KR20220010612A - Photosensitive resin composition, cured resin film, and image display element - Google Patents

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Abstract

(A) 산기를 갖는 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위 (a-1), 하기 식 (1) 또는 (2) 로 나타내는 구성 단위 (a-2), 그리고 다른 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위 (a-3) 을 포함하는 공중합체로서, 전체 구성 단위의 합계를 100 몰% 로 했을 때에 구성 단위 (a-2) 를 20 몰% ∼ 80 몰% 포함하고, 중량 평균 분자량이 1000 ∼ 50000 이고 또한 분자량 분포 (Mw/Mn) 가 1.5 ∼ 3.0 인 공중합체와,
(B) 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올 및 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 2 급 알코올로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종을 포함하는 용제와,
(C) 반응성 희석제와,
(D) 광 중합 개시제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.

Figure pct00020

Figure pct00021

[식 (1) 중, R1 은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, n 은 1 ∼ 10 의 정수이다. 식 (2) 중, R2 는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, m 은 1 ∼ 10 의 정수이다.](A) a structural unit derived from a polymerizable unsaturated compound having an acid group (a-1), a structural unit represented by the following formula (1) or (2) (a-2), and a structural unit derived from another polymerizable unsaturated compound ( As a copolymer containing a-3), when the total of all structural units is 100 mol%, 20 mol% to 80 mol% of the structural unit (a-2) is included, the weight average molecular weight is 1000 to 50000, and a copolymer having a molecular weight distribution (Mw/Mn) of 1.5 to 3.0;
(B) a solvent containing at least one selected from the group consisting of primary alcohols having 3 to 10 carbon atoms and secondary alcohols having 3 to 10 carbon atoms;
(C) a reactive diluent;
(D) A photoinitiator is included, The photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned.
Figure pct00020

Figure pct00021

[In Formula (1), R<1> represents a hydrogen atom or a methyl group, and n is an integer of 1-10. In formula (2), R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group, and m is an integer of 1 to 10.]

Description

감광성 수지 조성물, 수지 경화막 및 화상 표시 소자Photosensitive resin composition, cured resin film, and image display element

본 발명은, 감광성 수지 조성물, 수지 경화막 및 화상 표시 소자에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition, a cured resin film, and an image display element.

최근, 액정 디스플레이의 보급에 수반하여, 액정 디스플레이의 구성 부재로서 사용되는 컬러 필터, 컬러 필터 상에 형성되는 오버 코트층, 층간 절연막 등의 연구가 활발히 이루어지고 있다.In recent years, with the spread of a liquid crystal display, research on the color filter used as a structural member of a liquid crystal display, the overcoat layer formed on a color filter, an interlayer insulating film, etc. is made|formed actively.

예를 들어, 오버 코트층 및 층간 절연막은, 그 성질상 높은 표면 경도가 요구되며, 포토리소그래프 공정으로 제조되는 경우에는 알칼리 현상성도 요구된다. 그와 같은 성능을 갖는 재료로서, 특허문헌 1 에서는, 수지 (A), 실란 커플링제 (B), 중합성 화합물 (C), 광 중합 개시제 (D) 및 용제 (E) 를 포함하는 감광성 수지 조성물이 제안되어 있다.For example, the overcoat layer and the interlayer insulating film require high surface hardness due to their properties, and alkali developability is also required when manufactured by a photolithography process. As a material which has such a performance, in patent document 1, the photosensitive resin composition containing resin (A), a silane coupling agent (B), a polymeric compound (C), a photoinitiator (D), and a solvent (E) This is proposed.

일반적으로 액정 디스플레이는, 개별로 제조한 컬러 필터 기판과 TFT (Thin-Film-Transistor) 기판 사이에 액정을 끼우고, 이들 기판을 첩합함으로써 제조된다. 컬러 필터 기판에는, 액정을 배향시키기 위한 폴리이미드 필름 등의 배향막이 형성되어 있다. 배향막을 형성할 때에, 컬러 필터 기판은, 폴리이미드 수지에 포함되는 N-메틸피롤리돈 (NMP) 등의 극성이 높은 용제에 노출되기 때문에, 컬러 필터 기판에는 내용제성 (내 NMP 성) 이 요구된다. 특허문헌 2 에는, 특정한 구성 단위를 포함하고, 중량 평균 분자량이 1000 ∼ 50000 이고 또한 분자량 분포 (Mw/Mn) 가 1.5 ∼ 3.0 인 공중합체와, 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 하이드록시기 함유 용제를 포함하는 용제와, 반응성 희석제와, 광 중합 개시제와, 착색제를 포함하는 컬러 필터용 감광성 수지 조성물이 개시되어 있다.Generally, a liquid crystal display sandwiches a liquid crystal between the color filter board|substrate and TFT (Thin-Film-Transistor) board|substrate manufactured individually, and is manufactured by bonding these board|substrates. Alignment films, such as a polyimide film for orientating a liquid crystal, are formed in the color filter board|substrate. When the alignment film is formed, the color filter substrate is exposed to a solvent with high polarity such as N-methylpyrrolidone (NMP) contained in the polyimide resin. Therefore, solvent resistance (NMP resistance) is required for the color filter substrate. do. Patent Document 2 includes a specific structural unit, a copolymer having a weight average molecular weight of 1000 to 50000 and a molecular weight distribution (Mw/Mn) of 1.5 to 3.0, and a solvent containing a hydroxyl group having 3 to 10 carbon atoms. The photosensitive resin composition for color filters containing the solvent contained, a reactive diluent, a photoinitiator, and a coloring agent is disclosed.

그러나, 종래의 감광성 수지 조성물에서는, 우수한 내용제성을 갖는 수지 경화막을 부여할 수 없다는 문제가 있었다.However, in the conventional photosensitive resin composition, there existed a problem that the resin cured film which has the outstanding solvent resistance could not be provided.

일본 공개특허공보 2019-53266호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2019-53266 국제 공개 제2018/110097호International Publication No. 2018/110097

본 발명은, 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 높은 경도 및 우수한 내용제성을 갖는 수지 경화막을 부여하고, 현상성이 양호한 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention was made|formed in order to solve the above problems, and provides the resin cured film which has high hardness and the outstanding solvent resistance, and aims at providing the photosensitive resin composition with favorable developability.

또한, 본 발명은, 높은 경도 및 우수한 내용제성을 갖는 수지 경화막, 그리고 이것을 구비하는 화상 표시 소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.Moreover, this invention aims at providing the resin cured film which has high hardness and the outstanding solvent resistance, and the image display element provided with the same.

본 발명은, 이하의 양태를 포함한다.The present invention includes the following aspects.

[1] (A) 산기를 갖는 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위 (a-1), 하기 식 (1) 또는 (2) 로 나타내는 구성 단위 (a-2), 그리고 다른 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위 (a-3) 을 포함하는 공중합체로서, 전체 구성 단위의 합계를 100 몰% 로 했을 때에 구성 단위 (a-2) 를 20 몰% ∼ 80 몰% 포함하고, 중량 평균 분자량이 1000 ∼ 50000 이고 또한 분자량 분포 (Mw/Mn) 가 1.5 ∼ 3.0 인 공중합체와,[1] (A) a structural unit derived from a polymerizable unsaturated compound having an acid group (a-1), a structural unit (a-2) represented by the following formula (1) or (2), and other polymerizable unsaturated compounds derived from As a copolymer containing a structural unit (a-3), when the sum total of all structural units is 100 mol%, 20 mol% - 80 mol% of structural units (a-2) are included, and a weight average molecular weight is 1000- 50000 and a copolymer having a molecular weight distribution (Mw/Mn) of 1.5 to 3.0;

(B) 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올 및 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 2 급 알코올로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종을 포함하는 용제와,(B) a solvent containing at least one selected from the group consisting of primary alcohols having 3 to 10 carbon atoms and secondary alcohols having 3 to 10 carbon atoms;

(C) 반응성 희석제와,(C) a reactive diluent;

(D) 광 중합 개시제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.(D) A photoinitiator is included, The photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned.

[화학식 1][Formula 1]

Figure pct00001
Figure pct00001

[화학식 2][Formula 2]

Figure pct00002
Figure pct00002

[식 (1) 중, R1 은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, n 은 1 ∼ 10 의 정수이다. 식 (2) 중, R2 는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, m 은 1 ∼ 10 의 정수이다.][In Formula (1), R<1> represents a hydrogen atom or a methyl group, and n is an integer of 1-10. In formula (2), R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group, and m is an integer of 1 to 10.]

[2] 상기 구성 단위 (a-1) 의 산기가 카르복시기이고, 상기 (A) 공중합체가 상기 구성 단위 (a-1) 을 10 몰% ∼ 50 몰% 포함하고, 또한 상기 (A) 공중합체의 산가가 20 KOHmg/g ∼ 300 KOHmg/g 인 [1] 에 기재된 감광성 수지 조성물.[2] The acid group of the structural unit (a-1) is a carboxy group, the copolymer (A) contains 10 mol% to 50 mol% of the structural unit (a-1), and the copolymer (A) The photosensitive resin composition according to [1], wherein an acid value of 20 KOHmg/g to 300 KOHmg/g.

[3] 상기 (B) 용제가, 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올을 포함하는 [1] 또는 [2] 에 기재된 감광성 수지 조성물.[3] The photosensitive resin composition according to [1] or [2], wherein the (B) solvent contains a primary alcohol having 3 to 10 carbon atoms.

[4] 상기 구성 단위 (a-3) 이, 고리 구조를 갖는 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위인 [1] ∼ [3] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물.[4] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the structural unit (a-3) is a structural unit derived from a polymerizable unsaturated compound having a ring structure.

[5] 상기 구성 단위 (a-3) 이, 스티렌, 스티렌 유도체, 비닐톨루엔, 방향족 기 함유 (메트)아크릴레이트 및 고리형 탄화수소기 함유 (메트)아크릴레이트로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위인 [1] ∼ [4] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물.[5] The structural unit (a-3) is at least one selected from the group consisting of styrene, styrene derivatives, vinyltoluene, aromatic group-containing (meth)acrylates and cyclic hydrocarbon group-containing (meth)acrylates The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [4], which is a structural unit derived from a polymerizable unsaturated compound.

[6] 상기 구성 단위 (a-3) 이, 스티렌, 비닐톨루엔, 페닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트 및 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위인 [1] ∼ [5] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물.[6] The structural unit (a-3) consists of styrene, vinyltoluene, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate and dicyclopentanyl (meth) acrylate The photosensitive resin composition in any one of [1]-[5] which is a structural unit derived from the at least 1 sort(s) of polymerizable unsaturated compound chosen from the group.

[7] 상기 구성 단위 (a-3) 을 1 몰% ∼ 70 몰% 포함하는 [1] ∼ [6] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물.[7] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6], containing 1 mol% to 70 mol% of the structural unit (a-3).

[8] 상기 (B) 용제를 제외한 성분의 총합을 100 질량부로 했을 때에, 상기 (A) 공중합체의 함유량이 5 질량부 ∼ 85 질량부, 상기 (C) 반응 희석제의 함유량이 5 질량부 ∼ 85 질량부, 상기 (D) 광 중합 개시제의 함유량이 0.1 질량부 ∼ 30 질량부인 [1] ∼ [7] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물.[8] When the total of the components excluding the solvent (B) is 100 parts by mass, the content of the copolymer (A) is 5 parts by mass to 85 parts by mass, and the content of the reaction diluent (C) is 5 parts by mass to The photosensitive resin composition in any one of [1]-[7] whose content of 85 mass parts and said (D) photoinitiator is 0.1 mass part - 30 mass parts.

[9] (E) 착색제를 추가로 포함하는 [1] ∼ [8] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물.[9] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [8], further comprising (E) a colorant.

[10] [1] ∼ [9] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물의 경화물인 것을 특징으로 하는 수지 경화막.[10] A cured resin film, which is a cured product of the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [9].

[11] [10] 에 기재된 수지 경화막을 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시 소자.[11] An image display element comprising the cured resin film according to [10].

본 발명에 의하면, 높은 경도 및 우수한 내용제성을 갖는 수지 경화막을 부여하고, 현상성이 양호한 감광성 수지 조성물을 제공할 수 있다. 또, 본 발명에 의하면, 높은 경도 및 우수한 내용제성을 갖는 수지 경화막, 그리고 이것을 구비하는 화상 표시 소자를 제공할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the resin cured film which has high hardness and the outstanding solvent resistance can be provided, and the photosensitive resin composition with favorable developability can be provided. Moreover, according to this invention, the cured resin film which has high hardness and the outstanding solvent resistance, and the image display element provided with this can be provided.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 단, 본 발명은, 이하에 나타내는 실시형태에 한정되는 것은 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail. However, this invention is not limited to embodiment shown below.

<감광성 수지 조성물><Photosensitive resin composition>

본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, (A) 공중합체와, (B) 용제와, (C) 반응성 희석제와, (D) 광 중합 개시제를 함유하는 것이다. 본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 필요에 따라 (E) 착색제를 추가로 함유한다. 본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 광 조사에 의해 중합 경화되고, 수지 경화막을 형성한다.The photosensitive resin composition of this embodiment contains (A) copolymer, (B) solvent, (C) reactive diluent, and (D) photoinitiator. The photosensitive resin composition of this embodiment further contains (E) a coloring agent as needed. The photosensitive resin composition of this embodiment is polymerization-hardened by light irradiation, and forms a resin cured film.

