 있다.).- A shaping|molding process of shaping|molding the said precursor composition and obtaining a to-be-rolled object which can be rolled (Hereinafter, it may abbreviate as "molding process".).

·상기 피압연물을 압연하여 복합 재료를 얻는 압연 공정(이하, 「압연 공정」이라고 약기하는 경우가 있다.).- A rolling process of rolling the to-be-rolled object to obtain a composite material (hereinafter, it may be abbreviated as "rolling process").

이하, 「수지 준비 공정」, 「충전제 준비 공정」, 「혼합 공정」, 「성형 공정」, 「압연 공정」 등에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, "resin preparation process", "filler preparation process", "mixing process", "forming process", "rolling process", etc. are demonstrated in detail.

수지 준비 공정은, 불소계 수지를 준비하는 공정인데, 불소계 수지는 입수해도, 스스로 제조해도 좋다. 준비하는 불소계 수지의 조립물(造粒物)(이차 입자 이후의 입자)의 평균 입자 직경(메디안 직경 d50)은, 통상 0.5 ㎛ 이상, 바람직하게는 1.0 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 10 ㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 30 ㎛ 이상이고, 통상 700 ㎛ 이하, 바람직하게는 300 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 150 ㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 100 ㎛ 이하, 특히 바람직하게는 50 ㎛ 이하이다. 상기한 범위 내이면, 불소계 수지와 충전제를 균일하게 분산시키기 쉬워진다. 또한, 불소계 수지의 조립물은, 일본 공업 규격 JIS Z8825:2001에 준거한 방법에 의해 결정할 수 있다.Although a resin preparation process is a process of preparing a fluororesin, you may obtain a fluororesin, or you may manufacture it by yourself. The average particle diameter (median diameter d50) of the prepared fluorine-based resin granulated product (particles after secondary particles) is usually 0.5 µm or more, preferably 1.0 µm or more, more preferably 10 µm or more, More preferably, it is 30 micrometers or more, Usually 700 micrometers or less, Preferably it is 300 micrometers or less, More preferably, it is 150 micrometers or less, More preferably, it is 100 micrometers or less, Especially preferably, it is 50 micrometers or less. It becomes easy to disperse|distribute a fluororesin and a filler uniformly as it is in an above-mentioned range. In addition, the granulated material of a fluororesin can be determined by the method based on Japanese Industrial Standard JIS Z8825:2001.

충전제 준비 공정은, 충전제를 준비하는 공정인데, 충전제(무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자를 포함한다.)는 입수해도, 스스로 제조해도 좋다. 준비하는 충전제, 특히 무기 미립자 응집체의 조립물(이차 입자 이후의 입자)의 평균 입자 직경(메디안 직경 d50)은, 통상 0.1 ㎛ 이상, 바람직하게는 0.5 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 1 ㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 3 ㎛ 이상이고, 통상 500 ㎛ 이하, 바람직하게는 200 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 100 ㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 50 ㎛ 이하, 특히 바람직하게는 20 ㎛ 이하이다. 무공질 무기 미립자의 조립물(이차 입자 이후의 입자)의 평균 입자 직경(메디안 직경 d50)은, 통상 1 ㎛ 이상, 바람직하게는 3 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 5 ㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 10 ㎛ 이상이고, 통상 2000 ㎛ 이하, 바람직하게는 1000 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 500 ㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 100 ㎛ 이하, 특히 바람직하게는 50 ㎛ 이하이다. 상기한 범위 내이면, 불소계 수지와 충전제를 균일하게 분산시키기 쉬워진다. 또한, 충전제의 조립물은, 일본 공업 규격 JIS Z8825:2001에 준거한 방법에 의해 결정할 수 있다.Although a filler preparation process is a process of preparing a filler, a filler (an inorganic fine particle aggregate and non-porous inorganic fine particle are included.) may be obtained or you may manufacture by yourself. The average particle diameter (median diameter d50) of the filler to be prepared, especially the granulated material of the inorganic fine particle aggregate (particles after the secondary particles) is usually 0.1 µm or more, preferably 0.5 µm or more, more preferably 1 µm or more, further Preferably it is 3 micrometers or more, Usually 500 micrometers or less, Preferably it is 200 micrometers or less, More preferably, it is 100 micrometers or less, More preferably, it is 50 micrometers or less, Especially preferably, it is 20 micrometers or less. The average particle diameter (median diameter d50) of the granulated material of the nonporous inorganic fine particles (particles after the secondary particles) is usually 1 µm or more, preferably 3 µm or more, more preferably 5 µm or more, still more preferably 10 It is more than micrometer, Usually 2000 micrometers or less, Preferably it is 1000 micrometers or less, More preferably, it is 500 micrometers or less, More preferably, it is 100 micrometers or less, Especially preferably, it is 50 micrometers or less. It becomes easy to disperse|distribute a fluororesin and a filler uniformly as it is in an above-mentioned range. In addition, the granulated material of a filler can be determined by the method based on Japanese Industrial Standard JIS Z8825:2001.

또한, 충전제는, 전술한 표면 수식제로 표면이 수식되는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the surface of a filler is modified with the above-mentioned surface modifier.

준비하는 불소계 수지의 조립물과 무기 미립자 응집체의 조립물의 평균 입자 직경의 입경비(불소계 수지의 평균 입자 직경(메디안 직경 d50)/무기 미립자 응집체의 평균 입자 직경(메디안 직경 d50))는, 통상 150 이하, 바람직하게는 100 이하, 보다 바람직하게는 60 이하, 더욱 바람직하게는 40 이하이고, 특히 바람직하게는 30 이하, 가장 바람직하게는 10 이하이며, 통상 1 이상이다. 준비하는 불소계 수지의 조립물과 무공질 무기 미립자의 조립물의 평균 입자 직경의 입경비(불소계 수지의 평균 입자 직경(메디안 직경 d50)/무공질 무기 미립자의 평균 입자 직경(메디안 직경 d50))는, 통상 500 이하, 바람직하게는 300 이하, 보다 바람직하게는 200 이하, 더욱 바람직하게는 100 이하이고, 특히 바람직하게는 50 이하, 가장 바람직하게는 30 이하이며, 통상 0.01 이상이다. 상기한 범위 내이면, 불소계 수지와 충전제를 균일하게 분산시키기 쉬워진다.The particle diameter ratio (average particle diameter of fluorine resin (median diameter d50)/average particle diameter of inorganic fine particle aggregates (median diameter d50)) of the average particle diameter of the granulated material of the fluorine-based resin to be prepared and the granulated material of the inorganic fine particle aggregate is usually 150 or less, preferably 100 or less, more preferably 60 or less, still more preferably 40 or less, particularly preferably 30 or less, most preferably 10 or less, and usually 1 or more. The particle diameter ratio of the average particle diameter of the prepared granulated material of the fluorine-based resin and the granulated material of non-porous inorganic fine particles (average particle diameter of the fluorine-based resin (median diameter d50)/average particle diameter of the non-porous inorganic fine particles (median diameter d50)) is, It is usually 500 or less, preferably 300 or less, more preferably 200 or less, still more preferably 100 or less, particularly preferably 50 or less, most preferably 30 or less, and usually 0.01 or more. It becomes easy to disperse|distribute a fluororesin and a filler uniformly as it is in an above-mentioned range.

혼합 공정은, 불소계 수지, 충전제, 및 휘발성 첨가제를 혼합하여 전구체 조성물을 얻는 공정인데, 혼합은, 건식, 습식 등의 공지된 방법이나 혼합기 등을 적절히 채용하여 행할 수 있다.The mixing step is a step of obtaining a precursor composition by mixing a fluororesin, a filler, and a volatile additive, and mixing can be performed by appropriately employing a known method such as a dry or wet method, a mixer, or the like.

건식인 경우의 교반기 등의 회전 속도(주속(周速))는, 통상 0.5 m/sec 이상, 바람직하게는 1 m/sec 이상, 보다 바람직하게는 5 m/sec 이상, 더욱 바람직하게는 10 m/sec 이상, 특히 바람직하게는 15 m/sec 이상이고, 통상 200 m/sec 이하, 바람직하게는 180 m/sec 이하, 보다 바람직하게는 140 m/sec 이하, 더욱 바람직하게는 100 m/sec 이하, 특히 바람직하게는 50 m/sec 이하, 가장 바람직하게는 20 m/sec 이하이다. 상기한 범위 내이면, 불소계 수지와 충전제를 균일하게 분산시키기 쉬워진다.The rotation speed (circumferential speed) of a stirrer etc. in the case of a dry type is 0.5 m/sec or more normally, Preferably it is 1 m/sec or more, More preferably, it is 5 m/sec or more, More preferably, it is 10 m. /sec or more, particularly preferably 15 m/sec or more, usually 200 m/sec or less, preferably 180 m/sec or less, more preferably 140 m/sec or less, still more preferably 100 m/sec or less , particularly preferably 50 m/sec or less, and most preferably 20 m/sec or less. It becomes easy to disperse|distribute a fluororesin and a filler uniformly as it is in an above-mentioned range.

건식인 경우의 혼합 시간은, 통상 10초간 이상, 바람직하게는 20초간 이상, 보다 바람직하게는 30초간 이상, 더욱 바람직하게는 40초간 이상, 특히 바람직하게는 1분간 이상, 가장 바람직하게는 5분간 이상이고, 통상 60분간 이하, 바람직하게는 50분간 이하, 보다 바람직하게는 40분간 이하, 더욱 바람직하게는 30분간 이하, 특히 바람직하게는 20분간 이하, 가장 바람직하게는 15분간 이하이다. 상기한 범위 내이면, 불소계 수지와 충전제를 균일하게 분산시키기 쉬워진다.In the case of dry mixing, the mixing time is usually at least 10 seconds, preferably at least 20 seconds, more preferably at least 30 seconds, still more preferably at least 40 seconds, particularly preferably at least 1 minute, most preferably over 5 minutes. or more, usually 60 minutes or less, preferably 50 minutes or less, more preferably 40 minutes or less, still more preferably 30 minutes or less, particularly preferably 20 minutes or less, and most preferably 15 minutes or less. It becomes easy to disperse|distribute a fluororesin and a filler uniformly as it is in an above-mentioned range.

습식인 경우의 교반기 등의 회전 속도(주속)는, 통상 1 m/sec 이상, 바람직하게는 5 m/sec 이상, 보다 바람직하게는 10 m/sec 이상, 더욱 바람직하게는 15 m/sec 이상, 특히 바람직하게는 20 m/sec 이상, 가장 바람직하게는 25 m/sec 이상이고, 통상 160 m/sec 이하, 바람직하게는 130 m/sec 이하, 보다 바람직하게는 100 m/sec 이하, 더욱 바람직하게는 80 m/sec 이하, 특히 바람직하게는 60 m/sec 이하, 가장 바람직하게는 40 m/sec 이하이다. 상기한 범위 내이면, 불소계 수지와 충전제를 균일하게 분산시키기 쉬워진다.The rotation speed (circumferential speed) of the stirrer or the like in the wet case is usually 1 m/sec or more, preferably 5 m/sec or more, more preferably 10 m/sec or more, still more preferably 15 m/sec or more, It is particularly preferably 20 m/sec or more, most preferably 25 m/sec or more, usually 160 m/sec or less, preferably 130 m/sec or less, more preferably 100 m/sec or less, still more preferably is 80 m/sec or less, particularly preferably 60 m/sec or less, and most preferably 40 m/sec or less. It becomes easy to disperse|distribute a fluororesin and a filler uniformly as it is in an above-mentioned range.

습식인 경우의 혼합 시간은, 통상 5초간 이상, 바람직하게는 10초간 이상, 보다 바람직하게는 20초간 이상, 더욱 바람직하게는 30초간 이상, 특히 바람직하게는 40초간 이상, 가장 바람직하게는 50초간 이상이고, 통상 60분간 이하, 바람직하게는 50분간 이하, 보다 바람직하게는 40분간 이하, 더욱 바람직하게는 20분간 이하, 특히 바람직하게는 10분간 이하, 가장 바람직하게는 5분간 이하이다. 상기한 범위 내이면, 불소계 수지와 충전제를 균일하게 분산시키기 쉬워진다.In the case of wet mixing, the mixing time is usually 5 seconds or longer, preferably 10 seconds or longer, more preferably 20 seconds or longer, still more preferably 30 seconds or longer, particularly preferably 40 seconds or longer, most preferably 50 seconds or longer. or more, usually 60 minutes or less, preferably 50 minutes or less, more preferably 40 minutes or less, still more preferably 20 minutes or less, particularly preferably 10 minutes or less, and most preferably 5 minutes or less. It becomes easy to disperse|distribute a fluororesin and a filler uniformly as it is in an above-mentioned range.

휘발성 첨가제는, 최종적으로 휘발시켜 제거함으로써, 복합 재료에 공공(空孔)을 충분히 내포시키는 기능이 있다. 휘발성 첨가제란, 비점이 30∼300℃의, 실온(25℃)에서 액체인 화합물을 의미하는데, 휘발성 첨가제의 비점은, 바람직하게는 50℃ 이상, 보다 바람직하게는 100℃ 이상, 더욱 바람직하게는 200℃ 이상이고, 바람직하게는 280℃ 이하, 보다 바람직하게는 260℃ 이하, 더욱 바람직하게는 240℃ 이하이다.The volatile additive has a function of sufficiently enclosing voids in the composite material by finally volatilizing and removing it. The volatile additive means a compound that has a boiling point of 30 to 300° C. and is liquid at room temperature (25° C.), and the boiling point of the volatile additive is preferably 50° C. or more, more preferably 100° C. or more, still more preferably It is 200 degreeC or more, Preferably it is 280 degrees C or less, More preferably, it is 260 degrees C or less, More preferably, it is 240 degrees C or less.

휘발성 첨가제의 종류로서는, 반응성이 낮은 탄화수소, 에테르, 에스테르, 알코올 등을 들 수 있으나, 지방족 포화 탄화수소가 바람직하다. 구체적으로는 헥산(비점: 69℃), 헵탄(비점: 98℃), 옥탄(비점: 126℃), 노난(비점: 151℃), 데칸(비점: 174℃), 운데칸(비점: 196℃), 도데칸(비점: 215℃), 트리데칸(비점: 234℃), 테트라데칸(비점: 254℃) 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 혹은 2종 이상 함께 이용할 수 있다.Examples of the volatile additive include hydrocarbons, ethers, esters, and alcohols with low reactivity, but aliphatic saturated hydrocarbons are preferable. Specifically, hexane (boiling point: 69 °C), heptane (boiling point: 98 °C), octane (boiling point: 126 °C), nonane (boiling point: 151 °C), decane (boiling point: 174 °C), undecane (boiling point: 196 °C) ), dodecane (boiling point: 215°C), tridecane (boiling point: 234°C), tetradecane (boiling point: 254°C), and the like. These can be used individually or in combination of 2 or more types.

휘발성 첨가제의 첨가량은, 불소계 수지 및 충전제의 합계를 100 질량부로 했을 때에, 통상 1 질량부 이상, 바람직하게는 5 질량부 이상, 보다 바람직하게는 10 질량부 이상, 더욱 바람직하게는 20 질량부 이상, 특히 바람직하게는 30 질량부 이상이고, 통상 200 질량부 이하, 바람직하게는 150 질량부 이하, 보다 바람직하게는 130 질량부 이하, 더욱 바람직하게는 110 질량부 이하, 특히 바람직하게는 100 질량부 이하이다. 상기 범위 내이면, 복합 재료로서 양호한 기공률을 확보할 수 있다.The amount of the volatile additive added is usually 1 part by mass or more, preferably 5 parts by mass or more, more preferably 10 parts by mass or more, still more preferably 20 parts by mass or more, when the total of the fluororesin and the filler is 100 parts by mass. , Particularly preferably 30 parts by mass or more, usually 200 parts by mass or less, preferably 150 parts by mass or less, more preferably 130 parts by mass or less, still more preferably 110 parts by mass or less, particularly preferably 100 parts by mass or less. is below. If it is in the said range, good porosity can be ensured as a composite material.

혼합 공정은, 불소계 수지, 충전제, 및 휘발성 첨가제에 더하여, 용매를 첨가하여 혼합하는 것이 바람직하다. 용매는 전구체 조성물을 페이스트형으로 하여 균일하게 분산시키는 것을 가능하게 하는 기능이 있다. 용매로서는, 물, 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, 부탄올 등의 저급 알코올 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 혹은 2종 이상 함께 이용할 수 있다.It is preferable that a mixing process adds and mixes a solvent in addition to a fluororesin, a filler, and a volatile additive. The solvent has a function of making the precursor composition into a paste and uniformly dispersing it. As a solvent, lower alcohols, such as water, methanol, ethanol, isopropanol, and a butanol, etc. are mentioned. These can be used individually or in combination of 2 or more types.

성형 공정은, 전구체 조성물을 성형하여 압연 가능한 피압연물을 얻는 공정인데, 성형 공정에 사용하는 성형기로서는, FT 다이스(피시테일 압출 다이스), 프레스기, 압출 성형기, 캘린더 롤 등을 들 수 있다. 특히 FT 다이스가 바람직하다.The molding step is a step of obtaining a rollable product by molding the precursor composition. Examples of the molding machine used in the molding step include an FT die (fishtail extrusion die), a press machine, an extrusion molding machine, and a calender roll. In particular, FT dice are preferable.

압연 공정은, 피압연물을 압연하여 복합 재료를 얻는 공정인데, 얻어진 압연물을 적층하여 피압연물로서 압연을 행하는 작업을 복수 회 반복하는 「다단계 압연」인 것이 바람직하고, 이전회의 압연 방향과는 상이한 방향으로 피압연물을 압연하는 「이방향 다단계 압연」인 것이 특히 바람직하다. 이방향 다단계 압연으로서는, 예컨대 압연물을 동일한 압연 방향으로 향하도록 적층하여 피압연물로 하고, 피압연물의 압연 방향을 이전회의 압연 방향으로부터 90° 회전시켜 압연을 행하는 작업을 반복하는 것을 들 수 있다.The rolling process is a process of obtaining a composite material by rolling the rolled object, preferably "multi-step rolling" in which the operation of laminating the obtained rolled object and performing rolling as the rolled object is repeated a plurality of times, and in the rolling direction of the previous time It is especially preferable that it is "two-way multi-step rolling" in which the to-be-rolled object is rolled in different directions. The two-way multi-step rolling includes, for example, repeating the operation of stacking rolled products so as to face the same rolling direction to obtain a rolled product, and rotating the rolled product by 90° from the previous rolling direction to perform rolling. .

다단계 압연에 있어서의 압연물의 적층수는, 통상 2 이상, 바람직하게는 3 이상, 보다 바람직하게는 4 이상, 더욱 바람직하게는 10 이상, 특히 바람직하게는 30 이상이고, 통상 2000 이하, 바람직하게는 1000 이하, 보다 바람직하게는 700 이하, 더욱 바람직하게는 500 이하, 특히 바람직하게는 300 이하이다.The number of laminations of the rolled products in the multistage rolling is usually 2 or more, preferably 3 or more, more preferably 4 or more, still more preferably 10 or more, particularly preferably 30 or more, and usually 2000 or less, preferably It is 1000 or less, More preferably, it is 700 or less, More preferably, it is 500 or less, Especially preferably, it is 300 or less.

압연 공정의 압연 배율은, 통상 10 이상, 바람직하게는 20 이상, 보다 바람직하게는 40 이상, 더욱 바람직하게는 50 이상, 특히 바람직하게는 100 이상이고, 통상 20000 이하, 바람직하게는 15000 이하, 보다 바람직하게는 10000 이하, 더욱 바람직하게는 5000 이하, 특히 바람직하게는 3000 이하이다.The rolling ratio of the rolling step is usually 10 or more, preferably 20 or more, more preferably 40 or more, still more preferably 50 or more, particularly preferably 100 or more, and usually 20000 or less, preferably 15000 or less, more Preferably it is 10000 or less, More preferably, it is 5000 or less, Especially preferably, it is 3000 or less.

압연 공정에 사용하는 장치로서는, 프레스기, 압출 성형기, 압연 롤(예컨대, 캘린더 롤) 등을 들 수 있다.As an apparatus used for a rolling process, a press machine, an extrusion molding machine, a rolling roll (for example, calender roll), etc. are mentioned.

복합 재료의 제조 방법 또는 기판의 제조 방법은, 그 외의 공정을 포함하고 있어도 좋고, 구체적으로는 하기의 공정을 들 수 있다.The manufacturing method of a composite material or the manufacturing method of a board|substrate may include other processes, and the following process is mentioned specifically,.

·상기 압연물로부터 상기 휘발성 첨가제를 제거하는 첨가제 제거 공정(이하, 「첨가제 제거 공정」이라고 약기하는 경우가 있다.).- Additive removal process of removing the said volatile additive from the said rolling material (Hereinafter, it may abbreviate as "additive removal process".).

·상기 압연물을 가열 압축하는 가열 압축 공정(이하, 「가열 압축 공정」이라고 약기하는 경우가 있다.).- A heat compression step of heating and compressing the rolled product (hereinafter, it may be abbreviated as a “heat compression step”).

·상기 복합 재료의 한쪽 면 또는 양면에, 불소계 수지를 포함하여 이루어지는 수지층을 형성하는 수지층 형성 공정(이하, 「수지층 형성 공정」이라고 약기하는 경우가 있다.).- A resin layer forming step of forming a resin layer containing a fluorine-based resin on one or both surfaces of the composite material (hereinafter, may be abbreviated as “resin layer forming step”).

·상기 복합 재료의 한쪽 면 또는 양면에, 도체층을 형성하는 타층 형성 공정(이하, 「도체층 형성 공정」이라고 약기하는 경우가 있다.).- Another layer forming step of forming a conductor layer on one or both surfaces of the composite material (hereinafter, it may be abbreviated as “conductor layer forming step”).

·상기 도체층을 패터닝 처리하는 패터닝 공정(이하, 「패터닝 공정」이라고 약기하는 경우가 있다.).- A patterning process of patterning the conductor layer (hereinafter, it may be abbreviated as "patterning process").

이하, 「첨가제 제거 공정」, 「가열 압축 공정」, 「수지층 형성 공정」, 「도체층 형성 공정」, 「패터닝 공정」 등에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, "additive removal process", "heat compression process", "resin layer formation process", "conductor layer formation process", "patterning process", etc. are demonstrated in detail.

첨가제 제거 공정은, 압연물로부터 상기 휘발성 첨가제를 제거하는 공정인데, 통상, 건조에 사용 가능한 가열로(加熱爐) 내에 있어서 압연물을 가열하는 방법을 들 수 있다. 가열 조건은, 휘발성 첨가제의 비점 등에 따라 적절히 선택할 수 있다.Although an additive removal process is a process of removing the said volatile additive from a rolled product, the method of heating a rolled product in the heating furnace which can be used for drying normally is mentioned. Heating conditions can be suitably selected according to the boiling point of a volatile additive, etc.

가열 압축 공정은, 압연물을 가열 압축하는 공정인데, 통상, 프레스기 등을 이용하여 가열 압축하는 방법을 들 수 있다. 가열 압축 조건은, 적절히 선택할 수 있으나, 압연물에 대해 면내 균일하게 압력을 가하는 것이 바람직하다.A heat compression process is a process of heat-compressing a rolled product, Usually, the method of heat-compressing using a press machine etc. is mentioned. Although heat compression conditions can be selected suitably, it is preferable to apply pressure uniformly in-plane with respect to a rolled product.

수지층 형성 공정은, 복합 재료의 한쪽 면 또는 양면에, 불소계 수지를 포함하여 이루어지는 수지층을 형성하는 공정인데, 수지층의 형성은, 프레스기 등으로 불소계 수지를 포함하고 있는 수지 필름을 복합 재료에 가열 가압하여 접착하는 방법을 들 수 있다. 불소계 수지를 포함하고 있는 수지 필름을 가열 가압함으로써, 복합 재료에 불소계 수지가 침투하여, 도체층 등의 박리를 효과적으로 억제할 수 있고, 복합 재료로서 양호한 비유전율 등을 확보할 수 있다.The resin layer forming step is a step of forming a resin layer containing a fluorine-based resin on one or both surfaces of the composite material. A method of bonding by heating and pressurization is exemplified. By heating and pressurizing the resin film containing the fluorine-based resin, the fluorine-based resin permeates into the composite material, so that peeling of the conductor layer or the like can be effectively suppressed, and a good dielectric constant or the like can be secured as a composite material.

불소계 수지를 포함하여 이루어지는 수지 필름의 두께는, 통상 0.050 ㎛ 이상, 바람직하게는 0.10 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 0.40 ㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 1.0 ㎛ 이상, 특히 바람직하게는 1.5 ㎛ 이상이고, 통상 30 ㎛ 이하, 바람직하게는 20 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 10 ㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 8.0 ㎛ 이하, 특히 바람직하게는 6.0 ㎛ 이하, 가장 바람직하게는 5.0 ㎛ 이하이다.The thickness of the resin film containing the fluororesin is usually 0.050 µm or more, preferably 0.10 µm or more, more preferably 0.40 µm or more, still more preferably 1.0 µm or more, particularly preferably 1.5 µm or more, and usually 30 μm or less, preferably 20 μm or less, more preferably 10 μm or less, still more preferably 8.0 μm or less, particularly preferably 6.0 μm or less, most preferably 5.0 μm or less.

수지층 형성 공정에 있어서의 압력은, 통상 0.01 ㎫ 이상, 바람직하게는 0.10 ㎫ 이상, 보다 바람직하게는 0.50 ㎫ 이상, 더욱 바람직하게는 0.80 ㎫ 이상, 특히 바람직하게는 1.00 ㎫ 이상이고, 통상 50 ㎫ 이하, 바람직하게는 40 ㎫ 이하, 보다 바람직하게는 30 ㎫ 이하, 더욱 바람직하게는 20 ㎫ 이하, 특히 바람직하게는 10 ㎫ 이하이다. 상기 범위 내이면, 도체층 등의 박리를 효과적으로 억제할 수 있고, 복합 재료로서 양호한 비유전율 등을 확보할 수 있다.The pressure in the resin layer forming step is usually 0.01 MPa or more, preferably 0.10 MPa or more, more preferably 0.50 MPa or more, still more preferably 0.80 MPa or more, particularly preferably 1.00 MPa or more, and usually 50 MPa or more. Below, Preferably it is 40 MPa or less, More preferably, it is 30 MPa or less, More preferably, it is 20 MPa or less, Especially preferably, it is 10 MPa or less. If it is in the said range, peeling of a conductor layer etc. can be suppressed effectively, and favorable dielectric constant etc. can be ensured as a composite material.

수지층 형성 공정에 있어서의 온도는, 통상 250℃ 이상, 바람직하게는 280℃ 이상, 보다 바람직하게는 300℃ 이상, 더욱 바람직하게는 320℃ 이상, 특히 바람직하게는 340℃ 이상이고, 통상 500℃ 이하, 바람직하게는 480℃ 이하, 보다 바람직하게는 460℃ 이하, 더욱 바람직하게는 440℃ 이하, 특히 바람직하게는 420℃ 이하이다. 상기 범위 내이면, 도체층 등의 박리를 효과적으로 억제할 수 있고, 복합 재료로서 양호한 비유전율 등을 확보할 수 있다.The temperature in the resin layer forming step is usually 250°C or higher, preferably 280°C or higher, more preferably 300°C or higher, still more preferably 320°C or higher, particularly preferably 340°C or higher, and usually 500°C. Hereinafter, it is preferably 480°C or less, more preferably 460°C or less, still more preferably 440°C or less, and particularly preferably 420°C or less. If it is in the said range, peeling of a conductor layer etc. can be suppressed effectively, and favorable dielectric constant etc. can be ensured as a composite material.

수지층 형성 공정에 있어서의 가열 가압 시간은, 통상 1초간 이상, 바람직하게는 30초간 이상, 보다 바람직하게는 1분간 이상, 더욱 바람직하게는 2분간 이상, 특히 바람직하게는 3분간 이상이고, 통상 180분간 이하, 바람직하게는 120분간 이하, 보다 바람직하게는 60분간 이하, 더욱 바람직하게는 30분간 이하, 특히 바람직하게는 20분간 이하이다. 상기 범위 내이면, 도체층 등의 박리를 효과적으로 억제할 수 있고, 복합 재료로서 양호한 비유전율 등을 확보할 수 있다.The heat press time in the resin layer forming step is usually 1 second or longer, preferably 30 seconds or longer, more preferably 1 minute or longer, still more preferably 2 minutes or longer, particularly preferably 3 minutes or longer, usually It is 180 minutes or less, Preferably it is 120 minutes or less, More preferably, it is 60 minutes or less, More preferably, it is 30 minutes or less, Especially preferably, it is 20 minutes or less. If it is in the said range, peeling of a conductor layer etc. can be suppressed effectively, and favorable dielectric constant etc. can be ensured as a composite material.

수지층 형성 공정에 사용하는 장치로서는, 프레스기, 열롤 라미네이트기, 벨트 프레스기 등을 들 수 있다.As an apparatus used for a resin layer formation process, a press machine, a hot roll laminating machine, a belt press machine, etc. are mentioned.

도체층 형성 공정은, 상기 복합 재료의 한쪽 면 또는 양면에, 도체층을 형성하는 공정인데, 도체층의 형성 방법으로서는, 스퍼터링, 도금, 금속박의 가압 접착, 라미네이트법 등을 들 수 있다.The conductor layer forming step is a step of forming a conductor layer on one or both surfaces of the composite material, and examples of the method for forming the conductor layer include sputtering, plating, pressure bonding of metal foil, lamination, and the like.

패터닝 공정은, 금속층을 패터닝 처리하는 공정인데, 패터닝 처리 방법으로서는, 포토레지스트 등을 이용한 애디티브(Additive)법, 에칭에 의한 서브트랙티브(Subtractive)법 등을 들 수 있다.The patterning process is a process of patterning the metal layer, and examples of the patterning process include an additive method using a photoresist or the like, a subtractive method by etching, and the like.

실시예Example

이하에 실시예를 들어 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 한 적절히 변경할 수 있다. 따라서, 본 발명의 범위는 이하에 나타내는 구체예에 의해 한정적으로 해석되어야 하는 것이 아니다.The present invention will be more specifically described below with reference to examples, but changes may be made as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the specific examples shown below.

<실시예 1><Example 1>

무기 미립자 응집체로서 친수성 흄드 실리카(닛폰 아에로질사 제조, 품번(品番) 「AEROSIL50」, BET 비표면적 50±15 ㎡/g, 평균 일차 입자 직경 40 ㎚, 이차 응집물의 평균 입자 직경 0.2 ㎛)를, 표면 수식제로서 하기 식으로 표시되는 트리에톡시-1H,1H,2H,2H-트리데카플루오로-n-옥틸실란(도쿄 가세이 고교사 제조, 품번 「T1770」)을 사용하여 수식하였다.As an inorganic fine particle aggregate, hydrophilic fumed silica (manufactured by Nippon Aerosil, product number "AEROSIL50", BET specific surface area 50±15 m/g, average primary particle diameter 40 nm, secondary aggregate average particle diameter 0.2 μm) was used. , was modified using triethoxy-1H,1H,2H,2H-tridecafluoro-n-octylsilane (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd., part number "T1770") represented by the following formula as a surface modifier.

Figure pct00003
Figure pct00003

구체적으로는, 이소프로판올 832.9 g에 대해, 표면 수식제 40.8 g, 아세트산 22.1 g, 순수(純水) 43.2 g, 및 무기 미립자 응집체 80 g을 첨가하고, 24시간 교반하여, 무기 미립자 응집체의 분산액을 얻었다. 다음으로 분산액을 100℃에서 1시간 가열하고, 또한 200℃에서 2시간 가열하여, 표면 수식된 무기 미립자 응집체를 얻었다.Specifically, to 832.9 g of isopropanol, 40.8 g of a surface modifier, 22.1 g of acetic acid, 43.2 g of pure water, and 80 g of inorganic fine particle aggregates were added and stirred for 24 hours to obtain a dispersion of inorganic fine particle aggregates. . Next, the dispersion was heated at 100°C for 1 hour and further heated at 200°C for 2 hours to obtain a surface-modified inorganic fine particle aggregate.

다음으로, 무공질 무기 미립자로서 용융 실리카(덴카사 제조, 품번 「SFP-130MC」, BET 비표면적 6.2 ㎡/g, 평균 일차 입자 직경 0.6 ㎛)를, 표면 수식제로서 마찬가지로 트리에톡시-1H,1H,2H,2H-트리데카플루오로-n-옥틸실란(도쿄 가세이 고교사 제조, 품번 「T1770」)을 사용하여 수식하였다.Next, fused silica (manufactured by Denka, product number "SFP-130MC", BET specific surface area of 6.2 m / g, average primary particle diameter of 0.6 µm) as non-porous inorganic fine particles, triethoxy-1H as a surface modifier, 1H,2H,2H-tridecafluoro-n-octylsilane (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., part number "T1770") was used for modification.

구체적으로는, 이소프로판올 83.3 g에 대해, 표면 수식제 6.8 g, 아세트산 2.1 g, 순수 4.3 g, 및 무공질 무기 미립자 80 g을 첨가하고, 24시간 교반하여, 무공질 무기 미립자의 분산액을 얻었다. 다음으로 분산액을 100℃에서 1시간 가열하고, 또한 200℃에서 2시간 가열하여, 표면 수식된 무공질 무기 미립자를 얻었다.Specifically, to 83.3 g of isopropanol, 6.8 g of a surface modifier, 2.1 g of acetic acid, 4.3 g of pure water, and 80 g of non-porous inorganic fine particles were added and stirred for 24 hours to obtain a dispersion of non-porous inorganic fine particles. Next, the dispersion was heated at 100°C for 1 hour and further heated at 200°C for 2 hours to obtain surface-modified nonporous inorganic fine particles.

다음으로 고속 유동형 믹서를 사용하여, 폴리테트라플루오로에틸렌(이하, 「PTFE」라고 약기하는 경우가 있다.)과 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자와 휘발성 첨가제를 혼합하였다. 구체적으로는, 폴리테트라플루오로에틸렌(다이킨사 제조, 품번 「폴리프론 PTFE F-104」, 평균 입자 직경 550 ㎛)을 준비하고, 고형분량을 고려하여, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 44:46:10이 되도록 첨가하며, 회전 속도 14 m/sec, 온도 24℃에서 1분간 교반 혼합한 후, 휘발성 첨가제로서 탄화수소유(엑손모빌사 제조, 품번 「아이소파 M」)를, 폴리테트라플루오로에틸렌과 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 합계를 100 질량부로 했을 때에 65 질량부가 되도록 첨가하고, 회전 속도 3 m/sec, 온도 24℃에서 5분간 혼합하여 페이스트를 얻었다.Next, using a high-speed flow mixer, polytetrafluoroethylene (hereinafter, sometimes abbreviated as "PTFE"), the inorganic fine particle aggregate, the nonporous inorganic fine particle, and the volatile additive were mixed. Specifically, polytetrafluoroethylene (manufactured by Daikin, product number "Polypron PTFE F-104", average particle diameter of 550 µm) was prepared, and in consideration of the solid content, an inorganic surface modified with polytetrafluoroethylene After adding the particulate aggregate and non-porous inorganic particulate in a mass ratio of 44:46:10, stirring and mixing for 1 minute at a rotation speed of 14 m/sec and a temperature of 24°C, hydrocarbon oil (manufactured by ExxonMobil, part no. Isofar M”) was added so that 65 parts by mass when the total of polytetrafluoroethylene, the inorganic fine particle aggregate, and the non-porous inorganic fine particles were 100 parts by mass, the mixture was mixed at a rotation speed of 3 m/sec and a temperature of 24° C. for 5 minutes. to obtain a paste.

페이스트를 1쌍의 압연 롤에 통과시켜, 두께 3 ㎜, 폭 10∼50 ㎜, 길이 150 ㎜의 타원형 모시트(시트형 성형체)로 하고, 이 모시트를 복수 장 제작하였다. 다음으로, 이 모시트의 압연 방향을 일치시켜 2장 적층하고, 이 적층물을 앞의 압연 방향인 채로 상기 압연 롤 사이에 통과시켜 압연하여, 제1 압연 적층 시트를 복수 장 제작하였다. 다음으로, 4장의 제1 압연 적층 시트의 압연 방향을 일치시켜 적층하고, 동일한 방향으로 압연하여 제2 압연 적층 시트를 제작하였다. 이와 같이, 시트를 적층하여 압연하는 공정을, 모시트의 적층 압연으로부터 세어 합계 5회 반복하여 제3 압연 적층 시트를 제작하였다(구성 층수 512). 다음으로 제3 압연 적층 시트를 4장 적층하고, 시트면은 평행인 채로 앞의 압연 방향으로부터 적층 시트를 90도 회전시켜 상기 압연 롤 사이에 통과시켜 압연하고, 상기 압연 롤 사이의 갭을 0.5 ㎜씩 좁혀 복수 회 압연하여, 두께 약 0.18 ㎜의 시트를 얻었다. 얻어진 압연 적층 시트를 150℃에서 20분간 가열하여 휘발성 첨가제를 제거하여, 시트형의 복합 재료를 제작하였다.The paste was passed through a pair of rolling rolls to obtain an elliptical mother sheet (sheet-shaped molded article) having a thickness of 3 mm, a width of 10 to 50 mm, and a length of 150 mm, and a plurality of these mother sheets were produced. Next, two sheets of this mother sheet were laminated in the same rolling direction, and the laminate was passed between the rolling rolls in the previous rolling direction and rolled to produce a plurality of first rolled laminated sheets. Next, the rolling direction of the 1st rolling lamination|stacking sheet of 4 sheets was matched, it laminated|stacked, it rolled in the same direction, and produced the 2nd rolling lamination sheet. Thus, the process of laminating|stacking and rolling the sheet|seat was repeated 5 times in total, counting from lamination|stacking rolling of the mother sheet|seat, and the 3rd rolling lamination|stacking sheet was produced (the number of structural layers 512). Next, 4 sheets of the third rolled lamination sheet are laminated, the lamination sheet is rotated 90 degrees from the previous rolling direction while the sheet surface is parallel, and the lamination sheet is passed between the rolling rolls, and the gap between the rolling rolls is 0.5 mm It narrowed and rolled several times at a time to obtain a sheet with a thickness of about 0.18 mm. The obtained rolled laminated sheet was heated at 150 degreeC for 20 minutes, the volatile additive was removed, and the sheet-like composite material was produced.

