KR20220057084A - Display laminating apparatus and support chuck leveling method using the same - Google Patents

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KR20220057084A
KR20220057084A KR1020200141944A KR20200141944A KR20220057084A KR 20220057084 A KR20220057084 A KR 20220057084A KR 1020200141944 A KR1020200141944 A KR 1020200141944A KR 20200141944 A KR20200141944 A KR 20200141944A KR 20220057084 A KR20220057084 A KR 20220057084A
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panel
support chuck
pressure
laminating apparatus
leveling
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KR1020200141944A
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한규용
유대일
김재환
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(주)에스티아이
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Abstract

A display laminating device is disclosed. According to an embodiment of the present invention, a display laminating device includes: an upper stage capable of supporting a first panel; a lower stage having a support chuck capable of supporting and adsorbing a second panel disposed to face the first panel; at least two lifting units spaced apart from each other and independently lifting and lowering one area of the support chuck in a vertical direction; and a leveler connected to one end of the lifting unit and capable of adjusting the lifting and lowering position of the lifting unit in the vertical direction according to coaxial rotation.

Description

디스플레이 라미네이션 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법{DISPLAY LAMINATING APPARATUS AND SUPPORT CHUCK LEVELING METHOD USING THE SAME}Display lamination and support chuck leveling method using the same

본 발명은 디스플레이 라미네이션 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 장치의 합착 성능을 높일 수 있는 디스플레이 라미네이션 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법에 관한 것이다.The present invention relates to display lamination and a method for leveling a support chuck using the same, and more particularly, to a display lamination capable of increasing adhesion performance of a display device and a method for leveling a support chuck using the same.

디스플레이 장치에는 발광 방식에 따라 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD)와 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display, OLED display), 플라즈마 표시 장치(plasma display panel, PDP), 마이크로 발광 표시 장치(Micro-LED) 등이 있다.Display devices include a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode display (OLED display), a plasma display panel (PDP), and a micro light emitting display device (Micro) depending on the light emitting method. -LED), etc.

디스플레이 장치는 서로 다른 기능성 패널, 유리 또는 필름(이하, 패널이라 한다)으로 이루어지고, 각각의 패널은 패널 사이에 접착층을 개재하여 합착한다. 접착층은 그 종류에 따라, 필름형 접착층과 액상 타입의 접착제를 도포해 경화시키는 액체 경화형 접착층이 있다.A display device is made of different functional panels, glass or films (hereinafter referred to as panels), and each panel is bonded to each other with an adhesive layer interposed between the panels. Depending on the type of the adhesive layer, there are a film adhesive layer and a liquid curing adhesive layer in which a liquid adhesive is applied and cured.

서로 다른 복수의 패널을 다층으로 합착(lamination)하여 디스플레이 장치를 구성하게 된다. 디스플레이 라미네이팅 장치를 이용한 이러한 합착 공정에서 복수의 패널 간 정확한 평행 상태를 유지함으로써 균일하게 일정 두께의 디스플레이 장치를 구현하는 것이 중요하다.A display device is configured by laminating a plurality of different panels in multiple layers. In this bonding process using a display laminating apparatus, it is important to realize a display apparatus having a uniform thickness by maintaining an accurate parallel state between a plurality of panels.

디스플레이 라미네이팅 장치를 이루는 지지 척과 스테이지 등의 기구물 설치, 교체 시 상호 간 정밀도, 평행도 구현이 중요하다.When installing and replacing fixtures such as support chucks and stages that make up the display laminating device, it is important to realize mutual precision and parallelism.

종래 방식의 디스플레이 라미네이션 장치는 감압지를 사용해 하중을 측정하였다. 도 1(a)에 도시된 대로 하중 측정이 필요한 지지 척 또는 스테이지에 대응되는 모양으로 감압지를 준비하고, 도 1(b)와 도 1(c)에 도시된 대로 하중을 측정할 부위에 감압지를 삽입해 압력을 가한다. 각 면적당 가해지는 압력에 따라 감압지의 색상이 바뀌고, 색상 분포에 따라 기구물에 가해지는 압력을 확인하였다.In the conventional display lamination apparatus, the load was measured using a pressure-sensitive paper. Prepare a pressure paper in a shape corresponding to the support chuck or stage requiring load measurement as shown in FIG. Insert and apply pressure. The color of the pressure-sensitive paper changed according to the pressure applied to each area, and the pressure applied to the appliance was checked according to the color distribution.

또한 종래 방식에 의하면 각 영역 별 압력 분포에 따라 평행도를 맞추기 위해 기구물을 분해해 심 등의 단단한 소재로 일부 영역을 받치는 공정으로 평행도를 조정하였다. 이후 감압지로 재측정을 거치며 심을 빼거나 넣는 과정을 반복한다. 짧게는 수 회에서 많게는 수십 회에 반복 공정을 필요로 하고, 작업자의 숙련도에 따라 결과물이 달라지는 문제점이 있었다. 감압지의 색상 차이가 미묘하고, 이를 기준으로 높이를 조정해야 해 모호한 시각적 감각에 의존해야 하는 한계가 있었다.In addition, according to the conventional method, in order to match the parallelism according to the pressure distribution for each area, the parallelism was adjusted by disassembling the mechanism and supporting some areas with a hard material such as a shim. After that, repeat the process of removing or inserting the shim through re-measurement with pressure paper. There was a problem in that the shortest number of times to as many as several tens of repetitions was required, and the result was different depending on the skill level of the operator. The color difference of the pressure-sensitive paper was subtle, and the height had to be adjusted based on this, so there was a limit to relying on an ambiguous visual sense.

또한 한국등록공보(등록번호: 10-1170740, “기판 합착기”)는 스테이지 구동 수단의 구동에 의해 상부 스테이지의 하향 이동 및 하부 스테이지의 상향 이동에 의해 각 기판 사이의 합착이 수행된다. 이때 챔버부 내의 압력 측정을 위해 상부 스테이지 내 하나의 압력 측정 센서를 장착하여 기판 흡착 당시의 압력을 측정하는 기술이 개시되어 있다.In addition, according to Korea Registration Publication (registration number: 10-1170740, “substrate bonding machine”), bonding between each substrate is performed by downward movement of the upper stage and upward movement of the lower stage by driving the stage driving means. At this time, there is disclosed a technique for measuring the pressure at the time of adsorption of the substrate by mounting one pressure measuring sensor in the upper stage to measure the pressure in the chamber part.

다만 이러한 종래 방식에 따르면 어느 한 영역에 가해지는 압력을 측정할 수 있을 뿐 측정된 압력을 기초로 평탄도 또는 수평균형도나 각 부속의 교체시기, 공정 상 이상 징후 등을 확인하기 어려운 문제점이 있었다.However, according to this conventional method, it is possible to measure the pressure applied to any one area, but there is a problem in that it is difficult to check the flatness or number-average shape, the replacement time of each part, and abnormal signs in the process based on the measured pressure.

한국등록공보 제10-1170740호(공고일자: 2012.08.03.)Korea Registration Publication No. 10-1170740 (Announcement date: 2012.08.03.)

본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 복수개의 패널 간 평행도(parallelization)를 높여 디스플레이 장치의 두께가 균일성(uniformity)을 갖도록 한 디스플레이 라미네이션 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법에 관한 것이다.One technical problem to be solved by the present invention relates to a display lamination in which a thickness of a display device has uniformity by increasing parallelism between a plurality of panels, and a support chuck leveling method using the same.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 디스플레이 라미네이션 장치를 제공한다.In order to solve the above technical problem, the present invention provides a display lamination apparatus.

본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치는, 제1 패널을 지지 가능한 상부 스테이지; 상기 제1 패널과 상호 대향되게 배치된 제2 패널을 지지 흡착 가능한 지지 척을 구비한 하부 스테이지; 서로 이격 마련되어 상호 독립적으로 상기 지지 척의 일 영역을 상하 방향으로 승하강 구동시키는 적어도 둘 이상의 승강 유닛; 및 상기 승강 유닛의 일단에 연결되고, 동축 회전에 따라 상기 승강 유닛을 연직 방향으로 승하강 위치 조절 가능한 레벨러(leveler)를 포함할 수 있다.A display lamination apparatus according to an embodiment of the present invention includes: an upper stage capable of supporting a first panel; a lower stage having a support chuck capable of supporting and adsorbing a second panel disposed to face the first panel; at least two elevating units provided to be spaced apart from each other and independently driven to elevate and lower one region of the support chuck in an up-down direction; and a leveler connected to one end of the elevating unit and capable of adjusting the elevating position of the elevating unit in a vertical direction according to coaxial rotation.

일 실시예에 따르면, 상기 레벨러는, 회전 운동이 가능한 레벨 스크류(level screw); 상기 레벨 스크류의 회전에 따라 위치 이동 가능한 제1 블록; 및 상기 제1 블록의 움직임에 연동해 상하 방향으로 이동 가능한 제2 블록을 포함할 수 있다.According to an embodiment, the leveler may include a level screw capable of rotational movement; a first block movable in position according to the rotation of the level screw; and a second block movable in an up-down direction in association with the movement of the first block.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 블록의 상단면은 일측 상향 경사진 구조로 이루어질 수 있다.According to one embodiment, the upper surface of the first block may be formed of a structure inclined upward at one side.

일 실시예에 따르면, 상기 레벨 스크류의 일단에 마련되어 상기 레벨 스크류의 회전을 저지 가능한 스크류 홀더(screw holder)를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, it may further include a screw holder provided at one end of the level screw to block the rotation of the level screw.

일 실시예에 따르면, 상기 하부 스테이지를 감싸는 챔버를 더 포함하고, 상기 챔버 외측에서 상기 레벨 스크류의 일단에 회전력을 제공할 수 있다.According to an embodiment, it may further include a chamber surrounding the lower stage, and provide a rotational force to one end of the level screw from the outside of the chamber.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 패널과 상기 상부 스테이지 사이에 구비되어, 상기 제1 패널에 가해지는 압력을 측정 가능한 적어도 하나의 면압 센서를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, at least one surface pressure sensor provided between the first panel and the upper stage to measure the pressure applied to the first panel may be further included.

일 실시예에 따르면, 상기 승강 유닛은, 일단부에 벨로우즈가 형성되 연직 신장 가능한 샤프트를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the elevating unit may include a vertically extendable shaft having a bellows formed at one end thereof.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 지지 척 레벨링 방법을 제공한다.In order to solve the above technical problem, the present invention provides a support chuck leveling method.

본 발명의 일 실시예에 따른 지지 척 레벨링 방법은, 제1 패널과 상호 대향하는 제2 패널을 승강 구동하는 적어도 하나의 승강 유닛을 연직 방향에서 위치 이동시키는 레벨링 조정 방법을 포함할 수 있다.The support chuck leveling method according to an embodiment of the present invention may include a leveling adjustment method of moving at least one lifting unit for lifting and lowering a first panel and a second panel opposite to each other in a vertical direction.

일 실시예에 따르면, 상기 레벨링 조정 단계에서는, 서로 다른 복수개의 승강 유닛마다 독립적으로 위치 이동할 수 있다.According to an embodiment, in the leveling adjustment step, each of a plurality of different lifting units may be independently moved.

일 실시예에 따르면, 감압지를 상기 제1 패널과 상기 제2 패널 사이에 개재해, 분포 압력을 점검하는 압력 점검 단계를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, the method may further include a pressure checking step of interposing a pressure paper between the first panel and the second panel to check the distribution pressure.

일 실시예에 따르면, 상부 스테이지에 적어도 하나의 면압 센서를 개재해, 상기 지지 척에 가해지는 압력을 측정하는 면압 측정 단계를 더 포함하고, 상기 면압 측정 단계는 상기 레벨링 조정 단계에 앞서, 또는 상기 레벨링 조정 단계에 뒤이어 적어도 1회 이상 동작할 수 있다.According to an embodiment, the method further includes a surface pressure measurement step of measuring a pressure applied to the support chuck via at least one surface pressure sensor on the upper stage, wherein the surface pressure measurement step is performed prior to the leveling adjustment step, or Following the leveling adjustment step, the operation may be performed at least once or more.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 디스플레이 라미네이션 장치를 제공한다.In order to solve the above technical problem, the present invention provides a display lamination apparatus.

본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치는, 제1 패널을 지지 가능한 상부 스테이지; 상기 제1 패널과 상호 대향되게 배치된 제2 패널을 지지 흡착 가능한 지지 척을 구비한 하부 스테이지; 서로 이격 마련되어 상호 독립적으로 상기 지지 척의 일 영역을 상하 방향으로 승하강 구동시키는 적어도 둘 이상의 승강 유닛; 및 상기 승강 유닛의 일단에 연결되고, 동축 회전에 따라 상기 승강 유닛을 연직 방향으로 승하강 위치 조절 가능한 레벨러(leveler)를 포함할 수 있다.A display lamination apparatus according to an embodiment of the present invention includes: an upper stage capable of supporting a first panel; a lower stage having a support chuck capable of supporting and adsorbing a second panel disposed to face the first panel; at least two elevating units provided to be spaced apart from each other and independently driven to elevate and lower one region of the support chuck in an up-down direction; and a leveler connected to one end of the elevating unit and capable of adjusting the elevating position of the elevating unit in a vertical direction according to coaxial rotation.

일 실시예에 따르면, 상기 레벨러는, 회전 운동이 가능한 레벨 스크류(level screw); 상기 레벨 스크류의 회전에 따라 위치 이동 가능한 제1 블록; 및 상기 제1 블록의 움직임에 연동해 상하 방향으로 이동 가능한 제2 블록을 포함할 수 있다.According to an embodiment, the leveler may include a level screw capable of rotational movement; a first block movable in position according to the rotation of the level screw; and a second block movable in an up-down direction in association with the movement of the first block.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 블록의 상단면은 일측 상향 경사진 구조로 이루어질 수 있다.According to one embodiment, the upper surface of the first block may be formed of a structure inclined upward at one side.

일 실시예에 따르면, 상기 레벨 스크류의 일단에 마련되어 상기 레벨 스크류의 회전을 저지 가능한 스크류 홀더(screw holder)를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, it may further include a screw holder provided at one end of the level screw to block the rotation of the level screw.

일 실시예에 따르면, 상기 하부 스테이지를 감싸는 챔버를 더 포함하고, 상기 챔버 외측에서 상기 레벨 스크류의 일단에 회전력을 제공할 수 있다.According to an embodiment, it may further include a chamber surrounding the lower stage, and provide a rotational force to one end of the level screw from the outside of the chamber.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 패널과 상기 상부 스테이지 사이에 구비되어, 상기 제1 패널에 가해지는 압력을 측정 가능한 적어도 하나의 면압 센서를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, at least one surface pressure sensor provided between the first panel and the upper stage to measure the pressure applied to the first panel may be further included.

일 실시예에 따르면, 상기 승강 유닛은, 일단부에 벨로우즈가 형성되 연직 신장 가능한 샤프트를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the elevating unit may include a vertically extendable shaft having a bellows formed at one end thereof.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 지지 척 레벨링 방법을 제공한다.In order to solve the above technical problem, the present invention provides a support chuck leveling method.

본 발명의 일 실시예에 따른 지지 척 레벨링 방법은, 제1 패널과 상호 대향하는 제2 패널을 승강 구동하는 적어도 하나의 승강 유닛을 연직 방향에서 위치 이동시키는 레벨링 조정 방법을 포함할 수 있다.The support chuck leveling method according to an embodiment of the present invention may include a leveling adjustment method of moving at least one lifting unit for lifting and lowering a first panel and a second panel opposite to each other in a vertical direction.

일 실시예에 따르면, 상기 레벨링 조정 단계에서는, 서로 다른 복수개의 승강 유닛마다 독립적으로 위치 이동할 수 있다.According to an embodiment, in the leveling adjustment step, each of a plurality of different lifting units may be independently moved.

일 실시예에 따르면, 감압지를 상기 제1 패널과 상기 제2 패널 사이에 개재해, 분포 압력을 점검하는 압력 점검 단계를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, the method may further include a pressure checking step of interposing a pressure paper between the first panel and the second panel to check the distribution pressure.

일 실시예에 따르면, 상부 스테이지에 적어도 하나의 면압 센서를 개재해, 상기 지지 척에 가해지는 압력을 측정하는 면압 측정 단계를 더 포함하고, 상기 면압 측정 단계는 상기 레벨링 조정 단계에 앞서, 또는 상기 레벨링 조정 단계에 뒤이어 적어도 1회 이상 동작할 수 있다.According to an embodiment, the method further includes a surface pressure measurement step of measuring a pressure applied to the support chuck via at least one surface pressure sensor on the upper stage, wherein the surface pressure measurement step is performed prior to the leveling adjustment step, or Following the leveling adjustment step, the operation may be performed at least once or more.

도 1(a) 내지 도 1(d)는 종래 방식으로 디스플레이 라미네이션 장치의 하중을 측정하는 방법을 보여주고 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치를 보여주는 도면이다.
도 3(a)와 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 승강 유닛의 구동에 따른 디스플레이 라미네이션 장치의 동작 상태를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 면압 센서를 포함한 상부 스테이지와 하부 스테이지를 모식적으로 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨러를 보여주는 도면이다.
도 6(a) 내지 도 6(d)는 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨 스크류의 회전 구동에 따라 레벨러의 동작 상태를 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 방법을 보여주는 순서도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 방법을 보여주는 순서도이다.1(a) to 1(d) show a method of measuring a load of a display lamination apparatus in a conventional manner.
2 is a view showing a display lamination apparatus according to an embodiment of the present invention.
3(a) and 3(b) are diagrams illustrating an operation state of the display lamination apparatus according to the driving of the lifting unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a view schematically showing an upper stage and a lower stage including a surface pressure sensor according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing a leveler according to an embodiment of the present invention.
6 (a) to 6 (d) is a view showing an operating state of the leveler according to the rotational driving of the level screw according to an embodiment of the present invention.
7 is a flowchart illustrating a display lamination method according to an embodiment of the present invention.
8 is a flowchart illustrating a display lamination method according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the technical spirit of the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed content may be thorough and complete, and the spirit of the present invention may be sufficiently conveyed to those skilled in the art.

본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.In this specification, when a component is referred to as being on another component, it means that it may be directly formed on the other component or a third component may be interposed therebetween. In addition, in the drawings, the shape and size are exaggerated for effective description of technical content.

또한, 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.In addition, in various embodiments of the present specification, terms such as first, second, third, etc. are used to describe various components, but these components should not be limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, what is referred to as a first component in one embodiment may be referred to as a second component in another embodiment. Each embodiment described and illustrated herein also includes a complementary embodiment thereof. In addition, in this specification, 'and/or' is used in the sense of including at least one of the components listed before and after.

명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.In the specification, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In addition, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, element, or a combination thereof described in the specification exists, but one or more other features, number, step, configuration It should not be construed as excluding the possibility of the presence or addition of elements or combinations thereof. In addition, in this specification, "connection" is used in a sense including both indirectly connecting a plurality of components and directly connecting a plurality of components.

또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.In addition, in the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related well-known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 고정용 다단 척(10)을 구성하는 각 구성요소에 대하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, each component constituting the multi-stage chuck 10 for fixing a panel according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치를 보여주는 도면이고, 도 3(a)와 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 승강 유닛의 구동에 따른 디스플레이 라미네이션 장치의 동작 상태를 보여주는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 면압 센서를 포함한 상부 스테이지와 하부 스테이지를 모식적으로 보여주는 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨러(400)를 보여주는 도면이며, 도 6(a) 내지 도 6(d)는 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨 스크류(410)의 회전 구동에 따라 레벨러(400)의 동작 상태를 보여주는 도면이다.Figure 2 is a view showing a display lamination apparatus according to an embodiment of the present invention, Figures 3 (a) and 3 (b) are the operation of the display lamination apparatus according to the driving of the lifting unit according to an embodiment of the present invention It is a view showing a state, and FIG. 4 is a view schematically showing an upper stage and a lower stage including a surface pressure sensor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a leveler 400 according to an embodiment of the present invention. 6(a) to 6(d) are views showing the operating state of the leveler 400 according to the rotational driving of the level screw 410 according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치를 구성하는 각 구성요소에 대하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, each component constituting the display lamination apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

패널(P)은, LCD와 OLED, PDP 패널과 같은 표시 패널, 터치 패널, 윈도우 패널 중 어느 하나이거나, 이들을 적층 결합한 복수층으로 이루어진 패널일 수 있다. 또한 패널(P)은, 경성 패널뿐만 아니라, 구부리거나(bending) 접거나(folding), 마는(rolling) 것이 가능한 유연한 소재의 플렉서블 패널을 포함할 수 있다.The panel P may be any one of a display panel such as an LCD, an OLED, a PDP panel, a touch panel, and a window panel, or a panel composed of a plurality of layers in which these are laminated and combined. In addition, the panel P may include a flexible panel made of a flexible material that can be bent, folded, or rolled, as well as a rigid panel.

복수의 패널 사이에는 접착성과 광투과성을 가지는 접착층(미도시)이 개재될 수 있다. An adhesive layer (not shown) having adhesive properties and light transmittance may be interposed between the plurality of panels.

도 2 내지 도 6(d)에 도시된 대로 디스플레이 라미네이팅 장치는, 전 영역에 걸쳐 평탄화된 상태로 제1 패널(P1)과 제2 패널(P2)의 가압 합착 공정을 구현할 수 있다. 디스플레이 라미네이팅 장치는, 상부 스테이지(100)와 하부 스테이지, 승강 유닛, 레벨러를 포함하고, 챔버와 면압 센서를 더 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 2 to 6 ( d ), the display laminating apparatus may implement a pressure bonding process of the first panel P1 and the second panel P2 in a flattened state over the entire area. The display laminating apparatus may include an upper stage 100, a lower stage, a lifting unit, and a leveler, and may further include a chamber and a surface pressure sensor.

다시 도 2 내지 도 3(b)를 참조하면 상부 스테이지(100)는, 제1 패널(P1)을 지지할 수 있다. 상부 스테이지(100)는, 지지 척(110)을 구비할 수 있다.Referring back to FIGS. 2 to 3 ( b ), the upper stage 100 may support the first panel P1 . The upper stage 100 may include a support chuck 110 .

지지 척(110)은, 상부 스테이지(100)의 일 구성으로, 결합 고정될 수 있다. 지지 척(110)은, 상부 스테이지(100)의 일 측에 구비될 수 있다. 지지 척(110)은, 제1 패널(P1)이 안착될 수 있다. 지지 척(110)은, 제1 패널(P1)의 형상에 대응되는 표면 형상을 가질 수 있고, 일정 두께의 시트 형상을 가질 수 있다.The support chuck 110 may be coupled and fixed as one configuration of the upper stage 100 . The support chuck 110 may be provided on one side of the upper stage 100 . The support chuck 110, the first panel P1 may be seated. The support chuck 110 may have a surface shape corresponding to the shape of the first panel P1 and may have a sheet shape with a predetermined thickness.

일 실시예에 따르면 지지 척(110)은, 정전력 또는 진공 흡착에 의해 제1 패널(P1)을 지지 고정할 수 있다.According to an embodiment, the support chuck 110 may support and fix the first panel P1 by electrostatic force or vacuum suction.

다시 도 2 내지 도 3(b)를 참조하면 하부 스테이지(200)는, 연직 방향에서 상부 스테이지(100)와 나란하게 구비될 수 있다. 하부 스테이지(200)는, 지지 척(210)을 구비할 수 있다.Referring back to FIGS. 2 to 3 ( b ), the lower stage 200 may be provided in parallel with the upper stage 100 in the vertical direction. The lower stage 200 may include a support chuck 210 .

지지 척(210)은, 하부 스테이지(200)의 일 구성으로, 결합 고정될 수 있다. 지지 척(210)은, 하부 스테이지(200)의 일 측에 구비될 수 있다. 지지 척(210)은, 제2 패널(P2)이 안착될 수 있다. 지지 척(210)은, 제2 패널(P2)을 지지 흡착할 수 있다. 지지 척은, 제2 패널(P2)의 형상에 대응되는 표면 형상을 가질 수 있고, 일정 두께의 시트 형상을 가질 수 있다.The support chuck 210 is one configuration of the lower stage 200 , and may be coupled and fixed. The support chuck 210 may be provided on one side of the lower stage 200 . The support chuck 210 may seat the second panel P2. The support chuck 210 may support and adsorb the second panel P2 . The support chuck may have a surface shape corresponding to the shape of the second panel P2 and may have a sheet shape with a predetermined thickness.

제2 패널(P2)은, 제1 패널(P1)과 상호 대향되게 배치 마련될 수 있다.The second panel P2 may be disposed to face the first panel P1.

일 실시예에 따르면 지지 척(210)은, 정전력 또는 진공 흡착에 의해 제2 패널(P2)을 지지 고정할 수 있다.According to an embodiment, the support chuck 210 may support and fix the second panel P2 by electrostatic force or vacuum suction.

다시 도 2 내지 도 3(b)를 참조하면 승강 유닛(300)은, 하부 스테이지(200)를 승하강시킬 수 있다. 승강 유닛(300)은, 제2 패널(P2)을 제1 패널(P1) 즉, Z방향으로 승강 이동시킬 수 있다. 승강 유닛(300)은, 적어도 둘 이상이 마련될 수 있다. 복수개의 승강 유닛(300)은, 서로 이격 마련되어 상호 독립적으로 작동할 수 있다. 일 실시예에 따른 승강 유닛(300)은, 안정감과 균형감 있게 하부 스테이지(200)를 지지 승강시킬 수 있도록 사분면마다 마련되어 4개로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 승강 유닛(300)은, 지지 척(210)의 일 영역에 연결될 수 있다. 승강 유닛(300)은, 지지 척(210)의 일 영역을 상하 방향으로 승하강 구동시킬 수 있다.Referring again to FIGS. 2 to 3 ( b ), the lifting unit 300 may raise and lower the lower stage 200 . The lifting unit 300 may lift and move the second panel P2 in the first panel P1, that is, in the Z direction. At least two or more lifting units 300 may be provided. The plurality of lifting units 300 may be spaced apart from each other and operate independently of each other. The elevating unit 300 according to an embodiment may be provided in each quadrant so as to support and elevate the lower stage 200 with a sense of stability and balance, but is not limited thereto. The lifting unit 300 may be connected to one region of the support chuck 210 . The lifting unit 300 may lift and lower one area of the support chuck 210 in the vertical direction.

승강 유닛(300)은, 샤프트를 포함할 수 있다. 일 실시예에 따른 샤프트는, 일단부에 벨로우즈(bellouse)가 형성될 수 있다. 이에 따라 샤프트는, 연직 방향으로 신장될 수 있다.The lifting unit 300 may include a shaft. Shaft according to an embodiment, a bellows (bellouse) may be formed at one end. Accordingly, the shaft may extend in the vertical direction.

다시 도 2 내지 도 6(d)를 참조하면 레벨러(400)는, 승강 유닛(300)의 높이를 미세 조정해 하부 스테이지(200)를 상부 스테이지(100)에 평행하도록 위치 조절할 수 있다. 레벨러(400)는, 승강 유닛(300)의 일단에 연결될 수 있다. 레벨러(400)는, 승강 유닛(300)의 개수에 대응되어 마련될 수 있다. 레벨러(400)는, 승강 유닛(300)과 동축 상에 마련될 수 있다. 레벨러(400)는, 연직 방향으로 승강 유닛(300)을 위치 조절시킬 수 있다.Referring back to FIGS. 2 to 6 ( d ), the leveler 400 may adjust the position of the lower stage 200 to be parallel to the upper stage 100 by finely adjusting the height of the lifting unit 300 . The leveler 400 may be connected to one end of the lifting unit 300 . The leveler 400 may be provided to correspond to the number of lifting units 300 . The leveler 400 may be provided on the same axis as the lifting unit 300 . The leveler 400 may position the lifting unit 300 in a vertical direction.

레벨러(400)는, 레벨 스크류(410)와 제1 블록(420), 제2 블록(430)을 포함하고, 스크류 홀더(440)를 더 포함할 수 있다.The leveler 400 includes a level screw 410 , a first block 420 , and a second block 430 , and may further include a screw holder 440 .

레벨 스크류(410)는, 회전 운동을 할 수 있다. 레벨 스크류(410)는, 동축 상에서 회전 운동하며, 회전력을 후술할 제1 블록(420)에 전달할 수 있다. 레벨 스크류(410)는, 자동 또는 수동으로 구동력을 전달받아 회전할 수 있다. 일 실시예에 따르면 레벨 스크류(410)는, 일단에 육각 모양의 홈이 형성되어 스패너와 같은 공구가 인입되어 회전 운동할 수 있다.The level screw 410 may perform a rotational motion. The level screw 410 rotates on the same axis, and may transmit a rotational force to a first block 420 to be described later. The level screw 410 may be rotated by receiving a driving force automatically or manually. According to an exemplary embodiment, the level screw 410 may have a hexagonal groove formed at one end, and a tool such as a spanner may be introduced to rotate.

제1 블록(420)은, 레벨 스크류(410)의 회전에 연동해 위치 이동할 수 있다. 제1 블록(420)의 위치 이동은, 레벨 스크류(410)의 회전운동에 기인할 수 있다. 제1 블록(420)은, 레벨 스크류(410)의 회전에 따라 수평 방향에서 위치 이동할 수 있다.The first block 420 may move in position in association with the rotation of the level screw 410 . The positional movement of the first block 420 may be due to the rotational movement of the level screw 410 . The first block 420 may move in a horizontal direction according to the rotation of the level screw 410 .

일 실시예에 따르면 제1 블록(420)의 일면은, 쐐기 형상을 가질 수 있다. 보다 구체적으로 제1 블록(420)의 상단면은, 일측 상향 경사진 구조로 이루어질 수 있다. 제1 블록(420)의 상단면은, 후술할 제2 블록(430)의 하단면과 맞물리도록 면접촉할 수 있다.According to an embodiment, one surface of the first block 420 may have a wedge shape. More specifically, the upper surface of the first block 420 may be formed in a structure inclined upward at one side. The upper surface of the first block 420 may be in surface contact with the lower surface of the second block 430 to be described later.

일 실시예에 따르면 레벨 스크류(410)는, 제1 블록(420)을 관통하도록 삽입 결합될 수 있다.According to an embodiment, the level screw 410 may be inserted and coupled to pass through the first block 420 .

제2 블록(430)은, 제1 블록(420)의 움직임에 연동해 상하 방향으로 이동할 수 있다.The second block 430 may move in the vertical direction in association with the movement of the first block 420 .

스크류 홀더(440)는, 레벨 스크류(420)의 회전을 저지해 레벨러(400)의 위치를 고정시킬 수 있다. 스크류 홀더(440)는, 레벨 스크류(410)의 일단에 마련될 수 있다. 일 실시예에 따르면 스크류 홀더(440)는, 스패너 같은 공구가 인입되어 조이거나 풀릴 수 있다. 이에 따라 스크류 홀더(440)는, 레벨 스크류(410)와의 체결력을 조절할 수 있다. 스크류 홀더(440)의 일 단면은 육각 모양의 홈이 형성될 수 있다.The screw holder 440 may block the rotation of the level screw 420 to fix the position of the leveler 400 . The screw holder 440 may be provided at one end of the level screw 410 . According to an exemplary embodiment, the screw holder 440 may be tightened or loosened with a tool such as a spanner inserted therein. Accordingly, the screw holder 440 may adjust the fastening force with the level screw 410 . One cross-section of the screw holder 440 may be formed with a hexagonal groove.

다시 도 2와 도 3을 참조하면 챔버(500)는, 하부 스테이지(200)를 감싸도록 마련될 수 있다.Referring back to FIGS. 2 and 3 , the chamber 500 may be provided to surround the lower stage 200 .

작업자는, 챔버(500) 외측에서 레벨 스크류(410)의 일단에 회전력을 제공해, 레벨러를 조절할 수 있다.The operator may adjust the leveler by providing a rotational force to one end of the level screw 410 from the outside of the chamber 500 .

다시 도 4를 참조하면 면압 센서(600)는, 지지 척(110)을 비롯한 제1 패널(P1)에 가해지는 면압을 측정 가능할 수 있다. 보다 구체적으로 면압 센서(600)는, 각 설치 지점별 가해지는 압력을 측정할 수 있다. 면압 센서(600)는, 상부 스테이지(100)의 일 측에 구비될 수 있다. 면압 센서(600)는, 제1 패널(P1)과 상부 스테이지(100) 사이에 마련될 수 있다. 보다 구체적으로 면압 센서(600)는, 상부 스테이지(100)와 지지 척(110) 사이에 개재될 수 있다. 면압 센서(600)는, 적어도 하나가 마련될 수 있다. 일 실시예에 따르면 복수개의 면압 센서(600)가 배치 마련됨으로써, 각 영역에서의 지지 척(110)에 가해지는 압력을 측정할 수 있다. 복수개의 면압 센서(600)가 이격 마련된 승강 유닛에 인접하도록 이격 배치됨으로써, 레벨링에 따른 변이 압력을 용이하게 확인할 수 있다. 또한 복수개의 면압 센서(600)를 마련함으로써, 어느 하나의 불량 시에도 전량 교체할 필요 없이 해당 면압 센서(600)만 선택적으로 교체할 수 있다.Referring back to FIG. 4 , the surface pressure sensor 600 may measure the surface pressure applied to the first panel P1 including the support chuck 110 . More specifically, the surface pressure sensor 600 may measure the pressure applied to each installation point. The surface pressure sensor 600 may be provided on one side of the upper stage 100 . The surface pressure sensor 600 may be provided between the first panel P1 and the upper stage 100 . More specifically, the surface pressure sensor 600 may be interposed between the upper stage 100 and the support chuck 110 . At least one surface pressure sensor 600 may be provided. According to an exemplary embodiment, the plurality of surface pressure sensors 600 are arranged to measure the pressure applied to the support chuck 110 in each area. Since the plurality of surface pressure sensors 600 are spaced apart from each other to be adjacent to the spaced apart elevation units, it is possible to easily check the transition pressure according to leveling. In addition, by providing a plurality of surface pressure sensors 600 , only the corresponding surface pressure sensors 600 can be selectively replaced without the need to replace all of them even in case of any one defect.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 방법을 보여주는 순서도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 방법을 보여주는 순서도이다.6 is a flowchart illustrating a display lamination method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a flowchart illustrating a display lamination method according to an embodiment of the present invention.

위와 같은 구성요소를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치를 이용한 지지 척 레벨링 방법에 대해 설명하기로 한다.A support chuck leveling method using the display lamination apparatus according to an embodiment of the present invention having the above components will be described.

도 7과 도 8을 참조하면 지지 척 레벨링 방법은, 제2 패널을 제1 패널 측으로 승강 이동시켜 제1 패널과 제2 패널을 합착시키는 디스플레이 라미네이팅 동작시 적용될 수 있다. 지지 척 레벨링 방법은, 레벨링 조정 단계(S10)를 포함할 수 있다. 압력 점검 단계(S20)와 압력 측정 단계(S31, S32, S33)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 7 and 8 , the support chuck leveling method may be applied during a display laminating operation in which the first panel and the second panel are joined together by elevating and moving the second panel toward the first panel. The support chuck leveling method may include a leveling adjustment step ( S10 ). It may further include a pressure check step (S20) and a pressure measurement step (S31, S32, S33).

압력 측정 단계(S31, S32, S33)에서는, 상부 스테이지와 지지 척 사이에 복수개의 면압 센서가 개재되어 각 설치 위치에서의 지지 척에 가해지는 단위 압력값을 측정할 수 있다. 압력 측정 단계(S31, S32, S33)에서는, 각 영역에 가해지는 단위 압력값을 합산해 지지 척 전체에 가해지는 총 하중값을 산출할 수 있다.In the pressure measuring steps S31 , S32 , and S33 , a plurality of surface pressure sensors may be interposed between the upper stage and the support chuck to measure a unit pressure applied to the support chuck at each installation position. In the pressure measurement steps S31 , S32 , and S33 , a total load value applied to the entire support chuck may be calculated by adding up unit pressure values applied to each region.

압력 측정 단계(S31, S32, S33)는, 레벨링 조정 단계의 전과 후, 또는 레벨링 조정 단계 도중 동작될 수 있다.The pressure measurement steps S31 , S32 , S33 may be operated before and after the leveling adjustment step, or during the leveling adjustment step.

보다 구체적으로 압력 측정 단계(S31)는, 후술할 레벨링 조정 단계보다 앞서 동작될 수 있다. 압력 측정 단계(S32)는, 지지 척 레벨링 방법 중 적어도 1회 동작될 수 있다. 또한 압력 측정 단계(S33)는, 레벨링 조정 단계(S33)에 뒤이어 동작될 수 있다.More specifically, the pressure measurement step S31 may be operated prior to the leveling adjustment step to be described later. The pressure measuring step S32 may be operated at least once among the support chuck leveling methods. In addition, the pressure measurement step (S33) may be operated following the leveling adjustment step (S33).

레벨링 조정 단계(S10)에서는, 레벨러에 의해 지지 척의 높이를 조정할 수 있다. 레벨링 조정 단계(S10)에서는, 적어도 하나의 승강 유닛을 연직 방향에서 위치 이동시킬 수 있다. 이때 승강 유닛은 복수개가 상호 이격되어 마련될 수 있다. 레벨링 조정 단계는, 서로 다른 복수개의 승강 유닛마다 독립적으로 위치 이동할 수 있다.In the leveling adjustment step ( S10 ), the height of the support chuck may be adjusted by a leveler. In the leveling adjustment step ( S10 ), the at least one lifting unit may be moved in a vertical direction. In this case, a plurality of lifting units may be provided to be spaced apart from each other. The leveling adjustment step may be independently moved for each of a plurality of different lifting units.

다시 도 4(a) 내지 도 4(d)를 참조하여 레벨링 조정 단계를 시계열에 따라 설명하기로 한다.The leveling adjustment step will be described in a time series with reference to FIGS. 4(a) to 4(d) again.

도 4(a)에 도시된 대로 제1 레벨링 조정 단계에서는, 레벨 스크류는 자동 또는 수동으로 동축 상에서 레벨 스크류를 회전 운동시킬 수 있다.In the first leveling adjustment step as shown in Fig. 4(a), the level screw may automatically or manually rotate the level screw coaxially.

도 4(b)와 도 4(c)에 도시된 대로 제2 레벨링 조정 단계에서는, 레벨 스크류의 회전력이 제1 블록에 전달되고, 좌우 방향으로의 제1 블록이 위치 이동할 수 있다. 제2 레벨링 조정 단계에서는, 제1 블록이 위치 이동함에 따라 제2 블록이 상하로 위치 이동할 수 있다. 제2 레벨링 조정 단계에서는, 제2 블록의 위치 이동에 따라 상기 제2 블록의 이동과 연동되어 동축 상의 승강 유닛의 높이 조절이 가능하다. 제2 레벨링 조정 단계에서는, 승강 유닛의 위치 이동에 따라 하부 스테이지 또한 승강 유닛과 연동되어 해당 연결지점이 연직 방향 위치 이동할 수 있다.4(b) and 4(c), in the second leveling adjustment step, the rotational force of the level screw is transmitted to the first block, and the first block in the left and right direction may be moved. In the second leveling adjustment step, as the first block moves, the second block may move up and down. In the second leveling adjustment step, it is possible to adjust the height of the lifting unit coaxially by interlocking with the movement of the second block according to the position movement of the second block. In the second leveling adjustment step, according to the movement of the position of the lifting unit, the lower stage is also interlocked with the lifting unit so that the corresponding connection point may be moved in the vertical direction.

도 4(d)에 도시된 대로 제3 레벨링 조정 단계에서는, 원하는 높이로 승강 유닛을 승강 이동시, 스크류 홀더로 레벨 스크류를 고정해, 제1 패널에 대한 제2 패널의 평행도를 맞출 수 있다. 제3 레벨링 조정 단계에서는, 압력 측정 단계에서 측정된 압력값을 기준하여 기준 높이를 산정할 수 있다. 제3 레벨링 조정 단계에서 높이가 고정된 이후, 압력 측정 단계를 이용해 조정된 높이만큼 변경된 압력을 계측할 수 있다.As shown in FIG. 4(d) , in the third leveling adjustment step, when the lifting unit is moved to a desired height, the level screw is fixed with a screw holder to match the parallelism of the second panel to the first panel. In the third leveling adjustment step, the reference height may be calculated based on the pressure value measured in the pressure measurement step. After the height is fixed in the third leveling adjustment step, the pressure changed by the adjusted height may be measured using the pressure measuring step.

압력 점검 단계(S20)에서는, 감압지를 제1 패널과 제2 패널 사이에 개재해, 분포 압력을 점검할 수 있다. 압력 점검 단계(S20)에서는, 레벨링 조정 단계(S10) 이후 지지 척 레벨링 여부를 점검할 수 있다.In the pressure check step ( S20 ), a pressure distribution paper may be interposed between the first panel and the second panel to check the distribution pressure. In the pressure check step ( S20 ), it may be checked whether the support chuck is leveled after the leveling adjustment step ( S10 ).

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.As mentioned above, although the present invention has been described in detail using preferred embodiments, the scope of the present invention is not limited to specific embodiments and should be construed according to the appended claims. In addition, those skilled in the art should understand that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.

100 : 상부 스테이지 110 : 지지 척
200 : 하부 스테이지 210 : 지지 척
300 : 승강 유닛
400 : 레벨러 410 : 레벨 스크류
420 : 제1 블록 430 : 제2 블록
440 : 스크류 홀더
500 : 챔버
600 : 면압 센서100: upper stage 110: support chuck
200: lower stage 210: support chuck
300: elevating unit
400: leveler 410: level screw
420: first block 430: second block
440: screw holder
500: chamber
600: surface pressure sensor

Claims (11)

제1 패널을 지지 가능한 상부 스테이지;
상기 제1 패널과 상호 대향되게 배치된 제2 패널을 지지 흡착 가능한 지지 척을 구비한 하부 스테이지;
서로 이격 마련되어 상호 독립적으로 상기 지지 척의 일 영역을 상하 방향으로 승하강 구동시키는 적어도 둘 이상의 승강 유닛; 및
상기 승강 유닛의 일단에 연결되고, 동축 회전에 따라 상기 승강 유닛을 연직 방향으로 승하강 위치 조절 가능한 레벨러(leveler)를 포함하는, 디스플레이 라미네이팅 장치.
an upper stage capable of supporting the first panel;
a lower stage having a support chuck capable of supporting and adsorbing a second panel disposed to face the first panel;
at least two elevating units provided to be spaced apart from each other and independently elevating and lowering one region of the support chuck in an up-down direction; and
A display laminating apparatus connected to one end of the elevating unit and comprising a leveler capable of adjusting the elevating position of the elevating unit in a vertical direction according to coaxial rotation.
 제 1 항에 있어서,
상기 레벨러는,
회전 운동이 가능한 레벨 스크류(level screw);
상기 레벨 스크류의 회전에 따라 위치 이동 가능한 제1 블록; 및
상기 제1 블록의 움직임에 연동해 상하 방향으로 이동 가능한 제2 블록을 포함하는, 디스플레이 라미네이팅 장치.
The method of claim 1,
The leveler is
a level screw capable of rotational movement;
a first block movable in position according to the rotation of the level screw; and
Display laminating apparatus comprising a second block movable in the vertical direction in conjunction with the movement of the first block.
 제 2 항에 있어서,
상기 제1 블록의 상단면은 일측 상향 경사진 구조로 이루어진, 디스플레이 라미네이팅 장치.
3. The method of claim 2,
The top surface of the first block is made of an upwardly inclined structure on one side, a display laminating apparatus.
 제 2 항에 있어서,
상기 레벨 스크류의 일단에 마련되어 상기 레벨 스크류의 회전을 저지 가능한 스크류 홀더(screw holder)를 더 포함하는, 디스플레이 라미네이팅 장치.
3. The method of claim 2,
A display laminating apparatus provided at one end of the level screw further comprising a screw holder capable of blocking rotation of the level screw.
 제 2 항에 있어서,
상기 하부 스테이지를 감싸는 챔버를 더 포함하고,
상기 챔버 외측에서 상기 레벨 스크류의 일단에 회전력을 제공 가능한, 디스플레이 라미네이팅 장치.
3. The method of claim 2,
Further comprising a chamber surrounding the lower stage,
A display laminating apparatus capable of providing a rotational force to one end of the level screw from the outside of the chamber.
 제 2 항에 있어서,
상기 제1 패널과 상기 상부 스테이지 사이에 구비되어, 상기 제1 패널에 가해지는 면압을 측정 가능한 적어도 하나의 면압 센서를 더 포함하는, 디스플레이 라미네이팅 장치.
3. The method of claim 2,
The display laminating apparatus further comprising at least one surface pressure sensor provided between the first panel and the upper stage to measure the surface pressure applied to the first panel.
 제 1 항에 있어서,
상기 승강 유닛은,
일단부에 벨로우즈가 형성되 연직 신장 가능한 샤프트를 포함하는, 디스플레이 라미네이팅 장치.
The method of claim 1,
The lifting unit is
A display laminating apparatus comprising a vertically extendable shaft having a bellows formed at one end thereof.
 제1 패널과 상호 대향하는 제2 패널을 승강 구동하는 적어도 하나의 승강 유닛을 연직 방향에서 위치 이동시키는 레벨링 조정 방법을 포함하는, 지지 척 레벨링 방법.
A support chuck leveling method comprising: a leveling adjustment method of moving at least one lifting unit that lifts and lowers a second panel opposite to the first panel in a vertical direction.
 제8 항에 있어서,
상기 레벨링 조정 단계에서는,
서로 다른 복수개의 승강 유닛마다 독립적으로 위치 이동이 가능한, 지지 척 레벨링 방법.
9. The method of claim 8,
In the leveling adjustment step,
A support chuck leveling method that can move independently for each of a plurality of different lifting units.
 제8 항에 있어서,
감압지를 상기 제1 패널과 상기 제2 패널 사이에 개재해, 분포 압력을 점검하는 압력 점검 단계를 더 포함하는, 지지 척 레벨링 방법.
9. The method of claim 8,
The method of claim 1, further comprising a pressure checking step of interposing a pressure paper between the first panel and the second panel to check a distribution pressure.
 제8 항에 있어서,
상부 스테이지에 적어도 하나의 면압 센서를 개재해, 상기 지지 척에 가해지는 압력을 측정하는 압력 측정 단계를 더 포함하고,
상기 압력 측정 단계는 상기 레벨링 조정 단계에 앞서, 또는 상기 레벨링 조정 단계에 뒤이어 적어도 1회 이상 동작 가능한, 지지 척 레벨링 방법.9. The method of claim 8,
The method further comprises a pressure measuring step of measuring the pressure applied to the support chuck by interposing at least one surface pressure sensor on the upper stage,
The pressure measuring step is operable at least one or more times prior to the leveling adjusting step or after the leveling adjusting step.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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