KR20220036669A - Vehicle and Overhead Hoist Transport System - Google Patents

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KR20220036669A
KR20220036669A KR1020200119162A KR20200119162A KR20220036669A KR 20220036669 A KR20220036669 A KR 20220036669A KR 1020200119162 A KR1020200119162 A KR 1020200119162A KR 20200119162 A KR20200119162 A KR 20200119162A KR 20220036669 A KR20220036669 A KR 20220036669A
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노기태
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention provides a vehicle and an OHT comprising the same. The present invention, provided with a steering unit in a body of a vehicle traveling unit, and configured to further reduce the impact caused by the movement of the steering wheel, which includes a stopper including dampers and a plate spring in contact with the stopper. In addition, the present invention comprises a movable body provided in the steering unit so as to be insertable into grooves provided at both ends of the body in a horizontal direction. The overall steering time can be shortened by suppressing vibration of the steering wheel caused by bouncing phenomenon due to the movement of the steering wheel.

Description

비히클 및 이를 포함하는 OHT 시스템 {Vehicle and Overhead Hoist Transport System}Vehicle and OHT system comprising same {Vehicle and Overhead Hoist Transport System}

본 발명은 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인에서 다수의 웨이퍼들이 적재된 카세트를 이송하는 OHT(overhead hoist transport) 시스템의 비히클에 관한 것이다.The present invention relates to a vehicle, and more particularly, to a vehicle of an overhead hoist transport (OHT) system that transports a cassette on which a plurality of wafers are loaded in a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are sequentially arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state accommodated in the cassette, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.

상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport) 시스템에 의해 이송된다. 상기 OHT 시스템은 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. 상기 비히클은 상기 주행 레일과 접촉하여 회전하는 주행 휠과 조향 레일과 접촉하여 회전하는 조향 휠을 갖는다. The cassette is transported by an Overhead Hoist Transport (OHT) system. The OHT system includes a traveling rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line on which semiconductor processing devices are continuously arranged, and a vehicle holding the cassette and traveling along the traveling rail. The vehicle has a travel wheel rotating in contact with the travel rail and a steering wheel rotating in contact with the steering rail.

상기 조향 휠은 별도의 구동부에 의해 좌우 방향으로 이동하고, 상기 조향 휠이 상기 조향 레일을 따라 회전하므로 상기 주행 레일의 분기 영역에서 상기 비히클의 주행 방향을 조절할 수 있다.The steering wheel moves in the left and right directions by a separate driving unit, and the steering wheel rotates along the steering rail, so that the driving direction of the vehicle can be adjusted in a branching region of the driving rail.

조향 휠은 좌우 방향으로 이동하여 이동 방향에 구비된 멈춤부에 접촉하면서 정지된다. 이때 멈춤부와의 접촉 시 조향 휠에 충격이 발생한다. 상기 충격으로 인해 상기 조향 휠의 파손이 가속화될 수 있다.The steering wheel is stopped while moving in the left and right direction and contacting a stop provided in the moving direction. At this time, an impact is generated on the steering wheel when it comes into contact with the stopper. Damage to the steering wheel may be accelerated due to the impact.

이러한 충격을 완화시키기 위해 멈춤부에 댐퍼를 구비할 수 있으나, 충격 흡수가 완전하지 않고, 댐퍼에 의한 튕김 현상으로 인해 조향 휠이 진동할 수 있다. 상기 조향 휠이 진동하는 경우, 상기 조향 휠이 상기 조향 레일과 안정적으로 접촉하여 주행하기 어렵고, 조향 시간이 증가하는 문제가 있다. A damper may be provided in the stopper to alleviate the impact, but the shock absorption is not complete, and the steering wheel may vibrate due to a bouncing phenomenon by the damper. When the steering wheel vibrates, it is difficult for the steering wheel to stably contact the steering rail to travel, and there is a problem in that the steering time increases.

대한민국 공개특허공보 제10-2019-0063951호(2019.06.10.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0063951 (2019.06.10.)

본 발명은 조향 휠의 이동에 따른 충격을 더욱 감소시킬 수 있는 비히클 및 이를 포함하는 OHT 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a vehicle capable of further reducing the impact caused by the movement of a steering wheel, and an OHT system including the same.

또한, 본 발명은 조향 휠의 이동에 따른 튕김 현상에 의해 발생하는 상기 조향 휠의 진동을 억제하여 전체적인 조향 시간을 단축할 수 있는 비히클 및 이를 포함하는 OHT 시스템을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a vehicle capable of reducing the overall steering time by suppressing vibration of the steering wheel caused by the bouncing phenomenon caused by the movement of the steering wheel, and an OHT system including the same.