다음으로, Fluon(등록 상표) PTFE 디스퍼젼 AD939E(AGC사 제조, 고형분 60 질량%)를 폴리이미드 캐리어 상 한쪽 면에 WET 두께가 4 ㎛가 되도록 딥 코팅 도공하고, 150℃에서 5분간, 380℃에서 5분간 가열함으로써 수지층이 되는 수지 필름을 제작하였다. 도체층이 되는 Cu박(JX 긴조쿠사, 품번 「BHFX-HS-92F」)을 준비하고, 수지 필름과 Cu박을 적층하며, 프레스기로 압력 6 ㎫, 온도 360℃, 10분간 가압함으로써 수지 도체 시트를 제작하였다. 이 수지 도체 시트와 전술한 시트형의 복합 재료를 적층하고, 360℃, 5분간, 4 ㎫로 가압 성형하여 도체층과의 적층 시트를 제작하였다. 또한, 얻어진 적층 시트에 대해, 후술하는 판형의 복합 재료와 수지 도체 시트의 박리 강도를 측정하였다. 다음으로 얻어진 적층 시트에 대해, 38 질량%의 염화제2철 수용액(선하야토사 제조, 에칭액 H-200A)에 30분간 침지시켜 도체층을 제거한 후, 순수로 세정 후, 건조시켜 판형의 복합 재료를 얻었다.Next, Fluon (registered trademark) PTFE Dispersion AD939E (manufactured by AGC, solid content: 60% by mass) is dip-coated on one side of the polyimide carrier so that the WET thickness is 4 μm, 150°C for 5 minutes, 380°C A resin film used as a resin layer was produced by heating in A Cu foil (JX Kinzoku Corporation, part number "BHFX-HS-92F") serving as a conductor layer is prepared, a resin film and Cu foil are laminated, and the resin conductor sheet is pressed with a press machine at a pressure of 6 MPa and a temperature of 360° C. for 10 minutes. was produced. This resin conductor sheet and the above-mentioned sheet-like composite material were laminated and press-molded at 360°C for 5 minutes at 4 MPa to prepare a laminated sheet with a conductor layer. Moreover, about the obtained laminated sheet, the peeling strength of the plate-shaped composite material mentioned later and a resin conductor sheet was measured. Next, the obtained laminated sheet was immersed in a 38 mass % ferric chloride aqueous solution (manufactured by Sunhayato Co., Ltd., etching solution H-200A) for 30 minutes to remove the conductor layer, washed with pure water, and dried to form a plate-shaped composite material got

<실시예 2><Example 2>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 44:28:28이 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.The composite material was carried out in the same manner as in Example 1, except that polytetrafluoroethylene, the surface-modified inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle were added so that the mass ratio was 44:28:28 at the time of mixing in the high-speed flow mixer. got

<실시예 3><Example 3>

V형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 44:15:41이 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.The composite material was carried out in the same manner as in Example 1 except that polytetrafluoroethylene, the surface-modified inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle were added so that the mass ratio was 44:15:41 at the time of mixing in the V-type mixer. got

<실시예 4><Example 4>

무공질 무기 미립자로서, 코디어라이트 분말(AGC 세라믹스사 제조 FINE 타입), 평균 입자 직경 25 ㎛를 이용하고, 고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 44:30:26이 되도록 첨가하며, 휘발성 첨가제를 폴리테트라플루오로에틸렌과 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 합계를 100 질량부로 했을 때에 50 질량부가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.As the non-porous inorganic fine particles, cordierite powder (FINE type manufactured by AGC Ceramics), an average particle diameter of 25 µm, was used and mixed with polytetrafluoroethylene and surface-modified inorganic fine particle aggregates when mixed in a high-speed flow mixer. The nonporous inorganic fine particles are added so that the mass ratio is 44:30:26, and the volatile additive is added so that 50 parts by mass when the total of polytetrafluoroethylene, the inorganic fine particle aggregate and the nonporous inorganic fine particle is 100 parts by mass, A composite material was obtained in the same manner as in Example 1.

<실시예 5><Example 5>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 38:28:34가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.The composite material was carried out in the same manner as in Example 1, except that polytetrafluoroethylene, the surface-modified inorganic fine particle aggregate and the nonporous inorganic fine particle were added so that the mass ratio was 38:28:34 at the time of mixing in the high-speed flow mixer. got

<실시예 6><Example 6>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 34:28:38이 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.The composite material was carried out in the same manner as in Example 1, except that polytetrafluoroethylene, the surface-modified inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle were added so that the mass ratio was 34:28:38 during mixing in a high-speed flow mixer. got

<실시예 7><Example 7>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 30:28:42가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.The composite material was carried out in the same manner as in Example 1, except that polytetrafluoroethylene, the surface-modified inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle were added in a mass ratio of 30:28:42 during mixing in a high-speed flow mixer. got

<실시예 8><Example 8>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 26:28:46이 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.The composite material was carried out in the same manner as in Example 1, except that polytetrafluoroethylene, the surface-modified inorganic fine particle aggregate and the nonporous inorganic fine particle were added in a mass ratio of 26:28:46 during mixing in a high-speed flow mixer. got

<비교예 1><Comparative Example 1>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 60:40:0이 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.The composite material was carried out in the same manner as in Example 1, except that polytetrafluoroethylene, the surface-modified inorganic fine particle aggregate and the nonporous inorganic fine particle were added in a mass ratio of 60:40:0 during mixing in a high-speed flow mixer. got

<비교예 2><Comparative Example 2>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 40:60:0이 되도록 첨가하고, 휘발성 첨가제를 폴리테트라플루오로에틸렌과 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 합계를 100 질량부로 했을 때에 100 질량부가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.When mixing in a high-speed flow mixer, polytetrafluoroethylene, surface-modified inorganic fine particle aggregate and nonporous inorganic fine particle are added in a mass ratio of 40:60:0, and a volatile additive is added to polytetrafluoroethylene and inorganic fine particle aggregate. A composite material was obtained in the same manner as in Example 1, except that 100 parts by mass was added when the total of the and non-porous inorganic fine particles was 100 parts by mass.

<비교예 3><Comparative Example 3>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 20:80:0이 되도록 첨가하고, 휘발성 첨가제를 폴리테트라플루오로에틸렌과 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 합계를 100 질량부로 했을 때에 150 질량부가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.When mixing in a high-speed flow mixer, polytetrafluoroethylene, surface-modified inorganic fine particle aggregate and nonporous inorganic fine particle are added so that the mass ratio is 20:80:0, and a volatile additive is added to polytetrafluoroethylene and inorganic fine particle aggregate. A composite material was obtained in the same manner as in Example 1, except that 150 parts by mass was added when the total of the porous inorganic fine particles was 100 parts by mass.

<비교예 4><Comparative Example 4>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 60:0:40이 되도록 첨가하고, 휘발성 첨가제를 폴리테트라플루오로에틸렌과 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 합계를 100 질량부로 했을 때에 45 질량부가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.When mixing in a high-speed flow mixer, polytetrafluoroethylene, surface-modified inorganic fine particle aggregate and nonporous inorganic fine particle are added so that the mass ratio is 60:0:40, and a volatile additive is added to polytetrafluoroethylene and inorganic fine particle aggregate. A composite material was obtained in the same manner as in Example 1, except that 45 parts by mass was added when the total of the and non-porous inorganic fine particles was 100 parts by mass.

<비교예 5><Comparative Example 5>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 40:0:60이 되도록 첨가한 것 이외에는, 비교예 4와 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.The composite material was carried out in the same manner as in Comparative Example 4 except that polytetrafluoroethylene, the surface-modified inorganic fine particle aggregate and the nonporous inorganic fine particle were added in a mass ratio of 40:0:60 during mixing in a high-speed flow mixer. got

<비교예 6><Comparative Example 6>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 20:0:80이 되도록 첨가한 것 이외에는, 비교예 4와 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.The composite material was carried out in the same manner as in Comparative Example 4 except that polytetrafluoroethylene, the surface-modified inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle were added in a mass ratio of 20:0:80 during mixing in a high-speed flow mixer. got

<비교예 7><Comparative Example 7>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 44:50:6이 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.The composite material was carried out in the same manner as in Example 1, except that polytetrafluoroethylene, the surface-modified inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle were added in a mass ratio of 44:50:6 during mixing in a high-speed flow mixer. got

<비교예 8><Comparative Example 8>

무공질 무기 미립자로서, 코디어라이트 분말(AGC 세라믹스사 제조 FINE 타입), 평균 입자 직경 25 ㎛를 이용하고, 고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 44:0:56이 되도록 첨가하며, 휘발성 첨가제를 폴리테트라플루오로에틸렌과 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 합계를 100 질량부로 했을 때에 30 질량부가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.As the non-porous inorganic fine particles, cordierite powder (FINE type manufactured by AGC Ceramics), an average particle diameter of 25 µm, was used and mixed with polytetrafluoroethylene and surface-modified inorganic fine particle aggregates when mixed in a high-speed flow mixer. The nonporous inorganic fine particles are added so that the mass ratio is 44:0:56, and the volatile additive is added so that 30 parts by mass when the total of the polytetrafluoroethylene, the inorganic fine particle aggregate and the nonporous inorganic fine particle is 100 parts by mass, A composite material was obtained in the same manner as in Example 1.

<비교예 9><Comparative Example 9>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 70:30:0이 되도록 첨가하고, 휘발성 첨가제를 폴리테트라플루오로에틸렌과 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 합계를 100 질량부로 했을 때에 54 질량부가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.When mixing in a high-speed flow mixer, polytetrafluoroethylene, surface-modified inorganic fine particle aggregate and non-porous inorganic fine particle are added in a mass ratio of 70:30:0, and a volatile additive is added to polytetrafluoroethylene and inorganic fine particle aggregate. A composite material was obtained in the same manner as in Example 1, except that 54 parts by mass was added when the total of the porous inorganic fine particles was 100 parts by mass.

<비교예 10><Comparative Example 10>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 50:50:0이 되도록 첨가하고, 휘발성 첨가제를 폴리테트라플루오로에틸렌과 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 합계를 100 질량부로 했을 때에 82 질량부가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.When mixing in a high-speed flow mixer, polytetrafluoroethylene, surface-modified inorganic fine particle aggregate and nonporous inorganic fine particle are added so that the mass ratio is 50:50:0, and a volatile additive is added to polytetrafluoroethylene and inorganic fine particle aggregate. A composite material was obtained in the same manner as in Example 1, except that 82 parts by mass was added when the total of the porous inorganic fine particles was 100 parts by mass.

<비교예 11><Comparative Example 11>

고속 유동형 믹서에서의 혼합 시에, 폴리테트라플루오로에틸렌과 표면 수식한 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자가 질량비 30:70:0이 되도록 첨가하고, 휘발성 첨가제를 폴리테트라플루오로에틸렌과 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자의 합계를 100 질량부로 했을 때에 122 질량부가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 복합 재료를 얻었다.When mixing in a high-speed flow mixer, polytetrafluoroethylene, surface-modified inorganic fine particle aggregate and nonporous inorganic fine particle are added so that the mass ratio is 30:70:0, and a volatile additive is added to polytetrafluoroethylene and inorganic fine particle aggregate. A composite material was obtained in the same manner as in Example 1, except that 122 parts by mass was added when the total of the porous inorganic fine particles was 100 parts by mass.

얻어진 각각의 판형의 복합 재료에 대해, 하기와 같이 기공률, 박리 강도, 비유전율·유전 정접, 인장 강도·인장 탄성률, 및 열팽창 계수를 측정하였다. 결과를 표 1∼3에 나타낸다.For each obtained plate-shaped composite material, the porosity, peel strength, dielectric constant/dielectric loss tangent, tensile strength/tensile modulus, and coefficient of thermal expansion were measured as follows. A result is shown to Tables 1-3.

<기공률><porosity>

복합 재료의 체적, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)의 비중과 질량(배합 질량), 무기 미립자 응집체의 비중과 질량(배합 질량), 무공질 무기 미립자의 비중과 질량(배합 질량), 그 외의 충전제의 비중과 질량(배합 질량)을 측정하고, 하기 식에 대입함으로써 산출하였다.The volume of the composite material, the specific gravity and mass of polytetrafluoroethylene (PTFE) (compounded mass), the specific gravity and mass of the inorganic fine particle aggregate (compounded mass), the specific gravity and mass of the nonporous inorganic fine particle (compounded mass), and other fillers It was calculated by measuring the specific gravity and mass (mixed mass) of and substituting in the following formula.

[기공률(%)]=([복합 재료의 체적]-[PTFE의 질량/PTFE의 비중]-[무기 미립자 응집체의 질량/무기 미립자 응집체의 비중]-[무공질 무기 미립자의 질량/무공질 무기 미립자의 비중]-[그 외의 충전제의 질량/그 외의 충전제의 비중])/[복합 재료의 체적]×100[Porosity (%)]=([volume of composite material]-[mass of PTFE/ specific gravity of PTFE]-[mass of inorganic fine particle aggregate/ specific gravity of inorganic fine particle aggregate]-[mass of non-porous inorganic fine particle / non-porous inorganic Specific gravity of fine particles]-[mass of other fillers/specific gravity of other fillers])/[volume of composite material]×100

<박리 강도><Peel strength>

실시예 1∼8, 및 비교예 1∼11의 복합 재료 각각에 대해, 일본 공업 규격 JIS C6481:1996에 준거한 프린트 배선판용 구리 피복 적층판 시험을 실시하였다. 도체층이 10 ㎜의 폭으로 라미네이트된 상태에서 길이 약 100 ㎜의 시험편을 제작하고, 도체층 부분을 90°의 방향으로 속도 50 ㎜/분의 속도로 박리했을 때의 하중의 평균값을 박리 강도로서 측정하였다.For each of the composite materials of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 11, a copper clad laminate test for printed wiring boards in conformity with Japanese Industrial Standards JIS C6481:1996 was conducted. A test piece with a length of about 100 mm was prepared in a state in which the conductor layer was laminated with a width of 10 mm, and the average value of the load when the conductor layer portion was peeled in a direction of 90° at a speed of 50 mm/min was taken as the peel strength. measured.

<비유전율·유전 정접><Relative permittivity, dielectric loss tangent>

측정 주파수를 10 ㎓로 하고, 공동 공진기 섭동법에 의해 복소 유전율을 측정하며, 그 실수부(εr')를 비유전율로 하였다. 또한, 실수부와 허수부(εr")의 비(εr"/εr')로부터 유전 정접을 구하였다.The measurement frequency was 10 GHz, the complex dielectric constant was measured by the cavity resonator perturbation method, and the real part (εr') was defined as the relative dielectric constant. Further, the dielectric loss tangent was obtained from the ratio (εr″/εr′) of the real part and the imaginary part (εr″).

비유전율 측정 장치(애질런트·테크놀로지사 제조 「네트워크 애널라이저 N5230C」, 및 간토 덴시 오요 가이하츠사 제조 「공동 공진기 10 ㎓」)를 이용하여, 각 시트로부터 직사각형의 샘플(샘플 사이즈 폭 2 ㎜×길이 70 ㎜)을 잘라내어 측정하였다.Using a dielectric constant measurement device (“Network Analyzer N5230C” manufactured by Agilent Technologies, Inc. and “Cavity Resonator 10 GHz” manufactured by Oyo Kaihatsu, Kanto Denshi), a rectangular sample (sample size width 2 mm × length 70) was used from each sheet. mm) was cut out and measured.

