KR20210140998A - 스마트 칼라필터 - Google Patents
스마트 칼라필터 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20210140998A KR20210140998A KR1020200057988A KR20200057988A KR20210140998A KR 20210140998 A KR20210140998 A KR 20210140998A KR 1020200057988 A KR1020200057988 A KR 1020200057988A KR 20200057988 A KR20200057988 A KR 20200057988A KR 20210140998 A KR20210140998 A KR 20210140998A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- color filter
- smart color
- phase change
- change material
- dielectric
- Prior art date
Links
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 55
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 33
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 31
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000012782 phase change material Substances 0.000 claims description 37
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical group N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 13
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 12
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 12
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 12
- -1 poly(allylamine hydrochloride) Polymers 0.000 claims description 12
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims description 11
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims description 11
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims description 11
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 claims description 11
- 229910000618 GeSbTe Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229920002518 Polyallylamine hydrochloride Polymers 0.000 claims description 10
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 6
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N tellurium dioxide Chemical compound O=[Te]=O LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 6
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910021542 Vanadium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 3
- GRUMUEUJTSXQOI-UHFFFAOYSA-N vanadium dioxide Chemical compound O=[V]=O GRUMUEUJTSXQOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 26
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 25
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 25
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 24
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 6
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GNTDGMZSJNCJKK-UHFFFAOYSA-N divanadium pentaoxide Chemical compound O=[V](=O)O[V](=O)=O GNTDGMZSJNCJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 4
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium(II) oxide Chemical compound [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N molybdenum trioxide Chemical compound O=[Mo](=O)=O JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- HPLXJFZCZSBAAH-UHFFFAOYSA-N [V+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] Chemical compound [V+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] HPLXJFZCZSBAAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N tungsten trioxide Chemical compound O=[W](=O)=O ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
- G02B5/282—Interference filters designed for the infrared light reflecting for infrared and transparent for visible light, e.g. heat reflectors, laser protection
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/26—Reflecting filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
본 발명은 스마트 칼라필터에 관한 것이다. 한 구체예에서 상기 스마트 칼라필터는 투명기판; 상기 투명기판의 하나 이상의 표면에 형성되며, 유전체 광학 스페이서 및 상변이 물질층이 순차적으로 형성된 단위시트층; 및 상기 단위시트층 상부에 형성되고, 상변이 물질층과 접하는 유전체 비반사 보호층;을 포함한다.
Description
본 발명은 스마트 칼라필터에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 온도에 의해 가시광선 및 적외선 영역의 광투과도 및 광반사도가 변화하는 스마트 칼라필터에 관한 것이다.
일반적인 건물의 외벽 및 창 등은 외부 온도에 무관하게, 외부로부터 입사되는 광을 그대로 투과 또는 흡수하여, 실내의 색 환경 및 온도에 많은 영향을 준다. 이러한 빛의 투과 및 흡수로 인해, 계절에 따라 실내 색 환경 및 온도의 유지에 많은 비용이 든다. 이에 실내로 투과되는 색 및 외부로 보이는 반사 색을 조절할 수 있고, 계절 혹은 외부의 온도에 따라 실내 온도에 직접적으로 영향을 주는 적외선 대역의 빛을 선택적으로 투과 및 반사 시킬 수 있는 스마트 칼라필터에 대한 연구가 주목을 받고 있다.
하지만, 기존의 스마트 칼라필터에 이용되는 상변이 물질의 특성상 온도에 따른 가시광선 대역 빛에 대한 반응성이 적고, 적외선 대역 빛의 투과-반사 비율의 증가 한계로 인해서 새로운 상변이 물질의 발명 또는 기존의 상변이 물질을 이용한 광공학적 새로운 스마트 칼라필터 구조에 대한 연구가 필요하다.
본 발명과 관련한 배경기술은 대한민국 등록특허공보 제10-1427307호(2014.08.06. 공고, 발명의 명칭: 금속 나노 입자를 포함하는 컬러 필터)에 개시되어 있다.
본 발명의 하나의 목적은 가시광선 대역 내의 광반응성 효율이 우수하고, 적외선 영역의 빛의 투과-반사 비율을 향상시킬 수 있는 스마트 칼라필터를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 광 공학적 구조를 제안하여, 가시광선-적외선 대역 빛의 광 반응성 효율을 높일 수 있는 스마트 칼라필터를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 대면적, 저비용 공정을 통해 광 반응성, 실용성 및 양산성이 우수한 스마트 칼라필터를 제공하는 것이다.
본 발명의 하나의 관점은 스마트 칼라필터에 관한 것이다. 한 구체예에서 상기 스마트 칼라필터는 투명기판; 상기 투명기판의 하나 이상의 표면에 형성되며, 유전체 광학 스페이서 및 상변이 물질층이 순차적으로 형성된 단위시트층; 및 상기 단위시트층 상부에 형성되고, 상변이 물질층과 접하는 유전체 비반사 보호층;을 포함한다.
한 구체예에서 상기 단위시트층은 하나 이상 포함될 수 있다.
한 구체예에서 상기 상변이 물질층 및 유전체 광학 스페이서는 1:1~1:10의 두께비로 포함될 수 있다.
한 구체예에서 상기 유전체 광학 스페이서는 두께가 10~300nm 이며, 상기 상변이물질층은 두께가 5~60nm일 수 있다.
한 구체예에서 상기 투명기판은 유리, 사파이어 및 폴리머 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 유전체 광학 스페이서는 제1 금속산화물, 제1 금속불화물 및 제1 금속질화물 중 하나 이상을 포함하며, 상기 제1 금속은 실리콘(Si), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 바나듐(V), 리튬(Li), 텅스텐(W), 아연(Zn), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 구리(Cu) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 유전체 광학 스페이서의 하나 이상의 표면에는 코팅층이 더 형성되며, 상기 코팅층은 실리콘 질화물(SiN), 플루오르화 마그네슘(MgF2), 산화텔루륨(TeO2), 산화티타늄(TiO2), 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리메틸(메타)아크릴레이트(polymethyl (meth)acrylate) 및 폴리알릴아민 하이드로클로라이드(poly(allylamine hydrochloride)) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 상변이 물질층은 바나듐 다이옥사이드(VO2) 및 게르마늄-안티몬-텔루륨(GeSbTe, germanium-antimony-tellurium) 중 하나 이상 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 유전체 비반사 보호층은 제2 금속산화물, 제2 금속불화물 및 제2 금속질화물 중 하나 이상을 포함하며, 상기 제2 금속은 실리콘(Si), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 바나듐(V), 리튬(Li), 텅스텐(W), 아연(Zn), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 구리(Cu) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 유전체 비반사 보호층의 하나 이상의 표면에는 코팅층이 더 형성되며, 상기 코팅층은 실리콘 질화물(SiN), 플루오르화 마그네슘(MgF2), 산화텔루륨(TeO2), 산화티타늄(TiO2), 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리메틸(메타)아크릴레이트(polymethyl (meth)acrylate) 및 폴리알릴아민 하이드로클로라이드(poly(allylamine hydrochloride)) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 유전체 광학 스페이서 및 유전체 비반사 보호층은 각각 화학기상증착(Chemical vapor deposition, CVD), 증착(Evaporation), 플라즈마-증강 화학기상증착(Plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD), 스퍼터링(Sputtering) 및 스핀코팅(Spin-coating) 중 하나 이상의 방법으로 형성될 수 있다.
한 구체예에서 상기 상변이 물질층은 화학기상증착(CVD), 증착(Evaporation), 플라즈마-증강 화학기상증착(PECVD), 스퍼터링(Sputtering) 및 스핀코팅(Spin-coating) 중 하나 이상의 방법으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 스마트 칼라필터는 가시광선 대역 내의 광반응성 효율이 우수하고, 적외선 영역의 빛의 투과-반사 비율을 향상시키며, 가시광선-적외선 대역 빛의 광 반응성 효율을 높이며, 기존의 상변이 물질 증착법을 활용하여 대면적 및 저비용 공정을 통해 광 반응성, 실용성 및 양산성이 우수할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 구체예에 따른 스마트 칼라필터를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 다른 구체예에 따른 스마트 칼라필터를 나타낸 것이다.
도 3은 비교예 1의 스마트 칼라필터를 나타낸 것이다.
도 4는 실시예 1 및 비교예 1의 광파장에 따른 광반사 평가 결과를 나타낸 것이다.
도 5는 실시예 2 및 비교예 1의 광파장에 따른 광반사 평가 결과를 나타낸 것이다.
도 6은 실시예 1 및 비교예 1의 광파장에 따른 광투과 평가 결과를 나타낸 것이다.
도 7은 실시예 2 및 비교예 1의 광파장에 따른 광투과 평가 결과를 나타낸 것이다.
도 8(a)는 실시예 1~2 및 비교예 1의 CIE1931 반사색 평가 결과이며, 도 8(b)는 실시예 1~2 및 비교예 1의 CIE1931 투과색 평가결과를 나타낸 것이다.
도 9(a)는 실시예 1의 낮은 온도(25℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm 에서의 전기장 분포도(Enorm) 평가결과이며, 도 9(b)는 실시예 1의 높은 온도(67℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm에서의 전기장 분포도 평가결과를 나타낸 것이다.
도 10(a)는 실시예 2의 낮은 온도(25℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm 에서의 전기장 분포도(Enorm) 평가결과이며, 도 10(b)는 실시예 2의 높은 온도(67℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm에서의 전기장 분포도 평가결과를 나타낸 것이다.
도 11(a)는 비교예 1의 낮은 온도(25℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm 에서의 전기장 분포도(Enorm) 평가결과이며, 도 11(b)는 비교예 1의 높은 온도(67℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm에서의 전기장 분포도 평가결과를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 다른 구체예에 따른 스마트 칼라필터를 나타낸 것이다.
도 3은 비교예 1의 스마트 칼라필터를 나타낸 것이다.
도 4는 실시예 1 및 비교예 1의 광파장에 따른 광반사 평가 결과를 나타낸 것이다.
도 5는 실시예 2 및 비교예 1의 광파장에 따른 광반사 평가 결과를 나타낸 것이다.
도 6은 실시예 1 및 비교예 1의 광파장에 따른 광투과 평가 결과를 나타낸 것이다.
도 7은 실시예 2 및 비교예 1의 광파장에 따른 광투과 평가 결과를 나타낸 것이다.
도 8(a)는 실시예 1~2 및 비교예 1의 CIE1931 반사색 평가 결과이며, 도 8(b)는 실시예 1~2 및 비교예 1의 CIE1931 투과색 평가결과를 나타낸 것이다.
도 9(a)는 실시예 1의 낮은 온도(25℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm 에서의 전기장 분포도(Enorm) 평가결과이며, 도 9(b)는 실시예 1의 높은 온도(67℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm에서의 전기장 분포도 평가결과를 나타낸 것이다.
도 10(a)는 실시예 2의 낮은 온도(25℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm 에서의 전기장 분포도(Enorm) 평가결과이며, 도 10(b)는 실시예 2의 높은 온도(67℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm에서의 전기장 분포도 평가결과를 나타낸 것이다.
도 11(a)는 비교예 1의 낮은 온도(25℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm 에서의 전기장 분포도(Enorm) 평가결과이며, 도 11(b)는 비교예 1의 높은 온도(67℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm에서의 전기장 분포도 평가결과를 나타낸 것이다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 이러한 실시예는 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며, 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 명세서에서 “상부”와 “하부”는 도면을 기준으로 정의한 것으로서, 보는 관점에 따라 “상부”가 “하부”로 “하부”가 “상부”로 변경될 수 있다. 또한, 본 명세서에서 위(on)” 또는 “상(on)”으로 지칭되는 것은 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 구조를 개재한 경우도 포함할 수 있다.
스마트 칼라필터
본 발명의 하나의 관점은 스마트 칼라필터에 관한 것이다. 도 1은 본 발명의 한 구체예에 따른 스마트 칼라필터를 나타낸 것이다.
상기 도 1을 참조하면, 스마트 칼라필터(1000)는 투명기판(110); 투명기판(110)의 하나 이상의 표면에 형성되며, 유전체 광학 스페이서(122) 및 상변이 물질층(124)이 순차적으로 형성된 단위시트층(120); 및 단위시트층(120) 상부에 형성되고, 상변이 물질층(124)과 접하는 유전체 비반사 보호층(130);을 포함한다.
한 구체예에서 상기 스마트 칼라필터에 외부로부터 광의 입사시, 유전체 비반사 보호층(130), 상변이 물질층(124), 유전체 광학 스페이서(122) 및 투명기판(110)의 순서로 투과되면서 광전 효과를 나타낼 수 있다.
한 구체예에서 투명기판(110)은 유리, 사파이어 및 폴리머 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 한 구체예에서 상기 폴리머는 폴리카보네이트, 폴리에틸렌 설파이드, 폴리아크릴레이트, 폴리에테르이미드, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트 및 폴리올레핀 중에서 하나 이상 포함할 수 있다.
한 구체예에서 투명기판(110)은 두께가 5nm~100mm 일 수 있다. 상기 조건에서 스마트 칼라필터의 구조적 안정성이 우수할 수 있다.
한 구체예에서 단위시트층(120)은 유전체 광학 스페이서(122) 및 상변이 물질층(124)이 순차적으로 형성된다.
한 구체예에서 유전체 광학 스페이서(122)는 제1 금속산화물, 제1 금속불화물 및 제1 금속질화물 중 하나 이상을 포함하며, 상기 제1 금속은 실리콘(Si), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 바나듐(V), 리튬(Li), 텅스텐(W), 아연(Zn), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 구리(Cu) 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들면 상기 유전체 광학 스페이서는 산화실리콘(SiO2), 산화몰리브덴(MoO3), 니켈산화물(NiOX), 오산화바나듐(V2O5), 플루오로화리튬(LiF), 산화텅스텐(WO3), 산화아연(ZnO), 산화마그네슘(MgO) 및 산화구리(CuOX) 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들면 상기 유전체 광학 스페이서는 산화실리콘(SiO2), 질화실리콘(Si3N4), 산화알루미늄(Al2O3) 및 플루오르화 마그네슘(MgF2) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
한 구체예에서 유전체 광학 스페이서(122)의 하나 이상의 표면에는 코팅층이 더 형성되며, 상기 코팅층은 실리콘 질화물(SiN), 플루오르화 마그네슘(MgF2), 산화텔루륨(TeO2), 산화티타늄(TiO2), 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리메틸(메타)아크릴레이트(polymethyl (meth)acrylate) 및 폴리알릴아민 하이드로클로라이드(poly(allylamine hydrochloride)) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상변이 물질층(124)은 바나듐 다이옥사이드(VO2) 및 게르마늄-안티몬-텔루륨(GeSbTe, germanium-antimony-tellurium, GST) 중 하나 이상 포함할 수 있다. 예를 들면 상기 게르마늄-안티몬-텔루륨은 상기 게르마늄, 안티몬 및 텔루륨이 다양한 몰비로 결합되어 형성될 수 있다.
한 구체예에서 상변이 물질층(124)은 폴리머 및 페로브스카이트 중 하나 이상을 더 포함할 수 있다. 한 구체예에서 상기 폴리머는 폴리카보네이트, 폴리에틸렌 설파이드, 폴리아크릴레이트, 폴리에테르이미드, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트 및 폴리올레핀 중에서 하나 이상 포함할 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 구체예에 따른 스마트 칼라필터를 나타낸 것이다. 상기 도 2를 참조하면, 스마트 칼라필터(2000)는 단위시트층(120)은 하나 이상 포함될 수 있다. 예를 들면 단위시트층(120)은 1~100 층으로 적층되어 형성될 수 있다. 상기 범위로 포함시 본 발명의 스마트 칼라필터의 가시광 대역의 광 반응성을 향상시키고, 적외선 대역의 광의 투과-반사 비율 증가 효과가 우수할 수 있다. 예를 들면 2~30 층 적층되어 형성될 수 있다.
한 구체예에서 상기 유전체 광학 스페이서는 두께가 10~300nm 이며, 상기 상변이 물질층은 두께가 5~60nm일 수 있다. 상기 범위에서, 본 발명의 증착비에 용이하게 도달할 수 있고, 반사를 줄이고, 가시광선-적외선 반응성을 보다 향상시킬 수 있다. 예를 들면 상기 유전체 광학 스페이서는 두께가 20~100nm 이며, 상기 상변이 물질층은 두께가 10~30nm일 수 있다.
한 구체예에서 상기 상변이 물질층 및 유전체 광학 스페이서는 1:0.1~1:10의 두께비로 포함될 수 있다. 상기 두께비로 포함시, 본 발명의 스마트 칼라필터의 가시광 대역의 광 반응성을 향상시키고, 적외선 대역의 광의 투과-반사 비율 증가효과가 우수할 수 있다. 예를 들면 1:1~1:10 두께비로 포함될 수 있다.
상변이 물질층(124)은 유전체 비반사 보호층(130)과 접한다. 상기 도 2와 같이, 단위시트층이 복수 개 포함되는 경우, 최상부의 상변이 물질층(124)과 유전체 비반사 보호층(130)이 접할 수 있다.
유전체 비반사 보호층(130)은 광 입사시 상변이 물질층으로부터 역으로 광이 반사되지 않도록 보호하여, 목적하는 광효율을 확보하기 위해 포함된다.
한 구체예에서 유전체 비반사 보호층(130)은 두께가 5~500nm 일 수 있다. 상기 범위에서, 본 발명의 가시광선 대역 내의 광 반응성 효율을 높일 수 있다. 또한 적외선 영역의 빛의 투과-반사 비율을 매우 증가시킬 수 있다.
한 구체예에서 유전체 비반사 보호층(130)은 제2 금속산화물, 제2 금속불화물 및 제2 금속질화물 중 하나 이상을 포함하며, 상기 제2 금속은 실리콘(Si), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 바나듐(V), 리튬(Li), 텅스텐(W), 아연(Zn), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 구리(Cu) 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들면 상기 유전체 비반사 보호층은 플루오르화 마그네슘(MgF2), 산화실리콘(SiO2), 산화몰리브덴(MoO3), 니켈산화물(NiOX), 오산화바나듐(V2O5), 플루오로화리튬(LiF), 산화텅스텐(WO3), 산화아연(ZnO), 산화마그네슘(MgO) 및 산화구리(CuOX) 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 바람직하게는 산화실리콘(SiO2)을 포함할 수 있다.
한 구체예에서 유전체 비반사 보호층(130)의 하나 이상의 표면에는 코팅층이 더 형성되며, 상기 코팅층은 실리콘 질화물(SiN), 플루오르화 마그네슘(MgF2), 산화텔루륨(TeO2), 산화티타늄(TiO2), 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리메틸(메타)아크릴레이트(polymethyl (meth)acrylate) 및 폴리알릴아민 하이드로클로라이드(poly(allylamine hydrochloride)) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
한 구체예에서 상기 유전체 광학 스페이서 및 유전체 비반사 보호층은 각각 화학기상증착(Chemical vapor deposition, CVD), 증착(Evaporation), 플라즈마-증강 화학기상증착(Plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD), 스퍼터링(Sputtering) 및 스핀코팅(Spin-coating) 중 하나 이상의 방법으로 형성될 수 있다.
한 구체예에서 상기 상변이 물질층은 화학기상증착(CVD), 증착(Evaporation), 플라즈마-증강 화학기상증착(PECVD), 스퍼터링(Sputtering) 및 스핀코팅(Spin-coating) 중 하나 이상의 방법으로 형성될 수 있다.
한 구체예에서 스핀코팅 방법을 적용하는 경우, 바나듐 트리-이소프로폭사이드(vanadium tri-isopropoxide, VO(OC3H7)3) 0.12M 용액을 투명기판 표면에 2500 rpm 조건으로 20초 스핀코팅한 다음, 250℃에서 3분간 열처리를 한다.그후 380℃에서 약 50분 동안 열처리를 하여, 중간 산화물인 V2O5를 얻고, 이후 저압 산소 환경에서 약 570℃에서 약 40분 이상 열처리를 하여 상변이 물질층을 형성할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 통하여 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다. 여기에 기재되지 않은 내용은 이 기술 분야에서 숙련된 자이면 충분히 기술적으로 유추할 수 있는 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.
실시예 및 비교예
실시예 1
투명기판의 일 표면에 두께 250nm의 유전체 광학 스페이서를 스핀코팅하고, 상기 유전체 광학 스페이서의 일 표면에 두께 40nm의 상변이 물질층을 스핀코팅하여 단위시트층을 형성하였다. 그 다음에 상기 상변이 물질층의 표면에 두께 10nm의 유전체 비반사 보호층을 스핀코팅하여, 상기 도 1과 같은 스마트 칼라필터를 제조하였다. (상변이 물질층:유전체 광학 스페이서= 1:6.25 두께비).
실시예 2
투명기판(110)의 일 표면에 두께 10nm의 유전체 광학 스페이서(122)를 스핀코팅하고, 유전체 광학 스페이서(122)의 일 표면에 두께 10nm의 상변이 물질층(124)을 스핀코팅하여 단위시트층(120)을 형성하는 공정을 6회 실시하였다. 그 다음에 최상부에 형성된 상변이 물질층(124)의 표면에 두께 20nm의 유전체 비반사 보호층(130)을 적층하여, 상기 도 2와 같은 형태의 스마트 칼라필터(2000)를 제조하였다. (상변이 물질층:유전체 광학 스페이서= 1:1 두께비).
비교예 1
투명기판(110)의 일 표면에 두께 50nm의 상변이 물질층(124)을 형성하여, 하기 도 3과 같은 구조의 스마트 칼라필터(3000)를 제조하였다.
실시예 1 및 비교예 1의 스마트 칼라필터에 대하여, 광반사 및 광투과 효율 성능을 평가하여, 그 결과를 도 4 및 도 6에 나타내었다. 하기 도 4는 실시예 1 및 비교예 1의 광파장에 따른 광반사 평가 결과이며, 도 6은 실시예 1 및 비교예 1의 광파장에 따른 광투과 평가 결과를 나타낸 것이다. 상기 도 4 및 도 6을 참조하면, 실시예 1의 스마트 칼라필터는 비교예 1 보다 가시광 영역에서의 광반응성이 증가하였으며, 비교예 1에 비해 적외선 영역에서의 광투과-반사 비율이 8.3% 증가하여, 적외선 영역에서의 광투과-반사 비율이 현저히 증가하였음을 알 수 있었다.
실시예 2 및 비교예 1의 스마트 칼라필터에 대하여, 광반사 및 광투과 효율 성능을 평가하여, 그 결과를 도 5 및 도 7에 나타내었다. 하기 도 5는 실시예 2 및 비교예 1의 광파장에 따른 광반사 평가 결과이며, 도 7은 실시예 2 및 비교예 1의 광파장에 따른 광투과 평가 결과를 나타낸 것이다. 상기 도 5 및 도 7을 참조하면, 실시예 2의 스마트 칼라필터는 비교예 1 보다 가시광영역에서의 광반응성이 현저히 증가하였으며, 비교예 1에 비해 적외선 영역에서의 광투과-반사 비율이 7.4% 증가하여, 적외선 영역에서의 광투과-반사 비율이 현저히 증가하였음을 알 수 있었다.
도 8(a)는 실시예 1~2 및 비교예 1의 CIE1931 반사색 평가 결과이며, 도 8(b)는 실시예 1~2 및 비교예 1의 CIE1931 투과색 평가결과를 나타낸 것이다. 상기 도 8을 참조하면, CIE1931 색평가를 통해 실시예 1~2의 가시광선 대역에서의 광반응성을 직접적으로 확인할 수 있다.
도 9(a)는 실시예 1의 낮은 온도(25℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm 에서의 전기장 분포도(Enorm) 평가결과이며, 도 9(b)는 실시예 1의 높은 온도(67℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm에서의 전기장 분포도 평가결과를 나타낸 것이다.
도 10(a)는 실시예 2의 낮은 온도(25℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm 에서의 전기장 분포도(Enorm) 평가결과이며, 도 10(b)는 실시예 2의 높은 온도(67℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm에서의 전기장 분포도 평가결과를 나타낸 것이다.
도 11(a)는 비교예 1의 낮은 온도(25℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm 에서의 전기장 분포도(Enorm) 평가결과이며, 도 11(b)는 비교예 1의 높은 온도(67℃)에서 전기장 분포의 입사파장 2000nm에서의 전기장 분포도 평가결과를 나타낸 것이다.
상기 도 9 내지 도 11을 참조하면, 실시예 1 및 2는, 비교예 1 보다 파장 영역 2000nm에서도 온도에 따라 매우 다른 자기장 분포가 형성되어, 광 반응성 효율이 현저하게 증가됨을 확인할 수 있었다.
이제까지 본 발명에 대하여 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
110: 투명기판 120: 단위시트층
122: 유전체 광학 스페이서 124: 상변이 물질층
130: 유전체 비반사 보호층
1000, 2000, 3000: 스마트 칼라필터
122: 유전체 광학 스페이서 124: 상변이 물질층
130: 유전체 비반사 보호층
1000, 2000, 3000: 스마트 칼라필터
Claims (12)
- 투명기판;
상기 투명기판의 하나 이상의 표면에 형성되며, 유전체 광학 스페이서 및 상변이 물질층이 순차적으로 형성된 단위시트층; 및
상기 단위시트층 상부에 형성되고, 상변이 물질층과 접하는 유전체 비반사 보호층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 상기 단위시트층은 하나 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 상기 상변이 물질층 및 유전체 광학 스페이서는 1:1~1:10의 두께비로 포함되는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 상기 유전체 광학 스페이서는 두께가 10~300nm 이며,
상기 상변이 물질층은 두께가 5~60nm인 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 상기 투명기판은 유리, 사파이어 및 폴리머 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 상기 유전체 광학 스페이서는 제1 금속산화물, 제1 금속불화물 및 제1 금속질화물 중 하나 이상을 포함하며,
상기 제1 금속은 실리콘(Si), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 바나듐(V), 리튬(Li), 텅스텐(W), 아연(Zn), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 구리(Cu) 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 상기 유전체 광학 스페이서의 하나 이상의 표면에는 코팅층이 더 형성되며,
상기 코팅층은 실리콘 질화물(SiN), 플루오르화 마그네슘(MgF2), 산화텔루륨(TeO2), 산화티타늄(TiO2), 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리메틸(메타)아크릴레이트(polymethyl (meth)acrylate) 및 폴리알릴아민 하이드로클로라이드(poly(allylamine hydrochloride)) 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 상기 상변이 물질층은 바나듐 다이옥사이드(VO2) 및 게르마늄-안티몬-텔루륨(GeSbTe, germanium-antimony-tellurium) 중 하나 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 상기 유전체 비반사 보호층은 제2 금속산화물, 제2 금속불화물 및 제2 금속질화물 중 하나 이상을 포함하며,
상기 제2 금속은 실리콘(Si), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 바나듐(V), 리튬(Li), 텅스텐(W), 아연(Zn), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 구리(Cu) 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 유전체 비반사 보호층의 하나 이상의 표면에는 코팅층이 더 형성되며,
상기 코팅층은 실리콘 질화물(SiN), 플루오르화 마그네슘(MgF2), 산화텔루륨(TeO2), 산화티타늄(TiO2), 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리메틸(메타)아크릴레이트(polymethyl (meth)acrylate) 및 폴리알릴아민 하이드로클로라이드(poly(allylamine hydrochloride)) 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 상기 유전체 광학 스페이서 및 유전체 비반사 보호층은 각각 화학기상증착(Chemical vapor deposition, CVD), 증착(Evaporation), 플라즈마-증강 화학기상증착(Plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD), 스퍼터링(Sputtering) 및 스핀코팅(Spin-coating) 중 하나 이상의 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
- 제1항에 있어서, 상기 상변이 물질층은 화학기상증착(CVD), 증착(Evaporation), 플라즈마-증강 화학기상증착(PECVD), 스퍼터링(Sputtering) 및 스핀코팅(Spin-coating) 중 하나 이상의 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 스마트 칼라필터.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200057988A KR102373366B1 (ko) | 2020-05-14 | 2020-05-14 | 스마트 칼라필터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200057988A KR102373366B1 (ko) | 2020-05-14 | 2020-05-14 | 스마트 칼라필터 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20210140998A true KR20210140998A (ko) | 2021-11-23 |
| KR102373366B1 KR102373366B1 (ko) | 2022-03-11 |
Family
ID=78695005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020200057988A KR102373366B1 (ko) | 2020-05-14 | 2020-05-14 | 스마트 칼라필터 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102373366B1 (ko) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150086892A (ko) * | 2014-01-21 | 2015-07-29 | (주)맥스필름 | 적외선 차단용 스마트 윈도우 |
| KR20160079174A (ko) * | 2014-12-26 | 2016-07-06 | 전자부품연구원 | 전기변색-열변색 하이브리드 소자 |
| KR20170024830A (ko) * | 2015-08-26 | 2017-03-08 | 전자부품연구원 | 단열기능이 있는 스마트 윈도우 코팅 |
| KR20170107349A (ko) * | 2016-03-14 | 2017-09-25 | 한국전자통신연구원 | 광학 소자 제조 방법 |
-
2020
- 2020-05-14 KR KR1020200057988A patent/KR102373366B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150086892A (ko) * | 2014-01-21 | 2015-07-29 | (주)맥스필름 | 적외선 차단용 스마트 윈도우 |
| KR20160079174A (ko) * | 2014-12-26 | 2016-07-06 | 전자부품연구원 | 전기변색-열변색 하이브리드 소자 |
| KR20170024830A (ko) * | 2015-08-26 | 2017-03-08 | 전자부품연구원 | 단열기능이 있는 스마트 윈도우 코팅 |
| KR20170107349A (ko) * | 2016-03-14 | 2017-09-25 | 한국전자통신연구원 | 광학 소자 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102373366B1 (ko) | 2022-03-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10234609B2 (en) | Systems, methods, and apparatus for production coatings of low-emissivity glass including a ternary alloy | |
| US20210396919A1 (en) | Optical filter and sensor system | |
| JP2019521376A (ja) | 保護コーティングを含む保護されたアイテム | |
| FR2810118A1 (fr) | Substrat transparent comportant un revetement antireflet | |
| JP2019197202A (ja) | 曲面コーティングパネル及びその製造方法、ソーラーモジュール | |
| TW202037935A (zh) | 光學濾波器及其形成方法 | |
| US20140308528A1 (en) | Systems, methods, and apparatus for production coatings of low-emissivity glass | |
| WO2019097192A1 (fr) | Materiau comprenant une seule couche fonctionnelle a base d'argent et une couche absorbante | |
| CN104584253A (zh) | 有机发光器件和用于制造有机发光器件的方法 | |
| Shafian et al. | High‐Efficiency Vivid Color CIGS Solar Cell Employing Nondestructive Structural Coloration | |
| JP5560434B2 (ja) | 断熱ガラスとその製造方法 | |
| Welser et al. | Broadband nanostructured antireflection coating on glass for photovoltaic applications | |
| KR102373366B1 (ko) | 스마트 칼라필터 | |
| KR101194258B1 (ko) | 광대역 반사방지 다층코팅을 갖는 태양전지용 투명 기판 및 그 제조방법 | |
| US7251402B2 (en) | Anti-reflection coating for the pass-band of photonic bandgap crystal | |
| CN104422188A (zh) | 太阳能吸收器及其制造方法 | |
| WO2018180127A1 (ja) | 光学部材 | |
| US7760432B2 (en) | Photochromic resistant materials for optical devices in plasma environments | |
| WO2023117725A1 (fr) | Substrat transparent muni d'un empilement fonctionnel de couches minces | |
| CN111370588A (zh) | 增反膜光栅结构、电致发光器件及其制作方法 | |
| KR101543604B1 (ko) | 태양전지용 반사방지막 | |
| KR20150002516A (ko) | 반사방지 코팅층을 가지는 투명기판 및 그 제조방법 | |
| BE1019243A3 (fr) | Substrat transparent pour dispositifs photoniques. | |
| KR102269781B1 (ko) | 반사방지 코팅층을 가지는 투명기판 및 그 제조방법 | |
| KR20150002517A (ko) | 반사방지 코팅층을 가지는 투명기판 및 그 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |