KR20220032216A - 용기 보관 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 용기 보관 장치는, 용기들을 보관하기 위한 다수의 선반들을 갖는 스토커와, 상기 스토커가 퍼지 모드인 경우 상기 각 선반들로 퍼지 가스를 제공하여 상기 용기들을 퍼지하고, 상기 스토커가 노말 모드인 경우 상기 각 선반들로만 퍼지 가스를 제공하는 퍼지 유닛과, 상기 노말 모드에서 상기 각 선반들로 제공하는 상기 퍼지 가스의 퍼지 품질을 검사하는 검사 유닛 및 상기 퍼지 모드 및 상기 노말 모드로 교대로 변경하도록 상기 퍼지 유닛을 제어하고, 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.

Description

용기 보관 장치 및 방법{Apparatus for storing carriers}
본 발명은 용기 보관 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선반들에 용기를 적재하는 용기 보관 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 용기를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. 상기 용기의 예로는 FOUP, FOSB, 매거진, 레티클 포드 등을 들 수 있다.
상기 용기는 천장 이송 장치(Overhead Hoist Transport)의 비히클에 의해 이송된다. 상기 비히클은 상기 대상물이 수납된 상기 용기를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 용기를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.
상기 용기의 원활한 이송을 위해 상기 용기들은 스토커의 선반들에 적재되어 보관될 수 있다. 상기 용기들 내부에 존재하는 흄을 제거하거나 상기 용기들에 수납된 대상물에 산화막이 형성되는 것을 방지하기 위해 상기 선반들에 적재된 상기 용기들을 퍼지 가스로 퍼지할 수 있다. 상기 용기나 상기 대상물의 종류에 따라 상기 용기들에 대한 퍼지가 불필요할 수 있다.
상기 스토커를 상기 용기들에 대한 퍼지를 중단한 노말 모드로 사용 후 다시 퍼지를 수행하는 퍼지 모드로 사용하는 경우, 상기 용기들에 대한 퍼지를 안정적으로 수행하기 위해 상기 퍼지의 품질을 검사해야 한다.
상기 퍼지 품질 검사는 상기 선반들에 대한 적재를 중단한 상태에서 이루어지므로, 상기 선반들을 구비하는 스토커를 사용할 수 없어 상기 스토커의 이용 효율이 저하될 수 있다. 또한, 작업자가 수작업으로 각 선반들에서 상기 퍼지의 품질을 검사하므로, 많은 시간이 소요되고, 비용이 증가할 수 있다.
본 발명은 용기를 퍼지하기 위한 퍼지 가스의 퍼지 품질 검사 없이 스토커를 노말 모드에서 퍼지 모드로 변경할 수 있는 용기 보관 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 용기 보관 장치는, 용기들을 보관하기 위한 다수의 선반들을 갖는 스토커와, 상기 스토커가 퍼지 모드인 경우 상기 각 선반들로 퍼지 가스를 제공하여 상기 용기들을 퍼지하고, 상기 스토커가 노말 모드인 경우 상기 각 선반들로만 퍼지 가스를 제공하는 퍼지 유닛과, 상기 노말 모드에서 상기 각 선반들로 제공하는 상기 퍼지 가스의 퍼지 품질을 검사하는 검사 유닛 및 상기 퍼지 모드 및 상기 노말 모드로 교대로 변경하도록 상기 퍼지 유닛을 제어하고, 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 가스가 상기 용기로 제공되는 것을 방지하기 위해 상기 퍼지 유닛은 상기 각 선반들 중 상기 용기가 적재되지 않은 빈 선반들에 대해서만 상기 퍼지 가스를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 검사 유닛은 상기 각 선반들 중 빈 선반들에 대해 상기 퍼지 품질을 검사할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 스토커의 이송 로봇을 제어하여 상기 각 선반들 중 상기 용기가 적재된 점유 선반들의 상기 용기를 이송하여 상기 점유 선반들을 새로운 빈 선반들로 변경하고, 상기 검사 유닛은 상기 새로운 빈 선반들에 대해 추가로 상기 퍼지 품질을 검사할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 검사 유닛은 일정 시간동안 상기 빈 선반들에 대해 상기 퍼지 품질을 검사하고, 상기 일정 시간 동안 상기 점유 선반들이 상기 새로운 빈 선반들로 변경되지 않는 경우, 상기 점유 선반들의 상기 용기를 이송하여 상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경하기 위해 상기 점유 선반들의 상기 용기를 상기 검사 유닛의 상기 퍼지 품질 검사가 완료된 상기 빈 선반들로 이송하거나, 상기 스토커의 외부로 이송할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 검사 유닛은, 상기 각 선반들로 상기 퍼지 가스를 공급하기 위한 공급 라인들에 각각 구비되며, 상기 각 선반들로 제공되는 상기 퍼지 가스의 압력을 측정하는 압력 센서들과, 상기 공급 라인들에 각각 구비되며, 상기 각 선반들로 제공되는 상기 퍼지 가스의 유량을 측정하는 유량 센서들 및 상기 압력 센서들 및 상기 유량 센서들에서 측정되는 상기 퍼지 가스의 상기 압력과 상기 유량이 정상 범위인 경우 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질을 정상으로 판단하고, 상기 압력과 상기 유량 중 적어도 하나가 상기 정상 범위를 벗어나는 경우 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질을 비정상으로 