KR20220020848A - 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법 - Google Patents

잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법 및 이에 따라 제조된 터치스크린 패널용 전극을 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법은, 포토레지스트 패턴 형성 단계, 금속 증착 단계 및 금속 메쉬 패턴 형성 단계를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 직접 금속 재료의 잉크화 없이도 인쇄 패턴 간의 간격 조절이 자유로운 잉크젯 기술의 장점을 이용할 수 있는, 잉크젯 프린팅으로 인쇄한 포토레지스트의 음각 패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법 및 이에 따라 제조된 터치스크린 패널용 전극을 제공할 수 있다.

Description

잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법{Method for manufacturing electrode for metal mesh touch screen panel using lift-off from the inkjet-printed pattern}
본 발명은 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법 및 이에 따라 제조된 터치스크린 패널용 전극에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법 및 이에 따라 제조된 터치스크린 패널용 전극에 관한 것이다.
인쇄전자(printed electronics)기술은 인쇄가 가능한 기능성 전자 잉크 소재를 이용하여 초저가격의 프린팅 공정을 통해서 다양한 전자소자 및 부품을 제작하는 기술로써, 가격이 낮고 친환경적이며 유연성 있는 소자 제작이 가능하고 대량생산에 유리한 장점이 있어 스마트 의류, 플렉시블 디스플레이, RFID, 태양광 패널 등에 광범위한 활용이 가능한 기술로 각광받고 있다.
이러한 인쇄전자소자를 제조하기 위한 공정 기술 중 대표적인 것이 잉크젯 프린팅을 이용한 공정법이다. 잉크젯 프린팅법은 금속 나노 파티클 잉크를 직접 기판에 인쇄하여 전기적 전도성을 가지는 금속 패턴을 형성하는 방식으로, 디지털 제어가 가능하며 타 기술과 비교하여 단순한 공정으로도 높은 프린팅 정밀도와 대량 생산을 가능하게 하는 low cost 기술이라는 장점을 가진다.
그러나 잉크젯을 이용하여 금속을 기판에 직접 인쇄하기 위해서는 금속 재료의 잉크화가 선행되어야 하는바, 이러한 금속 잉크는 잉크젯에 의해 원활히 분사가 될 수 있는 표면 장력, 점도 등 일정한 특성이 확보되어야 하므로 그 연구에 많은 시간과 비용이 요구된다. 또한, 잉크젯 프린팅 기술은 액적의 사이즈로 인해 초미세 패턴 형성을 통한 고해상도 구현에는 한계가 있다는 문제점이 있었다.
이를 해결하기 위하여, 최근에는 초미세 사이즈의 액적과 패턴 형성이 가능한 Electro hydro dynamic (EHD) jet 기술이 이용되고 있으나, 제약사항이 많아 대량 생산 기술로 범용성을 갖기 어렵다는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허 제10-2014-0140085호
상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 잉크젯 프린팅을 이용하여 포토레지스트 패턴을 인쇄하고 그 음각패턴에 금속을 증착시킴으로써, 금속 재료의 잉크화 없이도 간격 조절이 자유로운 잉크젯 기술의 장점을 활용하여 금속 패턴의 미세 조절이 가능한 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법을 제공하는 것이다.
또한, 상기 제조방법에 따라 제조된 형상 정밀도가 우수하고 대량 생산 및 고해상도 구현이 가능한 터치스크린 패널용 전극을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예는 잉크젯 프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 잉크젯 프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법은, 잉크젯 프린팅을 이용하여 기판 위에 포토레지스트를 인쇄함으로써 포토레지스트 패턴을 형성하는 포토레지스트 패턴 형성 단계, 상기 포토레지스트 패턴 형성 단계를 통해 포토레지스트 패턴이 인쇄된 상기 기판 위에 금속을 증착하는 금속 증착 단계 및 상기 금속이 증착된 기판으로부터 상기 포토레지스트를 제거하여, 상기 포토레지스트 위에 증착되었던 금속은 상기 포토레지스트와 함께 제거되고, 상기 포토레지스트 패턴 사이의 음각 부분에 증착된 금속만이 남아 금속 메쉬 패턴을 형성하도록 하는 금속 메쉬 패턴 형성 단계를 포함할 수 있다.
