KR20220054294A - 코팅된 절삭 공구의 처리 방법 - Google Patents

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에이비 산드빅 코로만트
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Abstract

본 발명은 레이저 충격 피닝 (LSP) 을 사용하여 코팅된 절삭 공구를 처리하는 방법에 관한 것으로, 코팅된 절삭 공구는 기재 및 코팅으로 구성되고, 기재는 초경합금 또는 서멧, 바람직하게는 초경합금으로 이루어지고, 코팅은 CVD 층 및/또는 PVD 층을 포함한다. 본 방법은 절삭 공구의 적어도 일부에 LSP 를 적용하는 단계를 포함하며, LSP 에너지 밀도가 0.4 내지 1.6 J/㎟ 이고, LSP 는 절삭 공구의 상기 적어도 일부에 레이저 펄스를 인가하는 것을 포함한다.

Description

코팅된 절삭 공구의 처리 방법
본 발명은 코팅된 절삭 공구의 레이저 충격 피닝에 관한 것으로, 절삭 공구는 서멧 또는 초경합금의 기재 (substrate) 및 CVD 및/또는 PVD 에 의해 제조된 층을 포함하는 코팅을 갖는다.
서멧과 초경합금은 금속 바인더 중의 경질 성분들로 구성된 재료이다. 이 재료는 높은 경도, 높은 내마모성, 높은 인성과 같은 특성을 갖는 절삭 공구의 통상적인 기재이다. 이 기재는 통상적으로, 예를 들어 TiCN 및 알루미나의 층의 CVD 코팅 또는 예를 들어 TiN 및 TiAlN 의 층을 갖는 PVD 코팅과 같은 내마모성 코팅으로 코팅된다.
코팅된 절삭 공구는 일반적으로 절삭에서의 수명을 더욱 향상시키기 위해 표면 처리로 처리된다. 일반적인 표면 처리는 외부 표면을 매끄럽게 하기 위한 브러싱 또는 절삭 에지 성형, 표면을 매끄럽게 하고 또한 초경합금의 표면 영역 또는 코팅에서의 잔류 응력 수준에 영향을 미치기 위한 숏 블라스팅이다.
레이저 충격 피닝은 표면 구역의 특성에 영향을 주기 위해 레이저가 사용되는 방법이다. 짧은 지속 시간 및 높은 강도를 갖는 레이저 펄스들이 표면에 걸쳐 주사된다. 각각의 레이저 펄스는 표면 상에 형성된 국부 플라즈마를 생성하고, 이에 의해, 처리되는 물체 내로 전파되는 충격파가 생성된다. 이러한 충격파는 표면 구역 내의 재료에 영향을 주어, 증가된 경도, 인성 및 잔류 응력 수준 변화가 발생한다.
WO 2018/215996 A1 은 초경합금의 절삭 공구를 레이저 충격 피닝으로 처리하는 방법을 개시한다.
본 발명의 목적은 서멧 또는 초경합금의 기재를 포함하는 코팅된 절삭 공구의 개선된 처리 방법을 제공하는 것이다.
이러한 목적 중 적어도 하나가 청구항 1 에 따른 방법으로 달성된다. 바람직한 실시형태들은 종속 청구항들에서 열거된다.
본 발명은, 레이저 충격 피닝 (LSP) 을 사용하여 코팅된 절삭 공구를 처리하는 방법으로서, 코팅된 절삭 공구는 기재 및 코팅으로 구성되고, 기재는 초경합금 또는 서멧, 바람직하게는 초경합금으로 이루어지고, 코팅은 CVD 층 및/또는 PVD 층을 포함하고, 상기 방법은 절삭 공구의 적어도 일부에 LSP 를 적용하는 단계를 포함하며, LSP 에너지 밀도가 0.4 내지 1.6 J/㎟, 바람직하게는 0.9 내지 1.4 J/㎟, 더 바람직하게는 1.1 내지 1.3 J/㎟ 인, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법에 관한 것이다.
놀랍게도, 0.4 내지 1.6 J/㎟, 바람직하게는 0.9 내지 1.4 J/㎟ 의 LSP 에너지 밀도라는 설정으로 레이저 충격 피닝이 수행되는 경우, 절삭 공구의 성능에 있어서 최적이 존재한다는 것이 발견되었다. LSP 에너지 밀도가 너무 낮으면, 개선된 에지 라인 인성 또는 내마모성을 초래하기에는 LSP 로부터의 충격이 너무 낮다. LSP 에너지 밀도가 너무 높으면, 표면 영역에서의 감소된 응력의 위험이 더 높고, 이에 의해 에지 라인 치핑 저항이 감소한다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 는 절삭 공구의 적어도 일부에 레이저 펄스를 인가하는 것을 포함하고, 레이저 펄스 에너지 밀도가 0.04 내지 1.0 J/㎟, 바람직하게는 0.04 내지 0.5 J/㎟, 더 바람직하게는 0.04 내지 0.1 J/㎟, 보다 더 바람직하게는 0.05 내지 0.07 J/㎟ 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 적용 전에 코팅된 절삭 공구에 블랙 페인트 또는 블랙 테이프가 적용된다. 블랙 페인트 또는 블랙 테이프 사용의 장점은 아래의 코팅이 두께의 감소나 외관의 변화 없이 유지될 수 있다는 것이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅은 TiN, TiCN, TiC, TiB2, ZrCN, TiAlN 또는 TiSiN 의 하나 이상의 외부 층을 포함한다. 이 층은 페인트 또는 테이프 대신에 흡수층으로서 사용될 수 있다. 이 층들의 장점은, 이들이 CVD 또는 PVD 코팅의 일부로서 디포짓될 수 있고, 따라서 블랙 테이프 또는 페인트를 적용하는 추가 단계가 회피될 수 있다는 것이다. 추가의 장점은, LSP 의 효과가 이들 층을 사용하여 더 두드러져, 기재의 표면 영역에서 더 높은 수준의 잔류 응력을 유도하는 것 같다는 것이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 외부 층의 두께는 바람직하게는 2-5 ㎛ 이다. 외부층의 두께가 너무 얇으면, 아래의 내마모성 층은 LSP 동안 두께가 감소될 것이다. 두께가 5 ㎛ 보다 크면, 기재에서의 유도된 잔류 응력이 더 작고, 따라서 LSP 로부터의 공구 수명 개선이 덜 두드러지게 된다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅된 절삭 공구는 기재와 외부 층 사이에 위치된 Al2O3 층을 더 포함한다. 이러한 Al2O3 층은 바람직하게는 α-Al2O3-층이다. 이는 매우 내마모성인 층이라는 점에서 유리하다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅된 절삭 공구는 기재와 외부 층 사이에 위치된 TiCN 층을 더 포함한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅된 절삭 공구는 기재와 외부 층 사이에 위치된 TiAlN 층을 더 포함한다.
본 발명의 방법의 일 실시형태에서, 코팅의 총 두께가 2-20 ㎛ 이다.
본 발명의 방법의 일 실시형태에서, 코팅의 총 두께가 2-10 ㎛ 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 절삭 공구는 경사면과 여유면 및 이들 사이의 절삭 에지를 포함하고, LSP 는 절삭 에지의 일부 및 경사면의 적어도 일부에 적용된다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 단계는 블라스팅, 폴리싱 및/또는 브러싱 단계, 바람직하게는 숏 블라스팅과 같은 블라스팅 단계가 뒤따른다. 블라스팅, 폴리싱 및 브러싱의 장점은 절삭 공구의 표면이 이 기술들 중 임의의 것에 의해 마무리될 수 있고, 이에 의해 절삭 공구의 절삭 성능이 향상될 수 있다는 것이다. 숏 블라스팅은, 표면 거칠기와 코팅에서의 잔류 응력 수준 둘 다가 영향을 받을 수 있으므로, 더 낮은 표면 거칠기 및 감소된 인장 응력 수준 또는 더 높은 압축 응력 수준이 코팅에서 달성될 수 있고, 따라서 절삭 공구 수명 시간이 연장될 수 있으므로 유리하다.
본 발명의 일 실시형태에서, 절삭 공구는 경사면과 여유면 및 이들 사이의 절삭 에지를 포함하고, LSP 는 단지 절삭 에지의 일부 및 절삭 공구의 여유면 및/또는 경사면의 일부에 적용되고, 영역의 폭 (b) 이 절삭 에지로부터 5 mm 이하이며, 바람직하게는 상기 영역의 폭 (b) 이 절삭 에지로부터 1-5 mm 이다. 적어도 절삭에 관련될 영역에 LSP 를 적용하는 것이 유리하다. 에지로부터 그리고 경사면 상의 연장은 적용 시 적어도 절삭 깊이 (ap) 이어야 한다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 는 절삭 공구의 전체 절삭 에지를 따라 적용된다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 는 절삭 공구의 전체 경사면에 적용된다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 는 절삭 공구의 전체 경사면, 전체 에지 및 또한 전체 여유면에 적용된다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 단계 동안의 레이저의 파장이 1000 내지 1100 nm, 바람직하게는 1050 nm 내지 1070 nm, 더 바람직하게는 약 1064 nm 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 단계 동안의 레이저의 주파수가 150 000 내지 250 000 Hz, 바람직하게는 약 200 000 Hz 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 단계 동안의 레이저의 펄스 지속 시간이 0.005 내지 0.02 ns, 바람직하게는 약 0.01 내지 0.02 ns 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 단계 동안의 레이저의 평균 효과가 13 내지 16 W, 바람직하게는 약 15 W 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 단계 동안의 레이저의 스폿 크기가 0.03 내지 0.05 mm, 바람직하게는 약 0.04 mm 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 단계 동안의 레이저의 피크 전력 밀도가 3 내지 7 GW/㎟, 바람직하게는 약 6 GW/㎟ 이다. 피크 전력 밀도의 이러한 수준은 주파수, 펄스 길이, 레이저의 효과 또는 스폿 크기 중 어느 하나를 변화시킴으로써 변화될 수 있다. 3 내지 7 GW/㎟ 의 피크 전력 밀도는 결과적인 피크 압력이 높아서 절삭 공구의 수명 향상을 제공한다는 점에서 유리하다.
본 발명의 일 실시형태에서, LSP 는 코팅된 절삭 공구가 물에 잠길 때 코팅된 절삭 공구에 적용된다.
본 발명의 또 다른 목적 및 특징은 첨부 도면과 함께 고려되는 이하의 예로부터 명백해질 것이다.
도 1 은 본 발명에 따라 처리될 수 있는 절삭 공구 (1) 의 도면으로서, 경사면 (2), 여유면 (4) 및 절삭 에지 (3) 가 표시되어 있다. 절삭 공구의 기하학적 형상은 아래의 예들에서 사용된 기하학적 형상에 해당한다.
도 2 는 본 발명의 일 실시형태에 따른 LSP 영역의 위치 및 확장의 개략도로서, 절삭 공구 (1) 의 경사면 (2) 및 절삭 에지 (3) 를 보여준다.
도 3 은 펄스 스텝 길이 (x) 를 갖는 영역에 걸쳐 주사되는 레이저 펄스들 (원들) 의 개략도이다. 펄스들은 서로 중첩되어, 전체 영역 또는 부분이 LSP 로 처리된다.
정의
본원에서 "절삭 공구" 는 인서트, 엔드 밀 또는 드릴과 같은 금속 절삭 적용을 위한 절삭 공구를 의미한다. 적용 영역은 예를 들어 선삭, 밀링 또는 드릴링일 수 있다.
본원에서 "초경합금" 은 적어도 50 wt% 의 WC, 가능하게는 초경합금 제조 기술에서 흔한 다른 경질 성분, 및 바람직하게는 Fe, Co 및 Ni 중 하나 이상으로부터 선택된 금속 바인더 상을 포함하는 재료를 의미한다.
본원에서 "서멧" 은 경질 성분 및 금속 바인더 상을 포함하는 재료를 의미하며, 여기서 경질 성분은 티타늄 탄질화물, 티타늄 탄화물 및 티타늄 질화물 중 하나 이상이다. 서멧 중의 금속 바인더 상은 바람직하게는 Fe, Co 및 Ni 중 하나 이상으로부터 선택되고, 바람직하게는 Co 이다. 서멧 분야에서 흔한 다른 경질 성분은 Ti, Ta, Nb, Zr, V 및 Cr 의 탄화물, 질화물 또는 탄질화물로부터 선택된다. 서멧 재료는 유리 육방정 WC 를 포함하지 않는다. 티타늄 탄질화물에 기초한 서멧 재료는 오늘날 가장 흔한 서멧 재료이다.
본원에서 "LSP 에너지 밀도" 는 LSP 처리된 부분 또는 영역에서 절삭 공구에 인가되는 평균 에너지 밀도를 나타낸다. 증가된 펄스 중첩 또는 증가된 레이저 펄스 에너지 밀도는 증가된 LSP 에너지 밀도를 초래한다.
본원에서 "레이저 펄스 에너지 밀도" 는 하나의 싱글 레이저 펄스의 평균 에너지 밀도를 나타낸다. 증가된 펄스 지속시간 또는 증가된 효과는 증가된 레이저 펄스 에너지 밀도를 초래한다.
본원에서 "숏 블라스팅" 은 연삭 입자를 사용하는 공정을 나타내며, 여기서 전형적으로 연마 마멸에 의해 처리된 표면으로부터 재료가 제거된다. 숏 블라스팅은 절삭 공구 분야에서 잘 알려져 있으며, 예를 들어 절삭 공구 상의 코팅에 잔류 응력을 도입하는 것으로 알려져 있다.
예
이제, 본 발명의 예시적인 실시형태들이 더 상세하게 개시되며 비교 실시형태들과 비교된다. 코팅된 절삭 공구들 (인서트들) 을 제조하고, 분석하고, 절삭 시험에서 평가하였다.
기재
밀링용 ISO-타입 R390-11T308M-PM 의 초경합금 기재를 제조하였다 (도 1 참조).
2 개의 상이한 초경합금 조성물을 제조하였다. 약 13.50 wt% Co, 0.57 wt% Cr 및 잔부 WC 의 조성을 갖는 분말 혼합물로부터 기재 A 를 제조하였다. 약 9.14 wt% Co, 1.15 wt% Ta, 0.27 wt% Nb, 0.05 wt% N 및 잔부 WC 의 조성을 갖는 분말 혼합물로부터 기재 B 를 제조하였다. 분말 혼합물들을 밀링하고, 건조시키고, 생소지로 프레싱하고, 1450℃ 에서 소결하여, 소결된 초경합금 기재를 형성하였다.
코팅
2 개의 초경합금 조성물에 CVD 코팅을 증착시켰다. CVD 코팅은 두께 0.5 ㎛ 의 내부 TiN 층, 두께 3.5 ㎛ 의 후속 내마모성 TiCN 층 및 그 위의 두께 3 ㎛ 의 내마모성 α-Al2O3 층으로 구성되었다. 그 후, 외부 TiN 층을 두께 2 ㎛ 로 증착시켰다. 총 코팅 두께는 9 ㎛ 였다.
LSP 공정
LSP 는 또한 에지를 덮는 경사면의 영역에서 코팅된 절삭 공구에 적용되었다. 절삭 공구의 절삭 에지로부터 수직으로 측정된 영역의 폭 (b) 은 약 3 mm 였다. 주 절삭 에지를 따른 연장부는 약 6 mm 였고, 보조 절삭 에지를 따른 연장부 (c) 는 약 3 mm 였다. 도 2 의 LSP 영역의 개략도를 참조한다.
LSP 공정은 표면 상에 6 mm 의 물로 적용되었다. 절삭 공구는 LSP 공정 동안 물에 잠겼다.
LSP 동안 레이저의 설정은 다음과 같았다:
파장: 1064 nm
주파수: 200 kHz
펄스 지속시간: 0.01 ns
펄스 직경, d: 0.04 mm
레이저 전력: 14.8 W
피크 전력 밀도: 5.89 GW/㎟
레이저 펄스 에너지 밀도는 0.059 J/㎟ 이었고, 다음과 같이 계산되었다:
Figure pct00001
Figure pct00002
Figure pct00003
LSP 에너지 밀도는 펄스 거리, 즉 펄스 스텝 길이 (x) 를 변화시킴으로써 그리고 이로써 펄스 중첩에 의해 조정되었고, 더 작은 펄스 거리 그리고 이로써 더 큰 펄스 중첩은 더 큰 LSP 에너지 밀도를 초래한다. 레이저 펄스 중첩은 펄스 스텝 길이 (x) 및 펄스 직경 (d) 에 관련된다:
Figure pct00004
샘플에 대한 LSP 에너지 밀도는 표 1 에 보여진다.
Figure pct00005
Figure pct00006
Figure pct00007
숏 블라스팅 공정
LSP 에 후속하여, 절단 공구들을 숏 블라스팅하여 외부 TiN 층을 제거하였다. 숏 블라스팅 시간은 LSP 에 의해 처리된 경사면의 영역으로부터 TiN 을 전부 제거하기 위해 약간 조정되었다. 숏 블라스팅은 연마재 알루미나 및 공기압 2.1 bar 를 사용하여 수행되었다. 또한 샘플 A0 및 B0 를 숏 블라스팅하였다.
절삭 성능 1
이어서, 기재 A 를 갖는 인서트를 다음의 파라미터에서 밀링 작업에서 시험하였다:
작업편 재료: Dievar unhardened, PL 129 200x200x100, MC P3. 0.Z.AN, CMC 03.11,
차지 (charge): M10205
vc = 200 m/min
fz = 0.15 mm
ae = 12 mm
ap = 3.0
z = 1
절삭 길이 = 12 mm
절삭유 (cutting fluid) 가 사용되지 않았다.
인서트 타입 R390-11T308M-PM
공구 수명 기준은 에지 라인의 적어도 0.5 mm 의 치핑으로 설정되었다. 공구 수명은 이러한 기준을 달성하기 위하여 절삭 엔트런스들 (cut entrances) 의 평균 개수로서 표현된다. 평균 공구 수명은 표 2 에 제시되어 있으며 공구 수명은 평균 절삭 수이고 8 평행 절삭 시험의 평균이다.
Figure pct00008
절삭 성능 2
이어서, 기재 B 를 갖는 인서트를 다음의 파라미터에서 밀링 작업에서 시험하였다:
작업편 재료: Dievar unhardened, PL 129 200x200x100, MC P3. 0.Z.AN, CMC 03.11,
차지: M10205
vc = 160 m/min
fz = 0.2 mm
ae = 12 mm
ap = 3.0
z = 1
절삭 길이 = 12 mm
절삭유가 사용되지 않았다.
인서트 타입 R390-11T308M-PM
공구 수명 기준은 에지 라인의 적어도 0.5 mm 의 치핑으로 설정되었다. 공구 수명은 이러한 기준을 달성하기 위하여 절삭 엔트런스들의 평균 개수로서 표현된다. 평균 공구 수명은 표 3 에 제시되어 있으며 공구 수명은 평균 절삭 수이고 8 평행 절삭 시험의 평균이다.
Figure pct00009
다양한 예시적인 실시형태들과 관련하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시형태들로 한정되지 않으며, 오히려 첨부된 청구항들 내에 다양한 수정 및 균등물을 포함하려는 것임을 이해하여야 한다. 또한, 본 발명의 임의의 개시된 형태 또는 실시형태는 설계 선택의 일반적인 문제로서 임의의 다른 개시되거나 설명되거나 제안된 형태 또는 실시형태에 통합될 수 있다는 것을 인식하여야 한다. 따라서, 여기에 첨부된 청구항들의 범위에 의해 제시된 바에 의해서만 제한되려는 것이다.

Claims (15)

  1. 레이저 충격 피닝 (LSP) 을 사용하여 코팅된 절삭 공구 (1) 를 처리하는 방법으로서,
    상기 코팅된 절삭 공구는 기재 (substrate) 및 코팅으로 구성되고,
    상기 기재는 초경합금 또는 서멧, 바람직하게는 초경합금으로 이루어지고,
    상기 코팅은 CVD 층 및/또는 PVD 층을 포함하고,
    상기 방법은 상기 절삭 공구 (1) 의 적어도 일부에 LSP 를 적용하는 단계를 포함하며, LSP 에너지 밀도가 0.4 내지 1.6 J/㎟, 바람직하게는 0.9 내지 1.4 J/㎟, 더 바람직하게는 1.1 내지 1.3 J/㎟ 인, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 LSP 는 상기 절삭 공구의 상기 적어도 일부에 레이저 펄스를 인가하는 것을 포함하고, 레이저 펄스 에너지 밀도가 0.04 내지 1.0 J/㎟, 바람직하게는 0.04 내지 0.1 J/㎟, 더 바람직하게는 0.05 내지 0.07 J/㎟ 인, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    LSP 단계 동안의 레이저의 파장이 1000 내지 1100 nm, 바람직하게는 1050 nm 내지 1070 nm 인, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    LSP 적용 전에 상기 코팅된 절삭 공구 (1) 에 블랙 페인트 또는 블랙 테이프가 적용되는, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 코팅은 TiN, TiCN, TiC, TiB2, ZrCN, TiAlN 또는 TiSiN 의 하나 이상의 외부 층을 포함하고, 상기 외부 층의 두께가 바람직하게는 2-20 ㎛, 더 바람직하게는 2-5 ㎛ 인, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 코팅된 절삭 공구 (1) 는 상기 기재와 상기 외부 층 사이에 위치된 Al2O3 층을 더 포함하는, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 코팅된 절삭 공구 (1) 는 상기 기재와 상기 외부 층 사이에 위치된 TiCN 층을 더 포함하는, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  8. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 코팅된 절삭 공구 (1) 는 상기 기재와 상기 외부 층 사이에 위치된 TiAlN 층을 더 포함하는, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 코팅의 총 두께가 2-20 ㎛ 인, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 절삭 공구 (1) 는 경사면 (2) 과 여유면 및 이들 사이의 절삭 에지를 포함하고, 상기 LSP 는 상기 절삭 에지 (3) 의 일부 및 상기 경사면 (2) 의 적어도 일부에 적용되는, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    LSP 단계는 블라스팅, 폴리싱 및/또는 브러싱 단계, 바람직하게는 숏 블라스팅과 같은 블라스팅 단계가 뒤따르는, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 절삭 공구 (1) 는 경사면 (2) 과 여유면 및 이들 사이의 절삭 에지 (3) 를 포함하고, LSP 는 단지 상기 절삭 에지 (3) 의 일부 및 상기 절삭 공구 (1) 의 여유면 (4) 및/또는 경사면 (2) 의 일부에 적용되고, 영역의 폭 (b) 이 상기 절삭 에지로부터 5 mm 이하이며, 바람직하게는 상기 영역의 폭 (b) 이 상기 절삭 에지 (3) 로부터 1-5 mm 인, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    LSP 단계 동안의 레이저의 주파수가 150 000 내지 250 000 Hz, 바람직하게는 약 200 000 Hz 인, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  14. 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    LSP 단계 동안의 레이저의 평균 효과가 13 내지 16 W, 바람직하게는 약 15 W 인, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
  15. 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    LSP 단계 동안의 레이저의 피크 전력 밀도가 3 내지 7 GW/㎟, 바람직하게는 약 6 GW/㎟ 인, 코팅된 절삭 공구의 처리 방법.
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