KR20210123718A - Large cell alignment of work table for flat panel display panel inspection device - Google Patents

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KR20210123718A
KR20210123718A KR1020200041214A KR20200041214A KR20210123718A KR 20210123718 A KR20210123718 A KR 20210123718A KR 1020200041214 A KR1020200041214 A KR 1020200041214A KR 20200041214 A KR20200041214 A KR 20200041214A KR 20210123718 A KR20210123718 A KR 20210123718A
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김규완
임대균
신호상
송준섭
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주식회사 디이엔티
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Abstract

The present invention provides a large cell alignment of a worktable for a flat panel display panel inspection device, comprising: a detection sensor included in a lower block for detection so that each step part can be placed in the area of a bezel, which is a mounting area in the inspection area of a cell, in each unit support block, wherein right and left support blocks and a lower support block, which are alignments for supporting a large flat panel display panel, hereinafter referred to as cell, to be inspected, are divided into cell support blocks, and the right and left support blocks and the lower support block, which are alignments of a worktable, are formed of cell support blocks divided into a plurality to be able to ascend, descend and move together with detection to be placed in the area of a bezel, which is the mounting area of a cell, in each divided cell support block; and a raising and lowering part and a forward and backward moving part included to raise, lower and forward and backward move an upper block having a step part formed thereon on top of a lower block so that no scratch can be generated in the inspection area of the cell during the movement of each step part to the area of a bezel. Accordingly, a large cell can be inspected accurately, swiftly, and smoothly even if a minute mechanical error is generated with the large cell put on the alignment by a carrier. In addition, the efficiency of inspection can be maximized.

Description

평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트{Large cell alignment of work table for flat panel display panel inspection device} Large cell alignment of work table for flat panel display panel inspection device

본 발명은 평판 표시패널 검사장치에 구비되는 워크 테이블에 관한 것으로, 더 상세하게는 검사대상인 대형 평판 표시패널(이하 '셀(cell)'이라 한다)을 받쳐 지지하는 얼라인먼트(Alignment)인 좌, 우 서포트 블록(support block) 및 하 서포트 블록을 각 단위 서포트 블록(cell support block)으로 분할 형성함과 아울러 그 분할된 각 단위 서포트 블록 자체에서 셀의 장착 영역인 베젤(bezel) 영역으로 위치할 수 있도록 감지와 함께 승강 및 이동 가능하도록 한 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트에 관한 것이다. The present invention relates to a work table provided in a flat panel display panel inspection apparatus, and more particularly, left and right alignments that support and support a large flat panel display panel (hereinafter referred to as a 'cell') to be inspected. The support block and the lower support block are divided into cell support blocks, and each divided support block itself is positioned as a bezel area, which is the mounting area of the cell. It relates to a large cell alignment of a worktable for a flat panel display panel inspection device that can be moved up and down with sensing.

일반적으로 평판 표시패널에는 액정 표시장치(LCD: Liquid Crystal Display Device), 프라즈마 표시장치(PDP: Plasma Display Panel), 유기 발광다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적으로 사용되고 있으며, 그 적용대상은 TV나 컴퓨터의 모니터, 노트북 또는 각종 산업기기의 표시패널에 광범위하게 적용되고 있다. In general, a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP), an organic light emitting diode (OLED), etc. are typically used in a flat panel display panel, and the applicable target is widely applied to the display panel of TV or computer monitor, notebook computer, or various industrial equipment.

이러한 평판 표시패널은 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 한층 더 강조되고 있으며, 특히 저소비 전력화, 박형화, 경량화, 고화질, 휴대성의 중요성이 한층 높아지고 있는 추세다. The importance of the flat panel display panel as a visual information delivery medium is being further emphasized, and in particular, the importance of low power consumption, thinness, light weight, high quality, and portability is increasing.

아울러, 평판 표시패널을 생산하는 과정에서 백라이트, 구동회로 등을 조립하기 전에 패널의 외관 및 전기적인 결함을 검사하기 위한 검사공정이 이루어지며, 이러한 검사공정은 검사장치에서 각 단위 패널에 구비된 데이터 라인과 게이트 라인인 각각의 단선 검사와 색상검사 그리고 현미경 등을 이용한 육안 검사하는 방식 등을 실시하고 있다. In addition, in the process of producing a flat panel display panel, an inspection process is performed to inspect the appearance and electrical defects of the panel before assembling the backlight and the driving circuit, and this inspection process is performed using the data provided in each unit panel in the inspection device. Disconnection inspection of each line and gate line, color inspection, and visual inspection using a microscope are carried out.

이렇게, 검사공정을 행하는 과정에서 통상적인 검사장치에는 평판 표시패널의 데이터 라인과 게이트 라인에 전원을 인가하는 데이터 베이스 및 게이트 베이스로 구성되는 프로브 유닛이 구비되고, 캐리어에서 이송된 평판 표시패널을 셋팅한 후 상기 프로브 유닛 측으로 전진시켜 평판 표시패널을 고정하기 위한 워크 테이블(work table)이 구비된다. In this way, in the process of performing the inspection process, a typical inspection apparatus is provided with a probe unit composed of a data base and a gate base for applying power to the data line and gate line of the flat panel display panel, and sets the flat panel display panel transferred from the carrier. After this, a work table for fixing the flat panel display panel is provided by advancing toward the probe unit.

상기한 평판 표시패널을 고정하기 위한 통상적인 워크 테이블은 공급되는 평판 표시패널을 진공으로 흡착하여 고정하는 것으로, 베이스 플레이트 상에 진공 흡입이 이루어질 수 있도록 고정블록을 포함한다. A typical work table for fixing the flat panel display panel is fixed by vacuum sucking the supplied flat panel display panel, and includes a fixing block so that the vacuum suction can be performed on the base plate.

특히, 종래 워크 테이블은 다규격, 즉 작은 크기로부터 일정한 크기까지 동시에 고정할 수 있도록 각 고정블록이 통상적인 이송수단에 의해 상하 및 좌우로 이동 가능하게 마련된다. In particular, in the conventional worktable, each fixed block is provided to be movable up and down and left and right by a conventional transport means so that it can be fixed at the same time from a small size to a predetermined size.

이러한 다규격 평면 표시패널을 고정하기 위한 종래의 워크 테이블과 관련된 선행기술에는 대한민국 등록특허공보 제10-563375호, 대한민국 등록특허공보 제10-0731308호, 대한민국 등록특허공보 제10-0913188호, 대한민국 공개특허공보 제1-212-0139084호 등에 게시된 바 있다(이하 '선행기술문헌들 1'이라 한다). In the prior art related to the conventional worktable for fixing such a multi-standard flat display panel, Korean Patent Publication No. 10-563375, Korean Patent Publication No. 10-0731308, Korean Patent Publication No. 10-0913188, Republic of Korea It has been published in Korean Patent Publication No. 1-212-0139084 (hereinafter referred to as 'prior art documents 1').

이러한 선행기술문헌들 1은 검사대상인 평판 표시패널이 올려져 고정되는 각 플레이트 또는 블록이 일체로 형성되어 평판 표시패널을 고정한다. In these prior art documents 1, each plate or block on which the flat panel display panel to be inspected is mounted and fixed is integrally formed to fix the flat panel display panel.

그러나 이러한 선행기술문헌들 1은 대략 작은 크기를 가지는 평판 표시패널을 고정시 효과적으로 고정할 수 있었으나, 최근에 들어 대형화된 대략 65인치 이상의 대형 셀을 올려놓고 고정하기에는 부적합한 단점을 가진다. However, these prior art documents 1 can effectively fix a flat panel display panel having an approximately small size, but have a disadvantage in that it is not suitable for placing and fixing a large cell of about 65 inches or more recently enlarged.

현재 대형 셀(cell)은 워크 테이블에 통상적인 이송수단에 의해 좌우 및 상하로 이송되는 얼라인먼트(Alignment)인 좌, 우 서포트 블록과 하 서포트 블록의 상부에 캐리어에 의해 이송되는 대형 셀을 안정되게 올려놓은 상태에서 불량 유무 등을 검사한다. Currently, large cells are stably placed on a worktable by a carrier on top of the left and right support blocks and lower support blocks, which are alignments that are transferred left and right and up and down by conventional transport means. Inspect for defects, etc. in the placed state.

아울러, 대형 셀은 워크 테이블의 얼라인먼트인 각 좌, 우 서포트 블록과 하 서포트 블록에 안정되게 놓일 수 있게 제조하고자 하는 각각의 인치 별 크기 보다 더 큰 크기로 제조되며, 이렇게 제조된 대형 셀의 가장자리에는 각각의 소정 폭만큼 상기 각 블록에 안정적으로 놓일 수 있도록 장착 영역이 형성된다. In addition, the large cell is manufactured to be larger than the size of each inch to be manufactured so that it can be placed stably on each left and right support block and the lower support block that are aligned with the worktable. A mounting area is formed so that it can be stably placed on each of the blocks by a respective predetermined width.

상기한 좌, 우 서포트 블록과 하 서포트 블록은 대형 셀이 정확한 위치에 놓일 수 있도록 하는 것으로 필요에 따라 대형 셀이 워크 테이블의 정확한 위치에 놓이도록 이송수단에 의해 조정된다. The above-mentioned left and right support blocks and lower support blocks allow the large cells to be placed at the correct positions, and if necessary, the large cells are adjusted by the transport means to be placed at the correct positions on the worktable.

한편, 최근에는 대형 셀의 테두리에 형성되는 장착 영역인 베젤(bezel)의 폭 또한 대폭 좁아지고 있다. 상기 장착 영역인 베젤의 폭은 대략 1㎜ 이내이다. Meanwhile, in recent years, the width of a bezel, which is a mounting area formed at the edge of a large cell, is also greatly reduced. The width of the bezel, which is the mounting area, is approximately 1 mm or less.

종래 폭이 좁은 대형 셀의 베젤을 고정하기 위한 기술은 이송수단에 의해 이동되는 좌, 우 서포트 블록과 하 서포트 블록에 의해 받쳐 지지하는 것으로, 이러한 좌, 우 서포트 블록과 하 서포트 블록은 하나의 일체형으로 캐리어에 의해 셀이 올려지는 과정에서 작은 기계적인 오차 발생시 셀의 장착 영역인 베젤 영역으로 올려지지 않아 다시 반복하여 셋팅해야 하는 단점을 가진다. The conventional technique for fixing the bezel of a large cell with a narrow width is to be supported by left and right support blocks and lower support blocks moved by means of transport, and these left and right support blocks and lower support blocks are integrated into one Therefore, when a small mechanical error occurs in the process of raising the cell by the carrier, it is not raised to the bezel area, which is the mounting area of the cell, and has the disadvantage of having to repeat the setting again.

즉, 미세한 오차 범위는 대략 0.5㎜ 범위 내의 오차로, 일체형의 각 서포트 블록에서는 이러한 미헤한 오차 범위까지 극복할 수 없는 문제점을 가진다. That is, the fine error range is an error within the range of about 0.5 mm, and each integrated support block has a problem that cannot be overcome to such a subtle error range.

이러한 문제점을 개선하고자 종래에도 대한민국 등록특허공보 제10-1607089호(이하 '선행기술문헌 2'라 한다)에 워크 테이블의 양 측면에 셀이 장착되는 셀 서포트와 함께 셀 얼라인먼트를 포함하는 액정표시패널 감사장치의 셀 장착장치가 게시된 바 있다. In order to improve this problem, even in the prior art, in Korean Patent No. 10-1607089 (hereinafter referred to as 'prior art document 2'), a liquid crystal display panel including cell alignment with cell supports in which cells are mounted on both sides of a worktable A cell mounting device for an audit device has been published.

그러나 이러한 선행기술문헌 2는 셀의 양 측면을 셀 서포트에 의해 국부적으로만 받쳐 지지함으로써, 양 측면을 고르게 받쳐 지지하지 못하는 단점과 함께 대형 평판 표시패널의 하부를 받쳐 지지하는 수단이 결여되어 있어, 셀의 엘라인먼트를 조정하기 어려운 단점을 가진다. However, this prior art document 2 lacks a means for supporting and supporting the lower part of the large flat panel display panel with the disadvantage that both sides of the cell are not supported evenly by supporting both sides of the cell only locally by the cell support, It has a disadvantage in that it is difficult to adjust the elements of the cell.

대한민국 등록특허공보 제10-563375호Republic of Korea Patent Publication No. 10-563375 대한민국 등록특허공보 제10-0731308호Republic of Korea Patent Publication No. 10-0731308 대한민국 등록특허공보 제10-0913188호Republic of Korea Patent Publication No. 10-0913188 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0139084호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2012-0139084 대한민국 등록특허공보 제10-1607089호Republic of Korea Patent Publication No. 10-1607089

상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 구체적인 기술적 해결과제는 검사대상인 대형 평판 표시패널(이하 '셀(cell)'이라 한다)을 받쳐 지지하는 얼라인먼트(Alignment)인 좌, 우 서포트 블록(support block) 및 하 서포트 블록을 각 단위 서포트 블록(cell support block)으로 분할 형성함과 아울러 그 분할된 각 단위 서포트 블록 자체에서 셀의 장착 영역인 베젤(bezel) 영역으로 위치할 수 있도록 감지와 함께 승강 및 이동 가능하도록 한 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트를 제공하는 데 있다. A specific technical solution of the present invention for solving the above problems is a left and right support block, which is an alignment that supports and supports a large flat panel display panel (hereinafter referred to as a 'cell') to be inspected. The support block and the lower support block are divided into cell support blocks, and detection and detection are performed so that each divided support block itself can be positioned as the bezel area, which is the mounting area of the cell. An object of the present invention is to provide a large cell alignment of a worktable for a flat panel display panel inspection device that can be moved up and down together.

본 발명의 다른 구체적인 기술적 해결과제는 각 단위 서포트 블록이 대형 셀의 장착 영역인 베젤 영역 내로의 정확하게 위치할 수 있도록 하는 데 있다. Another specific technical problem of the present invention is to enable each unit support block to be accurately positioned within a bezel area, which is a mounting area for a large cell.

본 발명의 또 다른 구체적인 기술적 해결과제는 워크 테이블의 상 서포트 블록 또한 엘라인먼트 역할을 수행할 수 있도록 하는 데 있다. Another specific technical solution of the present invention is to enable the upper support block of the work table to also serve as an element.

상기와 같은 구체적인 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 구체적인 기술적 해결수단은 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 양 측면 및 상, 하부에 각 이송수단에 의해 좌우 및 상하로 이동되는 각각의 이송플레이트와, 상기 좌, 우 이송플레이트 및 상, 하 이송플레이트 상에 대형 셀의 장착 영역인 베젤 영역을 받쳐 지지하도록 상단에 단턱부를 포함하는 좌, 우 서포트 블록과, 상, 하 서포트 블록을 포함하는 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트에 있어서, 상기 좌, 우 서포트 블록 및 하 서포트 블록을 복수 개로 분할 형성되는 각각의 단위 서포트 블록으로 형성하되, 상기 각 단위 서포트 블록에 각 단턱부가 셀의 검사 영역에서 장착 영역인 베젤 영역 내로 위치할 수 있도록 하부 블록에 구비되어 감지하는 감지센서; 상기 각 단턱부가 베젤 영역으로 이동시 상기 셀의 검사영역에 스크래치(scratch)가 발생하지 않도록 상기 하부 블록 상에서 상기 단턱부가 형성된 상부 블록을 승강과 전, 후진 되도록 구비되는 승강부 및 전,후진부를 포함한다. A specific technical solution of the present invention for solving the specific technical problem as described above is a base plate, and each transfer plate moved left and right and up and down by each transfer means on both sides and upper and lower portions of the base plate, A flat panel display panel including left and right support blocks including step portions at the upper end to support and support the bezel area, which is a mounting area for large cells, on the left and right transfer plates and the upper and lower transfer plates, and upper and lower support blocks In the large cell alignment of a worktable for an inspection apparatus, the left and right support blocks and the lower support blocks are divided into a plurality of unit support blocks, each of which has a stepped portion in the inspection area of the cell. a detection sensor provided in the lower block so as to be positioned within the bezel area, which is a mounting area, to detect; It includes an elevating unit and a forward and backward unit provided to elevate and move the upper block on which the stepped portion is formed on the lower block so as not to cause a scratch in the inspection area of the cell when each stepped portion is moved to the bezel area. .

상기 감지센서는 제1 구동수단과 동력전달부재에 의해 전, 후진되는 로드 끝단에 장착 브래킷에 의해 장착되어 상기 상부 블록의 밑면에 형성되는 인입홈 상의 내부까지 이동 가능하게 구비된다. The detection sensor is mounted by a mounting bracket to the end of the rod, which is moved forward and backward by the first driving means and the power transmission member, and is provided movably to the inside of the inlet groove formed on the bottom surface of the upper block.

상기 승강부는 하부 블록에 장착되는 제2 구동수단에 의해 슬라이딩(sliding) 되는 경사 블록, 상기 경사블록의 경사면과 서로 대응되는 경사면이 형성되어 그 경사 블록의 슬라이딩에 의해 승강 되도록 상기 상부 블록의 밑면에 장착되는 승강 블록, 및 상기 상부 블록의 밑면 양측에 상기 하부 블록의 양측에 구비되는 가이드 레일 상에 가이드 되는 가이드구를 포함한다. The elevating part is formed with an inclined block sliding by a second driving means mounted on the lower block, an inclined surface corresponding to the inclined surface of the inclined block, is formed on the bottom surface of the upper block so as to be lifted by sliding of the inclined block. It includes an elevating block to be mounted, and a guide sphere guided on guide rails provided on both sides of the lower block on both sides of the bottom surface of the upper block.