[(A) 공중합체][(A) copolymer]

본 실시형태에 있어서의 (A) 공중합체는, 산기를 갖는 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위 (a-1) (이하, 간단히「구성 단위 (a-1)」이라고도 한다) 과, 하기 식 (1) 또는 (2) 로 나타내는 구성 단위 (a-2) (이하, 간단히「구성 단위 (a-2)」라고도 한다) 와, 다른 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위 (a-3) (이하, 간단히「구성 단위 (a-3)」이라고도 한다) 을 갖는다.The copolymer (A) in the present embodiment has a structural unit (a-1) derived from a polymerizable unsaturated compound having an acid group (hereinafter, also simply referred to as “structural unit (a-1)”), and the following formula ( A structural unit (a-2) (hereinafter also simply referred to as “structural unit (a-2)”) represented by 1) or (2) and a structural unit (a-3) derived from another polymerizable unsaturated compound (hereinafter, It is also simply referred to as "structural unit (a-3)").

[화학식 3][Formula 3]

Figure pct00003
Figure pct00003

[화학식 4][Formula 4]

Figure pct00004
Figure pct00004

식 (1) 중, R1 은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, n 은 1 ∼ 10 의 정수이다. 식 (2) 중, R2 는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, m 은 1 ∼ 10 의 정수이다.In formula (1), R<1> represents a hydrogen atom or a methyl group, and n is an integer of 1-10. In formula (2), R<2> represents a hydrogen atom or a methyl group, and m is an integer of 1-10.

구성 단위 (a-1) 의 원료가 되는, (A-1) 산기를 갖는 중합성 불포화 화합물은, 산기 및 에틸렌성 불포화기를 갖는 모노머이면 특별히 한정되지 않는다. (A-1) 화합물이 갖는 산기는, 특별히 한정되지 않지만, 카르복시기, 인산기 (-O-P(=O)(OH)2), 술폰산기 (-S(=O)2OH) 등이 바람직하다. 현상성의 관점에서, 산기는 카르복시기인 것이 특히 바람직하다.(A-1) The polymerizable unsaturated compound which has an acidic radical used as the raw material of a structural unit (a-1) will not be specifically limited if it is a monomer which has an acidic radical and an ethylenically unsaturated group. (A-1) Although the acid group which a compound has is not specifically limited, A carboxy group, a phosphoric acid group (-OP(=O)(OH) 2 ), a sulfonic acid group (-S(=O) 2 OH), etc. are preferable. From a developable viewpoint, it is especially preferable that an acidic radical is a carboxy group.

(A-1) 화합물의 구체예로는, 예를 들어, (메트)아크릴산, 크로톤산, 신남산, 비닐술폰산, 2-(메트)아크릴로일옥시에틸숙신산, 2-아크릴로일옥시에틸프탈산, 2-(메트)아크릴로일옥시에틸헥사하이드로프탈산, 2-(메트)아크릴로일옥시에틸애시드포스페이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 입수의 용이성 및 (A) 공중합체를 제조할 때의 반응성의 관점에서, (메트)아크릴산이 바람직하다. 또한, 본 명세서에 있어서,「(메트)아크릴산」은, 메타크릴산 및 아크릴산에서 선택되는 적어도 1 종을 의미하고,「(메트)아크릴레이트」는, 메타크릴레이트 및 아크릴레이트에서 선택되는 적어도 1 종을 의미하고,「(메트)아크릴로일」은, 메타크릴로일 및 아크릴로일에서 선택되는 적어도 1 종을 의미한다.(A-1) Specific examples of the compound include, for example, (meth)acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, vinylsulfonic acid, 2-(meth)acryloyloxyethylsuccinic acid, and 2-acryloyloxyethylphthalic acid. , 2-(meth)acryloyloxyethylhexahydrophthalic acid, 2-(meth)acryloyloxyethyl acid phosphate, etc. are mentioned. Among these, (meth)acrylic acid is preferable from a viewpoint of the reactivity at the time of manufacturing easiness of an acquisition and (A) copolymer. In addition, in this specification, "(meth)acrylic acid" means at least 1 type selected from methacrylic acid and acrylic acid, "(meth)acrylate" is at least 1 selected from methacrylate and acrylate A species is meant, and "(meth)acryloyl" means at least 1 type selected from methacryloyl and acryloyl.

구성 단위 (a-2) 의 원료가 되는, (A-2) 화합물은, 하기 식 (3) 또는 (4) 로 나타내는 화합물이다.The compound (A-2) used as a raw material of the structural unit (a-2) is a compound represented by the following formula (3) or (4).

[화학식 5][Formula 5]

Figure pct00005
Figure pct00005

식 (3) 중, R1 은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, n 은 1 ∼ 10 의 정수이다. R1 은 메틸기인 것이 바람직하다. n 은 2 ∼ 6 의 정수인 것이 바람직하고, 3 인 것이 보다 바람직하다.In formula (3), R<1> represents a hydrogen atom or a methyl group, and n is an integer of 1-10. R 1 is preferably a methyl group. It is preferable that it is an integer of 2-6, and, as for n, it is more preferable that it is 3.

[화학식 6][Formula 6]

Figure pct00006
Figure pct00006

식 (4) 중, R2 는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, m 은 1 ∼ 10 의 정수이다. R2 는 메틸기인 것이 바람직하다. m 은 2 ∼ 6 의 정수인 것이 바람직하고, 3 인 것이 보다 바람직하다.In formula (4), R<2> represents a hydrogen atom or a methyl group, and m is an integer of 1-10. R 2 is preferably a methyl group. It is preferable that it is an integer of 2-6, and, as for m, it is more preferable that it is 3.

상기 (A-2) 화합물의 구체예로는, [(메트)아크릴로일옥시]메틸트리에톡시실란, [(메트)아크릴로일옥시]에틸트리에톡시실란, [(메트)아크릴로일옥시]프로필트리에톡시실란, [(메트)아크릴로일옥시]옥틸트리에톡시실란, [(메트)아크릴로일옥시]프로필메틸디에톡시실란, [(메트)아크릴로일옥시]에틸메틸디에톡시실란, [(메트)아크릴로일옥시]노닐메틸디에톡시실란 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 입수 용이성의 관점에서, 3-[(메트)아크릴로일옥시]프로필트리에톡시실란 및 3-[(메트)아크릴로일옥시]프로필메틸디에톡시실란이 바람직하다.As a specific example of the said (A-2) compound, [(meth)acryloyloxy]methyltriethoxysilane, [(meth)acryloyloxy]ethyltriethoxysilane, [(meth)acryloyl oxide Si]propyltriethoxysilane, [(meth)acryloyloxy]octyltriethoxysilane, [(meth)acryloyloxy]propylmethyldiethoxysilane, [(meth)acryloyloxy]ethylmethyldie Toxysilane, [(meth)acryloyloxy] nonylmethyl diethoxysilane, etc. are mentioned. Among these, 3-[(meth)acryloyloxy]propyltriethoxysilane and 3-[(meth)acryloyloxy]propylmethyldiethoxysilane are preferable from a viewpoint of availability.

(A) 공중합체는, 구성 단위 (a-2) 를 포함함으로써, 원하는 경도 및 내용제성을 갖는 수지 경화막이 얻어진다. 또, 경시 변화가 적어 안정된 (A) 공중합체를 얻을 수 있고, 감광성 수지 조성물로 했을 때의 보존 안정성도 양호하다.(A) When a copolymer contains a structural unit (a-2), the resin cured film which has desired hardness and solvent resistance is obtained. Moreover, there are few changes with time, and the stable (A) copolymer can be obtained, and storage stability at the time of setting it as the photosensitive resin composition is also favorable.

구성 단위 (a-3) 의 원료가 되는, (A-3) 다른 중합성 불포화 화합물은, (A-1) 화합물 및 (A-2) 화합물 이외의 중합성 불포화 화합물로서, 산기 및 알콕시실릴기를 갖지 않고, 또한 (A-1) 화합물 및 (A-2) 화합물과 공중합 가능한 중합성 불포화 화합물이다.(A-3) Another polymerizable unsaturated compound used as a raw material of the structural unit (a-3) is a polymerizable unsaturated compound other than the (A-1) compound and (A-2) compound, and an acid group and an alkoxysilyl group It is a polymerizable unsaturated compound copolymerizable with (A-1) compound and (A-2) compound without having.

(A-3) 다른 중합성 불포화 화합물의 구체예로는, 예를 들어, 스티렌 ; 스티렌의 α-, o-, m-, p-알킬, 니트로, 시아노, 아미드 유도체 ; 비닐톨루엔 ; 페닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 트리페닐메틸(메트)아크릴레이트, 나프탈렌(메트)아크릴레이트, 안트라센(메트)아크릴레이트 등의 방향족 기 함유 (메트)아크릴레이트 ; 시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 노르보르닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트 등의 고리형 탄화수소기 함유 (메트)아크릴레이트 ; (A-3) As a specific example of another polymerizable unsaturated compound, For example, styrene; α-, o-, m-, p-alkyl, nitro, cyano, and amide derivatives of styrene; vinyltoluene; aromatic group-containing (meth)acrylates such as phenyl (meth)acrylate, benzyl (meth)acrylate, triphenylmethyl (meth)acrylate, naphthalene (meth)acrylate, and anthracene (meth)acrylate; Cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, norbornyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) Cyclic hydrocarbon group-containing (meth)acrylates, such as an acrylate;

메틸(메트)아크릴레이트, n-프로필(메트)아크릴레이트, 이소부틸(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트 등의 알킬(메트)아크릴레이트 ; 2-이소시아나토에틸(메트)아크릴레이트, 3-이소시아나토프로필(메트)아크릴레이트 등의 이소시아나토기 함유 (메트)아크릴레이트 ; 상기 이소시아나토기 함유 (메트)아크릴레이트의 이소시아나토기를, 블록제를 사용하여 블록화한 블록 이소시아나토기 함유 (메트)아크릴레이트 ; (메트)아크릴산아미드, (메트)아크릴산N,N-디이소프로필아미드 등의 (메트)아크릴산아미드류 ; 쿠밀(메트)아크릴레이트, 3-(N,N-디메틸아미노)프로필(메트)아크릴레이트, 글리세리롤모노(메트)아크릴레이트, 부탄트리올모노(메트)아크릴레이트, 글리시딜(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트, (3-에틸옥세탄-3-일)메틸(메트)아크릴레이트, N,N-디메틸아미노에틸(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산에스테르류 ; Alkyl (meth)acrylates, such as methyl (meth)acrylate, n-propyl (meth)acrylate, isobutyl (meth)acrylate, and 2-ethylhexyl (meth)acrylate; isocyanato group-containing (meth)acrylates such as 2-isocyanatoethyl (meth)acrylate and 3-isocyanatopropyl (meth)acrylate; Blocked isocyanato group containing (meth)acrylate which made the isocyanato group of the said isocyanato group containing (meth)acrylate block using the blocking agent; (meth)acrylic acid amides such as (meth)acrylic acid amide and (meth)acrylic acid N,N-diisopropylamide; Cumyl (meth) acrylate, 3-(N,N-dimethylamino) propyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, butanetriol mono (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylic (meth)late, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth)acrylate, (3-ethyloxetan-3-yl)methyl (meth)acrylate, and N,N-dimethylaminoethyl (meth)acrylate ) acrylic acid esters;

부타디엔 등의 디엔류 ; 노르보르넨, 노르보르넨(비시클로[2.2.1]헵트-2-엔), 5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 테트라시클로[4.4.0.12,5.17,10]도데카-3-엔, 디시클로펜타디엔, 트리시클로[5.2.1.02,6]데카-8-엔, 테트라시클로[4.4.0.12,5.17,10.01,6]도데카-3-엔, 펜타시클로[6.5.1.13,6.02,7.09,13]펜타데카-4-엔 등의 불포화 고리형 탄화수소 화합물 ; 염화비닐, 염화비닐리덴, 불화비닐, 불화비닐리덴, 비닐피리딘, 아세트산비닐, 비닐톨루엔 등의 비닐 화합물 ; 시트라콘산디에틸, 말레산디에틸, 푸마르산디에틸, 이타콘산디에틸 등의 불포화 디카르복실산디에스테르 ; 무수 말레산, 무수 이타콘산, 무수 시트라콘산 등의 불포화 다염기산 무수물 등을 들 수 있다.dienes such as butadiene; norbornene, norbornene (bicyclo[2.2.1]hept-2-ene), 5-methylbicyclo[2.2.1]hept-2-ene, tetracyclo[4.4.0.1 2,5 .1 7 , 10] dodeca-3-ene, dicyclopentadiene, tricyclo [5.2.1.0 2,6] deca-8-ene, tetracyclo [4.4.0.1 2,5 .1 7,10 .0 1,6 ] dodeca-3-ene, penta-cyclo [6.5.1.1 3,6 .0 2,7 .0 9,13] -4-penta-deca-yen and unsaturated cyclic hydrocarbon compounds; vinyl compounds such as vinyl chloride, vinylidene chloride, vinyl fluoride, vinylidene fluoride, vinylpyridine, vinyl acetate, and vinyltoluene; unsaturated dicarboxylic acid diesters such as diethyl citraconic acid, diethyl maleate, diethyl fumarate, and diethyl itaconic acid; Unsaturated polybasic acid anhydrides, such as maleic anhydride, itaconic anhydride, and citraconic anhydride, etc. are mentioned.

이들 중에서도, 수지 경화막의 경도의 관점에서, (A-3) 다른 중합성 불포화 화합물은, 고리 구조를 갖는 중합성 불포화 화합물인 것이 바람직하다. 고리 구조란, 방향 고리 및 포화의 지환식 구조이다. 고리 구조의 수는 1 또는 2 인 것이 바람직하다. 포화 지환식 구조의 탄소수는 5 ∼ 8 인 것이 바람직하다. 구체적으로는, 스티렌, 스티렌 유도체, 비닐톨루엔, 방향족 기 함유 (메트)아크릴레이트, 고리형 탄화수소기 함유 (메트)아크릴레이트, 불포화 고리형 탄화수소 화합물 등의 고리 구조를 갖는 중합성 불포화 화합물이 바람직하고, 스티렌, 스티렌 유도체, 비닐톨루엔, 방향족 기 함유 (메트)아크릴레이트 및 고리형 탄화수소기 함유 (메트)아크릴레이트로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종이 보다 바람직하다. 수지 경화막의 경도 및 내용제성, 그리고 감광성 수지 조성물로서의 보존 안정성의 관점에서, (A-3) 다른 중합성 불포화 화합물은, 스티렌, 비닐톨루엔, 페닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트 및 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종인 것이 가장 바람직하다.Among these, it is preferable from a viewpoint of the hardness of a cured resin film that (A-3) another polymerizable unsaturated compound is a polymerizable unsaturated compound which has a ring structure. The ring structure is an aromatic ring and a saturated alicyclic structure. The number of ring structures is preferably 1 or 2. It is preferable that carbon number of a saturated alicyclic structure is 5-8. Specifically, polymerizable unsaturated compounds having a ring structure such as styrene, styrene derivatives, vinyltoluene, aromatic group-containing (meth)acrylates, cyclic hydrocarbon group-containing (meth)acrylates, and unsaturated cyclic hydrocarbon compounds are preferable. , styrene, a styrene derivative, vinyltoluene, at least one selected from the group consisting of aromatic group-containing (meth)acrylates and cyclic hydrocarbon group-containing (meth)acrylates is more preferable. From the viewpoint of hardness and solvent resistance of the cured resin film, and storage stability as a photosensitive resin composition, (A-3) other polymerizable unsaturated compounds include styrene, vinyltoluene, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, It is most preferable that it is at least 1 sort(s) selected from the group which consists of cyclohexyl (meth)acrylate and dicyclopentanyl (meth)acrylate.

이들 (A-3) 화합물은, 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.These (A-3) compounds may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

구성 단위 (a-2) 의 비율은, (A) 공중합체의 전체 구성 단위의 합계를 100 몰% 로 했을 때에, 20 몰% ∼ 80 몰% 이고, 20 몰% ∼ 70 몰% 인 것이 바람직하고, 25 몰% ∼ 50 몰% 인 것이 보다 바람직하다. 구성 단위 (a-2) 의 비율이, 20 몰% 미만이면, 수지 경화막의 원하는 경도 및 내용제성이 얻어지지 않는다. 한편, 구성 단위 (a-2) 의 비율이, 80 몰% 초과이면, 구성 단위 (a-1) 의 비율이 부족하여 양호한 현상성이 얻어지지 않고, 또 감광성 수지 조성물의 보존 안정성이 떨어진다.The proportion of the structural unit (a-2) is 20 mol% to 80 mol%, preferably 20 mol% to 70 mol%, when the total of all structural units of the copolymer (A) is 100 mol% , more preferably 25 mol% to 50 mol%. When the ratio of the structural unit (a-2) is less than 20 mol%, the desired hardness and solvent resistance of the cured resin film cannot be obtained. On the other hand, when the ratio of a structural unit (a-2) is more than 80 mol%, the ratio of a structural unit (a-1) runs short, favorable developability is not acquired, and the storage stability of the photosensitive resin composition is inferior.

구성 단위 (a-1) 의 비율은, (A) 공중합체의 전체 구성 단위의 합계를 100 몰% 로 했을 때에, 10 몰% ∼ 50 몰% 인 것이 바람직하고, 20 몰% ∼ 40 몰% 인 것이 보다 바람직하고, 25 몰% ∼ 35 몰% 인 것이 가장 바람직하다. 구성 단위 (a-1) 의 비율이 상기 범위이면, 양호한 현상성이 얻어진다. 또, 구성 단위 (a-3) 의 비율은, (A) 공중합체의 전체 구성 단위의 합계를 100 몰% 로 했을 때에, 1 몰% ∼ 70 몰% 인 것이 바람직하고, 10 몰% ∼ 60 몰% 인 것이 보다 바람직하고, 25 몰% ∼ 50 몰% 인 것이 가장 바람직하다. 구성 단위 (a-3) 의 비율이 상기 범위이면, 양호한 현상성, 수지 경화막의 경도 및 내용제성이 얻어진다.The proportion of the structural unit (a-1) is preferably 10 mol% to 50 mol%, and preferably 20 mol% to 40 mol%, when the total of all structural units of the copolymer (A) is 100 mol%. It is more preferable, and it is most preferable that it is 25 mol% - 35 mol%. When the ratio of the structural unit (a-1) is within the above range, good developability is obtained. Moreover, when the ratio of the structural unit (a-3) makes the sum total of all the structural units of (A) copolymer 100 mol%, it is preferable that they are 1 mol% - 70 mol%, and it is 10 mol% - 60 mol% % is more preferable, and it is most preferable that they are 25 mol% to 50 mol%. If the ratio of a structural unit (a-3) is the said range, favorable developability, the hardness of a cured resin film, and solvent resistance are acquired.

(A) 공중합체의 중량 평균 분자량 (Mw) 은, 1000 ∼ 50000 이고, 2000 ∼ 30000 인 것이 바람직하고, 3000 ∼ 15000 인 것이 보다 바람직하다. (A) 공중합체의 중량 평균 분자량 (Mw) 이 1000 미만이면, 수지 경화막의 내용제성이 나빠지거나, 현상 후의 노광부 잔막률이 저하되거나 한다. 한편, (A) 공중합체의 중량 평균 분자량 (Mw) 이 50000 초과이면, 현상 시간이 지나치게 길어져 실용성이 없어진다. 본 실시형태에 있어서의 (A) 공중합체의 중량 평균 분자량 (Mw) 의 값은, 겔·퍼미에이션·크로마토그래피 (GPC) 를 사용하여, 하기 조건에서 측정하고, 폴리스티렌 환산으로 산출되는 것이다.(A) The weight average molecular weights (Mw) of a copolymer are 1000-50000, It is preferable that it is 2000-30000, It is more preferable that it is 3000-15000. (A) The solvent resistance of a cured resin film worsens that the weight average molecular weight (Mw) of a copolymer is less than 1000, or the exposure part residual film rate after image development falls. On the other hand, when the weight average molecular weight (Mw) of (A) copolymer is more than 50000, image development time becomes too long, and practicality loses. The value of the weight average molecular weight (Mw) of the copolymer (A) in the present embodiment is measured under the following conditions using gel permeation chromatography (GPC), and is calculated in terms of polystyrene.

칼럼 : 쇼덱스 (등록상표) LF-804 + LF-804 (쇼와 전공 주식회사 제조)Column: Shodex (registered trademark) LF-804 + LF-804 (manufactured by Showa Denko Co., Ltd.)

칼럼 온도 : 40 ℃Column temperature: 40℃

시료 : (A) 공중합체의 함유량이 0.2 질량% 인 테트라하이드로푸란 용액Sample: (A) tetrahydrofuran solution with a copolymer content of 0.2 mass%

전개 용매 : 테트라하이드로푸란Developing solvent: tetrahydrofuran

검출기 : 시차 굴절계 (상품명 : 쇼덱스 (등록상표) RI-71S, 쇼와 전공 주식회사 제조)Detector: Differential Refractometer (Product name: Shodex (registered trademark) RI-71S, manufactured by Showa Denko Co., Ltd.)

유속 : 1 ㎖/분Flow rate: 1 ml/min

본 실시형태에 있어서의 (A) 공중합체의 분자량 분포 (Mw/Mn) 는, 1.5 ∼ 3.0 이고, 1.5 ∼ 2.5 인 것이 바람직하고, 1.5 ∼ 2.0 인 것이 보다 바람직하다. (A) 공중합체의 분자량 분포 (Mw/Mn) 가 1.5 미만이면, 중량 평균 분자량 (Mw), 산가 등의 목표로 하는 수치 범위의 최적화, (A) 공중합체를 제조할 때의 반응 조건 등을 핀 포인트로 설정해야 해서, 검토의 수고와 얻어지는 효과의 밸런스로부터 현실적이지 않다. 한편, (A) 공중합체의 분자량 분포 (Mw/Mn) 가 3.0 초과이면, 현상성에 편차가 발생한다. 분자량 분포 (Mw/Mn) 는, 상기 GPC 측정의 크로마토그램으로부터 측정한다.The molecular weight distribution (Mw/Mn) of the (A) copolymer in this embodiment is 1.5-3.0, it is preferable that it is 1.5-2.5, It is more preferable that it is 1.5-2.0. (A) If the molecular weight distribution (Mw / Mn) of the copolymer is less than 1.5, optimization of the target numerical range such as the weight average molecular weight (Mw) and acid value, (A) reaction conditions for preparing the copolymer, etc. It has to be set by pinpoint, so it is not realistic from the balance between the effort of examination and the effect obtained. On the other hand, when the molecular weight distribution (Mw/Mn) of (A) copolymer is more than 3.0, developability will generate|occur|produce. Molecular weight distribution (Mw/Mn) is measured from the chromatogram of the said GPC measurement.

본 실시형태에 있어서의 (A) 공중합체의 산가는, 특별히 한정되지 않지만, 20 KOHmg/g ∼ 300 KOHmg/g 인 것이 바람직하고, 40 KOHmg/g ∼ 200 KOHmg/g 인 것이 보다 바람직하고, 60 KOHmg/g ∼ 150 KOHmg/g 인 것이 가장 바람직하다. (A) 공중합체의 산가가 20 KOHmg/g 이상이면, 보다 양호한 현상성이 얻어진다. 한편, (A) 공중합체의 산가가 300 KOHmg/g 이하이면, 알칼리 현상액에 대해 노광 부분 (광 경화 부분) 이 용해되지 않는다.Although the acid value of (A) copolymer in this embodiment is not specifically limited, It is preferable that they are 20KOHmg/g - 300KOHmg/g, It is more preferable that they are 40KOHmg/g - 200KOHmg/g, 60 Most preferably, it is KOHmg/g to 150 KOHmg/g. (A) More favorable developability is obtained as the acid value of a copolymer is 20 KOHmg/g or more. On the other hand, when the acid value of (A) copolymer is 300 KOHmg/g or less, an exposed part (photocured part) does not melt|dissolve with respect to alkaline developing solution.

또한, (A) 공중합체의 산가란, JIS K6901 5.3 에 따라 브로모티몰 블루와 페놀 레드의 혼합 지시약을 사용하여 측정된 값으로서, (A) 공중합체 1 g 중에 포함되는 산성 성분을 중화시키는 데에 요하는 수산화칼륨의 mg 수를 의미한다.In addition, (A) the acid value of the copolymer is a value measured using a mixture indicator of bromothymol blue and phenol red according to JIS K6901 5.3, and is used to neutralize the acidic component contained in (A) 1 g of the copolymer. It means the number of mg of potassium hydroxide required for

본 실시형태에 있어서의 (A) 공중합체가 불포화기를 갖는 경우, 그 불포화기 당량은, 특별히 한정되지 않지만, 100 g/mol ∼ 4000 g/mol 인 것이 바람직하고, 200 g/mol ∼ 3000 g/mol 인 것이 보다 바람직하다. (A) 공중합체의 불포화기 당량이 100 g/mol 이상이면, 내열 분해성 및 내열 황변성을 보다 높이는 데에 효과적이다. 한편, (A) 공중합체의 불포화기 당량이 4000 g/mol 이하이면, 감도를 보다 높이는 데에 효과적이다.Although the unsaturated group equivalent is not specifically limited when (A) copolymer in this embodiment has an unsaturated group, It is preferable that they are 100 g/mol - 4000 g/mol, and 200 g/mol - 3000 g/ It is more preferable that it is mol. (A) When the unsaturated group equivalent of the copolymer is 100 g/mol or more, it is effective for further improving thermal decomposition resistance and thermal yellowing resistance. On the other hand, when the unsaturated group equivalent of (A) copolymer is 4000 g/mol or less, it is effective in raising a sensitivity more.

본 실시형태에 있어서의 (A) 공중합체의 실릴기 당량은, 특별히 한정되지 않지만, 300 g/mol ∼ 1000 g/mol 인 것이 바람직하고, 350 g/mol ∼ 900 g/mol 인 것이 보다 바람직하고, 400 g/mol ∼ 800 g/mol 인 것이 가장 바람직하다. (A) 공중합체의 실릴기 당량이 300 g/mol 이상이면, 감광성 수지 조성물의 보존 안정성을 보다 높이는 데에 효과적이다. 한편, (A) 공중합체의 실릴기 당량이 1000 g/mol 이하이면, 수지 경화막의 경도 및 내용제성을 보다 높이는 데에 효과적이다.Although the silyl group equivalent of (A) copolymer in this embodiment is not specifically limited, It is preferable that they are 300 g/mol - 1000 g/mol, It is more preferable that they are 350 g/mol - 900 g/mol , most preferably from 400 g/mol to 800 g/mol. (A) It is effective in improving the storage stability of the photosensitive resin composition more that the silyl group equivalent of a copolymer is 300 g/mol or more. On the other hand, when the silyl group equivalent of (A) copolymer is 1000 g/mol or less, it is effective in improving the hardness and solvent resistance of a cured resin film more.

또한, (A) 공중합체의 실릴기 당량 (g/mol) 은, (A) 공중합체의 질량 평균 분자량을, (A) 공중합체 1 분자당의 실릴기의 평균 개수로 나눈 (A) 공중합체의 분자량이며, 후술하는 (A-2) 화합물의 투입량에 기초하여 산출되는 계산값으로 한다.In addition, (A) the silyl group equivalent (g / mol) of the copolymer is (A) the mass average molecular weight of the copolymer divided by the average number of silyl groups per molecule (A) of the copolymer (A) of the copolymer It is molecular weight, and it is set as the calculated value computed based on the input amount of the compound (A-2) mentioned later.

상기의 (A) 공중합체는, 용제의 존재하에서, (A-1) 화합물, (A-2) 화합물 및 (A-3) 화합물로 이루어지는 모노머 혼합물을, 당해 기술 분야에 있어서 공지된 라디칼 중합 방법에 따라 공중합시킴으로써 조제할 수 있다. 예를 들어, (A-1) 화합물, (A-2) 화합물 및 (A-3) 화합물을 (B) 용제에 용해시켜 용액을 조제한 후, 그 용액에 중합 개시제를 첨가하고, 50 ℃ ∼ 130 ℃ 에서 1 시간 ∼ 20 시간 반응시키면 된다. (A) 공중합체에 있어서의, 각각의 화합물의 반복수나, 각각의 화합물이 결합하는 순번은 특별히 한정되지 않는다. 또, 구성 단위 (a-1), 구성 단위 (a-2) 및 구성 단위 (a-3) 중 어느 것을 포함하지 않는 공중합체를 조제한 후에, 부족한 구성 단위를 변성 반응에 의해 공중합체 내에 도입함으로써, 구성 단위 (a-1), 구성 단위 (a-2) 및 구성 단위 (a-3) 을 포함하는 (A) 공중합체를 조제해도 된다.In the above-mentioned (A) copolymer, in the presence of a solvent, a monomer mixture comprising the compound (A-1), the compound (A-2), and the compound (A-3) is subjected to a radical polymerization method known in the art. It can be prepared by copolymerizing according to For example, after dissolving the compound (A-1), the compound (A-2), and the compound (A-3) in the solvent (B) to prepare a solution, a polymerization initiator is added to the solution, and 50°C to 130°C What is necessary is just to make it react at degreeC for 1 hour - 20 hours. (A) The number of repetitions of each compound in the copolymer and the order in which each compound is bonded are not particularly limited. In addition, after preparing a copolymer not containing any of the structural unit (a-1), the structural unit (a-2), and the structural unit (a-3), the insufficient structural unit is introduced into the copolymer by a modification reaction. and (A) copolymer containing structural unit (a-1), structural unit (a-2), and structural unit (a-3) may be prepared.

(A) 공중합체를 제조하기 위한 모노머의 배합 비율은, 상기 구성 단위 (a-1) ∼ (a-3) 의 함유 비율을 규정한 것과 동일한 이유로 규정할 수 있다. 즉, (A-2) 화합물의 배합 비율은, (A-1) ∼ (A-3) 화합물의 합계를 100 몰% 로 했을 때, 20 몰% ∼ 80 몰% 이고, 25 몰% ∼ 70 몰% 인 것이 바람직하고, 30 몰% ∼ 50 몰% 인 것이 보다 바람직하다. (A-1) 화합물의 배합 비율은, 10 몰% ∼ 50 몰% 인 것이 바람직하고, 15 몰% ∼ 45 몰% 인 것이 보다 바람직하고, 20 몰% ∼ 40 몰% 인 것이 가장 바람직하다. (A-3) 화합물의 배합 비율은, 1 몰% ∼ 70 몰% 인 것이 바람직하고, 15 몰% ∼ 60 몰% 인 것이 보다 바람직하고, 30 몰% ∼ 50 몰% 인 것이 가장 바람직하다.(A) The compounding ratio of the monomer for manufacturing a copolymer can be prescribed|regulated for the same reason as having prescribed|regulated the content rate of the said structural unit (a-1) - (a-3). That is, the compounding ratio of (A-2) compound is 20 mol% - 80 mol%, when the sum total of (A-1) - (A-3) compound is 100 mol%, 25 mol% - 70 mol% % is preferable, and it is more preferable that they are 30 mol% - 50 mol%. (A-1) It is preferable that the compounding ratio of a compound is 10 mol% - 50 mol%, It is more preferable that they are 15 mol% - 45 mol%, It is most preferable that they are 20 mol% - 40 mol%. (A-3) It is preferable that the compounding ratio of a compound is 1 mol% - 70 mol%, It is more preferable that they are 15 mol% - 60 mol%, It is most preferable that they are 30 mol% - 50 mol%.

(A) 공중합체를 제조할 때에 사용하는 용제는, 중합 반응에 불활성인 용제이면 특별히 한정되지 않는다. 후술하는 감광성 수지 조성물에 포함되는 용매와 동일한 것을 사용하면, 중합 반응용 용매를 분리, 제거할 필요가 없으므로 바람직하다. 또, 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올 및 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 2 급 알코올로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 용제를 사용함으로써, (A) 공중합체의 중량 평균 분자량 (Mw) 및 분자량 분포 (Mw/Mn) 를 소정의 범위로 제어함과 함께, 원하는 보존 안정성을 갖는 감광성 수지 조성물을 용이하게 얻을 수 있다. 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올 및 제 2 급 알코올을 함유하지 않는 용제를 사용하여, (A) 공중합체를 제조하면, 겔화가 발생하거나, 얻어지는 공중합체의 중량 평균 분자량 (Mw) 및 분자량 분포 (Mw/Mn) 가 소정의 범위 내가 되지 않는 데다가, 감광성 수지 조성물의 보존 안정성이 저하되거나 하는 경우가 있다. 감광성 수지 조성물의 보존 안정성의 관점에서, 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올 또는 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 2 급 알코올을 주성분으로 하는 용제를 사용하는 것이 바람직하고, 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올을 주성분으로 하는 용제를 사용하는 것이 보다 바람직하다.(A) The solvent used when manufacturing a copolymer will not be specifically limited if it is a solvent inactive to a polymerization reaction. It is preferable to use the same solvent as the solvent contained in the photosensitive resin composition to be described later, since there is no need to separate and remove the solvent for the polymerization reaction. In addition, by using at least one solvent selected from the group consisting of primary alcohols having 3 to 10 carbon atoms and secondary alcohols having 3 to 10 carbon atoms, (A) the weight average molecular weight of the copolymer ( While controlling Mw) and molecular weight distribution (Mw/Mn) to a predetermined range, the photosensitive resin composition which has desired storage stability can be obtained easily. When the copolymer (A) is prepared using a solvent containing no primary alcohol and secondary alcohol having 3 to 10 carbon atoms, gelation occurs or the weight average molecular weight (Mw) of the copolymer obtained and Molecular weight distribution (Mw/Mn) does not become in the predetermined range, and the storage stability of the photosensitive resin composition may fall. It is preferable to use the solvent which has a C3-C10 primary alcohol or C3-C10 secondary alcohol as a main component from a viewpoint of the storage stability of the photosensitive resin composition, C3-C10 It is more preferable to use the solvent which has the primary alcohol of 10 as a main component.

탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올 및 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 2 급 알코올의 구체예로는, 프로필알코올, 부틸알코올, 헥실알코올, 옥틸알코올, 도데실알코올, 벤질알코올 등의 모노알코올류, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 3-메톡시-1-부탄올 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르류 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 입수의 용이성 및 (A) 공중합체를 제조할 때의 안정성의 관점에서, (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르류가 바람직하다. 이들 알코올은, 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 또, 상기한 알코올에는, 각종 이성체가 포함되지만, 제 3 급 알코올에 해당하는 이성체는 포함하지 않는다. 예를 들어, 프로필알코올에는, 1-프로필알코올 외에, 2-프로필알코올이 포함된다.Specific examples of the primary alcohol having 3 to 10 carbon atoms and the secondary alcohol having 3 to 10 carbon atoms include monomono such as propyl alcohol, butyl alcohol, hexyl alcohol, octyl alcohol, dodecyl alcohol, and benzyl alcohol. Alcohols, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl (poly)alkylene glycol monoalkyl ethers, such as ether and 3-methoxy-1- butanol, etc. are mentioned. Among these, (poly) alkylene glycol monoalkyl ethers are preferable from a viewpoint of the stability at the time of manufacturing easiness of availability and (A) copolymer. These alcohols may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Moreover, although various isomers are contained in said alcohol, the isomer corresponding to a tertiary alcohol is not included. For example, 2-propyl alcohol is contained in propyl alcohol other than 1-propyl alcohol.

(A) 공중합체를 제조할 때에 사용하는 용제에는, 기타 용제가 포함되어 있어도 된다. 기타 용제로는, 예를 들어, tert-부틸알코올, 디아세톤알코올 등의 제 3 급 알코올류 ; 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류 ; 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 테트라하이드로푸란 등의 다른 에테르류 ; 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논 등의 케톤류 ; 2-하이드록시프로피온산메틸, 2-하이드록시프로피온산에틸, 2-하이드록시-2-메틸프로피온산메틸, 2-하이드록시-2-메틸프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 에톡시아세트산에틸, 하이드록시아세트산에틸, 2-하이드록시-3-메틸부티르산메틸, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산에틸, 아세트산n-부틸, 아세트산n-프로필, 아세트산i-프로필, 아세트산n-부틸, 아세트산i-부틸, 아세트산n-아밀, 아세트산i-아밀, 프로피온산n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산n-프로필, 부티르산i-프로필, 부티르산n-부틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산n-프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부티르산에틸 등의 에스테르류 ; 톨루엔, 자일렌 등의 방향족 탄화수소류 ; N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드 등의 카르복실산아미드류 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, (A) 공중합체를 제조할 때의 안정성의 관점에서, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트계 용제가 바람직하다.(A) Other solvents may be contained in the solvent used when manufacturing a copolymer. Examples of the other solvent include tertiary alcohols such as tert-butyl alcohol and diacetone alcohol; (poly)alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether acetate; other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, and tetrahydrofuran; Ketones, such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, and 3-heptanone; 2-hydroxymethyl propionate, 2-hydroxypropionate ethyl, 2-hydroxy-2-methylpropionate, 2-hydroxy-2-methylpropionate ethyl, 3-methoxymethyl propionate, 3-methoxyethyl propionate; 3-ethoxy methyl propionate, 3-ethoxy ethyl propionate, ethyl ethoxy acetate, ethyl hydroxy acetate, 2-hydroxy-3-methyl butyrate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl- 3-Methoxybutylpropionate, ethyl acetate, n-butyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-amyl acetate, i-amyl acetate, n-propionic acid esters such as butyl, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, and ethyl 2-oxobutyrate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; Carboxylic acid amides, such as N-methylpyrrolidone, N,N- dimethylformamide, and N,N- dimethylacetamide, etc. are mentioned. Among these, a (poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetate type solvent, such as a propylene glycol monomethyl ether acetate from a stability viewpoint at the time of manufacturing (A) copolymer, is preferable.

(A) 공중합체를 제조할 때에 사용하는 용제 중의, 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올 및 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 2 급 알코올로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 함유량은, 10 질량% ∼ 100 질량% 인 것이 바람직하고, 20 질량% ∼ 100 질량% 인 것이 보다 바람직하다. 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올 및 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 2 급 알코올로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 함유량이 상기 범위 내이면, (A) 공중합체의 중량 평균 분자량 (Mw) 및 분자량 분포 (Mw/Mn) 를 소정의 범위로 제어하기 쉽고, 감광성 수지 조성물의 보존 안정성을 보다 향상시킬 수 있다.(A) content of at least 1 sort(s) selected from the group which consists of a C3-C10 primary alcohol and a C3-C10 secondary alcohol in the solvent used when manufacturing a copolymer, It is preferable that they are 10 mass % - 100 mass %, and it is more preferable that they are 20 mass % - 100 mass %. When the content of at least one selected from the group consisting of primary alcohols having 3 to 10 carbon atoms and secondary alcohols having 3 to 10 carbon atoms is within the above range, (A) the weight average molecular weight of the copolymer ( Mw) and molecular weight distribution (Mw/Mn) are easy to control in predetermined ranges, and storage stability of the photosensitive resin composition can be improved more.

(A) 공중합체를 제조할 때에 사용하는 용제의 양은, 특별히 한정되지 않지만, (A-1) 화합물, (A-2) 화합물 및 (A-3) 화합물의 투입량의 합계를 100 질량부로 했을 때에, 30 질량부 ∼ 1000 질량부인 것이 바람직하고, 50 질량부 ∼ 800 질량부인 것이 보다 바람직하다. 용제의 사용량을 30 질량부 이상으로 함으로써, 비정상적인 중합 반응을 방지하여, 중합 반응을 안정적으로 실시할 수 있음과 함께, (A) 공중합체의 착색이나 겔화를 방지할 수도 있다. 또, 용제의 사용량을 1000 질량부 이하로 함으로써, 연쇄 이동 작용에 의한 (A) 공중합체의 분자량의 저하를 억제하고, 또한 (A) 공중합체의 점도를 적절한 범위로 제어할 수 있다.(A) Although the quantity of the solvent used when manufacturing a copolymer is not specifically limited, When the sum total of the input amount of (A-1) compound, (A-2) compound, and (A-3) compound is 100 mass parts, , It is preferable that they are 30 mass parts - 1000 mass parts, and it is more preferable that they are 50 mass parts - 800 mass parts. By making the usage-amount of a solvent into 30 mass parts or more, an abnormal polymerization reaction can be prevented and a polymerization reaction can be performed stably, and coloring and gelatinization of (A) copolymer can also be prevented. Moreover, by making the usage-amount of a solvent into 1000 mass parts or less, the fall of the molecular weight of (A) copolymer by chain transfer action can be suppressed, and the viscosity of (A) copolymer can be controlled in an appropriate range.

(A) 공중합체를 제조할 때에 사용할 수 있는 중합 개시제로는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 2,2'-아조비스(이소부티로니트릴), 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(이소부티르산)디메틸, 과산화벤조일, t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트 등을 들 수 있다. 이들 중합 개시제는, 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.(A) Although it does not specifically limit as a polymerization initiator which can be used when manufacturing a copolymer, For example, 2,2'- azobis (isobutyronitrile), 2,2'- azobis (2, 4-dimethylvaleronitrile), 2,2'-azobis(isobutyric acid)dimethyl, benzoyl peroxide, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate, etc. are mentioned. These polymerization initiators may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

(A) 공중합체를 제조할 때에 사용하는 중합 개시제의 양은, 특별히 한정되지 않지만, (A-1) 화합물, (A-2) 화합물 및 (A-3) 화합물의 투입량의 합계를 100 질량부로 했을 때에, 0.1 질량부 ∼ 20 질량부인 것이 바람직하고, 0.5 질량부 ∼ 16 질량부인 것이 보다 바람직하다.(A) Although the quantity of the polymerization initiator used when manufacturing a copolymer is not specifically limited, The sum total of the input amount of (A-1) compound, (A-2) compound, and (A-3) compound was 100 mass parts. At the time, it is preferable that they are 0.1 mass part - 20 mass parts, and it is more preferable that they are 0.5 mass part - 16 mass parts.

본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 있어서의 (A) 공중합체의 배합량은, 당해 감광성 수지 조성물 중의 (B) 용제를 제외한 성분의 총합을 100 질량부로 했을 때에, 5 질량부 ∼ 85 질량부인 것이 바람직하고, 15 질량부 ∼ 75 질량부인 것이 보다 바람직하고, 20 질량부 ∼ 65 질량부인 것이 가장 바람직하다. (A) 공중합체의 배합량이 상기 범위 내이면, 감광성 수지 조성물의 경화성이 보다 적절해진다.It is preferable that the compounding quantity of the (A) copolymer in the photosensitive resin composition of this embodiment is 5 mass parts - 85 mass parts, when the total of components excluding the (B) solvent in the said photosensitive resin composition is 100 mass parts, , It is more preferable that they are 15 mass parts - 75 mass parts, and it is most preferable that they are 20 mass parts - 65 mass parts. (A) Sclerosis|hardenability of the photosensitive resin composition becomes more suitable that the compounding quantity of a copolymer is in the said range.

[(B) 용제][(B) Solvent]

본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 배합되는 (B) 용제는, 상기한 (A) 공중합체를 제조할 때 (공중합 반응) 에 사용한 용제를 그대로 사용할 수 있고, 상기에서 예시한 용제를 추가로 첨가할 수도 있다. 또, 기타 성분을 첨가할 때에, 거기에 공존하고 있는 용제여도 된다.As the solvent (B) blended in the photosensitive resin composition of the present embodiment, the solvent used in (copolymerization reaction) for producing the copolymer (A) described above can be used as it is, and the solvent exemplified above can be further added. may be Moreover, when adding another component, the solvent coexisting there may be sufficient.

본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 있어서의 (B) 용제의 배합량은, 당해 감광성 수지 조성물 중의 (B) 용제를 제외한 성분의 총합을 100 질량부로 했을 때에, 30 질량부 ∼ 1000 질량부인 것이 바람직하고, 50 질량부 ∼ 800 질량부인 것이 보다 바람직하고, 100 질량부 ∼ 700 질량부인 것이 가장 바람직하다. (B) 용제의 배합량이 상기 범위 내이면, 감광성 수지 조성물의 점도가 보다 적절해진다.When the compounding quantity of the (B) solvent in the photosensitive resin composition of this embodiment makes the total of components excluding (B) solvent in the said photosensitive resin composition 100 mass parts, it is preferable that they are 30 mass parts - 1000 mass parts, It is more preferable that they are 50 mass parts - 800 mass parts, and it is most preferable that they are 100 mass parts - 700 mass parts. (B) The viscosity of the photosensitive resin composition becomes more suitable that the compounding quantity of a solvent is in the said range.

[(C) 반응성 희석제][(C) Reactive Diluent]

본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 배합되는 (C) 반응성 희석제로는, 에틸렌성 불포화 이중 결합을 포함하고 있는 화합물이면 특별히 한정되지 않지만, 비닐기 및 (메트)아크릴로일옥시기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종을 포함하는 것이 바람직하다. (C) 반응성 희석제의 구체예로는, 예를 들어, 스티렌, α-메틸스티렌, α-클로로메틸스티렌, 비닐톨루엔, 디비닐벤젠, 디알릴프탈레이트, 디알릴벤젠포스포네이트 등의 방향족 비닐계 모노머류 ; 아세트산비닐, 아디프산비닐 등의 폴리카르복실산 모노머류 ; 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 프로필(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, β-하이드록시에틸(메트)아크릴레이트, 하이드록시프로필(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴레이트 모노머 ; 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판디(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 트리스(하이드록시에틸)이소시아누레이트의 트리(메트)아크릴레이트 등의 다관능 (메트)아크릴레이트류 ; 트리알릴시아누레이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, (메트)아크릴로일기를 복수개 갖는 다관능 (메트)아크릴레이트류가 특히 바람직하다. 이들 (C) 반응성 희석제는, 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.The (C) reactive diluent blended in the photosensitive resin composition of the present embodiment is not particularly limited as long as it is a compound containing an ethylenically unsaturated double bond, but selected from the group consisting of a vinyl group and a (meth)acryloyloxy group It is preferable to include at least 1 type. (C) Specific examples of the reactive diluent include aromatic vinyls such as styrene, α-methylstyrene, α-chloromethylstyrene, vinyltoluene, divinylbenzene, diallylphthalate, and diallylbenzenephosphonate. monomers; polycarboxylic acid monomers such as vinyl acetate and vinyl adipate; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, β-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate ( meth)acrylate monomer; Ethylene glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, propylene glycol di(meth)acrylate, ethylene glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane di(meth)acrylate, trimethylolpropane polyfunctional (meth)acrylates such as tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate meth)acrylates; triallyl cyanurate etc. are mentioned. Among these, polyfunctional (meth)acrylates having a plurality of (meth)acryloyl groups are particularly preferable. These (C) reactive diluents may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 있어서의 (C) 반응성 희석제의 배합량은, 당해 감광성 수지 조성물 중의 (B) 용제를 제외한 성분의 총합을 100 질량부로 했을 때에, 5 질량부 ∼ 85 질량부인 것이 바람직하고, 15 질량부 ∼ 75 질량부인 것이 보다 바람직하고, 20 질량부 ∼ 65 질량부인 것이 가장 바람직하다. (C) 반응성 희석제의 배합량이 상기 범위 내이면, 감광성 수지 조성물의 점도 및 광 경화성이 보다 적절해진다.It is preferable that the compounding quantity of (C) reactive diluent in the photosensitive resin composition of this embodiment is 5 mass parts - 85 mass parts, when the total of components excluding (B) solvent in the said photosensitive resin composition is 100 mass parts, , It is more preferable that they are 15 mass parts - 75 mass parts, and it is most preferable that they are 20 mass parts - 65 mass parts. (C) The viscosity and photocurability of the photosensitive resin composition become more suitable that the compounding quantity of a reactive diluent is in the said range.

[(D) 광 중합 개시제][(D) Photoinitiator]

본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 배합되는 (D) 광 중합 개시제로는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르 등의 벤조인과 그 알킬에테르류 ; 아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 1,1-디클로로아세토페논, 4-(1-t-부틸디옥시-1-메틸에틸)아세토페논 등의 아세토페논류 ; 1-하이드록시시클로헥실페닐케톤, 2-하이드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온 등의 알킬페논류 ; 2-메틸안트라퀴논, 2-아밀안트라퀴논, 2-t-부틸안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논 등의 안트라퀴논류 ; 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디이소프로필티오크산톤, 2-클로로티오크산톤 등의 티오크산톤류 ; 아세토페논디메틸케탈, 벤질디메틸케탈 등의 케탈류 ; 벤조페논, 4-(1-t-부틸디옥시-1-메틸에틸)벤조페논, 3,3',4,4'-테트라키스(t-부틸디옥시카르보닐)벤조페논 등의 벤조페논류 ; 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)-2-(o-벤조일옥심)], 에타논,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일],1-(o-아세틸옥심) 등의 옥심에스테르류 ; 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노-프로판-1-온 ; 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부타논-1 ; 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 비스(2,4,6-트리메틸벤조일)페닐포스핀옥사이드 등의 아실포스핀옥사이드류 ; 크산톤류 등을 들 수 있다. 이들 (D) 광 중합 개시제는, 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.Although it does not specifically limit as (D) photoinitiator mix|blended with the photosensitive resin composition of this embodiment, For example, Benzoin, such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and its alkyl ether; acetophenones such as acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, and 4-(1-t-butyldioxy-1-methylethyl)acetophenone; alkylphenones such as 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, and 1-chloroanthraquinone; thioxanthone such as 2,4-dimethyl thioxanthone, 2,4-diisopropyl thioxanthone, and 2-chlorothioxanthone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; Benzophenones such as benzophenone, 4-(1-t-butyldioxy-1-methylethyl)benzophenone, and 3,3′,4,4′-tetrakis(t-butyldioxycarbonyl)benzophenone ; 1,2-Octanedione,1-[4-(phenylthio)-2-(o-benzoyloxime)], ethanone,1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazole oxime esters such as -3-yl], 1-(o-acetyloxime); 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-propan-1-one; 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)butanone-1; acylphosphine oxides such as 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphine oxide; xanthone etc. are mentioned. These (D) photoinitiators may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 있어서의 (D) 광 중합 개시제의 배합량은, 당해 감광성 수지 조성물 중의 (B) 용제를 제외한 성분의 총합을 100 질량부로 했을 때에, 0.1 질량부 ∼ 30 질량부인 것이 바람직하고, 0.5 질량부 ∼ 20 질량부인 것이 보다 바람직하고, 1 질량부 ∼ 15 질량부인 것이 가장 바람직하다. (D) 광 중합 개시제의 배합량이 상기 범위 내이면, 감광성 수지 조성물의 광 경화성이 보다 적절해진다.When the compounding quantity of the (D) photoinitiator in the photosensitive resin composition of this embodiment makes the total of the component except the (B) solvent in the said photosensitive resin composition 100 mass parts, it is preferable that they are 0.1 mass part - 30 mass parts And, it is more preferable that they are 0.5 mass part - 20 mass parts, and it is most preferable that they are 1 mass part - 15 mass parts. (D) The photocurability of the photosensitive resin composition becomes more suitable that the compounding quantity of a photoinitiator is in the said range.

[(E) 착색제][(E) Colorant]

본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 필요에 따라 (E) 착색제를 함유해도 된다. (E) 착색제로는, 공지된 염료 및 안료를 사용할 수 있다. (E) 착색제로서 염료를 사용하는 경우에는, 안료를 사용한 경우에 비해, 휘도가 높은 착색 패턴을 얻을 수 있고, 또, 양호한 알칼리 현상성을 나타낸다.The photosensitive resin composition of this embodiment may contain the (E) coloring agent as needed. (E) As a coloring agent, a well-known dye and pigment can be used. (E) When using dye as a coloring agent, compared with the case where a pigment is used, the coloring pattern with a high brightness|luminance can be obtained, and favorable alkali developability is shown.

염료로는, (B) 용제나 알칼리 현상액에 대한 용해성, 감광성 수지 조성물 중의 다른 성분과의 상호 작용, 내열성 등의 관점에서, 카르복실기 등의 산성기를 갖는 산성 염료, 산성 염료의 질소 화합물과의 염, 산성 염료의 술폰아미드체 등을 사용하는 것이 바람직하다. 이와 같은 염료로는, 예를 들어, acid alizarin violet N ; acid black 1, 2, 24, 48 ; acid blue 1, 7, 9, 25, 29, 40, 45, 62, 70, 74, 80, 83, 90, 92, 112, 113, 120, 129, 147 ; acid chrome violet K ; acid Fuchsin ; acid green 1, 3, 5, 25, 27, 50 ; acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 50, 51, 52, 56, 63, 74, 95 ; acid red 1, 4, 8, 14, 17, 18, 26, 27, 29, 31, 34, 35, 37, 42, 44, 50, 51, 52, 57, 69, 73, 80, 87, 88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 183, 198, 211, 215, 216, 217, 249, 252, 257, 260, 266, 274 ; acid violet 6B, 7, 9, 17, 19 ; acid yellow 1, 3, 9, 11, 17, 23, 25, 29, 34, 36, 42, 54, 72, 73, 76, 79, 98, 99, 111, 112, 114, 116 ; food yellow 3 및 이들의 유도체 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 아조계, 크산텐계, 안트라퀴논계 또는 프탈로시아닌계의 산성 염료가 바람직하다. 이들 염료는, 목적으로 하는 화소의 색에 따라, 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.As the dye, (B) from the viewpoint of solubility in a solvent or alkali developer, interaction with other components in the photosensitive resin composition, heat resistance, etc., an acid dye having an acid group such as a carboxyl group, a salt of an acid dye with a nitrogen compound, It is preferable to use the sulfonamide form of an acid dye, etc. As such a dye, For example, acid alizarin violet N; acid black 1, 2, 24, 48; acid blue 1, 7, 9, 25, 29, 40, 45, 62, 70, 74, 80, 83, 90, 92, 112, 113, 120, 129, 147; acid chrome violet K ; acid Fuchsin; acid green 1, 3, 5, 25, 27, 50; acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 50, 51, 52, 56, 63, 74, 95 ; acid red 1, 4, 8, 14, 17, 18, 26, 27, 29, 31, 34, 35, 37, 42, 44, 50, 51, 52, 57, 69, 73, 80, 87, 88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 183, 198, 211, 215, 216, 217, 249, 252, 257, 260, 266, 274; acid violet 6B, 7, 9, 17, 19 ; acid yellow 1, 3, 9, 11, 17, 23, 25, 29, 34, 36, 42, 54, 72, 73, 76, 79, 98, 99, 111, 112, 114, 116 ; food yellow 3 and derivatives thereof, and the like. Among these, the acid dye of an azo type, a xanthene type, an anthraquinone type, or a phthalocyanine type is preferable. These dyes may be used individually by 1 type depending on the color of the pixel made into the objective, and may be used in combination of 2 or more type.

안료로는, 예를 들어, C.I. 피그먼트 옐로 1, 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, 214 등의 황색 안료 ; C.I. 피그먼트 오렌지 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73 등의 등색 안료 ; C.I. 피그먼트 레드 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 255, 264, 265 등의 적색 안료 ; C.I. 피그먼트 블루 15, 15 : 3, 15 : 4, 15 : 6, 60 등의 청색 안료 ; C.I. 피그먼트 바이올렛 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38 등의 바이올렛색 안료 ; C.I. 피그먼트 그린 7, 36, 58 등의 녹색 안료 ; C.I. 피그먼트 브라운 23, 25 등의 갈색 안료 ; C.I. 피그먼트 블랙 1, 7, 카본 블랙, 티탄 블랙, 산화철 등의 흑색 안료 등을 들 수 있다. 이들 안료는, 목적으로 하는 화소의 색에 따라, 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 또, 염료와 안료를 병용해도 된다.As the pigment, for example, C.I. Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128, 137, 138, 139 , 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, 214 yellow pigments; C.I. Orange pigments, such as pigment orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73; C.I. Red pigments such as Pigment Red 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 255, 264, 265 ; C.I. Blue pigments, such as pigment blue 15, 15:3, 15:4, 15:6, 60; C.I. Violet pigments, such as pigment violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38; C.I. Green pigments, such as pigment green 7, 36, and 58; C.I. Brown pigments, such as Pigment Brown 23 and 25; C.I. Black pigments, such as pigment black 1 and 7, carbon black, a titanium black, and iron oxide, etc. are mentioned. These pigments may be used individually by 1 type depending on the color of the pixel made into the objective, and may be used in combination of 2 or more type. Moreover, you may use dye and a pigment together.

본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 있어서의 (E) 착색제의 배합량은, 당해 감광성 수지 조성물 중의 (B) 용제를 제외한 성분의 총합을 100 질량부로 했을 때에, 5 질량부 ∼ 75 질량부인 것이 바람직하고, 5 질량부 ∼ 65 질량부인 것이 보다 바람직하고, 10 질량부 ∼ 55 질량부인 것이 가장 바람직하다.It is preferable that the compounding quantity of (E) coloring agent in the photosensitive resin composition of this embodiment is 5 mass parts - 75 mass parts, when the sum total of components excluding (B) solvent in the said photosensitive resin composition is 100 mass parts, It is more preferable that they are 5 mass parts - 65 mass parts, and it is most preferable that they are 10 mass parts - 55 mass parts.

(E) 착색제로서 안료를 사용하는 경우, 안료의 분산성을 향상시키는 관점에서, 감광성 수지 조성물에 공지된 분산제를 배합해도 된다. 분산제로는, 경시의 분산 안정성이 우수한 고분자 분산제를 사용하는 것이 바람직하다. 고분자 분산제로는, 예를 들어, 우레탄계 분산제, 폴리에틸렌이민계 분산제, 폴리옥시에틸렌알킬에테르계 분산제, 폴리옥시에틸렌글리콜디에스테르계 분산제, 소르비탄 지방족 에스테르계 분산제, 지방족 변성 에스테르계 분산제 등을 들 수 있다. 이와 같은 고분자 분산제로는, EFKA (에프카 케미컬즈 비브이 (EFKA) 사 제조), Disperbyk (빅케미사 제조), 디스팔론 (쿠스모토 화성 주식회사 제조), SOLSPERSE (제네카사 제조) 등의 상품명으로 시판되고 있는 것을 사용해도 된다.(E) When using a pigment as a coloring agent, you may mix|blend a well-known dispersing agent with the photosensitive resin composition from a viewpoint of improving the dispersibility of a pigment. As a dispersing agent, it is preferable to use the polymer dispersing agent excellent in dispersion stability over time. Examples of the polymer dispersant include a urethane-based dispersant, a polyethyleneimine-based dispersant, a polyoxyethylene alkyl ether-based dispersant, a polyoxyethylene glycol diester-based dispersant, a sorbitan aliphatic ester-based dispersant, and an aliphatic modified ester-based dispersant. have. As such a polymer dispersing agent, EFKA (manufactured by EFKA Corporation), Disperbyk (manufactured by Bikchemi Corporation), Dispalon (manufactured by Kusumoto Chemical Co., Ltd.), and SOLSPERSE (manufactured by Zeneca Corporation) are commercially available under trade names. You can use what you have.

착색제를 함유하는 감광성 수지 조성물에 있어서의 분산제의 배합량은, 안료 등의 종류에 따라 적절히 조정된다.The compounding quantity of the dispersing agent in the photosensitive resin composition containing a coloring agent is suitably adjusted with types, such as a pigment.

본 실시형태의 감광성 수지 조성물에는, 상기의 성분에 더하여, 소정의 특성을 부여하기 위해, 공지된 레벨링제, 열 중합 금지제 등의 공지된 첨가제를 배합해도 된다. 감광성 수지 조성물에 있어서의 이들 첨가제의 배합량은, 본 발명의 효과를 저해하지 않는 범위이면 특별히 한정되지 않는다.In addition to said component, in addition to said component, in order to provide predetermined|prescribed characteristic, you may mix|blend well-known additives, such as a well-known leveling agent and a thermal polymerization inhibitor, with the photosensitive resin composition of this embodiment. The compounding quantity of these additives in the photosensitive resin composition will not be specifically limited if it is a range which does not impair the effect of this invention.

본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 공지된 혼합 장치를 사용하여, 상기의 성분을 혼합함으로써 조제해도 되고, 혹은 먼저, (A) 공중합체 및 (B) 용제를 포함하는 조성물을 조제한 후, 즉, (A-1) 화합물, (A-2) 화합물 및 (A-3) 화합물로 이루어지는 모노머 혼합물을, (B) 용제의 존재하에서 공중합시킨 후, (C) 반응성 희석제, (D) 광 중합 개시제 및 임의 성분의 (E) 착색제를 첨가하고, 혼합함으로써 조제해도 된다. 후자의 조제 방법에서는, 필요에 따라 공중합 후에 (B) 용제를 추가로 첨가해도 된다.The photosensitive resin composition of this embodiment may be prepared by mixing said component using a well-known mixing apparatus, or after preparing the composition containing the (A) copolymer and (B) solvent first, namely, (A-1) compound, (A-2) compound, and (A-3) a monomer mixture composed of compound is copolymerized in the presence of (B) a solvent, (C) a reactive diluent, (D) a photopolymerization initiator and You may prepare by adding and mixing the (E) coloring agent of an arbitrary component. In the latter preparation method, you may further add (B) solvent after copolymerization as needed.

본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 알칼리 현상성을 갖고 있으므로, 알칼리 수용액을 사용함으로써 현상을 실시할 수 있다. 특히, 본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 감도 및 현상성이 우수함과 함께, 내용제성이 우수한 패턴을 부여할 수 있다. 그 때문에, 본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 유기 EL 표시 장치, 액정 표시 장치, 고체 촬상 소자에 조립되는 컬러 필터 및 그 오버 코트, 층간 절연막을 제조하기 위해 사용되는 레지스트로서 바람직하게 사용된다.Since the photosensitive resin composition of this embodiment has alkali developability, it can develop by using aqueous alkali solution. In particular, the photosensitive resin composition of this embodiment can provide the pattern excellent in solvent resistance while being excellent in a sensitivity and developability. Therefore, the photosensitive resin composition of this embodiment is used suitably as a resist used in order to manufacture the color filter and its overcoat, and an interlayer insulating film incorporated in an organic electroluminescent display device, a liquid crystal display device, and a solid-state image sensor.

<수지 경화막><Cured resin film>

본 실시형태의 수지 경화막은, 상기 서술한 감광성 수지 조성물을 도포하여, 광 경화시키고, 베이킹함으로써 형성된다. 포토리소그래피법에 의해 패턴을 형성하는 경우에는, 상기 서술한 감광성 수지 조성물을 기재에 도포하여 도포막을 형성한 후, 소정의 패턴의 포토마스크를 개재하여, 도포막을 노광시키고 노광 부분을 광 경화시킨다. 그리고, 미노광 부분을 알칼리 수용액으로 현상한 후, 베이킹함으로써, 소정의 패턴을 갖는 수지 경화막을 형성할 수 있다.The cured resin film of this embodiment is formed by apply|coating the above-mentioned photosensitive resin composition, making it photocuring, and baking. When forming a pattern by the photolithographic method, after apply|coating the above-mentioned photosensitive resin composition to a base material and forming a coating film, the coating film is exposed through the photomask of a predetermined|prescribed pattern, and an exposure part is photocured. And after developing an unexposed part with aqueous alkali solution, the resin cured film which has a predetermined|prescribed pattern can be formed by baking.

감광성 수지 조성물의 도포 방법으로는, 특별히 한정되지 않지만, 스크린 인쇄법, 롤 코트법, 커튼 코트법, 스프레이 코트법, 스핀 코트법, 슬릿 코트법 등이 사용된다.Although it does not specifically limit as a coating method of the photosensitive resin composition, The screen printing method, the roll coat method, the curtain coat method, the spray coat method, the spin coat method, the slit coat method, etc. are used.

감광성 수지 조성물을 도포하여 도포막을 형성한 후, 필요에 따라 순환식 오븐, 적외선 히터, 핫 플레이트 등의 가열 수단을 사용하여, 도포막을 가열함으로써, (B) 용제를 휘발시켜도 된다. 가열 조건은, 특별히 한정되지 않고, 감광성 수지 조성물의 조성에 따라 적절히 설정된다. 예를 들어, 도포막을, 50 ℃ ∼ 120 ℃ 의 온도에서, 30 초 ∼ 30 분 가열하면 된다.After apply|coating the photosensitive resin composition and forming a coating film, you may volatilize the (B) solvent by heating a coating film using heating means, such as a circulation oven, an infrared heater, and a hotplate, as needed. Heating conditions are not specifically limited, According to the composition of the photosensitive resin composition, it is set suitably. For example, what is necessary is just to heat a coating film at the temperature of 50 degreeC - 120 degreeC for 30 second - 30 minutes.

감광성 수지 조성물로 이루어지는 도포막의 노광에 사용되는 광원으로는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 저압 수은 램프, 중압 수은 램프, 고압 수은 램프, 크세논 램프, 메탈 할라이드 램프 등이 사용된다. 또, 노광량도 특별히 한정되지 않고, 감광성 수지 조성물의 조성에 따라 적절히 설정된다.Although it does not specifically limit as a light source used for exposure of the coating film which consists of a photosensitive resin composition, For example, a low pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp etc. are used. Moreover, exposure amount is not specifically limited, either, It sets suitably according to the composition of the photosensitive resin composition.

현상에 사용되는 알칼리 수용액으로는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 탄산칼슘, 수산화나트륨, 수산화칼륨 등의 수용액 ; 에틸아민, 디에틸아민, 디메틸에탄올아민 등의 아민계 화합물의 수용액 ; 수산화테트라메틸암모늄 등의 제 4 급 암모늄염의 수용액 ; 3-메틸-4-아미노-N,N-디에틸아닐린, 3-메틸-4-아미노-N-에틸-N-β-하이드록시에틸아닐린, 3-메틸-4-아미노-N-에틸-N-β-메탄술폰아미드에틸아닐린, 3-메틸-4-아미노-N-에틸-N-β-메톡시에틸아닐린 및 이들의 황산염, 염산염 또는 p-톨루엔술폰산염 등의 p-페닐렌디아민계 화합물의 수용액 등이 사용된다. 이들 중에서도, p-페닐렌디아민계 화합물의 수용액을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 이들 알칼리 수용액에는, 필요에 따라 소포제나 계면 활성제를 첨가해도 된다. 또, 상기의 알칼리 수용액에 의한 현상 후, 수세하고 건조시키는 것이 바람직하다.Although it does not specifically limit as aqueous alkali solution used for image development, For example, Aqueous solutions, such as sodium carbonate, potassium carbonate, calcium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide; Aqueous solutions of amine compounds, such as ethylamine, diethylamine, and dimethylethanolamine; Aqueous solutions of quaternary ammonium salts, such as tetramethylammonium hydroxide; 3-Methyl-4-amino-N,N-diethylaniline, 3-methyl-4-amino-N-ethyl-N-β-hydroxyethylaniline, 3-methyl-4-amino-N-ethyl-N -P-phenylenediamine compounds such as -β-methanesulfonamideethylaniline, 3-methyl-4-amino-N-ethyl-N-β-methoxyethylaniline and their sulfate, hydrochloride, or p-toluenesulfonate salts of aqueous solution is used. Among these, it is preferable to use the aqueous solution of a p-phenylenediamine type compound. In addition, you may add an antifoamer and surfactant to these aqueous alkali solutions as needed. Moreover, it is preferable to wash with water and to dry after image development by said aqueous alkali solution.

베이킹의 조건은, 특별히 한정되지 않고, 감광성 수지 조성물의 조성에 따라 가열 처리를 실시하면 된다. 예를 들어, 130 ℃ ∼ 250 ℃ 의 온도에서, 10 분 ∼ 60 분간 가열하면 된다.The conditions of baking are not specifically limited, What is necessary is just to heat-process according to the composition of the photosensitive resin composition. For example, what is necessary is just to heat at the temperature of 130 degreeC - 250 degreeC for 10 minutes - 60 minutes.

감광성 수지 조성물에 (E) 착색제를 배합하여, 블랙 매트릭스나 컬러 필터 등의 수지 경화막을 형성하는 경우에는, 색별로 도포, 노광, 현상 및 베이킹의 공정을 반복함으로써, 원하는 착색 패턴 (화소) 을 순차 형성할 수 있다.When the (E) colorant is blended with the photosensitive resin composition to form a cured resin film such as a black matrix or color filter, the desired coloring pattern (pixel) is sequentially obtained by repeating the steps of application, exposure, development and baking for each color. can be formed

[화상 표시 소자][Image display element]

본 실시형태의 화상 표시 소자는, 상기 서술한 수지 경화막을 구비한다. 본 실시형태의 화상 표시 소자로는, 상기 서술한 수지 경화막을 구비하고 있으면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 액정 표시 소자, 유기 EL 표시 소자 등을 들 수 있다. 본 실시형태의 화상 표시 소자는, 상기 서술한 수지 경화막을 구비하기 때문에, 높은 경도 및 우수한 내용제성을 갖는다.The image display element of this embodiment is equipped with the resin cured film mentioned above. Although it will not specifically limit as an image display element of this embodiment if the resin cured film mentioned above is provided, For example, a liquid crystal display element, organic electroluminescent display element, etc. are mentioned. Since the image display element of this embodiment is equipped with the resin cured film mentioned above, it has high hardness and the outstanding solvent resistance.

실시예Example

이하, 실시예 및 비교예에 의해 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further more concretely, this invention is not limited to the following Example.

또한, 실시예 및 비교예에 있어서, 실릴기 당량은, 1 분자당의 실릴기의 평균 개수로 나눈 (A) 공중합체의 분자량이며, (A-2) 화합물의 투입량에 기초하여 산출한 계산값이다.In addition, in Examples and Comparative Examples, the silyl group equivalent is the molecular weight of the copolymer (A) divided by the average number of silyl groups per molecule, and is a calculated value calculated based on the amount of (A-2) compound charged .

(A) 공중합체의 합성예를 이하에 나타낸다.(A) The synthesis example of a copolymer is shown below.

[합성예 1][Synthesis Example 1]

교반 장치, 적하 깔때기, 콘덴서, 온도계 및 가스 도입관을 구비한 플라스크에, 3-메톡시-1-부탄올 750.0 g 을 넣고, 질소 가스로 치환하면서 교반하고, 88 ℃ 로 승온시켰다.750.0 g of 3-methoxy-1-butanol was put into a flask equipped with a stirring device, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube, stirred while replacing with nitrogen gas, and the temperature was raised to 88°C.

다음으로, 메타크릴산 33.3 g (0.39 몰), 3-메타크릴로일옥시프로필트리에톡시실란 (신에츠 화학 공업 주식회사 제조) 149.7 g (0.52 몰) 및 스티렌 40.3 g (0.39 몰) 으로 이루어지는 모노머 혼합물에, 2,2'-아조비스(이소부티르산)디메틸 (중합 개시제) 26.8 g 을 첨가한 것을, 적하 깔때기로부터 상기 플라스크 중에 2 시간에 걸쳐 적하하였다.Next, a monomer mixture comprising 33.3 g (0.39 mol) of methacrylic acid, 149.7 g (0.52 mol) of 3-methacryloyloxypropyltriethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Industries, Ltd.) and 40.3 g (0.39 mol) of styrene. 26.8 g of 2,2'-azobis(isobutyric acid) dimethyl (polymerization initiator) was added dropwise from the dropping funnel to the flask over 2 hours.

적하 종료 후, 88 ℃ 에서 5 시간 교반하여 공중합 반응을 실시하여, 시료 1 (중량 평균 분자량 (Mw) : 4500, 수평균 분자량 (Mn) : 2700, 분자량 분포 (Mw/Mn) : 1.7, 산가 : 87 KOHmg/g, 실릴기 당량 : 480 g/mol) 을 얻었다.After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 88°C for 5 hours to carry out a copolymerization reaction, and sample 1 (weight average molecular weight (Mw): 4500, number average molecular weight (Mn): 2700, molecular weight distribution (Mw/Mn): 1.7, acid value: 87 KOHmg/g, silyl group equivalent: 480 g/mol) was obtained.

[합성예 2 ∼ 17, 비교 합성예 1 ∼ 7][Synthesis Examples 2 to 17, Comparative Synthesis Examples 1 to 7]

표 1 ∼ 3 에 기재된 원료를 사용하는 것 이외에는 합성예 1 과 동일하게 하여, 공중합 반응을 실시하여, 시료 2 ∼ 24 를 얻었다. 얻어진 시료의 중량 평균 분자량 (Mw), 수평균 분자량 (Mn), 분자량 분포 (Mw/Mn), 산가 (KOHmg/g) 및 실릴기 당량 (g/mol) 을, 표 1 ∼ 3 에 나타낸다. 또, (A) 공중합체를 조제하는 데에 사용한 (A-1) 화합물 ∼ (A-3) 화합물의 몰% 를 표 4 ∼ 6 에 나타낸다.Except using the raw material of Tables 1-3, it carried out similarly to Synthesis Example 1, performed a copolymerization reaction, and obtained Samples 2-24. Tables 1-3 show the weight average molecular weight (Mw), number average molecular weight (Mn), molecular weight distribution (Mw/Mn), acid value (KOHmg/g) and silyl group equivalent (g/mol) of the obtained sample. Moreover, the mol% of (A-1) compound - (A-3) compound used for preparing (A) copolymer is shown to Tables 4-6.

Figure pct00007
Figure pct00007

Figure pct00008
Figure pct00008

Figure pct00009
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Figure pct00010
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Figure pct00011
Figure pct00011

Figure pct00012
Figure pct00012

<(A) 공중합체의 평가><(A) evaluation of copolymer>

(1) 보존 안정성(1) storage stability

얻어진 시료 1 ∼ 24 를 사용하여, 이하의 방법에 따라, 보존 안정성의 평가를 실시하였다.Using the obtained samples 1-24, the following method evaluated storage stability.

시료를 20 ㎖ 의 유리 용기에 10 g 씩 칭량하여 넣어 샘플로 하고, 점도를 측정하였다. 또한, 본 명세서에 있어서, 점도란, E 형 점도계 (RE-80, 토키 산업 제조, 로터 종류 : 표준 콘 1°34' × R24, 로터 코드 : 1) 를 사용하여 25 ℃ 에서 측정한 값을 의미한다. 계속해서, 유리 용기에 덮개를 덮어 밀폐시키고, 이들 샘플을 각각 40 ℃ 로 유지한 항온기 중에 1 주간 정치 (靜置) 하여 보존한 후, 다시 점도를 측정하였다. 보존 안정성 시험 전후의 점도를 사용하여, 하기 식 (1) 로부터 증점률을 구하였다.The sample was weighed and put into a 20 ml glass container at a time of 10 g to make a sample, and the viscosity was measured. In addition, in this specification, the viscosity means the value measured at 25 degreeC using the E-type viscometer (RE-80, Toki Industrial Co., Ltd. make, rotor type: standard cone 1°34' x R24, rotor code: 1) do. Then, the glass container was sealed with a lid, and after leaving these samples to stand still for 1 week in the thermostat kept at 40 degreeC, respectively, and preserve|save, the viscosity was measured again. The thickening rate was calculated|required from following formula (1) using the viscosity before and behind a storage stability test.

식 (1) : 증점률 (%) = (([시험 후의 점도] - [시험 전의 점도])/[시험 전의 점도]) × 100Formula (1): thickening rate (%) = (([viscosity after test] - [viscosity before test])/[viscosity before test]) x 100

이 평가의 기준은 이하와 같다.The criteria for this evaluation are as follows.

○ : 증점률 20 % 미만○: Less than 20% thickening rate

× : 증점률 20 % 이상x: thickening rate 20% or more

상기의 보존 안정성의 평가 결과를 표 7 ∼ 9 에 나타낸다.The evaluation result of said storage stability is shown to Tables 7-9.

Figure pct00013
Figure pct00013

Figure pct00014
Figure pct00014

Figure pct00015
Figure pct00015

얻어진 시료 1 ∼ 24 를 사용하여, 이하의 방법에 따라, 감광성 수지 조성물을 조제하였다.Using the obtained samples 1-24, the photosensitive resin composition was prepared according to the following method.

<감광성 수지 조성물의 조제><Preparation of the photosensitive resin composition>

표 10 에 나타내는 배합 성분 및 배합 비율에 따라, 감광성 수지 조성물을 조제하였다.According to the compounding component and compounding ratio shown in Table 10, the photosensitive resin composition was prepared.

또한, 표 10 에 있어서의 (A) 공중합체의 배합량은, (A) 공중합체를 합성할 때에 사용한 용제를 포함하고 있지 않고, 표 10 에 있어서의 (B) 용제의 배합량은, (A) 공중합체를 합성할 때에 사용한 용제와 추가로 배합한 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 합산한 것이다.In addition, the compounding quantity of (A) copolymer in Table 10 does not contain the solvent used when synthesize|combining (A) copolymer, The compounding quantity of (B) solvent in Table 10 is (A) public It is the sum of the solvent used when synthesizing the coal and propylene glycol monomethyl ether further blended.

Figure pct00016
Figure pct00016

<감광성 수지 조성물의 평가><Evaluation of the photosensitive resin composition>

(1) 연필 경도(1) pencil hardness

조제된 감광성 수지 조성물을, 가로세로 5 ㎝ 의 유리 기판 (무알칼리 유리 기판) 상에, 베이킹 후의 두께가 2.5 ㎛ 가 되도록 스핀 코트한 후, 90 ℃ 에서 3 분간 가열함으로써 용제를 휘발시켜, 유리 기판 상에 도포막을 형성하였다.After spin-coating the prepared photosensitive resin composition so that the thickness after baking may be set to 2.5 micrometers on a 5 cm horizontal glass substrate (alkali-free glass substrate), a solvent is volatilized by heating at 90 degreeC for 3 minutes, and a glass substrate A coating film was formed on it.

다음으로, 도포막에 파장 365 ㎚ 의 광을 200 mJ/㎡ 의 노광량으로 노광시키고, 노광 부분을 광 경화시킨 후, 베이킹 온도 230 ℃ 의 건조기 중에 공기 분위기하에서 30 분간 방치하여, 경화 도막을 제조하였다. JIS K5600-5-4 에 따라, 연필 경도계 (No.553-M, 야스다 정기 제작소 제조) 를 사용하여, 얻어진 경화 도막의 연필 경도를 측정하였다.Next, the coating film was exposed to light with a wavelength of 365 nm at an exposure amount of 200 mJ/m 2 , the exposed portion was photocured, and then left in an air atmosphere in a drying machine with a baking temperature of 230° C. for 30 minutes to prepare a cured coating film. . According to JISK5600-5-4, the pencil hardness of the obtained cured coating film was measured using the pencil hardness meter (No.553-M, Yasuda Seki Seisakusho).

이 평가의 기준은 이하와 같다.The criteria for this evaluation are as follows.

○ : 연필 경도 3H 이상○: pencil hardness 3H or more

× : 연필 경도 3H 미만×: pencil hardness less than 3H

상기의 연필 경도의 평가 결과를 표 7 ∼ 9 에 나타낸다.The evaluation result of said pencil hardness is shown to Tables 7-9.

얻어진 시료 1 ∼ 24 를 사용하여, 이하의 방법에 따라, 착색제 함유 감광성 수지 조성물을 조제하였다.Using the obtained samples 1-24, the coloring agent containing photosensitive resin composition was prepared according to the following method.

<착색제 함유 감광성 수지 조성물의 조제><Preparation of a colorant containing photosensitive resin composition>

표 11 에 나타내는 배합 성분 및 배합 비율에 따라, (E) 착색제로서, 염료 (VALIFAST BLUE 2620) 를 사용한 착색제 함유 감광성 수지 조성물을 조제하였다.According to the compounding component and compounding ratio shown in Table 11, the coloring agent containing photosensitive resin composition using dye (VALIFAST BLUE 2620) was prepared as (E) coloring agent.

또한, 표 11 에 있어서의 (A) 공중합체의 배합량은, (A) 공중합체를 합성할 때에 사용한 용제를 포함하고 있지 않고, 표 11 에 있어서의 (B) 용제의 배합량은, (A) 공중합체를 합성할 때에 사용한 용제와 추가로 배합한 프로필렌글리콜모노메틸에테르를 합산한 것이다.In addition, the compounding quantity of (A) copolymer in Table 11 does not contain the solvent used when synthesize|combining (A) copolymer, The compounding quantity of (B) solvent in Table 11 is (A) public It is the sum of the solvent used when synthesizing the coal and propylene glycol monomethyl ether further blended.

Figure pct00017
Figure pct00017

<착색제 함유 감광성 수지 조성물의 평가><Evaluation of the colorant-containing photosensitive resin composition>

(1) 알칼리 현상성(1) alkali developability

조제된 착색제 함유 감광성 수지 조성물을, 가로세로 5 ㎝ 의 유리 기판 (무알칼리 유리 기판) 상에, 노광 후의 두께가 2.5 ㎛ 가 되도록 스핀 코트한 후, 90 ℃ 에서 3 분간 가열함으로써 용제를 휘발시켜, 유리 기판 상에 도포막을 형성하였다.The prepared colorant-containing photosensitive resin composition is spin-coated on a 5 cm wide glass substrate (alkali-free glass substrate) so that the thickness after exposure becomes 2.5 μm, and then heated at 90° C. for 3 minutes to volatilize the solvent, A coating film was formed on the glass substrate.

다음으로, 도포막으로부터 100 ㎛ 의 거리에 소정의 패턴의 포토마스크를 배치하고, 이 포토마스크를 개재하여, 도포막을 노광 (노광량 150 mJ/㎠) 시키고, 노광 부분을 광 경화시켰다.Next, a photomask of a predetermined pattern was placed at a distance of 100 µm from the coating film, and the coating film was exposed (exposure amount: 150 mJ/cm 2 ) through the photomask, and the exposed portion was photocured.

다음으로, 0.1 질량% 의 수산화칼륨을 포함하는 수용액을, 온도 23 ℃ 및 압력 0.3 ㎫ 로 스프레이함으로써, 미노광 부분을 용해시켜 현상할 때, 패턴이 보이기 시작할 때까지 요하는 시간, 즉, 현상 개시 시간을 측정하였다.Next, when an unexposed part is dissolved and developed by spraying an aqueous solution containing 0.1 mass % potassium hydroxide at a temperature of 23°C and a pressure of 0.3 MPa, the time required until the pattern starts to be seen, that is, the start of development Time was measured.

이 평가의 기준은 이하와 같다.The criteria for this evaluation are as follows.

○ : 현상 개시 시간 60 초 미만○: Development start time less than 60 seconds

× : 현상 개시 시간 60 초 이상×: Development start time 60 seconds or more

상기의 알칼리 현상성의 평가 결과를 표 7 ∼ 9 에 나타낸다.The evaluation result of said alkali developability is shown to Tables 7-9.

(2) 내용제성(2) Solvent resistance

조제된 착색제 함유 감광성 수지 조성물을, 가로세로 5 ㎝ 의 유리 기판 (무알칼리 유리 기판) 상에, 베이킹 후의 두께가 2.5 ㎛ 가 되도록 스핀 코트한 후, 90 ℃ 에서 3 분간 가열함으로써 용제를 휘발시켜, 유리 기판 상에 도포막을 형성하였다.The prepared colorant-containing photosensitive resin composition is spin-coated on a 5 cm-wide glass substrate (alkali-free glass substrate) so that the thickness after baking becomes 2.5 μm, and then heated at 90° C. for 3 minutes to volatilize the solvent, A coating film was formed on the glass substrate.

다음으로, 도포막에 파장 365 ㎚ 의 광을 150 mJ/㎡ 의 노광량으로 노광시키고, 노광 부분을 광 경화시킨 후, 베이킹 온도 230 ℃ 의 건조기 중에 공기 분위기하에서 30 분간 방치하여, 경화 도막을 제조하였다.Next, the coating film was exposed to light having a wavelength of 365 nm at an exposure amount of 150 mJ/m 2 , the exposed portion was photocured, and then left in an air atmosphere in a drying machine with a baking temperature of 230° C. for 30 minutes to prepare a cured coating film. .

용량 500 ㎖ 의 덮개 부착 유리병에, 200 ㎖ 의 N-메틸-2-피롤리돈을 넣고, 60 ℃ 의 조건하에 정치하였다. 그 중에 상기의 경화 도막 부착 시험편을 침지한 후, 60 ℃ 로 유지한 상태에서 30 분 정치하였다.200 mL of N-methyl-2-pyrrolidone was put into a 500-mL glass bottle with a lid, and it left still on 60 degreeC conditions. After immersing the said test piece with a cured coating film in that, it left still for 30 minutes in the state hold|maintained at 60 degreeC.

시험편의 N-메틸-2-피롤리돈에 대한 침지 전후의 색 변화 (ΔE*ab) 를 분광 광도계 (UV-1650PC, 시마즈 제작소 제조) 로 측정하였다. The color change (ΔE* ab) before and after immersion in N-methyl-2-pyrrolidone of the test piece was measured with a spectrophotometer (UV-1650PC, manufactured by Shimadzu Corporation).

이 평가의 기준은 이하와 같다.The criteria for this evaluation are as follows.

○ : ΔE*ab 가 3.0 미만○: ΔE * ab is less than 3.0

× : ΔE*ab 가 3.0 이상×: ΔE * ab is 3.0 or more

상기의 내용제성의 평가 결과를 표 7 ∼ 9 에 나타낸다.The evaluation result of said solvent resistance is shown to Tables 7-9.

표 7 및 8 의 결과로부터, 합성예 1 ∼ 17 에서 얻어진 (A) 공중합체는, 우수한 보존 안정성을 나타내고, 합성예 1 ∼ 17 에서 얻어진 (A) 공중합체를 사용한 감광성 수지 조성물은, 높은 경도를 갖는 수지 경화막을 부여하고, 또한, 합성예 1 ∼ 17 에서 얻어진 (A) 공중합체를 사용한 착색제 함유 감광성 수지 조성물은, 알칼리 현상성 및 내용제성이 우수한 패턴을 부여하였다 (실시예 1 ∼ 17).From the results of Tables 7 and 8, the copolymer (A) obtained in Synthesis Examples 1 to 17 shows excellent storage stability, and the photosensitive resin composition using the copolymer (A) obtained in Synthesis Examples 1 to 17 has high hardness. The resin cured film which has was provided, and the coloring agent containing photosensitive resin composition using the (A) copolymer obtained by Synthesis Examples 1-17 provided the pattern excellent in alkali developability and solvent resistance (Examples 1-17).

이에 반해, (A-2) 화합물 대신에 3-(메타크릴로일옥시)프로필트리메톡시실란 및 3-(메타크릴로일옥시)프로필메틸디메톡시실란을 사용한 비교 합성예 1 및 2 의 (A) 공중합체는, 보존 안정성이 충분하지 않았다 (비교예 1 및 2). 메톡시형의 알콕시실릴기는, 에톡시형에 비해 반응성이 높기 때문인 것으로 추찰된다. 또, 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올 또는 제 2 급 알코올 중 어느 것을 적어도 포함하는 용제를 사용하지 않는 비교 합성예 3 및 4 의 (A) 공중합체도, 보존 안정성이 충분하지 않았다 (비교예 3 및 4). 제 3 급 알코올 용제나 비알코올 용제는 물에 대한 용매화가 약하여, 알콕시실릴기의 가수 분해 반응이 진행되기 쉽기 때문인 것으로 추찰된다.In contrast, (A-2) of Comparative Synthesis Examples 1 and 2 using 3-(methacryloyloxy)propyltrimethoxysilane and 3-(methacryloyloxy)propylmethyldimethoxysilane instead of compound (A-2) A) The copolymer did not have sufficient storage stability (Comparative Examples 1 and 2). The methoxy-type alkoxysilyl group is presumed to be because the reactivity is high compared with the ethoxy-type. Further, the copolymers (A) of Comparative Synthesis Examples 3 and 4 in which a solvent containing at least either a primary alcohol having 3 to 10 carbon atoms or a secondary alcohol was not used did not have sufficient storage stability ( Comparative Examples 3 and 4). A tertiary alcohol solvent and a non-alcoholic solvent have weak solvation with respect to water, and it is guessed because it is because the hydrolysis reaction of an alkoxysilyl group advances easily.

(A-1) 화합물을 포함하지 않는 비교 합성예 5 의 (A) 공중합체를 사용한 착색 감광성 수지 조성물은, 내용제성은 양호했지만, 알칼리 현상성이 불충분하였다 (비교예 5). (A-2) 화합물의 함유 비율이 10 몰% 인 비교 합성예 6 의 (A) 공중합체를 사용한 감광성 수지 조성물은, 경도가 불충분하고, 비교 합성예 6 의 (A) 공중합체를 사용한 착색 감광성 수지 조성물은, 알칼리 현상성은 양호했지만, 내용제성이 불충분하였다 (비교예 6). 또, (A-2) 화합물의 함유 비율이 90 몰% 인 비교 합성예 7 의 (A) 공중합체를 사용한 감광성 수지 조성물은, 내용제성은 양호했지만, 알칼리 현상성이 불충분하였다.(A-1) Although the coloring photosensitive resin composition using the (A) copolymer of the comparative synthesis example 5 which does not contain a compound had favorable solvent resistance, alkali developability was inadequate (comparative example 5). (A-2) The photosensitive resin composition using the copolymer (A) of Comparative Synthesis Example 6 having a compound content of 10 mol% has insufficient hardness and color photosensitivity using the copolymer (A) of Comparative Synthesis Example 6 Although the resin composition had favorable alkali developability, solvent resistance was inadequate (Comparative Example 6). Moreover, although the solvent resistance of the photosensitive resin composition using the (A) copolymer of the comparative synthesis example 7 whose content rate of (A-2) compound is 90 mol% was favorable, alkali developability was inadequate.

산업상 이용가능성Industrial Applicability

본 발명에 의하면, 높은 경도 및 우수한 내용제성을 갖는 수지 경화막을 부여하고, 현상성이 양호함과 함께, 보존 안정성도 우수한 감광성 수지 조성물이 제공된다. 또, 높은 경도 및 우수한 내용제성을 갖는 수지 경화막, 이것을 구비하는 화상 표시 소자가 제공된다. 그 감광성 수지 조성물은, 투명막, 보호막, 절연막, 오버 코트, 포토 스페이서, 블랙 매트릭스, 블랙 칼럼 스페이서, 컬러 필터용의 레지스트로서 바람직하게 사용할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while providing the resin cured film which has high hardness and the outstanding solvent resistance, developability is favorable, and the photosensitive resin composition excellent also in storage stability is provided. Moreover, the cured resin film which has high hardness and the outstanding solvent resistance, and the image display element provided with this are provided. The photosensitive resin composition can be preferably used as a transparent film, a protective film, an insulating film, an overcoat, a photo-spacer, a black matrix, a black column spacer, and the resist for color filters.

Claims (11)

(A) 산기를 갖는 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위 (a-1), 하기 식 (1) 또는 (2) 로 나타내는 구성 단위 (a-2), 그리고 다른 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위 (a-3) 을 포함하는 공중합체로서, 전체 구성 단위의 합계를 100 몰% 로 했을 때에 구성 단위 (a-2) 를 20 몰% ∼ 80 몰% 포함하고, 중량 평균 분자량이 1000 ∼ 50000 이고 또한 분자량 분포 (Mw/Mn) 가 1.5 ∼ 3.0 인 공중합체와,
(B) 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올 및 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 2 급 알코올로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종을 포함하는 용제와,
(C) 반응성 희석제와,
(D) 광 중합 개시제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
Figure pct00018

Figure pct00019

[식 (1) 중, R1 은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, n 은 1 ∼ 10 의 정수이다. 식 (2) 중, R2 는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, m 은 1 ∼ 10 의 정수이다.]
(A) a structural unit derived from a polymerizable unsaturated compound having an acid group (a-1), a structural unit represented by the following formula (1) or (2) (a-2), and a structural unit derived from another polymerizable unsaturated compound ( As a copolymer containing a-3), when the total of all structural units is 100 mol%, 20 mol% to 80 mol% of the structural unit (a-2) is included, the weight average molecular weight is 1000 to 50000, and a copolymer having a molecular weight distribution (Mw/Mn) of 1.5 to 3.0;
(B) a solvent containing at least one selected from the group consisting of primary alcohols having 3 to 10 carbon atoms and secondary alcohols having 3 to 10 carbon atoms;
(C) a reactive diluent;
(D) A photoinitiator is included, The photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned.
Figure pct00018

Figure pct00019

[In Formula (1), R<1> represents a hydrogen atom or a methyl group, and n is an integer of 1-10. In formula (2), R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group, and m is an integer of 1 to 10.]
제 1 항에 있어서,
상기 구성 단위 (a-1) 의 산기가 카르복시기이고, 상기 (A) 공중합체가 상기 구성 단위 (a-1) 을 10 몰% ∼ 50 몰% 포함하고, 또한 상기 (A) 공중합체의 산가가 20 KOHmg/g ∼ 300 KOHmg/g 인 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The acid group of the structural unit (a-1) is a carboxy group, the copolymer (A) contains 10 mol% to 50 mol% of the structural unit (a-1), and the acid value of the copolymer (A) The photosensitive resin composition of 20 KOHmg/g - 300 KOHmg/g.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 (B) 용제가, 탄소 원자수 3 ∼ 10 의 제 1 급 알코올을 포함하는 감광성 수지 조성물.
3. The method according to claim 1 or 2,
The photosensitive resin composition in which the said (B) solvent contains a C3-C10 primary alcohol.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 구성 단위 (a-3) 이, 고리 구조를 갖는 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위인 감광성 수지 조성물.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The photosensitive resin composition in which the said structural unit (a-3) is a structural unit derived from the polymerizable unsaturated compound which has a ring structure.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 구성 단위 (a-3) 이, 스티렌, 스티렌 유도체, 비닐톨루엔, 방향족 기 함유 (메트)아크릴레이트 및 고리형 탄화수소기 함유 (메트)아크릴레이트로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위인 감광성 수지 조성물.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The structural unit (a-3) is at least one polymerizable unsaturated selected from the group consisting of styrene, styrene derivatives, vinyltoluene, aromatic group-containing (meth)acrylates and cyclic hydrocarbon group-containing (meth)acrylates The photosensitive resin composition which is a structural unit derived from a compound.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 구성 단위 (a-3) 이, 스티렌, 비닐톨루엔, 페닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트 및 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 중합성 불포화 화합물 유래의 구성 단위인 감광성 수지 조성물.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
The structural unit (a-3) is selected from the group consisting of styrene, vinyltoluene, phenyl (meth)acrylate, benzyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate and dicyclopentanyl (meth)acrylate The photosensitive resin composition which is a structural unit derived from at least 1 type of polymerizable unsaturated compound used as
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 구성 단위 (a-3) 을 1 몰% ∼ 70 몰% 포함하는 감광성 수지 조성물.
7. The method according to any one of claims 1 to 6,
The photosensitive resin composition containing 1 mol% - 70 mol% of the said structural unit (a-3).
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 (B) 용제를 제외한 성분의 총합을 100 질량부로 했을 때에, 상기 (A) 공중합체의 함유량이 5 질량부 ∼ 85 질량부, 상기 (C) 반응 희석제의 함유량이 5 질량부 ∼ 85 질량부, 상기 (D) 광 중합 개시제의 함유량이 0.1 질량부 ∼ 30 질량부인 감광성 수지 조성물.
8. The method according to any one of claims 1 to 7,
When the total of the components excluding the (B) solvent is 100 parts by mass, the content of the copolymer (A) is 5 parts by mass to 85 parts by mass, and the content of the reaction diluent (C) is 5 parts by mass to 85 parts by mass The photosensitive resin composition whose content of said (D) photoinitiator is 0.1 mass part - 30 mass parts.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
(E) 착색제를 추가로 포함하는 감광성 수지 조성물.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
(E) A photosensitive resin composition further comprising a colorant.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물의 경화물인 것을 특징으로 하는 수지 경화막.It is hardened|cured material of the photosensitive resin composition in any one of Claims 1-9, The resin cured film characterized by the above-mentioned. 제 10 항에 기재된 수지 경화막을 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시 소자.The cured resin film of Claim 10 is provided, The image display element characterized by the above-mentioned.
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