<인장 강도·인장 탄성률><Tensile strength and tensile modulus>

판형의 복합 재료의 인장 강도(인장 파단 강도) 및 인장 탄성률은, 일본 공업 규격 JIS K7161에 정해진 방법에 준거하여 측정하였다. 보다 구체적으로는, 탁상형 정밀 만능 시험기 오토그래프 AGS-X(시마즈 세이사쿠쇼사 제조)를 인장 시험기에 이용하고, 측정 온도 25℃, 인장 속도 100 ㎜/분, 초기의 그리퍼 간 거리 10 ㎜의 측정 조건으로, 덤벨형 1호형 또는 덤벨형 2호형(병행 부분의 폭 10 ㎜)으로 한 시험편의 길이 방향(MD 방향)으로 인장 시험을 실시하였다. 그리고, 시험편이 절단될 때까지 기록되는 최대의 인장력을 구하고, 이것을 시험편의 단면적으로 나눈 값을 인장 강도(단위: ㎫)로 하며, 인장 시험 시의 0.05%와 0.25%의 변형 2점 사이에 대응하는 응력/변형 곡선의 기울기로서 인장 탄성률(단위: ㎬)로 하였다.The tensile strength (tensile breaking strength) and tensile modulus of the plate-shaped composite material were measured in accordance with the method specified in Japanese Industrial Standards JIS K7161. More specifically, a tabletop precision universal testing machine Autograph AGS-X (manufactured by Shimadzu Corporation) was used as a tensile testing machine, and a measurement temperature of 25° C., a tensile speed of 100 mm/min, and an initial distance between grippers of 10 mm were measured. Under the condition, a tensile test was performed in the longitudinal direction (MD direction) of a specimen of dumbbell type No. 1 or dumbbell type No. 2 (parallel width of 10 mm). Then, the maximum tensile force recorded until the test piece is cut is obtained, and the value obtained by dividing this by the cross-sectional area of the test piece is taken as the tensile strength (unit: MPa). The tensile modulus (unit: GPa) was used as the slope of the stress/strain curve to be used.

<열팽창 계수><Coefficient of thermal expansion>

-50℃∼200℃의 평균 열선팽창 계수를 열팽창 계수로서 채용하고, TMA(Thermal Mechanical Analysis)법을 이용하여 산출하였다.The average coefficient of thermal expansion of -50°C to 200°C was employed as the coefficient of thermal expansion, and was calculated using the TMA (Thermal Mechanical Analysis) method.

열기계 분석 장치(BRUKER AXS사 제조, 「TMA4000SA」)를 이용하여, 폭 4 ㎜, 길이 20 ㎜의 복합 재료를 길이 방향으로 고정하고, 2 g의 하중을 가하여 행하였다. 실온으로부터 승온 속도 10℃/분으로 200℃까지 승온하고, 30분간 유지함으로써 재료의 잔류 응력을 제거하였다. 계속해서, 10℃/분으로 -50℃까지 냉각하고, 15분간 유지한 후, 2℃/분으로 200℃까지 승온시켰다. 2회째의 승온 과정에 있어서의 -50℃∼200℃의 평균 열선팽창 계수를 열팽창 계수로 하였다.Using a thermomechanical analyzer (manufactured by BRUKER AXS, "TMA4000SA"), a composite material having a width of 4 mm and a length of 20 mm was fixed in the longitudinal direction, and a load of 2 g was applied. The residual stress of the material was removed by heating from room temperature to 200°C at a temperature increase rate of 10°C/min and holding for 30 minutes. Then, after cooling to -50 degreeC at 10 degreeC/min, hold|maintaining for 15 minutes, it heated up to 200 degreeC at 2 degreeC/min. The average coefficient of thermal expansion of -50 degreeC - 200 degreeC in the temperature rising process of the 2nd time was made into the coefficient of thermal expansion.

Figure pct00004
Figure pct00004

Figure pct00005
Figure pct00005

Figure pct00006
Figure pct00006

실시예 5∼8, 비교예 2∼3, 10∼11의 복합 재료의 충전제 총 함유량과 유전 정접의 관계를 나타낸 그래프를 도 2에, 실시예 5∼8, 비교예 2∼3, 9∼11의 복합 재료의 충전제 총 함유량과 열팽창 계수의 관계를 나타낸 그래프를 도 3에 도시한다. 도 2의 그래프로부터, 충전제가 흄드 실리카와 같은 다공성 무기 미립자 응집체 단독이면, 충전제의 함유량의 증가에 따라 유전 정접이 상승해 버리고, 용융 실리카와 같은 무공질 무기 미립자를 배합함으로써, 그것을 현저히 억제할 수 있는 것이 명백하다. 또한, 도 3의 그래프로부터, 다공성 무기 미립자 응집체의 함유량의 저하에 따르는 열팽창 계수의 상승을, 무공질 무기 미립자의 적당한 배합으로 억제할 수 있는 것도 명백하다. 즉, 다공성 무기 미립자 응집체와 무공질 무기 미립자를 적당히 배합한 판형의 복합 재료는, 여러 가지 특성에 대해 조화를 이룬 우수한 재료라고 할 수 있는 것이다.Fig. 2 shows graphs showing the relationship between the total filler content and dielectric loss tangent of the composite materials of Examples 5 to 8, Comparative Examples 2 to 3, and 10 to 11, Examples 5 to 8, Comparative Examples 2 to 3, and 9 to 11 3 is a graph showing the relationship between the total filler content of the composite material and the coefficient of thermal expansion. From the graph of FIG. 2, if the filler is an agglomerate of porous inorganic fine particles such as fumed silica alone, the dielectric loss tangent increases with an increase in the content of the filler, and by blending inorganic fine particles such as fused silica, it can be significantly suppressed it is clear that there is It is also clear from the graph of Fig. 3 that the increase in the coefficient of thermal expansion accompanying a decrease in the content of the porous inorganic fine particle aggregate can be suppressed by appropriate mixing of the non-porous inorganic fine particle. That is, the plate-shaped composite material in which the porous inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle are appropriately blended can be said to be an excellent material in which various properties are harmonized.

상기 실시예에 있어서는, 본 발명에 있어서의 구체적인 형태에 대해 나타내었으나, 상기 실시예는 단순한 예시에 불과하며, 한정적으로 해석되는 것이 아니다. 당업자에게 명백한 여러 가지 변형은, 본 발명의 범위 내인 것이 기도되고 있다.In the said Example, although it showed about the specific form in this invention, the said Example is only a mere illustration and is not interpreted limitedly. Various modifications apparent to those skilled in the art are intended to be within the scope of the present invention.

본 발명의 일 양태인 복합 재료는, 휴대 전화, 컴퓨터 등의 회로 기판, 밀리파 레이더용의 마이크로스트립 패치 안테나의 기판 등으로서 이용할 수 있다.The composite material according to one aspect of the present invention can be used as a circuit board for mobile phones and computers, and as a board for a microstrip patch antenna for millimeter wave radar, and the like.

Claims (2)

불소계 수지 및 충전제를 포함하는 판형의 복합 재료로서,
상기 충전제가, 평균 일차 입자 직경 5∼200 ㎚의 무기 미립자가 응집하여 형성된 다공성 무기 미립자 응집체, 및 평균 일차 입자 직경 0.2∼50 ㎛의 무공질 무기 미립자를 포함하고,
상기 다공성 무기 미립자 응집체와 상기 무공질 무기 미립자의 총 함유량이, 상기 복합 재료의 20∼90 질량%이며, 상기 다공성 무기 미립자 응집체와 상기 무공질 무기 미립자의 총 함유량에 대한 상기 무공질 무기 미립자의 함유량의 질량비(상기 무공질 무기 미립자의 함유량/(상기 다공성 무기 미립자 응집체의 함유량+상기 무공질 무기 미립자의 함유량))가, 0.15∼0.90인 것을 특징으로 하는 판형의 복합 재료.
As a plate-shaped composite material comprising a fluorine-based resin and a filler,
The filler comprises a porous inorganic fine particle aggregate formed by aggregation of inorganic fine particles having an average primary particle diameter of 5 to 200 nm, and non-porous inorganic fine particles having an average primary particle diameter of 0.2 to 50 μm,
The total content of the porous inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle is 20 to 90 mass% of the composite material, and the content of the non-porous inorganic fine particle relative to the total content of the porous inorganic fine particle aggregate and the non-porous inorganic fine particle A mass ratio (content of the non-porous inorganic fine particles/(content of the porous inorganic fine particle aggregate + the content of the non-porous inorganic fine particle)) is 0.15 to 0.90.
제1항에 있어서, 기공률이 15 체적% 이상인 판형의 복합 재료.The plate-shaped composite material according to claim 1, wherein the porosity is 15% by volume or more.
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