KR20210158225A - 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법 - Google Patents

스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20210158225A
KR20210158225A KR1020200076708A KR20200076708A KR20210158225A KR 20210158225 A KR20210158225 A KR 20210158225A KR 1020200076708 A KR1020200076708 A KR 1020200076708A KR 20200076708 A KR20200076708 A KR 20200076708A KR 20210158225 A KR20210158225 A KR 20210158225A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
carrier
shelves
type
unit
load port
Prior art date
Application number
KR1020200076708A
Other languages
English (en)
Inventor
강옥경
신주희
최용배
위형준
박민재
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020200076708A priority Critical patent/KR20210158225A/ko
Publication of KR20210158225A publication Critical patent/KR20210158225A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67271—Sorting devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775—Docking arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 스토커는 이송 유닛으로부터 캐리어를 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어를 전달하기 위한 로드 포트와, 상기 로드 포트에 안착된 상기 캐리어의 종류를 확인하기 위한 확인 유닛과, 상기 캐리어의 종류에 따라 구분하여 상기 캐리어를 적재하는 다수의 선반들 및 상기 확인 유닛에서 확인된 상기 캐리어의 종류에 따라 상기 캐리어를 상기 선반들 중 해당 선반으로 이송하는 이송 로봇을 포함할 수 있다.

Description

스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법{Stocker and method of storing carriers using the same}
본 발명은 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 서로 다른 종류의 캐리어를 저장하는 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 스토커(Stocker)에 보관될 수 있으며, 상기 스토커는 상기 캐리어를 수납하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있다. 상기 캐리어는 상기 대상물에 따라 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등 다양한 종류가 있다.
상기 선반들은 수평 및 수직 방향으로 배열되며, 상기 선반의 간격과 높이가 고정된다. 따라서, 상기 선반들에는 한 종류의 캐리어만이 적재될 수 있다. 또한, 다른 종류의 캐리어를 적재하기 위해서는 다른 스토커를 이용해야 한다.
그러므로, 상기 스토커는 상기 선반에 다른 종류의 캐리어를 적재할 수 없고, 상기 캐리어의 종류 변화에 대응하기 어렵다.
본 발명은 다양한 종류의 캐리어를 적재할 수 있는 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 스토커는, 이송 유닛으로부터 캐리어를 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어를 전달하기 위한 로드 포트와, 상기 로드 포트에 안착된 상기 캐리어의 종류를 확인하기 위한 확인 유닛과, 상기 캐리어의 종류에 따라 구분하여 상기 캐리어를 적재하는 다수의 선반들 및 상기 확인 유닛에서 확인된 상기 캐리어의 종류에 따라 상기 캐리어를 상기 선반들 중 해당 선반으로 이송하는 이송 로봇을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 확인 유닛은, 상기 로드 포트에 안착된 상기 캐리어를 촬영하기 위한 카메라 및 촬영된 상기 캐리어의 모양, 색상, 투명도를 기준 정보와 비교하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 판단부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 확인 유닛은, 상기 로드 포트의 상부면에 구비되며 상기 캐리어의 안착을 감지하는 다수의 센서들 및 상기 캐리어의 안착을 감지하는 상기 센서들의 개수 및 위치를 기준 정보와 비교하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 판단부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 확인 유닛은, 상기 로드 포트의 안착된 상기 캐리어의 식별 부호를 인식하는 인식부 및 상기 식별 부호와 연동되는 상기 캐리어에 대한 정보를 확인하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 판단부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토커는, 상기 캐리어 중 풉(FOUP)을 퍼지하기 위해 상기 선반들로 퍼지 가스를 공급하는 가스 공급부와, 상기 선반들로 공급되는 상기 퍼지 가스의 차압 상태를 확인하는 검사부 및 상기 선반들에 상기 풉을 제외한 다른 캐리어가 적재되는 경우 상기 선반들에서 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생하더라도 상기 캐리어를 적재하는 공정이 수행되도록 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 검사부는, 상기 각 선반들에 구비되며, 상기 퍼지를 위해 상기 선반들로 제공되는 퍼지 가스의 제1 압력 및 상기 선반들로부터 회수되는 퍼지 가스의 제2 압력을 각각 측정하는 압력 센서들 및 상기 제1 압력과 상기 제2 압력의 차이가 정상 범위를 벗어나는 경우 상기 퍼지 가스의 상기 차압 이상으로 판단하는 제2 판단부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 캐리어 저장 방법은, 이송 유닛이 캐리어를 스토커의 로드 포트로 전달하는 단계와, 상기 로드 포트에 안착된 상기 캐리어의 종류를 확인하는 단계 및 상기 캐리어의 종류에 따라 상기 캐리어를 상기 선반들 중 해당 선반으로 이송하여 적재하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어의 종류를 확인하는 단계는, 카메라로 상기 로드 포트에 안착된 상기 캐리어를 촬영하는 단계 및 촬영된 상기 캐리어의 모양, 색상, 투명도를 기준 정보와 비교하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어의 종류를 확인하는 단계는, 상기 로드 포트의 상부면에 구비된 다수의 센서들로 상기 캐리어의 안착을 감지하는 단계 및 상기 캐리어의 안착을 감지하는 상기 센서들의 개수 및 위치를 기준 정보와 비교하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어의 종류를 확인하는 단계는, 상기 로드 포트의 안착된 상기 캐리어의 식별 부호를 인식하는 단계 및 상기 식별 부호와 연동되는 상기 캐리어에 대한 정보를 확인하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어 저장 방법은, 상기 캐리어 중 풉(FOUP)을 퍼지하기 위해 상기 선반들로 퍼지 가스를 공급하는 단계 및 상기 선반들로 공급되는 상기 퍼지 가스의 차압 상태를 확인하는 단계 및 상기 선반들에 상기 풉을 제외한 다른 캐리어가 적재되는 경우 상기 선반들에서 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생하더라도 상기 캐리어를 적재하는 공정이 수행하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 상기 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법에 따르면, 상기 캐리어의 종류를 확인하고, 상기 캐리어의 종류에 따라 해당 선반에 상기 캐리어를 적재할 수 있다. 상기 선반들에 다양한 종류의 상기 캐리어를 적재할 수 있으므로, 상기 캐리어의 종류 변화에 용이하게 대응할 수 있으며, 상기 스토커의 활용도를 높일 수 있다.
또한, 상기 캐리어의 모양, 색상, 투명도, 상기 캐리어의 안착을 감지하는 상기 센서들의 개수 및 위치, 상기 캐리어의 식별 부호를 이용하여 상기 캐리어의 종류를 확인하므로, 상기 캐리어의 종류를 정확하게 확인할 수 있다.
그리고, 상기 선반들에 상기 풉을 제외한 다른 캐리어가 적재되는 경우 상기 선반들에서 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생하더라도 상기 캐리어를 상기 선반들에 적재하는 공정이 중단되지 않고 수행될 수 있다. 따라서, 상기 스토커의 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2 내지 도 4는 도 1에 도시된 확인 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.
도 5는 도 1에 도시된 선반을 설명하기 위한 정면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 이송 로봇을 이용한 티칭을 설명하기 위한 측면도이다.
도 7은 도 1에 도시된 가스 공급부 및 검사부를 설명하기 위한 구성도이다.
도 8은 도 1에 도시된 스토커를 이용한 캐리어 저장 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2 내지 도 4는 도 1에 도시된 확인 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도들이고, 도 5는 도 1에 도시된 선반을 설명하기 위한 정면도이고, 도 6은 도 1에 도시된 이송 로봇을 이용한 티칭을 설명하기 위한 측면도이고, 도 7은 도 1에 도시된 가스 공급부 및 검사부를 설명하기 위한 구성도이다.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 상기 스토커(100)는 로드 포트(110), 확인 유닛(120), 선반(130)들, 이송 로봇(140), 가스 공급부(150), 검사부(160) 및 제어부(170)를 포함할 수 있다.
상기 로드 포트(110)는 별도의 이송 유닛으로부터 캐리어(10)를 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어(10)를 전달한다. 상기 로드 포트(110)는 캐리어(10)가 안착되는 공간을 제공한다. 상기 캐리어(10)는 대상물(미도시)이 수용한 상태로 상기 로드 포트(110)에 안착된다.
상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등을 들 수 있다. 상기 캐리어(10)의 예로는 풉(FOUP)(10a), 포스비(FOSB)(10b), 매거진(10c), 레티클 포드(10d) 등을 들 수 있다. 상기 대상물에 따라 상기 캐리어(10)의 종류가 달라질 수 있다.
상기 로드 포트(110)의 안착면에는 정렬 핀들(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 캐리어(10)의 하부면에는 정렬 홈(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 캐리어(10)가 상기 로드 포트(110)에 안착될 때, 상기 정렬 핀들은 상기 정렬 홈에 삽입되므로, 상기 캐리어(20)를 상기 로드 포트(110)에 정확하게 안착시킬 수 있다.
상기 확인 유닛(120)은 상기 로드 포트(110)에 안착된 상기 캐리어(10)의 종류를 확인할 수 있다.
일 예로, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 확인 유닛(120)은 카메라(121) 및 판단부(122)를 포함할 수 있다.
상기 카메라(121)는 상기 로드 포트(110)와 인접하도록 배치되며, 상기 로드 포트(110)에 안착된 상기 캐리어(10)를 촬영한다. 상기 캐리어(10)의 여러 부위를 촬영하기 위해 상기 카메라(121)는 X축 방향(좌우 방향), Y축 방향(전후 방향) 및 Z축 방향(상하 방향)으로 이동 및 회전이 가능하도록 구비될 수 있다.
상기 판단부(122)는 상기 카메라(121)에서 촬영된 상기 캐리어(10)의 이미지를 기준 정보인 기준 이미지와 비교하여 상기 캐리어(10)의 종류를 판단한다. 이때, 상기 판단부(122)는 상기 캐리어(10)의 모양, 색상, 투명도 등을 비교할 수 있다.
다른 예로, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 확인 유닛(120)은 다수의 센서(123)들 및 판단부(124)를 포함할 수 있다.
상기 센서(123)들은 상기 로드 포트(110)의 상부면에 구비되며 상기 캐리어(10)의 안착을 감지할 수 있다. 상기 센서(123)들의 예로는 광 센서, 근접 센서, 하중 센서 등을 들 수 있다. 상기 캐리어(10)의 종류에 따라 상기 캐리어(10)의 안착을 감지하는 상기 센서(123)들의 개수 및 위치가 달라질 수 있다.
상기 판단부(124)는 상기 센서(123)들 중에서 상기 캐리어(10)의 안착을 감지하는 상기 센서(123)들의 개수 및 위치를 기준 정보인 기준 센서들의 개수 및 위치와 비교하여 상기 캐리어(10)의 종류를 판단할 수 있다.
또 다른 예로, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 확인 유닛(120)은 인식부(125) 및 판단부(126)를 포함할 수 있다.
상기 인식부(125)는 상기 로드 포트(110)의 안착된 상기 캐리어(10)의 식별 부호(11)를 인식할 수 있다. 상기 식별 부호(11)의 예로는 숫자, 기호, 문자, 바코드, 큐알 코드 등일 수 있으며, 상기 인식부(125)의 예로는 카메라, 문자 인식기, 스캐너 등을 들 수 있다.
상기 판단부(126)는 상기 인식부(125)에서 인식된 식별 부호(11)와 연동되는 정보를 확인하고, 상기 정보에 따라 상기 캐리어(10)의 종류를 판단할 수 있다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 캐리어(10)의 종류를 보다 정확하게 확인하기 위해 상기 확인 유닛(120)은 상기 카메라(121), 상기 센서(123)들 및 상기 인식부(125) 중 적어도 두 개를 포함할 수도 있다.
상기 선반(130)들은 상기 캐리어(10)를 적재한다. 상기 선반(130)은 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 배열될 수 있다. 상기 도 1에서는 상기 선반(130)들이 1열로 배열되는 것으로 도시되었지만, 상기 선반(130)들은 2열로 배열될 수도 있다.
상기 선반(130)은 각각 대략 평판 형태를 가지며, 상기 캐리어(10)의 하부면을 각각 지지한다.
상기 선반(130)들은 상기 캐리어(10)의 종류에 따라 상기 캐리어(10)를 구분하여 적재할 수 있다.
예를 들면, 상기 캐리어(10) 중 상기 풉(10a)과 상기 포스비(10b)는 제1 선반들에 적재하고, 상기 매거진(10c)은 제2 선반들에 적재하고, 상기 레티클 포드(10d)는 제3 선반에 적재할 수 있다. 필요에 따라서는 상기 풉(10a)과 상기 포스비(10b)도 서로 다른 선반들에 적재할 수도 있다.
상기 이송 로봇(140)은 상기 로드 포트(110)와 상기 선반(130)들 사이에 배치되며, 상기 로드 포트(110)와 상기 선반(130)들 사이에서 상기 캐리어(10)를 이송한다.
상기 이송 로봇(140)은 상기 확인 유닛(120)에서 확인된 상기 캐리어(10)의 종류에 따라 상기 캐리어(10)를 상기 선반(130)들 중 해당 선반으로 이송할 수 있다.
