KR20210120321A - 박스형 선형 증발원 - Google Patents

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Abstract

박스형 선형 증발원이 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원으로서, 상기 기판의 폭 방향으로 긴 선형 공간부가 형성되며, 상기 선형 공간부에 증발물질이 충전되는 도가니 본체와, 길이 방향을 따라 다수 개의 노즐이 형성되고 상기 도가니 본체의 상단을 커버하는 노즐 커버를 포함하는 도가니와; 상기 도가니가 상단에서 삽입되도록 상단이 개방된 하우징과; 상기 도가니가 삽입되도록 상기 하우징에 내장되며, 상기 도가니의 외주를 감싸 상기 도가니의 외주를 가열하는 도가니 히터와; 상기 하우징에 착탈되며, 상기 하우징에 부착 시 상기 다수의 노즐이 내부에 위치하도록 상하로 관통하는 관통부가 형성되는 노즐 히터 프레임과; 상기 다수의 노즐을 둘러싸도록 상기 노즐 히터 프레임의 관통부의 내벽에 고정되며, 상기 다수의 노즐을 가열하는 노즐 히터를 포함하는, 박스형 선형 증발원이 제공된다.

Description

박스형 선형 증발원{Box type linear evaporation source}
본 발명은 박스형 선형 증발원에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 노즐 주위에 노즐 히터를 배치하여 노즐의 클로깅 현상을 방지할 수 있고, 노즐 히터를 선형 증발원 본체에 대해 착탈될 수 있도록 하여 증발원의 유지 관리를 용이하게 할 수 있는 박스형 선형 증발원에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다. 이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두되고 있다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착하게 된다.
진공열증착법은 진공의 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크(mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발원의 도가니를 가열하여 도가니에서 증발되는 증착입자를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
최근에는 기판이 대면적화 됨에 따라 대면적 기판에 유기 박막을 균일하게 증착하기 위해 선형 증발원이 사용되고 있다.
선형 증발원을 이용한 증착 방법은 기판의 폭 방향으로 기체 상의 증착입자가 선형으로 분출되는 선형 증발원을 배치하고, 선형 증발원과 기판을 상대적으로 기판의 길이 방향으로 이동시켜 기판의 전면에 걸쳐 증발물질의 증착을 수행하게 된다.
선형 증발원 중에는, 선형으로 다수의 노즐이 형성되는 박스형 도가니에 증발물질을 충전하고, 박스형 도가니 주변을 가열하여 기체 상태의 증착입자를 다수의 노즐을 통해 선형으로 분출되도록 구성한 박스형 선형 증발원이 알려져 있다.
박스형 선형 증발원의 경우 도가니를 가열하기 위해 도가니 주위에 가열 히터가 배치되는데, 기판 사이즈가 대형화됨에 따라 선형의 도가니의 길이가 길어 지면서 가열 히터와 거리가 먼 노즐에 열이 잘 도달되지 않아 노즐 구멍에 다시 증착이 이루어지는 클로깅 현상(clogging)이 발생하는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허 제10-0758694호(2007.09.13 공고)
본 발명은 노즐이 막히는 클로깅 현상을 방지하도록 노즐 주위에 노즐 히터를 배치하되 증발원의 유지 관리를 위하여 노즐 히터를 선형 증발원 본체에 대해 착탈할 수 있도록 구성한 박스형 선형 증발원을 제공하는 것이다.
또한, 증발물질을 효율적으로 사용하기 위해 중앙부에서의 증발물질의 변성과 양단부에서 결정화를 최소화한 박스형 선형 증발원을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원으로서, 상기 기판의 폭 방향으로 긴 선형 공간부가 형성되며, 상기 선형 공간부에 증발물질이 충전되는 도가니 본체와, 길이 방향을 따라 다수 개의 노즐이 형성되고 상기 도가니 본체의 상단을 커버하는 노즐 커버를 포함하는 도가니와; 상기 도가니가 상단에서 삽입되도록 상단이 개방된 하우징과; 상기 도가니가 삽입되도록 상기 하우징에 내장되며, 상기 도가니의 외주를 감싸 상기 도가니의 외주를 가열하는 도가니 히터와; 상기 하우징에 착탈되며, 상기 하우징에 부착 시 상기 다수의 노즐이 내부에 위치하도록 상하로 관통하는 관통부가 형성되는 노즐 히터 프레임과; 상기 다수의 노즐을 둘러싸도록 상기 노즐 히터 프레임의 관통부의 내벽에 고정되며, 상기 다수의 노즐을 가열하는 노즐 히터를 포함하는, 박스형 선형 증발원이 제공된다.
