KR20210116968A - Polyimide-based alkali developable resin, method for manufacturing insulating film using the same and multilayered printed circuit board - Google Patents

Polyimide-based alkali developable resin, method for manufacturing insulating film using the same and multilayered printed circuit board Download PDF

Info

Publication number
KR20210116968A
KR20210116968A KR1020200033216A KR20200033216A KR20210116968A KR 20210116968 A KR20210116968 A KR 20210116968A KR 1020200033216 A KR1020200033216 A KR 1020200033216A KR 20200033216 A KR20200033216 A KR 20200033216A KR 20210116968 A KR20210116968 A KR 20210116968A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
formula
polyimide
weight
resin layer
group
Prior art date
Application number
KR1020200033216A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
조은별
정우재
Original Assignee
주식회사 엘지화학
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘지화학 filed Critical 주식회사 엘지화학
Priority to KR1020200033216A priority Critical patent/KR20210116968A/en
Publication of KR20210116968A publication Critical patent/KR20210116968A/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G73/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
    • C08G73/06Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
    • C08G73/10Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C08G73/12Unsaturated polyimide precursors
    • C08G73/121Preparatory processes from unsaturated precursors and polyamines
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G73/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
    • C08G73/06Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
    • C08G73/10Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C08G73/1042Copolyimides derived from at least two different tetracarboxylic compounds or two different diamino compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G73/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
    • C08G73/06Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
    • C08G73/10Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C08G73/1046Polyimides containing oxygen in the form of ether bonds in the main chain
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4652Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern
    • H05K3/4655Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern by using a laminate characterized by the insulating layer

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

The present invention relates to a polyimide-based alkali-soluble resin, a method for manufacturing an insulating layer using the same, and a multilayer printed circuit board, and specifically, to a polyimide-based alkali-soluble resin that can improve dimensional stability at room temperature by controlling the type and content of an amine-based compound used in the polyimide-based alkali-soluble resin, a method for manufacturing an insulating layer using the same, and a multilayer printed circuit board.

Description

폴리이미드계 알칼리 가용성 수지, 이를 이용한 절연층 제조방법 및 다층인쇄회로기판{POLYIMIDE-BASED ALKALI DEVELOPABLE RESIN, METHOD FOR MANUFACTURING INSULATING FILM USING THE SAME AND MULTILAYERED PRINTED CIRCUIT BOARD}A polyimide-based alkali-soluble resin, an insulating layer manufacturing method using the same, and a multilayer printed circuit board

본 발명은 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지, 이를 이용한 절연층 제조방법 및 다층인쇄회로기판에 관한 것으로, 구체적으로 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지에 이용되는 아민계 화합물의 종류와 함량을 조절함으로써 상온에서의 치수안정성을 향상시킬 수 있는 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지, 이를 이용한 절연층 제조방법 및 다층인쇄회로기판에 관한 것이다.The present invention relates to a polyimide-based alkali-soluble resin, a method for manufacturing an insulating layer using the same, and a multilayer printed circuit board. Specifically, by controlling the type and content of an amine-based compound used in the polyimide-based alkali-soluble resin, the dimensions at room temperature are It relates to a polyimide-based alkali-soluble resin capable of improving stability, a method for manufacturing an insulating layer using the same, and a multilayer printed circuit board.

최근의 전자기기는 갈수록 소형화, 경량화, 고기능화되고 있다. 이를 위해, 소형 기기를 중심으로 빌드-업 PCB(Build-up Printed Circuit Board)의 응용분야가 빠르게 확대됨에 따라 다층인쇄 회로기판의 사용이 급속히 늘어 가고 있다.Recently, electronic devices are becoming smaller, lighter, and more functional. To this end, as the application field of the build-up printed circuit board (PCB) is rapidly expanding centering on small devices, the use of the multilayer printed circuit board is rapidly increasing.

다층 인쇄회로기판은 평면적 배선부터 입체적인 배선이 가능하며, 특히 산업용 전자 분야에서는 IC(integrated circuit), LSI(large scale integration) 등 기능소자의 집적도 향상과 함께 전자 기기의 소형화, 경량화, 고기능화, 구조적인 전기적 기능통합, 조립시간 단축 및 원가절감 등에 유리한 제품이다.Multilayer printed circuit boards are capable of three-dimensional wiring from flat wiring. In particular, in the field of industrial electronics, integration of functional elements such as IC (integrated circuit) and LSI (large scale integration) has been improved, and electronic devices are miniaturized, lightweight, highly functional, and structurally structured. It is an advantageous product for electrical function integration, shortening of assembly time and cost reduction.

이러한 응용영역에 사용되는 빌드-업 PCB는 반드시 각 층간의 연결을 위하여 비아홀(via hole)을 형성하게 되는데, 비아홀이란, 다층 인쇄회로기판의 층간 전기적 연결 통로에 해당되는 것으로 기존에는 기계 드릴(Mechanical Drill)로 가공하였으나, 회로의 미세화로 인하여 홀의 직경이 작아지면서 기계 드릴 가공에 따른 가공 비의 증가와 미세홀 가공의 한계로 인해 레이저를 이용한 가공방식이 대안으로 나타나게 되었다.The build-up PCB used in this application area necessarily forms a via hole for connection between layers. The via hole corresponds to an electrical connection path between layers of a multi-layer printed circuit board. Drill), but as the diameter of the hole becomes smaller due to the miniaturization of the circuit, the processing method using a laser is shown as an alternative due to the increase in the processing cost due to the machining of the machine drilling and the limitation of the processing of the fine hole.

그러나, 레이저를 이용한 가공방식의 경우, CO2 또는 YAG 레이저 드릴을 사용하고 있으나, 레이저 드릴에 의해 비아홀의 크기가 결정되기 때문에, 예를 들어, CO2 레이저 드릴의 경우, 40 ㎛ 이하의 직경을 갖는 비아홀을 제조하기 어려운 한계가 있다. 또한, 다수의 비아홀을 형성해야 하는 경우, 비용적 부담이 큰 한계도 가지고 있다.However, in the case of a laser processing method, a CO 2 or YAG laser drill is used, but since the size of the via hole is determined by the laser drill, for example, in the case of a CO 2 laser drill, a diameter of 40 μm or less is used. There is a limitation in that it is difficult to manufacture a via hole having. In addition, when a plurality of via holes need to be formed, there is a limit in that the cost burden is large.

한편, 상기 비아홀은 패터닝으로 형성되지만 상온에서 24시간 방치하는 경우 비아홀의 크기가 확장되는 문제점이 있었다. On the other hand, although the via hole is formed by patterning, there is a problem in that the size of the via hole is expanded when it is left at room temperature for 24 hours.

이에, 상온에서 오랜시간 방치하더라도 홀의 크기가 유지될 수 있는 절연층에 대한 개발이 요구되고 있다.Accordingly, development of an insulating layer capable of maintaining the size of the hole even if left at room temperature for a long time is required.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상온에서의 치수안정성이 향상된 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지, 이를 이용한 절연층 제조방법 및 다층인쇄회로기판을 제공하는 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is to provide a polyimide-based alkali-soluble resin having improved dimensional stability at room temperature, a method for manufacturing an insulating layer using the same, and a multilayer printed circuit board.

다만, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 하기의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 실시상태는 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위, 및 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함하는 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지로서, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는, 하기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체, 방향족 디아민 화합물 및 산성 작용기 함유 아민 화합물을 포함하는 혼합물의 반응 생성물이고, 상기 방향족 디아민 화합물의 함량은 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체 100 중량부에 대하여 6 중량부 이상 15 중량부 이하인 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 제공한다:An exemplary embodiment of the present invention is a polyimide-based alkali-soluble resin comprising a repeating unit represented by the following formula (1) and a repeating unit represented by the following formula (2), wherein the polyimide-based alkali-soluble resin is represented by the following formula (3) It is a reaction product of a mixture containing a polymer containing a repeating unit, an aromatic diamine compound, and an amine compound containing an acidic functional group, and the content of the aromatic diamine compound is based on 100 parts by weight of a polymer containing a repeating unit represented by Formula 3 Provided is a polyimide-based alkali-soluble resin in an amount of 6 parts by weight or more and 15 parts by weight or less:

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00002
Figure pat00002

[화학식 3][Formula 3]

Figure pat00003
Figure pat00003

상기 화학식 1에서, R1는 직접결합, 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기, 탄소수 1 내지 20의 알케닐기, 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 또는 하기 화학식 4로 표시되는 것이며,In Formula 1, R 1 is a direct bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, or represented by Formula 4 below,

[화학식 4][Formula 4]

Figure pat00004
Figure pat00004

상기 화학식 2에서, n은 1 내지 3의 정수이고,In Formula 2, n is an integer of 1 to 3,

상기 화학식 4에서 R2는 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기이고,In Formula 4, R 2 is an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms,

상기 화학식 1 내지 상기 화학식 4에서, "*"는 결합지점을 의미한다.In Formulas 1 to 4, "*" means a bonding point.

본 발명의 다른 일 실시상태는 도체 배선 상에 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 및 열경화성 바인더를 포함한 고분자 수지층을 구비하는 단계; 상기 고분자 수지층 상에 감광성 수지층을 구비하여 적층체를 형성하는 단계; 상기 적층체를 노광 및 알칼리 현상하여 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 고분자 수지층을 열경화하는 단계; 및 상기 패터닝된 감광성 수지층을 박리하는 단계;를 포함하는 절연층 제조방법을 제공한다.Another embodiment of the present invention comprises the steps of providing a polymer resin layer including the polyimide-based alkali-soluble resin and a thermosetting binder on a conductor wiring; forming a laminate by providing a photosensitive resin layer on the polymer resin layer; patterning the laminate by exposure and alkali development; thermosetting the patterned polymer resin layer; and peeling off the patterned photosensitive resin layer.

본 발명의 또 다른 일 실시상태에 따르면, 상기 제조방법에 의해 제조된 절연층; 및 상기 절연층 상에 패턴이 구비된 금속 기판을 구비하는 다층인쇄회로기판을 제공한다.According to another exemplary embodiment of the present invention, an insulating layer manufactured by the manufacturing method; And it provides a multilayer printed circuit board having a metal substrate provided with a pattern on the insulating layer.

본 발명의 일 실시상태에 따른 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 이용하여 치수안정성이 개선된 절연층을 제공할 수 있다.An insulating layer having improved dimensional stability may be provided by using the polyimide-based alkali-soluble resin according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 일 실시상태에 따른 절연층 제조방법은 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 이용하여 상온에서의 치수안정성이 향상된 절연층을 제조할 수 있다.In the insulating layer manufacturing method according to another exemplary embodiment of the present invention, an insulating layer having improved dimensional stability at room temperature can be manufactured using the polyimide-based alkali-soluble resin.

본 발명의 또 다른 일 실시상태에 따른 다층인쇄회로기판은 상온에서의 치수안정성이 향상되어 반도체 빌드업의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The multilayer printed circuit board according to another exemplary embodiment of the present invention has improved dimensional stability at room temperature, thereby improving the reliability of semiconductor build-up.

본 발명의 효과는 상술한 효과로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본원 명세서 및 첨부된 도면으로부터 당업자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the present specification and accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시상태에 따른 절연층 제조공정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 실시상태에 따른 다층인쇄회로기판 제조공정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 3은 동적기계분석기(Dynamic mechanical analyzer, DMA)를 이용하여 측정한 실시예 1 및 비교예 1에서 제조된 고분자 수지층의 유리전이온도를 나타낸 그래프이다.
도 4은 실시예 1 및 비교예 1의 다층인쇄회로기판 중 패턴의 확대사진이다.
1 schematically shows an insulating layer manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
2 schematically shows a multilayer printed circuit board manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
3 is a graph showing the glass transition temperature of the polymer resin layer prepared in Example 1 and Comparative Example 1 measured using a dynamic mechanical analyzer (DMA).
4 is an enlarged photograph of a pattern among the multilayer printed circuit boards of Example 1 and Comparative Example 1. FIG.

본 명세서에 있어서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In the present specification, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further included rather than excluding other components unless otherwise stated.

본 명세서에서 있어서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.In this specification, when a member is said to be located "on" another member, this includes not only a case in which a member is in contact with another member but also a case in which another member exists between the two members.

본 명세서에 있어서, 단위 "중량부"는 각 성분간의 중량의 비율을 의미할 수 있다.In the present specification, the unit “parts by weight” may mean a ratio of weight between each component.

본 명세서에 있어서, 용어 “반복단위”는 중합 반응이 가능한 화합물들이 반응된 형태를 의미할 수 있고, 구체적으로 해당 화합물이 중합 반응을 거쳐서 그 중합체의 골격, 예를 들면, 주쇄 또는 측쇄를 형성하고 있는 형태를 의미할 수 있다.In the present specification, the term “repeating unit” may refer to a form in which compounds capable of a polymerization reaction are reacted, and specifically, the compound undergoes a polymerization reaction to form a backbone of the polymer, for example, a main chain or a side chain, It can mean that there is a form.

본 명세서에 있어서, “유리전이온도(Glass Temperature, Tg)”는 동적기계분석기(Dynamic mechanical analyzer, DMA)를 이용하여 측정할 수 있으며, 구체적으로 DMA(TA社, Q800)를 이용하여, 시료를 -30 ℃ 내지 300 ℃ 의 온도 범위에서 가열속도 10 ℃/min으로 승온하며, 상기 구간에서 2 회(cycle)의 실험을 진행하여 tan δ의 최대값 지점으로 유리전이온도를 구할 수 있다.In the present specification, the "glass transition temperature (Glass Temperature, Tg)" can be measured using a dynamic mechanical analyzer (DMA), specifically, using DMA (TA company, Q800), the sample The temperature is raised at a heating rate of 10 °C/min in a temperature range of -30 °C to 300 °C, and the glass transition temperature can be obtained as the maximum value of tan δ by performing an experiment twice (cycle) in the above section.

본 명세서에 있어서, 할로겐기의 예로는 불소, 염소, 브롬 또는 요오드가 있다.In the present specification, examples of the halogen group include fluorine, chlorine, bromine or iodine.

이하, 본 발명에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

본 발명의 일 실시상태는 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위, 및 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함하는 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지로서, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는, 하기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체, 방향족 디아민 화합물 및 산성 작용기 함유 아민 화합물을 포함하는 혼합물의 반응 생성물이고, 상기 방향족 디아민 화합물의 함량은 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체 100 중량부에 대하여 6 중량부 이상 15 중량부 이하인 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 제공한다:An exemplary embodiment of the present invention is a polyimide-based alkali-soluble resin comprising a repeating unit represented by the following formula (1) and a repeating unit represented by the following formula (2), wherein the polyimide-based alkali-soluble resin is represented by the following formula (3) It is a reaction product of a mixture containing a polymer containing a repeating unit, an aromatic diamine compound, and an amine compound containing an acidic functional group, and the content of the aromatic diamine compound is based on 100 parts by weight of a polymer containing a repeating unit represented by Formula 3 Provided is a polyimide-based alkali-soluble resin in an amount of 6 parts by weight or more and 15 parts by weight or less:

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00005
Figure pat00005

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00006
Figure pat00006

[화학식 3][Formula 3]

Figure pat00007
Figure pat00007

상기 화학식 1에서, R1는 직접결합, 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기, 탄소수 1 내지 20의 알케닐기, 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 또는 하기 화학식 4로 표시되는 것이며,In Formula 1, R 1 is a direct bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, or represented by Formula 4 below,

[화학식 4][Formula 4]

Figure pat00008
Figure pat00008

상기 화학식 2에서, n은 1 내지 3의 정수이고,In Formula 2, n is an integer of 1 to 3,

상기 화학식 4에서 R2는 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기이고,In Formula 4, R 2 is an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms,

상기 화학식 1 내지 상기 화학식 4에서, "*"는 결합지점을 의미한다.In Formulas 1 to 4, "*" means a bonding point.

본 발명의 일 실시상태에 따른 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 이용하여 치수안정성이 개선된 절연층을 제공할 수 있다.An insulating layer having improved dimensional stability may be provided by using the polyimide-based alkali-soluble resin according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 상기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함한다. 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는, 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체, 상기 방향족 디아민 화합물 및 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물을 포함하는 혼합물의 반응 생성물이다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyimide-based alkali-soluble resin includes a repeating unit represented by Formula 1 and a repeating unit represented by Formula 2 above. The polyimide-based alkali-soluble resin is a reaction product of a mixture including a polymer including the repeating unit represented by Chemical Formula 3, the aromatic diamine compound, and the acidic functional group-containing amine compound.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 화학식 1로 표시되는 반복단위는, 상기 중합체의 화학식 3으로 표시되는 반복단위와 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물로부터 유래된 것일 수 있다. 구체적으로, 상기 중합체의 화학식 3으로 표시되는 반복단위와 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물의 반응을 통해, 상기 화학식 1로 표시되는 반복단위가 형성될 수 있다. 또한, 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위는, 상기 중합체의 화학식 3으로 표시되는 반복단위와 상기 방향족 디아민 화합물로부터 유래된 것일 수 있다. 구체적으로, 상기 중합체의 화학식 3으로 표시되는 반복단위와 상기 방향족 디아민 화합물의 반응을 통해, 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위가 형성될 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the repeating unit represented by Formula 1 may be derived from the repeating unit represented by Formula 3 of the polymer and the acidic functional group-containing amine compound. Specifically, the repeating unit represented by Formula 1 may be formed through the reaction of the repeating unit represented by Formula 3 of the polymer with the acidic functional group-containing amine compound. In addition, the repeating unit represented by Formula 2 may be derived from the repeating unit represented by Formula 3 of the polymer and the aromatic diamine compound. Specifically, the repeating unit represented by Formula 2 may be formed through the reaction of the repeating unit represented by Formula 3 of the polymer with the aromatic diamine compound.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체, 상기 방향족 디아민 화합물 및 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물을 포함하는 혼합물을 이용하여, 유리전이온도가 상승된 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 제조할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, a polyimide-based polyimide-based polymer having an elevated glass transition temperature using a mixture including the polymer including the repeating unit represented by Formula 3, the aromatic diamine compound, and the acidic functional group-containing amine compound Alkali-soluble resin can be manufactured.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 상기 화학식 1로 표시되는 반복단위를 1 이상 포함하고, 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 1 이상 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyimide-based alkali-soluble resin may include one or more repeating units represented by Formula 1, and may include one or more repeating units represented by Formula 2 above.

상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지가 상기 방향족 디아민 화합물로 유래된 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 1 이상, 또는 2 이상 함유함에 따라, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 방향족 디아민기에 포함된 활성수소가 다수 존재하는 구조를 가지게 되어, 열경화시 열경화성 바인더와의 반응성이 향상되면서 경화밀도를 높여 내열 신뢰성 및 기계적 성질을 높일 수 있다. 또한, 상기 고리형 이미드 작용기가 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 내에 존재하게 됨에 따라, 고리형 이미드 작용기에 포함된 카보닐기와 3차 아민기에 의해 극성이 높아져 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지의 계면 접착력을 높일 수 있다.As the polyimide-based alkali-soluble resin contains one or more, or two or more, repeating units represented by Formula 2 derived from the aromatic diamine compound, the polyimide-based alkali-soluble resin contains active hydrogen contained in the aromatic diamine group. Since it has a plurality of structures, the reactivity with the thermosetting binder is improved during thermosetting, and the curing density can be increased to increase the heat resistance reliability and mechanical properties. In addition, as the cyclic imide functional group is present in the polyimide-based alkali-soluble resin, the polarity is increased by the carbonyl group and the tertiary amine group included in the cyclic imide-based alkali-soluble resin, so that the interfacial adhesive force of the polyimide-based alkali-soluble resin can increase

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 중합체는 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 것이라면, 그 종류가 특별히 제한되지 않는다. According to an exemplary embodiment of the present invention, the type of the polymer is not particularly limited as long as it includes the repeating unit represented by Formula 3 above.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 혼합물에 포함되는 상기 방향족 디아민 화합물의 함량은 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체 100 중량부에 대하여 6 중량부 이상 15 중량부 이하일 수 있다. 구체적으로, 상기 혼합물에 포함되는 상기 방향족 디아민 화합물의 함량은 상기 중합체 100 중량부에 대하여, 7 중량부 이상 15 중량부 이하, 7.5 중량부 이상 14 중량부 이하, 7.5 중량부 이상 12.5 중량부 이하, 7.5 중량부 이상 10 중량부 이하, 7.5 중량부 이상 9 중량부 이하, 8 중량부 이상 10 중량부 이하, 또는 12 중량부 이상 15 중량부 이하일 수 있다. 상기 방향족 디아민 화합물의 함량을 전술한 범위로 조절함으로써, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지의 유리전이온도를 향상시키며, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지에 의하여 코팅된 비아홀의 상온 치수안정성을 향상시킬 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the content of the aromatic diamine compound included in the mixture may be 6 parts by weight or more and 15 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the polymer including the repeating unit represented by Formula 3 above. Specifically, the content of the aromatic diamine compound included in the mixture is 7 parts by weight or more and 15 parts by weight or less, 7.5 parts by weight or more and 14 parts by weight or less, 7.5 parts by weight or more and 12.5 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the polymer; It may be 7.5 parts by weight or more and 10 parts by weight or less, 7.5 parts by weight or more and 9 parts by weight or less, 8 parts by weight or more and 10 parts by weight or less, or 12 parts by weight or more and 15 parts by weight or less. By adjusting the content of the aromatic diamine compound to the above range, the glass transition temperature of the polyimide-based alkali-soluble resin is improved, and the room temperature dimensional stability of the via hole coated by the polyimide-based alkali-soluble resin can be improved. .

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 방향족 디아민 화합물은 하기 화학식 5로 표시되는 화합물일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the aromatic diamine compound may be a compound represented by the following Chemical Formula 5.

[화학식 5][Formula 5]

Figure pat00009
Figure pat00009

상기 화학식 5에서, n은 1 내지 3의 정수이다. 구체적으로, 상기 화학식 5에서 n은 1 내지 2의 정수, 또는 2일 수 있다.In Formula 5, n is an integer of 1 to 3. Specifically, in Formula 5, n may be an integer of 1 to 2, or 2.

상기 화학식 5로 표시되는 방향족 디아민 화합물을 사용함으로써, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지의 유리전이온도를 향상시킬 수 있고, 후술하는 고분자 수지층(예컨데, 절연층)의 치수안정성을 개선시킬 수 있다.By using the aromatic diamine compound represented by Formula 5, the glass transition temperature of the polyimide-based alkali-soluble resin can be improved, and the dimensional stability of the polymer resin layer (eg, insulating layer) to be described later can be improved.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 방향족 디아민 화합물은 하기 화학식 5-1로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 5-2로 표시되는 화합물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. According to an exemplary embodiment of the present invention, the aromatic diamine compound may include at least one of a compound represented by the following Chemical Formula 5-1 and a compound represented by the following Chemical Formula 5-2.

[화학식 5-1][Formula 5-1]

Figure pat00010
Figure pat00010

[화학식 5-2][Formula 5-2]

Figure pat00011
Figure pat00011

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 화학식 5-1로 표시되는 방향족 디아민 화합물은 하기 화학식 5-1-a 내지 화학식 5-1-d로 표시되는 화합물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the aromatic diamine compound represented by Formula 5-1 may include at least one of compounds represented by Formulas 5-1-a to 5-1-d below.

[화학식 5-1-a][Formula 5-1-a]

Figure pat00012
Figure pat00012

[화학식 5-1-b][Formula 5-1-b]

Figure pat00013
Figure pat00013

[화학식 5-1-c][Formula 5-1-c]

Figure pat00014
Figure pat00014

[화학식 5-1-d][Formula 5-1-d]

Figure pat00015
Figure pat00015

또한, 상기 화학식 5-2로 표시되는 방향족 디아민 화합물은 하기 화학식 5-2-a 내지 화학식 5-2-d로 표시되는 화합물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.In addition, the aromatic diamine compound represented by Formula 5-2 may include at least one of compounds represented by Formulas 5-2-a to 5-2-d.

[화학식 5-2-a][Formula 5-2-a]

Figure pat00016
Figure pat00016

[화학식 5-2-b][Formula 5-2-b]

Figure pat00017
Figure pat00017

[화학식 5-2-c][Formula 5-2-c]

Figure pat00018
Figure pat00018

[화학식 5-2-d][Formula 5-2-d]

Figure pat00019
Figure pat00019

전술한 종류의 방향족 디아민 화합물을 사용하여 제조된 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 상온에서의 수치안정성이 크게 향상된 절연층을 구현할 수 있다.The polyimide-based alkali-soluble resin prepared by using the above-described aromatic diamine compound may implement an insulating layer with greatly improved dimensional stability at room temperature.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 2-1로 표시되는 반복단위를 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the repeating unit represented by Chemical Formula 2 may include a repeating unit represented by the following Chemical Formula 2-1.

[화학식 2-1][Formula 2-1]

Figure pat00020
Figure pat00020

상기 화학식 2-1에서, "*"는 결합지점을 의미한다.In Formula 2-1, "*" means a bonding point.

상기 화학식 2-1로 표시되는 반복단위를 포함하는 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 유리전이온도가 효과적으로 상승될 수 있고, 상온에서의 치수 안정성이 크게 개선될 수 있다.In the polyimide-based alkali-soluble resin including the repeating unit represented by Chemical Formula 2-1, the glass transition temperature may be effectively increased, and dimensional stability at room temperature may be greatly improved.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물의 함량은 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체 100 중량부에 대하여 60 중량부 이상 80 중량부 이하일 수 있다. 구체적으로, 상기 혼합물에 포함되는 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물의 함량은 상기 중합체 100 중량부에 대하여, 62.5 중량부 이상 77.5 중량부 이하, 65 중량부 이상 75 중량부 이하, 65 중량부 이상 70 중량부 이하, 60 중량부 이상 70 중량부 이하, 67.5 중량부 이상 72.5 중량부 이하, 또는 70 중량부 이상 80 중량부 이하일 수 있다. 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물의 함량을 전술한 범위로 조절함으로써, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 포함하는 고분자 수지층의 알칼리 현상성을 보다 향상시킬 수 있고, 고분자 수지층의 현상 속도를 적절하게 제어할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the content of the acidic functional group-containing amine compound may be 60 parts by weight or more and 80 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the polymer including the repeating unit represented by Formula 3 above. Specifically, the content of the acidic functional group-containing amine compound included in the mixture is 62.5 parts by weight or more and 77.5 parts by weight or less, 65 parts by weight or more and 75 parts by weight or less, 65 parts by weight or more and 70 parts by weight based on 100 parts by weight of the polymer. or less, 60 parts by weight or more and 70 parts by weight or less, 67.5 parts by weight or more and 72.5 parts by weight or less, or 70 parts by weight or more and 80 parts by weight or less. By adjusting the content of the acidic functional group-containing amine compound to the above range, alkali developability of the polymer resin layer including the polyimide-based alkali-soluble resin can be further improved, and the development speed of the polymer resin layer can be appropriately controlled. can do.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물은 카르복시기 함유 아민 화합물과 히드록시기 함유 아민 화합물을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물은 적어도 카르복시기 함유 아민 화합물을 포함할 수 있다. 이때, 상기 아민 화합물은 히드록시기로 페놀기를 포함할 수 있다. 상기 아민 화합물은 산성 작용기 중에서 카르복시기 또는 히드록시를 포함함으로써, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 포함하는 고분자 수지층의 알칼리 현상성을 향상시킬 수 있다. 특히, 산성 작용기로 카르복시기를 사용함으로써, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지의 수치 안정성을 향상시킬 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the acidic functional group-containing amine compound may include a carboxyl group-containing amine compound and a hydroxyl group-containing amine compound. Specifically, the acidic functional group-containing amine compound may include at least a carboxyl group-containing amine compound. In this case, the amine compound may include a phenol group as a hydroxyl group. The amine compound may improve alkali developability of the polymer resin layer including the polyimide-based alkali-soluble resin by including a carboxyl group or a hydroxy group in the acidic functional group. In particular, by using a carboxy group as an acidic functional group, the numerical stability of the polyimide-based alkali-soluble resin can be improved.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물은 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물을 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the acidic functional group-containing amine compound may include a compound represented by the following formula (6).

[화학식 6][Formula 6]

Figure pat00021
Figure pat00021

상기 화학식 6에서, R1는 직접결합, 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기, 탄소수 1 내지 20의 알케닐기, 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 또는 하기 화학식 4로 표시되는 것이고,In Formula 6, R 1 is a direct bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, or represented by Formula 4 below,

[화학식 4][Formula 4]

Figure pat00022
Figure pat00022

상기 화학식 4에서 R2는 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기이고, "*"는 결합지점을 의미한다.In Formula 4, R 2 is an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, and "*" means a bonding point.

상기 화학식 6으로 표시되는 산성 작용기 함유 아민 화합물을 사용함으로써, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 포함하는 고분자 수지층의 알칼리 현상성을 향상시킬 수 있고, 상기 고분자 수지층의 치수안정성을 개선시킬 수 있다.By using the acidic functional group-containing amine compound represented by Formula 6, alkali developability of the polymer resin layer including the polyimide-based alkali-soluble resin can be improved, and the dimensional stability of the polymer resin layer can be improved. .

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 알킬렌기는, 알케인(alkane)으로부터 유래한 2 가의 작용기로, 직쇄형, 분지형 또는 고리형으로서, 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 이소부틸렌기, sec-부틸렌기, tert-부틸렌기, 펜틸렌기, 헥실렌기 등이 될 수 있다. 상기 알킬렌기에 포함되어 있는 하나 이상의 수소 원자는 다른 치환기로 치환될 수 있고, 상기 치환기는 탄소수 1 내지 10의 알킬기, 탄소수 2 내지 10의 알케닐기, 탄소수 2 내지 10의 알키닐기, 탄소수 6 내지 12의 아릴기, 탄소수 2 내지 12의 헤테로아릴기, 탄소수 6 내지 12의 아릴알킬기, 할로겐 원자, 시아노기, 아미노기, 아미디노기, 니트로기, 아마이드기, 카보닐기, 히드록시기, 술포닐기, 카바메이트기, 탄소수 1 내지 10의 알콕시기일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the alkylene group is a divalent functional group derived from an alkane, a straight-chain, branched or cyclic, methylene group, ethylene group, propylene group, isobutylene group, It may be a sec-butylene group, a tert-butylene group, a pentylene group, a hexylene group, and the like. One or more hydrogen atoms included in the alkylene group may be substituted with other substituents, and the substituents include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, an alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms, and 6 to 12 carbon atoms. of an aryl group, a heteroaryl group having 2 to 12 carbon atoms, an arylalkyl group having 6 to 12 carbon atoms, a halogen atom, a cyano group, an amino group, an amidino group, a nitro group, an amide group, a carbonyl group, a hydroxyl group, a sulfonyl group, a carbamate group , may be an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 "치환"이라는 용어는 화합물 내의 수소 원자 대신 다른 작용기가 결합하는 것을 의미하며, 치환되는 위치는 수소 원자가 치환되는 위치 즉, 치환기가 치환 가능한 위치라면 한정되지 않으며, 2 이상 치환되는 경우, 2 이상의 치환기는 서로 동일하거나 상이할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the term "substitution" means that another functional group is bonded instead of a hydrogen atom in the compound, and the position to be substituted is not limited as long as the position at which the hydrogen atom is substituted, that is, the position where the substituent can be substituted, is not limited. , When two or more substituents are substituted, two or more substituents may be the same as or different from each other.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 알케닐기는, 상술한 알킬렌기의 중간이나 말단에 탄소-탄소 이중 결합을 1개 이상 함유하고 있는 것을 의미하며, 예를 들어, 에틸렌, 프로필렌, 부틸렌, 헥실렌, 아세틸렌 등을 들 수 있다. 상기 알케닐기 중 하나 이상의 수소 원자는 상기 알킬렌기의 경우와 마찬가지의 치환기로 치환 가능하다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the alkenyl group means containing one or more carbon-carbon double bonds in the middle or at the terminal of the above-described alkylene group, for example, ethylene, propylene, butylene, Hexylene, acetylene, etc. are mentioned. One or more hydrogen atoms in the alkenyl group may be substituted with the same substituents as in the case of the alkylene group.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 아릴렌기는, 아렌(arene)으로부터 유래한 2 가의 작용기로, 고리형으로서, 페닐기, 나프틸기 등이 될 수 있다. 상기 아릴렌기에 포함되어 있는 하나 이상의 수소 원자는 다른 치환기로 치환될 수 있고, 상기 치환기는 탄소수 1 내지 10의 알킬기, 탄소수 2 내지 10의 알케닐기, 탄소수 2 내지 10의 알키닐기, 탄소수 6 내지 12의 아릴기, 탄소수 2 내지 12의 헤테로아릴기, 탄소수 6 내지 12의 아릴알킬기, 할로겐 원자, 시아노기, 아미노기, 아미디노기, 니트로기, 아마이드기, 카보닐기, 히드록시기, 술포닐기, 카바메이트기, 탄소수 1 내지 10의 알콕시기일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the arylene group is a divalent functional group derived from arene, and may be a cyclic group, such as a phenyl group or a naphthyl group. One or more hydrogen atoms included in the arylene group may be substituted with other substituents, and the substituents include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, an alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms, and 6 to 12 carbon atoms. of an aryl group, a heteroaryl group having 2 to 12 carbon atoms, an arylalkyl group having 6 to 12 carbon atoms, a halogen atom, a cyano group, an amino group, an amidino group, a nitro group, an amide group, a carbonyl group, a hydroxyl group, a sulfonyl group, a carbamate group , may be an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물은 하기 화학식 6-1로 표시되는 화합물을 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the acidic functional group-containing amine compound may include a compound represented by the following Chemical Formula 6-1.

[화학식 6-1][Formula 6-1]

Figure pat00023
Figure pat00023

상기 화학식 6에서 R2는 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기이다.In Formula 6, R 2 is an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms.

구체적으로, 상기 화학식 6-1로 표시되는 산성 작용기 함유 아민 화합물은 하기 화학식 6-1-a로 표시되는 화합물을 포함할 수 있다.Specifically, the acidic functional group-containing amine compound represented by Formula 6-1 may include a compound represented by Formula 6-1-a below.

[화학식 6-1-a][Formula 6-1-a]

Figure pat00024
Figure pat00024

전술한 종류의 산성 작용기 함유 아민 화합물을 사용하여 제조된 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 고분자 수지층의 알칼리 현상성 및 현상 속도를 개선시킬 수 있다. 또한, 전술한 종류의 산성 작용기 함유 아민 화합물을 사용하는 경우, 상온에서의 치수 안정성이 향상된 고분자 수지층을 구현할 수 있다.The polyimide-based alkali-soluble resin prepared by using the above-mentioned type of acidic functional group-containing amine compound may improve alkali developability and development speed of the polymer resin layer. In addition, when the above-described type of the acid functional group-containing amine compound is used, a polymer resin layer having improved dimensional stability at room temperature can be implemented.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 화학식 1로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 1-1로 표시되는 반복단위를 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the repeating unit represented by the formula (1) may include a repeating unit represented by the following formula (1-1).

[화학식 1-1][Formula 1-1]

Figure pat00025
Figure pat00025

상기 화학식 1-1로 표시되는 반복단위를 포함하는 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 유리전이온도가 효과적으로 상승될 수 있고, 상온에서의 치수 안정성이 개선될 수 있다.In the polyimide-based alkali-soluble resin including the repeating unit represented by Formula 1-1, the glass transition temperature may be effectively increased, and dimensional stability at room temperature may be improved.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 혼합물에 포함되는 중합체는 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 복수로 포함하고, 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위 중 일부는 상기 방향족 디아민 화합물과 반응하고, 다른 일부는 상기 산성 작용기 함유 아민 화합물과 반응하고, 또 다른 일부는 미반응된 상태로 잔류할 수 있다. 즉, 상기 중합체에서 미반응된 화학식 3으로 표시되는 반복단위가 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지에 존재할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyimide-based alkali-soluble resin may include a repeating unit represented by Formula 3 above. Specifically, the polymer included in the mixture includes a plurality of repeating units represented by Chemical Formula 3, some of the repeating units represented by Chemical Formula 3 react with the aromatic diamine compound, and another part contains the acidic functional group It may react with the amine compound, and another part may remain unreacted. That is, the unreacted repeating unit represented by Chemical Formula 3 in the polymer may be present in the polyimide-based alkali-soluble resin.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 비닐계 반복단위를 더 포함할 수 있다. 상기 비닐계 반복단위는 분자내에 적어도 1 이상의 비닐기를 포함하는 비닐계 단량체로부터 유래되는 반복단위로서, 상기 비닐계 단량체의 예가 크게 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 에틸렌, 프로필렌, 이소부틸렌, 부타디엔, 스티렌, 아크릴산, 메타아크릴산, 무수말레 인산, 또는 말레이미드 등을 들 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyimide-based alkali-soluble resin may further include a vinyl-based repeating unit. The vinyl-based repeating unit is a repeating unit derived from a vinyl-based monomer containing at least one vinyl group in a molecule, and examples of the vinyl-based monomer are not particularly limited, for example, ethylene, propylene, isobutylene, butadiene, styrene, acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride, or maleimide; and the like.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 하기 화학식 7로 표시되는 반복단위를 더 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyimide-based alkali-soluble resin may further include a repeating unit represented by the following formula (7).

[화학식 7][Formula 7]

Figure pat00026
Figure pat00026

상기 화학식 7에서, R3는 직접결합, 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기, 탄소수 1 내지 20의 알케닐기, 또는 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기이며, R4는 -H, -OH, -NR5R6, 할로겐, 또는 탄소수 1 내지 20의 알킬기이며, 상기 R5 및 R6은 각각 독립적으로 수소, 탄소수 1 내지 20의 알킬기, 또는 탄소수 6 내지 20의 아릴기일 수 있고, "*"는 결합지점을 의미한다. 구체적으로, 상기 화학식 7에서, R3는 페닐렌이며, R4는 -OH일 수 있다.In Formula 7, R 3 is a direct bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, and R 4 is -H, -OH, -NR 5 R 6 , halogen, or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, wherein R 5 and R 6 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, and "*" represents a bonding point it means. Specifically, in Formula 7, R 3 may be phenylene, and R 4 may be —OH.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 혼합물은 하기 화학식 8로 표시되는 아민 화합물을 더 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the mixture may further include an amine compound represented by the following Chemical Formula 8.

[화학식 8][Formula 8]

Figure pat00027
Figure pat00027

상기 화학식 8에서 R3 및 R4는 상기 화학식 7에서 상술한 내용과 동일하다.In Formula 8, R 3 and R 4 are the same as described above in Formula 7 above.

상기 혼합물에 포함된 중합체의 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위와 상기 혼합물에 포함된 상기 화학식 8로 표시되는 아민 화합물의 반응을 통해, 상기 화학식 7로 표시되는 반복단위가 형성될 수 있다.Through the reaction of the repeating unit represented by Formula 3 of the polymer included in the mixture with the amine compound represented by Formula 8 included in the mixture, the repeating unit represented by Formula 7 may be formed.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 KOH 적정에 의해 구해지는 산가(acid value)가 50 mgKOH/ g 내지 250 mgKOH/g, 또는 70 mgKOH/g 내지 200 mgKOH/g일 수 있다. 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지의 산가를 측정하는 방법의 예가 크게 한정되는 것은 아니나, 예를 들어, 다음과 같은 방법을 사용할 수 있다. 베이스 용매(base solution)로서 0.1 N의 농도의 KOH 용액(용매: 메탄올)을 준비하고, 표지자(indicator)로는 알파-나프톨벤제인(alphanaphtholbenzein)(pH: 0.8 ~ 8.2 yellow, 10.0 blue green)을 준비하였다. 이어서, 시료인 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 약 1 내지 2 g을 채취하여 디메틸포름알데히드(DMF) 용매 50 g에 녹인 후에 표지자를 첨가한 후에 베이스 용매로 적정하였다. 적정 완료 시점에서 사용된 베이스 용매의 양으로 산가(acid value)를 mg KOH/g의 단위로 구하였다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyimide-based alkali-soluble resin has an acid value obtained by KOH titration of 50 mgKOH/g to 250 mgKOH/g, or 70 mgKOH/g to 200 mgKOH/g day can Examples of the method for measuring the acid value of the polyimide-based alkali-soluble resin are not particularly limited, but, for example, the following method may be used. Prepare a 0.1 N KOH solution (solvent: methanol) as a base solution, and prepare alpha-naphtholbenzein (pH: 0.8 ~ 8.2 yellow, 10.0 blue green) as an indicator did. Then, about 1 to 2 g of a polyimide-based alkali-soluble resin as a sample was taken, dissolved in 50 g of a dimethylformaldehyde (DMF) solvent, a marker was added, and then titrated with a base solvent. At the completion of the titration, the acid value was calculated as the amount of the base solvent used in units of mg KOH/g.

상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지의 산가가 50 mgKOH/g 미만으로 지나치게 감소할 경우, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지의 현상성이 낮아져 현상 공정을 진행하기 어려울 수 있다. 또한, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지의 산가가 250 mgKOH/g 초과로 지나치게 증가할 경우, 극성 증대로 인해 다른 수지와의 상분리가 발생할 수 있다.When the acid value of the polyimide-based alkali-soluble resin is excessively reduced to less than 50 mgKOH/g, the developability of the polyimide-based alkali-soluble resin may be lowered, and thus it may be difficult to proceed with the development process. In addition, when the acid value of the polyimide-based alkali-soluble resin is excessively increased to more than 250 mgKOH/g, phase separation from other resins may occur due to increased polarity.

본 발명의 다른 일 실시상태는 도체 배선 상에 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 및 열경화성 바인더를 포함한 고분자 수지층을 구비하는 단계; 상기 고분자 수지층 상에 감광성 수지층을 구비하여 적층체를 형성하는 단계; 상기 적층체를 노광 및 알칼리 현상하여 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 고분자 수지층을 열경화하는 단계; 및 상기 패터닝된 감광성 수지층을 박리하는 단계;를 포함하는 절연층 제조방법을 제공한다.Another embodiment of the present invention comprises the steps of providing a polymer resin layer including the polyimide-based alkali-soluble resin and a thermosetting binder on a conductor wiring; forming a laminate by providing a photosensitive resin layer on the polymer resin layer; patterning the laminate by exposure and alkali development; thermosetting the patterned polymer resin layer; and peeling off the patterned photosensitive resin layer.

본 발명의 다른 일 실시상태에 따른 절연층 제조방법은 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 이용하여 상온에서의 치수안정성을 향상시킬 수 있다.In the insulating layer manufacturing method according to another exemplary embodiment of the present invention, dimensional stability at room temperature can be improved by using the polyimide-based alkali-soluble resin.

본 발명의 일 실시상태는 도체 배선 상에 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 및 열경화성 바인더를 포함한 고분자 수지층을 구비하는 단계를 포함한다. 이때, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 전술한 실시상태에 따른 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지이다.An exemplary embodiment of the present invention includes providing a polymer resin layer including a polyimide-based alkali-soluble resin and a thermosetting binder on a conductor wiring. In this case, the polyimide-based alkali-soluble resin is a polyimide-based alkali-soluble resin according to the above-described embodiment.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 고분자 수지층은 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 및 열경화성 바인더를 포함한 고분자 수지 조성물의 건조를 통해 형성된 필름일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polymer resin layer may be a film formed by drying a polymer resin composition including a polyimide-based alkali-soluble resin and a thermosetting binder.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 고분자 수지층은 단독으로 존재하거나 회로기판, 시트, 다층 프린트 배선판 등의 반도체 재료를 포함한 기재 상에 형성된 상태로 존재할 수 있으며, 상기 고분자 수지층을 기재상에 형성하는 방법의 예가 크게 한정되는 것은 아니나, 예를 들어, 상기 고분자 수지 조성물을 기재상에 직접 코팅하거나, 캐리어 필름 상에 고분자 수지 조성물을 도포한 상태에서, 코팅을 진행한 다음 캐리어 필름을 제거하는 방법 등을 사용할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polymer resin layer may exist alone or may exist in a state formed on a substrate including a semiconductor material such as a circuit board, a sheet, or a multilayer printed wiring board, and the polymer resin layer is disposed on the substrate. Examples of the forming method are not particularly limited, but for example, directly coating the polymer resin composition on a substrate, or in a state in which the polymer resin composition is applied on a carrier film, and then removing the carrier film method and the like can be used.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 고분자 수지층은 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 및 열경화성 바인더를 포함한다. According to an exemplary embodiment of the present invention, the polymer resin layer includes a polyimide-based alkali-soluble resin and a thermosetting binder.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 고분자 수지층은 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대해 열경화성 바인더를 1 중량부 내지 150 중량부, 또는 10 중량부 내지 100 중량부, 또는 20 중량부 내지 50 중량부로 포함할 수 있다. 상기 열경화성 바인더의 함량이 지나치게 많으면 상기 고분자 수지층의 현상성이 떨어지고, 강도가 저하될 수 있다. 반대로, 열경화성 바인더의 함량이 지나치게 낮아지면, 상기 고분자 수지층이 과도하게 현상될 뿐 아니라, 코팅 시 균일성이 떨어질 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polymer resin layer contains 1 part by weight to 150 parts by weight of the thermosetting binder, or 10 parts by weight to 100 parts by weight, or 20 parts by weight to 100 parts by weight of the polyimide-based alkali-soluble resin. It may be included in 50 parts by weight. If the content of the thermosetting binder is too large, developability of the polymer resin layer may be deteriorated, and strength may be reduced. Conversely, when the content of the thermosetting binder is too low, the polymer resin layer may be developed excessively, and uniformity during coating may be deteriorated.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 열경화성 바인더는 열경화 가능한 작용기, 옥세타닐기, 환상 에테르기, 환상 티오 에테르기, 시아나이드기, 말레이미드기 및 벤조옥사진기로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 작용기 및 에폭시기를 포함할 수 있다. 즉, 상기 열경화성 바인더는 에폭시기를 반드시 포함하며, 에폭시기 이외로 옥세타닐기, 환상 에테르기, 환상 티오 에테르기, 시아나이드(cyanide)기, 말레이미드(maleimide)기, 벤조옥사진(benzoxazine)기 또는 이들의 2종 이상을 혼합하여 포함할 수 있다. 이러한 열경화성 바인더는 열경화에 의해 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 등과 가교 결합을 형성해 절연층의 내열성 또는 기계적 물성을 담보할 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 열경화성 바인더로는, 분자 내에 상술한 작용기를 2 이상 포함한 다관능성 수지 화합물을 사용할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the thermosetting binder is at least one selected from the group consisting of a thermosetting functional group, an oxetanyl group, a cyclic ether group, a cyclic thioether group, a cyanide group, a maleimide group, and a benzoxazine group. It may include a functional group and an epoxy group. That is, the thermosetting binder necessarily includes an epoxy group, and in addition to the epoxy group, an oxetanyl group, a cyclic ether group, a cyclic thioether group, a cyanide group, a maleimide group, a benzoxazine group, or It may include a mixture of two or more thereof. Such a thermosetting binder may form a cross-link with a polyimide-based alkali-soluble resin or the like by thermosetting to ensure heat resistance or mechanical properties of the insulating layer. More specifically, as the thermosetting binder, a polyfunctional resin compound including two or more of the above-described functional groups in a molecule may be used.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다관능성 수지화합물은 분자 중에 2개 이상의 환상 에테르기 및/또는 환상 티오에테르기(이하, 환상 (티오)에테르기라고 함)를 포함한 수지를 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyfunctional resin compound may include a resin including two or more cyclic ether groups and/or cyclic thioether groups (hereinafter referred to as cyclic (thio)ether groups) in a molecule. .

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 분자 중에 2개 이상의 환상 (티오)에테르기를 포함한 열경화성 바인더는 분자 중에 3, 4 또는 5원환의 환상 에테르기, 또는 환상 티오에테르기 중 어느 한쪽 또는 2종의 기를 적어도 2개 이상 갖는 화합물을 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the thermosetting binder including two or more cyclic (thio) ether groups in the molecule is any one or two types of 3, 4 or 5 membered cyclic ether groups or cyclic thioether groups in the molecule. It may include compounds having at least two or more groups.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 분자 중에 2개 이상의 환상 티오에테르기를 갖는 화합물로은 재팬 에폭시 레진사 제조의 비스페놀 A형 에피술피드 수지 YL7000일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the compound having two or more cyclic thioether groups in the molecule may be bisphenol A episulfide resin YL7000 manufactured by Japan Epoxy Resins.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다관능성 수지화합물은 분자 중에 적어도 2개 이상의 에폭시기를 포함한 다관능 에폭시 화합물, 분자 중에 적어도 2개 이상의 옥세타닐기를 포함한 다관능 옥세탄 화합물 또는 분자 중에 2개 이상의 티오에테르기를 포함한 에피술피드 수지, 분자 중에 적어도 2개 이상의 시아나이드기를 포함한 다관능 시아네이트 에스테르 화합물, 또는 분자 중에 적어도 2개 이상의 벤조옥사진기를 포함한 다관능 벤조옥사진 화합물 등을 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyfunctional resin compound is a polyfunctional epoxy compound containing at least two or more epoxy groups in a molecule, a polyfunctional oxetane compound containing at least two or more oxetanyl groups in a molecule, or two in a molecule An episulfide resin containing at least two thioether groups, a polyfunctional cyanate ester compound containing at least two or more cyanide groups in a molecule, or a polyfunctional benzoxazine compound containing at least two or more benzoxazine groups in a molecule may be included. have.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다관능 에폭시 화합물은 비스페놀 A형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 브롬화 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 노볼락형 에폭시 수지, 페놀 노볼락형 에폭시 수지, 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, N-글리시딜형 에폭시 수지, 비스페놀 A의 노볼락형 에폭시 수지, 비크실레놀형 에폭시 수지, 비페놀형 에폭시 수지, 킬레이트형 에폭시 수지, 글리옥살형 에폭시 수지, 아미노기 함유 에폭시 수지, 고무 변성 에폭시 수지, 디시클로펜타디엔 페놀릭형 에폭시 수지, 디글리시딜프탈레이트 수지, 헤테로시클릭 에폭시 수지, 테트라글리시딜크실레노일에탄 수지, 실리콘 변성 에폭시 수지, ε-카프로락톤 변성 에폭시 수지일 수 있다. 또한, 난연성 부여를 위해, 인 등의 원자가 그 구조 중에 도입된 것을 사용할 수도 있다. 상기 에폭시 수지는 열경화함으로써, 경화 피막의 밀착성, 땜납 내열성, 무전해 도금 내성 등의 특성을 향상시킨다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyfunctional epoxy compound is bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, novolac Type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, N-glycidyl type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, chelate type epoxy resin Resin, glyoxal type epoxy resin, amino group-containing epoxy resin, rubber modified epoxy resin, dicyclopentadiene phenolic type epoxy resin, diglycidyl phthalate resin, heterocyclic epoxy resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, silicone It may be a modified epoxy resin or an ε-caprolactone modified epoxy resin. In addition, for imparting flame retardancy, one in which atoms such as phosphorus are introduced into the structure may be used. The said epoxy resin improves characteristics, such as adhesiveness of a cured film, solder heat resistance, and electroless-plating resistance, by thermosetting.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다관능 옥세탄 화합물은 비스[(3-메틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]에테르, 비스[(3-에틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]에테르, 1,4-비스[(3-메틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]벤젠, 1,4-비스[(3-에틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]벤젠, (3-메틸-3-옥세타닐)메틸아크릴레이트, (3-에틸-3-옥세타닐)메틸아크릴레이트, (3-메틸-3-옥세타닐)메틸메타크릴레이트, (3-에틸-3-옥세타닐)메틸메타크릴레이트나 이들의 올리고머 또는 공중합체 등의 다관능 옥세탄류 이외에, 옥세탄 알코올과 노볼락 수지, 폴리(p-히드록시스티렌), 카르도형 비스페놀류, 카릭스아렌류, 카릭스레졸신아렌류, 또는 실세스퀴옥산 등의 히드록시기를 갖는 수지와의 에테르화물일 수 있으며, 옥세탄환을 갖는 불포화 모노머와 알킬(메트)아크릴레이트와의 공중합체일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyfunctional oxetane compound is bis[(3-methyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]ether, bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl] Ether, 1,4-bis[(3-methyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]benzene, 1,4-bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]benzene, (3-methyl -3-oxetanyl)methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl)methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl)methyl methacrylate, (3-ethyl-3-ox In addition to polyfunctional oxetanes such as cetanyl)methyl methacrylate and their oligomers or copolymers, oxetane alcohol and novolak resins, poly(p-hydroxystyrene), cardo-type bisphenols, carixarenes, It may be an etherified product with a resin having a hydroxyl group such as carixresorcinarenes or silsesquioxane, and may be a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth)acrylate.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다관능 시아네이트 에스테르 화합물은 비스페놀 A형 시아네이트 에스테르 수지, 비스페놀 E형 시아네이트 에스테르 수지, 비스페놀 F형 시아네이트 에스테르 수지, 비스페놀 S형 시아네이트 에스테르 수지, 비스페놀 M형 시아네이트 에스테르 수지, 노볼락형 시아네이트 에스테르 수지, 페놀노볼락형 시아네이트 에스테르 수지, 크레졸 노볼락형 시아네이트 에스테르 수지, 비스페놀 A의 노볼락형 시아네이트 에스테르 수지, 바이페놀형 시아네이트 에스테르 수지나 이들의 올리고머 또는 공중합체일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyfunctional cyanate ester compound is a bisphenol A-type cyanate ester resin, a bisphenol E-type cyanate ester resin, a bisphenol F-type cyanate ester resin, a bisphenol S-type cyanate ester resin, and a bisphenol M type cyanate ester resin, novolac type cyanate ester resin, phenol novolak type cyanate ester resin, cresol novolak type cyanate ester resin, novolak type cyanate ester resin of bisphenol A, biphenol type cyanate ester resins or oligomers or copolymers thereof.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다관능 말레이미드 화합물의 예로는 4,4'-디페닐메탄 비스말레이미드(4,4'-diphenylmethane bismaleimide), 페닐메탄 비스말레이미드(phenylmethane bismaleimide), m-페닐메탄 비스말레이미드(mphenylmethane bismaleimide), 비스페놀 A 디페닐에터비스말레이미드(bisphenol A diphenyl ether bismaleimide), 3,3'-디메틸-5,5'-디에틸-4,4'-디페닐메탄 비스말레이미드 (3,3'-dimethyl-5,5'-diethyl-4,4'-diphenylmethane bismaleimide), 4-메틸-1,3-페닐렌 비스말레이미드(4-methyl-1,3-phenylene bismaleimide), 1,6'-비스말레이미드-(2,2,4-트리메틸)헥산(1,6'-bismaleimide-(2,2,4-trimethyl)hexane)일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, examples of the polyfunctional maleimide compound include 4,4'-diphenylmethane bismaleimide, phenylmethane bismaleimide, m -Phenylmethane bismaleimide, bisphenol A diphenyl ether bismaleimide, 3,3'-dimethyl-5,5'-diethyl-4,4'-diphenyl Methane bismaleimide (3,3'-dimethyl-5,5'-diethyl-4,4'-diphenylmethane bismaleimide), 4-methyl-1,3-phenylene bismaleimide (4-methyl-1,3- phenylene bismaleimide) or 1,6'-bismaleimide-(2,2,4-trimethyl)hexane.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다관능 벤족사진 화합물은 비스페놀 A형 벤족사진 수지, 비스페놀 F형 벤족사진 수지, 페놀프탈레인형 벤족사진 수지, 티오디페놀형 벤족사진 수지, 디사이클로 펜타디엔형 벤족사진 수지, 3,3'-(메틸렌-1,4-디페닐렌)비스(3,4-디하이드로-2H-1,3-벤족사진(3,3'-(methylene-1,4-diphenylene)bis(3,4-dihydro-2H-1,3-benzoxazine) 수지일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyfunctional benzoxazine compound is a bisphenol A-type benzoxazine resin, a bisphenol F-type benzoxazine resin, a phenolphthalein-type benzoxazine resin, a thiodiphenol-type benzoxazine resin, and a dicyclopentadiene-type benzoxine. Photo resin, 3,3'-(methylene-1,4-diphenylene)bis(3,4-dihydro-2H-1,3-benzoxazine (3,3'-(methylene-1,4-diphenylene) )bis(3,4-dihydro-2H-1,3-benzoxazine) resin.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다관능성 수지화합물은 국도화학사의 YDCN-500-80P, 론자사의 페놀 노볼락형 시아니이트 에스너 수지 PT-30S, 다이와사의 페닐 메탄형 말레이미드 수지 BMI-2300, 시코쿠사의 P-d형 벤조옥사진 수지일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyfunctional resin compound is YDCN-500-80P from Kukdo Chemical, phenol novolac-type cyanite Esner resin PT-30S from Lonza, and phenylmethane-type maleimide resin BMI- from Daiwa. 2300, may be a Pd-type benzoxazine resin from Shikoku.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는 상술한 바와 같다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polyimide-based alkali-soluble resin is as described above.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 고분자 수지층은 열경화성 촉매, 무기 필러, 레벨링제, 분산제, 이형제 및 금속 밀착력 증진제로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 첨가제를 더 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polymer resin layer may further include one or more additives selected from the group consisting of a thermosetting catalyst, an inorganic filler, a leveling agent, a dispersant, a release agent, and a metal adhesion promoter.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 열경화성 촉매로서는, 이미다졸, 2-메틸이미다졸, 2-에틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 4-페닐이미다졸, 1-시아노에틸-2-페닐이미다졸, 1-(2-시아노에틸)-2-에틸-4-메틸이미다졸 등의 이미다졸 유도체; 디시안디아미드, 벤질디메틸아민, 4-(디메틸아미노)-N,N-디메틸벤질아민, 4-메톡시-N,N-디메틸벤질아민, 4-메틸-N,N-디메틸벤질아민 등의 아민 화합물; 아디프산 디히드라지드, 세박산 디히드라지드 등의 히드라진 화합물; 트리페닐포스핀의 인 화합물일 수 있다. 구체적으로, 시코쿠 가세이 고교사 제조의 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ(모두 이미다졸계 화합물의 상품명), 산아프로사 제조의 U-CAT3503N, UCAT3502T(모두 디메틸아민의 블록이소시아네이트 화합물의 상품명), DBU, DBN, U-CATS A102, U-CAT5002(모두 이환식 아미딘 화합물 및 그의 염) 일 수 있다. 특히 이들에 한정되는 것이 아니고, 에폭시 수지나 옥세탄 화합물의 열경화 촉매, 또는 에폭시기 및/또는 옥세타닐기와 카르복시기의 반응을 촉진하는 것일 수 있고, 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수도 있다. 또한, 구아나민, 아세토구아나민, 벤조구아나민, 멜라민, 2,4-디아미노-6-메타크릴로일옥시에틸-S-트리아진, 2-비닐-4,6-디아미노-S-트리아진, 2-비닐-4,6-디아미노-S-트리아진-이소사아누르산 부가물, 2,4-디아미노-6-메타크릴로일옥시에틸-S-트리아진-이소사아누르산 부가물 등의 S-트리아진 유도체를 이용할 수도 있고, 바람직하게는 이들 밀착성 부여제로서도 기능하는 화합물을 상기 열경화성 촉매와 병용할 수 있다. 상술한 열경화성 촉매를 사용함으로써 열경화성 바인더의 열경화를 촉진시킬 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, as the thermosetting catalyst, imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4 -imidazole derivatives such as phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole and 1-(2-cyanoethyl)-2-ethyl-4-methylimidazole; Amines such as dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino)-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N-dimethylbenzylamine, and 4-methyl-N,N-dimethylbenzylamine compound; hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; It may be a phosphorus compound of triphenylphosphine. Specifically, Shikoku Chemical Co., Ltd. 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (all are trade names of imidazole-based compounds), U-CAT3503N, UCAT3502T (all are dimethylamine block isocyanate compounds by San Apro) trade names), DBU, DBN, U-CATS A102, and U-CAT5002 (all of which are bicyclic amidine compounds and salts thereof). It is not particularly limited thereto, and may be a thermosetting catalyst of an epoxy resin or an oxetane compound, or one that promotes a reaction between an epoxy group and/or an oxetanyl group and a carboxyl group, and may be used alone or in combination of two or more . In addition, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-tri Azine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine-isosanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine-isosaanuric acid An S-triazine derivative such as an adduct may be used, and a compound that preferably functions also as an adhesive imparting agent may be used in combination with the thermosetting catalyst. By using the above-mentioned thermosetting catalyst, thermosetting of the thermosetting binder can be promoted.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 무기 필러는 실리카, 황산바륨, 티탄산바륨, 탈크, 클레이, 탄산마그네슘, 탄산칼슘, 산화알루미늄, 수산화알루미늄, 마이카 또는 이들의 2종 이상의 혼합물일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the inorganic filler may be silica, barium sulfate, barium titanate, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, mica, or a mixture of two or more thereof.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 무기필러의 함량의 예가 크게 한정되는 것은 아니나, 상기 고분자 수지층의 높은 강성을 달성하기 위해, 고분자 수지층 내 포함된 모든 수지 성분 100 중량부에 대하여, 상기 무기필러를 100 중량부 이상, 또는 100 중량부 내지 600 중량부, 또는 150 중량부 내지 500 중량부, 또는 200 중량부 내지 500 중량부로 첨가할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, examples of the content of the inorganic filler are not particularly limited, but in order to achieve high rigidity of the polymer resin layer, with respect to 100 parts by weight of all resin components included in the polymer resin layer, the The inorganic filler may be added in an amount of 100 parts by weight or more, or 100 parts by weight to 600 parts by weight, or 150 parts by weight to 500 parts by weight, or 200 parts by weight to 500 parts by weight.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 이형제는, 저분자량 폴리프로필렌, 저분자량 폴리에틸렌의 폴리알킬렌 왁스, 에스테르 왁스, 카르나우바(carnauba) 왁스, 파라핀 왁스일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the release agent may be low molecular weight polypropylene, low molecular weight polyethylene polyalkylene wax, ester wax, carnauba wax, or paraffin wax.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 금속 밀착력 증진제는 금속소재의 표면 변질이나 투명성에 문제를 발생시키지 않는 물질일 수 있다. 구체적으로, 실란 커플링제 또는 유기금속 커플링제를 사용할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the metal adhesion enhancer may be a material that does not cause a problem in the surface quality or transparency of the metal material. Specifically, a silane coupling agent or an organometallic coupling agent may be used.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 레벨링제는 BYK-Chemie GmbH의 BYK-380N, BYK-307, BYK-378, BYK-350일 수 있으며, 상기 레벨링제를 이용함으로써, 필름 코팅시 표면의 팝핑이나 크레이터를 제거할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the leveling agent may be BYK-380N, BYK-307, BYK-378, BYK-350 of BYK-Chemie GmbH, and by using the leveling agent, popping the surface during film coating or craters can be removed.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 고분자 수지층은 상분리를 유발할 수 있는 중량평균분자량 5000이상인 수지 또는 엘라스토머를 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 고분자 수지층의 경화물의 조화처리가 가능할 수 있다. 상기 중량평균분자량 5000 이상의 수지 또는 엘라스토머의 분자량 측정방법의 예가 크게 한정되는 것은 아니며, 예를 들어, GPC법에 의해 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량을 의미한다. 상기 GPC법에 의해 측정한 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량을 측정하는 과정에서는, 통상적으로 알려진 분석 장치와 시차 굴절 검출기(Refractive Index Detector) 등의 검출기 및 분석용 컬럼을 사용할 수 있으며, 통상적으로 적용되는 온도 조건, 용매, flow rate를 적용할 수 있다. 상기 측정 조건의 구체적인 예로, 30의 온도, 클로로포름 용매(Chloroform) 및 1 mL/min의 flow rate를 들 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polymer resin layer may further include a resin or elastomer having a weight average molecular weight of 5000 or more that may cause phase separation. Accordingly, roughening treatment of the cured product of the polymer resin layer may be possible. Examples of the method for measuring the molecular weight of the resin or elastomer having a weight average molecular weight of 5000 or more are not particularly limited, and for example, it means a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by GPC method. In the process of measuring the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by the GPC method, a commonly known analyzer and a detector such as a differential refraction detector and a column for analysis may be used, and the temperature generally applied Conditions, solvents, and flow rates can be applied. Specific examples of the measurement conditions include a temperature of 30, a chloroform solvent (Chloroform), and a flow rate of 1 mL/min.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 고분자 수지층은 상기 고분자 수지층에 광경화성 성질을 부여하기 위하여, 광개시제를 더 포함할 수 있다. 상기 광개시제의 구체적인 예는 크게 한정되지 않으며, 광경화성 수지 조성물 관련 기술분야에서 사용되는 다양한 화합물을 제한 없이 사용할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the polymer resin layer may further include a photoinitiator in order to impart photocurable properties to the polymer resin layer. Specific examples of the photoinitiator are not particularly limited, and various compounds used in the art related to the photocurable resin composition may be used without limitation.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 고분자 수지층에 함유된 광개시제의 함량이 전체 고분자 수지층 중량 대비 0.01 중량% 이하일 수 있다. 상기 고분자 수지층에 함유된 광개시제의 함량이 전체 고분자 수지층 중량 대비 0.01 중량% 이하라 함은, 상기 고분자 수지층에 함유된 광개시제의 함량이 매우 미미하거나, 광개시제가 전혀 포함되지 않음을 의미할 수 있다. 이에 따라, 광개시제에 의해 발생가능한 절연층이나 도전층과의 계면 탈착성이 감소할 수 있어, 절연층의 접착성 및 내구성이 향상될 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the content of the photoinitiator contained in the polymer resin layer may be 0.01 wt% or less based on the total weight of the polymer resin layer. When the content of the photoinitiator contained in the polymer resin layer is 0.01% by weight or less relative to the total weight of the polymer resin layer, it may mean that the content of the photoinitiator contained in the polymer resin layer is very insignificant or that the photoinitiator is not included at all. . Accordingly, the interfacial detachability with the insulating layer or the conductive layer, which may be caused by the photoinitiator, may be reduced, and thus the adhesiveness and durability of the insulating layer may be improved.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 고분자 수지층 상에 감광성 수지층을 구비하여 적층체를 형성하는 단계를 포함한다.According to an exemplary embodiment of the present invention, it comprises the step of forming a laminate by providing a photosensitive resin layer on the polymer resin layer.

상기 감광성 수지층은 빛의 작용에 의해 분자구조에 변화가 일어나고 물성 변화가 발생하는 고분자를 포함하며, 감광성 드라이필름 레지스트(DFR), 또는 액상 레지스트일 수 있다.The photosensitive resin layer includes a polymer whose molecular structure is changed by the action of light and changes in physical properties, and may be a photosensitive dry film resist (DFR) or a liquid resist.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지층은 감광성 및 알칼리 가용성을 나타낼 수 있다. 이에 따라, 상기 감광성 수지층에 빛을 조사하는 노광공정에 의해 분자구조의 변형이 진행될 수 있으며, 알칼리성의 현상액을 접촉시키는 현상공정에 의해 수지층의 식각 또는 제거가 가능할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the photosensitive resin layer may exhibit photosensitivity and alkali solubility. Accordingly, the molecular structure may be deformed by the exposure process of irradiating light to the photosensitive resin layer, and the resin layer may be etched or removed by the developing process of contacting an alkaline developer.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지층을 고분자 수지층상에 형성하는 방법의 예가 크게 한정되는 것은 아니나, 감광성 드라이 필름 레지스트와 같은 필름형태의 감광성 수지를 고분자 수지층 상에 적층시키는 방법 또는 스프레이나 딥핑 방법으로 감광성 수지 조성물을 고분자 수지층 상에 코팅하고, 압착하는 방법 등을 사용할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the example of the method of forming the photosensitive resin layer on the polymer resin layer is not particularly limited, but a method of laminating a photosensitive resin in the form of a film such as a photosensitive dry film resist on the polymer resin layer, or A method of coating the photosensitive resin composition on the polymer resin layer by spraying or dipping and pressing the photosensitive resin composition may be used.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 고분자 수지층의 두께는 1 ㎛ 내지 500 ㎛, 또는 3 ㎛ 내지 500 ㎛, 또는 3 ㎛ 내지 200 ㎛, 또는 1 ㎛ 내지 60 ㎛, 또는 5 ㎛ 내지 30 ㎛일 수 있고, 상기 고분자 수지층 상에 형성된 감광성 수지층의 두께는 1 ㎛ 내지 500 ㎛, 또는 3 ㎛ 내지 500 ㎛, 또는 3 ㎛ 내지 200 ㎛, 또는 1 ㎛ 내지 60 ㎛, 또는 5 ㎛ 내지 30 ㎛일 수 있다. 상기 감광성 수지층의 두께가 지나치게 증가할 경우, 상기 고분자 수지층의 해상도가 감소할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the thickness of the polymer resin layer is 1 μm to 500 μm, or 3 μm to 500 μm, or 3 μm to 200 μm, or 1 μm to 60 μm, or 5 μm to 30 μm. The thickness of the photosensitive resin layer formed on the polymer resin layer is 1 μm to 500 μm, or 3 μm to 500 μm, or 3 μm to 200 μm, or 1 μm to 60 μm, or 5 μm to 30 μm. can When the thickness of the photosensitive resin layer is excessively increased, the resolution of the polymer resin layer may decrease.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 고분자 수지층 상에 감광성 수지층이 구비된 적층체를 노광 및 알칼리 현상하여 패터닝하는 단계를 포함한다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the method includes patterning a laminate provided with a photosensitive resin layer on the polymer resin layer by exposing and alkali development.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지층은 감광성 및 알칼리 가용성을 나타낼 수 있다. 이에 따라, 상기 감광성 수지층에 빛을 조사하는 노광공정에 의해 분자구조의 변형이 진행될 수 있으며, 알칼리성의 현상액을 접촉시키는 현상공정에 의해 수지층의 식각 또는 제거가 가능할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the photosensitive resin layer may exhibit photosensitivity and alkali solubility. Accordingly, the molecular structure may be deformed by the exposure process of irradiating light to the photosensitive resin layer, and the resin layer may be etched or removed by the developing process of contacting an alkaline developer.

따라서, 상기 감광성 수지층에 대하여 선택적으로 일부분을 노광시킨 다음, 알칼리 현상하게 되면, 노광된 부분은 현상되지 않고, 노광되지 않은 부분만 선택적으로 식각, 제거될 수 있다. 이와 같이, 노광에 의해 알칼리 현상되지 않고 그대로 남아있는 감광성 수지층의 일부분을 감광성 수지 패턴이라 한다.Accordingly, when a portion of the photosensitive resin layer is selectively exposed and then alkali-developed, the exposed portion is not developed, and only the unexposed portion may be selectively etched and removed. As described above, the portion of the photosensitive resin layer that remains intact without being alkali-developed by exposure is referred to as a photosensitive resin pattern.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지층을 노광하는 방법은 상기 감광성 수지층상에 소정의 패턴의 형성된 포토 마스크를 접촉하고 자외선을 조사하거나, 마스크에 포함된 소정의 패턴을 프로젝션 대물렌즈를 통해 이미징한 다음 자외선을 조사하거나, 레이저 다이오드(Laser Diode)를 광원으로 사용하여 직접 이미징한 다음 자외선을 조사하는 등의 방식 등을 통해 선택적으로 노광할 수 있다. 이 때, 자외선 조사 조건의 예로는 5mJ/㎠ 내지600mJ/㎠의 광량으로 조사하는 것을 들 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, in the method of exposing the photosensitive resin layer, a photomask formed in a predetermined pattern on the photosensitive resin layer is contacted and irradiated with ultraviolet rays, or a predetermined pattern included in the mask is projected with an objective lens. It is possible to selectively expose through a method such as irradiating ultraviolet light after imaging through a laser diode, or directly imaging using a laser diode as a light source and then irradiating ultraviolet light. At this time, examples of the ultraviolet irradiation condition include irradiation with a light amount of 5 mJ/cm 2 to 600 mJ/cm 2 .

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지층에 대한 노광 이후 알칼리 현상하는 방법은 알칼리 현상액을 처리하는 방법일 수 있다. 상기 알칼리 현상액의 예가 크게 한정되는 것은 아니나, 수산화칼륨, 수산화나트륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 인산나트륨, 규산나트륨, 암모니아, 테트라메틸암모늄하이드록사이드, 아민류 등의 알칼리 수용액의 농도와 온도를 조절하여 사용할 수 있으며, 상품으로 판매하는 알칼리 현상액도 사용 가능하다. 상기 알칼리 현상액의 구체적인 사용량은 크게 제한되지 않으나, 상기 감광성 수지 패턴을 손상하지 않는 농도와 온도로 조절이 필요하며, 예를 들어, 25 ℃ 내지 35 ℃의 탄산나트륨 0.5 내지 3% 수용액을 사용할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the method of alkali development after exposure to the photosensitive resin layer may be a method of treating an alkali developer. Examples of the alkali developer are not particularly limited, but may be used by adjusting the concentration and temperature of an aqueous alkali solution such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, tetramethylammonium hydroxide, and amines. Also, alkali developer sold as a commercial product can be used. The specific amount of the alkali developer is not particularly limited, but it is necessary to adjust the concentration and temperature not to damage the photosensitive resin pattern. For example, 0.5 to 3% aqueous solution of sodium carbonate at 25 ° C. to 35 ° C. may be used.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지 패턴이 제거되는 비율이 전체 감광성 수지 패턴 중량 대비 0.01 중량% 이하일 수 있다. 상기 감광성 수지 패턴이 제거되는 비율이 전체 감광성 수지 패턴 중량 대비 0.01 중량% 이하라 함은, 상기 감광성 수지 패턴이 제거되는 비율 매우 미미하거나, 감광성 수지 패턴이 전혀 제거되지 않음을 의미할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the ratio at which the photosensitive resin pattern is removed may be 0.01 wt% or less based on the total weight of the photosensitive resin pattern. When the ratio at which the photosensitive resin pattern is removed is 0.01 wt% or less based on the total weight of the photosensitive resin pattern, it may mean that the ratio at which the photosensitive resin pattern is removed is very insignificant or that the photosensitive resin pattern is not removed at all.

이에 따라 상기 절연층 제조방법은 감광성 수지층을 노광 및 알칼리 현상하여 감광성 수지 패턴을 형성함과 동시에 상기 감광성 수지 패턴에 의해 노출된 고분자 수지층을 알칼리 현상할 수 있다. 상술한 바와 같이, 상기 감광성 수지층은 감광성을 이용하여 미세하고 균일한 패턴이 형성될 수 있으며, 상기 감광성 수지층에 형성된 패턴을 통해 노출된 일부의 고분자 수지층 표면만이 알칼리 현상액과 선택적으로 접촉하는 과정을 통하여 종래의 레이저를 통한 식각 공정을 대체하면서도 이와 동등 수준 이상의 정밀도 및 보다 높은 공정 경제성을 확보할 수 있다.Accordingly, in the method of manufacturing the insulating layer, the photosensitive resin layer is exposed and alkali-developed to form a photosensitive resin pattern, and at the same time, the polymer resin layer exposed by the photosensitive resin pattern can be alkali-developed. As described above, in the photosensitive resin layer, a fine and uniform pattern can be formed using photosensitivity, and only a portion of the surface of the polymer resin layer exposed through the pattern formed on the photosensitive resin layer is selectively contacted with an alkali developer. Through this process, it is possible to secure the same level of precision or higher and higher process economics while replacing the conventional laser etching process.

즉, 상기 감광성 수지 패턴에 의해 노출된 고분자 수지층을 알칼리 현상하는 단계에서, 상기 감광성 수지 패턴은 알칼리 현상액에 의해 제거되지 않는 특성상, 그대로 남아 레지스트 마스크로 사용되며, 감광성 수지 패턴의 개구부를 통해 알칼리 현상액이 감광성 수지층 하부에 위치한 고분자 수지층에 접촉할 수 있다. 이 때, 상기 고분자 수지층은 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 포함함에 따라, 알칼리 현상액에 의해 용해되는 알칼리 가용성을 가지고 있으므로, 상기 고분자 수지층에서 알칼리 현상액이 접촉한 부위는 용해되어 제거될 수 있다.That is, in the step of alkali-developing the polymer resin layer exposed by the photosensitive resin pattern, the photosensitive resin pattern is not removed by the alkaline developer, it remains as it is and is used as a resist mask, and alkali through the opening of the photosensitive resin pattern The developer may contact the polymer resin layer located below the photosensitive resin layer. In this case, since the polymer resin layer contains the polyimide-based alkali-soluble resin, it has alkali solubility that is dissolved by the alkali developer, and thus the portion of the polymer resin layer in contact with the alkali developer may be dissolved and removed.

따라서, 상기 감광성 수지 패턴에 의해 노출된 고분자 수지층이란, 표면이 감광성 수지 패턴과 접촉하지 않고 있는 고분자 수지층 부분을 의미하며, 상기 감광성 수지 패턴에 의해 노출된 고분자 수지층을 알칼리 현상하는 단계는 감광성 수지 패턴 형성시 사용된 알칼리 현상액이 감광성 수지 패턴을 통과하여 하부의 고분자 수지층과 접촉하는 단계를 포함할 수 있다.Therefore, the polymer resin layer exposed by the photosensitive resin pattern means a portion of the polymer resin layer whose surface is not in contact with the photosensitive resin pattern, and alkali development of the polymer resin layer exposed by the photosensitive resin pattern is The method may include the step of allowing the alkali developer used to form the photosensitive resin pattern to pass through the photosensitive resin pattern and contact the lower polymer resin layer.

상기 감광성 수지 패턴에 의해 노출된 고분자 수지층을 알칼리 현상하는 단계에 의해, 하기 도 1과 같이 상기 고분자 수지층에는 감광성 수지 패턴과 동일한 형태의 고분자 수지 패턴이 형성될 수 있다. 도 1은 본 발명의 실시상태에 따른 절연층 제조공정을 개략적으로 나타낸 것이다. 감광성 수지 패턴과 같이, 알칼리 현상되지 않고 그대로 남아있는 고분자 수지층의 일부분을 고분자 수지 패턴이라 할 수 있다.By alkali-developing the polymer resin layer exposed by the photosensitive resin pattern, a polymer resin pattern having the same shape as the photosensitive resin pattern may be formed on the polymer resin layer as shown in FIG. 1 below. 1 schematically shows an insulating layer manufacturing process according to an embodiment of the present invention. Like the photosensitive resin pattern, a portion of the polymer resin layer that remains as it is without alkali development may be referred to as a polymer resin pattern.

이와 같이, 감광성 수지층의 현상을 통한 패턴 형성과 고분자 수지층의 현상을 통한 패턴 형성이 하나의 알칼리 현상액에 동시에 진행됨에 따라, 신속하게 대량생산이 가능하기 때문에, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있으며, 감광성 수지층에 형성된 미세 패턴과 동일한 형태의 미세 패턴을 고분자 수지층에 화학적인 방법으로 용이하게 도입할 수 있다.In this way, as pattern formation through the development of the photosensitive resin layer and pattern formation through the development of the polymer resin layer proceed simultaneously in one alkali developer, mass production is possible quickly, so the efficiency of the process can be improved. , it is possible to easily introduce a fine pattern having the same shape as the fine pattern formed on the photosensitive resin layer into the polymer resin layer by a chemical method.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지층을 노광 및 알칼리 현상하여 감광성 수지 패턴을 형성하면서 동시에 상기 감광성 수지 패턴에 의해 노출된 고분자 수지층도 알칼리 현상하는 단계 이후에, 상기 감광성 수지 패턴에 의해 노출된 고분자 수지층 전체 중량을 기준으로 0.1 중량% 내지 85 중량%, 또는 0.1 중량% 내지 50 중량%, 또는 0.1 중량% 내지 10 중량%가 잔류할 수 있다. 이는 고분자 수지층에 포함된 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지가 알칼리 현상액에 의해 제거되었으나, 알칼리 현상성이 거의 없는 열경화성 바인더 또는 무기필러 등이 제거되지 않고 잔류하기 때문으로 보인다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the photosensitive resin layer is exposed and alkali-developed to form a photosensitive resin pattern, and at the same time, after the step of alkali-developing the polymer resin layer exposed by the photosensitive resin pattern, the photosensitive resin pattern 0.1 wt% to 85 wt%, or 0.1 wt% to 50 wt%, or 0.1 wt% to 10 wt% based on the total weight of the polymer resin layer exposed by This seems to be because the polyimide-based alkali-soluble resin contained in the polymer resin layer was removed by the alkali developer, but the thermosetting binder or inorganic filler having little alkali developability was not removed and remained.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 무기 필러와 열경화성 바인더가 잔류되는 정도를 조절하기 위해, 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 대비 열경화성 바인더 및 무기필러의 중량비율, 무기필러 표면의 산성 작용기 비율 등을 조절할 수 있으며, 바람직하게는 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 100 중량부 대비 열경화성 바인더를 20 중량부 내지 100중량부, 무기필러를 100 중량부 내지 600 중량부로 첨가할 수 있고, 무기필러 표면의 산가(acid value)는 0 mgKOH/g 내지 5 mgKOH/g, 또는 0.01 mgKOH/g 내지 5 mgKOH/g 일 수 있다. 상기 산가에 관한 내용은 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지의 산가를 측정하는 방법과 동일하다.According to an exemplary embodiment of the present invention, in order to control the degree of remaining of the inorganic filler and the thermosetting binder, the weight ratio of the thermosetting binder and the inorganic filler to the polyimide-based alkali-soluble resin, the ratio of the acid functional groups on the surface of the inorganic filler, etc. Preferably, 20 to 100 parts by weight of the thermosetting binder and 100 to 600 parts by weight of the inorganic filler may be added relative to 100 parts by weight of the polyimide-based alkali-soluble resin, and the acid value of the inorganic filler surface ) may be 0 mgKOH/g to 5 mgKOH/g, or 0.01 mgKOH/g to 5 mgKOH/g. The content regarding the acid value is the same as the method for measuring the acid value of the polyimide-based alkali-soluble resin.

이처럼, 상기 감광성 수지 패턴에 의해 노출된 고분자 수지층을 알칼리 현상하는 공정에서, 일부의 고분자 수지층이 현상되지 않고 잔류하게 됨에 따라, 이어지는 감광성 수지 패턴의 제거 공정시, 목표하는 고분자 수지 패턴이 제거되는 대신, 잔류하는 고분자 수지층이 제거되면서, 고분자 수지 패턴의 제거에 따른 비아홀 확장을 방지할 수 있다.As such, in the process of alkali-developing the polymer resin layer exposed by the photosensitive resin pattern, as some polymer resin layers remain without being developed, the target polymer resin pattern is removed during the subsequent removal process of the photosensitive resin pattern. Instead, as the remaining polymer resin layer is removed, it is possible to prevent expansion of the via hole due to the removal of the polymer resin pattern.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 알칼리 현상 이후, 상기 패터닝된 고분자 수지층을 열경화하는 단계를 포함한다. According to an exemplary embodiment of the present invention, after the alkali development, it comprises the step of thermosetting the patterned polymer resin layer.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 절연층 제조방법은 상기 알칼리 현상 이후, 상기 고분자 수지층을 열경화하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 고분자 수지층을 열경화하는 단계를 포함함에 따라 이후의 감광성 수지 패턴 박리 공정시 고분자 수지층의 손상을 최소화할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the method for manufacturing the insulating layer may include thermosetting the polymer resin layer after the alkali development. By including the step of thermosetting the polymer resin layer, it is possible to minimize damage to the polymer resin layer during a subsequent photosensitive resin pattern peeling process.

이때 구체적인 열경화 조건이 한정되는 것은 아니며, 감광성 수지 패턴의 박리방법에 따라 바람직한 조건을 조절하여 진행할 수 있다. 예를 들어, 포토레지스트 박리액을 처리하여 감광성 수지 패턴을 박리하는 경우, 상기 고분자 수지층을 열경화하는 단계는 60 내지 150 ℃의 온도에서 5 분 내지 2시간 동안 진행할 수 있다. 상기 고분자 수지층의 열경화 온도가 지나치게 낮거나, 열경화 시간이 짧게되면 박리액에 의해 고분자 수지 패턴이 손상받을 수 있고, 상기 고분자 수지층의 열경화 온도가 높거나, 열경화 시간이 길어지게 되면 박리액에 의한 감광성 수지 패턴 제거가 어려울 수 있다. At this time, the specific thermosetting conditions are not limited, and it can be carried out by adjusting the desired conditions according to the peeling method of the photosensitive resin pattern. For example, when the photoresist pattern is peeled off by treating the photoresist stripper, the thermosetting of the polymer resin layer may be performed at a temperature of 60 to 150° C. for 5 minutes to 2 hours. If the thermosetting temperature of the polymer resin layer is too low or the thermosetting time is short, the polymer resin pattern may be damaged by the stripper, and the thermosetting temperature of the polymer resin layer is high or the thermosetting time is long. In this case, it may be difficult to remove the photosensitive resin pattern by the stripper.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 디스미어(desmear)공정을 통하여 레지스트 마스크를 박리하는 경우, 상기 고분자 수지층을 열경화하는 단계는 150 내지 230 ℃의 온도에서 1시간 내지 4시간 동안 진행할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, when the resist mask is peeled through a desmear process, the step of thermosetting the polymer resin layer may be performed at a temperature of 150 to 230° C. for 1 hour to 4 hours. .

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 패터닝된 감광성 수지 패턴을 박리하는 단계를 포함한다.According to an exemplary embodiment of the present invention, it comprises the step of peeling the patterned photosensitive resin pattern.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 절연층 제조방법은 상기 열경화 이후, 감광성 수지 패턴을 박리하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 감광성 수지 패턴 제거시, 하부의 고분자 수지층은 되도록 제거하지 않으면서, 감광성 수지층만을 제거할 수 있는 방법을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 개구 패턴의 형태를 조절하거나 개구 패턴 바닥면에 남을 수 있는 고분자 수지층의 잔사를 제거하기 위해 고분자 수지층 일부가 제거될 수도 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the method for manufacturing the insulating layer may include peeling the photosensitive resin pattern after the thermosetting. When removing the photosensitive resin pattern, it is preferable to use a method capable of removing only the photosensitive resin layer without removing the lower polymer resin layer as much as possible. In addition, a portion of the polymer resin layer may be removed to adjust the shape of the opening pattern or to remove residues of the polymer resin layer that may remain on the bottom surface of the opening pattern.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지 패턴을 박리하는 단계에서 고분자 수지층이 제거되는 비율이 전체 고분자 수지층 중량 대비 10 중량% 이하, 또는 1 중량% 이하, 또는 0.01 중량% 이하일 수 있다. 상기 고분자 수지층이 제거되는 비율이 전체 고분자 수지층 중량 대비 0.01 중량% 이하라 함은, 상기 고분자 수지층이 제거되는 비율 매우 미미하거나, 고분자 수지층이 전혀 제거되지 않음을 의미할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the ratio at which the polymer resin layer is removed in the step of peeling the photosensitive resin pattern may be 10 wt% or less, or 1 wt% or less, or 0.01 wt% or less, based on the total weight of the polymer resin layer . When the ratio at which the polymer resin layer is removed is 0.01 wt % or less based on the total weight of the polymer resin layer, it may mean that the ratio at which the polymer resin layer is removed is very insignificant or that the polymer resin layer is not removed at all.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지 패턴의 박리방법의 구체적인 예를 들면, 포토레지스트 박리액을 처리하거나, 디스미어(desmear) 공정 또는 플라즈마 에칭 등을 진행할 수 있으며, 상기의 방법을 혼용할 수도 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, as a specific example of the method for stripping the photosensitive resin pattern, a photoresist stripper may be treated, a desmear process or plasma etching may be performed, and the above methods may be mixed. You may.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 포토레지스트 박리액을 이용한 박리방법은 한정되는 것은 아니나, 수산화칼륨, 수산화나트륨 등의 알칼리 수용액의 농도와 온도를 조절하여 사용할 수 있으며, Atotech사의 Resistrip 제품군, 오알켐사의 ORC-731, ORC-723K, ORC-740, SLF-6000 등 상용으로 판매하는 제품도 사용이 가능하다. 상기 포토레지스트 박리액의 구체적인 사용량은 크게 제한되지 않으나, 하부의 고분자 수지층 패턴을 손상하지 않는 농도와 온도로 조절이 필요하며, 25 ℃ 내지 60 ℃의 수산화나트륨 1 내지 5% 수용액을 사용할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the peeling method using a photoresist stripper is not limited, but it can be used by adjusting the concentration and temperature of an aqueous alkali solution such as potassium hydroxide and sodium hydroxide, and Atotech's Resistrip product line, Oalchem's Commercially available products such as ORC-731, ORC-723K, ORC-740, and SLF-6000 can also be used. The specific amount of the photoresist stripper is not particularly limited, but it needs to be adjusted to a concentration and temperature that does not damage the lower polymer resin layer pattern, and a 1 to 5% aqueous solution of sodium hydroxide at 25°C to 60°C can be used. .

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 디스미어 공정을 이용한 박리방법은 한정되는 것은 아니며, Atotech사의 디스미어 공정약품으로 Securiganth E, Securiganth HP, Securiganth BLG, Securiganth MV SWELLER, Securiganth SAP SWELLER의 스웰러 약품, Securiganth P 500, Securiganth MV ETCH P, Securiganth SAP ETCH P의 과망간산약품, Securiganth E Reduction Cleaner, Securiganth HP Reduction Cleaner, Securiganth BLG Reduction Cleaner, Securiganth MV Reduction Cleaner, Securiganth SAP Reduction Cleaner의 환원제 약품이나, 오알켐사의 디스미어 공정 약품으로 ORC-310A, ORC-315A, ORC-315H, ORC-312의 스웰러 약품, ORC-340B 등의 과망간산 약품, ORC-370, ORC-372의 환원제 약품 같은 상용 판매 제품을 각 공정조건에 맞게 사용할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the peeling method using the desmear process is not limited, and Atotech's desmear process chemicals include Securiganth E, Securiganth HP, Securiganth BLG, Securiganth MV SWELLER, Securiganth SAP SWELLER's sweater drugs, Securiganth P 500, Securiganth MV ETCH P, Securiganth SAP ETCH P's permanganic acid, Securiganth E Reduction Cleaner, Securiganth HP Reduction Cleaner, Securiganth BLG Reduction Cleaner, Securiganth MV Reduction Cleaner, Securiganth SAP Reduction Cleaner's reducing agent or Desmere's Oalchem As process chemicals, commercial products such as ORC-310A, ORC-315A, ORC-315H, ORC-312 sweller, ORC-340B, etc. can be used appropriately.

본 발명의 또 다른 일 실시상태에 따르면, 상기 제조방법에 의해 제조된 절연층; 및 상기 절연층 상에 패턴이 구비된 금속 기판을 구비하는 다층인쇄회로기판을 제공한다.According to another exemplary embodiment of the present invention, an insulating layer manufactured by the manufacturing method; And it provides a multilayer printed circuit board having a metal substrate provided with a pattern on the insulating layer.

본 발명의 또 다른 일 실시상태에 따른 다층인쇄회로기판은 상온에서의 치수안정성이 향상되어 반도체 빌드업의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The multilayer printed circuit board according to another exemplary embodiment of the present invention has improved dimensional stability at room temperature, thereby improving the reliability of semiconductor build-up.

구체적으로, 상기 절연층 제조방법에 의하여 제조된 절연층은 유리전이온도가 상승하여 물성이 개선되며, 상기 절연층 상에 금속 기판을 구비하므로 상온에서 치수안정성이 향상되어 상온에서 오랜시간 방치하더라도 비아홀의 확장되지 않을 수 있다.Specifically, the insulating layer manufactured by the insulating layer manufacturing method has improved physical properties by increasing the glass transition temperature, and since the metal substrate is provided on the insulating layer, dimensional stability is improved at room temperature, so that the via hole is left at room temperature for a long time. may not be expanded.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 절연층은 다층인쇄회로기판의 층간 절연재료로 사용될 수 있으며, 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 및 열경화성 바인더의 열경화물을 포함할 수 있다. 상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 및 열경화성 바인더에 관한 내용은 상술한 바와 같다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the insulating layer may be used as an interlayer insulating material of a multilayer printed circuit board, and may include a thermosetting product of a polyimide-based alkali-soluble resin and a thermosetting binder. Details regarding the polyimide-based alkali-soluble resin and the thermosetting binder are the same as described above.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층인쇄회로기판은 상기 절연층 상에 패턴이 구비된 금속 기판을 구비하는 단계를 수행하여 제조될 수 있다. 상기 절연층 상에 패턴이 형성된 금속 기판을 구비하는 단계는, 당업계에서 Semi Additive Process(SAP) 라고 알려진 미세회로 패턴형성 공정으로서, 상기 SAP 공정은 절연층 상에 아무것도 없는 상태에서 미세회로 패턴을 구비하는 경우를 의미할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the multilayer printed circuit board may be manufactured by performing the step of providing a metal substrate having a pattern on the insulating layer. The step of providing the metal substrate on which the pattern is formed on the insulating layer is a microcircuit pattern forming process known in the art as a Semi Additive Process (SAP), wherein the SAP process forms a microcircuit pattern with nothing on the insulating layer. It may mean the case of being equipped.

도 2는 본 발명의 일 실시상태에 따른 다층인쇄회로기판 제조공정을 개략적으로 나타낸 것이다. 본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 도 2와 같이 상기 절연층 상에 패턴이 구비된 금속 기판을 구비하는 단계는, 상기 절연층 상에 금속박막을 구비하는 단계; 상기 금속박막 상에 패턴이 구비된 감광성 수지층을 구비하는 단계; 상기 감광성 수지층 패턴에 의해 노출된 금속박막 상에 금속을 증착시키는 단계; 및 상기 감광성 수지층을 제거하고, 노출된 금속박막을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.2 schematically shows a multilayer printed circuit board manufacturing process according to an exemplary embodiment of the present invention. According to an exemplary embodiment of the present invention, the step of providing a metal substrate having a pattern on the insulating layer as shown in FIG. 2 includes: providing a metal thin film on the insulating layer; providing a photosensitive resin layer having a pattern on the metal thin film; depositing a metal on the metal thin film exposed by the photosensitive resin layer pattern; and removing the photosensitive resin layer and removing the exposed metal thin film.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 절연층 상에 금속박막을 형성하는 단계에서, 금속 박막의 형성방법의 예로는 건식증착공정 또는 습식증착공정을 들 수 있으며, 구체적으로 상기 건식증착공정은 진공증착, 이온 플레이팅, 스퍼터링 방법 등일 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, in the step of forming the metal thin film on the insulating layer, examples of the method for forming the metal thin film include a dry deposition process or a wet deposition process, and specifically, the dry deposition process is performed in a vacuum. vapor deposition, ion plating, sputtering, or the like.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 습식증착공정은, 다양한 금속의 무전해 도금 등이 있으며, 무전해 구리 도금이 일반적이고, 증착 이전 또는 이후에 조화처리공정을 더 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the wet deposition process includes electroless plating of various metals, and electroless copper plating is common, and may further include a roughening process before or after deposition.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 조화처리 공정에도 조건에 따라 건식 및 습식방법이 있으며, 상기 건식 방법의 예로는 진공, 상압, 기체별 플라즈마 처리, 기체별 Excimer UV처리 등을 들 수 있고, 상기 습식방법의 예로는, 디스미어 처리를 사용할 수 있다. 이러한 조화처리 공정을 통해, 상기 금속 박막의 표면조도를 높여 금속박막 상에 증착되는 금속과의 밀착력을 향상시킬 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, there are dry and wet methods depending on conditions in the roughening treatment process, and examples of the dry method include vacuum, atmospheric pressure, plasma treatment for each gas, Excimer UV treatment for each gas, etc. As an example of the wet method, a desmear treatment may be used. Through this roughening process, it is possible to increase the surface roughness of the metal thin film to improve adhesion to the metal deposited on the metal thin film.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 금속박막 상에 패턴이 형성된 감광성 수지층을 구비하는 단계는 상기 금속박막 상에 형성된 감광성 수지층을 노광 및 현상하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 감광성 수지층과 노광 및 현상에 대한 내용은 상기 일 구현예에서 상술한 내용을 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the step of providing the photosensitive resin layer with a pattern formed on the metal thin film may include exposing and developing the photosensitive resin layer formed on the metal thin film. The content of the photosensitive resin layer and exposure and development may include the content described above in the embodiment.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지층 패턴에 의해 노출된 금속박막 상에 금속을 증착시키는 단계에서, 상기 감광성 수지층 패턴에 의해 노출된 금속박막이란, 표면에서 감광성 수지층과 접촉하지 않고 있는 금속박막 부분을 의미한다. 상기 증착되는 금속은 구리를 사용할 수 있고, 상기 증착 방법은 한정되지 않으며, 공지된 다양한 물리적 또는 화학적 증착방법을 제한없이 사용할 수 있으며, 구체적으로 전해 구리 도금 방법을 사용하는 것이 바람직하다.According to an exemplary embodiment of the present invention, in the step of depositing a metal on the metal thin film exposed by the photosensitive resin layer pattern, the metal thin film exposed by the photosensitive resin layer pattern is not in contact with the photosensitive resin layer on the surface It means the part of the metal thin film that is not. Copper may be used as the deposited metal, and the deposition method is not limited, and various known physical or chemical deposition methods may be used without limitation. Specifically, it is preferable to use an electrolytic copper plating method.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 감광성 수지층을 제거하고, 노출된 금속박막을 제거하는 단계에서, 상기 감광성 수지층의 제거방법의 예로는 포토레지스트 박리액을 사용할 수 있으며, 상기 감광성 수지층의 제거로 인해 노출되는 금속박막의 제거방법의 예로는 에칭액을 사용할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, in the step of removing the photosensitive resin layer and removing the exposed metal thin film, a photoresist stripper may be used as an example of a method for removing the photosensitive resin layer, and the photosensitive resin layer An etchant may be used as an example of a method of removing the metal thin film exposed due to the removal of the etchant.

본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층인쇄회로기판 제조방법에 의해 제조된 다층인쇄회로기판은 다시 빌드업 재료로서 사용될 수 있으며, 예를 들어, 상기 다층인쇄회로기판 상에 상기 일 실시상태의 절연층 제조방법에 따라 절연층을 형성하는 제1공정과, 상기 절연층 상에 상기 다른 실시상태의 다층인쇄회로기판 제조방법에 따라 금속 기판을 형성하는 제2공정을 반복하여 진행할 수 있다. 이에 따라, 상기 다층인쇄회로기판 제조방법에 의해 제조되는 다층인쇄회로기판에 포함된 적층된 층 수 또한 크게 한정되지 않으며, 사용 목적, 용도에 따라 예를 들어 1층 이상, 또는 1층 내지 20층을 가질 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the multilayer printed circuit board manufactured by the method for manufacturing the multilayer printed circuit board can be used again as a build-up material, for example, on the multilayer printed circuit board of the exemplary embodiment. A first process of forming an insulating layer according to the insulating layer manufacturing method and a second process of forming a metal substrate on the insulating layer according to the method for manufacturing a multilayer printed circuit board of another embodiment may be repeated. Accordingly, the number of stacked layers included in the multilayer printed circuit board manufactured by the method for manufacturing the multilayer printed circuit board is also not significantly limited, and for example, one or more layers, or 1 to 20 layers, depending on the purpose and purpose of use. can have

이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시예를 들어 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 기술하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되지 않는다. 본 명세서의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, examples will be given to describe the present invention in detail. However, the embodiments according to the present invention may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not to be construed as being limited to the embodiments described below. The embodiments of the present specification are provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art.

실시예 1Example 1

<폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 제조><Production of polyimide alkali-soluble resin>

제조 온도계, 교반 장치, 환류냉각관, 수분정량기가 장착된 가열 및 냉각 가능한 용적 2리터의 반응 용기에 용매로서 디메틸아세트아마이드 (Dimethyl acetamide; DMAc) 200 g, 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체로서 Cray Valley 사의 SMA1000 100 g, 방향족 디아민 화합물로서 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R; 상기 화학식 5-1-a로 표시되는 화합물) 7.5 g, 및 산성 작용기 함유 아민 화합물로서 4-아미노페닐아세트산 70 g을 혼합하여, 혼합물을 제조하였다.200 g of dimethyl acetamide (DMAc) as a solvent in a reaction vessel with a heating and cooling volume of 2 liters equipped with a manufacturing thermometer, a stirring device, a reflux cooling tube, and a moisture meter, including a repeating unit represented by the above formula (3) 100 g of Cray Valley's SMA1000 as a polymer to A mixture was prepared by mixing 70 g of 4-aminophenylacetic acid as the containing amine compound.

이후, 상기 혼합물을 85 ℃에서 24시간 동안 교반하여, 고형분 함량 50%의 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 용액을 제조하였다.Thereafter, the mixture was stirred at 85° C. for 24 hours to prepare a polyimide-based alkali-soluble resin solution having a solid content of 50%.

<절연층 제조><Manufacture of insulating layer>

하기 도 1의 내용을 참조하면, 상기 합성한 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 16g, 열경화성 바인더로 MY-510(Huntsman 제조) 5g, 무기 필러로 SC2050 MTO(고형분70%, Adamatech 제조) 35g를 혼합한 고분자 수지 조성물을 PET 필름에 도포하고 건조시켜 15 ㎛ 두께의 고분자 수지층(1)을 제조하였다. 그리고. 구리회선(2)이 동박적층판(3)에 형성된 회로기판상에 상기 고분자 수지층(1)을 85 ℃에서 진공 라미네이트하고, 상기 PET 필름을 제거하였다. 상기 고분자 수지층(1)위에 15 ㎛ 두께의 감광성 드라이필름 레지스트 KL1015(코오롱인더스트리 제조)(4)를 110 ℃에서 라미네이트하였다.Referring to the contents of FIG. 1 below, 16 g of the synthesized polyimide-based alkali-soluble resin, 5 g of MY-510 (manufactured by Huntsman) as a thermosetting binder, and 35 g of SC2050 MTO (70% solid content, manufactured by Adamatech) as an inorganic filler are mixed polymer The resin composition was applied to a PET film and dried to prepare a polymer resin layer (1) having a thickness of 15 µm. and. The polymer resin layer (1) was vacuum-laminated at 85°C on the circuit board on which the copper line (2) was formed on the copper clad laminate (3), and the PET film was removed. A 15 μm thick photosensitive dry film resist KL1015 (manufactured by Kolon Industries) (4) was laminated on the polymer resin layer (1) at 110°C.

상기 감광성 드라이필름 레지스트(4) 상에 직경이 30㎛인 원형의 네가티브형 포토마스크를 접촉시키고, 자외선을 조사(25mJ/㎠의 광량)한 다음, 30 ℃ 1% 탄산나트륨 현상액을 통해 상기 드라이필름 레지스트(4)와 고분자 수지층(1)을 차례로 현상하였다.A circular negative-type photomask having a diameter of 30 μm was brought into contact with the photosensitive dry film resist 4, irradiated with ultraviolet rays (amount of light of 25 mJ/cm 2 ), and then the dry film resist was passed through a 1% sodium carbonate developer at 30° C. (4) and the polymer resin layer (1) were developed sequentially.

이 때, 상기 패턴이 형성된 감광성 드라이필름 레지스트(4)가 상기 고분자 수지층(1)의 보호층으로 작용하여, 고분자 수지층(1)에도 감광성 드라이필름 레지스트(4)와 동일한 패턴이 형성되면서, 비아홀(5)을 형성하였다. 이때, 상기 비아홀(5) 내부에는 고분자 수지층(1)에서 유래한 흰색 잔사가 남아있었다.At this time, the photosensitive dry film resist 4 on which the pattern is formed acts as a protective layer of the polymer resin layer 1, and the same pattern as the photosensitive dry film resist 4 is formed on the polymer resin layer 1 as well. A via hole 5 was formed. At this time, a white residue derived from the polymer resin layer 1 remained inside the via hole 5 .

이후, 100의 온도에서 1시간 동안 열경화시킨 다음, 50 ℃온도의 3% 수산화 나트륨 레지스트 박리액을 사용하여 잔사와 감광성 드라이필름 레지스트(4)을 제거하고, 200 ℃의 온도에서 1시간 동안 열경화시키는 과정을 더 진행하였다.Thereafter, after thermosetting at a temperature of 100 for 1 hour, the residue and the photosensitive dry film resist 4 were removed using a 3% sodium hydroxide resist stripper at a temperature of 50° C., and thermosetting at a temperature of 200° C. for 1 hour. The process of reconciliation was further carried out.

<다층인쇄회로기판 제조><Manufacturing of multilayer printed circuit boards>

하기 도 2의 내용을 참조하면, 상기 제조된 절연층(7) 상면과 비아홀(5) 측면에 아르곤과 산소의 혼합 가스를 증착장비로 공급하면서 스퍼터링법을 통해 구리(Cu) 금속을 300㎚로 증착하여 시드층(seed layer)(8)을 형성하였다.2, copper (Cu) metal is reduced to 300 nm through sputtering while supplying a mixed gas of argon and oxygen to the upper surface of the prepared insulating layer 7 and the side of the via hole 5 to the deposition equipment. A seed layer 8 was formed by vapor deposition.

이후, 상기 시드층(8) 상에 감광성 수지층을 노광 및 현상하여 감광성 수지 패턴(9)을 형성하였다. 그리고, 전해도금을 통해 상기 시드층(8) 상에 구리로 이루어진 금속기판(10)을 20㎛ 두께로 형성하였다. 다음으로, 감광성 수지 박리액을 사용하여 상기 감광성 수지 패턴(9)을 제거하고, 이로 인해 노출된 시드층(8)을 에칭을 통해 제거하여 다층인쇄회로기판을 제조하였다.Thereafter, the photosensitive resin layer was exposed and developed on the seed layer 8 to form a photosensitive resin pattern 9 . Then, a metal substrate 10 made of copper was formed to a thickness of 20 μm on the seed layer 8 through electroplating. Next, the photosensitive resin pattern 9 was removed using a photosensitive resin stripper, and thus the exposed seed layer 8 was removed through etching to prepare a multilayer printed circuit board.

비교예 1Comparative Example 1

상기 실시예 1의 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 제조 과정에서, TPE-R을 5g을 사용한 것을 제외하고, 실시예 1과 동일하게 다층인쇄회로기판을 제조하였다.To Example 1 a polyimide-based alkali-soluble resin in the manufacturing process in Example 1, the same multi-layer printed circuit board and, and except that the TPE-R 5g was prepared.

실험예 1 (유리전이온도 측정)Experimental Example 1 (Glass Transition Temperature Measurement)

DMA(TA社, Q800)를 이용하여, 전술한 방법을 통해 실시예 1 및 비교예 1에서 제조된 고분자 수지층의 유리전이온도를 측정하였다.Using DMA (TA, Q800), the glass transition temperature of the polymer resin layer prepared in Example 1 and Comparative Example 1 was measured through the above-described method.

도 3은 동적기계분석기(Dynamic mechanical analyzer, DMA)를 이용하여 측정한 실시예 1 및 비교예 1에서 제조된 고분자 수지층의 유리전이온도를 나타낸 그래프이다.3 is a graph showing the glass transition temperature of the polymer resin layer prepared in Example 1 and Comparative Example 1 measured using a dynamic mechanical analyzer (DMA).

도 3을 참고하면, 방향족 디아민 화합물로서 TPE-R을 사용하며, TPE-R의 함량이 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체 100 중량부에 대하여 7.5 중량부로 조절된 실시예 1에서 제조된 고분자 수지층의 유리전이온도는 약 256 ℃인 것을 확인하였다.Referring to FIG. 3, using TPE-R as the aromatic diamine compound, the content of TPE-R was adjusted to 7.5 parts by weight based on 100 parts by weight of the polymer including the repeating unit represented by Formula 3, prepared in Example 1 It was confirmed that the glass transition temperature of the polymer resin layer was about 256 °C.

반면, TPE-R을 사용하더라도, TPE-R의 함량이 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체 100 중량부에 대하여 5 중량부에 해당되는 비교예 1에서 제조된 고분자 수지층의 유리전이온도는 약 251 ℃인 것을 확인하였다.On the other hand, even when TPE-R is used, the glass transition of the polymer resin layer prepared in Comparative Example 1, wherein the content of TPE-R is 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the polymer including the repeating unit represented by Chemical Formula 3 It was confirmed that the temperature was about 251 °C.

즉, 본 발명의 일 실시상태에 따른 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 사용한 고분자 수지층의 유리전이온도가 향상된 것을 알 수 있다.That is, it can be seen that the glass transition temperature of the polymer resin layer using the polyimide-based alkali-soluble resin according to an exemplary embodiment of the present invention is improved.

실험예 2 (치수 안정성 평가)Experimental Example 2 (Dimensional stability evaluation)

상기 실시예 1 및 비교예 1의 다층인쇄회로기판의 패턴이 변화하는 지 현미경으로 확인하였으며, 상기 패턴의 크기를 측정하였다.Whether the pattern of the multilayer printed circuit board of Example 1 and Comparative Example 1 changed was confirmed with a microscope, and the size of the pattern was measured.

도 4는 실시예 1 및 비교예 1의 다층인쇄회로기판 중 패턴의 확대사진이다. 구체적으로 도 4와 같이 박리된 후의 패턴, 패턴이 형성된 직후 박리 전의 패턴 및 패턴이 형성된 1일 후 박리 전의 패턴을 현미경을 통하여 크기의 변화를 확인하였으며, 패턴이 형성된 직후 박리 전의 패턴 및 패턴이 형성된 1일 후 박리 전의 패턴의 크기를 측정하였다. 측정된 패턴의 크기는 하기 표 1에 정리하였다.4 is an enlarged photograph of a pattern among the multilayer printed circuit boards of Example 1 and Comparative Example 1. FIG. Specifically, as shown in FIG. 4 , the pattern after peeling, the pattern before peeling immediately after the pattern was formed, and the pattern before peeling one day after the pattern was formed, were checked for size changes through a microscope, and the pattern before peeling immediately after the pattern was formed and the pattern was formed After 1 day, the size of the pattern before peeling was measured. The sizes of the measured patterns are summarized in Table 1 below.

구분division 실시예 1Example 1 비교예 1Comparative Example 1 패턴형성 직후,박리 전의 패턴 크기(㎛)Pattern size immediately after pattern formation and before peeling (㎛) 1313 1313 패턴형성 1일후, 박리 전의 패턴 크기(㎛)Pattern size (μm) before peeling after 1 day of pattern formation 1414 1818

도 4 및 표 1을 참고하면, 방향족 디아민 화합물로서 TPE-R을 사용하며, TPE-R의 함량이 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체 100 중량부에 대하여 7.5 중량부로 조절된 실시예 1은 패턴의 크기가 거의 동일하게 유지되어 상온에서의 치수 안정성이 향상된 것을 확인하였다.4 and Table 1, an example in which TPE-R is used as the aromatic diamine compound, and the content of TPE-R is adjusted to 7.5 parts by weight based on 100 parts by weight of the polymer including the repeating unit represented by Chemical Formula 3 1, it was confirmed that the size of the pattern was maintained almost the same, so that the dimensional stability at room temperature was improved.

이에 비하여 비교예 1은 TPE-R을 사용하더라도, TPE-R의 함량이 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체 100 중량부에 대하여 5 중량부에 해당되어, 패턴의 크기가 확장된 것으로 보아 상온에서의 치수 안정성이 낮은 것을 확인하였다.In contrast, in Comparative Example 1, even when TPE-R is used, the content of TPE-R corresponds to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polymer including the repeating unit represented by Formula 3, so the size of the pattern is expanded. It was confirmed that the dimensional stability at room temperature was low.

따라서, 본 발명의 일 실시상태에 따른 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지를 이용하여, 유리전이온도가 향상되고 상온에서의 치수 안정성이 개선된 절연층을 구현할 수 있음을 알 수 있다.Therefore, it can be seen that an insulating layer having improved glass transition temperature and improved dimensional stability at room temperature can be implemented by using the polyimide-based alkali-soluble resin according to an exemplary embodiment of the present invention.

1: 고분자 수지층
2: 구리회선
3: 동박적층판
4: 감광성 드라이필름 레지스트(DFR)
5: 비아홀
6: 금속층
7: 절연층
8: 시드층
9: 감광성 수지 패턴
10: 금속기판
<1> 내지 <6>: 공정의 진행 순서
1: polymer resin layer
2: Copper line
3: Copper clad laminate
4: Photosensitive dry film resist (DFR)
5: Via Hall
6: metal layer
7: Insulation layer
8: seed layer
9: Photosensitive resin pattern
10: metal substrate
<1> to <6>: process sequence

Claims (10)

하기 화학식 1로 표시되는 반복단위, 및 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함하는 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지로서,
상기 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지는,
하기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체, 방향족 디아민 화합물 및 산성 작용기 함유 아민 화합물을 포함하는 혼합물의 반응 생성물이고,
상기 방향족 디아민 화합물의 함량은 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체 100 중량부에 대하여 6 중량부 이상 15 중량부 이하인 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지:
[화학식 1]
Figure pat00028

[화학식 2]
Figure pat00029

[화학식 3]
Figure pat00030

상기 화학식 1에서, R1는 직접결합, 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기, 탄소수 1 내지 20의 알케닐기, 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 또는 하기 화학식 4로 표시되는 것이며,
[화학식 4]
Figure pat00031

상기 화학식 2에서, n은 1 내지 3의 정수이고,
상기 화학식 4에서 R2는 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기이고,
상기 화학식 1 내지 상기 화학식 4에서, "*"는 결합지점을 의미한다.
As a polyimide-based alkali-soluble resin comprising a repeating unit represented by the following formula (1), and a repeating unit represented by the following formula (2),
The polyimide-based alkali-soluble resin,
It is a reaction product of a mixture comprising a polymer including a repeating unit represented by the following Chemical Formula 3, an aromatic diamine compound, and an amine compound containing an acidic functional group,
The content of the aromatic diamine compound is 6 parts by weight or more and 15 parts by weight or less of the polyimide-based alkali-soluble resin based on 100 parts by weight of the polymer including the repeating unit represented by Formula 3:
[Formula 1]
Figure pat00028

[Formula 2]
Figure pat00029

[Formula 3]
Figure pat00030

In Formula 1, R 1 is a direct bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, or represented by Formula 4 below,
[Formula 4]
Figure pat00031

In Formula 2, n is an integer of 1 to 3,
In Formula 4, R 2 is an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms,
In Formulas 1 to 4, "*" means a bonding point.
청구항 1에 있어서,
상기 방향족 디아민 화합물은 하기 화학식 5로 표시되는 화합물인 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지:
[화학식 5]
Figure pat00032

상기 화학식 5에서, n은 1 내지 3의 정수이다.
The method according to claim 1,
The aromatic diamine compound is a polyimide-based alkali-soluble resin, which is a compound represented by the following formula (5):
[Formula 5]
Figure pat00032

In Formula 5, n is an integer of 1 to 3.
청구항 2에 있어서,
상기 방향족 디아민 화합물은 하기 화학식 5-1로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 5-2로 표시되는 화합물 중 적어도 하나를 포함하는 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지:
[화학식 5-1]
Figure pat00033

[화학식 5-2]
Figure pat00034

3. The method according to claim 2,
The aromatic diamine compound is a polyimide-based alkali-soluble resin comprising at least one of a compound represented by the following Chemical Formula 5-1 and a compound represented by the following Chemical Formula 5-2:
[Formula 5-1]
Figure pat00033

[Formula 5-2]
Figure pat00034

청구항 1에 있어서,
상기 화학식 2로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 2-1로 표시되는 반복단위를 포함하는 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지:
[화학식 2-1]
Figure pat00035

상기 화학식 2-1에서, "*"는 결합지점을 의미한다.
The method according to claim 1,
The repeating unit represented by the formula (2) is a polyimide-based alkali-soluble resin comprising a repeating unit represented by the following formula (2-1):
[Formula 2-1]
Figure pat00035

In Formula 2-1, "*" means a bonding point.
청구항 1에 있어서,
상기 산성 작용기 함유 아민 화합물의 함량은 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함하는 중합체 100 중량부에 대하여 60 중량부 이상 80 중량부 이하인 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지.
The method according to claim 1,
The content of the acidic functional group-containing amine compound is 60 parts by weight or more and 80 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the polymer including the repeating unit represented by Formula 3, polyimide-based alkali-soluble resin.
청구항 1에 있어서,
상기 산성 작용기 함유 아민 화합물은 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물을 포함하는 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지:
[화학식 6]
Figure pat00036

상기 화학식 6에서, R1는 직접결합, 탄소수 1 내지 20의 알킬렌기, 탄소수 1 내지 20의 알케닐기, 탄소수 6 내지 20의 아릴렌기, 또는 하기 화학식 4로 표시되는 것이고,
[화학식 4]
Figure pat00037

상기 화학식 4에서 R2는 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기이고, "*"는 결합지점을 의미한다.
The method according to claim 1,
The acidic functional group-containing amine compound is a polyimide-based alkali-soluble resin comprising a compound represented by the following Chemical Formula 6:
[Formula 6]
Figure pat00036

In Formula 6, R 1 is a direct bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, or represented by Formula 4 below,
[Formula 4]
Figure pat00037

In Formula 4, R 2 is an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, and "*" means a bonding point.
청구항 6에 있어서,
상기 산성 작용기 함유 아민 화합물은 하기 화학식 6-1로 표시되는 화합물을 포함하는 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지:
[화학식 6-1]
Figure pat00038

상기 화학식 6에서 R2는 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기이다.
7. The method of claim 6,
The acidic functional group-containing amine compound is a polyimide-based alkali-soluble resin comprising a compound represented by the following Chemical Formula 6-1:
[Formula 6-1]
Figure pat00038

In Formula 6, R 2 is an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms.
도체 배선 상에 청구항 1의 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 및 열경화성 바인더를 포함한 고분자 수지층을 구비하는 단계;
상기 고분자 수지층 상에 감광성 수지층을 구비하여 적층체를 형성하는 단계;
상기 적층체를 노광 및 알칼리 현상하여 패터닝하는 단계;
상기 패터닝된 고분자 수지층을 열경화하는 단계; 및
상기 패터닝된 감광성 수지층을 박리하는 단계;를 포함하는 절연층 제조방법.
providing a polymer resin layer including the polyimide-based alkali-soluble resin of claim 1 and a thermosetting binder on the conductor wiring;
forming a laminate by providing a photosensitive resin layer on the polymer resin layer;
patterning the laminate by exposure and alkali development;
thermosetting the patterned polymer resin layer; and
Insulating layer manufacturing method comprising; peeling off the patterned photosensitive resin layer.
청구항 8에 있어서,
상기 고분자 수지층은 폴리이미드계 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대해 열경화성 바인더 1 중량부 내지 150 중량부를 포함하는 절연층 제조방법.
9. The method of claim 8,
The polymer resin layer is an insulating layer manufacturing method comprising 1 part by weight to 150 parts by weight of a thermosetting binder based on 100 parts by weight of a polyimide-based alkali-soluble resin.
청구항 8에 따른 제조방법에 의해 제조된 절연층; 및
상기 절연층 상에 패턴이 구비된 금속 기판을 구비하는 다층인쇄회로기판.
an insulating layer manufactured by the manufacturing method according to claim 8; and
A multilayer printed circuit board comprising a metal substrate having a pattern on the insulating layer.
KR1020200033216A 2020-03-18 2020-03-18 Polyimide-based alkali developable resin, method for manufacturing insulating film using the same and multilayered printed circuit board KR20210116968A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200033216A KR20210116968A (en) 2020-03-18 2020-03-18 Polyimide-based alkali developable resin, method for manufacturing insulating film using the same and multilayered printed circuit board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200033216A KR20210116968A (en) 2020-03-18 2020-03-18 Polyimide-based alkali developable resin, method for manufacturing insulating film using the same and multilayered printed circuit board

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210116968A true KR20210116968A (en) 2021-09-28

Family

ID=77923229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200033216A KR20210116968A (en) 2020-03-18 2020-03-18 Polyimide-based alkali developable resin, method for manufacturing insulating film using the same and multilayered printed circuit board

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20210116968A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102040224B1 (en) Method for manufacturing insulating film and multilayered printed circuit board
JP6600088B2 (en) Insulating layer manufacturing method and multilayer printed circuit board manufacturing method
KR20170104843A (en) Photosensitive resin composition and photoimageable dielectric film
CN109643698B (en) Method for manufacturing insulating film and semiconductor package
JP2020197604A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive resin film, printed wiring board, semiconductor package, and method of manufacturing printed wiring board
KR20210116968A (en) Polyimide-based alkali developable resin, method for manufacturing insulating film using the same and multilayered printed circuit board
KR20210101819A (en) Alkally developable resin, method for manufacturing insulating film and multilayered printed circuit board
JP6664473B2 (en) Method for manufacturing insulating layer and method for manufacturing multilayer printed circuit board
KR102034200B1 (en) Method for manufacturing insulating film and multilayered printed circuit board
KR20220126894A (en) Insulating layer for multilayered printed circuit board
KR20210047650A (en) Method for manufacturing insulating film and multilayered printed circuit board
KR20220126893A (en) Insulating layer for multilayered printed circuit board
KR102038106B1 (en) Method for manufacturing insulating film and multilayered printed circuit board
WO2018030761A1 (en) Insulating layer production method and multilayered printed circuit board production method
KR20230172228A (en) Insulating layer for multilayered printed circuit board
WO2018030694A1 (en) Insulating layer manufacturing method and multilayered printed circuit board manufacturing method
KR20230172229A (en) Insulating layer for multilayered printed circuit board
KR20230022669A (en) Method for manufacturing insulating film, insulating film, method for manufacturing multilayered printed circuit board and multilayered printed circuit board
WO2018088754A1 (en) Insulating layer manufacturing method and multi-layered printed circuit board manufacturing method
WO2018080125A1 (en) Insulation layer manufacturing method and multilayer printed circuit board manufacturing method
KR20210052075A (en) Method for manufacturing insulating film and method for manufacturing multilayered printed circuit board
KR20210048984A (en) Insulating film for multilayered printed circuit board, multilayered printed circuit board comprising the same and method for manufacturing the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination