KR20220074336A - 검사 장치 - Google Patents

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신경섭
이나모
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

실시예는, 검사 대상체가 배치되는 스테이지; 상기 검사 대상체를 검사하는 복수 개의 제1 프로브 블록이 각각 고정되는 복수 개의 검사 유닛; 및 상기 복수 개의 검사 유닛에서 상기 복수 개의 제1 프로브 블록을 수거하고 복수 개의 제2 프로브 블록을 상기 복수 개의 검사 유닛에 제공하는 교체 유닛을 포함하고, 상기 교체 유닛은 상기 복수 개의 검사 유닛과 상기 스테이지 사이에 배치되는 검사 장치를 개시한다.

Description

검사 장치{TESTING APPARATUS}
실시예는 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 박막 트랜지스터 검사 장치는, 프로브 핀을 기판의 전극 패드에 접촉시켜 전극 패드에 전기 신호를 인가한 후, 프로브 핀을 통하여 얻은 신호의 파형을 분석하여 기판의 결함을 검사한다.
종래의 박막 트랜지스터 검사 장치는, 기판이 탑재되는 스테이지의 상부에 복수의 프로브 핀이 구비된 프로브 블록을 위치시키고, 기판을 프로브 블록을 향하여 이동시켜, 기판 상에 구비된 복수의 전극 패드에 복수의 프로브 핀을 접촉시킨 후, 복수의 전극 패드에 소정의 전기 신호를 인가하는 과정을 통하여 진행된다.
그러나 각 기판마다 박막 트랜지스터의 핀의 개수 및 위치가 상이하므로 작업자가 수동으로 프로브 블록을 교체해야 하므로 작업 시간이 증가하는 문제가 있다.
실시예는 자동으로 프로브 블록을 교체할 수 있는 검사 장치를 제공한다.
실시 예에서 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되는 것은 아니며, 아래에서 설명하는 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 포함된다고 할 것이다.
본 발명의 일 특징에 따른 검사 장치는, 검사 대상체가 배치되는 스테이지; 상기 검사 대상체를 검사하는 복수 개의 제1 프로브 블록이 각각 고정되는 복수 개의 검사 유닛; 및 상기 복수 개의 검사 유닛에서 상기 복수 개의 제1 프로브 블록을 수거하고 복수 개의 제2 프로브 블록을 상기 복수 개의 검사 유닛에 제공하는 교체 유닛을 포함하고, 상기 교체 유닛은 상기 복수 개의 검사 유닛과 상기 스테이지 사이에 배치된다.
상기 스테이지를 제1 방향으로 이동시키는 제1 구동부재; 상기 복수 개의 검사 유닛이 거치되는 제1 지지대; 및 상기 복수 개의 검사 유닛을 상기 제1 지지대 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시키는 제2 구동부재를 포함할 수 있다.
상기 제1 프로브 블록은 상기 제2 방향으로 마주보는 제1 측면과 제2 측면 및 상기 제1 방향으로 마주보는 제3 측면 및 제4 측면을 포함하고, 상기 검사 유닛은 상기 제1 프로브 블록의 제1 측면과 제2 측면에 형성된 제1 홈에 결합되는 한 쌍의 제1 클램프; 상기 제2 프로브 블록의 제3 측면에 형성된 제2 홈에 삽입되는 제2 클램프; 상기 제1 클램프를 상기 제2 방향으로 구동시키는 제3 구동부재; 및 상기 제2 클램프를 수직 방향으로 구동시키는 제4 구동부재를 포함할 수 있다.
상기 제1 구동부재는 상기 교체 유닛과 상기 스테이지를 함께 상기 제1 방향으로 전진 또는 후진 이동시킬 수 있다.
상기 교체 유닛은 상기 복수 개의 검사 유닛으로부터 상기 복수 개의 제1 프로브 블록을 수거하고 상기 복수 개의 제2 프로브 블록을 상기 검사 유닛에 제공하는 제1 거치대; 상기 제1 거치대에 수납된 제1 프로브 블록이 수납되고 상기 복수 개의 제2 프로브 블록을 상기 제1 거치대에 제공하는 제2 거치대; 상기 제1 거치대를 수직으로 이동시키는 제5 구동부재; 및 상기 제2 거치대에 배치된 복수 개의 제2 프로브 블록을 상기 제1 거치대로 이동시키는 제6 구동부재를 포함할 수 있다.