상기 경사 블록은 제2 구동수단의 로드에 장착되고, 상기 로드는 하부 블록에 장착되는 장착 블록에 지지되는 것을 포함한다. The inclined block is mounted on a rod of the second driving means, and the rod is supported by a mounting block mounted on a lower block.

상기 전, 후진부는 하부 블록 상에 구비되는 제3 구동수단과 동력전달부재에 의해 셀 방향으로 배치되어 회전 가능하게 구비되는 이송 스크류, 상기 이송 스크류 상에 구비되어 이송되는 너트 하우징, 상기 상부 블록의 밑면에 상기 너트 하우징과 연결되게 장착되는 장착 플레이트, 및 상기 상부 블록의 밑면 양측에 하부 블록의 상단 양측에 각 받침 블록에 구비되는 가이드 레일 상에서 가이드 되는 가이드구를 포함한다. The forward and reverse parts are a transfer screw disposed in the cell direction and rotatably provided in the cell direction by a third driving means and a power transmission member provided on the lower block, a nut housing provided on the transfer screw and transferred, and the upper block. A mounting plate mounted on a bottom surface to be connected to the nut housing, and a guide tool guided on guide rails provided in each support block on both sides of the bottom surface of the upper block and on both sides of the top of the lower block.

상기 워크 테이블의 상 서포트 블록을 복수 개로 분할 형성되는 각각의 단위 서포트 블록으로 형성하는 것을 더 포함한다. The method further includes forming an upper support block of the worktable into a plurality of unit support blocks divided into a plurality of units.

본 발명은 검사대상인 대형 평판 표시패널(이하 '셀(cell)'이라 한다)을 받쳐 지지하는 얼라인먼트(Alignment)인 좌, 우 서포트 블록(support block) 및 하 서포트 블록을 각 단위 서포트 블록(cell support block)으로 분할 형성함과 아울러 그 분할된 각 단위 서포트 블록 자체에서 셀의 장착 영역인 베젤(bezel) 영역으로 위치할 수 있도록 감지와 함께 승강 및 이동 가능하도록 함으로서, 캐리어에 의해 대형 셀이 얼라인먼트에 올려진 상태에서 기계적인 미세한 오차가 발생하더라도 대형 셀의 정확한 검사가 신속하고 원활하게 이루어질 수 있는 효과와 함께 그로 인한 검사 효율성도 극대화할 수 있는 부수적인 효과도 가진다. In the present invention, left and right support blocks and lower support blocks, which are alignments that support and support a large flat panel display panel (hereinafter referred to as a 'cell') to be inspected, are each unit support block (cell support). block), and by making it possible to move up and down with sensing so that each divided unit support block itself can be located in the bezel area, which is the mounting area of the cell, the large cell can be aligned with the carrier. Even if a mechanical error occurs in the raised state, it has the effect that accurate inspection of large cells can be performed quickly and smoothly, and also has the secondary effect of maximizing inspection efficiency.

또한, 각 단위 서포트 블록이 대형 셀의 장착 영역인 베젤 영역 내로의 정확하게 위치할 수 있도록 함으로써, 대형 셀의 검사가 더욱더 신속하고 정확하게 이루어질 수 있는 효과도 갖는다. In addition, by allowing each unit support block to be accurately positioned within the bezel area, which is the mounting area of the large cell, the large cell inspection can be performed more quickly and accurately.

또, 워크 테이블의 상 서포트 블록 또한 엘라인먼트 역할을 수행할 수 있도록 함으로써, 워크 테이블에서 대형 셀의 얼라인머트가 더욱더 정확하게 이루어질 수 있는 효과도 가진다. In addition, by enabling the upper support block of the work table to also serve as an element, alignment of large cells in the work table can be performed more accurately.

도 1은 본 발명이 워크 테이블에 적용된 상태를 설명하기 위한 사시도,
도 2는 도 1에 따른 세워진 상태의 정면도,
도 3은 본 발명의 단위 서포트 블록을 설명하기 위한 사시도,
도 4는 도 3에 따른 정면도,
도 5는 도 3에 따른 측 단면도,
도 6은 도 3에 따른 작동 상태를 설명하기 위한 순서도,
도 7은 본 발명의 다른 실시 예를 설명하기 위한 세워진 상태의 정면도이다.
1 is a perspective view for explaining a state in which the present invention is applied to a work table;
Figure 2 is a front view in an erected state according to Figure 1;
3 is a perspective view for explaining a unit support block of the present invention;
4 is a front view according to FIG. 3 ;
5 is a side cross-sectional view according to FIG. 3 ;
6 is a flowchart for explaining the operating state according to FIG. 3;
7 is a front view of an erected state for explaining another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참고하여 좀 더 상세하게 설명하면 다음과 같으며, 본 발명이 실시 예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings, and the present invention is not limited or limited by the embodiments.

도 1은 본 발명이 워크 테이블에 적용된 상태를 설명하기 위한 사시도이며, 도 2는 도 1에 따른 세워진 상태의 정면도이고, 도 3은 본 발명의 단위 서포트 블록을 설명하기 위한 사시도이며, 도 4는 도 3에 따른 정면도이고, 도 5는 도 3에 따른 측 단면도이며, 도 6은 도 3에 따른 작동 상태를 설명하기 위한 순서도이다. Figure 1 is a perspective view for explaining a state in which the present invention is applied to a worktable, Figure 2 is a front view of the erected state according to Figure 1, Figure 3 is a perspective view for explaining the unit support block of the present invention, Figure 4 is It is a front view according to FIG. 3 , FIG. 5 is a side cross-sectional view according to FIG. 3 , and FIG. 6 is a flowchart for explaining an operating state according to FIG. 3 .

도시된 바와 같이 통상적인 대형 평판 표시패널 검사장치에 구비되는 워크 테이블(100)은 대형 셀을 고정하기 위한 기술적 구성을 가진다. As shown, the worktable 100 provided in a typical large-sized flat panel display panel inspection apparatus has a technical configuration for fixing large-sized cells.

워크 테이블(100)의 통상적인 기술적 구성을 가지는 것으로, 베이스 플레이트(110)와, 상기 베이스 플레이트(110)의 양 측면 및 상, 하부에 통상적인 각 이송수단에 의해 다규격의 셀 크기에 따라 좌우 및 상하로 이동되는 각각의 이송플레이트(112)(112A)(112B)와, 상기 좌, 우 이송플레이트(112) 및 상, 하 이송플레이트(112B)(112A) 상에 셀의 장착 영역인 베젤 영역을 받쳐 지지하도록 상단에 단턱부(122)를 포함하는 좌, 우 서포트 블록(120) 및 상, 하 서포트 블록(120B)(120A)을 포함하는 셀 얼라인먼트를 포함하는 기술적 구성을 가진다. It has a conventional technical configuration of the worktable 100, and the base plate 110, and left and right depending on the cell size of the multi-standard by each conventional transport means on both sides and upper and lower portions of the base plate 110 And each of the transfer plates 112, 112A, and 112B moving up and down, the left and right transfer plates 112 and the upper and lower transfer plates 112B and 112A, the bezel area as the mounting area of the cell. It has a technical configuration including cell alignment including left and right support blocks 120 and upper and lower support blocks 120B and 120A including a stepped portion 122 at the upper end to support and support.

상기한 각 이송플레이트의 좌우 및 상하 이동은 발명의 배경이 되는 기술에 기재된 선행기술문헌에 게재된 것이므로 상세한 설명은 생략한다. Since the left and right and vertical movement of each transfer plate described above are published in the prior art document described in the technology that is the background of the invention, a detailed description thereof will be omitted.

이러한 셀 얼라인먼트를 구성하는 종래의 좌, 우 서포트 블록 및 하 서포트 블록은 대부분이 일체형인 하나의 블록으로 형성된다. Most of the conventional left and right support blocks and lower support blocks constituting the cell alignment are formed as one integrated block.

그로 인해 발명의 배경이 되는 기술에 기재한 바와 같이 최근에 들어 대형 셀을 고정하는 베젤(bezel)의 폭 또한 대폭 좁아지고 있으며, 이에 따라 셀의 장착 영역(대략 1㎜ 이내) 또한 그 폭이 매우 좁아지고 있는 추세로, 일체형인 하나의 블록으로 형성되는 상기 좌,우 서포트 블록과 하 서포트 블록에 캐리어에 의해 셀이 올려지는 과정에서 작은 기계적인 오차 발생시 베젤 영역 내로 위치하지 않아 다시 반복해서 셋팅해야 하는 단점을 가진다. 즉, 캐리어에 의해 각 서포트 블록에 올릴 때 전반적으로 셋팅된 위치에 올려지기는 하나, 기계적인 오차에 의해 미세한 차이, 대략 0.5㎜ 이내의 오차가 발생하게 된다. As a result, as described in the technology that is the background of the invention, the width of the bezel for fixing the large cell has recently been greatly reduced, and accordingly, the cell mounting area (within about 1 mm) is also very wide. As the trend is getting narrower, if a small mechanical error occurs in the process of raising the cell by the carrier to the left and right support blocks and the lower support block, which are formed as one integrated block, it is not located within the bezel area and needs to be set again. has the disadvantage of That is, when the carrier is placed on each support block, it is generally placed in a set position, but a slight difference, an error of within about 0.5 mm, occurs due to a mechanical error.

종래의 각 서포트 블록은 하나의 일체형으로 형성됨으로 인해 이러한 미세한 오차를 극복하지 못하는 단점을 가지는 것이다. Each conventional support block has a disadvantage in that it cannot overcome such a minute error because it is formed as a single unit.

상기에서, 좌, 우 서포트 블록(120)과 하 서포트 블록(120A)의 상단에는 셀의 장착 영역인 베젤 영역을 받쳐 지지하는 각각의 단턱부(122)가 형성된다. In the above, at the upper ends of the left and right support blocks 120 and the lower support block 120A, each stepped portion 122 for supporting and supporting the bezel area, which is the mounting area of the cell, is formed.

본 발명은 검사대상인 대형 셀을 받쳐 지지하는 얼라인먼트(Alignment)인 좌, 우 서포트 블록(support block) 및 하 서포트 블록을 각 단위 서포트 블록(cell support block)으로 분할 형성함과 아울러 그 분할된 각 단위 서포트 블록 자체에서 셀의 장착 영역인 베젤(bezel) 영역으로 위치할 수 있도록 감지와 함께 승강 및 이동 가능하도록 한 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트를 제공하는 데 있다. The present invention divides and forms left and right support blocks and lower support blocks, which are alignments that support and support a large cell to be inspected, into cell support blocks, and each divided unit The purpose of this is to provide a large cell alignment of a worktable for a flat panel display panel inspection device that can be moved up and down with sensing so that it can be positioned from the support block itself to the bezel area, which is the mounting area of the cell.

본 발명에 따른 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블(100)에 대형 셀 얼라인먼트인 좌, 우 서포트 블록(120) 및 하 서포트 블록(120A)을 복수 개로 분할 형성되는 각각의 단위 서포트 블록(10)으로 형성한다. In the worktable 100 for a flat panel display panel inspection apparatus according to the present invention, the left and right support blocks 120 and the lower support blocks 120A, which are large cell alignments, are divided into a plurality of unit support blocks 10, respectively. to form

아울러, 상기 각 단위 서포트 블록(10)에 각 단턱부(11)가 셀의 검사 영역에서 장착 영역인 베젤 영역 내로 위치할 수 있도록 하부 블록(14)에 구비되어 감지하는 감지센서(20)를 포함한다. In addition, the unit support block 10 includes a detection sensor 20 provided in the lower block 14 so that each stepped portion 11 can be positioned within the bezel area, which is the mounting area, in the inspection area of the cell. do.

또한, 상기 각 단턱부(11)가 베젤 영역으로 이동시 상기 셀의 검사영역에 스크래치(scratch)가 발생하지 않도록 상기 하부 블록(14) 상에서 상기 단턱부(11)가 형성된 상부 블록(16)을 승강과 전, 후진 되도록 구비되는 승강부(30) 및 전, 후진부(40)를 포함한다. In addition, when each of the stepped portions 11 is moved to the bezel area, the upper block 16 on which the stepped portions 11 are formed is raised and lowered on the lower block 14 so that scratches do not occur in the inspection area of the cell. It includes an elevating unit 30 and a forward and backward unit 40 that are provided to move forward and backward.

다시 말해서, 각 단위 서포트 블록은 각각 개별적으로 작동되는 것으로, 캐리어에 의해 단위 서포트 블록의 각 단턱부로 대형 셀이 올려질 때, 기계적인 미세한 오차 발생시 상기 각 단턱부가 셀의 검사 영역에 위치하게 된다. In other words, each unit support block is operated individually, and when a large cell is raised to each step of the unit support block by a carrier, each step is located in the inspection area of the cell when a mechanical minor error occurs.

이때, 본 발명의 각 단위 서포트 블록은 감지센서가 셀의 검사 영역에 위치한 상태에서 베젤 측으로 이동되면서 베젤 영역을 감지함과 동시에 하부 블록 상에서 단턱부가 형성된 상부 블록을 승강부 및 전, 후진부에 의해 단턱부가 베젤 영역으로 위치하도록 이동시킨다. At this time, each unit support block of the present invention detects the bezel area while the detection sensor is located in the test area of the cell and detects the bezel area, and at the same time moves the upper block in which the stepped portion is formed on the lower block by the elevating unit and the forward and backward units. The stepped part is moved to be positioned in the bezel area.

특히, 상기 각 단위 서포트 블록은 동시에 한꺼번에 승강 및 전, 후진이 이루어지는 것이 아니라 감지센서에 의해 검사 영역 내에 위치한 상부 블록의 단턱부를 순차적으로 승강과 전, 후진시킨다. In particular, the respective unit support blocks do not simultaneously lift, forward, and backward at the same time, but sequentially lift, forward, and backward the step portion of the upper block located in the inspection area by the detection sensor.

상기에서, 상부 블록의 승강과 전, 후진은 도 6에서와같이 상부 블록의 단턱부가 감사 영역에 위치할 경우, 승강부에 의해 하강 된 후 후진한 다음 감지센서에 의하여 베젤 영역을 감지하면서 검사 영역을 침범하지 않은 상태에서 상부 블록의 단턱부가 베젤 영역에 위치하도록 한다. In the above, when the step portion of the upper block is located in the inspection area as shown in FIG. 6, the upper block moves backward after being lowered by the lifting unit, and then the bezel area is sensed by the detection sensor to detect the inspection area. Make sure that the stepped part of the upper block is located in the bezel area without encroaching on it.

그로 인해 미세한 오차 범위인 대략 0.5㎜ 이내의 감사 영역에 위치한 단위 서포트 블록의 단턱부를 베젤 영역으로 이동시킴으로써, 검사 영역 내에서의 검사가 정확하게 이루어질 수 있는 것이다. As a result, by moving the step portion of the unit support block located in the inspection area within approximately 0.5 mm, which is a fine error range, to the bezel area, the inspection in the inspection area can be accurately performed.

감지센서(20)는 통상적인 모터 등과 같은 제1 구동수단(22)과 연결되어 회전되는 풀리와 벨트 등과 같은 동력전달부재(22A)에 전, 후진되는 로드 끝단에 장착 브래킷(24)에 의해 장착되어 상기 상부 블록(16)의 밑면에 형성되는 인입홈(16A) 상의 내부까지 이동 가능하게 구비된다. The detection sensor 20 is connected to the first driving means 22, such as a conventional motor, and is mounted on the end of the rod forward and backward to the power transmission member 22A such as a pulley and a belt rotated by a mounting bracket 24. It is provided to be movable up to the inside on the inlet groove (16A) formed on the bottom surface of the upper block (16).

상기에서, 상부 블록에 형성되는 인입홈은 상기 감지센서가 베젤의 외측 끝단까지 감지할 수 있도록 하기 위한 것이다. In the above, the inlet groove formed in the upper block is for the detection sensor to detect the outer end of the bezel.

그로 인해 베젤 영역 범위를 정확하게 감지할 수 있다. This makes it possible to accurately detect the range of the bezel area.

승강부(30)는 하부 블록(14)에 장착되는 통상적인 실린더 또는 기어 맞물림 등에 의해 로드가 전, 후진되는 제2 구동수단(32)에 의해 슬라이딩(sliding) 되는 경사 블록(34)과, 상기 경사블록(34)의 경사면과 서로 대응되는 경사면이 형성되어 그 경사 블록(34)의 슬라이딩에 의해 승강 되도록 상기 상부 블록(16)의 밑면에 장착되는 승강 블록(35), 및 상기 상부 블록(16)의 밑면 양측에 상기 하부 블록(14)의 양측에 구비되는 가이드 레일(36) 상에 가이드 되는 가이드구(38)를 포함한다. The lifting unit 30 includes an inclined block 34 that is slid by the second driving means 32 in which the rod is moved forward and backward by a conventional cylinder mounted on the lower block 14 or gear engagement, and the like; A lifting block 35 mounted on the lower surface of the upper block 16 so as to form an inclined surface corresponding to the inclined surface of the inclined block 34 and lifted by sliding of the inclined block 34, and the upper block 16 ) includes a guide tool 38 guided on the guide rails 36 provided on both sides of the lower block 14 on both sides of the bottom surface.

또한, 상기 경사 블록(34)은 제2 구동수단(32)의 로드에 장착되고, 상기 로드는 하부 블록(14)에 장착되는 장착 블록(33)에 지지되는 것을 포함한다. In addition, the inclined block 34 is mounted on a rod of the second driving means 32 , and the rod is supported by a mounting block 33 mounted on the lower block 14 .

다시 말해서, 상기 승강부는 상부 블록의 단턱부가 이송되는 과정에서 셀의 검사 영역에 스크래치가 발생하지 않도록 하강함과 아울러 단턱부가 베젤의 영역에 위치하여 받쳐질 수 있도록 승상 되도록 하는 것이다. In other words, the lifting unit descends so that scratches do not occur in the inspection area of the cell in the process of transferring the stepped portion of the upper block, and is raised so that the stepped portion can be positioned and supported in the area of the bezel.

그로 인해 승강부는 상부 블록의 단턱부가 셀의 베젤 영역으로 받쳐질 때 그 셀의 검사 영역으로 스크래치의 발생을 방지하여, 높은 신뢰성과 함께 불량발생을 원천적으로 방지할 수 있도록 하는 중요한 기술적 구성요소이다. For this reason, the lifting unit is an important technical component that prevents the occurrence of scratches in the inspection area of the cell when the step of the upper block is supported by the bezel area of the cell, thereby fundamentally preventing defects with high reliability.

전, 후진부(40)는 하부 블록(14) 상에 구비되는 통상적인 모터 등과 같은 제3 구동수단(42)과 연결되어 회전되는 풀리와 벨트 등과 같은 동력전달부재(43)에 의해 셀 방향으로 배치되어 회전 가능하게 구비되는 이송 스크류(44)와, 상기 이송 스크류(44) 상에 구비되어 이송되는 너트 하우징(45)과, 상기 상부 블록(16)의 밑면에 상기 너트 하우징(45)과 연결되게 장착되는 장착 플레이트(46) 및 상기 상부 블록(16)의 밑면 양측에 하부 블록(14)의 상단 양측에 각 받침 블록(47)에 의해 구비되는 가이드 레일(48) 상에서 가이드 되는 가이드구(48A)를 포함한다. The front and rear parts 40 are connected to a third driving means 42 such as a conventional motor provided on the lower block 14 and rotated in the cell direction by a power transmission member 43 such as a pulley and a belt. A transfer screw 44 disposed and rotatably provided, a nut housing 45 provided on the transfer screw 44 and transferred, and the nut housing 45 are connected to the lower surface of the upper block 16 . The guide sphere 48A guided on the guide rail 48 provided by each support block 47 on both sides of the upper end of the lower block 14 on both sides of the lower surface of the mounting plate 46 and the upper block 16. ) is included.

다시 말해서, 전, 후진부는 상부 블록이 상승 또는 하강시 이동시키는 기술적 구성으로, 상부 블록의 단턱부가 셀의 베젤 부분에 정확하게 위치하도록 전,후진 시킨다. In other words, the front/reverse part is a technical configuration that moves the upper block when the upper block is raised or lowered.

이로써, 본 발명의 얼라인먼트의 각 단위 서포트 블록은 각각 개별적으로 대형 셀의 베젤 영역으로 정확하게 위치할 수 있도록 승강 및 전, 후진이 이루어질 수 있도록 함으로써, 대형 셀의 검사가 오차 없이 정확하게 이루어질 수 있어, 검사 효율성을 향상시킴은 물론 신뢰성도 높일 수 있는 조건을 가진다. As a result, each unit support block of the alignment of the present invention can be moved up and down, forward, and backward so that it can be accurately positioned in the bezel area of the large cell individually, so that the inspection of the large cell can be performed accurately without error, It has conditions that can improve efficiency as well as increase reliability.

도 7은 본 발명의 다른 실시 예를 설명하기 위한 세워진 상태의 정면도이다. 7 is a front view of an erected state for explaining another embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이 상기한 구성에서, 얼라인먼트인 좌우 서포트 블록과 하 서포트 블록만을 단위 서포트 블록으로 구성하는 것이 아니라 워크 테이블을 구성하는 상 서포트 블록(120B) 또한 전술한 복수 개로 분할 형성된 각각의 단위 서포트 블록(10)을 구성되는 기술적 구성도 제공한다. 상기 상 서포트 블록(120B) 또한 상 이송플레이트(112B)에 의하여 통상적인 이송수단에 의해 상하 및 좌우로 이송된다. As shown, in the above configuration, not only the left and right support blocks and the lower support blocks that are alignment are configured as unit support blocks, but the upper support blocks 120B constituting the worktable are also divided into the aforementioned plurality of unit support blocks. (10) is also provided with the constituent technical configuration. The upper support block 120B is also transferred up and down and left and right by a conventional transfer means by the upper transfer plate 112B.

상기한 상 서포트 블록을 구성하는 각 단위 서포트 블록 역시 전술한 동일한 기술적 구성을 가지는 것이므로 상세한 설명은 생략한다. Since each unit support block constituting the above-described phase support block also has the same technical configuration as described above, a detailed description thereof will be omitted.

그에 따라 대형 셀의 상부에 형성되는 장착 영역인 베젤 영역 역시 단위 서포트 블록에 의해 정확한 위치에서 받쳐 지지할 수 있는 조건을 가진다. Accordingly, the bezel area, which is a mounting area formed on the upper part of the large cell, also has a condition to be supported and supported at an accurate position by the unit support block.

10 : 단위 서포트 블록 11, 122 : 단턱부
14 : 하부 블록 16 : 상부 블록
16A : 인입홈 20 : 감지센서
22 : 제1 구동수단 24 : 장착 브래킷
30 : 승강부 32 : 제2 구동수단
33 : 장착 블록 34 : 경사 블록
35 : 승강 블록 36, 48 : 가이드 레일
38, 48A : 가이드구 40 : 전, 후진부
42 : 제3 구동수단 43 : 동력전달부재
44 : 이송 스크류 45 : 너트 하우징
46 : 장착 플레이트 47 : 받침 블록
100 : 워크 테이블
110 : 베이스 플레이트 112 : 좌, 우 이송플레이트
112A : 하 이송플레이트 112B : 상 이송플레이트
120 : 좌, 우 서포트 블록 120A : 하 서포트 블록
120B : 상 서포트 블록
10: unit support block 11, 122: stepped portion
14: lower block 16: upper block
16A: inlet groove 20: detection sensor
22: first driving means 24: mounting bracket
30: lifting unit 32: second driving means
33: mounting block 34: inclined block
35: elevating block 36, 48: guide rail
38, 48A: guide sphere 40: forward, backward part
42: third driving means 43: power transmission member
44: feed screw 45: nut housing
46: mounting plate 47: support block
100: worktable
110: base plate 112: left, right transfer plate
112A: lower transfer plate 112B: upper transfer plate
120: left, right support block 120A: lower support block
120B: upper support block

Claims (6)

베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 양 측면 및 상, 하부에 각 이송수단에 의해 좌우 및 상하로 이동되는 각각의 이송플레이트와, 상기 좌, 우 이송플레이트 및 상, 하 이송플레이트 상에 대형 셀의 장착 영역인 베젤 영역을 받쳐 지지하도록 상단에 단턱부를 포함하는 좌, 우 서포트 블록과, 상, 하 서포트 블록을 포함하는 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트에 있어서,
상기 좌, 우 서포트 블록 및 하 서포트 블록을 복수 개로 분할 형성되는 각각의 단위 서포트 블록으로 형성하되, 상기 각 단위 서포트 블록에 각 단턱부가 셀의 검사 영역에서 장착 영역인 베젤 영역 내로 위치할 수 있도록 하부 블록에 구비되어 감지하는 감지센서;
상기 각 단턱부가 베젤 영역으로 이동시 상기 셀의 검사영역에 스크래치(scratch)가 발생하지 않도록 상기 하부 블록 상에서 상기 단턱부가 형성된 상부 블록을 승강과 전, 후진 되도록 구비되는 승강부 및 전,후진부를 포함하는 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트.
A base plate, each transfer plate moved left and right and up and down by each transfer means on both sides and upper and lower portions of the base plate, and mounting of large cells on the left and right transfer plates and upper and lower transfer plates In the large cell alignment of a worktable for a flat panel display panel inspection apparatus including left and right support blocks including a stepped portion at the upper end to support and support the bezel area, which is an area, and upper and lower support blocks,
The left and right support blocks and the lower support blocks are divided into a plurality of unit support blocks, each of which has a lower portion so that each step can be positioned within the bezel area, which is the mounting area, from the inspection area of the cell. a detection sensor provided in the block to detect;
In order to prevent scratches from occurring in the inspection area of the cell when each of the stepped portions is moved to the bezel area, the upper block in which the stepped portion is formed is moved forward and backward on the lower block. Large cell alignment of worktables for flat panel display panel inspection equipment.
제1항에 있어서,
상기 감지센서는 제1 구동수단과 동력전달부재에 의해 전, 후진되는 로드 끝단에 장착 브래킷에 의해 장착되어 상기 상부 블록의 밑면에 형성되는 인입홈 상의 내부까지 이동 가능하게 구비되는 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트.
According to claim 1,
The detection sensor is a flat panel display panel inspection device mounted by a mounting bracket to the end of the rod, which is moved forward and backward by the first driving means and the power transmission member, to be movable to the inside on an inlet groove formed on the bottom surface of the upper block. For large cell alignment of worktables.
제1항에 있어서,
상기 승강부는 하부 블록에 장착되는 제2 구동수단에 의해 슬라이딩(sliding) 되는 경사 블록, 상기 경사블록의 경사면과 서로 대응되는 경사면이 형성되어 그 경사 블록의 슬라이딩에 의해 승강 되도록 상기 상부 블록의 밑면에 장착되는 승강 블록, 및 상기 상부 블록의 밑면 양측에 상기 하부 블록의 양측에 구비되는 가이드 레일 상에 가이드 되는 가이드구를 포함하는 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트.
According to claim 1,
The elevating part is formed with an inclined block sliding by a second driving means mounted on the lower block, an inclined surface corresponding to the inclined surface of the inclined block, is formed on the bottom surface of the upper block so as to be lifted by sliding of the inclined block. A large cell alignment of a worktable for a flat panel display panel inspection apparatus, comprising: a lifting block mounted thereon; and guide spheres guided on guide rails provided on both sides of the lower block on both sides of the bottom surface of the upper block.
제3항에 있어서,
상기 경사 블록은 제2 구동수단의 로드에 장착되고, 상기 로드는 하부 블록에 장착되는 장착 블록에 지지되는 것을 포함하는 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트.
4. The method of claim 3,
and the inclined block is mounted on a rod of the second driving means, and the rod is supported by a mounting block mounted on a lower block.
제1항에 있어서,
상기 전, 후진부는 하부 블록 상에 구비되는 제3 구동수단과 동력전달부재에 의해 셀 방향으로 배치되어 회전 가능하게 구비되는 이송 스크류, 상기 이송 스크류 상에 구비되어 이송되는 너트 하우징, 상기 상부 블록의 밑면에 상기 너트 하우징과 연결되게 장착되는 장착 플레이트, 및 상기 상부 블록의 밑면 양측에 하부 블록의 상단 양측에 각 받침 블록에 구비되는 가이드 레일 상에서 가이드 되는 가이드구를 포함하는 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트.
According to claim 1,
The forward and reverse parts are a transfer screw disposed in the cell direction and rotatably provided in the cell direction by a third driving means and a power transmission member provided on the lower block, a nut housing provided on the transfer screw and transferred, and the upper block. A work for a flat panel display panel inspection device, comprising: a mounting plate mounted on a bottom surface to be connected to the nut housing; Large cell alignment of the table.
제1항에 있어서,
상기 워크 테이블의 상 서포트 블록을 복수 개로 분할 형성되는 각각의 단위 서포트 블록으로 형성하는 것을 더 포함하는 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블의 대형 셀 얼라인먼트.
According to claim 1,
Large cell alignment of a worktable for a flat panel display panel inspection apparatus further comprising forming the upper support blocks of the worktable into a plurality of unit support blocks divided into a plurality of units.
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