KR20220046073A - Test device for air bearing - Google Patents

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KR20220046073A KR1020200129064A KR20200129064A KR20220046073A KR 20220046073 A KR20220046073 A KR 20220046073A KR 1020200129064 A KR1020200129064 A KR 1020200129064A KR 20200129064 A KR20200129064 A KR 20200129064A KR 20220046073 A KR20220046073 A KR 20220046073A
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Abstract

The present invention relates to an air bearing inspection apparatus. More specifically, according to the present invention, an overall inspection of air bearings is performed in advance, such as presence or absence of abnormalities in a compressed air operating line of air bearings, structural defects, and performance abnormalities. Accordingly, a quality check on whether the air bearing can exhibit sufficient floating performance can be performed. The air bearing inspection apparatus of the present invention comprises: a base; a rod unit; and a heighter gauge.

Description

공기베어링 검사 장치{Test device for air bearing}Air bearing inspection device {Test device for air bearing}

본 발명은 공기베어링 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 공기베어링의 압축공기 작동라인의 이상유무, 구조적 결함, 성능 이상 등 공기베어링의 전반적인 검사를 사전에 수행하여, 공기베어링이 충분한 부상 성능을 발휘할 수 있는지에 대한 품질 검사를 진행할 수 있는 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air bearing inspection apparatus, and more particularly, by performing an overall inspection of the air bearing in advance, such as the presence or absence of abnormality in the compressed air operation line of the air bearing, structural defects, and performance abnormality, the air bearing has sufficient floating performance. It relates to an inspection device that can perform a quality inspection to ensure that

베어링은 하중을 전달하면서 마찰저항을 줄여주는 역할을 하는 기계요소의 하나로써 통상적인 구조는 볼이나 롤러와 같은 전동체의 구름운동을 이용하고 있다. 그러나, 이 경우 내부의 볼이나 롤러 때문에 회전운동시 소음이 크며 충격에 약하고, 외경이 커지며 회전속도의 한계가 낮은 단점이 있다. 이러한 단점을 극복하기 위하여 베어링과 축 사이에 얇은 유막을 형성하는 미끄럼 베어링을 주로 사용하는데, 이러한 미끄럼 베어링은 사용하는 유체의 종류에 따라 오일베어링과 공기베어링으로 구분된다.Bearings are one of the mechanical elements that reduce frictional resistance while transmitting loads. A typical structure uses the rolling motion of rolling elements such as balls or rollers. However, in this case, due to the inner ball or roller, there are disadvantages in that the noise during rotation is large, the impact is weak, the outer diameter is large, and the limit of the rotation speed is low. To overcome this disadvantage, sliding bearings that form a thin oil film between the bearing and the shaft are mainly used. These sliding bearings are divided into oil bearings and air bearings according to the type of fluid used.

상기 오일베어링은 작동 유체로 광유와 같은 기름이나 물을 사용하는데 이러한 오일베어링은 기름을 사용하기 때문에 정밀 이동이 요구되는 정밀장치, 예컨대, 측정기나 반도체 장비 등에는 사용하기 어려운 점이 있었다.The oil bearing uses oil or water, such as mineral oil, as a working fluid. Since the oil bearing uses oil, it is difficult to use it for precision devices requiring precise movement, for example, measuring instruments or semiconductor equipment.

이와는 달리 공기베어링은 작동 유체로 공기, 헬륨, 네온가스 등과 같은 기체를 사용하기 때문에 마찰이 거의 없고 냉각효과가 있어 고속운동시 발열이 적으므로 고온과 저온에서 모두 사용이 가능하다. 또한, 시작과 정지시에도 축과 베어링 사이의 직접적인 접촉을 피할 수 있어 진동과 소음이 거의 발생하지 않고 마모가 없기 때문에 정밀장치의 반송수단으로 주로 채택된다.On the other hand, since air bearings use gases such as air, helium, and neon gas as the working fluid, there is little friction and cooling effect. In addition, since direct contact between the shaft and the bearing can be avoided even when starting and stopping, vibration and noise are hardly generated, and there is no wear and tear, so it is mainly adopted as a conveying means of precision equipment.

정밀장치의 예로는 3차원 측정기를 들 수 있으며, 일반적으로, 3차원 측정기는 피측정물의 표면 위치를 검출할 수 있는 센서가 피측정물 주변으로 이동하면서 피측정물의 측정점 좌표를 검출하고 연산처리함으로써 피측정물의 크기, 위치, 방향 등을 데이터로 도출하는 장비이다.An example of a precision device may be a three-dimensional measuring device, and in general, the three-dimensional measuring device detects and processes the coordinates of the measuring point of the measured object while a sensor capable of detecting the surface position of the measured object moves around the measured object. It is a device that derives the size, position, direction, etc. of the measured object as data.

이러한 3차원 측정기는 검출기(프로브)가 피측정물의 공간 좌표값을 읽어 위치, 거리, 방향 등을 측정하고, 상기 검출기가 피측정물의 주변 3차원 공간을 이동할 수 있도록 검출기를 3차원으로 이동시킬 수 있는 수단을 포함하는 구조를 갖춘다. 이때, 검출기의 지지수단으로서 공기베어링이 사용되어지는데, 고도의 정밀도를 요하는 3차원 측정기의 부품인 만큼 공기베어링 자체의 정밀도가 요구됨은 당연하다.In such a three-dimensional measuring device, the detector (probe) reads the spatial coordinate value of the object to be measured, measures the position, distance, direction, etc., and can move the detector in three dimensions so that the detector can move the surrounding three-dimensional space of the object It has a structure that includes the means. At this time, an air bearing is used as a supporting means of the detector, but it is natural that the precision of the air bearing itself is required as it is a part of a 3D measuring device that requires high precision.

즉, 공기베어링의 정밀도가 낮거나 결함이 있게 되면 3차원 측정기의 측정 정밀도를 현저히 저하시키는 문제점으로 작용하게 된다.That is, when the precision of the air bearing is low or there is a defect, it acts as a problem of remarkably lowering the measurement precision of the 3D measuring machine.

종래에는 정밀장치에 장착되기 전 공기베어링의 구조적 결함을 사전에 점검할 수 있는 마땅한 대안이 없어 이에 대한 기술 개발이 요구되고 있는 실정이다.Conventionally, there is no suitable alternative to check the structural defects of the air bearing in advance before being mounted on a precision device, so technology development is required.

등록특허 10-2105283Registered Patent 10-2105283

본 발명은 상기 종래 기술상의 제반 문제점을 감안하여 이를 해결하고자 창출된 것으로, 공기베어링의 압축공기 작동라인의 이상유무, 구조적 결함, 성능 이상 등 공기베어링의 전반적인 검사를 사전에 수행하여, 공기베어링이 충분한 부상 성능을 발휘할 수 있는지에 대한 품질 검사를 진행할 수 있는 공기베어링 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was created to solve the problems in the prior art in view of the above, and by performing an overall inspection of the air bearings in advance, such as the presence or absence of abnormalities in the compressed air operating line of the air bearings, structural defects, and performance abnormalities, the air bearings are An object of the present invention is to provide an air bearing inspection device capable of performing a quality inspection on whether sufficient flotation performance can be exhibited.

또한, 공기베어링의 검사시 공기베어링에 적정 압축 하중을 가해 설치 하중을 부여하고 설치 하중이 가해지고 있는 공기베어링의 부상 정도를 측정함으로써 공기베어링이 적정 하중 저항력을 갖추었는지에 대한 객관적인 검사를 수행할 수 있도록 하는 공기베어링 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, when inspecting air bearings, an appropriate compressive load is applied to the air bearing to provide an installation load, and by measuring the degree of levitation of the air bearing to which the installed load is applied, an objective inspection is performed to determine whether the air bearing has adequate load resistance. An object of the present invention is to provide an air bearing inspection device that allows

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위한 수단으로, 검사될 공기베어링이 안착되는 베이스; 상기 베이스에 안착된 공기베어링의 상부에 지정된 압축 하중을 가하는 로드부; 및 상기 로드부에 의해 압축 하중을 받는 공기베어링이 지정된 압력의 압축공기를 공급받아 상기 베이스에서 부상되면 부상된 만큼의 상대높이를 측정하는 하이터 게이지;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention is a means for achieving the above object, the base on which the air bearing to be inspected is seated; a rod part for applying a specified compressive load to an upper portion of the air bearing seated on the base; And when the air bearing, which receives the compression load by the rod part, is supplied with compressed air of a specified pressure and floats from the base, a heighter gauge for measuring the relative height of the injured part; characterized in that it comprises a.

또한, 상기 로드부는, 상기 베이스의 상면에 설치되는 힌지대; 상기 베이스에 안착된 공기베어링이 일단 하부에 배치되도록 상기 힌지대에 회동 가능하게 설치되는 레버; 상기 레버의 타단에 설치되며 지정된 압력의 압축공기를 공급받아 작동하여 상기 레버를 회동시키는 엑츄에이터; 상기 레버의 일단 하면에 배치되어 레버의 자세에 따라 공기베어링의 상면을 선택적으로 가압하는 프레스 니들; 및 상기 레버와 프레스 니들 사이에 설치되며 프레스 니들을 통해 공기베어링에 가해지는 압축 하중을 측정하는 로드셀;을 포함하며, 상기 로드셀에 의해 측정된 압축 하중값은 로드 인디케이터에 의해 출력되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the rod portion, a hinge installed on the upper surface of the base; a lever rotatably installed on the hinge so that the air bearing seated on the base is disposed at one end of the lower portion; an actuator installed at the other end of the lever and operated by receiving compressed air of a specified pressure to rotate the lever; a press needle disposed on one end of the lower surface of the lever to selectively press the upper surface of the air bearing according to the posture of the lever; and a load cell installed between the lever and the press needle and measuring a compressive load applied to the air bearing through the press needle, wherein the compressive load value measured by the load cell is configured to be output by a load indicator do it with

또, 상기 엑츄에이터와 공기베어링에 압축공기를 동시에 공급하는 공급부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, it characterized in that it further comprises; a supply unit for supplying compressed air to the actuator and the air bearing at the same time.

또한, 상기 공급부는, 압축공기를 생성하는 압축기; 상기 압축기에 직결된 공압라인을 제1 메인공압라인과 제2 메인공압라인으로 분기시키는 제1 분기니플; 상기 제1 메인공압라인의 경로상에 설치되며 상기 압축기에서 공급되는 압축공기를 지정된 압력으로 조절하여 상기 엑츄에이터 측으로 공급하는 제1 공압레귤레이터; 상기 엑츄에이터 측으로 공급되는 압축공기의 흐름을 단속하는 제1 솔레노이드밸브; 상기 제2 메인공압라인의 경로상에 설치되며 상기 압축기에서 공급되는 압축공기를 지정된 압력으로 조절하여 공기베어링 측으로 공급하는 제2 공압레귤레이터; 및 상기 공기베어링 측으로 공급되는 압축공기의 흐름을 단속하는 제2 솔레노이드밸브;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the supply unit, a compressor for generating compressed air; a first branch nipple for branching a pneumatic line directly connected to the compressor into a first main pneumatic line and a second main pneumatic line; a first pneumatic regulator installed on the path of the first main pneumatic line and supplied to the actuator by adjusting the compressed air supplied from the compressor to a specified pressure; a first solenoid valve controlling the flow of compressed air supplied to the actuator; a second pneumatic regulator installed on the path of the second main pneumatic line and supplied to the air bearing by regulating the compressed air supplied from the compressor to a specified pressure; and a second solenoid valve controlling the flow of compressed air supplied to the air bearing.

또, 상기 프레스 니들은 공기베어링의 상면에 형성된 고정홈으로 일정 깊이 삽입되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the press needle is characterized in that it is configured to be inserted to a predetermined depth into the fixing groove formed on the upper surface of the air bearing.

본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.The present invention has the following effects.

첫째, 공기베어링의 압축공기 작동라인의 이상유무, 구조적 결함, 성능 이상 등 공기베어링의 전반적인 검사를 사전에 수행하여, 공기베어링이 충분한 부상 성능을 발휘할 수 있는지에 대한 품질 검사를 진행할 수 있는 효과를 제공한다.First, the overall inspection of the air bearings, such as the presence or absence of abnormalities in the compressed air operating line of the air bearings, structural defects, and performance abnormalities, are performed in advance to ensure the effect of quality inspection on whether the air bearings can exhibit sufficient floating performance. to provide.

둘째, 로드부를 통해 공기베어링에 압축 하중을 가해 설치 하중을 부여하고 설치 하중이 가해지고 있는 공기베어링의 부상 정도를 측정함으로써 공기베어링이 적정 하중 저항력을 갖추었는지에 대한 보다 객관적인 검사를 수행할 수 있다.Second, by applying a compressive load to the air bearing through the rod to give the installation load and measuring the degree of levitation of the air bearing to which the installed load is being applied, a more objective inspection can be performed on whether the air bearing has adequate load resistance. .

셋째, 공기베어링의 검사시 프레스 니들이 공기베어링의 상면에 형성된 고정홈으로 일정 깊이 삽입되도록 구성함으로써 공기베어링의 부상 과정에서 직상방 부상이동을 제외한 편심이동 또는 요잉, 피칭, 롤링 등의 틸팅을 효과적으로 억제하여 보다 객관적인 검사결과를 도출할 수 있는 효과를 제공한다.Third, during the inspection of the air bearing, the press needle is inserted to a certain depth into the fixed groove formed on the upper surface of the air bearing, effectively suppressing eccentric movement or tilting such as yaw, pitching, rolling, etc. This provides the effect of deriving more objective test results.

넷째, 유량계에서 측정된 유량율, 압력게이지에서 측정된 압력, 로드 인디케이터에서 출력되는 압축 하중값 등의 정보를 토대로 공기베어링 또는 엑츄에이터로 공급되는 압축공기의 상태를 면밀히 모니터링할 수 있으며, 필요에 따라 공압레귤레이터를 조작해 압축공기의 압력을 지정된 압력이 되도록 정밀 제어할 수 있다.Fourth, the state of compressed air supplied to the air bearing or actuator can be closely monitored based on information such as the flow rate measured by the flow meter, the pressure measured by the pressure gauge, and the compression load value output from the load indicator. By operating the pneumatic regulator, it is possible to precisely control the pressure of the compressed air to the specified pressure.