예를 들면 상기 캐리어(10)의 종류가 상기 풉(10a)이나 상기 포스비(10b)인 경우, 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)를 상기 제1 선반들에 적재한다. 상기 캐리어(10)의 종류가 상기 매거진(10c)인 경우, 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)를 상기 제2 선반들에 적재한다. 상기 캐리어(10)의 종류가 상기 레티클 포드(10d)인 경우, 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)를 상기 제3 선반에 적재할 수 있다.
상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)의 이송을 위해 상기 X축 방향, 상기 Z축 방향으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았지만, 상기 이송 로봇(140)은 상기 이송 로봇(140)을 상기 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 구동부, 상기 이송 로봇(140)을 상기 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Z축 구동부 및 상기 이송 로봇(140)을 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)의 이송을 위한 로봇암(141)을 구비할 수 있으며, 상기 로봇암(141)은 상기 선반들(110)을 향해 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 로봇암(141)은 상기 캐리어(10)를 파지하여 이송한다.
일 예로서, 상기 로봇암(141)은 상기 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 이송 로봇(140)은 상기 로봇암(141)을 구동하기 위한 Y축 구동부를 구비할 수 있다. 상기 로봇암(141)은 신장과 수축이 가능한 다관절 로봇암일 수 있다.
일 예로서, 상기 X축, Y축 및 Z축 구동부들 및 회전 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.
따라서 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)를 상기 로드 포트(110)에 안착하거나, 상기 로드 포트(110)에 안착된 상기 캐리어(10)를 이송할 수 있다. 또한, 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)를 상기 선반(130)들에 적재하거나 상기 선반(130)들로부터 상기 캐리어(10)를 이재할 수 있다.
상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)를 신속하게 이송하기 위해 복수로 구비될 수도 있다.
한편, 상기 이송 로봇(140)은 상부면에 티칭용 센서(143)를 구비할 수 있다. 상기 센서(140)의 예로는 광센서를 들 수 있다.
상기 센서(143)는 상기 각 선반들(130)의 후면에 각각 구비된 반사판(131)으로 광을 조사하고 상기 반사판(131)으로부터 반사되는 반사광의 수신하여 상기 각 선반들(121)의 위치를 감지한다.
또한, 상기 이송 로봇(140)이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동할 수 있으므로, 상기 센서(143)와 상기 반사판(131)을 이용하여 상기 각 선반들(121)의 위치를 모두 감지할 수 있다. 그러므로, 상기 이송 로봇(140)이 상기 캐리어(10)를 상기 선반들(121)에 안정적으로 적재하거나, 상기 선반들(121)로부터 상기 캐리어(10)를 안정적으로 이재할 수 있다.
상기 가스 공급부(150)는 상기 캐리어(10) 중 상기 풉(10a)을 퍼지하기 위해 상기 선반(130)들로 퍼지 가스를 공급할 수 있다.
구체적으로, 공급 노즐(151)들은 상기 선반(130)들에 각각 구비되며, 상기 캐리어(10)의 하부면과 접촉할 수 있다. 일 예로, 상기 캐리어(10)가 상기 공급 노즐(151)들을 가압하는 힘에 의해 상기 공급 노즐(151)들이 개폐될 수 있다. 즉, 상기 선반(130)들에 상기 캐리어(10)가 적재되면 상기 캐리어(10)가 상기 공급 노즐(151)들을 가압하는 힘에 의해 상기 공급 노즐(151)들이 개방될 수 있다. 상기 각 선반(130)들로부터 상기 캐리어(10)가 이재되면 상기 캐리어(10)가 상기 공급 노즐(151)들을 가압하는 힘이 제거되어 상기 공급 노즐(151)들이 차단될 수 있다.
배출 노즐(152)들은 상기 선반(130)들에 각각 구비되며, 상기 캐리어(10)의 하부면과 접촉할 수 있다. 일 예로, 상기 캐리어(10)가 상기 배출 노즐(152)들을 가압하는 힘에 의해 상기 배출 노즐(152)들이 개폐될 수 있다.
공급관(153)들은 상기 가스 공급부(150)와 상기 선반(130)들의 상기 공급 노즐(151)들을 각각 연결한다. 따라서, 상기 공급관(153)들과 상기 공급 노즐(151)들을 통해 상기 퍼지 가스를 상기 캐리어(10)의 내부로 공급할 수 있다.
배출관(154)들은 상기 선반(130)들의 상기 배출 노즐(152)들과 각각 연결된다. 상기 배출 노즐(152)들과 상기 공급관(154)들을 통해 상기 퍼지 가스를 상기 캐리어(10)로부터 배출할 수 있다.
상기 가스 공급부(150)는 상기 퍼지 가스를 저장하며, 상기 공급관(153)을 통해 상기 퍼지 가스를 상기 캐리어(10)로 공급할 수 있다. 상기 퍼지 가스의 예로는 질소가스를 들 수 있다.
상기 검사부(160)는 상기 선반(130)들로 공급되는 상기 퍼지 가스의 차압 상태를 확인할 수 있다.
상기 검사부(160)는 압력 센서(161)들 및 제2 판단부(163)를 포함할 수 있다.
상기 압력 센서(161)들은 상기 각 선반(130)들과 인접하여 구비될 수 있다. 일 예로, 상기 압력 센서(161)들은 상기 공급 노즐(151)들과 인접하도록 구비되거나, 상기 공급관(153)들에 구비될 수 있다. 상기 압력 센서(161)들은 상기 퍼지를 위해 상기 각 선반(130)들로 제공되는 퍼지 가스의 제1 압력을 측정할 수 있다.
또한, 상기 압력 센서(161)들은 상기 배출 노즐(152)들과 인접하도록 구비되거나, 상기 배출관(154)들에 구비될 수 있다. 상기 압력 센서(161)들은 상기 각 선반(130)들로 배출되는 상기 퍼지 가스의 제2 압력을 측정할 수 있다.
상기 제2 판단부(163)는 상기 제1 압력과 상기 제2 압력의 차이가 정상 범위인 경우 상기 퍼지 가스의 차압이 정상인 것으로 판단한다. 또한, 상기 제2 판단부(163)는 상기 제1 압력과 상기 제2 압력의 차이가 정상 범위를 벗어나는 경우 상기 퍼지 가스의 차압이 이상인 것으로 판단한다.
상기 풉(10a)을 제외한 다른 캐리어(10)에는 상기 퍼지 가스를 공급 및 배출하기 위한 통로가 구비되지 않는다. 상기 선반(130)들에 상기 풉(10a)을 제외한 다른 캐리어(10)가 적재되는 경우, 상기 공급 노즐(151)이 개방되지 않아 상기 퍼지 가스가 공급되지 않거나, 상기 공급 노즐(151)들 통해 공급된 상기 퍼지 가스가 누설되므로, 상기 퍼지 가스가 상기 배출 노즐(152)을 통해 배출되지 않는다. 따라서, 상기 제1 압력과 상기 제2 압력의 차이가 커 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생할 수 있다.
상기 퍼지 가스의 상기 차압 이상이 발생하더라도 상기 풉(10a)이 정상적으로 퍼지될 수 있고, 상기 품(10a)을 제외한 나머지 상기 캐리어(10)는 상기 퍼지가 불필요하다.
그러므로, 상기 제어부(170)는 상기 선반(130)들에서 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생하더라도 상기 이송 로봇(140)을 작동시켜 상기 캐리어(10)를 적재하는 공정이 중단없이 수행되도록 제어할 수 있다. 따라서, 상기 스토커(100)의 효율을 향상시킬 수 있다.
도 8은 도 1에 도시된 스토커를 이용한 캐리어 저장 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 8을 참조하면, 먼저 이송 유닛이 캐리어(10)를 스토커(100)의 로드 포트(110)로 전달한다. (S110)
상기 캐리어(10)가 상기 로드 포트(110)에 안착되면, 상기 로드 포트(110)에 안착된 상기 캐리어(10)의 종류를 확인한다. (S120)
상기 캐리어(10)의 종류는 확인 유닛(120)을 이용하여 확인할 수 있다.
일 예로, 상기 로드 포트(110)와 인접하도록 배치된 카메라(121)로 상기 로드 포트(110)에 안착된 상기 캐리어(10)를 촬영한다. 상기 카메라(121)에서 촬영된 상기 캐리어(10)의 이미지를 기준 정보인 기준 이미지와 비교하여 상기 판단부(122)가 상기 캐리어(10)의 종류를 판단한다. 상기 캐리어(10)의 이미지를 상기 기준 이미지와 비교할 때 상기 캐리어(10)의 모양, 색상, 투명도 등을 비교할 수 있다.
다른 예로, 상기 로드 포트(110)의 상부면에 구비된 상기 센서(123)들로 상기 캐리어(10)의 안착을 감지할 수 있다. 상기 캐리어(10)의 종류에 따라 상기 캐리어(10)의 안착을 감지하는 상기 센서(123)들의 개수 및 위치가 달라질 수 있다.
상기 센서(123)들 중에서 상기 캐리어(10)의 안착을 감지하는 상기 센서(123)들의 개수 및 위치를 기준 정보인 기준 센서들의 개수 및 위치와 비교하여 상기 판단부(124)가 상기 캐리어(10)의 종류를 판단할 수 있다.
또 다른 예로, 상기 인식부(125)가 상기 로드 포트(110)의 안착된 상기 캐리어(10)의 식별 부호(11)를 인식하고, 상기 판단부(126)가 상기 인식부(125)에서 인식된 식별 부호(11)와 연동되는 정보를 확인하고, 상기 정보에 따라 상기 캐리어(10)의 종류를 판단할 수 있다.
한편, 카메라(121)로 촬영된 상기 캐리어(10)의 이미지, 상기 캐리어(10)의 안착을 감지하는 상기 센서(123)들의 개수 및 위치에 대한 정보, 상기 캐리어(10)의 상기 식별 부호(11)와 연동되는 정보 중 적어도 두 개를 이용하여 상기 캐리어(10)의 종류를 판단할 수도 있다. 따라서, 상기 캐리어(10)의 종류를 보다 정확하게 확인할 수 있다.
이후 상기 캐리어(10)의 종류에 따라 상기 캐리어(10)를 상기 선반(130)들 중 해당 선반으로 이송하여 적재한다. (S130)
구체적으로, 이송 로봇(140)은 상기 확인 유닛(120)에서 확인된 상기 캐리어(10)의 종류에 따라 상기 캐리어(10)를 상기 선반(130)들로 이송할 수 있다.
예를 들면 상기 캐리어(10)의 종류가 상기 풉(10a)이나 상기 포스비(10b)인 경우, 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)를 상기 제1 선반들에 적재한다. 상기 캐리어(10)의 종류가 상기 매거진(10c)인 경우, 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)를 상기 제2 선반들에 적재한다. 상기 캐리어(10)의 종류가 상기 레티클 포드(10d)인 경우, 상기 이송 로봇(140)은 상기 캐리어(10)를 상기 제3 선반에 적재할 수 있다.
이후, 상기 캐리어(10) 중 상기 풉(10a)을 퍼지하기 위해 상기 선반(130)들로 퍼지 가스를 공급한다. (S140)
구체적으로, 가스 공급부(150)는 상기 퍼지 가스를 저장하며, 공급관(153)과 공급 노즐(151)을 통해 상기 퍼지 가스를 상기 캐리어(10)로 공급할 수 있다. 또한, 상기 캐리어(10)로 공급된 상기 퍼지 가스는 상기 배출 노즐(151) 및 배출관(154)을 통해 배출될 수 있다.
다음으로, 상기 선반(130)들로 공급되는 상기 퍼지 가스의 차압 상태를 확인한다. (S150)
구체적으로, 검사부(160)의 압력 센서(161)들로 상기 각 선반(130)들로 제공되는 퍼지 가스의 제1 압력을 측정할 수 있다. 또한, 상기 압력 센서(161)들은 상기 각 선반(130)들로 배출되는 상기 퍼지 가스의 제2 압력을 측정할 수 있다.
상기 제1 압력과 상기 제2 압력의 차이가 정상 범위인 경우 상기 퍼지 가스의 차압이 정상인 것으로 판단한다. 또한, 상기 제2 판단부(163)는 상기 제1 압력과 상기 제2 압력의 차이가 정상 범위를 벗어나는 경우 상기 퍼지 가스의 차압이 이상인 것으로 판단한다.
다음으로, 상기 선반(130)들에 상기 풉(10a)을 제외한 다른 캐리어(10)가 적재되는 경우 상기 선반(130)들에서 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생하더라도 상기 캐리어(10)를 적재하는 공정을 수행한다. (S160)
구체적으로, 상기 풉(10a)을 제외한 다른 캐리어(10)에는 상기 퍼지 가스를 공급 및 배출하기 위한 통로가 구비되지 않는다. 상기 선반(130)들에 상기 풉(10a)을 제외한 다른 캐리어(10)가 적재되는 경우, 상기 공급 노즐(151)이 개방되지 않아 상기 퍼지 가스가 공급되지 않거나, 상기 공급 노즐(151)들 통해 공급된 상기 퍼지 가스가 누설되므로, 상기 퍼지 가스가 상기 배출 노즐(152)을 통해 배출되지 않는다. 상기 선반(130)들에 상기 풉(10a)을 제외한 다른 캐리어(10)가 적재되는 경우, 상기 제1 압력과 상기 제2 압력의 차이가 커 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생할 수 있다.
상기 퍼지 가스의 상기 차압 이상이 발생하더라도 상기 풉(10a)이 정상적으로 퍼지될 수 있고, 상기 품(10a)을 제외한 나머지 상기 캐리어(10)는 상기 퍼지가 불필요하다.
상기 선반(130)들에서 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생하더라도 제어부(170)의 제어에 따라 상기 이송 로봇(140)이 작동하여 상기 캐리어(10)를 적재하는 공정이 중단없이 수행할 수 있다. 그러므로, 상기 캐리어(10)를 적재하는 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법에 따르면, 상기 캐리어의 종류를 확인하고, 상기 캐리어의 종류에 따라 해당 선반에 상기 캐리어를 적재할 수 있다. 상기 선반들에 다양한 종류의 상기 캐리어를 적재할 수 있으므로, 상기 캐리어의 종류 변화에 용이하게 대응할 수 있으며, 상기 스토커의 활용도를 높일 수 있다.
또한, 상기 캐리어의 모양, 색상, 투명도, 상기 캐리어의 안착을 감지하는 상기 센서들의 개수 및 위치, 상기 캐리어의 식별 부호를 이용하여 상기 캐리어의 종류를 확인하므로, 상기 캐리어의 종류를 정확하게 확인할 수 있다.
그리고, 상기 선반들에 상기 풉을 제외한 다른 캐리어가 적재되는 경우 상기 선반들에서 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생하더라도 상기 캐리어를 상기 선반들에 적재하는 공정이 중단되지 않고 수행될 수 있다. 따라서, 상기 스토커의 효율을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 스토커 110 : 로드 포트
120 : 확인 유닛 121 : 카메라
123 : 센서 125 : 인식부
122, 124, 126 : 판단부 130 : 선반
131 : 반사판 140 : 이송 로봇
141 : 로봇암 143 : 센서
150 : 가스 공급부 151 : 공급 노즐
152 : 배출 노즐 153 : 공급관
154 : 배출관 160 : 검사부
161 : 압력 센서 163 : 제2 판단부
170 : 제어부 10 : 캐리어

Claims (11)

  1. 이송 유닛으로부터 캐리어를 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어를 전달하기 위한 로드 포트;
    상기 로드 포트에 안착된 상기 캐리어의 종류를 확인하기 위한 확인 유닛;
    상기 캐리어의 종류에 따라 구분하여 상기 캐리어를 적재하는 다수의 선반들; 및
    상기 확인 유닛에서 확인된 상기 캐리어의 종류에 따라 상기 캐리어를 상기 선반들 중 해당 선반으로 이송하는 이송 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  2. 제1항에 있어서, 상기 확인 유닛은,
    상기 로드 포트에 안착된 상기 캐리어를 촬영하기 위한 카메라; 및
    촬영된 상기 캐리어의 모양, 색상, 투명도를 기준 정보와 비교하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  3. 제1항에 있어서, 상기 확인 유닛은,
    상기 로드 포트의 상부면에 구비되며 상기 캐리어의 안착을 감지하는 다수의 센서들; 및
    상기 캐리어의 안착을 감지하는 상기 센서들의 개수 및 위치를 기준 정보와 비교하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  4. 제1항에 있어서, 상기 확인 유닛은,
    상기 로드 포트의 안착된 상기 캐리어의 식별 부호를 인식하는 인식부; 및
    상기 식별 부호와 연동되는 상기 캐리어에 대한 정보를 확인하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  5. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 중 풉(FOUP)을 퍼지하기 위해 상기 선반들로 퍼지 가스를 공급하는 가스 공급부;
    상기 선반들로 공급되는 상기 퍼지 가스의 차압 상태를 확인하는 검사부; 및
    상기 선반들에 상기 풉을 제외한 다른 캐리어가 적재되는 경우 상기 선반들에서 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생하더라도 상기 캐리어를 적재하는 공정이 수행되도록 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  6. 제5항에 있어서, 상기 검사부는,
    상기 각 선반들에 구비되며, 상기 퍼지를 위해 상기 선반들로 제공되는 퍼지 가스의 제1 압력 및 상기 선반들로부터 회수되는 퍼지 가스의 제2 압력을 각각 측정하는 압력 센서들; 및
    상기 제1 압력과 상기 제2 압력의 차이가 정상 범위를 벗어나는 경우 상기 퍼지 가스의 상기 차압 이상으로 판단하는 제2 판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  7. 이송 유닛이 캐리어를 스토커의 로드 포트로 전달하는 단계;
    상기 로드 포트에 안착된 상기 캐리어의 종류를 확인하는 단계; 및
    상기 캐리어의 종류에 따라 상기 캐리어를 상기 선반들 중 해당 선반으로 이송하여 적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 저장 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 캐리어의 종류를 확인하는 단계는,
    카메라로 상기 로드 포트에 안착된 상기 캐리어를 촬영하는 단계; 및
    촬영된 상기 캐리어의 모양, 색상, 투명도를 기준 정보와 비교하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 저장 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 캐리어의 종류를 확인하는 단계는,
    상기 로드 포트의 상부면에 구비된 다수의 센서들로 상기 캐리어의 안착을 감지하는 단계; 및
    상기 캐리어의 안착을 감지하는 상기 센서들의 개수 및 위치를 기준 정보와 비교하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 저장 방법.
  10. 제7항에 있어서, 상기 캐리어의 종류를 확인하는 단계는,
    상기 로드 포트의 안착된 상기 캐리어의 식별 부호를 인식하는 단계; 및
    상기 식별 부호와 연동되는 상기 캐리어에 대한 정보를 확인하여 상기 캐리어의 종류를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 저장 방법.
  11. 제7항에 있어서, 상기 캐리어 중 풉(FOUP)을 퍼지하기 위해 상기 선반들로 퍼지 가스를 공급하는 단계;
    상기 선반들로 공급되는 상기 퍼지 가스의 차압 상태를 확인하는 단계; 및
    상기 선반들에 상기 풉을 제외한 다른 캐리어가 적재되는 경우 상기 선반들에서 상기 퍼지 가스의 차압 이상이 발생하더라도 상기 캐리어를 적재하는 공정이 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 저장 방법.
KR1020200076708A 2020-06-23 2020-06-23 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법 KR20210158225A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200076708A KR20210158225A (ko) 2020-06-23 2020-06-23 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200076708A KR20210158225A (ko) 2020-06-23 2020-06-23 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210158225A true KR20210158225A (ko) 2021-12-30

Family

ID=79178619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200076708A KR20210158225A (ko) 2020-06-23 2020-06-23 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20210158225A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10777445B2 (en) Substrate processing apparatus and substrate transfer method
US6515470B2 (en) Method and apparatus for testing IC device
KR102166343B1 (ko) 스토커
KR100880462B1 (ko) 검사장치 및 검사방법
JP7349240B2 (ja) 基板倉庫及び基板検査方法
KR20170006263A (ko) 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체
TWI402959B (zh) 用於精確標記與置放一物件的方法與裝置
KR102150670B1 (ko) 스토커
KR20130022025A (ko) 기판수납용기 로더
KR20210158225A (ko) 스토커 및 이를 이용한 캐리어 저장 방법
KR20220097135A (ko) 반도체 패키지 절단 및 분류 장치
KR20200048436A (ko) 본딩 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치
KR20210157054A (ko) 스토커
KR102234767B1 (ko) 스토커
KR102316946B1 (ko) 스토커 및 이의 레티클 처리 방법
KR102326021B1 (ko) 도어 이송 장치
US20230205098A1 (en) Photo mask stage unit and photo mask stocker including the same
KR102337866B1 (ko) 전자부품 테스트 핸들러
KR20080102089A (ko) 테스트 트레이 및 이를 이용한 반도체 소자 테스트용핸들러 그리고 반도체 소자의 제조방법
KR20220032216A (ko) 용기 보관 장치 및 방법
KR102726778B1 (ko) 포토 마스크 스테이지 유닛 및 이를 갖는 포토 마스크 스토커
KR102728132B1 (ko) 전자부품 테스트 핸들러
KR102239000B1 (ko) 호이스트 모듈의 구동 방법 및 이를 수행하기 위한 호이스트 구동 모듈
KR100652286B1 (ko) 웨이퍼 카세트캐리어 이송시스템
KR20230099601A (ko) 포토 마스크 스테이지 유닛 및 이를 갖는 포토 마스크 스토커

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal