KR20220009871A - Pressure sensor - Google Patents

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KR20220009871A
KR20220009871A KR1020210080066A KR20210080066A KR20220009871A KR 20220009871 A KR20220009871 A KR 20220009871A KR 1020210080066 A KR1020210080066 A KR 1020210080066A KR 20210080066 A KR20210080066 A KR 20210080066A KR 20220009871 A KR20220009871 A KR 20220009871A
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fluid
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KR1020210080066A
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리나 오가사와라
고지 유키
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아즈빌주식회사
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Abstract

The objective of the present invention is to provide a pressure sensor that is less susceptible to attachment and can be reduced in size. The pressure sensor, according to the present invention, comprises: a base part (14) which is overlappingly attached to a sensor mounting seat (5) having a pressure guide port (6) to which the pressure of a measured fluid (3) is transmitted, through a seal member (11); a pressure chamber part (17) which is supported by the base part (14) via a cylindrical connection part (16) and includes a pressure chamber (20) in which a pressure-receiving diaphragm (19) becomes a part of the wall; and a pressure guide part (22) in which the pressure chamber part (17) is connected to one end of the pressure guide part (22) and a sensor element (13) for pressure detection is connected to the other end of the pressure guide part (22), wherein through a pressure-transmitting fluid (21), the pressure is transmitted from the pressure-receiving diaphragm (19) to the sensor element (13). The interior of the cylindrical connection part (16) is filled with the measured fluid (3) or the pressure-transmitting fluid (21), and thus the cylindrical connection part (16) can function as a pressure-transmitting path (24) for transmitting pressure. The outer diameter of the connection part (16) is smaller than the outer diameter of the pressure-receiving diaphragm (19).

Description

압력 센서{PRESSURE SENSOR}pressure sensor {PRESSURE SENSOR}

본 발명은 피측정 유체의 압력을 받는 수압 다이어프램을 구비한 압력 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure sensor having a hydraulic diaphragm that receives the pressure of a fluid to be measured.

종래의 압력 센서로서는, 피측정 유체의 압력을 수압(受壓) 다이어프램에서 받고, 이 압력을 수압 다이어프램으로부터 압력 전달용의 액체를 통해 센서 소자에 전달하는 구성의 것이 있다. 이 종류의 압력 센서는, 피측정 유체의 압력이 전달되는 도압(導壓) 포트에 볼트 체결 등에 의해 부착된다. 이 압력 센서에 있어서는, 볼트를 체결할 때에 체결력이 수압 다이어프램에 전달되어, 0점이 시프트하여 특성이 악화하는 경우가 있다.A conventional pressure sensor has a configuration in which a pressure of the fluid to be measured is received by a water pressure diaphragm, and this pressure is transmitted from the water pressure diaphragm to a sensor element through a liquid for pressure transmission. This type of pressure sensor is attached to a pressure guiding port to which the pressure of the fluid to be measured is transmitted by fastening bolts or the like. In this pressure sensor, when the bolt is tightened, the clamping force is transmitted to the water pressure diaphragm, and the zero point shifts and the characteristic deteriorates in some cases.

이러한 체결력의 영향을 적게 억제한 종래의 압력 센서로서는, 예컨대 특허문헌 1이나 특허문헌 2에 기재되어 있다. 특허문헌 1에 기재된 압력 센서에 있어서는, 도압 포트에 접속되는 시일면으로부터 떨어진 위치에 수압 다이어프램을 배치함으로써, 체결의 영향을 저감하고 있다. 특허문헌 2에 기재된 압력 센서에 있어서는, 수압 다이어프램과 동일면 내에 있어서, 수압 다이어프램과 시일부 사이에 응력 흡수부를 마련함으로써, 체결의 영향을 저감하고 있다.As a conventional pressure sensor which suppressed the influence of such a fastening force little, it describes in patent document 1 and patent document 2, for example. In the pressure sensor described in patent document 1, the influence of fastening is reduced by arrange|positioning a pressure receiving diaphragm in the position away from the sealing surface connected to a pressure guiding port. In the pressure sensor described in Patent Document 2, in the same plane as the water pressure diaphragm, by providing a stress absorbing portion between the water pressure diaphragm and the seal portion, the influence of fastening is reduced.

특허문헌 1: 일본 공개 특허 제2003-294563호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2003-294563 특허문헌 2: 일본 공개 특허 제2011-252739호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-252739

특허문헌 1에 나타내는 압력 센서에 있어서, 수압 다이어프램이 체결력의 영향을 받지 않도록 하기 위해서는, 수압 다이어프램을 시일면으로부터 충분히 떼어 놓을 필요가 있어, 다른 기구부의 배치 위치나 치수의 제약에 따라서는, 소형화가 곤란해진다. 또한, 수압 다이어프램이 마련되어 있는 부재를 크게 형성해야 한다. 특허문헌 2에 나타내는 압력 센서에 있어서, 수압 다이어프램이 체결력의 영향을 받지 않도록 하기 위해서는, 수압 다이어프램, 또는 수압 다이어프램의 면내 방향 외측에 충분히 큰 응력 흡수부를 형성해야 한다. 이 때문에, 특허문헌 1에 나타내는 압력 센서와 특허문헌 2에 나타내는 압력 센서 양자 모두 체결력의 영향을 받지 않도록 하면 소형화가 곤란해진다.In the pressure sensor disclosed in Patent Document 1, in order to prevent the water pressure diaphragm from being affected by the clamping force, it is necessary to sufficiently separate the water pressure diaphragm from the sealing surface. it gets difficult In addition, the member provided with the hydraulic diaphragm must be formed large. In the pressure sensor disclosed in Patent Document 2, in order to prevent the water pressure diaphragm from being affected by the fastening force, a sufficiently large stress absorbing portion must be formed on the water pressure diaphragm or the outside of the water pressure diaphragm in the in-plane direction. For this reason, when both the pressure sensor shown in patent document 1 and the pressure sensor shown in patent document 2 are not affected by the clamping force, size reduction becomes difficult.

최근의 반도체 시장용 차압식 매스플로우 컨트롤러에 있어서는, 고정밀도화 및 소형화의 필요성이 높아지고 있으며, 그 컴포넌트의 하나인 압력 센서에 대하여도 추가적인 고정밀도화 및 소형화가 요청되고 있다.In recent differential pressure type mass flow controllers for the semiconductor market, the need for high precision and miniaturization is increasing, and further high precision and miniaturization are requested for a pressure sensor, which is one of its components.

본 발명의 목적은, 부착에 의한 영향을 받기 어려워 소형화 가능한 압력 센서를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a pressure sensor that is less susceptible to adhesion and can be miniaturized.

이 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 압력 센서는, 피측정 유체의 압력이 전달되는 도압구(導壓口)를 갖는 센서용 부착 시트에 시일 부재를 통해 중첩하여 부착된 베이스부와, 상기 베이스부에 통형의 접속부를 통해 지지되며, 상기 피측정 유체의 압력을 받는 수압 다이어프램이 벽의 일부가 되도록 형성되어 상기 피측정 유체와는 구분된 압력실을 포함하는 압력실부와, 상기 압력실부가 일단에 접속되며 타단에 압력 검출용의 센서 소자가 접속되고, 상기 수압 다이어프램으로부터 상기 센서 소자에 압력 전달용의 액체에 의해 압력을 전달하는 도압부를 구비하고, 상기 접속부는, 내부가 상기 피측정 유체 또는 상기 압력 전달용의 액체로 채워져 압력을 전달하는 도압로로서 기능하고, 상기 접속부의 외경은, 상기 수압 다이어프램의 외경보다 작은 것이다.In order to achieve this object, a pressure sensor according to the present invention includes a base part superimposed on a sensor attachment sheet having a pressure guiding port through which the pressure of a fluid to be measured is transmitted and superposedly attached through a sealing member, and the base; A pressure chamber part supported through a cylindrical connection part in the unit and formed so that a hydraulic pressure diaphragm receiving the pressure of the fluid to be measured becomes a part of the wall and including a pressure chamber separated from the fluid to be measured, and the pressure chamber part is one end is connected to and a sensor element for pressure detection is connected to the other end, and a pressure guiding portion for transmitting pressure from the water pressure diaphragm to the sensor element by means of a liquid for pressure transmission is provided, wherein the connection portion has an inside of the fluid to be measured Alternatively, it is filled with the liquid for pressure transmission and functions as a pressure guiding path for transmitting pressure, and the outer diameter of the connecting portion is smaller than the outer diameter of the water pressure diaphragm.

본 발명은 상기 압력 센서에 있어서, 상기 압력실부는, 상기 수압 다이어프램이 상기 도압구 내의 상기 피측정 유체로부터 압력을 받도록 상기 도압구 안에 배치되고, 상기 접속부는, 상기 베이스부에 있어서의 상기 센서용 부착 시트와 대향하는 시일면으로부터 상기 센서용 부착 시트를 향하여 돌출하도록 형성되고, 상기 센서 소자는, 상기 베이스부에 지지되고, 상기 도압부는, 상기 압력실부 및 상기 접속부의 내부와, 상기 접속부로부터 상기 센서 소자까지 연장되도록 상기 베이스부 내에 형성된 통로 구멍을 채우는 상기 압력 전달용의 액체에 의해 압력이 전달되도록 구성되어 있어도 좋다.According to the present invention, in the pressure sensor, the pressure chamber portion is disposed in the pressure guiding port so that the hydraulic pressure diaphragm receives pressure from the fluid to be measured in the pressure guiding port, and the connection portion is for the sensor in the base portion formed so as to protrude from a sealing surface opposite to the attachment sheet toward the attachment sheet for sensors, the sensor element is supported by the base portion, and the pressure guiding portion includes an interior of the pressure chamber portion and the connection portion and from the connection portion The pressure may be transmitted by the pressure transmission liquid filling the passage hole formed in the base portion so as to extend to the sensor element.

본 발명은 상기 압력 센서에 있어서, 상기 접속부는, 상기 베이스부에 일체로 형성되어 있어도 좋다.According to the present invention, in the pressure sensor, the connection portion may be integrally formed with the base portion.

본 발명은 상기 압력 센서에 있어서, 상기 접속부는, 상기 베이스부와는 별체로 형성되고, 상기 베이스부에 고착되어 있어도 좋다.According to the present invention, in the pressure sensor, the connection portion may be formed separately from the base portion, and may be fixed to the base portion.

본 발명은 상기 압력 센서에 있어서, 상기 압력실부는, 상기 베이스부에 대하여 상기 센서용 부착 시트와는 반대측에 배치되고, 상기 접속부는, 상기 베이스부로부터 상기 센서용 부착 시트와는 반대 방향으로 돌출하도록 형성되며, 상기 센서 소자는, 상기 압력실부에 지지되고, 상기 도압부는, 상기 압력실부의 벽을 관통하는 관통 구멍에 의해 압력이 전달되도록 구성되며, 상기 베이스부는, 상기 센서용 부착 시트와 대향하는 시일면으로부터 상기 접속부에 연장되는 도압 구멍을 갖고, 상기 피측정 유체의 압력이 상기 도압 구멍과 상기 접속부의 내부를 통해 상기 수압 다이어프램에 전달되고 있어도 좋다.According to the present invention, in the pressure sensor, the pressure chamber portion is disposed on a side opposite to the sensor attachment sheet with respect to the base portion, and the connection portion protrudes from the base portion in a direction opposite to the sensor attachment sheet. wherein the sensor element is supported by the pressure chamber portion, the pressure guiding portion is configured to transmit pressure through a through hole penetrating a wall of the pressure chamber portion, and the base portion comprises: the sensor attachment sheet; It may have a pressure guiding hole extending from the opposite sealing surface to the connecting portion, and the pressure of the fluid to be measured may be transmitted to the pressure receiving diaphragm through the pressure guiding hole and the inside of the connecting portion.

본 발명은 상기 압력 센서에 있어서, 상기 수압 다이어프램이 상기 시일면에 대하여 수직이 되도록 구성되어 있어도 좋다.According to the present invention, in the pressure sensor, the water pressure diaphragm may be configured to be perpendicular to the sealing surface.

본 발명은 상기 압력 센서에 있어서, 상기 접속부의 돌출측 단부가 상기 시일면에 대하여 수직이 되는 방향으로 연장되도록 형성되어 상기 압력실부에 접속되어 있어도 좋다.According to the present invention, in the pressure sensor, the protruding end of the connecting portion may be formed to extend in a direction perpendicular to the sealing surface and connected to the pressure chamber portion.

본 발명에 있어서는, 베이스부의 변형이 접속부에서 차단되게 되어 수압 다이어프램에 전해지기 어려워지기 때문에, 수압 다이어프램과 시일면의 거리를 크게 잡을 필요가 없고, 또한 베이스부를 대형으로 형성하는 일 없이 수압 다이어프램에의 체결력의 영향을 막을 수 있다. 이 수압 다이어프램 또는 수압 다이어프램의 면내 방향 외측에는, 변형 흡수 구조를 마련할 필요는 없다. 따라서, 본 발명에 따르면, 베이스부를 센서용 부착 시트에 부착할 때의 영향을 받기 어려워, 소형화 가능한 압력 센서를 제공할 수 있다.In the present invention, since the deformation of the base portion is blocked at the connecting portion and is difficult to be transmitted to the water pressure diaphragm, it is not necessary to set a large distance between the water pressure diaphragm and the sealing surface, and it is not necessary to make the base portion large. It is possible to prevent the influence of the clamping force. It is not necessary to provide a strain-absorbing structure on the pressure-receiving diaphragm or the outside of the pressure-receiving diaphragm in the in-plane direction. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a pressure sensor which is less susceptible to the influence when the base portion is attached to the sensor attachment sheet and can be miniaturized.

도 1은 제1 실시형태에 따른 압력 센서의 단면도이다.
도 2는 접속부의 변형예를 나타내는 단면도이다.
도 3은 제2 실시형태에 따른 압력 센서의 단면도이다.
도 4는 제3 실시형태에 따른 압력 센서의 단면도이다.
도 5는 제3 실시형태에 따른 압력 센서의 단면도이다.
도 6은 접속부의 변형예를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a first embodiment.
Fig. 2 is a cross-sectional view showing a modified example of a connecting portion.
3 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a second embodiment.
4 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a third embodiment.
5 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a third embodiment.
Fig. 6 is a cross-sectional view showing a modified example of the connecting portion.

(제1 실시형태)(First embodiment)

이하, 본 발명에 따른 압력 센서의 일 실시형태를 도 1을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1에 나타내는 압력 센서는, 청구항 1~3에 기재한 발명을 적용한 것이다.Hereinafter, an embodiment of a pressure sensor according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1 . The pressure sensor shown in FIG. 1 applies the invention described in Claims 1-3.

도 1에 나타내는 압력 센서(1)는, 도 1에 있어서 가장 아래에 그려진 압력 포트(2)에 부착하여 압력 포트(2) 내의 피측정 유체(3)의 압력을 검출하기 위한 것이다. 압력 포트(2)는, 금속 재료에 의해 소정의 형상으로 형성되어 있고, 피측정 유체(3)가 흐르는 유로(도시 생략)로부터 분기된 도압용 통로(4)와, 압력 센서(1)를 부착하기 위한 평탄한 센서용 부착 시트(5)를 갖고 있다. 도압용 통로(4)의 내부는, 피측정 유체(3)로 채워져 있다. 피측정 유체(3)는, 도 1에 있어서는 액체로서 그려져 있지만, 기체여도 좋다. 센서용 부착 시트(5)는, 도압용 통로(4)의 개구를 포함하는 도압구(6)를 갖고 있다.The pressure sensor 1 shown in FIG. 1 is attached to the pressure port 2 drawn at the bottom in FIG. 1 , and is for detecting the pressure of the fluid 3 to be measured in the pressure port 2 . The pressure port 2 is formed of a metal material in a predetermined shape, and a pressure guiding passage 4 branched from a flow path (not shown) through which the fluid 3 to be measured flows (not shown), and a pressure sensor 1 are attached thereto. It has the flat sensor attachment sheet 5 for this. The inside of the pressure-guiding passage 4 is filled with the fluid to be measured 3 . Although the fluid 3 to be measured is drawn as a liquid in FIG. 1, it may be a gas. The sensor attachment sheet 5 has a pressure guiding tool 6 including an opening of the pressure guiding passage 4 .

이 실시형태에 따른 압력 센서(1)는, 센서용 부착 시트(5)에 시일 부재(11)를 통해 중첩된 베이스 부재(12)를 구비하고 있다. 베이스 부재(12)는, 금속 재료에 의해 소정의 형상으로 형성되어 있고, 센서용 부착 시트(5)와 대향하는 시일면(12a)과, 시일면(12a)과는 반대측의 센서 부착면(12b)을 갖고 있다. 시일 부재(11)는, O 링을 포함하고, 시일면(12a)과 센서용 부착 시트(5) 사이에 끼워져 있다. 센서 부착면(12b)에는, 압력 검출용의 센서 소자(13)가 접착되어 있다. 센서 소자(13)는, 한쪽의 면과 다른쪽의 면에 받는 압력차에 따른 신호를 출력하는 센서 다이어프램을 이용한 소자, 예컨대 변형식, 정전 용량식, 자기변형식, 광학식 등을 적용할 수 있다. 이 실시형태에 따른 베이스 부재(12)의 시일면(12a)과 센서 부착면(12b) 사이의 부분은, 원판형으로 형성되어 있다. 이하에 있어서는, 이 원판형의 부분을 베이스부(14)라고 한다. 베이스부(14)의 형상은 원판형에 한정되지 않고, 각판형이어도 좋다.The pressure sensor 1 which concerns on this embodiment is equipped with the base member 12 superposed on the attachment sheet 5 for sensors via the sealing member 11. As shown in FIG. The base member 12 is formed of a metal material in a predetermined shape, and has a sealing surface 12a opposite to the sensor attachment sheet 5 and a sensor attachment surface 12b opposite to the sealing surface 12a. ) has The sealing member 11 includes an O-ring, and is sandwiched between the sealing surface 12a and the sensor attachment sheet 5 . A sensor element 13 for pressure detection is adhered to the sensor attachment surface 12b. As the sensor element 13, an element using a sensor diaphragm that outputs a signal according to a pressure difference applied to one surface and the other surface, for example, a deformable type, a capacitive type, a magnetostrictive type, an optical type, etc. can be applied. . A portion between the sealing surface 12a and the sensor attachment surface 12b of the base member 12 according to this embodiment is formed in a disk shape. In the following, this disk-shaped portion is referred to as the base portion 14 . The shape of the base portion 14 is not limited to a disk shape, and may be a square plate shape.

베이스 부재(12)는, 시일 부재(11)가 시일면(12a)과 센서용 부착 시트(5) 사이에서 압축되도록, 복수의 부착용 볼트(15)에 의해 센서용 부착 시트(5)에 부착되어 있다. 부착용 볼트(15)는, 시일 부재(11)보다 외측에 배치되어 있다. 부착 방법은 볼트 체결에 한정되지 않고, 클램프, 나사 고정 등에 의해 부착하는 구조로 하여도 좋다.The base member 12 is attached to the sensor attachment sheet 5 by a plurality of attachment bolts 15 such that the sealing member 11 is compressed between the sealing surface 12a and the sensor attachment sheet 5. have. The mounting bolt 15 is disposed outside the sealing member 11 . The attachment method is not limited to bolt fastening, and the structure may be attached by clamping, screwing, or the like.

베이스 부재(12)의 중앙부에는, 시일면(12a)으로부터 센서용 부착 시트(5)를 향하여 돌출하는 접속부(16)와, 접속부(16)의 돌출단에 접속된 압력실부(17)가 마련되어 있다.In the central portion of the base member 12, a connection portion 16 protruding from the sealing surface 12a toward the sensor attachment sheet 5, and a pressure chamber portion 17 connected to the protruding end of the connection portion 16 are provided. .

접속부(16)는, 통형으로 형성되어 있고, 내부에 관통 구멍(16a)을 갖고 있다. 이 실시형태에 따른 접속부(16)는, 단면 원형의 파이프형이 되도록 베이스부(14)에 일체로 형성되어 있다. 또한, 접속부(16)의 형상은, 단면 원형의 파이프형에 한정되는 일은 없고, 예컨대 각통형으로 형성할 수 있다.The connecting portion 16 is formed in a cylindrical shape and has a through hole 16a therein. The connection part 16 concerning this embodiment is integrally formed with the base part 14 so that it may become a pipe shape with a circular cross section. In addition, the shape of the connection part 16 is not limited to the pipe shape of circular cross section, For example, it can form in a square cylinder shape.

압력실부(17)는, 접속부(16)를 통해 베이스부(14)에 지지되어 있다. 이 실시형태에 따른 압력실부(17)는, 베이스부(14)와는 반대 방향을 향하여 개구하는 바닥을 갖는 원통형의 하우징(18)과, 하우징(18)의 개구부를 폐색하는 수압 다이어프램(19)에 의해 구성되어 있다. 이 압력실부(17) 중에는, 하우징(18)과 수압 다이어프램(19)에 의해 둘러싸인 압력실(20)이 형성되어 있다. 압력실(20)은, 수압 다이어프램(19)이 벽의 일부가 되도록 형성되어 피측정 유체(3)와는 구분되어 있다.The pressure chamber part 17 is supported by the base part 14 via the connection part 16 . The pressure chamber portion 17 according to this embodiment includes a cylindrical housing 18 having a bottom that opens in a direction opposite to the base portion 14, and a water pressure diaphragm 19 that closes the opening of the housing 18. is composed by A pressure chamber 20 surrounded by a housing 18 and a water pressure diaphragm 19 is formed in the pressure chamber portion 17 . The pressure chamber 20 is formed so that the hydraulic pressure diaphragm 19 becomes a part of the wall, and is separated from the fluid 3 to be measured.

압력실(20) 내는, 압력 전달용의 액체(21)로 채워져 있고, 베이스 부재(12)의 중앙부에 마련된 후술하는 도압부(22)에 의해 센서 소자(13)에 접속되어 있다.The pressure chamber 20 is filled with a pressure transmission liquid 21 , and is connected to the sensor element 13 by a pressure guiding unit 22 provided in the central portion of the base member 12 to be described later.

수압 다이어프램(19)은, 금속제의 판재에 의해 원판형으로 형성되어 있고, 피측정 유체(3)의 압력을 받아 변형되어, 압력실(20)의 용적을 바꾼다. 이 때문에, 피측정 유체(3)의 압력이 수압 다이어프램(19)을 통해 압력실(20) 내의 압력 전달용의 액체(21)에 전달된다. 이 실시형태에 따른 압력실부(17)는, 수압 다이어프램(19)이 도압구(6) 내의 피측정 유체(3)로부터 압력을 받도록 도압구(6) 안에 배치되어 있다.The water pressure diaphragm 19 is formed in a disk shape with a metal plate, and is deformed by the pressure of the fluid 3 to be measured, thereby changing the volume of the pressure chamber 20 . For this reason, the pressure of the fluid 3 to be measured is transmitted to the liquid 21 for pressure transmission in the pressure chamber 20 via the hydraulic pressure diaphragm 19 . The pressure chamber portion 17 according to this embodiment is disposed in the pressure guiding port 6 so that the water pressure diaphragm 19 receives pressure from the fluid 3 to be measured in the pressure guiding port 6 .

이 실시형태에 따른 도압부(22)는, 하우징(18)의 관통 구멍(18a)과, 접속부(16)의 내부의 관통 구멍(16a)과, 접속부(16)로부터 센서 소자(13)까지 연장되도록 베이스부(14) 내에 형성된 통로 구멍(23)과, 이들 구멍에 채워진 압력 전달용의 액체(21)에 의해 구성되어 있다. 이 도압부(22)는, 압력실부(17)가 일단에 접속되며 타단에 압력 검출용의 센서 소자(13)가 접속되고, 수압 다이어프램(19)으로부터 센서 소자(13)에 압력 전달용의 액체(21)에 의해 압력을 전달한다. 상세하게 서술하면, 도압부(22)는, 압력실부(17) 및 접속부(16)의 내부와, 접속부(16)로부터 센서 소자(13)까지 연장되도록 베이스부(14) 내에 형성된 통로 구멍(23)을 채우는 압력 전달용의 액체(21)에 의해 압력이 전달되도록 구성되어 있다. 봉입액을 충전하기 위한 봉입 구멍은, 예컨대 베이스부(14), 압력실부(17), 센서 소자(13)에 마련되고, 강구(鋼球)의 용접이나 땜납 등에 의해 밀봉할 수 있다. 이 실시형태에 따른 접속부(16)는, 내부가 압력 전달용의 액체(21)로 채워져 압력을 전달하는 도압로(24)로서 기능한다. 이 접속부(16)의 외경은, 수압 다이어프램(19)의 외경보다 작다.The pressure guiding part 22 according to this embodiment extends from the through hole 18a of the housing 18 , the through hole 16a inside the connection part 16 , and the connection part 16 to the sensor element 13 . It is comprised by the passage hole 23 formed in the base part 14 as much as possible, and the liquid 21 for pressure transmission filled in these holes. The pressure guiding unit 22 has a pressure chamber unit 17 connected to one end, a pressure sensor element 13 connected to the other end, and a liquid for pressure transmission from the water pressure diaphragm 19 to the sensor element 13 . Transmit the pressure by (21). In detail, the pressure guiding portion 22 includes the pressure chamber portion 17 and the inside of the connection portion 16 and the passage hole 23 formed in the base portion 14 so as to extend from the connection portion 16 to the sensor element 13 . ) is configured such that the pressure is transmitted by the liquid 21 for pressure transmission that fills it. The sealing hole for filling the sealing liquid is provided in the base part 14, the pressure chamber part 17, and the sensor element 13, for example, and can be sealed by welding, soldering, etc. of a steel ball. The connecting portion 16 according to this embodiment functions as a pressure guiding path 24 that is filled with the liquid 21 for pressure transmission inside and transmits the pressure. The outer diameter of the connecting portion 16 is smaller than the outer diameter of the water pressure diaphragm 19 .

이와 같이 구성된 압력 센서(1)에 있어서는, 피측정 유체(3)의 압력이 수압 다이어프램(19)으로부터 압력 전달용의 액체(21)를 통해 센서 소자(13)에 전달되고, 센서 소자(13)에 의해 압력이 검출된다. 이 압력 센서(1)는, 베이스 부재(12)에 모든 부품을 조립하여 압력 전달용의 액체(21)가 내부에 봉입된 상태에서 압력 포트(2)의 센서용 부착 시트(5)에 부착된다. 이 부착을 행하기 위해 부착용 볼트(15)를 꽉 조이면, 베이스부(14)의 시일 부재(11)보다 외측의 부분이 센서용 부착 시트(5)를 향하여 압박되어, 베이스부(14)가 도 1에 있어서 상방을 향하여 볼록해지도록 변형될 우려가 있다. 종래의 압력 센서와 같이 베이스부에 수압 다이어프램이 마련되어 있는 경우는, 베이스부의 변형에 따라 수압 다이어프램이 변형되기 때문에, 수압 다이어프램을 체결부로부터 멀리 떨어지도록 베이스 부재를 크게 형성할 필요가 있었다.In the pressure sensor 1 configured as described above, the pressure of the fluid to be measured 3 is transmitted from the hydraulic pressure diaphragm 19 to the sensor element 13 through the liquid 21 for pressure transmission, and the sensor element 13 pressure is detected by This pressure sensor 1 is attached to the sensor attachment sheet 5 of the pressure port 2 in a state where all parts are assembled to the base member 12 and the pressure transmission liquid 21 is sealed therein. . When the attachment bolt 15 is tightened to perform this attachment, the portion outside the sealing member 11 of the base portion 14 is pressed toward the sensor attachment sheet 5, and the base portion 14 is closed. In 1, there exists a possibility that it may deform|transform so that it may become convex toward upper direction. In the case where the water pressure diaphragm is provided in the base portion as in the conventional pressure sensor, the water pressure diaphragm is deformed according to the deformation of the base portion.

그러나, 이 실시형태에 따른 압력 센서(1)에 있어서는, 수압 다이어프램(19)을 갖는 압력실부(17)가 가는 접속부(16)를 통해 베이스부(14)에 지지되어 있기 때문에, 베이스부(14)의 변형이 접속부(16)에서 차단되게 되어 수압 다이어프램(19)에는 전해지기 어려워진다. 즉, 베이스부(14)가 변형되는 것 같은 경우라도 수압 다이어프램(19)은 변형되는 일이 없다.However, in the pressure sensor 1 according to this embodiment, since the pressure chamber portion 17 having the water pressure diaphragm 19 is supported by the base portion 14 via the thin connecting portion 16 , the base portion 14 ) is blocked at the connecting portion 16 , making it difficult to transmit to the hydraulic diaphragm 19 . That is, even when the base portion 14 seems to be deformed, the hydraulic pressure diaphragm 19 is not deformed.

이 때문에, 이 압력 센서(1)에 있어서는, 종래의 압력 센서와 비교하여 베이스부(14)를 대형으로 형성하는 일 없이, 수압 다이어프램(19)에의 체결력의 영향을 막을 수 있다. 이 수압 다이어프램(19)에는, 변형 흡수 구조를 마련할 필요는 없다. 따라서, 이 실시형태에 따르면, 베이스부(14)를 센서용 부착 시트(5)에 부착할 때의 영향을 받기 어려워, 소형화 가능한 압력 센서(1)를 제공할 수 있다.For this reason, in this pressure sensor 1, compared with the conventional pressure sensor, the influence of the clamping force on the water pressure diaphragm 19 can be prevented without forming the base part 14 large. The pressure-receiving diaphragm 19 does not need to be provided with a strain absorbing structure. Therefore, according to this embodiment, the pressure sensor 1 which is less susceptible to the influence at the time of attaching the base part 14 to the attachment sheet 5 for sensors, and can be miniaturized can be provided.

이 실시형태에 따른 압력 센서(1)의 압력실부(17)는, 수압 다이어프램(19)이 도압구(6) 내의 피측정 유체(3)로부터 압력을 받도록 도압구(6) 안에 배치되어 있다. 접속부(16)는, 베이스부(14)에 있어서의 센서용 부착 시트(5)와 대향하는 시일면(12a)으로부터 센서용 부착 시트(5)를 향하여 돌출하도록 형성되어 있다. 센서 소자(13)는, 베이스부(14)에 지지되어 있다. 도압부(22)는, 압력실부(17) 및 접속부(16)의 내부와, 접속부(16)로부터 센서 소자(13)까지 연장되도록 베이스부(14) 내에 형성된 통로 구멍(23)을 채우는 압력 전달용의 액체(21)에 의해 압력이 전달되도록 구성되어 있다.The pressure chamber portion 17 of the pressure sensor 1 according to this embodiment is arranged in the pressure guiding port 6 so that the water pressure diaphragm 19 receives pressure from the fluid 3 to be measured in the pressure guiding port 6 . The connection part 16 is formed so that it may protrude toward the attachment sheet 5 for sensors from the sealing surface 12a opposing the attachment sheet 5 for sensors in the base part 14. As shown in FIG. The sensor element 13 is supported by the base portion 14 . The pressure guiding portion 22 transmits pressure filling the inside of the pressure chamber portion 17 and the connecting portion 16 and the passage hole 23 formed in the base portion 14 so as to extend from the connecting portion 16 to the sensor element 13 . It is configured such that the pressure is transmitted by the liquid 21 of the dragon.

이 때문에, 이 실시형태에 따르면, 수압 다이어프램(19)을 갖는 압력실부(17)를 도압구(6) 안에 수용할 수 있기 때문에, 센서용 부착 시트(5)로부터 돌출하는 부분이 작고 컴팩트한 압력 센서를 실현할 수 있다.For this reason, according to this embodiment, since the pressure chamber portion 17 having the water pressure diaphragm 19 can be accommodated in the pressure guiding port 6, the portion protruding from the sensor attachment sheet 5 is small and compact. sensor can be realized.

이 실시형태에 따른 접속부(16)는, 베이스 부재(12)의 베이스부(14)에 일체로 형성되어 있다. 이러한 접속부(16)는, 기계 가공에 의해 간단하게 형성할 수 있기 때문에, 압력실부(17)가 베이스 부재(12)로부터 떨어져 있는 구조의 압력 센서(1)를 용이하게 제조할 수 있다.The connecting portion 16 according to this embodiment is integrally formed with the base portion 14 of the base member 12 . Since the connecting portion 16 can be formed simply by machining, the pressure sensor 1 having a structure in which the pressure chamber portion 17 is separated from the base member 12 can be easily manufactured.

(접속부의 변형예)(Modified example of connection part)

접속부는 도 2에 나타내는 바와 같이 구성할 수 있다. 도 2에 있어서, 도 1에 의해 설명한 것과 동일 또는 동등한 부재에 대해서는, 동일 부호를 붙이고 상세한 설명을 적절하게 생략한다. 도 2에 나타내는 압력 센서(31)는, 청구항 4에 기재한 발명을 적용한 것이다. 도 2에 나타내는 접속부(16)는, 베이스부(14)와는 별체로 형성된 파이프(32)에 의해 구성되어 있고, 베이스부(14)에 고착되어 있다. 이 실시형태에 따른 접속부(16)는, 베이스부(14)에 용접되어 있다. 또한, 이 실시형태에 따른 압력실부(17)의 하우징(18)은, 베이스부(14) 및 접속부(16)와는 별체로 형성되며, 접속부(16)에 용접되어 있다. 접합 방법은, 용접 이외에, 납땜, 땜납, 확산 접합, 압입, 코오킹, 접착 등을 적용할 수 있다.A connection part can be comprised as shown in FIG. In FIG. 2, the same code|symbol is attached|subjected about the same or equivalent member as that demonstrated with FIG. 1, and detailed description is abbreviate|omitted suitably. The pressure sensor 31 shown in FIG. 2 applies the invention described in claim 4 . The connection part 16 shown in FIG. 2 is comprised by the pipe 32 formed separately from the base part 14, and is fixed to the base part 14. As shown in FIG. The connecting portion 16 according to this embodiment is welded to the base portion 14 . In addition, the housing 18 of the pressure chamber part 17 which concerns on this embodiment is formed separately from the base part 14 and the connection part 16, and is welded to the connection part 16. As shown in FIG. As the bonding method, other than welding, soldering, soldering, diffusion bonding, press-fitting, caulking, bonding, or the like can be applied.

이 실시형태에 나타내는 바와 같이 접속부(16)를 베이스부(14)와는 별체로 형성하는 경우는, 접속부(16)를 형성하는 재료를 베이스부(14)의 재료와 비교하여 강성이 낮은 재료로 할 수 있다. 이와 같이 강성이 낮은 재료에 의해 접속부(16)가 형성된 경우는, 베이스부(14)의 변형이 한층 더 수압 다이어프램(19)에 전달되기 어려워진다. 또한, 베이스부(14)나 압력실부(17)의 형상에 따라 접속부(16)의 일체 가공이 곤란한 경우에는, 별체로 형성하여 접합하는 것이 바람직하다.As shown in this embodiment, when the connecting portion 16 is formed separately from the base portion 14, the material forming the connecting portion 16 is made of a material having lower rigidity than that of the base portion 14. can When the connecting portion 16 is formed of a material having low rigidity in this way, the deformation of the base portion 14 is more difficult to be transmitted to the water pressure diaphragm 19 . In addition, when integral processing of the connection part 16 is difficult depending on the shape of the base part 14 or the pressure chamber part 17, it is preferable to form and join it as a separate body.

(제2 실시형태)(Second embodiment)

본 발명에 따른 압력 센서는, 도 3에 나타내는 바와 같이 구성할 수 있다. 도 3에 있어서, 도 1에 의해 설명한 것과 동일 또는 동등한 부재에 대해서는, 동일 부호를 붙이고 상세한 설명을 적절하게 생략한다. 도 3에 나타내는 압력 센서는, 청구항 5에 기재한 발명을 적용한 것이다.The pressure sensor which concerns on this invention can be comprised as shown in FIG. In FIG. 3, about the same or equivalent member as that demonstrated with FIG. 1, the same code|symbol is attached|subjected and detailed description is abbreviate|omitted suitably. The pressure sensor shown in FIG. 3 applies the invention of Claim 5.

도 3에 나타내는 압력 센서(41)는, 압력실부(17)의 위치가 제1 실시형태에 따른 압력 센서와는 다르다. 이 실시형태에 따른 압력실부(17)는, 베이스부(14)에 대하여 센서용 부착 시트(5)와는 반대측에 배치되어 있다. 이 압력실부(17)의 하우징(18)은, 수압 다이어프램측을 접속부(16)에 접속하기 위해, 수압 다이어프램(19)을 덮는 원환형의 덮개(42)를 갖고 있다.The pressure sensor 41 shown in FIG. 3 differs from the pressure sensor according to the first embodiment in the position of the pressure chamber 17 . The pressure chamber portion 17 according to this embodiment is disposed on the opposite side to the sensor attachment sheet 5 with respect to the base portion 14 . The housing 18 of the pressure chamber portion 17 has an annular lid 42 covering the pressure receiving diaphragm 19 in order to connect the pressure receiving diaphragm side to the connecting portion 16 .

접속부(16)는, 베이스부(14)로부터 센서용 부착 시트(5)와는 반대 방향으로 돌출하도록 형성되며, 덮개(42)와 베이스부(14)를 접속하고 있다. 도 3에 나타내는 접속부(16)는, 베이스부(14) 및 하우징(18)과 일체로 형성되도록 그려져 있지만, 도 2에 나타내는 바와 같이 베이스부(14)나 하우징(18)과는 별체로 형성할 수 있다. 이 실시형태에 따른 접속부(16)는, 내부의 관통 구멍(16a)이 피측정 유체(3)로 채워져 압력을 전달하는 도압로(43)로서 기능한다.The connection part 16 is formed so that it may protrude from the base part 14 in the direction opposite to the attachment sheet 5 for sensors, and the cover 42 and the base part 14 are connected. Although the connection part 16 shown in FIG. 3 is drawn so that it may be formed integrally with the base part 14 and the housing 18, as shown in FIG. 2, it may be formed separately from the base part 14 and the housing 18. can The connecting portion 16 according to this embodiment functions as a pressure guiding path 43 through which the internal through-hole 16a is filled with the fluid 3 to be measured and transmits pressure.

이 실시형태에 따른 센서 소자(13)는, 압력실부(17)의 하우징(18)에 지지되어 있다. 하우징(18)에는, 압력실(20) 내로부터 센서 소자(13)에 압력이 전달되도록, 센서 소자(13)와 대응하는 위치에 관통 구멍(44)이 형성되어 있다. 이 실시형태에 따른 도압부(22)는, 하우징(18)의 관통 구멍(44)[압력실부(17)의 벽을 관통하는 관통 구멍]을 포함하는 도압로(45)에 의해 압력이 전달되도록 구성되어 있다.The sensor element 13 according to this embodiment is supported by the housing 18 of the pressure chamber portion 17 . A through hole 44 is formed in the housing 18 at a position corresponding to the sensor element 13 so that pressure is transmitted to the sensor element 13 from within the pressure chamber 20 . The pressure guiding portion 22 according to this embodiment is configured such that the pressure is transmitted by the pressure guiding path 45 including a through hole 44 of the housing 18 (a through hole penetrating the wall of the pressure chamber portion 17 ). Consists of.

베이스부(14)는, 센서용 부착 시트(5)와 대향하는 시일면(12a)으로부터 접속부(16)에 연장되는 도압 구멍(46)을 갖고 있다. 이 경우, 피측정 유체(3)의 압력이 도압 구멍(46)과 접속부(16)의 내부의 관통 구멍(16a)을 통해 수압 다이어프램(19)에 전달된다.The base portion 14 has a pressure guiding hole 46 extending from the sealing surface 12a facing the sensor attachment sheet 5 to the connecting portion 16 . In this case, the pressure of the fluid 3 to be measured is transmitted to the water pressure diaphragm 19 through the pressure guiding hole 46 and the through hole 16a inside the connecting portion 16 .

이와 같이 압력실부(17)가 베이스부(14)에 대하여 센서용 부착 시트(5)와는 반대측에 위치하는 구성을 채용하는 경우라도, 베이스부(14)를 센서용 부착 시트(5)에 부착할 때의 영향을 받기 어려워, 소형화 가능한 압력 센서(41)를 제공할 수 있다.Even in the case where the pressure chamber portion 17 is positioned on the opposite side to the sensor attachment sheet 5 with respect to the base portion 14 as described above, the base portion 14 can be attached to the sensor attachment sheet 5 . The pressure sensor 41 which is less susceptible to the influence of time and can be miniaturized can be provided.

(제3 실시형태)(Third embodiment)

본 발명에 따른 압력 센서는, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이 구성할 수 있다. 도 4 및 도 5에 있어서, 도 1에 의해 설명한 것과 동일 또는 동등한 부재에 대해서는, 동일 부호를 붙이고 상세한 설명을 적절하게 생략한다. 도 4 및 도 5에 나타내는 압력 센서는, 청구항 6에 기재한 발명을 적용한 것이다. 도 5의 파단 위치는, 도 4 중에 V-V선으로 나타내는 위치이다.The pressure sensor which concerns on this invention can be comprised as shown in FIG.4 and FIG.5. In Figs. 4 and 5, the same or equivalent members as those described with reference to Fig. 1 are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted appropriately. The pressure sensor shown in FIG. 4 and FIG. 5 applies the invention described in claim 6 . The breaking position in FIG. 5 is a position indicated by the line V-V in FIG. 4 .

도 4 및 도 5에 나타내는 압력 센서(51)는, 압력실부(17)의 구성이 제1 실시형태에서 나타낸 압력 센서(1)와는 다르다. 이 실시형태에 따른 압력실부(17)는, 베이스부(14)에 대하여 센서용 부착 시트(5)와는 반대측에 배치되어 있고, 수압 다이어프램(19)이 베이스부(14)의 시일면(12a)에 대하여 수직이 되도록 구성되어 있다.The pressure sensor 51 shown in FIG. 4 and FIG. 5 differs from the pressure sensor 1 shown in 1st Embodiment in the structure of the pressure chamber part 17. As shown in FIG. The pressure chamber portion 17 according to this embodiment is disposed on the opposite side to the sensor attachment sheet 5 with respect to the base portion 14 , and the water pressure diaphragm 19 is disposed on the sealing surface 12a of the base portion 14 . It is configured to be perpendicular to

압력실부(17)의 하우징(18)은, 중공의 원판형으로 형성되고, 압력실(20)과는 수압 다이어프램(19)을 사이에 두고 대향하는 수압실(52)을 갖고 있다. 수압실(52)은, 접속부(16)의 내부를 통해 베이스부(14)의 도압 구멍(53)에 접속되어 있다. 도압 구멍(53)은, 베이스부(14)의 시일면(12a)으로부터 접속부(16)에 연장되어 있다. 이 경우, 피측정 유체(3)의 압력이 도압 구멍(53)과, 접속부(16)의 내부의 관통 구멍(16a)과, 수압실(52)을 통해 수압 다이어프램(19)에 전달된다.The housing 18 of the pressure chamber part 17 is formed in the shape of a hollow disk, and has the pressure receiving chamber 52 which opposes the pressure chamber 20 with the pressure receiving diaphragm 19 interposed therebetween. The pressure receiving chamber 52 is connected to the pressure guiding hole 53 of the base portion 14 through the inside of the connecting portion 16 . The pressure guiding hole 53 extends from the sealing surface 12a of the base portion 14 to the connecting portion 16 . In this case, the pressure of the fluid to be measured 3 is transmitted to the pressure receiving diaphragm 19 through the pressure guiding hole 53 , the through hole 16a inside the connecting portion 16 , and the pressure receiving chamber 52 .

이 실시형태에 따른 센서 소자(13)는, 압력실부(17)의 하우징(18)에 도압용의 파이프(54)를 통해 지지되어 있다. 도압용의 파이프(54)의 일단은 하우징(18)의 관통 구멍(55)을 통해 압력실(20)에 접속되고, 타단은 센서 소자(13)에 접속되어 있다. 이 때문에, 이 실시형태에 따른 도압부(22)는, 하우징(18)의 관통 구멍(55)[압력실부(17)의 벽을 관통하는 관통 구멍]을 포함하는 도압로(56)에 의해 압력이 전달되도록 구성되어 있다.The sensor element 13 according to this embodiment is supported by a housing 18 of the pressure chamber 17 via a pressure guiding pipe 54 . One end of the pressure guiding pipe 54 is connected to the pressure chamber 20 through the through hole 55 of the housing 18 , and the other end is connected to the sensor element 13 . For this reason, the pressure guiding portion 22 according to this embodiment is pressed by a pressure guiding path 56 including a through hole 55 of the housing 18 (a through hole passing through the wall of the pressure chamber portion 17 ). It is designed to be delivered.

이와 같이 구성된 압력 센서(51)에 있어서는, 부착용 볼트(15)로 베이스부(14)가 센서용 부착 시트(5)에 체결됨으로써, 베이스부(14)가 도 4 중에 화살표로 나타내는 방향으로 변형되게 된다. 변형 방향은, 센서용 부착 시트(5)에 근접하면서 베이스 부재(12)의 측방을 향하는 것 같은 경사 방향이다.In the pressure sensor 51 configured in this way, the base portion 14 is fastened to the sensor attachment sheet 5 with the attachment bolts 15 so that the base portion 14 is deformed in the direction indicated by the arrow in FIG. 4 . do. The deformation direction is an inclination direction toward the side of the base member 12 while approaching the sensor attachment sheet 5 .

이 경우, 접속부(16)가 직경 방향의 외측을 향하여 넓어지는 방향으로 베이스부(14)에 의해 인장되게 된다. 이 접속부(16)를 인장하는 힘의 방향, 환언하면 하우징(18)을 변형시키도록 접속부(16)로부터 하우징(18)에 전달되는 힘의 방향은, 수압 다이어프램(19)의 면을 따르는 방향과는 다르다. 이 때문에, 체결에 의해 생기는 힘은, 수압 다이어프램(19)에 이것을 변형시키도록 작용하는 일은 없다.In this case, the connecting portion 16 is stretched by the base portion 14 in a direction in which it spreads outward in the radial direction. The direction of the force that tensions this connection part 16, in other words, the direction of the force transmitted from the connection part 16 to the housing 18 so as to deform the housing 18, is the direction along the surface of the hydraulic diaphragm 19 and is different For this reason, the force generated by the fastening does not act on the water pressure diaphragm 19 to deform it.

따라서, 이 실시형태를 채용함으로써, 베이스부(14)를 센서용 부착 시트(5)에 부착할 때의 영향을 한층 더 받기 어려워진다.Therefore, by employing this embodiment, it becomes more difficult to receive the influence at the time of attaching the base part 14 to the attachment sheet 5 for sensors.

(접속부의 변형예)(Modified example of connection part)

도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이 압력실부(17)를 배치하는 경우, 접속부(16)를 도 6에 나타내는 것과 같이 구성할 수 있다. 도 6에 있어서, 도 1, 도 4 및 도 5에 의해 설명한 것과 동일 또는 동등한 부재에 대해서는, 동일 부호를 붙이고 상세한 설명을 적절하게 생략한다. 도 6에 나타내는 압력 센서는, 청구항 6에 기재한 발명을 적용한 것이다.When the pressure chamber part 17 is arrange|positioned as shown in FIGS. 4 and 5, the connection part 16 can be comprised as shown in FIG. In FIG. 6, the same code|symbol is attached|subjected and detailed description is abbreviate|omitted suitably about the member same or equivalent to that demonstrated with FIG. 1, FIG. 4, and FIG. The pressure sensor shown in FIG. 6 applies the invention described in claim 6 .

도 6에 나타내는 압력 센서(61)의 접속부(16)는, 베이스부(14)로부터 센서용 부착 시트(5)와는 반대 방향으로 연장되는 기부(62)와, 기부(62)의 선단으로부터 베이스부(14)의 시일면(12a)에 대하여 수직이 되는 방향으로 연장되는 돌출측 단부(63)를 갖고 있다. 돌출측 단부(63)의 선단은, 중공의 원판형을 나타내는 하우징(18)의 중심부에 접속되어 있다.The connection part 16 of the pressure sensor 61 shown in FIG. 6 is the base part 62 extending from the base part 14 in the direction opposite to the sensor attachment sheet 5, and the base part from the front-end|tip of the base part 62. It has a projecting-side end portion 63 extending in a direction perpendicular to the sealing surface 12a of (14). The tip of the protrusion-side end portion 63 is connected to the central portion of the housing 18 having a hollow disk shape.

이 실시형태를 채용함으로써, 베이스부(14)의 변형이 압력실부(17)에 거의 전달되지 않게 되기 때문에, 베이스부(14)를 센서용 부착 시트(5)에 부착할 때의 영향을 거의 받는 일이 없는 압력 센서를 제공할 수 있다.By adopting this embodiment, since deformation of the base portion 14 is hardly transmitted to the pressure chamber portion 17, it is hardly affected by the attachment of the base portion 14 to the sensor attachment sheet 5. A work-free pressure sensor can be provided.

1, 31, 41, 51, 61 : 압력 센서 3 : 피측정 유체
5 : 센서용 부착 시트 6 : 도압구
11 : 시일 부재 12a : 시일면
13 : 센서 소자 14 : 베이스부
15 : 부착용 볼트(체결 부재) 16 : 접속부
17 : 압력실부 19 : 수압 다이어프램
20 : 압력실 21 : 압력 전달용의 액체
22 : 도압부 23 : 통로 구멍
44, 55 : 관통 구멍 24, 45, 56 : 도압로
46, 53 : 도압 구멍 63 : 돌출측 단부.1, 31, 41, 51, 61: pressure sensor 3: fluid to be measured
5 : sensor attachment sheet 6 : pressure guiding tool
11: Seal member 12a: Seal surface
13: sensor element 14: base part
15: bolt for attachment (fastening member) 16: connection part
17: pressure chamber part 19: water pressure diaphragm
20: pressure chamber 21: liquid for pressure transmission
22: pressure guiding part 23: passage hole
44, 55: through hole 24, 45, 56: pressure guiding path
46, 53: pressure guiding hole 63: protrusion side end.

Claims (7)

피측정 유체의 압력이 전달되는 도압구(導壓口)를 갖는 센서용 부착 시트에 시일 부재를 통해 중첩하여 부착된 베이스부와,
상기 베이스부에 통형의 접속부를 통해 지지되고, 상기 피측정 유체의 압력을 받는 수압(受壓) 다이어프램이 벽의 일부가 되도록 형성되어 상기 피측정 유체와는 구분된 압력실을 포함하는 압력실부와,
상기 압력실부가 일단에 접속되고 타단에 압력 검출용의 센서 소자가 접속되며, 상기 수압 다이어프램으로부터 상기 센서 소자에 압력 전달용의 액체에 의해 압력을 전달하는 도압부
를 구비하고,
상기 접속부는, 내부가 상기 피측정 유체 또는 상기 압력 전달용의 액체로 채워져 압력을 전달하는 도압로로서 기능하고,
상기 접속부의 외경은, 상기 수압 다이어프램의 외경보다 작은 것을 특징으로 하는 압력 센서.a base portion superimposed on the sensor attachment sheet having a pressure guiding port through which the pressure of the fluid to be measured is transmitted through a sealing member;
A pressure chamber part supported by a cylindrical connection part on the base part and formed so that a hydraulic diaphragm receiving the pressure of the fluid to be measured becomes a part of the wall and including a pressure chamber separated from the fluid to be measured; ,
The pressure chamber part is connected to one end and a sensor element for pressure detection is connected to the other end, and a pressure guiding part transmits pressure from the water pressure diaphragm to the sensor element by a liquid for pressure transmission.
to provide
The connection part functions as a pressure guiding path for transmitting pressure by filling the inside with the fluid to be measured or the liquid for pressure transmission,
An outer diameter of the connecting portion is smaller than an outer diameter of the water pressure diaphragm. 제1항에 있어서, 상기 압력실부는, 상기 수압 다이어프램이 상기 도압구 내의 상기 피측정 유체로부터 압력을 받도록 상기 도압구 안에 배치되고,
상기 접속부는, 상기 베이스부에 있어서의 상기 센서용 부착 시트와 대향하는 시일면으로부터 상기 센서용 부착 시트를 향하여 돌출하도록 형성되며,
상기 센서 소자는, 상기 베이스부에 지지되고,
상기 도압부는, 상기 압력실부 및 상기 접속부의 내부와, 상기 접속부로부터 상기 센서 소자까지 연장되도록 상기 베이스부 내에 형성된 통로 구멍을 채우는 상기 압력 전달용의 액체에 의해 압력이 전달되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 센서.The method according to claim 1, wherein the pressure chamber part is disposed in the pressure guiding port so that the hydraulic pressure diaphragm receives pressure from the fluid to be measured in the pressure guiding port,
the connecting portion is formed so as to protrude toward the sensor attachment sheet from a sealing surface of the base portion opposite to the sensor attachment sheet;
The sensor element is supported on the base portion,
The pressure guiding portion is configured such that pressure is transmitted by the pressure transmitting liquid filling the inside of the pressure chamber portion and the connecting portion, and a passage hole formed in the base portion so as to extend from the connecting portion to the sensor element. pressure sensor with 제2항에 있어서, 상기 접속부는, 상기 베이스부에 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 센서.The pressure sensor according to claim 2, wherein the connecting portion is integrally formed with the base portion. 제2항에 있어서, 상기 접속부는, 상기 베이스부와는 별체로 형성되고, 상기 베이스부에 고착되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 센서.The pressure sensor according to claim 2, wherein the connection part is formed separately from the base part and is fixed to the base part. 제1항에 있어서, 상기 압력실부는, 상기 베이스부에 대하여 상기 센서용 부착 시트와는 반대측에 배치되고,
상기 접속부는, 상기 베이스부로부터 상기 센서용 부착 시트와는 반대 방향으로 돌출하도록 형성되며,
상기 센서 소자는, 상기 압력실부에 지지되고,
상기 도압부는, 상기 압력실부의 벽을 관통하는 관통 구멍을 포함하는 도압로에 의해 압력이 전달되도록 구성되며,
상기 베이스부는, 상기 센서용 부착 시트와 대향하는 시일면으로부터 상기 접속부에 연장되는 도압 구멍을 가지고,
상기 피측정 유체의 압력이 상기 도압 구멍과 상기 접속부의 내부를 통해 상기 수압 다이어프램에 전달되는 것을 특징으로 하는 압력 센서.The sensor attachment sheet according to claim 1, wherein the pressure chamber part is disposed on a side opposite to the sensor attachment sheet with respect to the base part;
The connection part is formed to protrude from the base part in a direction opposite to the sensor attachment sheet,
The sensor element is supported by the pressure chamber,
The pressure guiding unit is configured to transmit pressure by a pressure guiding path including a through hole penetrating the wall of the pressure chamber unit,
the base portion has a pressure guiding hole extending from the sealing surface opposite to the sensor attachment sheet to the connecting portion;
The pressure sensor of claim 1, wherein the pressure of the fluid to be measured is transmitted to the hydraulic diaphragm through the pressure guiding hole and the inside of the connection part. 제5항에 있어서, 상기 수압 다이어프램은 상기 시일면에 대하여 수직이 되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 센서.The pressure sensor according to claim 5, wherein the hydraulic pressure diaphragm is configured to be perpendicular to the sealing surface. 제6항에 있어서, 상기 접속부의 돌출측 단부가 상기 시일면에 대하여 수직이 되는 방향으로 연장되도록 형성되어 상기 압력실부에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 센서.The pressure sensor according to claim 6, wherein the protruding end of the connecting portion is formed to extend in a direction perpendicular to the sealing surface and is connected to the pressure chamber portion.
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