본 발명의 목적은 전술한 바에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의하여 이해될 수 있다.The object of the present invention is not limited to the above, and other objects and advantages of the present invention not mentioned can be understood by the following description.

본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛 및 상기 주행 유닛과 연결되며 내부에 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛을 포함하고, 상기 주행 유닛은, 주행 휠을 가지며, 상기 주행 레일을 따라 주행하는 몸체와, 상기 몸체의 주행 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 몸체에 구비되는 조향부와, 상기 몸체의 수평 방향 양단에 각각 구비되고, 상기 조향부와 접촉하여 조향부의 수평 이동을 멈추기 위한 멈춤부를 포함하는 것을 특징으로 한다.A vehicle according to the present invention includes a traveling unit traveling along a traveling rail of a ceiling and a conveying unit connected to the traveling unit and carrying a cassette by gripping the cassette therein, the traveling unit having a traveling wheel, and the traveling unit is connected to the traveling unit. A body traveling along a rail; a steering unit provided on the body to be movable in a horizontal direction perpendicular to the traveling direction of the body; and a steering unit provided at both ends of the body in the horizontal direction, respectively, to steer in contact with the steering unit It is characterized in that it comprises a stop for stopping the horizontal movement of the unit.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 멈춤부는 댐퍼 및 홈을 포함하고, 상기 조향부는, 상기 수평 방향을 따라 이동 하여 직진 조향 레일 및 분기 조향 레일과 선택적으로 접촉하는 조향 휠, 상기 댐퍼와의 접촉에 의해 눌림이 발생하면서 충격을 흡수하기 위한 판 스프링 및 상기 판 스프링에 구비되어 판 스프링이 댐퍼와의 접촉에 의해 눌릴 때 상기 홈에 삽입될 수 있도록 이동하는 이동체를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the stopper includes a damper and a groove, and the steering unit moves along the horizontal direction to selectively contact a straight steering rail and a branch steering rail, and a contact with the damper It may include a leaf spring for absorbing shock while being pressed by the , and a movable body provided in the leaf spring to be inserted into the groove when the leaf spring is pressed by contact with the damper.

이때, 상기 이동체는 상기 판 스프링의 양 끝단에 구비되고, 상기 판 스프링이 댐퍼에 접촉하여 눌림에 따라 상기 수평 방향과 수직한 방향으로 이동하는 것일 수 있다.In this case, the movable body may be provided at both ends of the leaf spring and move in a direction perpendicular to the horizontal direction as the leaf spring is pressed in contact with the damper.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 주행 유닛은, 상기 몸체에 상기 수평 방향을 따라 연장하도록 구비되며, 상기 조향부의 상기 수평 방향 이동을 가이드하기 위한 가이드 레일을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the traveling unit is provided to extend along the horizontal direction on the body, and may further include a guide rail for guiding the horizontal movement of the steering unit.

본 발명에 따른 OHT 시스템은, 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 직진 레일과, 상기 천장을 따라 구비되며, 상기 직진 레일로부터 분기되는 분기 레일과, 상기 직진 레일과 분기 레일이 분기되는 분기 영역에 구비되어, 상기 직진 레일과 상기 분기 레일을 따라 분기되는 직진 조향 레일 및 분기 조향 레일을 포함하는 조향 레일 및 카세트를 파지하여 상기 직진 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함하고, 상기 비히클은, 주행 휠을 가지며, 상기 주행 레일을 따라 주행하는 몸체, 상기 몸체의 주행 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 몸체에 구비되는 조향부 및 상기 몸체의 수평 방향 양단에 각각 구비되고, 상기 조향부와 접촉하여 조향부의 수평 이동을 멈추기 위한 멈춤부를 포함하고, 상기 멈춤부는 댐퍼 및 홈을 포함하고, 상기 조향부는, 상기 수평 방향을 따라 이동 하여 직진 조향 레일 및 분기 조향 레일과 선택적으로 접촉하는 조향 휠, 상기 댐퍼와의 접촉에 의해 눌림이 발생하면서 충격을 흡수하기 위한 판 스프링 및 상기 판 스프링에 구비되어 판 스프링이 댐퍼와의 접촉에 의해 눌릴 때 상기 홈에 삽입될 수 있도록 이동하는 이동체를 포함할 수 있다.The OHT system according to the present invention includes a straight rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line, a branch rail that is provided along the ceiling and branched from the straight rail, and a branching region where the straight rail and the branch rail are branched. It is provided and includes a vehicle that travels along the straight rail and the branch rail by gripping a steering rail and a cassette comprising a straight steering rail and a branch steering rail branching along the straight rail and the branch rail, the vehicle comprising: , a body having a traveling wheel, traveling along the traveling rail, a steering unit provided on the body to be movable in a horizontal direction perpendicular to the traveling direction of the body, and provided at both ends of the body in the horizontal direction, respectively, a stopper for stopping horizontal movement of the steering unit in contact with the steering unit, wherein the stopper includes a damper and a groove, the steering unit moving along the horizontal direction to selectively contact the straight steering rail and the branch steering rail A steering wheel, a leaf spring for absorbing shock while being pressed by contact with the damper, and a movable body provided in the leaf spring to be inserted into the groove when the leaf spring is pressed by contact with the damper may include

본 발명에 따르면, 댐퍼들을 포함한 멈춤부와 상기 멈춤부와 맞닿는 판 스프링을 더 포함함으로써, 조향 휠의 이동에 따른 충격을 더욱 감소시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by further including a stopper including dampers and a leaf spring in contact with the stopper, it is possible to further reduce the impact caused by the movement of the steering wheel.

또한, 본 발명에 따르면, 조향부에 구비되며, 멈춤부에 존재하는 홈으로 이동할 수 있는 이동체를 포함함으로써, 조향 휠의 이동에 따른 튕김 현상에 의해 발생하는 상기 조향 휠의 진동을 억제하여 전체적인 조향 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, by including a movable body provided in the steering unit and capable of moving to the groove present in the stopper, vibration of the steering wheel generated by the bouncing phenomenon caused by the movement of the steering wheel is suppressed to steer the entire vehicle. It has the effect of saving time.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and include all effects that can be inferred from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 주행 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 이동부재를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 OHT 시스템을 설명하기 위한 평면도이다.1 is a side view for explaining a vehicle according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view for explaining the driving unit shown in FIG. 1 .
3 and 4 are plan views for explaining the movable member shown in FIG.
5 is a plan view for explaining an OHT system according to embodiments of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in several different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly explain the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be described using the same reference numerals only in the representative embodiment, and only configurations different from the representative embodiment will be described in other embodiments.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(또는 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결(또는 결합)"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결(또는 결합)"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when it is said that a part is "connected (or coupled)" with another part, it is not only "directly connected (or coupled)" but also "indirectly connected (or connected)" with another member therebetween. combined)" is also included. In addition, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further included rather than excluding other components unless otherwise stated.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

본 발명은 반도체 또는 평판 디스플레이(flat panel display, FPD)를 제조하기 위한 공장에서 물품을 임의의 위치에서 목적하는 위치로 이송하는 데 주로 사용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 물품을 반도체(또는, 평판 디스플레이) 제조 설비들 간에 이송할 수 있다. 이때, 물품은 기판(웨이퍼 등)을 포함할 수 있다. 일례로, 물품은 기판들이 수납되는 컨테이너일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 수납된 기판들을 외부로부터 보호할 수 있는 밀폐형 컨테이너일 수 있다. 그리고, 밀폐형 컨테이너는 전면 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)일 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be mainly used to transport articles from an arbitrary location to a desired location in a factory for manufacturing a semiconductor or flat panel display (FPD). For example, the present invention may transport articles between semiconductor (or flat panel display) manufacturing facilities. In this case, the article may include a substrate (such as a wafer). In one example, the article may be a container in which substrates are received. Furthermore, the container may be an airtight container capable of protecting the accommodated substrates from the outside. And, the sealed container may be a front opening unified pod (FOUP).

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.1 is a side view for explaining a vehicle according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 비히클(400)은 주행 유닛(200) 및 이송 유닛(300)을 갖는다.Referring to FIG. 1 , a vehicle 400 includes a traveling unit 200 and a transport unit 300 .

주행 유닛(200)은 별도 구동부에 의해 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일(10)을 따라 주행한다.The traveling unit 200 travels along the traveling rail 10 provided along the ceiling of the semiconductor manufacturing line by a separate driving unit.

도 2는 도 1에 도시된 주행 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.FIG. 2 is a front view for explaining the driving unit shown in FIG. 1 .