도 1은 3차원 측정기의 요부 구조를 도시한 도면.
도 2는 공기베어링의 단면구성을 개략적으로 도시한 도면.
도 3은 본 발명에 따른 공기베어링 검사 장치의 전체적인 구조를 도시한 도면.
도 4는 로드부의 작용을 도시한 도면.
도 5는 로드부에 의해 공기베어링에 압축 하중이 가해지고 있는 상태에서 공기베어링이 베이스에서 부상된 상태를 확대 도시한 도면.
도 6은 리니어부가 적용된 실시예에서 로드부의 작용을 도시한 도면.
도 7은 엑츄에이터로 공급되는 압축공기의 흐름을 설명하기 위한 도면.
도 8은 공기베어링으로 공급되는 압축공기의 흐름을 설명하기 위한 도면.1 is a view showing the main structure of a three-dimensional measuring machine.
Figure 2 is a view schematically showing the cross-sectional configuration of the air bearing.
Figure 3 is a view showing the overall structure of the air bearing inspection apparatus according to the present invention.
Figure 4 is a view showing the operation of the rod.
5 is an enlarged view illustrating a state in which the air bearing is floated from the base in a state in which a compressive load is applied to the air bearing by the rod unit.
6 is a view showing the operation of the rod portion in the embodiment to which the linear portion is applied.
7 is a view for explaining the flow of compressed air supplied to the actuator.
8 is a view for explaining the flow of compressed air supplied to the air bearing.

본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.In order to fully understand the present invention, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described in detail below. This example is provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes of elements in the drawings may be exaggerated to emphasize a clearer description. It should be noted that the same members in each drawing are sometimes shown with the same reference numerals. Detailed descriptions of well-known functions and configurations determined to unnecessarily obscure the gist of the present invention will be omitted.

본 발명에 따른 공기베어링 검사 장치(이하, 검사 장치라 함)의 구체적인 설명에 앞서, 검사 장치의 검사 대상물이 되는 공기베어링(3)의 구조에 대해 첨부되는 도면을 참고하여 간략히 설명한다.Prior to a detailed description of the air bearing inspection apparatus (hereinafter referred to as an inspection apparatus) according to the present invention, the structure of the air bearing 3 as an inspection object of the inspection apparatus will be briefly described with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이 공기베어링(3)은 3차원 측정기의 요부인 갠트리부(1)의 세부구성으로서, 갠트리부(1)는 압축공기 공급수단(미도시)으로부터 제공되는 압축공기를 이용해 레일로부터 부상될 수 있는 부재를 일컷는다.As shown in FIG. 1, the air bearing 3 is a detailed configuration of the gantry part 1, which is the main part of the 3D measuring device, and the gantry part 1 uses compressed air provided from a compressed air supply means (not shown). Cut a member that can float from the rail.

즉, 레일에서 부상된 갠트리부(1)를 구동부재가 왕복 이동시킴으로써 레일과 갠트리부(1) 사이에 마찰저항 발생 없이 원활한 왕복운동을 가능케 한다.That is, the driving member reciprocates the gantry part 1 floating on the rail, thereby enabling smooth reciprocating motion between the rail and the gantry part 1 without frictional resistance.

예컨대, 갠트리부(1)는 상기 레일의 외부를 덮는 아치 형태의 커버(2) 및 상기 커버(2)의 내면에 부설된 상태에서 레일에 인접 설치되며 외부로부터 공급받은 압축공기를 안내해 레일로 분사하는 공기베어링(3)을 포함하는 것으로 예시될 수 있다.For example, the gantry part 1 is installed adjacent to the rail in a state of being installed on the inner surface of the arch-shaped cover 2 covering the outside of the rail and the cover 2, and guides compressed air supplied from the outside and sprays it onto the rail. It may be exemplified as including an air bearing (3).

이때, 공기베어링(3)은 사각형의 블럭 형태로 이루어지며 내부로는 압축공기가 유입되는 유입로(4)가 형성되고, 상기 유입로(4)에서부터 레일을 향하는 분사로(5)가 분기 형성될 수 있다.At this time, the air bearing 3 is made in the form of a rectangular block, and an inflow path 4 through which compressed air is introduced is formed, and an injection path 5 toward the rail is branched from the inflow path 4 . can be

공기베어링(3)에 대해서는 본 출원인에 의해 출원된 출원번호 10-2020-0008745에 개시된 에어블럭의 구성으로부터 참조될 수 있으므로 이하 자세한 설명은 생략한다. 또한, 본 발명에 따른 검사 장치는 이러한 3차원 측정기의 공기베어링(3) 의 검사 외에도 공지된 모든 공기베어링의 검사에 사용될 수 있음을 밝힌다.As for the air bearing 3, it can be referred from the configuration of the air block disclosed in Application No. 10-2020-0008745 filed by the present applicant, and thus detailed description thereof will be omitted. In addition, it is revealed that the inspection apparatus according to the present invention can be used for inspection of all known air bearings in addition to inspection of the air bearings 3 of such a three-dimensional measuring instrument.

한편, 공기베어링(3)의 성능 저하 또는 결함의 원인 중 대부분은 유입로(4) 또는 분사로(5)가 막혀 압축공기를 원활히 작동시킬 수 없는데 있다.On the other hand, most of the causes of performance degradation or defects of the air bearing 3 are that the inflow path 4 or the injection path 5 is blocked, so that the compressed air cannot be smoothly operated.

공기베어링(3)의 내부로 주입된 압축공기가 유입로(4)와 분사로(5)에 별다른 저항 없이 작동되어야만 주입된 압축공기의 압력강하 없이 직관적인 부상력이 발생하게 되는데 만일 유입로(4)와 분사로(5) 중 어느 하나가 완전히 막힌다거나 또는 부분적으로 막히게 될 경우 공기베어링(3) 내부에서 압축공기의 작동에 제한이 발생해, 공기베어링(3)의 성능이 저하되거나 또는 아예 기능을 상실하게 되는 문제가 있다.When the compressed air injected into the air bearing (3) is operated without any resistance in the inflow path (4) and the injection path (5), intuitive levitation force is generated without pressure drop of the injected compressed air. If any one of 4) and the injection path (5) is completely or partially blocked, the operation of the compressed air inside the air bearing (3) is restricted, and the performance of the air bearing (3) is reduced or not at all. There is a problem of loss of function.

유입로(4)와 분사로(5)의 폐쇄 원인으로는 최초 공기베어링(3)의 제조 과정에서 유입로(4)와 분사로(5)의 형성이 부적절하게 이루어지는 경우와 공기베어링(3)의 사용과정에서 압축공기에 포함된 유분, 먼지 등에 의해 막히게 되는 사후적인 이유 등을 예로 들 수 있다.The causes of the closure of the inflow path 4 and the injection path 5 are the case where the inflow path 4 and the injection path 5 are improperly formed during the manufacturing process of the first air bearing 3 and the air bearing 3 Examples of reasons behind clogging by oil and dust contained in compressed air during the use of the device are the following.

이에, 본 발명에 따른 검사 장치는 제조된 공기베어링(3)의 압축공기 작동라인이 적절히 형성되었는지 검사하고, 충분한 부상 성능을 발휘할 수 있는지에 대한 품질 검사를 사전에 수행하기 위해 개발되었다.Accordingly, the inspection device according to the present invention was developed to inspect whether the compressed air operating line of the manufactured air bearing 3 is properly formed, and to perform a quality inspection in advance for whether it can exhibit sufficient floating performance.

이하, 전술한 개발 개념을 기초로 하는 본 발명에 따른 검사 장치를 첨부되는 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, an inspection apparatus according to the present invention based on the above-described development concept will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 검사 장치는 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이 크게, 베이스(10), 로드부(20) 및 하이터 게이지(30)를 포함하는 것으로 정의될 수 있다.The inspection apparatus according to the present invention may be largely defined as including a base 10 , a rod part 20 and a height gauge 30 , as shown in FIGS. 3 to 4 .

먼저, 베이스(10)는 검사 장치의 저부를 구성하여 검사 장치의 각종 부재, 예컨대 로드부(20) 등을 지지함과 동시에, 검사 대상물이 되는 공기베어링(3)이 안착될 수 있다.First, the base 10 constitutes the bottom of the inspection apparatus to support various members of the inspection apparatus, for example, the rod 20, and the like, and at the same time, the air bearing 3 to be the inspection object may be seated.

베이스(10)에는 배면판(11)이 일체로 형성될 수 있으며 배면판(11)에 후술 될 공급부(40)의 구성들이 적소에 배치구성될 수 있다.The back plate 11 may be integrally formed on the base 10 , and the components of the supply unit 40 to be described later may be arranged in place on the back plate 11 .

베이스(10)에 안착된 공기베어링(3)은 공급부(40)를 통해 압축공기를 공급받아 실제 공기베어링(3)이 설치될 3차원 측정기에서 부상되는 환경과 동일하게 베이스(10)에서 부상될 수 있다.The air bearing 3 seated on the base 10 is supplied with compressed air through the supply unit 40 to be lifted from the base 10 in the same way as the environment in which the air bearing 3 is actually raised in the three-dimensional measuring instrument to be installed. can

다음으로, 로드부(20)는 상기 베이스(10)에 안착된 공기베어링(3)의 상부에 지정된 압축 하중을 가하는 작용을 담당한다.Next, the rod part 20 is responsible for applying a specified compressive load to the upper portion of the air bearing 3 seated on the base 10 .

통상 3차원 측정기의 갠트리부(1)는 3차원 측정기를 구성하는 각종 구조물의 하중을 그대로 지지해야 하기 때문에 실제 설치 환경에서의 공기베어링(3)에는 설치 하중이 항시 가해지고 있는 상태가 된다.In general, since the gantry unit 1 of the 3D measuring device has to support the loads of various structures constituting the 3D measuring device as it is, the installed load is always applied to the air bearing 3 in the actual installation environment.

즉, 공기베어링(3)은 이러한 설치 하중을 그대로 받은 상태에서 적정 높이로 부상할 수 있는 하중 저항력을 고려해 설계되어야 양품으로 인정될 수 있으며, 단위 공기베어링(3) 하나 당 요구되는 하중 저항력은 공기베어링(3)의 제원에 따라 상이하게 구성되어 규격화된다.That is, the air bearing (3) must be designed in consideration of the load resistance that can float to an appropriate height while receiving this installation load as it is to be recognized as a good product, and the load resistance required per unit air bearing (3) is It is configured differently and standardized according to the specifications of the bearing 3 .

공기베어링(3)의 검사시 설치 하중을 배제하고 공기베어링(3)의 부상 여부만 검사하게 될 경우 객관적인 검사가 이루어질 수 없게 되므로, 본 실시예에서는 로드부(20)를 통해 공기베어링(3)에 압축 하중을 가해 설치 하중을 부여하고 설치 하중이 가해지고 있는 공기베어링(3)의 부상 정도를 측정함으로써 공기베어링(3)이 적정 하중 저항력을 갖추었는지에 대한 객관적인 검사를 수행할 수 있도록 하는 구조를 갖춘다.When inspecting the air bearing (3) excluding the installation load and inspecting only whether the air bearing (3) is injured, an objective inspection cannot be made, so in this embodiment, the air bearing (3) through the rod part (20) A structure that allows an objective inspection of whether the air bearing (3) has proper load resistance by applying a compressive load to the to equip

이를 위해, 로드부(20)는 베이스(10)의 상면에 설치되는 힌지대(21), 상기 베이스(10)에 안착된 공기베어링(3)이 일단 하부에 배치되도록 상기 힌지대(21)에 회동 가능하게 설치되는 레버(22), 상기 레버(22)의 타단에 설치되며 지정된 압력의 압축공기를 공급받아 작동하여 상기 레버(22)를 회동시키는 엑츄에이터(23), 상기 레버(22)의 일단 하면에 배치되어 레버(22)의 자세에 따라 공기베어링(3)의 상면을 선택적으로 가압하는 프레스 니들(24) 및 상기 레버(22)와 프레스 니들(24) 사이에 설치되며 프레스 니들(24)을 통해 공기베어링(3)에 가해지는 압축 하중을 측정하는 로드셀(25)을 포함하는 것으로 예시될 수 있다.To this end, the rod part 20 is mounted on the hinge 21 so that the hinge 21 installed on the upper surface of the base 10 and the air bearing 3 seated on the base 10 are once disposed at the lower part. A lever 22 installed rotatably, an actuator 23 installed at the other end of the lever 22 and operated by receiving compressed air of a specified pressure to rotate the lever 22, one end of the lever 22 The press needle 24 is disposed on the lower surface and selectively presses the upper surface of the air bearing 3 according to the posture of the lever 22, and the press needle 24 is installed between the lever 22 and the press needle 24. It may be exemplified as including the load cell 25 for measuring the compressive load applied to the air bearing 3 through the.

힌지대(21)는 레버(22)가 지렛대 형태로 운동하도록 레버(22)를 회동 지지하는 받침점 역할을 하며 이에, 레버(22)는 힌지대(21)에서 회동되면서 일단에 형성된 프레스 니들(24)을 베이스(10)에 안착된 공기베어링(3)의 상면을 향해 왕복 이동시킨다.The hinge 21 serves as a fulcrum for pivotally supporting the lever 22 so that the lever 22 moves in the form of a lever. Accordingly, the lever 22 is rotated on the hinge 21 and a press needle 24 formed at one end. ) to reciprocate toward the upper surface of the air bearing 3 seated on the base 10 .

엑츄에이터(23)는 공지의 공압실린더로 구성되며, 압축공기의 공급여부에 따라 신장 또는 압축되면서 레버(22)를 회동운동시킨다.The actuator 23 is composed of a known pneumatic cylinder, and rotates the lever 22 while being expanded or compressed depending on whether compressed air is supplied.

특히, 엑츄에이터(23)의 실린더바디(23a)는 레버(22)의 타단 상면에 부착 설치되고, 실린더바디(23a)에서 작동하는 로드(23b)는 레버(22)에 관통 형성되는 통과공(미도시)을 통과해 레버(22)의 하방으로 연장되며 단부가 베이스(10)의 상면에 접촉되거나 또는 후술 될 리니어부(27)에 연동 접속될 수 있다.In particular, the cylinder body 23a of the actuator 23 is attached and installed on the upper surface of the other end of the lever 22, and the rod 23b operating on the cylinder body 23a is a through hole (not shown) formed through the lever 22. time) and extends downward of the lever 22 and the end may be in contact with the upper surface of the base 10 or may be linked to a linear part 27 to be described later.

실린더바디(23a)로의 압축공기 공급에 의해 로드(23b)가 신장됨에 따라 실린더바디(23a)와 일체화된 레버(22)의 타단이 상부로 회동되면 이와 반대로 레버(22)의 일단은 하부로 회동되면서 레버(22)의 일단 하부에 놓인 공기베어링(3)을 향해 압축 하중을 가할 수 있는 구조가 갖춰진다.As the rod 23b is extended by the supply of compressed air to the cylinder body 23a, the other end of the lever 22 integrated with the cylinder body 23a rotates upward. On the contrary, one end of the lever 22 rotates downward. A structure capable of applying a compressive load toward the air bearing 3 placed on one end of the lower portion of the lever 22 is provided.

반대로, 실린더바디(23a)에 압축공기가 배출되면 로드(23b)가 압축되면서 실린더바디(23a)와 일체화된 레버(22)의 타단이 하부로 회동됨과 동시에 레버(22)의 일단은 상부로 회동되면서 공기베어링(3)에 가하는 압축 하중을 제거할 수 있다.Conversely, when the compressed air is discharged to the cylinder body 23a, the rod 23b is compressed while the other end of the lever 22 integrated with the cylinder body 23a rotates downward and at the same time, one end of the lever 22 rotates upward. It is possible to remove the compressive load applied to the air bearing (3).

프레스 니들(24)은 중실형 원통 부재로, 로드부(20)에서 생성된 압축 하중을 공기베어링(3)에 직접적으로 전달함과 동시에, 검사중인 공기베어링(3)의 편심이동 또는 틸팅을 방지하는 역할을 담당한다.The press needle 24 is a solid cylindrical member, which directly transmits the compressive load generated by the rod part 20 to the air bearing 3 and at the same time prevents eccentric movement or tilting of the air bearing 3 under inspection. plays a role

통상 공기베어링(3)의 상면 중앙에는 커버(2)와의 결합을 위해 체결부재가 삽입되는 고정홈(6)이 일정 깊이 함몰 형성되는데, 공기베어링(3)의 검사시 프레스 니들(24)이 공기베어링(3)의 상면에 형성된 고정홈(6)으로 일정 깊이 삽입되도록 구성되면 공기베어링(3)의 부상 과정에서 직상방 부상이동을 제외한 편심이동 또는 요잉, 피칭, 롤링 등의 틸팅을 효과적으로 억제하여 보다 객관적인 검사결과를 도출할 수 있게 된다.Usually, in the center of the upper surface of the air bearing 3, a fixing groove 6 into which a fastening member is inserted for coupling with the cover 2 is recessed to a certain depth. When it is configured to be inserted to a certain depth into the fixing groove 6 formed on the upper surface of the bearing 3, it effectively suppresses eccentric movement or tilting such as yaw, pitching, rolling, etc. except for the direct upward movement during the levitation process of the air bearing 3 It is possible to derive more objective test results.

만일, 공기베어링(3)이 부상하는 과정에서 편심이동, 틸팅 등이 발생하면 하이터 게이지(30)에 의한 측정 기준점이 틀어지면서 정확한 검사 결과를 도출할 수 없게 된다.If eccentric movement, tilting, etc. occurs in the process of levitating the air bearing 3 , the measurement reference point by the height gauge 30 is shifted and an accurate inspection result cannot be derived.

로드셀(25)은 레버(22)의 일단과 프레스 니들(24) 사이에 개재되어 공기베어링(3)의 검사 진행시 공기베어링(3)에 가해지는 압축 하중을 실시간으로 측정하고, 측정된 압축 하중값은 로드 인디케이터(26)에 의해 검사자에게 실시간으로 출력될 수 있다.The load cell 25 is interposed between one end of the lever 22 and the press needle 24 to measure the compressive load applied to the air bearing 3 in real time when the air bearing 3 is inspected, and the measured compressive load The value may be output to the examiner in real time by the load indicator 26 .

로드 인디케이터(26)는 배면판(11) 상단에 설치되며 로드셀(25)과 전기적으로 연결되어 로드셀(25)에 의해 측정된 디지털 신호를 시각적으로 도시화할 수 있다. 이에, 검사자는 로드 인디케이터(26)에 출력된 압축 하중값을 확인하면서 검사될 공기베어링(3)에 적합한 압축 하중을 세팅할 수 있다.The load indicator 26 is installed on the top of the rear plate 11 and is electrically connected to the load cell 25 to visually visualize the digital signal measured by the load cell 25 . Accordingly, the inspector may set a compression load suitable for the air bearing 3 to be inspected while checking the value of the compression load output to the load indicator 26 .

힌지대(21)의 회동기준점(21a)과 엑츄에이터(23)의 중심 사이의 직선 거리(d1)는 힌지대(21)의 회동기준점(21a)과 프레스 니들(24)의 중심 사이의 직선 거리(d2)보다 길게 형성되는 것이 지렛대 작용을 효과적으로 이용할 수 있다는 측면에서 바람직하다.The linear distance d1 between the rotation reference point 21a of the hinge 21 and the center of the actuator 23 is the linear distance between the rotation reference point 21a of the hinge 21 and the center of the press needle 24 ( It is preferable to form longer than d2) in terms of effectively utilizing the lever action.

이와 같이 구성되는 로드부(20)는 상대적으로 작은 엑츄에이터(23)의 출력을 지렛대의 구조를 이용해 증폭하여 공기베어링(3)에 전달하는 구조로 이루어지기 때문에 동력전달 효율이 증대되고 각각의 공기베어링(3)에 부합하는 설치 하중을 무리 없이 재현하여 공기베어링(3)에 제공할 수 있으며, 공기베어링(3)에 가할 수 있는 압축 하중의 상한범위를 대폭 증대시킬 수 있게 된다.Since the rod unit 20 configured in this way amplifies the output of the relatively small actuator 23 using the structure of a lever and transmits it to the air bearing 3, the power transmission efficiency is increased and each air bearing The installation load conforming to (3) can be reproduced without unreasonableness and provided to the air bearing (3), and the upper limit of the compressive load that can be applied to the air bearing (3) can be significantly increased.

한편, 엑츄에이터(23)는 레버(22)에 부착 설치된 상태에서 베이스(10)를 향해 신장 또는 압축되게 작동하여 레버(22)를 회동시키게 되므로 로드(23b)의 단부를 베이스(10)에 고정시키지 않는 것이 레버(22)의 회동운동을 가능케 할 수 있다는 측면에서 바람직하다.On the other hand, the actuator 23 operates to be expanded or compressed toward the base 10 in a state where it is attached to the lever 22 and rotates the lever 22, so that the end of the rod 23b is not fixed to the base 10. It is preferable in terms of enabling the rotational movement of the lever 22 .

그러나, 단순히 로드(23b)의 단부를 자유단 형태로 구성한 상태에서 베이스(10)에 접촉되도록 구성하게 될 경우 엑츄에이터(23)의 반복 작동에 의해 로드(23b)가 베이스(10)에 반복적으로 마찰을 가하게 되고, 이에 대한 반력이 엑츄에이터(23)로 전달되어 엑츄에이터(23)의 내구성을 저하시키는 원인으로 작용하게 된다.However, when the rod 23b is configured to be in contact with the base 10 in a state in which the end of the rod 23b is configured in the form of a free end, the rod 23b repeatedly rubs against the base 10 by repeated operation of the actuator 23 . is applied, and the reaction force is transmitted to the actuator 23 to act as a cause of lowering the durability of the actuator 23 .

이에, 로드부(20)는 도 6에 도시된 바와 같이 베이스(10)의 상부에서 엑츄에이터(23)의 신장 또는 압축 작동시 로드(23b)를 직선 방향으로 슬라이딩 가능하게 가이드하여 엑츄에이터(23)에 가해지는 반력을 효과적으로 상쇄시킬 수 있으면서도 레버(22)의 원활한 회동이동을 보조할 수 있는 리니어부(27)를 더 포함하는 구조를 갖춘다.Accordingly, as shown in FIG. 6 , the rod part 20 guides the rod 23b to be slidable in a straight direction when the actuator 23 is extended or compressed from the upper portion of the base 10 to be slidably attached to the actuator 23 . While being able to effectively offset the applied reaction force, it has a structure that further includes a linear part 27 that can assist the smooth rotation of the lever 22 .

리니어부(27)는 베이스(10)의 상면에 형성되는 직선형 가이드레일(27a), 상기 가이드레일(27a)에 접촉되는 가이드블럭(27b) 및 로드(23b)의 단부를 상기 가이드블럭(27b)에 힌지 결합시키는 힌지조인트(27c)를 포함하는 것으로 예시될 수 있다.The linear part 27 includes a straight guide rail 27a formed on the upper surface of the base 10, a guide block 27b in contact with the guide rail 27a, and ends of the rod 23b, the guide block 27b. It may be illustrated as including a hinge joint (27c) for hinged to the.

이와 같이 구성된 리니어부(27)는 엑츄에이터(23)의 스트로크양이 증가하면 이에 따라 신장되는 로드(23b)의 단부를 우측으로 가이드하고, 반대로, 엑츄에이터(23)의 스트로크양이 감소하면 이에 따라 압축되는 로드(23b)의 단부를 좌측으로 가이드하면서 엑츄에이터(23)에 반력이 가해지는 것을 방지하고, 동시에 레버(22)의 원활한 회동이동을 보조하게 된다.The linear portion 27 configured as described above guides the end of the rod 23b, which is extended according to the increase in the stroke amount of the actuator 23 to the right, and, conversely, when the stroke amount of the actuator 23 decreases, it is compressed accordingly. While guiding the end of the rod 23b to the left, a reaction force is prevented from being applied to the actuator 23 , and at the same time, the smooth rotational movement of the lever 22 is supported.

다음으로, 하이터 게이지(30)는 로드부(20)에 의해 압축 하중을 받는 공기베어링(3)이 지정된 압력의 압축공기를 공급받아 상기 베이스(10)에서 부상되면 부상된 만큼의 상대높이(h1)를 측정한다.Next, the height gauge 30 is a relative height ( h1) is measured.

하이터 게이지(30)의 측정팁(31)은 공기베어링(3)의 상면에 접촉될 수 있으며, 지정된 압축 하중을 받은 상태의 공기베어링(3)이 압축공기의 공급에 의해 베이스(10)에서 부상되면 베이스(10)의 상면과 공기베어링(3)의 하면 사이 거리인 상대높이(h1)를 측정되며, 이는 공기베어링(3)의 검사결과로서 활용될 수 있다.The measuring tip 31 of the height gauge 30 may be in contact with the upper surface of the air bearing 3, and the air bearing 3 in a state of receiving a specified compression load is moved from the base 10 by the supply of compressed air. When floating, the relative height h1, which is the distance between the upper surface of the base 10 and the lower surface of the air bearing 3, is measured, and this can be utilized as an inspection result of the air bearing 3 .

공기베어링(3)마다 양품 기준이 되는 상대높이(h1)가 규격화되어 있으며, 검사된 공기베어링(3)의 상대높이(h1)가 규격화된 기준에 미달일 경우 결함으로 간주한다.For each air bearing (3), the relative height (h1), which is the standard of good quality, is standardized, and if the relative height (h1) of the inspected air bearing (3) does not meet the standardized standard, it is regarded as a defect.

하이터 게이지(30)는 공기베어링(3)의 변위량을 측정할 수 있는 선에서 공지된 다양한 수단을 사용할 수 있으므로, 이하 자세한 설명은 생략한다. Since the height gauge 30 can use a variety of known means in a line capable of measuring the amount of displacement of the air bearing 3 , a detailed description thereof will be omitted below.

본 발명에 따른 검사 장치는 엑츄에이터(23)와 공기베어링(3)에 압축공기를 동시에 공급하는 공급부(40)를 더 포함할 수 있다.The inspection apparatus according to the present invention may further include a supply unit 40 for supplying compressed air to the actuator 23 and the air bearing 3 at the same time.

공급부(40)는 하나의 압축기에서 공급되는 압축공기를 엑츄에이터(23)와 공기베어링(3)을 향해 각각 분기시켜 공급하되, 공급되는 압축공기를 정밀 제어하여 지정된 압력으로 공급될 수 있도록 하는 구조를 갖춘다.The supply unit 40 branches and supplies the compressed air supplied from one compressor toward the actuator 23 and the air bearing 3, but precisely controls the supplied compressed air so that it can be supplied at a specified pressure. equip

이를 위해, 공급부(40)는 압축공기를 생성하는 압축기(미도시), 상기 압축기에 직결된 공압라인(41)을 제1 메인공압라인(ML1)과 제2 메인공압라인(ML2)으로 분기시키는 제1 분기니플(42), 상기 제1 메인공압라인(ML1)의 경로상에 설치되며 상기 압축기에서 공급되는 압축공기를 지정된 압력으로 조절하여 상기 엑츄에이터(23) 측으로 공급하는 제1 공압레귤레이터(43), 상기 엑츄에이터(23) 측으로 공급되는 압축공기의 흐름을 단속하는 제1 솔레노이드밸브(44), 상기 제2 메인공압라인(ML2)의 경로상에 설치되며 상기 압축기에서 공급되는 압축공기를 지정된 압력으로 조절하여 공기베어링(3) 측으로 공급하는 제2 공압레귤레이터(45) 및 상기 공기베어링(3) 측으로 공급되는 압축공기의 흐름을 단속하는 제2 솔레노이드밸브(46)를 포함하는 것으로 예시될 수 있다.To this end, the supply unit 40 branches a compressor (not shown) that generates compressed air and a pneumatic line 41 directly connected to the compressor into a first main pneumatic line ML1 and a second main pneumatic line ML2. A first branch nipple 42, a first pneumatic regulator 43 installed on the path of the first main pneumatic line ML1 and supplied to the actuator 23 by controlling the compressed air supplied from the compressor to a specified pressure ), a first solenoid valve 44 that regulates the flow of compressed air supplied to the actuator 23, is installed on the path of the second main pneumatic line ML2, and controls the compressed air supplied from the compressor to a specified pressure. It can be exemplified as including a second pneumatic regulator 45 and a second solenoid valve 46 that regulates the flow of compressed air supplied to the air bearing 3 side by controlling the .

압축기를 제외한 공급부(40)의 구성, 예컨대, 제1 분기니플(42), 제1, 2 공압레귤레이터(43,45), 제1, 2 솔레노이드밸브(44,46) 등은 배면판(11)의 적소에 부착 설치될 수 있으며, 설치위치는 특별히 제한하지 않는다.The configuration of the supply unit 40 excluding the compressor, for example, the first branch nipple 42, the first and second pneumatic regulators 43 and 45, the first and second solenoid valves 44 and 46, etc. is the rear plate 11 It can be attached and installed in the right place, and the installation location is not particularly limited.

이와 같은 공급부(40)의 구성들을 기초로, 엑츄에이터(23)와 공기베어링(3)으로 공급되는 압축공기의 흐름을 설명하면 다음과 같다.The flow of compressed air supplied to the actuator 23 and the air bearing 3 based on the configurations of the supply unit 40 will be described as follows.

먼저, 도 7에 도시된 바와 같이 엑츄에이터(23)로 향하는 압축공기는 먼저 제1 분기니플(42)에서 분기되어 제1 메인공압라인(ML1)을 타고 제1 공압레귤레이터(43)를 거친다. First, as shown in FIG. 7 , the compressed air directed to the actuator 23 is first branched from the first branch nipple 42 and rides the first main pneumatic line ML1 and passes through the first pneumatic regulator 43 .

제1 공압레귤레이터(43)를 거친 압축공기는 제1 메인공압라인(ML1)의 경로상에 설치된 제1 솔레노이드밸브(44)의 제어 하에 엑츄에이터(23)로 선택적 공급될 수 있다.The compressed air passing through the first pneumatic regulator 43 may be selectively supplied to the actuator 23 under the control of the first solenoid valve 44 installed on the path of the first main pneumatic line ML1.

제1 솔레노이드밸브(44)가 개방되어 압축공기를 통과시키면 압축공기는 엑츄에이터(23)로 공급되어 엑츄에이터(23)의 작동유체로 사용된다.When the first solenoid valve 44 is opened and compressed air passes, the compressed air is supplied to the actuator 23 and used as the working fluid of the actuator 23 .

엑츄에이터(23)가 작동하여 공기베어링(3)에 압축 하중이 가해지는 순간 로드 인디케이터(26)에 공기베어링(3)에 가해지는 압축 하중값이 실시간으로 출력되며 이때, 검사자는 제1 공압레귤레이터(43)를 조작해 로드 인디케이터(26)에 출력된 압축 하중값이 지정된 압축 하중값이 되도록 압축공기의 압력을 조절할 수 있다.At the moment when the actuator 23 operates and a compressive load is applied to the air bearing 3, the compressive load value applied to the air bearing 3 is output to the load indicator 26 in real time. 43) to adjust the pressure of the compressed air so that the compression load value output to the load indicator 26 becomes a specified compression load value.

즉, 검사자는 공기베어링(3)으로 가해지는 압축 하중을 실시간으로 모니터링 하며 엑츄에이터(23)를 정밀 제어할 수 있게 된다.That is, the inspector can monitor the compression load applied to the air bearing 3 in real time and precisely control the actuator 23 .

다음으로, 도 8에 도시된 바와 같이 공기베어링(3)으로 향하는 압축공기는 먼저 제1 분기니플(42)에서 분기되어 제2 메인공압라인(ML2)을 타고 제2 공압레귤레이터(45)를 거친다. Next, as shown in FIG. 8 , the compressed air directed to the air bearing 3 is first branched from the first branch nipple 42 and rides the second main pneumatic line ML2 and passes through the second pneumatic regulator 45 . .

제2 공압레귤레이터(45)를 거친 압축공기는 제2 메인공압라인(ML2)의 경로상에 설치된 유량계(47)를 통과한다. 유량계(47)는 공기베어링(3)으로 향하는 압축공기의 유량율을 실시간으로 측정해 출력한다.The compressed air passing through the second pneumatic regulator 45 passes through the flow meter 47 installed on the path of the second main pneumatic line ML2. The flow meter 47 measures and outputs the flow rate of the compressed air toward the air bearing 3 in real time.

유량계(47)를 거친 압축공기는 제2 메인공압라인(ML2)의 경로상에 설치된 제2 솔레노이드밸브(46)의 제어 하에 공기베어링(3) 측으로 선택적 공급될 수 있다.The compressed air passing through the flow meter 47 may be selectively supplied to the air bearing 3 under the control of the second solenoid valve 46 installed on the path of the second main pneumatic line ML2.

제2 메인공압라인(ML2)은 제2 솔레노이드밸브(46)를 통과한 시점에 제2 분기니플(48)을 통해 제1 서브공압라인(SL1)과 제2 서브공압라인(SL2)으로 분기될 수 있으며, 이때 제1 서브공압라인(SL1)은 공기베어링(3)에, 제2 서브공압라인(SL2)은 압력 게이지(49)에 각각 직결될 수 있다.The second main pneumatic line (ML2) is to be branched into the first sub pneumatic line (SL1) and the second sub pneumatic line (SL2) through the second branch nipple 48 at the time of passing the second solenoid valve (46). In this case, the first sub-pneumatic line SL1 may be directly connected to the air bearing 3 , and the second sub-pneumatic line SL2 may be directly connected to the pressure gauge 49 .

제1 서브공압라인(SL1)은 공기베어링(3)의 유입로(4)에 직결되어 압축공기를 공기베어링(3)의 내부로 안내하고, 제2 서브공압라인(SL2)은 배면판(11)에 부착 설치된 압력 게이지(49)로 압축공기를 안내한다.The first sub-pneumatic line SL1 is directly connected to the inflow path 4 of the air bearing 3 to guide the compressed air into the air bearing 3, and the second sub-pneumatic line SL2 is connected to the rear plate 11 ) and guide the compressed air to the installed pressure gauge (49).

압력 게이지(49)는 제2 솔레노이드밸브(46)롤 통과해 공기베어링(3)으로 공급되는 압축공기를 공기베어링(3)에 공급되기 직전 체크하여 압력값을 출력하는 역할을 담당한다.The pressure gauge 49 serves to output the pressure value by checking the compressed air supplied to the air bearing 3 through the second solenoid valve 46 roll just before being supplied to the air bearing 3 .

제2 솔레노이드밸브(46)가 개방되어 압축공기를 통과시키면 압축공기는 제1 서브공압라인(SL1)과 제2 서브공압라인(SL2)을 통해 공기베어링(3)과 압력 게이지(49)로 각각 공급된다.When the second solenoid valve 46 is opened and compressed air passes, the compressed air flows to the air bearing 3 and the pressure gauge 49 through the first sub-pneumatic line SL1 and the second sub-pneumatic line SL2, respectively. is supplied

공기베어링(3)으로 압축공기가 공급되면 압축공기는 유입로(4)를 거쳐 분사로(5)로 분사되어 공기베어링(3)의 부상을 위한 작동유체로 사용되고, 압력 게이지(49)로 압축공기가 공급되면 압력 게이지(49)에는 공기베어링(3)으로 공급되는 압축공기의 압력이 측정되어 출력될 수 있다.When compressed air is supplied to the air bearing (3), the compressed air is sprayed to the injection path (5) through the inflow path (4) and used as a working fluid for the levitation of the air bearing (3), and compressed by the pressure gauge (49). When air is supplied, the pressure of the compressed air supplied to the air bearing 3 may be measured and output to the pressure gauge 49 .

이에, 검사자는 유량계(47)에서 측정된 유량율과 압력 게이지(49)에서 측정된 압력을 토대로 공기베어링(3)으로 공급되는 압축공기의 상태를 면밀히 모니터링할 수 있으며, 필요에 따라 제2 공압레귤레이터(45)를 조작해 공기베어링(3)으로 공급되는 압축공기의 압력을 지정된 압력이 되도록 정밀 제어할 수 있게 된다.Accordingly, the inspector can closely monitor the state of the compressed air supplied to the air bearing 3 based on the flow rate measured by the flow meter 47 and the pressure measured by the pressure gauge 49, and if necessary, the second pneumatic pressure By manipulating the regulator (45), it is possible to precisely control the pressure of the compressed air supplied to the air bearing (3) to a specified pressure.

이상에서 설명된 본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The embodiments of the present invention described above are merely exemplary, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will appreciate that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, it will be well understood that the present invention is not limited to the form mentioned in the above detailed description. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims. Moreover, it is to be understood that the present invention covers all modifications, equivalents and substitutions falling within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

10: 베이스
20: 로드부
30: 하이터 게이지
40: 공급부10: base
20: rod part
30: Hitter Gauge
40: supply

Claims (5)

검사될 공기베어링이 안착되는 베이스;
상기 베이스에 안착된 공기베어링의 상부에 지정된 압축 하중을 가하는 로드부; 및
상기 로드부에 의해 압축 하중을 받는 공기베어링이 지정된 압력의 압축공기를 공급받아 상기 베이스에서 부상되면 부상된 만큼의 상대높이를 측정하는 하이터 게이지;를 포함하는 것을 특징으로 하는 공기베어링 검사 장치.a base on which the air bearing to be inspected is seated;
a rod part for applying a specified compressive load to an upper portion of the air bearing seated on the base; and
Air bearing inspection apparatus comprising a; a height gauge for measuring the relative height of the air bearing received a compressed load by the rod portion is levitated from the base when supplied with compressed air of a specified pressure; 청구항 1에 있어서,
상기 로드부는,
상기 베이스의 상면에 설치되는 힌지대;
상기 베이스에 안착된 공기베어링이 일단 하부에 배치되도록 상기 힌지대에 회동 가능하게 설치되는 레버;
상기 레버의 타단에 설치되며 지정된 압력의 압축공기를 공급받아 작동하여 상기 레버를 회동시키는 엑츄에이터;
상기 레버의 일단 하면에 배치되어 레버의 자세에 따라 공기베어링의 상면을 선택적으로 가압하는 프레스 니들; 및
상기 레버와 프레스 니들 사이에 설치되며 프레스 니들을 통해 공기베어링에 가해지는 압축 하중을 측정하는 로드셀;을 포함하며,
상기 로드셀에 의해 측정된 압축 하중값은 로드 인디케이터에 의해 출력되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 공기베어링 검사 장치.The method according to claim 1,
The load part,
a hinge installed on the upper surface of the base;
a lever rotatably installed on the hinge so that the air bearing seated on the base is disposed at one end at a lower portion;
an actuator installed at the other end of the lever and operated by receiving compressed air of a specified pressure to rotate the lever;
a press needle disposed on one end of the lower surface of the lever to selectively press the upper surface of the air bearing according to the posture of the lever; and
It includes; a load cell installed between the lever and the press needle for measuring the compressive load applied to the air bearing through the press needle;
Air bearing inspection apparatus, characterized in that the compression load value measured by the load cell is configured to be output by the load indicator. 청구항 2에 있어서,
상기 엑츄에이터와 공기베어링에 압축공기를 동시에 공급하는 공급부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공기베어링 검사 장치.3. The method according to claim 2,
Air bearing inspection apparatus further comprising; a supply unit for supplying compressed air to the actuator and the air bearing at the same time. 청구항 3에 있어서,
상기 공급부는,
압축공기를 생성하는 압축기;
상기 압축기에 직결된 공압라인을 제1 메인공압라인과 제2 메인공압라인으로 분기시키는 제1 분기니플;
상기 제1 메인공압라인의 경로상에 설치되며 상기 압축기에서 공급되는 압축공기를 지정된 압력으로 조절하여 상기 엑츄에이터 측으로 공급하는 제1 공압레귤레이터;
상기 엑츄에이터 측으로 공급되는 압축공기의 흐름을 단속하는 제1 솔레노이드밸브;
상기 제2 메인공압라인의 경로상에 설치되며 상기 압축기에서 공급되는 압축공기를 지정된 압력으로 조절하여 공기베어링 측으로 공급하는 제2 공압레귤레이터; 및
상기 공기베어링 측으로 공급되는 압축공기의 흐름을 단속하는 제2 솔레노이드밸브;를 포함하는 것을 특징으로 하는 공기베어링 검사 장치.4. The method according to claim 3,
The supply unit,
a compressor for generating compressed air;
a first branch nipple for branching a pneumatic line directly connected to the compressor into a first main pneumatic line and a second main pneumatic line;
a first pneumatic regulator installed on the path of the first main pneumatic line and supplied to the actuator by adjusting the compressed air supplied from the compressor to a specified pressure;
a first solenoid valve controlling the flow of compressed air supplied to the actuator;
a second pneumatic regulator installed on the path of the second main pneumatic line and supplied to the air bearing by regulating the compressed air supplied from the compressor to a specified pressure; and
and a second solenoid valve controlling the flow of compressed air supplied to the air bearing. 청구항 2에 있어서,
상기 프레스 니들은 공기베어링의 상면에 형성된 고정홈으로 일정 깊이 삽입되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 공기베어링 검사 장치.3. The method according to claim 2,
The press needle is an air bearing inspection apparatus, characterized in that it is configured to be inserted to a predetermined depth into a fixed groove formed on the upper surface of the air bearing.
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