판단하는 판단부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 각 선반들을 다수의 선반 그룹들로 구분하고, 상기 선반 그룹들 중 선택된 선반 그룹에 대해 일정 주기마다 상기 퍼지 품질 검사가 이루어지도록 상기 검사 유닛을 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 선반 그룹들 중에서 검사할 상기 선반 그룹을 우선 순위에 따라 선택하고, 상기 우선 순위의 기준은 상기 각 선반 그룹들을 구성하는 선반들의 개수가 많은 순이거나, 상기 각 선반 그룹들에서 빈 선반들의 개수가 많은 순일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 용기 보관 장치는, 상기 각 선반들이 상기 퍼지 모드 또는 상기 노말 모드인지를 표시하고, 상기 노말 모드에서 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질의 검사 여부 및 검사 결과를 표시하는 표시 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 용기 보관 방법은, 스토커의 각 선반들로만 퍼지 가스를 제공하는 노말 모드에서 상기 각 선반들로 제공되는 상기 퍼지 가스의 퍼지 품질을 검사하는 단계 및 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 노말 모드를 상기 퍼지 가스를 상기 각 선반들로 제공하여 상기 용기들을 퍼지하는 퍼지 모드로 변경하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 가스가 상기 용기들로 제공되는 것을 방지하기 위해 상기 퍼지 가스는 상기 각 선반들 중 상기 용기가 적재되지 않은 빈 선반들에 대해서만 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질을 검사하는 단계는, 상기 각 선반들 중 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사하는 단계와, 상기 각 선반들 중 상기 용기가 적재된 점유 선반들의 상기 용기를 이송하여 상기 점유 선반들을 새로운 빈 선반들로 변경하는 단계 및 상기 새로운 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 빈 선반들의 상기 퍼지 품질 검사는 일정 시간동안 이루어지고, 상기 일정 시간 동안 상기 점유 선반들이 상기 새로운 빈 선반들로 변경되지 않는 경우, 상기 점유 선반들의 상기 용기를 이송하여 상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경하기 위해 상기 점유 선반들의 상기 용기를 상기 검사 유닛의 상기 퍼지 품질 검사가 완료된 상기 빈 선반들로 이송하거나, 상기 스토커의 외부로 이송할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사하는 단계는, 상기 빈 선반들로 상기 퍼지를 수행하기 위한 퍼지 가스를 공급하는 단계와, 상기 빈 선반들로 제공되는 상기 퍼지 가스의 압력과 유량을 측정하는 단계 및 상기 빈 선반들에서 측정되는 상기 퍼지 가스의 상기 압력과 상기 유량이 정상 범위인 경우 상기 빈 선반들의 상기 퍼지 품질을 정상으로 판단하고, 상기 압력과 상기 유량 중 적어도 하나가 상기 정상 범위를 벗어나는 경우 상기 빈 선반들의 상기 퍼지 품질을 비정상으로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 선반들을 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경하는 단계에서, 상기 퍼지 품질이 정상으로 판단된 상기 선반들만 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질을 검사하는 단계에서, 상기 각 선반들은 다수의 선반 그룹들로 구분하고, 상기 선반 그룹들 중 선택된 선반 그룹에 대해 일정 주기마다 상기 퍼지 품질을 검사할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 선반 그룹들 중에서 검사할 상기 선반 그룹은 우선 순위에 따라 선택되고, 상기 우선 순위의 기준은 상기 선반 그룹을 구성하는 선반들의 개수가 많은 순이거나, 상기 선반 그룹에서 빈 선반들의 개수가 많은 순일 수 있다.
본 발명에 따른 용기 보관 방법은, 스토커의 각 선반들로만 퍼지 가스를 제공하는 노말 모드에서 상기 각 선반들 중 상기 용기가 적재되지 않은 빈 선반들로 제공하는 퍼지 가스의 퍼지 품질을 검사하는 단계와, 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 선반들을 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 가스를 상기 각 선반들로 제공하여 상기 용기들을 퍼지하는 퍼지 모드로 변경하는 단계 및 상기 각 선반들이 상기 퍼지 모드 또는 상기 노말 모드인지 여부, 상기 노말 모드에서 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질의 검사 여부 및 검사 결과를 표시하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 상기 용기 보관 장치 및 방법에 따르면, 상기 스토커가 상기 노말 모드인 상태에서 상기 검사 유닛에서 상기 퍼지 품질을 검사하고, 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 스토커를 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 신속하게 변경할 수 있다. 상기 스토커의 모드 변경을 위해 상기 스토커를 정지할 필요가 없으므로, 상기 스토커의 이용 효율이 향상될 수 있다.
또한, 상기 스토커를 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경할 때 별도의 상기 퍼지 품질 검사가 불필요하므로, 상기 퍼지 품질 검사에 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 용기 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스토커, 퍼지 유닛 및 검사 유닛을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 스토커의 선반 그룹들을 설명하기 위한 개략도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 용기 보관 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 6은 도 5에 도시된 퍼지 품질 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 7은 도 6에 도시된 빈 선반들의 퍼지 품질 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 용기 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 블록도이고, 도 2는 도 1에 도시된 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 스토커, 퍼지 유닛 및 검사 유닛을 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 4는 도 1에 도시된 스토커의 선반 그룹들을 설명하기 위한 개략도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 용기 보관 장치(100)는 스토커(110), 퍼지 유닛(120), 검사 유닛(130), 제어 유닛(140) 및 표시 유닛(150)을 포함할 수 있다.
상기 스토커(110)는 로드 포트(111), 다수의 선반들(112) 및 이송 로봇(113)을 포함한다.
상기 로드 포트(111)는 별도의 이송 유닛(미도시)으로부터 용기들(10)을 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 용기들(10)을 전달한다. 상기 로드 포트(111)는 상기 용기들(10)이 안착되는 공간을 제공한다. 상기 용기들(10)은 대상물(미도시)이 수용한 상태로 상기 로드 포트(111)에 안착된다. 상기 용기(10)의 예로는 FOUP, FOSB, 매거진, 레티클 포드 등을 들 수 있다. 상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등을 들 수 있다.
상기 선반들(112)은 용기들(10)을 적재한다. 상기 선반들(112)은 좌우 방향 및 상하 방향으로 배열될 수 있다. 도 2에서는 상기 선반들(112)이 1열로 배열되어 있으나, 상기 선반들(112)은 2열로 서로 평행하게 배치될 수도 있다.
상기 이송 로봇(113)은 상기 선반들(112)의 전방에 배치되며, 상기 로드 포트(111)와 상기 선반들(112) 사이에서 상기 용기들(10)을 이송한다. 상기 선반들(112)이 2열로 평행하고 배치되는 경우, 상기 이송 로봇(113)은 상기 2열의 선반들 사이에 배치될 수 있다.
상기 이송 로봇(113)은 상기 용기들(10)의 이송을 위해 상기 좌우 방향, 상기 상하 방향으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았지만, 상기 이송 로봇(113)은 상기 이송 로봇(113)을 상기 좌우 방향으로 이동시키기 위한 좌우 구동부, 상기 이송 로봇(113)을 상기 상하 방향으로 이동시키기 위한 상하 구동부 및 상기 이송 로봇(113)을 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 이송 로봇(113)은 상기 용기들(10)의 이송을 위한 로봇암(114)을 구비할 수 있으며, 상기 로봇암(114)은 상기 선반들(112)을 향해 이동 가능하게 구성될 수 있다.
일 예로서, 상기 로봇암(114)은 상기 좌우 방향에 대하여 수직하는 전후 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 상기 이송 로봇(113)은 상기 로봇암(114)을 구동하기 위한 전후 구동부를 구비할 수 있다. 상기 로봇암(114)은 신장과 수축이 가능한 다관절 로봇암일 수 있다.
일 예로서, 상기 좌우, 전후 및 상하 구동부들 및 회전 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.
따라서 상기 이송 로봇(113)은 상기 용기들(10)을 상기 선반들(112)에 적재하거나 상기 선반들(112)로부터 상기 용기들(10)을 이재할 수 있다.
한편, 상기 이송 로봇(113)은 상기 용기들(10)을 신속하게 이송하기 위해 복수로 구비될 수도 있다.
상기 퍼지 유닛(120)은 상기 스토커(110)의 상기 각 선반들(112)에 대해 퍼지 가스를 제공하여 퍼지를 수행할 수 있다.
상기 퍼지 유닛(120)은 공급 노즐(121)들, 배출 노즐(122)들, 공급관(123)들, 배출관(124)들, 가스 공급부(125) 및 유량 제어부(126)를 포함할 수 있다.
상기 공급 노즐(121)들은 상기 각 선반들(112)에 각각 구비되며, 상기 용기(10)의 하부면과 접촉할 수 있다. 일 예로, 상기 용기(10)가 상기 공급 노즐(121)들을 가압하는 힘에 의해 상기 공급 노즐(121)들이 개폐될 수 있다. 즉, 상기 각 선반들(112)에 상기 용기(10)가 적재되면 상기 용기(10)가 상기 공급 노즐(121)들을 가압하는 힘에 의해 상기 공급 노즐(121)들이 개방될 수 있다. 상기 각 선반들(112)로부터 상기 용기(10)가 이재되면 상기 용기(10)가 상기 공급 노즐(121)들을 가압하는 힘이 제거되어 상기 공급 노즐(121)들이 차단될 수 있다.