도 2를 추가로 참조하면, 주행 유닛(200)은 몸체(210) 및 이동부재(100)를 포함할 수 있다.Referring further to FIG. 2 , the traveling unit 200 may include a body 210 and a moving member 100 .

몸체(210)는 양측면에 주행 휠(212)을 갖는다. 도시되지는 않았지만, 몸체(210)의 내부에는 주행 휠(212)을 회전시키기 위한 액추에이터가 구비될 수 있다.The body 210 has driving wheels 212 on both sides. Although not shown, an actuator for rotating the driving wheel 212 may be provided inside the body 210 .

몸체(210)는 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 구체적으로, 주행 휠(212)이 주행 레일(10)과 접촉한 상태에서 회전하면서 몸체(210)가 주행할 수 있다.The body 210 travels along the traveling rail 10 . Specifically, the body 210 may travel while the traveling wheel 212 rotates while in contact with the traveling rail 10 .

이동 부재(100)는 조향 휠(122), 댐퍼(132) 및 가이드 레일(110)을 포함한다.The moving member 100 includes a steering wheel 122 , a damper 132 , and a guide rail 110 .

조향 휠(122)은 몸체(210)의 상면에 몸체(210)의 주행 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 조향 휠(122)은 몸체(210)의 좌우 방향으로 이동할 수 있다.The steering wheel 122 is provided on the upper surface of the body 210 to be movable in a horizontal direction perpendicular to the traveling direction of the body 210 . For example, the steering wheel 122 may move in the left and right directions of the body 210 .

조향 휠(122)은 직진 주행을 안내하는 직진 조향 레일 및 분기 주행을 안내하는 분기 조향 레일과 선택적으로 접촉할 수 있다.The steering wheel 122 may selectively contact a straight forward steering rail guiding straight travel and a branch steering rail guiding branching travel.

예를 들면, 비히클(400)이 직진 주행하는 경우, 조향 휠(122)은 직진 조향 레일과 접촉하도록 수평 방향으로 이동하고, 비히클(400)이 분기 주행하는 경우, 조향 휠(122)은 분기 조향 레일과 접촉하도록 수평 방향으로 이동할 수 있다.For example, when the vehicle 400 travels in a straight line, the steering wheel 122 moves in a horizontal direction to contact the straight steering rail, and when the vehicle 400 travels in a divergent direction, the steering wheel 122 diverges. It can be moved horizontally to make contact with the rail.

한편, 조향 휠(122)은 별도의 구동부에 의해 수평 방향으로 이동할 수 있다. 구동부는 조향 휠(122)을 직선 왕복 이동시킬 수 있으면 어느 것이나 무방하다. 일 예로는 솔레노이드, 리니어 모터 등을 들 수 있다. Meanwhile, the steering wheel 122 may be moved in the horizontal direction by a separate driving unit. Any driving unit may be used as long as it can linearly reciprocate the steering wheel 122 . As an example, a solenoid, a linear motor, etc. may be mentioned.

조향 휠(122)이 수평 방향으로 이동할 때 가이드 레일(110)에 의해 가이드될 수 있다. 가이드 레일(110)은 몸체(210)에 수평 방향을 따라 연장하도록 구비될 수 있다. 조향 휠(122)이 가이드 레일(110)을 따라 수평 이동하므로, 조향 휠(122)이 안정적으로 이동할 수 있을 뿐만 아니라 조향 휠(122)의 수평 이동시 발생하는 진동을 줄일 수 있다.When the steering wheel 122 moves in the horizontal direction, it may be guided by the guide rail 110 . The guide rail 110 may be provided to extend in a horizontal direction to the body 210 . Since the steering wheel 122 horizontally moves along the guide rail 110 , the steering wheel 122 can move stably and vibration generated when the steering wheel 122 moves horizontally can be reduced.

조향 휠(122)이 정지할 때 발생하는 충격이 감소되면, 충격으로 인한 진동이 없어지는데 소요되는 시간이 단축될 수 있다. 상기 진동이 없어지는데 소요되는 시간이 단축된 만큼 전체적인 조향 시간이 단축될 수 있다.When the impact generated when the steering wheel 122 stops is reduced, the time required for the vibration due to the impact to disappear may be reduced. The overall steering time may be shortened as much as the time required for the vibration to disappear is shortened.

댐퍼(132)는 몸체(210)에서 조향 휠(122)이 상기 수평 방향으로 이동할 수 있는 이동 범위의 양단에 각각 구비된다. 댐퍼(132)의 재질로는 우레탄을 들 수 있다. 댐퍼(132)에 의해 조향 휠(122)이 정지할 때 발생하는 충격이 감소되므로, 상기 충격으로 인한 진동이 없어지는데 소요되는 시간이 단축될 수 있다.The dampers 132 are provided at both ends of the moving range of the body 210 in which the steering wheel 122 can move in the horizontal direction, respectively. The damper 132 may be made of urethane. Since the shock generated when the steering wheel 122 is stopped by the damper 132 is reduced, the time required for the vibration due to the shock to disappear can be shortened.

이동 부재(100)의 보다 상세한 구성에 대해서는 도 3 및 도 4를 참조하여 다시 설명하도록 한다.A more detailed configuration of the movable member 100 will be described again with reference to FIGS. 3 and 4 .

다시 도 1을 참조하면, 이송 유닛(300)은 주행 유닛(200)과 연결되며, 내부에 카세트(20)를 파지하여 이송한다.Referring back to FIG. 1 , the transfer unit 300 is connected to the traveling unit 200 , and the cassette 20 is gripped and transferred therein.

이송 유닛(300)은 하우징(310), 이동부(320), 승강부(330) 및 파지부(340)를 포함한다.The transfer unit 300 includes a housing 310 , a moving unit 320 , an elevating unit 330 , and a gripping unit 340 .

하우징(310)은 주행 유닛(200)의 하부에 매달리듯 고정된다. 하우징(310)은 카세트(20)의 상하 이동 및 수평 이동을 위해 하방과 일측 측면 또는 양측 측면이 개방될 수 있다. 이때, 일측 측면은 비히클(400)의 주행 방향과 수직하는 방향일 수 있다.The housing 310 is fixed to the lower portion of the driving unit 200 as if suspended. The housing 310 may be opened downward and one side or both sides for vertical and horizontal movement of the cassette 20 . In this case, one side surface may be in a direction perpendicular to the driving direction of the vehicle 400 .

이동부(320)는 하우징(310)의 내부 상면에 구비되며, 하우징(310)의 개방된 일측 또는 양측면을 통해 수평 이동할 수 있다.The moving part 320 is provided on the inner upper surface of the housing 310 and can move horizontally through one or both sides of the housing 310 open.

승강부(330)는 이동부(320)의 하부면에 고정된다. 승강부(330)는 벨트(332)를 권취하거나 권출하여 벨트(332)를 승강시킬 수 있다.The lifting unit 330 is fixed to the lower surface of the moving unit 320 . The lifting unit 330 may take up or unwind the belt 332 to raise and lower the belt 332 .

파지부(340)는 벨트(332)의 단부에 고정되며, 카세트(20)를 파지한다.The gripper 340 is fixed to the end of the belt 332 , and grips the cassette 20 .

승강부(330)가 벨트(332)를 승강시킴에 따라 파지부(340)에 파지된 카세트(20)가 하우징(310)에 대해 승강할 수 있다.As the elevating unit 330 elevates the belt 332 , the cassette 20 gripped by the holding unit 340 may elevate with respect to the housing 310 .

또한, 이동부(320)의 수평 이동에 따라 카세트(20)가 하우징(310)에 대해 수평 이동할 수 있다.In addition, the cassette 20 may move horizontally with respect to the housing 310 according to the horizontal movement of the moving unit 320 .

도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 이동부재를 설명하기 위한 평면도들이다.3 and 4 are plan views for explaining the movable member shown in FIG. 2 .

도 3 및 도 4를 참조하면, 이동부재(100)는 조향부(120) 및 멈춤부(130)를 포함한다. 3 and 4 , the moving member 100 includes a steering unit 120 and a stopping unit 130 .

조향부(120)는 몸체(210)의 상면에 몸체(210)의 주행 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 조향부(120)는 조향 휠(122), 이동체(124), 판 스프링(126)을 포함한다. The steering unit 120 is provided on the upper surface of the body 210 to be movable in a horizontal direction perpendicular to the traveling direction of the body 210 . The steering unit 120 includes a steering wheel 122 , a movable body 124 , and a leaf spring 126 .

한편, 조향 휠(122)에 대한 구체적인 설명은 도 2를 참조한 조향 휠(122)에 대한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다.Meanwhile, a detailed description of the steering wheel 122 is substantially the same as the description of the steering wheel 122 with reference to FIG. 2 , and thus will be omitted.