상기 포토레지스트 패턴 형성 단계는, 잉크젯 프린팅 인쇄 간격을 조절함으로써 상기 포토레지스트 패턴 인쇄 간격을 70㎛ 내지 200㎛로 조절 가능할 수 있다.
상기 금속 증착 단계는, 열 증착법, 전자빔 증착법 및 스퍼터링 증착법으로 이루어진 군으로부터 선택되는 증착 공정을 포함할 수 있다.
상기 금속 메쉬 패턴 형성 단계는, 초음파를 이용한 제거 공정, 현상액을 이용한 현상 공정 및 용해도 차이를 이용한 선택적 용해 공정으로 이루어진 군으로부터 선택되는 포토레지스트 제거 공정을 포함할 수 있다.
상기 금속 메쉬 패턴 형성 단계에서 형성되는 상기 금속 메쉬 패턴은, 삼각형, 사각형 또는 육각형의 메쉬 형태일 수 있다.
상기 기판은, 석영, 유리, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리스티렌, 폴리프로필렌, 폴리이미드, 폴리옥시메틸렌, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르설폰 및 폴리에테르이미드로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 포토레지스트는, 노볼락, 메타크릴산메탈 수지 및 폴리하이드록시스틸렌 수지로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 금속은, 은, 구리, 알루미늄, 금, 니켈, 티타늄, 몰리브덴, 텅스텐, 크롬 및 백금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 실시예는 잉크젯 프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극을 제공한다.
상기 터치스크린 패널용 전극은 본 발명의 일 실시예에 따른 제조방법에 따라 제조되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 실시예는 잉크젯 프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널을 제공한다.
상기 터치스크린 패널은 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린 패널용 전극을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 금속 재료의 잉크화 없이도 금속 패턴의 미세 조절이 가능한 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 타 공정과 비교하여 단순한 공정 및 저렴한 비용으로도 높은 형상 정밀도의 전극을 대량 생산 가능하게 하는 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 제조방법을 이용하면, 10㎛ 이하의 미세 선폭을 가지는 전극 패턴 형성이 가능하므로 고해상도 구현이 가능한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극을 제공할 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법의 순서도를 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조과정을 개략적으로 나타낸 모식도이다.
도 5는 본 발명의 제조예 1, 제조예 3 내지 5, 제조예 6 및 제조예 8 내지 10에 따라 제조된 전극의 잉크젯 프린팅 간격별 전극 패턴의 변화를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명에 따라 제조된 전극의 잉크 낙하 거리에 따른 투과율을 측정한 그래프이다.
도 7은 본 발명에 따라 제조된 전극의 패턴별 스펙트럼 의존성을 확인한 그래프이다.
도 8은 본 발명에 따라 제조된 전극의 잉크 낙하 거리에 따른 전극의 면저항을 측정한 그래프이다.
도 9는 본 발명에 따라 제조된 전극의 투과율에 따른 FoM을 나타낸 그래프이다.
도 10은 본 발명에 따라 제조된 전극을 1달러 지폐 위에 데모한 사진을 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명에 따른 잉크젯 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극을 이용한 터치스크린 패널의 개념도를 나타낸 도면이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 음각 패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법 및 이에 따라 제조된 터치스크린 패널용 전극을 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법의 순서도를 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조과정을 개략적으로 나타낸 모식도이다.
도 1 및 도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 음각패턴을 이용한 터치스크린 패널용 전극의 제조방법은, 포토레지스트 패턴 형성 단계(S100), 금속 증착 단계(S200) 및 금속 메쉬 패턴 형성 단계(S300)를 포함할 수 있다.
상기 포토레지스트 패턴 형성 단계(S100)에서는, 잉크젯 프린팅을 이용하여 기판(10) 위에 포토레지스트(20)를 인쇄함으로써 포토레지스트 패턴이 형성될 수 있다.
이때, 상기 포토레지스트 패턴 형성 단계에서 인쇄되는 상기 포토레지스트 패턴의 인쇄 간격은 70um 내지 200um 로 조절될 수 있다.
예를 들어, 상기 기판(10)은, 석영, 유리, 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(polyethylene naphthalate, PEN), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리스티렌(polystyrene, PS), 폴리프로필렌(polypropylene, PP), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리옥시메틸렌(polyoxymethylene, POM), 폴리에테르에테르케톤(polyether ether ketone, PEEK), 폴리에테르설폰(polyethersulfone, PES) 및 폴리에테르이미드(polyetherimide, PEI)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 포토레지스트(20)는, 노볼락(novolak), 메타크릴산메탈(methal methacrylate) 수지 및 폴리하이드록시스틸렌(polyhydxoystyrene) 수지로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 금속 증착 단계(S200)에서는, 상기 포토레지스트 패턴 형성 단계를 통해 포토레지스트(20) 패턴이 인쇄된 상기 기판(10) 위에 금속(30)이 증착될 수 있다.
이때, 상기 금속 증착은, PVD(physical vapor deposition)증착법을 이용하여 이루어질 수 있다.
이때, 상기 PVD 증착법은, 열 증착법, 전자빔 증착법 및 스퍼터링 증착법을 포함할 수 있다.
이때, 상기 금속 증착은, CVD(chemical vapor deposition)증착법을 이용하여 이루어질 수 있다.
이때, 상기 CVD 증착법은, thermal CVD, PECVD(plasma enhanced CVD), APCVD(atmospheric pressure CVD), LPCVD(Low pressure CVD) 및 ALCVD(atomic layer CVD)를 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 금속(30)은, 은, 구리, 알루미늄, 금, 니켈, 티타늄, 몰리브덴, 텅스텐, 크롬 및 백금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 금속 메쉬 패턴 형성 단계(S300)에서는, 상기 인쇄된 포토레지스트(20) 위에 금속(30)이 증착된 기판(10)으로부터 상기 포토레지스트(20)가 제거되며, 이때 상기 포토레지스트 위에 증착되었던 제1증착금속(31)이 함께 제거되어, 상기 포토레지스트 패턴 사이의 음각 부분에 증착되었던 제2증착금속(32)만이 남아 기판(10) 위에 금속 메쉬 패턴을 형성할 수 있다.
이때, 상기 포토레지스트의 제거 방법은, 초음파 처리를 이용한 제거, 현상액을 이용한 현상 공정, 용해도 차이를 이용한 선택적 용해법을 포함할 수 있다.
이때, 상기 금속 메쉬 패턴 형성 단계에서 형성되는 금속 메쉬 패턴은, 10㎛ 이하의 선폭을 가질 수 있다.
이때, 상기 금속 메쉬 패턴 형성 단계에서 형성되는 금속 메쉬 패턴은, 삼각형, 사각형 또는 육각형 형태의 메쉬 패턴을 포함할 수 있다.
상기와 같은 구성의 특징으로 인하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 타 공정과 비교하여 단순한 공정 및 저렴한 비용으로도 10㎛ 이하의 미세 선폭을 갖는 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법 및 이에 따라 제조된 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극을 제공할 수 있다.
이하에서는 제조예 및 실험예를 통해 본 발명에 대해 더욱 상세하게 설명한다. 하지만 본 발명이 하기 제조예 및 실험예에 한정되는 것은 아니다.
<제조예 1>
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 음각 패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극을 제조하였다.