상기 배출 노즐(122)들은 상기 각 선반들(112)에 각각 구비되며, 상기 용기(10)의 하부면과 접촉할 수 있다. 일 예로, 상기 용기(10)가 상기 배출 노즐(122)들을 가압하는 힘에 의해 상기 배출 노즐(122)들이 개폐될 수 있다.
상기 공급관(123)들은 상기 가스 공급부(125)와 상기 각 선반들(112)의 상기 공급 노즐(121)들을 연결한다. 상기 퍼지 가스를 상기 공급관(123)들과 상기 공급 노즐(121)들을 통해 상기 용기(10)의 내부로 공급할 수 있다.
상기 배출관(124)들은 상기 각 선반들(112)의 상기 배출 노즐(122)들을 연결된다. 상기 퍼지 가스를 상기 배출 노즐(122)들과 상기 공급관(124)들을 통해 상기 용기(10)로부터 배출할 수 있다.
상기 가스 공급부(125)는 상기 퍼지 가스를 저장하며, 상기 공급관(123)을 통해 상기 퍼지 가스를 상기 용기(10)로 공급할 수 있다. 상기 퍼지 가스의 예로는 질소가스를 들 수 있다.
상기 유량 제어부(126)는 상기 공급관(123) 상에 구비되며, 상기 공급관(123)들을 통해 제공되는 상기 퍼지 가스의 유량을 조절할 수 있다. 일 예로, 상기 유량 제어부(126)는 다수가 구비되며, 각 유량 제어부(126)가 복수의 선반들(112)로 제공되는 상기 퍼지 가스의 유량을 조절할 수 있다.
상기 퍼지 유닛(120)은 상기 용기(10)들의 내부를 상기 퍼지 가스로 퍼지할 수 있다. 따라서, 상기 용기(10)들 내부에 존재하는 흄을 제거하거나 상기 용기(10)들에 수납된 대상물에 산화막이 형성되는 것을 방지할 수 있다.
상기 검사 유닛(130)은 상기 퍼지 유닛(120)이 상기 각 선반들(112)을 퍼지하는 퍼지 품질을 확인할 수 있다.
상기 검사 유닛(130)은 압력 센서(131)들, 유량 센서들(133) 및 판단부(135)를 포함할 수 있다.
상기 압력 센서(131)들은 상기 각 선반들(112)과 인접하여 구비될 수 있다. 일 예로, 상기 압력 센서(131)들은 공급 노즐(121)들과 인접하도록 구비되거나, 상기 공급관(123)들에 구비될 수 있다. 상기 압력 센서(131)들은 상기 퍼지를 위해 상기 각 선반들(112)로 제공되는 퍼지 가스의 압력을 측정할 수 있다.
상기 유량 센서(133)들은 상기 각 선반들(112)과 인접하여 구비될 수 있다. 일 예로, 상기 유량 센서(133)들은 상기 공급 노즐(121)들과 인접하도록 구비되거나, 상기 공급관(123)들에 구비될 수 있다. 상기 유량 센서(133)들은 상기 퍼지를 위해 상기 각 선반들(112)로 제공되는 퍼지 가스의 유량을 측정할 수 있다.
상기 판단부(135)는 상기 압력 센서(131)들 및 상기 유량 센서(133)들과 각각 연결되며, 상기 압력 센서(131)들 및 상기 유량 센서(133)들에서 측정되는 상기 퍼지 가스의 상기 압력과 상기 유량이 정상 범위인지 판단한다.
예를 들면, 상기 압력 센서(131)들 및 상기 유량 센서(133)들에서 측정되는 상기 퍼지 가스의 상기 압력과 상기 유량이 정상 범위인 경우 상기 각 선반들(112)의 상기 퍼지 품질을 정상으로 판단하고, 상기 압력과 상기 유량이 상기 정상 범위를 벗어나는 경우 상기 각 선반들(112)의 상기 퍼지 품질을 비정상으로 판단할 수 있다.
상기 제어 유닛(140)은 상기 스토커(110), 상기 퍼지 유닛(120), 상기 검사 유닛(130) 및 상기 표시 유닛(150)을 제어할 수 있다.
구체적으로, 상기 제어 유닛(140)은 상기 스토커(110)를 상기 퍼지가 수행되는 퍼지 모드 및 상기 퍼지가 수행되지 않는 노말 모드로 교대로 변경하도록 제어할 수 있다.
또한, 상기 스토커(110)가 상기 퍼지 모드 및 상기 노말 모드로 교대로 변경하도록 상기 제어 유닛(140)은 상기 퍼지 유닛(120)을 제어할 수 있다. 상기 스토커(110)가 상기 퍼지 모드인 경우 상기 퍼지 유닛(120)은 상기 각 선반들(112)로 상기 퍼지 가스를 제공하여 상기 용기들(10)을 퍼지하고, 상기 스토커(110)가 상기 노말 모드인 경우 상기 용기들(10)이 퍼지되지 않도록 각 선반들(112)까지만 상기 퍼지 가스를 제공할 수 있다.
상기 제어 유닛(140)은 상기 스토커(110)가 상기 노말 모드인 상태에서 상기 검사 유닛(130)이 상기 각 선반들(112)의 상기 퍼지 품질을 검사하도록 제어할 수 있고, 상기 각 선반들(112)의 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 스토커(110)를 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 신속하게 변경할 수 있다.
상기 스토커(110)를 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경할 때, 상기 스토커(110)를 정지할 필요가 없으므로, 상기 스토커(110)의 이용 효율이 향상될 수 있다.
상기 스토커(110)를 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경할 때 별도의 상기 퍼지 품질 검사가 불필요하므로, 상기 퍼지 품질 검사에 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있다.
한편, 상기 스토커(110)가 상기 노말 모드 상태에서 상기 용기들(10)이 퍼지되지 않도록 상기 선반들(112) 중 상기 용기(10)가 적재된 점유 선반들에 대해서는 퍼지가 이루어지지 않는다. 즉, 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 유닛(120)은 상기 각 선반들(112) 중 빈 선반들에 대해서만 상기 퍼지 가스를 제공할 수 있다. 따라서, 상기 노말 모드에서 상기 점유 선반들에 대해서는 상기 퍼지 품질 검사가 수행되지 않는다. 즉, 상기 검사 유닛(110)은, 상기 각 선반들(112) 중 빈 선반들에 대해 상기 퍼지 품질을 검사할 수 있다.
상기 제어 유닛(140)은 상기 스토커(110)의 상기 이송 로봇(113)을 제어하여 상기 점유 선반들의 상기 용기(10)를 이송함으로써 상기 점유 선반들을 새로운 빈 선반들로 형성할 수 있다. 상기 새로운 빈 선반들이 형성되면, 상기 검사 유닛(110)은, 상기 새로운 빈 선반들에 대해 상기 퍼지 품질을 검사할 수 있다. 그러므로, 상기 검사 유닛(110)은 모든 선반들(112)에 대해 상기 퍼지 품질 검사를 수행할 수 있다.
상기 검사 유닛(130)은 일정 시간동안 상기 빈 선반들에 대해 상기 퍼지 품질을 검사할 수 있다. 상기 일정 시간 동안 상기 점유 선반들이 상기 새로운 빈 선반들로 변경되지 않는 경우, 상기 제어 유닛(140)은 상기 이송 로봇(113)을 제어하여 상기 점유 선반들의 상기 용기(10)를 이송하여 상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경할 수 있다.
상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경하기 위해 상기 이송 상기 점유 선반들의 상기 용기(10)를 상기 검사 유닛(130)의 상기 퍼지 품질 검사가 완료된 상기 빈 선반들로 이송하거나, 상기 로드 포트(111)를 통해 상기 스토커(110)의 외부로 이송할 수 있다.
상기 제어 유닛(140)은 상기 각 선반들(112)을 다수의 선반 그룹들로 구분할 수 있다. 상기 선반 그룹들은 상기 각 유량 제어부(126)에 의해 상기 퍼지 가스가 조절되는 복수의 선반들(112)을 각각의 선반 그룹으로 설정할 수 있다. 또한, 상기 제어 유닛(140)의 제어에 따라 상기 검사 유닛(130)은 상기 선반 그룹들 중 선택된 선반 그룹에 대해 일정 주기마다 상기 퍼지 품질 검사를 수행할 수 있다.
상기 제어 유닛(140)은 상기 선반 그룹들 중에서 검사할 상기 선반 그룹을 우선 순위에 따라 선택할 수 있다. 상기 우선 순위의 기준은 상기 선반 그룹을 구성하는 선반들의 개수가 많은 순이거나, 상기 선반 그룹에서 빈 선반들의 개수가 많은 순일 수 있다.
상기 표시 유닛(150)은 상기 제어 유닛(140)의 제어에 따라 상기 스토커(110)의 상기 각 선반들(112)이 상기 퍼지 모드 또는 상기 노말 모드인지를 표시하고, 상기 노말 모드에서 상기 각 선반들(112)의 상기 퍼지 품질의 검사 여부 및 검사 결과를 표시할 수 있다. 또한, 상기 표시 유닛(150)은 상기 퍼지 품질이 비정상으로 판단된 상기 선반들(112)을 사용불가로 표시할 수도 있다. 따라서, 작업자가 상기 표시 유닛(150)을 통해 상기 스토커(110)의 상태를 쉽고 정확하게 확인할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 용기 보관 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 6은 도 5에 도시된 퍼지 품질 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 7은 도 6에 도시된 빈 선반들의 퍼지 품질 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 5를 참조하면, 상기 용기 보관 방법은 먼저 스토커(110)에서 용기(10)를 보관하기 위한 다수의 선반들(112) 전체에 대해 퍼지가 수행되지 않는 노말 모드에서 상기 각 선반들(112)의 퍼지 품질을 검사한다. (S100)
상기 노말 모드에서 상기 퍼지 가스가 상기 스토커(110)의 선반들(112)까지만 제공되며 상기 용기(10)로는 제공되지 않는다. 상기 각 선반들(112)의 퍼지 품질을 검사는 상기 각 선반들(112)로 제공되는 상기 퍼지 가스의 품질을 검사한다.
상기 스토커(110)가 상기 노말 모드 상태에서 상기 용기(10)들이 퍼지되지 않도록 상기 선반들(112) 중 상기 용기(10)가 적재된 점유 선반들에 대해서는 퍼지가 이루어지지 않는다. 즉, 상기 노말 모드에서 상기 각 선반들(112) 중 빈 선반들에 대해서만 상기 퍼지 가스를 제공할 수 있다. 따라서, 상기 노말 모드에서 상기 점유 선반들에 대해서는 상기 퍼지 품질 검사가 수행되지 않는다. 즉, 상기 각 선반들(112)에 대한 상기 퍼지 품질 검사는 빈 선반들에 대해 이루어질 수 있다.
구체적으로 도 6을 참조하면, 상기 각 선반들(112)의 상기 퍼지 품질을 검사하기 위해, 먼저, 상기 각 선반들(112) 중 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사한다.(S110)
상기 각 선반들(112) 중 상기 용기(10)가 적재된 점유 선반들의 상기 용기(10)를 이송하여 상기 점유 선반들을 새로운 빈 선반들로 형성한다. (S120)
구체적으로, 정 시간동안 상기 빈 선반들에 대해 상기 퍼지 품질을 검사할 수 있다. 상기 일정 시간 동안 상기 점유 선반들이 상기 새로운 빈 선반들로 변경되지 않는 경우, 상기 스토커(110)의 상기 이송 로봇(113)으로 상기 점유 선반들의 상기 용기(10)를 이송하여 상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경할 수 있다.
상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경하기 위해 상기 스토커(110)의 상기 이송 로봇(113)으로 상기 점유 선반들의 상기 용기(10)를 상기 퍼지 품질 검사가 완료된 상기 빈 선반들로 이송하거나, 상기 점유 선반들의 상기 용기(10)를 상기 로드 포트(111)를 통해 상기 스토커(110)의 외부로 이송할 수 있다.
이후, 상기 새로운 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사한다. (S130)
상기 각 선반들(112)의 퍼지 품질 검사를 수행할 때, 상기 각 선반들(112)은 다수의 선반 그룹들로 구분하고, 상기 선반 그룹들 중 선택된 선반 그룹에 대해 일정 주기마다 상기 퍼지 품질을 검사할 수 있다.
일 예로, 상기 선반 그룹들은 상기 각 유량 제어부(126)에 의해 상기 퍼지 가스가 조절되는 복수의 선반들(112)을 각각의 선반 그룹으로 설정할 수 있다.
상기 선반 그룹들 중에서 검사할 상기 선반 그룹을 우선 순위에 따라 선택할 수 있다. 상기 우선 순위의 기준은 상기 선반 그룹을 구성하는 선반들의 개수가 많은 순이거나, 상기 선반 그룹에서 빈 선반들의 개수가 많은 순일 수 있다.
도 7을 참조하여 상기 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사하는 과정(S110)은 다음과 같다.
먼저, 상기 빈 선반들로 상기 퍼지를 수행하기 위한 퍼지 가스를 공급한다. (S111)
구체적으로, 가스 공급부(125)로부터 공급관(123)들 및 공급 노즐(121)들을 통해 상기 빈 선반들로 상기 퍼지 가스를 공급할 수 있다.
상기 빈 선반들로 제공되는 상기 퍼지 가스의 압력과 유량을 측정한다. (S112)
구체적으로, 압력 센서(131)들이 상기 각 선반들(112)로 제공되는 상기 퍼지 가스의 압력을 측정하고, 유량 센서(133)들이 상기 각 선반들(112)로 제공되는 상기 퍼지 가스의 유량을 측정한다.
상기 빈 선반들에서 측정되는 상기 퍼지 가스의 상기 압력과 상기 유량이 정상 범위인 경우 상기 빈 선반들의 상기 퍼지 품질을 정상으로 판단하고, 상기 압력과 상기 유량이 상기 정상 범위를 벗어나는 경우 상기 빈 선반들의 상기 퍼지 품질을 비정상으로 판단한다. (S113)
상기 새로운 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사하는 과정(S130)도 상기 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사하는 과정(S110)과 실질적으로 동일하다.
상기 각 선반들(112)에 대한 상기 퍼지 품질 검사가 완료되면, 상기 퍼지 품질 검사 결과는 제어 유닛(140)으로 제공된다.
상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 스토커(110)를 상기 노말 모드에서 상기 퍼지가 수행되는 퍼지 모드로 변경한다.(S200)
이때, 상기 퍼지 품질이 정상으로 판단된 상기 선반들(112)만 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경할 수 있다. 상기 퍼지 품질이 비정상으로 판단된 상기 선반들(112)은 상기 용기(10)를 정상적으로 퍼지할 수 없으므로, 상기 퍼지 품질이 비정상으로 판단된 상기 선반들(112)은 상기 퍼지 모드로 변경하지 않고 상기 노말 모드를 유지하거나, 사용하지 않을 수 있다.
상기 각 선반들(112)의 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하므로, 상기 스토커(110)를 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경할 때, 상기 스토커(100)를 정지할 필요가 없다. 그러므로, 상기 스토커(110)의 이용 효율이 향상될 수 있다.
또한, 별도의 상기 퍼지 품질 검사없이 상기 스토커(110)를 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 신속하게 변경할 수 있다. 따라서, 상기 퍼지 품질 검사에 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있다.
본 발명의 상기 용기 보관 장치 및 방법에 따르면, 상기 스토커가 상기 노말 모드인 상태에서 상기 검사 유닛에서 수행된 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 스토커를 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 신속하게 변경할 수 있다. 상기 스토커를 정지할 필요가 없으므로, 상기 스토커의 이용 효율이 향상될 수 있다.
또한, 상기 스토커를 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경할 때 별도의 상기 퍼지 품질 검사가 불필요하므로, 상기 퍼지 품질 검사에 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 용기 보관 장치 110 : 스토커
111 : 선반 120 : 퍼지 유닛
121 : 공급 노즐 122 : 배출 노즐
123 : 공급관 124 : 배출관
125 : 가스 공급관 126 : 유량 제어부
130 : 검사 유닛 131 : 압력 센서
133 : 유량 센서 135 : 판단부
140 : 제어 유닛 150 : 표시 유닛
10 : 용기

Claims (20)

  1. 용기들을 보관하기 위한 다수의 선반들을 갖는 스토커;
    상기 스토커가 퍼지 모드인 경우 상기 각 선반들로 퍼지 가스를 제공하여 상기 용기들을 퍼지하고, 상기 스토커가 노말 모드인 경우 상기 각 선반들까지만 퍼지 가스를 제공하는 퍼지 유닛;
    상기 노말 모드에서 상기 각 선반들로 제공하는 상기 퍼지 가스의 퍼지 품질을 검사하는 검사 유닛; 및
    상기 퍼지 모드 및 상기 노말 모드로 교대로 변경하도록 상기 퍼지 유닛을 제어하고, 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경하는 제어 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 가스가 상기 용기로 제공되는 것을 방지하기 위해 상기 퍼지 유닛은 상기 각 선반들 중 상기 용기가 적재되지 않은 빈 선반들에 대해서만 상기 퍼지 가스를 제공하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 검사 유닛은 상기 각 선반들 중 빈 선반들에 대해 상기 퍼지 품질을 검사하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제어 유닛은 상기 스토커의 이송 로봇을 제어하여 상기 각 선반들 중 상기 용기가 적재된 점유 선반들의 상기 용기를 이송하여 상기 점유 선반들을 새로운 빈 선반들로 변경하고,
    상기 검사 유닛은 상기 새로운 빈 선반들에 대해 추가로 상기 퍼지 품질을 검사하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 검사 유닛은 일정 시간동안 상기 빈 선반들에 대해 상기 퍼지 품질을 검사하고,
    상기 일정 시간 동안 상기 점유 선반들이 상기 새로운 빈 선반들로 변경되지 않는 경우, 상기 점유 선반들의 상기 용기를 이송하여 상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경하기 위해 상기 점유 선반들의 상기 용기를 상기 검사 유닛의 상기 퍼지 품질 검사가 완료된 상기 빈 선반들로 이송하거나, 상기 스토커의 외부로 이송하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 검사 유닛은,
    상기 각 선반들로 상기 퍼지 가스를 공급하기 위한 공급 라인들에 각각 구비되며, 상기 각 선반들로 제공되는 상기 퍼지 가스의 압력을 측정하는 압력 센서들;
    상기 공급 라인들에 각각 구비되며, 상기 각 선반들로 제공되는 상기 퍼지 가스의 유량을 측정하는 유량 센서들; 및
    상기 압력 센서들 및 상기 유량 센서들에서 측정되는 상기 퍼지 가스의 상기 압력과 상기 유량이 정상 범위인 경우 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질을 정상으로 판단하고, 상기 압력과 상기 유량 중 적어도 하나가 상기 정상 범위를 벗어나는 경우 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질을 비정상으로 판단하는 판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제어 유닛은 상기 각 선반들을 다수의 선반 그룹들로 구분하고, 상기 선반 그룹들 중 선택된 선반 그룹에 대해 일정 주기마다 상기 퍼지 품질 검사가 이루어지도록 상기 검사 유닛을 제어하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제어 유닛은 상기 선반 그룹들 중에서 검사할 상기 선반 그룹을 우선 순위에 따라 선택하고,
    상기 우선 순위의 기준은 상기 각 선반 그룹들을 구성하는 선반들의 개수가 많은 순이거나, 상기 각 선반 그룹들에서 빈 선반들의 개수가 많은 순인 것을 특징으로 하는 용기 보관 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 각 선반들이 상기 퍼지 모드 또는 상기 노말 모드인지를 표시하고, 상기 노말 모드에서 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질의 검사 여부 및 검사 결과를 표시하는 표시 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 장치.
  11. 스토커의 각 선반들까지만 퍼지 가스를 제공하는 노말 모드에서 상기 각 선반들로 제공되는 상기 퍼지 가스의 퍼지 품질을 검사하는 단계; 및
    상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 노말 모드를 상기 퍼지 가스를 상기 각 선반들로 제공하여 상기 용기들을 퍼지하는 퍼지 모드로 변경하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 가스가 상기 용기들로 제공되는 것을 방지하기 위해 상기 퍼지 가스는 상기 각 선반들 중 상기 용기가 적재되지 않은 빈 선반들에 대해서만 제공되는 것을 특징으로 하는 용기 보관 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질을 검사하는 단계는,
    상기 각 선반들 중 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사하는 단계;
    상기 각 선반들 중 상기 용기가 적재된 점유 선반들의 상기 용기를 이송하여 상기 점유 선반들을 새로운 빈 선반들로 변경하는 단계; 및
    상기 새로운 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 빈 선반들의 상기 퍼지 품질 검사는 일정 시간동안 이루어지고,
    상기 일정 시간 동안 상기 점유 선반들이 상기 새로운 빈 선반들로 변경되지 않는 경우, 상기 점유 선반들의 상기 용기를 이송하여 상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 점유 선반들을 상기 새로운 빈 선반들로 변경하기 위해 상기 점유 선반들의 상기 용기를 상기 검사 유닛의 상기 퍼지 품질 검사가 완료된 상기 빈 선반들로 이송하거나, 상기 스토커의 외부로 이송하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 방법.
  16. 제13항에 있어서, 상기 빈 선반들의 퍼지 품질을 검사하는 단계는,
    상기 빈 선반들로 상기 퍼지를 수행하기 위한 퍼지 가스를 공급하는 단계;
    상기 빈 선반들로 제공되는 상기 퍼지 가스의 압력과 유량을 측정하는 단계; 및
    상기 빈 선반들에서 측정되는 상기 퍼지 가스의 상기 압력과 상기 유량이 정상 범위인 경우 상기 빈 선반들의 상기 퍼지 품질을 정상으로 판단하고, 상기 압력과 상기 유량 중 적어도 하나가 상기 정상 범위를 벗어나는 경우 상기 빈 선반들의 상기 퍼지 품질을 비정상으로 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 선반들을 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경하는 단계에서,
    상기 퍼지 품질이 정상으로 판단된 상기 선반들만 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 모드로 변경하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 방법.
  18. 제13항에 있어서, 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질을 검사하는 단계에서,
    상기 각 선반들은 다수의 선반 그룹들로 구분하고, 상기 선반 그룹들 중 선택된 선반 그룹에 대해 일정 주기마다 상기 퍼지 품질을 검사하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 선반 그룹들 중에서 검사할 상기 선반 그룹은 우선 순위에 따라 선택되고,
    상기 우선 순위의 기준은 상기 선반 그룹을 구성하는 선반들의 개수가 많은 순이거나, 상기 선반 그룹에서 빈 선반들의 개수가 많은 순인 것을 특징으로 하는 용기 보관 방법.
  20. 스토커의 각 선반들까지만 퍼지 가스를 제공하는 노말 모드에서 상기 각 선반들 중 상기 용기가 적재되지 않은 빈 선반들로 제공하는 퍼지 가스의 퍼지 품질을 검사하는 단계;
    상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질 검사 결과를 이용하여 상기 선반들을 상기 노말 모드에서 상기 퍼지 가스를 상기 각 선반들로 제공하여 상기 용기들을 퍼지하는 퍼지 모드로 변경하는 단계; 및
    상기 각 선반들이 상기 퍼지 모드 또는 상기 노말 모드인지 여부, 상기 노말 모드에서 상기 각 선반들의 상기 퍼지 품질의 검사 여부 및 검사 결과를 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 보관 방법.
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