상기 제2 거치대는 상기 복수 개의 제1 프로브 블록 및 상기 복수 개의 제2 프로브 블록이 수납되는 복수 개의 수납층을 포함할 수 있다.
상기 제2 거치대 상에서 상기 복수 개의 제2 프로브 블록이 배치되는 복수 개의 안착부가 형성된 트레이를 포함하고, 상기 제6 구동부재는 상기 트레이를 상기 제1 거치대로 이동시킬 수 있다.
상기 제1 거치대는 상기 트레이를 미리 정해진 위치로 정렬시키는 제1 정렬핀 및 상기 복수 개의 프로브 블록을 상기 복수 개의 안착부에 각각 정렬시키는 제2 정렬핀을 포함할 수 있다.
실시예에 따르면, 자동으로 복수 개의 프로브 블록을 동시에 교체할 수 있어 작업 시간이 단축되는 효과가 있다.
또한, 자동으로 복수 개의 프로브 블록을 동시에 교체하므로 장비를 다운시키지 않아도 블록을 교체할 수 있고, 작업자가 위험에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 검사 장치의 개념도이고,
도 2는 프로브 블록과 기판의 정렬을 검사하는 과정을 보여주는 도면이고,
도 3은 검사 유닛의 사시도이고,
도 4는 검사 유닛의 측면도이도,
도 5a 내지 도 5g는 검사 유닛의 프로브 블록을 교체하는 과정을 보여주는 도면이고,
도 6은 교체 유닛을 보여주는 도면이고,
도 7은 복수 개의 프로브 블록이 배치된 트레이를 보여주는 도면이고,
도 8은 교체 유닛과 스테이지가 일체화로 이동하는 구조를 보여주는 도면이고,
도 9a 내지 도 9e는 제2 거치대에 수납된 제2 프로브 블록을 제1 거치대로 이동시키는 과정을 보여주는 도면이고,
도 10a 및 도 10b는 제1 거치대로 이동한 트레이 및 복수 개의 프로브 블록을 정렬하는 과정을 보여주는 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제2, 제1 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제1 구성요소도 제2 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 검사 장치의 개념도이고, 도 2는 프로브 블록과 기판의 정렬을 검사하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 실시예에 따른 검사 장치는 검사 대상체(P1)가 배치되는 스테이지(110), 스테이지(110)를 제1 방향(X 방향)으로 이동시키는 제1 구동부재(120), 검사 대상체(P1)를 검사하는 복수 개의 제1 프로브 블록(230)이 각각 고정되는 복수 개의 검사 유닛(200), 및 복수 개의 검사 유닛(200)에서 복수 개의 제1 프로브 블록(230)을 수거하고 복수 개의 제2 프로브 블록(230a)을 복수 개의 검사 유닛(200)에 제공하는 교체 유닛(300)을 포함할 수 있다.
스테이지(110)는 검사 대상체(P1)가 안착될 수 있는 소정의 면적 및 형상을 가질 수 있으며 검사 대상체(P1)를 스테이지(110)에 고정시킬 수 있는 고정부재(미도시)가 배치될 수 있다. 고정부재는 검사 대상체(P1)의 측면을 가압 고정하는 클램프 유닛일 수도 있고, 스테이지(110)의 하부에 배치되어 검사 대상체(P1)를 흡입 고정하는 유압 장치일 수도 있다.
제1 구동부재(120)는 스테이지(110)를 제1 방향(X 방향)으로 전진 또는 후진 시킬 수 있다. 제1 방향은 복수 개의 검사 유닛(200)이 배치된 제1 지지대(140)를 향하는 방향으로 정의할 수 있다. 제1 구동부재(120)는 스테이지(110)를 이동시킬 수 있는 구성이면 특별히 제한되지 않는다. 예시적으로 제1 구동부재(120)는 컨베이어벨트일 수도 있고 실린더 구조일 수도 있다.
검사 대상체(P1)는 복수 개의 박막 트랜지스터가 배치된 디스플레이 기판일 수 있다. 예시적으로 검사 대상체(P1)는 액정 표시 패널 또는 OLED 표시 패널일 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 검사 대상체(P1)는 패드에 전류를 인가하여 검사할 수 있는 다양한 기판이 제한 없이 적용될 수 있다.
복수 개의 검사 유닛(200)은 제1 지지대(140)에 배치되고 제2 구동부재(122)에 의해 제2 방향(Y 방향)으로 이동할 수 있다. 검사 대상체(P1)는 종류에 따라 전극 패드의 개수 및 위치가 상이할 수 있다. 따라서, 복수 개의 검사 유닛(200)들의 간격은 검사 대상체(P1)의 종류에 따라 조절될 수 있다. 또한, 프로브 블록(230)은 검사 대상체(P1)의 변경됨에 따라 교체가 필요할 수 있다.
프로브 블록(230)은 복수 개의 검사 유닛(200)에 고정될 수 있다. 프로브 블록(230)은 검사 대상체(P1)의 전극 패드(P11)에 전기적으로 연결되는 검침핀(234a)이 배치될 수 있다. 검침핀(234a)을 기판의 전극 패드(P11)에 접촉시켜 전기적 신호를 인가한 후, 검침핀(234a)을 통하여 얻은 신호의 파형을 분석하여 기판의 결함을 검사할 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 일반적인 박막 트랜지스터 결함 검출 방법이 제한 없이 적용될 수 있다.
제1 지지대(140)와 스테이지(110) 사이에는 제2 지지대(130)가 배치될 수 있다. 제2 지지대(130)에는 프로브 블록(230) 및/또는 검사 대상체의 전극 패드를 촬영하는 촬상 유닛(132)이 배치될 수 있다. 촬상 유닛(132)은 프로브 블록(230)의 상부에서 얼라인 마크를 촬영할 수 있다. 제어부(500)는 촬상 유닛(132)이 획득한 이미지 정보를 이용하여 프로브 블록(230)과 전극 패드(P11)의 정렬 여부를 판단할 수 있다.
그러나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 촬상 유닛(132)을 이용하여 정렬 여부를 판단할 수 있는 다양한 구조가 제한 없이 적용될 수 있다. 예시적으로 촬상 유닛(132)은 프로브 블록(230)과 전극 패드(P11)의 사이로 삽입되어 프로브 블록(230)과 전극 패드(P11)의 이미지를 촬영할 수도 있다. 촬상 유닛(132)은 이미지를 획득할 수 있는 다양한 카메라 모듈이 제한 없이 선택될 수 있다.
스테이지(110)는 제1 구동부재(120)에 의해 제2 지지대(130)를 통과하여 복수 개의 프로브 블록(230)의 하부까지 이동할 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 제1 구동부재(120)에 의해 스테이지(110)가 이동하는 대신 제1 지지대(140)가 제1 방향으로 이동할 수도 있다.
촬상 유닛(132)은 복수 개의 검사 유닛(200)에 배치된 프로브 블록(230)과 검사 대상체(P1)의 전극 패드(P11)를 촬영하고, 제어부(500)는 촬상 유닛(132)이 획득한 이미지를 이용하여 프로브 블록(230)과 검사 대상체(P1)의 정렬 여부를 판단할 수 있다. 촬상 유닛(132)은 수평 구동부재(133)에 의해 제2 방향으로 이동하고 수직 구동부재(134)에 의해 수직 방향으로 이동할 수 있다.
제어부(500)는 프로브 블록(230)과 검사 대상체(P1)가 정렬되지 않은 것으로 판단되면 정렬을 위해 검사 유닛(200)의 정렬부재(210)를 이용하여 프로브 블록(230)을 이동시킬 수 있다. 정렬부재(210)는 프로브 블록(230)을 X, Y, Z축으로 자유롭게 이동시킬 수 있다. 이러한 정렬부재(210)는 6축 또는 그 이상의 축으로 이동 가능한 회전부재가 다양하게 적용될 수 있다.
도 3은 검사 유닛의 사시도이고, 도 4는 검사 유닛의 측면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 검사 유닛(200)은 프로브 블록(230)을 지지하는 홀더(220), 및 홀더(220)를 자유롭게 이동시키는 정렬부재(210)를 포함할 수 있다.
프로브 블록(230)은 홀더(220)에 지지되는 블록 몸체(231) 및 블록 몸체(231)의 하부에 배치되어 복수 개의 검침핀이 구비된 검침 패드(234)를 포함할 수 있다. 블록 몸체(231)는 제2 방향(Y 방향)으로 마주보는 제1 측면(231c)과 제2 측면(231d) 및 제1 방향(X 방향)으로 마주보는 제3 측면(231b) 및 제4 측면(231a)을 포함하고, 제1 측면(231c)과 제2 측면(231d)에는 홀더(220)의 제1 클램프(223)와 결합되는 제1 홈(232)이 형성되고 제3 측면(231b)에는 제2 클램프(224)가 삽입되는 제2 홈(233)이 형성될 수 있다. 제2 홈(233)은 제1 방향으로 형성되고 검침 패드(234)의 상단에 배치될 수 있다.
홀더(220)는 프로브 블록(230)의 제1 홈(232)에 결합되는 한 쌍의 제1 클램프(223), 프로브 블록(230)의 제2 홈(233)에 삽입되는 제2 클램프(224), 제1 클램프(223)를 제2 방향(Y 방향)으로 구동시키는 제3 구동부재(222), 및 제2 클램프(224)를 수직 방향(Z 방향)으로 구동시키는 제4 구동부재(225)를 포함할 수 있다.
제1 클램프(223)는 프로브 블록(230)의 양측면(231c, 231d)에 결합되어 홀더(220)에 프로브 블록(230)을 고정하는 역할을 수행하며, 제2 클램프(224)는 프로브 블록(230)을 승하강 시킬 수 있다. 제2 클램프(224)는 제2 홈(233)에 삽입되는 제1 부분(224b) 및 제4 구동부재(225)와 연결된 제2 부분(224a)을 포함할 수 있다.
정렬부재는 홀더(220)를 수직 방향으로 이동시키는 제1 정렬부재(215), 홀더(220)를 수평 방향으로 이동시키는 제2 정렬부재(214) 및 홀더(220)를 회전시킬 수 있는 제3 정렬부재(212)를 포함할 수 있다.
예시적으로 제1 정렬부재(215)는 홀더(220)가 결합된 제1 프레임(217)을 수직 방향으로 승하강 시킬 수 있고, 제2 정렬부재(214)는 제1 정렬부재(215)가 배치된 제2 프레임(213)을 수평 방향으로 이동시킬 수 있고, 제3 정렬부재(212)는 제3 프레임(211) 상에 배치되어 제2 프레임을 회전시킬 수 있다. 제1 프레임(217)에는 검침 패드(234)에 수집된 신호를 계측기(150)에 전송하는 회로기판(216)이 배치될 수 있다.
그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 정렬부재(210)는 프로브 블록(230)을 자유롭게 이동시킬 수 있는 다양한 구조가 제한 없이 적용될 수 있다. 또한 각 정렬 부재의 위치는 다양하게 변형될 수 있다.
도 5a 내지 도 5g는 검사 유닛의 프로브 블록을 교체하는 과정을 보여주는 도면이다.
이하에서는 홀더(220)에 결합된 프로브 블록(제1 프로브 블록)을 새로운 프로브 블록(제2 프로브 블록)으로 교체하는 과정을 설명한다.
도 5a를 참조하면, 홀더(220)의 제3 구동부재(222)가 연장부(222a)를 이동시켜 한 쌍의 제1 클램프(223)를 제2 방향(Y 방향)으로 구동시켜 제1 클램프(223)와 제1 홈(232)의 결합을 해제시킬 수 있다. 제1 클램프(223)에는 탄성돌기(224)가 배치되어 프로브 블록의 손상을 방지할 수 있다.
실시예에 따르면, 제1 클램프(223)와 제1 홈(232)의 결합이 해제되어도 제2 클램프(224)가 제1 프로브 블록(230)을 수직 방향으로 지지하고 있으므로 제1 프로브 블록(230)은 검사 유닛(200)에서 떨어지지 않는다.
도 5b를 참조하면, 제4 구동부재(225)에 의해 제2 클램프(224)가 하강함으로써 제1 프로브 블록(230)도 하강하게 된다. 이 과정에서 홀더(220)의 하부면에 형성된 돌출부재(225a)가 제1 프로브 블록(230)에 형성된 수용홈(235)과 분리될 수 있다.
도 5c를 참조하면, 교체 유닛(300)의 제1 거치대(310)가 제1 방향으로 이동하여 제1 프로브 블록(230)의 하부에 배치될 수 있다. 예시적으로 제1 거치대(310)가 제1 프로브 블록(230)의 하부 위치까지 배치된 후 제2 클램프(224)가 더 하강하여 제1 프로브 블록(230)을 제1 거치대(310) 상에 안착시킬 수도 있다.
제2 클램프(224)는 검침 패드(234)의 상부에 위치한 제2 홈에 삽입되어 있으므로 제2 클램프(224)가 하강하면 제1 프로브 블록(230)의 하부면(또는 검침 패드)이 제1 거치대(310)에 안착될 수 있다.
도 5d를 참조하면, 제1 프로브 블록(230)이 안착된 상태에서 제1 거치대(310)가 검사 유닛(200)에서 멀어지는 방향으로 후퇴함으로써 제1 프로브 블록(230)을 수거할 수 있다. 제2 클램프(224)는 블록 본체의 제3 측면에 배치되어 있으므로 제1 거치대(310)가 검사 유닛(200)에서 멀어지는 방향으로 후퇴하면 제1 프로브 블록(230)은 수거될 수 있다. 이때, 복수 개의 제1 프로브 블록(230)은 트레이(400)의 안착부(미도시)에 각각 수용될 수 있다.
도 5e를 참조하면, 제2 프로브 블록(230a)이 놓인 상태에서 제1 거치대(310)가 검사 유닛(200)을 향해 이동함으로써 제2 클램프(224)가 제2 프로브 블록(230a)의 제2 홈(233)에 삽입될 수 있다. 복수 개의 제2 프로브 블록(230a)은 트레이(400)의 안착부에 각각 수용된 상태에서 제2 클램프(224)에 끼워질 수 있다.
도 5f와 도 5g를 참조하면, 제4 구동부재(225)에 의해 제2 클램프(224)가 상승하면 제2 프로브 블록(230a)도 상승하게 되어 수용홈(235)에 돌출부재(225a)가 삽입될 수 있다. 이후 제3 구동부재(222)에 의해 제1 클램프(223)가 제2 프로브 블록(230a)의 제1 홈(232)에 결합됨으로써 프로브 블록(230)을 교체할 수 있다.
이때, 후술하는 바와 같이 복수 개의 프로브 블록(230)이 배치될 수 있는 트레이를 이용하면 복수 개의 프로브 볼록을 동시에 교체할 수 있어 교체 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
도 6은 교체 유닛을 보여주는 도면이고, 도 7은 복수 개의 프로브 블록이 배치된 트레이를 보여주는 도면이고, 도 8은 교체 유닛과 스테이지가 일체화로 이동하는 구조를 보여주는 도면이다.
도 6을 참조하면, 교체 유닛(300)은 복수 개의 검사 유닛(200)으로부터 복수 개의 제1 프로브 블록(230)을 수거하고 복수 개의 제2 프로브 블록(230a)을 검사 유닛(200)에 제공하는 제1 거치대(310), 제1 거치대(310)에 수납된 제1 프로브 블록(230)이 수납되고 복수 개의 제2 프로브 블록(230a)을 제1 거치대(310)에 제공하는 제2 거치대(320), 제1 거치대(310)를 수직으로 이동시키는 제5 구동부재(311), 및 제2 거치대(320)에 배치된 복수 개의 제2 프로브 블록(230a)을 제1 거치대(310)로 이동시키는 제6 구동부재(322)를 포함할 수 있다.
제1 거치대(310)는 검사 유닛(200)으로부터 복수 개의 제1 프로브 블록(230)을 수거한 후, 검사 유닛(200)에 복수 개의 제2 프로브 블록(230a)을 제공할 수 있다(도 5c 내지 도 5f 참조).
제2 거치대(320)는 복수 개의 수납층(321)이 마련되어 제1 거치대(310)가 검사 유닛(200)으로부터 회수해온 제1 프로브 블록(230)이 수납되고, 복수 개의 제2 프로브 블록(230a)을 제1 거치대(310)에 제공할 수 있다. 복수 개의 수납층(321)에는 복수 개의 제1 프로브 블록(230) 또는 제2 프로브 블록(230a)이 배치될 수 있다.
예시적으로, 빈 수납층(321)을 이용하여 제1 거치대(310)가 검사 유닛(200)으로부터 회수해온 제1 프로브 블록(230)을 수납하고, 다른 수납층(321)에 미리 수납된 제2 프로브 블록(230a)을 제1 거치대(310)에 제공할 수 있다.
제5 구동부재(311)는 제1 거치대(310)를 수직으로 이동시킬 수 있고, 제6 구동부재(322)는 제2 거치대(320)에 배치된 복수 개의 제2 프로브 블록(230a)을 제1 거치대(310)로 이동시킬 수 있다. 제5 구동부재(311)와 제6 구동부재(322)는 수직 또는 수평 이동이 가능한 기계식 또는 유압식 이송부재가 제한 없이 적용될 수 있다.
도 7을 참조하면, 트레이(400)는 복수 개의 프로브 블록(230)이 배치될 수 있는 복수 개의 안착부(410)가 형성될 수 있다. 따라서, 트레이(400)에 배치된 복수 개의 프로브 블록(230)이 복수 개의 검사 유닛(200)에 동시에 장착될 수 있고, 복수 개의 검사 유닛(200)에 장착된 복수 개의 프로브 블록(230)이 한번에 회수될 수 있다.
도 8을 참조하면, 제1 구동부재(120)는 교체 유닛(300)과 스테이지(110)를 함께 제1 방향(X 방향)으로 이동시킬 수 있다. 이러한 구성에 의하면 1개의 구동 부재만 사용 가능하므로 장치의 소형화가 가능해지고 제작 비용이 절감될 수 있다.
도 9a 내지 도 9e는 제2 거치대에 수납된 제2 프로브 블록을 제1 거치대로 이동시키는 과정을 보여주는 도면이다.
도 9a 및 도 9b를 참조하면, 제5 구동부재(311)에 의해 제1 거치대(310)가 제2 거치대(320)의 상단 높이와 동일해지도록 하강할 수 있다. 만약 제2 프로브 블록(230a)이 복수 개의 수납층(321) 중 최하단에 배치된 경우 제5 구동부재(311)에 의해 제1 거치대(310)는 최하단에 배치된 수납층(321)과 동일한 높이가 되도록 하강할 수 있다.
이후 도 9c 및 도 9d와 같이 제6 구동부재(322)가 복수 개의 프로브 블록(230)이 배치된 트레이(400)를 제1 거치대(310)로 이송할 수 있다. 제1 거치대(310)에는 제6 구동부재(322)가 삽입될 수 있는 홈(311c)이 형성될 수 있다.
이후 도 9e와 같이 제5 구동부재(311)에 의해 제1 거치대(310)가 상승하게 되면서 트레이(400)도 상승하게 된다. 이러한 구성에 의해 제2 거치대(320)에 수납된 복수 개의 프로브 블록(230)은 제1 거치대(310)로 이송될 수 있다. 이후 도 5 c 내지 도 5f에서 설명한 바와 같이 트레이(400)를 이용하여 복수 개의 프로브 블록(230)을 교체할 수 있다.
이와 반대로 제1 거치대(310)에 회수된 복수 개의 제1 프로브 블록(230)은 도 9e, 도 9c, 도 9a의 순서로 제2 거치대(320)에 수납될 수 있다.
도 10a 및 도 10b는 제1 거치대로 이동한 트레이 및 복수 개의 프로브 블록을 정렬하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 10a를 참조하면, 제1 거치대(310)에는 트레이(400)의 유닛의 위치를 정렬시키는 제1 정렬 유닛(311a) 및 복수 개의 프로브 블록(230)을 정렬시키는 복수 개의 제2 정렬 유닛(311b)을 포함할 수 있다. 제1 정렬 유닛(311a)은 트레이(400)의 양 측면에 대응되게 배치되고, 복수 개의 제2 정렬 유닛(311b)은 복수 개의 프로브 블록(230)의 모서리에 인접 배치될 수 있다.
도 10b를 참조하면, 제1 정렬 유닛(311a)의 제1 정렬핀(311a-1)이 돌출되어 트레이(400)의 양 측면에 형성된 홈에 삽입됨으로써 트레이(400)를 정렬시킬 수 있다.
이후, 복수 개의 제2 정렬 유닛(311b)은 제2 정렬핀(311b-1)이 프로브 블록(230)의 모서리를 대각 방향에서 푸시함으로써 복수 개의 프로브 블록(230)을 가이드(421, 422) 안에서 정렬시킬 수 있다. 안착부(410)의 외주면에는 꺽쇠 형상의 가이드(421, 422)가 배치되어 있으므로 제2 정렬핀(311b-1)이 대각 방향으로 프로브 블록(230)을 밀면 프로브 블록(230)이 가이드(421, 422)의 일 부분에 밀착되면서 정렬될 수 있다.
이러한 구성에 의하면 트레이(400)와 프로브 블록(230)을 정위치에 정렬시킬 수 있으므로 검사 유닛(200)에 삽입이 용이해질 수 있다.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (8)

  1. 검사 대상체가 배치되는 스테이지;
    상기 검사 대상체를 검사하는 복수 개의 제1 프로브 블록이 각각 고정되는 복수 개의 검사 유닛; 및
    상기 복수 개의 검사 유닛에서 상기 복수 개의 제1 프로브 블록을 수거하고 복수 개의 제2 프로브 블록을 상기 복수 개의 검사 유닛에 제공하는 교체 유닛을 포함하고,
    상기 교체 유닛은 상기 복수 개의 검사 유닛과 상기 스테이지 사이에 배치되는 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지를 제1 방향으로 이동시키는 제1 구동부재;
    상기 복수 개의 검사 유닛이 거치되는 제1 지지대; 및
    상기 복수 개의 검사 유닛을 상기 제1 지지대 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시키는 제2 구동부재를 포함하는 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 프로브 블록은 상기 제2 방향으로 마주보는 제1 측면과 제2 측면 및 상기 제1 방향으로 마주보는 제3 측면 및 제4 측면을 포함하고,
    상기 검사 유닛은 상기 제1 프로브 블록의 제1 측면과 제2 측면에 형성된 제1 홈에 결합되는 한 쌍의 제1 클램프;
    상기 제2 프로브 블록의 제3 측면에 형성된 제2 홈에 삽입되는 제2 클램프;
    상기 제1 클램프를 상기 제2 방향으로 구동시키는 제3 구동부재; 및
    상기 제2 클램프를 수직 방향으로 구동시키는 제4 구동부재를 포함하는 검사 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 구동부재는 상기 교체 유닛과 상기 스테이지를 함께 상기 제1 방향으로 전진 또는 후진 이동시키는 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 교체 유닛은
    상기 복수 개의 검사 유닛으로부터 상기 복수 개의 제1 프로브 블록을 수거하고 상기 복수 개의 제2 프로브 블록을 상기 검사 유닛에 제공하는 제1 거치대;
    상기 제1 거치대에 수납된 제1 프로브 블록이 수납되고 상기 복수 개의 제2 프로브 블록을 상기 제1 거치대에 제공하는 제2 거치대;
    상기 제1 거치대를 수직으로 이동시키는 제5 구동부재; 및
    상기 제2 거치대에 배치된 복수 개의 제2 프로브 블록을 상기 제1 거치대로 이동시키는 제6 구동부재를 포함하는 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2 거치대는 상기 복수 개의 제1 프로브 블록 및 상기 복수 개의 제2 프로브 블록이 수납되는 복수 개의 수납층을 포함하는 검사 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제2 거치대 상에서 상기 복수 개의 제2 프로브 블록이 배치되는 복수 개의 안착부가 형성된 트레이를 포함하고,
    상기 제6 구동부재는 상기 트레이를 상기 제1 거치대로 이동시키는 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 거치대는 상기 트레이를 미리 정해진 위치로 정렬시키는 제1 정렬핀 및 상기 복수 개의 프로브 블록을 상기 복수 개의 안착부에 각각 정렬시키는 제2 정렬핀을 포함하는 검사 장치.
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