이동체(124)는 비히클(400)의 내부, 구체적으로 조향부(120)의 내부에 구비되며, 볼의 형태일 수 있다. 예를 들면, 댐퍼(132)와 판 스프링(126)이 접촉할 때 멈춤부(130)의 홈(134)으로 이동체(124)가 이동하여 삽입될 수 있는 위치에 구비될 수 있다.The movable body 124 is provided inside the vehicle 400 , specifically, the steering unit 120 , and may be in the form of a ball. For example, when the damper 132 and the leaf spring 126 come into contact, the movable body 124 may move into the groove 134 of the stopper 130 and be provided at a position where it can be inserted.

이동체(124)는 비히클(400)이 조향할 때 댐퍼(132)와의 충돌에 의한 튕김 현상을 억제하는데 이용될 수 있다. 따라서, 이동체(124)는 조향 휠(122)의 진동을 억제하여 전체적인 조향 시간을 단축할 수 있다. The movable body 124 may be used to suppress a bouncing phenomenon due to a collision with the damper 132 when the vehicle 400 steers. Accordingly, the moving body 124 may reduce the overall steering time by suppressing the vibration of the steering wheel 122 .

판 스프링(126)은 비히클(400)의 내부, 구체적으로 조향부(120)의 내부에 구비된다. 예를 들면, 판 스프링(126)의 양끝에 이동체(124)가 구비되며, 조향부(120)의 조향 방향에 따라 이동 가능하도록 구비될 수 있다.The leaf spring 126 is provided inside the vehicle 400 , specifically, inside the steering unit 120 . For example, the movable body 124 is provided at both ends of the leaf spring 126 , and may be provided to be movable according to the steering direction of the steering unit 120 .

판 스프링(126)은 댐퍼(132)에 의해 조향 휠(122)이 정지할 때 눌림이 발생할 수 있다. 예를 들어, 판 스프링(126)은 댐퍼(132)에 접촉하여 눌림이 발생할 수 있다. 판 스프링(126)이 눌리면서 조향 휠(122)의 이동에 따른 충격을 더욱 감소시킬 수 있다.The leaf spring 126 may be pressed by the damper 132 when the steering wheel 122 is stopped. For example, the leaf spring 126 may be pressed against the damper 132 . As the leaf spring 126 is pressed, the impact caused by the movement of the steering wheel 122 may be further reduced.

멈춤부(130)는 몸체(210)에서 조향 휠(122)이 상기 수평 방향으로 이동할 수 있는 이동 범위 양단에 구비되며, 댐퍼(132) 및 일정 깊이의 홈(134)을 포함할 수 있다.The stopper 130 is provided at both ends of the moving range in which the steering wheel 122 can move in the horizontal direction in the body 210 , and may include a damper 132 and a groove 134 having a predetermined depth.

예를 들면, 댐퍼(132)와 판 스프링(126)이 접촉함으로 인해 판 스프링(126)에 눌림이 발생하여 판 스프링(126)의 양끝에 각각 구비된 이동체(124)가 상기 수평 방향과 수직한 양쪽 방향으로 이동할 때, 이동체(124)가 삽입될 수 있도록 멈춤부(130)에 홈(134)이 형성될 수 있다.For example, due to the contact between the damper 132 and the leaf spring 126, the leaf spring 126 is pressed, so that the movable bodies 124 provided at both ends of the leaf spring 126 are perpendicular to the horizontal direction. When moving in both directions, a groove 134 may be formed in the stopper 130 so that the movable body 124 can be inserted.

또한, 멈춤부(130)의 홈(134)으로 삽입된 이동체(124)에 의해 조향 휠의 이동에 따른 튕김 현상이 억제되어 전체적인 조향 시간이 단축될 수 있다.In addition, the bouncing phenomenon caused by the movement of the steering wheel is suppressed by the movable body 124 inserted into the groove 134 of the stopper 130, so that the overall steering time can be shortened.

도 5는 본 발명의 일 실시예들에 따른 OHT 시스템을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.5 is a schematic plan view for explaining an OHT system according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, OHT 시스템(500)은 직진 레일(510), 분기 레일(520), 조향 레일(530) 및 주행 유닛(200)을 포함한다.Referring to FIG. 5 , the OHT system 500 includes a straight rail 510 , a branch rail 520 , a steering rail 530 , and a traveling unit 200 .

직진 레일(510)은 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비된다.The straight rail 510 is provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged.

분기 레일(520)은 천장을 따라 구비되며, 직진 레일(510)로부터 분기된다.The branch rail 520 is provided along the ceiling and is branched from the straight rail 510 .

직진 레일(510)과 분기 레일(520)은 각각 한 쌍의 레일로 이루어진다.The straight rail 510 and the branch rail 520 each include a pair of rails.

주행 레일(10)은 직진 레일(510)과 분기 레일(520)을 포함하며, 주행 레일(10)에서 직진 레일(510)과 분기 레일(520)이 분기되는 영역이 분기 영역일 수 있다.The traveling rail 10 includes a straight rail 510 and a branch rail 520 , and an area where the straight rail 510 and the branch rail 520 are branched from the traveling rail 10 may be a branching area.

조향 레일(530)은 분기 영역에서 직진 레일(510)과 분기 레일(520)을 따라 분기되도록 구비되며, 주행 유닛(200)의 주행 경로를 조절하는데 이용된다.The steering rail 530 is provided to branch along the straight rail 510 and the branch rail 520 in the branching area, and is used to adjust the traveling path of the traveling unit 200 .

구체적으로, 조향 레일(530)은 직진 조향 레일(532)과 분기 조향 레일(534)을 포함한다.Specifically, the steering rail 530 includes a straight steering rail 532 and a branch steering rail 534 .

직진 조향 레일(532)은 직진 레일(510)을 따라 연장하고, 분기 조향 레일(534)은 분기 레일(520)을 따라 연장한다.Straight steering rail 532 extends along straight rail 510 , and branch steering rail 534 extends along branch rail 520 .

주행 유닛(200)은 직진 레일(510) 및 분기 레일(520)을 따라 주행하면서 다수의 웨이퍼들이 적재된 카세트를 반도체 공정 장치들로 이송한다.The traveling unit 200 transfers a cassette on which a plurality of wafers are loaded to the semiconductor processing apparatuses while traveling along the straight rail 510 and the branch rail 520 .

주행 유닛(200)에 대한 구체적인 설명은 도 2에 참조한 주행 유닛(200)에 대한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다.A detailed description of the driving unit 200 is substantially the same as the description of the driving unit 200 with reference to FIG. 2 , and thus will be omitted.

본 발명에 따른 OHT 시스템에 의하면, 상기 조향 휠의 정지에 따른 충격 및 진동을 더욱 감소시킬 수 있다.According to the OHT system according to the present invention, it is possible to further reduce the shock and vibration caused by the stop of the steering wheel.

따라서, 주행 유닛(200)이 상기 주행 레일의 분기 영역으로 신속하게 진입할 수 있다. 또한, OHT 시스템(500)에서 주행 유닛(200)이 고속으로 주행할 수 있다.Accordingly, the traveling unit 200 can quickly enter the branching area of the traveling rail. Also, in the OHT system 500 , the driving unit 200 may travel at a high speed.

10 : 주행 레일
20 : 카세트
100 : 이동 부재
110 : 가이드 레일
120 : 조향부
122 : 조향 휠
124 : 이동체
126 : 판 스프링
130 : 멈춤부
132 : 댐퍼
134 : 홈
200 : 주행 유닛
210 : 몸체
212 : 주행 휠
300 : 이송 유닛
310 : 하우징
320 : 이동부
330 : 승강부
332 : 벨트
340 : 파지부
400 : 비히클
500 : OHT 시스템
510 : 직진 레일
520 : 분기 레일
530 : 조향 레일
532 : 직진 조향 레일
534 : 분기 조향 레일10: running rail
20: cassette
100: moving member
110: guide rail
120: steering unit
122: steering wheel
124: moving object
126: leaf spring
130: stop
132: damper
134: home
200: driving unit
210: body
212: running wheel
300: transfer unit
310: housing
320: moving unit
330: elevator
332: belt
340: grip part
400: vehicle
500: OHT system
510: straight rail
520: branch rail
530: steering rail
532: straight steering rail
534: branch steering rail

Claims (5)

천장의 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛;
상기 주행 유닛과 연결되며, 내부에 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛을 포함하고,
상기 주행 유닛은,
주행 휠을 가지며, 상기 주행 레일을 따라 주행하는 몸체;
상기 몸체의 주행 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 몸체에 구비되는 조향부; 및
상기 몸체의 수평 방향 양단에 각각 구비되고, 상기 조향부와 접촉하여 조향부의 수평 이동을 멈추기 위한 멈춤부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클. a traveling unit traveling along a traveling rail of the ceiling;
It is connected to the traveling unit and includes a conveying unit that grips and conveys the cassette therein,
The driving unit is
a body having a traveling wheel and traveling along the traveling rail;
a steering unit provided in the body to be movable in a horizontal direction perpendicular to the traveling direction of the body; and
a stopper provided at both ends of the body in a horizontal direction to stop horizontal movement of the steering unit in contact with the steering unit;
A vehicle comprising: 제1항에 있어서,
상기 멈춤부는 댐퍼 및 홈을 포함하고,
상기 조향부는,
상기 수평 방향을 따라 이동 하여 직진 조향 레일 및 분기 조향 레일과 선택적으로 접촉하는 조향 휠;
상기 댐퍼와의 접촉에 의해 눌림이 발생하면서 충격을 흡수하기 위한 판 스프링; 및
상기 판 스프링에 구비되어 판 스프링이 댐퍼와의 접촉에 의해 눌릴 때 상기 홈에 삽입될 수 있도록 이동하는 이동체;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.According to claim 1,
The stop includes a damper and a groove,
The steering unit,
a steering wheel moving along the horizontal direction to selectively contact the straight steering rail and the branch steering rail;
a leaf spring for absorbing an impact while being pressed by contact with the damper; and
a movable body provided on the leaf spring to move so that it can be inserted into the groove when the leaf spring is pressed by contact with the damper;
A vehicle comprising: 제2항에 있어서,
상기 이동체는 상기 판 스프링의 양 끝단에 구비되고,
상기 판 스프링이 댐퍼에 접촉하여 눌림에 따라 상기 수평 방향과 수직한 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 비히클.3. The method of claim 2,
The movable body is provided at both ends of the leaf spring,
The vehicle, characterized in that the leaf spring moves in a direction perpendicular to the horizontal direction as it is pressed in contact with the damper. 제1항에 있어서,
상기 주행 유닛은, 상기 몸체에 상기 수평 방향을 따라 연장하도록 구비되며, 상기 조향부의 상기 수평 방향 이동을 가이드하기 위한 가이드 레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.According to claim 1,
The driving unit is provided to extend along the horizontal direction on the body, the vehicle characterized in that it further comprises a guide rail for guiding the horizontal movement of the steering unit. 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 직진 레일;
상기 천장을 따라 구비되며, 상기 직진 레일로부터 분기되는 분기 레일;
상기 직진 레일과 분기 레일이 분기되는 분기 영역에 구비되어, 상기 직진 레일과 상기 분기 레일을 따라 분기되는 직진 조향 레일 및 분기 조향 레일을 포함하는 조향 레일; 및
카세트를 파지하여 상기 직진 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함하고,
상기 비히클은,
주행 휠을 가지며, 상기 주행 레일을 따라 주행하는 몸체, 상기 몸체의 주행 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 몸체에 구비되는 조향부 및 상기 몸체의 수평 방향 양단에 각각 구비되고, 상기 조향부와 접촉하여 조향부의 수평 이동을 멈추기 위한 멈춤부를 포함하고,
상기 멈춤부는 댐퍼 및 홈을 포함하고,
상기 조향부는, 상기 수평 방향을 따라 이동 하여 직진 조향 레일 및 분기 조향 레일과 선택적으로 접촉하는 조향 휠, 상기 댐퍼와의 접촉에 의해 눌림이 발생하면서 충격을 흡수하기 위한 판 스프링 및 상기 판 스프링에 구비되어 판 스프링이 댐퍼와의 접촉에 의해 눌릴 때 상기 홈에 삽입될 수 있도록 이동하는 이동체를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 시스템.Straight rails provided along the ceiling of the semiconductor manufacturing line;
a branch rail provided along the ceiling and branched from the straight rail;
a steering rail provided in a branching region where the straight rail and the branch rail are branched, the steering rail including a straight steering rail and a branch steering rail branching along the straight rail and the branch rail; and
Comprising a vehicle that grips the cassette and travels along the straight rail and the branch rail,
The vehicle is
A body having a traveling wheel, traveling along the traveling rail, a steering unit provided on the body to be movable in a horizontal direction perpendicular to the traveling direction of the body, and provided at both ends of the body in a horizontal direction, respectively, the steering a stop for stopping the horizontal movement of the steering part in contact with the part;
The stop includes a damper and a groove,
The steering part is provided in a steering wheel selectively contacting the straight steering rail and the branch steering rail by moving in the horizontal direction, a plate spring for absorbing shock while being pressed by contact with the damper, and the plate spring OHT system, characterized in that it includes a movable body that moves so that the leaf spring can be inserted into the groove when pressed by contact with the damper.
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