상기 노즐 히터 프레임은, 상기 관통부의 내벽에서 돌출되며, 상기 노즐 히터의 외주를 따라 상기 노즐 히터를 고정하는 다수의 고정구를 포함하며, 상기 고정구는, 상기 관통부의 내벽에 고정되는 하부 고정편과; 상기 노즐 히터가 상기 하부 고정편을 가로 질러 놓인 상태에서 상기하부 고정편의 상부에 결합되어 상기 노즐 히터를 고정하는 상부 고정편을 포함할 수 있다.
상기 노즐 히터는, 상기 다수의 노즐의 외주를 상하로 적층되어 감싸도록 나선형으로 권선될 수 있다.
상기 박스형 선형 증발원은, 상기 선형 공간부의 서로 대향하는 양 단변(短邊)에 상응하여 상기 노즐 히터 프레임에 각각 결합되며, 상기 노즐 히터의 온도를 측정하는 한 쌍의 노즐 히터 온도계를 더 포함할 수 있다.
상기 노즐 히터 프레임의 상기 양 단변에는 상기 노즐 히터 온도계와 전기적으로 연결되는 온도 접속단자가 구비되고, 상기 하우징에는 상기 온도 접속단자에 대향하여 온도 커넥터 본체가 구비되며, 상기 노즐 히터 프레임의 부착에 따라 상기 온도 접속단자가 상기 온도 커넥터 본체에 접속될 수 있다.
상기 노즐 히터 프레임의 상기 일 단변에는 상기 노즐 히터의 양단이 접속되는 전원 접속단자가 구비되고, 상기 하우징에는 상기 전원 접속단자에 대향하여 전원 커넥터 본체가 구비되며, 상기 노즐 히터 프레임의 부착에 따라 상기 전원 접속단자가 상기 전원 커넥터 본체에 접속될 수 있다.
상기 선형 공간부는, 단변(短邊)과 상기 기판의 폭 방향의 장변(長邊)을 갖는 선형의 증발공간과; 상기 증발공간의 하부에 상기 증발공간의 양 단변(短邊) 방향에서 일정 이격 거리(l1)로 내측으로 축소되는 선형의 수용공간을 구비할 수 있다.
상기 도가니 본체의 전체 길이를 L이라고 할 때, 상기 이격 거리(l1)는, 0.06L ~ 0.1L일 수 있다.
상기 수용공간의 양 단변(短邊)은 원호(圓弧) 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 박스형 선형 증발원은, 노즐 주위에 노즐 히터를 배치하여 노즐의 클로깅 현상을 방지할 수 있고, 노즐 히터를 선형 증발원 본체에 대해 착탈될 수 있도록 하여 증발원의 유지 관리를 용이하게 할 수 있다.
또한, 중앙부에서의 증발물질의 변성과 양단부에서 결정화를 최소화하여 증발물질을 효율적으로 사용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 분해 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 노즐 히터 유닛의 평면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 노즐 히터 유닛의 측면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 도가니를 도시한 분해 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 도가니를 도시한 분해 단면도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 박스형 선형 증발원의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 단면도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 노즐 히터 유닛의 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 노즐 히터 유닛의 측면도이다. 그리고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 도가니를 도시한 분해 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 박스형 선형 증발원의 도가니(12)를 도시한 분해 단면도이다.
도 1 내지 도 6에는, 도가니(12), 단변(短邊)(14), 장변(長邊)(16), 도가니 본체(18), 선형 공간부(20), 노즐(22), 노즐 커버(24), 단턱부(28), 증발공간(36), 수용공간(38), 하우징(40), 도가니 히터(41), 관통부(42), 노즐 히터 프레임(44), 노즐 히터(46), 노즐 히터 유닛(47), 고정구(48), 하부 고정편(48), 상부 고정편(50), 노즐 히터 온도계(51), 온도 접속 단자부(52), 접속 단자(53, 57), 온도 커넥터 본체(54), 전원 접속 단자부(56), 전원 커넥터 본체(58)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 박스형 선형 증발원은, 기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원으로서, 기판의 폭 방향으로 긴 선형 공간부(20)가 형성되며, 선형 공간부(20)에 증발물질이 충전되는 도가니 본체(18)와, 길이 방향을 따라 다수의 노즐(22)이 형성되고 도가니 본체(18)의 상단을 커버하는 노즐 커버(24)를 포함하는 도가니(12)와; 도가니(12)가 상단에서 삽입되는 상단이 개방된 하우징(40)과; 도가니(12)가 삽입되도록 하우징(40)에 내장되며, 도가니(12)의 외주를 감싸 도가니(12)의 외주를 가열하는 도가니 히터(41)와; 하우징(40)에 착탈되며, 하우징(40)에 부착 시 다수의 노즐(22)이 내부에 위치하도록 상하로 관통하는 관통부(42)가 형성되는 노즐 히터 프레임(44)과; 다수의 노즐(22)을 둘러싸도록 노즐 히터 프레임(44)의 관통부(42)의 내벽에 고정되며, 다수의 노즐(22)을 가열하는 노즐 히터(46)를 포함한다.
박스형 선형 증발원에서 선형으로 분출되는 증착입자가 기판의 폭 방향을 따라 배출되도록 기판의 길이 방향에 대해 선형 증발원은 횡방향으로 배치된다.
기판의 폭 방향으로 선형 증발원이 횡방향으로 배치된 상태에서 선형 증발원이나 기판이 기판의 길이 방향을 따라 상대적으로 이동하면 선형으로 분출되는 증착입자가 기판의 전면에 걸쳐 증착될 수 있다.
도가니(12)는 증발물질이 수용되고 가열에 따라 증발이 이루어지는 곳으로서, 박스형의 도가니 본체(18)와, 도가니 본체(18)의 상단을 커버하는 노즐 커버(24)를 포함한다.
도가니 본체(18)에는, 기판의 폭 방향으로 긴 선형 공간부(20)가 형성되며, 선형 공간부(20)에 증발물질이 충전된다.
노즐 커버(24)에는, 길이 방향을 따라 다수 개의 노즐(22)이 선형으로 배열되어 있으며, 노즐(22)이 형성된 노즐 커버(24)가 도가니 본체(18)의 상단을 덮어 선형 공간부(20)를 커버한다.
노즐(22)은, 선형 공간부(20)에서 증발되어 형성된 증착입자가 기판을 향하여 토출되는 곳으로서, 노즐 커버(24)에서 돌출된 관형의 노즐(22)이 노즐 커버(24)의 길이 방향을 따라 형성된다. 도가니(12)의 구체적인 구성에 대해서는 아래에서 자세히 설명하기로 한다.
하우징(40)은, 도가니(12)가 상단에서 삽입되도록 상단이 개방된 통형으로 제작된다. 하우징(40)은 후술할 도가니 히터(41)를 감싸도록 통형의 제작되며 내벽에는 도가니 히터(41)에서 발생된 열이 외부에 방출되지 않고 도가니(12)를 향하도록 리플렉터(미도시)가 결합될 수 있다.
도가니 히터(41)는, 도가니(12)가 삽입되도록 하우징(40)에 내장되며, 도가니(12)의 외주를 감싸 도가니(12)의 외주를 가열한다. 도가니 히터(41)는 하우징(40)의 내벽에 부착되며, 도가니(12)가 하우징(40)에 삽입되면서 도가니(12)가 도가니 히터(41)에 삽입된다. 도가니 히터(41)의 가열에 따라 도가니(12) 외주면을 가열하면 도가니(12)의 선형 공간부(20)에 있던 증발입자가 증발되면서 기체 상의 증착입자가 생성된다.
노즐 히터 프레임(44)은, 하우징(40)의 상단에 착탈될 수 있으며, 하우징(40)에 부착될 때 도가니(12)의 다수의 노즐(22)이 내부에 위치하도록 관통부(42)가 형성된다. 노즐 히터 프레임(44)은 노즐 히터(46)가 도가니(12)의 노즐(22)을 별도로 가열할 수 있도록 하우징(40)에 탈부착될 수 있는데, 노즐 히터 프레임(44)의 내부에 관통부(42)가 형성되어 있어 노즐 히터 프레임(44)이 하우징(40)에 부착되면 노즐 히터 프레임(44)의 관통부(42)에 도가니(12)의 노즐(22) 들이 위치하게 된다.
노즐 히터(46)는, 다수의 노즐(22)을 둘러 싸도록 노즐 히터 프레임(44)의 관통부(42)의 내벽에 고정되며, 다수의 노즐(22)을 가열한다.
최근 기판의 대형화됨에 따라 선형의 도가니(12)가 길어지면서 도가니(12)의 외주면을 가열하는 도가니 히터(41)의 열이 도가니(12)의 상단에서 돌출된 노즐(22)에 도달되지 않아 노즐(22)의 온도가 상대적으로 온도가 낮아지면서 증발하던 증착입자가 노즐(22)에 재증착 되면서 노즐(22)을 막는 클로깅 현상이 발생할 수 있다. 이에 따라 본 실시예에서는 도가니(12)의 외주를 가열하는 도가니 히터(41)와 별개로 다수의 노즐(22)을 둘러싸는 노즐 히터(46)를 마련하여 노즐(22)을 가열하도록 구성하였다.
노즐 히터(46)는 상술한 노즐 히터 프레임(44)의 관통부(42)의 내벽에 부착되어 있어, 노즐 히터 프레임(44)의 탈부착에 따라 노즐 히터(46)도 같이 탈부착될 수 있다. 노즐 히터(46)와, 노즐 히터(46)가 부착되는 노즐 히터 프레임(44)은 노즐 히터 유닛(47)을 구성하게 되며, 이러한 노즐 히터 유닛(47)을 하우징(40)에 대해 탈부착되도록 구성함으로써, 도가니(12)의 세척 등의 유지 관리 시 조립과 해체의 편리성을 제공한다.
그리고, 노즐 히터(46)는, 다수의 노즐(22)의 외주를 상하로 적층되어 감싸도록 나선형으로 권선될 수 있다. 노즐(22)의 길이, 노즐(22) 가열 온도에 따라 노즐 히터(46)의 권선 수를 달리 할 수 있다.
노즐 히터 프레임(44)은, 관통부(42)의 내벽에서 돌출되며 노즐 히터(46)의 외주를 따라 노즐 히터(46)를 고정하는 다수의 고정구(48)를 포함하는데, 관통부(42)에 놓인 노즐 히터(46)를 다수의 고정구(48)를 이용하여 관통부(42)의 내벽에 고정할 수 있다. 고정구(48)는, 관통부(42)의 내벽에 고정되는 하부 고정편(48), 노즐 히터(46)가 하부 고정편(48)을 가로 질러 놓인 상태에서 하부 고정편(48)의 상부에 결합되어 노즐 히터(46)를 고정하는 상부 고정편(50)을 포함할 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 노즐 히터 유닛(47)은, 도가니(12)의 선형 공간부(20)의 서로 대향하는 양 단변(短邊)(14)에 상응하여 노즐 히터 프레임(44)에 각각 결합되며, 노즐 히터(46)의 온도를 측정하는 한 쌍의 노즐 히터 온도계(51)를 포함할 수 있다.
노즐 히터(46)가 다수의 노즐(22)을 감싸기 위해 긴 라운드 직사각형 형태로 권선되는데, 가열 시 노즐 히터(46)의 양 단변(14)에서 온도를 측정하기 위해 도가니(12)의 선형 공간부(20)의 서로 대향하는 양 단변(14)과 상응한 위치에 노즐 히터 온도계(51)를 각각 배치한다.
노즐 히터 온도계(51)가 노즐 히터 프레임(44)에 결합되어 있기 때문에, 노즐 히터 프레임(44)의 부착 시 하우징(40)에 마련된 노즐 히터 온도계(51)의 전원 단자와 연결되도록 구성할 필요가 있다. 따라서, 도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 노즐 히터 프레임(44)의 양 단변(14)에 노즐 히터 온도계(51)와 전기적으로 연결되는 온도 접속 단자부(52)를 마련하고, 하우징(40)에는 온도 접속 단자부(52)에 대향하여 온도 커넥터 본체(54)를 마련하여, 노즐 히터 프레임(44)이 하우징(40)에 부착됨에 따라 온도 접속 단자부(52)의 접속 단자(53)가 온도 커넥터 본체(54)에 접속되도록 구성할 수 있다.
또한, 노즐 히터 프레임(44)을 하우징(40)에 부착할 때, 하우징(40)에 마련된 전원 공급 단자와 노즐 히터(46)를 연결해야 한다. 따라서, 노즐 히터 프레임(44)의 일 단변(14)에 노즐 히터(46)의 양단이 접속되는 전원 접속 단자부(56)를 마련하고, 하우징(40)에는 전원 접속 단자부(56)에 대향하여 전원 커넥터 본체(58)를 마련하여, 노즐 히터 프레임(44)이 하우징(40)에 부착됨에 따라 전원 접속 단자부(56)의 접속 단자(57)가 전원 커넥터 본체(58)에 접속되도록 구성할 수 있다.
이하에서는 도 5 및 도 6을 참고하여 본 실시예에 따른 도가니(12)에 대해 자세히 살펴보기로 한다.
본 실시예에 따른 도가니(12)는, 기판의 폭 방향으로 긴 선형 공간부(20)가 형성되며, 선형 공간부(20)에 증발물질이 충전되는 도가니 본체(18)와; 길이 방향을 따라 다수 개의 노즐(22)이 형성되고 도가니 본체(18)의 상단을 커버하는 노즐 커버(24)를 포함하는데, 도가니 본체(18)의 선형 공간부(20)는 단변(短邊)(14)과 상기 기판의 폭 방향의 장변(長邊)(16)을 갖는 선형의 증발공간(36)과; 증발공간(36)의 하부에 증발공간(36)의 양 단변(14) 방향에서 일정 이격 거리(l1)로 내측으로 축소되는 선형의 수용공간(38)을 구비할 수 있다.
도가니 본체(18)는, 단변(14)(短邊)과, 단변(14) 보다 긴 장변(16)(長邊)을 갖는 직사각형 형태로 형성될 수 있다. 다만, 단변(14)과 장변(16)은 꼭 직선형이 아니라 곡선형으로 이루어지는 것도 무방하다. 단변(14)에 비해 긴 장변(16)을 구비하여 선형을 이루는 형태를 모두 포함한다.
수용공간(38)에는 고체 상태의 증발물질이 상면이 평탄하게 충전되고, 도가니(12) 외부의 도가니 히터(41)의 가열에 따라 증발물질이 증발되면서 기체 상태의 증착입자가 증발공간(36) 상에 존재하는데, 증발공간(36)의 증착입자는 노즐 커버(24)의 노즐(22)을 통해 기판을 향하여 선형으로 토출된다.
상술한 바와 같이, 도가니 본체(18)는 기판의 폭 방향으로 긴 선형 공간부(20)가 형성되는데, 최근 기판의 대형화에 따라 선형 공간부(20)가 상대적으로 길어지면서 도가니(12)의 양단부에서의 온도가 중앙부보다 상대적으로 낮기 때문에 증착 공정이 진행되는 과정에서 선형 공간부(20) 상의 증착입자가 도가니(12) 양단부에 고체 상으로 다시 결정화되면서 도가니 본체(18)의 양단부의 내부에 부착되는 현상이 발생할 수 있다.
또한, 도가니 히터(41)의 가열에 따라 도가니 본체(18)의 중앙부는 양단부에 비해 상대적으로 높은 온도를 나타나는데, 중앙부에서 증발물질의 증발이 양단부에 비해 상대적으로 빨리 일어나 중앙부에서 증발물질의 소진이 빠르게 일어날 수 있고, 증착 공정이 계속됨에 따라 중앙부에서는 도가니 히터(41)의 복사열이 축적되어 증발물질의 변성을 일으킬 수 있다.
따라서, 본 발명에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 증발공간(36)의 하부에 증발공간(36)의 양 단변(14) 방향에서 일정 이격 거리(l1)로 내측으로 축소되는 선형의 수용공간(38)을 형성하여 도가니 본체(18)의 양단부에서 결정화를 방지한다.
수용공간(38)을 증발공간(36)에 비해 내측으로 축소시킴으로써 도가니 히터(41)의 가열에 따라 축소된 수용공간(38) 내에서 가열온도의 편차를 줄여 양단부에서의 결정화를 방지하는 것이다. 수용공간(38)을 증발공간(36)에 비해 축소시킴에 따라 증발공간(36)과 수용공간(38) 사이에는 단턱부(28)가 형성된다.
도 4를 참조하면, 수용공간(38)의 축소를 위한 증발공간(36)의 양 단변(14) 방향에서 일정 이격 거리(l1)는, 도가니 본체(18)의 전체 길이를 L이라고 할 때, 0.06L 내지 0.1L이 적절하다. 실험에 따르면, 양단부에서 이격 거리(l1)를 0.06L보다 작게 한 경우에는 수용공간(38)이 상대적으로 커져 도가니 본체(18)의 양단부에서 결정화가 여전히 발생하였고, 0.1L보다 크게 한 경우는 수용공간(38)이 상대적으로 작아져서 증발물질의 수용공간(38)이 부족하여 증발물질의 교체 시기가 짧아 졌다.
한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 축소된 수용공간(38)의 양 단변(14)은 원호(圓弧) 형상으로 형성한다. 종래와 같이 양 단변(14)과 장변(16)이 만나는 코너부를 뾰족하게 구성하는 경우 코너부에서 결정화를 많이 발생하는 현상이 있어 수용공간(38)의 양 단변(14)을 원호 형상으로 형성하여 결정화를 최소화할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
12: 도가니 14: 단변(短邊)
16: 장변(長邊) 18: 도가니 본체
20: 선형 공간부 22: 노즐
24: 노즐 커버 28: 단턱부
36: 증발공간 38: 수용공간
40: 하우징 41: 도가니 히터
42: 관통부 44: 노즐 히터 프레임
46: 노즐 히터 47: 노즐 히터 유닛
48: 고정구 48: 하부 고정편
50: 상부 고정편 51: 노즐 히터 온도계
52: 온도 접속 단자부 53, 57: 접속 단자
54: 온도 커넥터 본체 56: 전원 접속 단자부
58: 전원 커넥터 본체

Claims (9)

  1. 기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원으로서,
    상기 기판의 폭 방향으로 긴 선형 공간부가 형성되며, 상기 선형 공간부에 증발물질이 충전되는 도가니 본체와, 길이 방향을 따라 다수 개의 노즐이 형성되고 상기 도가니 본체의 상단을 커버하는 노즐 커버를 포함하는 도가니와;
    상기 도가니가 상단에서 삽입되도록 상단이 개방된 하우징과;
    상기 도가니가 삽입되도록 상기 하우징에 내장되며, 상기 도가니의 외주를 감싸 상기 도가니의 외주를 가열하는 도가니 히터와;
    상기 하우징에 착탈되며, 상기 하우징에 부착 시 상기 다수의 노즐이 내부에 위치하도록 상하로 관통하는 관통부가 형성되는 노즐 히터 프레임과;
    상기 다수의 노즐을 둘러싸도록 상기 노즐 히터 프레임의 관통부의 내벽에 고정되며, 상기 다수의 노즐을 가열하는 노즐 히터를 포함하는, 박스형 선형 증발원.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 히터 프레임은,
    상기 관통부의 내벽에서 돌출되며, 상기 노즐 히터의 외주를 따라 상기 노즐 히터를 고정하는 다수의 고정구를 포함하며,
    상기 고정구는,
    상기 관통부의 내벽에 고정되는 하부 고정편과;
    상기 노즐 히터가 상기 하부 고정편을 가로 질러 놓인 상태에서 상기하부 고정편의 상부에 결합되어 상기 노즐 히터를 고정하는 상부 고정편을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박스형 선형 증발원.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 히터는,
    상기 다수의 노즐의 외주를 상하로 적층되어 감싸도록 나선형으로 권선되는 것을 특징으로 하는, 박스형 선형 증발원.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 선형 공간부의 서로 대향하는 양 단변(短邊)에 상응하여 상기 노즐 히터 프레임에 각각 결합되며, 상기 노즐 히터의 온도를 측정하는 한 쌍의 노즐 히터 온도계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 박스형 선형 증발원.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 히터 프레임의 상기 양 단변에는 상기 노즐 히터 온도계와 전기적으로 연결되는 온도 접속단자가 구비되고,
    상기 하우징에는 상기 온도 접속단자에 대향하여 온도 커넥터 본체가 구비되며,
    상기 노즐 히터 프레임의 부착에 따라 상기 온도 접속단자가 상기 온도 커넥터 본체에 접속되는 것을 특징으로 하는, 박스형 선형 증발원.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 히터 프레임의 상기 일 단변에는 상기 노즐 히터의 양단이 접속되는 전원 접속단자가 구비되고,
    상기 하우징에는 상기 전원 접속단자에 대향하여 전원 커넥터 본체가 구비되며,
    상기 노즐 히터 프레임의 부착에 따라 상기 전원 접속단자가 상기 전원 커넥터 본체에 접속되는 것을 특징으로 하는, 박스형 선형 증발원.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 선형 공간부는,
    단변(短邊)과 상기 기판의 폭 방향의 장변(長邊)을 갖는 선형의 증발공간과;
    상기 증발공간의 하부에 상기 증발공간의 양 단변(短邊) 방향에서 일정 이격 거리(l1)로 내측으로 축소되는 선형의 수용공간을 구비하는 것을 특징으로 하는, 박스형 선형 증발원.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 도가니 본체의 전체 길이를 L이라고 할 때,
    상기 이격 거리(l1)는,
    0.06L ~ 0.1L인 것을 특징으로 하는, 박스형 선형 증발원.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 수용공간의 양 단변(短邊)은 원호(圓弧) 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 박스형 선형 증발원.
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