상기 전극을 제조하기 위하여, 먼저 기판 위에 잉크젯 프린팅으로 포토레지스트를 75㎛ 간격, 삼각형 형태의 패턴으로 인쇄하였다. 상기 포토레지스트가 인쇄된 기판에 금속을 증착하였다. 상기 금속이 증착된 기판에 초음파 처리(Ultrasonication)를 하여 상기 포토레지스트를 제거하였다. 상기 포토레지스트가 제거되고 상기 포토레지스트 패턴 사이의 음각 부분에 증착되었던 금속만이 남아 기판 위에 금속 메쉬 패턴이 형성된 전극을 얻었다.
이때, 상기 기판은 유리 기판을 이용하였고, 상기 포토레지스트는 AZ4330 및 AZ1500의 혼합액을 이용하였으며, 상기 금속은 알루미늄을 이용하였다.
<제조예 2 내지 5>
상기 제조예 1에서 제조된 전극과 포토레지스트 인쇄 간격을 달리한 것을 제외하고는 상기 제조예 1과 동일하게 전극을 제조하였다.
이때, 제조예 2 내지 5에서는 포토레지스트 인쇄 간격을 각각 80㎛, 100㎛, 150㎛, 200㎛가 되도록 제조하였다.
<제조예 6 내지 10>
상기 제조예 1에서 제조된 전극과 포토레지스트 패턴 형태 및 포토레지스트 인쇄 간격을 달리한 것을 제외하고는 상기 제조예 1과 동일하게 전극을 제조하였다.
이때, 제조예 6 내지 10에서는 패턴 형태를 사각형 형태의 패턴이 되도록, 포토레지스트 인쇄 간격은 각각 75㎛, 80㎛, 100㎛, 150㎛, 200㎛가 되도록 제조하였다.
도 5는 상기 제조예 1, 제조예 3 내지 5, 제조예 6 및 제조예 8 내지 10에 따라 제조된 전극의 잉크젯 프린팅 간격 별 전극 패턴의 변화를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 잉크젯 프린팅으로 인쇄된 포토레지스트의 간격 및 형태를 달리하여 전극의 금속 메쉬 패턴을 조절할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.
<실험예 1>
상기 제조예에서 제조된 전극을 이용하여, 잉크젯 프린팅 패턴 형태별 잉크의 낙하 거리(drop distance)에 따른 투과율(transmittance)을 확인하는 실험을 진행하였다.
도 6은 상기 제조예에 따라 제조된 전극의 잉크 낙하 거리에 따른 투과율을 측정한 그래프이다.
도 6을 참조하면, 잉크의 낙하 거리가 증가할수록 전극의 투과율이 낮아진다는 것을 확인할 수 있다.
<실험예 2>
상기 제조예에서 제조된 전극을 이용하여, 잉크의 낙하 거리 및 패턴에 따른 스펙트럼 의존성을 확인하는 실험을 진행하였다,
도 7은 상기 제조예에 따라 제조된 전극의 패턴별 스펙트럼 의존성을 확인한 그래프이다.
도 7을 참조하면, 전극 패턴별 스펙트럼 의존성을 확인할 수 있다.
<실험예 3>
상기 제조예에서 제조된 전극을 이용하여, 잉크의 낙하 거리에 따른 면저항(sheet resistance)를 확인하는 실험을 진행하였다.
도 8은 상기 제조예에 따라 제조된 전극의 잉크 낙하 거리에 따른 전극의 면저항을 측정한 그래프이다.
도 8을 참조하면, 잉크의 낙하거리가 증가할수록 전극의 면저항 또한 낮아진다는 것을 확인할 수 있다.
<실험예 4>
상기 제조예에서 제조된 전극의 FoM(figure of merit)를 확인하는 실험을 진행하였다.
도 9는 상기 제조예에 따라 제조된 전극의 투과율에 따른 FoM을 나타낸 그래프이다.
도 9를 참조하면, 본 발명에 따라 제조된 전극의 투과율이 높을수록 높은 FoM 값을 가지며 따라서 투명 전극으로써의 특성이 우수한 것을 확인할 수 있다.
상기와 같은 제조예 및 실험예에 따르면, 높은 투과율과 낮은 면저항 값을 갖는 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조 조건을 확인할 수 있으며, 이에 따라 유연하고 투명하면서도 터치스크린 패널용 전극으로서의 특성이 우수한 전극을 제공할 수 있는 효과가 있다.
도 10은 상기 제조예에 따라 제조된 전극을 1달러 지폐 위에 데모한 사진을 나타낸 도면이다.
도 10을 참조하면, 본 발명에 따른 잉크젯 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극은, 유연하고 투명한 형태를 가지는 것을 확인할 수 있다.
도 11은 상기 제조예에 따른 잉크젯 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극을 이용한 터치스크린 패널의 개념도를 나타낸 도면이다.
도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 잉크젯 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극을 이용하여 얇고 유연하며 투과도 높은 투명한 형태의 터치스크린 패널을 제공할 수 있음을 확인할 수 있다.
상기와 같은 구성의 특징으로 인하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 금속 재료의 잉크화 없이도 금속 패턴의 미세 조절이 가능한 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 타 공정과 비교하여 단순한 공정 및 저렴한 비용으로도 높은 형상 정밀도의 전극을 대량 생산 가능하게 하는 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 제조방법을 이용하면, 10㎛ 이하의 미세 선폭을 가지는 전극 패턴 형성이 가능하므로 높은 형상 정밀도를 가지며 및 고해상도 구현이 가능한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극을 제공할 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 기판
20: 포토레지스트
30: 금속
31: 제1증착금속
32: 제2증착금속

Claims (7)

  1. 잉크의 낙하거리를 80㎛ 내지 200㎛로 하는 잉크젯 프린팅을 이용하여 기판 위에 포토레지스트를 인쇄함으로써 포토레지스트 패턴을 형성하는 포토레지스트 패턴 형성 단계;
    상기 포토레지스트 패턴 형성 단계를 통해 포토레지스트 패턴이 인쇄된 상기 기판 위에 금속을 증착하는 금속 증착 단계; 및
    상기 금속이 증착된 기판으로부터 상기 포토레지스트를 제거하여, 상기 포토레지스트 위에 증착되었던 금속은 상기 포토레지스트와 함께 제거되고, 상기 포토레지스트 패턴 사이의 음각 부분에 증착된 금속만이 남아 금속 메쉬 패턴을 형성하도록 하는 금속 메쉬 패턴 형성 단계;를 포함하고,
    상기 포토레지스트 패턴 형성 단계는, 잉크젯 프린팅 인쇄 간격을 조절함으로써 상기 포토레지스트 패턴 인쇄 간격을 70㎛ 내지 200㎛로 조절 가능한 것인, 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 금속 증착 단계는, 열 증착법, 전자빔 증착법 및 스퍼터링 증착법으로 이루어진 군으로부터 선택되는 증착 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 금속 메쉬 패턴 형성 단계는, 초음파를 이용한 제거 공정, 현상액을 이용한 현상 공정 및 용해도 차이를 이용한 선택적 용해 공정으로 이루어진 군으로부터 선택되는 포토레지스트 제거 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 금속 메쉬 패턴 형성 단계에서 형성되는 상기 금속 메쉬 패턴은, 삼각형, 사각형 또는 육각형의 메쉬 형태인 것을 특징으로 하는 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기판은, 석영, 유리, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리스티렌, 폴리프로필렌, 폴리이미드, 폴리옥시메틸렌, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르설폰 및 폴리에테르이미드로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 포토레지스트는, 노볼락, 메타크릴산메탈 수지 및 폴리하이드록시스틸렌 수지로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 금속은, 은, 구리, 알루미늄, 금, 니켈, 티타늄, 몰리브덴, 텅스텐, 크롬 및 백금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯프린팅 음각패턴을 이용한 금속 메쉬 터치스크린 패널용 전극의 제조방법.
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