KR20210128861A - Fluid Shutoff Valve - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 제조 라인 또는 디스플레이 제조 라인의 진공 장비에 설치되며 배기 가스 또는 반응 부산물을 포함하는 유체가 흐르는 공정 배관을 일시적으로 차단하는 유체 차단 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid shutoff valve that is installed in vacuum equipment of a semiconductor manufacturing line or a display manufacturing line and temporarily blocks a process pipe through which a fluid including exhaust gas or reaction by-products flows.
반도체 제조 라인 또는 디스플레이 제조 라인에 사용되는 장비들은 공정 챔버와 연결 배관, 진공 펌프를 구비하며, 진공 챔버의 내부가 진공 펌프에 의하여 진공으로 형성된다. 상기 진공 챔버들은 진공 상태에서 증착 또는 식각과 같은 단위 프로세스를 진행하는데, 장비 PM 시 또는, 진공 라인에 장착되어 있는 부품, 진공 펌프 교체 시 유체 차단 밸브를 사용하여 대기압과 진공상태를 구분하여 유지하게 된다. 그러므로 유체 차단 밸브 있어서 차단 시의 차폐성은 매우 중요하며 차단시 작은 리크도 공정상의 문제 및 필요 작업 진행에 차질을 유발할 수 있다.Equipment used in a semiconductor manufacturing line or a display manufacturing line includes a process chamber, a connecting pipe, and a vacuum pump, and the inside of the vacuum chamber is formed in a vacuum by the vacuum pump. The vacuum chambers perform unit processes such as deposition or etching in a vacuum state, and maintain the atmospheric pressure and vacuum state separately by using a fluid shutoff valve during equipment PM or when replacing parts mounted on a vacuum line or vacuum pump. do. Therefore, for the fluid shutoff valve, the shielding property at the time of shutoff is very important, and even a small leak during shutoff can cause problems in the process and setbacks in the progress of necessary work.
보다 구체적으로는, 상기 제조 공정의 진행 중에 공정 챔버를 진공상태와 대기압 상태로 반복 유지되어야 할 경우가 있으며 공정 챔버와 진공 펌프 사이에 결합 되어 있는 부품의 유지 보수가 필요한 경우가 종종 발생된다, 상기의 경우 진공 펌프의 상부에 위치 되어 있는 차단밸브를 밀폐하여 차단밸브 상부와 하부의 압력을 대기압과 진공 상태로 유지 하게 된다.More specifically, there are cases in which the process chamber must be repeatedly maintained in a vacuum state and an atmospheric pressure state during the manufacturing process, and maintenance of the parts coupled between the process chamber and the vacuum pump is often required. In this case, the shut-off valve located on the upper part of the vacuum pump is sealed to maintain the pressure above and below the shut-off valve at atmospheric pressure and vacuum.
또한, 상기의 경우와 다르게 진공 펌프의 교체 및 유지 보수 시 유체 차단 밸브를 차폐하여 차단밸브 상부를 진공 상태로 계속 유지하게 된다. 그러므로 상기의 경우들에 있어서 유체 차단 밸브는 장착되어 반복적으로 개폐를 수행하여야 하며 특히 밸브의 차단 시 리크가 발생되지 않아야 한다. 즉, 유체 차단 밸브의 차폐 기능은 매우 중요하다. 상기 유체 차단 밸브는 공정 챔버와 진공 펌프 사이의 연결 배관에 설치되며 차폐 기능을 수행하는 차폐판은 차폐판 자체 또는 차폐판을 이송하는 이송체가 직선 운동 또는 회전 운동을 통해 차폐 위치로 이동하게 된다.In addition, unlike the above case, the fluid shutoff valve is blocked during replacement and maintenance of the vacuum pump to keep the upper part of the shutoff valve in a vacuum state. Therefore, in the above cases, the fluid shutoff valve must be installed and repeatedly opened and closed, and in particular, no leakage occurs when the valve is shut off. That is, the shielding function of the fluid shutoff valve is very important. The fluid shutoff valve is installed in the connecting pipe between the process chamber and the vacuum pump, and the shielding plate performing the shielding function moves to the shielding position through the shielding plate itself or the carrier transporting the shielding plate through a linear motion or a rotational motion.
또한, 유체 차단 밸브는 공정 반응 부산물(공정 파우더)이 많이 발생 되는 공정에서도 사용되고 있으며 이러한 공정에서도 개폐를 수행함에 있어 차단시 리크가 발생되지 않도록 정확히 차폐 되어야 한다. 하지만 기존의 유체 차단 밸브는 반응 부산물이 많은 공정에 사용 시 밸브를 통과하는 유체를 차단하는 밸브 차폐판 씰링 부위(상부)에 반응 부산물이 축적 또는 고착되어 차단 시 정확한 씰링이 되지 않고 리크가 발생하는 경우가 많이 발생되며 공정 진행에 문제를 야기시킬 수 있다.In addition, the fluid shutoff valve is also used in a process in which a lot of process reaction by-products (process powder) are generated, and even in such a process, the fluid shutoff valve must be accurately shielded to prevent leakage when shutting off in opening/closing. However, when using a conventional fluid shutoff valve in a process with a lot of reaction byproducts, the reaction byproducts accumulate or stick to the sealing part (upper part) of the valve shield plate that blocks the fluid passing through the valve. In many cases, it can cause problems in the process progress.
본 발명은 차폐판의 상면에 축적되는 반응 부산물 입자들을 제거하여 반복 차폐 기능을 유지할 수 있는 유체 차단 밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a fluid shutoff valve capable of maintaining a repeated shielding function by removing reaction by-product particles accumulated on the upper surface of the shielding plate.
본 발명의 유체 차단 밸브는 하우징 상부홀과 하우징 하부홀 사이에 형성되어 유체가 유입되어 흐르는 유체 통로 및 상기 유체 통로의 일측에 형성되어 상기 유체 통로와 연결되는 수용 공간을 구비하는 밸브 하우징과, 상기 수용 공간의 대기 위치에 위치하며, 상기 유체 통로의 차폐 위치로 이동하여 상기 유체 통로를 차폐하는 차폐판을 구비하는 차폐 모듈 및 상기 차폐 위치에 위치한 상기 차폐판의 상면에 세정 가스를 분사하는 세정 가스 분사 모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.The fluid shutoff valve of the present invention includes: a valve housing formed between a housing upper hole and a housing lower hole and having a fluid passage through which a fluid is introduced and flowing, and an accommodation space formed on one side of the fluid passage and connected to the fluid passage; A shielding module positioned at a standby position of the receiving space and having a shielding plate moving to a shielding position of the fluid passage to shield the fluid passage, and a cleaning gas spraying cleaning gas onto an upper surface of the shielding plate located in the shielding position It is characterized in that it includes a spray module.
또한, 상기 세정 가스 분사 모듈은 상기 차폐판이 상기 차폐 위치에서 상기 대기 위치로 이동하기 직전부터 상기 유체 통로를 완전히 벗어날 때까지 상기 세정 가스를 분사할 수 있다.Also, the cleaning gas spraying module may spray the cleaning gas from immediately before the shield plate moves from the shielding position to the standby position until it completely leaves the fluid passage.
또한, 상기 세정 가스 분사 모듈은 상기 차폐판의 상면에 외측에 내측으로 경사지게 상기 세정 가스를 분사할 수 있다.In addition, the cleaning gas spraying module may spray the cleaning gas inclined inward to the outside on the upper surface of the shielding plate.
또한, 상기 차폐판은 상면에서 외측을 따라 링 형상의 형성되는 차폐 오링홈 및 상기 차폐 오링홈에 삽입되는 차폐 오링을 포함하며, 세정 가스 분사 모듈은 상기 차폐판의 상면에서 상기 차폐 오링홈의 외측에 내측으로 경사지게 상기 세정 가스를 분사할 수 있다.In addition, the shielding plate includes a shielding O-ring groove formed in a ring shape along an outer side from an upper surface and a shielding O-ring inserted into the shielding O-ring groove, and the cleaning gas injection module is located outside the shielding O-ring groove on the upper surface of the shielding plate. It is possible to inject the cleaning gas inclined inwardly.
또한, 상기 세정 가스 분사 모듈은 상기 밸브 하우징의 내부에서 상기 유체 통로의 외측에 링 형상으로 형성되는 세정 가스 분사 통로와, 상기 세정 가스 분사 통로에서 상기 밸브 하우징의 수용 공간의 차폐 저면 영역으로 관통되는 세정 가스 분사 노즐 및 상기 세정 가스 분사 통로에 세정 가스를 공급하는 세정 가스 공급 통로를 포함할 수 있다.In addition, the cleaning gas injection module includes a cleaning gas injection passage formed in a ring shape on the outside of the fluid passage inside the valve housing, and the cleaning gas injection passage passing through the shielding bottom area of the accommodation space of the valve housing. It may include a cleaning gas injection nozzle and a cleaning gas supply passage for supplying a cleaning gas to the cleaning gas injection passage.
또한, 상기 세정 가스 분사 노즐은 소정 폭을 갖는 링 형상으로 형성되며, 외측 상부에서 내측 하부로 경사지게 형성될 수 있다. In addition, the cleaning gas injection nozzle may be formed in a ring shape having a predetermined width and inclined from an outer upper portion to an inner lower portion.
또한, 상기 세정 가스 분사 노즐은 복수 개의 홀이 서로 이격되어 원 형상으로 배열되며, 외측 상부에서 내측 하부로 경사지게 형성될 수 있다.In addition, the cleaning gas spray nozzle may have a plurality of holes spaced apart from each other and arranged in a circular shape, and may be formed to be inclined from an outer upper portion to an inner lower portion.
또한, 상기 세정 가스 분사 모듈은 상기 밸브 하우징의 내부에서 상기 유체 통로의 외측에 반원의 호 형상으로 형성되는 세정 가스 분사 통로와, 상기 세정 가스 분사 통로에서 상기 밸브 하우징의 수용 공간의 차폐 저면 영역으로 관통되는 세정 가스 분사 노즐 및 상기 세정 가스 분사 통로에 세정 가스를 공급하는 세정 가스 공급 통로를 포함할 수 있다.In addition, the cleaning gas injection module includes a cleaning gas injection passage formed in a semicircular arc shape outside the fluid passage inside the valve housing, and a shielding bottom area of the accommodating space of the valve housing from the cleaning gas injection passage. It may include a cleaning gas injection nozzle passing through and a cleaning gas supply passage for supplying the cleaning gas to the cleaning gas injection passage.
상기 세정 가스 분사 노즐은 소정 폭을 갖는 반원의 호 형상으로 형성되며, 외측 상부에서 내측 하부로 경사지게 형성될 수 있다.The cleaning gas injection nozzle may have a semicircular arc shape having a predetermined width, and may be inclined from an outer upper portion to an inner lower portion.
또한, 상기 세정 가스 분사 노즐은 복수 개의 홀이 서로 이격되어 반원의 호 형상으로 배열되며, 외측 상부에서 내측 하부로 경사지게 형성될 수 있다. In addition, the cleaning gas injection nozzle may have a plurality of holes spaced apart from each other and arranged in a semicircular arc shape, and may be formed to be inclined from an outer upper portion to an inner lower portion.
본 발명의 유체 차단 밸브는 차폐판이 차폐 위치에서 이동하기 전부터 차폐 위치를 완전히 벗어날 때까지 세정 가스를 분사하므로 세정 효율을 증가시킬 수 있다.Since the fluid shutoff valve of the present invention sprays cleaning gas from before the shield plate moves from the shielding position to the time it completely leaves the shielding position, cleaning efficiency can be increased.
또한, 본 발명의 유체 차단 밸브는 차폐판의 상면에 축적되는 반응 부산물 입자를 제거하여 차폐판의 차폐 기능을 유지할 수 있다.In addition, the fluid shutoff valve of the present invention can maintain the shielding function of the shielding plate by removing reaction by-product particles accumulated on the upper surface of the shielding plate.
또한, 본 발명의 유체 차단 밸브는 차폐판의 상면으로 세정 가스를 분사 또는 흡입하므로 진공 배관으로부터 분리되지 않고도 차폐판 상면에 축적되는 반응 부산물 입자의 제거가 가능할 수 있다.In addition, since the fluid shutoff valve of the present invention injects or sucks the cleaning gas to the upper surface of the shielding plate, it may be possible to remove reaction byproduct particles accumulated on the upper surface of the shielding plate without being separated from the vacuum pipe.
또한, 본 발명의 유체 차단 밸브는 제조 공정의 진행 중에 차폐판의 상면에서 반응 부산물 입자를 제거할 수 있으므로 공정 효율을 증가시킬 수 있다.In addition, the fluid shutoff valve of the present invention can remove reaction by-product particles from the upper surface of the shield plate during the manufacturing process, thereby increasing process efficiency.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 차단 밸브의 평면도이다.
도 2는 도 1의 A-A에 대한 수직 단면도이다.
도 3은 도 2의 "B"에 대한 확대도이다.
도 4는 도 2의 "C"에 대한 확대도이다.
도 5는 도 2의 D-D에 대한 부분 수평 단면도이다.
도 6은 도 1의 차폐 모듈의 평면도이다.
도 7은 도 6의 E-E에 대한 수직 단면도이다.
도 8은 도 1의 공압 실린더의 수평 단면도이다.
도 9a 내지 도 9c는 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브의 도 5에 대응되는 부분 수평 단면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브의 평면도이다.
도 11은 도 10의 F-F에 대한 수직 단면도이다.
도 12는 도 10의 유체 차단 밸브에서 차폐 모듈이 대기 위치에 위치한 상태에 대한 수직 단면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브에 대한 수직 단면도이다.1 is a plan view of a fluid shutoff valve according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a vertical cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1 .
3 is an enlarged view of “B” of FIG. 2 .
4 is an enlarged view of “C” of FIG. 2 .
FIG. 5 is a partial horizontal cross-sectional view of DD of FIG. 2 .
6 is a plan view of the shielding module of FIG. 1 .
FIG. 7 is a vertical cross-sectional view taken along the EE of FIG. 6 .
8 is a horizontal cross-sectional view of the pneumatic cylinder of FIG. 1 ;
9A to 9C are partial horizontal cross-sectional views corresponding to FIG. 5 of a fluid shutoff valve according to another embodiment.
10 is a plan view of a fluid shutoff valve according to another embodiment of the present invention.
11 is a vertical cross-sectional view taken along FF of FIG. 10 .
12 is a vertical cross-sectional view illustrating a state in which the shield module is positioned in a standby position in the fluid shutoff valve of FIG. 10 .
13 is a vertical cross-sectional view of a fluid shutoff valve according to another embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체 차단 밸브에 대하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a fluid shutoff valve according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 차단 밸브에 대하여 설명한다.First, a fluid shutoff valve according to an embodiment of the present invention will be described.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 차단 밸브의 평면도이다. 도 2는 도 1의 A-A에 대한 수직 단면도이다. 도 3은 도 2의 "B"에 대한 확대도이다. 도 4는 도 2의 "C"에 대한 확대도이다. 도 5는 도 2의 D-D에 대한 부분 수평 단면도이다. 도 6은 도 1의 차폐 모듈의 평면도이다. 도 7은 도 6의 E-E에 대한 수직 단면도이다. 도 8은 도 1의 공압 실린더의 수평 단면도이다.1 is a plan view of a fluid shutoff valve according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a vertical cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 1 . 3 is an enlarged view of “B” of FIG. 2 . 4 is an enlarged view of “C” of FIG. 2 . FIG. 5 is a partial horizontal cross-sectional view taken along line D-D of FIG. 2 . 6 is a plan view of the shielding module of FIG. 1 . FIG. 7 is a vertical cross-sectional view taken along line E-E of FIG. 6 . 8 is a horizontal cross-sectional view of the pneumatic cylinder of FIG. 1 ;
본 발명의 일 실시예에 따른 유체 차단 밸브(100)는, 도 1 내지 도 8을 참조하면, 밸브 하우징(110)과 차폐 모듈(120)과 세정 가스 분사 모듈(130) 및 유입 방지 실린더(140)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 유체 차단 밸브(100)는 하부 유출관(150) 및 우회 통로 모듈(160)을 더 포함할 수 있다.1 to 8 , the
상기 유체 차단 밸브(100)는 밸브 하우징(110)의 중앙에서 상부로부터 하부로 관통되는 유체 통로(110a)가 형성될 수 있다. 상기 유체 차단 밸브(100)는 유체 통로(110a)가 공정 배관(미도시)의 내부 통로와 연통되도록 공정 배관에 결합될 수 있다.The
상기 유체 차단 밸브(100)는 차폐 모듈(120)을 이용하여 유체 통로(110a)를 일시적으로 차폐할 수 있다. 상기 차폐 모듈(120)은 유체 통로(110a)를 차폐하는 구성이 차폐 위치(a)와 대기 위치(b)를 반복적으로 이송될 수 있다. 여기서, 상기 차폐 위치(a)는 차폐 모듈(120)이 유체 통로(110a)를 차폐하기 위하여 이동되는 위치이다. 또한, 상기 차폐 위치(a)는 차폐 모듈(120)이 세정 가스 분사 모듈(130)에서 분사되는 세정 가스에 의하여 세정되는 위치이다. 또한, 상기 대기 위치(b)는 차폐 모듈(120)이 유체 통로(110a)를 차폐하지 않을 때 대기하는 위치이다. The
상기 밸브 하우징(110)은 내부에 상하로 연장되는 유체 통로(110a) 및 유체 통로(110a)에서 일측 또는 외측으로 연장되어 형성되는 수용 공간(110b)을 구비할 수 있다. 즉, 상기 수용 공간(110b)은 유체 통로(110a)의 일측 또는 외측에 형성되어 유체 통로(110a)와 연결될 수 있다. 상기 밸브 하우징(110)은 유체 통로(110a)에서 상부와 하부로 각각 개방되는 하우징 상부홀(110c)과 하우징 하부홀(110d)이 구비될 수 있다. 또한, 상기 밸브 하우징(110)은 하우징 차폐홀(110e)을 구비할 수 있다. The
상기 밸브 하우징(110)은 수평 방향을 기준으로 상하로 서로 분리되어 형성된 상부 하우징(111)과 하부 하우징(112)이 결합되어 형성될 수 있다. 또한, 상기 밸브 하우징(110)은 상부 연결관(115)을 더 포함할 수 있다.The
상기 유체 통로(110a)는 밸브 하우징(110)의 내부에서 상하로 연장되며, 상부의 하우징 상부홀(110c) 및 하부의 하우징 하부홀(110d) 사이에 형성될 수 있다. 상기 유체 통로(110a)는 반도체 공정 라인에서 발생되는 배기 가스와 반응 부산물 입자를 포함하는 유체가 상부에서 하부로 흐르는 경로를 제공한다. 상기 하우징 상부홀(110c)은 유체가 유체 통로(110a)로 유입되는 경로를 제공하며, 하부 유출홀(110d)은 유체가 유체 통로(110a)의 하부로 유출되는 경로를 제공한다. 상기 하우징 하부홀(110d)은 상부 하우징홀(110c)보다 큰 직경으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 하부 유출홀(110d)은 유입 방지 실린더(140)의 상부가 결합되는 공간을 제공할 수 있다. 즉, 상기 유입 장지 실린더(140)는 하부 유출홀(110d)을 통하여 밸브 하우징(110)의 하부에 결합될 수 있다.The
상기 수용 공간(110b)은 유체 통로(110a)의 외측을 감싸는 형상으로 형성되며, 유체 통로(110a)와 일체로 형성되어 서로 연통될 수 있다. 상기 수용 공간(110b)은 밸브 하우징(110)에서 유체 통로(110a)의 외측으로 연장되는 공간으로 형성될 수 있다. 보다 구체적으로는, 상기 수용 공간(110b)은 대기 위치(b)에 위치하는 차폐 모듈(120)이 수용되는 공간을 제공한다. 또한, 상기 수용 공간(110b)은 차폐 모듈(120)이 대기 위치(b)에서 차폐 위치(a)로 이동하는 경로의 공간을 제공한다. 또한, 상기 수용 공간(110b)은 차폐 위치(a)에 위치하는 차폐 모듈(120)의 일부가 수용되는 공간을 제공할 수 있다.The
상기 하우징 상부홀(110c)은 밸브 하우징(110)의 상부로 개방되어 형성될 수 있다. 상기 하우징 상부홀(110c)은 유체 통로(110a)의 상부에 위치한다.The housing
상기 하우징 하부홀(110d)은 밸브 하우징(110)의 하부로 개방되어 형성될 수 있다. 상기 하우징 하부홀(110d)은 유체 통로(110a)의 하부에 위치한다.The housing
상기 하우징 차폐홀(110e)은 유체 통로(110a)를 기준으로 밸브 하우징(110)의 일측의 상부에서 수용 공간(110b)으로 관통되어 형성될 수 있다. 상기 하우징 차폐홀(110e)은 차폐 모듈(120)의 일부가 결합되는 공간을 제공할 수 있다. The
상기 상부 연결관(115)은 하우징 상부홀(110c)에 상부 방향으로 연장되도록 결합된다. 상기 상부 연결관(115)은 공정 배관에 연결될 수 있다. 상기 상부 연결관(115)은 유체가 유체 통로(110a)로 유입되는 경로를 제공할 수 있다.The
상기 차폐 모듈(120)은 차폐 공압 실린더(121)와 차폐 회전축(124)과 차폐 이송체(125) 및 차폐판(128)을 포함할 수 있다.The
상기 차폐 모듈(120)은 밸브 하우징(110)의 상부에서 유체 통로(110a)를 기준으로 일측에 위치할 수 있다. 상기 차폐 모듈(120)은 차폐 공압 실린더(121)가 차폐 회전축(124)을 회전시켜 차폐판(128)을 대기 위치(b)에서 차폐 위치(a)로 이동시킬 수 있다. The
상기 차폐 공압 실린더(121)는 차폐 공압 하우징(122) 및 차폐 공압 피스톤(123)을 구비한다. 상기 차폐 공압 실린더(121)는 외부에서 공급되는 공압에 의하여 차폐 공압 피스톤(123)을 직선 이동시켜 차폐 회전축(124)을 회전시킬 수 있다. 상기 차폐 공압 실린더(121)는 밸브 하우징(110)의 외측에서 유체 통로(110a)를 기준으로 일측에 위치할 수 있다. 상기 차폐 공압 실린더(121)는 밸브 하우징(110)의 외측 상부에 위치할 수 있다.The shielded
상기 차폐 공압 하우징(122)은 차폐 피스톤 통로(122a) 및 차폐 회전홀(122b)을 구비할 수 있다. 상기 차폐 공압 하우징(122)은 대략 직육면체의 블록 형상으로 형성될 수 있다. 상기 차폐 공압 하우징(122)은 차폐 피스톤 통로(122a)가 수평을 이루며, 차폐 회전홀(122b)이 밸브 하우징(110)의 하우징 차폐홀(110e)과 관통되도록 밸브 하우징(110)의 상면에 결합될 수 있다.The shielding
상기 차폐 피스톤 통로(122a)는 U자 형상으로 형성되며, 차폐 공압 하우징(122)의 내부에서 수평 방향으로 형성될 수 있다. 상기 차폐 피스톤 통로(122a)는 양단이 차폐 공압 하우징(122)의 일측면으로 개방되도록 형성될 수 있다. 상기 차폐 피스톤 통로(122a)의 양단에는 별도의 공압 배관(10, 20)이 연결되며, 공압 배관(10, 20)을 통하여 공압이 공급 또는 배출될 수 있다.The shielding piston passage (122a) may be formed in a U-shape, and may be formed in a horizontal direction inside the shielding pneumatic housing (122). The shielding piston passage (122a) may be formed so that both ends are opened to one side of the shielding pneumatic housing (122). Separate
상기 차폐 회전홀(122b)은 차폐 공압 하우징(122)의 하면에서 상부 방향으로 소정 높이로 연장되는 홀로 형성될 수 있다. 상기 차폐 회전홀(122b)은 바람직하게는 차폐 피스톤 통로(122a)의 높이보다 높은 높이까지 연장되어 형성될 수 있다. 상기 차폐 회전홀(122b)은 밸브 하우징(110)의 하우징 차폐홀(110e)과 연결되며, 차폐 회전축(124)이 삽입되는 경로를 제공할 수 있다. The
상기 차폐 공압 피스톤(123)은 차폐 피스톤 통로(122a)의 수직 단면적보다 작은 단면적과 소정의 길이를 갖는 블록으로 형성될 수 있다. 상기 차폐 공압 피스톤(123)은 차폐 회전축(124)을 대기 위치(b)에서 차폐 위치(a)로 회전시키는데 필요한 길이로 형성될 수 있다. 상기 차폐 공압 피스톤(123)은 차폐 회전홀(122b)과 대향하는 면에 길이 방향으로 형성되는 톱니가 형성될 수 있다. The shielding
상기 차폐 공압 피스톤(123)은 차폐 피스톤 통로(122a)의 내부에서 공압에 의하여 일측에서 타측으로 이동할 수 있다. 상기 차폐 공압 피스톤(123)은 1개로 형성될 수 있다. 상기 차폐 공압 피스톤(123)이 1개로 형성되는 경우에 차폐 회전홀(122b)의 일측 또는 타측에 위치하는 차폐 피스톤 통로(122a)의 어느 하나에 위치하여 전후진으로 이동할 수 있다. 또한, 상기 차폐 공압 피스톤(123)이 2개로 형성되는 경우에 일측과 타측의 차폐 피스톤 통로(122a)에 위치할 수 있다. 즉, 상기 차폐 피스톤 통로(122a)는 차폐 회전홀(122b)의 양측에 위치하여 서로 반대 방향으로 이동할 수 있다.The shielding
상기 차폐 회전축(124)은 소정 길이를 갖는 원기둥 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 차폐 회전축(124)은 차폐 공압 피스톤(123)과 대향하는 상부의 원주면에 톱니가 형성될 수 있다. 상기 차폐 회전축(124)은 일측이 차폐 공압 실린더(121)에 연결되어 회전하며, 타측이 밸브 하우징(110)의 수용 공간(110b)으로 연장될 수 있다. 보다 구체적으로는, 상기 차폐 회전축(124)은 상부가 차폐 회전홀(122b)과 차폐 차폐홀에 삽입되어 회전하며, 하부가 수용 공간(110b)으로 연장될 수 있다. 상기 차폐 회전축(124)은 상부의 외주면 일부가 차폐 회전홀(122b)의 일측과 타측을 통하여 차폐 피스톤 통로(122a)로 노출될 수 있다. 또한, 상기 차폐 회전축(124)은 노출되는 원주면에 형성되는 톱니가 차폐 공압 피스톤(123)의 톱니와 맞물릴 수 있다. 상기 차폐 회전축(124)은 차폐 공압 피스톤(123)의 전후진에 따라 소정 각도로 회전할 수 있다. 즉, 상기 차폐 회전축(124)은 차폐 공압 피스톤(123)의 직선 운동을 회전 운동으로 변환시킬 수 있다.The
상기 차폐 이송체(125)는 차폐 이송바(126) 및 차폐 이송링(127)을 포함할 수 있다. 상기 차폐 이송체(125)는 일측이 차폐 회전축(124)에 결합되고 타측이 호 형상의 궤적을 가지도록 회전할 수 있다. 상기 차폐 이송체(125)는 차폐 회전축(124)의 회전에 의하여 차폐 이송링(127)이 대기 위치(b)와 차폐 위치(a) 사이를 반복적으로 이동할 수 있다. 상기 차폐 이송바(126)와 차폐 이송링(127)은 일체로 형성될 수 있다.The shielding
상기 차폐 이송바(126)는 소정 길이를 갖는 바 형상이며, 일측에서 타측으로 갈수록 폭이 증가하는 호 형상으로 형성될 수 있다. 상기 차폐 이송바(126)는 일측이 차폐 회전축(124)의 하부에 결합될 수 있다. 또한, 상기 차폐 이송바(126)는 타측이 대기 위치(b)의 방향으로 연장될 수 있다.The shielding
상기 차폐 이송링(127)은 소정의 내경을 갖는 링 형상으로 형성될 수 있다. 상기 차폐 이송링(127)은 외측이 차폐 이송바(126)에 결합될 수 있다. 즉, 상기 차폐 이송링(127)은 차폐 이송바(126)보다 낮은 두께로 형성되며, 상면이 차폐 이송바(126)의 상면보다 낮게 위치할 수 있다. 상기 차폐 이송링(127)은 차폐 이송바(126)와의 경계 영역에서 단차지도록 형성될 수 있다.The shielding
상기 차폐판(128)은 원판 형상으로 형성되며, 외경이 차폐 이송링(127)의 외경에 대응되는 직경을 갖도록 형성될 수 있다. 상기 차폐판(128)은 하면에서 하부 방향으로 소정 높이로 연장되는 차폐 결합링(128a)을 더 포함할 수 있다. 상기 차폐 결합링(128a)은 외경이 차폐 이송링(127)의 내경이 대응되며, 높이가 차폐 이송링(127)의 높이에 대응되는 높이로 형성될 수 있다. 상기 차폐 결합링(128a)은 차폐판(128)과 일체로 형성될 수 있다. The shielding
상기 차폐판(128)은 차폐 이송링(127)의 상면에 안착되며, 차폐 결합링(128a)은 차폐 이송링(127)의 내측에 삽입되어 고정될 수 있다. 또한, 상기 차폐판(128)의 상면은 차폐 이송바(126)의 상면과 동일한 평면을 형성할 수 있다. 상기 차폐판(128)은 차폐 결합링(128a)이 차폐 이송링(127)에 삽입되고 일측 외주면이 차폐 이송바(126)와 차폐 이송링(127)의 경계 영역의 단차에 의하여 지지되므로 이송 과정에서 안정적으로 차폐 이송체(125)에 고정될 수 있다. The shielding
또한, 상기 차폐판(128)은 상면에서 외측을 따라 링 형상의 차폐 오링홈(128b)이 형성될 수 있다. 상기 차폐 오링홈(128b)은 내경이 하우징 상부홀(110c)의 내경보다 크게 되도록 형성될 수 있다. 상기 차폐 오링홈(128b)에는 차폐 오링(129)이 삽입되어 고정될 수 있다. 상기 차폐 오링(129)은 차폐 오링홈(128b)에 삽입되어 고정될 때 차폐판(128)의 상면보다 돌출될 수 있다.In addition, the shielding
상기 차폐판(128)은 차폐 이송체(125)에 의하여 대기 위치(b)와 차폐 위치(a) 사이를 이동할 수 있다. 상기 차폐판(128)은 차폐 위치(a)로 이송된 후에 차폐 이송링(127)의 상부로 이동되면서 밸브 하우징(110)의 하우징 상부홀(110c)의 주변에 접촉하여 유체 통로(110a)를 차폐할 수 있다. 보다 구체적으로는, 상기 차폐판(128)은 유체 통로(110a)의 원주 방향을 따라 인접한 수용 공간(110b)에서 밸브 하우징(110)의 상부 저면에서 차폐 저면 영역(c)과 접촉할 수 있다. 여기서, 상기 차폐 저면 영역(c)은 차폐판(128)이 차폐 위치(a)에 위치할 때, 밸브 하우징(110)의 수용 공간(110b)의 상부 저면에서 차폐판(128)과 대향하는 영역을 의미할 수 있다. 또한, 상기 차폐 저면 영역은 차폐판(128)과 대향하는 영역의 외측의 소정 영역을 포함할 수 있다.The shielding
상기 차폐판(128)은 외주면의 영역이 밸브 하우징(110)의 차폐 저면 영역(c)과 접촉할 수 있다. 이때, 상기 차폐판(128)은 차폐 오링(129)이 밸브 하우징(110)의 차폐 저면 영역(c)과 접촉하면서 차폐판(128)의 상면과 밸브 하우징(110)의 상부 저면 사이를 밀폐할 수 있다. 또한, 상기 차폐판(128)은 하우징 상부홀(110c)에서 분리되어 차폐 이송체(125)의 상면에 안착되면서 유체 통로(110a)를 개방할 수 있다.The shielding
한편, 상기 차폐판(128)에 형성되는 차폐 오링홈(128b)과 차폐 오링(129)은 밸브 하우징(110)의 차폐 저면 영역(c)에 형성될 수 있다. 이러한 경우에 상기 차폐판(128)은 상면이 밸브 하우징(110)에 결합되는 차폐 오링에 접촉하면서 유체 통로(110a)를 밀폐할 수 있다. Meanwhile, the shielding O-
상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 세정 가스 분사 통로(131)와 세정 가스 분사 노즐(132) 및 세정 가스 공급 통로(133)를 포함할 수 있다. 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 밸브 하우징(110)의 내부에서 유체 통로(110a)의 외측에 인접하여 형성될 수 있다. 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 밸브 하우징(110)의 수용 공간(110b)에서 유체 통로(110a)의 원주 방향을 따라 인접한 밸브 하우징(110)의 차폐 저면 영역(c)에 형성될 수 있다. 즉, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐 위치(a)에 위치하는 차폐판(128)의 상부에 형성될 수 있다. 즉, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐판(128)이 차폐 위치(a)에 위치할 때 차폐판(128)의 외측 상면에 대응되는 밸브 하우징(110)의 수용 공간(110b)의 차폐 저면 영역(c)에 위치할 수 있다. 또한, 상기 세정 분사 모듈(130)은 차폐판(128)의 차폐 오링홈(128b)이 형성되는 영역의 외측에 대응되는 영역에 형성될 수 있다. 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 밸브 하우징(110)이 직접 가공되어 형성될 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 별도의 분사관과 분사 노즐 및 공급관을 구비하여 형성될 수 있다. The cleaning
상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐 위치(a)에 위치한 차폐판(128)의 상면으로 세정 가스를 분사하여 차폐판(128)의 상면에 부착되어 있는 오염 입자를 제거할 수 있다. 상기 오염 입자는 공정 챔버에서 배출되는 폐가스에 포함된 반응 부산물 입자를 포함할 수 있다. The cleaning
상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐판(128)이 차폐 위치(a)에서 대기 위치(b)로 이동하기 직전부터 세정 가스를 차폐판(128)의 상부로 분사하며, 차폐판(128)이 차폐 위치(a)를 완전히 벗어날 때까지 세정 가스를 분사할 수 있다. 즉, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐판(128)이 밸브 하우징(110)의 하면에서 분리되기 직전부터 세정 가스를 분사할 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐판(128)이 유체 통로(110a)로부터 완전히 벗어날 때까지 세정 가스를 분사할 수 있다. 따라서, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐판(128)에 최대한의 시간동안 세정 가스를 분사하여 차폐판(128)의 상면을 보다 효율적으로 세정하여 오염 입자를 제거할 수 있다.The cleaning
상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 유체 통로(110a)의 외측에 대응되는 차폐판(128)의 상면으로 세정 가스를 분사할 수 있다. 보다 구체적으로는 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐판(128)이 차폐 위치(a)에 위치할 때 유체 통로(110a)의 외측 위치에 대응되는 차폐판(128)의 상면 영역에 세정 가스를 분사할 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐 오링(129)의 외측에서 세정 가스를 분사할 수 있다. 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 외측에서 내측으로 경사지게 세정 가스를 분사할 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐 오링(129)의 외측에서 차폐 오링(129)으로 세정 가스를 분사할 수 있다. 상기 세정 가스는 차폐판(128)의 상면에 충돌한 후에 유체 통로(110a)의 중심 방향으로 흐르게 된다. 보다 구체적으로는, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)에서 분사되는 세정 가스는 차폐판(128)의 상면의 외측에서 중심 방향으로 흐르면서 상면에 부착된 오염 입자를 제거할 수 있다. 또한, 상기 세정 가스는 차폐판(128) 상면으로 돌출되는 차폐 오링(129)의 표면을 따라 흐르면서 차폐 오링(129)의 표면에 부착된 오염 입자를 제거할 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐 오링(129)의 외주면에 직접 세정 가스를 분사할 수 있다. 상기 세정 가스에 의하여 차폐판(128)의 상면에서 분리된 오염 입자는 유체 통로(110a)로 유입되어 공정 배관으로 배출되며, 밸브 하우징(110)의 수용 공간(110b)으로 유입되는 것이 최소화될 수 있다.The cleaning
상기 세정 가스 분사 통로(131)는 밸브 하우징(110)의 내부에서 유체 통로(110a)의 외측 영역에 링 형상으로 형성될 수 있다. 상기 세정 가스 분사 통로(131)는 차폐판(128)이 차폐 위치(a)에 위치할 때 차폐판(128)의 상부에서 밸브 하우징(110)의 내부에 형성될 수 있다.The cleaning
또한, 상기 세정 가스 분사 통로(131)는 밸브 하우징(110)에 의하여 직접 형성될 수 있다. 즉, 상기 세정 가스 분사 통로(131)는 밸브 하우징(110)의 내부가 링 형상으로 가공되어 형성될 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 통로(131)는 내부에 별도의 링 형상의 관이 삽입되어 형성될 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 통로(131)는, 구체적으로 도시하지 않았지만, 밸브 하우징(110)의 하면에 링 형상으로 결합되는 관으로 형성될 수 있다.Also, the cleaning
상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 세정 가스 분사 통로(131)에서 밸브 하우징(110)의 하면으로 관통되어 형성될 수 있다. 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 세정 가스 분사 통로(131)의 전체에서 밸브 하우징(110)의 하면으로 관통되는 링 형상으로 형성될 수 있다. 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 전체가 소정 폭을 갖는 링 형상을 이루며 상단이 세정 가스 분사 통로(131)와 연결되고 하단이 밸브 하우징(110)의 수용 공간(110b)의 차폐 저면 영역(c)으로 관통되도록 형성될 수 있다. 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 밸브 하우징(110)의 차폐 저면 영역(c)으로 관통되는 단부가 차폐판(128)의 상부 외측 영역으로 노출되도록 한다. 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 바람직하게는 차폐 오링(129)의 외측 영역으로 노출되도록 한다. 또한, 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 외측 상부에서 내측 하부로 경사지게 형성될 수 있다.The cleaning
상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 세정 가스 분사 통로(131)를 흐르는 세정 가스를 차폐판(128)의 상면으로 분사할 수 있다. 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 차폐 오링(129)의 외측에서 차폐판(128)의 상면으로 세정 가스를 분사할 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 모듈(130)은 차폐 오링(129)의 외주면으로 세정 가스를 직접 분사할 수 있다. 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 차폐판(128)의 외측 상부에서 내측 하부 방향으로 경사지게 차폐판(128)의 상면으로 세정 가스를 분사할 수 있다. 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 세정 가스를 차폐판(128)의 외측에서 중심 방향으로 분사할 수 있다. 상기 세정 가스는 전체적으로 링 형상으로 이루면서 하부 내측 방향으로 경사지는 형태를 이루도록 분사될 수 있다. 즉, 상기 세정 가스는 꼬깔 형태가 엎어진 상태로 분사될 수 있다. 따라서, 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 차폐판(128)에서 분리된 오염 입자가 밸브 하우징(110)의 수용 공간(110b)으로 유입되는 것을 차단할 수 있다.The cleaning
한편, 상기 차폐 오링홈(128b)이 밸브 하우징(110)에 형성되는 경우에, 차폐판(128)이 이동하기 전에 차폐판(128)과 차폐 오링홈(128b)의 차폐 오링(129)이 소정 간격을 유지한 상태에서 세정 가스가 소정 시간동안 분사되도록 할 수 있다. 상기 차폐 오링(129)이 밸브 하우징(110)에 위치하는 경우에 세정 가스와 차폐 오링(129)의 접촉이 충분하지 않을 수 있다. 따라서, 상기 차폐판(128)과 차폐 오링(129)이 소정 간격을 유지한 상태에서 세정 가스를 분사하는 경우에 세정 가스가 차폐판(128)과 차폐 오링(129) 사이의 간격을 통과하면서 차폐 오링(129)의 표면에 부착된 오염 입자를 충분히 제거할 수 있다.On the other hand, when the shielding O-
한편, 상기 세정 가스 분사 노즐(132)도 세정 가스 분사 통로(131)와 동일하게 밸브 하우징(110)이 가공되어 형성되거나, 별도의 노즐관이 밸브 하우징(110)에 삽입되어 형성될 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 통로(131)가 밸브 하우징(110)의 하부에 별도의 관으로 형성되는 경우에 세정 가스 분사 노즐(132)도 별도의 노즐관으로 형성되어 세정 가스 분사 통로(131)에 결합되어 형성될 수 있다.Meanwhile, the cleaning
상기 세정 가스 공급 통로(133)는 일단이 세정 가스 분사 통로(131)로 개방되고 타단이 밸브 하우징(110)의 외면으로 개방되는 통로로 형성될 수 있다. 상기 세정 가스 공급 통로(133)는 밸브 하우징(110)의 형상등에 따라 밸브 하우징(110)의 외측면 또는 상면으로 관통될 수 있다. 상기 세정 가스 공급 통로(133)는 세정 가스가 세정 가스 분사 통로(131)로 공급되는 경로를 제공할 수 있다. The cleaning
한편, 상기 세정 가스 공급 통로(133)도 세정 가스 분사 통로(131)와 동일하게 밸브 하우징(110)이 가공되어 형성되거나, 별도의 공급관이 밸브 하우징(110)에 삽입되어 형성될 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 통로(131)가 밸브 하우징(110)의 하부에 별도의 관으로 형성되는 경우에 세정 가스 공급 통로(133)도 별도의 공급관으로 형성되어 세정 가스 분사 통로(131)에 결합되어 형성될 수 있다. Meanwhile, the cleaning
상기 유입 방지 실린더(140)는 유입 방지 하우징(141)와 유입 방지 피스톤(142)와 방지 피스톤 본체(143) 및 방지 피스톤 로드(144)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 유입 방지 실린더(140)는 유입 차단 수단(146)과 유입 차단링(147) 및 유입 차단 플랜지(148)를 더 포함할 수 있다. 상기 유입 방지 실린더(140)는 중앙 상부에서 하부로 관통되는 하부 유체 통로(140a)를 구비할 수 있다. The
상기 유입 방지 실린더(140)는 밸브 하우징(110)의 하우징 하부홀(110d)에 결합될 수 있다. 상기 유입 방지 실린더(140)의 하부 유체 통로(140a)는 밸브 하우징(110)의 유체 통로(110a)의 하부에 위치하여 서로 연통될 수 있다. 상기 유입 방지 실린더(140)는 차폐 위치(a)에 위치하는 차폐판(128)의 하면을 지지하여 상승시켜 유체 통로(110a)를 차폐할 수 있다. 또한, 상기 유입 방지 실린더(140)는 제조 공정이 진행될 때, 유체 통로(110a)를 수용 공간(110b)과 분리할 수 있다. 이때, 상기 차폐판(128)은 대기 위치(b)에 위치할 수 있다. 상기 유입 방지 실린더(140)는 제조 공정중에 유체 통로(110a)를 흐르는 유체가 하부 유체 통로(140a)를 통하여 공정 배관으로 배출되며, 반응 부산물 입자를 포함하는 유체가 수용 공간(110b)으로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 유입 방지 실린더(140)는 수용 공간(110b)에 수용되는 차폐 모듈(120)과 세정 가스 분사 모듈(130)이 오염 입자에 의하여 오염되는 것을 방지할 수 있다.The
상기 유입 방지 하우징(141)은 방지 피스톤 통로(141a)와 방지 통로 개방홀(141b)과 제 1 방지 통로(141c) 및 제 2 방지 통로(141d)를 구비할 수 있다. 또한, 상기 유입 방지 하우징(141)은 차단 가스 통로(141e)를 더 포함할 수 있다.The
상기 유입 방지 하우징(141)은 전체적으로 링 형상으로 형성되며, 내측에 하부 유체 통로(140a)를 구비할 수 있다. 상기 유입 방지 하우징(141)은 밸브 하우징(110)의 중앙 하부에 결합될 수 있다. 상기 하부 유체 통로(140a)는 밸브 하우징(110)의 유체 통로(110a)의 하부에 위치하여 연통될 수 있다.The
상기 방지 피스톤 통로(141a)는 유입 방지 하우징(141)의 내부에서 소정 폭과 높이를 갖는 링 형상으로 형성될 수 있다. 상기 방지 피스톤 통로(141a)는 유입 방지 피스톤(142)의 상하 이동 거리보다 큰 높이로 형성될 수 있다.The
상기 방지 통로 개방홀(141b)은 방지 피스톤 통로(141a)의 상부에서 유입 방지 하우징(141)의 상부로 소정 폭으로 개방되어 형성될 수 있다. 상기 방지 통로 개방홀(141b)은 전체가 방지 피스톤 통로(141a)에 대응되는 링 형상으로 형성될 수 있다.The prevention
한편, 상기 유입 방지 하우징(141)은 방지 통로 개방홀(141b)의 상부에서 내측으로 피스톤 이동 공간(141f)이 형성될 수 있다. 상기 피스톤 이동 공간(141f)은 유입 방지 피스톤(142)의 일부가 상승 또는 하강하는 공간을 제공할 수 있다. 따라서, 상기 피스톤 이동 공간(141f)은 유입 방지 피스톤(142)의 형상에 대응되는 형상으로 형성될 수 있다.Meanwhile, in the
상기 제 1 방지 통로(141c)는 방지 피스톤 통로(141a)의 외주면 상부에서 유입 방지 하우징(141)의 측면으로 개방되어 형성될 수 있다. 상기 제 1 방지 통로(141c)는 방지 피스톤 통로(141a)의 상부로 공압을 공급하거나 또는 배출시키는 경로를 제공할 수 있다. 즉, 상기 제 1 방지 통로(141c)는 유입 방지 피스톤(142)을 하강시키는데 필요한 공압을 공급할 수 있다. 또한, 상기 제 1 방지 통로(141c)는 유압 방지 피스톤이 상승할 때 방지 피스톤 통로(141a)의 상부에 공급된 공압이 배출되는 경로를 제공한다. 상기 제 1 방지 통로(141c)는 외부의 공압 공급 수단과 연결되며 공압을 공급받을 수 있다.The
상기 제 2 방지 통로(141d)는 방지 피스톤 통로(141a)의 외주면 하부 또는 하면에서 유입 방지 하우징(141)의 측면으로 개방되어 형성될 수 있다. 상기 제 2 방지 통로(141d)는 방지 피스톤 통로(141a)의 하부로 공압을 공급하거나 또는 배출시키는 경로를 제공할 수 있다. 상기 제 2 방지 통로(141d)는 유입 방지 피스톤(142)을 상승시키는데 필요한 공압을 공급할 수 있다. 또한, 상기 제 2 방지 통로(141d)는 유입 방지 피스톤(142)이 하강할 때 방지 피스톤 통로(141a)의 하부에 공급된 공압이 배출되는 경로를 제공한다. 상기 제 2 방지 통로(141d)는 외부의 공압 공급 수단과 연결되며 공압을 공급받을 수 있다.The
상기 차단 가스 통로(141e)는 유입 방지 하우징(141)의 하부에 외측면에서 내측면으로 관통되어 형성될 수 있다. 상기 차단 가스 통로(141e)는 유입 방지 하우징(141)과 유입 방지 피스톤(142) 사이로 반응 부산물 입자가 유입되는 것을 차단하며, 반응 부산물 입자가 유체 통로(110a) 또는 하부 유체 통로(140a)의 내주면에 부착되거나 부식을 유발하는 것을 방지할 수 있다. 보다 구체적으로는 상기 유입 방지 하우징(141)과 유입 방지 피스톤(142)은 유체 통로(110a) 방향으로 서로 이격되는 이격 간극이 존재할 수 있다. 따라서, 상기 차단 가스 통로(141e)에서 공급되는 차단 가스는 이격 간극에 수직인 방향으로 흐르면서 반응 부산물 입자가 이격 간극으로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 차단 가스는 반응 부산물 입자가 밸브 하우징(110)의 내주면 또는 유입 방지 실린더(140)의 내주면에 부착되는 것을 방지할 수 있다. The blocking
상기 유입 방지 피스톤(142)은 방지 피스톤 본체(143) 및 방지 피스톤 로드(144)를 포함할 수 있다. 상기 유입 방지 피스톤(142)은 유입 방지 하우징(141)에 결합되어 상하로 이동하며, 수용 공간(110b)을 유체 통로(110a)로부터 차폐할 수 있다. 상기 유입 방지 피스톤(142)은 상승하면서 차폐판(128)의 하면을 지지하여 차폐판(128)이 밸브 하우징(110)의 차폐 저면 영역(c)에 보다 견고하게 접촉되도록 한다.The
상기 방지 피스톤 본체(143)는 링 형상으로 형성되며, 방지 피스톤 통로(141a)의 폭에 대응되는 폭과 방지 피스톤 통로(141a)의 높이보다 작은 높이로 형성될 수 있다. 상기 방지 피스톤 본체(143)는 방지 피스톤 통로(141a)의 높이에서 유입 방지 피스톤(142)의 이동 거리를 뺀 높이보다 작은 높이로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 방지 피스톤 본체(143)는 방지 피스톤 통로(141a)의 내부에서 상하로 이동할 수 있다. 상기 방지 피스톤 본체(143)는 제 1 방지 통로(141c)와 제 2 방지 통로(141d)를 통하여 공급되는 공압에 의하여 방지 피스톤 통로(141a)의 내부에서 상하로 이동할 수 있다.The
상기 방지 피스톤 로드(144)는 링 형상으로 형성되며 방지 피스톤 본체(143)로부터 상부로 연장되어 형성될 수 있다. 상기 방지 피스톤 로드(144)는 방지 피스톤 본체(143)로부터 밸브 하우징(110)의 하우징 상부홀(110c)의 하면까지의 높이와 유입 방지 피스톤(142)의 이동 거리를 반영하여 적정한 높이로 형성될 수 있다. 상기 방지 피스톤 로드(144)는 방지 피스톤 본체(143)와 함께 하부에서 상부로 이동하여 수용 공간(110b)을 유체 통로(110a)로부터 차폐할 수 있다. 상기 방지 피스톤 로드(144)는 상승하면서 차폐판(128)의 하면을 지지하여 차폐판(128)이 밸브 하우징(110)의 유체 통로(110a)의 하면에 접촉되도록 할 수 있다.The
상기 방지 피스톤 로드(144)는 절곡 영역 또는 단차 영역을 가지는 링 형상이며 영역별로 두께가 다르게 형성될 수 있다. 상기 방지 피스톤 로드(144)는 두께가 동일한 링 형상으로 형성될 수 있다. 상기 방지 피스톤 로드(144)는 유입 방지 하우징(141)과 방지 피스톤 통로(141a) 및 방지 통로 개방홀(141b)의 형상에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있다.The
상기 방지 피스톤 로드(144)는 상면에 로드 오링 홈(144a)이 원주 방향을 따라 형성될 수 있다. 상기 로드 오링 홈(144a)에는 피스톤 오링(145)이 결합될 수 있다. 상기 피스톤 오링(145)은 밸브 하우징(110)의 차폐 저면 영역(c)에 접촉되어 방지 피스톤 로드(144)의 차폐력을 증가시킬 수 있다. 또한, 상기 피스톤 오링(145)은 차폐판(128)의 하면과 접촉되어 방지 피스톤 로드(144)의 차폐력을 증가시킬 수 있다. The
상기 유입 차단 수단(146)은 유입 차단링(147) 및 유입 차단 플랜지(148)를 포함할 수 있다. 상기 유입 차단 수단(146)은 유입 방지 실린더(140)의 내측에 위치하여 반응 부산물 입자가 유입 방지 실린더(140)로 유입되는 것을 차단하며, 반응 부산물 입자가 유체 통로(110a) 또는 하부 유체 통로(140a)의 내주면에 증착되거나 부식을 유발하는 것을 방지할 수 있다. The inflow blocking means 146 may include an
상기 유입 차단링(147)은 링 형상이며, 유입 방지 하우징(141)과 유입 방지 피스톤(142)의 높이에 대응되는 높이로 형성될 수 있다. 상기 유입 차단링(147)은 유입 방지 하우징(141)과 유입 방지 피스톤(142)의 내측에 위치할 수 있다. 상기 유입 차단링(147)은 외주면이 유입 방지 하우징(141)과 유입 방지 피스톤(142)의 내주면과 소정 간격으로 이격되는 외경으로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 유입 차단링(147)은 외주면이 유입 방지 하우징(141) 및 유입 방지 피스톤(142)의 내주면과의 사이에 차단 가스가 흐르는 차단 가스 유로(147a)를 형성할 수 있다. 상기 차단 가스 유로(147a)는 유입 차단링(147)의 외주면을 따라 링 형상으로 형성되며 하부에서 차단 가스 통로(141e)와 연결될 수 있다. 상기 차단 가스 유로(147a)는 차단 가스 통로(141e)에서 공급되는 차단 가스가 유입 방지 피스톤(142)의 상부와 유입 차단링(147)의 상부의 사이로 흐르도록 한다. 상기 차단 가스는 유체 통로(110a)를 통하여 흐르는 반응 부산물 입자가 유입 방지 피스톤(142)과 상부와 유입 차단링(147)의 상부 사이로 유입되는 것을 차단한다. 또한, 상기 차단 가스는 반응 부산물 입자가 유입 방지 하우징(141)과 유입 방지 피스톤(142)의 사이로 유입되는 것을 차단할 수 있으며, 반응 부산물 입자가 유체 통로(110a) 또는 하부 유체 통로(140a)의 내주면에 부착되는 것을 방지할 수 있다.The
또한, 상기 유입 차단링(147)은 내경이 하우징 상부홀(110c)의 내경보다 큰 직경으로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 유입 차단링(147)은 내주면이 하우징 상부홀(110c)보다 내측으로 돌출되지 않으며, 유체 통로(110a)를 흐르는 유체가 흐름에 방해받지 않고 흐르는 경로를 제공할 수 있다.In addition, the
상기 유입 차단 플랜지(148)는 링 형상의 플랜지로 형성되며, 유입 차단링(147)의 하단에서 외주면 방향으로 연장되도록 결합될 수 있다. 상기 유입 차단 플랜지(148)는 유입 방지 하우징(141)의 하부에서 차단 가스 통로(141e)의 하부에 결합될 수 있다. 상기 유입 차단 플랜지(148)는 차단 가스 유로(147a)의 하단을 차단하여 차단 가스 유로(147a)의 차단 가스가 상부로 흐르도록 할 수 있다.The
상기 하부 유출관(150)은 내부가 중공이며 상하로 개방된 관 형상으로 형성될 수 있다. 상기 하부 유출관(150)은 유입 방지 실린더(140)의 하부에 결합될 수 있다. 상기 하부 유출관(150)은 공정 배관에 연결될 수 있다. 따라서, 상기 하부 유출관(150)은 유체 통로(110a)가 공정 배관에 연결되도록 한다. 한편, 상기 하부 유출관(150)은 유입 방지 실린더(140)의 유입 방지 하우징(141)과 일체로 형성될 수 있다.The
상기 하부 유출관(150)은 하부 우회 통로(151)를 더 포함할 수 있다. 상기 하부 우회 통로(151)는 하부 유출관(150)의 내주면에서 외주면으로 관통되어 형성될 수 있다. 상기 하부 우회 통로(151)는 우회 통로 모듈(160)과 연결되어 유체 우회 통로를 형성할 수 있다.The
상기 우회 통로 모듈(160)은 우회 하우징 통로(161)와 우회 연결관(162) 및 우회 통로 차단 수단(163)을 포함할 수 있다.The
상기 우회 통로 모듈(160)은 차폐판(128)에 의하여 유체 통로(110a)가 차폐된 상태에서 진공 펌프가 작동될 때 진공 챔버로부터 진공 펌프로 배기되는 유체가 우회하여 흐르는 유체 우회 통로를 제공할 수 있다. 즉, 상기 우회 통로 모듈(160)은 차폐 위치(a)의 상부에서 유체 통로(110a)와 연결되고, 수용 공간(110b)을 관통하여 차폐 위치(a)의 하부에서 유체 통로(110a)와 연결되며 유체 통로(110a)와 병렬로 유체가 흐르는 유체 우회 통로를 제공할 수 있다. 상기 우회 통로 모듈(160)은 유체 통로(110a)의 상부에서 차폐판(128)을 우회하여 유체 통로(110a)의 하부로 유체가 흐르는 경로를 제공할 수 있다. 상기 우회 통로 모듈(160)은 제조 공정의 초기 또는 공정 챔버의 셋업(set-up) 과정에서 진공 펌프에 의하여 서서히 펌핑될 때 개방될 수 있다. 따라서, 상기 우회 통로 모듈(160)은 반응 부산물 입자가 포함되지 않은 가스가 유입될 수 있다. 예를 들면, 상기 우회 통로 모듈(160)은 퍼징 가스 또는 공정 가스만을 포함하는 유체가 유입되어 흐를 수 있다.The
상기 우회 하우징 통로(161)는 차폐 위치(a)의 상부에서 밸브 하우징(110)의 유체 통로(110a)의 내주면부터 외측 방향으로 연장될 수 있다. 또한, 상기 우회 하우징 통로(161)는 하부 방향으로 절곡되어 수용 공간(110b)을 관통한 후에 밸브 하우징(110)의 하면으로 관통될 수 있다. 상기 우회 하우징 통로(161)는 밸브 하우징(110)의 내부에 형성될 때 밸브 하우징(110) 자체가 가공되어 형성되거나, 추가로 관이 밸브 하우징(110)의 내부로 삽입되어 형성될 수 있다. 또한, 상기 우회 하우징 통로(161)는 수용 공간(110b)을 관통할 때 별도의 배관에 의하여 형성될 수 있다. 또한, 상기 우회 하우징 통로(161)는 수용 공간(110b)에서 개방된 상태로 형성될 수 있다.The
상기 우회 연결관(162)은 유체 우회 통로를 흐르는 유체가 차폐 위치(a)의 하부에서 유체 통로(110a)의 하부로 유입되는 경로를 제공할 수 있다. 예를 들면, 상기 우회 연결관(162)은 일단이 우회 하우징 통로(161)와 연결되고, 타단이 차폐 위치(a)의 하부에서 유체 통로(110a), 하부 유체 통로(140a), 하부 유출관(150) 또는 공정 배관과 연결될 수 있다. 또한, 상기 우회 연결관(162)은 하부 유출관(150)의 하부 우회 통로(151)와 연결될 수 있다. 따라서, 상기 우회 연결관(162)은 밸브 하우징(110)에 형성되는 유체 우회 통로와 하부 우회 통로(151)를 연결하여 유체 우회 통로를 형성할 수 있다. 한편, 상기 우회 연결관(162)은 하부 유출관(150)을 관통하여 직접 유체 통로(110a)의 하부로 연장되어 형성될 수 있다.The
상기 우회 통로 차단 수단(163)은 우회 하우징 통로(161)를 개폐하는 수단으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 우회 통로 차단 수단(163)은 판상 또는 블록을 형성되며, 우회 하우징 통로(161)에 설치될 수 있다. 상기 우회 통로 차단 수단(163)은 우회 하우징 통로(161)의 내부에서 상하로 이동하며 우회 하우징 통로(161)를 차단할 수 있다. 상기 우회 통로 차단 수단(163)은 구체적으로 도시하지 않았지만, 공압 실린더에 의하여 상하로 이동될 수 있다. 또한, 상기 우회 통로 차단 수단(163)은 회전하여 우회 하우징 통로(161)를 차단할 수 있다. 이때, 상기 우회 통로 차단 수단(163)은 전기 모터에 의하여 회전하면서 우회 하우징 통로(161)를 차단할 수 있다.The bypass passage blocking means 163 may be formed as a means for opening and closing the
다음은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브에 대하여 설명한다.Next, a fluid shutoff valve according to another embodiment of the present invention will be described.
도 9a 내지 도 9c는 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브의 도 5에 대응되는 부분 수평 단면도이다.9A to 9C are partial horizontal cross-sectional views corresponding to FIG. 5 of a fluid shutoff valve according to another embodiment.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브는, 도 9a 내지 도 9c를 참조하면, 세정 가스 분사 모듈(130)의 구조가 다르게 형성될 수 있다. 보다 구체적으로는 상기 세정 가스 분사 모듈(130)의 세정 가스 분사 통로(131)와 세정 가스 분사 노즐(132)의 구조가 다르게 형성될 수 있다.Referring to FIGS. 9A to 9C , in the fluid shutoff valve according to another embodiment of the present invention, the cleaning
상기 세정 가스 분사 모듈(130)의 세정 가스 분사 통로(131)는, 도 9a를 참조하면, 평면 형상을 기준으로 반원의 호 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 노즐(132)도 평면 형상을 기준으로 반원의 호 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 상기 세정 가스 분사 통로(131)와 세정 가스 분사 노즐(132)의 수직 단면 구조는 도 5의 세정 가스 분사 통로(131)와 세정 가스 분사 노즐(132)의 구조와 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 한편, 상기 세정 가스 분사 통로(131)와 세정 가스 분사 노즐(132)은 반원보다 호 각도가 더 큰 호 형상으로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 9A , the cleaning
상기 세정 가스 분사 모듈(130)의 세정 가스 분사 통로(131)는, 도 9b를 참조하면, 평면 형상을 기준으로 반원 형상으로 형성될 수 있다. 즉, 상기 세정 가스 분사 통로(131)는 도 9a의 세정 가스 분사 통로(131)와 동일하게 형성될 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 복수 개의 홀이 서로 이격되어 반원 형상으로 배열되도록 형성될 수 있다. 이때, 상기 세정 가스 분사 통로(131)와 세정 가스 분사 노즐(132)의 수직 단면 구조는 도 5의 세정 가스 분사 통로(131)와 세정 가스 분사 노즐(132)의 구조와 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.Referring to FIG. 9B , the cleaning
상기 세정 가스 분사 모듈(130)의 세정 가스 분사 통로(131)는, 도 9c를 참조하면, 평면 형상을 기준으로 원 형상으로 형성될 수 있다. 즉, 상기 세정 가스 분사 통로(131)는 도 5의 세정 가스 분사 통로(131)와 동일하게 형성될 수 있다. 또한, 상기 세정 가스 분사 노즐(132)은 복수 개의 홀이 서로 이격되어 원 형상으로 배열되도록 형성될 수 있다. 이때, 상기 세정 가스 분사 통로(131)와 세정 가스 분사 노즐(132)의 수직 단면 구조는 도 5의 세정 가스 분사 통로(131)와 세정 가스 분사 노즐(132)의 구조와 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.Referring to FIG. 9C , the cleaning
다음은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브에 대하여 설명한다.Next, a fluid shutoff valve according to another embodiment of the present invention will be described.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브의 평면도이다. 도 11은 도 10의 F-F에 대한 수직 단면도이다. 도 12는 도 10의 유체 차단 밸브에서 차폐 모듈이 대기 위치에 위치한 상태에 대한 수직 단면도이다.10 is a plan view of a fluid shutoff valve according to another embodiment of the present invention. 11 is a vertical cross-sectional view taken along line F-F of FIG. 10 . 12 is a vertical cross-sectional view illustrating a state in which the shield module is positioned in a standby position in the fluid shutoff valve of FIG. 10 .
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브(200)는, 도 10 내지 12를 참조하면, 밸브 하우징(210)과 차폐 모듈(220) 및 세정 가스 분사 모듈(130)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 유체 차단 밸브(200)는 하부 유출관(150)을 더 포함할 수 있다. 한편, 상기 유체 차단 밸브(200)는 구체적으로 도시하지 않았지만, 도 1 내지 도 8의 실시예에 따른 유체 차단 밸브(100)의 우회 통로 모듈(160)을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 유체 차단 밸브(200)는 세정 가스 분사 모듈(130)이 도 9a 내지 도 9c의 구조로 형성될 수 있다.Referring to FIGS. 10 to 12 , the
상기 유체 차단 밸브(200)는 차폐 모듈(220)의 차폐판(228)이 차폐 위치(a)와 대기 위치(b) 사이를 반복적으로 직선 이동하면서 차폐 위치(a)를 차폐할 수 있다. 상기 유체 차단 밸브(200)는 차폐 모듈(220)의 차폐판(128)이 직선 이동을 하므로, 밸브 하우징(210)과 차폐 모듈(220)의 구조에서 일부 차이가 있을 수 있다. 또한, 상기 유체 차단 밸브(200)는 세정 가스 분사 모듈(130)의 구조가 도 1 내지 도 8의 실시예에 따른 유체 차단 밸브(100)의 세정 가스 분사 모듈(130)의 구조와 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.The
따라서, 이하에서는 상기 유체 차단 밸브(200)는 도 1 내지 도 8의 실시예에 따른 유체 차단 밸브(100)와 차이가 있는 점을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 유체 차단 밸브(200)는 도 1 내지 도 8의 실시예에 따른 유체 차단 밸브(100)와 동일한 구성에 대하여는 동일한 도면 부호를 부여하고 구체적인 설명을 생략할 수 있다.Therefore, hereinafter, the
상기 밸브 하우징(210)은 일측에 상하로 연장되는 유체 통로(110a) 및 유체 통로(110a)에서 타측으로 연장되는 수용 공간(110b)을 구비할 수 있다. 상기 밸브 하우징(210)은 유체 통로(110a)와 수용 공간(110b)이 각각 일측과 타측에 위치하므로 대략 직사각형 형성으로 형성될 수 있다.The
상기 밸브 하우징(210)은 유체 통로(110a)에서 상부와 하부로 각각 개방되는 하우징 상부홀(110c)과 하우징 하부홀(110d)이 구비될 수 있다. 또한, 상기 밸브 하우징(210)은 하우징 차폐홀(210e)을 구비할 수 있다. 또한, 상기 밸브 하우징(210)은 상부 연결관(115)을 더 포함할 수 있다.The
상기 하우징 차폐홀(210e)은 유체 통로(110a)를 기준으로 밸브 하우징(210)의 타측 측면에서 수용 공간(110b)으로 관통되어 형성될 수 있다. 상기 하우징 차폐홀(210e)은 차폐 모듈(220)의 일부가 결합되는 공간을 제공할 수 있다.The
상기 밸브 하우징(210)은 차폐 위치(a)에서 밸브 하우징(210)의 상부 저면 즉, 차폐 저면 영역(c)에 차폐 오링홈(210f)이 형성될 수 있다. 상기 차폐 오링홈(210f)은 유체 통로(110a)의 주위를 따라 링 형상으로 형성되며, 차폐 저면 영역(c)의 하부 방향으로 개방되도록 형성될 수 있다. 상기 차폐 오링홈(210f)에는 차폐 오링(219)이 결합될 수 있다. 한편, 상기 차폐 오링홈(210f)과 차폐 오링(219)은, 도 1 내지 도 8에서와 같이, 차폐 모듈(220)의 차폐판(128)에 형성될 수 있다. In the
상기 차폐 모듈(220)은 차폐 공압 실린더(221)와 차폐 이송체(225) 및 차폐판(228)을 포함할 수 있다.The
상기 차폐 모듈(220)은 밸브 하우징(210)의 유체 통로(110a)를 기준으로 타측에 위치할 수 있다. 상기 차폐 모듈(220)은 차폐 공압 실린더(221)가 전후진하면서 차폐 이송체(225)와 차폐판(228)을 직선 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 차폐 모듈(220)은 차폐판(228)을 차폐 위치(a)와 대기 위치(b)로 반복적으로 직선 이동시킬 수 있다. The
상기 차폐 공압 실린더(221)는 일반적인 공압 실린더로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 차폐 공압 실린더(221)는 차폐 공압 하우징(222) 및 차폐 공압 피스톤(223)을 포함할 수 있다. 상기 차폐 공압 하우징(222)은 내부에 공압이 유입 및 유출되는 공간을 구비하는 통 형상으로 형성될 수 있다. 상기 차폐 공압 피스톤(223)은 바 형상으로 형성되며, 일측이 차폐 공압 하우징(222)의 내부에서 유동 가능하며, 타측이 수용 공간(110b)의 내부로 유동될 수 있다. The shielding
상기 차폐 이송체(225)는 차폐 이송바(226) 및 차폐 이송링(127)을 포함할 수 있다. 상기 차폐 이송체(225)는 일측이 차폐 공압 피스톤(223)에 결합되며, 수용 공간(110b)에서 유체 통로(110a) 방향으로 직선 이동될 수 있다. 즉, 상기 차폐 이송체(225)는 차폐 공압 피스톤(223)의 전후진 이동에 의하여 차폐 이송링(127)이 대기 위치(b)와 차폐 위치(a) 사이를 반복적으로 이동할 수 있다. 상기 차폐 이송바(226)와 차폐 이송링(127)은 일체로 형성될 수 있다.The shielding
상기 차폐 이송바(226)는 소정 길이를 갖는 바 형상으로 형성될 수 있다. 상기 차폐 이송바(226)는 일측이 차폐 공압 실린더(221)에 결합될 수 있다. 또한, 상기 차폐 이송바(226)는 타측이 대기 위치(b)의 방향으로 연장될 수 있다.The shielding
상기 차폐 이송링(127)은 소정의 내경을 갖는 링 형상으로 형성될 수 있다. 상기 차폐 이송링(127)은 외측이 차폐 이송바(226)에 결합될 수 있다. 상기 차폐 이송링(127)은 내측이 단차지도록 형성될 수 있다.The shielding
상기 차폐판(228)은 원판 형상으로 형성되며, 외경이 차폐 이송링(127)의 외경에 대응되는 직경을 갖도록 형성될 수 있다. 상기 차폐판(228)은 상면이 평면으로 형성될 수 있다. 상기 차폐판(228)은 상면이 밸브 하우징(210)의 차폐 오링(219)과 접촉되면서 유체 통로(110a)를 밀폐할 수 있다. 한편, 상기 차폐판(128)은 상면에, 도 1 내지 도 8의 차폐판(128)과 같이 차폐 오링홈(210f)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 차폐 오링홈(210f)에는 차폐 오링(219)이 결합될 수 있다.The shielding
다음은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브에 대하여 설명한다.Next, a fluid shutoff valve according to another embodiment of the present invention will be described.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브의 평면도이다.13 is a plan view of a fluid shutoff valve according to another embodiment of the present invention.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유체 차단 밸브(300)는, 도 13을 참조하면, 밸브 하우징(210)과 차폐 모듈(220)와 세정 가스 분사 모듈(130) 및 유입 방지 실린더(140)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 유체 차단 밸브(300)는 하부 유출관(150)을 더 포함할 수 있다. 한편, 상기 유체 차단 밸브(300)는 구체적으로 도시하지 않았지만, 도 1 내지 도 8의 실시예에 따른 유체 차단 밸브(100)의 우회 통로 모듈(160)을 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 13 , the
상기 유체 차단 밸브(300)는 도 10 내지 도 12의 실시예에 따른 유체 차단 밸브(200)에 도 1 내지 도 8의 실시예에 따른 유체 차단 밸브(100)의 유입 방지 실린더(140)가 결합되어 형성될 수 있다. 상기 유체 차단 밸브(300)의 밸브 하우징(210)은 하부에 유입 방지 실린더(140)가 결합될 수 있도록 도 2에 도시된 밸브 하우징(110)의 하부 구조와 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 또한, 상기 유체 차단 밸브(300)는 세정 가스 분사 모듈(130)이 도 9a 내지 도 9c의 구조로 형성될 수 있다. 한편, 상기 유체 차단 밸브에 대하여는 구체적인 설명을 생략한다. The
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상에 따른 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해하여야 한다.As described above, embodiments according to the technical idea of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, but those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will have other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. It will be understood that it can be implemented as It should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.
100, 200, 300: 유체 차단 밸브
a: 차폐 위치
b: 대기 위치
c: 차폐 저면 영역
110, 210: 밸브 하우징
110a: 유체 통로
110b: 수용 공간
110c: 하우징 상부홀
110d: 하우징 하부홀
110e, 210e: 하우징 차폐홀
111: 상부 하우징
112: 하부 하우징
115: 상부 연결관
120, 220: 차폐 모듈
121, 221: 차폐 공압 실린더
122, 222: 차폐 공압 하우징
122a: 차폐 피스톤 통로
122b: 차폐 회전홀
123, 223: 차폐 공압 피스톤
124: 차폐 회전축
125, 225: 차폐 이송체
126, 226: 차폐 이송바
127: 차폐 이송링
128, 228: 차폐판
128a: 차폐 결합링
128b, 210f: 차폐 오링홈
129, 219: 차폐 오링
130: 세정 가스 분사 모듈
131: 세정 가스 분사 통로
132: 세정 가스 분사 노즐
133: 세정 가스 공급 통로
140: 유입 방지 실린더
140a: 하부 유체 통로
141: 유입 방지 하우징
141a: 방지 피스톤 통로
141b: 방지 통로 개방홀
141c: 제 1 방지 통로
141d: 제 2 방지 통로
141e: 차단 가스 통로
141f: 피스톤 이동 공간
142: 유입 방지 피스톤
143: 방지 피스톤 본체
144: 방지 피스톤 로드
144a: 로드 오링 홈
145: 피스톤 오링
146: 유입 차단 수단
147: 유입 차단링
147a: 차단 가스 유로
148: 유입 차단 플랜지
150: 하부 유출관
151: 하부 우회 통로
160: 우회 통로 모듈
161: 우회 하우징 통로
162; 우회 연결관
163: 우회 통로 차단 수단100, 200, 300: fluid shutoff valve
a: Shielding position b: Standby position
c: Shielded bottom area
110, 210: valve housing
110a:
110c: housing
110e, 210e: housing shield hole 111: upper housing
112: lower housing 115: upper connector pipe
120, 220: shielding module
121, 221: shielded
122a:
123, 223: shielded pneumatic piston 124: shielded rotating shaft
125, 225: shielding
127:
128a: shield coupling
129, 219: shield O-ring 130: cleaning gas injection module
131: cleaning gas injection passage 132: cleaning gas injection nozzle
133: cleaning gas supply passage
140:
141:
141b: prevention
141d:
141f: piston travel space
142: prevention piston 143: prevention piston body
144:
145: piston o-ring 146: inlet blocking means
147:
148: inlet blocking flange 150: lower outlet pipe
151: lower bypass passage 160: bypass passage module
161: bypass
163: bypass passage blocking means
Claims (10)
상기 수용 공간의 대기 위치에 위치하며, 상기 유체 통로의 차폐 위치로 이동하여 상기 유체 통로를 차폐하는 차폐판을 구비하는 차폐 모듈 및
상기 차폐 위치에 위치한 상기 차폐판의 상면에 세정 가스를 분사하는 세정 가스 분사 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 차단 밸브.A valve housing formed between the housing upper hole and the housing lower hole and having a fluid passage through which a fluid flows and a receiving space formed at one side of the fluid passage and connected to the fluid passage;
a shielding module located in a standby position of the receiving space and having a shielding plate that moves to a shielding position of the fluid passage to shield the fluid passage; and
and a cleaning gas injection module for spraying cleaning gas on the upper surface of the shielding plate located in the shielding position.
상기 세정 가스 분사 모듈은 상기 차폐판이 상기 차폐 위치에서 상기 대기 위치로 이동하기 직전부터 상기 유체 통로를 완전히 벗어날 때까지 상기 세정 가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 유체 차단 밸브.The method of claim 1,
and the cleaning gas injection module sprays the cleaning gas from immediately before the shield plate moves from the shielding position to the standby position until it completely leaves the fluid passage.
상기 세정 가스 분사 모듈은 상기 차폐판의 상면에 외측에 내측으로 경사지게 상기 세정 가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 유체 차단 밸브.The method of claim 1,
The cleaning gas spraying module is a fluid shutoff valve, characterized in that the cleaning gas is sprayed on the upper surface of the shielding plate to be inclined inward to the outside.
상기 차폐판은 상면에서 외측을 따라 링 형상의 형성되는 차폐 오링홈 및 상기 차폐 오링홈에 삽입되는 차폐 오링을 포함하며,
세정 가스 분사 모듈은 상기 차폐판의 상면에서 상기 차폐 오링홈의 외측에 내측으로 경사지게 상기 세정 가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 유체 차단 밸브.The method of claim 1,
The shielding plate includes a shielding O-ring groove formed in a ring shape along the outside from the upper surface and a shielding O-ring inserted into the shielding O-ring groove,
The cleaning gas injection module injects the cleaning gas obliquely inward from the upper surface of the shielding plate to the outside of the shielding O-ring groove.
상기 세정 가스 분사 모듈은
상기 밸브 하우징의 내부에서 상기 유체 통로의 외측에 링 형상으로 형성되는 세정 가스 분사 통로와,
상기 세정 가스 분사 통로에서 상기 밸브 하우징의 수용 공간의 차폐 저면 영역으로 관통되는 세정 가스 분사 노즐 및
상기 세정 가스 분사 통로에 세정 가스를 공급하는 세정 가스 공급 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 차단 밸브.The method of claim 1,
The cleaning gas injection module is
a cleaning gas injection passage formed in a ring shape outside the fluid passage in the valve housing;
a cleaning gas injection nozzle penetrating from the cleaning gas injection passage to a shielded bottom area of the accommodating space of the valve housing;
and a cleaning gas supply passage for supplying cleaning gas to the cleaning gas injection passage.
상기 세정 가스 분사 노즐은 소정 폭을 갖는 링 형상으로 형성되며, 외측 상부에서 내측 하부로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 차단 밸브.6. The method of claim 5,
The cleaning gas injection nozzle is formed in a ring shape having a predetermined width, and is inclined from an outer upper portion to an inner lower portion.
상기 세정 가스 분사 노즐은 복수 개의 홀이 서로 이격되어 원 형상으로 배열되며, 외측 상부에서 내측 하부로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 차단 밸브.6. The method of claim 5,
The cleaning gas injection nozzle has a plurality of holes spaced apart from each other and arranged in a circular shape, and is formed to be inclined from an outer upper portion to an inner lower portion.
상기 세정 가스 분사 모듈은
상기 밸브 하우징의 내부에서 상기 유체 통로의 외측에 반원의 호 형상으로 형성되는 세정 가스 분사 통로와,
상기 세정 가스 분사 통로에서 상기 밸브 하우징의 수용 공간의 차폐 저면 영역으로 관통되는 세정 가스 분사 노즐 및
상기 세정 가스 분사 통로에 세정 가스를 공급하는 세정 가스 공급 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 차단 밸브.The method of claim 1,
The cleaning gas injection module is
a cleaning gas injection passage formed in a semicircular arc shape outside the fluid passage inside the valve housing;
a cleaning gas injection nozzle penetrating from the cleaning gas injection passage to a shielded bottom area of the accommodating space of the valve housing;
and a cleaning gas supply passage for supplying cleaning gas to the cleaning gas injection passage.
상기 세정 가스 분사 노즐은 소정 폭을 갖는 반원의 호 형상으로 형성되며, 외측 상부에서 내측 하부로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 차단 밸브.9. The method of claim 8,
The cleaning gas injection nozzle is formed in a semicircular arc shape having a predetermined width, and is inclined from an outer upper portion to an inner lower portion.
상기 세정 가스 분사 노즐은 복수 개의 홀이 서로 이격되어 반원의 호 형상으로 배열되며, 외측 상부에서 내측 하부로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 차단 밸브.9. The method of claim 8,
The cleaning gas injection nozzle has a plurality of holes spaced apart from each other and arranged in a semicircular arc shape, and is formed to be inclined from an outer upper portion to an inner lower portion.
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